KR20080093233A - Method and apparatus for inspecting substrate with high efficiency reflection and transmission - Google Patents

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Abstract

A method and an apparatus for inspecting a substrate are provided to increase reflection and transmission efficiency by using a magic mirror when inspecting the substrate before attachment, thereby easily defecting even a defect such as minute mura or the like. An auxiliary unit(133) having reflectivity and transmittance of predetermined light is contacted with a lower part of a substrate(123). Light is radiated from an upper part of the substrate. Light(138) reflected from a substrate by the radiated light is inspected. The auxiliary unit is a magic mirror. The substrate is an upper or lower substrate before attachment for an LCD(Liquid Crystal Display).

Description

반사 및 투과 효율을 향상시켜 기판을 검사하는 방법 및 장치{Method and Apparatus for Inspecting Substrate with High Efficiency Reflection and Transmission} Method and Apparatus for Inspecting Substrate with High Efficiency Reflection and Transmission

도 1은 종래 기술에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a substrate inspection apparatus according to the prior art.

도 2는 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판의 반사 검사를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining a reflection test of a substrate before bonding for a liquid crystal display.

도 3은 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판의 투과 검사를 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining the transmission inspection of the substrate before bonding for the liquid crystal display device.

도 4는 액정 표시 장치를 위한 합착 후 기판의 액정 상태 목시 검사를 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a liquid crystal state visual inspection of a substrate after bonding for a liquid crystal display device.

도 5는 액정 표시 장치를 위한 합착 후 기판의 구동 상태 등 최종 검사를 설명하기 위한 도면이다.5 is a diagram for describing a final inspection such as a driving state of a substrate after bonding for a liquid crystal display.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 7은 도 6의 근거리 투과 조명계와 그 위에 놓인 기판 간의 구체적인 구성을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 7 is a view for explaining a specific configuration between the near-field illumination system of FIG. 6 and the substrate placed thereon.

도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도 이다.8 is a flowchart illustrating a substrate inspection method according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>

121: 회전 유닛121: rotating unit

122: 근거리 투과 조명계122: near-field transmission illumination system

131: BLU(Back Light Unit: 백라이트 유닛)131: BLU (Back Light Unit)

132: 확산판132: diffuser plate

133: 일방투명경133: one-way transparent mirror

123: 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판123: pre-bonding substrate for liquid crystal display

본 발명은 액정 표시 장치를 위한 기판을 검사하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히, 액정 표시 장치를 위한 상판 또는 하판의 합착 전 기판 검사에서는 육안으로 확인되지 않은 얼룩 등 결함이 합착 후 기판 검사에서 나타나는 현상이 자주 발생하고 있으므로, 합착 전 기판 검사에서 얼룩 등의 결함을 좀 더 명확히 검사해 낼 수 있도록 반사 및 투과 효율이 향상된 검사 환경을 제공함으로써, 합착되기 전에 불량 기판을 미리 판정하여 불량 기판이 합착 공정으로 진행되지 않도록 하고 합착된 후의 액정 패널의 수율을 향상시킬 수 있는 기판 검사 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device and a method for inspecting a substrate for a liquid crystal display device, and in particular, defects such as spots that are not visually confirmed in the substrate inspection before bonding of the upper plate or the lower plate for the liquid crystal display appear in the substrate inspection after the bonding. As the phenomenon frequently occurs, the inspection environment with improved reflection and transmission efficiency can be more clearly inspected to inspect defects such as stains in the inspection of the substrate prior to bonding, so that the defective substrate is bonded in advance by deciding the defective substrate before bonding. It is related with the board | substrate test | inspection method and apparatus which can improve the yield of the liquid crystal panel after bonding, without going to a process.

도 1은 종래 기술에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 1을 참조하면, 액정 표시 장치를 위한 합착 전 검사 기판이 회전할 수 있는 고정 부재 상에서 이동할 수 있도록 구성된 소정 프레임(frame) 형태의 슬라이딩 부재에 고정된다. 1 is a view for explaining a substrate inspection apparatus according to the prior art. Referring to FIG. 1, a test substrate before bonding for a liquid crystal display device is fixed to a sliding member having a predetermined frame shape configured to move on a rotatable fixing member.

검사자는 반사 조명계로부터 나오는 빛이 검사 기판에서 반사되는 빛을 관찰함으로써 기판 상의 전극, 컬러 필터, 컬럼 스페이서(spacer) 등의 불균일에 의한 얼룩 등 결함을 확인하고 양호/불량 기판을 판별할 수 있다. 이러한 검사는 검사자의 위치에서 카메라를 이용하여 이미지를 촬영하고 분석함으로써도 이루어질 수 있다. 예를 들어, 도 2와 같이, CF(color filter: 컬러 필터) 기판(액정 표시 장치를 위한 컬러 필터를 포함하는 합착 전 유리 기판)에는 R(red), G(green), B(blue) 컬러 필터 셀들(21)이 도포되어 있고, CF 기판 위에 이물질이 붙거나 기타 공정 과정 중의 여러 가지 원인으로 인한 결함(22) 등이 존재하는 경우에, 검사자는 CF 기판의 해당 부분에서 반사되는 빛의 색으로부터 얼룩 등 결함이 있는 불량 기판으로 판정할 수 있다.The inspector may observe defects such as unevenness due to non-uniformity of electrodes, color filters, column spacers, and the like on the substrate by observing the light reflected from the reflecting illumination system, and may determine a good / bad substrate. This inspection can also be done by taking and analyzing an image using a camera at the inspector's location. For example, as shown in FIG. 2, a CF (color filter) substrate (a glass substrate before bonding including a color filter for a liquid crystal display) may be R (red), G (green), or B (blue) color. When the filter cells 21 are applied and a foreign matter adheres to the CF substrate or defects 22 due to various causes during the process are present, the inspector can determine the color of light reflected from the corresponding portion of the CF substrate. Can be determined as a defective substrate having defects such as unevenness.

