KR20090010833A - 액정표시패널의 검사장치 및 검사방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시패널의 검사장치 및 검사방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치는 박막트랜지스터 어레이기판상에 일정 간격을 두고 형성된 복수개의 LOG 배선; 상기 어레이기판상에 형성되고, 상기 복수개의 LOG 배선 각각과 대응되는 복수개의 검사패드가 구비된 오토프로브부; 상기 어레이기판상에 형성되고, 상기 복수개의 LOG 배선과 연결되어 외부로부터 게이트구동IC부로 제어신호 및 구동전압 등이 공급되도록 하는 복수개의 접촉패드가 구비된 FPC부; 및 상기 FPC부의 복수개의 접촉패드와 상기 오토프로브부의 복수개의 검사패드를 연결하는 복수개의 연결배선;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
액정표시패널, LOG(line on glass), A/P(auto probe)패드, FPC

Description

액정표시패널의 검사장치 및 검사방법{APPARATUS FOR DETECTING DEFECT OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR DETECTING THE SAME}
본 발명은 액정표시패널의 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액정표시패널 검사시에 LOG배선(line on glass)내부로 인가되는 신호를 없애고 투명도전물질을 이용하여 FPC(flexible printed circuit)부에서 오토프로브 패드 (auto/probe pad)로 직접 연결하여 액정표시패널 내부로 수분이 침투되는 것을 방지할 수 있는 액정표시패널의 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치는 매트릭스(matrix) 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터 신호를 개별적으로 공급하여, 그 액정셀들의 광투과율을 조절하므로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.
여기서, 상기 액정표시장치는 화소단위의 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열되는 액정표시패널과; 상기 액정 셀들을 구동시키는 구동회로(driving circuit)로 구성된다.
또한, 상기 액정표시패널은 일정한 이격간격을 두고 대향하여 합착된 컬러필터기판 및 박막트랜지스터 어레이기판과, 그 컬러필터기판 및 박막트랜지스터 어레 이기판의 이격 간격에 형성된 액정층으로 구성된다.
그리고, 상기 액정표시패널의 박막트랜지스터 어레이기판상에는 화상정보를 액정 셀들에 전송하기 위한 복수의 데이터라인들과; 주사신호를 액정 셀들에 전송하기 위한 복수의 게이트라인들이 서로 직교하며, 이들 데이터라인과 게이트라인들의 교차부마다 액정 셀들이 정의된다.
상기 컬러필터기판과 박막트랜지스터 어레이기판의 대향하는 내측면에는 각각 공통전극과 화소전극이 형성되어 상기 액정층에 전계를 인가한다.
이때, 상기 화소전극은 박막트랜지스터 어레이기판상에 액정 셀별로 형성되는 반면에 공통전극은 컬러필터기판의 전면에 일체화되어 형성된다.
따라서, 공통전극에 전압을 인가한 상태에서 화소전극에 인가되는 전압을 제어함으로써, 액정셀들의 광투과율을 개별적으로 조절할 수 있게 된다.
이와 같이, 상기 화소전극에 인가되는 전압을 액정 셀별로 제어하기 위해 각각의 셀에는 스위칭 소자로 사용되는 박막트랜지스터가 형성되어 있다.
한편, 상기 구동회로는 상기 게이트라인들에 주사신호를 공급하는 게이트구동부와; 상기 데이터라인들에 화상정보를 공급하는 데이터구동부와; 상기 게이트구동부 및 데이터구동부의 구동 타이밍을 제어하는 타이밍 제어부와; 액정표시장치에 사용되는 다양한 구동전압들을 공급하는 전원 공급부로 구성된다.
여기서, 상기 타이밍 제어부는 외부의 그래픽 처리부로부터 공급되는 화상정보 및 제어신호를 통해 상기 게이트 구동부와 데이터 구동부의 구동 타이밍을 제어하며, 데이터 구동부에 화상정보를 공급한다.
또한, 상기 전원 공급부는 외부의 그래픽 처리부로부터 공급되는 전원을 이용하여 액정 표시장치에 사용되는 공통전압(Vcom), 게이트 하이전압(Vgh), 게이트 로우전압(Vgl) 및 감마 기준전압(Vref)과 같은 구동전압을 생성하여 게이트 구동부, 데이터 구동부, 감마 전압발생부 및 액정 표시패널들에 공급한다.
