KR102012377B1

KR102012377B1 - Carrier vehicle and micro particle monitoring system using the same

Info

Publication number: KR102012377B1
Application number: KR1020170184187A
Authority: KR
Inventors: 승재익; 송사헌; 하윤호; 김동원
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2017-12-29
Filing date: 2017-12-29
Publication date: 2019-08-20
Also published as: KR20190081565A

Abstract

본 발명에 따른 반송대차는 클린룸 내부에서 이동하여 대상물을 목표위치까지 반송하는 이동 유닛; 상기 클린룸 내부의 미세입자를 함유한 공기가 유입되는 미세입자 프로브부; 상기 미세입자 프로브부와 제1 연결관을 통해 연결되며, 상기 미세입자 프로브부로 유입된 미세입자를 감지하는 센서부; 및 상기 센서부와 제2 연결관을 통해 연결되며, 상기 미세입자를 함유한 공기가 유입되도록 상기 제1 연결관 및 제2 연결관을 통해 상기 미세입자 프로브부에 흡입력을 제공하는 흡입기를 포함하고, 상기 미세입자를 함유한 공기는 상기 미세입자 프로브부, 제1 연결관, 센서부, 제2 연결관 및 흡입기 순으로 유동할 수 있다.The transport cart according to the present invention includes a moving unit for moving an object to a target position by moving inside the clean room; A fine particle probe unit into which air containing fine particles in the clean room is introduced; A sensor unit connected to the microparticle probe unit and a first connection pipe, and configured to sense microparticles introduced into the microparticle probe unit; And an inhaler connected to the sensor unit through a second connecting tube and providing suction force to the microparticle probe unit through the first connecting tube and the second connecting tube so that air containing the microparticles is introduced therethrough. The air containing the microparticles may flow in the order of the microparticle probe unit, the first connecting tube, the sensor unit, the second connecting tube, and the inhaler.

Description

Carrier vehicle and micro particle monitoring system using the same

본 발명은 반송대차 및 이를 이용한 미세입자 모니터링 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클린룸 내부를 이동하면서 미세입자를 측정하는 반송대차 및 이를 이용한 미세입자 모니터링 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a transport cart and a microparticle monitoring system using the same, and more particularly, to a transport cart for measuring microparticles while moving inside a clean room and a microparticle monitoring system using the same.

일반적으로 클린룸은 반도체 또는 평판 표시장치 제조 공정 등이 수행되는 곳으로서, 반도체 또는 표시장치의 제조 설비 등이 설치되는 클린룸 내에 존재하는 파티클 등의 미세입자는 생산 수율에 큰 영향을 주기 때문에 클린룸은 일정 수준의 청정도가 항상 유지되어야 한다. 클린룸의 청정도는 단위 면적당 존재하는 일정 크기의 파티클의 개수에 의해 정해지며, 일정 수준의 청정도를 유지하기 위해서는 수시로 파티클의 측정 및 제거가 이루어져야 한다.In general, a clean room is a place where a semiconductor or flat panel display manufacturing process is performed, and fine particles such as particles present in a clean room in which a semiconductor or display device manufacturing facility is installed have a great influence on the production yield. The room must maintain a certain level of cleanliness at all times. The cleanliness of a clean room is determined by the number of particles of a certain size per unit area. In order to maintain a certain level of cleanliness, particles should be measured and removed from time to time.

생산 수율 향상에 큰 영향을 미치는 클린룸 내의 청정도를 유지 또는 향상시키기 위해 클린룸 내부에 파티클 카운터와 같은 파티클 측정 장치를 설치하여 주기적으로 측정하고 있으나, 일반적인 파티클 측정 장치는 넓은 클린룸 내부에서 일부 지점에 제한적으로 고정 설치되어 사용되고 있다.In order to maintain or improve the cleanliness in the clean room, which greatly affects the production yield improvement, particle measuring devices such as particle counters are installed periodically in the clean room, but the general particle measuring device has some points within a large clean room. It is fixedly installed and used.

청정도에 영향을 줄 수 있는 지점을 파악하여 수시로 파티클의 측정 및 제거가 이루어져야 하며, 그 외 지점에도 존재하는 파티클을 제거하기 위하여 클린룸 내부를 이동하면서 내부 곳곳을 주기적으로 측정하여 돌발적인 상황을 예측할 수 있어야 하지만, 일반적인 파티클 측정 장치는 고정형으로 사용되므로 클린룸의 국부적인 지점에 대해서는 정확한 측정이 어렵고, 이를 위하여 작업자가 직접 이동하여 측정해야 하는 문제가 있다. Particles should be measured and removed from time to time by identifying points that may affect cleanliness.In order to predict unexpected situations by periodically measuring the inside of the room while moving inside the clean room to remove particles existing at other points. Although it should be possible, since the general particle measuring device is used as a fixed type, it is difficult to accurately measure a local point of a clean room, and for this purpose, there is a problem that a worker must move and measure directly.

작업자가 클린룸 내부에서 파티클 측정 장치를 직접 이동시키며 파티클을 측정하는 경우에는 작업자로부터 발생하는 파티클에 의해 클린룸의 청정도가 저하되는 문제가 발생하며, 파티클 측정치가 작업자의 숙련도 등의 영향을 받아 작업자에 의해 측정치가 불규칙해지는 문제가 있다. 그리고, 작업자에 의한 파티클 측정이 이루어지므로 수시로 측정하는데 어려움이 있고 인력 및 시간의 낭비가 발생하여 효율적이지 못하는 문제가 있다.When the worker moves the particle measuring device directly inside the clean room and measures the particle, the cleanliness of the clean room may be degraded by the particles generated from the worker, and the particle measurement may be affected by the skill of the worker. There is a problem that the measured value becomes irregular. In addition, since particle measurement is performed by an operator, it is difficult to measure at any time, and there is a problem that waste of manpower and time occurs and is not efficient.

공개특허공보 제10-2013-0130312호Published Patent Publication No. 10-2013-0130312

본 발명은 클린룸 내부를 이동하면서 미세입자를 측정하는 반송대차 및 이를 이용한 미세입자 모니터링 시스템을 제공한다.The present invention provides a transport cart for measuring the microparticles while moving inside the clean room and a microparticle monitoring system using the same.

본 발명의 실시예에 따른 반송대차는 클린룸 내부에서 이동하여 대상물을 목표위치까지 반송하는 이동 유닛; 상기 클린룸 내부의 미세입자를 함유한 공기가 유입되는 미세입자 프로브부; 상기 미세입자 프로브부와 제1 연결관을 통해 연결되며, 상기 미세입자 프로브부로 유입된 미세입자를 감지하는 센서부; 및 상기 센서부와 제2 연결관을 통해 연결되며, 상기 미세입자를 함유한 공기가 유입되도록 상기 제1 연결관 및 제2 연결관을 통해 상기 미세입자 프로브부에 흡입력을 제공하는 흡입기를 포함하고, 상기 미세입자를 함유한 공기는 상기 미세입자 프로브부, 제1 연결관, 센서부, 제2 연결관 및 흡입기 순으로 유동할 수 있다.The transport cart according to an embodiment of the present invention includes a mobile unit for moving an object to a target position by moving inside the clean room; A fine particle probe unit into which air containing fine particles in the clean room is introduced; A sensor unit connected to the microparticle probe unit and a first connection pipe, and configured to sense microparticles introduced into the microparticle probe unit; And an inhaler connected to the sensor unit through a second connecting tube and providing suction force to the microparticle probe unit through the first connecting tube and the second connecting tube so that air containing the microparticles is introduced therethrough. The air containing the microparticles may flow in the order of the microparticle probe unit, the first connecting tube, the sensor unit, the second connecting tube, and the inhaler.

상기 미세입자 프로브부와 연결되어 상기 미세입자 프로브부의 위치 및 방향을 조절하는 조절부를 더 포함할 수 있다.It may further include a control unit connected to the microparticle probe unit for adjusting the position and direction of the microparticle probe unit.

상기 이동 유닛에 고정 설치되며, 상기 조절부를 이동 가능하게 지지하는 고정축을 더 포함하고, 상기 조절부는, 상기 고정축의 외주면에 끼워져 축 방향으로 상하 이동하거나 회전 가능하게 연결되는 제1 이동부재; 및 일단에 형성된 힌지핀을 포함하며, 제자리 회전이 가능하도록 타단이 상기 제1 이동부재에 연결되는 제2 이동부재를 포함하고, 상기 미세입자 프로브부는 상기 힌지핀을 통해 상기 제2 이동부재에 연결되어 상기 힌지핀을 중심으로 회동할 수 있다.A first moving member fixed to the moving unit, the fixed shaft supporting the control unit to be movable, wherein the adjusting unit is fitted to an outer circumferential surface of the fixed shaft and connected up and down or rotatably in an axial direction; And a hinge pin formed at one end and having a second moving member connected at the other end to the first moving member to enable in-situ rotation, wherein the microparticle probe unit is connected to the second moving member through the hinge pin. It can be rotated around the hinge pin.

상기 조절부를 구동하는 구동력을 제공하는 구동부를 더 포함하는 반송대차.And a drive unit for providing a driving force for driving the control unit.

상기 미세입자 프로브부는, 상기 미세입자를 함유한 공기가 유입되는 유입부와 상기 제1 연결관과 연통되어 상기 미세입자를 함유한 공기가 유출되는 유출부를 가지는 관통홀이 형성된 헤드부; 및 상기 헤드부에 형성되고, 상기 제2 이동부재의 일단에 상기 힌지핀을 매개로 회동 가능하게 연결되는 회동 연결부를 포함하며, 상기 관통홀은 상기 유입부로부터 상기 유출부로 갈수록 점차 내경이 감소되는 깔때기 형상을 가질 수 있다.The microparticle probe part may include: a head part having a through hole having an inflow part through which air containing the microparticles flows and an outlet part in communication with the first connection pipe and outflow of air containing the microparticles; And a pivot connection part formed on the head part and rotatably connected to one end of the second moving member via the hinge pin, wherein the through hole is gradually reduced in diameter from the inlet to the outlet. It may have a funnel shape.

상기 미세입자 프로브부 및 조절부는 복수로 구비되고, 상기 미세입자 프로브부 각각은 서로 다른 방향을 향하도록 제공될 수 있다.The microparticle probe unit and the control unit may be provided in plurality, and each of the microparticle probe units may be provided to face different directions.

상기 미세입자 프로브부 중 적어도 어느 하나는 상기 이동 유닛의 이동방향 측을 향하도록 제공되고, 상기 미세입자 프로브부 중 적어도 다른 어느 하나는 상방을 향하도록 제공될 수 있다.At least one of the microparticle probe units may be provided to face the moving direction side of the mobile unit, and at least one of the microparticle probe units may be provided to face upward.

