KR20090014772A - Apparatus and method manufacturing display device substrate - Google Patents

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KR20090014772A
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Abstract

A manufacturing device of a display device board and a manufacturing method thereof are provided to perform an easy detachment of a flexible substrate by blocking currents supplied to plural electromagnet units, after a pattern process of the flexible substrate is completed, by using the plural electromagnet units, thereby preventing bending or scratches occurring during detachment. A supporter(230) supports a flexible board(210) consisting of metal foil. An adhesive layer fixes the flexible board by being applied to the supporter. A current supplier(270) supplies currents flowing into electromagnet units(250) disposed on the supporter by being electrically connected with the electromagnet units. The current suppliers block the currents supplied to electromagnets when the flexible board whose patterns are completed is detached. The electromagnet units are disposed in parallel structure at certain intervals on the supporter.

Description

표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법{APPARATUS AND METHOD MANUFACTURING DISPLAY DEVICE SUBSTRATE}Manufacturing apparatus and method for manufacturing a substrate for display device {APPARATUS AND METHOD MANUFACTURING DISPLAY DEVICE SUBSTRATE}

본 발명은 표시장치용 기판의 제조장치에 관한 것으로서, 특히 플렉서블 기판의 휨을 개선할 수 있는 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a substrate for a display device, and more particularly, to an apparatus for manufacturing a substrate for a display device and a method for manufacturing the same, which can improve the warpage of a flexible substrate.

일반적으로 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(Cathode Ray Tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보 단말기기 등의 모니터에 주로 이용되고 있으나, CRT의 자체 무게와 크기로 인해 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극적으로 대응할 수 없었다.CRT (Cathode Ray Tube), one of the commonly used display devices, is mainly used for monitors such as TVs, measuring devices, and information terminal devices.However, due to the weight and size of the CRT itself, Could not respond actively to demands.

따라서, 각종 전자제품의 소형, 경량화되는 추세에서 CRT는 무게나 크기 등에 있어서 일정한 한계가 있으며, 이를 대체할 것으로 예상되는 것으로 전계 광학적인 효과를 이용한 액정표시장치(Liquid Crystal Display :LCD), 가스방전을 이용한 플라즈마 표시소자(PDP : Plasma Display Panel) 및 전계 발광 효과를 이용한 EL 표시소자(ELD : Electro Luminescence Display) 등이 있으며, 그 중에서 액정표시장치에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.Therefore, in the trend of miniaturization and weight reduction of various electronic products, CRT has a certain limit in weight and size, and is expected to replace the liquid crystal display (LCD) and gas discharge using electro-optic effects. Plasma Display Panel (PDP) and Electro Luminescence Display (ELD) using the electroluminescent effect, and the like, among them, researches on liquid crystal displays are being actively conducted.

액정표시장치는 크게 액정표시패널, 백라이트 유닛 및 구동부로 이루어진다. 액정표시패널은 박막 트랜지스터(TFT: thin film transistor)가 형성된 박막 트랜지스터 기판, 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판 및 상기 박막 트랜지스터 기판과 컬러필터 기판 사이에 채워진 액정층을 포함한다.The liquid crystal display device is largely composed of a liquid crystal display panel, a backlight unit, and a driver. The liquid crystal display panel includes a thin film transistor substrate on which a thin film transistor (TFT) is formed, a color filter substrate on which a color filter is formed, and a liquid crystal layer filled between the thin film transistor substrate and the color filter substrate.

최근에는 박막 트랜지스터 기판 및 컬러필터 기판의 베이스가 되는 기판소재로 유리보다 얇으면서 플렉서블(flexible)하여 휴대용 표시장치를 구성하는데 적당한 플렉서블 기판이 많이 사용되고 있다. 상기 플렉서블 기판은 플라스틱(plastic) 기판 또는 메탈 포일(matal foil) 기판 등이 사용된다.Recently, a flexible substrate suitable for forming a portable display device, which is thinner than glass and flexible, is used as a substrate material serving as a base of a thin film transistor substrate and a color filter substrate. The flexible substrate may be a plastic substrate or a metal foil substrate.