그리고, 상기 게이트 구동부는 상기 게이트 라인들에 순차적으로 주사신호를 공급함으로써, 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들이 1개 라인씩 선택되도록 하고, 그 선택된 1개 라인의 액정 셀들에는 상기 데이터 구동부로부터 데이터 라인들을 경유하여 화상정보가 공급된다.
또한, 상기 화상정보는 액정 셀들의 화소전극에 개별적으로 공급되며, 상기 공통전압(Vcom)이 공통전극에 공급되어, 화소전극과 공통전극 사이의 전압차에 따라 액정층에 전계가 인가됨에 따라 액정 셀들의 광투과율을 개별적으로 조절하여 원하는 화상을 표시한다.
상기 액정 표시패널과 직접 접속되는 데이터 구동부와 게이트 구동부는 다수개의 집적회로(integrated circuit : IC)들로 제작된다.
상기 데이터 구동 집적회로(IC)들과 게이트 구동 집적회로(IC)들은 테이프 캐리어 패키지(tape carrier package : TCP) 상에 실장되어 탭(tape automated bonding : TAB) 방식으로 액정 표시패널에 접속된다.
상기 데이터 구동 집적회로들이 테이프 캐리어 패키지를 통해 탭 방식으로 액정 표시패널에 접속되는 경우에, 그 테이프 캐리어 패키지는 데이터 인쇄회로기판(printed circuit board : PCB)에 접속되며, 그 데이터 인쇄회로기판에 실장된 배선들을 통해 전술한 타이밍 제어부와 전원 공급부로부터 화상정보, 제어신호들 및 구동전압들이 공급된다.
또한, 상기 게이트 구동 집적회로들이 테이프 캐리어 패키지를 통해 탭 방식으로 액정 표시패널에 접속되는 경우에, 그 테이프 캐리어 패키지는 게이트 인쇄회로기판에 접속되며, 그 게이트 인쇄회로기판에 실장된 배선들을 통해 전술한 타이밍 제어부와 전원 공급부로부터 제어신호들 및 구동전압들이 공급된다.
그런데, 최근 들어 급속하게 발전되고 있는 반도체 공정기술 및 패키징 기술에 의해 고집적 및 고성능을 갖는 반도체 칩이 출현함에 따라 상기 게이트 인쇄회로기판에 실장되던 콘트롤러를 상기 데이터 인쇄회로기판에 실장하여 고집적 및 고성능 반도체 칩으로 원-칩(one chip)화할 수 있게 되었다.
따라서, 게이트 인쇄회로기판은 단순히 데이터 인쇄회로기판에서 처리된 신호를 전달하는 기능을 수행하게 되었다.
상기한 바와같이, 상기 데이터 인쇄회로기판으로부터 제어신호들 및 구동전압들을 게이트 인쇄회로기판으로 공급하기 위해서 상기 게이트 인쇄회로기판과 데이터 인쇄회로기판에는 각각 커넥터들이 형성되고, 상기 게이트 인쇄회로기판과 데이터 인쇄회로기판에 형성된 커넥터들은 플렉시블 플레이트 케이블(flexible plate cable : FPC)에 의해 전기적으로 접속된다.
그러나, 상기한 바와같이 데이터 인쇄회로기판으로부터 제어신호들 및 구동전압들을 게이트 인쇄회로기판으로 공급하기 위하여 각각 커넥터들을 형성하고, 플렉시블 플레이트 케이블을 통해 커넥터들을 전기적으로 접속시킴에 따라 다음과 같 은 문제들이 발생된다.
첫째, 박형의 게이트 인쇄회로기판과 데이터 인쇄회로기판상에 각각 커넥터들이 형성됨에 따라 커넥터들의 두께에 해당하는 만큼 액정 표시장치의 두께가 필연적으로 증가되어 액정 표시장치의 박형화를 저해시키는 요인이 된다.
둘째, 상기 커넥터들을 전기적으로 접속시키는 플렉시블 플레이트 케이블을 설치해야 함에 따라 액정 표시장치의 제작을 위한 공정 수가 증가되고, 액정 표시장치의 제조원가를 상승시키는 요인이 된다.
따라서, 최근 들어 상기 데이터 인쇄회로기판으로부터 제어신호들 및 구동전압들을 게이트 인쇄회로기판으로 공급하기 위한 배선들을 박막 트랜지스터 어레이 기판의 외곽 더미영역에 실장하는 라인-온-글래스(line on glass; 이하 LOG라 함) 방식의 액정 표시장치가 제안되었다.
