KR20090016820A - Pulse energy controllable multiple-pulse optical device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 상온에서 액체이거나, 상온에서 기체이지만 액화된 물질, 상기 액체 및 액화기체에 나노입자를 포함시킨 물질, 녹는점이 낮은 금속에 열을 가해 녹인 금속 액체를 제트 타겟으로 제공함으로써 X선(1~10nm)및 극자외선(EUV,10~20nm) 영역의 파장의 빛을 발생시키는 다중 펄스 광학장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 레이져 펄스를 나누어 다중 펄스로 분할하고 다중 펄스들의 에너지와 다중 펄스들간의 지연시간에 대한 조정이 가능하여 최적의 X선(1~10nm)및 극자외선(EUV,10~20nm)로의 변환효율을 갖게 하는 펄스에너지 조절이 가능한 다중 펄스 광학장치에 관한 것이다.The present invention provides an X-ray (1) by providing a jet target of a liquid that is liquid at room temperature or gaseous at room temperature but liquefied, a material containing nanoparticles in the liquid and liquefied gas, and a metal liquid melted by applying heat to a low melting point metal. ~ 10nm) and multi-ultraviolet optics that generate light in the extreme ultraviolet (EUV, 10 ~ 20nm) wavelength range, more specifically, one laser pulse is divided into multiple pulses and the energy and multiple of the multiple pulses The present invention relates to a multi-pulse optical device capable of adjusting pulse energy to adjust the delay time between pulses so that conversion efficiency to optimal X-ray (1-10 nm) and extreme ultraviolet (EUV, 10-20 nm) is achieved.
일반적으로, 1 내지 10 나노미터의 파장을 가지는 빛을 연 X선이라 하는데, 상기 연 X선은 살아있는 세포들의 미세구조를 관측하기 위한 현미경에 10 내지 20 나노미터의 파장을 가지는 극자외(EUV)선은 차세대 리소그래피(Lithography)에 사 용된다. 특히, 2 내지 4 나노미터의 파장을 가지는 연 X선은 현미경에 사용되기 매우 적합하다. 이는 2 내지 4 나노미터의 파장영역(이하 "물의 창" 영역)에서는 연 X선이 단백질과 물에 대해 큰 투과율 차이를 보이기 때문이다. 즉, 물의 창 영역의 연 X선은 물에 대해서는 양호한 투과율을 가지고 있으나, 단백질에 대해서는 투과율이 좋지 않기 때문에 세포 내부 구조를 조사하기에 매우 적당한 광원이다. In general, light having a wavelength of 1 to 10 nanometers is called soft X-ray, which is an extreme ultraviolet (EUV) having a wavelength of 10 to 20 nanometers under a microscope for observing the microstructure of living cells. Lines are used in next-generation lithography. In particular, soft X-rays having a wavelength of 2 to 4 nanometers are very suitable for use in microscopes. This is because in the wavelength region of 2 to 4 nanometers (hereinafter referred to as the “window of water” region), soft X-rays show a large difference in transmittance between protein and water. In other words, the soft X-rays in the window region of water have a good transmittance for water, but have a poor transmittance for proteins, and thus are very suitable light sources for examining the internal structure of cells.
연 X선의 대부분은 방사광 가속기를 통해 발생되고 있으나, 방사광 가속기는 매우 거대한 실험 장치로 건설에 많은 시간과 비용이 소비되기 때문에 매우 적은 숫자만이 건설될 수 있다. 따라서, 소규모 실험실에서 사용되기에는 부적합하다. Most of the soft X-rays are generated by radiation accelerators, but only a very small number can be constructed because the radiation accelerator is a very large experimental device that requires a lot of time and money to build. Thus, it is not suitable for use in small laboratories.
소규모 실험실에서는 광원 발생장치로 레이저 플라즈마 광원 발생장치가 사용된다. In a small laboratory, a laser plasma light source generator is used as the light source generator.
레이저 플라즈마 광원 발생장치는 진공 용기 내에 배치되는 타겟(target)에 고출력 레이저 레이져 광을 조사하여 빛을 발생시키는 장치이다. 타겟에 고출력 레이저 레이져 광을 집광시키면 고밀도의 플라즈마가 생성되고, 생성된 플라즈마는 진공 용기 내에서 자유 팽창하게 되며, 빛은 상기 팽창한 플라즈마로부터 발생된다. The laser plasma light source generator is a device that generates light by irradiating high power laser laser light to a target disposed in a vacuum container. Condensing high power laser laser light onto a target produces a high density of plasma, the resulting plasma freely expanding in a vacuum vessel, and light is generated from the expanded plasma.
이와 같은 레이저 플라즈마 광원 발생장치를 이용하여 X선 및 EUV 영역의 향상된 플라즈마 광원의 세기와 변환효율을 얻기 위한 다양한 시도가 최근에 이루어 지고 있다. Various attempts have recently been made to obtain the intensity and conversion efficiency of the improved plasma light source in the X-ray and EUV regions using the laser plasma light source generator.
최근 연구결과에 따르면 단일 레이져 펄스를 예비 펄스(prepulse)와 주 펄스(mainpulse)로 분할하여 펄스간 지연시간(Delay time)을 적절히 변화시킨 경우, 단일 레이져 펄스를 입사시킨 경우보다 큰 변환효율을 얻을 수 있다고 한다.According to the recent research results, when the single laser pulse is divided into prepulse and main pulse, and the delay time is appropriately changed, the conversion efficiency is higher than that of the single laser pulse. It can be said.
예를들어, 리튬(Lithium)을 타겟으로 하여 예비 펄스와 주 펄스로 분할하여 두 펄스간 지연시간을 20~50ns로 한 경우, 단일 펄스일때보다 변환효율이 1.8배큰 2.4%의 변환효율을 얻을 수 있다.For example, if Lithium is used as a target, the preliminary pulse and the main pulse are divided into 20 to 50ns of delay time, so that the conversion efficiency is 1.8 times larger than that of a single pulse. have.
때문에 단일 레이져 펄스를 분할하기 위한 다양한 방식의 광학장치가 구성되고 있다.Therefore, various types of optical devices for dividing a single laser pulse have been constructed.
그러나, 기존의 광학장치로는 분할된 예비 펄스와 주 펄스의 에너지를 원하는 수치로 자유롭게 조절하거나 두 펄스간의 지연시간을 원활이 변경할 수 없는 문제점이 있다.However, conventional optical devices have a problem in that the energy of the divided preliminary pulse and the main pulse can be freely adjusted to a desired value or the delay time between the two pulses cannot be smoothly changed.