상기 이동 유닛은 주행레일을 따라 주행 가능하도록 제공되어 상기 대상물을 목표위치까지 반송하며, 상기 이동 유닛은, 상기 주행레일에 이격되어 설치되고, 상기 대상물이 안착되는 지지부재를 포함하는 본체부; 및 상기 본체부에 설치되어 상기 주행레일을 따라 이동하는 한 쌍의 구동바퀴를 포함할 수 있다.The mobile unit is provided to be capable of traveling along a running rail to convey the object to a target position, and the mobile unit includes a main body including a support member spaced apart from the running rail and on which the object is seated; And a pair of driving wheels installed on the main body to move along the driving rail.

상기 본체부에 설치되며, 상기 센서부로부터 감지된 감지 데이터를 수신하고, 상기 감지 데이터를 외부로 송신하는 네트워크부를 더 포함하고, 상기 네트워크부는 외부로부터 제어정보를 수신하여 상기 이동 유닛을 제어할 수 있다.A network unit installed in the main body unit to receive sensed data detected from the sensor unit and transmitting the sensed data to the outside, wherein the network unit can control the mobile unit by receiving control information from the outside have.

상기 흡입기의 하부에 구비되는 방진부재를 더 포함할 수 있다.It may further include a dustproof member provided in the lower portion of the inhaler.

상기 흡입기는 상기 미세입자를 함유한 공기를 진공으로 흡입하는 진공펌프 또는 집진기 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The inhaler may include at least one of a vacuum pump or a dust collector for sucking the air containing the fine particles into a vacuum.

본 발명의 다른 실시예에 따른 미세입자 모니터링 시스템은 상기 반송대차; 상기 반송대차의 제어신호를 생성하여 상기 반송대차의 주행을 제어하는 대차제어부; 상기 반송대차와 상기 제어신호 및 미세입자 감지 데이터를 송수신하는 통신부; 및 상기 통신부를 통해 수신된 상기 미세입자 감지 데이터를 분석하여 클린룸 내부의 미세입자를 실시간으로 모니터링하는 모니터링부를 포함할 수 있다.Microparticle monitoring system according to another embodiment of the present invention the transport cart; A balance controller configured to generate a control signal of the conveyance balance to control driving of the conveyance balance; A communication unit for transmitting and receiving the transport balance and the control signal and fine particle detection data; And a monitoring unit configured to analyze the microparticle detection data received through the communication unit to monitor the microparticles in the clean room in real time.

상기 모니터링부는 상기 대차제어부 또는 통신부로부터 시간대별로 상기 반송대차의 위치정보와 미세입자 감지 데이터를 수신받아 시간에 따른 상기 클린룸 내부의 위치별 미세입자를 모니터링할 수 있다.The monitoring unit may receive the position information and the fine particle detection data of the transport balance for each time zone from the balance control unit or the communication unit to monitor the fine particles for each location in the clean room over time.

상기 반송대차는 상기 반송대차의 위치를 확인할 수 있는 위치식별정보를 획득하는 위치식별정보 획득부를 포함하고, 상기 위치식별정보 획득부를 통해 획득된 위치식별정보는 상기 반송대차의 네트워크부를 통해 상기 대차제어부로 송신되며, 상기 대차제어부는 수신된 상기 위치식별정보를 상기 반송대차의 위치정보로 변환하여 상기 모니터링부로 출력할 수 있다.The transport balance includes a location identification information acquisition unit for acquiring location identification information for identifying the location of the transport balance, and the location identification information obtained through the location identification information acquisition unit is configured through the network unit of the transport balance. The balance controller may convert the received location identification information into location information of the transport balance and output the location identification information to the monitoring unit.

상기 대차제어부는 상기 반송대차의 주행정보를 이용하여 반송대차의 위치정보를 검출할 수 있고, 검출된 위치정보는 상기 모니터링부로 출력될 수 있다.The balance controller may detect the location information of the transport balance using the travel information of the transport balance, and the detected location information may be output to the monitoring unit.

본 발명에 따르면 클린룸 내부에서 이동하여 대상물을 목표위치까지 반송하는 이동 유닛에 미세입자 프로브부, 센서부 및 흡입기를 구비함으로써 작업자 없이도 클린룸 내부 곳곳에서 발생하는 미세입자를 용이하게 제거할 수 있다. 즉, 이동 유닛을 이용하여 미세입자를 제거함으로써 작업자로부터 발생하는 미세입자에 의해 클린룸 내의 청정도가 저하될 수 있는 문제를 방지할 수 있고, 클린룸 내부 곳곳을 주기적으로 측정할 수 있어 클린룸 내의 청정도 및 공정의 수율을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the micro-particle probe unit, the sensor unit, and the suction unit are provided in the mobile unit that moves inside the clean room to convey the object to the target position, thereby easily removing micro-particles generated in various places in the clean room without an operator. . That is, by removing the fine particles by using the mobile unit, it is possible to prevent the problem that the cleanliness in the clean room may be reduced by the fine particles generated from the operator, and to measure the inside of the clean room periodically, Cleanliness and process yield can be improved.

또한, 미세입자 프로브부가 조절부를 통해 자유자재로 움직일 수 있으므로 원하는 방향 또는 원하는 곳의 미세입자를 함유한 공기를 보다 효과적으로 흡입하여 제거할 수 있다.In addition, since the microparticle probe unit can move freely through the adjusting unit, it is possible to more effectively inhale and remove air containing microparticles in a desired direction or desired place.

게다가, 이동하는 반송대차의 위치를 파악해 시간에 따른 클린룸 내부의 위치별 미세입자를 실시간으로 모니터링할 수 있기 때문에 구체적으로 클린룸의 어느 위치에서 언제 미세입자가 감지됐는지 정확하게 파악할 수 있고, 이에 따라 신속한 대응이 가능해질 수 있다.In addition, since the location of the moving transport cart can be monitored in real time by the location of the microparticles in the clean room over time, it is possible to know exactly where and when the fine particles were detected in the clean room. Rapid response can be made.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반송대차를 나타내는 단면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 조절부의 다양한 실시예를 나타내는 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 서로 다른 방향으로 제공되는 미세입자 프로브부를 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반송대차의 작동라인을 나타내는 블럭도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 위치정보 획득부를 설명하기 위한 도면.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 위치정보 획득부를 설명하기 위한 도면.1 is a cross-sectional view showing a transport cart according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing various embodiments of the control unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing a microparticle probe unit provided in different directions according to an embodiment of the present invention.
4 is a block diagram showing an operation line of the transport cart according to an embodiment of the present invention.
5 is a view for explaining a position information acquisition unit according to another embodiment of the present invention.
6 is a view for explaining a location information acquisition unit according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 설명 중, 동일 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 하고, 도면은 본 발명의 실시예를 정확히 설명하기 위하여 크기가 부분적으로 과장될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention in more detail. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and to those skilled in the art to fully understand the scope of the invention. It is provided to inform you. In the description, like reference numerals refer to like elements, and the drawings may be partially exaggerated in size in order to accurately describe embodiments of the present invention, and like reference numerals refer to like elements in the drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반송대차를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a transport cart according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반송대차(100)는 클린룸(103) 내부에서 이동하여 대상물(101)을 목표위치까지 반송하는 이동 유닛(110); 상기 클린룸(103) 내부의 미세입자를 함유한 공기가 유입되는 미세입자 프로브부(120); 상기 미세입자 프로브부(120)와 제1 연결관(151)을 통해 연결되며, 상기 미세입자 프로브부(120)로 유입된 미세입자를 감지하는 센서부(130); 및 상기 센서부(130)와 제2 연결관(152)을 통해 연결되며, 상기 미세입자를 함유한 공기가 유입되도록 상기 제1 연결관(151) 및 제2 연결관(152)을 통해 상기 미세입자 프로브부(120)에 흡입력을 제공하는 흡입기(140)를 포함하고, 상기 미세입자를 함유한 공기는 상기 미세입자 프로브부(120), 제1 연결관(151), 센서부(130), 제2 연결관(152) 및 흡입기(140) 순으로 유동할 수 있다.Referring to FIG. 1, the transport cart 100 according to an embodiment of the present invention includes a moving unit 110 moving inside the clean room 103 to transport the object 101 to a target position; A fine particle probe unit 120 into which air containing fine particles in the clean room 103 flows; A sensor unit 130 connected to the microparticle probe unit 120 and a first connection pipe 151 to detect microparticles introduced into the microparticle probe unit 120; And the sensor unit 130 and the second connecting pipe 152, and the micro-connecting through the first connecting pipe 151 and the second connecting pipe 152 so that air containing the fine particles flows in. Including an inhaler 140 for providing a suction force to the particle probe unit 120, the air containing the fine particles is the microparticle probe unit 120, the first connection pipe 151, the sensor unit 130, The second connecting pipe 152 and the inhaler 140 may flow in the order.

이동 유닛(110)은 대상물(101)을 지지한 상태로 반도체 또는 평판 표시장치 제조 공정 등이 수행되는 클린룸(103) 내부에서 이동하는 이동체로서, 생산 수율에 직접적으로 영향을 받는 글라스, 트레이 및 기판 등의 대상물(101)을 목표위치까지 반송하는 역할을 할 수 있다. 이동 유닛(110)은 컨베이어 벨트와 같은 장치 위에서 벨트를 따라 움직이면서 대상물(101)을 목표위치까지 반송할 수도 있고, 반도체 및 평판 표시장치 제조 공정이 수행되는 클린룸(103) 내부에 구비된 주행레일(104)에 주행 가능하게 설치되어 주행레일(104)을 따라 움직이면서 대상물(101)을 목표위치까지 반송할 수도 있다. The moving unit 110 is a moving object moving inside the clean room 103 in which a semiconductor or flat panel display manufacturing process is performed while supporting the object 101, and includes a glass, a tray, which is directly affected by the production yield, and It can serve to convey the object 101, such as a board | substrate, to a target position. The moving unit 110 may move the object 101 to a target position while moving along the belt on a device such as a conveyor belt, and a traveling rail provided in the clean room 103 in which a semiconductor and flat panel display manufacturing process is performed. The object 101 can be transported to the target 104 and moved along the running rail 104 to the target position.

