KR20090008883A - 실린더 동작 시간 설정 방법 및 실린더 동작 시간 설정시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법은 하나의 장비 내에 설치된 복수개의 실린더 장치 각각에 대하여 동작 시간을 설정할 수 있으며, a) 동작 시간 설정을 위한 실린더 장치에 대하여 표준 동작 시간을 확인하는 단계; b) 사용자 인터페이스를 통하여 상기 실린더 장치에 대한 동작 시간 설정 값을 입력 받는 단계; c) 상기 동작 시간 설정 값으로 상기 실린더 장치를 동작시키는 단계; 및 d) 상기 실린더 장치의 동작 시간을 측정하는 단계를 포함한다.

본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법에 의하며, 사용자 인터페이스를 통해 사용자에게 복수개의 실린더 장치의 동작 시간을 각각 설정할 수 있다. 그에 따라, 해당 장비 내에 장착되어진 모든 실린더 장치에 대하여 실린더 동작 시간을 실린더 장치 별로 사용자가 용이하게 설정 또는 변경할 수 있다.

실린더, 동작 시간

Description

실린더 동작 시간 설정 방법 및 실린더 동작 시간 설정 시스템{Method for setting cylinder operation time and cylinder operation time setting system}

본 발명은 실린더 동작 시간 설정 방법 및 실린더 동작 시간 설정 시스템에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 별도의 속도 조절 장치 없이 실린더 장치의 동작 시간을 설정할 수 있는 신규한 실린더 동작 시간 설정 방법과, 이러한 실린더 동작 시간 설정 방법이 구현될 수 있는 실린더 동작 시간 설정 시스템에 관한 것이다.

실린더 장치는 일반적으로 실린더 내부에 구비된 로드(rod)를 일 방향으로 일정 거리만큼 왕복 운동 시키는 장치로서, 각종 기기에 널리 이용되는 장치이다.

특히, 반도체 테스트 핸들러와 같이 정교한 장치에는 이와 같은 실린더 장치가 다양한 목적으로 이용되는데, 이 경우 실린더 장치의 동작 시간은 정교하게 설정되어야 한다. 이때, 반도체 테스트 핸들러와 같이 하나의 장비 내에 이용되는 실린더 장치의 개수가 복수개 이고, 각각의 실린더 장치마다 사용되는 목적이 각각 상이한 경우에는 이러한 모든 실린더 장치를 제어하는 것이 쉽지 않게 된다.

이를 위해, 종래의 반도체 테스트 핸들러는 복수개의 실린더 장치의 상태를 보여주는 사용자 인터페이스를 사용자에게 제공하고 있다. 그러나, 이러한 종래의 사용자 인터페이스에는 각각의 실린더 장치에 대한 동작 시간 설정 기능이 없어, 사용자는 별개의 속도 조절 장치(speed controller)를 이용하여 각각의 실린더 장치의 동작 시간을 조절해야 하였다.

이러한 종래의 실린더 장치 동작 시간 설정 방법은 사용자가 속도 조절 장치를 이용하여 일일이 각각의 실린더 장치에 대하여 동작 시간을 설정해야 하는 것으로서, 그 조작이 불편한 문제가 있다. 더구나, 이러한 속도 조절 장치는 반도체 테스트 핸들러와 같은 장비 내부에 복수개로 장착되어 있는 바, 사용자가 장비 내의 구석 구석에 설치되어 있는 각각의 속도 조절 장치를 조정하는 것은 쉽지 않아 위와 같은 불편함을 더욱 가중시키게 된다.

그리고, 종래의 실린더 장치 동작 시간 설정 방법은 사용자가 속도 조절 장치를 이용하여 동작 시간을 설정하는 바, 각각의 실린더 장치에 대한 기준이 없어 사용자만의 노하우에 의존하여 동작 시간을 설정할 수 밖에 없으므로, 장비 마다 설정된 동작 시간이 상이해지기 쉬워 장비간의 일정한 테스트 리드 타임을 달성하기 어려운 문제가 있다. 그리고 이러한 실린더 장치의 동작 시간 설정은 사용자의 숙련도에 따라 달라지게 될 수 있어, 그 결과 장비의 성능이 상이해질 우려가 있어, 장비의 신뢰성 및 작업 효율을 저하시킬 수 있다.

상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 사용자 인터페이스(graphic user interface)에서 복수개의 실린더 장치의 동작 시간을 효율적으로 설정할 수 있게 하는 실린더 동작 시간 설정 방법을 제공하고자 한다.