이에 여러가지 타겟에 대한 X선의 변환효율을 높이기 위한 실험을 진행하는데에 많은 어려움이 있다. Therefore, there are many difficulties in conducting experiments to increase the conversion efficiency of X-rays for various targets.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 하나의 레이져 펄스를 나누어 다중 펄스로 분할하고 다중 펄스들의 에너지와 다중 펄스들간의 지연시간에 대한 조정이 가능하여 최적의 X선(1~10nm)및 극자외선(EUV,10~20nm)로의 변환효율을 갖게 하는 다중 펄스 광학장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the above problems, it is possible to divide one laser pulse into multiple pulses and to adjust the energy of multiple pulses and the delay time between multiple pulses. It is to provide a multi-pulse optical device that has a conversion efficiency to 10nm) and extreme ultraviolet (EUV, 10 ~ 20nm).
상기와 같은 해결하고자 하는 과제는 레이져 발생수단과 상기 레이져 발생수단에서 조사된 레이져광의 광로상에 설치되고, 상기 레이져광의 편광상태를 변화시켜 에너지를 조절하도록 형성된 제 1 펄스에너지 조절수단과 상기 제 1펄스에너지 조절수단을 통과한 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 및 투과시키는 제 1 광분할수단과 상기 제 1광분할수단에서 반사된 일부 레이져광을 지연시키도록 형성된 지연시간 부가수단 및 상기 지연시간 부가수단에서 지연된 일부 레이져광 및 상기 제 1광분할수단에서 투과된 일부 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 및 투과시키는 제 2 광분할수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하여 2펄스를 생성하는 펄스에너지 조절이 가능한 다중 펄스 광학장치에 의해 실현된다.The problem to be solved as described above is provided on the optical path of the laser light emitted from the laser generating means and the laser generating means, the first pulse energy adjusting means and the first formed to change the polarization state of the laser light to adjust the energy A first light splitting means for reflecting and transmitting the laser light passing through the pulse energy adjusting means at a specified vertical horizontal component ratio, and a delay time adding means formed to delay some of the laser light reflected from the first light splitting means and the delay time And a second light splitting means for reflecting and transmitting some laser light delayed by the additional means and some laser light transmitted by the first light splitting means at a specified vertical horizontal component ratio. It is realized by adjustable multi-pulse optics.
바람직하게는 필요에 따라 상기 제 1 광분할수단과 제 2광 분할수단사이에는 상기 제 1광분할수 단에서 투과된 일부 레이져광의 편광상태를 변화시켜 에너지를 조절하도록 형성된 제 2 펄스에너지 조절수단이 설치될 수 있다.Preferably, a second pulse energy adjusting means is provided between the first light splitting means and the second light splitting means to adjust energy by changing the polarization state of some laser light transmitted from the first light splitting stage. Can be.
또한, 상기 지연시간 부가수단에는 상기 제 1광분할수단에서 반사된 일부 레이져광의 편광상태를 변화시켜 에너지를 조절하도록 형성된 제 3 펄스에너지 조절수단이 설치 될수 도 있다.In addition, the delay time adding means may be provided with a third pulse energy adjusting means formed to adjust the energy by changing the polarization state of the laser light reflected by the first light splitting means.
한편, 레이져 발생수단과 상기 레이져 발생수단에서 조사된 레이져광의 광로상에 설치되고, 상기 레이져광의 편광상태를 변화시켜 에너지를 조절하도록 형성된 제 1 펄스에너지 조절수단과 상기 제 1펄스에너지 조절수단을 통과한 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 및 투과시키는 제 1 광분할수단과 상기 제 1광분할수단에서 반사된 일부 레이져광을 지연시키도록 형성된 제 1지연시간 부가수단과 상기 지연시간 부가수단에서 지연된 일부 레이져광 및 상기 제 1광분할수단에서 투과된 일부 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 또는 투과시키는 제 2 광분할수단과 상기 제 2광분할수단에서 반사된 일부 레이져광을 지연시키도록 형성된 제 2지연시간 부가수단 및 상기 지연시간 부가수단에서 지연된 일부 레이져광 및 상기 제 2광분할수단에서 투과된 일부 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 및 투과시키는 제 3 광분할수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하여 4펄스를 생성하는 펄스에너지 조절이 가능한 다중 펄스 광학장치에 의해서도 상기 언급한 문제점을 해결할 수 있다.On the other hand, it is provided on the laser generating means and the optical path of the laser light irradiated from the laser generating means, passing through the first pulse energy adjusting means and the first pulse energy adjusting means formed to change the polarization state of the laser light to control the energy. A first light dividing means for reflecting and transmitting one laser light at a specified vertical horizontal component ratio, and a first delay time adding means formed to delay some laser light reflected from the first light dividing means and the delay time adding means; A second light splitting means for reflecting or transmitting some laser light and some laser light transmitted by the first light splitting means at a specified vertical horizontal component ratio, and a second light splitting means formed to delay some laser light reflected by the second light splitting means. Second delay time adding means and some laser light delayed by the delay time adding means and the second light splitting means; And a third light splitting means for reflecting and transmitting a part of the laser light transmitted through the laser beam at a specified vertical horizontal component ratio. I can solve it.
본 발명에 따른 펄스에너지 조절이 가능한 다중 펄스 광학장치는 단일 펄스를 입사시키는 것보다 X선 및 극자외선 영역의 빛의 세기를 향상 시킬 수 있다. 또 한, 분할되는 각각의 펄스에너지와 각 펄스간의 지연시간을 조절하여 X선 및 극자외선 영역의 빛으로의 변환효율이 최대가 되는 조건을 보다 용이하게 찾을 수 있는 이점이 있다. Multi-pulse optical device that can control the pulse energy according to the present invention can improve the intensity of light in the X-ray and extreme ultraviolet region than injecting a single pulse. In addition, there is an advantage that it is easier to find the condition that the conversion efficiency to the light in the X-ray and the extreme ultraviolet region is maximized by adjusting the pulse energy to be divided and the delay time between each pulse.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은, 본 발명에 따른 펄스에너지 조절이 가능한 2-펄스 광학장치의 일 실시예의 구성을 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a two-pulse optical device capable of adjusting pulse energy according to the present invention.
도 1은, 도 1에서 도시한 펄스에너지 조절이 가능한 2-펄스 광학장치의 일 실시예의 구성을 나타낸 구성도이다.1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a two-pulse optical device capable of adjusting the pulse energy shown in FIG.