이동 유닛(110)이 주행레일(104)을 따라 자동 주행하는 경우, 이동 유닛(110)은 주행레일(104)에 이격되어 설치되고, 대상물(101)이 안착되는 지지부재(112)를 포함하는 본체부(113); 및 본체부(113)에 설치되어 주행레일(104)을 따라 이동하는 한 쌍의 구동바퀴(114)를 포함할 수 있다. 주행레일(104)은 일정한 경로를 따라 이동 유닛(110)을 이동시키기 위한 것으로 클린룸(103) 내부에 설치된다. 일정한 경로는 생산설비에 의해 미세입자가 많이 발생하는 지점이나 국부적인 지점 등을 말하며, 사용자가 임의적으로 상기 경로를 미리 형성할 수 있다. 또한, 주행레일(104)은 복수로 구비되어 각각이 서로 다른 경로를 형성할 수 있다.When the mobile unit 110 automatically travels along the travel rails 104, the mobile unit 110 is installed spaced apart from the travel rails 104, and includes a support member 112 on which the object 101 is seated. Main body 113; And a pair of driving wheels 114 installed on the main body 113 to move along the running rail 104. The running rail 104 is installed in the clean room 103 to move the mobile unit 110 along a predetermined path. The predetermined path refers to a point where a large number of fine particles are generated or a local point by a production facility, and the user may arbitrarily form the path. In addition, the running rails 104 may be provided in plural to form different paths.

이동 유닛(110)이 대상물(101)을 출발지부터 목적지까지 안전하게 반송할 수 있도록 본체부(113)에는 대상물(101)이 안착 지지되는 지지부재(112) 및 지지부재(112)가 형성된 몸체부(111)가 형성될 수 있으며, 이동 유닛(110)이 주행레일(104)을 따라 이동할 수 있도록 본체부(113)에 한 쌍의 구동바퀴(114)가 설치될 수 있다. 구동바퀴(114)는 주행레일(104)에 접촉되어 회전됨으로써 본체부(113)를 주행시킬 수 있고, 본체부(113)에는 구동바퀴(114)를 구동시킬 수 있는 주행모터가 설치될 수 있다. The main body 113 has a support member 112 and a support member 112 on which the object 101 is seated and supported so that the mobile unit 110 can safely transport the object 101 from the origin to the destination. 111 may be formed, and a pair of driving wheels 114 may be installed in the main body 113 so that the mobile unit 110 may move along the running rail 104. The driving wheel 114 may be driven in contact with the driving rail 104 to rotate the main body 113, and a driving motor may be installed at the main body 113 to drive the driving wheel 114. .

일반적으로 클린룸(103) 내부에는 반도체 또는 평판 표시장치 제조 설비, 대상물(101)을 반송하는 반송 설비 등이 구비되어 있으며, 반도체 또는 평판 표시장치의 제조 설비, 대상물(101)을 반송하는 반송 설비 자체에서 발생하는 미세입자나 제조 설비에서 제조되는 제품으로부터 발생하는 미세입자는 클린룸(103) 내에 존재하게 된다. 이러한 클린룸(103) 내에 존재하는 파티클 등의 미세입자는 생산 수율에 큰 영향을 주기 때문에 클린룸(103)은 일정 수준의 청정도를 항상 유지되어야 한다. 클린룸(103)의 청정도는 단위 면적당 존재하는 일정 크기의 미세입자의 개수에 의해 정해지며, 일정 수준의 청정도를 유지하기 위해서는 수시로 미세입자의 측정 및 제거가 이루어져야 한다.In general, the clean room 103 is provided with a semiconductor or flat panel display manufacturing facility, a transport facility for conveying the object 101, and the like. Microparticles generated from itself or microparticles generated from a product manufactured in a manufacturing facility are present in the clean room 103. Since the fine particles such as particles present in the clean room 103 has a great influence on the production yield, the clean room 103 should always maintain a certain level of cleanliness. The cleanliness of the clean room 103 is determined by the number of microparticles having a certain size per unit area. In order to maintain a certain level of cleanliness, the microparticles should be measured and removed from time to time.

반도체 또는 디스플레이의 생산 수율 향상에 큰 영향을 미치는 클린룸(103) 내의 청정도를 유지 또는 향상시키기 위해 클린룸(103) 내부에 미세입자 카운터와 같은 미세입자 측정 장치를 설치하여 미세입자를 주기적으로 측정하고 있으나, 일반적인 미세입자 측정 장치는 넓은 클린룸(103) 내부에서 일부 지점에 제한적으로 고정 설치되어 사용되고 있다. 청정도에 영향을 줄 수 있는 지점을 파악하여 수시로 미세입자의 측정 및 제거가 이루어져야 하며, 그 외 지점에 존재하는 미세입자를 제거하기 위하여 클린룸(103) 내부를 이동하면서 내부 곳곳을 주기적으로 측정하여 돌발적인 상황을 예측할 수 있어야 하지만, 일반적인 미세입자 측정 장치는 고정형으로 사용되므로 클린룸(103)의 국부적인 지점에 대해서는 정확한 측정이 어렵고, 이를 위하여 작업자가 직접 이동하여 측정해야 하는 문제가 있다. 작업자가 클린룸(103) 내부에서 미세입자 측정 장치를 직접 이동시키며 미세입자를 측정하는 경우에는 작업자로부터 발생하는 미세입자에 의해 클린룸(103)의 청정도가 저하되는 문제가 발생하며, 미세입자 측정치가 작업자의 숙련도 등의 영향을 받아 작업자에 의해 측정치가 불규칙해지는 문제가 있다. 그리고, 작업자에 의한 미세입자 측정이 이루어지므로 수시로 측정하는데 어려움이 있고 인력 및 시간의 낭비가 발생하여 효율적이지 못하는 문제가 있다.In order to maintain or improve the cleanliness in the clean room 103 that greatly affects the production yield improvement of semiconductors or displays, a micro particle measuring device such as a micro particle counter is installed in the clean room 103 to periodically measure the fine particles. However, the general microparticle measuring apparatus is used to be fixed fixedly installed at some points in the large clean room (103). It is necessary to measure and remove the fine particles from time to time by grasping the point that may affect the cleanliness, and by periodically moving the inside of the clean room 103 to remove the fine particles existing at other points. The unexpected situation should be able to predict, but since the general microparticle measuring device is used as a fixed type, it is difficult to accurately measure the local point of the clean room 103, and for this purpose, a worker must move and measure directly. When the operator directly moves the microparticle measuring apparatus inside the clean room 103 and measures the microparticles, a problem occurs that the cleanliness of the clean room 103 is reduced by the microparticles generated from the worker, There is a problem that the measured value is irregular by the operator under the influence of the skill of the operator. In addition, since the measurement of the fine particles by the operator is difficult to measure from time to time, the waste of manpower and time occurs, there is a problem that is not efficient.

본 발명에서는 클린룸(103) 내부에서 작업자 없이도 국부적인 지점이 아닌 대상물(101)을 반송하는 이동 유닛(110)이 이동하는 모든 지점에 존재하는 미세입자를 측정할 수 있도록 이동 유닛(110)에 클린룸(103) 내부의 미세입자를 함유한 공기가 유입되는 미세입자 프로브부(120), 미세입자 프로브부(120)와 제1 연결관(151)을 통해 연결되며, 미세입자 프로브부(120)로 유입된 미세입자를 감지하는 센서부(130), 센서부(130)와 제2 연결관(152)을 통해 연결되며, 미세입자를 함유한 공기가 유입되도록 제1 연결관(151) 및 제2 연결관(152)을 통해 미세입자 프로브부(120)에 흡입력을 제공하는 흡입기(140)를 배치하였다.In the present invention, the mobile unit 110 to measure the fine particles present in all the points to move the moving unit 110, the object 101 is not a local point in the clean room 103 without the operator. The microparticle probe unit 120 into which the air containing the microparticles inside the clean room 103 flows, is connected through the microparticle probe unit 120 and the first connection pipe 151, and the microparticle probe unit 120 Is connected to the sensor unit 130, the sensor unit 130 and the second connecting pipe 152, the first connecting pipe 151 and the air containing the fine particles flows into An inhaler 140 providing a suction force to the microparticle probe unit 120 through the second connecting pipe 152 is disposed.

미세입자 프로브부(120)는 클린룸(103) 내부에 존재하는 미세입자를 함유한 공기를 보다 용이하게 유입하기 위한 것으로서, 대상물(101)의 가장자리 외측에 위치하기 때문에 대상물(101)이 노출되는 분위기의 청정도 혹은 미세입자를 수시로 유입하여 제거할 수 있다. The microparticle probe unit 120 is for introducing the air containing the microparticles existing in the clean room 103 more easily. Since the microparticle probe unit 120 is located outside the edge of the object 101, the object 101 is exposed. Cleanliness of the atmosphere or fine particles can be introduced from time to time to remove.

센서부(130)는 미세입자 프로브부(120)로 유입된 미세입자를 감지하기 위한 것으로, 제1 연결관(151)을 통해 미세입자 프로브부(120)와 연결되어 있기 때문에 미세입자 프로브부(120)로 유입된 클린룸(103) 내부의 미세입자를 함유한 공기는 제1 연결관(151)을 통해 센서부(130)로 이동하게 된다. 즉, 제1 연결관(151)의 일단은 미세입자 프로브부(120)와 연결되며 타단은 센서부(130)와 연결되므로 미세입자 프로브부(120)로 유입된 미세입자를 함유한 공기는 제1 연결관(151)을 통해 센서부(130)로 이동할 수 있고, 센서부(130)는 미세입자 프로르부와 센서부(130)를 연결하는 제1 연결관(151)을 통해 유입된 공기에 함유된 미세입자를 측정할 수 있다.The sensor unit 130 is used to detect the microparticles introduced into the microparticle probe unit 120. Since the sensor unit 130 is connected to the microparticle probe unit 120 through the first connection pipe 151, the microparticle probe unit ( Air containing the fine particles in the clean room 103 introduced into the 120 is moved to the sensor unit 130 through the first connecting pipe 151. That is, one end of the first connection pipe 151 is connected to the microparticle probe unit 120 and the other end is connected to the sensor unit 130, so that air containing the microparticles introduced into the microparticle probe unit 120 is removed. 1 may be moved to the sensor unit 130 through the connection pipe 151, the sensor unit 130 to the air introduced through the first connection pipe 151 connecting the microparticle probe part and the sensor unit 130. The contained microparticles can be measured.

흡입기(140)는 센서부(130)와 제2 연결관(152)을 통해 연결되며, 미세입자를 함유한 공기가 미세입자 프로브부(120)로 유입되도록 제1 연결관(151) 및 제2 연결관(152)을 통해 미세입자 프로브부(120)에 흡입력을 제공할 수 있다. 흡입기(140)는 미세입자를 함유한 공기를 진공으로 흡입하는 진공펌프 또는 집진기 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The inhaler 140 is connected to the sensor unit 130 and the second connecting tube 152, and the first connecting tube 151 and the second to allow the air containing the fine particles to flow into the fine particle probe unit 120. A suction force may be provided to the microparticle probe unit 120 through the connection pipe 152. The inhaler 140 may include at least one of a vacuum pump or a dust collector for sucking air containing fine particles into a vacuum.

