KR20080105654A - Apparatus for eliminating particles in clean room - Google Patents

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KR20080105654A
KR20080105654A KR1020070053500A KR20070053500A KR20080105654A KR 20080105654 A KR20080105654 A KR 20080105654A KR 1020070053500 A KR1020070053500 A KR 1020070053500A KR 20070053500 A KR20070053500 A KR 20070053500A KR 20080105654 A KR20080105654 A KR 20080105654A
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성준경
조현태
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엘지전자 주식회사
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    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Abstract

A particle removing device for a clean room is provided to remove the particles generated from the clean room by moving the particle removing device along the guide rail automatically. A particle removing device for a clean room(1) comprises the guide rail(10), the main body(100), the lift pump(200), the suction tube(300), and the suction probe(400). The guide rail is installed inside the clean room and forms the fixed route. The main body is installed in the guide rail. The main body moves along the route. The absorption pump is installed at the inner part of the main body. The absorption pump includes the built-in pump. One end of suction tube is connected to the absorption pump. The other end of suction tube is connected to the main body outside. The suction probe is connected to the other end of the suction tube. The suction probe inhales the particles of the clean room inside.

Description

클린룸용 파티클 제거장치{APPARATUS FOR ELIMINATING PARTICLES IN CLEAN ROOM}Particle removal device for clean room {APPARATUS FOR ELIMINATING PARTICLES IN CLEAN ROOM}

도 1은 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치의 바람직한 실시예의 개략적인 구성을 보인 구성도이고,1 is a block diagram showing a schematic configuration of a preferred embodiment of a particle removal device for a clean room according to the present invention,

도 2는 도 1의 실시예의 제어부를 중심으로 한 작동라인을 나타낸 블럭도이고,FIG. 2 is a block diagram showing an operation line around the control unit of the embodiment of FIG. 1;

도 3은 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치의 흡입관 및 흡입프로브의 일실시예를 나타낸 사시도이며,3 is a perspective view showing an embodiment of a suction pipe and a suction probe of the particle removal device for a clean room according to the present invention;

도 4는 도 1의 실시예의 사용상태도이다.4 is a state diagram used in the embodiment of FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 파티클 제거장치 10 : 가이드레일  1: Particle removal device 10: Guide rail

100 : 본체 200 : 흡입펌프100: main body 200: suction pump

300 : 흡입관 350 : 구동부300: suction pipe 350: drive unit

400 : 흡입프로브 500 : 제어부400: suction probe 500: control unit

520 : 파티클측정기 540 : 환경측정수단520: particle measuring instrument 540: environmental measuring means

550 : 프로브위치센서 560 : 본체위치센서550: probe position sensor 560: body position sensor

600 : 수신기 700 : 송신기600: receiver 700: transmitter

800 : 디스플레이부 900 : 클린룸800: display unit 900: clean room

본 발명은 클린룸용 파티클 제거장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 클린룸의 전체 기류를 제어하기 위한 메인 기류제어 시스템과는 별도로 클린룸에 설치된 생산설비 등의 국부적인 지역에서 발생하는 파티클을 용이하게 제거할 수 있고, 그와 동시에 환경에 대한 측정까지 함께 할 수 있는 클린룸용 파티클 제거장치에 관한 것이다.The present invention relates to a particle removal device for a clean room, and more particularly, to easily generate particles generated in a local area, such as a production facility installed in a clean room, separate from the main air flow control system for controlling the overall air flow of the clean room. The present invention relates to a particle removal device for a clean room which can be removed, and at the same time, a measurement of the environment can be performed at the same time.

일반적으로 클린룸(Clean Room)은 어떠한 구획의 내부에 먼지나 이물질이 전혀 없는 방을 의미하기 때문에 청정실이라고도 하며, 이러한 클린룸은 초고정밀 직접회로나 유전자 조작 및 청정한 상태에서 약품이나 화학물질을 취급하는 곳에서와 같이 오염에 의하여 품질에 상당한 영향을 미치는 경우에 설치한다.In general, a clean room is called a clean room because it means a room where there is no dust or foreign matter inside a compartment. Such a clean room handles drugs or chemicals in an ultra-high precision integrated circuit or genetically manipulated and cleaned. Install if contamination has a significant impact on quality, such as where.

상기와 같은 클린룸의 경우 깨끗한 상태로 작업장에 진입할 수 있도록 작업자의 피복이나 신체 또는 외부에서 함께 유입되는 먼지를 제거하기 위하여 클린룸의 입구에 클리닝장치를 설치한다. 또한, 클린룸의 내부에도 지속적으로 쾌적하면서도 깨끗한 공기를 공급하고, 공급된 공기를 신속하게 외부로 배출하기 위한 기류제어 시스템을 적용하고 있다.In the case of the clean room as described above, a cleaning device is installed at the inlet of the clean room to remove dust from the worker's coat or the body or the outside to enter the workplace in a clean state. In addition, the airflow control system is continuously applied to the inside of the clean room to provide comfortable and clean air and to quickly discharge the supplied air to the outside.

