KR20080105388A

KR20080105388A - 용액 중 전이를 통한 미세입자 막 형성방법

Info

Publication number: KR20080105388A
Application number: KR1020070052917A
Authority: KR
Inventors: 진용완; 이항우; 박상현; 배민종; 김문자; 신준호; 유지범
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2007-05-30
Filing date: 2007-05-30
Publication date: 2008-12-04

Abstract

용액 중의 전이를 통한 미세입자 막 형성방법이 개시된다. 개시된 용액 중의 전이를 통한 미세입자 막 형성방법은, (a) 소수성 미세입자 용액, 미세 다공성 필터 및 소수성 기판을 마련하는 단계; (b) 상기 소수성 미세입자 용액의 미세입자를 상기 필터에 도포하여 미세입자 막이 형성된 필터를 마련하는 단계; (c) 상기 미세입자 막이 사이에 오도록 상기 필터와 상기 기판을 적층하는 단계; 및 (d) 상기 적층된 필터와 기판을 친수성 용액에 담가 상기 필터에 형성된 미세입자막을 상기 기판으로 전이시키는 단계;를 포함한다.

따라서, 개시된 용액 중의 전이를 통한 미세입자 막 형성방법은 투명성과 전기전도성이 우수한 미세입자 막을 얻을 수 있으며 필터의 재사용이 가능하고 공정이 단순하며 인체에 무해하고 환경친화적이다.

Description

용액 중 전이를 통한 미세입자 막 형성방법{Method of forming fine-particle film via transfer under solution}

도 1a은 미세입자 막을 형성하기 위한 종래의 스프레이법의 모식도이다.

도 1b는 미세입자 막을 형성하기 위한 종래의 LB(Langmuir-Blodgett)법의 모식도이다.

도 1c은 미세입자 막을 형성하기 위한 종래의 진공여과법의 모식도이다.

도 2a은 도 1c의 진공여과법에서 필터를 녹임으로써 미세입자 막을 기판으로 전이시키는 방법의 모식도이다.

도 2b는 도 1c의 진공여과법에서 미세입자 막의 전이를 위한 접촉 프린팅(Contact printing)법의 모식도이다.

도 2c은 도 1c의 진공여과법에서 미세입자 막의 전이를 위한 준 LB(Quasi-Langmuir-Blodgett)법의 모식도이다.

도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 용액 중 전이를 통한 미세입자 막 형성방법의 모식도다.

도 4는 도 3의 방법에 의해 형성된 미세입자 막의 전기전도성을 보여 주는 사진이다

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 용액 중 전이를 통한 미세입자 막 형 성방법의 모식도다.

도 6는 도 5의 방법에 의해 형성된 미세입자 막을 확대한 사진이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 스프레이장치 2: 전이조

3, 4, 8: 용액 5: 진공여과장치

5a: 진공 벤트 6: 용매

7: 폴리머 도장 10: 기판

20: CNT 막, CNT 20': CNT 용액

30: 필터

본 발명은 미세입자 막 형성방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 투명성과 전기전도성이 우수한 미세입자 막을 얻을 수 있으며 필터의 재사용이 가능하고 공정이 단순하며 인체에 무해하고 환경친화적인 용액 중의 전이를 통한 미세입자 막 형성방법에 관한 것이다.

종래에 알려진 미세입자 막형성법으로는 스프레이법, LB(Langmuir-Blodgett) 법, 또는 진공여과법이 있다.

종래기술은 대부분 CNT(Carbon Nano tube)를 이용한 예를 보여 주고 있으며 그 내용은 하기와 같다.

도 1a을 참조하면, 스프레이법은 휘발성 용액 속에 잘 분산시킨 CNT(20)를 가열된 스프레이장치(1)를 통해 기판(10)위에 분사시켜줌으로써 용액 속의 CNT(20)만을 기판상에 도포하는 방법이다. 상기 방법은 간편하나 완성된 막의 두께가 균일하지 못하고 재현성이 떨어지며 분사량에 비해 기판에 도포되는 CNT의 양이 매우 적다는 문제점이 있다(M. Kaempgen, Appl. Sur. Sci. 252, 425).