제2 연결관(152)의 일단은 센서부(130)와 연결되며 타단은 흡입기(140)가 진공 흡입하는 입구와 연결되어 있으므로 흡입기(140)를 작동시켜 흡입력을 발생시키면 이 흡입력은 제2 연결관(152), 센서부(130) 및 제1 연결관(151)으로 차례대로 전달된다. 흡입력이 제1 연결관(151)으로 전달되면 제1 연결관(151)의 일단과 연결된 미세입자 프로브부(120)가 흡입력을 제공받게 되고, 흡입력을 제공받은 미세입자 프로브부(120)는 클린룸(103) 내부의 미세입자를 함유한 공기를 흡입하여 내부로 유입되게 한다.One end of the second connecting pipe 152 is connected to the sensor unit 130 and the other end is connected to the inlet through which the inhaler 140 is vacuum sucked, so that the suction force is generated when the inhaler 140 is operated to generate the suction force. The tube 152, the sensor unit 130, and the first connection tube 151 are sequentially transmitted. When the suction force is transmitted to the first connector 151, the microparticle probe unit 120 connected to one end of the first connector 151 is provided with suction force, and the microparticle probe unit 120 provided with suction force is clean. The air containing the fine particles in the room 103 is sucked into the room 103.

미세입자 프로브부(120)로 유입된 미세입자를 함유한 공기는 흡입기(140)의 흡입력에 의해 미세입자 프로브부(120), 제1 연결관(151), 센서부(130), 제2 연결관(152) 및 흡입기(140) 순으로 유동하게 되며, 흡입기(140)가 진공펌프인 경우 진공펌프에는 미세입자를 걸러주는 필터가 내장될 수 있다. 미세입자를 함유한 공기가 최종적으로 필터가 내장된 진공펌프 또는 집진기와 같은 흡입기(140) 내부로 들어오게 되면 공기에 함유된 미세입자는 필터에 의해 걸러질 수 있다. 즉, 진공펌프 또는 집진기는 클린룸(103) 내부의 공기에 함유된 미세입자를 포집하여 제거할 수 있고, 클린룸(103) 내부의 미세입자를 함유한 공기가 진공펌프 또는 집진기의 필터를 통과하게 되면, 필터에 의해 정화된 미세입자가 함유되지 않은 공기만이 클린룸(103)으로 다시 배출되는 것이다.The air containing the microparticles introduced into the microparticle probe unit 120 is connected to the microparticle probe unit 120, the first connector 151, the sensor unit 130, and the second connection by the suction force of the inhaler 140. The tube 152 and the inhaler 140 flows in order, and when the inhaler 140 is a vacuum pump, the vacuum pump may include a filter for filtering fine particles. When the air containing the microparticles finally enters the inhaler 140 such as a vacuum pump or a dust collector in which the filter is built, the microparticles contained in the air may be filtered out by the filter. That is, the vacuum pump or the dust collector may collect and remove the fine particles contained in the air in the clean room 103, and the air containing the fine particles in the clean room 103 passes through the filter of the vacuum pump or the dust collector. In this case, only the air containing no fine particles purified by the filter is discharged back to the clean room 103.

미세입자 프로브부(120), 센서부(130) 및 흡입기(140)는 동수로 설치될 수 있으나, 클린룸(103) 내부에 존재하는 미세입자의 크기가 크거나 흡입 범위가 넓은 경우엔 흡입기(140)의 수량을 추가하거나 용량을 늘릴 수 있다. 또한, 이동 유닛(110)의 진동 관리를 위해 미세입자 프로브가 복수로 구비되는 경우 흡입기(140)를 각각의 미세입자 프로브 주변에 설치하지 않고 한곳에 모듈 단위로 위치시킬 수 있으며, 흡입기(140)에서 발생하는 진동을 감소시키기 위한 방진부재(141)가 흡입기(140)의 하부에 추가로 구비될 수 있다. 방진부재(141)는 탄성고무와 같은 방진패드, 방진겔 등 흡입기(140)의 진동을 흡수할 수 있는 탄성을 갖는 부재이면 다양하게 사용될 수 있다.The fine particle probe unit 120, the sensor unit 130, and the inhaler 140 may be installed in the same number, but if the size of the microparticles present in the clean room 103 is large or the suction range is wide, the inhaler ( The quantity can be added or the capacity can be increased. In addition, when a plurality of microparticle probes are provided for the vibration management of the mobile unit 110, the inhaler 140 may be positioned in a unit unit at one place without installing around each microparticle probe, and in the inhaler 140. The dustproof member 141 may be further provided below the inhaler 140 to reduce the generated vibration. The anti-vibration member 141 may be used in various ways as long as it has an elastic member capable of absorbing vibrations of the inhaler 140 such as an anti-vibration pad, an anti-vibration gel such as elastic rubber.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 조절부의 다양한 실시예를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 서로 다른 방향으로 제공되는 미세입자 프로브부를 나타내는 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing various embodiments of the control unit according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view showing a microparticle probe unit provided in different directions according to an embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 3을 참조하면, 상기 미세입자 프로브부(120)와 연결되어 상기 미세입자 프로브부(120)의 위치 및 방향을 조절하는 조절부(160)를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 이동 유닛(110)에 고정 설치되며, 상기 조절부(160)를 이동 가능하게 지지하는 고정축(102)을 더 포함하고, 상기 조절부(160)는 상기 고정축(102)의 외주면에 끼워져 축 방향으로 상하 이동하거나 회전 가능하게 연결되는 제1 이동부재(161); 및 일단에 형성된 힌지핀을 포함하며, 제자리 회전이 가능하도록 타단이 상기 제1 이동부재(161)에 연결되는 제2 이동부재(162)를 포함하고, 상기 미세입자 프로브부(120)는 상기 힌지핀을 통해 상기 제2 이동부재(162)에 연결되어 상기 힌지핀을 중심으로 회동할 수 있다.2 to 3, the microparticle probe unit 120 may further include an adjusting unit 160 that adjusts the position and direction of the microparticle probe unit 120. In addition, it is fixed to the moving unit 110, and further includes a fixed shaft 102 for supporting the control unit 160 to be movable, the control unit 160 is the outer peripheral surface of the fixed shaft 102 A first moving member 161 inserted into the first moving member 161 and rotatably connected in the axial direction; And a hinge pin formed at one end, the second moving member 162 having the other end connected to the first moving member 161 so as to be rotated in place, and the microparticle probe unit 120 is hinged. It is connected to the second moving member 162 through a pin can rotate about the hinge pin.

조절부(160)는 이동 유닛(110)이 이동할 때 미세입자를 함유한 공기가 미세입자 프로브부(120)에 보다 용이하게 흡입, 유입되도록 미세입자 프로브부(120)의 위치 및 방향을 조절하는 것으로, 조절부(160)를 통해 미세입자 프로브부(120)가 자유자재로 움직일 수 있게 됨으로써 원하는 방향 또는 원하는 곳의 미세입자를 함유한 공기를 효율적으로 흡입할 수 있다.The adjusting unit 160 adjusts the position and direction of the microparticle probe unit 120 so that air containing the microparticles is more easily sucked and introduced into the microparticle probe unit 120 when the mobile unit 110 moves. In this case, the microparticle probe unit 120 may be freely moved through the adjusting unit 160 to efficiently suck air containing the microparticles in a desired direction or desired place.

고정축(102)은 이동 유닛(110)의 본체부(113)에 고정 설치되고, 미세입자 프로브부(120)와 연결된 조절부(160)를 이동 가능하게 지지할 수 있다. 고정축(102)은 기둥 형상으로 도시되어 있지만, 조절부(160)를 이동 가능하게 지지할 수 있는 형상이라면 상관없다.The fixed shaft 102 may be fixedly installed on the main body 113 of the mobile unit 110 and moveably support the adjusting unit 160 connected to the microparticle probe unit 120. Although the fixed shaft 102 is illustrated in a columnar shape, the fixed shaft 102 may be any shape that can support the adjusting unit 160 to be movable.

조절부(160)는 제1 이동부재(161) 및 제2 이동부재(162)로 이루어질 수 있는데, 제1 이동부재(161)는 기둥 형상의 고정축(102)의 외주면에 끼워져 축 방향으로 상하 이동하거나 회전 가능하게 연결될 수 있다. 후술하겠지만 미세입자 프로브부(120)는 고정축(102)에 끼워진 제1 이동부재(161)의 타단과 연결된 제2 이동부재(162)에 회동 가능하게 연결되어 있으므로, 제1 이동부재(161)가 고정축(102)의 길이방향을 따라 승강하거나 고정축(102)을 중심으로 회전할 때 미세입자 프로브부(120)는 제1 이동부재(161)와 연동되어 제1 이동부재(161)와 같이 움직이게 된다. 즉, 미세입자 프로브부(120)의 상하 위치 또는 회전 위치는 제1 이동부재(161)에 의해 정해질 수 있기 때문에 제1 이동부재(161)를 이동시켜 미세입자 프로브부(120)를 원하는 위치로 이동시킬 수 있다.The adjusting unit 160 may include a first moving member 161 and a second moving member 162. The first moving member 161 may be fitted to an outer circumferential surface of the fixed shaft 102 having a column shape, and may move up and down in the axial direction. It can be moved or rotatably connected. As will be described later, the microparticle probe unit 120 is rotatably connected to the second moving member 162 connected to the other end of the first moving member 161 fitted to the fixed shaft 102, and thus, the first moving member 161. Is moved along the longitudinal direction of the fixed shaft 102 or rotated about the fixed shaft 102, the fine particle probe unit 120 is interlocked with the first moving member 161 and the first moving member 161 and Will move together. That is, since the vertical position or the rotation position of the microparticle probe unit 120 may be determined by the first moving member 161, the microparticle probe unit 120 may be moved by moving the first moving member 161. Can be moved to

제2 이동부재(162)는 일단에 힌지핀이 형성되어 있으며, 타단은 제1 이동부재(161)에 연결되어 제자리에서 회전하게 된다. 제2 이동부재(162)는 타단이 제1 이동부재(161)에 연결되어 있으므로 미세입자 프로브부(120)와 마찬가지로 고정축(102)을 따라 상하 이동하거나 회전하는 제1 이동부재(161)와 연동되어 제1 이동부재(161)와 같이 상하로 이동하거나 고정축(102)을 중심으로 회전할 수 있다. 그리고, 타단이 제자리 회전이 가능하도록 제1 이동부재(161)에 연결되어 있기 때문에 제2 이동부재(162)는 제자리에서 회전하여 방향을 변경할 수 있고, 제2 이동부재(162)의 일단에 형성된 힌지핀을 통해 연결되어 있는 미세입자 프로브부(120)는 제자리에서 360도 회전하는 제2 이동부재(162)와 같이 원하는 각도로 회전할 수 있게 된다.The second moving member 162 has a hinge pin formed at one end thereof, and the other end thereof is connected to the first moving member 161 to rotate in place. Since the other end of the second moving member 162 is connected to the first moving member 161, the second moving member 162 moves up and down or rotates along the fixed shaft 102, like the fine particle probe unit 120. In conjunction with the first moving member 161 may move up and down or rotate around the fixed shaft (102). In addition, since the other end is connected to the first moving member 161 to allow the in-situ rotation, the second moving member 162 may rotate in place to change the direction, and is formed at one end of the second moving member 162. The fine particle probe unit 120 connected through the hinge pin may rotate at a desired angle, such as the second moving member 162 rotating 360 degrees in place.