또한, 상기와 같은 클린룸은 청정도에 따라 여러 등급으로 구분되어지는데, 청정도는 단위 면적당 존재하는 일정 크기의 파티클의 개수에 의해 구분되며, 일정 수준의 청정도를 유지하기 위해 수시로 파티클의 측정 및 제거가 이루어져야 한다. 또한, 파티클 뿐만 아니라 온도, 습도, 압력 및 케미컬을 일정하게 유지하는 것도 클린룸의 관리를 위해서는 대단히 중요한 문제이다. 특히, 우발적인 사고가 예상되어 청정도에 영향을 줄 수 있는 지점을 파악하여 항상 파티클의 측정 및 제거가 이루어져야 하고, 부유하는 파티클을 제거하기 위하여 클린룸 내부를 이동하면서 지속적인 청정도의 측정 및 유지가 요구된다.In addition, such clean rooms are classified into various grades according to cleanliness, and cleanliness is classified by the number of particles having a certain size per unit area, and from time to time, measurement and removal of particles is frequently performed to maintain a certain level of cleanliness. Should be done. In addition, maintaining temperature, humidity, pressure and chemicals as well as particles is a very important problem for the management of clean rooms. In particular, it is necessary to measure and remove particles at all times by identifying a point where an accident may affect the cleanliness, and to continuously measure and maintain cleanliness while moving inside the clean room to remove floating particles. do.

이러한 클린룸의 청정도 및 환경에 대한 적절한 관리를 위하여 종래의 클린룸용 기류제어 시스템 및 환경측정 시스템 등이 있다. 통상의 기류제어 시스템의 경우에는 클린룸의 상부에 설치되는 유입팬에 의하여 외부공기가 클린룸 내부로 공급되는데 클린룸의 상부에 설치되는 필터를 경유하여 청정한 상태로 외부공기가 유입되고, 유입된 공기는 클린룸의 외부로 배출되어지는 구성이다. 또한, 통상의 환경측정 시스템의 경우에는 호스트컴퓨터에 케이블을 통해 연결된 센서, 카운터 및 분석기가 클린룸의 환경을 측정하여 호스트컴퓨터로 측정된 신호를 전송한다.In order to properly manage the cleanliness and environment of such a clean room, there are conventional air flow control systems and environmental measurement systems for clean rooms. In the conventional airflow control system, external air is supplied into the clean room by an inlet fan installed at the upper part of the clean room, and external air is introduced in a clean state through a filter installed at the upper part of the clean room. Air is discharged to the outside of the clean room. In the case of a conventional environmental measurement system, sensors, counters, and analyzers connected to the host computer through a cable measure the environment of the clean room and transmit the measured signals to the host computer.

그러나, 종래의 기류제어 시스템은 단순히 클린룸으로 외부공기를 필터링하여 청정한 상태로 공급하고, 공급된 공기를 다시 외부로 배출하는 구성이기 때문에 생산설비 자체에서 발생하는 이물질이나 생산설비에서 생산되는 제품으로부터 발생하는 이물질을 용이하게 제거하지 못하게 됨으로써 클린룸의 청정도를 저하시키는 원인이 된다.However, the conventional airflow control system is simply configured to filter the outside air into a clean room, supply it in a clean state, and discharge the supplied air back to the outside. By not being able to easily remove the foreign matter generated, it is a cause of lowering the cleanliness of the clean room.

또한, 종래의 환경측정 시스템은 센서 및 분석기 등이 대부분 고정형으로 사용되므로 클린룸의 국부적인 지역에 대해서는 정확한 측정이 어렵고, 이를 위하여 작업자가 직접 이동하여 측정해야 하는 문제가 있다.In addition, in the conventional environmental measurement system, since most sensors and analyzers are used as a fixed type, it is difficult to accurately measure a local area of a clean room, and for this purpose, a worker must move and measure directly.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명의 목적은, 클린룸의 전체 기류를 제어하기 위한 메인 기류제어 시스템과는 별도로 클린룸에 설치된 생산설비 등의 국부적인 지역에서 발생하는 파티클을 용이하게 제거할 수 있고, 그와 동시에 환경에 대한 측정까지 함께 할 수 있는 클린룸용 파티클 제거장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention devised to solve the above problems, it is easy to particles generated in the local area, such as production facilities installed in the clean room, separate from the main air flow control system for controlling the overall air flow of the clean room. It is to provide a particle removal device for a clean room that can be removed and at the same time can also measure the environment.

본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관된 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.Other objects, specific advantages and novel features of the invention will become more apparent from the following detailed description and preferred embodiments in conjunction with the accompanying drawings.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 클린룸용 파티클 제거장치는, 클린룸 내부에 설치되어 일정한 경로를 형성하는 가이드레일과, 상기 가이드레일에 설치되어 상기 경로를 따라 이동하는 본체와, 상기 본체 내부에 설치되고, 필터가 내장된 흡입펌프와, 일단이 상기 흡입펌프와 연결되고, 타단이 상기 본체 외부로 돌출된 흡입관과, 상기 흡입관의 타단과 연결되고, 클린룸 내부의 파티클을 흡입할 수 있는 흡입프로브를 포함하여 이루어진다.In order to achieve the above object, the apparatus for removing particles for a clean room of the present invention includes a guide rail installed inside the clean room to form a predetermined path, a main body installed on the guide rail and moving along the path, and the inside of the main body. A suction pump having a built-in filter, one end of which is connected to the suction pump, the other end of which is connected to the suction tube protruding out of the main body, and the other end of the suction tube, and which can suck particles in the clean room. It includes a suction probe.