도 1b는 미세입자 막을 형성하기 위한 종래의 LB(Langmuir-Blodgett)법의 모식도이다. 이하, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 부재 또는 동일한 부재의 부분을 가리킨다.

도 1b를 참조하면, LB법은 CNT(20)에 작용기 (functional group)를 붙인 후 전이조(2)에 충전된 용액(3) 속에 분산시키고 이를 서로 섞이지 않는 다른 용액(4)의 표면에 띄운 뒤 표면처리된 기판(10)으로 떠내는 방법이다. 상기 방법은 CNT 막의 두께가 단층(Monolayer)수준으로 제한된다는 문제점이 있다(V. Krstic, G. S. Duesberg, J. Muster, M. Burghard, S. Roth, Chem. Mater. 10, 2338).

도 1c을 참조하면, 진공여과법은 진공여과장치(5)에 수백~수십 nm 크기의 미세 구멍을 갖는 반투성 필터(30)를 설치하고 용액(20') 속에 잘 분산시킨 CNT(20)를 반투성 필터(30) 위에 부은 후 진공 벤트(5a)를 통해 펌프 등으로 진공을 걸어 필터(30) 위에 CNT 막(20)을 형성시키는 방법이다. 필터(30) 위에 형성된 CNT 막(20)은 후술하는 몇 가지 방법(필터 용해법, 접촉 프린팅법, 준 LB법)에 의해 소 정의 기판(10) 상으로 옮겨지며 이 단계가 진공여과법의 핵심이 되는 단계이다(Zhuangchun Wu, SCIENCE 305, 1273). 진공여과법으로 형성된 CNT 막은 스프레이법에 비해 균일하고 재현성이 뛰어나며 용액 속의 CNT가 전부 막으로 형성되는 장점이 있다. 또한, 진공여과법은 LB법과는 달리 원하는 두께의 막을 얻을 수 있는 장점이 있다.

진공여과법으로 형성된 CNT 막을 원하는 기판으로 옮기는 방법으로는 다음의 세 가지가 알려져 있다.

(1) 필터 용해법은, 도 2a에 도시된 바와 같이, CNT막(20)이 형성된 필터(30)를 소정의 기판(10) 위에 CNT막(20)이 기판(10)쪽을 향하도록 올려놓은 후 용매(6)로 필터(30)만을 선택적으로 녹여내어 기판(10) 상에 CNT막(20)을 형성시키는 방법이다. 이 경우, 필터(30)의 재질에 맞는 용매(6)를 선택하여야 하며 셀룰로오스 재질의 필터를 아세톤으로 녹여내거나 알루미나 재질의 필터를 수산화나트륨 또는 수산화칼륨으로 녹여내는 방법이 알려져 있다. 상기 방법은 필터(30)를 녹여내는데 10분 이상의 긴 시간을 요하며 용매(6)를 완전히 제거하기 위한 추가적인 헹굼 과정이 필요하고 필터(30)를 재사용할 수 없다는 문제점이 있다(Zhuangchun Wu, SCIENCE 305, 1273).

(2) 접촉 프린팅(Contact printing)법은, 도 2b에 도시된 바와 같이, 필터(30) 상의 CNT 막(20)을 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane: PDMS)과 같은 폴리머 도장(7)으로 옮긴 후 이것을 다시 기판(10)에 찍어 기판(10) 상에 CNT 막(20)을 형성시키는 방법이다. 이 방법에서는 폴리머 도장(7)으로부터 기판(10)으 로 CNT를 옮기기 위하여 80~100℃ 정도로 가열하는 공정이 필요한데 이 온도는 대부분의 플라스틱 기판의 유리전이 온도(glass transition temperature)보다 높아 기판(10)의 변형을 가져올 수 있다. 또한 공정시간도 10분 정도로 비교적 긴 편이다(Yangxin Zhou, Appl. Phy. Lett. 88, 123109).