이러한 LOG방식의 종래기술에 따른 액정표시패널의 검사장치에 대해 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
종래기술에 따른 라인-온-글래스형 액정표시패널은, 도 1에 도시된 바와같이, 박막트랜지스터 어레이기판(11)의 일측 단변 및 일측 장변이 만나는 모서리영역에 LOG 배선(21)들을 형성하여 외부로부터 공급되는 게이트 제어신호들 및 게이트 구동전압들을 FPC(플렉서블 플레이트 케이블)(35)를 통해 구동회로부(51)로 공급한다.
이때, 상기 FPC(35)내부에 복수개의 제1, 2 접촉패드(35a, 35b)가 구비되어 있어, 일부 제1 접촉패드(35a)들은 상기 LOG 배선(21)에 각각 연결되어 있으며, 나 머지 제2 접촉패드(35b)들은 액정표시패널의 구동IC부(51)의 패드단자(53)와 각각 연결되어 있다.
종래기술에 따른 액정표시패널의 검사장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 오토-프로브 검사를 실시하기 위해, 복수개의 LOG 배선(21)들과 복수개의 오토 프로브 패드(33a) (auto probe pad)가 연결배선(41)에 의해 각각 연결되어 있다.
상기한 바와 같이, 종래기술에 따른 라인-온-글래스형 액정표시패널은 패널제작이 완료된 다음 불량 검출을 위해 오토-프로브(auto-probe) 검사가 실시된다.
상기한 바와 같이, 오토-프로브(auto-probe) 검사를 실시하기 위한 종래기술에 따른 액정표시패널의 검사장치 제조공정에 대해 도 2 및 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2 및 3을 참조하면, 박막트랜지스터 어레이기판(11)상에 복수개의 LOG 배선(21)을 형성한후 상기 복수개의 LOG 배선(21)을 포함한 어레이기판(11)상에 일정 두께만큼 실리콘산화막과 같은 무기절연물질을 이용하여 절연막(23)을 형성한다.
이때, 상기 복수개의 LOG 배선(21)은 게이트라인 및 스위칭 소자인 박막트랜지스터를 구성하는 게이트전극 형성시에 함께 형성된다.
그다음, 상기 절연막(23)을 선택적으로 패터닝하여 상기 LOG 배선(21)의 일단을 노출시키는 제1콘택홀(25)을 형성한다.
이어서, 상기 제1콘택홀(25)을 포함한 절연막(23)상에 제1 도전금속층을 증착한후 이를 선택적으로 패터닝하여 오토 프로브부(33)의 복수개의 검사패드(33a) 및 FPC부(35)의 복수개의 접촉패드(35a, 35b)를 형성한다.
이때, 상기 FPC부(35)의 복수개의 접촉패드(35a, 35b)중 일부 제1 접촉패드(35a)들은 상기 제1콘택홀(25)을 통해 상기 복수개의 LOG 배선(21)과 연결되며, 나머지 제2 접촉패드(35b)들은 구동IC부(51)의 패드단자(53)들과 각각 연결된다.
그다음, 상기 복수개의 검사패드(33a) 및 접촉패드(35a, 35b)를 포함한 절연막(23)상에 보호막(37)(passivation film)을 일정 두께만큼 증착한다. 이때, 상기 보호막(37)은 상기 절연막(23)상에 박막트랜지스터를 구성하는 소스/드레인전극과 데이터라인을 형성한후 기판 전체에 형성된다.
이어서, 상기 보호막(37)을 선택적으로 패터닝하여 상기 복수개의 LOG 배선(21)들과 오토 프로브부(33)의 검사패드(33a)를 노출시키는 제2 및 3 콘택홀(39a, 39b)을 동시에 형성한다.
그다음, 상기 제2 및 3 콘택홀(39a, 39b)을 포함한 보호막(37)상에 제2 도전금속층을 증착한후 이를 선택적으로 패터닝하여 상기 복수개의 LOG 배선(21)과 오토 프로브부(33)의 검사패드(33a)를 각각 연결하는 연결배선(41)을 형성하여 액정표시패널의 검사장치 제조를 완료한다.
