KR20080101465A - Aqua knife equiped with air supply port and method for cleaning inner surface of the same - Google Patents

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KR20080101465A KR1020070048630A KR20070048630A KR20080101465A KR 20080101465 A KR20080101465 A KR 20080101465A KR 1020070048630 A KR1020070048630 A KR 1020070048630A KR 20070048630 A KR20070048630 A KR 20070048630A KR 20080101465 A KR20080101465 A KR 20080101465A
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Abstract

An aqua knife equipped with an air supply port is provided to clean the aqua knife without reassembling the body by improving the structure of the aqua knife. A plurality of liquid supply ports supplies the liquid to the inside of the body(110). A spray slit(115) sprays the liquid supplied in the body when processing a surface of the substrate. A liquid exhaust port ejects the liquid to the outside supplied in the body inside when cleaning the inside of the body. An air supply port infuses the air at high pressure with the body inside in order to eject liquid material to the outside.

Description

에어 공급 포트가 구비된 아쿠아나이프 및 이의 내부를 청소하는 방법{Aqua Knife equiped with air supply port and method for cleaning inner surface of the same}Aqua Knife equiped with air supply port and method for cleaning inner surface of the same}

도 1은 일반적인 아쿠아나이프가 기판에 액을 분사하는 모습을 보이는 사시도;1 is a perspective view showing a typical aqua knife spraying liquid onto a substrate;

도 2는 도 1의 I-I'선 단면도;FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 1;

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 아쿠아나이프가 기판에 액을 분사하는 모습을 보이는 사시도;3 is a perspective view showing a state in which the aqua knife injects the liquid to the substrate according to an embodiment of the present invention;

도 4는 도 3의 II-II'선 단면도;4 is a cross-sectional view taken along the line II-II 'of FIG. 3;

도 5는 도 3의 III-III'선 단면도; 및5 is a cross-sectional view taken along the line III-III ′ of FIG. 3; And

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 아쿠아나이프의 사용 시 아쿠아나이프의 내부를 청소하는 과정을 보이는 플로차트이다.6 is a flowchart illustrating a process of cleaning the interior of the aqua knife when using the aqua knife according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *     Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1: 기판 3: 액1: substrate 3: liquid

100: 아쿠아나이프 110: 바디100: aqua knife 110: body

111: 제1 플레이트 112: 제2 플레이트111: first plate 112: second plate

113: 스페이서 114: 보조 공급 슬릿113: spacer 114: auxiliary feed slit

115: 분사 슬릿 116: 주 공급 슬릿115: injection slit 116: main supply slit

117: 에어 공급 슬릿 119: 챔버117: air supply slit 119: chamber

120: 주 공급 포트 130: 보조 공급 포트120: primary supply port 130: secondary supply port

140: 액 배출 포트 150: 에어 공급 포트140: liquid discharge port 150: air supply port

본 발명은 액정 표시 장치(LCD) 등의 평판 디스플레이(FPD)의 제조에 사용되는 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 평판디스플레이의 제조시 상기 기판에 액을 분사하여 상기 기판의 표면을 처리 또는 세정하는 아쿠아나이프(Aqua Knife) 및 이의 내부를 청소하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a device for processing a substrate used in the manufacture of a flat panel display (FPD), such as a liquid crystal display (LCD), and more particularly, the surface of the substrate by spraying a liquid on the substrate during the manufacture of a flat panel display It relates to an Aqua Knife for treating or cleaning the process and a method of cleaning the interior thereof.

액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, 이하 LCD라 칭함) 등의 평판 디스플레이(Flat Panel Display, 이하 FPD라 칭함) 제조 공정에서 기판이나 막 표면의 오염, 파티클(Particle)을 사전에 제거하여 불량이 발생하지 않도록 하거나, 증착될 박막의 접착력 강화, FPD 특성 향상 등을 위해 세정(cleaning) 등이 행해진다.In the manufacturing process of flat panel displays (hereinafter referred to as LCDs) such as liquid crystal displays (hereinafter referred to as LCDs), defects may be caused by removing contaminants or particles from the surface of the substrate or film in advance. Cleaning or the like is performed to enhance the adhesion of the thin film to be deposited, to improve the FPD characteristics, or the like.

이러한 세정에 사용되는 세정기는, 예를 들어 증착 공정, 에칭 공정, 현상 공정, 스트립 공정 등과 같은 각 주요 공정에 적용되며, 예를 들어 순수(純水)나 D.I. 워터(De Ionized Water) 또는 에칭액 등의 세정액 또는 공정액을 기판에 분사하는 아쿠아나이프(Aqua Knife)를 구비하고 있다.The scrubber used for such cleaning is applied to each main process such as, for example, a deposition process, an etching process, a developing process, a strip process, and the like, for example, pure water or D.I. An Aqua Knife for spraying a cleaning liquid or a process liquid such as De Ionized Water or an etching solution onto a substrate is provided.

아쿠아나이프(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 기판(1)에 세정액 또는 공정액 등의 액(2)을 고르게 분사함으로써 상기 기판(1)의 표면을 처리하여 준다. 도 1 및 도 2에는 상기 아쿠아나이프(10)의 외부 및 내부 구조를 이해하는데 도움이 되는 도면들이 도시되어 있다. 이하에서는 이들 도면을 참조하여 상기 아쿠아나이프(10)에 대해 좀더 상세히 설명한다.As shown in FIG. 1, the aqua knife 10 treats the surface of the substrate 1 by evenly spraying a liquid 2 such as a cleaning liquid or a process liquid onto the substrate 1. 1 and 2 are diagrams that help to understand the external and internal structure of the aquaknife 10. Hereinafter, the aqua knife 10 will be described in more detail with reference to these drawings.