(3) 준 LB(Quasi-Langmuir-Blodgett: quasi-LB)법은, 도 2c에 도시된 바와 같이, 두 용액의 용해도 차이와 비중차이를 이용하여 CNT막(20)과 필터(30)를 분리해내는 방법이다. 전이조(2)에 충전된 물(3) 위에 물(3)보다 비중이 작고 CNT의 용해도가 큰 용액(4)을 띄운 후 여기에 CNT 막(20)으로 덮인 필터(30)를 넣으면 용액(4)과 물(3) 사이의 계면에는 CNT막(20)이 떠 있고 필터(30)는 물 속으로 가라앉는데 이렇게 분리된 CNT 막(20)을 기판(미도시)으로 떠내는 방법이다. 상기 방법은 비중과 용해도를 동시에 고려하여야 하므로 용액(4)의 선택이 까다로우며 분리된 CNT 막(20)이 작은 흔들림에도 쉽게 주름지거나 찢어져 완전한 막을 얻기가 어려운 문제점이 있다.

본 발명은 투명성과 전기전도성이 우수한 미세입자 막을 얻을 수 있는 미세입자 막 형성방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 필터의 재사용이 가능한 미세입자 막 형성방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 공정이 단순하며 인체에 무해하고 환경친화적인 미세입자 막 형성방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 유연한 기판에도 적용 가능한 미세입자 막 형성방법을 제공하는 것이다.

본 발명에 따르면,

(a) 소수성 미세입자 용액, 미세 다공성 필터 및 소수성 기판을 마련하는 단계;

(b) 상기 소수성 미세입자 용액의 미세입자를 상기 필터에 도포하여 미세입자 막이 형성된 필터를 마련하는 단계;

(c) 상기 미세입자 막이 사이에 오도록 상기 필터와 상기 기판을 적층하는 단계; 및

(d) 상기 적층된 필터와 기판을 친수성 용액에 담가 상기 필터에 형성된 미세입자막을 상기 기판으로 전이시키는 단계;를 포함하는 미세입자 막 형성방법이 제공된다.

본 발명의 한 실시예에 따르면, 상기 기판은 복수개의 돌출부를 구비한다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 기판은 복수개의 친수성 패턴을 구비한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 (b) 단계에서 상기 미세입자 용액 중의 미세입자는 진공여과법에 의해 상기 필터에 도포된다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 미세입자는 CNT이다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 친수성 용액은 물이다.

이어서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세입자 막 형성방법에 관하여 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 미세입자 막 형성방법은, (a) 소수성 미세입자 용액, 미세 다공성 필터 및 소수성 기판을 마련하는 단계, (b) 상기 소수성 미세입자 용액의 미세입자를 상기 필터에 도포하여 미세입자 막이 형성된 필터를 마련하는 단계, (c) 상기 미세입자 막이 사이에 오도록 상기 필터와 상기 기판을 적층하는 단계, 및 (d) 상기 적층된 필터와 기판을 친수성 용액에 담가 상기 필터에 형성된 미세입자막을 상기 기판으로 전이시키는 단계를 포함한다.

본 실시예에서는 미세입자로 CNT를 사용하였으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 소수성인 한 다른 다양한 미세입자가 사용될 수 있다. 사용되는 CNT에는 특별한 제약이 없으나 CNT의 순도가 낮을 경우 용액 중의 전이 중 CNT 막이 형태를 유지하지 못하므로, CNT는 정제를 통하여 90% 이상의 순도를 갖는 것이 바람직하다. CNT 용액을 추후 원심분리를 하게 되면 이 중 CNT 농도가 크게 낮아지므로 1 mg/ml의 비교적 고농도로 CNT 용액을 제조하는 것이 바람직하다.

진공여과를 위한 CNT 용액(20')은 필터(30)를 녹이지 않아야 하며 점성이 없어야 하고 CNT가 용액 내에 잘 분산되어 뭉치지 않아야 한다. CNT를 용액 내에 분산시키는 방법으로는 산처리, 아미노처리, 또는 계면활성제(surfactant)에 의한 분산 등이 알려져 있으며 본 실시예에서는 CNT의 길이와 결정성을 보존하기 위해 계 면활성제를 사용하였다. CNT의 길이와 결정성은 CNT 막(20)의 전기전도도를 결정짓는 중요한 요소이므로 산이나 아미노 또는 초음파 처리를 할 경우 CNT에 불필요한 손상을 주지 않도록 그 처리시간을 적절히 선택하여야 한다.