또한, 본 발명은 사용자 인터페이스에서 복수개의 실린더 장치의 동작 시간을 효율적으로 설정할 수 있게 하는 실린더 동작 시간 설정 방법이 구현될 수 있는 실린더 동작 시간 설정 시스템을 제공하고자 한다.

위와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법은 하나의 장비 내에 설치된 복수개의 실린더 장치 각각에 대하여 동작 시간을 설정할 수 있다. 이를 위해 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법은 a) 동작 시간 설정을 위한 실린더 장치에 대하여 표준 동작 시간을 확인하는 단계; b) 사용자 인터페이스를 통하여 상기 실린더 장치에 대한 동작 시간 설정 값을 입력 받는 단계; c) 상기 동작 시간 설정 값으로 상기 실린더 장치를 동작시키는 단계; 및 d) 상기 실린더 장치의 동작 시간을 측정하는 단계를 포함한다.

상기 단계 b)에서, 상기 실린더 장치에 대하여 횟수를 입력 받는 단계를 더 포함하고, 상기 단계 d)에서, 상기 횟수에 대하여 상기 측정된 동작 시간의 평균 값을 산출하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법은 e) 상기 실린더 장치의 평균 동작 시간이 상기 실린더 장치에 대하여 최적 동작 시간인지 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다.

여기서, 최초로 입력되는 상기 동작 시간 설정 값은 상기 표준 동작 시간이 바람직하다.

본 발명의 또 다른 특징에 따른 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템은 하나의 장비 내에 설치된 복수개의 실린더 장치 각각에 대하여 동작 시간을 설정할 수 있으며, 상기 복수개의 실린더 장치에 각각 구비되며, 그 동작을 감지하는 복수개의 센서; 상기 복수개의 실린더 장치 각각에 대하여 표준 동작시간을 표시하며, 상기 복수개의 실린더 장치 각각에 대한 동작 시간 설정 입력 창을 제공하는 사용자 인터페이스; 및 상기 사용자 인터페이스에 입력된 동작 시간 설정 값에 따라 대응하는 실린더 장치를 동작시키고, 상기 실린더 장치에 구비된 센서로부터 상기 실린더 장치의 동작시간 측정 값을 수신하여 상기 사용자 인터페이스에 표시하는 제어부;를 포함한다.

본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템은 상기 복수개의 실린더 장치에 각각 대응하는 상기 표준 동작 시간을 저장하는 표준 동작 시간 데이터베이스;를 더 포함할 수 있다.

상기 사용자 인터페이스는 상기 복수개의 실린더 장치 각각에 대한 횟수 입력 창을 더 제공할 수 있다. 그 경우, 상기 제어부는 상기 횟수에 대한 상기 실린더 장치의 동작시간 측정 값으로 평균 동작 시간을 산출한다.

본 발명에서는 앞서 개시한 사용자 인터페이스를 통해 사용자에게 복수개의 실린더 장치의 동작 시간을 각각 설정할 수 있게 한다. 그에 따라, 본 발명의 실린더의 동작 시간 설정 방법을 이용하면, 해당 장비 내에 장착되어진 모든 실린더 장치에 대하여 실린더 동작 시간을 실린더 장치 별로 사용자가 용이하게 설정 또는 변경할 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법에 의하면, 사용자가 설정한 동작 시간에 대하여 실제 실린더 장치의 동작을 센서로 감지하여 동작 시간을 측정하여 사용자에게 사용자 인터페이스를 통해 제시한다. 따라서, 사용자는 자신이 설정한 동작 시간과 실제 실린더 장치로부터 측정된 동작 시간을 비교함으로써, 목적하는 실린더 동작 시간을 얻기 위해 적합한 실린더 동작 시간 설정 값을 용이하게 수득할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에서는 사용자 인터페이스를 통해 사용자에게 각각의 실린더에 대하여 대응하는 각각의 표준 동작 시간을 제공함으로써, 사용자가 해당 실린더에 대하여 동작 시간을 설정할 때 기준으로 이용할 수 있게 하여, 사용자에 의한 실린더 동작 시간의 설정 시간을 단축시킬 수 있다.

