KR20080079284A - 진공셀용 차폐장치 - Google Patents

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Abstract

진공 측정셀을 위한 차폐장치는 차폐부(shield)를 둘러싸는 관 차폐 하우징(tubular shield housing)과 진공 측정 셀과 연결을 위한 출구(exit port) 및 측정될 대상 공간과의 연결을 위한 연결 개구(connection opening)를 구비한다. 상기 차폐부가 두 개의 개구들 사이에 배치되고, 나사선 형상의 나사줄 회선을 구비한 스크류 차폐부(screw shield)로 구현되고, 상기 스크류 차폐부의 나사산 플랭크(thread flank)의 외측 직경이 차폐 하우징의 내벽 상에 접촉하여 상기 나사산 플랭크 외측 직경과 내벽 사이에 가스 관통 흐름이 억제되고, 그러한 관통 흐름이 나사선 형상의 나사산 날(thread flight)로 간섭받고, 및 상기 출구가 관부의 일 측면 상에 있고, 상기 연결 개구는 반대 측면 상에 있고, 및 상기 두 개의 개구들 사이에서 축 방향으로 보면 상기 차폐 장치가 시각적으로 꽉 막힌 것으로 상기 스크류 차폐부가 구현된다.
진공 측정 셀, 차폐장치, 스크류 차폐부, 나사줄 회선

Description

진공셀용 차폐장치{SHIELD ARRANGEMENT FOR A VACUUM CELL}
본 발명은 진공셀용 차폐장치에 관계한다.
토탈 진공셀(Total vacuum cells)은 진공챔버에서 토탈 압력을 측정하기 위해 이용된다. 진공측정 셀(vacuum measuring cells)은 다양한 진공 공정을 모니터링 하는 경우에 이용된다. 전형적인 진공 공정은 표면 처리 공정(surface treatment processes)으로서, 예를 들면 코팅 방법이나 에칭 방법이 이에 해당한다. 이런 방법들은 예를 들면, 압력범위 10-5mbar에서 100mbar의 공정에서 작동한다. 소위 피라니 진공측정 셀(Pirani vacuum measuring cells) 또는 다이아프램 진공 측정 셀(diaphragm vacuum measuring cells)을 사용하여 이러한 압력 범위를 측정하는 것은 종래 방식이다. 여기에서 발생하는 하나의 문제는 잔류가스뿐만 아니라 공정가스가 공정 동안 진공 센서를 오염시킬 수 있다는 것이다. 결과적으로, 부정확하거나 잘못된 측정 또는 압력 지시가 발생할 수 있다. 진공측정 셀은 상기 공정에 노출되는 동안의 시간에 대응되는 유동 거동(drift behavior)을 나타내고, 이것이 진공 셀이나 그 주변의 세정을 통해 항상 제거하거나 회복시킬 수 없다. 다이아프램 측정 셀은 특히 오염에 대해 민감하다. 그러한 다이아프램 측정 셀에 있어서, 얇은 다이아프램이 측정되는 압력에 따라 휘어진다. 용량 다이아프램 측정 셀(capacitive diaphragm measuring cells )의 경우에 이러한 다이아프램의 변형이 다이아프램과 단단한 바디(body) 사이의 용량(capacitive) 변화에 따라 측정된다. 광학 다이아프램 측정 셀(optical diaphragm measuring cells)의 경우에, 이러한 변형이 예를 들면, 간섭계(interferometry)를 이용한 광학적 방법으로 획득된다. 고민감성으로 이런 압력 범위를 측정하기 위해 다이아프램은 매우 얇은 막으로 설치되어야 하고, 예를 들면 50에서 760㎛ 범위여야 한다. 예를 들면, 가스 또는/및 입자등에 의한 얇은 다이아프램의 오염은 다이아프램의 변형에 영향을 주고, 그 결과 측정되어야 할 절대값의 잘못된 측정이나 원하지 않는 시간초과의 유동 거동을 발생시키는 장력 및/또는 압력 스트레스를 초래한다. 또한, 그 결과로, 측정 셀의 정확성이 감소하고, 한편, 측정 결과의 재현성이 확보되지 않는다. 그러한 오염을 감소시키기 위해서, 도 1의 용량 다이아프램 진공 셀의 예로서 도시된 바와 같이, 그 기술분야의 전문가에 의해 배플(baffle)로서 간주되는 판 차폐부(flat shield)가 이미 이용되고 있다. .
