KR20080084489A - Organic light emitting diode and method for fabricating the same - Google Patents

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Abstract

An organic light emitting device and a method for fabricating the same are provided to suppress failure of the device remarkably by preventing penetration of moisture into the device through a dam structure between a seal pattern and a pixel region. An organic light emitting device includes first and second substrates(101,141) where a plurality of pixel units are defined. A thin film transistor is formed in a pixel region of the first substrate and composed of a gate electrode, an active layer, and source/drain electrodes. A connection line is connected to the drain electrode. An organic light emitting diode is formed on the second substrate to be electrically connected to the connection line. A seal pattern(131) is formed between the first and second substrates. A dam structure(160) is formed between the seal pattern and the pixel region to be in contact with the first and second substrates.

Description

유기전계발광소자 및 그 제조방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}Organic electroluminescent device and its manufacturing method {ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}

도 1은 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 하부기판상에 형성된 씰패턴과 씰패턴내부에 마련된 화소영역을 나타낸 평면도.1 is a plan view showing a seal pattern formed on a lower substrate of an active matrix type organic light emitting display device according to the related art and a pixel region provided inside the seal pattern.

도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도로서, 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1, and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the prior art.

도 3은 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도2의 "A"부의 확대단면도.3 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the prior art, and is an enlarged cross-sectional view of part "A" of FIG.

도 4는 도 2의 "B"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도.FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of part “B” of FIG. 2, illustrating a case in which moisture, gas or the like penetrates into the seal pattern. FIG.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 하부기판상에 형성된 씰패턴과 씰패턴내부에 마련된 화소영역을 나타낸 평면도.FIG. 5 is a plan view illustrating a seal pattern formed on a lower substrate of an active matrix type organic light emitting display device and a pixel region provided in a seal pattern according to an embodiment of the present invention; FIG.

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 확대 단면도로서, 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5, and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention;

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도6의 "C"부의 확대단면도.FIG. 7 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to one embodiment of the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of the portion “C” of FIG. 6.

도 8은 도 6의 "D"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도.FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of a portion “D” of FIG. 6, illustrating a case in which moisture, gas, and the like penetrate into the seal pattern. FIG.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도.9 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도9의 "E"부의 확대 단면도.10 is a cross-sectional view of an active matrix type organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention, and an enlarged cross-sectional view of part “E” of FIG. 9.

도 11은 도9의 "F"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도.FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of a portion “F” in FIG. 9, showing a case in which moisture, gas or the like penetrates into the seal pattern. FIG.

도 12a 및 도 12b는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 씰패턴과 댐(dam) 구조를 도시한 단면도로서, 도 12a 및 도 12b는 상판에 댐구조를 구성하는 지지패턴이 형성된 경우를 나타낸 단면도.12A and 12B are cross-sectional views illustrating a seal pattern and a dam structure of an active matrix type organic light emitting display device according to still another embodiment, and FIGS. 12A and 12B illustrate a dam structure on a top plate. Sectional drawing which shows the case where the support pattern was formed.

도 13a 및 도 13b는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 씰패턴과 댐(dam) 구조를 도시한 단면도로서, 도 13a 및 도 13b는 하판에 댐구조를 구성하는 지지패턴이 형성된 경우를 나타낸 단면도.13A and 13B are cross-sectional views illustrating a seal pattern and a dam structure of an active matrix organic light emitting display device according to still another embodiment, and FIGS. 13A and 13B illustrate a dam structure on a lower plate. Sectional drawing which shows the case where the support pattern was formed.

- 도면의 주요부분에 대한 부호설명 --Code description of main parts of drawing-

101 : 제1기판 103 : 게이트전극101: first substrate 103: gate electrode

105 : 게이트절연막 107 : 액티브층 109 : 오믹콘택층 111 : 소스전극 113 : 드레인전극 115 : 층간절연막 117 : 접촉스페이서 119 : 연결배선 131 : 씰패턴 141 : 제2기판 143 : 보조전극 145 : 제1 전극105 gate insulating film 107 active layer 109 ohmic contact layer 111 source electrode 113 drain electrode 115 interlayer insulating film 117 contact spacer 119 connection wiring 131 seal pattern 141 second substrate 143 auxiliary electrode 145 first electrode

147 : 절연막패턴 149 : 격벽147 insulating film pattern 149 partition wall

151 : 접촉패턴 153 : 유기발광층151: contact pattern 153: organic light emitting layer

155 : 제2 전극 155: second electrode

본 발명은 유기전계발광소자(OLED; Organic Light Emitting Device)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 씰패턴의 내측에 밀폐된 댐(dam) 구조를 구비한 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting device (OLED), and more particularly to an organic light emitting device having a dam structure sealed inside the seal pattern and a method of manufacturing the same.

새로운 평판 디스플레이(FPD; Flat Panel Display)중 하나인 유기전계발광소자(OLED; Organic Light Emitting Device)는 자체 발광형이기 때문에 액정표시장치에 비해 시야각, 콘트라스트 등이 우수하며, 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량박형이 가능하고, 소비전력 측면에서도 유리하며, 특히 제조비용 측면에서도 저렴한 장점을 가지고 있으므로 소형 크기의 평판디스플레이 소자로도 활용되고 있다.Organic Light Emitting Device (OLED), one of the new flat panel displays (FPD), is self-luminous, so it has better viewing angle, contrast, etc. than LCD, and does not require backlight. It can be used as a small size flat panel display device because of its light weight and thinness, which is advantageous in terms of power consumption, and particularly inexpensive in terms of manufacturing cost.

이러한 종래의 유기전계발광소자에 대해 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The conventional organic light emitting display device will be described with reference to FIGS. 1 to 4 as follows.

도 1은 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 하부기판상에 형성된 씰패턴과 씰패턴내부에 마련된 화소영역을 나타낸 평면도이다.1 is a plan view illustrating a seal pattern formed on a lower substrate of an active matrix type organic light emitting display device according to the related art and a pixel region provided in a seal pattern.

도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도로서, 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1 and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the prior art.

도 3은 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도2의 "A"부의 확대단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the prior art, and is an enlarged cross-sectional view of part “A” of FIG. 2.

도 4는 도 2의 "B"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도이다.FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the portion “B” of FIG. 2 and is a schematic view showing a case where moisture, gas, or the like penetrates into the seal pattern.

도 1 및 도 2를 참조하면, 종래기술에 따른 유기전계발광소자는 제1기판(11)과 제2 기판(41)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 상기 제1, 2 기판(11, 41)의 테두리부에 형성된 씰패턴(31)에 의해 봉지되어 있다.1 and 2, in the organic light emitting diode according to the related art, a first substrate 11 and a second substrate 41 are disposed to face each other, and the first and second substrates 11 and 41 are disposed. It is sealed by the seal pattern 31 formed in the edge part of the.

또한, 상기 제1 기판(11)의 상부에는 각 서브픽셀별로 어레이소자가 형성되어 있고, 상기 제2기판(41)에는 상기 제1기판(11)의 각 서브픽셀에 대응하여 유기전계발광 다이오드(미도시)가 형성되어 있다.In addition, an array element is formed in each subpixel on the first substrate 11, and an organic light emitting diode (OLED) corresponding to each subpixel of the first substrate 11 is formed on the second substrate 41. Not shown) is formed.

여기서, 도 3을 참조하면, 상기 제1기판(11)상에 각 서브픽셀별로 형성된 어레이소자(T)는 게이트전극(13)과 상기 게이트전극(13)상에 형성된 액티브층(17), 오믹콘택층(19) 및 소스/드레인전극(21, 23)으로 구성되어 있으며, 상기 드레인전극(23)은 연결배선 (27)에 의해 상기 유기전계발광다이오드(미도시)하부에 서브픽셀별로 독립적으로 형성된 제2전극(55)과 전기적으로 연결되어 있다.3, an array element T formed for each subpixel on the first substrate 11 may include a gate electrode 13, an active layer 17 formed on the gate electrode 13, and an ohmic. The contact layer 19 and the source / drain electrodes 21 and 23 are formed, and the drain electrode 23 is independently connected to each subpixel under the organic light emitting diode (not shown) by a connection wiring 27. It is electrically connected to the formed second electrode 55.

또한, 상기 제2기판(41)상에는 일정간격을 두고 보조전극(43)이 형성되어 있으며, 상기 보조전극(43)을 포함한 제2기판(41)에는 유기전계 발광다이오드 (미도시) 를 구성하는 공통전극으로 이용되는 제1전극(45)이 형성되어 있다.In addition, an auxiliary electrode 43 is formed on the second substrate 41 at a predetermined interval, and the second substrate 41 including the auxiliary electrode 43 forms an organic light emitting diode (not shown). The first electrode 45 used as the common electrode is formed.

그리고, 상기 제1 전극(45)상에는 일정간격을 두고 절연막패턴(47)이 형성되어 있으며, 상기 절연막패턴(47)상에는 접촉스페이서(49)와 테이퍼진 형태의 격벽 (51)이 서로 인접되게 형성되어 있다.The insulating layer pattern 47 is formed on the first electrode 45 at a predetermined interval, and the contact spacer 49 and the tapered partition wall 51 are adjacent to each other on the insulating layer pattern 47. It is.

또한, 상기 접촉스페이서(49)와 격벽(51)을 포함한 제1 전극(45)상에 유기발광층(53)과 제2 전극(55)이 적층되어 있다. 이때, 상기 제1전극(45)상에 형성된 유기발광층(53)과 제2전극(55) 부분은 유기발광다이오드(미도시)로 이용된다. In addition, the organic light emitting layer 53 and the second electrode 55 are stacked on the first electrode 45 including the contact spacer 49 and the partition wall 51. In this case, portions of the organic light emitting layer 53 and the second electrode 55 formed on the first electrode 45 are used as organic light emitting diodes (not shown).

이때, 상기 접촉스페이서(49)와 격벽(51)사이에 위치하는 절연막패턴(47) 표면에는 상기 유기발광층(51)과 제2전극(55)이 형성되지 않으므로써 서로 인접하는 서브픽셀들이 독립적으로 분리되게 된다. In this case, since the organic light emitting layer 51 and the second electrode 55 are not formed on the surface of the insulating layer pattern 47 positioned between the contact spacer 49 and the partition wall 51, adjacent subpixels are independently formed. Will be separated.