본 실시예에서는 계면활성제로 도데실황산나트륨 (sodium dodecyl sulfate: SDS)을 사용하였으며 1wt% SDS 수용액상에 CNT를 분산시켰다. 용액에 사용된 CNT는 HiPCO (high pressure carbon monoxide)법으로 제조된 박막 다중벽 탄소나노튜브(thin multi-walled carbon nanotube: t-MWNT)이며 이를 1mg/ml의 비율로 SDS 수용액에 첨가하였다.

CNT가 첨가된 SDS 수용액은 초음파를 조사하여 30분 동안 잘 섞어주었다. 초음파 조사 시간이 너무 짧을 경우 CNT의 분산이 잘 이루어지지 않으며 너무 길 경우 CNT에 손상을 줄 수 있으므로 사용하는 CNT에 따라 초음파 조사 시간을 조절할 필요가 있다.

초음파 조사가 끝나면 원심분리를 하여 뭉쳐진 CNT 다발을 가라앉히고 CNT가 잘 분산된 상층액만을 따로 취하였다. 본 실시예에서는 10000 rpm에서 30분간 원심분리를 수행하였다. 원심분리 속도를 빠르게 하고 시간을 늘일수록 분산이 잘 된 용액을 얻을 수 있다.

원심분리 이후 얻어진 상층액은 증류수에 100대 1의 비율로 희석시켜 사용하였는데 이는 잔류 SDS가 재결정화되어 CNT 막의 투명도와 전기전도도를 떨어뜨리는 것을 막고 보다 균일한 CNT 막을 얻기 위한 것이다.

상기 단계들을 모두 거쳐 도 3의 CNT 용액(20')을 얻었다.

다음에, CNT 용액(20')을 진공여과함으로써 일면상에 CNT 막(20)이 얹혀진 필터(30)를 얻었다.

진공여과장치(5)에 장착하는 필터(30)는 미세구멍의 크기가 1 ㎛ 이하이어야 하며 CNT 용액(20')에 녹지 않아야 하고 CNT 용액(20')에 젖은 이후에도 휘어지거나 말리지 않고 판상을 유지할 수 있어야 한다. 본 실시예에서는 200nm의 미세구멍을 갖는 47mm 직경의 알루미나 필터(whatman, Cat. No.: 6809-5022)를 사용하였다.

필터(30)가 장착된 진공여과장치(5)에 CNT 용액(20')을 붓고 진공 벤트(5a)를 통해 진공을 걸어 CNT 용액(20')을 여과함으로써 필터(30) 위에 CNT만 걸러지게 하였다. 이로써, 도 3에서와 같은 CNT 막(20)이 형성된 필터(30)를 얻었다.

사용하는 CNT의 양이 충분치 못하면 균일하지 못한 CNT 막(20)이 얻어지며, 지나치게 많을 경우 후술하는 수중 전이 과정이 원활하게 이루어지지 않으므로 CNT 용액(20')을 100~400ml 사용하는 것이 바람직하다. 아크방전법 및 HiPCO법으로 생성된 박막 다중벽 탄소나노튜브의 경우 CNT 용액(20')을 500ml 이상 사용할 경우 CNT 막(20)의 수중 전이가 일어나지 않음을 확인하였다.

한편, 필터(30)를 통과하는 CNT 용액(20')의 흐름이 빠를수록 더 균일한 CNT 막(20)을 얻을 수 있다.

다음에, CNT 막(20)이 형성된 필터(30)를 용액 중의 전이를 통해 기판(10)상으로 옮겼다. 본 실시에서는 친수성 용액으로 물(8)을 사용하였지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 친수성인 한 다른 다양한 용액을 사용할 수 있다.