진공 셀(15)이 제 1 플랫 라운드 하우징부(1)와 제 2 플랫 라운드 하우징부(4)로 구성되고, 이들 두 하우징부 사이에서 예를 들면, 글라스 솔더(glass solder)와 같은 실(seal)(3)을 통해 다이아프램(2)이 연결되고, 다이아프램과 두 개의 하우징부 사이에서 각각 하나의 공동부(cavity)(9, 10)가 구현된다. 상기 공 동부는 연결부(13)를 거쳐 게터 공간(getter space)과 통해 있는 레퍼런스 진공 공간(reference vacuum space)(10)을 형성한다. 상기 게터 공간(12)에 레퍼런스 진공(reference vacuum)의 신뢰성 유지를 위해 게터(getter)(11)가 설치된다. 상기 레퍼런스 진공 공간(10)의 반대편, 다아아프램(2)의 다른 면에 측정 진공 공간(measuring vacuum space)(9)이 형성되고, 상기 측정 진공 공간은 출구 포트(exit port)(16)를 거쳐 차폐 하우징(shield housing)(6)에 통해 있고, 그 내부에 차폐부(sheild)(7)가 설치되고, 상기 차폐 하우징이 적절히-예를 들면 연결 피팅(5)을 통해 진공 셀(vacuum cell)(15)에 연결된다. 차폐 하우징(6)상에 연결개구(connection opening)(22)를 구비한 연결 플랜지(connection flange)(8)가 설치되고, 상기 연결 플랜지는 측정 대상인 진공 프로세스 챔버(vacuum process chamber)에 연결될 수 있다. 상기 연결 개구(22)가 이러한 방식으로 설치되어 상기 진공 셀의 출구 포트(16)의 반대편의 차폐부(7)가 직접적으로 시야가 관통하는 것을 허용하지 않는다 ; 차폐부(7)는 보호 효과를 제공하여 원하지 않는 가스나 입자들이 진공 셀 내부에 도달하지 못하도록 차폐부 표면상에 응축된다.
상기 차폐부는 기술분야에 따르면 종종 플라즈마 차폐막으로 간주될 수 있다. 반응가스를 포함하는 공정에서, 이들이 바람직하게는 차폐부 상에 응축되도록 의도된다. 이것으로 상기 센서 드리프트(sensor drift)가 감소되고 측정셀의 수명이 증가 된다. 비록 이 평판 차폐막(flat shield)이 측정 셀의 수명을 개선하여도 입자들의 많은 부분이 여전히 잔류하는 것을 방지할 수 없고 예를 들면, 분산 공정을 통해 - 상기 차폐부 주변에 도달하고 여기서 다이아프램의 측정 오류가 발생할 수 있다.
본 발명은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위한 것을 목적으로 한다. 본 발명의 하나의 목적은 진공셀(vacuum cells), 보다 상세하게는 다이아프램용 진공 측정 셀에 사용되는 차페 장치를 구현하는 것으로서, 이것에 의하면 진공 셀의 오염을 급격히 감소시키므로 결국, 진공 측정의 재현성과 높은 정확성을 보장하는 동시에 측정셀의 서비스 수명(service life)을 매우 증가시킬 수 있다.
본 발명의 목적은 청구항의 특성에 따른 진공 셀의 종류에 대한 차폐 장치를 달성하는 것이다.
본 발명에 따른 진공 측정 셀용 차폐장치는 차폐부(shield)를 둘러싸는 차폐 하우징(shield housing)을 구비한 진공 측정 셀용 차폐 장치를 포함하고, 상기 차폐 하우징은 진공 측정 셀과 연결을 위한 출구(exit port) 및 측정될 대상 공간과의 연결을 위한 연결 개구(connection opening)를 구비하고, 상기 차폐부가 두 개의 개구들 사이에 배치되고 상기 차폐 하우징이 관부(tubular section)이고, 상기 차폐부가 나사선 형상의 나사줄 회선을 구비한 스크류 차폐부(screw shield)로 구현되고, 상기 스크류 차폐부의 나사산 플랭크(thread flank)의 외측 직경이 차폐 하우징의 내벽 상에 접촉하여 상기 나사산 플랭크 외측 직경과 내벽 사이에 가스 관통 흐름이 억제되고, 그러한 관통 흐름이 나사선 형상의 나사산 피치(thread pitch)로 간섭받고, 및 상기 출구가 관부의 일 측면 상에 있고, 상기 연결 개구(22)는 반대 측면 상에 있고, 및 상기 두 개의 개구들 사이에서 축 방향으로 보면 상기 차폐 장치가 시각적으로 꽉 막힌 것으로 상기 스크류 차폐부가 구현된다.