이는 상기 격벽(51)의 측면 형태가 테이퍼지게 형성되어 있어 폭이 넓은 격벽의 상부측에는 상기 유기발광층(51)과 제2전극(55)이 형성되지만, 폭이 좁은 하부측에 위치하는 절연막패턴(47)부분에는 상기 격벽(51)의 상부측에 의해 막 증착이 방해되어 막 형성이 어렵게 된다.The sidewalls of the barrier ribs 51 are tapered so that the organic light emitting layer 51 and the second electrode 55 are formed on the upper side of the wide barrier ribs, but the insulating layer pattern is disposed on the lower side of the barrier ribs 51. In the 47) portion, the deposition of the film is prevented by the upper side of the partition 51, which makes it difficult to form the film.

이렇게 제1기판(11)과 제2기판(41)상에 각각 TFT 어레이소자와 발광소자 어레이를 형성한 상태에서 상기 제2기판(41)의 접촉스페이서(49)와 제1기판(11)의 TFT 어레이소자의 드레이전극(23)과 물리적인 접촉이 이루어지도록 상기 제1기판(11) 상에 형성된 씰패턴(31)에 의해 접착하여 유기전계발광소자를 구성한다. Thus, in the state where the TFT array element and the light emitting element array are formed on the first substrate 11 and the second substrate 41, the contact spacer 49 and the first substrate 11 of the second substrate 41 are formed. An organic light emitting display device is formed by bonding the seal pattern 31 formed on the first substrate 11 to make physical contact with the drain electrode 23 of the TFT array device.

상기와 같이 구성되는 종래기술에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 의하면 다음과 같은 문제점이 있다.According to the organic light emitting device according to the prior art and the manufacturing method thereof according to the prior art configured as described above has the following problems.

종래의 경우, 도 4에 도시된 바와같이, 제1 기판(11)과 대향하는 제2 기판 (41)과 이들 기판을 합착하기 위해 사용되는 씰패턴(31)의 경계면을 통해 외부로부터 수분(61) 등이 침투하게 된다. 즉, 씰패턴을 구성하는 씰런트(sealant)는 상,하판을 접착시키고 외부로부터 수분과 가스가 투입되는 것을 차단하는 역할을 한다.In the conventional case, as illustrated in FIG. 4, moisture 61 is transferred from the outside through an interface between the second substrate 41 facing the first substrate 11 and the seal pattern 31 used to bond the substrates. ) Will penetrate. That is, a sealant constituting the seal pattern serves to bond the upper and lower plates and block water and gas from being injected from the outside.

그러나, 기존의 씰런트는 시간이 지남에 따라 접착능력과 투입차단 능력이 감소되며, 외부의 수분이나 가스가 내부로 투입되고, 이로 인하여 발광유기물질이 열화되며 내압도 증가하여 물리적 콘택이 어렵게 된다.However, the existing sealant has a decrease in adhesion and blocking ability, and the external moisture or gas is injected into the interior, which causes the light emitting organic material to deteriorate and the internal pressure increases, making physical contact difficult. .

따라서, 종래기술에 따른 유기전계발광소자는, 제1기판과 제2기판을 합착하기 위해 제1기판의 테두리부에 형성된 씰패턴이외에 별도의 다른 부재가 형성되어 있지 않기 때문에 씰패턴과 제2기판의 경계부를 통해 수분 등이 소자내로 침투하여 각 서브픽셀에 영향을 미칠 수 있어 소자 전체에 불량을 초래할 수 있다.Therefore, in the organic light emitting diode according to the related art, since the seal pattern and the second substrate are not formed in addition to the seal pattern formed on the edge portion of the first substrate for bonding the first substrate and the second substrate to each other. Moisture or the like penetrates into the device through the boundary of and may affect each subpixel, resulting in a defect in the entire device.

이에 본 발명은 상기 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 유기전계발광소자내부로의 외부 투습 방지력을 개선하고, 진공보존 능력을 개선시킬 수 있는 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention is to improve the external moisture permeation resistance into the organic light emitting device, and the organic light emitting device that can improve the vacuum storage capacity And to provide a method for producing the same.

또한, 본 발명의 다른 목적은 서로 합착되는 제1기판과 제2기판사이에 형성되는 씰패턴내측에 밀폐형 댐(dam) 구조를 구비하여 접촉 스페이서의 접촉 지지력을 향상시키므로써 유기전계발광 다이오드 및 구동TFT의 구동 신뢰성을 더욱 향상시킬 수 있는 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a sealed dam structure inside the seal pattern formed between the first substrate and the second substrate to be bonded to each other, thereby improving the contact support force of the contact spacers and driving the organic light emitting diode. The present invention provides an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which can further improve driving reliability of a TFT.

그리고, 본 발명의 또다른 목적은 복수개의 댐(dam) 구조를 사용할 수 있어 중복 차폐기능에 의해 제1기판과 제2기판의 씰(sealing) 효과를 향상시킬 수 있는 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention is to use a plurality of dam (dam) structure, the organic electroluminescent device which can improve the sealing effect of the first substrate and the second substrate by the redundant shielding function and its manufacture In providing a method.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자는, 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판; 상기 제1기판의 화소영역에 형성되고 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터; 상기 드레인전극과 연결된 연결배선; 상기 제2기판에 형성되고 상기 연결배선과 전기적으로 접속된 유기발광다이오드; 상기 제1기판과 제2기판사이에 형성된 씰패턴; 및 상기 씰패턴과 화소영역사이에 위치하고 상기 제1기판과 제2기판을 접촉시켜 주는 댐구조;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, an organic light emitting display device includes: a first substrate and a second substrate on which a plurality of pixel units are defined; A thin film transistor formed in the pixel region of the first substrate and composed of a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode; A connection wiring connected to the drain electrode; An organic light emitting diode formed on the second substrate and electrically connected to the connection wiring; A seal pattern formed between the first substrate and the second substrate; And a dam structure disposed between the seal pattern and the pixel region to contact the first substrate and the second substrate.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자는, 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판; 상기 제1기판의 화소영역에 형성되고 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터; 상기 박막트랜지스터상에 형성되고 상기 드레인전극을 노출시키는 콘택홀이 형성된 층간절연막; 상기 층간절연막상에 형성된 접촉스페이서; 상기 접촉스페이서 및 층간절연막상에 형성되고, 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 연결된 연결배선; 상기 제2기판에 형성된 제1전극과 유기발광층 및 제2전극으로 구성된 유기발광다이오드; 상기 제1기판과 제2기판사이에 형성된 씰패턴; 및 상기 씰패턴과 화소영역사이에 위치하는 상기 제1기판과 제2기판에 각각 형성된 지지패턴과 접촉패턴으로 구성된 댐구조;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, an organic light emitting display device includes: a first substrate and a second substrate on which a plurality of pixel units are defined; A thin film transistor formed in the pixel region of the first substrate and composed of a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode; An interlayer insulating film formed on the thin film transistor and having a contact hole exposing the drain electrode; A contact spacer formed on the interlayer insulating film; A connection wiring formed on the contact spacer and the interlayer insulating layer and connected to the drain electrode through the contact hole; An organic light emitting diode comprising a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode formed on the second substrate; A seal pattern formed between the first substrate and the second substrate; And a dam structure comprising a support pattern and a contact pattern formed on the first substrate and the second substrate, respectively, positioned between the seal pattern and the pixel region.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자 제조방법은, 서로 이격되게 배열되고 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판을 제공하는 단계; 상기 제1기판의 화소영역에 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터을 형성하는 단계; 상기 드레인전극과 접속되는 연결배선을 형성하는 단계; 상기 제2기판에 상기 연결배선과 접속되는 유기발광다이오드를 형성하는 단계; 상기 제1기판과 제2기판에 정의된 화소영역의 외곽부에 제1기판과 제2기판을 접촉시키는 댐구조를 형성하는 단계; 및 상기 제1기판과 제2기판의 외곽부에 씰패턴을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device, the method including: providing a first substrate and a second substrate, the plurality of pixel parts being arranged spaced apart from each other; Forming a thin film transistor including a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode in a pixel area of the first substrate; Forming a connection wiring connected to the drain electrode; Forming an organic light emitting diode connected to the connection wiring on the second substrate; Forming a dam structure in which a first substrate and a second substrate are in contact with an outer portion of the pixel area defined in the first substrate and the second substrate; And forming a seal pattern on the periphery of the first substrate and the second substrate.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자 제조방법은, 서로 이격되게 배열되고 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판을 제공하는 단계; 상기 제1기판의 화소영역에 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터상에 상기 드레인전극을 노출시키는 콘택홀을 구비한 층간절연막을 형성하는 단계; 상기 층간절연막상에 접촉스페이서를 형성하는 단계; 상기 접촉스페이서 및 층간절연막상에 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 연결되는 연결배선을 형성하는 단계; 상기 제2기판에 제1전극과 유기발광층 및 제2전극으로 구성된 유기발광다이오드를 형성하는 단계; 상기 제1기판과 제2기판의 화소영역의 외곽부에 지지패턴과 접촉패턴으로 구성된 댐구조를 형성하는 단계; 및 상기 제1기판과 제2기판의 외곽부에 씰패턴을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device, the method including: providing a first substrate and a second substrate, the plurality of pixel parts being arranged spaced apart from each other; Forming a thin film transistor including a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode in the pixel region of the first substrate; Forming an interlayer insulating film having a contact hole exposing the drain electrode on the thin film transistor; Forming a contact spacer on the interlayer insulating film; Forming a connection wiring on the contact spacer and the interlayer insulating layer to be connected to the drain electrode through the contact hole; Forming an organic light emitting diode comprising a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode on the second substrate; Forming a dam structure including a support pattern and a contact pattern at an outer portion of the pixel region of the first substrate and the second substrate; And forming a seal pattern on outer peripheries of the first substrate and the second substrate.

이하, 본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 대해 첨부된 도면 을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 하부기판상에 형성된 씰패턴과 씰패턴내부에 마련된 화소영역을 나타낸 평면도이다.5 is a plan view illustrating a seal pattern formed on a lower substrate of an active matrix type organic light emitting display device and a pixel region provided in a seal pattern according to an embodiment of the present invention.

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 확대 단면도로서, 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도이다.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5 and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도6의 "C"부의 확대단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to one embodiment of the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of the portion “C” of FIG. 6.

도 8은 도 6의 "D"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도이다.FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of the portion “D” of FIG. 6 and is a schematic view showing a case where moisture, gas, or the like penetrates into the seal pattern.