그러나, 플렉서블 기판은 플렉서블(flexible)한 특성 때문에 표시장치용 기판의 제조공정(예를 들면, 박막 트랜지스터 형성 또는 컬러필터 형성)에서 박막 트랜지스터 또는 컬러필터 형성이 제대로 되지 않아 기판의 제조불량이 발생하는 문제가 있었다.However, the flexible substrate is not flexible to form the thin film transistor or the color filter during the manufacturing process of the display device substrate (for example, the thin film transistor formation or the color filter formation) due to the flexible characteristics, resulting in poor manufacturing of the substrate. There was a problem.

본 발명은 표시장치용 기판의 휨을 방지할 수 있는 표시장치용 기판의 제조장치를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a substrate for display device, which can prevent the warping of the substrate for display device.

또한, 본 발명은 표시장치용 기판의 휨을 방지하여 표시장치용 기판의 제조불량을 개선할 수 있는 표시장치용 기판의 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a display device substrate that can prevent the bending of the display device substrate to improve the manufacturing defect of the display device substrate.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치는,An apparatus for manufacturing a substrate for display device according to an embodiment of the present invention,

플렉서블 기판을 지지하는 지지부; 및A support for supporting a flexible substrate; And

상기 지지부 상에 도포되어 상기 플렉서블 기판을 고정하는 점착층을 포함하여 이루어진다.And an adhesive layer applied on the support to fix the flexible substrate.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치는,In addition, an apparatus for manufacturing a substrate for a display device according to another embodiment of the present invention,

메탈 포일(metal foil)로 이루어진 플렉서블 기판을 지지하는 지지부;A support for supporting a flexible substrate made of metal foil;

상기 지지부 상에 마련되는 전자석 부; 및An electromagnet portion provided on the support portion; And

상기 전자석 부와 전기적으로 접속되어 상기 전자석 부에 흐르는 전류를 공급하는 전류 공급부를 포함하여 이루어진다.And a current supply part electrically connected to the electromagnet part to supply a current flowing through the electromagnet part.

또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조방법은,In addition, the manufacturing method of the substrate for a display device according to another embodiment of the present invention,

지지부 상에 메탈 포일(metal foil)로 이루어진 플렉서블 기판이 안착되는 단계;Mounting a flexible substrate made of metal foil on the support;

상기 지지부 상에 마련된 복수의 전자석 부에 전류를 공급하는 단계;Supplying current to a plurality of electromagnet portions provided on the support portion;

상기 플렉서블 기판 상에 패턴공정을 수행하는 단계; 및Performing a pattern process on the flexible substrate; And

상기 플렉서블 기판의 패턴공정이 완료된 후 상기 복수의 전자석 부에 공급되는 전류를 차단하여 상기 플렉서블 기판을 탈착하는 단계를 포함하여 이루어진다.And removing the flexible substrate by blocking currents supplied to the plurality of electromagnet parts after the pattern process of the flexible substrate is completed.

본 발명은 지지부 상에 점착층이 마련되어 플렉서블 기판을 지지부 상에 완고하게 고정하여 플랙서블 기판의 휨을 개선하여 패턴불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.The present invention has an effect that the adhesive layer is provided on the support to firmly fix the flexible substrate on the support to improve the warpage of the flexible substrate to prevent pattern defects.

또한, 본 발명은 지지부 상에 마련된 복수의 전자석 부를 이용하여 상기 플렉서블 기판의 휨을 방지할 뿐만 아니라 유동을 방지함으로써, 패턴불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention not only prevents the bending of the flexible substrate by using a plurality of electromagnet portions provided on the support portion, but also prevents flow, thereby preventing pattern defects.

또한, 본 발명은 지지부 상에 마련된 복수의 전자석 부를 이용하여 플렉서블 기판의 패턴공정이 완료된 후 복수의 전자석 부에 공급되는 전류를 차단하여 플렉서블 기판의 탈착을 용이하게 함으로써, 탈착 시에 발생할 수 있는 꺾임 또는 스크레치 등의 불량을 개선할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention by using a plurality of electromagnets provided on the support portion after the pattern process of the flexible substrate is completed by blocking the current supplied to the plurality of electromagnets to facilitate the detachment of the flexible substrate, the bending that may occur during detachment Or there is an effect that can improve the defects, such as scratches.