상기 아쿠아나이프(10)의 바디(11)는 도 1에 도시된 바와 같이 수평 방향으로 길게 형성되고, 그 길이는 대략 처리하고자 하는 기판(1)의 폭에 상응한다. 상기 아쿠아나이프(10)의 바디(11)에는 상기 액(3)을 공급하는 액 공급 포트(15)가 연결된다. 여기서, 상기 액 공급 포트(15)는 도 1에 도시된 바와 같이 상기 아쿠아나이프(10)의 길이 방향을 따라 여러 개가 등 간격으로 배치되어 상기 바디(11)에 각각 연결된다.The body 11 of the aqua knife 10 is formed long in the horizontal direction as shown in FIG. 1, the length of which corresponds approximately to the width of the substrate 1 to be processed. The liquid supply port 15 for supplying the liquid 3 is connected to the body 11 of the aqua knife 10. Here, the liquid supply ports 15 are arranged at equal intervals along the longitudinal direction of the aqua knife 10 as shown in FIG. 1 and are connected to the bodies 11, respectively.

상기 바디(11)의 내부에는 상기 각 액 공급 포트(15)로부터 상기 액(3)을 상기 바디(11)의 내부로 도입하는 공급 슬릿(14)들 및 상기 각 공급 슬릿(14)을 통해 도입된 상기 액(3)이 모여 임시로 저장되는 챔버(16)가 구비된다. 상기 챔버(16)는 상기 바디(11)의 내부에 길이 방향을 따라 형성되고, 상기 각 공급 슬릿(14)으로부터 공급받은 상기 액(3)을 임시로 저장한 후 상기 바디(11)의 길이 방향을 따라 고르게 퍼뜨리는 역할을 한다.The body 11 is introduced through the supply slits 14 and the respective supply slits 14 for introducing the liquid 3 into the body 11 from the respective liquid supply ports 15. It is provided with a chamber 16 in which the collected liquid 3 is collected and temporarily stored. The chamber 16 is formed along the longitudinal direction inside the body 11, and temporarily stores the liquid 3 supplied from the respective supply slits 14, and then longitudinally stores the body 11. It spreads evenly along.

상기 바디(11) 내부에는 상하 방향을 따라 분사 슬릿(13)이 형성된다. 상기 분사 슬릿(13)은 상기 바디(11)의 길이 방향을 따라 연속적으로 형성된다. 상기 분사 슬릿(13)의 상부는 상기 챔버(16)에 연결되고, 상기 분사 슬릿(13)의 하단은 상기 바디(11)의 하단까지 연장되어 상기 바디(11)의 외부와 연통된다.The injection slits 13 are formed in the body 11 along the vertical direction. The injection slit 13 is continuously formed along the longitudinal direction of the body 11. An upper portion of the injection slit 13 is connected to the chamber 16, and a lower end of the injection slit 13 extends to a lower end of the body 11 to communicate with the outside of the body 11.

작동에 있어서, 상기 액 공급 포트(15)를 통해 상기 아쿠아나이프(10)에 상기 액(3)이 공급되면, 상기 액(3)은 상기 각 공급 슬릿(14)을 통해 상기 챔버(16)로 모이게 된다. 상기 챔버(16)는 상기 액(3)을 상기 바디(11)의 길이 방향을 따라 고르게 분포시키고, 고르게 분포된 상기 액(3)은 상기 분사 슬릿(13)을 따라 상기 아쿠아나이프(10)의 하단을 통해 도 1에 도시된 바와 같이 상기 기판(1)에 고르게 분사된다.In operation, when the liquid 3 is supplied to the aqua knife 10 through the liquid supply port 15, the liquid 3 passes through the respective supply slits 14 to the chamber 16. Are gathered. The chamber 16 distributes the liquid 3 evenly along the longitudinal direction of the body 11, and the evenly distributed liquid 3 follows the spray slit 13 of the aqua knife 10. It is evenly sprayed onto the substrate 1 as shown in FIG. 1 through a lower end.

위와 같은 구조를 가진 일반적인 구조의 아쿠아나이프(10)에서 분사 슬릿(13)은 일반적으로 그 두께가 0.1 내지 0.2 mm 정도에 불과하다. 그런데, 상기 액 공급 포트(15)를 통해 공급되는 액(3)에 대략 0.2 mm 내외의 파티클(particle)이 포함되기도 하는데, 이 경우 상기 파티클이 상기 분사 슬릿(13) 내에 끼게 된다. 그러면, 상기 분사 슬릿(13)을 통해 분사되는 액(3)이 상기 아쿠아나이프(10)의 폭 방향을 따라 연속적으로 이어지지 못하고 중간에 끊기거나, 상기 분사 슬릿(13)이 부분적으로 막히는 결과를 초래하게 된다.In the general structure of the above-described aquaknife 10, the injection slit 13 is only about 0.1 to 0.2 mm thick. By the way, the liquid (3) supplied through the liquid supply port 15 may include particles (approximately 0.2 mm), in which case the particles are sandwiched in the injection slit (13). Then, the liquid 3 injected through the injection slit 13 does not continuously run along the width direction of the aqua knife 10 and is interrupted in the middle, or the injection slit 13 may be partially blocked. Done.

