KR20080109395A

KR20080109395A - 후프 웨이퍼 이송 장치

Info

Publication number: KR20080109395A
Application number: KR1020070057653A
Authority: KR
Inventors: 승 배 정; 형 섭 최
Original assignee: 주식회사 싸이맥스
Priority date: 2007-06-13
Filing date: 2007-06-13
Publication date: 2008-12-17

Abstract

본 발명은 후프 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 인접한 다수의 후프에서 웨이퍼를 인출 및 공정 챔버로 이송시킬 때 이송 효율을 대폭 향상시킬 수 있도록 구성된 후프 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.

본 발명의 목적은, 후프 및 후프 오프너를 통해 웨이퍼를 이송하는 데 따른 이송 효율을 향상시켜 웨이퍼 처리 공정의 효율을 극대화시킬 수 있는 후프 웨이퍼 이송 장치를 제공함에 있다. 상기한 목적을 실현하기 위하여 본 발명은, 서로 인접 설치되어 있는 다수의 후프(1, 2, 3, 4) 및 후프 오프너(5)와, 상기한 후프 오프너(5)의 일측면에 위치되도록 배치됨과 아울러 다수의 후프에서 2개씩 웨이퍼(W)를 인출 및 이송시킬 수 있도록 이송아암(6)이 전후좌우 및 회전하도록 설치되어 있는 이송로봇(7)과, 상기한 이송로봇(7)으로부터 웨이퍼(W)를 전달받아 처리 공정으로 이송시킴과 아울러 다수의 후프(1, 2, 3, 4)의 중간 부분에서 웨이퍼(W)를 전달받는 배큠로봇(8)으로 구성함을 특징으로 한다. 이와 같이 구성된 본 발명은 4개의 후프를 일정 간격으로 배열함과 아울러 후프의 거리에서 1/2만큼만을 이동하면서 웨이퍼를 취출하여 배큠로봇으로 전달하도록 전후좌우 이동 가능할 뿐만 아니라 회전 자재한 이송로봇 및 핸드부를 설치함으로써, 매우 신속하게 웨이퍼를 배큠로봇(공정장치)로 전달하여 웨이퍼 가공 공정의 효율이 극대화되는 잇점이 있는 것이다.

후프, 웨이퍼, 트랜스퍼 챔버, 이송장치

Description

후프 웨이퍼 이송 장치{SENDING APPARATUS OF FOUP WAFER}

도1은 본 발명에 따른 후프 웨이퍼 이송 장치를 도시한 평면도,

도2는 도1에서 웨이퍼를 이동시키는 이송 아암을 도시한 사시도,

도3은 도1에서 이송 아암이 웨이퍼를 배큠로봇으로 이송시키는 상태를 도시한 평면도,

도4는 도1에서 이송 아암이 제3, 4후프에서 웨이퍼를 이송시키는 것을 나타낸 평면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1, 2, 3, 4: 후프 5: 후프 오프너

6: 이송아암 7: 이송로봇

8: 배큠로봇 9: 제1회전실린더

10: 제2회전실린더 11: 제1링크

12: 제1힌지 13: 제2힌지

14: 제2링크 15: 핸드

16: 핸드부 W: 웨이퍼

A: 안착부

일반적으로, 반도체 제조 공정은 매우 큰 청정도를 유지하면서 웨이퍼를 공정 장비로 이송해야 하는 바, 상기한 웨이퍼의 청정 이송을 위해 후프(FOUP)를 사용하게 된다.

상기한 후프는 내부에 다수의 웨이퍼를 수납한 상태에서 공정 장비로 이송하게 되는 바, 상기한 후프에서 웨이퍼를 인출하기 위해서는 후프 오프너가 필요하게 된다.

즉, 후프가 후프 오프너로 이동하게 되면 후프를 개방시키면서 소정의 이송 로봇이 웨이퍼를 취출하여 공정 장비로 웨이퍼를 공급하게 되는 것이다.

물론, 상기한 후프가 후프 오프너로 공급되면 후프 오프너에 의해 후프가 열리게 되고, 후프에 내장되어 있는 웨이퍼를 이송 로봇이 한 장씩 이송시키게 되는것이다.

그러나, 상기한 바와 같이 하나의 후프 및 후프 오프너에 이송 로봇을 하나 설치한 상태에서 웨이퍼를 하나씩 이송시키게 되면 웨이퍼의 이송 효율이 매우 낮아지게 되고, 이로 인해 공정 장비로 웨이퍼가 공급되는 것이 늦어져 웨이퍼 처리 공정 효율이 전체적으로 저하되는 문제점이 있는 것이다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 후프 및 후프 오프너를 통해 웨이퍼를 이송하는데 따른 이송 효율을 향상시켜 웨이퍼 처리 공정의 효율을 극대화시킬 수 있는 후프 웨이퍼 이송 장치를 제공함에 있다.