도 5, 도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 유기전계발광소자는 제1기판(101)과 제2 기판(141)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 상기 제1, 2 기판(101, 141)의 테두리부에 형성된 씰패턴(131)에 의해 봉지되어 있으며, 상기 씰패턴(131)내측에 위치하는 제1, 2 기판(101, 141)에는 밀폐된 형태의 댐(dam) 구조(160)가 형성되어 있다.5, 6, and 7, in an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, a first substrate 101 and a second substrate 141 are disposed to face each other, and the first, 2 is sealed by a seal pattern 131 formed at an edge portion of the substrates 101 and 141, and a dam having a sealed shape is formed in the first and second substrates 101 and 141 located inside the seal pattern 131. dam) structure 160 is formed.

여기서, 상기 제1 기판(101)의 상부에는 각 서브픽셀별로 어레이소자가 형성되어 있고, 상기 제2기판(141)의 하부에는 상기 제1기판(101)의 각 서브픽셀에 대응하여 유기전계발광 다이오드(미도시)가 형성되어 있다.Here, an array element is formed for each subpixel on the first substrate 101, and an organic light emitting diode is disposed under the second substrate 141 in correspondence with each subpixel of the first substrate 101. A diode (not shown) is formed.

상기 제1기판(101)상에 각 서브픽셀별로 형성된 어레이소자(T)는 게이트전극 (103)과 상기 게이트전극(103)상에 형성된 액티브층(107), 오믹콘택층 (109) 및 소 스/드레인전극(111, 113)으로 구성되어 있으며, 상기 드레인전극(113)은 연결배선 (117)에 의해 서브 픽셀별로 독립적으로 형성된 상기 유기전계발광 다이오드(미도시)와 전기적으로 연결되어 있다.The array element T formed on each of the sub-pixels on the first substrate 101 includes a gate electrode 103, an active layer 107, an ohmic contact layer 109, and a source formed on the gate electrode 103. And the drain electrodes 111 and 113, and the drain electrode 113 is electrically connected to the organic light emitting diode (not shown) independently formed for each sub pixel by the connection wiring 117.

또한, 상기 드레인전극(113)과 전기적으로 연결된 연결배선(117)상에는 상기 유기전계발광다이오드(미도시)와 접촉하는 접촉스페이서(119)가 형성되어 있다.In addition, a contact spacer 119 in contact with the organic light emitting diode (not shown) is formed on the connection wire 117 electrically connected to the drain electrode 113.

그리고, 상기 씰패턴(131)내측에 위치하는 제1기판(101)상에는 댐구조(160)를 구성하는 한쌍의 지지패턴(121a, 121b)이 형성되어 있다. 이때, 상기 접촉스페이서(119)는 각 서브픽셀에 위치하는 연결배선(119)이 대응되게 형성되어 있다.A pair of support patterns 121a and 121b constituting the dam structure 160 are formed on the first substrate 101 positioned inside the seal pattern 131. In this case, the contact spacers 119 are formed to correspond to the connection wirings 119 positioned in each subpixel.

또한, 상기 지지패턴(121a, 121b)은 일정간격만큼 이격되게 형성되어 있으며, 테이퍼진 형태로 구성되어 있다. 특히, 상기 지지패턴(121a, 121b)은 상부측 폭이 하부측 폭보다 좁게 형성되어 있다. 그리고, 상기 지지패턴(121a, 121b)은 제1 기판(101)의 외곽부를 따라 밀폐형 구조로 형성되어 있다.In addition, the support patterns 121a and 121b are formed to be spaced apart by a predetermined interval and have a tapered shape. In particular, the support patterns 121a and 121b have an upper width that is narrower than a lower width. The support patterns 121a and 121b are formed in a hermetic structure along the outer portion of the first substrate 101.

따라서, 상기 한쌍의 지지패턴(121a, 121b)이 이루는 공간부 (123)의 폭은 하부쪽으로 갈수록 좁게 형성되어 있다.Therefore, the width of the space portion 123 formed by the pair of support patterns 121a and 121b is narrower toward the lower side.

한편, 상기 제2기판(141)상에는 일정간격을 두고 보조전극(143)이 형성되어 있으며, 상기 보조전극(143)을 포함한 제2기판(141)에는 유기전계 발광다이오드(미도시)를 구성하는 공통전극으로 이용되는 제1전극(145)이 형성되어 있다.On the other hand, the auxiliary electrode 143 is formed on the second substrate 141 at a predetermined interval, and the second substrate 141 including the auxiliary electrode 143 forms an organic light emitting diode (not shown). The first electrode 145 used as the common electrode is formed.

그리고, 상기 제1 전극(145)상에는 일정간격을 두고 절연막패턴(147)이 형성되어 있으며, 상기 절연막패턴(147)상에는 테이퍼진 형태의 격벽(149)이 서로 인접되게 형성되어 있다. 이때, 상기 격벽(149)은 각 서브픽셀을 분리시키는 기능을 한 다.An insulating film pattern 147 is formed on the first electrode 145 at a predetermined interval, and a tapered partition wall 149 is formed adjacent to each other on the insulating film pattern 147. In this case, the partition 149 functions to separate each subpixel.

또한, 상기 제1기판(101)에 형성된 댐구조(160)를 구성하는 지지패턴(121a, 121b)사이의 공간부(123)와 대응되는 제2기판(141)의 위치에 접촉패턴(155)이 형성되어 있다. 이때, 상기 접촉패턴(155)은 상기 제2기판(141)의 외곽부를 따라 밀폐형 구조로 형성되어 있다.In addition, the contact pattern 155 at the position of the second substrate 141 corresponding to the space 123 between the support patterns 121a and 121b constituting the dam structure 160 formed on the first substrate 101. Is formed. In this case, the contact pattern 155 is formed in a hermetic structure along the outer portion of the second substrate 141.

그리고, 상기 격벽(149)을 포함한 절연막패턴(147) 및 제1 전극(145)상에는 유기발광층(151)과 제2 전극(153)이 적층되어 있다. The organic light emitting layer 151 and the second electrode 153 are stacked on the insulating layer pattern 147 including the partition wall 149 and the first electrode 145.

이때, 상기 제1전극(145)상에 형성된 유기발광층(151)과 제2전극(153) 부분은 유기발광다이오드(미도시)로 이용된다. In this case, portions of the organic light emitting layer 151 and the second electrode 153 formed on the first electrode 145 are used as organic light emitting diodes (not shown).

그리고, 상기 제1전극(145)을 포함한 절연막패턴(147)과 격벽(149) 각각에 형성되는 유기발광층(151)과 제2전극(153)은 서로 분리되므로써 격벽(149) 양측에 형성되는 서브픽셀 각각이 독립적으로 분리된다. In addition, the organic light emitting layer 151 and the second electrode 153 formed on each of the insulating layer pattern 147 including the first electrode 145 and the partition 149 are separated from each other, so that the subs are formed on both sides of the partition 149. Each pixel is separated independently.

이는 상기 격벽(149)의 측면 형태가 테이퍼지게 형성되어 있어 폭이 넓은 격벽(149)의 상부측에는 상기 유기발광층(151)과 제2전극(153)일부가 형성되지만, 폭이 좁은 하부측 측면부와 그 아래에 위치하는 절연막패턴(147)부분에는 상기 격벽 (149)의 상부측에 의해 막 증착이 방해되어 막 형성이 어렵게 되기 때문이다.The sidewalls of the barrier ribs 149 are tapered, so that the organic light emitting layer 151 and the second electrode 153 are formed on the upper side of the wide barrier ribs 149, but the lower side surface portions of the barrier ribs 149 are narrow. This is because the deposition of the film is prevented in the portion of the insulating film pattern 147 positioned below the barrier rib 149, which makes it difficult to form the film.

이렇게 제1기판(101)과 제2기판(141)상에 각각 TFT 어레이소자와 발광소자 어레이를 형성한 상태에서 상기 제1기판(101)의 지지패턴(121a, 121b)사이의 공간부(123)내에 상기 제2기판(141)의 접촉패턴(155)이 끼워져 물리적인 접촉이 이루어지면서 상기 제1기판(101)상에 형성된 씰패턴(131)에 의해 제1기판(101)과 제2 기 판(141)이 접착되어져 유기전계발광소자를 구성한다. Thus, the space portion 123 between the support patterns 121a and 121b of the first substrate 101 with the TFT array element and the light emitting element array formed on the first substrate 101 and the second substrate 141, respectively. Contact pattern 155 of the second substrate 141 is inserted into the first substrate 101 and the second substrate by the seal pattern 131 formed on the first substrate 101 while making physical contact. The plate 141 is bonded to form an organic light emitting display device.

따라서, 도 8에 도시된 바와같이, 제1 기판(101)과 대향하는 제2 기판(141)과 이들 기판을 합착하기 위해 사용되는 씰패턴(131)의 경계면을 통해 외부로부터 수분(161) 등이 침투하게 된다. Therefore, as shown in FIG. 8, the water 161 or the like is externally connected through the interface between the second substrate 141 facing the first substrate 101 and the seal pattern 131 used to bond the substrates. This will penetrate.

하지만, 상기 씰패턴(131)내측에 위치하는 댐구조(160), 즉 제1기판(101)에 형성된 한쌍의 지지패턴(121a, 121b)과 제2기판(141)에 형성된 접촉패턴(155)의 합착에 의해 상기 외부로부터 침투된 수분(161)이나 가스 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되지 않게 된다. However, the dam structure 160 positioned inside the seal pattern 131, that is, the pair of support patterns 121a and 121b formed on the first substrate 101 and the contact pattern 155 formed on the second substrate 141. Moisture (161), gas or the like penetrated from the outside by the adhesion of the will no longer penetrate into the organic light emitting device.

이러한 구성으로 이루어지는 본 발명의 일실시예에 따른 유기전계발광소자의 박막트랜지스터 어레이부의 형성공정에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, a process of forming a thin film transistor array unit of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention having such a configuration will be described below.

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 확대 단면도로서, 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도이다.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5 and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도6의 "C"부의 확대단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of part “C” of FIG. 6.

도 8은 도 6의 "D"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도이다.FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of the portion “D” of FIG. 6 and is a schematic view showing a case where moisture, gas, or the like penetrates into the seal pattern.

