KR20080066366A - Semiconductor light emitting device - Google Patents

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KR20080066366A
KR20080066366A KR20070003705A KR20070003705A KR20080066366A KR 20080066366 A KR20080066366 A KR 20080066366A KR 20070003705 A KR20070003705 A KR 20070003705A KR 20070003705 A KR20070003705 A KR 20070003705A KR 20080066366 A KR20080066366 A KR 20080066366A
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김민호
박길한
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삼성전기주식회사
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Abstract

A semiconductor light emitting device is provided to emit white light with high light emitting efficiency and an improved color rendering index by including a color conversion layer made of a semiconductor material that absorbs light emitted from an active layer and has an energy band gap for converting the absorbed light into light of a different wavelength. A light transmitting substrate(11) has first and second main surfaces confronting each other. A semiconductor layer of a first conductivity type is formed on the first main surface of the light transmitting substrate. An active layer(13) is formed on the semiconductor substrate of the first conductivity type. A semiconductor layer of a second conductivity type is formed on the active layer. A color conversion layer(15) is formed on the second main surface of the light transmitting substrate, made of a semiconductor material that absorbs the light emitted from the active layer and converts the absorbed light into light with a different wavelength. The content of a composition of the color conversion layer can be changed to have an energy band gap inclined along its thickness direction.

Description

반도체 발광소자{SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE}Semiconductor Light Emitting Device {SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE}

도1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 반도체 발광소자를 나타내는 측단면도이다.1 is a side cross-sectional view showing a semiconductor light emitting device according to one embodiment of the present invention.

도2는, 도1의 반도체 발광소자에서 활성층과 색변환층 주변의 에너지 밴드갭을 도시한 것이다.FIG. 2 illustrates energy band gaps around an active layer and a color conversion layer in the semiconductor light emitting device of FIG. 1.

도3a 내지 도3c는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 반도체 발광소자에서 색변환층 주변의 에너지 밴드갭을 도시한 것이다.3A to 3C illustrate an energy band gap around a color conversion layer in a semiconductor light emitting device according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호설명><Code Description of Main Parts of Drawing>

11: 사파이어 기판 12: n형 질화물 반도체층11: sapphire substrate 12: n-type nitride semiconductor layer

13a: 양자우물층 13b: 양자장벽층13a: quantum well layer 13b: quantum barrier layer

13: 활성층 14: p형 질화물 반도체층13: active layer 14: p-type nitride semiconductor layer

15: 색변환층 16a,16b: n측 및 p측 전극15: color conversion layer 16a, 16b: n-side and p-side electrodes

31,31`,31``: 사파이어 기판 35,35`,35``: 색변환층31,31`, 31``: sapphire substrate 35,35`, 35``: color conversion layer

본 발명은 반도체 발광소자에 관한 것으로서, 특히 형광체를 사용하지 않으면서도 높은 발광효율을 얻을 수 있는 동시에 연색지수가 향상된 백색광을 발광할 수 있는 반도체 발광소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor light emitting device, and more particularly, to a semiconductor light emitting device capable of obtaining a high luminous efficiency without using a phosphor and emitting white light having an improved color rendering index.

반도체 발광소자(Light Emitting Diode, LED)는 전류가 가해지면 p,n형 반도체의 접합 부분에서 전자와 정공의 재결합에 기하여, 다양한 색상의 광을 발생시킬 수 있는 반도체 장치이다. 이러한 LED는 필라멘트에 기초한 발광소자에 비해 긴 수명, 낮은 전원, 우수한 초기 구동 특성, 높은 진동 저항 및 반복적인 전원 단속에 대한 높은 공차 등의 여러 장점을 갖기 때문에 그 수요가 지속적으로 증가하고 있으며, 특히, 최근에는, 청색 계열의 단파장 영역에서 발광이 가능한 III족 질화물 반도체 발광소자가 각광을 받고 있다. BACKGROUND A light emitting diode (LED) is a semiconductor device capable of generating light of various colors based on recombination of electrons and holes at a junction portion of a p and n type semiconductor when current is applied thereto. These LEDs have a number of advantages over filament based light emitting devices, such as long life, low power, excellent initial driving characteristics, high vibration resistance, and high tolerance for repetitive power interruptions. In recent years, group III nitride semiconductor light emitting devices capable of emitting light in a blue short wavelength region have been in the spotlight.