따라서, 파티클이 상기 아쿠아나이프(10) 내부에 끼이면 상기 아쿠아나이프(10)가 상기 기판(1)의 표면 전체를 고르게 처리할 수 없으므로 상기 아쿠아나이프(10)의 내부를 청소하여 상기 파티클을 제거해야 한다. 이를 위해, 현재로서는 상기 아쿠아나이프(10)를 주기적으로 분해하여 그 내부를 청소해주고 있는데, 이러한 방법은 매우 번거로울 뿐만 아니라 청소를 위해 해당 공정 장비를 정지시켜야 하므로 생산성이 저하되는 문제가 있다.Therefore, if particles are trapped inside the aqua knife 10, the aqua knife 10 cannot evenly process the entire surface of the substrate 1, thereby cleaning the inside of the aqua knife 10 to remove the particles. Should be. To this end, at present, the aqua knife 10 is periodically dismantled to clean the interior thereof. This method is not only very cumbersome but also requires a stop of the process equipment for cleaning, which causes a problem of lowering productivity.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 기판의 표면을 처리하는 액을 분사하는 아쿠아나이프의 바디 내부를 분해하지 않고 자동으로 청소할 수 있도록 아쿠아나이프의 구조를 개선하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to improve the structure of aquaknife so that it can be automatically cleaned without disassembling the inside of the body of the aquaknife spraying the liquid treating the surface of the substrate.

본 발명의 다른 목적은 아쿠아나이프의 바디를 분해하지 않고 그 내부를 자동으로 청소함으로써 상기 바디 내부에 끼인 파티클을 효과적으로 제거하는 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of effectively removing particles trapped inside the body by automatically cleaning the interior of the body without disassembling the aquaknife.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에서는, 바디의 내부에 액을 공급하는 다수의 액 공급 포트; 기판 표면 처리 시 상기 바디에 공급된 액을 기판에 분사하는 분사 슬릿; 상기 바디 내부 청소 시 상기 바디에 공급된 액을 외부로 배출하는 액 배출 포트; 및 상기 바디 내부 청소 시 상기 바디에 공급된 액이 고압으로 상기 분사 슬릿과 상기 액 배출 포트를 통해 외부로 배출되도록 상기 바디 내부로 고압 공기를 불어 넣는 에어 공급 포트를 포함하여 이루어진 에어 공급 포트가 구비된 아쿠아나이프를 제공한다.In one aspect of the present invention for achieving the above object, a plurality of liquid supply port for supplying a liquid to the inside of the body; An injection slit for spraying the liquid supplied to the body onto the substrate during substrate surface treatment; A liquid discharge port configured to discharge the liquid supplied to the body to the outside when the inside of the body is cleaned; And an air supply port configured to blow high pressure air into the body such that the liquid supplied to the body is discharged to the outside through the injection slit and the liquid discharge port at high pressure when the inside of the body is cleaned. Provides aqua knives.

상기 다수의 액 공급 포트는, 상기 기판 표면 처리 시 개방되어 상기 바디의 내부에 액을 공급하는 주 공급 포트; 그리고 상기 바디 내부 청소 시 개방되어 상기 바디의 내부에 액을 공급하는 보조 공급 포트를 포함하여 이루어질 수 있다.The plurality of liquid supply ports may include a main supply port which is opened during the substrate surface treatment to supply liquid to the inside of the body; And an auxiliary supply port which is opened when the inside of the body is cleaned and supplies liquid to the inside of the body.

상기 바디 내부 청소 시 상기 주 공급 포트는 폐쇄되고, 상기 액 배출 포트는 개방될 수 있다.When cleaning the inside of the body, the main supply port may be closed, and the liquid discharge port may be opened.

상기 에어 공급 포트는 상기 바디의 길이 방향을 따라 다수 개가 배치될 수 있다.The air supply port may be provided in plurality along the longitudinal direction of the body.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일형태에서는, 바디의 내부에 액을 공급하는 다수의 액 공급 포트; 기판 표면 처리 시 상기 바디에 공급된 액을 기판에 분사하는 분사 슬릿; 및 상기 바디 내부 청소 시 상기 바디 내부에 끼인 파티클이 상기 바디 외부로 배출되도록 상기 바디 내부로 고압 공기를 불어 넣는 에어 공급 포트를 포함하여 이루어진 에어 공급 포트가 구비된 아쿠아나이프를 제공한다.In another aspect of the present invention for achieving the above object, a plurality of liquid supply port for supplying a liquid to the interior of the body; An injection slit for spraying the liquid supplied to the body onto the substrate during substrate surface treatment; And an air supply port including an air supply port for blowing high pressure air into the body so that particles caught inside the body are discharged to the outside of the body when the inside of the body is cleaned.

한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일 형태에서는, 분사 슬릿을 통해 기판에 액을 고르게 분사하도록 구성된 아쿠아나이프의 바디 내부에 액을 공급하는 단계; 상기 아쿠아나이프의 바디 내부에 고압의 에어를 공급하는 단계; 및 상기 분사 슬릿과 별도로 구비된 액 배출 포트를 개방하여 상기 바디 내부의 액을 상기 분사 슬릿과 상기 액 배출 포트를 통해 배출하는 단계를 포함하여 이루어진 아쿠아나이프의 내부를 청소하는 방법을 제공한다.On the other hand, another aspect of the present invention for achieving the above object, the step of supplying a liquid into the body of the aqua knife configured to evenly spray the liquid to the substrate through the spraying slit; Supplying high pressure air into the body of the aqua knife; And opening the liquid discharge port provided separately from the injection slit to discharge the liquid inside the body through the injection slit and the liquid discharge port.

이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, embodiments of the present invention in which the above object can be specifically realized are described with reference to the accompanying drawings. In describing the embodiments, the same names and symbols are used for the same components, and additional description thereof will be omitted below.