또한, 상기 흡입펌프에 설치되어 상기 흡입프로브로부터 흡입된 파티클을 측정할 수 있는 파티클측정기와, 상기 파티클측정기로부터 신호를 입력받고, 미리 설정된 기준과 입력된 상기 신호를 비교하여 상기 흡입펌프의 흡입량을 조절할 수 있는 제어부와, 상기 제어부로부터 신호를 수신하여 상기 파티클의 양을 외부에 보여 주는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a particle measuring device installed on the suction pump and capable of measuring particles sucked from the suction probe, and receiving a signal from the particle measuring device, comparing the input signal with a predetermined reference and comparing the input signal with the suction amount of the suction pump. The control unit may further include a control unit and a display unit which receives a signal from the control unit and shows the amount of the particle to the outside.

또한, 상기 흡입프로브는 각각의 일단이 상기 흡입관의 타단과 연결되고, 각각의 타단이 상기 흡입관의 타단으로부터 방사형으로 일정한 각도로 배열되고, 중공관 형상으로 된 복수의 흡입튜브인 것을 특징으로 한다.In addition, the suction probe is characterized in that each end is connected to the other end of the suction tube, each other end is a plurality of suction tubes arranged in a radial angle from the other end of the suction tube, the hollow tube shape.

또한, 상기 복수의 흡입튜브는, 각각 일단으로부터 타단으로 갈수록 내경이 확장된 깔때기 형상인 것을 특징으로 한다.In addition, each of the plurality of suction tubes is characterized in that the funnel shape of the inner diameter is extended from one end to the other end.

또한, 상기 흡입관은 복수가 구비되고, 상기 흡입프로브는 상기 복수의 흡입관과 동수가 구비되어 각각이 상기 복수의 흡입관 각각과 연결된 것을 특징으로 한다.In addition, the suction pipe is provided with a plurality, the suction probe is characterized in that the plurality of suction pipes and the same number are each connected to each of the plurality of suction pipes.

또한, 상기 흡입관은, 상기 흡입프로브가 상기 본체 내부로 수용될 수 있도록 길이조절이 가능한 텔레스코픽 형상인 것을 특징으로 한다.In addition, the suction pipe is characterized in that the telescopic shape is adjustable in length so that the suction probe is accommodated in the body.

또한, 상기 흡입프로브에 설치되어 상기 흡입관의 길이방향선에 위치한 사물을 감지할 수 있는 프로브위치센서와, 상기 본체에 설치되어 상기 흡입관의 길이를 조절할 수 있는 구동부와, 상기 본체에 설치되어 상기 프로브위치센서로부터 신호를 입력받아 상기 구동부를 구동시키는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a probe position sensor installed in the suction probe for sensing an object located in the longitudinal line of the suction pipe, a drive unit installed in the main body to adjust the length of the suction pipe, and installed in the main body the probe And a control unit for receiving a signal from a position sensor and driving the driving unit.

또한, 상기 본체에 설치되어 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 적어도 어느 하나 이상을 측정할 수 있는 환경측정수단과, 상기 본체에 설치되어 상기 본체의 위치를 알려주는 본체위치센서와, 상기 환경측정수단 및 상기 본체위치센서로부터 신호를 수신하여 상기 본체의 위치 및 상기 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 선택된 어느 하나 이상을 외부에 보여주는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the environmental measurement means installed on the main body to measure at least one or more of temperature, humidity, pressure or chemical, the main body position sensor installed on the main body to inform the position of the main body, the environmental measuring means And a display unit configured to receive a signal from the main body position sensor to externally display a position of the main body and at least one selected from the temperature, humidity, pressure, and chemical.

또한, 사용자의 조작에 의해 무선으로 신호를 전송하는 송신기와, 상기 몸체에 설치되어 상기 송신기로부터 상기 신호를 무선으로 수신하는 수신기와, 상기 수신기로부터 상기 신호를 입력받아 상기 몸체, 상기 흡입펌프 및 상기 흡입관의 구동부를 작동시키는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a transmitter for transmitting a signal wirelessly by a user's operation, a receiver installed in the body for wirelessly receiving the signal from the transmitter, receiving the signal from the receiver, the body, the suction pump and the It further comprises a control unit for operating the drive of the suction pipe.

또한, 상기 가이드레일은, 복수가 구비되어 각각이 서로 다른 경로를 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, the guide rail is characterized in that a plurality is provided to form a different path from each other.

또한, 상기 가이드레일은, 상기 클린룸의 상층부에 설치된 것을 특징으로 한다.In addition, the guide rail is characterized in that provided in the upper layer of the clean room.

