KR20080066570A - Method for maintaining plating capacity in electroless gold plating bath - Google Patents

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Abstract

A method for stably maintaining and managing the plating capacity of an electroless gold plating bath for a long time is provided to obtain gold plating film with good external appearance without causing flaws in the external appearance according to the progress of intergranular corrosion on a nickel surface, and a method for maintaining and managing, stably for a long time, an electroless gold plating bath in which gold cyanide salt has been consumed by plating treatment is provided. As a method for maintaining and managing the plating capacity of the electroless gold plating bath in a state that an electroless gold plating bath is maintained at a temperature of 70 to 90 deg.C, the electroless gold plating bath containing gold cyanide salt, complexing agent, formaldehyde-sodium bisulfite adduct, and amine compound represented by a formula 1, R1-NH-C2H4-NH-R2, or formula 2, R3-(CH2-NH-C2H4-NH-CH2)n-R4, where R1, R2, R3 and R4 denote -OH, -CH3, -CH2OH, -C2H4OH, -CH2N(CH3)2, -CH2NH(CH2OH), -CH2NH(C2H4OH), -C2H4NH(CH2OH), -C2H4NH(C2H4OH), -CH2N(CH2OH)2, -CH2N(C2H4OH)2, -C2H4N(CH2OH)2, or -C2H4N(C2H4OH)2, the R1, R2, R3 and R4 being the same as or different from each other, and n is an integer of 1 to 4, the method for maintaining and managing the plating capacity of the electroless gold plating bath comprises regularly supplying alkali cyanide, formaldehyde-sodium bisulfite adduct, and an amine compound as first supply components.

Description

무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법{METHOD FOR MAINTAINING PLATING CAPACITY IN ELECTROLESS GOLD PLATING BATH}METHOD FOR MAINTAINING PLATING CAPACITY IN ELECTROLESS GOLD PLATING BATH}

본 발명은 무전해 금 도금욕의 도금 능력의 유지관리 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method for maintaining the plating ability of an electroless gold plating bath.

금은 금속 중에서 가장 이온화경향이 작다, 즉 가장 안정하여 녹슬기 어려운 금속이다. 또 그뿐만 아니라, 전기전도성도 우수하므로, 전자공업 분야에 널리 이용되고 있다. 치환 금 도금은 프린트 기판의 회로나 IC 패키지의 실장 부분이나 단자 부분 등의 최종 표면처리로서 폭넓게 사용되고 있다. 구체적으로는, 예를 들면 이하의 방법이 있고, 각각 이하와 같은 특징이 있다. Gold has the least ionization tendency among metals, that is, it is the most stable and hard to rust. In addition, it is also widely used in the electronics industry because of its excellent electrical conductivity. Substituted gold plating is widely used as final surface treatment of printed circuit boards, IC package mounting portions, and terminal portions. Specifically, for example, there are the following methods, and each has the following characteristics.

(1) ENIG(Electroless Nickel Immersion Gold: 무전해 니켈/치환 금)(1) ENIG (Electroless Nickel Immersion Gold: Electroless Nickel / Replacement Gold)

·하지 무전해 니켈도금 피막 상에 치환 금 도금 피막을 형성하는 방법이다. It is a method of forming a substituted gold plating film on a base electroless nickel plating film.

·구리의 확산방지, 니켈의 산화방지, 회로나 단자의 내식성 향상이 가능하다. -It can prevent the diffusion of copper, prevent oxidation of nickel, and improve the corrosion resistance of circuits and terminals.

·땜납 접합에 사용 가능하다. Can be used for solder joints.

·ENIG 처리 후, 두꺼운 금 도금을 함으로써 와이어 본딩에도 사용 가능하 다. · After ENIG treatment, thick gold plating can be used for wire bonding.

·와이어 본딩의 경우, 도금처리 후에 가열처리를 행하는데, 그것에 의해 금 피막 상에 니켈이 확산된다. 그것을 막기 위하여 니켈/치환 금 피막 상에 더 무전해 금 도금을 하여, 금의 막 두께를 증가시킴으로써 니켈의 확산에 대응한다. In the case of wire bonding, heat treatment is performed after the plating treatment, whereby nickel is diffused onto the gold film. In order to prevent it, electroless gold plating is performed on the nickel / substituted gold film to increase the film thickness of gold, thereby counteracting the diffusion of nickel.

(2) DIG(Direct Immersion Gold: 직접치환 금)(2) DIG (Direct Immersion Gold)

·구리 위로 직접 치환금 도금 피막을 형성하는 방법이다. A method of forming a substitution gold plating film directly on copper.

·구리의 산화방지, 구리의 확산방지, 회로나 단자의 내식성 향상이 가능하다. Prevents oxidation of copper, prevents diffusion of copper, and improves corrosion resistance of circuits and terminals.

·땜납 접합, 와이어 본딩에도 사용 가능하다. Can also be used for solder bonding and wire bonding.

·니켈/금이나 니켈/팔라듐/금에 비교하면, 장기 신뢰성은 약간 뒤떨어지지만, 열부하가 그다지 걸리지 않는 조건(열처리온도가 낮고, 리플로우 회수가 적은 등의 조건)에서는 충분히 사용 가능하다. • Compared to nickel / gold or nickel / palladium / gold, the long-term reliability is slightly inferior, but it can be used sufficiently under the condition that the heat load is not very low (such as low heat treatment temperature and low reflow number).

·단순한 프로세스이므로 저비용이다. Low cost because of simple process

(3) ENEPIG(Electroless Nickel Electroless Palladium Immersion Gold: 무전해 니켈/무전해 팔라듐/치환 금)(3) ENEPIG (Electroless Nickel Electroless Palladium Immersion Gold: Electroless Nickel / Electroless Palladium / Replacement Gold)

·하지 무전해 니켈 도금 피막과 치환 금 도금 피막 사이에 무전해 팔라듐 도금 피막을 설치하는 방법이다. A method of providing an electroless palladium plating film between an electroless nickel plating film and a substituted gold plating film.

·구리의 확산방지, 니켈의 산화방지와 확산방지, 회로나 단자의 내식성 향상이 가능하다. -Prevents diffusion of copper, prevents oxidation and diffusion of nickel, and improves corrosion resistance of circuits and terminals.

·최근 추진되고 있는 무연 땜납 접합에 최적이다(무연 땜납은 주석납 공정 (共晶) 땜납에 비해, 땜납 접합시에 열부하가 걸려, 니켈/금에서는 접합특성이 저하되기 때문임). -It is most suitable for the lead-free solder joining which is being promoted in recent years (lead-free solder has a heat load during solder joining compared with tin solder process solder, and the joining property is deteriorated in nickel / gold).

·와이어 본딩에 적합하다. Suitable for wire bonding

·금 막 두께를 두껍게 하지 않아도 니켈 확산이 생기지 않는다. Nickel diffusion does not occur even if the gold film thickness is not increased.

·니켈/금으로 대응 가능한 것이어도, 보다 신뢰성을 높이고 싶은 경우에 적합하다. Even if it is possible to use nickel / gold, it is suitable for the case where it is desired to improve the reliability.

치환 금 도금은 니켈 등의 하지와의 도금욕 중에서의 산화환원 전위의 차를 이용하여 금을 석출시키기 때문에, 금이 니켈을 침식함으로써 산화(용출)에 의한 부식점이 발생한다. 이 산화에 의한 부식점은 그 후의 땜납 리플로우 시에 있어서, 땜납층의 주석과 니켈을 접속시킬 때의 저해인자가 되어, 강도 등의 접합특성을 저하시킨다고 하는 문제가 있다. Substituted gold plating causes gold to precipitate by using a difference in redox potential in a plating bath with a base such as nickel, so that corrosion points due to oxidation (elution) are generated when gold erodes nickel. The corrosion point by this oxidation becomes a inhibitory factor when connecting tin and nickel of a solder layer at the time of subsequent solder reflow, and there exists a problem that a joining characteristic, such as strength, is reduced.

이 문제를 해결하기 위하여, 알데히드의 아황산염 부가물을 함유하는 무전해 금 도금욕이 일본 특개 2004-137589호 공보(특허문헌 1)에, 히드록시알킬술폰산을 함유하는 금 도금욕이, 국제공개 제2004/111287호 팸플릿(특허문헌 2)에 각각 개시되어 있다. 이들 기술은 하지 금속의 부식을 억제하는 목적으로 한 것이다. In order to solve this problem, the electroless gold plating bath containing the sulfite adduct of aldehyde is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-137589 (Patent Document 1), and a gold plating bath containing hydroxyalkyl sulfonic acid is disclosed in International Publication. It is disclosed in the 2004/111287 pamphlet (patent document 2), respectively. These techniques are aimed at suppressing the corrosion of the underlying metal.