도 6 및 도 7을 참조하면, 발광영역과 구동영역과 스토리지영역이 정의된 제1기판(101)의 전면에 금속물질을 증착한후 이를 선택적으로 패터닝하여 게이트전극 (103)을 형성한다.6 and 7, a metal material is deposited on the entire surface of the first substrate 101 on which the light emitting area, the driving area, and the storage area are defined, and then selectively patterned to form the gate electrode 103.

이때, 상기 금속물질로는 알루미늄과 알루미늄 합금과 구리와 텅스텐과 탄탈륨과 몰리브덴을 포함한 도전성 금속그룹중 선택된 하나를 사용한다. In this case, the metal material may be selected from a group of conductive metals including aluminum, aluminum alloys, copper, tungsten, tantalum, and molybdenum.

그다음, 상기 게이트전극(103)을 포함한 제1기판(101)상에 질화실리콘(SiNx)과 산화실리콘(SiO2)을 포함하는 무기 절연물질 그룹중 선택된 하나로 게이트절연막 (105)을 형성한다.Next, the gate insulating layer 105 is formed on the first substrate 101 including the gate electrode 103 by using one of a group of inorganic insulating materials including silicon nitride (SiNx) and silicon oxide (SiO 2 ).

이어서, 상기 게이트절연막(105)의 상부에 비정질 실리콘(a-Si:H)을 증착한후 탈수소화 과정과 열을 이용한 결정화 공정을 진행하여 다결정실리콘층을 형성하고 이를 패터닝하여 상기 구동영역과 스토리지 영역에 액티브층(107)을 형성한다. Subsequently, after depositing amorphous silicon (a-Si: H) on the gate insulating layer 105, a dehydrogenation process and a crystallization process using heat are performed to form a polysilicon layer and pattern the polysilicon layer. The active layer 107 is formed in the area.

또한, 상기 액티브층상에 불순물이 도핑된 비정질실리콘층을 형성하여 박막트랜지스터의 오믹콘택층(ohmic contact)(109)으로 사용한다. 이 경우, 상기 도핑된 비정질실리콘층은 이후 공정에서 증착되는 금속물질층 패터닝시에 선택적으로 제거되어져 액티브층의 채널영역을 노출시키게 된다.In addition, an amorphous silicon layer doped with an impurity is formed on the active layer and used as an ohmic contact layer 109 of the thin film transistor. In this case, the doped amorphous silicon layer is selectively removed during patterning of the metal material layer deposited in a subsequent process to expose the channel region of the active layer.

그다음, 상기 오믹콘택층(109), 액티브층(107)을 포함한 제1기판(101) 전면에 금속물질을 증착한후 이를 선택적으로 패터닝하여 소스/드레인전극(111, 113)을 형성한다.Next, a metal material is deposited on the entire surface of the first substrate 101 including the ohmic contact layer 109 and the active layer 107, and then selectively patterned to form source / drain electrodes 111 and 113.

이때, 상기 금속물질로는 크롬, 몰리브덴, 탄탈륨, 텅스텐 등을 포함하는 도전성 금속그룹중 선택된 하나를 사용한다. In this case, one selected from the group of conductive metals including chromium, molybdenum, tantalum, tungsten, etc. may be used as the metal material.

이어서, 상기 소스/드레인전극(111, 113)을 포함한 제1 기판(101) 전면에 질화실리콘 (SiNx)과 산화실리콘(SiO2)을 포함하는 무기 절연물질 또는 유기절연물질 으로 구성된 층간절연막(115)을 증착한다.Subsequently, an interlayer insulating film 115 including an inorganic insulating material or an organic insulating material including silicon nitride (SiNx) and silicon oxide (SiO 2 ) over the first substrate 101 including the source / drain electrodes 111 and 113. E).

그다음, 상기 층간절연막(115)상에 감광성 수지를 도포한후 포토리소그라피 공정기술을 이용한 노광 및 현상공정을 진행하여 상기 감광성 수지층을 선택적으로 제거하여 마스크패턴(미도시)을 형성한다.Next, after the photosensitive resin is coated on the interlayer insulating film 115, the photosensitive resin layer is subjected to an exposure and development process using a photolithography process technology to selectively remove the photosensitive resin layer to form a mask pattern (not shown).

이어서, 상기 마스크패턴(미도시)을 차단막을 하여 상기 층간절연막(115)을 선택적으로 제거하므로써 상기 상기 드레인전극(113) 일부를 노출시키는 드레인콘택홀(미도시)을 형성한다.Next, a drain contact hole (not shown) exposing a portion of the drain electrode 113 is formed by selectively removing the interlayer insulating layer 115 by blocking the mask pattern (not shown).

그다음, 상기 마스크패턴(미도시)을 제거한후 상기 층간절연막(115) 전면에 네거티브(negative)성 감광성수지층(미도시)을 도포한다. 이때, 상기 감광성 수지층은 네거티브성 감광성 수지를 사용하는데, 상기 네거티브(negative) 감광성 수지 대신에 필요에 따라 포지티브(positive) 감광성 수지를 사용할 수도 있다.Next, after removing the mask pattern (not shown), a negative photosensitive resin layer (not shown) is coated on the entire surface of the interlayer insulating film 115. In this case, the photosensitive resin layer uses a negative photosensitive resin, and instead of the negative photosensitive resin, a positive photosensitive resin may be used as necessary.

이어서, 포토리소그라피공정기술을 이용한 노광 및 현상공정에 의해 상기 네거티브성 감광성 수지층(미도시)을 선택적으로 제거하여 감광성 수지층패턴(117)을 형성한다. Subsequently, the negative photosensitive resin layer (not shown) is selectively removed by an exposure and development process using a photolithography process technology to form the photosensitive resin layer pattern 117.

이때, 상기 감광성 수지층패턴(117)은 서브픽셀별로 적어도 하나가 구비되며, 접촉스페이서로 사용된다. 또한, 상기 감광성수지층패턴(117)은 네거티브(negative) 특성, 즉 자외선 광이 조사되었을때 광이 조사된 부분은 남게 되고 광이 조사되지 않은 부분은 제거되는 특성을 갖는다. In this case, at least one photosensitive resin layer pattern 117 is provided for each subpixel and used as a contact spacer. In addition, the photosensitive resin layer pattern 117 has a negative characteristic, that is, when the ultraviolet light is irradiated, the portion to which the light is irradiated remains and the portion to which the light is not irradiated is removed.

그리고, 상기 감광성수지층패턴, 즉 접촉스페이서(117) 형성시에 상기 제1기판(101)의 테두리부, 즉 화소영역을 제외한 지역에도 댐구조(160)를 구성하는 한쌍 의 지지패턴(121a, 121b)도 함께 형성된다. 이때, 상기 지지패턴(121a, 121b)은 제1기판(101)의 화소영역의 외곽부에 밀폐형 구조로 이루어져 있으며, 이들 지지패턴(121a, 121b)사이에는 후술할 예정인 제2기판(241)에 형성되는 접촉패턴(155)이 끼워질 수 있도록 공간부(123)가 마련되어 있다. 이때, 상기 공간부(123)는 하부측으로 갈수록 폭이 좁게 형성되어 있다.In addition, when the photosensitive resin layer pattern, that is, the contact spacer 117 is formed, a pair of support patterns 121a which form the dam structure 160 in the edge portion of the first substrate 101, that is, the region except the pixel region, is formed. 121b) is also formed. In this case, the support patterns 121a and 121b have a sealed structure at the outer periphery of the pixel region of the first substrate 101, and the support patterns 121a and 121b are formed on the second substrate 241 which will be described later. The space part 123 is provided so that the contact pattern 155 formed may be fitted. At this time, the space portion 123 is formed narrower toward the lower side.

그다음, 상기 접촉스페이서(117)를 포함한 층간절연막(115) 전면에 도전성 금속을 증착하여 이를 선택적으로 제거하여 상기 드레인전극과 접촉하면서 화소부에 연결되는 연결배선(119)을 형성한다. 이때, 상기 도전성 금속물질로는 크롬, 몰리브덴, 탄탈륨, 텅스텐 등을 포함하는 도전성 금속그룹중 선택된 하나를 사용한다. Next, a conductive metal is deposited on the entire surface of the interlayer insulating layer 115 including the contact spacer 117 and selectively removed to form a connection wiring 119 connected to the pixel portion while being in contact with the drain electrode. In this case, one selected from the group of conductive metals including chromium, molybdenum, tantalum, tungsten, etc. may be used as the conductive metal material.

이렇게 하여, 제1기판(101)상에 박막트랜지스터의 어레이소자부와 함께 상기 제1기판(101)의 테두리부, 즉 화소영역을 제외한 지역에 댐(dam) 구조(160)를 형성하는 공정을 완료한다.In this way, a process of forming a dam structure 160 on the first substrate 101 together with the array element portion of the thin film transistor in the edge portion of the first substrate 101, that is, the region excluding the pixel region, is performed. To complete.

한편, 본 발명에 따른 박막트랜지스터의 어레이소자부가 형성된 제1기판과 합착되는 제2 기판에 형성되는 유기발광부의 형성공정에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, a process of forming the organic light emitting part formed on the second substrate bonded to the first substrate on which the array element part of the thin film transistor according to the present invention will be described will be described below.

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 확대 단면도로서, 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도이다.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5 and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도6의 "C"부의 확대단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of part “C” of FIG. 6.

도 8은 도 6의 "D"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도이다.FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of the portion “D” of FIG. 6 and is a schematic view showing a case where moisture, gas, or the like penetrates into the seal pattern.

도 6 및 도 7을 참조하면, 투명한 제2기판(141)상에 저 저항 금속을 증착하고, 이를 패터닝하여 앞서 설명한 보조전극(143)을 형성한다.6 and 7, a low resistance metal is deposited on the transparent second substrate 141 and patterned to form the auxiliary electrode 143 described above.

이때, 상기 보조전극(143)은, 이후 형성되는 제1전극(145)의 저항보다 낮은 금속이면 모두 가능하며, 예를들어 제1 전극(미도시)을 형성하는 물질이 ITO(indium tin oxide)라면, 보조전극(143)으로는 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd) 등을 사용할 수 있다.In this case, the auxiliary electrode 143 may be any metal that is lower than the resistance of the first electrode 145 to be formed later. For example, the material forming the first electrode (not shown) may be indium tin oxide (ITO). If the auxiliary electrode 143, chromium (Cr), molybdenum (Mo), aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd) and the like can be used.