이러한 LED를 일반 조명으로 사용하기 위해서는 LED를 이용하여 백색광을 얻을 수 있어야 한다. 백색 LED를 구현하는 방법은 크게 3가지로 나눌 수 있다.In order to use these LEDs as general lighting, it is necessary to obtain white light using the LEDs. There are three ways to implement a white LED.

첫 번째로, 광의 삼원색인 적색, 녹색, 청색을 내는 3개의 LED를 조합하여 백색을 구현하는 방법이다. 이 방법은 하나의 백색광원을 만드는데 3개의 LED를 사용해야 하며, 각각의 LED를 제어해야하는 번거로움이 수반된다.First, a combination of three LEDs emitting three primary colors of light, red, green, and blue, is used to realize white color. This method requires the use of three LEDs to create one white light source, and involves the hassle of controlling each LED.

두 번째로, 청색 LED를 광원으로 사용하여 황색형광체를 여기 시킴으로써 백색을 구현하는 방법을 들 수 있다. 이 방법은 발광효율이 우수한 반면 연색지수가 낮으며, 전류밀도에 따라 연색지수가 변하는 특징이 있기 때문에 태양광에 가까운 백색광을 얻기 어려운 문제가 있다.Second, a method of realizing white by exciting a yellow phosphor by using a blue LED as a light source is mentioned. This method has a problem that it is difficult to obtain white light close to sunlight because the method has excellent luminous efficiency but low color rendering index and color rendering index changes according to current density.

마지막으로, 자외선 발광 LED를 광원으로 이용하여 삼원색 형광체를 여기시키는 방법이 있다. 이 방법은 고전류 하에서 사용이 가능하며, 색감이 우수하여 가장 활발하게 연구가 진행중이다. 그러나, 상기 삼원색 형광체는 무기형광체로 이루어지며, 특히, 적색 무기형광체는 발광효율이 낮은 문제가 있다. 또한, 두 번째 방법과 마찬가지로 발광구조물 외에 형광체를 주입하는 등의 공정이 수반되어야 하므로, 공정이 복잡해지는 문제가 있다.Finally, there is a method of exciting three primary color phosphors by using an ultraviolet light emitting LED as a light source. This method can be used under high current and has excellent color. However, the three primary phosphor is made of an inorganic phosphor, in particular, the red inorganic phosphor has a problem of low luminous efficiency. In addition, as in the second method, a process such as injecting a phosphor in addition to the light emitting structure has to be accompanied, and thus, the process becomes complicated.

따라서, 형광체를 사용하지 않으면서도 연색지수 및 발광효율이 높은 백색광을 얻을 수 있는 반도체 발광소자가 요구된다.Therefore, there is a need for a semiconductor light emitting device capable of obtaining white light having high color rendering index and high luminous efficiency without using a phosphor.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 그 목적은 형광체를 사용하지 않으면서도 높은 발광효율을 얻을 수 있는 동시에 연색지수가 향상된 백색광을 발광할 수 있는 반도체 발광소자를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object thereof is to provide a semiconductor light emitting device capable of obtaining high luminous efficiency without emitting a phosphor and emitting white light having improved color rendering index.

상기한 기술적 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 실시 형태에서는,In order to solve the above technical problem, in one embodiment of the present invention,

서로 대향하는 제1 및 제2 주면을 갖는 투광성 기판과, 상기 투광성 기판의 제1 주면 상에 형성된 제1 도전형 반도체층과, 상기 제1 도전형 반도체층 상에 형 성된 활성층과, 상기 활성층 상에 형성된 제2 도전형 반도체층 및 상기 투광성 기판의 제2 주면에 형성되며, 상기 활성층으로부터 방출되는 광을 흡수하여 다른 파장의 광으로 변환하기 위한 에너지 밴드갭을 갖는 반도체 물질로 이루어진 색변환층을 포함하는 반도체 발광소자를 제공한다.A translucent substrate having first and second main surfaces facing each other, a first conductive semiconductor layer formed on the first main surface of the translucent substrate, an active layer formed on the first conductive semiconductor layer, and an active layer A color conversion layer formed on a second conductive semiconductor layer formed on the second conductive surface and a second main surface of the light transmissive substrate, the color conversion layer comprising a semiconductor material having an energy band gap for absorbing light emitted from the active layer and converting the light into light having a different wavelength; It provides a semiconductor light emitting device comprising.