상기한 목적을 실현하기 위하여 본 발명은, 서로 인접 설치되어 있는 다수의 후프 및 후프 오프너와, 상기한 후프 오프너의 일측면에 위치되도록 배치됨과 아울러 다수의 후프에서 2개씩 웨이퍼를 인출 및 이송시킬 수 있도록 이송아암이 전후좌우 및 회전하도록 설치되어 있는 이송로봇과, 상기한 이송로봇으로부터 웨이퍼를 전달받아 처리 공정으로 이송시킴과 아울러 다수의 후프의 중간 부분에서 웨이퍼를 전달받는 배큠로봇으로 구성함을 특징으로 한다.

도1은 본 발명에 따른 후프 웨이퍼 이송 장치를 도시한 평면도로서, 서로 인접 설치되어 있는 제1, 2, 3, 4 후프(1, 2, 3, 4) 및 후프 오프너(5)와, 상기한 후프 오프너(5)의 일측면에 위치되도록 배치됨과 아울러 다수의 후프에서 2개씩 웨이퍼(W)를 인출 및 이송시킬 수 있도록 이송아암(6)이 전후좌우 및 회전하도록 설치되어 있는 이송로봇(7)과, 상기한 이송로봇(7)으로부터 웨이퍼(W)를 전달받아 처리 공정(트랜스퍼챔버 또는 공정 챔버)로 이송시킴과 아울러 이송 로봇(7)이 1/2 이동한 거리에 위치되어 웨이퍼(W)를 전달받는 배큠로봇(8)으로 이루어져 있다.

상기한 이송로봇(7)의 이송아암(6)은 한번에 2개의 웨이퍼(W)를 2개의 후프(1, 2, 3, 4)로부터 취출하고 이송시킬 수 있게 되고, 4개의 후프의 중간 부분에 이송아암(6)이 위치된 상태에서 배큠로봇(8)으로 웨이퍼(W)를 전달하게 됨으로써, 매우 단순한 경로로 다수의 웨이퍼(W)를 이송시킬 수 있게 되는 것이다.

상기한 이송아암(6)은 도2에 도시된 바와 같이 이송로봇(7)에 의해 직선 왕복 운동하는 제1회전 실린더(9)와, 상기한 제1회전실린더(9)에 2개가 대향 설치되고 작동 시 서로 반대 방향으로 회전하는 제2회전실린더(10)와, 상기한 제2회전실린더(10)에 각각 일단이 연결된 제1링크(11)와, 상기한 제1링크(11)의 타단에 일단이 회전 가능하도록 제1힌지(12)로 연결됨과 아울러 타단이 서로 제2힌지(13)로 연결된 2개의 제2링크(14)와, 상기한 제2링크(14)중 일측에 고정됨과 아울러 웨이퍼(W)를 각각 후프에서 취출 및 이송하도록 구성된 2개의 핸드(15)가 형성된 핸드부(16)로 이루어져 있다.

즉, 상기한 핸드부(16)가 이송 로봇(7) 및 제1, 2회전 실린더(9, 10), 다수의 링크(11, 14)에 의해 전후좌우로 이동함과 아울러 회전 운동함으로써, 2개의 후프에서 각각 웨이퍼(W)를 인출 및 이송하여 배큠로봇(8)으로 전달할 수 있게 되는 것이다.

상기한 바와 같은 본 발명의 작용 효과를 설명하면 먼저 4개의 후프(1, 2, 3, 4)가 일정하게 배열된 상태에서 도1에 도시된 바와 같이 이송로봇(7)이 제1, 2후프(1, 2) 위치로 이동하게 되면, 제1회전실린더(9)가 회전하여 핸드부(16)가 제1, 2후프(1, 2)에 위치되도록 한다.

핸드부(16)가 제1, 2후프(1, 2)에 위치되면 제2회전실린더(10)가 각각 반대 방향으로 회전하게 되고, 상기한 회전에 의해 제1, 2링크(11, 14)가 회전하면서 핸 드부(16)가 화살표와 같이 전진하게 됨과 아울러 이와 동시에 후프 오프너(5)가 열리면서 웨이퍼(W)를 취출하게 된다.

즉, 핸드부(16)에서 2개의 핸드(15)가 각각 제1, 2후프(1, 2)에서 웨이퍼(W)를 취출하게 되는 것으로서, 상기한 핸드부(16)가 웨이퍼(W)를 취출하게 되면 이송로봇(7)이 작동하면서 도3에 도시된 바와 같이 배큠로봇(8)의 중심선 위치로 이동하게 되고, 이와 동시에 제1회전실린더(9)가 회전하면서 웨이퍼(핸드부)가 배큠로봇(8) 방향으로 위치하게 된다.

물론, 상기한 후프 오프너(5)의 개폐는 일반적인 별도의 제어 장치에 의해 이루어지게 된다.