상기 스크류 차폐부 또는 나선 차폐부가 상기 센서와 진공 공정 챔버의 플랜지 사이에서 관부 내부에 설치된다. 또한, 상기 차폐부가 앞에서 언급된 잘 알려진 차폐부를 이용할 수 있다. 또한, 스크류 차폐부는 차폐효과를 높이기 위해 추가로 몇 개의 경로(path)를 포함할 수 있다. 상기 차폐 장치의 스크류 형상에 의해, 연결 개구에서 진공 측정 셀로의 직접적인 시야 관통(through-view)이 신뢰할 만큼의 수준으로 회피될 수 있고, 그 결과 입자들이 상기 차폐부의 끝에 도달하기 전에 상기 표면에 여러 번 상호 작용을 하게 된다. 만약, 상기 차페부가 클리닝 또는 교환을 위해 쉽게 제거될 수 있도록 구현되면 좋다. 이와 같은 목적을 위해, 탄성 요소(resilient element)의 예로서 부착요소(retaining element)가 상기 차폐장치에 제공되고 상기 차폐부에 고정되기 위해 상기 차폐부 그 자체 및/또는 관부 상에 제공된다. 충분히 긴 서비스 수명을 확보하거나 분해공정에서 추가 오염을 피하기 위해 상기 공정들에 양립할 수 있는 소재의 차폐부나 하우징을 제조하는 것이 유리하다. 반응 공정에서 특히, 반응 플라즈마 공정은 종종 어그레시브 가스(aggressive gas)를 포함하면, 사용된 구성 요소의 재료에 대해 고 반응성으로 거동하게 된다. 상기 차폐부 및/하우징과 같은 구성 요소들이 여기에 노출되면 본 발명의 목적을 위해 이들이 적절한 보호 물질로 코팅될 수 있다.
본 발명을 특징짓는 다양한 신규한 요소와 이들이 완전히 구현된 실시예 및 스위스 우선권 출원이 본 발명에서 개시된 청구항에서 제시되고 개시된 요소들을 형성한다.
본 발명의 좀 더 나은 이해를 위해, 그 사용을 위해 달성될 수 있는 구체예와 장점이 도면과 함께 상세한 설명에 개시되었으나, 이것에 의해 본 발명의 특징이 제한되는 것은 아니다.
이하에서, 본 발명에 대해 도면과 함께 상술하도록 한다.
도 1은 종래 기술을 나타내는 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 차폐장치를 구비한 다이아프램 진공 측정 셀의 개략 단면도이다.
도 3a는 본 발명에 따른 부착 요소를 구비한 차폐부의 측면도이다.
도 3b는 도 3a에 따른 입체도이다.
도 4a-4d는 스크류 표면과 나사산 피치의 다른 경로 구조를 가진 스크린 차폐부의 다른 구현예를 나타낸 측면도 및 입체도이다.
도 5는 부착장치의 예를 확대한 도면이다.