그렇지만, 국제공개 제2004/111287호 팸플릿(특허문헌 2)에 기재되어 있는 트리에틸렌테트라민과 같은, 아미노기(-NH2)가 존재하는 1차 아민 화합물을 사용하면, 니켈 표면의 입계 침식이 진행됨으로써 금의 피복력이 저하되어, 피막 외관이 빨갛게 되는 문제가 발생한다. However, when a primary amine compound having an amino group (-NH 2 ) is present, such as triethylenetetramine described in International Publication No. 2004/111287 pamphlet (Patent Document 2), grain boundary erosion of nickel surface proceeds. This causes a problem that the coating power of gold is lowered and the appearance of the film becomes red.

특허문헌 1 : 일본 특개 2004-137589호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-137589

특허문헌 2: 국제공개 제2004/111287호 팸플릿Patent Document 2: International Publication No. 2004/111287 Pamphlet

특허문헌 3: 일본 특개 2002-226975호 공보Patent Document 3: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-226975

특허문헌 4: 일본 특허 제2538461호 공보Patent Document 4: Japanese Patent No. 2538461

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 니켈 표면의 입계 침식이 진행됨에 따른 외관 불량을 일으키지 않고, 양호한 피막 외관의 금 도금 피막이 얻어지는 무전해 금 도금욕의 도금 능력을 장기간, 안정적으로 유지관리 하는 방법, 게다가, 도금 처리에 의해 시안화 금염이 소비된 무전해 금 도금욕을 장기간, 안정적으로 유지관리하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to stably maintain the plating ability of an electroless gold plating bath in which a gold plating film having a good coating appearance is obtained without causing appearance defects as grain boundary erosion of the nickel surface proceeds. In addition, it aims at providing the method of maintaining the electroless gold plating bath in which the gold cyanide salt was consumed by the plating process for a long time and stable.

본 발명자는 금 성분으로서 시안화 금염, 환원제 성분으로서 포름알데히드 중아황산 부가물 및 하기 화학식 1 또는 2The inventors of the present invention have gold cyanide salt as a gold component, formaldehyde bisulfite adduct as a reducing component and the following general formula (1) or (2).

R1-NH-C2H4-NH-R2 R 1 -NH-C 2 H 4 -NH-R 2

R3-(CH2-NH-C2H4-NH-CH2)n-R4 R 3- (CH 2 -NH-C 2 H 4 -NH-CH 2 ) n -R 4

(식 1 및 2 중, R1, R2, R3 및 R4는 -OH, -CH3, -CH2OH, -C2H4OH, -CH2N(CH3)2, -CH2NH(CH2OH), -CH2NH(C2H4OH), -C2H4NH(CH2OH), -C2H4NH(C2H4OH), -CH2N(CH2OH)2, -CH2N(C2H4OH)2, -C2H4N(CH2OH)2 또는 -C2H4N(C2H4OH)2를 나타내고, 동일하거나 상이하여도 된다. n은 1∼4의 정수이다.)로 표시되는 아민 화합물을 함유하는 무전해 금 도금욕을 사용함으로써 상기에 있는 것과 같은 니켈 표면의 입계 부식이 발생하기 어렵게 되는 것을 발견했는데, 이것들의 도금욕은 도금 작업의 유무에 상관없이, 시안과 환원제 성분인 포름알데히드 중아황산 부가물 및 상기 화학식 1 또는 2로 표시되는 아민 화합물이 도금욕 중에서 서서히 소실됨으로써, 욕 분해를 일으킨다고 하는 문제가 있는 것을 알았다. 그래서, 이들 소실 성분을 적정한 농도비율로 소량씩 보급함으로써 상기 문제를 해결할 수 있는 것을 발견했다. (In formulas 1 and 2, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are —OH, —CH 3 , —CH 2 OH, —C 2 H 4 OH, —CH 2 N (CH 3 ) 2 , —CH 2 NH (CH 2 OH), -CH 2 NH (C 2 H 4 OH), -C 2 H 4 NH (CH 2 OH), -C 2 H 4 NH (C 2 H 4 OH), -CH 2 N (CH 2 OH) 2 , -CH 2 N (C 2 H 4 OH) 2 , -C 2 H 4 N (CH 2 OH) 2 or -C 2 H 4 N (C 2 H 4 OH) 2 , and It may be the same or different, where n is an integer of 1 to 4. By using an electroless gold plating bath containing an amine compound, it is found that grain boundary corrosion of the nickel surface as described above is less likely to occur. However, these plating baths, regardless of the plating operation, form the cyanide and the reducing agent component bisulfite adduct and the amine compound represented by the formula (1) or (2) are gradually lost in the plating bath, causing bath decomposition. I knew there was a problem. Thus, it has been found that the above problem can be solved by dispensing these missing components little by little at an appropriate concentration ratio.

즉, 본 발명은 이하의 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법을 제공한다. That is, the present invention provides a plating capability maintenance method of the following electroless gold plating bath.

[1] 시안화 금염, 착화제, 포름알데히드 중아황산염 부가물, 및 하기 화학식 1 또는 2[1] gold cyanide salt, complexing agent, formaldehyde bisulfite adduct, and the following general formula (1) or (2)

(화학식 1)(Formula 1)

R1-NH-C2H4-NH-R2 R 1 -NH-C 2 H 4 -NH-R 2

(화학식 2)(Formula 2)

R3-(CH2-NH-C2H4-NH-CH2)n-R4 R 3- (CH 2 -NH-C 2 H 4 -NH-CH 2 ) n -R 4

(식 1 및 2 중, R1, R2, R3 및 R4는 -OH, -CH3, -CH2OH, -C2H4OH, -CH2N(CH3)2, -CH2NH(CH2OH), -CH2NH(C2H4OH), -C2H4NH(CH2OH), -C2H4NH(C2H4OH), -CH2N(CH2OH)2, -CH2N(C2H4OH)2, -C2H4N(CH2OH)2 또는 -C2H4N(C2H4OH)2를 나타내고, 동일하여도 상이하여도 된다. n은 1∼4의 정수이다.)로 표시되며, 동일하거나 상이하여도 된다. n 은 1∼4의 정수이다.)로 표시되는 아민 화합물을 함유하는 무전해 금 도금욕을 70∼90℃로 유지한 상태에서 상기 무전해 금 도금욕의 도금 능력을 안정하게 유지관리하는 방법으로서, 시안화 알칼리 및 상기 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물을 제 1 보급 성분으로서 정기적으로 보급하는 것을 특징으로 하는 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. (In formulas 1 and 2, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are —OH, —CH 3 , —CH 2 OH, —C 2 H 4 OH, —CH 2 N (CH 3 ) 2 , —CH 2 NH (CH 2 OH), -CH 2 NH (C 2 H 4 OH), -C 2 H 4 NH (CH 2 OH), -C 2 H 4 NH (C 2 H 4 OH), -CH 2 N (CH 2 OH) 2 , -CH 2 N (C 2 H 4 OH) 2 , -C 2 H 4 N (CH 2 OH) 2 or -C 2 H 4 N (C 2 H 4 OH) 2 , and May be the same as or different from each other, n is an integer of 1 to 4). n is an integer of 1 to 4. As a method of stably maintaining the plating ability of the electroless gold plating bath in a state where the electroless gold plating bath containing the amine compound represented by () is maintained at 70 to 90 ° C. And plating method of the electroless gold plating bath, wherein the alkali cyanide and the formaldehyde bisulfite adduct and the amine compound are periodically replenished as the first replenishment component.

[2] 상기 시안화 알칼리, 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물의 보급 비율이 시안화 알칼리:포름알데히드 중아황산염 부가물:아민 화합물=0.5∼5:1:0.1∼5(몰비)가 되도록 보급하는 것을 특징으로 하는 [1]에 기재된 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. [2] The replenishment is performed such that the proportion of the alkali cyanide, formaldehyde bisulfite adduct and amine compound is in the range of alkali cyanide: formaldehyde bisulfite adduct: amine compound = 0.5 to 5: 1: 0.1 to 5 (molar ratio). Plating ability maintenance method of the electroless gold plating bath as described in [1] characterized by the above-mentioned.

[3] 상기 제 1 보급 성분을 그 포름알데히드 중아황산염 부가물 기준으로 건욕시의 농도의 0.1∼5몰%를 1시간당 1∼20회로 나누어서 보급하는 것을 특징으로 하는 [2]에 기재된 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. [3] The electroless gold described in [2], wherein the first replenishment component is supplied by dividing 0.1 to 5 mol% of the concentration at the time of drying in 1 to 20 times per hour on the basis of the formaldehyde bisulfite adduct. How to maintain the plating ability of the plating bath.

[4] 도금 처리에 의해 금이 소비된 도금욕에 대하여, 상기 시안화 금염, 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물을 제 2 보급 성분으로서 더 보급하는 것을 특징으로 하는 [1] 내지 [3] 중 어느 하나에 기재된 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. [4] The plating bath in which gold is consumed by the plating treatment, wherein the gold cyanide salt, formaldehyde bisulfite adduct, and the amine compound are further replenished as a second replenishment component. Plating ability maintenance method of the electroless gold plating bath in any one of them.

