KR20080084489A - Organic light emitting diode and method for fabricating the same - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 하부기판상에 형성된 씰패턴과 씰패턴내부에 마련된 화소영역을 나타낸 평면도.1 is a plan view showing a seal pattern formed on a lower substrate of an active matrix type organic light emitting display device according to the related art and a pixel region provided inside the seal pattern.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도로서, 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1, and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the prior art.
도 3은 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도2의 "A"부의 확대단면도.3 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the prior art, and is an enlarged cross-sectional view of part "A" of FIG.
도 4는 도 2의 "B"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도.FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of part “B” of FIG. 2, illustrating a case in which moisture, gas or the like penetrates into the seal pattern. FIG.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 하부기판상에 형성된 씰패턴과 씰패턴내부에 마련된 화소영역을 나타낸 평면도.FIG. 5 is a plan view illustrating a seal pattern formed on a lower substrate of an active matrix type organic light emitting display device and a pixel region provided in a seal pattern according to an embodiment of the present invention; FIG.
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 확대 단면도로서, 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5, and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention;
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도6의 "C"부의 확대단면도.FIG. 7 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to one embodiment of the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of the portion “C” of FIG. 6.
도 8은 도 6의 "D"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도.FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of a portion “D” of FIG. 6, illustrating a case in which moisture, gas, and the like penetrate into the seal pattern. FIG.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도.9 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도9의 "E"부의 확대 단면도.10 is a cross-sectional view of an active matrix type organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention, and an enlarged cross-sectional view of part “E” of FIG. 9.
도 11은 도9의 "F"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도.FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of a portion “F” in FIG. 9, showing a case in which moisture, gas or the like penetrates into the seal pattern. FIG.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 씰패턴과 댐(dam) 구조를 도시한 단면도로서, 도 12a 및 도 12b는 상판에 댐구조를 구성하는 지지패턴이 형성된 경우를 나타낸 단면도.12A and 12B are cross-sectional views illustrating a seal pattern and a dam structure of an active matrix type organic light emitting display device according to still another embodiment, and FIGS. 12A and 12B illustrate a dam structure on a top plate. Sectional drawing which shows the case where the support pattern was formed.
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 씰패턴과 댐(dam) 구조를 도시한 단면도로서, 도 13a 및 도 13b는 하판에 댐구조를 구성하는 지지패턴이 형성된 경우를 나타낸 단면도.13A and 13B are cross-sectional views illustrating a seal pattern and a dam structure of an active matrix organic light emitting display device according to still another embodiment, and FIGS. 13A and 13B illustrate a dam structure on a lower plate. Sectional drawing which shows the case where the support pattern was formed.
- 도면의 주요부분에 대한 부호설명 --Code description of main parts of drawing-
101 : 제1기판 103 : 게이트전극101: first substrate 103: gate electrode
105 : 게이트절연막 107 : 액티브층 109 : 오믹콘택층 111 : 소스전극 113 : 드레인전극 115 : 층간절연막 117 : 접촉스페이서 119 : 연결배선 131 : 씰패턴 141 : 제2기판 143 : 보조전극 145 : 제1 전극105 gate
147 : 절연막패턴 149 : 격벽147
151 : 접촉패턴 153 : 유기발광층151: contact pattern 153: organic light emitting layer
155 : 제2 전극 155: second electrode
본 발명은 유기전계발광소자(OLED; Organic Light Emitting Device)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 씰패턴의 내측에 밀폐된 댐(dam) 구조를 구비한 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting device (OLED), and more particularly to an organic light emitting device having a dam structure sealed inside the seal pattern and a method of manufacturing the same.
새로운 평판 디스플레이(FPD; Flat Panel Display)중 하나인 유기전계발광소자(OLED; Organic Light Emitting Device)는 자체 발광형이기 때문에 액정표시장치에 비해 시야각, 콘트라스트 등이 우수하며, 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량박형이 가능하고, 소비전력 측면에서도 유리하며, 특히 제조비용 측면에서도 저렴한 장점을 가지고 있으므로 소형 크기의 평판디스플레이 소자로도 활용되고 있다.Organic Light Emitting Device (OLED), one of the new flat panel displays (FPD), is self-luminous, so it has better viewing angle, contrast, etc. than LCD, and does not require backlight. It can be used as a small size flat panel display device because of its light weight and thinness, which is advantageous in terms of power consumption, and particularly inexpensive in terms of manufacturing cost.
이러한 종래의 유기전계발광소자에 대해 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The conventional organic light emitting display device will be described with reference to FIGS. 1 to 4 as follows.
도 1은 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 하부기판상에 형성된 씰패턴과 씰패턴내부에 마련된 화소영역을 나타낸 평면도이다.1 is a plan view illustrating a seal pattern formed on a lower substrate of an active matrix type organic light emitting display device according to the related art and a pixel region provided in a seal pattern.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도로서, 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1 and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the prior art.
도 3은 종래기술에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도2의 "A"부의 확대단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the prior art, and is an enlarged cross-sectional view of part “A” of FIG. 2.
