KR20080105418A - 자력고정부를 구비한 도금장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 도금장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 피도금물을 고정하기 위해 무리한 외력을 가할 필요가 없는 자력고정부를 구비한 도금장치에 관한 것이다.

본 발명은 도금액이 저장된 도금조와, 도금공정의 대상인 피도금물을 도금조에 침강시키기 위한 침강수단을 포함하는 도금장치로, 침강수단에는 자력을 통해 상기 피도금물을 고정시키기 위한 자력고정부가 구비되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면 자력을 통해 피도금물을 고정할 수 있도록 함으로써, 지그를 사용하던 종래의 기술과 달리 피도금물에 무리한 외력을 가할 필요가 없으므로 외력에 의해 피도금물이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 피도금물에 전기를 인가하기 위하여 부드러운 소재인 금속화이버를 이용함으로써 피도금물의 표면에 긁힘과 같은 손상이 일어나는 것을 방지할 수 있다.

도금, 고정, 자력, 웨이퍼

Description

자력고정부를 구비한 도금장치{Plating apparatus having a fixing mean using magnetic force}

도 1은 종래의 기술에 따른 도금장치의 웨이퍼홀더를 도시한 구성도,

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치의 구성도,

도 3은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치의 구성도,

도 4a 및 4b는 도 2 또는 도 3에 도시된 자력고정부에 대한 세부구성도이다.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명>

210 : 도금조 211 : 도금액

220 : 침강수단 211 : 자력고정부

222 : 단자 223 : 후크

224 : 금속화이버 225 : 요홈

230 : 공이 240 : 컨베이어벨트

본 발명은 도금장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 피도금물을 고정하기 위해 무리한 외력을 가할 필요가 없는 자력고정부를 구비한 도금장치에 관한 것이다.

도 1에는 종래의 기술에 따른 도금장치의 웨이퍼홀더가 도시되어 있다. 도 1에 도시된 바와 같이 종래의 기술에 따른 도금장치의 웨이퍼홀더(100)는 상부지그(110) 및 하부지그(120)를 포함하며, 상부지그(110) 및 하부지그(120)는 스크류(130)가 회전함에 따라 상하로 수직이동하게 된다.

또한, 상부지그(110)와 하부지그(120)의 양단에는 상부지그(110)와 하부지그(120)의 사이에 고정되는 피도금물(10)에 전기를 공급하기 위한 단자(112,122)가 구비된다.

종래의 기술에 따른 도금장치는 위에서 살펴본 바와 같은 구성을 통해 피도금물(10)을 고정하는데, 이때 신뢰성있는 고정을 위해 무리하게 상부지그(110)와 하부지그(120)로 피도금물(10)에 외력을 가할 경우 피도금물(10)이 이러한 외력을 견디지 못하고 파손되는 경우가 비일비재하였다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 도출된 것으로, 자력을 통해 피도금물을 고정함으로써 무리한 외력을 가할 필요가 없는 자력고정부를 구비한 도금장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 도금액이 저장된 도금조와, 도 금공정의 대상인 피도금물을 상기 도금조에 침강시키기 위한 침강수단을 포함하는 도금장치로, 상기 침강수단에는 자력을 통해 상기 피도금물을 고정시키기 위한 자력고정부가 구비되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 자력고정부는 일측에 전기를 상기 피도금물의 도금을 위한 전기를 인가받기 위한 단자가 구비되며, 자력이 발생되며 내측에 요홈이 형성된 막대형상으로 서로 마주보게 구성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 자력고정부는 영구자석으로 이루어진 것일 수 있다.

또는, 상기 자력고정부는 상기 피도금물과 접촉하는 부위에 영구자석을 구비하는 것일 수도 있다.

나아가, 상기 자력고정부는 소정 부위에 영구자석을 구비하며, 강자성체 또는 반강자성체로 이루어진 것일 수도 있다.

한편, 본 발명에서는 상기 영구자석의 내측표면에 상기 단자를 통해 인가받은 전기를 상기 피도금물의 표면으로 통전시키기 위한 금속화이버가 구비되는 것이 바람직하다.

덧붙여, 상기 자력고정부에서 발생되는 자력의 세기는, 3900 내지 4100 가우스 사이인 것이 더욱 바람직하다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구 범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙 에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

이하에서는 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치를 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시에에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치(100)의 구성도이다. 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 바람직한 일 실시에에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치(100)는 도금조(210) 및 침강장치(220a)를 포함한다.

도금조(210)는 피도금물(10)이 일정시간 침강되어 전기가 가해짐으로써 전해도금을 이룰 수 있도록 도금액(211)을 수용하는 구성으로, 여기서 상기 일정시간, 도금액의 성분 또는 전기의 량과 같은 구성요소는 당업자의 의도에 따라 얼마든지 변경가능함은 물론이다.

다만, 도금조(210)는 피도금물(10) 전체가 도금액(211)에 담을 수 있도록 피도금물(10) 보다 큰 부피를 갖도록 제작되는 것이 바람직하다.

침강장치(220)는 피도금물(10)을 도금액에 침강시키기 위한 것으로, 본 발명에서는 특히 이러한 침강수단(220)의 일측에 자력을 이용하여 피도금물을 고정시키 기 위한 자력고정부(221)가 구비된다.

도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에서의 침강장치(220a)를 설명하면, 자력고정부(221)가 피도금물(10)의 양측에서 자력을 통해 피도금물(10)을 고정시키게 되며, 또한, 자력고정부(221)의 상측에는 후크(223)가 구비되어 사용자가 공이(230)와 같은 수단을 통해 피도금물(10)이 고정된 자력고정부(221)를 도금액(211)에 침강시키게 된다.