또한, 도 3과 같이, 검사자는 투과 조명계로부터 나오는 빛이 CF 기판을 통과하여 투과하는 빛을 관찰함으로써, 컬러 필터 셀들(31) 중 불균일한 부분(32)에서 투과되는 빛의 색으로부터 얼룩 등 결함을 판정할 수 있다. 투과 검사 시에 조명을 위한 투과 조명계는 CF 기판으로부터 3m 이상 떨어져 있기 때문에 도 1과 같은 검사 장치는 많은 공간을 차지하는 문제점이 있다. In addition, as shown in FIG. 3, the inspector observes light passing through the CF substrate through the light emitted from the transmissive illumination system, thereby causing defects such as spots from the color of light transmitted from the non-uniform portion 32 of the color filter cells 31. Can be determined. Since the transmission illumination system for illumination at the time of transmission inspection is 3m or more away from the CF substrate, the inspection apparatus as shown in FIG. 1 has a problem of taking up a lot of space.

TFT(Thin Film Transistor) 기판(액정 표시 장치를 위한 TFT를 포함하는 합착 전 유리 기판)에 대해서도 위와 같은 반사 검사와 투과 검사가 이루어질 수 있 으며, 액정 표시 장치를 위한 상판(CF 기판)과 하판(TFT 기판)의 합착 전에는 투과 검사 보다 반사 검사에서 얼룩 등 결함을 검출하는 것을 주목적으로 검사가 진행되고 있다.The above reflection inspection and transmission inspection can also be performed on a TFT (Thin Film Transistor) substrate (a glass substrate before bonding including a TFT for a liquid crystal display device), and a top plate (CF substrate) and a bottom plate (for a liquid crystal display device) Prior to the bonding of the TFT substrate), inspection is mainly performed to detect defects such as spots in reflection inspection rather than transmission inspection.

한편, 액정 표시 장치를 위한 상판(CF 기판)과 하판(TFT 기판)의 합착 후 기판 검사에서는, 도 4와 같이 액정 상태 목시 검사와 도 5와 같이 구동 상태 등 최종 검사가 이루어진다. On the other hand, in the inspection of the substrate after the bonding of the upper plate (CF substrate) and the lower plate (TFT substrate) for the liquid crystal display device, the final inspection such as the liquid crystal state visual inspection as shown in FIG. 4 and the driving state as shown in FIG. 5 is performed.

액정 상태 목시 검사를 위하여, 도 4와 같이, BLU(Back Light Unit)(41) 위에 편광 필름(42)이 놓이고, 그 위에 합착 기판(43)이 놓인다. 검사자는 BLU(41)로부터 나오는 빛이 편광 필름(42)과 합착 기판(43)을 통과하여 나오는 빛을 편광 필름(44)을 통하여 관찰함으로써, 합착 기판(43) 내에 봉입된 액정의 불균일 상태에 따른 투과 빛의 이상으로부터 얼룩 등 결함을 판정할 수 있다. 이때에는 액정에서 위상 지연으로 인하여 빛의 진행 방향에 따라 서로 다른 방향에서 각기 R, G, B 가강하게 보이는 컬러 쉬프트(color shift) 현상을 이용하기 위하여, 검사자는 편광 필름(44)을 돌리면서 여러 방향에서 각 색의 이상 여부를 관찰하여 결함을 판정한다. For visual inspection of the liquid crystal state, as shown in FIG. 4, the polarizing film 42 is placed on the BLU (Back Light Unit) 41, and the bonding substrate 43 is placed thereon. The inspector observes the light emitted from the BLU 41 through the polarizing film 42 and the bonding substrate 43 through the polarizing film 44, so that the uneven state of the liquid crystal enclosed in the bonding substrate 43 is observed. Defects such as spots can be determined from abnormality of the transmitted light. At this time, in order to take advantage of the color shift phenomenon that R, G, and B appear strongly in different directions depending on the light propagation direction due to the phase delay in the liquid crystal, the inspector rotates the polarizing film 44 to The defect is judged by observing abnormality of each color in the direction.

구동 상태 등 최종 검사를 위하여, 도 5와 같이, BLU(Back Light Unit)(51) 위에 편광 필름(52)이 놓이고, 그 위에 합착 기판(53)과 편광 필름(54)이 놓인다. 검사자는 BLU(51)로부터 나오는 빛이 편광 필름(52), 합착 기판(53), 편광 필름(54)을 통과하여 나오는 빛을 육안 또는 카메라가 촬영한 이미지를 통한 분석으로 얼룩 등 결함을 관찰함으로써, 합착되기까지의 전체 공정에서 결함이 있었는지 를 판정할 수 있다. 이때에는 합착 기판(53)의 실제 구동 시에 필요한 신호(V), 즉, 게이트라인, 데이터 라인 등의 구동에 필요한 신호를 고정밀 얼라인먼트(alignment)가 가능한 장치로 탐침(probe)하여 인가해 줌으로써, 픽셀 단위로 R, G, B 각 컬러별 얼룩이나 특정 이미지의 정상 여부 등을 관찰한다.For the final inspection such as the driving state, as shown in FIG. 5, the polarizing film 52 is placed on the BLU (Back Light Unit) 51, and the bonding substrate 53 and the polarizing film 54 are placed thereon. The inspector observes defects such as specks by analyzing the light emitted from the BLU 51 through the polarizing film 52, the bonding substrate 53, and the polarizing film 54 through the naked eye or an image taken by the camera. In this case, it is possible to determine whether there is a defect in the whole process until coalescence. In this case, a signal V required for actual driving of the bonded substrate 53, that is, a signal required for driving a gate line, a data line, or the like is probed and applied to a device capable of high precision alignment. Observe the R, G, and B spots for each color and whether the specific image is normal.