본 발명의 일 목적인 백색광을 얻기 위하여, 바람직하게는, 상기 색변환층은 적어도 2개의 다른 에너지 밴드갭을 갖도록 조성 또는 조성물의 함량이 서로 다른 영역을 포함할 수 있다.In order to obtain white light, which is an object of the present invention, preferably, the color conversion layer may include regions having different compositions or contents of the compositions so as to have at least two different energy band gaps.

상기 색변환층은 그 두께 방향에 따라 경사진 에너지 밴드갭을 갖도록 일부 조성의 함량이 변경될 수 있으며, 바람직하게는, 상기 투광성 기판으로부터 멀어질수록 에너지 밴드갭이 증가되는 것일 수 있다.The color conversion layer may have a change in content of a part of the composition so as to have an inclined energy bandgap in the thickness direction, and preferably, the energy bandgap increases as the color conversion layer moves away from the translucent substrate.

한편, 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층 및 상기 활성층은, 질화물 반도체 또는 ZnxMgyCd1 -x- yO(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)으로 이루어진 것이 바람직하며, 이 경우, 상기 활성층은 파장이 350∼470㎚인 광을 발광하는 것일 수 있다. 또한, 상기 기판은 사파이어, SiC, GaN, Ga2O3 및 ZnxMgyCd1 -x- yO(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)으로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 것이 바람직하다.On the other hand, the first and second conductive type semiconductor layer and the active layer, a nitride semiconductor or a Zn x Mg y Cd 1 -x- y O (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤ It is preferably made of 1), in this case, the active layer may be to emit light having a wavelength of 350 ~ 470nm. Further, the substrate composed of sapphire, SiC, GaN, Ga 2 O 3 and Zn x Mg y Cd 1 -x- y O (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1) It is preferably made of a material selected from the group.

바람직하게는, 상기 색변환층은, InxGa(1-x)N(0<x≤1), MgxZn1 -xO(0≤x<1), AlxGa1-xAs(0≤x≤1), ZnxMgyCd1 -x- yO(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) 및 AlxInyGa1 -x- yP(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 것일 수 있다.Preferably, the color conversion layer is In x Ga (1-x) N (0 <x 1 ), Mg x Zn 1- x O (0 x <1), Al x Ga 1-x As ( 0≤x≤1), Zn x Mg y Cd 1 -x- y O (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1) , and Al x In y Ga 1 -x- y It may be made of a material selected from the group consisting of P (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1).

본 발명의 바람직한 실시 형태에서, 상기 색변환층은 상기 투광성 기판의 제2 주면에 직접 성장된 것일 수 있으며, 또한, 상기 색변환층은 상기 투광성 기판의 제2 주면에 웨이퍼 본딩에 의해 접합된 것일 수도 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the color conversion layer may be directly grown on the second main surface of the light transmissive substrate, and the color conversion layer is bonded to the second main surface of the light transmissive substrate by wafer bonding. It may be.

상기 색변환층의 색변환효율을 고려하였을 때, 상기 색변환층의 두께는 5 ~ 500㎛ 인 것이 바람직하다.In consideration of the color conversion efficiency of the color conversion layer, the thickness of the color conversion layer is preferably 5 ~ 500㎛.

한편, 상기 색변환층은 도핑된 불순물에 의한 도핑 준위를 갖는 것일 수 있으며, 이 경우, 상기 도핑된 불순물은, n형 및 p형 불순물을 모두 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 n형 불순물의 농도는 5×1016 5×1018/㎤ 이며, 상기 p형 불순물의 농도는 5×1017 5×1019/㎤ 인 것이 바람직하다. 여기서, 상기 p형 불순물은 Be, Mg, Ca 및 Zn으로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 원소인 것이 바람직하며, 상기 n형 불순물은 Si, O 및 C로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 원소인 것이 바람직하다.On the other hand, the color conversion layer may have a doping level by the doped impurities, in this case, the doped impurities, preferably includes both n-type and p-type impurities. In addition, the concentration of the n-type impurities is 5 × 10 16 ~ 5 × 10 18 / cm 3, and the concentration of the p-type impurity is from 5 × 10 17 to It is preferable that it is 5 * 10 <19> / cm <3>. Herein, the p-type impurity is preferably at least one element selected from the group consisting of Be, Mg, Ca, and Zn, and the n-type impurity is preferably at least one element selected from the group consisting of Si, O, and C. Do.