또한, 본 발명에서는 이와 같이 각각의 실린더 장치에 대하여 표준 동작 시간을 이용하여 실린더 동작 시간을 설정하게 되므로, 각 장비 간의 설정된 실린더 동작 시간의 차이가 크지 않아, 장비의 성능을 균일하게 나타낼 수 있으며, 따라서, 장비의 신뢰성 및 작업 효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법은 내부에 구비된 로드(rod)를 일 방향으로 일정 거리만큼 왕복 운동 시키는 실린더 장치에 있어서, 그 동작 시간을 짧은 시간내에 신뢰성 있고 효율적으로 설정할 수 있는 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 특별한 제한 없이 모든 실린더 장치에 적용될 수 있다. 여기서, 실린더 동작 시간은 해당 실린더 내에 구비된 로드가 동작 구간(출발 지점 ~ 도착 지점)에서 이동되는 데 걸리는 시간을 의미한다.

그러나, 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법은 복수개의 실린더 장치에 동시에 적용될 수 있으므로, 하나의 장비에 복수개의 실린더 장치가 구비되며, 각각의 실린더 장치가 정교하게 제어되어야 하는 장비에 바람직하게 사용된다.

본 발명에서는 실린더 동작 시간을 설명하나, 일반적으로 실린더는 연결되어 있는 모터의 구동력으로 동작하므로, 실린더 동작 시간은 모터의 동작 시간에 대응할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법 및 실린더 동작 시간 설정 시스템은 모터 동작 시간 설정 방법 및 모터 동작 시간 설정 시스템에 각각 대응할 수 있다. 그러나, 본 발명에서는 실린더 동작 시간 설정 방법과 실린더 동작 시간 설정 시스템을 위주로 설명하기로 한다.

이하, 본 발명을 바람직한 실시예와 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되는 것은 아니다.

먼저, 도 1을 참조하여 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템을 구체적으 로 살펴본다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템은 사용자 인터페이스(100), 제어부(200), 표준 동작 시간 데이터 베이스(300) 및 실린더 장치(400)를 포함한다.

본 실시예에서는 복수개의 실린더 장치가 구비되어 있는 반도체 제조 장비 중 반도체 소자 테스트 핸들러 장비를 예로 들어 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템을 설명하였다.

일반적으로, 반도체 소자 테스트 핸들러 장비 내에도 다양한 종류의 실린더 장치가 사용되므로, 본 실시예에서는 설명의 편의상 반도체 테스트 핸들러에서 이용되는 실린더 장치(400)로서, 커스터머 트레이를 수직 방향으로 상승 또는 하강시키는데 이용되는 셋 플레이트 업/다운 실린더를 예로 하여 구체적으로 설명하기로 한다. 본 실시예에서는 이와 같이 셋 플레이트 업/다운 실린더의 경우만을 개시하고 있으나, 테스트 핸들러 내의 다른 실린더 장치, 즉 헤드 피커 유닛, 인덱스 유닛, 트랜스퍼 유닛, 챔버 유닛 등 사용되는 실린더 장치에도 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법이 동일하게 적용될 수 있다.

본 실시예의 셋 플레이트 업/다운 실린더는 도 2에 도시된 바와 같이, 셋 플레이트(P)를 일정 거리(W)만큼 상승 또는 하강시키기 위해, 로드(R)를 다운 위치(D)에서 업 위치(U)로 상승시키거나, 로드(R)를 업 위치(U)에서 다운 위치(D)로 하강시키는 장치이다. 여기서, 로드(R)의 다운 위치(D)에서 업 위치(U) 사이의 동작 구간은 로드 동작 구간(W)으로서 셋 플레이트(P) 이동 거리(W)에 대응하게 된 다.

이러한 본 발명의 셋 플레이트 업/다운 실린더에는 실린더 업 센서(US)와 실린더 다운 센서(DS)가 각각 구비되어, 로드(R)가 업 위치(U)로 상승한 경우와 로드가 다운 위치(D)로 하강한 경우를 각각 감지하게 된다. 여기서, 로드(R)가 업 위치(U)에서 다운 위치(D)로 이동하거나, 다운 위치(D)에서 업 위치(U)로 이동하는 시간이 셋 플레이트 업/다운 실린더의 실린더 동작 시간에 해당하게 된다. 구체적으로, 실린더 업 동작의 동작 시간은 업 위치(U)로 상승 명령을 준 시각을 업 센서(US)에서 감지된 시각에서 차감하여 수득된다.

본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템에서는 이와 같이 실린더 장치에 장착되어 있는 센서를 이용하여 실린더 동작 시간을 측정할 수 있게 된다.