그러나, 위와 같은 합착 전 검사 방법에서 양호한 기판으로 판정받은 기판이, 합착 후 검사에서 얼룩 등 결함이 나타나 불량으로 판정되는 경우가 자주 발생되는 문제점이 있다. 즉, 위와 같은 합착 전 반사 검사에서는, 합착 시 봉입되는 액정이 합착 전 CF 기판이나 TFT 기판에 미치는 영향을 반영하여 관찰 할 수 없으므로, 합착 전에 보이지 않은 얼룩이 합착 후의 달라진 환경에서 나타날 수 있다. 예를 들어, 최근 경향이 컬러 필터의 투과도는 높이고 반사율은 낮게 하는 추세이므로, 합착 후 기판의 반사 검사에서 컬러 필터를 투과한 빛이 다시 컬러 필터 쪽으로 반사되어 나올 수 있는 등 합착 전후에 컬러 필터에서의 빛의 반사 환경이 달라질 수 있다. 또한, 위와 같은 합착 전 투과 검사가 보조적인 검사이지만, 투과 조명계가 검사 기판과 3m 이상 멀리 떨어져 있으므로 조도가 낮아 얼룩 등 결함이 용이하게 판정되지 않을 수 있다. 따라서, 이와 같은 문제점들로 인하여 합착 전에 보이지 않은 얼룩이 합착 후의 달라진 환경에서 나타나게 됨으로써, 불량 기판을 조기에 발견하지 못함으로 인한 합착 공정비용의 증가나 합착 후 액정 패널의 수율 저하를 야기 시킬 수 있다.However, there is a problem that a substrate, which is determined to be a good substrate in the pre-bonding inspection method, is often determined to be defective due to defects such as stains in the post-bonding inspection. That is, in the reflection test before bonding, the liquid crystal encapsulated at the time of bonding cannot be observed to reflect the influence on the CF substrate or the TFT substrate before bonding, so that unstained spots before bonding may appear in a changed environment after bonding. For example, the recent tendency is to increase the transmittance of the color filter and to lower the reflectance. Therefore, in the reflection inspection of the substrate after bonding, the light transmitted through the color filter may be reflected back to the color filter. The reflection environment of light may vary. In addition, although the above-mentioned transmissive inspection before bonding is an auxiliary inspection, since the transmissive illumination system is separated from the inspection substrate by more than 3 m or more, the roughness may not be easily determined, such as a defect. Therefore, due to such problems, unseen spots before bonding may appear in a changed environment after bonding, which may cause an increase in bonding process cost or a decrease in yield of the liquid crystal panel after bonding due to failure to find a defective substrate early.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 서, 본 발명의 목적은, 합착 전 기판 검사에서 얼룩 등의 결함을 좀 더 명확히 검사해 낼 수 있게 하기 위하여, 반사와 투과 효율을 증대시켜 미세한 얼룩 등의 결함이라도 용이하게 검출할 수 있는 기판 검사 방법 및 장치를 제공하는 데 있다. The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, the object of the present invention, in order to be able to more clearly inspect the defects, such as stains in the inspection of the substrate before bonding, the reflection and transmission efficiency The present invention provides a substrate inspection method and apparatus which can easily detect defects such as minute unevenness and increase the density.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 합착 전 기판 검사에서 얼룩 등의 결함의 검출을 용이하게 하여, 합착 전에 불량 기판을 미리 판정하여 불량 기판이 합착 공정으로 진행되지 않도록 하고 합착된 후의 액정 패널의 수율을 향상시킬 수 있는 기판 검사 방법 및 장치를 제공하는 데 있다.  In addition, another object of the present invention is to facilitate the detection of defects such as stains in the inspection of the substrate before bonding, to determine the defective substrate in advance before bonding so that the defective substrate does not proceed to the bonding process, and the yield of the liquid crystal panel after the bonding. To provide a substrate inspection method and apparatus that can improve the.

상기한 바와 같은 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일면에 따른, 기판에 빛을 조사하여 기판의 상태를 검사하는 기판 검사 방법은, 미리 정해진 빛의 반사율 및 투과율을 가지는 보조 수단을 기판 아래에 접촉시키는 단계; 상기 기판의 위에서 빛을 조사하는 단계; 및 상기 조사된 빛에 의하여 상기 기판으로부터 반사되어 나오는 빛을 검사하는 단계를 포함한다.According to one aspect of the present invention for realizing the above technical problem, the substrate inspection method for inspecting the state of the substrate by irradiating light to the substrate, the auxiliary means having a predetermined reflectance and transmittance of the light contact the bottom of the substrate Making a step; Irradiating light on the substrate; And inspecting light reflected from the substrate by the irradiated light.

상기 보조 수단은 일방 투명경이고, 상기 기판은 액정 표시 장치를 위한 합착 전 상판 또는 하판일 수 있다.The auxiliary means may be a unidirectional transparent mirror, and the substrate may be a top plate or a bottom plate before bonding for a liquid crystal display.

상기 접촉시키는 단계 후에, 상기 보조 수단의 아래에서 빛을 조사하는 단계; 및 상기 보조 수단의 아래에서 조사된 빛에 의하여 상기 기판을 통과하여 투과되는 빛을 검사하는 단계를 더 포함한다.After the contacting step, irradiating light under the auxiliary means; And inspecting the light transmitted through the substrate by the light irradiated under the auxiliary means.

상기 투과되는 빛을 검사하는 단계에서, 광원으로부터의 빛의 균일성을 보완하는 확산판을 통과한 빛이 상기 보조 수단의 아래에서 조사되는 것을 특징으로 한다.In the step of inspecting the transmitted light, it is characterized in that the light passing through the diffuser plate that complements the uniformity of the light from the light source is irradiated under the auxiliary means.

상기한 바와 같은 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명의 다른 일면에 따른, 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 방법은, 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판의 아래에 일방 투명경을 접촉시키는 단계; 및 상기 일방 투명경이 접촉된 상기 기판의 위에서 빛을 조사하여 기판의 반사 검사를 수행하거나 상기 일방 투명경의 아래에서 빛을 조사하여 기판의 투과 검사를 수행하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention for realizing the above technical problem, the substrate inspection method for inspecting the reflection and transmission state of the substrate, the step of contacting the one-side transparent mirror under the substrate before bonding for the liquid crystal display device ; And performing reflection inspection of the substrate by irradiating light on the substrate to which the one transparent mirror is in contact, or performing irradiation inspection of the substrate by irradiating light under the one transparent mirror.