본 발명의 다른 실시 형태에서는,In another embodiment of the present invention,

제1 및 제2 도전형 반도체층과, 그 사이에 형성된 활성층을 포함한 발광소자 에 있어서, 상기 활성층으로부터 방출되는 광을 흡수하여 다른 파장의 광으로 변환하기 위한 에너지 밴드갭을 갖는 반도체 물질로 이루어지며, 색변환효율이 향상되기 위한 도핑준위가 형성되도록 불순물이 도핑된 색변환층을 포함하는 반도체 발광소자를 제공한다.A light emitting device comprising a first and a second conductivity type semiconductor layer and an active layer formed therebetween, comprising a semiconductor material having an energy band gap for absorbing the light emitted from the active layer and converting it into light having a different wavelength. The present invention provides a semiconductor light emitting device including a color conversion layer doped with impurities to form a doping level for improving color conversion efficiency.

이 경우에도, 상기 도핑된 불순물은, n형 및 p형 불순물을 모두 포함하는 것이 바람직하며, 상기 n형 불순물의 농도는 5×1016 5×1018/㎤ 이며, 상기 p형 불순물의 농도는 5×1017 5×1019/㎤ 인 것일 수 있다.Also in this case, the doped impurities preferably include both n-type and p-type impurities, and the concentration of the n-type impurities is 5 × 10 16 to 5 × 10 18 / cm 3, and the concentration of the p-type impurity is from 5 × 10 17 to It may be 5 × 10 19 / cm 3.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 반도체 발광소자를 나타내는 측단면도이다.1 is a side cross-sectional view showing a semiconductor light emitting device according to one embodiment of the present invention.

도1을 참조하면, 본 실시 형태에 따른 반도체 발광소자(10)는, 색변환층(15)과 상기 색변환층(15) 상에 순차적으로 형성된 사파이어 기판(11), n형 질화물 반도체층(12), 활성층(13), p형 질화물 반도체층(14) 및 p측 전극(16b)을 포함한다. 또한, n측 전극(16a)은 메사 에칭을 통해 노출된 상기 n형 질화물 반도체층(12) 상면에 형성된다.Referring to FIG. 1, the semiconductor light emitting device 10 according to the present embodiment includes a sapphire substrate 11 and an n-type nitride semiconductor layer sequentially formed on the color conversion layer 15 and the color conversion layer 15. 12), an active layer 13, a p-type nitride semiconductor layer 14 and a p-side electrode 16b. In addition, the n-side electrode 16a is formed on the n-type nitride semiconductor layer 12 upper surface exposed through mesa etching.

상기 사파이어 기판(11)은, 육각-롬보형(Hexa-Rhombo R3c) 대칭성을 갖는 결정체로서 c축 방향의 격자상수가 13.001Å, a축 방향으로는 4.765Å의 격자간 거리를 가지며, 사파이어 면방향(orientation plane)으로는 C(0001)면, A(1120)면, R(1102)면 등을 갖는다. 이러한 상기 사파이어 기판(11)의 C면의 경우 비교적 질화물 박막의 성장이 용이하며, 고온에서 안정하기 때문에 질화물 성장용 기판으로 주로 사용된다. 또한, 상기 사파이어 기판(11)은 투광성을 가지므로, 상기 활성층(13)에서 방출된 광은 상기 사파이어 기판(11)을 투과하여 상기 색변환층(15)에 흡수될 수 있다. 다만, 본 발명에서 투광성 기판은 상기 사파이어 기판(11)으로 제한되지 않으며, 질화물 또는 본 실시 형태에서 도시되지는 않았으나 ZnxMgyCd1-x-yO(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) 성장용 기판인, SiC, GaN, Ga2O3, ZnxMgyCd1-x-yO(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) 등이 채용될 수 있다.The sapphire substrate 11 is a crystal having hexagonal-Rhombo R3c symmetry. An orientation plane includes a C (0001) plane, an A (1120) plane, an R (1102) plane, and the like. In the case of the C surface of the sapphire substrate 11, the nitride thin film is relatively easy to grow and is stable at a high temperature, and thus is mainly used as a nitride growth substrate. In addition, since the sapphire substrate 11 is light-transmitting, light emitted from the active layer 13 may pass through the sapphire substrate 11 and may be absorbed by the color conversion layer 15. However, in the present invention, the light-transmissive substrate is not limited to the sapphire substrate 11, and is not shown in the embodiment of the nitride or Zn x Mg y Cd 1-xy O (0≤x≤1, 0≤y≤1 , 0 ≦ x + y ≦ 1) SiC, GaN, Ga 2 O 3 , Zn x Mg y Cd 1-xy O (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y) ≤1) and the like may be employed.