도 4는 도 2의 "B"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도이다.FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the portion “B” of FIG. 2 and is a schematic view showing a case where moisture, gas, or the like penetrates into the seal pattern.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래기술에 따른 유기전계발광소자는 제1기판(11)과 제2 기판(41)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 상기 제1, 2 기판(11, 41)의 테두리부에 형성된 씰패턴(31)에 의해 봉지되어 있다.1 and 2, in the organic light emitting diode according to the related art, a
또한, 상기 제1 기판(11)의 상부에는 각 서브픽셀별로 어레이소자가 형성되어 있고, 상기 제2기판(41)에는 상기 제1기판(11)의 각 서브픽셀에 대응하여 유기전계발광 다이오드(미도시)가 형성되어 있다.In addition, an array element is formed in each subpixel on the
여기서, 도 3을 참조하면, 상기 제1기판(11)상에 각 서브픽셀별로 형성된 어레이소자(T)는 게이트전극(13)과 상기 게이트전극(13)상에 형성된 액티브층(17), 오믹콘택층(19) 및 소스/드레인전극(21, 23)으로 구성되어 있으며, 상기 드레인전극(23)은 연결배선 (27)에 의해 상기 유기전계발광다이오드(미도시)하부에 서브픽셀별로 독립적으로 형성된 제2전극(55)과 전기적으로 연결되어 있다.3, an array element T formed for each subpixel on the
또한, 상기 제2기판(41)상에는 일정간격을 두고 보조전극(43)이 형성되어 있으며, 상기 보조전극(43)을 포함한 제2기판(41)에는 유기전계 발광다이오드 (미도시) 를 구성하는 공통전극으로 이용되는 제1전극(45)이 형성되어 있다.In addition, an
그리고, 상기 제1 전극(45)상에는 일정간격을 두고 절연막패턴(47)이 형성되어 있으며, 상기 절연막패턴(47)상에는 접촉스페이서(49)와 테이퍼진 형태의 격벽 (51)이 서로 인접되게 형성되어 있다.The
또한, 상기 접촉스페이서(49)와 격벽(51)을 포함한 제1 전극(45)상에 유기발광층(53)과 제2 전극(55)이 적층되어 있다. 이때, 상기 제1전극(45)상에 형성된 유기발광층(53)과 제2전극(55) 부분은 유기발광다이오드(미도시)로 이용된다. In addition, the organic
이때, 상기 접촉스페이서(49)와 격벽(51)사이에 위치하는 절연막패턴(47) 표면에는 상기 유기발광층(51)과 제2전극(55)이 형성되지 않으므로써 서로 인접하는 서브픽셀들이 독립적으로 분리되게 된다. In this case, since the organic
이는 상기 격벽(51)의 측면 형태가 테이퍼지게 형성되어 있어 폭이 넓은 격벽의 상부측에는 상기 유기발광층(51)과 제2전극(55)이 형성되지만, 폭이 좁은 하부측에 위치하는 절연막패턴(47)부분에는 상기 격벽(51)의 상부측에 의해 막 증착이 방해되어 막 형성이 어렵게 된다.The sidewalls of the
이렇게 제1기판(11)과 제2기판(41)상에 각각 TFT 어레이소자와 발광소자 어레이를 형성한 상태에서 상기 제2기판(41)의 접촉스페이서(49)와 제1기판(11)의 TFT 어레이소자의 드레이전극(23)과 물리적인 접촉이 이루어지도록 상기 제1기판(11) 상에 형성된 씰패턴(31)에 의해 접착하여 유기전계발광소자를 구성한다. Thus, in the state where the TFT array element and the light emitting element array are formed on the
상기와 같이 구성되는 종래기술에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 의하면 다음과 같은 문제점이 있다.According to the organic light emitting device according to the prior art and the manufacturing method thereof according to the prior art configured as described above has the following problems.
종래의 경우, 도 4에 도시된 바와같이, 제1 기판(11)과 대향하는 제2 기판 (41)과 이들 기판을 합착하기 위해 사용되는 씰패턴(31)의 경계면을 통해 외부로부터 수분(61) 등이 침투하게 된다. 즉, 씰패턴을 구성하는 씰런트(sealant)는 상,하판을 접착시키고 외부로부터 수분과 가스가 투입되는 것을 차단하는 역할을 한다.In the conventional case, as illustrated in FIG. 4,
그러나, 기존의 씰런트는 시간이 지남에 따라 접착능력과 투입차단 능력이 감소되며, 외부의 수분이나 가스가 내부로 투입되고, 이로 인하여 발광유기물질이 열화되며 내압도 증가하여 물리적 콘택이 어렵게 된다.However, the existing sealant has a decrease in adhesion and blocking ability, and the external moisture or gas is injected into the interior, which causes the light emitting organic material to deteriorate and the internal pressure increases, making physical contact difficult. .
따라서, 종래기술에 따른 유기전계발광소자는, 제1기판과 제2기판을 합착하기 위해 제1기판의 테두리부에 형성된 씰패턴이외에 별도의 다른 부재가 형성되어 있지 않기 때문에 씰패턴과 제2기판의 경계부를 통해 수분 등이 소자내로 침투하여 각 서브픽셀에 영향을 미칠 수 있어 소자 전체에 불량을 초래할 수 있다.Therefore, in the organic light emitting diode according to the related art, since the seal pattern and the second substrate are not formed in addition to the seal pattern formed on the edge portion of the first substrate for bonding the first substrate and the second substrate to each other. Moisture or the like penetrates into the device through the boundary of and may affect each subpixel, resulting in a defect in the entire device.
이에 본 발명은 상기 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 유기전계발광소자내부로의 외부 투습 방지력을 개선하고, 진공보존 능력을 개선시킬 수 있는 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention is to improve the external moisture permeation resistance into the organic light emitting device, and the organic light emitting device that can improve the vacuum storage capacity And to provide a method for producing the same.
또한, 본 발명의 다른 목적은 서로 합착되는 제1기판과 제2기판사이에 형성되는 씰패턴내측에 밀폐형 댐(dam) 구조를 구비하여 접촉 스페이서의 접촉 지지력을 향상시키므로써 유기전계발광 다이오드 및 구동TFT의 구동 신뢰성을 더욱 향상시킬 수 있는 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a sealed dam structure inside the seal pattern formed between the first substrate and the second substrate to be bonded to each other, thereby improving the contact support force of the contact spacers and driving the organic light emitting diode. The present invention provides an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which can further improve driving reliability of a TFT.