이하에서는 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the particle removal device for a clean room according to the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치의 바람직한 실시예의 개략적인 구성을 보인 구성도이고, 도 2는 도 1의 실시예의 제어부를 중심으로 한 작동라인을 나타낸 블럭도이고, 도 3은 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치의 흡입관 및 흡입프로브의 일실시예를 나타낸 사시도이며, 도 4는 도 1의 실시예의 사용상태도이다.1 is a block diagram showing a schematic configuration of a preferred embodiment of a particle removal device for a clean room according to the present invention, Figure 2 is a block diagram showing an operation line around the control unit of the embodiment of Figure 1, Figure 3 4 is a perspective view illustrating an embodiment of a suction pipe and a suction probe of the particle removal device for a clean room according to the present invention, and FIG. 4 is a state diagram of the embodiment of FIG. 1.

도 1에 나타낸 바와 같이 본 발명의 클린룸용 파티클 제거장치(1)는 클린룸(900) 내부에 설치되는 가이드레일(10)을 따라 이동하는 본체(100)와 상기 본 체(100)에 설치되는 흡입펌프(200), 흡입관(300), 구동부(350), 흡입프로브(400), 제어부(500), 파티클측정기(520), 환경측정수단(540), 프로브위치센서(550), 본체위치센서(560) 및 수신기(600)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the particle removal device 1 for a clean room of the present invention is installed in the main body 100 and the main body 100 moving along the guide rail 10 installed in the clean room 900. Suction pump 200, suction pipe 300, drive unit 350, suction probe 400, the control unit 500, the particle measuring device 520, environmental measuring means 540, probe position sensor 550, body position sensor 560 and receiver 600.

본체(100)는 클린룸(900) 내부에 설치되어 일정한 경로를 형성하는 가이드레일(10)에 설치되고, 상기 경로를 따라 이동한다. 본체(100)가 가이드레일(10)을 따라 이동하기 위해서는 구동수단이 필요하고, 구동수단은 본체에 제공된 바퀴와 상기 바퀴를 회전시킬 수 있는 전기모터일 수 있다. 어떠한 구동수단이든 본체(100)가 가이드레일(10)을 따라 이동할 수 있으면 족하다. 또한, 본체(100)는 내부에 후술할 흡입펌프(200), 제어부(500) 등이 구비되므로 충분한 크기이면 족하고, 어떠한 형태라도 무방하다.The main body 100 is installed in the guide rail 10 installed in the clean room 900 to form a predetermined path, and moves along the path. In order for the main body 100 to move along the guide rail 10, a driving means is required, and the driving means may be a wheel provided in the main body and an electric motor capable of rotating the wheel. Any drive means is sufficient if the body 100 can move along the guide rail 10. In addition, since the main body 100 is provided with a suction pump 200, a control unit 500, and the like described later, a sufficient size may be sufficient, and any shape may be used.

흡입펌프(200)는 상기 본체(100) 내부에 설치되고, 필터가 내장된다. 흡입펌프(200)는 일반적인 진공펌프를 말하며, 클린룸(900) 내부의 파티클을 진공으로 흡입하기 위한 것이다. 흡입펌프(200)를 구동시키기 위해서 전기모터가 사용될 수 있다. 흡입펌프(200)에 흡입된 파티클을 함유한 공기는 흡입펌프(200)에 내장된 필터를 거쳐 파티클이 여과된 후에 청정한 상태로 배출된다.Suction pump 200 is installed inside the main body 100, the filter is built. The suction pump 200 refers to a general vacuum pump, and is for suctioning particles inside the clean room 900 with a vacuum. An electric motor may be used to drive the suction pump 200. Air containing particles sucked into the suction pump 200 is discharged in a clean state after the particles are filtered through a filter built in the suction pump 200.

흡입관(300)은 일단이 상기 흡입펌프(200)와 연결되고, 타단이 상기 본체(100) 외부로 돌출된다. 흡입관(300)의 일단은 흡입펌프(200)가 진공 흡입되는 입구와 연결된 것이고, 흡입관(300)의 타단은 본체(100)의 외부로 돌출되어 클린룸(900) 내부의 파티클을 용이하게 흡입하기 위한 것이다. 또한, 흡입관(300)은 복수가 구비될 수 있고, 그에 따라 여러 방향을 통해 파티클을 보다 효과적으로 제 거할 수 있다. 이 경우, 흡입관(300)의 일단과 연결된 흡입펌프(200)는 복수의 흡입관(300) 각각과 연결된 복수의 흡입펌프(200)가 설치될 수 있고, 하나의 흡입펌프(200)를 통하여 복수의 흡입관(300)을 연결할 수도 있다. 또한, 흡입관(300)은 후술할 흡입프로브(400)가 본체(100) 내부로 수용될 수 있도록 길이 조절이 가능한 텔레스코픽 형상일 수 있고, 흡입관(300)의 길이를 조절할 수 있는 구동부(350)가 본체(100)에 설치될 수 있다. 이를 통하여, 흡입관(300)의 길이를 임의로 조절할 수 있어 본체(100)의 이동시나 흡입시 생산설비 등에 간섭되지 않고, 보다 용이하게 파티클을 제거할 수 있다. 흡입관(300)의 길이조절 방식인 텔레스코픽 타입은 종래의 구현기술로 구현 가능하므로 그 상세한 설명은 생략한다.One end of the suction pipe 300 is connected to the suction pump 200, and the other end of the suction pipe 300 protrudes out of the main body 100. One end of the suction pipe 300 is connected to the inlet through which the suction pump 200 is vacuum suctioned, and the other end of the suction pipe 300 protrudes out of the main body 100 to easily suck particles in the clean room 900. It is for. In addition, the suction pipe 300 may be provided with a plurality, thereby removing the particles more effectively through various directions. In this case, the suction pump 200 connected to one end of the suction pipe 300 may be provided with a plurality of suction pumps 200 connected to each of the plurality of suction pipes 300, and through a single suction pump 200. It is also possible to connect the suction pipe (300). In addition, the suction pipe 300 may be a telescopic shape that can be adjusted in length so that the suction probe 400 to be described later is accommodated into the body 100, the driving unit 350 that can adjust the length of the suction pipe 300 It may be installed in the main body 100. Through this, the length of the suction pipe 300 can be arbitrarily adjusted, so that the particles can be more easily removed without interfering with the production equipment during movement or suction of the main body 100. Since the telescopic type of the length adjusting method of the suction pipe 300 can be implemented by a conventional implementation technique, the detailed description thereof will be omitted.