도 1에서 도시한 바와 같이, 2-펄스 광학장치의 일 실시예의 경우, 레이져 발생수단(P)과 상기 레이져 발생수단에서 조사된 레이져광의 광로상에 설치되고, 상기 레이져광의 편광상태를 변화시켜 에너지를 조절하도록 형성된 제 1 펄스에너지 조절수단(10A)과 상기 제 1펄스에너지 조절수단(10A)을 통과한 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 및 투과시키는 제 1 광분할수단(20)과 상기 제 1광분할수단(20)에서 반사된 일부 레이져광을 지연시키도록 형성된 지연시간 부가수단(40) 및 상기 지연시간 부가수단(40)에서 지연된 일부 레이져광 및 상기 제 1광분할수단(20)에서 투과된 일부 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 및 투과시키는 제 2 광분할수단(30)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, in the embodiment of the two-pulse optical device, the laser generating means P and the laser light emitted from the laser generating means are installed on the optical path of the laser light and change the polarization state of the laser light to change energy. First light splitting means 20 and the first light splitting means 20 for reflecting and transmitting the laser light passing through the first pulse energy adjusting means 10A and the first pulse energy adjusting means 10A at a specified vertical horizontal component ratio. In the delay
위와 같은 구성을 갖는 2-펄스 광학장치에서 발생한 2-펄스 타켓(T)에 조사 되어 X선(1~10nm)및 극자외선(EUV,10~20nm)을 생성시킨다.It is irradiated to the 2-pulse target (T) generated in the two-pulse optical device having the above configuration to generate X-rays (1 ~ 10nm) and extreme ultraviolet (EUV, 10 ~ 20nm).
그리고 제 1 광분할수단(20)과 제 2광 분할수단(30)사이에는 상기 제 1광분할수단(20)에서 투과된 일부 레이져광의 편광상태를 변화시켜 에너지를 조절하도록 형성된 제 2 펄스에너지 조절수단(10B)이 설치된다.And adjusting the energy of the second pulse energy formed between the first light splitting means 20 and the second light splitting means 30 so as to control energy by changing the polarization state of some laser light transmitted by the first light splitting means 20.
상기 제 1 펄스에너지 조절수단(10A)은 위상지연판인 반파장판(Half waveplate)(10A)을 레이져광의 광로상에 설치하여 구성한다.The first pulse energy adjusting means 10A comprises a
그리고 상기 제 2 펄스에너지 조절수단(10B)은 소정의 간격을 두고 2개의 위상지연판(11B,13B)이 상기 제 1광분할수단(20)과 제 2광 분할수단(30)사이에 설치되고 상기 2개의 위상지연판(11B,13B)사이에는 레이져광의 수평성분만을 투과시키는 편광기(12B)가 설치되어 구성된다.In addition, the second pulse energy adjusting means 10B is provided with two
상기 지연시간 부가수단(40)은 상기 1광분할수단(20)에서 반사된 일부 레이져광을 반사하는 2개의 미러(41,42)다. 첫번째 미러는(41)는 상기 1광분할수단(20)에서 반사된 일부 레이져광을 두번째 미러(42)로 반사시키고 두번째 미러(12)는 상기 제 2광 분할수단(30)로 반사시킨다. The delay
한편, 상기 지연시간 부가수단(40)에도 상기 1광분할수단(20)에서 반사된 일부 레이져광의 편광상태를 변화시켜 에너지를 조절하도록 형성된 제 3 펄스에너지 조절수단(10C)이 설치된다. On the other hand, the delay
도 2에서 도시한 바와 같이, 상기 제 3 펄스에너지 조절수단(10C)은 소정의 간격을 두고 2개의 위상지연판(11C,13C)이 상기 지연시간 부가수단(40)의 두번째 미러(42)와 제2광 분할수단(30)사이에 설치되고 상기 2개의 위상지연판(11C,13C)사 이에는 레이져광의 수평성분만을 투과시키는 편광기(12C)가 설치되어 구성된다.As shown in FIG. 2, the third pulse energy adjusting means 10C has two
상기 제 1,2광 분할수단(20,30)는 일정한 수직수평성분을 갖는 레이져광을 일정한 수직수평성분비로 반사 및 투과시켜 레이져광을 분할하는 장치이다. The first and second light dividing means (20, 30) is a device for splitting the laser light by reflecting and transmitting the laser light having a constant vertical horizontal component at a constant vertical horizontal component ratio.
필요에 따라 레이져광의 일정한 수직수평성분비의 반사 및 투과율을 갖는 광 분할수단을 취사 선택하여 사용한다.If necessary, light division means having reflection and transmittance of a constant vertical horizontal component ratio of laser light is selected and used.
도 2에서 도시한 바와 같이, 상기 제 1,2광 분할수단(20,30)는 입사하는 레이져광에 45°받음각을 갖도록 설치된다.As shown in FIG. 2, the first and second light dividing means 20 and 30 are installed to have an angle of attack of 45 ° to the incident laser light.
이하, 빛의 특성과 위상지연판에 의한 편광상태변화에 따른 펄스에너지가 변화는 원리를 구체적으로 살펴본다.Hereinafter, the principle of the change in the pulse energy according to the change in polarization state by the characteristics of the light and the phase delay plate will be described in detail.
도 3은, 빛의 전자기파가 진행하는 모습을 나타낸 그림이다.3 is a diagram showing how electromagnetic waves of light travel.
도 4는, 빛의 위상지연에 따른 편광현상을 나타낸 그림이다.4 is a diagram illustrating a polarization phenomenon according to the phase delay of light.
도 3에서 도시한 바와 같이, 빛은 서로 수직으로 진동하고 있는 전자기장으로 구성된 전자기파로 표현할 수 있다. 도 3의 (a)는 XY-평면에서 전기장이, XZ-평면에서 자기장이 X-방향으로 진행하는 것을 보여준다. 전기장은 X 방향으로 진동하고 있고 이 방향은 조절할 수 있다. 자기장은 항상 전기장, 진행방향과 수직하면서 전기장-자기장-진행 방향이 오른손 좌표계를 이루게 된다. 더구나 자기장의 크기도 전기장의 크기와 비례하므로 빛의 전기장의 상태가 결정되면 자기장은 하나로 결정된다. 이에따라 빛의 편광상태를 묘사할때 때에 자기장의 상태는 나타내지 않아도 무관하다. As shown in FIG. 3, light may be represented by electromagnetic waves composed of electromagnetic fields vibrating perpendicularly to each other. 3 (a) shows that the electric field in the XY-plane and the magnetic field in the XZ-plane travel in the X-direction. The electric field is vibrating in the X direction, which can be adjusted. The magnetic field is always perpendicular to the electric field, direction of travel, and the direction of the electric field-magnetic field-progression forms the right hand coordinate system. In addition, since the magnitude of the magnetic field is proportional to the magnitude of the electric field, the magnetic field is determined as one when the state of the electric field of light is determined. Accordingly, when describing the polarization state of light, it is not necessary to indicate the state of the magnetic field.