그리고, 본 발명의 또다른 목적은 복수개의 댐(dam) 구조를 사용할 수 있어 중복 차폐기능에 의해 제1기판과 제2기판의 씰(sealing) 효과를 향상시킬 수 있는 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention is to use a plurality of dam (dam) structure, the organic electroluminescent device which can improve the sealing effect of the first substrate and the second substrate by the redundant shielding function and its manufacture In providing a method.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자는, 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판; 상기 제1기판의 화소영역에 형성되고 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터; 상기 드레인전극과 연결된 연결배선; 상기 제2기판에 형성되고 상기 연결배선과 전기적으로 접속된 유기발광다이오드; 상기 제1기판과 제2기판사이에 형성된 씰패턴; 및 상기 씰패턴과 화소영역사이에 위치하고 상기 제1기판과 제2기판을 접촉시켜 주는 댐구조;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, an organic light emitting display device includes: a first substrate and a second substrate on which a plurality of pixel units are defined; A thin film transistor formed in the pixel region of the first substrate and composed of a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode; A connection wiring connected to the drain electrode; An organic light emitting diode formed on the second substrate and electrically connected to the connection wiring; A seal pattern formed between the first substrate and the second substrate; And a dam structure disposed between the seal pattern and the pixel region to contact the first substrate and the second substrate.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자는, 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판; 상기 제1기판의 화소영역에 형성되고 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터; 상기 박막트랜지스터상에 형성되고 상기 드레인전극을 노출시키는 콘택홀이 형성된 층간절연막; 상기 층간절연막상에 형성된 접촉스페이서; 상기 접촉스페이서 및 층간절연막상에 형성되고, 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 연결된 연결배선; 상기 제2기판에 형성된 제1전극과 유기발광층 및 제2전극으로 구성된 유기발광다이오드; 상기 제1기판과 제2기판사이에 형성된 씰패턴; 및 상기 씰패턴과 화소영역사이에 위치하는 상기 제1기판과 제2기판에 각각 형성된 지지패턴과 접촉패턴으로 구성된 댐구조;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, an organic light emitting display device includes: a first substrate and a second substrate on which a plurality of pixel units are defined; A thin film transistor formed in the pixel region of the first substrate and composed of a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode; An interlayer insulating film formed on the thin film transistor and having a contact hole exposing the drain electrode; A contact spacer formed on the interlayer insulating film; A connection wiring formed on the contact spacer and the interlayer insulating layer and connected to the drain electrode through the contact hole; An organic light emitting diode comprising a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode formed on the second substrate; A seal pattern formed between the first substrate and the second substrate; And a dam structure comprising a support pattern and a contact pattern formed on the first substrate and the second substrate, respectively, positioned between the seal pattern and the pixel region.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자 제조방법은, 서로 이격되게 배열되고 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판을 제공하는 단계; 상기 제1기판의 화소영역에 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터을 형성하는 단계; 상기 드레인전극과 접속되는 연결배선을 형성하는 단계; 상기 제2기판에 상기 연결배선과 접속되는 유기발광다이오드를 형성하는 단계; 상기 제1기판과 제2기판에 정의된 화소영역의 외곽부에 제1기판과 제2기판을 접촉시키는 댐구조를 형성하는 단계; 및 상기 제1기판과 제2기판의 외곽부에 씰패턴을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device, the method including: providing a first substrate and a second substrate, the plurality of pixel parts being arranged spaced apart from each other; Forming a thin film transistor including a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode in a pixel area of the first substrate; Forming a connection wiring connected to the drain electrode; Forming an organic light emitting diode connected to the connection wiring on the second substrate; Forming a dam structure in which a first substrate and a second substrate are in contact with an outer portion of the pixel area defined in the first substrate and the second substrate; And forming a seal pattern on the periphery of the first substrate and the second substrate.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자 제조방법은, 서로 이격되게 배열되고 다수의 화소부가 정의된 제1기판과 제2기판을 제공하는 단계; 상기 제1기판의 화소영역에 게이트전극과 액티브층 및 소스/드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터상에 상기 드레인전극을 노출시키는 콘택홀을 구비한 층간절연막을 형성하는 단계; 상기 층간절연막상에 접촉스페이서를 형성하는 단계; 상기 접촉스페이서 및 층간절연막상에 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 연결되는 연결배선을 형성하는 단계; 상기 제2기판에 제1전극과 유기발광층 및 제2전극으로 구성된 유기발광다이오드를 형성하는 단계; 상기 제1기판과 제2기판의 화소영역의 외곽부에 지지패턴과 접촉패턴으로 구성된 댐구조를 형성하는 단계; 및 상기 제1기판과 제2기판의 외곽부에 씰패턴을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device, the method including: providing a first substrate and a second substrate, the plurality of pixel parts being arranged spaced apart from each other; Forming a thin film transistor including a gate electrode, an active layer, and a source / drain electrode in the pixel region of the first substrate; Forming an interlayer insulating film having a contact hole exposing the drain electrode on the thin film transistor; Forming a contact spacer on the interlayer insulating film; Forming a connection wiring on the contact spacer and the interlayer insulating layer to be connected to the drain electrode through the contact hole; Forming an organic light emitting diode comprising a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode on the second substrate; Forming a dam structure including a support pattern and a contact pattern at an outer portion of the pixel region of the first substrate and the second substrate; And forming a seal pattern on outer peripheries of the first substrate and the second substrate.
이하, 본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 대해 첨부된 도면 을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 하부기판상에 형성된 씰패턴과 씰패턴내부에 마련된 화소영역을 나타낸 평면도이다.5 is a plan view illustrating a seal pattern formed on a lower substrate of an active matrix type organic light emitting display device and a pixel region provided in a seal pattern according to an embodiment of the present invention.