또한, 상기 보조전극(143)은 통상적으로 불투명한 금속을 사용하게 되므로 표시영역으로 사용되지 않는 영역에 대응하여 형성하는 것이 바람직하다.In addition, since the auxiliary electrode 143 typically uses an opaque metal, it is preferable to form the auxiliary electrode 143 corresponding to an area not used as a display area.

그다음, 상기 보조전극(143)이 형성된 제2 기판(141) 전면에 투명물질을 증착하여 제1 전극(145)을 형성한다.Next, a transparent material is deposited on the entire surface of the second substrate 141 on which the auxiliary electrode 143 is formed to form the first electrode 145.

이때, 상기 제1 전극(145)은 후속공정에서 형성되는 유기발광층(151)에 홀(hole)을 주입하는 홀 주입전극으로서, 주로 투명하며 일함수(work function)가 높은 인듐-틴-옥사이드 (ITO; indium tin oxide)를 증착하여 형성한다.In this case, the first electrode 145 is a hole injection electrode for injecting holes into the organic light emitting layer 151 formed in a subsequent process. The first electrode 145 is mainly transparent and has a high work function. It is formed by depositing indium tin oxide (ITO).

이어서, 상기 제1 전극(145)의 상부에 유기절연물질 또는 무기절연물질을 이용하여 절연막(미도시)을 형성한다.Subsequently, an insulating film (not shown) is formed on the first electrode 145 by using an organic insulating material or an inorganic insulating material.

그다음, 상기 절연막(미도시)을 선택적으로 패터닝하여 일정간격을 두고 이격된 절연막패턴(147)을 형성한다.Next, the insulating film (not shown) is selectively patterned to form an insulating film pattern 147 spaced apart from each other at a predetermined interval.

이어서, 상기 절연막패턴(147)을 포함한 제2기판(141) 전면에 감광성 수지층 (미도시)을 형성한후 이를 선택적으로 패터닝하여 상기 절연막패턴(147)상부에 격벽(149)을 형성하고, 상기 제2 기판(141)의 테두리부, 즉 화소영역을 제외한 지역에 상기 제1 기판(101)에 형성된 한쌍의 지지패턴(121a, 121b)과 접촉하는 접촉패턴(151)을 형성한다.Subsequently, after the photosensitive resin layer (not shown) is formed on the entire surface of the second substrate 141 including the insulating layer pattern 147, the barrier layer 149 is formed on the insulating layer pattern 147 by selectively patterning the photosensitive resin layer. A contact pattern 151 is formed in contact with the pair of support patterns 121a and 121b formed on the first substrate 101 at the edge portion of the second substrate 141, that is, in an area excluding the pixel area.

이때, 상기 접촉패턴(155)은 제2 기판(141)의 외곽부에 밀폐형 구조로 이루어져 있으며, 상기 격벽(149) 형성시에 함께 형성되거나 이후에 형성할 수도 있다. In this case, the contact pattern 155 may be formed in an airtight structure at an outer portion of the second substrate 141 and may be formed together or later formed when the partition wall 149 is formed.

또한, 상기 접촉패턴(155)은 제1 기판(101)상에 형성된 한 쌍의 지지패턴 (121a, 121b)과 함께 댐구조(160)을 구성한다.In addition, the contact pattern 155 forms a dam structure 160 together with a pair of support patterns 121a and 121b formed on the first substrate 101.

그리고, 상기 격벽(149)과 접촉패턴(155)을 구성하는 감광성 수지층은 네거티브(negative) 특성, 즉 자외선 광이 조사되었을때 광이 조사된 부분은 남게 되고 광이 조사되지 않은 부분은 제거되는 성질을 갖는다. The photosensitive resin layer constituting the barrier rib 149 and the contact pattern 155 has a negative characteristic, that is, when the ultraviolet light is irradiated, the portion where the light is irradiated remains and the portion where the light is not irradiated is removed. Has the nature.

그다음, 상기 격벽(149)을 포함한 제2기판(141) 전면에 각 화소영역에 대응하여 위치하고, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 빛을 발광하는 유기발광층(151)을 형성한다. Next, an organic light emitting layer 151 is disposed on the entire surface of the second substrate 141 including the partition 149 and corresponds to each pixel area, and emits red (R), green (G), and blue (B) light. Form.

이때, 상기 유기발광층(151)은 단층 또는 다층으로 구성할 수 있으며, 상기 유기막의 다층으로 구성될 경우에는, 도면에 도시하지 않았지만, 주발광층(미도시)에 홀수송층(hole transporting layer)(미도시)과 전자수송층(electron transporting layer)(미도시)으로 구성된다.In this case, the organic light emitting layer 151 may be configured as a single layer or a multi-layer, in the case of a multi-layer of the organic film, although not shown in the figure, a hole transporting layer (hole transporting layer) (not shown) in the main light emitting layer (not shown) C) and an electron transporting layer (not shown).

이어서, 상기 유기발광층(151)을 포함한 상기 제1 전극(145)과 제2 기판(141) 전면에 금속물질을 증착하고 이를 패터닝하여 각 화소영역에 대응하여 독립적으로 위치하는 제2 전극(153)을 형성한다.Subsequently, a metal material is deposited on the entire surface of the first electrode 145 and the second substrate 141 including the organic light emitting layer 151 and patterned, thereby independently positioning the second electrode 153 corresponding to each pixel area. To form.

이때, 상기 제2 전극(153)을 형성하는 금속물질로는 알루미늄(Al)과 칼슘(Ca)과 마그네슘(Mg)중에서 선택된 어느 하나로 형성하거나 리튬플루오린/알루미늄(LIF/Al)의 이중 금속층으로 형성할 수 있다.In this case, the metal material forming the second electrode 153 may be formed of any one selected from aluminum (Al), calcium (Ca), and magnesium (Mg) or a double metal layer of lithium fluorine / aluminum (LIF / Al). Can be formed.

또한, 상기 제1전극(145)을 포함한 절연막패턴(147)과 격벽(149) 각각에 형성되는 유기발광층(151)과 제2전극(153)은 서로 분리되므로써 격벽(149) 양측에 형성되는 서브픽셀 각각이 독립적으로 분리된다. In addition, the organic light emitting layer 151 and the second electrode 153 formed on each of the insulating layer pattern 147 including the first electrode 145 and the partition 149 are separated from each other, so that the subs are formed on both sides of the partition 149. Each pixel is separated independently.

이는 상기 격벽(149)의 측면 형태가 테이퍼지게 형성되어 있어 폭이 넓은 격벽(149)의 상부측에는 상기 유기발광층(151)과 제2전극(153)일부가 형성되지만 폭이 좁은 하부측 측면부와 그 아래에 위치하는 절연막패턴(147)부분에는 상기 격벽 (149)의 상부측에 의해 막 증착이 방해되어 막 형성이 어렵게 되기 때문이다.The sidewalls of the barrier ribs 149 are tapered, so that the organic light emitting layer 151 and the second electrode 153 are formed on the upper side of the wide barrier ribs 149, but the lower side surface portions thereof are narrow. This is because film deposition is prevented in the portion of the insulating film pattern 147 disposed below by the upper side of the barrier rib 149, which makes it difficult to form the film.

이렇게 제1기판(101)과 제2기판(141)상에 각각 TFT 어레이소자와 발광소자 어레이를 형성한 상태에서 상기 제1기판(101)의 지지패턴(121a, 121b)사이의 공간부(123)내에 상기 제2기판(141)의 접촉패턴(155)이 끼워져 물리적인 접촉이 이루어지면서 상기 제1기판(101)상에 형성된 씰패턴(131)에 의해 제1기판(101)과 제2 기판(141)이 접착되어져 유기전계발광소자를 구성하게 된다. Thus, the space portion 123 between the support patterns 121a and 121b of the first substrate 101 with the TFT array element and the light emitting element array formed on the first substrate 101 and the second substrate 141, respectively. The first substrate 101 and the second substrate by the seal pattern 131 formed on the first substrate 101 while the contact pattern 155 of the second substrate 141 is inserted into the physical substrate. 141 is bonded to form an organic light emitting display device.

따라서, 도 8에 도시된 바와같이, 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 외부로 부터의 수분 등이 유기전계발광소자내부로 침투되더라도 서로 상하로 접촉되어진 상기 한쌍의 지지패턴 (121a, 121b)과 접촉패턴(155)으로 구성된 댐구조(160)에 의해 수분(161) 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되는 것이 차단되므로 소 자의 불량을 억제할 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 8, even if moisture or the like from outside of the organic light emitting diode according to the present invention penetrates into the organic light emitting diode, the pair of support patterns 121a and 121b which are in contact with each other up and down. The dam structure 160 composed of the contact pattern 155 prevents water 161 or the like from penetrating into the organic light emitting device any more, thereby suppressing the defect of the element.

한편, 본 발명의 다른 실시예로서, 댐구조를 구성하는 지지패턴이 상판에 형성된 유기전계발광소자 구조에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.On the other hand, as another embodiment of the present invention, the organic electroluminescent device structure in which the support pattern constituting the dam structure is formed on the upper plate with reference to the accompanying drawings as follows.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도이다.9 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도9의 "E"부의 확대 단면도이다.FIG. 10 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of part “E” of FIG. 9.

도 11은 도 9의 "F"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분 또는 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도이다.FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of a portion “F” of FIG. 9 and is a schematic view showing a case in which moisture, gas or the like penetrates into the seal pattern.

본 발명의 다른 실시예는, 앞서 설명한 본 발명의 일실시예와 댐구조의 구성은 동일하지만 댐구조를 구성하는 요소들의 형성 위치가 변경된 경우로서, 이에 대해 아래에서 구체적으로 설명하고자 한다. Another embodiment of the present invention is a case where the configuration of the dam structure is the same as the embodiment of the present invention described above, but the formation position of the elements constituting the dam structure is changed, which will be described in detail below.

도 9, 도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광소자는 제1기판(201)과 제2 기판(241)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 상기 제1, 2 기판(201, 241)의 테두리부에 형성된 씰패턴(231)에 의해 봉지되어 있으며, 상기 씰패턴(231)내측에 위치하는 제1, 2 기판(201, 241)에는 밀폐된 형태의 댐(dam) 구조(260)가 형성되어 있다.9, 10, and 11, in an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention, a first substrate 201 and a second substrate 241 are disposed to face each other, and the first, The first and second substrates 201 and 241 are sealed by the seal patterns 231 formed at the edges of the second substrates 201 and 241, and the dams are sealed in the first and second substrates 201 and 241 located inside the seal patterns 231. dam) structure 260 is formed.