CNT 막(20)이 형성된 필터(30)를, 도 3에 도시된 바와 같이, CNT 막(20)이 기판(10)과 맞닿도록 기판(10) 위에 겹쳐놓은 후 물(8) 속에 넣었다. 이 경우, CNT 막(20)과 기판(10)은 빈틈 없이 잘 접촉되어야 하며 기판(10)은 사전에 완전히 건조시켜 두어야 한다. 본 실시예에서는 기판(10)으로 PET 필름을 사용하였다. 기판(10)의 길이방향과 수면 사이의 각도(θ)가 70°정도가 되도록 비스듬히 넣는 것이 바람직하다.

이와 같이 함으로써, 물(8) 속에서 필터(30)에 형성되어 있던 CNT 막(20)이 필터(30)로부터 분리되어 기판(10)으로 전부 옮겨졌다.

본 실시예에서는 CNT 막(20)의 오염을 막기 위하여 물(8)로서 증류수를 사용하였다.

상기와 같은 CNT 막(20)의 수중 전이는 물(8)의 젖음(wetting) 거동에 의한 것으로 보이며 다음 두 가지 기구(mechanism)를 생각할 수 있다.

첫째, 필터(30) 상에 형성된 CNT 막(20)에 있어서, CNT 사이의 간격이 필터(30)의 미세 구멍보다 작아 기판(10)과 겹쳐진 필터(30) 일면의 미세 구멍으로부터 유입된 물(8)이 CNT 막(20)을 원활하게 통과하지 못하고 필터(30)와 CNT 막(20) 사이의 계면으로 침투함으로써 필터(30)와 CNT 막(20)을 분리하는 것으로 생각할 수 있다. 이 경우, 필터(30)로부터 분리된 CNT 막(20)은 기판(10) 상에 부착되게 되며, 이는 CNT 막(20)과 기판(10)이 모두 소수성이어서 서로 간에 끌어당기는 힘이 작용하기 때문이다. 둘째, 필터(30)의 미세 구멍 또는 겹쳐진 필터(30)와 기판(10) 사이로 유입된 물(8)이, CNT 막(20)과 기판(10) 사이 계면에 비해 상대적으로 표면에너지가 큰 필터(30)와 CNT 막(20) 사이의 계면으로만 선택적으로 침투하 여 필터(30)와 CNT 막(20)을 분리하는 것으로 볼 수 있다.

CNT 막(20)의 전이는 물(8) 속에서 수분 이내에 완료되며, 이는 CNT 막(20)의 두께가 얇을수록 빠르게 진행된다.

CNT 막(20)의 수중 전이가 완료된 다음, 증류수로 잔류 SDS를 제거한 후 건조시켰다. 충분히 희석시킨 CNT 용액(20')을 사용할 경우 추가적인 SDS 제거과정의 생략도 기대할 수 있다.

상기와 같이 기판(10) 상에 형성된 CNT 막(20)은 초음파처리에도 안정하며 아세톤 등의 유기용매와도 반응하지 않아, 후술하는 도 5에 도시된 바와 같이, 포토레지스트(photoresist: PR)에 의해 친수성 패턴 등이 형성된 기판을 사용함으로써 선택적 CNT 막을 형성할 수도 있다.

상기와 같은 구성을 갖는 미세입자 막 형성방법은 CNT 등의 미세입자 막 전이 과정이 순수한 물 속에서도 이루어질 수 있으므로 종래기술들과는 달리 인체 및 환경에 무해하며 공정시간도 수분 이내로 크게 단축시킬 수 있다.

또한, 상기 방법에 의해 형성된 기판상의 미세입자 막은 투명성 및 전기전도성이 우수하여 각종 디스플레이 장치의 투명전극으로 적합하다. 도 4는 도 3의 방법에 의해 형성된 미세입자 막의 전기전도성을 보여 주는 사진이다. 여기서, 나타낸 수치는 표면 저항 측정기를 사용하여 얻어진 미세입자 막의 면저항으로서, 그 값은 5.90㏀/□이다. 즉, 도 4는 미세입자 막이 낮은 면저항 값을 가짐으로써 전기전도성을 구비하고 있다는 사실을 보여준다.