본 발명의 일실시예에 따른 아쿠아나이프(100)는 LCD 등의 FPD 제조 공정에서 기판이나 막 표면의 오염, 파티클(Particle)을 사전에 제거하여 불량이 발생하지 않도록 하거나, 증착될 박막의 접착력 강화, FPD 특성 향상 등을 위한 세정(cleaning)에 사용될 수 있다.Aquaknife 100 according to an embodiment of the present invention in order to remove the contamination or particles in the surface of the substrate or film in the FPD manufacturing process such as LCD in advance to prevent defects or to enhance the adhesion of the thin film to be deposited It can be used for cleaning for improving FPD characteristics.

본 발명의 일실시예에 따른 아쿠아나이프(100)는, 좀더 상세하게는, 예를 들어, 증착 공정, 에칭 공정, 현상 공정, 스트립 공정 등과 같은 각 주요 공정에 사용되는데, 이때, 순수(純水)나 D.I. 워터(De Ionized Water) 또는 에칭액 등의 세정액 또는 공정액을 기판의 표면에 고르게 분사함으로써 상기 기판의 표면을 처리하거나 세정하게 된다.Aquaknife 100 according to an embodiment of the present invention, in more detail, for example, is used in each of the main processes, such as deposition process, etching process, development process, strip process, such as pure water (순수 水) ) Or DI The surface of the substrate may be treated or cleaned by uniformly spraying a cleaning solution or process solution such as De Ionized Water or etching solution on the surface of the substrate.

도 3 내지 도 5에는 본 발명의 일실시예에 따른 아쿠아나이프(100)가 도시되어 있는데, 이하에서는 이들 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 아쿠아나이프(100)에 대해 좀더 상세히 설명한다. 참고로, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 아쿠아나이프가 기판에 액을 분사하는 모습을 보이는 사시도이고, 도 4는 도 3의 II-II'선 단면도이며, 도 5는 도 3의 III-III'선 단면도이다.3 to 5 illustrate an aqua knife 100 according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, the aqua knife 100 according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to these drawings. . For reference, FIG. 3 is a perspective view showing an aqua knife spraying liquid onto a substrate according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line II-II 'of FIG. 3, and FIG. It is sectional drawing of -III 'line.

상기 아쿠아나이프(100)의 바디(110)는 도 3에 도시된 바와 같이 수평 방향으로 길게 형성되고, 그 길이는 대략 처리하고자 하는 기판(1)의 폭과 상응한다. 상기 아쿠아나이프(100)의 바디(110)는 예를 들어 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 앞과 뒤에서 각각 결합되는 제1 플레이트(111)와 제2 플레이트(112)를 포함하여 이루어진다. 상기 바디(110)가 이와 같이 제1 플레이트(111)와 제2 플레이트(112)로 나뉘어 구성된 후 조립되는 이유는 상기 아쿠아나이프(100)의 유지 보수를 위한 분해 및 조립을 용이하게 하기 위함이다.The body 110 of the aqua knife 100 is formed long in the horizontal direction, as shown in Figure 3, the length thereof corresponds approximately to the width of the substrate (1) to be processed. The body 110 of the aqua knife 100 includes, for example, a first plate 111 and a second plate 112 that are coupled from the front and the rear, respectively, as shown in FIGS. 4 and 5. The reason why the body 110 is assembled after being divided into the first plate 111 and the second plate 112 as described above is to facilitate the disassembly and assembly for maintenance of the aqua knife 100.

상기 바디(110)의 일측, 예를 들어 상기 제2 플레이트(112)에는 상기 바디(110)의 내부에 세정액 및 공정액 등과 같은 액(3)을 공급하는 다수의 액 공급 포트(120, 130)가 연결된다. 여기서, 상기 다수의 액 공급 포트(120, 130)는 주 공 급 포트(120)와 보조 공급 포트(130)를 포함하여 이루어진다.A plurality of liquid supply ports 120 and 130 supplying a liquid 3, such as a cleaning liquid and a process liquid, to one side of the body 110, for example, the second plate 112. Is connected. Here, the plurality of liquid supply ports 120 and 130 include a main supply port 120 and an auxiliary supply port 130.

상기 주 공급 포트(120)는 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 상기 바디(110)의 길이 방향을 따라 다수 개가 등 간격으로 배치되어 상기 바디(110)에 각각 연결된다. 그리고, 상기 보조 공급 포트(130)는 상기 바디(110)의 일측에 배치되어 상기 바디(110)와 연결된다.For example, as illustrated in FIG. 3, the main supply ports 120 are arranged at equal intervals along the length direction of the body 110 and are connected to the bodies 110, respectively. In addition, the auxiliary supply port 130 is disposed on one side of the body 110 and connected to the body 110.

상기 바디(110)의 내부에는, 상기 주 공급 포트(120)와 연결된 주 공급 슬릿(미도시)과, 상기 보조 공급 포트(130)와 연결된 보조 공급 슬릿(114)이 각각 형성된다. 상기 주 공급 슬릿과 상기 보조 공급 슬릿(114)은, 상기 바디(110)가 제1 플레이트(111)와 제2 플레이트(112)로 분할되게 구성된 경우, 상기 제2 플레이트(112)의 앞면과 후면을 관통하도록 각각 형성된다.Inside the body 110, a main supply slit (not shown) connected to the main supply port 120 and an auxiliary supply slit 114 connected to the auxiliary supply port 130 are formed, respectively. The main supply slit and the auxiliary supply slit 114 are the front and rear surfaces of the second plate 112 when the body 110 is configured to be divided into a first plate 111 and a second plate 112. It is formed to penetrate each.

