KR20090000982A

KR20090000982A - 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너

Info

Publication number: KR20090000982A
Application number: KR1020070064979A
Authority: KR
Inventors: 조범상
Original assignee: (주) 예스티
Priority date: 2007-06-29
Filing date: 2007-06-29
Publication date: 2009-01-08
Also published as: KR100917147B1

Abstract

본 발명은 반도체 자재 수납용기의 적재 및 도어 개폐를 수행하는 풉 오프너(FOUP Opener)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 자재 수납용기의 적재 시 결속력을 강화시키고, 적은 구동전원으로 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐시키며, 잔존 활성기체를 감지할 수 있는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너(FOUP Opener)에 관한 것이다.

본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너는, 반도체 자재 수납용기가 삽입되는 개구부가 형성된 프레임부와, 상기 프레임부의 전면에 설치되어 반도체 자재 수납용기가 적재되는 스테이지부재와, 상기 프레임부의 후면에 설치되어 상기 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐시키는 개폐부재를 포함하는 풉 오프너로서, 상기 개폐부재는, 상기 프레임부의 후면에 설치되어 수평 왕복운동하여 개구부를 개방 또는 폐쇄하되, 일측에는 기체주입구가 형성된 도어 슬라이더; 상기 도어 슬라이더에 결합되어 전진 또는 후진하되 상기 기체주입구와 연통되도록 일측에 유통공이 형성되며, 상기 유통공에 의해 하우징의 내부에 유입된 기체가 하우징의 후면 및 측면을 경유하여 전측으로 유출될 수 있도록 후면에 유출공이 형성된 하우징; 상기 하우징의 내측에 설치되어 상기 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐시키는 개폐부를 포함하며, 상기 도어 슬라이더 내부의 잔존 활성기체의 양을 감지하는 기체감지센서와, 상기 기체감지센서의 감지신호에 따라 개폐부를 이용하여 도어를 개방 또는 폐쇄하도록 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 스테이지부재는, 상 기 반도체 자재 수납용기를 결속 및 해제하기 위한 걸림부재와, 상기 걸림부재에 회전 가능하게 고정되는 한 쌍의 연결부재와, 상기 한 쌍의 연결부재 중 어느 하나에 회전력을 전달하기 위한 구동부재로 이루어진 클램핑부재를 추가적으로 포함한다.

이에 따라 상기 하우징의 유통공 및 유출공에 의해 기체가 하우징의 후면 및 측면을 따라 유입되므로 잔존 활성기체 및 먼지 입자 등을 효율적으로 배출할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

반도체, FIMS, FOUP, Pod, 웨이퍼, 풉 오프너

Description

산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너{FOUP OPENER WITH ANTI-OXIDIZING FUNCTION}

첨부의 하기 도면들은, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.

도 1은 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너에 반도체 자재 수납용기가 안치된 모습을 나타낸 사시도.

도 2는 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너 및 기체감지센서가 형성된 부분을 확대한 사시도.

도 3은 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 후면 사시도.

도 4는 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 반도체 자재 수납용기 개폐부재가 도어 슬라이더에 결합되는 모습을 나타낸 분해 사시도.

도 5는 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 반도체 자재 수납용기 개폐부재를 나타낸 정면도.

도 6은 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 도어슬라이드 내부에서 활성기체의 배출 흐름을 나타내는 분해 사시도.

도 7은 도 2에서 A-A' 방향으로 절개하였을 때의 단면을 나타내는 단면도.

도 8은 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 스테이지부재를 나타내는 사시도.

도 9는 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 스테이지부재 중 클램핑부재를 나타내는 사시도.

도 10은 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너에 반도체 자재 수납용기가 고정되는 모습을 순서대로 도시한 단면도.

도 11은 도 4에서 반도체 자재 수납용기 개폐부재의 회전부재를 확대하여 나타낸 사시도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1000: 풉 오프너

100: 프레임부 102: 개구부

104: 돌출감지센서 106: 전면실링부재

108: 후면실링부재

200: 스테이지부재 204: 안착보조핀

206: 위치감지센서 208: 출입공

220: 클램핑부재 221: 케이싱

221a: 회동부 222: 걸림부재

222a: 경사면 223: 롤러

224: 제1연결부재 225: 제2연결부재

226: 구동부재 227: 회전축

228: 핀

300: 개폐부재 320: 도어 슬라이더

322: 기체주입구 324: 수평이동수단

326: 하우징 구동 실린더

328: 출입편

340: 하우징 342: 흡착부재

344: 회전감지센서 346: 전진감지센서

347: 후진감지센서 348: 커버

349: (커버의) 관통공 350: 실링부재

362: 유통공 364: 유출공

380: 개폐부 382: 회전부재

384: 연결링크 385: 연장부

386: 장공 387: 위치알림부

388: 마찰저감부재 390: 래치키

392: 체결편 393: 로드

394: 체결부 394a: (체결부의) 삽입공간

394b:(체결부의) 홀 394c: (체결부의) 핀

395: (개폐부의) 구동수단 396: 기체감지센서

400: 반도체 자재 수납용기 410: 걸림홈

412: 단턱 420: 가이드봉

본 발명은 반도체 자재 수납용기의 적재 및 도어 개폐를 수행하는 풉 오프너(FOUP Opener)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 자재 수납용기의 적재 시 결속력을 강화시키고, 적은 구동전력으로 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐시키며, 잔존 활성기체 및 먼지 입자를 효율적으로 제거할 수 있는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너(FOUP Opener)에 관한 것이다.

반도체의 웨이퍼는 일반적으로 밀폐형 웨이퍼 저장 용기인 파드(Pod)에 저장하는데, 그 중 풉(FOUP: Front Open Unified Pod)은 300mm 웨이퍼에 주로 사용되는 카세트 일체형이고 전방 개방형인 웨이퍼 저장 용기이다.

이 풉은 통상 합성수지로 제작되며, 내부에 산소나 오염물질이 침투하여 웨이퍼 상에 산화막이 형성되는 것을 막기 위해 불활성가스를 주입하여 산소나 오염물질이 배출되도록 이루어져 있다.

이러한 오염물질 배출 과정을 수행하기 위해서는 상기 풉과 같은 반도체 자재 수납용기를 로봇에 의해 풉 오프너와 같은 소정의 자동화 장비에 안착시켜야 한다.

상기와 같은 풉 오프너에 반도체 자재 수납용기를 안착시키는 종래의 기술을 살펴보면 다음과 같다.

종래의 풉 오프너는 반도체 자재 수납용기가 삽입되는 개구부가 형성된 프레임부와, 상기 개구부의 하측에 위치하도록 상기 프레임부의 전면에 설치되고, 반도체 자재 수납용기가 적재되는 스테이지부재와, 상기 스테이지부재의 양 측면에 설치되어, 상기 반도체 자재 수납용기를 상기 스테이지부재 상에 밀착 고정시키기 위한 한 쌍의 클램핑부재와, 상기 프레임부의 후면에 설치되어 개구부 방향으로 수평 왕복하여 개구부를 개방 또는 폐쇄하는 도어 슬라이더와, 상기 도어 슬라이더와 결합되어 전진 및 후진하는 하우징과, 상기 하우징의 내측에 설치되어 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐하는 개폐부를 포함한 개폐부재 등을 포함하여 구성된다.