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings to describe the present invention in more detail.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 라인을 따라 절단한 표시장치용 기판의 제조장치를 도시한 단면도이다. 1 is a plan view schematically illustrating an apparatus for manufacturing a substrate for a display device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 illustrates an apparatus for manufacturing a substrate for a display device cut along a line II ′ of FIG. 1. One cross section.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치는 플렉서블 기판(110)을 지지하는 지지부(130)와, 상기 지지부(130) 상에 도포된 점착층(131)을 포함한다.1 and 2, the apparatus for manufacturing a display device substrate according to an exemplary embodiment of the present invention includes a support 130 supporting the flexible substrate 110 and a coating on the support 130. The adhesive layer 131 is included.

플렉서블 기판(110)은 표시장치용 기판으로써, 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되는 박막 트랜지스터 기판 또는 컬러필터(CF)가 형성되는 컬러필터 기판 중 어느 하나의 베이스 기판이다.The flexible substrate 110 is a substrate for a display device and is either a thin film transistor substrate on which a thin film transistor TFT is formed or a base filter substrate on which a color filter CF is formed.

플렉서블 기판(110)은 0.3t 이하의 플라스틱 기판 또는 메탈 포일 기판으로 이루어진다.The flexible substrate 110 is made of a plastic substrate or a metal foil substrate of 0.3t or less.

지지부(130)는 상기 플렉서블 기판(110)보다 넓은 면적을 가지는 면형태로써, 상기 플렉서블 기판(100)의 박막 트렌지스터(TFT) 또는 컬러필터(CF) 형성 공정 시에 플렉서블 기판(110)의 휘어짐을 방지하기 위해 구비된다.The support unit 130 has a surface area larger than that of the flexible substrate 110 and prevents the bending of the flexible substrate 110 during the process of forming a thin film transistor (TFT) or a color filter (CF) of the flexible substrate 100. Is provided to prevent.

점착층(131)은 상기 지지부(130) 상에 안착되는 플렉서블 기판(110)의 유동을 방지하기 위해 마련된다.The adhesive layer 131 is provided to prevent the flow of the flexible substrate 110 mounted on the support 130.

다시 말해, 점착층(131)은 플렉서블 기판(110) 상에 형성되는 박막 트랜지스터(TFT) 또는 컬러필터(CF)의 제조공정 시에 플렉서블 기판(110)의 유동에 의한 패턴불량을 개선하기 위해 마련된다.In other words, the adhesive layer 131 is provided to improve pattern defects caused by the flow of the flexible substrate 110 during the manufacturing process of the thin film transistor TFT or the color filter CF formed on the flexible substrate 110. do.

이상에서 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치는 플렉서블 기판(110)의 휨을 개선하기 위해 지지부(130) 상에 점착층(131)을 구비함으로써, 플렉서블 기판(110)의 휨에 의한 패턴불량을 개선할 수 있을 뿐만 아니라 플렉서블 기판(110)의 유동에 의한 패턴불량을 개선할 수 있다.The apparatus for manufacturing a display device substrate according to the exemplary embodiment of the present invention described above includes the adhesive layer 131 on the support part 130 to improve the warpage of the flexible substrate 110, thereby providing a flexible substrate 110. Not only can a pattern defect due to bending be improved, but a pattern defect due to the flow of the flexible substrate 110 can be improved.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 4는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ' 라인을 따라 절단한 표시장치용 기판의 제조장치를 도시한 단면도이다.3 is a plan view schematically illustrating an apparatus for manufacturing a substrate for a display device according to another exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4 illustrates an apparatus for manufacturing a substrate for a display device cut along a line II-II ′ of FIG. 3. One cross section.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치는 플렉서블 기판(210)을 지지하는 지지부(230)와, 상기 지지부(230) 상에 위치하여 상기 플렉서블 기판(210)과 접촉되는 복수의 전자석 부(250)를 포함한다.As shown in FIGS. 3 and 4, a manufacturing apparatus of a substrate for a display device according to another exemplary embodiment of the present invention may include a support 230 supporting the flexible substrate 210 and a location on the support 230. It includes a plurality of electromagnet portion 250 in contact with the flexible substrate 210.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 구성요소 중 플렉서블 기판(210), 전자석 부(250) 및 전류 공급부(270)를 제외한 구성요소는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 구성요소와 동일함으로 상세한 설명은 생략하기로 한다.Components excluding the flexible substrate 210, the electromagnet unit 250, and the current supply unit 270 of the components of the apparatus for manufacturing a display device substrate according to another embodiment of the present invention may be displayed according to an embodiment of the present invention. The same description as the components of the apparatus for manufacturing the apparatus substrate will be omitted.