흡입프로브(400)는 상기 흡입관(300)의 타단과 연결되고, 클린룸(900) 내부의 파티클을 흡입할 수 있다. 흡입프로브(400)는 도 1에 나타낸 바와 같이 단순한 형상일 수도 있고, 도 3에 나타낸 바와 같이 복수의 흡입튜브(450)로 구성되어 각각의 일단이 상기 흡입관(400)의 타단과 연결되고, 각각의 타단이 상기 흡입관(400)의 타단으로부터 방사형으로 일정한 각도로 배열된 중공관 형상일 수 있다. 흡입프로브(400)는 클린룸(900) 내부의 파티클을 보다 용이하게 흡입하기 위한 것으로서, 상기 복수의 흡입튜브(450)는 각각 일단으로부터 타단으로 갈수록 내경이 확장된 깔때기 형상을 가지는 것이 더욱 바람직하다. 복수의 흡입튜브(450)가 일정한 각도로 방사상 배열된 것은 클린룸(900)의 내부 공기를 흡입시 이상 기류가 발생하여 오히려 파티클이 비산되는 것을 방지하기 위한 것이다. 또한, 흡입관(300)이 복수가 구비된 경우 흡입프로브(400)는 상기 복수의 흡입관(300)과 동수 가 구비되어 각각이 상기 복수의 흡입관(300) 각각과 연결된다.The suction probe 400 may be connected to the other end of the suction pipe 300 and suck particles in the clean room 900. Suction probe 400 may be of a simple shape as shown in Figure 1, as shown in Figure 3 is composed of a plurality of suction tube 450, each end is connected to the other end of the suction pipe 400, respectively The other end of the suction pipe 400 may be a hollow tube shape arranged at a predetermined angle radially from the other end. Suction probe 400 is to more easily suck the particles inside the clean room 900, the plurality of suction tube 450 is more preferably each having a funnel shape of the inner diameter is extended from one end to the other end. . The plurality of suction tubes 450 are radially arranged at a predetermined angle to prevent particles from scattering due to abnormal air flow when suctioning the air inside the clean room 900. In addition, when a plurality of suction pipes 300 is provided, the suction probe 400 is provided with the same number as the plurality of suction pipes 300 and each is connected to each of the plurality of suction pipes 300.

제어부(500)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 본체(100), 진공펌프(200), 구동부(350)를 제어하고, 각종 센서와 연결되어 각각의 신호를 송수신하여 처리한다.As shown in FIG. 2, the controller 500 controls the main body 100, the vacuum pump 200, and the driving unit 350, and is connected to various sensors to transmit and receive respective signals.

파티클측정기(520)는 상기 흡입펌프(200)에 설치되어 흡입프로브(400)로부터 흡입된 파티클을 측정할 수 있다. 즉, 흡입프로브(400)에 흡입된 파티클이 흡입관(300)을 거쳐 흡입펌프(200)로 이동하여 흡입펌프(200)에 내장된 필터를 거치기 전에 파티클측정기(520)에 의해서 파티클의 양이 측정되는 것이다. 파티클측정기(520)의 파티클 측정기술은 일반적인 파티클카운터 등에 의하여 구현가능하므로 그 상세한 설명은 생략한다. 여기서 제어부(500)는 상기 파티클측정기(520)로부터 신호를 입력받고, 미리 설정된 기준과 입력된 상기 신호를 비교하여 상기 흡입펌프(200)의 흡입량을 조절할 수 있다. 즉, 파티클측정기(520)가 흡입펌프(200)에 흡입된 파티클의 양을 측정하여 제어부(500)로 신호를 전달하고, 제어부(500)에서는 파티클의 양에 따라 흡입펌프(200)의 흡입량을 조절한다. 예컨대, 파티클의 양이 적을 때는 흡입펌프(200)의 흡입량을 적게, 파티클의 양이 많을 때는 흡입펌프(200)의 흡입량을 많게 조절하는 것이다. 한편, 후술할 디스플레이부(800)는 상기 제어부(500)로부터 신호를 수신하여 상기 파티클의 양을 외부에 보여줄 수 있다.Particle measuring unit 520 may be installed in the suction pump 200 to measure the particles sucked from the suction probe (400). That is, before the particles sucked into the suction probe 400 move to the suction pump 200 through the suction pipe 300 and pass through the filter embedded in the suction pump 200, the particle amount is measured by the particle measuring unit 520. Will be. Particle measuring technology of the particle measuring device 520 can be implemented by a general particle counter or the like, and a detailed description thereof will be omitted. Herein, the control unit 500 may receive a signal from the particle measuring unit 520 and compare the preset reference with the input signal to adjust the suction amount of the suction pump 200. That is, the particle measuring unit 520 measures the amount of particles sucked into the suction pump 200 and transmits a signal to the control unit 500, and the control unit 500 adjusts the suction amount of the suction pump 200 according to the amount of particles. Adjust For example, when the amount of particles is small, the suction amount of the suction pump 200 is reduced, and when the amount of particles is large, the suction amount of the suction pump 200 is adjusted to be large. On the other hand, the display unit 800 to be described later may receive a signal from the control unit 500 to show the amount of the particle to the outside.