여기서, 상기 제1 기판(201)의 상부에는 각 서브픽셀별로 어레이소자가 형성되어 있고, 상기 제2기판(241)의 하부에는 상기 제1기판(201)의 각 서브픽셀에 대 응하여 유기전계발광 다이오드(미도시)가 형성되어 있다.Here, an array element is formed for each subpixel on an upper portion of the first substrate 201, and an organic light emitting display is disposed below the second substrate 241 in response to each subpixel of the first substrate 201. A diode (not shown) is formed.

상기 제1기판(201)상에 각 서브픽셀별로 형성된 어레이소자(T)는 게이트전극 (203)과 상기 게이트전극(203)상에 형성된 액티브층(207), 오믹콘택층(209) 및 소스/드레인전극(211, 213)으로 구성되어 있으며, 상기 드레인전극(213)은 연결배선 (217)에 의해 서브 픽셀별로 독립적으로 형성된 상기 유기전계발광 다이오드(미도시)와 전기적으로 연결되어 있다.An array element T formed on each of the sub-pixels on the first substrate 201 includes a gate electrode 203, an active layer 207, an ohmic contact layer 209, and a source / source formed on the gate electrode 203. The drain electrodes 213 and 213 are electrically connected to the organic light emitting diodes (not shown) formed independently of each subpixel by the connection wiring 217.

또한, 상기 씰패턴(231)내측에 위치하는 제1기판(201)상에는 댐구조(260)를 구성하는 접촉패턴(221)이 형성되어 있다. In addition, a contact pattern 221 constituting the dam structure 260 is formed on the first substrate 201 located inside the seal pattern 231.

그리고, 상기 접촉패턴(221)은 씰패턴(231)내측에 형성되어 있으며, 테이퍼진 형태로 구성되어 있다. 특히, 상기 접촉패턴(221)은 상부측 폭이 하부측 폭보다 좁게 형성되어 있으며, 제1 기판(201)의 외곽부를 따라 밀폐형 구조로 형성되어 있다.The contact pattern 221 is formed inside the seal pattern 231 and has a tapered shape. In particular, the contact pattern 221 has an upper width smaller than the lower width, and is formed in a hermetic structure along the outer portion of the first substrate 201.

한편, 상기 제2기판(241)상에는 일정간격을 두고 보조전극(243)이 형성되어 있으며, 상기 보조전극(243)을 포함한 제2기판(241)에는 유기전계 발광다이오드(미도시)를 구성하는 공통전극으로 이용되는 제1전극(245)이 형성되어 있다.Meanwhile, an auxiliary electrode 243 is formed on the second substrate 241 at a predetermined interval, and an organic light emitting diode (not shown) is formed on the second substrate 241 including the auxiliary electrode 243. The first electrode 245 used as the common electrode is formed.

그리고, 상기 제2 전극(245)상에는 일정간격을 두고 절연막패턴(247)이 형성되어 있으며, 상기 절연막패턴(247)상에는 접촉스페이서(249)와 테이퍼진 형태의 격벽(251)이 서로 인접되게 형성되어 있다. 이때, 상기 격벽(251)은 각 서브픽셀을 분리하는 기능을 한다.The insulating layer pattern 247 is formed on the second electrode 245 at a predetermined interval, and the contact spacer 249 and the tapered partition wall 251 are formed adjacent to each other on the insulating layer pattern 247. It is. In this case, the partition 251 functions to separate each subpixel.

또한, 상기 제2기판(241)의 외곽부에는 상기 제1 기판(201)에 형성된 접촉패 턴(221)과 접촉되는 한쌍의 지지패턴(257a, 257b)이 형성되어 있으며, 이 한쌍의 지지패턴(257a, 257b)사이에는 상기 접촉패턴(221)이 끼워질 수 있도록 공간부 (259)가 마련되어져 있다. 이때, 상기 공간부(259)는 하부쪽으로 갈수로 폭이 좁게 형성되어 있다.In addition, a pair of support patterns 257a and 257b are formed on the outer portion of the second substrate 241 to contact the contact pattern 221 formed on the first substrate 201. A space portion 259 is provided between 257a and 257b so that the contact pattern 221 can be fitted. At this time, the space portion 259 is formed in a narrow width toward the lower side.

또한, 상기 지지패턴(257a, 257b)은 상기 제2기판(241)의 외곽부를 따라 밀폐형 구조로 형성되어 있다.In addition, the support patterns 257a and 257b are formed in a hermetic structure along the outer portion of the second substrate 241.

그리고, 상기 격벽(251)과 접촉스페이서(249)를 포함한 절연막패턴(247), 제1 전극(245)상에는 유기발광층(253)과 제2 전극(255)이 적층되어 있다. The organic light emitting layer 253 and the second electrode 255 are stacked on the insulating layer pattern 247 including the barrier rib 251 and the contact spacer 249 and the first electrode 245.

이때, 상기 제1전극(245)상에 형성된 유기발광층(253)과 제2전극(255) 부분은 유기발광다이오드(미도시)로 사용된다. In this case, portions of the organic light emitting layer 253 and the second electrode 255 formed on the first electrode 245 are used as organic light emitting diodes (not shown).

그리고, 상기 제1전극(245)을 포함한 절연막패턴(247)과 격벽(251) 각각에 형성되는 유기발광층(153)과 제2전극(155)부분은 서로 분리되므로써 격벽(251) 양측에 형성되는 서브픽셀 각각이 독립적으로 분할된다. In addition, the organic light emitting layer 153 and the second electrode 155 formed on each of the insulating layer pattern 247 including the first electrode 245 and the partition 251 are separated from each other and are formed on both sides of the partition 251. Each subpixel is divided independently.

이는 상기 격벽(251)의 측면 형태가 테이퍼지게 형성되어 있어 폭이 넓은 격벽(251)의 상부측에는 상기 유기발광층(253)과 제2전극(255)일부가 형성되지만, 폭이 좁은 하부측 측면부와 그 아래에 위치하는 절연막패턴(247)부분에는 상기 격벽(251)의 상부측에 의해 막 증착이 차단되어 막 형성이 어렵게 되기 때문이다.The sidewalls of the barrier ribs 251 are tapered, so that the organic light emitting layer 253 and the second electrode 255 are formed on the upper side of the wide barrier ribs 251, but the lower side surface portions of the barrier ribs 251 are narrow. This is because the deposition of the film is blocked by the upper side of the barrier rib 251 in the portion of the insulating film pattern 247 positioned below it, making it difficult to form the film.

이렇게 제1기판(201)과 제2기판(241)상에 각각 TFT 어레이소자와 발광소자 어레이를 형성한 상태에서 상기 제2기판(241)의 지지패턴(257a, 257b)사이의 공간부(259)내에 상기 제1기판(201)의 접촉패턴(221)이 끼워져 물리적인 접촉이 이루어 지면서 상기 제1기판(201)상에 형성된 씰패턴(231)에 의해 제1기판(201)과 제2 기판(241)이 접착되어져 유기전계발광소자를 구성한다. Thus, the space portion 259 between the support patterns 257a and 257b of the second substrate 241 in a state where TFT array elements and light emitting element arrays are formed on the first substrate 201 and the second substrate 241, respectively. The first substrate 201 and the second substrate by the seal pattern 231 formed on the first substrate 201 while the contact pattern 221 of the first substrate 201 is inserted into the physical substrate. 241 is bonded to form an organic light emitting display device.

따라서, 도 11에 도시된 바와같이, 제1 기판(201)과 대향하는 제2 기판(241)과 이들 기판을 합착하기 위해 사용되는 씰패턴(231)의 경계면을 통해 외부로부터 수분(261) 등이 침투하게 된다. Therefore, as illustrated in FIG. 11, moisture 261 or the like is externally connected through the boundary surface of the second substrate 241 facing the first substrate 201 and the seal pattern 231 used to bond the substrates. This will penetrate.

하지만, 상기 씰패턴(231)내측에 위치하는 댐구조(260), 즉 제1기판(201)에 형성된 접촉패턴(221)과 제2기판(241)에 형성된 한쌍의 지지패턴(257a, 257b)의 접촉에 의해 상기 외부로부터 침투된 수분(261)이나 가스 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되지 않게 된다. However, the dam structure 260 located inside the seal pattern 231, that is, the contact pattern 221 formed on the first substrate 201 and the pair of support patterns 257a and 257b formed on the second substrate 241, respectively. Moisture 261, gas, or the like, penetrated from the outside by the contact of, no longer penetrates into the organic light emitting device.

또한편, 본 발명에 따른 또다른 실시예로서, 씰패턴내측에 구비되는 댐구조의 여러 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.In addition, as another embodiment according to the present invention, with reference to the accompanying drawings for the various embodiments of the dam structure provided inside the seal pattern in detail as follows.

도 12a 및 도 12b는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 씰패턴과 댐(dam) 구조를 도시한 단면도로서, 도 12a 및 도 12b는 상판에 댐구조를 구성하는 지지패턴이 형성된 경우를 나타낸 단면도이다.12A and 12B are cross-sectional views illustrating a seal pattern and a dam structure of an active matrix type organic light emitting display device according to still another embodiment, and FIGS. 12A and 12B illustrate a dam structure on a top plate. It is sectional drawing which shows the case where the support pattern is formed.

도 13a 및 도 13b는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 씰패턴과 댐(dam) 구조를 도시한 단면도로서, 도 13a 및 도 13b는 하판에 댐구조를 구성하는 지지패턴이 형성된 경우를 나타낸 단면도이다.13A and 13B are cross-sectional views illustrating a seal pattern and a dam structure of an active matrix organic light emitting display device according to still another embodiment, and FIGS. 13A and 13B illustrate a dam structure on a lower plate. It is sectional drawing which shows the case where the support pattern is formed.

도 12a를 참조하면, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 유기전계발광소자는, 제1 기판(301)과 제2 기판(341)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 상기 제1, 2 기판(301, 341)의 테두리부에 형성된 씰패턴(331)에 의해 봉지되어 있으며, 상기 씰 패턴(331)내측에 위치하는 제1, 2 기판(301, 341)에는 밀폐된 형태의 댐(dam) 구조(360a)가 형성되어 있다.Referring to FIG. 12A, in an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment, a first substrate 301 and a second substrate 341 are disposed to face each other, and the first and second substrates 301 are disposed. And a dam structure having a sealed shape on the first and second substrates 301 and 341 located inside the seal pattern 331. 360a) is formed.