상기 n형 질화물 반도체층(12) 및 p형 질화물 반도체층(14)은 AlxInyGa(1-x-y)N 조성식(여기서, 0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1임)을 갖는 n형 불순물 및 p형 불순물이 도핑된 반도체 물질로 이루어질 수 있으며, 대표적으로, GaN, AlGaN, InGaN이 있다. 또한, 상기 n형 불순물로 Si, O, C 등이 사용될 수 있으며, 상기 p형 불순물로는 Be, Mg, Ca, Zn 등이 대표적이다. 상기 n형 및 p형 질화물 반도체층(12,14)은 공지된 성장 공정인 유기금속 기상증착법(MOCVD), 분자빔성장법(MBE) 및 하이브리드 기상증착법(HVPE) 등으로 성장될 수 있다.The n-type nitride semiconductor layer 12 and the p-type nitride semiconductor layer 14 are Al x In y Ga (1-xy) N composition formula (where 0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + n? impurity and p type impurity doped with a semiconductor material doped with y ≦ 1), and typically GaN, AlGaN, InGaN. In addition, Si, O, C, etc. may be used as the n-type impurity, and the p-type impurity may be representative of Be, Mg, Ca, Zn, and the like. The n-type and p-type nitride semiconductor layers 12 and 14 may be grown by known growth processes such as organometallic vapor deposition (MOCVD), molecular beam growth (MBE), hybrid vapor deposition (HVPE), and the like.

상기 활성층(13)은 전자와 정공의 재결합에 의하여 가시광(약 350∼680㎚ 파장범위), 자외광 등을 방출하는 층으로서, 단일 또는 다중 양자우물 구조를 갖는 반도체층으로 구성된다. 상술한 바와 같이, 본 실시 형태에서, 상기 활성층(13)에서 방출된 광은 상기 색변환층(15)에 흡수되며, 상기 색변환층(15)은 상기 광보다 장파장의 광을 방출하여, 백색광을 구현한다. 이에 관한 보다 자세한 사항은 도2에서 설명한다. The active layer 13 emits visible light (about 350 to 680 nm wavelength range), ultraviolet light, etc. by recombination of electrons and holes, and is composed of a semiconductor layer having a single or multiple quantum well structure. As described above, in the present embodiment, the light emitted from the active layer 13 is absorbed by the color conversion layer 15, and the color conversion layer 15 emits light having a longer wavelength than the light, so that white light Implement More details on this will be described with reference to FIG. 2.

한편, 상기 활성층(13)은 상기 n형 및 p형 질화물 반도체층(12,14)과 같이 유기금속 기상증착법, 분자빔성장법 및 하이브리드 기상증착법 등으로 성장될 수 있다.Meanwhile, the active layer 13 may be grown by organometallic vapor deposition, molecular beam growth, hybrid vapor deposition, and the like as the n-type and p-type nitride semiconductor layers 12 and 14.

본 발명에서 채용된 상기 색변환층(15)은, 상술한 바와 같이, 상기 활성층(13)에서 방출된 광을 흡수한 후, 장파장 광을 방출하는 기능을 하며, 이에 의하여 백색 반도체 발광소자(10)를 구현할 수 있다. 본 실시 형태에서, 상기 색변환층(15)은 InxGa(1-x)N(0<x≤1) 등의 질화물로 이루어질 수 있으며, 이 경우, 인듐함량에 의하여 에너지 밴드갭이 조절된다. 구체적으로는, 인듐함량이 증가할수록 에너지 밴드갭은 감소하므로, 상기 활성층의 양자우물층보다 에너지 밴드갭이 작도록 인듐함량을 조절하여, 상대적으로 장파장의 광을 방출할 수 있는 것이다.As described above, the color conversion layer 15 employed in the present invention absorbs the light emitted from the active layer 13 and then emits long wavelength light, thereby providing a white semiconductor light emitting device 10 ) Can be implemented. In the present embodiment, the color conversion layer 15 may be made of nitride such as In x Ga (1-x) N (0 <x≤1), in which case the energy band gap is controlled by the indium content. . Specifically, since the energy band gap decreases as the indium content increases, the indium content may be adjusted to have a smaller energy band gap than the quantum well layer of the active layer, so that light having a relatively long wavelength may be emitted.