도3의 (b)는 전기장 벡터파가 진행하고 있는 것을 보여준다. 3 (b) shows that the electric field vector wave is in progress.
일반적으로 백색광은 모든 가능한 각으로 진동하는 파들로 구성된다. 만일 빛이 특정한 한 평면 내에서 진동한다면 빛이 선형편광 되었다고 말한다. In general, white light consists of waves that vibrate at all possible angles. If light vibrates within a certain plane, it is said to be linearly polarized.
도 4의 (a)에서 도시한 바와 같이, 하나는 XZ평면에 또 하나는 XY평면에 편광된 빛이 있을 때, 만일 두 파의 위상이 같다면 이 두 벡터의 합은 45°기울어진 선형편광된 빛이 될 것이다. As shown in FIG. 4A, when there is light polarized in the XZ plane and in the XY plane, if the two waves are in phase, the sum of the two vectors is 45 ° inclined linearly polarized light. Will become light.
한편, 도 4의 (b)에서 도시한 바와 같이, 만일 두 파가 180°만큼 위상차이가 난다면 합성파는 반대방향으로 45°기울어진 파가 될 것이다. On the other hand, as shown in (b) of FIG. 4, if the two phases are 180 degrees out of phase, the synthesized wave will be a wave inclined 45 ° in the opposite direction.
도 4의 (C)에서 도시한 바와 같이, 만일 두 파가 90°위상차가 있다면 즉 하나의 파가 최대일 때 수직한 파는 최소가 된다면, 합성파는 원형편광이 될 것이다. 합성파의 전기장 벡터가 파가 진행할 때 원점을 주위로 회전을 한다. As shown in Fig. 4C, if the two waves have a 90 ° phase difference, that is, the vertical wave becomes the minimum when one wave is maximum, the synthesized wave will be circularly polarized. The electric field vector of the synthesized wave rotates around its origin as the wave travels.
위상차가 위의 경우를 제외한 대부분의 일반적인 경우에는 전기장 벡터의 자취가 타원형이기 때문에 타원편광이 된다.In most common cases where the phase difference is not the case above, the elliptical polarization is due to the elliptical trace of the electric field vector.
위와 같은 원리를 이용하여 상기 위상지연판(10A)은 레이져의 전기장 성분의 위상지연을 통해 전기장 성분을 바꾸어 펄스의 에너지를 조절할 수 있다.By using the above principle, the
위와 같은 구성을 갖는 펄스에너지 조절이 가능한 2-펄스 광학장치의 일 실시예의 동작상태를 구체적으로 살펴보면, 우선 상기 레이져 발생수단(P)에서 발생한 레이져광은 조리개(A1,A2)를 거쳐 제 1펄스에너지 조절수단인 위상지연판(10A)에서 전기장 성분이 변경된다. Looking at the operation state of the embodiment of the two-pulse optical device that can control the pulse energy having the above configuration in detail, first, the laser light generated by the laser generating means (P) is passed through the aperture (A1, A2) first pulse The electric field component is changed in the
그리고 상기 위상지연판(10A)에서 전기장 성분이 변경된 레이져광은 상기 제 1광분할수단(20)에 의하여 2분할된다. 분할된 레이져광의 에너지는 상기 제 1광분 할수단(20)의 일정한 수직성분, 수평성분의 투과율과 반사율 특성에 의해 결정된다. In addition, the laser light whose electric field component is changed in the
상기 제 1광분할수단(20)를 투과한 분할된 레이져광은 제 2펄스에너지 조절수단인 2개의 위상지연판(11B,13B)과 편광기(12B)에서 에너지를 조절할 수 있다.The split laser light transmitted through the first light splitting means 20 may control energy at two
상기 제 2펄스에너지 조절수단에서 에너지가 변경된 레이져광은 상기 제 2광분할수단(30)에 입사한다. The laser light whose energy is changed in the second pulse energy adjusting means is incident on the second light splitting means 30.
상기 제 1광분할수단(210a)를 반사한 분할된 레이져광은 상기 지연시간 부가수단(40)의 두개의 미러(41,42)들에 상기 제 1광분할수단(210a)를 투과한 분할된 레이져광보다 지연되도록 광로를 달리하게 된다.The divided laser light reflecting the first light dividing means 210a is divided into two
그리고 상기 제 1광분할수단(210a)를 반사한 분할된 레이져광은 제 3펄스에너지 조절수단인 2개의 위상지연판(11C,13C)과 편광기(12C)에서 에너지가 조절되어 역시 기 제 2광분할수단(30)에 입사한다. In addition, the divided laser light reflecting the first light splitting means 210a has the energy controlled by the two
결국 상기 제 2광분할수단(20)를 지난 후 조리개 A3방향과 빔블록(B) 방향으로 각각 2 개씩 총 4개의 분할된 레이져광이 지나가게 됨으로 양 방향 중 한 쪽 방향을 선택함으로써 원하는 에너지를 갖는 2-펄스 레이져광을 사용할 수 있다.As a result, after the second light splitting means 20, a total of four divided laser beams pass in two directions in the aperture A3 direction and the beam block B direction, respectively. The two-pulse laser light which has is used.
이하, 상기 광 분할 수단(200)에 의해 분할되는 레이져광중 첫 번째 펄스를 프리펄스(prepulse)라하고, 두 번째 펄스를 메인펄스(mainpulse)라 한다.Hereinafter, the first pulse of the laser beam divided by the
한편, 특정한 에너지를 갖는 2-펄스를 구성하기를 원한다면 이에 적절한 상기 제 1광분할수단(20)와 제 2광분할수단(30)를 선택하고 제 1펄스에너지 조절수단 인 위상지연판(10A)을 제외한 제2,3펄스에너지 조절수단(10B,10C)을 생략하여 간단 한 2-펄스를 발생시키는 다중 펄스 광학장치를 구성할 수 있다. On the other hand, if you want to configure a two-pulse having a specific energy, select the first light dividing means 20 and the second light dividing means 30 suitable for this and the
예를 들어, 레이져광의 수직성분 반사율이 100%인 특성을 갖는 제 1광분할수단(20)와 제 2광분할수단(30)를 설치했다면 제 1광분할수단(20)로부터 반사되는 레이져광은 수직성분만 가지게 된다. 반면에 상기 제 1광분할수단(30)를 투과한 레이져광은 수평성분만을 가지게 된다.For example, if the first light dividing means 20 and the second light dividing means 30 having the characteristic that the vertical component reflectance of the laser light is 100% are provided, the laser light reflected from the first light dividing means 20 is Only vertical components will be present. On the other hand, the laser light transmitted through the first light splitting means 30 has only a horizontal component.