프로브위치센서(550)는 상기 흡입프로브(400)에 설치되어 상기 흡입관(300)의 길이방향선에 위치한 사물을 감지할 수 있다. 즉, 흡입관(300)이 길이를 조절 할 수 있는 텔레스코픽 형상인 경우 구동부(350)에 의해 흡입관(300)의 길이가 조절될 수 있고, 프로브위치센서(550)가 흡입관(300)의 길이방향선에 위치한 사물을 감지하여 흡입관(300)의 길이를 조절하게 된다. 또한, 제어부(500)는 상기 프로브위치센서(550)로부터 신호를 입력받아 상기 구동부(350)를 구동시킨다. 즉, 흡입프로브(400)에 설치된 프로브위치센서(550)가 흡입관(300)의 길이방향선에 위치한 사물을 감지하여 제어부(500)에 신호를 전달한다. 상기 신호를 수신한 제어부(500)는 흡입프로브(400)가 사물에 간섭되지 않도록 흡입관(300)의 길이를 조절하기 위하여 구동부(350)를 구동시키는 것이다.The probe position sensor 550 may be installed in the suction probe 400 to detect an object located in a longitudinal line of the suction pipe 300. That is, when the suction pipe 300 has a telescopic shape capable of adjusting the length, the length of the suction pipe 300 may be adjusted by the driving unit 350, and the probe position sensor 550 may be in the longitudinal direction of the suction pipe 300. The length of the suction pipe 300 is adjusted by detecting an object located in the suction pipe 300. In addition, the control unit 500 receives the signal from the probe position sensor 550 to drive the driving unit 350. That is, the probe position sensor 550 installed in the suction probe 400 detects an object located in the longitudinal line of the suction pipe 300 and transmits a signal to the controller 500. The control unit 500 receiving the signal drives the driving unit 350 to adjust the length of the suction pipe 300 so that the suction probe 400 does not interfere with the object.

환경측정수단(540)은 상기 본체에 설치되어 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 적어도 어느 하나 이상을 측정할 수 있고, 본체위치센서(560)는 상기 본체(100)에 설치되어 상기 본체(100)의 위치를 알려준다. 환경측정수단(540)은 하나 또는 둘 이상의 센서가 결합된 것으로서, 본체위치센서(560)와 함께 일반적인 센서 기술로 구현 가능하므로 그 상세한 설명은 생략한다. 여기서, 상기 측정된 본체(100)의 위치 및 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 선택된 어느 하나 이상을 외부에 보여주는 디스플레이부(800)를 더 포함할 수 있다. 디스플레이부(800)는 본체(100)에 설치될 수도 있고, 사용자가 용이하게 파악할 수 있는 위치라면 어디라도 설치될 수도 있다. 한편, 제어부(500)는 상기 환경측정수단(540) 및 상기 본체위치센서(560)로부터 상기 본체(100)의 위치 및 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 선택된 어느 하나 이상의 신호를 수신할 수 있다. 상기 신호를 수신한 제어부(500)는 디스플레이부(800)에 상기 신호를 전달할 수도 있다.Environmental measuring means 540 is installed on the main body can measure at least one or more of temperature, humidity, pressure or chemical, the main body position sensor 560 is installed on the main body 100 is the main body 100 Tells the location of. Environmental measuring means 540 is a combination of one or two or more sensors, the body position sensor 560 can be implemented in a general sensor technology, so a detailed description thereof will be omitted. Here, the display unit 800 may further include a display unit 800 that shows at least one selected from the measured position and temperature, humidity, pressure, or chemical of the main body 100. The display unit 800 may be installed in the main body 100 or may be installed in any position that can be easily grasped by the user. On the other hand, the control unit 500 may receive at least one signal selected from the position and temperature, humidity, pressure or chemical of the main body 100 from the environmental measurement means 540 and the main body position sensor 560. The control unit 500 receiving the signal may transmit the signal to the display unit 800.