다시, 도 1로 돌아와서, 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템에서 사용자 인터페이스(100)는 도 3에서 도시된 바와 같이, 사용자에게 복수개의 실린더 장치 각각에 대하여 표준 동작 시간을 보여주며, 각각의 실린더 장치에 대하여 동작 시간 설정 입력 창 및 횟수 입력 창을 제공하며, 동작 시간 설정 입력 창을 통하여 동작 시간 설정 값이 입력된 후, 수회 동작된 실린더 장치의 실제 동작 시간의 평균 값을 보여준다.

이러한 사용자 인터페이스(100)를 통해, 사용자는 모든 실린더 장치에 대하여 표준 동작 시간을 확인하여 참조할 수 있으며, 사용자가 입력한 동작 시간 설정 값과 실제 동작 시간 값을 비교하여 빠른 시간 내에 최적의 동작 시간으로 동작 시간을 설정할 수 있게 된다.

이러한 표준 동작 시간은 각각의 실린더 장치에 대하여 적합한 동작 시간으로서 기 설정되고 테스트 완료된 동작 시간으로서 대부분의 장비에서 적합하도록 설정된 시간으로서 각각의 장비에서 해당 실린더 장치의 동작 시간을 설정하고자 할 때 사용자에게 기준으로서 제시된다. 이러한 표준 동작 시간은 사용자의 작업 노하우에 의해 수득된 값을 이용할 수 있다.

본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템에서는 제어부(200)가 각각의 실린더 장치에 대하여 표준 동작 시간을 저장하고 있는 표준 동작 시간 데이터베이스(300)를 이용하여 사용자 인터페이스(100)를 통해 사용자에게 표준 동작 시간을 각각 제시한다.

본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템에서 제어부(200)는 사용자 인터페이스(100)를 통해 사용자에게 복수개의 실린더 장치에 대하여 대응하는 표준 동작 시간을 제공하고, 사용자가 각각의 실린더 장치에 대하여 입력한 실린더 동작 시간 설정 값에 따라, 실린더 장치(400)가 동작되도록 제어한다. 그리고, 실린더 장치(400)에 구비된 센서에서 측정된 각 실린더 장치(400)의 실제 동작 시간을 사용자 인터페이스(100)를 통해 사용자에게 직접 제공하거나, 사용자 인터페이스(100)에 기 입력된 횟수 만큼 측정한 후, 이를 평균 내어 평균 동작 시간을 산출하여 사용자 인터페이스(100)를 통해 사용자에게 제공한다.

이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템을 이용하는 실린더 동작 시간 설정 방법을 구체적으로 설명한다.

먼저, 사용자는 도 3과 같은 사용자 인터페이스(100)로부터 동작 시간을 설 정하기 위한 실린더의 표준 동작 시간을 확인한다(s100). 이러한 표준 동작 시간은 표준 동작 시간 데이터베이스(300)로부터 확인된다.

그 후, 사용자는 사용자 인터페이스(100)를 통하여 이렇게 확인된 표준 동작 시간을 이용하여 해당 실린더 장치(400)에 대하여 실린더 동작 시간 설정 값을 입력하게 된다(s200). 바람직하게는 사용자는 최초 설정시에는 표준 동작 시간을 실린더 동작 시간 설정 값으로 입력하게 된다.

이렇게 실린더의 동작 시간 설정 값이 입력되면, 제어부(200)는 이렇게 입력된 실린더 동작 시간 설정 값을 이용하여 해당 실린더를 함께 입력된 횟수만큼 동작시키게 되며, 각각의 동작시 동작 시간을 각각 측정하게 된다(s300). 실린더 동작 시간의 측정은 앞서 기술한 바와 같이, 각 실린더에 장착된 센서에 의해 측정되게 된다.

이와 같이, 각각의 횟수에서 실린더 동작 시간이 측정되면, 제어부(200)는 측정된 실린더 동작 시간을 횟수에 대하여 평균을 내어 평균 동작 시간을 산출하여 사용자 인터페이스(100)를 통해 사용자에게 표시한다(s400).

그 후, 사용자는 해당 실린더 장치의 평균 동작 시간이 최적 동작 시간인지 여부를 판단하게 된다(s500). 이러한 실린더의 최적 동작 시간의 여부 판단은 해당 실린더 장치가 설치된 장비의 전체적인 동작 시간을 최소화하는지 여부에 따라 이루어진다.

이때, 해당 실린더 장치에 대하여 산출된 평균 동작 시간이 최적 동작 시간으로 판단되면, 사용자는 해당 실린더 장치에 대하여 동작 시간 설정을 완료한 다(s600).