도 2는 다이아프램 진공 측정 셀(diaphragm vacuum measuring cell)(15)과 그 위에 설치된 스크류 차폐부(20)를 가진 독창적인 차폐장치(25)를 구비한 본 발명에 따른 진공측정 셀 장치(vacuum measuring cell arrangement)의 단면도를 나타내고, 상기 스크류 차폐부(20)는 나사선 형태(spiral-form ) 또는 나선형태(helical shield)로 구체화된다. 상기 진공측정 셀(15)은 제 1 플랫 라운드 하우징부(first flat round housing part )(1), 제 2 라운드 플랫 하우징부(second round flat housing part )(4)와 이들 사이에 설치되어 그 주위로 실링(sealing)을 형성하는 다이아프램(2)을 포함한다. 제 1 하우징 부(1)에 대해 다이아프램(2)이 얇은 공간에 설치되고, 이들 사이에서 레퍼런스 진공 공간(reference vacuum space)이 형성되며 상호 연결부(interconnection)(13)를 통해 레퍼런스 진공의 유지를 위해 게터 공간(getter space)(12)을 포함한다. 다이아프램(2)과 제 2 하우징 부(4) 사이에 측정 진공 공간(measuring vacuum space)(9)이 형성되고, 그 중심에서 바람직하게는 제 2 하우징부(4)를 통해 개구와 연결 피팅(connecting fitting)(5)를 경유하여 차폐장치(shield arragement)(25)와 통하게 되고, 상기 차폐장치는 측정되는 진공공간과 통하여 연결될 수 있는 연결개구(connection opening)(22)를 포함한다. 스크류 차폐부(20)는 관부(tubular section)(14) 내부에 설치되고, 스크린 차폐부(20)의 나사줄 회선(convolutions)(21)이 관부(14)의 내벽에 접촉하여, 나사줄 회선(21)의 이러한 맞물림 영역에서, 적어도 입자의 관통흐름에 대한 억제력이 증가하고, 하지만, 바람직하게는 측정되어야 하는 바람직한 압력범위에서 실링(sealing)이 증가한다. 멤브레인 측정 셀(membrane measuring cell)이 바람직하게는 세라믹 물질(ceramic material)로 이루어진다. 이것은 적어도 제 1 하우징 부 또는 바디부(1) 및 제 2 하우징 부 또는 바디부(4) 및 멤브레인(2)을 포함한다. 이들 구성요소들은 바람직하게는 앞에서 언급된 유리납땜(glass braze)에 의해 서로 결합된다. 세라믹 물질로서 알루미늄 옥사이드(aluminumoxide)를 사용하는 것이 유리하다. 알루미늄 옥사이드는 사파이어(sappire)로 변경될 수 있고, 부분적으로 사용되거나 다른 것들과 조합하여 사용될 수 있다
스크류 차폐부(20)의 나사줄 회선(21)이 나사선 경로(24)로 구현되고, 스크류 물질의 단면을 비교하면, 이것은 충분한 고 전도성(conductance)을 얻기 위하여 자유 경로(free path)(24)의 가능한 큰 단면을 발생시키는 것을 허용하게 한다. 그러므로 스크류 차폐부(20)의 나사줄 회선(21)이 바람직하게는 평날 스크류(flat-flight screw)(20)로 구체화되고, 이것은 결과적으로 시트형 나사선(sheet-form spiral)이 된다. 단단한 바디부 물질에 대해 가능한 큰 경로(24)의 단면을 얻기 위하여, 코어(23)는 가능한 작은 직경으로 구현되거나 완전히 누락될 수 있다. 그러나, 만약 코어가 예를 들어 2~6mm 범위의 직경을 가진다면 나사선형의 스크류 차폐부(20)에 안정성을 주거나 특히 고정부로서 그 끝을 이용할 수 있고, 한편, 상기 차폐부를 튜브 내에 고정을 위하여, 다른 한편으로 클리닝을 목적으로 교체되어야 하는 경우, 다른 면이 상기 튜브의 밖으로 간단히 상기 차폐부를 들어내는 것을 용 이하게 하는 핸들형태로 구현될 수 있다.
관부(14)의 한 면이 차폐장치(25)의 출구(exit port)(16)를 형성하고, 진공측정 셀(15)의 측정 진공 공간(9)을 통하여 연결되어 있다. 관부(14)의 다른 면은 측정될 진공부피용 연결개구(connection opening)(22)를 형성하고, 바람직하게는 연결 플랜지(connection flange)(8)를 직접적으로 포함하거나 연결 플랜지(8)로서 구현될 수 있다. 상기 연결 플랜지(8)는 바람직하게는 간단한 방식으로 다른 튜브 연결부를 만들어내기 위하여 진공기술, 디멘젼(dimension)에 있어서 종래부터 이용되어 왔던 소위 소 플랜지 부(small flange part)로서 구현될 수 있다. 보다 상세하게는 진공 기술 분야에서 알려진 CF, KF 및 VCR타입의 플랜지가 사용될 수 있다.