송신기(700)는 사용자의 조작에 의해 무선으로 신호를 송신하고, 수신기(600)는 상기 몸체에 설치되어 상기 송신기(700)로부터 상기 신호를 무선으로 수신한다. 이 경우 제어부(500)는 상기 수신기(600)로부터 상기 신호를 입력받아 상기 몸체(100), 흡입펌프(200) 및 구동부(350)를 작동시킨다. 그에 따라, 미리 설정된 경로를 본체(100)가 따라가지 않고, 사용자가 원하는 지점으로 본체(100)를 이동시킬 수 있으며, 파티클의 흡입량을 임의로 조절할 수 있고, 흡입관(300)의 길이도 환경에 맞게 조절할 수 있다. 한편, 송신기(700) 및 수신기(600) 모두 송수신 기능을 구비함으로써, 각각의 센서의 신호를 제어부(500)를 거쳐 수신기(600)에서 송신기(700)로 신호가 전달될 수도 있다. 사용자의 송신기(700)에 디스플레이부(800)를 설치하여 송신기(700)에 전달된 신호를 보여줄 수 있어 사용자가 용이하게 클린룸(900)의 환경을 파악할 수도 있다.The transmitter 700 wirelessly transmits a signal by a user's operation, and the receiver 600 is installed in the body to wirelessly receive the signal from the transmitter 700. In this case, the controller 500 receives the signal from the receiver 600 and operates the body 100, the suction pump 200, and the driving unit 350. Accordingly, the main body 100 does not follow a preset path, and the user can move the main body 100 to a desired point, arbitrarily adjust the amount of suction of the particles, and the length of the suction pipe 300 also suits the environment. I can regulate it. Meanwhile, since both the transmitter 700 and the receiver 600 have a transmission / reception function, a signal may be transmitted from the receiver 600 to the transmitter 700 via the signal of each sensor through the control unit 500. The display unit 800 may be installed in the transmitter 700 of the user to show a signal transmitted to the transmitter 700, so that the user may easily grasp the environment of the clean room 900.

도 4에 나타낸 바와 같이, 가이드레일(10)은 일정한 경로를 따라 파티클 제거장치(1)를 이동시키기 위한 것으로 클린룸(900) 내부에 설치되어 일정한 경로를 형성한다. 일정한 경로는 생산설비에 의해 파티클이 많이 발생하는 지점이나 국부적인 지역 등을 말하며, 사용자가 임의적으로 상기 경로를 미리 형성할 수 있다. 또한, 가이드레일(10)은 복수가 구비되어 각각이 서로 다른 경로를 형성할 수 있으며, 상기 클린룸(900)의 상층부에 설치될 수도 있다. 가이드레일(10)을 클린룸(900)의 상층부에 설치하여 클린룸(900) 내에서 작업하는 사용자 등에게 불편을 줄일 수 있으며, 클린룸 내부의 공간 활용을 극대화할 수도 있다.As shown in FIG. 4, the guide rail 10 is used to move the particle removing device 1 along a predetermined path and is installed in the clean room 900 to form a predetermined path. A certain path refers to a point where a lot of particles are generated or a local area by a production facility, and the user may arbitrarily form the path. In addition, a plurality of guide rails 10 may be provided to form different paths, and may be installed on an upper layer of the clean room 900. The guide rail 10 may be installed on the upper layer of the clean room 900 to reduce inconvenience to users working in the clean room 900, and may maximize space utilization inside the clean room.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는, 본 발명의 기술적 사 상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.The embodiments of the present invention described above and illustrated in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The protection scope of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art can change and change the technical idea of the present invention in various forms. Therefore, such improvements and modifications will fall within the protection scope of the present invention, as will be apparent to those skilled in the art.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치는, 가이드레일을 따라 일정한 경로를 자동적으로 이동함으로써 클린룸에 설치된 생산설비 등의 국부적인 지역에서 발생하는 파티클을 용이하게 제거할 수 있고, 그와 동시에 환경에 대한 측정까지 함께 할 수 있다.As described above, the particle removal device for a clean room according to the present invention can easily remove particles generated in a local area such as a production facility installed in the clean room by automatically moving a predetermined path along the guide rail, At the same time, the environment can be measured.

또한, 파티클측정기에서 측정된 파티클의 양에 따라 제어부에서 흡입펌프의 흡입량을 조절할 수 있으며, 제어부가 구동부를 제어하여 흡입관의 길이를 환경에 맞게 조절할 수 있다.In addition, the controller may adjust the suction amount of the suction pump in accordance with the amount of particles measured by the particle measuring unit, and the controller may control the driving unit to adjust the length of the suction pipe to the environment.

또한, 무선으로 작동하는 송신기 및 수신기를 구비하여 각각의 센서에 의한 신호를 송수신하여 디스플레이부에 표출할 수 있고, 사용자의 조작에 의하여 파티클측정기를 작동시킬 수 있다.In addition, a transmitter and a receiver which operate wirelessly may be provided to transmit and receive signals from each sensor to be displayed on the display unit, and the particle measuring instrument may be operated by a user's manipulation.