상기 종래 기술의 경우 개폐부재는 개폐부에 의해 도어가 개방되었을 때, 상기 개폐부재와 반도체 자재 수납용기 간의 밀폐된 공간을 포함한 반도체 자재 수납용기의 내부에 잔존하는 활성기체를 제거하여야 한다.

이를 위해 상기 종래 기술의 개폐부재는 상기 도어 슬라이더의 상부 및 하부에 각각 형성된 기체주입구 및 기체배출구를 설치하고, 설치된 기체주입구 및 기체 배출구를 통해 질소와 같은 불활성기체를 주입 및 배출시킴으로써 잔존 활성기체를 제거하는 방식이다.

그러나 상기 종래의 기술은 도어 슬라이더에 하우징이 결합된 상태에서 활성기체를 감지하고, 단지 기체주입구 및 기체배출구를 통해 기체를 주입 및 배출시키는 구성만이 기재되어 있으며, 개폐부재의 후면의 구석구석에 존재하는 활성기체를 확실하게 제거하기 위한 방안이 마련되어 있지 않은 문제점이 있다.

또한 상기 종래의 기술은 도어 슬라이더와 하우징 사이에 존재하는 미세한 먼지 입자를 외부로 배출시키기 어렵다는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해소하기 위해 제안된 것으로,

반도체 자재 수납용기의 도어를 개방하고 잔존 활성기체를 제거하는 과정에서 개폐부재와 반도체 자재 수납용기 사이의 잔존 활성기체를 정확히 감지하고, 하우징과 도어 슬라이더 사이의 잔존 활성기체를 제거하게 하는 풉 오프너를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 반도체 자재 수납용기를 스테이지부재에 체결시키는 클램핑부재의 걸림부재가 거의 수평운동을 하도록 하여 반도체 자재 수납용기의 저면에 위치하는 걸림홈의 수용 공간을 줄임으로써, 공간적 효율을 높이는 풉 오프너를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 또다른 목적은, 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐하는 한 쌍의 래치키를 하나의 구동수단으로 회전시킬 수 있는 풉 오프너를 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너는, 반도체 자재 수납용기가 삽입되는 개구부가 형성된 프레임부와, 상기 프레임부의 전면에 설치되어 반도체 자재 수납용기가 적재되는 스테이지부재와, 상기 프레임부의 후면에 설치되어 상기 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐시키는 개폐부재를 포함하는 풉 오프너로서, 상기 개폐부재는, 상기 프레임부의 후면에 설치되어 수평 왕복운동하여 개구부를 개방 또는 폐쇄하되, 일측에는 기체주입구가 형성된 도어 슬라이더; 상기 도어 슬라이더에 결합되어 전진 또는 후진하되 상기 기체주입구와 연통되도록 일측에 유통공이 형성되며, 상기 유통공에 의해 하우징의 내부에 유입된 기체가 하우징의 후면 및 측면을 경유하여 전측으로 유출될 수 있도록 후면에 유출공이 형성된 하우징; 상기 하우징의 내측에 설치되어 상기 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐시키는 개폐부를 포함하며, 상기 도어 슬라이더 내부의 잔존 활성기체의 양을 감지하는 기체감지센서와, 상기 기체감지센서의 감지신호에 따라 개폐부를 이용하여 도어를 개방 또는 폐쇄하도록 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 스테이지부재는, 상기 반도체 자재 수납용기를 결속 및 해제하기 위한 걸림부재와, 상기 걸림부재에 회전 가능하게 고정되는 한 쌍의 연결부재와, 상기 한 쌍의 연결부재 중 어느 하나에 회전력을 전달하기 위한 구동부재로 이 루어진 클램핑부재를 추가적으로 포함한다.

여기서, 상기 도어 슬라이더의 일측에는 상기 도어 슬라이더를 개구부 방향으로 전진 및 후진시켜 개구부를 기밀 또는 기밀 해제시키는 전후진수단이 추가적으로 구비된다.

또한, 상기 프레임부에는, 반도체 자재 수납용기의 도어가 개폐되면, 반도체 자재 수납용기의 내부에 수납된 반도체 자재의 돌출여부를 감지하는 돌출감지센서가 추가적으로 포함될 수 있다.

아울러, 상기 프레임부의 전후면 각각의 개구부의 둘레에는 도어 슬라이더 및 반도체 자재 수납용기와의 기밀을 위한 전면실링부재 및 후면실링부재가 추가적으로 포함될 수 있다.

한편, 상기 개폐부는, 상기 하우징에 회전가능하게 설치되는 한 쌍의 회전부재; 상기 회전부재에 각각 설치되되, 반도체 자재 수납용기의 도어와 체결되도록 체결부가 형성된 래치키; 상기 각 회전부재와 결합되되, 일측에는 장공이 형성된 한 쌍의 연결링크; 양단이 상기 연결링크의 장공과 각각 결합되는 로드; 및 상기 로드를 좌우 수평 운동시키는 구동수단을 포함하며, 상기 로드는 연결링크의 장공에 의해 상하 유동적으로 회동함으로써 로드의 수평 좌우 이동을 가능하도록 한다.

여기서, 상기 하우징에는 반도체 자재 수납용기와의 고정을 위한 하나 이상의 흡착부재가 설치될 수 있다.

또한, 상기 구동수단은 공압 또는 유압에 의해 구동되는 공압실린더 또는 유압실린더 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.

또한, 상기 연결링크의 타측에는 위치알림부가 형성되고, 상기 위치알림부와 대응되는 위치에 회전부재의 정방향 또는 역방향으로의 회전을 감지할 수 있도록 한 쌍의 회전감지센서가 설치될 수 있으며, 상기 장공에는 마찰저감부재가 설치될 수 있다.

한편, 상기 하우징의 일측에는 하우징의 전진 및 후진을 감지하는 전진 및 후진감지센서가 설치될 수 있다.

또한, 상기 하우징의 전면에는 밀폐를 위한 커버가 설치되고, 상기 커버에는 반도체 자재 수납용기와의 기밀을 위한 실링부재가 설치될 수 있다.

한편, 상기 스테이지부재에는 걸림부재가 삽입될 수 있는 출입공이 형성되어, 상기 걸림부재가 출입공에서 삽입된 상태에서 구동부재에 의한 연결부재의 회전에 의해 출입공의 내외측으로 출입 가능하도록 구성될 수 있다.

여기서, 상기 걸림부재의 저면에는 경사부가 형성될 수 있으며, 상기 걸림부재의 경사부에는 롤러가 추가적으로 형성될 수 있다.

한편, 상기 걸림부재는 수납용기를 고정하는 방향으로 단면적이 감소되도록 구성된다.