상기한 바와 같은 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명의 또 다른 일면에 따른, 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 장치는, BLU(Back Light Unit); 상기 BLU 위에서 상기 BLU로부터의 빛의 균일성을 보완하는 확산판; 및 상기 확산판 위에 놓인 일방 투명경을 포함하고, 상기 일방 투명경 위에 검사될 기판을 올려놓고, 상기 기판의 위에서 광원 수단으로 빛을 조사하여 상기 기판에 대한 반사 검사를 수행하고, 상기 BLU에서 빛을 조사하여 상기 기판에 대한 투과 검사를 수행하도록 구성된 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention for realizing the above technical problem, the substrate inspection apparatus for inspecting the reflection and transmission state of the substrate, BLU (Back Light Unit); A diffusion plate that complements the uniformity of light from the BLU on the BLU; And a one-sided transparent mirror placed on the diffusion plate, placing a substrate to be inspected on the one-sided transparent mirror, irradiating light with light source means on the substrate, and performing a reflection test on the substrate, and performing light reflection on the BLU. It is characterized in that configured to perform a transmission test on the substrate by irradiating.

상기한 바와 같은 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명의 또 다른 일면에 따른, 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 장치는, 회전축에 지지된 회전 유닛; 및 상기 회전 유닛 위에 장착된 근거리 투과 조명계를 포함하고, 상기 근거리 투과 조명계 위에 검사될 기판을 올려놓고, 상기 회전 유닛을 이용하여 상기 기판의 경사 각도를 조절하고, 상기 근거리 투과 조명계가 상기 회전 유닛의 가이드를 따라 움직여 검사 위치를 조절하며, 상기 근거리 투과 조명계는 상기 기판 에 접촉되는 일방 투명경을 이용하여, 상기 기판에 대한 반사 검사 시에 빛의 반사 효율을 증가시키고, 상기 기판에 대한 투과 검사 시에 상기 일방 투명경 아래의 광원으로부터의 빛이 상기 일방 투명경과 상기 기판을 통과하도록 하는 것을 특징으로 한다. 상기 기판 검사 장치는 상기 반사 검사 시에 상기 기판의 위에서 빛을 조사하는 반사 조명계를 더 포함할 수 있다. According to another aspect of the present invention for realizing the above technical problem, a substrate inspection apparatus for inspecting the reflection and transmission state of the substrate, the rotation unit supported on the rotating shaft; And a near-field transmission illumination system mounted on the rotation unit, placing a substrate to be inspected on the near-field transmission illumination system, and adjusting the inclination angle of the substrate by using the rotation unit, and the near-field transmission illumination system of the rotation unit The short-range transmissive illumination system increases the reflection efficiency of light during the reflection inspection on the substrate by using a one-way transparent mirror which is in contact with the substrate, and moves the guide position along the guide. And light from the light source under the one transparent mirror passes through the one transparent mirror and the substrate. The substrate inspection apparatus may further include a reflection illumination system that irradiates light on the substrate during the reflection inspection.

이하에서는 첨부 도면들 및 첨부 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나, 이하에서 설명될 실시예 및 도면은 본 발명의 기술사상의 범위를 제한하거나 한정하는 의미로 해석될 수는 없다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings and the contents described in the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention. However, embodiments and drawings to be described below are not to be construed as limiting or limiting the scope of the technical idea of the present invention. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 장치(120)를 설명하기 위한 도면이다. 도 6을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 장치(120)는 회전축(126)에 의하여 지지되도록 설치되어 있는 회전 유닛(unit)(121), 및 상기 회전 유닛(121) 위에 장착된 근거리 투과 조명계(122)를 포함할 수 있다. 6 is a view for explaining the substrate inspection apparatus 120 according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 6, a substrate inspection apparatus 120 according to an embodiment of the present invention is mounted on a rotating unit 121 and a rotating unit 121 installed to be supported by a rotating shaft 126. And may include a near-field transmission illumination system 122.

회전축(126)은 전후/좌우로 움직일 수 있는 소정 스테이지(stage) 상의 지지 기구물에 의하여 지지될 수 있고, 경사 각도를 조절하기 위하여 소정 회전 구동 장치(예를 들어, 모터)에 의하여 회전축(126)이 회전함에 따라 회전축(126)에 물려있는 회전 유닛(121)도 회전축(126)을 중심축으로 하여 회전할 수 있다. 검사될 기판(123)을 올려놓고 홀딩(holding)하기 위한 근거리 투과 조명계(122)는 상기 회전 유닛(121)의 소정 가이드(예를 들어, 레일 구조)를 따라 미끄러지듯이(sliding) 움직일 수 있도록 설치되어 있어서, 대면적 기판의 검사 시에 검사 위치의 상하를 조 절할 수 있도록 할 수 있다. The rotary shaft 126 may be supported by a support mechanism on a predetermined stage that can move back, forth, left, and right, and the rotary shaft 126 by a predetermined rotation drive device (eg, a motor) to adjust the inclination angle. As the rotation rotates, the rotation unit 121 bitten by the rotation shaft 126 may also rotate with the rotation shaft 126 as the central axis. The near-field illumination system 122 for mounting and holding the substrate 123 to be inspected is installed to slide along a predetermined guide (for example, a rail structure) of the rotating unit 121. In this way, it is possible to adjust the inspection position up and down when inspecting a large area substrate.

이외에도, 도 6에는 도시하지 않았으나, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 장치(120)는 반사 검사 시에 근거리 투과 조명계(122) 위에 놓인 검사될 기판(123)의 위에서 빛을 조사하는 반사 조명계를 더 포함할 수 있다. In addition, although not shown in Figure 6, the substrate inspection apparatus 120 according to an embodiment of the present invention is a reflection illumination system for irradiating light on the substrate 123 to be inspected placed on the near-field transmission illumination system 122 during the reflection inspection It may further include.

본 발명에서는 아래 에서도 기술하는 바와 같이, 반사 검사에서는 상기 반사 조명계의 광원으로부터 나오는 빛을 검사될 기판(123)으로 조사하여 반사되어 나오는 빛을 검사하고, 투과 검사에서는 근거리 투과 조명계(122) 내에 장착된 광원으로부터 나오는 빛이 검사될 기판(123)을 통과하여 나오는 빛을 검사한다. In the present invention, as described below, in the reflection inspection, the light emitted from the light source of the reflective illumination system is irradiated onto the substrate 123 to be inspected to inspect the reflected light, and in the transmission inspection, mounted in the near-field transmission illumination system 122. The light emitted from the light source is passed through the substrate 123 to be inspected to inspect the light.