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 확대 단면도로서, 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도이다.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5 and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도6의 "C"부의 확대단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to one embodiment of the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of the portion “C” of FIG. 6.
도 8은 도 6의 "D"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도이다.FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of the portion “D” of FIG. 6 and is a schematic view showing a case where moisture, gas, or the like penetrates into the seal pattern.
도 5, 도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 유기전계발광소자는 제1기판(101)과 제2 기판(141)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 상기 제1, 2 기판(101, 141)의 테두리부에 형성된 씰패턴(131)에 의해 봉지되어 있으며, 상기 씰패턴(131)내측에 위치하는 제1, 2 기판(101, 141)에는 밀폐된 형태의 댐(dam) 구조(160)가 형성되어 있다.5, 6, and 7, in an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, a
여기서, 상기 제1 기판(101)의 상부에는 각 서브픽셀별로 어레이소자가 형성되어 있고, 상기 제2기판(141)의 하부에는 상기 제1기판(101)의 각 서브픽셀에 대응하여 유기전계발광 다이오드(미도시)가 형성되어 있다.Here, an array element is formed for each subpixel on the
상기 제1기판(101)상에 각 서브픽셀별로 형성된 어레이소자(T)는 게이트전극 (103)과 상기 게이트전극(103)상에 형성된 액티브층(107), 오믹콘택층 (109) 및 소 스/드레인전극(111, 113)으로 구성되어 있으며, 상기 드레인전극(113)은 연결배선 (117)에 의해 서브 픽셀별로 독립적으로 형성된 상기 유기전계발광 다이오드(미도시)와 전기적으로 연결되어 있다.The array element T formed on each of the sub-pixels on the
또한, 상기 드레인전극(113)과 전기적으로 연결된 연결배선(117)상에는 상기 유기전계발광다이오드(미도시)와 접촉하는 접촉스페이서(119)가 형성되어 있다.In addition, a
그리고, 상기 씰패턴(131)내측에 위치하는 제1기판(101)상에는 댐구조(160)를 구성하는 한쌍의 지지패턴(121a, 121b)이 형성되어 있다. 이때, 상기 접촉스페이서(119)는 각 서브픽셀에 위치하는 연결배선(119)이 대응되게 형성되어 있다.A pair of
또한, 상기 지지패턴(121a, 121b)은 일정간격만큼 이격되게 형성되어 있으며, 테이퍼진 형태로 구성되어 있다. 특히, 상기 지지패턴(121a, 121b)은 상부측 폭이 하부측 폭보다 좁게 형성되어 있다. 그리고, 상기 지지패턴(121a, 121b)은 제1 기판(101)의 외곽부를 따라 밀폐형 구조로 형성되어 있다.In addition, the
따라서, 상기 한쌍의 지지패턴(121a, 121b)이 이루는 공간부 (123)의 폭은 하부쪽으로 갈수록 좁게 형성되어 있다.Therefore, the width of the
한편, 상기 제2기판(141)상에는 일정간격을 두고 보조전극(143)이 형성되어 있으며, 상기 보조전극(143)을 포함한 제2기판(141)에는 유기전계 발광다이오드(미도시)를 구성하는 공통전극으로 이용되는 제1전극(145)이 형성되어 있다.On the other hand, the
그리고, 상기 제1 전극(145)상에는 일정간격을 두고 절연막패턴(147)이 형성되어 있으며, 상기 절연막패턴(147)상에는 테이퍼진 형태의 격벽(149)이 서로 인접되게 형성되어 있다. 이때, 상기 격벽(149)은 각 서브픽셀을 분리시키는 기능을 한 다.An insulating
또한, 상기 제1기판(101)에 형성된 댐구조(160)를 구성하는 지지패턴(121a, 121b)사이의 공간부(123)와 대응되는 제2기판(141)의 위치에 접촉패턴(155)이 형성되어 있다. 이때, 상기 접촉패턴(155)은 상기 제2기판(141)의 외곽부를 따라 밀폐형 구조로 형성되어 있다.In addition, the
그리고, 상기 격벽(149)을 포함한 절연막패턴(147) 및 제1 전극(145)상에는 유기발광층(151)과 제2 전극(153)이 적층되어 있다. The organic
이때, 상기 제1전극(145)상에 형성된 유기발광층(151)과 제2전극(153) 부분은 유기발광다이오드(미도시)로 이용된다. In this case, portions of the organic
그리고, 상기 제1전극(145)을 포함한 절연막패턴(147)과 격벽(149) 각각에 형성되는 유기발광층(151)과 제2전극(153)은 서로 분리되므로써 격벽(149) 양측에 형성되는 서브픽셀 각각이 독립적으로 분리된다. In addition, the organic
이는 상기 격벽(149)의 측면 형태가 테이퍼지게 형성되어 있어 폭이 넓은 격벽(149)의 상부측에는 상기 유기발광층(151)과 제2전극(153)일부가 형성되지만, 폭이 좁은 하부측 측면부와 그 아래에 위치하는 절연막패턴(147)부분에는 상기 격벽 (149)의 상부측에 의해 막 증착이 방해되어 막 형성이 어렵게 되기 때문이다.The sidewalls of the
이렇게 제1기판(101)과 제2기판(141)상에 각각 TFT 어레이소자와 발광소자 어레이를 형성한 상태에서 상기 제1기판(101)의 지지패턴(121a, 121b)사이의 공간부(123)내에 상기 제2기판(141)의 접촉패턴(155)이 끼워져 물리적인 접촉이 이루어지면서 상기 제1기판(101)상에 형성된 씰패턴(131)에 의해 제1기판(101)과 제2 기 판(141)이 접착되어져 유기전계발광소자를 구성한다. Thus, the
따라서, 도 8에 도시된 바와같이, 제1 기판(101)과 대향하는 제2 기판(141)과 이들 기판을 합착하기 위해 사용되는 씰패턴(131)의 경계면을 통해 외부로부터 수분(161) 등이 침투하게 된다. Therefore, as shown in FIG. 8, the
하지만, 상기 씰패턴(131)내측에 위치하는 댐구조(160), 즉 제1기판(101)에 형성된 한쌍의 지지패턴(121a, 121b)과 제2기판(141)에 형성된 접촉패턴(155)의 합착에 의해 상기 외부로부터 침투된 수분(161)이나 가스 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되지 않게 된다. However, the
이러한 구성으로 이루어지는 본 발명의 일실시예에 따른 유기전계발광소자의 박막트랜지스터 어레이부의 형성공정에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, a process of forming a thin film transistor array unit of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention having such a configuration will be described below.
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 확대 단면도로서, 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도이다.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5 and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention.
도 7은 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도6의 "C"부의 확대단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of part “C” of FIG. 6.
도 8은 도 6의 "D"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도이다.FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of the portion “D” of FIG. 6 and is a schematic view showing a case where moisture, gas, or the like penetrates into the seal pattern.
도 6 및 도 7을 참조하면, 발광영역과 구동영역과 스토리지영역이 정의된 제1기판(101)의 전면에 금속물질을 증착한후 이를 선택적으로 패터닝하여 게이트전극 (103)을 형성한다.6 and 7, a metal material is deposited on the entire surface of the
이때, 상기 금속물질로는 알루미늄과 알루미늄 합금과 구리와 텅스텐과 탄탈륨과 몰리브덴을 포함한 도전성 금속그룹중 선택된 하나를 사용한다. In this case, the metal material may be selected from a group of conductive metals including aluminum, aluminum alloys, copper, tungsten, tantalum, and molybdenum.
그다음, 상기 게이트전극(103)을 포함한 제1기판(101)상에 질화실리콘(SiNx)과 산화실리콘(SiO2)을 포함하는 무기 절연물질 그룹중 선택된 하나로 게이트절연막 (105)을 형성한다.Next, the
이어서, 상기 게이트절연막(105)의 상부에 비정질 실리콘(a-Si:H)을 증착한후 탈수소화 과정과 열을 이용한 결정화 공정을 진행하여 다결정실리콘층을 형성하고 이를 패터닝하여 상기 구동영역과 스토리지 영역에 액티브층(107)을 형성한다. Subsequently, after depositing amorphous silicon (a-Si: H) on the
또한, 상기 액티브층상에 불순물이 도핑된 비정질실리콘층을 형성하여 박막트랜지스터의 오믹콘택층(ohmic contact)(109)으로 사용한다. 이 경우, 상기 도핑된 비정질실리콘층은 이후 공정에서 증착되는 금속물질층 패터닝시에 선택적으로 제거되어져 액티브층의 채널영역을 노출시키게 된다.In addition, an amorphous silicon layer doped with an impurity is formed on the active layer and used as an
그다음, 상기 오믹콘택층(109), 액티브층(107)을 포함한 제1기판(101) 전면에 금속물질을 증착한후 이를 선택적으로 패터닝하여 소스/드레인전극(111, 113)을 형성한다.Next, a metal material is deposited on the entire surface of the
이때, 상기 금속물질로는 크롬, 몰리브덴, 탄탈륨, 텅스텐 등을 포함하는 도전성 금속그룹중 선택된 하나를 사용한다. In this case, one selected from the group of conductive metals including chromium, molybdenum, tantalum, tungsten, etc. may be used as the metal material.