또한, 상기 한 쌍의 연결부재 중 구동부재와 연결되지 않은 연결부재는 스테이지부재에 설치된 별도의 회동부와 회전 가능하게 결합될 수 있으며, 상기 구동부재는 기체의 압력에 의해 회전되도록 구성될 수 있다.

이하 본 발명의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.

따라서 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.

도 1은 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너에 반도체 자재 수납용기가 안치된 모습을 나타낸 사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 풉 오프너 및 기체감지센서가 형성된 부분을 확대한 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 후면 사시도이다.

또한, 도 4는 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 반도체 자재 수납용기 개폐부재가 도어 슬라이더에 결합되는 모습을 나타낸 분해 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 반도체 자재 수납용기 개폐부재를 나타낸 정면도, 도 6은 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 도어슬라이드 내부에서 활성기체의 배출 흐름을 나타내는 분해 사시도이다.

도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너는, 반도체 자재 수납용기가 삽입되는 개구부(102)가 형성된 프레임부(100)와, 상기 프레임부(100)의 전면에 설치되어 반도체 자재 수납용기(400)가 적재되는 스테이지부재(200)와, 상기 프레임부(100)의 후면에 설치되어 상기 반도체 자재 수납용기(400)의 도어를 개폐시키는 개폐부재(300)를 포함하는 풉 오프너(FOUP Opener)로서, 상기 개폐부재(300)는, 상기 프레임부(100)의 후면에 설치되어 개구부(102) 방향으로 수평 왕복하여 개구부(102)를 개방 또는 폐쇄하되, 일측에는 기체주입구(322)가 형성된 도어 슬라이더; 상기 도어 슬라이더(320)에 결합되어 전진 또는 후진하되 상기 기체주입구(322)와 연통되도록 일측에 유통공(362)이 형성되며, 상기 유통공(362)에 의해 하우징(340)의 내부에 유입된 기체가 하우징(340)의 후면 및 측면을 경유하여 전측으로 유출될 수 있도록 후면에 유출공(364)이 형성된 하우징(340); 상기 하우징(340)의 내측에 설치되어 상기 반도체 자재 수납용기(400)의 도어를 개폐시키는 개폐부(380)를 포함하며, 상기 도어 슬라이더(320) 내부의 잔존 활성기체의 양을 감지하는 기체감지센서(396)와, 상기 기체감지센서(396)의 감지신호에 따라 개폐부(380)를 이용하여 도어를 개방 또는 폐쇄하도록 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 스테이지부재(200)는, 상기 반도체 자재 수납용기(400)를 결속 및 해제하기 위한 걸림부재(222)와, 상기 걸림부재(222)에 회전 가능하게 고정되는 한 쌍의 연결부재(224,225)와, 상기 한 쌍의 연결부재(224,225) 중 어느 하나에 회전력을 전달하기 위한 구동부재(226)로 이루어진 클램핑부재(220)를 추가적으로 포함한다.

본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너(1000)는 도1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 기본적으로 프레임부(100), 스테이지부재(200) 및 개폐부재(300) 등을 포함한다.

상기 프레임부(100)는 풉 오프너(1000)를 이루는 구성요소들이 지지되고 설치되는 것으로, 상기 프레임부(100)의 전후면을 통해서 전면부 및 후면부 환경의 경계를 이룬다.

상기 프레임부(100)에는 반도체 자재 수납용기(400)의 반출 및 반입을 위해 반도체 자재 수납용기(400)와 개폐부재 간의 결합 통로인 개구부(102)가 일측에 형성되어 있으며, 상기 프레임부(100)에는 개구부(102) 및 반도체 자재 수납용기(400) 간의 밀착을 위해 반도체 자재 수납용기(400)와 대응되어 접촉하는 개구부(102)의 둘레에 전면실링부재(106)가 추가로 결합될 수 있다.

도 8은 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 스테이지부재를 나타내는 사시도이다.

도 8에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지부재(200)는 상기 프레임부(100)의 전면에 설치되되, 개구부(102)의 하측에 위치되어 개구부(102)에 삽입되는 반도체 자재 수납용기(400)를 적재하기 위한 것으로, 상부면에는 반도체 자재 수납용기(FOUP)(400)가 안착되며, 전체적으로 패널의 형상으로 이루어진다.

그리고, 상기 스테이지부재(200)의 상부면에는 반도체 자재 수납용기(400)를 정위치에 안착시키기 위한 안착보조핀(204)과, 반도체 자재 수납용기(400)가 기준 위치에 놓였는지를 감지하는 위치감지센서(206)가 각각 3개씩 구비되어 있다.

또한, 상기 스테이지부재(200)에는 하나 이상의 출입공(208)이 형성되어 있다.

여기서, 상기 스테이지부재(200)의 상부에 안착되는 반도체 자재 수납용기(400)에 대해 간단히 살펴보면, 상기 반도체 자재 수납용기(400)는 로봇에 의해 이동시킬 수 있는 형상으로 형성되되, 저면에는 걸림홈(410)이 형성되어 있다.

여기서 상기 걸림홈(410)은 측단면상 한쪽에 단턱(412)이 형성되어 있고, 상기 단턱(412)은 일정 각도로 경사지게 형성되어 있다.

또한, 상기와 같은 반도체 자재 수납용기(400)를 스테이지부재(200)에 고정하기 위해 클램핑부재(220)가 구비된다.

도 9는 상기 스테이지부재(200)의 클램핑부재(220)를 나타내는 사시도이며, 도 10은 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너에 반도체 자재 수납용기(400)가 고정되는 모습을 순서대로 도시한 단면도이다.

도 9에 도시된 바와 같이, 상기 클램핑부재(220)는 크게 케이싱(221), 걸림부재(222), 연결부재(224, 225) 및 구동부재(226) 등을 포함하여 구성된다.

우선 상기 케이싱(221)은 스테이지부재(200)의 출입공(208)에 대응되는 저면에 결합되되, 상부가 개방되어 내부에 수용공간이 형성된 것으로, 상기 수용공간에 는 걸림부재(222), 연결부재(224,225) 및 구동부재(226)가 수용되어, 상기 구성요소들을 총체적으로 고정하는 역할을 수행한다.

그리고 상기 케이싱(221)의 양측면에는 소정의 면적만큼 개방된 개구부가 형성되고, 개구되지 않은 나머지 부분은 외벽으로 유지되게 된다.

여기서, 상기 개구부는 측면상 구동부재(226)의 회전축(227)과 연결부재(224)가 서로 결합되는 부분이 노출되며, 상기 외벽에는 회동부(221a)가 형성되어 후술하는 구동부재(226)에 의해 회전력을 인가받지 않은 나머지 하나의 연결부재(225)가 회전 가능하도록 결합된다.

상기 걸림부재(222)는 스테이지부재(200)의 출입공(208)에서 내외측으로 출입함으로써 수납용기를 결속 및 해제하는 역할을 수행하는 것으로, 전체적인 형상은 직육면체 형상으로 형성되고, 저면의 일측에는 상향으로 경사진 경사부가 형성되어 반도체 자재 수납용기(400)의 단턱(412) 방향으로 고정되는 부분인 일측으로 갈수록 단면적이 감소된다.