[5] 상기 시안화 금염, 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물의 보급 비율이 시안화 금염:포름알데히드 중아황산염 부가물:아민 화합물=1:0.1∼5:0.5∼5(몰비)가 되도록 보급하는 것을 특징으로 하는 [4]에 기재된 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. [5] Replenishing the diffusion rate of the gold cyanide salt, formaldehyde bisulfite adduct and the amine compound to be the gold cyanide salt: formaldehyde bisulfite adduct: amine compound = 1: 0.1 to 5: 0.5 to 5 (molar ratio) Plating ability maintenance method of the electroless gold plating bath as described in [4] characterized by the above-mentioned.

[6] 상기 제 2 보급 성분을 그 포름알데히드 중아황산염 부가물 기준으로 건욕시의 농도의 0.1∼5몰%를 1시간당 1∼20회로 나누어 보급하는 것을 특징으로 하는 [5] 기재의 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. [6] The electroless gold according to [5], wherein the second replenishment component is replenished by dividing 0.1 to 5 mol% of the concentration at the time of drying in 1 to 20 times per hour based on the formaldehyde bisulfite adduct. How to maintain the plating ability of the plating bath.

[7] 상기 포름알데히드 중아황산염 부가물의 1회의 보급량이 도금욕 1L당 2밀리 몰 이하인 것을 특징으로 하는 [3] 또는 [6]에 기재된 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. [7] The plating capacity maintenance method of the electroless gold plating bath according to [3] or [6], wherein a single supply amount of the formaldehyde bisulfite adduct is 2 millimoles or less per 1 L of the plating bath.

[8] 상기 보급하는 포름알데히드 중아황산염 부가물의 일부 또는 전부를 상기 포름알데히드 중아황산염 부가물 대신에 동일 몰량의 포름알데히드로 보급하는 것을 특징으로 하는 [1] 내지 [7] 중 어느 하나에 기재된 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. [8] The radioactive apparatus according to any one of [1] to [7], wherein a part or all of the supplemented formaldehyde bisulfite adduct is supplied in an equal molar amount of formaldehyde in place of the formaldehyde bisulfite adduct. How to maintain the plating ability of the gold plating bath.

본 발명에 의하면, 니켈 표면의 입계 침식이 진행함에 따른 외관 불량을 일으키지 않고, 양호한 피막 외관의 금 도금 피막을 형성하는 무전해 금 도금욕의 도금 능력을 장기간, 안정적으로 유지관리할 수 있고, 또한 도금 처리에 의해 시안화 금염이 소비된 무전해 금 도금욕을 장기간, 안정적으로 유지관리할 수 있다. According to the present invention, the plating ability of the electroless gold plating bath which forms a gold plating film having a good coating appearance without long causing appearance defects as the grain boundary erosion of the nickel surface proceeds can be maintained for a long time and stably. The electroless gold plating bath in which the gold cyanide salt is consumed by the plating treatment can be stably maintained for a long time.

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)(The best mode for carrying out the invention)

이하, 본 발명에 대하여 더욱 상세히 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

본 발명의 무전해 금 도금욕은 시안화 금염, 착화제, 포름알데히드 중아황산염 부가물, 및 하기 화학식 1 또는 2The electroless gold plating bath of the present invention comprises a gold cyanide salt, a complexing agent, formaldehyde bisulfite adduct, and the following Chemical Formula 1 or 2

(화학식 1)(Formula 1)

R1-NH-C2H4-NH-R2 R 1 -NH-C 2 H 4 -NH-R 2

(화학식 2)(Formula 2)

R3-(CH2-NH-C2H4-NH-CH2)n-R4 R 3- (CH 2 -NH-C 2 H 4 -NH-CH 2 ) n -R 4

(식 1 및 2 중, R1, R2, R3 및 R4는 -OH, -CH3, -CH2OH, -C2H4OH, -CH2N(CH3)2, -CH2NH(CH2OH), -CH2NH(C2H4OH), -C2H4NH(CH2OH), -C2H4NH(C2H4OH), -CH2N(CH2OH)2, -CH2N(C2H4OH)2, -C2H4N(CH2OH)2 또는 -C2H4N(C2H4OH)2를 나타내고, 동일하여도 상이하여도 된다. n은 1∼4의 정수이다.)로 표시되는 아민 화합물을 함유한다. (In formulas 1 and 2, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are —OH, —CH 3 , —CH 2 OH, —C 2 H 4 OH, —CH 2 N (CH 3 ) 2 , —CH 2 NH (CH 2 OH), -CH 2 NH (C 2 H 4 OH), -C 2 H 4 NH (CH 2 OH), -C 2 H 4 NH (C 2 H 4 OH), -CH 2 N (CH 2 OH) 2 , -CH 2 N (C 2 H 4 OH) 2 , -C 2 H 4 N (CH 2 OH) 2 or -C 2 H 4 N (C 2 H 4 OH) 2 , and It may be same or different, n is an integer of 1-4.

본 발명의 무전해 금 도금욕은 종래의 치환 금 도금욕과는 달리, 동일한 도금욕 중에서, 치환반응과 환원반응의 쌍방이 진행되는 치환-환원형 무전해 금 도금욕이다. 금 도금욕에 포름알데히드 중아황산염 부가물과, 상기 화학식 1 또는 2로 표시되는 특유한 구조를 갖는 아민 화합물을 함유시킴으로써 본 발명의 무전해 금 도금욕은 구리, 니켈 등의 하지 금속 상에서, 치환반응에 의해 금이 석출됨과 아울러, 그 석출된 금을 촉매로 하여 환원제에 의해 금이 석출된다. The electroless gold plating bath of the present invention is a substitution-reduction type electroless gold plating bath in which both the substitution reaction and the reduction reaction proceed in the same plating bath, unlike the conventional substitution gold plating bath. By including formaldehyde bisulfite adduct in the gold plating bath and an amine compound having a unique structure represented by the above formula (1) or (2), the electroless gold plating bath of the present invention is subjected to substitution reaction on a base metal such as copper or nickel. As a result, gold is precipitated, and gold is precipitated by a reducing agent using the precipitated gold as a catalyst.

본 발명의 무전해 금 도금욕은 하지 금속의 침식이 최저한으로 억제되기 때문에, 도금욕 중으로의 하지 금속 이온의 용출이 적어, 장기에 걸쳐 사용해도 안정한 석출속도가 유지된다. 예를 들면, 통상의 치환 도금이면, 석출된 금과 용출된 하지 금속(예를 들면 구리나 니켈)의 양은 화학량론에 따라 등량으로 되는데, 본 발명의 도금욕에서는, 예를 들면 ENIG 프로세스를 행한 경우, 금의 석출의 대부분이 치환 도금으로부터 환원 도금으로 전환되기 때문에, 석출된 금에 대하여 용출되는 하지 니켈의 용출은 대단히 적어, 이 경우, 종래의 통상의 치환 금 도금의 1/8 정도로 억제된다. In the electroless gold plating bath of the present invention, since the erosion of the underlying metal is minimized, elution of the underlying metal ions into the plating bath is small, and a stable deposition rate is maintained even when used over a long period of time. For example, in the case of normal substitution plating, the amounts of precipitated gold and eluted base metal (for example, copper or nickel) become equivalent in accordance with stoichiometry. In the plating bath of the present invention, for example, an ENIG process is performed. In this case, since most of the precipitation of gold is converted from substitution plating to reduction plating, the elution of base nickel eluted with respect to the precipitated gold is very small, and in this case, it is suppressed to about 1/8 of the conventional replacement gold plating. .

이것에 의해, 하지 금속의 침식을 최저한으로 억제하고, 또한 균일하고 치밀한 금 도금 피막을 얻을 수 있다. 또, 환원제를 함유함으로써 석출된 금 상에, 연속해서 금이 석출되므로, 별도의 두께 형성용의 금 도금을 행하지 않고, 1개의 도금욕으로 후막화가 가능하다. 또, 금의 석출속도를 안정하게 유지할 수 있어, 후막화 해도 도금 피막이 불그스름하게 보이지 않고, 금 특유의 레몬 옐로우색을 유지할 수 있다. Thereby, erosion of the base metal can be suppressed to the minimum and a uniform and dense gold plating film can be obtained. In addition, since gold is continuously deposited on the gold precipitated by containing a reducing agent, thick film formation is possible in one plating bath without performing gold plating for forming a separate thickness. In addition, the deposition rate of gold can be maintained stably, and even if the film is thickened, the plating film does not appear reddish and the lemon yellow color peculiar to gold can be maintained.