이 경우, 상기 색변환층의 두께(t)가 너무 얇을 경우에는 높은 발광효율을 갖는 백색광을 얻기 어려우며, 반면에 너무 두꺼울 경우에는, 광추출효율이 떨어질 수 있다. 따라서, 상기 색변환층(15)의 색변환효율을 고려하였을 때, 상기 색변환층의 두께(t)는 5 ~ 500㎛가 되는 것이 바람직하다.In this case, when the thickness t of the color conversion layer is too thin, it is difficult to obtain white light having a high luminous efficiency, whereas when too thick, the light extraction efficiency may be lowered. Therefore, in consideration of the color conversion efficiency of the color conversion layer 15, the thickness t of the color conversion layer is preferably 5 ~ 500㎛.

한편, 도1에 도시된 바와 같이, 상기 색변환층(15)은 상기 사파이어 기판(11)의 제2 주면(도1 기준으로 사파이어 기판 하면에 해당함)에 형성될 수 있으므로, 상기 색변환층(15)은 웨이퍼 본딩 공정을 통하여 상기 사파이어 기판(11)과 접합될 수 있다. 이와 같이 상기 색변환층(15)을 접합 경우에는, 높은 인듐 함량으로 인해 상대적으로 결정성이 낮은 색변환층(15) 상에 다른 반도체층을 성장시키지 않을 수 있다. 따라서, 상기 색변환층(15)으로 인하여 상기 사파이어 기판(11) 상에 형성된 상기 n형 및 p형 질화물 반도체층(12,14), 활성층(13)의 결정성이 저하되지 않으며, 이에 따라, 상기 반도체 발광소자(10)는 높은 발광효율 및 신뢰성을 기대할 수 있다. As illustrated in FIG. 1, the color conversion layer 15 may be formed on the second main surface of the sapphire substrate 11 (corresponding to the bottom surface of the sapphire substrate based on FIG. 1). 15 may be bonded to the sapphire substrate 11 through a wafer bonding process. As such, when the color conversion layer 15 is bonded, another semiconductor layer may not be grown on the color conversion layer 15 having relatively low crystallinity due to the high indium content. Therefore, the crystallinity of the n-type and p-type nitride semiconductor layers 12 and 14 and the active layer 13 formed on the sapphire substrate 11 is not lowered due to the color conversion layer 15. The semiconductor light emitting device 10 can expect high luminous efficiency and reliability.

나아가, 상기 색변환층(15)을 접합시켜 형성하는 것이 가능함에 따라, 상기 색변환층(15)은 본 실시 형태와 같이 질화물로 한정되지 않으며, MgxZn1 -xO(0≤x<1), AlxGa1-xAs(0≤x≤1), ZnxMgyCd1 -x- yO(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) 및 AlxInyGa1 -x- yP(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) 등과 같이 단파장 광을 흡수하여 장파장을 방출할 수 있는 에너지 밴드갭 구조를 갖는 다른 물질이 채용될 수도 있다. 다만 본 발명에서 상기 색변환층(15)은 상기 사파이어 기판(11)에 접합 되어 형성되는 경우 외에도 상기 사파이어 기판(11)의 제2 주면에서 직접 성장될 수도 있다.Further, as the color conversion layer 15 can be formed by bonding, the color conversion layer 15 is not limited to nitride as in the present embodiment, and Mg x Zn 1 -x O (0 ≦ x < 1), Al x Ga 1- x As (0≤x≤1), Zn x Mg y Cd 1 -x- y O (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1) and Al x in y Ga 1 -x- y P (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1) short wavelength light by absorbing an energy band gap structure which is capable of emitting long wavelength, such as Other materials having may be employed. However, in the present invention, the color conversion layer 15 may be directly grown on the second main surface of the sapphire substrate 11 in addition to the case where the color conversion layer 15 is bonded to the sapphire substrate 11.

도2는, 도1의 반도체 발광소자에서 활성층과 색변환층 주변의 에너지 밴드갭을 도시한 것이다.FIG. 2 illustrates energy band gaps around an active layer and a color conversion layer in the semiconductor light emitting device of FIG. 1.