이어서, 상기 소스/드레인전극(111, 113)을 포함한 제1 기판(101) 전면에 질화실리콘 (SiNx)과 산화실리콘(SiO2)을 포함하는 무기 절연물질 또는 유기절연물질 으로 구성된 층간절연막(115)을 증착한다.Subsequently, an interlayer insulating film 115 including an inorganic insulating material or an organic insulating material including silicon nitride (SiNx) and silicon oxide (SiO 2 ) over the
그다음, 상기 층간절연막(115)상에 감광성 수지를 도포한후 포토리소그라피 공정기술을 이용한 노광 및 현상공정을 진행하여 상기 감광성 수지층을 선택적으로 제거하여 마스크패턴(미도시)을 형성한다.Next, after the photosensitive resin is coated on the interlayer insulating film 115, the photosensitive resin layer is subjected to an exposure and development process using a photolithography process technology to selectively remove the photosensitive resin layer to form a mask pattern (not shown).
이어서, 상기 마스크패턴(미도시)을 차단막을 하여 상기 층간절연막(115)을 선택적으로 제거하므로써 상기 상기 드레인전극(113) 일부를 노출시키는 드레인콘택홀(미도시)을 형성한다.Next, a drain contact hole (not shown) exposing a portion of the
그다음, 상기 마스크패턴(미도시)을 제거한후 상기 층간절연막(115) 전면에 네거티브(negative)성 감광성수지층(미도시)을 도포한다. 이때, 상기 감광성 수지층은 네거티브성 감광성 수지를 사용하는데, 상기 네거티브(negative) 감광성 수지 대신에 필요에 따라 포지티브(positive) 감광성 수지를 사용할 수도 있다.Next, after removing the mask pattern (not shown), a negative photosensitive resin layer (not shown) is coated on the entire surface of the interlayer insulating film 115. In this case, the photosensitive resin layer uses a negative photosensitive resin, and instead of the negative photosensitive resin, a positive photosensitive resin may be used as necessary.
이어서, 포토리소그라피공정기술을 이용한 노광 및 현상공정에 의해 상기 네거티브성 감광성 수지층(미도시)을 선택적으로 제거하여 감광성 수지층패턴(117)을 형성한다. Subsequently, the negative photosensitive resin layer (not shown) is selectively removed by an exposure and development process using a photolithography process technology to form the photosensitive
이때, 상기 감광성 수지층패턴(117)은 서브픽셀별로 적어도 하나가 구비되며, 접촉스페이서로 사용된다. 또한, 상기 감광성수지층패턴(117)은 네거티브(negative) 특성, 즉 자외선 광이 조사되었을때 광이 조사된 부분은 남게 되고 광이 조사되지 않은 부분은 제거되는 특성을 갖는다. In this case, at least one photosensitive
그리고, 상기 감광성수지층패턴, 즉 접촉스페이서(117) 형성시에 상기 제1기판(101)의 테두리부, 즉 화소영역을 제외한 지역에도 댐구조(160)를 구성하는 한쌍 의 지지패턴(121a, 121b)도 함께 형성된다. 이때, 상기 지지패턴(121a, 121b)은 제1기판(101)의 화소영역의 외곽부에 밀폐형 구조로 이루어져 있으며, 이들 지지패턴(121a, 121b)사이에는 후술할 예정인 제2기판(241)에 형성되는 접촉패턴(155)이 끼워질 수 있도록 공간부(123)가 마련되어 있다. 이때, 상기 공간부(123)는 하부측으로 갈수록 폭이 좁게 형성되어 있다.In addition, when the photosensitive resin layer pattern, that is, the
그다음, 상기 접촉스페이서(117)를 포함한 층간절연막(115) 전면에 도전성 금속을 증착하여 이를 선택적으로 제거하여 상기 드레인전극과 접촉하면서 화소부에 연결되는 연결배선(119)을 형성한다. 이때, 상기 도전성 금속물질로는 크롬, 몰리브덴, 탄탈륨, 텅스텐 등을 포함하는 도전성 금속그룹중 선택된 하나를 사용한다. Next, a conductive metal is deposited on the entire surface of the interlayer insulating layer 115 including the
이렇게 하여, 제1기판(101)상에 박막트랜지스터의 어레이소자부와 함께 상기 제1기판(101)의 테두리부, 즉 화소영역을 제외한 지역에 댐(dam) 구조(160)를 형성하는 공정을 완료한다.In this way, a process of forming a
한편, 본 발명에 따른 박막트랜지스터의 어레이소자부가 형성된 제1기판과 합착되는 제2 기판에 형성되는 유기발광부의 형성공정에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, a process of forming the organic light emitting part formed on the second substrate bonded to the first substrate on which the array element part of the thin film transistor according to the present invention will be described will be described below.
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 확대 단면도로서, 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도이다.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5 and is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention.
도 7은 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도6의 "C"부의 확대단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of part “C” of FIG. 6.
도 8은 도 6의 "D"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분이나 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도이다.FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of the portion “D” of FIG. 6 and is a schematic view showing a case where moisture, gas, or the like penetrates into the seal pattern.