차폐장치(25)의 출구(16) 방향을 향해 연결 개구(22)에서 종축방향에서 보면, 상기 장치는 시야가 관통하는 것을 허용하지 않고 따라서 시각적으로 꽉막혀(tight) 있다. 스크류 차폐부(20)는 적어도 1.5 나사줄 회선(1.5 convolution)(21)을 가진다. 그러나, 만약 스크류 차폐부(20)가 다중날 스크류(multi-flight screw)로 구체화되고 수 개의 나사줄 회선(21) 즉, 3-10개의 나사줄 회선을 가지는 것이 유리하다. 만약 관부(14) 및/또는 차폐부(20)가 이녹스(Inox) 물질을 포함한다면 많은 경우에 충분하다. 조건을 측정하기 매우 어려운 상황에서, 여기에 높은 활성과 반응성을 갖는 공정가스들이 사용되면, 차폐부(20) 및/또는 관부(14)가 가능한 어떤 조건에서도 공격적인 공정 조건에 내구성이 있는 물질로 제조된다면, 오염이 추가적으로 분해과정을 통해 생성되지 않는다는 것이 본 발명에 따른 차폐 장치(25)의 장점이다. 비용을 낮추고 특정 물질의 특성을 얻기 위해 관부(14) 및/또는 차폐부(20)의 노출된 표면이 적절한 보호물질로 코팅될 수 있다. 어떤 경우에는, 이런 물질들이 진공 측정 셀(15)의 다이아프램(2) 소재의 유형으로 매치된다면 보다 바람직하다.
본 발명에 따른 스크류 차폐부(20)는 다양한 방식으로 진공 측정 셀(15)의 다이아프램(2)용 보호특성을 최적화하도록 한다. 도 4는 스크류 차폐부(20)의 다른 구현예를 보여준다. 도 4a는 상대적으로 작은 피치를 가지고 통과면적과 물질의 단면의 비가 3.3인 단일 날 스크류 차폐부(single-flight screw shield)(20)를 나타낸다. 도 4b는 상대적으로 큰 피치를 가지고 통과면적과 물질의 단면의 비가 6.6인 두 개의 나사산이 다른 것 내에 배치된 이중 날 스크류 차폐부(two-flight screw shield)(20)를 나타낸다. 통과면적과 물질의 단면의 비가 19.8이고 도 4b에 의한 피치보다 두 배인 피치를 가지는 또 다른 이중 날 나사산 구조(two-flight thread configuration)가 도 4c에 도시되어 있다. 도 4d는 중간 정도의 피치를 가지고 통과면적과 물질의 단면의 비가 9.9인 3중 날 스크류 차폐부(third-flight screw shield)(20)를 나타낸다. 공정 조건에 따라, 스크류 차폐부(20)의 나사산 줄(threading flight)의 수, 나사줄 회선의 수, 경사 및 직경 등에 의해 진공 측정 셀(15)의 다이아프램(2)의 보호 기능이 최적화될 수 있고 보호기능은 별도로 하여도 또한 우수한 측정 성능이 얻어질 수 있다.
확대된 평날 스크류 차폐부(flat-flight screw shield)(20)의 측면도가 도 3a에 도시되고, 3차원 도면(입체도)이 3b에 도시되어 있다. 여기에 도시된 평날 스크류와 별개로 다른 형태의, 예를 들면, 사다리꼴, 삼각형, 커브 형태의 끝이 가늘어지는 나사줄회선(21)를 구비하는 스크류 단면이 가능하다. 그러나, 평날 스크류(20)는 경로(24)의 단면이 경로 면적(24)과 유지되는 물질(remaining material)의 단면의 비가 유리하도록 가능한 크게 구현될 수 있으므로 유리하다. 또한, 이러한 구현은 나사줄 회선(21)의 맞물림 영역에서 적절한 정확도를 허용하고, 이것에 의해 스크류 차폐부(20)가 정확하게 교환가능한 부품으로 제조될 수 있다.
만약, 상기 차폐장치(25)의 출구(16)의 근접 부위에서 진공 측정 셀(15)이 연결되는 경우, 추가 차폐부(30)가 배치될 수 있고, 이것이 판 차폐부(flat shield)(30)로 구현되고, 바람직하게는 구멍(32)을 가지고 이러한 경우 스크린 차폐부(screening shield)(30)를 형성하게 된다. 도 3에 스크류 차폐부(20)의 막대형상의 코어(23) 일 단부에 고정되어 있는 스크린 차폐부(30)의 바람직한 구현예가 도시되어 있다. 상기 차폐부(30)는 부착 링크(retaining links)(33)를 그 주위에 구비하여 제공될 수 있고, 상기 부착 링크는 스크류 차폐부(20)에 대해 부착 및 위치시키는 기능을 위해 관부(14) 상에 탄성을 가진 채로 위치되고 바람직하게는 고정설치용 관부(14) 내에 홈과 같은 오목부위 내로 체결된다.