여기서, 상기 걸림부재(222)의 저면의 타측에는 한 쌍의 연결부재(224,225)가 서로 이웃하게 배치되고, 회전 가능하게 결합되는데, 상기 연결부재(224,225) 및 걸림부재(222)에 각각 통공이 형성되고, 상기 연결부재(224,225) 및 걸림부재(222)가 결합된 상태에서 통공에 별도의 핀(228)이 끼워짐으로써 연결부재(224,225) 및 걸림부재(222)가 서로 회전 가능하게 된다.

또한, 상기 걸림부재(222)의 하측에 결합된 한 쌍의 연결부재(224,225) 중 어느 하나(224)에는 회전력을 전달할 수 있도록 구동부재(226)의 회전축(227)이 결 합된다.

도 10에 도시된 바와 같이, 상기 구동부재(226)는 바람직하게는 상측 및 하측에 각각 유입공(미도시)이 형성되어, 유입공에 의해 유입된 기체의 힘에 의해 구동부재(226) 내부에 포함된 회전날개(미도시)가 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하게 되고, 이에 따라 상기 회전날개와 연결된 회전축(227)이 회전하게 되고, 상기 회전축(227)은 연결부재(224)와 결합되어 연결부재(224)를 회전시키는 구조로 이루어진다.

여기서 제2연결부재(225)는 케이싱(221)의 일측에 형성된 회동부(221a)에 회전 가능하게 결합된다.

상기와 같은 구성에 의해 구동부재(226)의 회전축(227)이 회전하면 제1연결부재(224)는 회전하여 걸림부재(222)를 출입공(208)에서 상측으로 이동시키게 되고, 회전력을 인가받지 않은 제2연결부재(225)는 회전력을 인가받은 제1연결부재(224)를 따라 함께 회전하게 된다.

이와 같이 한 쌍의 연결부재 중 회전력을 인가받은 제1연결부재(224)와 인가받지 않은 제2연결부재(225)의 회전에 대하여 설명하였으나, 둘 중 어느 연결부재에 회전력이 인가되더라도 본 발명의 효과 면에서는 차이점이 없다.

결과적으로 상기 걸림부재(222)는 상기 한 쌍의 회전부재에 의해 출입공(208)에서 이탈한 후에는 측단면상 거의 수평으로 전후 이동하게 하는 것이다.

이상 살펴본 걸림부재(222)는 연결부재(224,225)와 연결되어, 클램핑부 재(220)의 내부에서는 포물선의 형상으로 회전하며, 걸림부재(222)가 출입공(208)에서 이탈된 이후에는 반도체 자재 수납용기(400)의 걸림홈(410)의 단턱(412) 방향으로 거의 수평 이동할 수 있게 된다.

이에 의해 반도체 자재 수납용기(400)의 저면의 걸림홈(410)의 높이는 회전 반경을 고려하지 않고도, 즉 걸림부재(222)가 상승되는 부분의 높이만큼으로도 구현하는 것이 가능하다.

또한 걸림부재(222)가 이동할 때, 걸림부재(222)의 저면에 형성된 경사부(222a)에 의해 걸림부재(222)가 걸림홈(410)의 내측으로 부드럽게 삽입되고 고정되어, 스테이지부재(200)와 반도체 자재 수납용기(400) 사이에 적절한 파지력을 유지할 수 있도록 한다.

여기서 상기 걸림부재(222)의 저면에는 테프론 재질의 롤러(223)가 추가적으로 형성될 수 있으며, 이에 의해 걸림부재(222)가 반도체 자재 수납용기(400)의 단턱(412)을 부드럽게 경유하여 불순물의 생성을 최소화하면서 고정될 수 있도록 한다.

한편, 이와 같이 구성된 클램핑부재(220)는 스테이지부재(200)에 다수 개 구비될 수 있으며, 상기 클램핑부재(220)에 체결되는 반도체 자재 수납용기(400)의 저면의 걸림홈(410)도 클램핑부재(220)의 개수와 대응되는 개수로 구비됨으로써 체 결력을 더욱 공고히 할 수도 있다.

한편, 본 발명의 풉 오프너(1000)는 프레임부(100)의 후면에는 상기 반도체 자재 수납용기(400)의 도어를 개폐시키는 개폐부재(300)가 설치된다.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 개폐부재(300)는 크게 도어 슬라이더(320), 하우징(340) 및 개폐부(380)를 포함한다.

먼저 상기 도어 슬라이더(320)는, 전면은 개방되어 개구부(102)가 형성되고, 후면, 상부, 하부 및 양측면이 밀폐된 것으로, 내부에는 상기 개구부(102)에 의해 공간부가 형성되어 있다.

여기서 상기 도어 슬라이더(320)의 상부 및 하부에는 상기 도어 슬라이더(320)를 반도체 자재 수납용기 개폐부재의 하우징(340)의 후면에서 좌우로 이동시키는 수평이동수단(324)이 장착되어 있다.

여기서, 풉 오프너(1000)의 후면에는 개구부(102)의 상하측에 각각 가이드봉(420)이 설치되어 있고, 상기 개구부(102)는 후면의 일측에 형성되어 있어서, 상기 수평이동수단(324)이 가이드봉(420)을 따라 상기 도어 슬라이더(320)를 일측 또는 타측(좌측 또는 우측)으로 이동하여 개구부(102)를 개방 또는 폐쇄할 수 있는 것이다.

또한, 상기 도어 슬라이더(320)가 개구부(102)로 이동된 상태에서는, 스테이지부재에 반도체 자재 수납용기가 안착된 상태에서 기본적으로 도어 슬라이더(320) 와 반도체 자재 수납용기 간에 공간이 형성되고, 폐쇄된 상태가 된다.

상기와 같이 가이드봉(420)을 따라 도어 슬라이더(320)를 좌우 이동할 수 있도록 하기 위하여, 상기 수평이동수단(324)은 바람직하게는 급기부로 공급되는 공압 또는 유압을 이용하여 가이드봉(420)을 따라 도어 슬라이더(320)를 좌우 이동시킬 수 있는 공압 또는 유압실린더로 이루어진다.

또한, 상기 수평이동수단(324)은 가이드봉을 따라 상기 도어 슬라이더(320)를 좌우 수평 이동시킬 수 있는 구성이라면 상기와 같은 공압 또는 유압 실린더에 한정되는 것은 아니다.

한편, 상기 도어 슬라이더의 일측에는 전후진수단(미도시)이 설치되어 있으며, 상기 전후진수단은 바직하게는 공압 또는 유압실린더로 구현된다.

상기 전후진수단에 의해 도어 슬라이더(320)가 개구부(102) 방향으로 수평 이동된 상태에서 개구부(102) 방향으로 전진 및 후진 이동됨으로써, 상기 도어 슬라이더(320) 및 개구부(102) 사이가 기밀 또는 기밀 해제되게 된다.