조절부(160)를 통한 미세입자 프로브부(120)의 위치 및 방향 조절에 대해 정리해보면, 미세입자 프로브부(120)는 고정축(102)의 길이방향을 따라 승강하거나 회전하는 제1 이동부재(161)를 통해 원하는 상하 위치 및/또는 회전 위치로 이동할 수 있게 되고, 제자리에서 360도 회전 가능한 제2 이동부재(162)를 통해 원하는 방향을 향하도록 회전할 수 있게 된다. 이러한 조절부(160)를 통해 미세입자 프로브부(120)가 원하는 방향 또는 원하는 곳의 미세입자를 함유한 공기를 효율적으로 흡입할 수 있게 된다.To summarize the position and direction adjustment of the microparticle probe unit 120 through the adjusting unit 160, the microparticle probe unit 120 is a first moving member which is moved up or down along the longitudinal direction of the fixed shaft 102 It is possible to move to the desired vertical position and / or rotation position through the 161, it is possible to rotate to the desired direction through the second moving member 162 that can be rotated 360 degrees in place. Through the control unit 160, the microparticle probe unit 120 can efficiently suck air containing the microparticles in a desired direction or desired place.

상기 미세입자 프로브부(120)는, 상기 미세입자를 함유한 공기가 유입되는 유입부(122)와 상기 제1 연결관(151)과 연통되어 상기 미세입자를 함유한 공기가 유출되는 유출부(123)를 가지는 관통홀이 형성된 헤드부(121); 및 상기 헤드부(121)에 형성되고, 상기 제2 이동부재(162)의 일단에 상기 힌지핀을 매개로 회동 가능하게 연결되는 회동 연결부(124)를 포함하며, 상기 관통홀은 상기 유입부(122)로부터 상기 유출부(123)로 갈수록 점차 내경이 감소되는 깔때기 형상을 가질 수 있다.The microparticle probe unit 120 may communicate with the inlet 122 through which air containing the microparticles flows and the first connecting pipe 151 to allow the air containing the microparticles to flow out ( A head portion 121 having a through hole having a 123; And a pivot connection part 124 formed at the head part 121 and rotatably connected to one end of the second moving member 162 via the hinge pin, wherein the through hole is the inflow part ( From the 122 to the outlet portion 123 may have a funnel shape that gradually decreases the inner diameter.

미세입자 프로브부(120)는 크게 헤드부(121)와 회동 연결부(124)로 이루어지며, 헤드부(121)에는 클린룸(103) 내부의 미세입자를 함유한 공기가 처음으로 유입되는 유입부(122)와 미세입자를 함유한 공기가 유출되는 유출부(123)를 가지는 관통홀이 형성될 수 있다. 이때, 헤드부(121)에 형성된 관통홀의 유출부(123)는 미세입자 프로브부(120)와 센서부(130)를 연결하는 제1 연결관(151)과 연통될 수 있다. 따라서, 클린룸(103) 내부의 미세입자를 함유한 공기가 관통홀의 유입부(122)로 유입되면 미세입자를 함유한 공기는 유입부(122), 유출부(123), 제1 연결관(151) 순으로 유동하여 전술한 바와 같이 센서부(130)로 이동할 수 있다. 헤드부(121)에 형성된 관통홀은 유입부(122)로부터 유출부(123)로 갈수록 점차 내경이 감소되는 깔때기 형상을 가질 수 있으며, 관통홀이 깔때기 형상을 가짐으로써 클린룸(103) 내부의 미세입자를 함유한 공기를 보다 용이하게 유입될 수 있다.The microparticle probe part 120 is composed of a head part 121 and a rotation connection part 124, and the head part 121 is an inlet part through which air containing fine particles in the clean room 103 is first introduced. A through hole may include a 122 and an outlet 123 through which air containing fine particles flows out. At this time, the outlet portion 123 of the through hole formed in the head 121 may be in communication with the first connecting pipe 151 connecting the microparticle probe unit 120 and the sensor unit 130. Therefore, when the air containing the fine particles in the clean room 103 is introduced into the inlet 122 of the through-hole, the air containing the fine particles is the inlet 122, the outlet 123, the first connecting pipe ( 151 may flow in order to move to the sensor unit 130 as described above. The through hole formed in the head part 121 may have a funnel shape whose inner diameter gradually decreases from the inlet part 122 to the outlet part 123, and the through hole has a funnel shape. Air containing fine particles can be introduced more easily.

헤드부(121)에는 조절부(160)의 제2 이동부재(162)의 일단에 형성된 힌지핀을 매개로 회동 가능하게 연결되는 회동 연결부(124)가 형성될 수 있고, 회동 연결부(124)는 제2 이동부재(162)의 힌지핀에 축 결합되어 헤드부(121)와 제2 이동부재(162)를 연결시킬 수 있다. 미세입자 프로브부(120)의 헤드부(121)는 회동 연결부(124)를 통해 제2 이동부재(162)와 연결될 수 있으므로 미세입자를 함유한 공기가 유입되는 헤드부(121)는 힌지핀을 중심으로 회동할 수 있고, 헤드부(121)가 힌지핀을 축으로 하여 회동하게 됨으로써 미세입자 프로브부(120)의 위치, 방향 뿐만 아니라 회전 각도까지 조절될 수 있어 미세입자 프로브부(120)를 더욱 자유자재로 이동시킬 수 있다.The head portion 121 may be formed with a rotation connecting portion 124 that is rotatably connected via a hinge pin formed at one end of the second moving member 162 of the adjusting unit 160, the rotation connecting portion 124 is The head may be coupled to the hinge pin of the second moving member 162 to connect the head 121 and the second moving member 162. Since the head part 121 of the microparticle probe part 120 may be connected to the second moving member 162 through the pivot connection part 124, the head part 121 into which air containing the microparticles flows may have a hinge pin. It can be rotated to the center, and the head portion 121 is rotated by the hinge pin as the axis can be adjusted to the rotation angle as well as the position, direction of the microparticle probe unit 120 to fine particle probe unit 120 You can move more freely.

상기 미세입자 프로브부(120) 및 조절부(160)는 복수로 구비되고, 상기 미세입자 프로브부(120) 각각은 서로 다른 방향을 향하도록 제공될 수 있다. 또한, 상기 미세입자 프로브부(120) 중 적어도 어느 하나는 상기 이동 유닛(110)의 이동방향 측을 향하도록 제공되고, 상기 미세입자 프로브부(120) 중 적어도 다른 어느 하나는 상방을 향하도록 제공될 수 있다.The microparticle probe unit 120 and the adjusting unit 160 may be provided in plurality, and each of the microparticle probe units 120 may be provided to face different directions. In addition, at least one of the microparticle probe unit 120 is provided to face the moving direction side of the mobile unit 110, at least one of the microparticle probe unit 120 is provided to face upward. Can be.

클린룸(103)에는 공기에 함유된 미세입자를 제거하는 필터가 클린룸(103)의 천장 내측에 배설되어 있으며, 필터에 의해 미세입자가 제거된 공기는 클린룸(103)의 천장에서 실내로 보내져 클린룸(103) 내부에는 천장에서 바닥을 향하는 기류가 형성되어 있다. 미세입자가 제거된 공기 흐름이 천장에서 바닥을 향하도록 형성되므로 일반적인 클린룸(103) 내부의 일정 위치에 설치된 미세입자 측정 장치에는 본원발명의 미세입자 프로브부(120)와 같은 흡입부가 모두 상방을 향하도록 배치되어 있다. 본 발명의 실시예에 따른 반송대차(100)는 주행레일(104)을 따라 이동하며 클린룸(103) 내부의 미세입자를 함유한 공기를 흡입하기 때문에 미세입자 프로브부(120) 및 조절부(160)를 복수로 구비하여 미세입자 프로브부(120) 각각이 서로 다른 방향을 향하도록 하였다.In the clean room 103, a filter for removing the fine particles contained in the air is disposed inside the ceiling of the clean room 103, and the air from which the fine particles are removed by the filter is moved from the ceiling of the clean room 103 to the room. The airflow from the ceiling toward the floor is formed inside the clean room 103. Since the air flow from which the fine particles are removed is formed to face the floor from the ceiling, the suction device such as the fine particle probe unit 120 of the present invention is all upward in the microparticle measuring device installed at a predetermined position inside the general clean room 103. It is arranged to face. The transport cart 100 according to the embodiment of the present invention moves along the running rail 104 and sucks air containing the microparticles inside the clean room 103, so that the microparticle probe unit 120 and the adjusting unit ( Each of the microparticle probe units 120 faces a different direction by providing a plurality of 160 parts.

도 3에 도시된 바와 같이 미세입자 프로브부(120) 및 조절부(160)는 하나의 고정축(102)에 복수로 구비될 수도 있지만, 고정축(102)을 복수개로 구비하여 고정축(102) 각각에 미세입자 프로브부(120) 및 조절부(160)를 하나씩 구비할 수도 있다. 이는 실시예일 뿐 미세입자 프로브부(120), 조절부(160) 및 고정축(102)의 개수는 제한되지 않는다.As shown in FIG. 3, the microparticle probe unit 120 and the adjusting unit 160 may be provided in plural on one fixed shaft 102, but are provided with a plurality of fixed shafts 102. Each of the microparticle probe unit 120 and the adjusting unit 160 may be provided. This is only an embodiment, the number of the microparticle probe unit 120, the adjusting unit 160 and the fixed shaft 102 is not limited.