하지가 팔라듐의 경우, 니켈이나 구리의 경우와 달리, 팔라듐과 금은 전위차가 작다. 그 때문에, 종래의 치환형의 금 도금욕을 사용하여 팔라듐 상에 금 도금을 행하면, 균일한 막 두께가 얻어지지 않고, 또한 충분한 막 두께를 얻을 수도 없다. 이에 반해, 본 발명의 무전해 금 도금욕은 팔라듐 표면을 활성화하고, 팔라듐을 촉매로 하여 환원제에 의해 금을 석출시킬 수 있고, 또 석출한 금을 촉매로 하여 더욱 금을 석출시킬 수 있으므로, 팔라듐 상에서도 금 도금 피막의 후막화가 가능하다. In the case of the base is palladium, unlike in the case of nickel or copper, palladium and gold have a small potential difference. Therefore, when gold plating is performed on palladium using the conventional substitution type gold plating bath, uniform film thickness cannot be obtained and sufficient film thickness cannot be obtained. In contrast, the electroless gold plating bath of the present invention activates the surface of palladium, can deposit gold with a reducing agent using palladium as a catalyst, and further deposit gold using the deposited gold as a catalyst. It is possible to thicken the gold plated film on the surface.

본 발명의 무전해 금 도금욕 중에 포함되는 시안화 금염으로서는, 시안화 금, 시안화 금칼륨, 시안화 금나트륨, 시안화 금암모늄 등을 들 수 있는데, 특히 시안화 금칼륨, 시안화 금나트륨인 것이 바람직하다. Examples of the gold cyanide salt contained in the electroless gold plating bath of the present invention include gold cyanide, gold potassium cyanide, gold sodium cyanide, gold ammonium cyanide, and the like, and particularly preferably gold cyanide and gold cyanide.

시안화 금염의 건욕시 및 보급 후의 함유량은 금 기준으로 0.0001∼1몰/L인 것이 바람직하고, 0.001∼0.5몰/L인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위 미만이면 석출속도가 저하될 우려가 있고, 상기 범위를 초과하면 경제적으로 불리하게 되는 경우가 있다. It is preferable that it is 0.0001-1 mol / L on the basis of gold, and, as for content after the dry bath of gold cyanide salt and replenishing, it is more preferable that it is 0.001-0.5 mol / L. If it is less than the said range, there exists a possibility that a precipitation rate may fall, and when it exceeds the said range, it may become economically disadvantageous.

본 발명의 무전해 금 도금욕 중에 포함되는 착화제로서는 무전해 도금욕에서 사용되고 있는 공지의 착화제를 사용할 수 있는데, 예를 들면 인산, 붕산, 시트르산, 글루콘산, 타르타르산, 락트산, 말산, 에틸렌디아민, 트리에탄올아민, 에틸렌디아민 4아세트산, 니트틸로 3아세트산, 디에틸렌트리아민 5아세트산, 히드록시에틸에틸렌디아민 3아세트산, 트리에틸렌테트라민 6아세트산, 1,3-프로판디아민 4아세트산, 1,3-다이아미노-2-히드록시프로판 4아세트산, 히드록시에틸이미노 2아세트산, 디히드록실글리신, 글리콜에테르디아민 4아세트산, 디카르복시메틸글루탐산, 히드록시에틸리덴 2인산, 에틸렌디아민테트라(메틸렌 인산), 또는 그 알칼리 금속(예를 들면 나트륨, 칼륨)염, 알칼리 토류 금속염, 암모늄염 등을 들 수 있다. As the complexing agent included in the electroless gold plating bath of the present invention, known complexing agents used in the electroless plating bath can be used, for example, phosphoric acid, boric acid, citric acid, gluconic acid, tartaric acid, lactic acid, malic acid, ethylenediamine , Triethanolamine, ethylenediamine tetraacetic acid, nitrilo triacetic acid, diethylenetriamine pentaacetic acid, hydroxyethylethylenediamine triacetic acid, triethylenetetramine hexaacetic acid, 1,3-propanediamine tetraacetic acid, 1,3- Diamino-2-hydroxypropane tetraacetic acid, hydroxyethylimino diacetic acid, dihydroxyglycine, glycol etherdiamine tetraacetic acid, dicarboxymethylglutamic acid, hydroxyethylidene diphosphate, ethylenediaminetetra (methylene phosphoric acid) Or alkali metal (for example, sodium and potassium) salts, alkaline earth metal salts, ammonium salts and the like.

건욕시 및 보급 후의 착화제 농도는 0.001∼1몰/L인 것이 바람직하고, 0.01∼0.5몰/L인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위 미만이면 용출한 금속에 의해 석출속도가 저하될 우려가 있고, 상기 범위를 초과하면 경제적으로 불리하게 되는 경우가 있다. It is preferable that it is 0.001-1 mol / L, and, as for the complexing agent density | concentration at the time of dry bath and after replenishment, it is more preferable that it is 0.01-0.5 mol / L. If it is less than the said range, precipitation rate may fall by the eluted metal, and when it exceeds the said range, it may become economically disadvantageous.

본 발명의 무전해 금 도금욕 중에는, 포름알데히드 중아황산염 부가물이 포함된다. 이 포름알데히드 중아황산염 부가물로서는 구체적으로는 포름알데히드 중아황산나트륨, 포름알데히드 중아황산 칼륨, 포름알데히드 중아황산 암모늄 등을 들 수 있다. In the electroless gold plating bath of the present invention, formaldehyde bisulfite adduct is included. Specific examples of the formaldehyde bisulfite adduct include formaldehyde sodium bisulfite, formaldehyde potassium bisulfite, formaldehyde ammonium bisulfite, and the like.

이들 포름알데히드 중아황산염 부가물의 건욕시 및 보급 후의 농도는 0.0001∼0.5몰/L인 것이 바람직하고, 0.001∼0.3몰/L인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위 미만이면 하지 니켈이 부식될 우려가 있고, 상기 범위를 초과하면 욕이 불안정하게 될 우려가 있다. It is preferable that it is 0.0001-0.5 mol / L, and, as for the density | concentration at the time of drying and replenishing these formaldehyde bisulfite adducts, it is more preferable that it is 0.001-0.3 mol / L. If it is less than the above range, the underlying nickel may corrode, and if it exceeds the above range, the bath may become unstable.

본 발명의 무전해 금 도금욕은 하기 화학식 1 또는 2The electroless gold plating bath of the present invention is represented by the following Chemical Formula 1 or 2

(화학식 1)(Formula 1)

R1-NH-C2H4-NH-R2 R 1 -NH-C 2 H 4 -NH-R 2

(화학식 2)(Formula 2)

R3-(CH2-NH-C2H4-NH-CH2)n-R4 R 3- (CH 2 -NH-C 2 H 4 -NH-CH 2 ) n -R 4

(식 1 및 2 중, R1, R2, R3 및 R4는 -OH, -CH3, -CH2OH, -C2H4OH, -CH2N(CH3)2, -CH2NH(CH2OH), -CH2NH(C2H4OH), -C2H4NH(CH2OH), -C2H4NH(C2H4OH), -CH2N(CH2OH)2, -CH2N(C2H4OH)2, -C2H4N(CH2OH)2 또는 -C2H4N(C2H4OH)2를 나타내고, 동일하여도 상이하여도 된다. n은 1∼4의 정수이다.)로 표시되는 아민 화합물을 함유한다. 본 발명의 포름알데히드 중아황산염 부가물은 포름알데히드 중아황산염 부가물만으로 환원제로서 작용하지 않고, 이 아민 화합물과 공존함으로써 환원작용이 생긴다. (In formulas 1 and 2, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are —OH, —CH 3 , —CH 2 OH, —C 2 H 4 OH, —CH 2 N (CH 3 ) 2 , —CH 2 NH (CH 2 OH), -CH 2 NH (C 2 H 4 OH), -C 2 H 4 NH (CH 2 OH), -C 2 H 4 NH (C 2 H 4 OH), -CH 2 N (CH 2 OH) 2 , -CH 2 N (C 2 H 4 OH) 2 , -C 2 H 4 N (CH 2 OH) 2 or -C 2 H 4 N (C 2 H 4 OH) 2 , and It may be same or different, n is an integer of 1-4. The formaldehyde bisulfite adduct of the present invention does not act as a reducing agent with only the formaldehyde bisulfite adduct, but coexists with this amine compound to produce a reducing action.

건욕시 및 보급 후의 이들 아민 화합물 농도는 0.001∼3몰/L인 것이 바람직하고, 0.01∼1몰/L인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위 미만이면 석출속도가 저하 될 우려가 있고, 상기 범위를 초과하면 욕이 불안정하게 될 우려가 있다. It is preferable that it is 0.001-3 mol / L, and, as for these amine compound density | concentration at the time of a dry bath and after replenishment, it is more preferable. If it is less than the above range, the precipitation rate may decrease, and if it exceeds the above range, the bath may become unstable.