여기서, 상기 도어 슬라이더(320)와 대응되는 상기 프레임부(100)의 개구부(102) 둘레에는 도어 슬라이더(320)가 전진하여 접촉될 때, 도어 슬라이더(320)와의 기밀성을 높일 수 있도록 후면실링부재(108)가 추가로 결합될 수 있다.

상기와 같이 구성된 도어 슬라이더의 내면에는 후술하는 하우징을 전진 및 후진시킬 수 있도록 하우징 구동 실린더(326)를 설치하게 된다.

상기 하우징 구동 실린더(326) 역시 상기 도어 슬라이더(320)의 상하부에 설치된 수평이동수단(324)과 마찬가지로 공압 또는 유압실린더로 구현되어, 상기 공압 또는 유압실린더의 급기부로 공급되는 공압 또는 유압을 이용하여 하우징을 전진 또는 후진 제어할 수 있다.

또한, 상기 도어 슬라이더의 내면의 일측에는 후술하는 하우징부의 출입공(208)에서 출입하는 출입편(328)이 형성되어 있다.

이하 상기와 같이 구성된 도어 슬라이더(320)의 하우징 구동 실린더(326)와 결합되어 전진 및 후진하는 하우징(340)은 하우징 구동 실린더(326)와 결합되어 전진 및 후진하는 것으로, 상기 도어 슬라이더(320)와 유사한 형상으로 이루어져 있다.

즉, 도어 슬라이더(320)의 하우징 구동 실린더(326)와 결합되는 부분인 후면은 밀폐되고, 상부, 하부 및 양측면이 밀폐되며, 전면에는 개구부(102)가 형성되어 그 내부에는 공간부가 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 하우징(340)의 내측에는 상기 반도체 자재 수납용기(400)의 도어를 개폐시키는 개폐부(380)가 구비된다.

우선 상기 개폐부(380)는 크게 회전부재(382), 래치키(390), 연결링크(384), 로드(393) 및 구동수단(395) 등을 포함한다.

도 11은 도 4에서 반도체 자재 수납용기 개폐부재의 회전부재를 확대하여 나타낸 사시도이다.

도 4, 도 5 및 도 11을 참조하면, 상기 회전부재(382)는 하우징(340)의 내면에 한 쌍으로 회전가능하게 설치되어 있다.

그리고 상기 래치키(390)는 상기 한 쌍의 회전부재(382)와 각각 함께 회전 가능하도록 설치되되, 반도체 자재 수납용기(400)의 도어의 체결홈(미도시)에 체결되어 회전함으로써 상기 반도체 자재 수납용기(400)의 도어를 개방 또는 폐쇄할 수 있도록 설치된다.

여기서 상기 래치키(390)는 전체적인 형상이 봉의 형상으로 이루어져 봉의 일단은 회전부재(382)와 결합되고, 타단에는 상기 반도체 자재 수납용기(400)의 도어의 체결홈에 대응되어 삽입 가능한 형상의 체결편(392)이 형성되어 있다.

또한 상기 래치키(390)의 체결편(392)이 반도체 자재 수납용기(400)의 도어의 체결홈에 삽입되어, 정방향 또는 역방향으로 회전하여 반도체 자재 수납용기(400)의 도어를 개방 또는 폐쇄시킬 수 있다면, 상기 체결홈(미도시) 및 체결편(392)의 형상은 그 횡단면상 다양하게 이루어질 수 있다.

그리고 연결링크(384) 및 로드(393)는 상기 한 쌍의 회전부재(382)를 서로 연결하여, 상기 회전부재(382)를 구동하기 위한 구동수단(395)을 각각 설치할 필요 없이 하나의 구동수단(395)으로 한 쌍의 회전부재(382)를 동일한 방향으로 회전시키는 역할을 한다.

이를 위해 상기 연결링크(384)는 한 쌍의 회전부재(382)에 각각 설치되어, 바람직하게는 원형의 패널로 이루어져 중앙부에는 래치키(390)가 삽입되는 통공(미도시)이 형성되어 있고, 일측으로 연장된 연장부(385)가 형성되어 있으며, 상기 연 장부(385)에는 장공(386)이 형성되어 있다.

그리고 상기 연결링크(384)는 타측으로 연장되게 위치알림부(387)가 형성되어 있다.

결국 상기 연결링크(384)는 중앙의 통공에 래치키(390)가 삽입되고, 일측에는 연장부(385)가 형성되며, 타측에는 위치알림부(387)가 형성되어 측면상 하우징(340)의 후면과 평행하게 배치되게 된다.

상기한 바와 같이 본 발명의 연결링크(384)를 서로 연결하여 하나의 구동수단(395)으로 한 쌍의 회전부재(382)를 같은 방향으로 일정 각도 회전시키기 위해 로드(393)가 구비된다.

즉, 한 쌍의 회전부재(382) 사이에 로드(393)가 배치되고, 후술하는 공압 또는 유압 실린더가 로드(393)를 좌우 이동시켜 한 쌍의 회전부재(382)를 동일 방향으로 동시에 회전시킬 수 있게 된다.

이와 같은 상기 로드(393)는 봉의 형상으로 이루어져, 양단에는 각각 연결링크(384)의 장공(386)에 회전 가능하게 체결되는 체결부(394)가 형성되어 있다.

상기 체결부(394)는 일측면은 로드(393)의 양단과 결합되므로 밀폐되며, 타측면은 개방되고, 상부 및 하부가 개방되며, 정면 및 배면은 밀폐되어 그 내부에 연결링크(384)의 연장부(385)가 삽입되는 것으로, 전체적인 형상이 평면상 "ㄷ"자의 형상으로 이루어져 있다.

또한 상기 체결부(394)의 삽입공간(394a)에 연결링크(384)의 연장부(385)가 삽입되면, 상기 연결링크(384)를 체결부(394)와 서로 고정시킬 수 있도록 상기 체 결부(394)의 정면 및 배면에는 홀(394b)이 설치되어 있다.

여기서 상기 연결링크(384)의 연장부(385)에 형성된 장공(386)이 체결부(394)의 삽입공간(394b)에 끼움 결합되고, 이를 고정하기 위한 핀(394c)이 추가로 결합된다.

즉, 상기 핀(394c)이 상기 체결부(394)의 전면에 형성된 홀(394b), 상기 장공(386), 후면에 형성된 홀(394b)을 차례로 관통하게 됨으로써, 상기 연결링크(384)의 연장부(385)와 체결부(394)가 서로 회전 가능하게 체결되는 것이다.

여기서 상기 연결링크(384)의 연장부(385)의 장공(386)과 핀(394c)의 사이에는 마찰저감부재(390)가 삽입되어, 상기 마찰저감부재(390)가 장공(386) 사이에서 전후를 미동가능하게 함으로써, 상기 연결링크(384)의 연장부(385)가 로드(393)의 체결부(394)의 삽입공간(394b)에서 회전할 때 마찰력을 저감시켜 더욱 부드럽게 회전할 수 있도록 한다.