여기서, 검사될 기판(123)은 액정 표시 장치를 위한 합착 전 상판(CF 기판) 또는 하판(TFT 기판)일 수 있다. 이외에도, 유리와 같은 투명 기판 위에 투명 도전막, 산화막, 금속 박막, 단일 컬러 필터 등 소정 박막이 적절히 코팅되었는지를 검사하기 위하여 다양한 기판이 근거리 투과 조명계(122) 위에 놓여 검사될 수 있다. 특히, 액정 표시 장치를 위한 합착 전 상판(CF 기판) 또는 하판(TFT 기판)의 반사 검사 또는 투과 검사를 통하여, 검사자는 기판(123) 상에 도포되거나 코팅된 전극, 컬러 필터, 컬럼 스페이서(spacer) 등의 불균일에 의한 얼룩 등 결함을 확인하고 양호/불량 기판을 판별할 수 있다.Herein, the substrate 123 to be inspected may be a top plate (CF substrate) or a bottom plate (TFT substrate) for bonding. In addition, various substrates may be placed on the near field illumination system 122 to inspect whether a predetermined thin film such as a transparent conductive film, an oxide film, a metal thin film, or a single color filter is appropriately coated on a transparent substrate such as glass. In particular, through a reflection test or a transmission test of a top plate (CF substrate) or a bottom plate (TFT substrate) before bonding for a liquid crystal display device, the inspector may apply or coat electrodes, color filters, and column spacers on the substrate 123. Defects such as unevenness due to nonuniformity, etc. can be confirmed, and a good / bad substrate can be discriminated.

도 6의 근거리 투과 조명계(122)와 그 위에 놓인 기판(123) 간의 구체적인 구성이 도 7에 도시되어 있다. 도 7을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따라 검사될 기판(123)을 올려놓고 홀딩하기 위한 근거리 투과 조명계(122)는 BLU(Back Light Unit: 백라이트 유닛)(131), 확산판(132) 및 일방 투명경(133)을 포함한다.A specific configuration between the near-field illumination system 122 of FIG. 6 and the substrate 123 disposed thereon is shown in FIG. 7. Referring to FIG. 7, a short-range transmissive illumination system 122 for placing and holding a substrate 123 to be inspected according to an embodiment of the present invention may include a BLU (Back Light Unit) 131 and a diffusion plate 132. ) And one transparent mirror 133.

도 6에서는 검사될 기판(123)의 한변의 길이가 2m, 3m 등 대면적인 경우에 기판(123)의 핸들링을 용이하게 하기 위한 기판 검사 장치(120)의 실시예를 도시하였으나, 도 7과 같은 근거리 투과 조명계(122)만을 이용하는 방식으로 기판의 대소 면적 여부에 상관없이 본 발명의 기판 검사 장치 및 방법을 실시하는 것도 가능함을 미리 밝혀둔다.In FIG. 6, an embodiment of the substrate inspection apparatus 120 for facilitating the handling of the substrate 123 when the length of one side of the substrate 123 to be inspected is large, such as 2 m and 3 m, is illustrated. Note that it is also possible to implement the substrate inspection apparatus and method of the present invention irrespective of whether the substrate is large or small by using only the near-field illumination system 122.

BLU(131)은 투과 검사 시에 기판(123)의 밑에서 위로 빛을 투과시키기 위한 광원으로 사용되며, 일반적인 LCD(Liquid Crystal Display)에서와 같이 투과후의 조도가 500 룩스 정도 되도록 하기 위하여 광원 자체의 조도는 약 10,000 룩스 또는 그 이상인 것이 사용될 수 있다. The BLU 131 is used as a light source for transmitting light upward from the bottom of the substrate 123 during the transmission inspection, and the illuminance of the light source itself so that the illuminance after transmission is about 500 lux as in a typical liquid crystal display (LCD). May be used at about 10,000 lux or more.

BLU(131) 위의 확산판(132)은 BLU(131)로부터 나오는 빛의 균일성을 보완한다. 즉, 일반적인 형광등 형태의 BLU(131)에서 발생되는 빛이 기판(123)의 전면에 균일하고 높은 휘도로 입사될 수 있도록 확산판(132)이 이용된다. 이외에도, 휘도를 높이고 시야각을 향상시키기 위하여 확산판(132) 위에 도광판이나 프리즘판 등이 더 사용될 수 있다. The diffuser plate 132 on the BLU 131 complements the uniformity of light coming from the BLU 131. That is, the diffusion plate 132 is used so that light generated from the BLU 131 having a general fluorescent lamp can be incident on the front surface of the substrate 123 with uniform and high luminance. In addition, a light guide plate, a prism plate, or the like may be further used on the diffusion plate 132 to increase luminance and improve a viewing angle.

확산판(132) 위에 놓인 일방 투명경(133)은 미리 정해진 빛의 반사율(예를 들어, 50%) 및 투과율(예를 들어, 50%)을 가지는 필름 형태의 구조물로서, 반사 검사 시에는 반사 효율을 증가시키고 투과 검사 시에는 BLU(131)로부터 나오는 빛의 일부가 기판(123) 쪽으로 전달되어 투과되도록 한다.The one-sided transparent mirror 133 placed on the diffuser plate 132 is a film-like structure having a predetermined reflectance (for example, 50%) and transmittance (for example, 50%) of light. In order to increase the efficiency and during the transmission inspection, a part of the light emitted from the BLU 131 is transmitted toward the substrate 123 to be transmitted.