상기한 바와 같이, 종래기술에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 검사방법에 의하면 다음과 같은 문제점이 있다.
종래기술에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 검사방법은, 콘택홀에 의해 LOG 배선들과 접촉된 연결배선을 통해 패널 불량을 검사하는 경우 상기 콘택홀을 통해 패널내부로 수분이 침투하게 된다.
따라서, 종래기술에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 검사방법은, 이러한 패널내부로의 수분 침투가 우려되기 때문에 패널의 부식 불량이 발생할 수 있다.
이에 본 발명은 상기 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명은 액정표시패널 검사시에 LOG(line on glass)내부로 인가되는 신호를 없애고 투명도전물질을 이용하여 FPC(flexible printed circuit)부에서 A/P 패드(auto/probe pad)로 직접 연결하여 액정표시패널 내부로 수분이 침투되는 것을 방지할 수 있는 액정표시패널의 검사장치 및 그 검사방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치는 박막트랜지스터 어레이기판상에 일정 간격을 두고 형성된 복수개의 LOG 배선; 상기 어레이기판상에 형성되고, 상기 복수개의 LOG 배선 각각과 대응되는 복수개의 검사패드가 구비된 오토프로브부; 상기 어레이기판상에 형성되고, 상기 복수개의 LOG 배선과 연결되어 외부로부터 게이트구동IC부로 제어신호 및 구동전압 등이 공급되도 록 하는 복수개의 접촉패드가 구비된 FPC부; 및 상기 FPC부의 복수개의 접촉패드와 상기 오토프로브부의 복수개의 검사패드를 연결하는 복수개의 연결배선;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사방법은, 박막트랜지스터 어레이기판상에 일정 간격을 두고 복수개의 LOG 배선을 형성하는 단계; 상기 어레이기판상에 상기 복수개의 LOG 배선 각각과 대응되는 복수개의 검사패드가 구비된 오토프로브부를 형성하는 단계; 상기 어레이기판상에 상기 복수개의 LOG 배선과 연결되어 외부로부터 게이트구동IC부로 제어신호 및 구동전압 등이 공급되도록 하는 복수개의 접촉패드가 구비된 FPC부를 형성하는 단계; 및 상기 FPC부의 복수개의 접촉패드와 상기 오토프로브부의 복수개의 검사패드를 연결하는 복수개의 연결배선을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 검사방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 검사방법은 액정표시패널 검사시에 LOG(line on glass)배선 내부로 인가되는 신호를 없애고 ITO와 같은 투명도전물질을 이용하여 FPC(flexible printed circuit)부의 접촉패드와 A/P(auto/probe)의 검사패드를 직접 연결하므로써 액정표시패널 내부로 수분이 침투되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 검사방법은 오토 프로브 패드 형성시에 부식이 발생하지 않는 몰리브덴(Mo)과 같은 금속물질을 이용하므로써 픽셀영역에 접촉하지 않고도 패널의 불량 여부를 검사할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치 및 검사방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치는, 도 4에 도시된 바와 같이, 박막트랜지스터 어레이기판(미도시; 도 6의 111 참조)상에 일정 간격을 두고 복수개의 LOG 배선(121)이 형성되어 있다.
또한, 상기 어레이기판(111)상의 오토프로브부(133)에는 상기 복수개의 LOG 배선(121)과 대응되는 복수개의 검사패드(133a)가 형성되어 있다.
그리고, 상기 어레이기판(111)의 일측에는 상기 복수개의 LOG 배선(121)과 연결되어져 구동IC부(151)로 제어신호들 및 구동전압 등이 공급되도록 연결해 주는 FPC부(135)가 마련되어 있다.
이때, 상기 FPC부(135)내부에는 상기 복수개의 LOG 배선(121)들과 각각 연결되는 복수개의 제1접촉패드(135a)와 구동IC부(151)의 패드단자(153)와 연결되는 복수개의 제2접촉패드(135b)가 형성되어 있다.
또한, 상기 복수개의 LOG 배선(121)들과 접촉된 FPC부(135)의 제1 접촉패드(135a)들 각각은 연결배선(141)에 의해 상기 오토프로브부(133)의 복수개의 검사 패드(133a) 각각에 접촉되어 있다.