이에 상기 제 1광분할수단(20)로부터 반사되어 수직성분만 가지는 레이져광은 상기 제 2광분할수단(30)에서도 100% 반사되기 때문에 에너지 손실 없이 조리개 A3방향으로 지나간다. Accordingly, since the laser light reflected from the first light dividing means 20 and having only a vertical component is reflected at 100% by the second light dividing means 30, it passes in the aperture A3 direction without energy loss.
그리고 상기 제 1광분할수단(20)로부터 투과되어 수평성분만 가지는 레이져광도 상기 제 2광분할수단(30)를 100%투과하므로 마찬가지로 에너지 손실 없이 조리개A3방향으로 지나간다. In addition, since the laser beam transmitted from the first light dividing means 20 and having only a horizontal component passes through the second light dividing means 30 at 100%, the laser light passes in the aperture A3 direction without energy loss.
따라서, 상기 제 1광분할수단(20)를 지나가기 전 단일 펄스의 에너지가 a인 레이져광은 위상지연판(10A)을 통해 수직성분과 수편성분의 성분 크기를 바꿀 수 있으므로 전체 에너지 중에 수직성분을 x%, 수평성분을 y% 만들었다고 가정하면 프리펄스(prepulse)에너지는 a×x/100, 메인펄스(mainpulse)에너지는 a×y/100이 된다. 가령 a=100mJ이고 프리펄스(prepulse)에너지가 10mJ이고 메인펄스(mainpulse)에너지가 90mJ인 2-펄스를 구성하고 싶다면 상기 위상지연판(110a)을 이용하여 x=90%, y=10%인 레이져광을 만들어주면 된다.Therefore, the laser light whose energy of a single pulse is a before passing through the first light dividing means 20 can change the component size of the vertical component and the hand piece component through the
만약 추가적으로 상기 제2,3 펄스에너지 조절수단(10B,10C)를 추가설치 한다면 프리펄스(prepulse) 에너지는 0mJ에서10mJ까지, 메인펄스(mainpulse)에너지는 0mJ에서90mJ까지 에너지를 조절할 수 있다.If the second and third pulse energy adjusting means 10B and 10C are additionally installed, the prepulse energy may be adjusted from 0 mJ to 10 mJ, and the main pulse energy from 0 mJ to 90 mJ.
한편 위와 같은 구성을 갖는 펄스에너지 조절이 가능한 2-펄스 광학장치이외에 다른 실시예로서 4-펄스 광학장치를 구성할 수 있다.On the other hand, in addition to the two-pulse optical device that can control the pulse energy having the above configuration can be configured as a four-pulse optical device as another embodiment.
도 5는, 본 발명에 따른 펄스에너지 조절이 가능한 4-펄스 광학장치의 일 실시예의 구성을 나타낸 블록도이다.5 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a four-pulse optical device capable of adjusting pulse energy according to the present invention.
도 6은, 도 5에서 도시한 펄스에너지 조절이 가능한 4-펄스 광학장치의 일 실시예의 구성을 나타낸 구성도이다.6 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a four-pulse optical device capable of adjusting the pulse energy shown in FIG.
도 5에서 도시한 바와 같이, 펄스에너지 조절이 가능한 4-펄스 광학장치는 As shown in Figure 5, the 4-pulse optical device capable of adjusting the pulse energy
레이져 발생수단(P)과 상기 레이져 발생수단에서 조사된 레이져광의 광로상에 설치되고, 상기 레이져광의 편광상태를 변화시켜 에너지를 조절하도록 형성된 제 1 펄스에너지 조절수단(100A)과 상기 제 1펄스에너지 조절수단(100A)을 통과한 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 및 투과시키는 제 1 광분할수단(200)과 상기 제 1광분할수단(200)에서 반사된 일부 레이져광을 지연시키도록 형성된 제 1지연시간 부가수단(500)과 상기 지연시간 부가수단(500)에서 지연된 일부 레이져광 및 상기 제 1광분할수단(200)에서 투과된 일부 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 및 투과시키는 제 2 광분할수단(300)과 상기 제 2광분할수단(300)에서 반사된 일부 레이져광을 지연시키도록 형성된 제 2지연시간 부가수단(600) 및 상기 지연시간 부가수단(600)에서 지연된 일부 레이져광 및 상기 제 2광분할수단(300)에서 투과된 일부 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 또는 투과시키는 제 3 광분할수단(400)을 포함하여 구성된다The first pulse energy adjusting means (100A) and the first pulse energy is installed on the laser generating means (P) and the optical path of the laser light irradiated from the laser generating means, and configured to change the polarization state of the laser light to control the energy. A first light dividing means (200) for reflecting and transmitting the laser light passing through the adjusting means (100A) at a specified vertical horizontal component ratio and a portion formed to delay some of the laser light reflected by the first light dividing means (200). And a second reflecting and transmitting some laser light delayed by the delay time adding means 500 and the delay time adding means 500 and some laser light transmitted by the first light splitting means 200 at a specified vertical horizontal component ratio. The second delay time adding means 600 and the delay time adding means 600 formed to delay the partial laser light reflected by the light splitting means 300 and the second light splitting means 300; Is configured to include a sub-laser beams and third means (400) to said second light splitting the reflected or transmitted from the
도 6에서 도시한 바와 같이, 4-펄스 광학장치는 앞서 언급한2펄스 광학장치에 제 3광분할수단(400)및 제 2지연시간 부가수단(600)이 추가로 설치된다. As shown in FIG. 6, in the four-pulse optical device, the third light splitting means 400 and the second delay time adding means 600 are additionally installed in the aforementioned two-pulse optical device.
상기 제 1,2,3 펄스에너지 조절수단(100A,100B,100C)은 도 2에서 도시한 2-펄스 광학장치의 제 1,2,3 펄스에너지 조절수단(10A,10B,10C)와 동일하다.The first, second and third pulse energy adjusting means 100A, 100B and 100C are the same as the first and second and third pulse energy adjusting means 10A, 10B and 10C of the two-pulse optical device shown in FIG. .