여기서, 상기 댐구조(360a)은 상기 제1 기판(301)에 형성된 접촉패턴(321a)과, 상기 제2 기판(341)에 형성되고 상기 접촉패턴(321a) 일부와 접촉되는 지지패턴(357a)으로 구성된다. 이때, 상기 접촉패턴(321a)와 지지패턴(357a)은 서로 대향되는 측면부 또는 상면이 서로 접촉된다.The dam structure 360a may include a contact pattern 321a formed on the first substrate 301 and a support pattern 357a formed on the second substrate 341 and in contact with a portion of the contact pattern 321a. It consists of. At this time, the contact portion 321a and the support pattern 357a are in contact with each other, the side portion or the upper surface.

한편, 본 발명의 또다른 실시예로서, 도 12b는 도 12a와 동일한 댐구조(360b), 즉 접촉패턴(321b)과 접촉패턴(357b)으로 구성되어 있으며, 단지 상기 제1 기판(301)에 형성된 접촉패턴(321b)이, 상기 제2 기판(341)에 형성되고 상기 접촉패턴(321b)과 씰패턴(331)사이에 위치하여 상기 접촉패턴(321b) 일부와 접촉되는 지지패턴(357b)으로 구성된다. 이때, 상기 접촉패턴(321b)와 지지패턴(357b)은 서로 대향되는 측면부 또는 상면이 서로 접촉된다.Meanwhile, as another embodiment of the present invention, FIG. 12B includes the same dam structure 360b as that of FIG. 12A, that is, a contact pattern 321b and a contact pattern 357b, and only on the first substrate 301. The formed contact pattern 321b is formed on the second substrate 341 and is positioned between the contact pattern 321b and the seal pattern 331 to be in contact with a portion of the contact pattern 321b. It is composed. At this time, the contact portion 321b and the support pattern 357b are in contact with each other, the side portion or the upper surface.

따라서, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 제1 기판(301)과 대향하는 제2 기판(341)과 이들 기판을 합착하기 위해 사용되는 씰패턴(331)의 경계면을 통해 외부로부터 습기 등이 침투하게 된다. Therefore, although not shown in the drawing, moisture or the like penetrates from the outside through the interface between the second substrate 341 facing the first substrate 301 and the seal pattern 331 used to bond the substrates. .

하지만, 상기 씰패턴(331)내측에 위치하는 댐구조(360b), 즉 제1기판(301)에 형성된 접촉패턴(321b)과 제2기판(341)에 형성된 지지패턴(357b)의 접촉에 의해 상기 외부로부터 침투된 수분이나 가스 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되지 않게 된다. However, the dam structure 360b located inside the seal pattern 331, that is, the contact pattern 321b formed on the first substrate 301 and the support pattern 357b formed on the second substrate 341 are in contact with each other. Moisture, gas, and the like penetrated from the outside no longer penetrate into the organic light emitting device.

한편, 도 13a를 참조하면, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 유기전계발광소 자는, 제1 기판(401)과 제2 기판(441)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 상기 제1, 2 기판(401, 441)의 테두리부에 형성된 씰패턴(431)에 의해 봉지되어 있으며, 상기 씰패턴(431)내측에 위치하는 제1, 2 기판(401, 441)에는 밀폐된 형태의 댐(dam) 구조(460a)가 형성되어 있다.Meanwhile, referring to FIG. 13A, the organic light emitting diode according to another embodiment of the present invention includes a first substrate 401 and a second substrate 441 disposed to face each other, and the first and second substrates. The dams are sealed by the seal patterns 431 formed at the edges of the 401 and 441, and are sealed to the first and second substrates 401 and 441 located inside the seal patterns 431. The structure 460a is formed.

여기서, 상기 댐구조(460a)은 상기 제1 기판(401)에 형성된 지지패턴(421a)과, 상기 제2 기판(441)에 형성되고 상기 지지패턴(421a) 일부와 접촉되는 접촉패턴(457a)으로 구성된다.The dam structure 460a may include a support pattern 421a formed on the first substrate 401 and a contact pattern 457a formed on the second substrate 441 and in contact with a portion of the support pattern 421a. It consists of.

또한편, 본 발명의 또다른 실시예로서, 도 13b는 도 13a와 동일한 댐구조(460b), 즉 지지패턴(421b)과 접촉패턴(457b)으로 구성되어 있으며, 단지 상기 제1 기판(401)에 형성된 지지패턴(421b)이, 상기 제2 기판(441)에 형성되고 상기 지지패턴(421b)과 씰패턴(431)사이에 위치하여 상기 지지패턴(421b) 일부와 접촉되는 접촉패턴(457b)으로 구성된다. 이때, 상기 지지패턴(421b)와 접촉패턴(457b)은 서로 대향되는 측면부 또는 상면이 서로 접촉된다.In addition, as another embodiment of the present invention, FIG. 13B is composed of the same dam structure 460b as that of FIG. 13A, that is, a support pattern 421b and a contact pattern 457b, and only the first substrate 401. The support pattern 421b formed on the second substrate 441 is disposed between the support pattern 421b and the seal pattern 431 to be in contact with a portion of the support pattern 421b. It consists of. In this case, the support pattern 421b and the contact pattern 457b are in contact with each other with side portions or upper surfaces that face each other.

따라서, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 제1 기판(401)과 대향하는 제2 기판(441)과 이들 기판을 합착하기 위해 사용되는 씰패턴(431)의 경계면을 통해 외부로부터 수분 등이 침투하게 된다. Therefore, although not shown in the figure, moisture or the like penetrates from the outside through the interface between the second substrate 441 facing the first substrate 401 and the seal pattern 431 used to bond the substrates. .

하지만, 상기 씰패턴(431)내측에 위치하는 댐구조(460b), 즉 제1기판(401)에 형성된 지지패턴(421b)과 제2기판(441)에 형성된 접촉패턴(457b)의 접촉에 의해 상기 외부로부터 침투된 수분이나 가스 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되지 않게 된다. However, the dam structure 460b disposed inside the seal pattern 431, that is, the support pattern 421b formed on the first substrate 401 and the contact pattern 457b formed on the second substrate 441 are contacted with each other. Moisture, gas, and the like penetrated from the outside no longer penetrate into the organic light emitting device.

한편, 상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.On the other hand, while described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art various modifications of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below And can be changed.

상기에서 설명한 바와같이, 본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다. As described above, the organic light emitting display device and the manufacturing method thereof according to the present invention have the following effects.

본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법은 하판과 상판에 각각 지지패턴과 접촉패턴을 선택적으로 형성하여 이들이 서로 접촉되어져 결합되게 하므로써 차폐형 구조의 댐구조를 구성하게 된다.The organic light emitting display device and the method of manufacturing the same according to the present invention form a dam structure of a shielded structure by selectively forming a support pattern and a contact pattern on the lower plate and the upper plate, respectively, so that they are brought into contact with each other.

따라서, 본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법은 유기계발광소자의 외부로 부터의 습기 등이 유기전계발광소자내부로 침투되더라도 씰패턴과 화소영역사이에 구비된 댐구조에 의해 습기 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되는 것이 차단되므로 소자의 불량을 크게 억제할 수 있다.Accordingly, the organic light emitting display device and the method of manufacturing the same according to the present invention have moisture due to the dam structure provided between the seal pattern and the pixel region even if moisture from the outside of the organic light emitting device penetrates into the organic light emitting device. Since the penetration into the organic light emitting device is no longer blocked, defects of the device can be greatly suppressed.

특히, 본 발명에 따른 유기전계발광소자는 최외곽 씰패턴이외에 밀폐형 댐구조를 구비하므로써 외부 투습 방지력과 진공 보존 능력이 개선된다.In particular, the organic electroluminescent device according to the present invention is provided with a sealed dam structure in addition to the outermost seal pattern, thereby improving external moisture permeability and vacuum preservation ability.

Claims (47)