상기 주 공급 포트(120)는, 기판 표면 처리 시, 상기 기판(1)의 표면을 처리하기 위한 용도의 세정액 또는 공정액 등의 액(3)을 상기 주 공급 슬릿을 통해 상기 바디(110) 내부로 공급한다. 반면, 상기 보조 공급 포트(130)는, 바디(110) 내부 청소 시, 상기 기판(1)의 표면 처리용이 아닌 상기 바디(110)의 내부를 청소하기 위한 용도의 세정액 등을 상기 보조 공급 슬릿(114)을 통해 상기 바디(110) 내부로 공급한다.The main supply port 120, inside the body 110 through the main supply slit through the main supply slit liquid 3, such as a cleaning liquid or a process liquid for treating the surface of the substrate 1 during substrate surface treatment To supply. On the other hand, the auxiliary supply port 130, when cleaning the inside of the body 110, the cleaning liquid for the purpose of cleaning the interior of the body 110, but not for the surface treatment of the substrate 1, the auxiliary supply slit ( Through the 114 is supplied into the body 110.

상기 보조 공급 포트(130)가 연결된 상기 바디(110)의 일측의 반대편 측에는 액 배출 포트(140)가 연결된다. 상기 액 배출 포트(140)는 상기 바디(110)의 내부 청소 시 상기 보조 공급 포트(130)를 통해 상기 바디(110)의 내부로 공급된 세정액 등을 상기 바디(110)의 외부로 배출하는 역할을 한다.The liquid discharge port 140 is connected to the side opposite to one side of the body 110 to which the auxiliary supply port 130 is connected. The liquid discharge port 140 discharges the cleaning liquid supplied to the inside of the body 110 through the auxiliary supply port 130 to the outside of the body 110 when the inside of the body 110 is cleaned. Do it.

상기 보조 공급 포트(130)는 상기 바디(110)의 일측에 연결되고, 상기 액 배출 포트(140)는 상기 바디(110)의 타측에 연결되므로, 상기 보조 공급 포트(130)에 의해 상기 바디(110) 내부로 공급된 액은 실질적으로 상기 바디(110)의 내부 전체를 유동한 후 상기 액 배출 포트(140)를 통해 상기 바디(110)의 외부로 배출될 수 있게 된다.The auxiliary supply port 130 is connected to one side of the body 110, the liquid discharge port 140 is connected to the other side of the body 110, the body (by the auxiliary supply port 130) The liquid supplied into the 110 may flow out substantially inside the body 110 and then be discharged to the outside of the body 110 through the liquid discharge port 140.

상기 바디(110)의 내부에는 상기 각 액 공급 포트(120, 130)로부터 상기 주 공급 슬릿 및 상기 보조 공급 슬릿(114)을 통해 상기 바디(110)의 내부로 도입된 액을 임시로 저장하는 챔버(119)가 구비된다. 상기 챔버(119)는 상기 바디(110)의 내부에 길이 방향을 따라 형성되고, 상기 각 액 공급 포트(120, 130)로부터 공급받은 액을 임시로 저장한 후 상기 바디(110)의 길이 방향을 따라 고르게 퍼뜨려 분포시키는 역할을 한다. 이러한 챔버(119)는, 상기 바디(110)가 제1 플레이트(111)와 제2 플레이트(112)로 분할되게 구성된 경우, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1 플레이트(111)에 형성된다.The chamber 110 temporarily stores the liquid introduced into the body 110 through the main supply slit and the auxiliary supply slit 114 from the respective liquid supply ports 120 and 130. 119 is provided. The chamber 119 is formed along the longitudinal direction inside the body 110, and temporarily stores the liquid supplied from each of the liquid supply ports 120 and 130, and then adjusts the longitudinal direction of the body 110. It distributes evenly along the role. When the body 110 is configured to be divided into the first plate 111 and the second plate 112, the chamber 119 may be connected to the first plate 111 as illustrated in FIGS. 4 and 5. Is formed.

상기 바디(110)의 내부에는 상하 방향을 따라 분사 슬릿(115)이 형성된다. 상기 분사 슬릿(115)은 상기 바디(110)의 길이 방향을 따라 연속적으로 형성된다. 상기 분사 슬릿(115)의 상부는 상기 챔버(119)에 연결되고, 상기 분사 슬릿(115)의 하단은 상기 바디(110)의 하단까지 연장되어 상기 바디(110)의 외부와 연통된다.The injection slit 115 is formed in the body 110 along the vertical direction. The injection slit 115 is continuously formed along the longitudinal direction of the body 110. An upper portion of the injection slit 115 is connected to the chamber 119, and a lower end of the injection slit 115 extends to a lower end of the body 110 to communicate with the outside of the body 110.

상기 바디(110)가 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1 플레이트(111)와 상기 제2 플레이트(112)로 분할되게 구성된 경우, 상기 분사 슬릿(115)은 상기 제1 플레이트(111)와 상기 제2 플레이트(112) 사이에 확보된 간극에 의해 형성된 다. 이 경우, 상기 제1 플레이트(111)와 상기 제2 플레이트(112)의 사이에는 상기 분사 슬릿(115)을 확보하기 위한 스페이서(113)가 개재된다.When the body 110 is configured to be divided into the first plate 111 and the second plate 112 as shown in FIGS. 4 and 5, the injection slit 115 is the first plate 111. ) And the gap secured between the second plate 112. In this case, a spacer 113 for securing the injection slit 115 is interposed between the first plate 111 and the second plate 112.