Claims (11)

클린룸 내부에 설치되어 일정한 경로를 형성하는 가이드레일과,A guide rail installed inside the clean room to form a predetermined path; 상기 가이드레일에 설치되어 상기 경로를 따라 이동하는 본체와,A main body installed on the guide rail and moving along the path; 상기 본체 내부에 설치되고, 필터가 내장된 흡입펌프와,A suction pump installed inside the main body and having a built-in filter; 일단이 상기 흡입펌프와 연결되고, 타단이 상기 본체 외부로 돌출된 흡입관과,A suction pipe having one end connected to the suction pump and the other end protruding out of the main body; 상기 흡입관의 타단과 연결되고, 클린룸 내부의 파티클을 흡입할 수 있는 흡입프로브를 포함하여 이루어진 클린룸용 파티클 제거장치.Particle removal device for a clean room is connected to the other end of the suction pipe, comprising a suction probe for sucking the particles in the clean room. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 흡입펌프에 설치되어 상기 흡입프로브로부터 흡입된 파티클을 측정할 수 있는 파티클측정기와,A particle measuring device installed in the suction pump and capable of measuring particles sucked from the suction probe; 상기 파티클측정기로부터 신호를 입력받고, 미리 설정된 기준과 입력된 상기 신호를 비교하여 상기 흡입펌프의 흡입량을 조절할 수 있는 제어부와,A control unit configured to receive a signal from the particle measuring unit and compare a predetermined reference with the input signal to adjust the suction amount of the suction pump; 상기 제어부로부터 신호를 수신하여 상기 파티클의 양을 외부에 보여주는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.Particle removal apparatus for a clean room, characterized in that further comprising a display unit for receiving a signal from the control unit to show the amount of particles to the outside. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 흡입프로브는 각각의 일단이 상기 흡입관의 타단과 연결되고, 각각의 타단이 상기 흡입관의 타단으로부터 방사형으로 일정한 각도로 배열되고, 중공관 형상으로 된 복수의 흡입튜브인 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.The suction probe is a particle for a clean room, characterized in that each end is connected to the other end of the suction pipe, each other end is a plurality of suction tubes arranged in a radial angle from the other end of the suction pipe, the hollow tube shape. Removal device. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 복수의 흡입튜브는, 각각 일단으로부터 타단으로 갈수록 내경이 확장된 깔때기 형상인 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.The plurality of suction tubes, each particle removal device for a clean room, characterized in that the funnel shape of the inner diameter is extended from one end to the other end. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 흡입관은 복수가 구비되고,The suction pipe is provided with a plurality, 상기 흡입프로브는 상기 복수의 흡입관과 동수가 구비되어 각각이 상기 복수의 흡입관 각각과 연결된 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.The suction probe has a plurality of suction pipes and the same number, each particle removal device for a clean room, characterized in that connected to each of the plurality of suction pipes. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 흡입관은, 상기 흡입프로브가 상기 본체 내부로 수용될 수 있도록 길이조절이 가능한 텔레스코픽 형상인 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.The suction pipe, the particle removal device for a clean room, characterized in that the telescopic shape is adjustable in length so that the suction probe can be accommodated into the main body. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 흡입프로브에 설치되어 상기 흡입관의 길이방향선에 위치한 사물을 감지할 수 있는 프로브위치센서와,A probe position sensor installed at the suction probe to detect an object located in a longitudinal line of the suction pipe; 상기 본체에 설치되어 상기 흡입관의 길이를 조절할 수 있는 구동부와,A driving unit installed in the main body to adjust the length of the suction pipe; 상기 본체에 설치되어 상기 프로브위치센서로부터 신호를 입력받아 상기 구동부를 구동시키는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.And a control unit installed in the main body to receive a signal from the probe position sensor to drive the driving unit. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 본체에 설치되어 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 적어도 어느 하나 이상을 측정할 수 있는 환경측정수단과,Environmental measurement means installed in the main body and capable of measuring at least one of temperature, humidity, pressure or chemicals; 상기 본체에 설치되어 상기 본체의 위치를 알려주는 본체위치센서와,A main body position sensor installed in the main body to inform the position of the main body; 상기 환경측정수단 및 상기 본체위치센서로부터 신호를 수신하여 상기 본체의 위치 및 상기 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 선택된 어느 하나 이상을 외부에 보여주는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.Receiving a signal from the environmental measuring means and the main body position sensor further comprises a display unit for displaying the position of the main body and any one or more selected from the temperature, humidity, pressure or chemical to the outside of the particle removal device for a clean room . 제1항에 있어서,The method of claim 1, 사용자의 조작에 의해 무선으로 신호를 송수신하는 송신기와,A transmitter for transmitting and receiving a signal wirelessly by a user's operation, 상기 몸체에 설치되어 상기 제1 송수신기로부터 상기 신호를 무선으로 송수신하는 수신기와,A receiver installed in the body to wirelessly transmit and receive the signal from the first transceiver; 상기 수신기로부터 상기 신호를 입력받아 상기 몸체, 상기 흡입펌프 및 상기 구동부 작동시키는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.And a control unit for receiving the signal from the receiver and operating the body, the suction pump, and the driving unit. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 9, 상기 가이드레일은, 복수가 구비되어 각각이 서로 다른 경로를 형성하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.The guide rail is provided with a plurality, each particle removal device for a clean room, characterized in that to form a different path. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 9, 상기 가이드레일은, 상기 클린룸의 상층부에 설치된 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.The guide rail is a particle removal device for a clean room, characterized in that installed in the upper layer of the clean room.
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