본 발명에서는, 일방 투명경(133) 위에 검사될 기판(123)을 올려놓은 상태에서, 투과 검사 시에는 일방 투명경(133) 아래의 BLU(131)로부터의 빛이 확산 판(132)을 거쳐 일방 투명경(133)과 기판(123)의 컬러 필터(137) 등을 통과하여 나오는 빛(도 7의 139)을 육안 검사하거나 카메라로 촬영된 이미지를 분석한다. 따라서, 도 1과 같이 먼 거리에 투과 조명계를 두고 빛을 조사하는 방식보다 효율적으로 BLU(131)의 빛을 이용할 뿐만아니라, 확산판(132)에 의한 휘도 균일화 또는 휘도 향상을 이용하므로, 투과 효율이 증대되고, 높은 휘도에서 기판(123) 상의 미세한 얼룩 등의 결함을 좀더 명확하고 용이하게 검사해 낼 수 있게 된다.In the present invention, in a state where the substrate 123 to be inspected is placed on the one-side transparent mirror 133, light from the BLU 131 under the one-side transparent mirror 133 passes through the diffusion plate 132 during the transmission inspection. Visually inspect the light (139 in FIG. 7) passing through the one-way transparent mirror 133 and the color filter 137 of the substrate 123 or analyze an image photographed by a camera. Therefore, as well as using the light of the BLU 131 more efficiently than the method of irradiating light with a transmissive illumination system at a long distance as shown in Figure 1, as well as using the uniformity or brightness enhancement by the diffusion plate 132, the transmission efficiency This increases, and defects such as fine spots on the substrate 123 can be more clearly and easily inspected at high luminance.

특히, 본 발명에서, 반사 검사 시에는 검사될 기판(123)의 위에서 광원 수단(반사 조명계)으로 빛을 조사하여 기판(123)의 컬러 필터(137) 등으로부터 반사되는 빛(도 7의 138)을 육안 검사하거나 카메라로 촬영된 이미지를 분석한다. 이때, 도 7과 같이 일방 투명경(133)으로부터도 빛이 반사되어 나오므로, 반사 효율이 증대되고, 높은 반사 빛의 밝기에서 기판(123) 상의 미세한 얼룩 등의 결함을 좀더 명확하고 용이하게 검사해 낼 수 있게 된다.In particular, in the present invention, during the reflection inspection, light is reflected from the color filter 137 or the like of the substrate 123 by irradiating light with the light source means (reflected illumination system) on the substrate 123 to be inspected (138 of FIG. 7). Visually inspect or analyze images taken with the camera. At this time, since light is reflected from the one-sided transparent mirror 133 as shown in FIG. 7, the reflection efficiency is increased, and defects such as minute stains on the substrate 123 are more clearly and easily inspected at high brightness of the reflected light. You can do it.

한편, 도 6과 같이 근거리 투과 조명계(122)에 검사될 기판(123)을 소정 홀더로 고정시켜 검사하는 경우에는, 회전 유닛(121)을 회전 시키면서 기판(123)의 경사 각도를 조절하여 반사 및 투과 검사를 진행할 수 있으며, 근거리 투과 조명계(122)는 회전 유닛(121)의 소정 가이드를 따라 움직일 수 있으므로 이를 이용하여 기판(123)의 적절한 상하 위치를 조절하여 반사 및 투과 검사를 진행할 수 있게 된다. On the other hand, as shown in Figure 6, when the inspection by fixing the substrate 123 to be inspected in the near-field transmission system 122 with a predetermined holder, while adjusting the inclination angle of the substrate 123 while rotating the rotation unit 121 to reflect and Transmissive inspection can be carried out, and the near-field transmission illuminator 122 can move along a predetermined guide of the rotation unit 121, so that the reflection and transmittance inspection can be performed by adjusting an appropriate up and down position of the substrate 123 by using this. .

이에 따라, 본 발명에서는, 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판 검사에서, 기판(123)에 접촉되어 사용되는 일방 투명경(133)에 따라 얼룩 등의 결함의 검출이 용이하므로, 액정 표시 장치를 위한 상판과 하판의 합착 전에 미리 불량 기판인지를 판정하기가 용이해지며, 기존과 같이 판정이 명확하지 않아 양호한 기판으로 판정받은 불량성 기판이 합착 공정으로 진행되지 않도록 하여 합착 후의 패널, 즉, 액정 패널의 불량 판정율을 줄일 수 있게 된다. Accordingly, in the present invention, defects such as spots and the like are easily detected in the inspection of the substrate before bonding for the liquid crystal display device according to the one-way transparent mirror 133 used in contact with the substrate 123. It is easy to determine whether the substrate is a defective substrate before the upper plate and the lower plate are bonded in advance, and it is difficult to determine that the defective substrate, which is determined as a good substrate because the determination is not clear as in the past, does not proceed to the bonding process. The failure rate can be reduced.

이하, 도 8을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 방법을 좀더 자세히 설명한다. Hereinafter, a method for inspecting a substrate according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIG. 8.

먼저, 검사될 액정 표시 장치를 위한 CF 기판이나 TFT 기판을 근거리 투과 조명계(122)의 일방 투명경(133)에 접촉시켜 고정한다. 기판의 사이즈에 상관없이 도 7과 같은 근거리 투과 조명계(122) 위에 기판(123)이 놓여져 검사될 수 있으며, 도 6의 장치가 사용되는 경우에 회전 유닛(121)을 이용하여 기판(123)의 경사 각도를 조절하거나, 근거리 투과 조명계(122)를 회전 유닛(121)의 소정 가이드를 따라 움직여 적절한 상하 위치를 조절하여 반사 및 투과 검사를 진행할 수 있다. First, the CF substrate or the TFT substrate for the liquid crystal display to be inspected is fixed by contacting one of the transparent mirrors 133 of the near field illumination system 122. Irrespective of the size of the substrate, the substrate 123 may be placed and inspected on the near-field transmission illumination system 122 as shown in FIG. 7, and when the apparatus of FIG. 6 is used, the substrate 123 may be formed using the rotating unit 121. By adjusting the inclination angle, or by moving the near-field illumination system 122 along a predetermined guide of the rotation unit 121 to adjust the appropriate upper and lower positions to perform the reflection and transmission inspection.