본 발명의 무전해 금 도금욕에는 공지의 무전해 도금에서 사용되고 있는 안정제를 첨가할 수 있다. 이 안정제로서는 2-메르캅토벤조티아졸, 2-메르캅토벤조이미다졸, 메르캅토아세트산, 메르캅토숙신산, 티오황산, 티오글리콜, 티오요소, 티오말산 등의 유황 화합물, 벤조트리아졸, 1,2,4-아미노트라이아졸 등의 질소 화합물을 들 수 있다. The stabilizer used by the well-known electroless plating can be added to the electroless gold plating bath of this invention. Examples of the stabilizer include sulfur compounds such as 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoimidazole, mercaptoacetic acid, mercaptosuccinic acid, thiosulfate, thioglycol, thiourea, thiomalic acid, benzotriazole, 1,2 Nitrogen compounds, such as a 4-amino triazole, are mentioned.

건욕시 및 보급 후의 안정제 농도는 0.0000001∼0.01몰/L인 것이 바람직하고, 0.000001∼0.005몰/L인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위 미만이면 욕이 불안정하게 될 우려가 있고, 상기 범위를 초과하면 석출속도가 저하될 우려가 있다. It is preferable that it is 0.0000001-0.01 mol / L, and, as for the stabilizer density | concentration at the time of a dry bath and after replenishment, it is more preferable that it is 0.000001-0.005 mol / L. If it is less than the above range, the bath may become unstable, and if it exceeds the above range, the precipitation rate may decrease.

본 발명의 무전해 금 도금욕의 pH는 5∼10인 것이 바람직하다. 상기 범위 미만이면 석출속도가 저하될 우려가 있고, 상기 범위를 초과하면 욕이 불안정하게 될 우려가 있다. pH 조정제로서는 공지의 도금욕에서 사용되고 있는 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 암모니아, 황산, 인산, 붕산 등을 사용할 수 있다. It is preferable that pH of the electroless gold plating bath of this invention is 5-10. If it is less than the above range, the precipitation rate may decrease, and if it exceeds the above range, the bath may become unstable. As a pH adjuster, sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonia, sulfuric acid, phosphoric acid, boric acid, etc. which are used by the well-known plating bath can be used.

또, 본 발명의 무전해 금 도금욕의 사용온도는 70∼90℃인 것이 바람직하다. 상기 범위 미만이면 석출속도가 저하될 우려가 있고, 상기 범위를 초과하면 욕이 불안정하게 될 우려가 있다. Moreover, it is preferable that the use temperature of the electroless gold plating bath of this invention is 70-90 degreeC. If it is less than the above range, the precipitation rate may decrease, and if it exceeds the above range, the bath may become unstable.

본 발명에서는, 상기한 무전해 금 도금욕은 그 욕 온도를 70∼90℃, 특히 80℃ 이상으로 연속적으로 유지한 경우에 있어서, 시안화 나트륨, 시안화 칼륨 등의 시안화 알칼리 및 무전해 금 도금욕의 성분으로서 상기한 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물을 제 1 보급 성분으로서 정기적으로 보급함으로써, 무전해 금 도금욕의 도금 능력을 유지할 수 있다. In the present invention, the above-mentioned electroless gold plating bath is composed of a cyanide alkali such as sodium cyanide and potassium cyanide and an electroless gold plating bath when the bath temperature is continuously maintained at 70 to 90 ° C, especially 80 ° C or higher. By regularly replenishing the above-mentioned formaldehyde bisulfite adduct and the amine compound as the first replenishment component, the plating ability of the electroless gold plating bath can be maintained.

이 경우, 시안화 알칼리, 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물의 보급 비율이 시안화 알칼리:포름알데히드 중아황산염 부가물:아민 화합물=0.5∼5:1:0.1∼5(몰비)로 되도록 이들 성분을 보급하는 것이 바람직하다. 이 보급 비율을 벗어난 경우, 시안화 알칼리가 과잉하면 금의 피복력이 저하되고, 또, 니켈이 부식될 우려가 있고, 과소하면 욕 분해를 가속시킬 우려가 있다. 포름알데히드 중아황산염 부가물이 과잉하면 욕 분해를 가속시킬 우려가 있고, 과소하면 환원력이 저하되어, 니켈이 부식되고, 또 금의 피복력이 저하될 우려가 있다. 아민 화합물이 과잉하면 욕 분해를 가속시킬 우려가 있고, 과소하면 환원력이 저하되어, 니켈이 부식되고, 또 금의 피복력이 저하될 우려가 있다. 이 경우, 포름알데히드 중아황산염 부가물과 아민 화합물의 밸런스가 특히 중요하다. In this case, these components are supplied so that the diffusion ratio of alkali cyanide, formaldehyde bisulfite adduct and amine compound becomes alkali cyanide: formaldehyde bisulfite adduct: amine compound = 0.5-5: 1: 0.1-5 (molar ratio). It is desirable to. If the diffusion ratio is out of this range, excessive alkali cyanide may lower the coating power of gold, and nickel may corrode, and if it is too small, it may accelerate the decomposition of the bath. Too much formaldehyde bisulfite adduct may accelerate bath decomposition, and when too little, reducing power may decrease, nickel may be corroded, and gold coating power may be lowered. When the amine compound is excessive, there is a possibility that the decomposition of the bath may be accelerated. When the amine compound is excessively reduced, the reducing power may decrease, nickel may be corroded, and the coating power of gold may decrease. In this case, the balance of formaldehyde bisulfite adduct and the amine compound is particularly important.

또한, 본 발명에서는, 도금 처리에 의해 금이 소비된 도금욕에 대해서는, 또한 무전해 금 도금욕의 성분으로서 상기한 시안화 금염, 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물을 제 2 보급 성분으로서 보급할 수 있다. In the present invention, for the plating bath in which gold is consumed by the plating treatment, the above-mentioned gold cyanide salt, formaldehyde bisulfite adduct and amine compound can also be supplied as the second replenishment component as a component of the electroless gold plating bath. Can be.

이 경우, 시안화 금염, 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물의 보급 비율이, 시안화 금염:포름알데히드 중아황산염 부가물:아민 화합물=1:0.1∼5:0.5∼5(몰비)로 되도록 이들 성분을 보급하는 것이 바람직하다. 이 보급 비율을 벗어난 경우, 시안화 금염이 과잉하면 비용적으로 불리하게 될 우려가 있고, 과소하면 금 농도가 저하되어, 금 피막 특성이 열화될 우려가 있다. 포름알데히드 중아황산염 부가물이 과잉하면 욕 분해를 가속시킬 우려가 있고, 과소하면 환원력이 저하되어, 니켈이 부식되고, 또 금의 피복력이 저하될 우려가 있다. 아민 화합물이 과잉하면 욕 분해를 가속시킬 우려가 있고, 과소하면 환원력이 저하되어, 니켈이 부식되고, 또 금의 피복력이 저하될 우려가 있다. 이 경우도, 포름알데히드 중아황산염 부가물과 아민 화합물의 밸런스가 특히 중요하다. In this case, these components are added so that the diffusion ratios of the gold cyanide salt, the formaldehyde bisulfite adduct and the amine compound are the gold cyanide salt: the formaldehyde bisulfite adduct: the amine compound = 1: 0.1-5: 0.5-5 (molar ratio). It is desirable to spread. If the diffusion rate is out of the range, excessive gold cyanide salt may be disadvantageously costly. If the gold cyanide salt is excessively used, the gold concentration may be lowered and the gold film characteristics may be deteriorated. Too much formaldehyde bisulfite adduct may accelerate bath decomposition, and when too little, reducing power may decrease, nickel may be corroded, and gold coating power may be lowered. When the amine compound is excessive, there is a possibility that the decomposition of the bath may be accelerated. When the amine compound is excessively reduced, the reducing power may decrease, nickel may be corroded, and the coating power of gold may decrease. Also in this case, the balance of formaldehyde bisulfite adduct and the amine compound is particularly important.

또, 이들 제 1 및 제 2 보급 성분에 의한 각각의 보급에서는, 포름알데히드 중아황산염 부가물 기준으로 건욕시의 농도의 0.1∼5몰%를 1시간당 1∼20회로 나누어, 바람직하게는 동일한 간격으로 보급하는 것이 바람직하고, 또한 포름알데히드 중아황산염 부가물의 1회의 보급량을 도금욕 1L당 2밀리 몰 이하로 하는 것이 바람직하다. 보급 간격이 지나치게 길어지면, 도금욕 내의 조성변화가 커져, 피막특성의 편차가 발생할 우려가 있다. 또, 1회의 보급량이 지나치게 많아지면, 도금욕 내의 조성변화가 커져, 피막특성의 편차가 발생할 우려가 있다. In each replenishment using these first and second replenishment components, 0.1 to 5 mole% of the concentration at the time of dry bath is divided into 1 to 20 times per hour on the basis of formaldehyde bisulfite adduct, preferably at equal intervals. It is preferable to replenish, and it is preferable to make one replenishment amount of a formaldehyde bisulfite adduct into 2 millimoles or less per 1 L of plating baths. If the replenishment interval is too long, the composition change in the plating bath is large, and there is a fear that variation in the film characteristics occurs. In addition, when the supply amount is excessively large, the composition change in the plating bath is large, and there is a possibility that variation in the film characteristics may occur.