복수로 구비된 미세입자 프로브부(120) 중 적어도 어느 하나는 조절부(160)에 의해 이동 유닛(110)의 이동방향 측을 향하도록 제공되고, 복수로 구비된 미세입자 프로브부(120) 중 적어도 다른 어느 하나는 조절부(160)에 의해 상방을 향하도록 제공될 수 있다. 하나의 미세입자 프로브부(120)가 상방을 향하게 제공됨으로써 클린룸(103)의 천장에서 바닥으로 쏟아지는 기류를 통해 미세입자를 함유한 공기가 보다 용이하게 유입될 수 있고, 또 다른 하나의 미세입자 프로브부(120)가 이동 유닛(110)이 이동하는 이동방향 측을 향하게 제공됨으로써 기류의 경로에 있는 미세입자 뿐만 아니라 기류에 상관없이 이동 유닛(110)의 전방에 존재하는 미세입자까지 미세입자 프로브부(120)로 유입시킬 수 있다. At least one of the plurality of microparticle probe units 120 is provided to face the moving direction of the mobile unit 110 by the adjusting unit 160, and among the plurality of microparticle probe units 120. At least one other may be provided to face upward by the adjusting unit 160. Since one microparticle probe unit 120 is provided upward, air containing the microparticles may be more easily introduced through the air flowing from the ceiling of the clean room 103 to the floor, and another microparticle may be introduced. The probe unit 120 is provided to face the direction of movement in which the mobile unit 110 moves, so that not only the fine particles in the path of the airflow but also the fine particles existing in front of the mobile unit 110 regardless of the airflow. It may be introduced into the portion 120.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반송대차의 작동라인을 나타내는 블럭도이다.4 is a block diagram showing an operation line of the transport cart according to an embodiment of the present invention.

상기 조절부(160)를 구동하는 구동력을 제공하는 구동부를 더 포함할 수 있다. 또한, 도 4를 참조하면, 상기 본체부(113)에 설치되며, 상기 센서부(130)로부터 감지된 감지 데이터를 수신하고, 상기 감지 데이터를 외부로 송신하는 네트워크부(170)를 더 포함하고, 상기 네트워크부(170)는 외부로부터 제어신호를 수신하여 상기 이동 유닛(110)을 제어할 수 있다. The control unit 160 may further include a driving unit providing a driving force for driving the adjusting unit 160. In addition, referring to FIG. 4, the apparatus may further include a network unit 170 installed in the main body unit 113 to receive sensing data detected from the sensor unit 130 and transmit the sensing data to the outside. The network unit 170 may control the mobile unit 110 by receiving a control signal from the outside.

주행레일을 따라 이동하는 이동 유닛(110)은 후술하는 대차제어부(220)를 통해 제어 신호(또는 주행 정보)를 수신받을 수 있고, 이동 유닛(110)은 수신받은 제어 신호를 통해 이동, 정지, 가감속, 목표 위치로 이동할 수 있다. 여기서, 제어 신호는 이동 유닛(110)의 네트워크부(170)로 수신될 수 있는데 네트워크부(170)는 외부로부터 송신된 제어신호를 수신하여 이동 유닛(110)을 제어할 수 있을 뿐만 아니라 센서부(130)와 유선 또는 무선으로 연결되어 센서부(130)에서 감지된 감지 데이터를 수신받을 수 있으며, 수신받은 감지 데이터를 다시 외부로 송신할 수 있다. 즉, 네트워크부(170)는 후술하는 통신부(210)와 연결되어 데이터를 통신하고, 이동 유닛(110) 또는 반송 대차(100)를 제어하기 위한 구성으로 자세한 내용은 후술하기로 한다.The mobile unit 110 moving along the driving rail may receive a control signal (or driving information) through the balance controller 220 to be described later, and the mobile unit 110 may move, stop, or receive the received control signal. Acceleration / deceleration, move to the target position. Here, the control signal may be received by the network unit 170 of the mobile unit 110, the network unit 170 may control the mobile unit 110 by receiving a control signal transmitted from the outside as well as the sensor unit The wired or wireless connection with the 130 may receive the sensed data detected by the sensor unit 130, and may transmit the received sensed data to the outside again. That is, the network unit 170 is connected to the communication unit 210 to be described later to communicate data, and to control the mobile unit 110 or the transfer truck 100 as a detailed description will be described later.

구동부(미도시)는 조절부(160)를 구동하는 구동력을 제공하는 것으로, 외부에 구비된 대차제어부(220)에서 구동부를 작동시키기 위한 제어 신호가 전송되면 네트워크부는 이 신호를 수신받아 구동부를 작동시키고, 구동부는 조절부가 자동으로 움직일 수 있도록 조절부를 구동하는 구동력을 제공할 수 있게 된다.The driving unit (not shown) provides a driving force for driving the adjusting unit 160. When a control signal for operating the driving unit is transmitted from the balance controller 220 provided outside, the network unit receives the signal to operate the driving unit. In addition, the driving unit may provide a driving force for driving the adjusting unit so that the adjusting unit moves automatically.

주행레일을 따라 이동하는 이동 유닛(110)은 전술한 바와 같이 네트워크부(170)를 통해 제어 신호를 수신하고, 제어 신호에 의해 이동 또는 정지하거나, 가속 또는 감속되면서 어느 일정 위치로 이동하게 된다. 이때, 이동 유닛(110)이 일정 위치로 이동하는 중 주행레일의 커브구간을 지나게 되거나 가속 또는 감속하게 되면 기류가 변하게 되어 특정 방향을 향하고 있는 미세입자 프로브부(120)가 공기 중에 함유된 미세입자를 효과적으로 흡입하지 못하는 문제가 발생할 수도 있다. As described above, the mobile unit 110 moving along the running rail receives a control signal through the network unit 170 and moves or stops by the control signal, or moves to a predetermined position while being accelerated or decelerated. At this time, when the moving unit 110 passes the curve section of the traveling rail or accelerates or decelerates while moving to a predetermined position, the airflow changes so that the microparticle probe unit 120 facing the specific direction contains fine particles in the air. The problem of not effectively inhaling the gas may occur.

즉, 주행레일(104)을 따라 이동하는 이동 유닛(110)에 의해 기류 변화가 발생하여 공기에 함유된 미세입자가 비산될 수 있는데, 대차제어부(220)가 기류 변화가 발생할 수 있는 이동 유닛(110)의 주행 정보를 기반으로 네트워크부(170)를 통해 구동부에 작동 신호를 송신하게 되면 구동부는 조절부(160)를 구동시키고, 조절부(160)는 구동부를 통해 미세입자 프로브부(110)가 비산될 수 있는 미세입자를 효과적으로 흡입하여 제거할 수 있도록 미세입자 프로브부(110)의 회전 및 방향을 자동으로 조절하게 된다. 여기서, 이동 유닛(110)의 주행 정보는 이동 유닛(110)의 주행경로, 가감속, 이동, 정지, 회전 및 주행레일(104)에 설치되는 위치태그(191)의 위치 등을 의미하며, 이러한 이동 유닛(110)의 주행 정보를 이용하여 이동 유닛(110)의 주행 상태에 적합한 미세입자 프로브부(110)의 위치 또는 방향을 자동으로 조절할 수 있게 된다.That is, a change in air flow may be generated by the moving unit 110 moving along the running rail 104, so that fine particles contained in the air may be scattered, and the balance control unit 220 may move the air flow ( When the operation signal is transmitted to the driving unit through the network unit 170 based on the driving information of the driving unit 110, the driving unit drives the adjusting unit 160, and the adjusting unit 160 via the driving unit fine particle probe unit 110 It is to automatically adjust the rotation and direction of the fine particle probe unit 110 to effectively suck and remove the fine particles that can be scattered. Here, the driving information of the mobile unit 110 refers to the traveling path, acceleration / deceleration, movement, stop, rotation, and position of the position tag 191 installed on the traveling rail 104 of the mobile unit 110. It is possible to automatically adjust the position or direction of the fine particle probe unit 110 suitable for the driving state of the mobile unit 110 using the driving information of the mobile unit 110.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 위치정보 획득부를 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 위치정보 획득부를 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining a location information acquisition unit according to another embodiment of the present invention, Figure 6 is a view for explaining a location information acquisition unit according to another embodiment of the present invention.

도 5 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세입자 모니터링 시스템(300)은 상기 반송대차(100)의 제어신호를 생성하여 상기 반송대차(100)의 주행을 제어하는 대차제어부(220); 상기 제어신호 및 미세입자 감지 데이터를 송수신하는 통신부(210); 및 상기 통신부(210)를 통해 수신된 상기 미세입자 감지 데이터를 분석하여 클린룸 내부의 미세입자를 실시간으로 모니터링하는 모니터링부(230)를 포함할 수 있다.5 to 6, the microparticle monitoring system 300 according to another embodiment of the present invention generates a control signal of the transport cart 100 to control the balance of the transport cart 100. 220; Communication unit 210 for transmitting and receiving the control signal and the fine particle detection data; And a monitoring unit 230 for analyzing the microparticle detection data received through the communication unit 210 to monitor the microparticles in the clean room in real time.

미세입자 모니터링 시스템은 전술한 반송대차(100)를 이용할 수 있으며, 반송대차(100)에 대한 상세한 설명은 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한 반송대차(100)와 동일하므로 반복되는 설명(또는 효과)는 생략하기로 한다. The microparticle monitoring system may use the above-mentioned conveyance trolley 100, and the detailed description of the conveyance trolley 100 is the same as the conveyance trolley 100 described with reference to FIGS. ) Will be omitted.

통신부(210)는 반송대차(100)로부터 전송된 데이터를 수신하여 반송대차(100)와 데이터를 통신하기 위한 구성으로, 정확히는 반송대차(100)의 네트워크부(170)와 통신할 수 있으며 통신부(210)는 한 실시예로 무선 브리지일 수 있다. 센서부(130)로부터 수신한 미세입자 감지 데이터(이하, 감지 데이터)를 네트워크부(170)가 모니터링부(230)로 송신할 때, 송신된 감지 데이터는 통신부(210)에서 먼저 수신되며, 그 다음에 통신부(210)가 수신된 감지 데이터를 모니터링부(230)로 무선으로 송신한다. 즉, 통신부(210)는 반송대차(100)의 네트워크부(170)와 모니터링부(230) 간의 브리지로서의 역할을 수행할 수 있다. 또한, 통신부(210)는 감지 데이터 뿐만 아니라 후술하는 대차제어부(220)에서 생성된 제어신호를 수신받아 반송대차(110)의 네트워크부(170)로 송신할 수 있다.The communication unit 210 is a configuration for communicating data with the transport balance 100 by receiving data transmitted from the transport balance 100, and can accurately communicate with the network unit 170 of the transport balance 100 and the communication unit ( 210 may be a wireless bridge in one embodiment. When the network unit 170 transmits the fine particle sensing data (hereinafter, referred to as sensing data) received from the sensor unit 130 to the monitoring unit 230, the transmitted sensing data is first received by the communication unit 210. Next, the communication unit 210 wirelessly transmits the received sensing data to the monitoring unit 230. That is, the communication unit 210 may serve as a bridge between the network unit 170 and the monitoring unit 230 of the transport cart 100. In addition, the communication unit 210 may receive not only the sensed data but also a control signal generated by the balance control unit 220 to be described later, and transmit the received control signal to the network unit 170 of the transport balance 110.