그러나, 해당 실린더 장치에 대하여 산출된 평균 동작 시간인 최적 동작 시간이 아닌 것으로 판단되면, 사용자는 사용자 인터페이스(100)를 통하여 해당 실린더에 대하여 동작 시간 설정 값을 변경하여 재차 입력하게 된다(s200). 이러한 동작 시간의 설정은 해당 실린더 장치에 대하여 최적 동작 시간이 정하여질 때까지 반복된다.

본 실시예에서는 실린더 장치에 대하여 최적 동작 시간의 설정을 위해 실린더 장치의 동작 시간 측정을 횟수만큼 수회 반복하고, 그 평균 동작 시간을 산출함으로써, 개별 동작시 발생할 수 있는 에러에 의한 오차를 최소화할 수 있다. 그러나, 횟수를 1회로 한 경우에는 평균 동작 시간을 산출할 필요 없이, 측정된 동작 시간을 기준으로 최적 동작 시간 여부를 평가하게 된다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 첨부된 특허 청구 범위에 속하는 것은 당연하다.

도 1은 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 시스템을 개략적으로 보여주는 시스템도이다.

도 2는 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법이 적용되는 셋플레이트용 실린더 장치를 보여주는 사시도이다.

도 3은 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법에서 구현되는 사용자 인터페이스 화면의 일례이다.

도 4는 본 발명의 실린더 동작 시간 설정 방법을 개략적으로 보여주는 순서도이다.

Claims (8)

1. 하나의 장비 내에 설치된 복수개의 실린더 장치 각각에 대하여 동작 시간을 설정하는 실린더 동작 시간 설정 방법에 있어서,

   a) 동작 시간 설정을 위한 실린더 장치에 대하여 표준 동작 시간을 확인하는 단계;

   b) 사용자 인터페이스를 통하여 상기 실린더 장치에 대한 동작 시간 설정 값을 입력 받는 단계;

   c) 상기 동작 시간 설정 값으로 상기 실린더 장치를 동작시키는 단계; 및

   d) 상기 실린더 장치의 동작 시간을 측정하는 단계;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더 동작 시간 설정 방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 단계 b)에서,

   상기 실린더 장치에 대하여 횟수를 입력 받는 단계;를 더 포함하고,

   상기 단계 d)에서,

   상기 횟수에 대하여 상기 측정된 동작 시간의 평균 값을 산출하는 단계;

   를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 실린더 동작 시간 설정 방법.
3. 제2항에 있어서,

   e) 상기 실린더 장치의 평균 동작 시간이 상기 실린더 장치에 대하여 최적 동작 시간인지 판단하는 단계;

   를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 실린더 동작 시간 설정 방법.
4. 제1항에 있어서,

   최초로 입력되는 상기 동작 시간 설정 값이 상기 표준 동작 시간인 것을 특징으로 하는 상기 실린더 동작 시간 설정 방법.
5. 하나의 장비 내에 설치된 복수개의 실린더 장치 각각에 대하여 동작 시간을 설정하는 실린더 동작 시간 설정 시스템에 있어서,

   상기 복수개의 실린더 장치에 각각 구비되며, 그 동작을 감지하는 복수개의 센서;

   상기 복수개의 실린더 장치 각각에 대하여 표준 동작시간을 표시하며, 상기 복수개의 실린더 장치 각각에 대한 동작 시간 설정 입력 창을 제공하는 사용자 인터페이스; 및

   상기 사용자 인터페이스에 입력된 동작 시간 설정 값에 따라 대응하는 실린더 장치를 동작시키고, 상기 실린더 장치에 구비된 센서로부터 상기 실린더 장치의 동작시간 측정 값을 수신하여 상기 사용자 인터페이스에 표시하는 제어부;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더 동작 시간 설정 시스템.
6. 제5항에 있어서,

   상기 복수개의 실린더 장치에 각각 대응하는 상기 표준 동작 시간을 저장하는 표준 동작 시간 데이터베이스;

   를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 실린더 동작 시간 설정 시스템.
7. 제5항에 있어서,

   상기 사용자 인터페이스는 상기 복수개의 실린더 장치 각각에 대한 횟수 입력 창을 더 제공하는 것을 특징으로 하는 상기 실린더 동작 시간 설정 시스템.
8. 제7항에 있어서,

   상기 제어부는

   상기 횟수에 대한 상기 실린더 장치의 동작시간 측정 값으로 평균 동작 시간을 산출하는 것을 특징으로 하는 상기 실린더 동작 시간 설정 시스템.

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