이때 자력고정부(221)의 일측에 피도금물(10)의 표면에 전기를 인가하기 위한 단자(222)가 구비되는 것은 물론이다.

위에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 자력고정부의 자세한 구성 및 동작에 관해서는 이후에 좀 더 설명하기로 한다.

한편, 이하에서는 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치를 설명하기로 한다. 설명에 있어서 도 2와 동일한 참조 부호는 동일한 기능을 수행하는 동일한 부재를 지칭한다.

도 3은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치(300)의 구성도이다.

도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치(300)는 침강장치로 컨베이어벨트(220b)를 이용한다.

이러한 컨베이어벨트(220b)는 일단이 도금액(211) 내에 잠기도록 구비되고 일면에 자력고정부(221)가 하나 이상 구비되어 컨베이어벨트(220b)가 회전함에 따라 자력고정부(221)가 도금액에 침강되었다가 다시 상승하게 된다.

이때, 컨베이어벨트(220b)의 회전속도가 사용자의 의도에 의해 변경될 수 있음은 물론이다.

이와 같은 구성을 통해 본 발명은 좀 더 용이하게 대량의 피도금물(10)을 도금할 수 있다.

이하에서는 도 4a 및 도 4b를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자력고정부의 자세한 구성과 동작을 설명하도록 한다. 설명에 있어서 도 2 또는 도 3과 동일한 참조부호는 동일한 기능을 수행하는 동일한 구성을 지칭한다.

도 4a와 도 4b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자력고정부(221)의 세부구성도이다.

도 4a에 도시된 것과 같이 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자력고정부(221)는 우측부재(221a)와 좌측부재(221b)가 결합되어 이루어지는데, 이때 우측부재(221a)와 좌측부재(221b)는 서로 완벽히 접촉되는 것이 아니라 도 4b에 도시된 바와 같이 피도금물(10)에 거치될 수 있는 요홈(225)이 내측에 형성될 수 있도록 결합되는 것이 바람직하다.

이때, 요홈(225)은 피도금물의 두께에 따라 다르게 설정될 수 있다.

또한, 자력고정부(221)는 피도금물과 접촉하는 부위, 즉 고정단(225)에 영구자석을 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명은 이뿐만 아니라, 자력고정부(221) 전체가 영구자석으로 이루어지도록 구성될 수도 있으며, 나아가 피도금물과 접촉하지 않는 부위에 영구자석을 구비되고 자력고정부(221)가 강자성체 또는 반강자성체로 이루어져 자성을 띄도록 구성 될 수도 있다.

본 발명은 이와 같은 구성을 통해 피도금물(10)을 고정함으로써 무리한 외압을 가해 고정하던 종래의 기술에 비해 피도금물(10)의 파손될 우려가 거의 없는 장점이 있다.

덧붙여서, 본 발명에서는 자력고정부(221)에서 발생되는 자력의 세기가 3900 내지 4100 가우스 사이(더욱 바람직하게는 4000가우스)인 것이 바람직한데, 이와 같은 범위 내의 자력이 피도금물(10)에 공급될 경우에, 사용자가 큰 어려움없이 피도금물(10)을 탈부착할 수 있으며 도금공정에 별다른 영향을 미치지 않는다.

한편, 본 발명의 자력고정부(221)에는 도 4a에 도시된 바와 같이 내측에 금속화이버(224)가 구비되는데, 이러한 금속화이버는 단자(222)를 통해 인가받은 전기가 피도금물(10)의 표면에 공급되도록 하기 위한 것으로, 피도금물(10)에 긁힘이나 기타 손상을 가하지 않고도 피도금물(10)의 표면으로 전기를 공급할 수 있는 장점이 있다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

본 발명에 따르면 자력을 통해 피도금물을 고정할 수 있도록 함으로써, 지그를 사용하던 종래의 기술과 달리 피도금물에 무리한 외력을 가할 필요가 없으므로 외력에 의해 피도금물이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 피도금물에 전기를 인가하기 위하여 부드러운 소재인 금속화이버를 이용함으로써 피도금물의 표면에 긁힘과 같은 손상이 일어나는 것을 방지할 수 있다.

Claims (7)

1. 도금액이 저장된 도금조와, 도금공정의 대상인 피도금물을 상기 도금조에 침강시키기 위한 침강수단을 포함하는 도금장치에 있어서,

   상기 침강수단에는 자력을 통해 상기 피도금물을 고정시키기 위한 자력고정부가 구비되는 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 자력고정부는,

   일측에 전기를 상기 피도금물의 도금을 위한 전기를 인가받기 위한 단자가 구비되며, 자력이 발생되며 내측에 요홈이 형성된 막대형상으로 서로 마주보게 구성되는 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.
3. 제 2항에 있어서, 상기 자력고정부는,

   영구자석으로 이루어진 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.
4. 제 2항에 있어서, 상기 자력고정부는,

   상기 피도금물과 접촉하는 부위에 영구자석을 구비하는 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.
5. 제 2항에 있어서, 상기 자력고정부는,

   소정 부위에 영구자석을 구비하며,

   강자성체 또는 반강자성체로 이루어진 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.
6. 제 2 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 영구자석의 내측표면에,

   상기 단자를 통해 인가받은 전기를 상기 피도금물의 표면으로 통전시키기 위한 금속화이버가 구비된 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.
7. 제 6항에 있어서, 상기 자력고정부에서 발생되는 자력의 세기는,

   3900 내지 4100 가우스 사이인 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.

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