대차제어부(220)는 제어신호 또는 반송대차(100)의 주행정보를 통신부(210)를 통해 네트워크부(170)로 전송하여 반송대차(100)의 주행을 제어할 수 있다. 대차제어부(220)에는 대차 제어용 프로그램이 설치되어 반송대차(100)의 동작 제어를 수행하도록 구성되며, 통신부(210)를 통해 제어신호를 전송하여 클린룸(103) 내부에서 이동하는 반송대차(100)를 제어할 수 있게 된다.The balance control unit 220 may control the driving of the transport balance 100 by transmitting a control signal or driving information of the transport balance 100 to the network unit 170 through the communication unit 210. A balance control program 220 is installed in the balance control unit 220 and configured to perform operation control of the transport balance 100, and transmits a control signal through the communication unit 210 to move within the clean room 103. ) Can be controlled.

모니터링부(230)는 통신부(210)를 통해 네트워크부(170)에서 송신되는 감지 데이터를 수신하고, 수신된 감지 데이터를 분석하여 클린룸(103) 내부의 미세입자를 실시간으로 모니터링할 수 있다. 즉, 모니터링부(230)는 통신부(210)를 통해 수신된 감지 데이터를 모니터링하기 위한 것으로서, 통신부(210)로부터 수신된 데이터를 분석 및 데이터화하여 저장하게 된다. 모니터링부(230)는 클린룸(103) 내부의 미세입자 분포상황을 확인하기 위한 작업자의 요청 신호에 따라 저장되어 있는 감지 데이터를 출력하게 되며, 출력화면을 통해 작업자에게 제공할 수 있다. 작업자는 모니터링부(230)를 통해 클린룸(103)에 내부에서 감지된 미세입자의 농도 등을 실시간으로 파악할 수 있다. The monitoring unit 230 may receive the sensing data transmitted from the network unit 170 through the communication unit 210, analyze the received sensing data, and monitor the microparticles in the clean room 103 in real time. That is, the monitoring unit 230 is for monitoring the sensed data received through the communication unit 210, and analyzes and receives data received from the communication unit 210 and stores the data. The monitoring unit 230 may output the sensed data stored according to a worker's request signal for checking the microparticle distribution in the clean room 103, and may provide the detected data to the worker through an output screen. The worker may grasp the concentration of the fine particles detected in the clean room 103 through the monitoring unit 230 in real time.

모니터링부(230)는 작업자의 모니터링 요청 신호에 따라 모니터링 정보 즉, 분석된 미세입자 감지 데이터를 출력하도록 할 수 있으나, 기 설정된 기준을 초과하는 이상이 발생된 경우 자동적으로 해당 정보를 작업자에게 통지해 주도록 할 수도 있다. 즉, 미세입자의 농도가 기설정된 임계치를 초과할 경우에 해당 이상 정보를 경고 메시지 등을 통해 작업자에게 출력할 수도 있다.The monitoring unit 230 may output the monitoring information, that is, the analyzed fine particle detection data according to the operator's monitoring request signal, but automatically notify the operator of the corresponding information when an abnormality exceeding a preset criterion occurs. You can also give. That is, when the concentration of the fine particles exceeds a predetermined threshold, the abnormality information may be output to the worker through a warning message or the like.

상기 모니터링부(230)는 상기 대차제어부(220) 및 통신부(210)로부터 시간대별로 상기 반송대차(100)의 위치정보와 미세입자 감지 데이터를 수신받아 시간에 따른 상기 클린룸(103) 내부의 위치별 미세입자를 모니터링할 수 있다. 즉, 모니터링부(230)는 통신부(210)를 통해 반송대차(100)에서 전송된 미세입자 감지 데이터뿐만 아니라 대차제어부(220)를 통해 반송대차(100)의 위치정보를 수신하여 시간에 따라 전달받은 감지 데이터와 반송대차(100)의 위치정보를 서로 매칭할 수 있으며, 후술하겠지만 반송대차(100)의 위치를 파악하는 것에 의해 클린룸(103) 내부에서 미세입자가 발생하는 위치 및 발생 시간을 동시에 실시간으로 파악할 수 있게 된다. 시간 정보는 네트워크부(170)의 클럭(Clock)을 이용할 수 있으며, 네트워크부(170)는 클럭을 통해 센서부(130)로부터 감지 데이터를 수신 받는 시간을 산출할 수 있다.The monitoring unit 230 receives the location information of the transport cart 100 and the fine particle detection data for each time zone from the balance control unit 220 and the communication unit 210, and then positions the interior of the clean room 103 according to time. Star microparticles can be monitored. That is, the monitoring unit 230 receives the positional information of the transport cart 100 through the balance controller 220 as well as the fine particle detection data transmitted from the transport cart 100 through the communication unit 210 and transmits it according to time. The detection data received can be matched with the position information of the conveyance trolley 100. As will be described later, the position and time of occurrence of fine particles in the clean room 103 by grasping the position of the conveyance trolley 100 are identified. At the same time, it can be grasped in real time. The time information may use a clock of the network unit 170, and the network unit 170 may calculate a time for receiving sensing data from the sensor unit 130 through the clock.

본 발명의 다른 실시예에 따른 미세입자 모니터링 시스템(300)은 반송대차(100)와 대차제어부(220), 통신부(210) 및 모니터링부(230)로 구성된 호스트 컴퓨터(200)를 이용하여 클린룸(103) 내부에서 발생하는 시간에 따른 미세입자를 확인할 수 있을 뿐만 아니라 이동하는 반송대차(100)를 통해 위치별 미세입자를 추가적으로 확인할 수 있게 되므로 구체적으로 어느 위치에서 언제 미세입자가 발생했는지가 정확하게 파악되어 신속한 대응이 가능해질 수 있다.Microparticle monitoring system 300 according to another embodiment of the present invention is a clean room using the host computer 200 consisting of the transport cart 100, the balance controller 220, the communication unit 210 and the monitoring unit 230 (103) Not only can the microparticles be identified according to the time generated inside, but also the microparticles for each position can be additionally identified through the moving transport cart 100 so that when and where the microparticles are generated precisely at which position Can be identified and quickly responded.

상기 반송대차(100)는 상기 반송대차(100)의 위치를 확인할 수 있는 위치식별정보를 획득하는 위치식별정보 획득부(180)를 포함하고, 상기 위치식별정보 획득부(180)를 통해 획득된 위치식별정보는 상기 반송대차(100)의 네트워크부(170)를 통해 상기 대차제어부(220)로 송신되며, 상기 대차제어부(220)는 수신된 상기 위치식별정보를 상기 반송대차(100)의 위치정보로 변환하여 상기 모니터링부(230)로 출력할 수 있다. 즉, 반송대차(100)의 위치정보는 대차제어부(220)가 위치식별정보 획득부(180)로부터 수신받은 위치식별정보를 변환함으로써 얻을 수 있고, 대차제어부(220)에서 변환되어 얻어진 위치정보는 상기 모니터링부(230)로 출력될 수 있다. The transport cart 100 includes a location identification information acquisition unit 180 for obtaining location identification information for identifying the location of the transport cart 100, and obtained through the location identification information acquisition unit 180. The position identification information is transmitted to the balance control unit 220 through the network unit 170 of the transport balance 100, and the balance control unit 220 transmits the received location identification information to the location of the transport balance 100. The information may be converted into information and output to the monitoring unit 230. That is, the position information of the transport cart 100 may be obtained by converting the position identification information received from the position identification information acquisition unit 180 by the balance controller 220, and the position information obtained by the conversion of the balance controller 220 may be obtained. It may be output to the monitoring unit 230.

다시 말해서, 위치식별정보 획득부(180)에서 반송대차(100)의 위치식별정보가 획득되면, 획득된 이 위치식별정보는 반송대차(100)의 네트워크부(170)를 통해 통신부(210) 및 대차제어부(220) 순으로 송신되며, 최종적으로 대차제어부(220)는 수신된 위치식별정보를 변환하여 모니터링부(230)로 반송대차(100)의 위치정보를 출력하게 되는 것이다.In other words, when the location identification information of the transport cart 100 is acquired by the location identification information acquisition unit 180, the obtained location identification information is obtained through the network unit 170 of the transport cart 100 through the communication unit 210 and The balance controller 220 is transmitted in order, and finally, the balance controller 220 converts the received position identification information and outputs the position information of the transport balance 100 to the monitoring unit 230.

반송대차(100)의 위치정보를 파악하는 한 실시예로 반송대차(100)가 이동하는 이동 경로를 따라 구비되며, 고유 식별번호에 대한 정보 또는 위치식별정보가 저장된 복수의 위치태그(191)와 반송대차(100)에 구비되며, 반송대차(100)가 이동되는 경로상에 구비된 각 위치태그(191) 중 인접하게 위치된 인접태그에 저장된 고유 식별번호 또는 위치식별정보에 대한 정보를 비접촉식으로 획득하는 인식부(181)를 통해 후에 반송대차(100)의 위치정보를 획득할 수 있게 된다. 여기서, 인식부(181)는 위치식별정보 획득부(180)의 한 실시예일 수 있다. As an embodiment for identifying the location information of the transport cart 100 is provided along the moving path that the transport cart 100 is moved, a plurality of location tags 191 and information about the unique identification number or location identification information is stored; It is provided in the transport cart 100, the information on the unique identification number or location identification information stored in the adjacent tag adjacent to each of the position tags 191 provided on the path that the transport cart 100 is moved in a non-contact manner The acquiring unit 181 may later acquire position information of the transport cart 100. Here, the recognition unit 181 may be an embodiment of the location identification information acquisition unit 180.

복수의 위치태그(191)는 미리 지정된 고유 식별번호 또는 위치식별정보가 저장되는 전자 태그이며, 각 위치태그(191)는 반송대차(100)가 이동되는 이동 경로를 따라 구비된다. 인식부(181)는 각 위치태그(191)에 저장된 고유 식별번호 또는 위치식별정보에 대한 정보를 비접촉식으로 획득하기 위한 구성으로 반송대차(100)에 구비될 수 있다. 즉, 인식부(181)를 반송대차(100)에 구비함으로써 반송대차(100)가 이동되는 도중에 그 이동 경로 상에 구비된 각 위치태그(191) 중 가장 인접하게 위치된 위치태그(191)에 저장된 고유 식별번호 또는 위치식별정보를 비접촉식으로 획득할 수 있다.The plurality of location tags 191 are electronic tags in which predetermined unique identification numbers or location identification information are stored, and each location tag 191 is provided along a moving path in which the transport cart 100 is moved. The recognition unit 181 may be provided in the transport cart 100 in a configuration for contactlessly obtaining information about the unique identification number or location identification information stored in each location tag 191. That is, by providing the recognition unit 181 in the transport cart 100 to the location tag 191 located closest to each of the location tags 191 provided on the movement route while the transport cart 100 is moved. Stored unique identification number or location identification information can be obtained contactlessly.