상기 제 4 펄스에너지 조절수단(100D)은 상기 제 2 광분할수단(300)과 제 3광 분할수단(400)사이에 편광기가 설치되어 구성된다.The fourth pulse energy control means (100D) is a polarizer is installed between the second light splitting means 300 and the third light splitting means (400).
상기 제 1지연시간 부가수단(500)은 도 2에서 도시한2-펄스 광학장치의 지연시간 부가수단(40)과 동일한 역할을 하고 4-펄스 광학장치에 추가되는 상기 제 2지연시간 부가수단(600)은 상기 2광분할수단(300)에서 반사된 일부 레이져광을 반사하는 3개의 미러(610,620,630)다. 첫번째,두번째 미러(610,620)는 상기 2광분할수단(300)에서 반사된 일부 레이져광을 세번째 미러(630)로 반사시키고 세번째 미러(630)는 상기 제 3광 분할수단(400)로 반사시킨다. The first delay time adding means 500 plays the same role as the delay time adding means 40 of the two-pulse optical device shown in FIG. 2 and is added to the four-pulse optical device. 600 are three
한편, 상기 제 2지연시간 부가수단(600)에도 상기 2광분할수단(300)에서 반사된 일부 레이져광의 편광상태를 변화시켜 에너지를 조절하도록 형성된 제 5 펄스에너지 조절수단(100E)이 설치된다.On the other hand, the second delay time adding means 600 is also provided with a fifth pulse energy adjusting means (100E) formed to change the polarization state of the laser light reflected by the second light splitting means 300 to control the energy.
상기 제 5 펄스에너지 조절수단(100E)은 상기 제 5 펄스에너지 조절수단(100E)의 세번째 미러(630)와 상기 제 3광 분할수단(400)사이에 설치된다. The fifth pulse energy adjusting means 100E is installed between the
상기와 같은 구성을 갖는 펄스에너지 조절이 가능한 4-펄스 광학장치는 도 2의 빔블록(beam block)(B) 방향으로 지나는 2개의 레이져광과 조리개 A3방향으로 지나가는 2 개의 레이져광을 이용하여 4개의 레이져광을 한 방향으로 지나가게 한다. The four-pulse optical device that can adjust the pulse energy having the above-described configuration uses four laser beams passing in the beam block B direction of FIG. 2 and two laser beams passing in the aperture A3 direction. Pass the laser light in one direction.
도 6에서 도시한 바와 같이, 4-펄스 광학장치는 상기 제 2광 분할수단(300)를 수직성분 반사율이 50±5%인 특성을 갖는 것으로 선택하여 설치한다. 이로써 상기 편광기 (120B,120C)에 의해 수평성분만 갖는 레이져광이 상기 제 2광 분할수단(300)를 투과하거나 반사되고 각각의 레이져광들은 에너지가 상기 제 2광 분할수단(300)를 지나기 전의 에너지의 반으로 갈라지게 되며 전기장 방향에도 변함이 없다. 즉, 도 6의 A방향으로 향하는 두 레이져광은 같은 방향의 전기장 방향을 가지거나 혹은 180도 위상차이를 갖게 만들 수 있다. 따라서 위상지연판(100D)를 이용하여 위상 지연을 시켜도 항상 같은 전기장 방향으로(혹은 180도 위상차로)변하게 된다. As shown in Fig. 6, the four-pulse optical device selects and installs the second light splitting means 300 as having a characteristic of having a vertical component reflectance of 50 ± 5%. As a result, the laser light having only a horizontal component is transmitted or reflected by the
마찬가지로 도 6의 B방향으로 향하는 두 레이져광도 같은 전기장 방향을 갖게 되므로 위상지연판(100E)를 통해서 두 레이져 광의 전기장 방향을 같거나 혹은 180도 위상차이가 나도록 만들 수 있다. Similarly, since the two laser beams toward the B direction of FIG. 6 have the same electric field direction, the two laser beams may have the same electric field direction or 180 degrees out of phase through the
이에 상기 위상지연판(100D)을 통해 도 6의 A방향의 두 레이져광은 수직성분으로 변화시키고, 상기 위상지연판(100E)을 통해서는 도 6의 B방향으로 지나가는 두 레이져광을 수평성분으로 만든다. 그리고 상기 제 3광 분할수단(400)를 수직성분 반사율이95±5%인 특성을 갖는것으로 설치하면 각각의 4개의 레이져 광들이 상기 제 3광 분할수단(400)를 지나가기 전의 에너지와 비교하여 거의 에너지손실 없이 4개의 레이져 광을 만들 수 있다. Accordingly, the two laser beams in the A direction of FIG. 6 are converted into vertical components through the
만약 상기 제 3광 분할수단(400)가 수평성분 반사율이95±5%인 특성을 갖는 것이라면 마찬가지로 상기 위상지연판(100D)을 통해 수평성분으로, 상기 위상지연판(100E)을 통해서는 수직성분으로 만들어주면 같은 효과를 나타낸다.If the third light splitting means 400 has a characteristic that the horizontal component reflectance is 95 ± 5%, the horizontal component is similarly horizontal through the
예를 들어 상기 제 1 광 분할수단(200)를 수직성분 반사율 100%인 광 분할수단으로 설치했다고 가정하면, 마찬가지로 상기 제 1 광 분할수단(200)로부터 반사된 레이져광은 수직성분만을 가지고, 반면에 투과된 레이져광은 수평성분만을 가지게 된다. For example, assuming that the
상기 제 1 광 분할수단(200)를 지나가기 전 단일 펄스의 에너지가 a인 레이져 광은 위상지연판(100A)를 통해 수평성분과 수직성분의 성분 크기를 바꿀 수 있으므로 전체 에너지 중에 수직성분을 x%, 수평성분을 y% 만들었다고 가정하면 상기 제 1 광 분할수단(200)로부터 반사되는 레이져 광의 에너지는 a×x/100이고, 상기 제 1 광 분할수단(200)로부터 투과되는 레이져 광의 에너지는a×y/100이 된다. 가령 a=100mJ이고 프리펄스(prepulse)에너지가 25mJ인 4-펄스를 만들고 싶다면 x=y=50%로 만들면 반사된 레이져 광의 에너지는 50mJ이고 투과된 레이져 광의 에너지는 50mJ이 된다. 도 6에서 도시한 C이 없다면 위의 언급했던 과정을 통해 각 펄스 에너지가 25mJ인 네 개의 펄스가 형성된다. 물론 상기 제 2,3펄스에너지 조절수단(100B,100C)을 설치한다면 각 펄스의 에너지를 25mJ이하로 조절할 수 있다. 여기서 첫 번째 프리펄스(prepulse), 두 번째 프리펄스(prepulse)의 에너지는 같은 크기로 조절되고, 첫 번째 메인펄스(mainpulse), 두 번째 메인펄스(mainpulse)에너지도 마찬가지로 같은 크기로 조절된다. The laser light whose energy of a single pulse is a before passing through the first light splitting means 200 can change the component size of the horizontal component and the vertical component through the
예를 들어 상기 제 1 광 분할수단(200)로부터 투과된 레이져 광을 상기 제 2펄스에너지 조절수단(100B)을 통해서 에너지를 60%로 줄여 30mJ로 만들고, For example, the laser light transmitted from the first light dividing means 200 is reduced to 60% through the second pulse energy adjusting means 100B to make 30 mJ,
상기 제 1 광 분할수단(200)로부터 반사된 레이져 광을 상기 상기 제 3펄스에너지 조절수단(100C)를 통해서80%를 줄여 40mJ로 만들었다면 15mJ, 20mJ, 15mJ, 20mJ인 네 개의 레이져 광을 만들 수 있다.If the laser light reflected from the first light dividing means 200 is reduced to 80% through the third pulse energy adjusting means 100C to make 40mJ, four laser lights of 15mJ, 20mJ, 15mJ, and 20mJ are produced. Can be.