플렉서블 기판(210)은 메탈 포일(metal foil)로 이루어진다.The flexible substrate 210 is made of metal foil.

플렉서블 기판(210)은 자성을 가지는 물질로 이루어진다. 즉, 플렉서블 기판(210)은 철(Fe), 알류미늄(Al) 등의 자성을 가지는 메탈이 함유되거나 상기 철 및 알류미늄 이외의 메탈 중 자성을 가지는 메탈이 함유될 수 있다.The flexible substrate 210 is made of a magnetic material. That is, the flexible substrate 210 may contain a metal having magnetic properties such as iron (Fe) and aluminum (Al), or may contain a metal having magnetic properties among metals other than the iron and aluminum.

플렉서블 기판(210) 상에는 절연층(213)이 마련된다. 상기 절연층(213)은 유기막, 무기막 및 이들의 적층막 중 어느 하나일 수 있다.The insulating layer 213 is provided on the flexible substrate 210. The insulating layer 213 may be any one of an organic film, an inorganic film, and a stacked film thereof.

지지부(230) 상에는 일정한 간격을 두고 마련된 복수의 전자석 부(250)를 포함한다.The support 230 includes a plurality of electromagnet portions 250 provided at regular intervals.

전자석 부(250)는 상기 지지부(230)의 상면 즉, 플렉서블 기판(210)과 대응 되는 면에 위치한다. 즉, 전자석 부(250)는 상세히 도시되지는 않았지만, 상기 지지부(230) 상에 돌출되지 않고, 지지부(230) 상에 마련된 요홈부(미도시)에 삽입된 형태로 마련된다.The electromagnet unit 250 is positioned on an upper surface of the support 230, that is, a surface corresponding to the flexible substrate 210. That is, although not shown in detail, the electromagnet portion 250 is provided in a form inserted into a recess (not shown) provided on the support portion 230 does not protrude on the support portion 230.

상기 플렉서블 기판(210)과 대응되는 지지부(230)의 상면과 상기 전자석 부(250)의 상면은 평면을 이루고, 상기 플렉서블 기판(210)은 상기 지지부(230)의 상면 및 전자석 부(250)의 상면과 접촉된다.The upper surface of the support 230 corresponding to the flexible substrate 210 and the upper surface of the electromagnet portion 250 form a plane, and the flexible substrate 210 of the upper surface of the support 230 and the electromagnet portion 250 In contact with the top surface.

전류 공급부(270)는 상기 전자석 부(250)와 전기적으로 접속된다. 도면에서는 복수의 전자석 부(250)가 병렬구조로 이루어지고, 상기 전류 공급부(270)는 이들과 전기적으로 접속됨을 알 수 있다.The current supply unit 270 is electrically connected to the electromagnet unit 250. In the figure it can be seen that the plurality of electromagnet portion 250 is formed in a parallel structure, the current supply unit 270 is electrically connected to them.