도 6 및 도 7을 참조하면, 투명한 제2기판(141)상에 저 저항 금속을 증착하고, 이를 패터닝하여 앞서 설명한 보조전극(143)을 형성한다.6 and 7, a low resistance metal is deposited on the transparent
이때, 상기 보조전극(143)은, 이후 형성되는 제1전극(145)의 저항보다 낮은 금속이면 모두 가능하며, 예를들어 제1 전극(미도시)을 형성하는 물질이 ITO(indium tin oxide)라면, 보조전극(143)으로는 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd) 등을 사용할 수 있다.In this case, the
또한, 상기 보조전극(143)은 통상적으로 불투명한 금속을 사용하게 되므로 표시영역으로 사용되지 않는 영역에 대응하여 형성하는 것이 바람직하다.In addition, since the
그다음, 상기 보조전극(143)이 형성된 제2 기판(141) 전면에 투명물질을 증착하여 제1 전극(145)을 형성한다.Next, a transparent material is deposited on the entire surface of the
이때, 상기 제1 전극(145)은 후속공정에서 형성되는 유기발광층(151)에 홀(hole)을 주입하는 홀 주입전극으로서, 주로 투명하며 일함수(work function)가 높은 인듐-틴-옥사이드 (ITO; indium tin oxide)를 증착하여 형성한다.In this case, the
이어서, 상기 제1 전극(145)의 상부에 유기절연물질 또는 무기절연물질을 이용하여 절연막(미도시)을 형성한다.Subsequently, an insulating film (not shown) is formed on the
그다음, 상기 절연막(미도시)을 선택적으로 패터닝하여 일정간격을 두고 이격된 절연막패턴(147)을 형성한다.Next, the insulating film (not shown) is selectively patterned to form an insulating
이어서, 상기 절연막패턴(147)을 포함한 제2기판(141) 전면에 감광성 수지층 (미도시)을 형성한후 이를 선택적으로 패터닝하여 상기 절연막패턴(147)상부에 격벽(149)을 형성하고, 상기 제2 기판(141)의 테두리부, 즉 화소영역을 제외한 지역에 상기 제1 기판(101)에 형성된 한쌍의 지지패턴(121a, 121b)과 접촉하는 접촉패턴(151)을 형성한다.Subsequently, after the photosensitive resin layer (not shown) is formed on the entire surface of the
이때, 상기 접촉패턴(155)은 제2 기판(141)의 외곽부에 밀폐형 구조로 이루어져 있으며, 상기 격벽(149) 형성시에 함께 형성되거나 이후에 형성할 수도 있다. In this case, the
또한, 상기 접촉패턴(155)은 제1 기판(101)상에 형성된 한 쌍의 지지패턴 (121a, 121b)과 함께 댐구조(160)을 구성한다.In addition, the
그리고, 상기 격벽(149)과 접촉패턴(155)을 구성하는 감광성 수지층은 네거티브(negative) 특성, 즉 자외선 광이 조사되었을때 광이 조사된 부분은 남게 되고 광이 조사되지 않은 부분은 제거되는 성질을 갖는다. The photosensitive resin layer constituting the
그다음, 상기 격벽(149)을 포함한 제2기판(141) 전면에 각 화소영역에 대응하여 위치하고, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 빛을 발광하는 유기발광층(151)을 형성한다. Next, an organic
이때, 상기 유기발광층(151)은 단층 또는 다층으로 구성할 수 있으며, 상기 유기막의 다층으로 구성될 경우에는, 도면에 도시하지 않았지만, 주발광층(미도시)에 홀수송층(hole transporting layer)(미도시)과 전자수송층(electron transporting layer)(미도시)으로 구성된다.In this case, the organic
이어서, 상기 유기발광층(151)을 포함한 상기 제1 전극(145)과 제2 기판(141) 전면에 금속물질을 증착하고 이를 패터닝하여 각 화소영역에 대응하여 독립적으로 위치하는 제2 전극(153)을 형성한다.Subsequently, a metal material is deposited on the entire surface of the
이때, 상기 제2 전극(153)을 형성하는 금속물질로는 알루미늄(Al)과 칼슘(Ca)과 마그네슘(Mg)중에서 선택된 어느 하나로 형성하거나 리튬플루오린/알루미늄(LIF/Al)의 이중 금속층으로 형성할 수 있다.In this case, the metal material forming the
또한, 상기 제1전극(145)을 포함한 절연막패턴(147)과 격벽(149) 각각에 형성되는 유기발광층(151)과 제2전극(153)은 서로 분리되므로써 격벽(149) 양측에 형성되는 서브픽셀 각각이 독립적으로 분리된다. In addition, the organic
이는 상기 격벽(149)의 측면 형태가 테이퍼지게 형성되어 있어 폭이 넓은 격벽(149)의 상부측에는 상기 유기발광층(151)과 제2전극(153)일부가 형성되지만 폭이 좁은 하부측 측면부와 그 아래에 위치하는 절연막패턴(147)부분에는 상기 격벽 (149)의 상부측에 의해 막 증착이 방해되어 막 형성이 어렵게 되기 때문이다.The sidewalls of the
이렇게 제1기판(101)과 제2기판(141)상에 각각 TFT 어레이소자와 발광소자 어레이를 형성한 상태에서 상기 제1기판(101)의 지지패턴(121a, 121b)사이의 공간부(123)내에 상기 제2기판(141)의 접촉패턴(155)이 끼워져 물리적인 접촉이 이루어지면서 상기 제1기판(101)상에 형성된 씰패턴(131)에 의해 제1기판(101)과 제2 기판(141)이 접착되어져 유기전계발광소자를 구성하게 된다. Thus, the
따라서, 도 8에 도시된 바와같이, 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 외부로 부터의 수분 등이 유기전계발광소자내부로 침투되더라도 서로 상하로 접촉되어진 상기 한쌍의 지지패턴 (121a, 121b)과 접촉패턴(155)으로 구성된 댐구조(160)에 의해 수분(161) 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되는 것이 차단되므로 소 자의 불량을 억제할 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 8, even if moisture or the like from outside of the organic light emitting diode according to the present invention penetrates into the organic light emitting diode, the pair of
한편, 본 발명의 다른 실시예로서, 댐구조를 구성하는 지지패턴이 상판에 형성된 유기전계발광소자 구조에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.On the other hand, as another embodiment of the present invention, the organic electroluminescent device structure in which the support pattern constituting the dam structure is formed on the upper plate with reference to the accompanying drawings as follows.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도이다.9 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 단면도로서, 도9의 "E"부의 확대 단면도이다.FIG. 10 is a cross-sectional view of an active matrix organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of part “E” of FIG. 9.
도 11은 도 9의 "F"부의 확대 단면도로서, 씰패턴내부로 수분 또는 가스 등이 침투되는 경우를 나타내는 개략도이다.FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of a portion “F” of FIG. 9 and is a schematic view showing a case in which moisture, gas or the like penetrates into the seal pattern.
본 발명의 다른 실시예는, 앞서 설명한 본 발명의 일실시예와 댐구조의 구성은 동일하지만 댐구조를 구성하는 요소들의 형성 위치가 변경된 경우로서, 이에 대해 아래에서 구체적으로 설명하고자 한다. Another embodiment of the present invention is a case where the configuration of the dam structure is the same as the embodiment of the present invention described above, but the formation position of the elements constituting the dam structure is changed, which will be described in detail below.