여기서 상기 마찰저감부재(390)는 바람직하게는 회전하고 있는 기계의 축(軸)을 일정한 위치에 고정시키고 축의 자중과 축에 걸리는 하중을 지지하면서 축을 회전시키는 역할을 하는 베어링으로 구현하며, 상기 베어링은 널리 공지된 기술이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

여기서, 상기 연결링크(384)의 장공(386)에 의해 상하로 유격이 유지된 상태에서 상기 로드(393)가 좌우 회전되므로, 상기 로드(393)는 상하운동 없이 수평만으로 좌우 이동이 가능하게 된다.

한편 상기 베어링은 연결링크(384)의 연장부(385)의 장공(386)에 삽입되어 연결링크(384)의 길이방향으로 형성된 별도의 홀(미도시) 및 핀(미도시)에 의해 전후로 미동가능하게 지지되어 장공에서 이탈되지 않고 장공(386)의 내부에서 상기 핀에 의해 일측 및 타측으로만 이동할 수 있는 것이다.

상기 구동수단(395)은 이와 같은 구성된 본 발명의 로드를 좌우 수평 이동시키기 위한 것으로, 상기 구동수단(395)은 바람직하게는 급기구 및 배기구에 의해 급기 및 배기된 공압 또는 유압에 의해 로드를 수평 왕복 운동하는 공압 또는 유압 실린더로 구현한다.

상기 공압 또는 유압 실린더는 이미 공지된 기술이므로 상세한 설명은 생략하도록 한다.

또한, 상기 로드(393)가 좌우 수평이동하면, 상기 래치키(390)는 회전하게 되고, 상기 래치키(390)에 형성된 위치알림부(387)도 함께 회전하게 된다.

즉, 래치키(390)가 시계 12시 방향을 기준으로 정방향으로 일정각도 회전하였을 때 반도체 자재 수납용기(400)의 도어가 개방되고, 상기 래치키(390)가 시계 12시 방향을 기준으로 역방향으로 일정각도 회전하였을 때 반도체 자재 수납용기의 도어가 폐쇄되었다면, 상기 위치알림부(387)가 어느 방향으로 얼만큼의 각도로 회전하였는지를 파악하여 반도체 자재 수납용기(400)의 도어의 개폐여부를 파악할 수 있다.

따라서 상기 하우징(340)의 내면에서 회전부재(382)의 하측에는 상기 래치키(390)가 정방향 또는 역방향으로 반도체 자재 수납용기(400)의 도어의 개폐되는 각도 까지 회전하였는지를 감지하기 위해 회전감지센서(344)가 구비된다.

즉, 상기 회전감지센서(344)는 위치알림부(387)와 대응되는 위치에 좌우 한 쌍이 배치되어, 위치알림부(387)가 정방향 또는 역방향으로 회전하게 되면, 위치알림부(387)와 대응되는 위치에 놓인 회전감지센서(344)가 이를 감지하여 반도체 자재 수납용기(400)의 도어의 개폐를 파악하고 이를 제어할 수 있는 것이다.

한편 본 발명의 하우징(340)이 도어 슬라이더(320)의 하우징 구동 실린더(326)와 체결되어 전후 이동할 때 이를 감지하기 위해, 상기 하우징(340)의 전후 이동시 도어 슬라이더(320)의 출입편이 출입가능 하게 삽입되는 출입공(208)을 구비하고, 상기 출입공(208)의 주변에 한 쌍의 전진 및 후진 감지센서(346,347)가 설치된다.

상기 전진 및 후진 감지센서(346,347)는 바람직하게는 각각 출광부 및 입광부로 이루어져, 상기 하우징의 전진 및 후진에 따라 출입편(328)이 하우징의 출입공(208)에서 전진 및 후진하면 이를 감지하여 하우징(340)의 전진 및 후진 여부를 감지하고 이를 제어할 수 있게 하는 역할을 한다.

한편, 상기 하우징(340)의 내면에는 반도체 자재 수납용기(400)의 표면과 대 응되는 위치에 하나 이상의 흡착부재(342)를 설치한다.

상기 흡착부재(342)는 반도체 자재 수납용기(400)의 표면과 대응되어 접촉하는 부분이 오목부로 형성되어, 상기 오목부에 힘이 가해지면 오목부의 기체가 빠져 진공상태를 갖게 되는 공지의 기술수단을 사용하여, 상기 하우징(340)이 전진되어 반도체 자재 수납용기(400)의 도어로 접근되면, 상기 도어(미도시)와 고정되어 하우징(340) 및 도어의 사이가 더욱 공고히 결합되는 효과를 얻을 수 있다.

한편, 상기와 같이 구성된 하우징(340)의 전면을 개폐하기 위한 커버(348)를 구비한다. 상기 커버(348)는 전체적으로 패널의 형상으로 이루어지되, 흡착부재(342) 및 래치키(390)가 관통되어 외부로 노출되도록 상기 흡착부재(342) 및 래치키(390)와 대응되는 위치에 관통공(349)이 형성되어 있다.

또한 커버(348)와 반도체 자재 수납용기(400)가 결합되는 부분에는 상호간의 기밀유지를 위한 실링부재(350)를 추가적으로 포함할 수 있다.

상기와 같이 구성된 상태에서 개폐부재(300)가 개구부(102)로 이동하였을 때, 상기 개폐부재(300)의 도어 슬라이더(320) 및 반도체 자재 수납용기(400)의 사이에 형성된 밀폐 공간에 잔존하는 활성기체 및 먼지 입자 등을 제거하여야 한다.

이를 위해 상기 도어 슬라이더(320)의 일측 및 타측에 각각 질소와 같은 불활성기체가 주입 및 배출 가능하도록 기체주입구(322) 및 기체배출구(미도시)를 설치하게 된다.

여기서 기체배출구는 도어 슬라이더(320)가 개구부(102) 방향으로 이동하여 개구부(102)를 폐쇄하였을 때, 상기 도어 슬라이더(320)의 기체배출구는 프레임부에 형성된 별도의 배관과 연결되어 프레임부의 일측에 형성되어 외부의 기체는 유입될 수 없고 내부의 기체만 외부로 배출될 수 있는 구조로 이루어진다.

그리고 상기 하우징(340)의 일측에는 상기 기체주입구(322)와 연통되도록 도어 슬라이더(320)의 기체주입구(322)와 대응되는 일측에 유통공(362)이 형성되게 된다.

여기서 상기 하우징(340)이 전진하지 않은 상태에서는 기체주입구(322) 및 유통공(362)이 서로 유통되지만, 하우징이 전진한 상태에서는 도어 슬라이더(320)의 기체주입구(322)로 주입된 기체는 하우징의 유통공으로 유통되지 않고, 바로 기체배출구로 배출된다.

한편 하우징이 전진하지 않은 상태에서 상기 기체주입구(322)에 의해 유입된 기체는 유통공(362)을 통해 하우징(340)의 내부로 유입되고, 상기 하우징(340)은 커버(348)에 의해 밀폐된 상태이므로, 상기 유통공(362)에 의해 하우징(340)의 내부에 유입된 기체가 하우징(340)의 후면 및 측면을 경유하여 도어 슬라이더(320) 및 하우징(340)의 전측으로 배출된다.