이하, 위와 같은 펄스에너지 조절이 가능한 다중 펄스 광학장치에 의한 프리펄스(prepulse)와 메인펄스(mainpulse)간의 지연시간(delay time)의 조절에 대해서 살펴본다.Hereinafter, the adjustment of the delay time between the prepulse and the main pulse by the multi-pulse optical device capable of adjusting the pulse energy will be described.
2-펄스 광학장치의 경우, 도2 및 도 6에서 도시한 제 1광 분할수단(20,200)와 지연시간 부가수단(40,500)의 첫번째 미러(41,510)간의 거리(a)를 조정하여 지연시간(delay time)을 조절 할 수 있다.In the case of the 2-pulse optical device, the delay time is adjusted by adjusting the distance a between the first light dividing means 20,200 and the first mirrors 41,510 of the delay time adding means 40,500 shown in Figs. time can be adjusted.
4-펄스 광학장치의 경우, 도 4에서 도시한 제 2지연시간 부가수단(600)의 첫 번째 미러(610)와 두번째 미러(620)사이간의 거리(b)도 추가하여 조정함으로써 지연시간(delay time)을 조절 할 수 있다.In the case of the four-pulse optical device, the delay time (delay) is further adjusted by further adjusting the distance b between the
도 7은, 도 1에서 도시한 일 실시예를 통해 2-펄스가 진행되는 모습을 나타낸 그림이다.FIG. 7 is a diagram illustrating a two-pulse progressing through one embodiment shown in FIG. 1.
도 8은, 도 5에서 도시한 일 실시예를 통해 4-펄스가 진행되는 모습을 나타낸 그림이다.FIG. 8 is a diagram illustrating a 4-pulse progressing through the embodiment shown in FIG. 5.
도 7에서 도시한 바와 같이, 프리펄스(prepulse)와 메인펄스(mainpulse) 사 이의 상대적인 거리 차는 2a이다. 가령 a=45cm라면 빛의 속력을 고려하면3ns의 지연시간이 생긴다. As shown in FIG. 7, the relative distance difference between the prepulse and the main pulse is 2a. For example, if a = 45cm, considering the speed of light, there is a 3ns delay.
도 8에서 도시한 바와 같이, 4-펄스 광학장치는 각각의 펄스들의 거리차이가 a와 b에 의해 결정된다. 첫 번째 프리펄스(prepulse)가 조리개A4까지 움직인 거리를 0으로 가정하면 각 펄스들이 상대적으로 움직인 거리는 다음과 같이 된다.As shown in Fig. 8, in the 4-pulse optical device, the distance difference of each pulse is determined by a and b. Assuming that the first prepulse has moved to the aperture A4 as 0, the distance that each pulse has moved relative to is as follows.
첫 번째 프리펄스(prepulse) : 0, 첫 번째 메인펄스(mainpulse) :2a1st prepulse: 0, 1st mainpulse: 2a
두 번째 프리펄스(prepulse) : 2b 두 번째 메인펄스(mainpulse): 2a+2bSecond prepulse: 2b Second mainpulse: 2a + 2b
위와 같이 각 펄스들간의 경로차는 2a, 2b-2a, 2a가 된다. As above, the path differences between the pulses are 2a, 2b-2a, and 2a.
도 9는, 도 5에서 도시한 4-펄스 광학장치의 일 실시예를 적용하여 각 펄스들의 간격을 측정한 그림이다.FIG. 9 is a diagram measuring intervals of respective pulses by applying an embodiment of the four-pulse optical device shown in FIG. 5.
도 9의 (a)는 하나의 펄스 모양을 측정한 결과이고, 도 9의(b)는 a=45cm, b=90cm로 펄스간의 간격이 3ns, 3ns, 3ns인 그림이고, 도 9의(c)는 a=45cm, b=120cm인 경우로 펄스간의 간격이 3ns, 5ns, 3ns인 그림이다.FIG. 9 (a) shows the result of measuring one pulse shape. FIG. 9 (b) shows a = 45cm and b = 90cm intervals between pulses of 3ns, 3ns and 3ns, and FIG. 9 (c). ) Is a case where a = 45cm, b = 120cm and the interval between pulses is 3ns, 5ns, 3ns.
도10은, 메인펄스(mainpulse)에너지가 60mJ일 때, 프리펄스(prepulse)에너지와 지연시간(Delay time)에 따른 변환효율을 나타낸 그림이다.FIG. 10 is a diagram showing conversion efficiency according to prepulse energy and delay time when the main pulse energy is 60 mJ.
도 10에서 도시한 바와 같이, 지연시간이 3ns미만에서는 지연시간이 짧아질수 록 프리펄스(prepulse)에 상관없이 변환효율이 떨어짐을 알 수 있다.As shown in FIG. 10, when the delay time is less than 3 ns, the shorter the delay time, the lower the conversion efficiency regardless of the prepulse.