또한, 본 발명에서는, 보급하는 포름알데히드 중아황산염 부가물의 일부 또는 전부를, 포름알데히드 중아황산염 부가물 대신, 포름알데히드 중아황산염 부가물과 동일 몰량의 포름알데히드로 보급하는 것도 가능하다. 포름알데히드 중아황산염 부가물은 도금욕의 온도상승이나 도금 처리에 의해 아황산을 생성하고, 생성한 아황산은 도금욕 중에 축적한다. 도금욕에서 아황산은 환원제에 의한 반응을 억제하므로, 도금욕의 분해를 막는 소위 안정제로서 작용하고 있지만, 과잉하게 되면 아황산이 환원제에 의한 반응을 억제함으로써, 치환반응의 비율이 증가하여, 하지 니켈을 부식되게 해버릴 우려가 있다. 하지 니켈이 부식되면, 땜납 접합성이 저하되는 등의 문제가 발생하기 때문에, 보급하는 포름알데히드 중아황산염 부가물 의 일부 또는 전부를, 포름알데히드 중아황산염 부가물 대신, 포름알데히드 중아황산 부가물과 동일 몰량의 포름알데히드로 함으로써 아황산의 과잉에 의한 상기 문제를 억제할 수 있다. 특히, 제 1 보급 성분에서는 포름알데히드 중아황산 부가물, 제 2 보급 성분에서는 포름알데히드를 사용함으로써 보급 성분의 관리도 하기 쉽고, 도금욕 중의 아황산 농도를 적합하게 유지할 수 있어, 욕 안정성, 땜납 접합성 모두 양호하게 되기 때문에 적합하다. In the present invention, it is also possible to supply part or all of the formaldehyde bisulfite adduct to be supplied in the same molar amount of formaldehyde as the formaldehyde bisulfite adduct instead of the formaldehyde bisulfite adduct. Formaldehyde bisulfite adduct produces sulfurous acid by the temperature rise of a plating bath or a plating process, and the produced sulfurous acid accumulates in a plating bath. In the plating bath, sulfurous acid inhibits the reaction by the reducing agent, and thus acts as a so-called stabilizer that prevents decomposition of the plating bath. However, when excessive, the sulfurous acid inhibits the reaction by the reducing agent, thereby increasing the proportion of the substitution reaction, thereby reducing the underlying nickel. It may cause corrosion. When the base nickel is corroded, problems such as deterioration in solder bondability occur, so that part or all of the formaldehyde bisulfite adducts to be supplied are replaced with the formaldehyde bisulfite adducts instead of the formaldehyde bisulfite adducts. By the above-mentioned formaldehyde, the above problems due to excessive sulfurous acid can be suppressed. In particular, by using formaldehyde bisulfite adduct in the first replenishment component and formaldehyde in the second replenishment component, the replenishment component can be easily managed, and the sulfuric acid concentration in the plating bath can be maintained appropriately, so that both the bath stability and the solder bonding property can be maintained. It is suitable because it becomes good.

특히, 상기 제 2 보급 성분의 보급에서는, 도금욕으로의 제 2 보급 성분에 의한 건욕시로부터의 금의 보급 총량이 0.2g/L 이상, 바람직하게는 0.1g/L 이상으로 된 경우에 있어서, 포름알데히드 중아황산염 부가물 대신, 포름알데히드 중아황산염 부가물과 동일 몰량의 포름알데히드로 보급하는 것이 바람직하다. In particular, in the replenishment of the second replenishment component, when the total replenishment amount of gold from the dry bath by the second replenishment component to the plating bath is 0.2 g / L or more, preferably 0.1 g / L or more, Instead of the formaldehyde bisulfite adduct, it is preferable to replenish the same molar amount of formaldehyde as the formaldehyde bisulfite adduct.

본 발명의 무전해 금 도금욕에서는, 욕 중에서 포름알데히드의 중아황산 부가물과 아민 화합물이 공존함으로써 하기 식에 표시되는 바와 같은 포름알데히드-아민 복합체가 생성되어 환원제 성분으로서 작용하고 있다고 생각된다. In the electroless gold plating bath of the present invention, the bisulfite adduct of formaldehyde and the amine compound coexist in the bath to form a formaldehyde-amine complex represented by the following formula, which is believed to act as a reducing agent component.

포름알데히드의 중아황산 부가물+아민 화합물Bisulfite adduct + amine compound of formaldehyde

→환원제 성분(포름알데히드-아민 복합체)+아황산→ reducing agent component (formaldehyde-amine complex) + sulfite

욕 중에서 이 환원제 성분(포름알데히드-아민 복합체)이 소비되고, 즉 포름알데히드의 중아황산 부가물 및 아민 화합물이 소비되게 된다. 이 때, 소비된 포름알데히드의 중아황산 부가물 및 아민 화합물을 보급할 필요가 있지만, 포름알데히드의 중아황산 부가물 대신 포름알데히드를 보급해도 된다. 이 보급 시에, 각 성분의 보급 밸런스를 고려하여 보급하지 않으면 욕 분해, 니켈의 부식, 금의 피복 력의 저하 등의 문제가 발생하기 때문에, 이 보급 비율을 고려할 필요가 있다. 즉, 포름알데히드의 중아황산 부가물:아민 화합물, 포름알데히드:아민 화합물 또는 포름알데히드의 중아황산 부가물 및 포름알데히드:아민 화합물을 몰비율에 있어서 각각 일정 비율로 보급하는 것이 중요하다. This reducing agent component (formaldehyde-amine complex) is consumed in the bath, i.e. the bisulfite adduct of formaldehyde and the amine compound are consumed. At this time, although it is necessary to replenish the bisulfite adduct and the amine compound of the consumed formaldehyde, formaldehyde may be replenished in place of the bisulfite adduct of formaldehyde. At the time of replenishment, if the replenishment balance of each component is not taken into consideration, problems such as decomposition of the bath, corrosion of nickel, reduction of the coating power of gold, and the like will occur. That is, it is important to replenish the bisulfite adduct: amine compound of formaldehyde, the formaldehyde: amine compound, or the bisulfite adduct of formaldehyde and the formaldehyde: amine compound in a fixed ratio, respectively.

본 발명의 무전해 금 도금욕을 사용하여 도금처리할 때의 기체의 금속 표면(피도금면)의 재질로서는 구리, 구리 합금, 니켈, 니켈 합금, 팔라듐, 팔라듐 합금 등을 대상으로 할 수 있다. 상기 니켈 합금으로서는 니켈-인 합금, 니켈-붕소 합금 등, 팔라듐 합금으로서는 팔라듐-인 합금 등을 들 수 있다. 이러한 금속 표면은 기체 자체가 금속(합금)인 것의 표면 이외에, 기체 표면에 금속 피막이 형성된 이 피막의 표면이어도 된다. 금속 피막은 전기도금에 의해 형성된 것, 무전해 도금에 의해 형성된 것 중 어느 것이어도 되지만, 니켈, 니켈 합금, 팔라듐, 팔라듐 합금의 경우, 무전해 도금에 의해 형성된 것이 일반적이다. 또한, 기체에 니켈 또는 니켈 합금 피막을 통하여 형성된, 팔라듐 또는 팔라듐 합금 피막 표면을 무전해 금 도금 처리하는 경우에도 적합하다. As a material of the metal surface (plated surface) of the substrate when plating using the electroless gold plating bath of the present invention, copper, copper alloy, nickel, nickel alloy, palladium, palladium alloy and the like can be used. As said nickel alloy, a nickel-phosphorus alloy, a nickel-boron alloy, etc. are mentioned, As a palladium alloy, a palladium-phosphorus alloy etc. are mentioned. Such a metal surface may be the surface of this film in which a metal film was formed on the surface of the base, in addition to the surface of which the base itself is a metal (alloy). The metal film may be either formed by electroplating or formed by electroless plating. In the case of nickel, nickel alloys, palladium and palladium alloys, those formed by electroless plating are common. It is also suitable for the case of electroless gold plating the palladium or palladium alloy coating surface formed on the substrate via a nickel or nickel alloy coating.