결국 상기 기체주입구(322)에 의해 유입된 기체는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 개폐부재(300) 및 반도체 자재 수납용기 사이에 잔존하는 활성기체와 결합되어 혼합체를 이루며 도어 슬라이더(320) 및 하우징(340)의 전측으로 배출되며, 이는 결국 기체배출구로 배출된다.

여기서 상기 도어 슬라이더(320) 및 하우징(340)의 전측으로 배출되는 기체 체 중 활성기체의 양을 감지하기 위해 도어 슬라이더(320) 및 하우징(340)의 사이에는 기체감지센서(396)가 설치된다.

상기 기체감지센서(396)에 의해 도어 슬라이더(320) 및 하우징(340)의 사이를 통해 배출되는 잔존 활성기체의 양을 감지할 수 있게 된다.

상기와 같이 기체감지센서(396)가 잔존 활성기체의 양을 감지하여 배출되는 잔존 활성기체가 일정량 이하로 감소되면, 이를 근거로 잔존 활성기체의 제거 작업의 완료를 감지하고, 이에 따라 개폐부재의 래치키를 이용하여 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐하게 된다.

상기와 같은 구성에 의한 본 발명의 풉 오프너의 동작을 살펴보면 다음과 같다.

먼저 스테이지부재(200)의 상부에 반도체 자재 수납용기(400)가 안착되고, 이에 따라 본 발명의 클램핑부재(220)가 반도체 자재 수납용기(400)의 걸림홈(410)의 저면에 위치한 상태가 된다.

이 때 클램핑부재(220)의 구동부재(226)의 유입공에 기체가 유입되고, 유출공으로 유출되면, 상기 유입공에 의해 유입된 기체의 압력에 의해 구동부재(226)의 회전날개가 회전되고, 상기 회전날개와 연결된 구동부재(226)의 회전축(227)이 회전된다.

이에 따라 상기 구동부재(226)의 회전축(227)과 연결된 제1연결부재(224)가 회전되고, 상기 제1연결부재224)와 연결된 걸림부재(222)가 스테이지부재(200)의 출입공(208)의 내측에서 외측으로 이동하게 된다.

한편 구동부재(226)와 연결되지 않은 제2연결부재(225)는 상기 구동부재(226)와 연결된 제1연결부재(224)를 따라 단면상 서로 평행하게 전후 이동하게 된다.

결국 상기 한 쌍의 연결부재(224,225)에 의해 걸림부재(222)는 출입공(208)의 외측으로 이동한 이후에는 단면상 거의 수평운동을 하게 되고, 상기 걸림부재(222)의 끝단은 걸림부재(222)의 저면의 경사부 및 롤러(223)에 의해 걸림홈(410)의 단턱(412)을 부드럽게 경유하여 체결하게 됨으로써 스테이지부재(200) 및 반도체 자재 수납용기(400) 간에 서로 적절한 파지력에 의한 체결이 이루어진다.

상기 반도체 자재 수납용기(400)가 풉 오프너(1000)의 프레임부(100)의 스테이지부재(200)에 고정되면, 상기 반도체 자재 수납용기(400)와 개폐부재(300)의 사이가 일정거리 이격되어 있으므로 밀폐 공간이 형성된다.

여기서 상기 반도체 자재 수납용기(400)와 개폐부재(300)의 사이의 밀폐 공간에 잔존하는 활성기체 및 먼지 입자를 제거하기 위해 도어 슬라이더(320)의 기체주입구(322)로 불활성기체가 주입되고, 주입된 불활성기체는 하우징(340)의 유통공(362)을 경유하여 하우징(340)의 내부에 유입된다.

결국 상기 하우징(340)의 내부에 주입된 기체는 하우징(340)의 후면의 유출 공(364)을 통해 하우징(340)의 후면 및 양측면을 따라 도어 슬라이더(320) 및 하우징(340)의 전측으로 이동된다.

이에 따라 반도체 자재 수납용기(400)와 개폐부재(300) 사이의 공간의 잔존 활성기체 및 먼지 입자 등이 유입된 기체에 의해 전측으로 이동되게 된다.

여기서 상기 활성기체 및 먼지 입자 방출 공정 작업 중에 상기 도어 슬라이더(320)의 하우징 구동 실린더(326)에 의해 하우징(340)이 전진하게 되고, 이에 따라 하우징(340)의 래치키(390)가 반도체 자재 수납용기(400)의 체결홈(미도시)에 삽입되고, 상기 하우징(340)의 흡착부재(342)가 반도체 자재 수납용기(400)의 표면에 접촉 및 고정된다.

상기와 같이 반도체 자재 수납용기(400)가 상기 하우징(340)에 접촉 및 고정되면, 이미 상기 활성기체 및 먼지 입자 방출 공정 작업 중에 있으며, 전진 후의 하우징의 유통공은 도어 슬라이더의 기체주입구와 유통되지 않은 상태이므로, 불활성기체는 도어 슬라이더(320)의 기체주입구(322)를 통해 하우징의 유통공에 유통되지 않고, 바로 도어 슬라이더의 기체배출구로 방출되는 것이다.

여기서 상기 방출되는 활성기체의 양을 기체감지센서(396)가 감지하여, 상기 활성기체 방출 공정의 마감 여부를 판단하게 된다.

이에 따라 제어부는 기체감지센서(396)의 감지신호에 의해 감지된 활성기체가 기준치 이하로 판단되면, 개폐부재의 로드(393)에 의해 한 쌍의 회전부재(382) 및 이와 결합된 래치키(390)가 함께 회전된다.

여기서 상기 로드(393)의 양단의 체결부(394)는 회전부재(382)의 연결링 크(384)의 장공에 의해 일정 유격을 갖고 상하운동 없이 회전부재(382)를 일정 방향으로 회전시킬 수 있게 된다.

이어서 상기 래치키(390)의 회전에 의해 반도체 자재 수납용기(400)의 도어가 개방되면, 로드 슬라이더(320)의 하우징 구동 실린더(326)를 이용하여 하우징(340)을 다시 후진시키고, 상기 로드 슬라이더(320)는 상부의 실린더에 의해 가이드봉(420)을 따라 개구부(102)에서 타측으로 이동하여, 상기 풉 오프너(1000)의 개구부(102)를 개방시키게 된다.

여기서, 반도체 자재 수납용기(400)의 도어가 개폐되었을 때, 프레임부(100)에 설치된 돌출감지센서(104)가 반도체 자재 수납용기(400)의 내부에 수납된 반도체 자재의 일부가 외부로 돌출되는지의 여부를 판단하게 된다.

만약, 상기 반도체 자재의 돌출이 감지되면, 제어부에 의해 돌출된 반도체 자재를 본래의 위치로 되돌리는 작업이 수행되고, 이후에는 웨이퍼 반송 수단이 상기 반도체 자재 수납용기(400)에서 반도체를 반출하게 되는 것이다.