반사 검사, 즉, 기판(123)의 위에서 빛을 조사하고 상기 조사된 빛에 의하여 기판(123)으로부터 반사되어 나오는 빛을 검사함으로써, 기반의 빛 반사 상태에 따라 얼룩 등 결함이 있는 지를 검사할 때는 도 7의 BLU(131)는 오프(off)된다. 투과 검사, 즉, BLU(131)로부터의 백라이트가 기판(123) 위로 투과되는 빛을 검사함으로써, 기판(123)의 빛 투과 상태에 따라 얼룩 등 결함이 있는 지를 검사할 때는 도 7의 BLU(131)는 온(on)된다. 투과 검사에서 BLU(131)는 기판(123) 위로 투과된 빛의 조도가 500 룩스 정도의 적절한 조도를 갖도록 미리 그 밝기가 조절된 상태이거나 소정 수단에 의하여 가변되어 조절될 수 있다(S141). BLU(131) 위에 놓인 확산 판(132)은 그 위의 전면으로 빛이 균일하고 높은 휘도로 진행될 수 있도록 한다(S142).When the inspection of the reflection, that is, by irradiating light from the substrate 123 and the light reflected from the substrate 123 by the irradiated light, to check whether there is a defect or the like according to the light reflection state of the base The BLU 131 of FIG. 7 is off. In the transmission inspection, that is, when the backlight from the BLU 131 is transmitted through the substrate 123, the BLU 131 of FIG. 7 is used to inspect whether there is a defect or the like according to the light transmission state of the substrate 123. ) Is on. In the transmission test, the BLU 131 may be adjusted in advance in a state in which brightness thereof is adjusted in advance or a predetermined means so that the illuminance of the light transmitted onto the substrate 123 has an appropriate illuminance of about 500 lux (S141). The diffusion plate 132 placed on the BLU 131 allows the light to proceed to the front of the uniform and high luminance (S142).

반사 검사에서 일방 투명경(133)은 반사 효율을 증대시키는 보조 수단으로 작용하고, 투과 검사에서 일방 투명경(133)은 BLU(131)로부터의 백라이트를 일부 투과시키도록 하며 일방 투명경(133)을 통과한 빛은 기판(123)을 통과하여 기판(123) 밖으로 투과된다(S143).  In the reflection inspection, the one-sided transparent mirror 133 serves as an auxiliary means for increasing the reflection efficiency, and in the transmission inspection, the one-sided transparent mirror 133 allows partial transmission of the backlight from the BLU 131 and the one-sided transparent mirror 133. The light passing through the substrate 123 passes through the substrate 123 and is transmitted through the substrate 123 (S143).

일반적으로 휘도 향상을 위하여 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판(123)의 컬러 필터나 투명 도전막 등의 반사율은 낮추고 투과도를 증가시키는 방향으로 발전하고 있으므로, 반사 검사에서 일방 투명경(133)이 없다면 반사되는 빛이 적어 얼룩 등의 결함 검출이 용이하지 않지만, 본 발명에서는, 일방 투명경(133)으로부터도 빛이 반사되어 나오도록 할 수 있으므로, 좀더 밝아진 반사 빛(도 7의 138)에 따라 기판(123) 상의 미세한 얼룩 등의 결함을 좀더 명확하고 용이하게 검사해 낼 수 있다(S144). In general, since the reflectance of the color filter or the transparent conductive film of the substrate 123 before bonding for the liquid crystal display is improved and the transmittance is increased to improve the luminance, if there is no one transparent mirror 133 in the reflection inspection, Although there is little reflected light, it is not easy to detect defects such as spots, but in the present invention, since the light can be reflected from the one-sided transparent mirror 133, the substrate is made according to the brighter reflected light (138 in FIG. 7). Defects such as fine stains on the (123) can be inspected more clearly and easily (S144).

또한, 투과 검사에서 일방 투명경(133) 아래의 BLU(131)로부터의 빛이 확산판(132)을 거쳐 일방 투명경(133)과 기판(123)을 통과하여 나오는 빛(도 7의 139)을 검사할 때, 근거리 투과 조명계(122)에 의한 투과 효율의 증대와 높은 휘도에 따라 기판(123) 상의 미세한 얼룩 등의 결함을 좀더 명확하고 용이하게 검사해 낼 수 있다.In addition, in the transmission inspection, light from the BLU 131 under the one-way transparent mirror 133 passes through the one-side transparent mirror 133 and the substrate 123 through the diffusion plate 132 (139 in FIG. 7). In the inspection, defects such as fine spots on the substrate 123 may be more clearly and easily inspected according to an increase in transmission efficiency by the near-field illumination system 122 and high luminance.

본 발명에 따른 기판 검사 장치 및 방법은 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 다양한 형태의 변형 및 응용이 가능하다. 예를 들어, 본 발명의 실시예들에서 BLU 위에 접촉되어 부착되는 확산판, 일방 투명경 등은 플렉시블(flexible)한 필름 형태인 것이 바람직하나, 필요에 따라 이들은 유사한 작용이나 기능을 유지하는 한 딱딱한 플라스틱 형태나 유리 형태 등의 다양한 구조물로 대체될 수도 있다. 결국, 상기 실시예들과 도면들은 본 발명의 내용을 상세히 설명하기 위한 목적일 뿐, 발명의 기술적 사상의 범위를 한정하고자 하는 것이 아니므로, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 뿐만 아니라 그와 균등한 범위를 포함하여 판단되어야 한다. The substrate inspection apparatus and method according to the present invention can be modified and applied in various forms within the scope of the technical idea of the present invention. For example, in the embodiments of the present invention, the diffusion plate, the one-sided transparent mirror, etc., contacted and attached to the BLU, are preferably in the form of a flexible film, but if necessary, they are hard as long as they maintain similar functions or functions. It may be replaced by various structures such as plastic or glass. After all, the embodiments and drawings are merely for the purpose of describing the details of the invention, and are not intended to limit the scope of the technical idea of the invention, the scope of the present invention is not limited to the claims to be described later and It should be judged to include an even range.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 검사 장치 및 방법에서는, 합착 전 기판 검사에서 일방 투명경을 이용하여 반사와 투과 효율을 증대시켜 미세한 얼룩 등의 결함이라도 용이하게 검출할 수 있게 하므로, 합착 전 기판에 대한 얼룩 등의 결함을 좀더 명확히 검사해 낼 수 있다.As described above, the substrate inspection apparatus and method according to the present invention increase the reflection and transmission efficiency by using a one-way transparent mirror in the substrate inspection before bonding, so that defects such as fine stains can be easily detected. Defects such as stains on the entire board can be more clearly inspected.