우수하게 시각적으로 꽉 막힌 상태와 보호 효과를 얻기 위해 상기 차폐부의 길이 l가 그것의 외측 직경 2r보다 길어야 한다. 스크류 차폐부(20)의 바람직한 치수는 외측직경 2r은 10mm에서 40mm이고, 길이 l는 20mm에서 120mm이다.
도 5는 스크린 차폐부(30)의 평면도를 상세하게 도시한 것이다. 구멍(32)들을 구비하여 제공된 환형 차폐부(30)의 주위에 예를 들면, 3 개의 부착 링크(33)가 제공된다. 이것이 약 90도의 각도로 구부러지고, 그 결과 관부(14)와 체결될 수 있다. 스크린 차폐부의 직경이 주위 영역에서 스크류 차폐부(20)처럼 입자의 투과를 실질적으로 금지 내지 방지할 수 있을 정도가 되어야 한다.

Claims (12)

  1. 차폐부(7)를 둘러싸는 차폐 하우징(6)을 구비한 진공 측정 셀(15)용 차폐 장치로서, 상기 차폐 하우징(6)은 진공 측정 셀(15)과 연결을 위한 출구(16) 및 측정될 대상 공간과 연결을 위한 연결 개구(22)를 구비하고, 상기 차폐부(7)가 두 개의 개구들(16, 22) 사이에 배치되는 상기 차폐장치는
    차폐 하우징(6, 14)이 관부(tubular)(14)이고, 상기 차폐부(7, 20)가 나사선 형상의 나사줄 회선(21)을 구비한 스크류 차폐부로 구현되고, 상기 스크류 차폐부의 나사산 플랭크(thread flank)의 외측 직경이 차폐 하우징(14)의 내벽 상에 접촉하여 상기 나사산 플랭크 외측 직경과 내벽 사이에 가스 관통 흐름이 억제되고, 그러한 관통 흐름이 나사선 형상의 나사산 날(thread flight)로 간섭받고, 및 상기 출구(16)가 관부(14)의 일 측면 상에 있고, 상기 연결 개구(22)는 반대 측면 상에 있고, 및 상기 두 개의 개구들(16, 22) 사이에서 축 방향으로 보면 상기 차폐 장치(25)가 시각적으로 꽉 막힌 형상으로 상기 스크류 차폐부(20)가 구현된 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 스크류 차폐부(20)가 1.5 나사줄 회선(1.5 convolutions)인 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 스크류 차폐부(20)가 다중 날 스크류(multi-flight screw)인 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 스크류 차폐부(20)가 평날 스크류(flat-flight screw)인 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 스크류 차폐부(20)가 나사선 형상의 나사줄 회선이 둘레에 설치된 막대 형상의 코어를 포함하는 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 스크류 차폐부(20)의 길이(l)가 외부직경(2r)보다 큰 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 관부(14)가 연결개구(22)상에 연결 프랜지(8)을 포함하고, 바람직하게는 관부(14)와 하나의 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 출구(16)의 인접 부위에 환형 판 차폐부(circular flat shield)(30), 바람직하게는 스크린 차폐부(screening shield)(30)가 설치되는 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 판 차폐부(30)가 상기 스크류 차폐부(20) 상에 고정 되는 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 판 차폐부(30)가 관부(14)의 내벽 상에 고정되도록 그 주위로 부착 링크(retaining link)를 가지는 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 스크류 차폐장치(20)가 관부(14) 내부에 슬라이드되어 삽입되거나 들어낼 수 있도록 구현된 것을 특징으로 하는 차폐장치.
  12. 제 1항에 있어서, 상기 차폐장치(14, 20, 25)가 출구를 거쳐 진공 측정 셀(15), 바람직하게는 다이아프램 측정 셀(diaphragm measuring cell), 보다 바람직하게는 용량 다이아프램 측정 셀(capacitive diaphragm measuring cell) 또는 광학 다이아프램 측정 셀(optical diaphragm measuring cell)에 연결되는 것을 특징으로 하는 차폐장치.
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