전류 공급부(270)는 상기 전자석 부(250)에 전류를 흐르게 하여 전자석 부(250)가 자기화되게 하거나, 상기 전자석 부(250)로 공급되는 전류를 차단하여 전자석 부(250)가 자기화되지 않게 한다.The current supply unit 270 causes the electromagnet unit 250 to magnetize by flowing a current through the electromagnet unit 250, or blocks the current supplied to the electromagnet unit 250 so that the electromagnet unit 250 is not magnetized. Do not

본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조방법을 단계별로 설명하도록 한다. 먼저, 지지부(230) 상에 플렉서블 기판(210)이 안착된다.A manufacturing method of a substrate for a display device according to another exemplary embodiment of the present invention will be described step by step. First, the flexible substrate 210 is mounted on the support 230.

전류 공급부(270)는 상기 복수의 전자석 부(250)로 전류를 공급한다. 상기 복수의 전자석 부(250)에 전류가 공급되면, 전자석 부(250)는 자기화되어 자성을 가지는 플렉서블 기판(210)이 상기 전자석 부(250)에 부착된다.The current supply unit 270 supplies current to the plurality of electromagnet units 250. When a current is supplied to the plurality of electromagnet parts 250, the electromagnet part 250 is magnetized so that the flexible substrate 210 having magnetic properties is attached to the electromagnet part 250.

상기 플렉서블 기판(210)이 전자석 부(250)에 부착되면 박막 트랜지스터(TFT) 또는 컬러필터(CF) 형성공정이 진행된다.When the flexible substrate 210 is attached to the electromagnet unit 250, a process of forming a thin film transistor TFT or a color filter CF is performed.

상기 플렉서블 기판(210) 상에 박박 트랜지스터(TFT) 또는 컬러필터(CF) 형 성 공정이 완료되면, 상기 전류 공급부(270)는 전자석 부(250)에 공급되는 전류를 차단한다. 즉, 전자석 부(250)는 전류가 흐르지 않기 때문에 자기화되지 않고, 이에 따라 자성을 가지는 플렉서블 기판(210)의 탈착을 용이하게 할 수 있다.When the thin film transistor TFT or color filter CF forming process is completed on the flexible substrate 210, the current supply unit 270 cuts off the current supplied to the electromagnet unit 250. That is, the electromagnet unit 250 is not magnetized because no current flows, thereby facilitating detachment of the flexible substrate 210 having magnetic properties.

이상에서 설명한 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치는 지지부(230) 상에 마련된 복수의 전자석 부(250)를 이용하여 상기 플렉서블 기판(210)을 지지부(230) 상에 완고하게 고정함으로써, 플렉서블 기판(210)의 휨을 방지할 뿐만 아니라 유동을 방지할 수 있다. 즉, 본 발명은 박막 트랜지스터(TFT) 및 컬러필터(CF) 형성 공정 시에 플렉서블 기판(210)의 휨 또는 유동에 의한 패턴 불량을 방지할 수 있다.In the apparatus for manufacturing a display device substrate according to another embodiment of the present invention described above, the flexible substrate 210 is hardened on the support unit 230 using the plurality of electromagnet units 250 provided on the support unit 230. By firmly fixing, the bending of the flexible substrate 210 can be prevented as well as the flow can be prevented. That is, the present invention can prevent a pattern defect due to bending or flow of the flexible substrate 210 during the thin film transistor TFT and color filter CF formation process.

또한, 본 발명은 플렉서블 기판(210)의 패턴공정이 완료된 후 복수의 전자석 부(250)에 공급되는 전류를 차단하여 플렉서블 기판(210)의 탈착을 용이하게 함으로써, 탈착 시에 발생할 수 있는 꺾임 또는 스크레치 등의 불량을 개선할 수 있다.In addition, the present invention facilitates the detachment of the flexible substrate 210 by blocking the current supplied to the plurality of electromagnet parts 250 after the pattern process of the flexible substrate 210 is completed, thereby causing the bending or Defects such as scratches can be improved.