또한, 본 발명에 따른 기판 검사 장치 및 방법에서는, 합착 전 기판 검사에서 얼룩 등의 결함의 검출이 용이하므로, 합착 전에 불량 기판을 미리 판정하여 불량 기판이 합착 공정으로 진행되지 않도록 할 수 있고, 이에 따라 합착된 후의 액정 패널의 수율을 향상시킬 수 있다.  Further, in the substrate inspection apparatus and method according to the present invention, since defects such as stains and the like are easily detected in the inspection of the substrate before bonding, the defective substrate can be determined in advance before bonding so that the defective substrate does not proceed to the bonding process. Therefore, the yield of the liquid crystal panel after bonding can be improved.

Claims (9)

기판에 빛을 조사하여 기판의 상태를 검사하는 기판 검사 방법에 있어서,In the substrate inspection method for inspecting the state of the substrate by irradiating the substrate with light, 미리 정해진 빛의 반사율 및 투과율을 가지는 보조 수단을 기판 아래에 접촉시키는 단계;Contacting an auxiliary means under the substrate having a predetermined reflectance and transmittance of light; 상기 기판의 위에서 빛을 조사하는 단계; 및Irradiating light on the substrate; And 상기 조사된 빛에 의하여 상기 기판으로부터 반사되어 나오는 빛을 검사하는 단계Inspecting light reflected from the substrate by the irradiated light 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.Substrate inspection method comprising a. 제1항에 있어서, 상기 보조 수단은 일방 투명경인 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.The substrate inspection method according to claim 1, wherein the auxiliary means is a one-sided transparent mirror. 제1항에 있어서, 상기 기판은 액정 표시 장치를 위한 합착 전 상판 또는 하판인 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.The method of claim 1, wherein the substrate is a top plate or a bottom plate before bonding for a liquid crystal display device. 제1항에 있어서, 상기 접촉시키는 단계 후에,The method of claim 1, wherein after the contacting step, 상기 보조 수단의 아래에서 빛을 조사하는 단계; 및Irradiating light under the auxiliary means; And 상기 보조 수단의 아래에서 조사된 빛에 의하여 상기 기판을 통과하여 투과되는 빛을 검사하는 단계Inspecting light transmitted through the substrate by light irradiated under the auxiliary means; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.Substrate inspection method further comprising. 제4항에 있어서, 상기 투과되는 빛을 검사하는 단계에서,The method of claim 4, wherein in the step of inspecting the transmitted light, 광원으로부터의 빛의 균일성을 보완하는 확산판을 통과한 빛이 상기 보조 수단의 아래에서 조사되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.Light passing through a diffuser plate that complements the uniformity of light from a light source is irradiated under the auxiliary means. 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 방법에 있어서,In the substrate inspection method for inspecting the reflection and transmission state of the substrate, 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판의 아래에 일방 투명경을 접촉시키는 단계; 및Contacting one of the transparent mirrors below the substrate before bonding for the liquid crystal display device; And 상기 일방 투명경이 접촉된 상기 기판의 위에서 빛을 조사하여 기판의 반사 검사를 수행하거나 상기 일방 투명경의 아래에서 빛을 조사하여 기판의 투과 검사를 수행하는 단계Performing a reflection inspection of the substrate by irradiating light on the substrate to which the one transparent mirror is in contact, or performing a transmission inspection of the substrate by irradiating light under the one transparent mirror; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.Substrate inspection method comprising a. 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 장치에 있어서,In the substrate inspection apparatus for inspecting the reflection and transmission state of the substrate, BLU(Back Light Unit);BLU (Back Light Unit); 상기 BLU 위에서 상기 BLU로부터의 빛의 균일성을 보완하는 확산판; 및A diffusion plate that complements the uniformity of light from the BLU on the BLU; And 상기 확산판 위에 놓인 일방 투명경을 포함하고,A unidirectional transparent mirror placed on the diffusion plate, 상기 일방 투명경 위에 검사될 기판을 올려놓고, 상기 기판의 위에서 광원 수단으로 빛을 조사하여 상기 기판에 대한 반사 검사를 수행하고, 상기 BLU에서 빛 을 조사하여 상기 기판에 대한 투과 검사를 수행하도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.Placing a substrate to be inspected on the one-sided transparent mirror, irradiating light with a light source means on the substrate to perform reflection inspection on the substrate, and irradiating light on the BLU to perform transmission inspection on the substrate. Substrate inspection apparatus, characterized in that. 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 장치에 있어서,In the substrate inspection apparatus for inspecting the reflection and transmission state of the substrate, 회전축에 의하여 지지된 회전 유닛; 및A rotating unit supported by the rotating shaft; And 상기 회전 유닛 위에 장착된 근거리 투과 조명계를 포함하고,A near-field transmission illumination system mounted on the rotation unit, 상기 근거리 투과 조명계 위에 검사될 기판을 올려놓고, 상기 회전 유닛을 이용하여 상기 기판의 경사 각도를 조절하고, 상기 근거리 투과 조명계가 상기 회전 유닛의 가이드를 따라 움직여 검사 위치를 조절하며,Placing a substrate to be inspected on the near-transmission illuminator, adjusting the inclination angle of the substrate using the rotation unit, and moving the near-transmission illuminator along the guide of the rotation unit to adjust the inspection position, 상기 근거리 투과 조명계는 상기 기판에 접촉되는 일방 투명경을 이용하여, 상기 기판에 대한 반사 검사 시에 빛의 반사 효율을 증가시키고, 상기 기판에 대한 투과 검사 시에 상기 일방 투명경 아래의 광원으로부터의 빛이 상기 일방 투명경과 상기 기판을 통과하도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치. The short-range transmission illumination system increases the reflection efficiency of light during the reflection inspection on the substrate by using a one-sided transparent mirror in contact with the substrate, and from the light source under the one-side transparent mirror during the transmission inspection on the substrate. A substrate inspection apparatus, wherein light passes through the one-side transparent mirror and the substrate. 제8항에 있어서, The method of claim 8, 상기 반사 검사 시에 상기 기판의 위에서 빛을 조사하는 반사 조명계Reflective illumination system for irradiating light on the substrate during the reflection test 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치. Substrate inspection apparatus further comprising.
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