또한, 본 실시예에 따른 미세입자 막 형성방법은 막을 형성함에 있어 기판의 제약이 거의 없어, 다양한 고분자 필름상에 막을 형성할 수 있으며 반복되는 구부러짐에도 막의 균열이 생기지 않는다. 따라서, 이와 같이 형성된 미세입자 막은 전자종이, 유기발광 디스플레이, 필름 스피커 등 유연한(Flexible) 전자제품의 전극으로도 활용될 수 있다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 용액 중 전이를 통한 미세입자 막 형성방법의 모식도다.

본 실시예에 따른 미세입자 막 형성방법이 도 3의 방법과 다른 점은, 본 실시예에서는 기판(10)상에 복수개의 돌출부 또는 친수성 패턴(10a)을 형성하여 이 패턴(10a)을 제외한 기판(10)의 나머지 부분에 CNT 막(20)을 형성한다는 것이다. 상기 돌출부 또는 친수성 패턴(10a)은 포토레지스트에 의해 형성될 수 있다. 본 실시예에서는 CNT 막(20)이 소수성이고 패턴(10a)은 친수성이므로 서로 간에 밀어내는 힘이 작용하여 CNT 막(20)이 친수성 패턴(10a)상에 형성되지 않는다. 또한, 기판(10)상에 친수성 패턴이 아닌 돌출부가 형성된 경우에도, 친수성 패턴이 형성된 경우와 동일한 효과를 얻을 수 있는데, 이는 기판(10)상에 돌출부를 다수 형성할 경우 돌출부 개개의 표면적이 다른 부분에 비해 상대적으로 감소되어 CNT 막(20)과 돌출부와의 접촉면적이 감소되고, 이로 인해 결국 돌출부 상에 CNT 막(20)의 형성이 저해되기 때문이다.

도 6는 도 5의 방법에 의해 형성된 미세입자 막을 확대한 사진이다. 도면에서 백색 부분이 돌출부 또는 친수성 패턴이고, 흑색 부분이 CNT 막이 형성된 기판 부분이다.

이와 같이 포토레지스트를 이용한 패터닝 공정과 결합할 경우, 본 실시예에 따른 미세입자 막 형성방법은 다이오드 및 트랜지스터를 포함하는 유연한 전자소자의 제작에도 활용될 수 있다

이상에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예가 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

본 발명에 의하면, 투명성과 전기전도성이 우수한 미세입자 막을 얻을 수 있는 미세입자 막 형성방법이 제공될 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 필터의 재사용이 가능한 미세입자 막 형성방법이 제공될 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 공정이 단순하며 인체에 무해하고 환경친화적인 미세입자 막 형성방법이 제공될 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 유연한 기판에도 적용 가능한 미세입자 막 형성방법이 제공될 수 있다.

Claims

(a) 소수성 미세입자 용액, 미세 다공성 필터 및 소수성 기판을 마련하는 단계;

(b) 상기 소수성 미세입자 용액의 미세입자를 상기 필터에 도포하여 미세입자 막이 형성된 필터를 마련하는 단계;

(c) 상기 미세입자 막이 사이에 오도록 상기 필터와 상기 기판을 적층하는 단계; 및

(d) 상기 적층된 필터와 기판을 친수성 용액에 담가 상기 필터에 형성된 미세입자 막을 상기 기판으로 전이시키는 단계;를 포함하는 미세입자 막 형성방법.
제1항에 있어서,

상기 기판은 복수개의 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세입자 막 형성방법.
제1항에 있어서,

상기 기판은 복수개의 친수성 패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 미세입자 막 형성방법.
제1항에 있어서,

상기 (b) 단계에서 상기 미세입자 용액 중의 미세입자는 진공여과법에 의해 상기 필터에 도포되는 것을 특징으로 하는 미세입자 막 형성방법.
제1항에 있어서,

상기 미세입자는 CNT인 것을 특징으로 하는 미세입자 막 형성방법.
제1항에 있어서,

상기 친수성 용액은 물인 것을 특징으로 하는 미세입자 막 형성방법.