그리고 지연시간이 3ns에서 6ns까지는 프리펄스(prepulse)에너지에 상관없이 변환효율이 거의 같은 결과를 얻어짐을 알 수 있다.And the delay time is 3ns to 6ns, the conversion efficiency is almost the same regardless of the prepulse energy.
도 11은, 지연시간이 6ns일 때, 단일 펄스 입사시와 프리펄스(prepluse) 존 재시의 포토다이오드 전류값을 비교한 그림이다.FIG. 11 is a diagram comparing the photodiode current value at the time of single pulse incidence and the presence of prepluse when the delay time is 6ns.
또한, 도 11은 지연시간(delay time)이 6ns에서 에너지가 60mJ인 단일 펄스를 입사시켰을 때 포토다이오드 전류값과 프리펄스(prepulse)에너지가 8mJ인 2-펄스를 도입했을 때 XUV-100TiC에 Al800nm/Ti600nm 필터를 장착한 포토다이오드 전류값을 비교한 그림이다. 도 11에서 도시한 바와 같이, 프리펄스(prepulse)가 있는 경우가 프리펄스(prepulse)가 없는 경우보다 포토다이오드 전류값이 11배 가량 증가하였음을 알수 있다.11 shows Al800nm in XUV-100TiC when two pulses of photodiode current value and prepulse energy of 8mJ are introduced when a single pulse of 60mJ energy is incident at a delay time of 6ns. This figure compares the photodiode current values with the / Ti600nm filter. As shown in FIG. 11, it can be seen that the photodiode current value is increased by about 11 times when the prepulse is present than when there is no prepulse.
도 12는, 지연시간이 6ns일때, 단일 펄스 입사시와 프리펄스(prepluse) 존재시 변환효율을 비교한 그림이다. 12 is a graph comparing the conversion efficiency when a single pulse is incident and when a preplus is present when the delay time is 6 ns.
도 12는 60mJ인 단일 펄스 에너지를 입사한 경우와 다양한 프리펄스(prepluse)에너지가 존재할 때의 펄스에너지에 따른 물의 창 영역의 X선 에너지로 바뀌는 변환효율을 비교한 것이다.FIG. 12 compares the conversion efficiency of changing the X-ray energy of the window region of water according to the pulse energy when a single pulse energy of 60 mJ is incident and the presence of various prepulse energy.
여기서 x-축은 메인펄스(mainpulse)에너지이고, y-축은 변환효율(CE)을 나타낸다. 각각의 프리펄스(prepulse )에너지는 색깔과 모양으로 구별한다.Here, the x-axis represents the main pulse energy and the y-axis represents the conversion efficiency CE. Each prepulse energy is distinguished by its color and shape.
도 12에서 도시한 바와 같이, 2-펄스 광학장치를 이용한 실험결과 단일 펄스에너지 60mJ를 입사시킨 경우보다 프리펄스(prepulse) 에너지를 8mJ 입사시켰을 경우가 변환 효율(CE)이 10배 가량 향상된 것으로 나타난다.As shown in FIG. 12, as a result of the experiment using the 2-pulse optical device, the conversion efficiency (CE) is increased by about 10 times when the prepulse energy is incident by 8 mJ than when the single pulse energy is 60 mJ. .
이상에서 본 발명에 따른 펄스에너지 조절이 가능한 다중 펄스 광학장치 의 바람직한 실시 예에 대해 설명하였으나, 본 기술 분야의 당업자라면 첨부된 특허청구범위를 벗어남이 없이 다양한 변형 예 및 수정 예를 실시할 수 있을 것으로 이해 된다.Although a preferred embodiment of a multi-pulse optical device capable of adjusting pulse energy according to the present invention has been described above, those skilled in the art may implement various modifications and modifications without departing from the scope of the appended claims. It is understood.
도 1은, 본 발명에 따른 펄스에너지 조절이 가능한 2-펄스 광학장치의 일 실시예의 구성을 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a two-pulse optical device capable of adjusting pulse energy according to the present invention.
도 2는, 도 1에서 도시한 펄스에너지 조절이 가능한 2-펄스 광학장치의 일 실시예의 구성을 나타낸 구성도이다.FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a two-pulse optical device capable of adjusting pulse energy shown in FIG.
도 3은, 빛의 전자기파가 진행하는 모습을 나타낸 그림이다.3 is a diagram showing how electromagnetic waves of light travel.
도 4는, 빛의 위상지연에 따른 편광현상을 나타낸 그림이다.4 is a diagram illustrating a polarization phenomenon according to the phase delay of light.
도 5는, 본 발명에 따른 펄스에너지 조절이 가능한 4-펄스 광학장치의 일 실시예의 구성을 나타낸 블록도이다.5 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a four-pulse optical device capable of adjusting pulse energy according to the present invention.
도 6은, 도 5에서 도시한 펄스에너지 조절이 가능한 4-펄스 광학장치의 일 실시예의 구성을 나타낸 구성도이다.6 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a four-pulse optical device capable of adjusting the pulse energy shown in FIG.
도 7은, 도 1에서 도시한 일 실시예를 통해 2-펄스가 진행되는 모습을 나타낸 그림이다.FIG. 7 is a diagram illustrating a two-pulse progressing through one embodiment shown in FIG. 1.
도 8은, 도 5에서 도시한 일 실시예를 통해 4-펄스가 진행되는 모습을 나타낸 그림이다.FIG. 8 is a diagram illustrating a 4-pulse progressing through the embodiment shown in FIG. 5.
도 9는, 도 5에서 도시한 4-펄스 광학장치의 일 실시예를 적용하여 각 펄스들의 간격을 측정한 그림이다.FIG. 9 is a diagram measuring intervals of respective pulses by applying an embodiment of the four-pulse optical device shown in FIG. 5.
도10은, 메인펄스(mainpulse)에너지가 60mJ일 때, 프리펄스(prepulse)에너지와 지연시간(Delaytime)에 따른 변환효율을 나타낸 그림이다.FIG. 10 is a diagram showing conversion efficiency according to prepulse energy and delay time when the main pulse energy is 60 mJ.
도 11은, 지연시간이 6ns일 때, 단일 펄스 입사시와 프리펄스(prepluse) 존재시의 포토다이오드 전류값을 비교한 그림이다.FIG. 11 is a diagram comparing the photodiode current values when a single pulse is incident and when a preplus is present when the delay time is 6 ns.
도 12는, 지연시간이 6ns일때, 단일 펄스 입사시와 프리펄스(prepluse) 존재시 변환효율을 비교한 그림이다. 12 is a graph comparing the conversion efficiency when a single pulse is incident and when a preplus is present when the delay time is 6 ns.
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