상기 분사 슬릿(115)은 대략 0.1 내지 0.2 mm 정도의 두께를 가지며, 상기 기판(1) 처리 시 상기 주 공급 포트(120)로부터 상기 바디(110)의 챔버(119)로 유입된 세정액 및 공정액 등의 액(3)을 상기 기판(1)의 표면에 고르게 분사해준다. 뿐만 아니라, 상기 분사 슬릿(115)은 상기 아쿠아나이프(100)의 바디(110) 내부 청소 시 상기 보조 공급 포트(130)로부터 상기 바디(110)의 챔버(119)로 유입된 세정액 등의 액을 상기 바디(110)의 외부로 배출하는 역할도 한다.The injection slit 115 has a thickness of about 0.1 to 0.2 mm, and the cleaning liquid and the process liquid introduced into the chamber 119 of the body 110 from the main supply port 120 when the substrate 1 is processed. The liquid 3 of the back is evenly sprayed on the surface of the substrate 1. In addition, the injection slit 115 may remove a liquid such as a cleaning liquid introduced into the chamber 119 of the body 110 from the auxiliary supply port 130 when cleaning the inside of the body 110 of the aqua knife 100. It also serves to discharge to the outside of the body (110).

본 발명의 일실시예에 따른 아쿠아나이프(100)에서 상기 바디(110)에는 또한 그 내부에 고압의 공기(air)를 불어 넣기 위한 에어 공급 포트(150)가 더 연결된다. 상기 에어 공급 포트(150)는 도 3에 도시된 바와 같이 다수 개가 구비되어 상기 바디(110)의 길이 방향을 따라 등 간격으로 배치된 후 각각 상기 바디(110)에 연결된다. 한편, 상기 바디(100)의 내부에는 상기 에어 공급 포트(150)로부터 공급되는 고압의 공기를 상기 바디(100) 내부로 도입하는 에어 공급 슬릿(117)이 형성된다.In the aqua knife 100 according to an embodiment of the present invention, the body 110 is further connected with an air supply port 150 for blowing high pressure air therein. As shown in FIG. 3, the air supply port 150 is provided in plural numbers and is arranged at equal intervals along the length direction of the body 110, and then connected to the body 110. Meanwhile, an air supply slit 117 is formed inside the body 100 to introduce high pressure air supplied from the air supply port 150 into the body 100.

위와 같은 구조를 가지는 본 발명에 따른 아쿠아나이프(100)는 일반적인 아쿠아나이프와 같이 기판(1)을 향해 액(3)을 분사함으로써 소정의 기판 표면 처리 및 세정 공정을 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 자동으로 그 내부를 청소할 수도 있다. 이하에서는 본 발명에 따른 아쿠아나이프(100)의 작동에 대해 좀더 상세히 설명한다.Aquaknife 100 according to the present invention having the structure as described above can not only perform a predetermined substrate surface treatment and cleaning process by spraying the liquid 3 toward the substrate 1 like a common aquaknife, You can also clean the inside. Hereinafter, the operation of the aqua knife 100 according to the present invention will be described in more detail.

기판 표면 처리 시에는, 상기 보조 공급 포트(130) 및 상기 액 배출 포트(140)는 닫혀 있다. 이때, 상기 에어 공급 포트(150)는 닫혀 있어도 되고, 열림으로써 상기 바디(110)의 내부에 소정 압력의 공기를 공급해 주어도 무방하다.In the substrate surface treatment, the auxiliary supply port 130 and the liquid discharge port 140 are closed. In this case, the air supply port 150 may be closed, or may be supplied to supply air of a predetermined pressure to the inside of the body 110 by being opened.

위와 같은 상태에서, 상기 주 공급 포트(120)가 열리면, 상기 주 공급 포트(120) 내의 액(3)은 상기 주 공급 슬릿(미도시)을 통해 상기 바디(110) 내부로 도입된 후 상기 챔버(119)에 수용된다. 상기 챔버(119)는 상기 주 공급 슬릿(116)을 통해 유입된 액(3)을 상기 바디(110)의 길이 방향을 따라 고르게 퍼뜨리고 분포시킨다.In the above state, when the main supply port 120 is opened, the liquid 3 in the main supply port 120 is introduced into the body 110 through the main supply slit (not shown) and then the chamber 119 is accommodated. The chamber 119 evenly distributes and distributes the liquid 3 introduced through the main supply slit 116 along the longitudinal direction of the body 110.

상기 챔버(119)에 의해 상기 바디(110)의 길이 방향을 따라 고르게 분포된 액(3)은 상기 챔버(119)와 연통된 상기 분사 슬릿(115)으로 유입되고, 최종적으로 상기 바디(110)의 하단을 통해서 상기 기판(1)에 고르게 분사된다.The liquid 3 evenly distributed along the longitudinal direction of the body 110 by the chamber 119 flows into the injection slit 115 communicating with the chamber 119, and finally the body 110. It is evenly sprayed on the substrate (1) through the bottom of.

상기 아쿠아나이프(100)가 장시간 사용되면, 상기 분사 슬릿(115) 등에 파티클(particle)이 끼이게 되고, 이에 의해 상기 아쿠아나이프(100)에서 분사되는 액(3)이 끊기게 된다. 따라서, 이를 방지하기 위해 본 발명에 따른 아쿠아나이프(100)는 도 6에 도시된 바와 같이 자동으로 상기 바디(110) 내부를 청소하는 과정을 수행한다. 이하에서는 이에 대해 좀더 상세히 설명한다.When the aqua knife 100 is used for a long time, particles are caught in the injection slit 115 and the like, whereby the liquid 3 injected from the aqua knife 100 is cut off. Therefore, in order to prevent this, the aqua knife 100 according to the present invention performs a process of automatically cleaning the inside of the body 110, as shown in FIG. This will be described in more detail below.