이상으로 본 발명의 구성요소를 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고 본 발명이 속한 기술분야에서 공지되어 있는 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변형과 응용이 가능함은 물론이다.

상기와 같은 구성에 의한 본 발명에 따르면, 본 발명의 따른 산화 방지용 차 폐기능을 가진 풉 오프너는 하우징의 유통공 및 유출공에 의해 주입된 기체가 하우징의 후면 및 측면을 순회하여 배출되므로 잔존 활성기체 및 미세한 먼지 입자 등을 효과적으로 배출할 수 있다.

또한, 상기 도어 슬라이더 및 하우징에서 기체가 배출되는 도어 슬라이더 및 하우징의 부근에는 기체감지센서가 설치됨으로써 잔존 활성기체 및 불활성기체의 정확한 양을 파악할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

아울러, 본 발명에 따른 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너의 클램핑부재에 구성된 한 쌍의 연결부재는, 걸림부재가 출입공을 이탈한 이후에는 거의 수평 이동을 하게 되어, 결과적으로 걸림부재가 거의 수평운동을 하게 되어 반도체 자재 수납용기의 걸림홈의 공간을 최소화할 수 있으며, 이에 따라 반도체 자재 수납용기의 전체적인 공간적 효율을 높일 수 있는 효과를 발휘한다.

또한, 본 발명의 클램핑부재는 반도체 자재 수납용기의 저면의 걸림홈에 체결되는 구조로, 반도체 자재 수납용기의 무게 중심 부분을 직접 체결함으로써, 적은 개수의 클램핑부재로도 탁월한 체결 효과를 발휘할 수 있다.

아울러, 본 발명에 따른 반도체 자재 수납용기 개폐부재는, 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐하는 한 쌍의 래치키를 서로 연결시키는 연결링크에 장공을 형성하여 수평으로 이동시킴으로써, 기기의 구성을 단순화시켜 제조비용을 절감하고 구동 전력을 절약할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

또한 상기 로드와 회전부재를 서로 연결시키는 연결링크에는 장공이 형성되어, 상기 로드가 장공에 의한 상하 유격에 의해 회전부재를 상하 이동 없이 좌우 수평이동만으로도 동일 방향으로 회전가능하게 하는 효과가 있다.

Claims

반도체 자재 수납용기가 삽입되는 개구부가 형성된 프레임부와, 상기 프레임부의 전면에 설치되어 반도체 자재 수납용기가 적재되는 스테이지부재와, 상기 프레임부의 후면에 설치되어 상기 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐시키는 개폐부재를 포함하는 풉 오프너(FOUP Opener)로서,

상기 개폐부재는,

상기 프레임부의 후면에 설치되어 수평 왕복운동하여 개구부를 개방 또는 폐쇄하되, 일측에는 기체주입구가 형성된 도어 슬라이더;

상기 도어 슬라이더에 결합되어 전진 또는 후진하되 상기 기체주입구와 연통되도록 일측에 유통공이 형성되며, 상기 유통공에 의해 하우징의 내부에 유입된 기체가 하우징의 후면 및 측면을 경유하여 전측으로 유출될 수 있도록 후면에 유출공이 형성된 하우징; 상기 하우징의 내측에 설치되어 상기 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐시키는 개폐부를 포함하며,

상기 도어 슬라이더 내부의 잔존 활성기체의 양을 감지하는 기체감지센서와,

상기 기체감지센서의 감지신호에 따라 개폐부를 이용하여 도어를 개방 또는 폐쇄하도록 제어하는 제어부를 포함하며,

상기 스테이지부재는,

상기 반도체 자재 수납용기를 결속 및 해제하기 위한 걸림부재와, 상기 걸림부재에 회전 가능하게 고정되는 한 쌍의 연결부재와, 상기 한 쌍의 연결부재 중 어 느 하나에 회전력을 전달하기 위한 구동부재로 이루어진 클램핑부재를 추가적으로 포함한 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제1항에 있어서,

상기 도어 슬라이더의 일측에는 상기 도어 슬라이더를 개구부 방향으로 전진 및 후진시켜 개구부를 기밀 또는 기밀 해제시키는 전후진수단이 추가적으로 형성된 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제1항에 있어서,

상기 프레임부에는,

반도체 자재 수납용기의 도어가 개폐되면, 반도체 자재 수납용기의 내부에 수납된 반도체 자재의 돌출여부를 감지하는 돌출감지센서를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제1항에 있어서,

상기 프레임부의 전후면 각각의 개구부의 둘레에는 도어 슬라이더 및 반도체 자재 수납용기와의 기밀을 위한 전면실링부재 및 후면실링부재가 추가적으로 설치 된 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제1항에 있어서,

상기 개폐부는,

상기 하우징에 회전가능하게 설치되는 한 쌍의 회전부재;

상기 회전부재에 각각 설치되되, 반도체 자재 수납용기의 도어와 체결되도록 체결부가 형성된 래치키;

상기 각 회전부재와 결합되되, 일측에는 장공이 형성된 한 쌍의 연결링크;

양단이 상기 연결링크의 장공과 각각 결합되는 로드; 및

상기 로드를 좌우 수평 운동시키는 구동수단을 포함한 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제5항에 있어서,

상기 하우징에는 반도체 자재 수납용기와의 고정을 위한 하나 이상의 흡착부재가 설치된 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제5항에 있어서,

상기 구동수단은 공압 또는 유압에 의해 구동되는 공압실린더 또는 유압실린더 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제5항에 있어서,

상기 연결링크의 타측에는 위치알림부가 형성되고,

상기 하우징에는 회전부재의 정방향 또는 역방향으로의 회전을 감지할 수 있도록 위치알림부와 대응되는 위치에 한 쌍의 회전감지센서가 설치된 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제5항에 있어서,

상기 장공에는 마찰저감부재가 설치된 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제5항에 있어서,

상기 하우징의 전면에는 밀폐를 위한 커버가 설치되고, 상기 커버에는 반도체 자재 수납용기와의 기밀을 위한 실링부재가 설치된 것을 특징으로 하는 산화 방 지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제1항에 있어서,

상기 스테이지부재에는 걸림부재가 삽입될 수 있는 출입공이 형성되어, 상기 걸림부재가 출입공에서 삽입된 상태에서 구동부재에 의한 연결부재의 회전에 의해 출입공의 내외측으로 출입 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제1항 또는 제11항 중 어느 하나의 항에 있어서,

상기 걸림부재의 저면에는 경사부가 형성된 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제12항에 있어서,

상기 걸림부재의 경사부에는 롤러가 형성된 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제13항에 있어서,

상기 걸림부재는 수납용기를 고정하는 방향으로 단면적이 감소되게 구성한 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제1항에 있어서,

상기 한 쌍의 연결부재 중 구동부재와 연결되지 않은 연결부재는 스테이지부재에 설치된 별도의 회동부와 회전 가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.
제1항 내지 제11항 중 어느 하나의 항에 있어서,

상기 구동부재는 기체압에 의해 회전되도록 구성된 것을 특징으로 하는 산화 방지용 차폐기능을 가진 풉 오프너.