다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판;A first substrate and a second substrate on which a plurality of pixel units are defined; 상기 제1기판의 화소영역에 형성되고 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터;A thin film transistor formed in the pixel region of the first substrate and composed of a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode; 상기 드레인전극과 연결된 연결배선;A connection wiring connected to the drain electrode; 상기 제2기판에 형성되고 상기 연결배선과 전기적으로 접속된 유기발광다이오드;An organic light emitting diode formed on the second substrate and electrically connected to the connection wiring; 상기 제1기판과 제2기판사이에 형성된 씰패턴; 및A seal pattern formed between the first substrate and the second substrate; And 상기 씰패턴과 화소영역사이에 위치하고 상기 제1기판과 제2기판에 접촉된 댐구조;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.And a dam structure disposed between the seal pattern and the pixel region and in contact with the first substrate and the second substrate. 제1항에 있어서, 상기 댐구조는 밀폐형 구조로 이루어진 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the dam structure is formed in a hermetic structure. 제1항에 있어서, 상기 댐 구조는 적어도 하나 이상인 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the dam structure is at least one. 제1항에 있어서, 상기 댐구조는 상기 한쌍의 지지패턴과 이 한쌍의 지지패턴과 접촉되는 접촉패턴으로 구성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the dam structure comprises the pair of support patterns and a contact pattern in contact with the pair of support patterns. 제4항에 있어서, 상기 접촉패턴은 상기 한쌍의 지지패턴사이에 마련된 공간부에 끼워져 고정되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 4, wherein the contact pattern is inserted into and fixed to a space provided between the pair of support patterns. 제4항에 있어서, 상기 한쌍의 지지패턴과 접촉패턴은 서로 다른 기판상에 형성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 4, wherein the pair of support patterns and the contact patterns are formed on different substrates. 제1항에 있어서, 상기 댐구조는 지지패턴과 접촉패턴으로 구성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the dam structure comprises a support pattern and a contact pattern. 제7항에 있어서, 상기 지지패턴과 접촉패턴은 서로 다른 기판상에 형성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 7, wherein the support pattern and the contact pattern are formed on different substrates. 제8항에 있어서, 상기 지지패턴과 접촉패턴은 각 측면 또는 상면이 접촉되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 8, wherein the support pattern and the contact pattern are in contact with each side or an upper surface thereof. 제1항에 있어서, 상기 드레인전극과 연결배선사이에 접촉스페이서가 형성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein a contact spacer is formed between the drain electrode and the connection wiring. 제1항에 있어서, 상기 유기발광다이오드는 제1전극과 유기발광층 및 제2전극 으로 구성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting diode of claim 1, wherein the organic light emitting diode comprises a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode. 제11항에 있어서, 상기 제2전극은 상기 연결배선을 통해 드레인전극과 연결되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 11, wherein the second electrode is connected to a drain electrode through the connection wiring. 제1항에 있어서, 상기 제 2기판에 각 화소부를 분리시키는 격벽이 형성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein a partition wall is formed on the second substrate to separate each pixel part. 제1항에 있어서, 상기 격벽은 감광성 수지 또는 절연물질로 형성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the partition is formed of a photosensitive resin or an insulating material. 제1항에 있어서, 상기 댐구조는 감광성 수지로 형성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the dam structure is formed of a photosensitive resin. 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판을 제공하는 단계;Providing a first substrate and a second substrate on which a plurality of pixel units are defined; 상기 제1기판의 화소영역에 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터을 형성하는 단계;Forming a thin film transistor including a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode in a pixel area of the first substrate; 상기 드레인전극과 접속되는 연결배선을 형성하는 단계;Forming a connection wiring connected to the drain electrode; 상기 제2기판에 상기 연결배선과 접속되는 유기발광다이오드를 형성하는 단계;Forming an organic light emitting diode connected to the connection wiring on the second substrate; 상기 제1기판과 제2기판에 정의된 화소영역의 외곽부에 제1기판과 제2기판을 접촉시키는 댐구조를 형성하는 단계; 및Forming a dam structure in which a first substrate and a second substrate are in contact with an outer portion of the pixel area defined in the first substrate and the second substrate; And 상기 제1기판과 제2기판의 외곽부에 상기 제1기판과 제2기판을 합착시키는 씰패턴을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.And forming a seal pattern on the outer periphery of the first substrate and the second substrate to bond the first substrate and the second substrate together. 제16항에 있어서, 상기 댐구조는 밀폐형 구조로 이루어진 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.17. The method of claim 16, wherein the dam structure is made of a hermetic structure. 제16항에 있어서, 상기 댐 구조는 적어도 하나 이상인 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.17. The method of claim 16, wherein the dam structure is at least one. 제16항에 있어서, 상기 댐구조는 상기 한쌍의 지지패턴과 이 한쌍의 지지패턴과 접촉되는 접촉패턴으로 구성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.17. The method of claim 16, wherein the dam structure comprises the pair of support patterns and a contact pattern in contact with the pair of support patterns. 제19항에 있어서, 상기 접촉패턴은 상기 한쌍의 지지패턴사이에 마련된 공간부에 끼워져 고정되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.20. The method of claim 19, wherein the contact pattern is inserted into and fixed to a space provided between the pair of support patterns. 제19항에 있어서, 상기 한쌍의 지지패턴과 접촉패턴은 서로 다른 기판상에 형성되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.20. The method of claim 19, wherein the pair of support patterns and the contact patterns are formed on different substrates. 제16항에 있어서, 상기 댐구조는 하나의 지지패턴과 접촉패턴으로 구성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 16, wherein the dam structure comprises one support pattern and a contact pattern. 제22항에 있어서, 상기 지지패턴과 접촉패턴은 서로 다른 기판상에 형성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 22, wherein the support pattern and the contact pattern are formed on different substrates. 제23항에 있어서, 상기 지지패턴과 접촉패턴은 서로 대응하는 측면 또는 상면이 접촉되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 23, wherein the support pattern and the contact pattern are in contact with the side or the top surface corresponding to each other. 제16항에 있어서, 상기 드레인전극과 연결배선사이에 접촉스페이서를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.17. The method of claim 16, further comprising forming a contact spacer between the drain electrode and the connection wiring. 제16항에 있어서, 상기 유기발광다이오드를 형성하는 단계는 제1전극과 유기발광층 및 제2전극을 형성하는 단계로 구성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 16, wherein the forming of the organic light emitting diode comprises forming a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode. 제26항에 있어서, 상기 제2전극은 상기 연결배선을 통해 드레인전극과 연결되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.27. The method of claim 26, wherein the second electrode is connected to a drain electrode through the connection wiring. 제16항에 있어서, 상기 제 2기판에 각 화소부를 분리시키는 격벽을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 16, further comprising forming partition walls on the second substrate to separate the pixel units. 제16항에 있어서, 상기 격벽은 감광성 수지 또는 절연물질로 형성하는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 16, wherein the barrier rib is formed of a photosensitive resin or an insulating material. 제16항에 있어서, 상기 댐구조는 감광성 수지로 형성하는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.17. The method of claim 16, wherein the dam structure is formed of a photosensitive resin. 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판;A first substrate and a second substrate on which a plurality of pixel units are defined; 상기 제1기판의 화소영역에 형성되고 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터;A thin film transistor formed in the pixel region of the first substrate and composed of a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode; 상기 박막트랜지스터상에 형성되고 상기 드레인전극을 노출시키는 콘택홀이 형성된 층간절연막;An interlayer insulating film formed on the thin film transistor and having a contact hole exposing the drain electrode; 상기 층간절연막상에 형성된 접촉스페이서;A contact spacer formed on the interlayer insulating film; 상기 접촉스페이서 및 층간절연막상에 형성되고, 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 연결된 연결배선;A connection wiring formed on the contact spacer and the interlayer insulating layer and connected to the drain electrode through the contact hole; 상기 제2기판에 형성된 제1전극과 유기발광층 및 제2전극으로 구성된 유기발광다이오드;An organic light emitting diode comprising a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode formed on the second substrate; 상기 제1기판과 제2기판사이에 형성된 씰패턴; 및A seal pattern formed between the first substrate and the second substrate; And 상기 씰패턴과 화소영역사이에 위치하는 상기 제1기판과 제2기판에 각각 형성된 지지패턴과 접촉패턴으로 구성된 댐구조;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.And a dam structure comprising a support pattern and a contact pattern formed on the first substrate and the second substrate, respectively, disposed between the seal pattern and the pixel region. 제31항에 있어서, 상기 댐구조는 밀폐형 구조로 이루어진 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.32. The organic light emitting device of claim 31, wherein the dam structure is made of a hermetic structure. 제31항에 있어서, 상기 댐 구조는 적어도 하나 이상인 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.32. The organic light emitting device of claim 31, wherein the dam structure is at least one. 제31항에 있어서, 상기 지지패턴은 한쌍의 지지패턴 또는 하나로 구성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 31, wherein the support pattern comprises a pair of support patterns or one. 제34항에 있어서, 상기 한쌍의 지지패턴사이에 마련된 공간부에 상기 접촉패턴이 끼워져 고정되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.35. The organic light emitting device of claim 34, wherein the contact pattern is inserted into and fixed to a space provided between the pair of support patterns. 제31항에 있어서, 상기 지지패턴과 접촉패턴은 서로 다른 기판상에 형성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.32. The organic light emitting device of claim 31, wherein the support pattern and the contact pattern are formed on different substrates. 제31항에 있어서, 상기 제 2기판에 각 화소부를 분리시키는 격벽이 형성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자.32. The organic light emitting device of claim 31, wherein a partition wall is formed on the second substrate to separate each pixel portion. 서로 이격되게 배열되고 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판을 제공하는 단계;Providing a first substrate and a second substrate arranged to be spaced apart from each other and having a plurality of pixel portions defined therein; 상기 제1기판의 화소영역에 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터를 형성하는 단계;Forming a thin film transistor including a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode in the pixel region of the first substrate; 상기 박막트랜지스터상에 상기 드레인전극을 노출시키는 콘택홀을 구비한 층간절연막을 형성하는 단계;Forming an interlayer insulating film having a contact hole exposing the drain electrode on the thin film transistor; 상기 층간절연막상에 접촉스페이서를 형성하는 단계;Forming a contact spacer on the interlayer insulating film; 상기 접촉스페이서 및 층간절연막상에 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 연결되는 연결배선을 형성하는 단계;Forming a connection wiring on the contact spacer and the interlayer insulating layer to be connected to the drain electrode through the contact hole; 상기 제2기판에 제1전극과 유기발광층 및 제2전극으로 구성된 유기발광다이오드를 형성하는 단계;Forming an organic light emitting diode comprising a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode on the second substrate; 상기 제1기판과 제2기판의 화소영역의 외곽부에 지지패턴과 접촉패턴으로 구성된 댐구조를 형성하는 단계; 및Forming a dam structure including a support pattern and a contact pattern at an outer portion of the pixel region of the first substrate and the second substrate; And 상기 제1기판과 제2기판의 외곽부에 상기 제1기판과 제2기판을 합착시키는 씰패턴을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.And forming a seal pattern on the outer periphery of the first substrate and the second substrate to bond the first substrate and the second substrate together. 제38항에 있어서, 상기 댐구조는 밀폐형 구조로 이루어진 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.39. The method of claim 38, wherein the dam structure is made of a hermetic structure. 제38항에 있어서, 상기 댐 구조는 적어도 하나 이상인 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.39. The method of claim 38, wherein the dam structure is at least one. 제38항에 있어서, 상기 지지패턴은 한쌍의 지지패턴 또는 하나로 구성된 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 38, wherein the support pattern comprises a pair of support patterns or a single support pattern. 제41항에 있어서, 상기 한쌍의 지지패턴사이에 마련된 공간부에 상기 접촉패턴이 끼워져 고정되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.42. The method of claim 41, wherein the contact pattern is inserted into and fixed to a space provided between the pair of support patterns. 제38항에 있어서, 상기 지지패턴과 접촉패턴은 서로 다른 기판상에 형성되는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 38, wherein the support pattern and the contact pattern are formed on different substrates. 제38항에 있어서, 상기 제 2기판에 각 화소부를 분리시키는 격벽을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 38, further comprising forming a partition wall on the second substrate to separate each pixel portion. 제38항에 있어서, 상기 댐구조를 형성하는 지지패턴과 접촉패턴은 감광성 수지로 형성하는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 38, wherein the support pattern and the contact pattern forming the dam structure are formed of a photosensitive resin. 제38항에 있어서, 상기 접촉 스페이서는 감광성 수지로 형성하는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 38, wherein the contact spacer is formed of a photosensitive resin. 제38항에 있어서, 상기 접촉 스페이서와 지지패턴은 동시에 형성하는 것을 특징으로하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 38, wherein the contact spacer and the support pattern are formed at the same time.
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