본 발명의 다른 실시예의 플렉서블 기판(210)은 자성을 가지는 메탈 포일(metal foil)로 이루어지는 것으로 한정하여 설명하고 있지만, 이에 한정하지 않고, 플라스틱(plastic) 재질 및 자성을 가지는 메탈 재질을 포함하여 이루어질 수도 있다. 즉, 플렉서블 기판은 상기 전자석 부(250)와 대응되는 영역에만 메탈 재질로 이루어질 수 있다. The flexible substrate 210 according to another embodiment of the present invention has been described as being made of a metal foil having magnetic properties. However, the flexible substrate 210 is not limited thereto and includes a plastic material and a metal material having magnetic properties. It may be. That is, the flexible substrate may be made of a metal material only in a region corresponding to the electromagnet portion 250.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.1 is a plan view schematically illustrating an apparatus for manufacturing a substrate for a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 라인을 따라 절단한 표시장치용 기판의 제조장치를 도시한 단면도이다. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a manufacturing apparatus of a substrate for a display device cut along the line II ′ of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.3 is a plan view schematically illustrating a manufacturing apparatus of a substrate for a display device according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ' 라인을 따라 절단한 표시장치용 기판의 제조장치를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating a manufacturing apparatus of a substrate for a display device cut along a line II-II ′ of FIG. 3.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

110, 210 : 플렉서블 기판 130, 230 : 지지부110, 210: flexible substrate 130, 230: support portion

131 : 점착층 250 : 전자석 부131: adhesive layer 250: electromagnet part

270 : 전류 공급부270 current supply unit

Claims (9)

플렉서블 기판을 지지하는 지지부; 및A support for supporting a flexible substrate; And 상기 지지부 상에 도포되어 상기 플렉서블 기판을 고정하는 점착층을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.And a pressure-sensitive adhesive layer applied on the support part to fix the flexible substrate. 메탈 포일(metal foil)로 이루어진 플렉서블 기판을 지지하는 지지부;A support for supporting a flexible substrate made of metal foil; 상기 지지부 상에 마련되는 전자석 부; 및An electromagnet portion provided on the support portion; And 상기 전자석 부와 전기적으로 접속되어 상기 전자석 부에 흐르는 전류를 공급하는 전류 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.And a current supply part electrically connected to the electromagnet part to supply a current flowing through the electromagnet part. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 전류 공급부는 패턴이 완료된 상기 플렉서블 기판의 탈착시에 상기 전자석으로 공급되는 전류를 차단하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.And the current supply unit cuts off the current supplied to the electromagnet when the patterned flexible substrate is detached. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 복수의 전자석 부는 상기 지지부 상에 일정한 간격을 두고 병렬구조로 마련된 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.And the plurality of electromagnet parts are arranged in parallel on the support part at a predetermined interval. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 플렉서블 기판은 자성을 가지는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.And wherein the flexible substrate is made of a material having magnetic properties. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 플렉서블 기판은 상기 전자석 부와 대응되는 영역을 제외한 영역이 플라스틱 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.The flexible substrate is a manufacturing apparatus of a display device substrate, characterized in that the region except for the region corresponding to the electromagnet portion is made of a plastic material. 지지부 상에 메탈 포일(metal foil)로 이루어진 플렉서블 기판이 안착되는 단계;Mounting a flexible substrate made of metal foil on the support; 상기 지지부 상에 마련된 복수의 전자석 부에 전류를 공급하는 단계;Supplying current to a plurality of electromagnet portions provided on the support portion; 상기 플렉서블 기판 상에 패턴공정을 수행하는 단계; 및Performing a pattern process on the flexible substrate; And 상기 플렉서블 기판의 패턴공정이 완료된 후 상기 복수의 전자석 부에 공급되는 전류를 차단하여 상기 플렉서블 기판을 탈착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.And removing the flexible substrate by cutting off currents supplied to the plurality of electromagnet parts after the patterning process of the flexible substrate is completed. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 복수의 전자석 부는 상기 지지부 상에 일정한 간격을 두고 병렬구조로 마련된 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.The plurality of electromagnet parts are provided in a parallel structure at a predetermined interval on the support portion manufacturing method substrate for a display device. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 플렉서블 기판은 자성을 가지는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.And the flexible substrate is made of a material having magnetic properties.
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