KR20080107996A - 진공 흡인 방법 및 기억 매체 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 진공 처리실을 구비하는 진공 처리 장치의 진공 흡인 방법으로서,진공 흡인시, 상기 진공 처리실 내의 압력을 대기압 이하이고 6.7×102Pa(5Torr) 이상으로 유지하는 제 1 압력 조정 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 압력 조정 단계에 이어, 상기 진공 처리실 내를 상기 제 1 압력 조정 단계에서의 압력보다 높고 또한 대기압 이하의 압력으로 승압하는 제 2 압력 조정 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 제 1 압력 조정 단계 및 상기 제 2 압력 조정 단계를 반복하는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 처리실 내에 가열 가스 또는 상온의 불활성 가스를 도입하는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 처리실 내에 수분 분해 가스를 도입하는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 처리실 내의 분위기를 저 산소 분압 분위기로 치환하는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 처리실의 벽면이나 구성 부품의 표면을 가열하는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 처리실 내를 진공 흡인할 수 있게 크라이오 펌프(cryo pump)가 배치되고,상기 제 1 압력 조정 단계에 이어 진공 흡인을 계속하여, 상기 진공 처리실 내가 1.3×10Pa(0.1Torr) 이하로 감압된 후, 상기 크라이오 펌프가 가동되는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 압력 조정 단계에 이어 진공 흡인을 계속하여, 상기 진공 처리실 내가 1.3×10-2Pa(0.1mTorr) 이하로 감압된 후, 상기 진공 처리실 내를 진공 흡인하면서 해당 진공 처리실 내로 불활성 가스를 도입하는 제 3 압력 조정 단계와,상기 진공 처리실 내의 상기 불활성 가스를 배기하여 상기 진공 처리실 내를 1.3×10-2Pa(0.1mTorr) 이하로 감압하는 제 4 압력 조정 단계를 반복하는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 진공 처리실을 구비하는 진공 처리 장치의 진공 흡인 방법으로서,상기 진공 처리실 내의 수분을 응고시키지 않고 상기 진공 처리실 내를 감압하는 감압 단계와,상기 진공 처리실 내에서 단열 압축을 행하는 승압 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 감압 단계 및 상기 승압 단계를 반복하는 것을 특징으로 하는 진공 흡인 방법.
- 진공 처리실을 구비하는 진공 처리 장치의 진공 흡인 방법을 컴퓨터에게 실행시키는 프로그램을 저장하는 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체로서,상기 진공 흡인 방법은,진공 흡인시, 상기 진공 처리실 내의 압력을 대기압 이하이고 6.7×102Pa(5Torr) 이상으로 유지하는 제 1 압력 조정 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 기억 매체.
- 진공 처리실을 구비하는 진공 처리 장치의 진공 흡인 방법을 컴퓨터에게 실행시키는 프로그램을 저장하는 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체로서,상기 진공 흡인 방법은,상기 진공 처리실 내의 수분을 응고시키지 않고 상기 진공 처리실 내를 감압하는 감압 단계와,상기 진공 처리실 내에서 단열 압축을 행하는 승압 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 기억 매체.
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