도 9, 도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광소자는 제1기판(201)과 제2 기판(241)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 상기 제1, 2 기판(201, 241)의 테두리부에 형성된 씰패턴(231)에 의해 봉지되어 있으며, 상기 씰패턴(231)내측에 위치하는 제1, 2 기판(201, 241)에는 밀폐된 형태의 댐(dam) 구조(260)가 형성되어 있다.9, 10, and 11, in an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention, a
여기서, 상기 제1 기판(201)의 상부에는 각 서브픽셀별로 어레이소자가 형성되어 있고, 상기 제2기판(241)의 하부에는 상기 제1기판(201)의 각 서브픽셀에 대 응하여 유기전계발광 다이오드(미도시)가 형성되어 있다.Here, an array element is formed for each subpixel on an upper portion of the
상기 제1기판(201)상에 각 서브픽셀별로 형성된 어레이소자(T)는 게이트전극 (203)과 상기 게이트전극(203)상에 형성된 액티브층(207), 오믹콘택층(209) 및 소스/드레인전극(211, 213)으로 구성되어 있으며, 상기 드레인전극(213)은 연결배선 (217)에 의해 서브 픽셀별로 독립적으로 형성된 상기 유기전계발광 다이오드(미도시)와 전기적으로 연결되어 있다.An array element T formed on each of the sub-pixels on the
또한, 상기 씰패턴(231)내측에 위치하는 제1기판(201)상에는 댐구조(260)를 구성하는 접촉패턴(221)이 형성되어 있다. In addition, a
그리고, 상기 접촉패턴(221)은 씰패턴(231)내측에 형성되어 있으며, 테이퍼진 형태로 구성되어 있다. 특히, 상기 접촉패턴(221)은 상부측 폭이 하부측 폭보다 좁게 형성되어 있으며, 제1 기판(201)의 외곽부를 따라 밀폐형 구조로 형성되어 있다.The
한편, 상기 제2기판(241)상에는 일정간격을 두고 보조전극(243)이 형성되어 있으며, 상기 보조전극(243)을 포함한 제2기판(241)에는 유기전계 발광다이오드(미도시)를 구성하는 공통전극으로 이용되는 제1전극(245)이 형성되어 있다.Meanwhile, an
그리고, 상기 제2 전극(245)상에는 일정간격을 두고 절연막패턴(247)이 형성되어 있으며, 상기 절연막패턴(247)상에는 접촉스페이서(249)와 테이퍼진 형태의 격벽(251)이 서로 인접되게 형성되어 있다. 이때, 상기 격벽(251)은 각 서브픽셀을 분리하는 기능을 한다.The insulating layer pattern 247 is formed on the
또한, 상기 제2기판(241)의 외곽부에는 상기 제1 기판(201)에 형성된 접촉패 턴(221)과 접촉되는 한쌍의 지지패턴(257a, 257b)이 형성되어 있으며, 이 한쌍의 지지패턴(257a, 257b)사이에는 상기 접촉패턴(221)이 끼워질 수 있도록 공간부 (259)가 마련되어져 있다. 이때, 상기 공간부(259)는 하부쪽으로 갈수로 폭이 좁게 형성되어 있다.In addition, a pair of
또한, 상기 지지패턴(257a, 257b)은 상기 제2기판(241)의 외곽부를 따라 밀폐형 구조로 형성되어 있다.In addition, the
그리고, 상기 격벽(251)과 접촉스페이서(249)를 포함한 절연막패턴(247), 제1 전극(245)상에는 유기발광층(253)과 제2 전극(255)이 적층되어 있다. The organic
이때, 상기 제1전극(245)상에 형성된 유기발광층(253)과 제2전극(255) 부분은 유기발광다이오드(미도시)로 사용된다. In this case, portions of the organic
그리고, 상기 제1전극(245)을 포함한 절연막패턴(247)과 격벽(251) 각각에 형성되는 유기발광층(153)과 제2전극(155)부분은 서로 분리되므로써 격벽(251) 양측에 형성되는 서브픽셀 각각이 독립적으로 분할된다. In addition, the organic
이는 상기 격벽(251)의 측면 형태가 테이퍼지게 형성되어 있어 폭이 넓은 격벽(251)의 상부측에는 상기 유기발광층(253)과 제2전극(255)일부가 형성되지만, 폭이 좁은 하부측 측면부와 그 아래에 위치하는 절연막패턴(247)부분에는 상기 격벽(251)의 상부측에 의해 막 증착이 차단되어 막 형성이 어렵게 되기 때문이다.The sidewalls of the
이렇게 제1기판(201)과 제2기판(241)상에 각각 TFT 어레이소자와 발광소자 어레이를 형성한 상태에서 상기 제2기판(241)의 지지패턴(257a, 257b)사이의 공간부(259)내에 상기 제1기판(201)의 접촉패턴(221)이 끼워져 물리적인 접촉이 이루어 지면서 상기 제1기판(201)상에 형성된 씰패턴(231)에 의해 제1기판(201)과 제2 기판(241)이 접착되어져 유기전계발광소자를 구성한다. Thus, the
따라서, 도 11에 도시된 바와같이, 제1 기판(201)과 대향하는 제2 기판(241)과 이들 기판을 합착하기 위해 사용되는 씰패턴(231)의 경계면을 통해 외부로부터 수분(261) 등이 침투하게 된다. Therefore, as illustrated in FIG. 11, moisture 261 or the like is externally connected through the boundary surface of the
하지만, 상기 씰패턴(231)내측에 위치하는 댐구조(260), 즉 제1기판(201)에 형성된 접촉패턴(221)과 제2기판(241)에 형성된 한쌍의 지지패턴(257a, 257b)의 접촉에 의해 상기 외부로부터 침투된 수분(261)이나 가스 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되지 않게 된다. However, the
또한편, 본 발명에 따른 또다른 실시예로서, 씰패턴내측에 구비되는 댐구조의 여러 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.In addition, as another embodiment according to the present invention, with reference to the accompanying drawings for the various embodiments of the dam structure provided inside the seal pattern in detail as follows.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 씰패턴과 댐(dam) 구조를 도시한 단면도로서, 도 12a 및 도 12b는 상판에 댐구조를 구성하는 지지패턴이 형성된 경우를 나타낸 단면도이다.12A and 12B are cross-sectional views illustrating a seal pattern and a dam structure of an active matrix type organic light emitting display device according to still another embodiment, and FIGS. 12A and 12B illustrate a dam structure on a top plate. It is sectional drawing which shows the case where the support pattern is formed.
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자의 씰패턴과 댐(dam) 구조를 도시한 단면도로서, 도 13a 및 도 13b는 하판에 댐구조를 구성하는 지지패턴이 형성된 경우를 나타낸 단면도이다.13A and 13B are cross-sectional views illustrating a seal pattern and a dam structure of an active matrix organic light emitting display device according to still another embodiment, and FIGS. 13A and 13B illustrate a dam structure on a lower plate. It is sectional drawing which shows the case where the support pattern is formed.