상기 인식부(181)에 의해 획득된 위치식별정보는 네트워크부(170)를 통해 통신부(210)로 송신되고, 통신부(210)는 수신받은 위치식별정보를 대차제어부(220)로 송신한다. 대차제어부(220)는 전술한 바와 같이 수신된 위치식별정보를 변환하여 반송대차(100)의 위치정보를 얻게 되며, 모니터링부(230)는 대차제어부(220)로부터 반송대차(100)의 위치정보를 수신하여 시간에 따른 클린룸(103) 내부의 위치별 미세입자를 실시간으로 모니터링할 수 있게 되는 것이다.The location identification information obtained by the recognition unit 181 is transmitted to the communication unit 210 through the network unit 170, and the communication unit 210 transmits the received location identification information to the balance controller 220. The balance controller 220 obtains the location information of the transport balance 100 by converting the received location identification information as described above, and the monitoring unit 230 receives the location information of the transport balance 100 from the balance controller 220. By receiving the will be able to monitor in real time the fine particles by location in the clean room 103 over time.

반송대차(100)의 위치를 파악하는 다른 실시예로 클린룸(103) 내부의 특정 위치에 각각 고정 설치되며, 절대 위치 정보를 포함한 신호를 각각 송신하는 복수의 신호 발생기(192)와 복수의 신호 발생기(192)에서 송신된 신호를 각각 수신하고, 신호 발생기(192)에서 신호가 송신된 시각과 수신기에 수신된 시각의 차이를 이용하여 신호 발생기(192)와의 거리를 산출하고, 산출된 거리 및 절대 위치 정보를 조합하여 반송대차(100)의 위치식별정보를 획득하는 수신부(182)를 통해 반송대차(100)의 위치정보가 후에 대차제어부(220)를 통해 파악될 수 있다. 여기서, 수신부(182)는 반송대차(100)에 구비되며 위치식별정보 획득부(180)의 다른 실시예일 수 있다. 수신부(182)는 신호 발생기(192)의 절대 위치 정보 및 수신부(182) 사이의 거리를 근거로 클린룸(103) 내부에서 반송대차(100)가 있는 위치식별정보를 획득할 수 있으며, 반송대차(100)의 위치식별정보는 공지된 삼각측량법 등을 통해 산출될 수 있다.In another embodiment of determining the position of the transport cart 100, a plurality of signal generators 192 and a plurality of signals are fixedly installed at specific positions within the clean room 103, respectively, and transmit signals including absolute position information. Receive each signal transmitted from the generator 192, calculate the distance from the signal generator 192 using the difference between the time the signal is transmitted from the signal generator 192 and the time received by the receiver, the calculated distance and The position information of the transport cart 100 may be later grasped by the balance controller 220 through the receiver 182 which acquires the location identification information of the transport cart 100 by combining the absolute position information. Here, the receiver 182 is provided in the transport cart 100 and may be another embodiment of the location identification information acquisition unit 180. The receiver 182 may acquire position identification information with the transport cart 100 in the clean room 103 based on the absolute position information of the signal generator 192 and the distance between the receiver 182 and the transport cart. The location identification information of 100 may be calculated through a known triangulation method.

전술한 바와 같이 위치태그(191), 인식부(181) 또는 신호 발생기(192), 수신부(182)를 이용하여 반송대차(100)의 위치식별정보를 획득한 뒤 획득된 위치식별정보를 이용하여 대차제어부(220)가 반송대차(100)의 위치정보를 파악할 수도 있고, 또 다른 실시예로 주행레일(104)을 따라 이동하는 반송대차(100)의 주행 정보를 이용하여 대차제어부(220)가 반송대차(100)의 위치정보를 검출할 수도 있다. 대차제어부(220)는 반송대차(100)의 주행 제어를 수행하므로 도 5에 도시된 바와 같이 주행레일(104)을 따라 이동하는 반송대차(100)를 출발지인 A지점으로부터 목적지인 B지점으로 이동하라는 제어신호를 통신부(210)를 통해 반송대차(100)의 네트워크부(170)로 전송하거나 반송대차(100)가 정지, 가속 또는 감속되도록 하는 제어신호를 네트워크부(170)로 전송하게 된다. 이처럼 대차제어부(220)는 반송대차(100)의 주행상태, 속도, 시간 등 반송대차(100)의 주행정보를 기반으로 주행레일(104)에서의 반송대차(100)의 위치정보를 위치식별정보 획득부(180) 없이 검출할 수 있게 되고, 검출된 위치정보는 모니터링부(230)로 바로 전송될 수 있다.As described above, the position tag 191, the recognition unit 181 or the signal generator 192, the receiving unit 182 using the position identification information obtained after obtaining the position identification information of the transport cart 100 by using The balance controller 220 may grasp the position information of the transport cart 100. In another embodiment, the balance controller 220 may use the travel information of the transport cart 100 moving along the travel rail 104. Location information of the transport cart 100 may also be detected. Since the balance control unit 220 performs driving control of the transport balance 100, the transport balance 100 moving along the travel rails 104 is moved from a point A as a destination to a point B as shown in FIG. 5. The control signal is transmitted to the network unit 170 of the transport cart 100 through the communication unit 210 or a control signal for stopping, accelerating or decelerating the transport cart 100 to the network unit 170. In this way, the balance controller 220 may determine the location information of the transport cart 100 on the travel rails 104 based on the travel information of the transport cart 100, such as the driving state, speed, and time of the transport cart 100. The detection unit 180 may be detected without the acquirer 180, and the detected position information may be directly transmitted to the monitoring unit 230.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 아래에 기재될 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, in the detailed description of the present invention, specific embodiments have been described, but various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined not only by the claims described below, but also by equivalents thereof.

100: 반송대차 101: 대상물
102: 고정축 103: 클린룸
104: 주행레일 110: 이동 유닛
111: 몸체부 112: 지지부재
113: 본체부 114: 구동바퀴
120: 미세입자 프로브부 121: 헤드부
122: 유입부 123: 유출부
124: 회동 연결부 130: 센서부
140: 흡입기 141: 방진부재
151: 제1 연결관 152: 제2 연결관
160: 조절부 161: 제1 이동부재
162: 제2 이동부재 170: 네트워크부
180: 위치식별정보 획득부 181: 인식부
182: 수신부 191: 위치태그
192: 신호 발생기 200: 호스트 컴퓨터
210: 통신부 220: 대차제어부
230: 모니터링부 300: 미세입자 모니터링 시스템100: return truck 101: object
102: fixed shaft 103: clean room
104: running rail 110: mobile unit
111: body portion 112: support member
113: main body 114: drive wheel
120: fine particle probe portion 121: head portion
122: inlet 123: outlet
124: rotational connection 130: sensor
140: inhaler 141: dustproof member
151: first connector 152: second connector
160: adjusting unit 161: first moving member
162: second moving member 170: network portion
180: location identification information acquisition unit 181: recognition unit
182: receiver 191: location tag
192: signal generator 200: host computer
210: communication unit 220: balance control unit
230: monitoring unit 300: fine particle monitoring system

Claims

A moving unit including a support member on which the object is seated, moving in the clean room while supporting the object to convey the object to a target position;
A fine particle probe unit positioned outside the edge of a position at which the object is seated and into which air containing the fine particles is introduced into the clean room;
A control unit connected to the microparticle probe unit to adjust the position and direction of the microparticle probe unit;
A sensor unit connected to the microparticle probe unit and a first connection pipe, and configured to sense microparticles introduced into the microparticle probe unit; And
It is connected to the sensor via a second connecting pipe, and includes an inhaler to provide a suction force to the fine particle probe through the first connecting pipe and the second connecting pipe so that the air containing the fine particles,
The air containing the microparticles flows in the order of the microparticle probe unit, the first connector, the sensor unit, the second connector and the inhaler,
The microparticle probe unit and the control unit is provided in plurality,
At least one of the adjusting unit, according to the driving information of the mobile unit conveyance trolley to adjust the position and direction of at least any one of the fine particle probe unit toward the moving direction of the mobile unit.

delete

The method according to claim 1,
It is fixed to the mobile unit, and further comprising a fixed shaft for supporting the control unit to be movable,
The control unit,
A first moving member fitted to an outer circumferential surface of the fixed shaft and connected up and down or rotatably in an axial direction; And
It includes a hinge pin formed at one end, and includes a second moving member connected to the first moving member the other end to enable in-situ rotation,
The microparticle probe unit is connected to the second moving member through the hinge pin to rotate around the hinge pin.

The method according to claim 1,
And a drive unit for providing a driving force for driving the control unit.

The method according to claim 3,
The microparticle probe unit,
A head portion having a through hole having an inflow portion into which the air containing the fine particles flows and an outflow portion through which the air containing the fine particles flows out in communication with the first connection pipe; And
It is formed in the head portion, and includes a rotation connecting portion rotatably connected to the one end of the second moving member via the hinge pin,
The through hole has a funnel shape having a funnel shape of the inner diameter gradually decreases from the inlet to the outlet.

The method according to claim 1,
Each of the microparticle probes is provided in a carriage cart.

The method according to claim 6,
At least another one of the adjustment unit, the transport cart to adjust the position and direction of at least one of the microparticle probe unit to face upward.

The method according to claim 1,
The mobile unit is provided to be capable of traveling along a traveling rail to convey the object to a target position,
The mobile unit,
A main body part spaced apart from the running rail and including the support member; And
And a pair of driving wheels installed on the main body to move along the traveling rail.

The method according to claim 8,
A network unit installed in the main body unit to receive sensed data detected from the sensor unit and transmit the sensed data to the outside;
And the network unit controls the mobile unit by receiving control information from the outside.

The method according to claim 1,
Carrying cart further comprises a dustproof member provided in the lower portion of the inhaler.

The method according to claim 1,
The inhaler comprises a at least one of a vacuum pump or a dust collector for suctioning the air containing the fine particles with a vacuum.

A transfer balance according to any one of claims 1 and 3 to 11;
A balance controller configured to generate a control signal of the conveyance balance to control driving of the conveyance balance;
A communication unit for transmitting and receiving the transport balance and the control signal and fine particle detection data; And
And a monitoring unit for analyzing the microparticle detection data received through the communication unit to monitor the microparticles in the clean room in real time.

The method according to claim 12,
The monitoring unit receives the location information and the fine particle detection data of the transport balance for each time zone from the balance control unit or the communication unit for monitoring the fine particles by location in the clean room according to time.

The method according to claim 13,
The transport balance includes a location identification information acquisition unit for obtaining location identification information for identifying the location of the transport cart,
The location identification information obtained through the location identification information acquisition unit is transmitted to the balance controller through the network unit of the transport balance,
And the balance controller converts the received location identification information into location information of the transport balance and outputs the location information to the monitoring unit.

The method according to claim 13,
The balance control unit may detect the location information of the transport cart using the travel information of the transport cart, the detected position information is output to the monitoring unit fine particle monitoring system.