본 발명의 무전해 금 도금욕은, 예를 들면, ENIG(Electroless Nickel Immersion Gold), 즉, (구리 상에 형성된) 하지 무전해 니켈 도금 피막 상에 금 도금 피막을 형성하는 방법, DIG(Direct Immersion Gold), 즉, 구리 상에 직접 금 도금 피막을 형성하는 방법, ENEPIG(Electroless Nickel Electroless Palladium Immersion Gold), 즉, (구리 상에 형성된) 하지 무전해 니켈 도금 피막 상에 무전해 팔라듐 도금 피막을 통하여 금 도금 피막을 형성하는 방법 중 어느 금 도금 피 막의 형성에도 사용할 수 있다. The electroless gold plating bath of the present invention is, for example, a method of forming a gold plating film on ENIG (Electroless Nickel Immersion Gold), that is, a base electroless nickel plating film (formed on copper), DIG (Direct Immersion). Gold), i.e., a method of forming a gold plated film directly on copper, ENEPIG (Electroless Nickel Electroless Palladium Immersion Gold), i.e., through an electroless palladium plated film on an underlying electroless nickel plated film (formed on copper) Any method of forming a gold plated film can be used for formation of a gold plated film.

본 발명의 무전해 금 도금욕 및 이것을 사용한 무전해 금 도금 방법은, 예를 들면 프린트 배선 기판이나 IC 패키지 등의 전자부품의 배선회로 실장 부분이나 단자 부분을 금 도금 처리하는 경우에 적합하며, 이러한 금 도금 처리에서, 본 발명의 무전해 금 도금욕의 도금 능력의 유지관리 방법을 적합하게 적용할 수 있다. The electroless gold plating bath of the present invention and the electroless gold plating method using the same are suitable when, for example, gold plating the wiring circuit mounting portion or the terminal portion of an electronic component such as a printed wiring board or an IC package. In the gold plating treatment, the method for maintaining the plating ability of the electroless gold plating bath of the present invention can be suitably applied.

또한, 본 발명의 도금욕은 금속 표면(피도금면)이 구리인 경우이더라도 양호한 피막이 얻어지고, 하지가 구리인 경우, 구리의 산화, 확산이 억제되어 양호한 땜납 접합 특성이 얻어진다. 또, 후막화함으로써, 와이어 본딩에도 사용 가능하다. 또, 본 발명의 도금욕은 팔라듐 상에도 양호한 금 피막을 석출시킬 수 있기 때문에, 납 프리 땜납 접합이나 와이어 본딩으로의 이용에 최적이다. Further, in the plating bath of the present invention, even when the metal surface (coated surface) is copper, a good film is obtained. When the base is copper, oxidation and diffusion of copper are suppressed, and good solder bonding properties are obtained. Moreover, it can also be used for wire bonding by thickening. Moreover, since the plating bath of this invention can precipitate a favorable gold film also on palladium, it is suitable for use for lead-free solder joining and wire bonding.

하지가 팔라듐인 경우, 니켈이나 구리인 경우와 달리, 팔라듐과 금은 전위차가 작다. 그 때문에, 종래의 치환형의 금 도금욕을 사용하여 팔라듐 상에 금 도금을 행하면, 균일한 막 두께가 얻어지지 않고, 또한 충분한 막 두께를 얻을 수도 없다. 이에 반해, 본 발명의 무전해 금 도금욕은, 팔라듐 표면을 활성화하고, 팔라듐을 촉매로 하여 환원제에 의해 금을 석출시킬 수 있고, 또 석출한 금을 촉매로 하여 금을 더욱 석출시킬 수 있으므로, 팔라듐 상에서도 금 도금 피막의 후막화가 가능하다. When the base is palladium, unlike the case of nickel or copper, palladium and gold have a small potential difference. Therefore, when gold plating is performed on palladium using the conventional substitution type gold plating bath, uniform film thickness cannot be obtained and sufficient film thickness cannot be obtained. In contrast, the electroless gold plating bath of the present invention activates the surface of palladium, can deposit gold with a reducing agent using palladium as a catalyst, and further precipitate gold using the deposited gold as a catalyst. It is possible to thicken the gold plated film even on palladium.

(실시예)(Example)

이하, 실시예 및 비교예를 들어 본 발명을 구체적으로 설명하는데, 본 발명은 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, although an Example and a comparative example are given and this invention is demonstrated concretely, this invention is not limited to the following Example.

[실시예 1,2, 비교예 1][Examples 1 and 2 and Comparative Example 1]

표 1에 나타내는 금 도금욕을 건욕시의 도금욕으로 하고, 이것을 80℃에서 유지하고, 정기적으로 표 2에 제시되는 비율의 제 1 보급 성분을 보급하거나(실시예 1, 2) 또는 보급하지 않고(비교예 1), 100시간 유지했다. 도금액의 상태를 육안으로 욕 분해의 징후인 용기로의 금의 석출의 유무를 확인하고, 석출이 없는 경우에는 니켈/금 프로세스로서 표 6에 제시되는 처리를 시행한 구리피복 프린트 기판 상에, 각각의 금 도금욕에 침지하여 금 도금을 시행하여 도금 외관을 확인한 결과를 표 3에 나타낸다. 보급은 1시간 당의 시안화 칼륨의 보급량을 15mg/L로 하고, 보급 성분을 상기 비율로 1시간에 5회로 나누어, 12분마다 보급했다. The gold plating bath shown in Table 1 was made into the plating bath at the time of a dry bath, this is hold | maintained at 80 degreeC, and the 1st supply component of the ratio shown in Table 2 is replenished regularly (Examples 1 and 2) or it is not replenished. (Comparative example 1) It hold | maintained for 100 hours. On the copper-clad printed substrates which were subjected to the treatments shown in Table 6 as nickel / gold processes, the presence or absence of precipitation of gold into the container, which was a symptom of bath decomposition, was visually determined by the state of the plating liquid. Table 3 shows the results obtained by immersing in the gold plating bath to conduct gold plating to confirm the appearance of the plating. The replenishment was made into 15 mg / L of potassium cyanide per hour, and the replenishment component was divided into 5 times per hour at the above ratio and replenished every 12 minutes.

시안화 금칼륨(g/L)Potassium cyanide (g / L) 22 인산 칼륨(g/L)Potassium Phosphate (g / L) 1010 에틸렌디아민 4아세트산(g/L)Ethylenediaminetetraacetic acid (g / L) 1010 포름알데히드 중아황산소다(g/L)Formaldehyde Sodium Bisulfite (g / L) 22 C2H5-NH-C2H4-NH-C2H4OH[아민 화합물](g/L)C 2 H 5 -NH-C 2 H 4 -NH-C 2 H 4 OH [amine compound] (g / L) 1010 pHpH 7.17.1

실시예Example 비교예Comparative example 1One 22 1One 시안화 칼륨(몰)Potassium Cyanide (mol) 22 22 보급 없음  No spread 포름알데히드 중아황산소다(몰)Formaldehyde Sodium Bisulfite (Mall) 1.51.5 0.750.75 포름알데히드(몰)Formaldehyde (Mall) -- 0.750.75 C2H5-NH-C2H4-NH-C2H4OH[아민 화합물](몰)C 2 H 5 -NH-C 2 H 4 -NH-C 2 H 4 OH [amine compound] (mol) 33 33

80℃ 유지 시간(hrs)80 ° C holding time (hrs) 건욕시Bathing 22 44 1010 5050 100100 실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 비교예 1Comparative Example 1 분해decomposition

○: 욕은 안정(금 석출 없음)하며, 피막 외관도 양호○: The bath is stable (no gold precipitation) and the film appearance is also good.

[실시예 3, 4][Examples 3 and 4]

실시예 1의 조건으로 운전을 행하고, 실시예 1에서 나타낸 제 1 보급 성분에 더하여, 또한 표 4에 제시되는 제 2 보급 성분을, 금이 0.1g/L 소비될 때마다, 1회당의 시안화 금 칼륨의 보급량을 0.15g/L로 하여, 상기 비율로 보급했다. 금을 0.5g/L 보급할 때마다 니켈/금 프로세스로서 표 6에 제시되는 처리를 시행한 구리피복 프린트 기판 상에, 각각의 금 도금욕에 침지하여, 금 도금을 시행했다. 얻어진 금 도금 피막을 우에무라고교제 금 박리제 코프키아 립(COPKIA RIP)에 의해 금을 박리하고, 금 박리 후의 니켈 표면에서의 부식의 유무를 표 5에 나타낸다. In addition to the 1st replenishment component shown in Example 1, and performing the operation of the conditions of Example 1, the 2nd replenishment component shown in Table 4 is used every time 0.1 g / L of gold is consumed gold cyanide The amount of potassium supplemented was 0.15 g / L, and it was supplied at the above ratio. Whenever 0.5 g / L of gold was replenished, it was immersed in each gold plating bath and subjected to gold plating on a copper clad printed substrate subjected to the treatment shown in Table 6 as a nickel / gold process. Gold is peeled off by the gold releasing agent Copkia lip (COPKIA RIP) made from Uemu Lago Co., Ltd., and the obtained gold plating film is shown in Table 5 whether there is corrosion in the nickel surface after gold peeling.