핸드부(16)가 배큠로봇(8) 방향으로 회전하게 되면 다시 제2회전실린더(10)가 작동함과 아울러 제1, 2링크(11, 14)가 움직이면서 웨이퍼(W)를 배큠로봇(8)의 병행 배열된 안착부(A, A)에 내려놓게 되고 배큠로봇(8)이 이를 공정장비(트랜스퍼 챔버, 이송챔버등)로 이동시키게 된다.

제1, 2후프(1, 2)에서 취출된 웨이퍼(W)가 배큠로봇(8)으로 이송되면, 다시 제2회전실린더(10)가 작동하면서 핸드부(16)가 후진하도록 함과 아울러 제1회전실린더(9)가 역회전하여 다시 핸드부(16)가 후프 방향이 되도록 한다.

이 상태에서 이송로봇(7)이 도4에 도시된 바와 같이 이동하여 핸드부(16)를 제3, 4후프(3, 4)측으로 회전시키게 되고, 제2회전실린더(10)가 작동하면서 링크(11, 14)를 이동시켜 핸드부(16)가 제3, 4후프(3, 4)로 전진하도록 한다.

제3, 4후프(3, 4)로 핸드부(16)가 전진하면 후프 오프너(5)가 개방되면서 핸 드부(16)가 웨이퍼(W)를 취출하게 되고, 다시 핸드부(16)가 제2회전실린더(10) 및 링크(11, 14)에 의해 후진하게 됨과 아울러 제1회전실린더(9)에 의해 회전하게 되면, 다시 이송로봇(7)이 이동하여 도3과 같은 상태로 핸드부(16)를 이동시키게 된다.

핸드부(16)가 배큠로봇(8)의 중심선 위치로 이동하게 되면 다시 제2회전실린더(10) 및 링크(11, 14)가 작동하면서 웨이퍼(W)를 배큠로봇(8)으로 이동시키게 된다.

즉, 이송로봇(7) 및 핸드부(16)는 4개의 후프(제1, 2, 3, 4후프)(1, 2, 3, 4)에서 웨이퍼(W)를 취출 및 배큠로봇(8)으로 이송시키기 위해서 4개의 후프 사이의 거리에서 1/2만큼만 이동하면 되는 것으로서, 매우 신속하게 다량의 웨이퍼(W)를 배큠로봇(8)으로 이송시킬 수 있게 되는 것이다.

상기한 바와 같이 이송로봇(핸드부)(7)가 1/2의 거리만을 이동하면서도 4개의 후프(1, 2, 3, 4)에서 웨이퍼(W)를 취출하여 신속하게 배큠로봇(8)으로 전달하게 되면, 웨이퍼(W) 이송 효율이 대폭 향상될 수 있는 것이다.

이상과 같이 본 발명은 4개의 후프를 일정 간격으로 배열함과 아울러 후프의 거리에서 1/2만큼만을 이동하면서 웨이퍼를 취출하여 배큠로봇으로 전달하도록 전후좌우 이동 가능할 뿐만 아니라 회전 자재한 이송로봇 및 핸드부를 설치함으로써, 매우 신속하게 웨이퍼를 배큠로봇(공정장치)로 전달하여 웨이퍼 가공 공정의 효율이 극대화되는 잇점이 있는 것이다.

Claims

서로 인접 설치되어 있는 다수의 후프 및 후프 오프너와, 상기한 후프 오프너의 일측면에 위치되도록 배치됨과 아울러 다수의 후프에서 2개씩 웨이퍼를 인출 및 이송시킬 수 있도록 이송아암이 전후좌우 및 회전하도록 설치되어 있는 이송로봇과, 상기한 이송로봇으로부터 웨이퍼를 전달받아 처리 공정으로 이송시킴과 아울러 다수의 후프의 중간 부분에서 웨이퍼를 전달받는 배큠로봇으로 구성함을 특징으로 하는 후프 웨이퍼 이송 장치.
제1항에 있어서,

상기한 이송로봇의 이송아암은 한번에 2개의 웨이퍼를 2개의 후프로부터 취출하고 이송시킬 수 있게 구성함을 특징으로 하는 후프 웨이퍼 이송 장치.
제1항에 있어서,

상기한 이송아암은 이송로봇에 의해 직선 왕복 운동하는 제1회전 실린더와, 상기한 제1회전실린더에 2개가 대향 설치되고 작동 시 서로 반대 방향으로 회전하는 제2회전실린더와, 상기한 제2회전실린더에 각각 일단이 연결된 제1링크와, 상기한 제1링크의 타단에 일단이 회전 가능하도록 제1힌지로 연결됨과 아울러 타단이 서로 제2힌지로 연결된 2개의 제2링크와, 상기한 제2링크중 일측에 고정됨과 아울러 웨이퍼를 각각 후프에서 취출 및 이송하도록 구성된 2개의 핸드가 형성된 핸드 부로 구성함을 특징으로 하는 후프 웨이퍼 이송 장치.