상기 아쿠아나이프(100)의 바디(110) 내부 청소시에는, 먼저, 상기 주 공급 포트(120)를 닫는다(S 110). 그런 다음, 상기 바디(110)의 세척을 위한 액을 공급하는 상기 보조 공급 포트(130)를 개방하고, 이와 함께 상기 액 배출 포트(140)를 개방한다(S 120). 그러면, 상기 보조 공급 포트(130)로부터 상기 바디(110)의 내부 를 청소하기 위한 세정액 등이 상기 바디(110) 내부로 유입된다. 상기 챔버(119)로 유입된 상기 세정액 등은 상기 바디(110)의 길이 방향을 따라 유동하면서 상기 바디(110)의 길이 방향 전체에 고르게 퍼진다.When cleaning the interior of the body 110 of the aqua knife 100, first, the main supply port 120 is closed (S 110). Then, the auxiliary supply port 130 for supplying the liquid for cleaning the body 110 is opened, and together with the liquid discharge port 140 is opened (S 120). Then, a cleaning solution for cleaning the inside of the body 110 is introduced into the body 110 from the auxiliary supply port 130. The cleaning liquid introduced into the chamber 119 flows along the longitudinal direction of the body 110 and is evenly spread throughout the longitudinal direction of the body 110.

이때, 상기 에어 공급 포트(150)를 개방한다(S 130). 그러면, 고압의 공기가 순식간에 상기 바디(110) 내부에 공급되고, 이에 의해 상기 바디(110) 내부의 액(3)은 고압으로 상기 분사 슬릿(115) 및 상기 액 배출 포트(140)를 통해 각각 상기 바디(110) 외부로 배출된다. 이때, 상기 에어 공급 포트(150)를 통해 공급되는 공기의 압력과 상기 바디(110)의 외부로 배출되는 액(3)의 압력에 의해 상기 바디(110)의 내부, 특히 상기 분사 슬릿(115)에 끼인 파티클이 제거되고 상기 액(3)과 함께 상기 바디(110)의 외부로 배출되게 된다.At this time, the air supply port 150 is opened (S 130). Then, the high pressure air is supplied to the inside of the body 110 in an instant, whereby the liquid 3 inside the body 110 is at high pressure through the injection slit 115 and the liquid discharge port 140. Each is discharged to the outside of the body (110). At this time, the inside of the body 110, in particular the injection slit 115 by the pressure of the air supplied through the air supply port 150 and the pressure of the liquid 3 discharged to the outside of the body 110. Particles trapped in the are removed and is discharged to the outside of the body 110 together with the liquid (3).

소정 시간 동안의 바디(110) 내부 청소가 완료되면, 상기 보조 공급 포트(130) 및 상기 에어 공급 포트(150)를 닫아 상기 액 및 고압 공기의 공급을 중단한다. 그리고, 상기 액 배출 포트(140)도 닫는다. 그런 다음, 기판 처리가 필요한 경우, 상기 주 공급 포트(120)를 개방하여 기판 표면 처리 작업을 재개한다.When the inside of the body 110 is cleaned for a predetermined time, the auxiliary supply port 130 and the air supply port 150 are closed to stop the supply of the liquid and the high pressure air. The liquid discharge port 140 is also closed. Then, when substrate processing is required, the main supply port 120 is opened to resume substrate surface treatment.

한편, 위에서는, 본 발명에 따른 아쿠아나이프(100)가 바디(110)의 내부를 청소할 때 상기 보조 공급 포트(130)를 통해 상기 바디(110) 내부로 액이 공급되고, 상기 에어 공급 포트(150)를 통해 상기 바디(110) 내부로 고압 공기가 공급되는 예가 설명되었다. 그러나, 본 발명은 이에 국한되지만은 않는다.Meanwhile, in the above, when the aqua knife 100 according to the present invention cleans the interior of the body 110, the liquid is supplied into the body 110 through the auxiliary supply port 130, and the air supply port ( An example in which high pressure air is supplied into the body 110 through 150 is described. However, the present invention is not limited thereto.

다른 예로, 상기 아쿠아나이프(100)의 바디(110) 청소 시 상기 에어 공급 포트()를 통해 고압 공기만 상기 바디(110)의 내부로 공급되도록 구성될 수도 있을 것이다. 이 경우, 상기 보조 공급 포트(130)는 별도로 구비되지 않아도 무방할 것이다. 이는, 상기 보조 공급 포트(130)를 통한 세정액의 공급 없이, 상기 에어 공급 포트(150)를 통한 고압 공기의 공급만 있어도, 상기 바디(110)의 내부에 끼인 파티클이 충분히 제거되어 상기 바디(110) 외부로 배출될 수 있기 때문이다.As another example, when cleaning the body 110 of the aqua knife 100 may be configured to supply only the high-pressure air through the air supply port () to the interior of the body (110). In this case, the auxiliary supply port 130 may not be provided separately. This means that even if only the supply of the high pressure air through the air supply port 150, without supply of the cleaning liquid through the auxiliary supply port 130, the particles stuck in the interior of the body 110 is sufficiently removed, the body 110 This is because it can be discharged to the outside.

위에서 몇몇의 실시예가 예시적으로 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다.Although some embodiments have been described above by way of example, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many other forms without departing from the spirit and scope thereof.