실시예Example 33 44 시안화 금 칼륨(몰)Gold Potassium Cyanide (mol) 0.50.5 0.50.5 포름알데히드(몰)Formaldehyde (Mall) 0.50.5 -- 포름알데히드 중아황산소다(몰)Formaldehyde Sodium Bisulfite (Mall) -- 0.50.5 C2H5-NH-C2H4-NH-C2H4OH[아민 화합물](몰)C 2 H 5 -NH-C 2 H 4 -NH-C 2 H 4 OH [amine compound] (mol) 1One 1One

금 보급 총량(g/L)Gold supply total amount (g / L) 건욕시Bathing 0.50.5 1One 1.51.5 22 실시예 3Example 3 실시예 4Example 4 ×× ××

○: 금 박리 후의 니켈 표면은 양호(부식 없음)(Circle): Nickel surface after gold peeling is favorable (no corrosion)

△: 금 박리 후의 니켈 표면에 약간 부식 있음Δ: slightly corroded to the surface of nickel after peeling gold

×: 금 박리 후의 니켈 표면에 명확한 부식 있음X: There is clear corrosion on the nickel surface after gold peeling

실시예 3에서는, 포름알데히드 중아황산소다 대신에 동일 몰량의 포름알데히드에 의해 보급함으로써, 아황산이 과잉 생성되는 일이 없기 때문에 금 박리 후의 니켈 표면에는 부식이 없고 양호하지만, 한쪽 실시예 4에서는, 금 보급 총량 1g/L를 초과한 부근부터, 아황산이 과잉 생성됨으로 인한 것으로 생각되는 금 박리 후의 니켈 표면의 부식이 발생한다. In Example 3, since the sulfite is not produced excessively by replenishing with the same molar amount of formaldehyde instead of formaldehyde sodium bisulfite, the nickel surface after the gold peeling is good without corrosion, but in Example 4, gold From the vicinity of the total amount exceeding 1 g / L, corrosion of the nickel surface after peeling of gold, which is thought to be due to excessive generation of sulfurous acid, occurs.

온도(℃)Temperature (℃) 시간(분)Minutes 클리너Cleaner 우에무라고교제 ACL-009Uemurago dating ACL-009 5050 55 소프트 에칭Soft etching 과황산Na 100g/L 황산 20g/LPersulfate Na 100g / L Sulfuric acid 20g / L 2525 1One 산 세정Acid washing 황산 50g/LSulfuric acid 50g / L 2525 1One 액티베이터Activator 우에무라고교제 MNK-4Uemurago fellowship MNK-4 3030 22 무전해 니켈 도금Electroless nickel plating 우에무라고교제 NPR-4Uemurago fellowship NPR-4 8080 3030 금 도금Gold plated 표 1에 제시되는 욕Baths presented in Table 1 8080 1010

각 공정간 수세Water washing between each process

Claims (8)

시안화 금염, 착화제, 포름알데히드 중아황산염 부가물, 및 하기 화학식 1 또는 2Gold cyanide salts, complexing agents, formaldehyde bisulfite adducts, and the formula (화학식 1)(Formula 1) R1-NH-C2H4-NH-R2 R 1 -NH-C 2 H 4 -NH-R 2 (화학식 2)(Formula 2) R3-(CH2-NH-C2H4-NH-CH2)n-R4 R 3- (CH 2 -NH-C 2 H 4 -NH-CH 2 ) n -R 4 (식 1 및 2 중, R1, R2, R3 및 R4는 -OH, -CH3, -CH2OH, -C2H4OH, -CH2N(CH3)2, -CH2NH(CH2OH), -CH2NH(C2H4OH), -C2H4NH(CH2OH), -C2H4NH(C2H4OH), -CH2N(CH2OH)2, -CH2N(C2H4OH)2, -C2H4N(CH2OH)2 또는 -C2H4N(C2H4OH)2를 나타내고, 동일하여도 상이하여도 된다. n은 1∼4의 정수이다.)로 표시되며, 동일하거나 상이하여도 된다. n은 1∼4의 정수이다.)로 표시되는 아민 화합물을 함유하는 무전해 금 도금욕을 70∼90℃로 유지한 상태에서 상기 무전해 금 도금욕의 도금 능력을 안정하게 유지관리하는 방법으로서, (In formulas 1 and 2, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are —OH, —CH 3 , —CH 2 OH, —C 2 H 4 OH, —CH 2 N (CH 3 ) 2 , —CH 2 NH (CH 2 OH), -CH 2 NH (C 2 H 4 OH), -C 2 H 4 NH (CH 2 OH), -C 2 H 4 NH (C 2 H 4 OH), -CH 2 N (CH 2 OH) 2 , -CH 2 N (C 2 H 4 OH) 2 , -C 2 H 4 N (CH 2 OH) 2 or -C 2 H 4 N (C 2 H 4 OH) 2 , and May be the same as or different from each other, n is an integer of 1 to 4). n is an integer of 1 to 4. As a method of stably maintaining the plating ability of the electroless gold plating bath in the state where the electroless gold plating bath containing the amine compound represented by () is maintained at 70 to 90 ° C. , 시안화 알칼리 및 상기 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물을 제 1 보급 성분으로서 정기적으로 보급하는 것을 특징으로 하는 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. A plating capacity maintenance method for an electroless gold plating bath, wherein the alkali cyanide and the formaldehyde bisulfite adduct and the amine compound are periodically replenished as a first replenishment component. 제 1 항에 있어서, 상기 시안화 알칼리, 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물의 보급 비율이 시안화 알칼리:포름알데히드 중아황산염 부가물:아민 화합물=0.5∼5:1:0.1∼5(몰비)가 되도록 보급하는 것을 특징으로 하는 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. 2. The cyanide alkali, formaldehyde bisulfite adduct and amine compound diffusion ratio of alkali cyanide: formaldehyde bisulfite adduct: amine compound = 0.5 to 5: 1: 0.1 to 5 (molar ratio) Plating capacity maintenance method of the electroless gold plating bath, characterized in that the replenishment. 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 보급 성분을 그 포름알데히드 중아황산염 부가물 기준으로 건욕시의 농도의 0.1∼5몰%를 1시간당 1∼20회로 나누어서 보급하는 것을 특징으로 하는 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. 3. The electroless gold plating bath according to claim 2, wherein the first replenishment component is replenished by dividing 0.1 to 5 mole% of the concentration at the time of drying in 1 to 20 times per hour on the basis of the formaldehyde bisulfite adduct. To maintain plating capability 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 도금 처리에 의해 금이 소비된 도금욕에 대하여, 상기 시안화 금염, 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물을 제 2 보급 성분으로서 더 보급하는 것을 특징으로 하는 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the gold cyanide salt, formaldehyde bisulfite adduct and amine compound are further supplied as a second replenishment component to the plating bath in which gold is consumed by the plating treatment. Plating ability maintenance method of the electroless gold plating bath characterized by the above-mentioned. 제 4 항에 있어서, 상기 시안화 금염, 포름알데히드 중아황산염 부가물 및 아민 화합물의 보급 비율이 시안화 금염:포름알데히드 중아황산염 부가물:아민 화합물=1:0.1∼5:0.5∼5(몰비)가 되도록 보급하는 것을 특징으로 하는 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. The diffusion rate of the gold cyanide salt, formaldehyde bisulfite adduct and amine compound is set to be the gold cyanide salt: formaldehyde bisulfite adduct: amine compound = 1: 0.1 to 5: 0.5 to 5 (molar ratio). Plating capacity maintenance method of the electroless gold plating bath, characterized in that the replenishment. 제 5 항에 있어서, 상기 제 2 보급 성분을 그 포름알데히드 중아황산염 부가물 기준으로 건욕시의 농도의 0.1∼5몰%를 1시간당 1∼20회로 나누어 보급하는 것을 특징으로 하는 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. 6. The electroless gold plating bath according to claim 5, wherein the second replenishment component is replenished by dividing 0.1 to 5 mol% of the concentration at the time of drying in 1 to 20 times per hour on the basis of the formaldehyde bisulfite adduct. To maintain plating capability 제 3 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 포름알데히드 중아황산염 부가물의 1회의 보급량이 도금욕 1L당 2밀리 몰 이하인 것을 특징으로 하는 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. 7. The plating capacity maintenance method of an electroless gold plating bath according to claim 3 or 6, wherein a single supply amount of the formaldehyde bisulfite adduct is 2 millimoles or less per 1 L of the plating bath. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보급하는 포름알데히드 중아황산염 부가물의 일부 또는 전부를 상기 포름알데히드 중아황산염 부가물 대신에 동일 몰량의 포름알데히드로 보급하는 것을 특징으로 하는 무전해 금 도금욕의 도금 능력 유지관리 방법. 8. The electroless according to any one of claims 1 to 7, wherein some or all of the formaldehyde bisulfite adduct to be supplied is supplied with the same molar amount of formaldehyde in place of the formaldehyde bisulfite adduct. How to maintain the plating ability of the gold plating bath.
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