이때, 상기 복수개의 연결배선(141)들은 상기 복수개의 LOG 배선(121) 각각과 오버랩되게 형성되어 있다. 따라서, 복수개의 연결배선(141)들은 상기 복수개의 LOG 배선(121)과 오버랩되는 지역에 형성되기 때문에 별도의 배치 공간이 요구되지 않는다.
또한, 상기 복수개의 연결배선(141)들은 상기 복수개의 LOG 배선(121)들과 접촉되지 않으므로써, 기존과 같이 콘택홀을 통해 복수개의 LOG 배선과 오토프로브의 검사패드가 접촉될때 콘택홀을 통해 수분등이 침투되어져 패널의 접촉부분이 부식되는 등의 불량이 억제된다.
본 발명에 따른 라인-온-글래스형 액정표시패널은 박막트랜지스터 어레이기판(111)의 일측 단변 및 일측 장변이 만나는 모서리영역에 복수개의 LOG 배선(121)들을 형성하여 외부로부터 공급되는 게이트 제어신호들 및 게이트 구동전압들을 FPC부(135)(flexible plated cable)을 통해 구동IC부로 공급한다.
상기 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 라인-온-글래스형 액정표시패널은 패널제작이 완료된후 불량 검출을 위해 오토-프로브(auto-probe) 검사가 실시된다.
상기 오토-프로브(auto-probe) 검사를 실시하기 위한 액정표시패널의 검사장치의 제조방법에 대해 도 5 및 6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선에 따른 단면도이고, 도 6은 도 4의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 박막트랜지스터 어레이기판(111)상에 복수개의 LOG 배선(121)을 형성한후 상기 복수개의 LOG 배선(121)을 포함한 어레이기판(111)상에 일정 두께만큼 실리콘산화막과 같은 무기 또는 유기절연물질을 이용하여 절연막(123)을 형성한다.
이때, 상기 복수개의 LOG 배선(121)들은, 도면에 도지하지 않았지만, 게이트라인 및 스위칭 소자인 박막트랜지스터를 구성하는 게이트전극 형성시에 함께 형성된다. 한편, 상기 복수개의 LOG 배선(121)들 형성시에 오토 프로브패드와 FPC 패드를 함께 형성할 수도 있다.
그다음, 상기 절연막(123)을 선택적으로 패터닝하여 상기 복수개의 LOG 배선(121)의 일단을 노출시키는 제1콘택홀(125)을 형성한다.
이어서, 상기 제1콘택홀(125)을 포함한 절연막(123)상에 제1 도전금속층(미도시)을 증착한후 이를 선택적으로 패터닝하여 오토 프로브부(133)의 복수개의 검사패드(133a) 및 FPC부(135)의 복수개의 제1 및 제2 접촉패드(135a, 135b)를 형성한다.
이때, 상기 FPC부(135)의 복수개의 제1, 2 접촉패드(135a, 135b)중 제1 접촉패드(135a)들은 상기 제1콘택홀(125)을 통해 상기 복수개의 LOG 배선(121)과 각각 연결되며, 나머지 제2 접촉패드(135b)들은 구동IC(151)의 패드단자(153)들과 각각 연결된다. 한편, 상기 오토 프로브부(133)의 복수개의 검사패드(133a)를 형성한 후, 필요에 따라 상기 검사패드(133a)표면에 부식이 방지되는 Mo 물질을 증착할 수도 있다.
그다음, 상기 복수개의 검사패드(133a) 및 접촉패드(135a, 135b)를 포함한 절연막(123)상에 보호막(passivation film)(137)을 일정 두께만큼 증착한다. 이때, 상기 보호막(137)은 상기 절연막(123)상에 박막트랜지스터를 구성하는 소스/드레인전극(미도시)과 데이터라인(미도시)을 형성한후 어레이기판(111) 전체에 형성된다.
이어서, 상기 보호막(137)을 선택적으로 패터닝하여 상기 오토 프로브부 (133)의 복수개의 검사패드(133a)와 FPC(135)의 복수개의 접촉패드(135a, 135b)를 노출시키는 제2 및 3 콘택홀(139a, 139b)을 동시에 형성한다.
그다음, 상기 제2 및 3 콘택홀(139a, 139b)을 포함한 보호막(137)상에 ITO 와 같은 투명도전물질을 이용하여 제2 도전금속층(미도시)을 증착한후 이를 선택적으로 패터닝하여 상기 복수개의 오토 프로브부(133)의 복수개의 검사패드(133a)와 FPC(135)의 복수개의 접촉패드(135a, 135b)를 각각 연결시켜 주는 연결배선(141)을 형성하므로써 액정표시패널의 검사장치 제조를 완료한다.