도 12a를 참조하면, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 유기전계발광소자는, 제1 기판(301)과 제2 기판(341)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 상기 제1, 2 기판(301, 341)의 테두리부에 형성된 씰패턴(331)에 의해 봉지되어 있으며, 상기 씰 패턴(331)내측에 위치하는 제1, 2 기판(301, 341)에는 밀폐된 형태의 댐(dam) 구조(360a)가 형성되어 있다.Referring to FIG. 12A, in an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment, a
여기서, 상기 댐구조(360a)은 상기 제1 기판(301)에 형성된 접촉패턴(321a)과, 상기 제2 기판(341)에 형성되고 상기 접촉패턴(321a) 일부와 접촉되는 지지패턴(357a)으로 구성된다. 이때, 상기 접촉패턴(321a)와 지지패턴(357a)은 서로 대향되는 측면부 또는 상면이 서로 접촉된다.The
한편, 본 발명의 또다른 실시예로서, 도 12b는 도 12a와 동일한 댐구조(360b), 즉 접촉패턴(321b)과 접촉패턴(357b)으로 구성되어 있으며, 단지 상기 제1 기판(301)에 형성된 접촉패턴(321b)이, 상기 제2 기판(341)에 형성되고 상기 접촉패턴(321b)과 씰패턴(331)사이에 위치하여 상기 접촉패턴(321b) 일부와 접촉되는 지지패턴(357b)으로 구성된다. 이때, 상기 접촉패턴(321b)와 지지패턴(357b)은 서로 대향되는 측면부 또는 상면이 서로 접촉된다.Meanwhile, as another embodiment of the present invention, FIG. 12B includes the
따라서, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 제1 기판(301)과 대향하는 제2 기판(341)과 이들 기판을 합착하기 위해 사용되는 씰패턴(331)의 경계면을 통해 외부로부터 습기 등이 침투하게 된다. Therefore, although not shown in the drawing, moisture or the like penetrates from the outside through the interface between the
하지만, 상기 씰패턴(331)내측에 위치하는 댐구조(360b), 즉 제1기판(301)에 형성된 접촉패턴(321b)과 제2기판(341)에 형성된 지지패턴(357b)의 접촉에 의해 상기 외부로부터 침투된 수분이나 가스 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되지 않게 된다. However, the
한편, 도 13a를 참조하면, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 유기전계발광소 자는, 제1 기판(401)과 제2 기판(441)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 상기 제1, 2 기판(401, 441)의 테두리부에 형성된 씰패턴(431)에 의해 봉지되어 있으며, 상기 씰패턴(431)내측에 위치하는 제1, 2 기판(401, 441)에는 밀폐된 형태의 댐(dam) 구조(460a)가 형성되어 있다.Meanwhile, referring to FIG. 13A, the organic light emitting diode according to another embodiment of the present invention includes a
여기서, 상기 댐구조(460a)은 상기 제1 기판(401)에 형성된 지지패턴(421a)과, 상기 제2 기판(441)에 형성되고 상기 지지패턴(421a) 일부와 접촉되는 접촉패턴(457a)으로 구성된다.The
또한편, 본 발명의 또다른 실시예로서, 도 13b는 도 13a와 동일한 댐구조(460b), 즉 지지패턴(421b)과 접촉패턴(457b)으로 구성되어 있으며, 단지 상기 제1 기판(401)에 형성된 지지패턴(421b)이, 상기 제2 기판(441)에 형성되고 상기 지지패턴(421b)과 씰패턴(431)사이에 위치하여 상기 지지패턴(421b) 일부와 접촉되는 접촉패턴(457b)으로 구성된다. 이때, 상기 지지패턴(421b)와 접촉패턴(457b)은 서로 대향되는 측면부 또는 상면이 서로 접촉된다.In addition, as another embodiment of the present invention, FIG. 13B is composed of the
따라서, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 제1 기판(401)과 대향하는 제2 기판(441)과 이들 기판을 합착하기 위해 사용되는 씰패턴(431)의 경계면을 통해 외부로부터 수분 등이 침투하게 된다. Therefore, although not shown in the figure, moisture or the like penetrates from the outside through the interface between the
하지만, 상기 씰패턴(431)내측에 위치하는 댐구조(460b), 즉 제1기판(401)에 형성된 지지패턴(421b)과 제2기판(441)에 형성된 접촉패턴(457b)의 접촉에 의해 상기 외부로부터 침투된 수분이나 가스 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되지 않게 된다. However, the
한편, 상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.On the other hand, while described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art various modifications of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below And can be changed.
상기에서 설명한 바와같이, 본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다. As described above, the organic light emitting display device and the manufacturing method thereof according to the present invention have the following effects.
본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법은 하판과 상판에 각각 지지패턴과 접촉패턴을 선택적으로 형성하여 이들이 서로 접촉되어져 결합되게 하므로써 차폐형 구조의 댐구조를 구성하게 된다.The organic light emitting display device and the method of manufacturing the same according to the present invention form a dam structure of a shielded structure by selectively forming a support pattern and a contact pattern on the lower plate and the upper plate, respectively, so that they are brought into contact with each other.
따라서, 본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법은 유기계발광소자의 외부로 부터의 습기 등이 유기전계발광소자내부로 침투되더라도 씰패턴과 화소영역사이에 구비된 댐구조에 의해 습기 등이 더이상 유기전계발광소자내부로 침투되는 것이 차단되므로 소자의 불량을 크게 억제할 수 있다.Accordingly, the organic light emitting display device and the method of manufacturing the same according to the present invention have moisture due to the dam structure provided between the seal pattern and the pixel region even if moisture from the outside of the organic light emitting device penetrates into the organic light emitting device. Since the penetration into the organic light emitting device is no longer blocked, defects of the device can be greatly suppressed.
특히, 본 발명에 따른 유기전계발광소자는 최외곽 씰패턴이외에 밀폐형 댐구조를 구비하므로써 외부 투습 방지력과 진공 보존 능력이 개선된다.In particular, the organic electroluminescent device according to the present invention is provided with a sealed dam structure in addition to the outermost seal pattern, thereby improving external moisture permeability and vacuum preservation ability.
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KR1020070026317A KR20080084489A (en) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | Organic light emitting diode and method for fabricating the same |
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US8405094B2 (en) | 2009-08-07 | 2013-03-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Encapsulation substrate for an organic light emitting diode display device |
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2007
- 2007-03-16 KR KR1020070026317A patent/KR20080084489A/en not_active Application Discontinuation
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US8405094B2 (en) | 2009-08-07 | 2013-03-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Encapsulation substrate for an organic light emitting diode display device |
US8518727B2 (en) | 2009-08-07 | 2013-08-27 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of forming encapsulation substrate for an organic light emitting diode display device |
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