따라서, 상술된 실시예는 제한적인것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.Accordingly, the described embodiments are to be considered as illustrative and not restrictive, and all embodiments within the scope of the appended claims and their equivalents are included within the scope of the present invention.

위에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 아쿠아나이프의 바디를 분해하지 않고도 상기 바디 내부를 청소함으로써 상기 바디 내부에 끼인 파티클을 제거할 수 있다. 따라서, 상기 아쿠아나이프의 내부를 청소하기 위해 상기 바디를 분해할 필요가 없거나, 상기 아쿠아나이프의 분해 청소 주기를 상당히 늘일 수 있다.As described above, according to the present invention, the particles inside the body can be removed by cleaning the inside of the body without disassembling the body of the aqua knife. Thus, it is not necessary to disassemble the body to clean the interior of the aquaknife, or the decomposition cleaning cycle of the aquaknife can be significantly increased.

그러므로 본 발명은, 상기 아쿠아나이프를 매우 쉽고 편리하게 그리고 자주 청소할 수 있는 효과가 있다. 이와 더불어, 상기 아쿠아나이프의 청소를 위한 주기가 현저히 늘어나므로 공정 장비를 정지시키는 시간이 현저히 줄고, 이에 따라 생산성이 향상되는 효과가 있다.Therefore, the present invention has the effect of cleaning the aqua knife very easily, conveniently and frequently. In addition, since the period for cleaning the aqua knives is significantly increased, the time to stop the process equipment is significantly reduced, thereby improving the productivity.

Claims (6)

바디의 내부에 액을 공급하는 다수의 액 공급 포트;A plurality of liquid supply ports for supplying liquid to the inside of the body; 기판 표면 처리 시 상기 바디에 공급된 액을 기판에 분사하는 분사 슬릿;An injection slit for spraying the liquid supplied to the body onto the substrate during substrate surface treatment; 상기 바디 내부 청소 시 상기 바디에 공급된 액을 외부로 배출하는 액 배출 포트; 및A liquid discharge port configured to discharge the liquid supplied to the body to the outside when the inside of the body is cleaned; And 상기 바디 내부 청소 시 상기 바디에 공급된 액이 고압으로 상기 분사 슬릿과 상기 액 배출 포트를 통해 외부로 배출되도록 상기 바디 내부로 고압 공기를 불어 넣는 에어 공급 포트를 포함하여 이루어진 에어 공급 포트가 구비된 아쿠아나이프.An air supply port including an air supply port for blowing high pressure air into the body so that the liquid supplied to the body is discharged to the outside through the injection slit and the liquid discharge port at a high pressure when cleaning the inside of the body Aqua knife. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다수의 액 공급 포트는,The plurality of liquid supply port, 상기 기판 표면 처리 시 개방되어 상기 바디의 내부에 액을 공급하는 주 공급 포트; 및A main supply port opened during the substrate surface treatment to supply liquid to the inside of the body; And 상기 바디 내부 청소 시 개방되어 상기 바디의 내부에 액을 공급하는 보조 공급 포트를 포함하여 이루어진 에어 공급 포트가 구비된 아쿠아나이프.Aquaknife is provided with an air supply port which is opened when cleaning the inside of the body and comprises an auxiliary supply port for supplying a liquid to the inside of the body. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 바디 내부 청소 시 상기 주 공급 포트는 폐쇄되고, 상기 액 배출 포트 는 개방되는 것을 특징으로 하는 에어 공급 포트가 구비된 아쿠아나이프.The main supply port is closed when the inside of the body cleaning, the liquid discharge port is an aqua knife equipped with an air supply port, characterized in that the opening. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 에어 공급 포트는 상기 바디의 길이 방향을 따라 다수 개가 배치된 것을 특징으로 하는 에어 공급 포트가 구비된 아쿠아나이프.The air supply port is provided with an air supply port, characterized in that a plurality is arranged along the longitudinal direction of the body aqua knife. 바디의 내부에 액을 공급하는 다수의 액 공급 포트;A plurality of liquid supply ports for supplying liquid to the inside of the body; 기판 표면 처리 시 상기 바디에 공급된 액을 기판에 분사하는 분사 슬릿; 및An injection slit for spraying the liquid supplied to the body onto the substrate during substrate surface treatment; And 상기 바디 내부 청소 시 상기 바디 내부에 끼인 파티클이 상기 바디 외부로 배출되도록 상기 바디 내부로 고압 공기를 불어 넣는 에어 공급 포트를 포함하여 이루어진 에어 공급 포트가 구비된 아쿠아나이프.Aquaknife is provided with an air supply port comprising an air supply port for blowing high pressure air into the body so that the particles inside the body to be discharged to the outside of the body when cleaning the inside of the body. 분사 슬릿을 통해 기판에 액을 고르게 분사하도록 구성된 아쿠아나이프의 바디 내부에 액을 공급하는 단계;Supplying liquid into the body of the aquaknife configured to evenly spray liquid onto the substrate through the spraying slit; 상기 아쿠아나이프의 바디 내부에 고압의 에어를 공급하는 단계; 및Supplying high pressure air into the body of the aqua knife; And 상기 분사 슬릿과 별도로 구비된 액 배출 포트를 개방하여 상기 바디 내부의 액을 상기 분사 슬릿과 상기 액 배출 포트를 통해 배출하는 단계를 포함하여 이루어진 아쿠아나이프의 내부를 청소하는 방법.Opening the liquid discharge port provided separately from the injection slit to discharge the liquid inside the body through the injection slit and the liquid discharge port.
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