이때, 상기 복수개의 연결배선(141)들은 상기 복수개의 LOG 배선(121) 각각과 오버랩되게 형성한다.
따라서, 복수개의 연결배선(141)들은 상기 복수개의 LOG 배선(121)과 오버랩되는 지역에 형성되기 때문에 별도의 배치 공간이 요구되지 않는다.
또한, 상기 복수개의 연결배선(141)들은 상기 복수개의 LOG 배선(121)들과 접촉되지 않으므로써, 기존과 같이 콘택홀을 통해 복수개의 LOG 배선과 오토프로브부의 검사패드가 접촉될때 이 콘택홀을 통해 수분 등이 침투되어 패널의 접촉부분이 부식되는 등의 불량이 억제된다.
도 1은 종래기술에 따른 액정표시패널의 검사장치를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시패널의 검사장치를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선에 따른 단면도.
도 6은 도 4의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도.
- 도면의 주요부분에 대한 부호설명 -
111 : 어레이기판 121 : LOG 배선
123 : 절연막 125 : 제1 콘택홀
133 : 오토 프로브부 133a : 검사패드
135 : FPC부 135a : 접촉패드
137 : 보호막 139a, 139b : 콘택홀
141 : 연결배선 151 : 구동IC부
153 : 패드단자

Claims (11)

  1. 박막트랜지스터 어레이기판상에 일정 간격을 두고 형성된 복수개의 LOG 배선;
    상기 어레이기판상에 형성되고, 상기 복수개의 LOG 배선 각각과 대응되는 복수개의 검사패드가 구비된 오토프로브부;
    상기 어레이기판상에 형성되고, 상기 복수개의 LOG 배선과 연결되어 외부로부터 구동IC부로 제어신호 및 구동전압 등이 공급되도록 하는 복수개의 접촉패드가 구비된 FPC부; 및
    상기 FPC부의 복수개의 접촉패드와 상기 오토프로브부의 복수개의 검사패드를 연결하는 복수개의 연결배선;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 연결배선은 상기 복수개의 LOG배선과 오버랩되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 연결배선은 ITO와 같은 투명도전물질로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 오토프로브부의 복수개의 검사패드표면에 Mo 층이 형 성된 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 FPC부의 복수개의 접촉패드는 복수개의 LOG 배선들과 연결되는 제1접촉패드들과 구동IC부의 패드단자들과 연결되는 제2접촉패드들로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사장치.
  6. 박막트랜지스터 어레이기판상에 일정 간격을 두고 복수개의 LOG 배선을 형성하는 단계;
    상기 어레이기판상에 상기 복수개의 LOG 배선 각각과 대응되는 복수개의 검사패드가 구비된 오토프로브부를 형성하는 단계;
    상기 어레이기판상에 상기 복수개의 LOG 배선과 연결되어 외부로부터 게이트구동IC부로 제어신호 및 구동전압 등이 공급되도록 하는 복수개의 접촉패드가 구비된 FPC부를 형성하는 단계; 및
    상기 FPC부의 복수개의 접촉패드와 상기 오토프로브부의 복수개의 검사패드를 연결하는 복수개의 연결배선을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 복수개의 연결배선은 상기 복수개의 LOG배선과 오버랩되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 복수개의 연결배선은 ITO와 같은 투명도전물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사방법.
  9. 제6항에 있어서, 상기 오토프로브부의 복수개의 검사패드표면에 Mo 물질을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사방법.
  10. 제6항에 있어서, 상기 FPC부의 복수개의 접촉패드는 상기 복수개의 LOG 배선들과 연결되는 제1접촉패드와 구동IC부의 패드단자와 연결되는 제2접촉패드로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사방법.
  11. 제6항에 있어서, 상기 복수개의 연결배선은 상기 FPC부의 복수개의 접촉패드와 상기 오토프로브부의 복수개의 검사패드사이에 개재된 보호막내에 형성된 제1 및 2 콘택홀을 통해 상기 복수개의 접촉패드 및 검사패드에 각각 연결된 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 검사방법.
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KR101310382B1 (ko) * 2009-10-30 2013-09-23 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 모기판과 그 제조 방법

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