도2를 참조하면, 상기 활성층(13)은 복수의 양자우물층(13a)과 양자장벽층(13b)이 교대로 적층된 구조이며, 상기 양자우물층(13a)의 에너지 밴드갭에 의하여 상기 활성층(13)에서의 방출하는 광의 파장이 결정된다. Referring to FIG. 2, the active layer 13 has a structure in which a plurality of quantum well layers 13a and a quantum barrier layer 13b are alternately stacked, and the active layer is formed by an energy band gap of the quantum well layer 13a. The wavelength of the light emitted at (13) is determined.

본 실시 형태에서는, 상기 색변환층(15)의 흡수 및 방출에 의한 백색 발광소자를 구현하기 위하여, 상기 활성층(13)에서 방출된 광(L1)은 청색계열의 광, 구체적으로는, 상기 광(L1)의 파장은 350∼470㎚인 것이 바람직하나, 다만, 다른 실시 형태에서는 자외광을 방출할 수도 있다. In the present embodiment, in order to implement a white light emitting device by absorbing and emitting the color conversion layer 15, the light L1 emitted from the active layer 13 is light of blue series, specifically, the light. It is preferable that the wavelength of (L1) is 350-470 nm, but ultraviolet light may be emitted in another embodiment.

상기 활성층(13)에서 방출된 광(L1)은 에너지 밴드갭이 높은 상기 사파이어 기판(11)을 투과하여 상기 색변환층(15)에 흡수된다. 이는, 높은 에너지의 광이 상대적으로 낮은 에너지 밴드갭을 갖는 영역을 통과할 경우, 상기 광은 상기 영역에 흡수되며, 상기 영역의 에너지 밴드갭에 해당하는 광을 방출하는 원리에 의한 것이다. 즉, 상기 활성층(13)에서 방출된 광(L1)은 상기 양자우물층(13a)에 비하여 낮은 에너지 밴드갭을 갖는 상기 색변환층(15)에 흡수되며, 이에 따라, 상기 색변환층(15)에서 삼원색에 해당하는 광(L2, L3, L4)을 방출할 수 있는 것이다. 즉, 상기 활성층(13) 및 색변환층(15)에서 각각 방출된 광들(L1, L2, L3, L4)의 조합에 의하여 백색광이 구현된다. The light L1 emitted from the active layer 13 passes through the sapphire substrate 11 having a high energy band gap and is absorbed by the color conversion layer 15. This is due to the principle that when high energy light passes through a region having a relatively low energy band gap, the light is absorbed in the region and emits light corresponding to the energy band gap of the region. That is, the light L1 emitted from the active layer 13 is absorbed by the color conversion layer 15 having a lower energy bandgap than the quantum well layer 13a. Accordingly, the color conversion layer 15 ) Can emit light (L2, L3, L4) corresponding to the three primary colors. That is, white light is realized by the combination of the lights L1, L2, L3, and L4 emitted from the active layer 13 and the color conversion layer 15, respectively.

한편, 도2에 도시된 바와 같이, 상기 색변환층(15)의 에너지 밴드갭은 상기 사파이어 기판(11)에서 멀어지는 방향, 즉, 상기 색변환층(15)의 두께 방향에 따라 점차 증가하는 경향을 보이므로, 파장 변화가 연속적인 광을 방출할 수 있다. 즉, 상기 색변환층(15)은 도2에 도시된 광(L2,L3,L4) 외에도 연속적인 파장 변화를 보이는 다른 광을 방출할 수 있으므로, 상기 색변환층(15)의 에너지 밴드갭 구조는 연색지수가 우수한 백색광을 얻는데 기여할 수 있다. 이와 관련하여, 상기 색변환층(15)의 에너지 밴드갭 구조는, 상술한 바와 같이, 인듐함량에 의하여 조절될 수 있으며, 상기 색변환층(15)에 포함된 인듐함량은 상기 사파이어 기판(11)에서 멀어지면서, 점차 감소하게 된다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the energy band gap of the color conversion layer 15 tends to increase gradually in a direction away from the sapphire substrate 11, that is, in a thickness direction of the color conversion layer 15. As shown, the wavelength change can emit continuous light. That is, since the color conversion layer 15 may emit other light showing continuous wavelength changes in addition to the light L2, L3, and L4 shown in FIG. 2, the energy bandgap structure of the color conversion layer 15 Can contribute to obtaining white light having excellent color rendering index. In this regard, the energy bandgap structure of the color conversion layer 15 may be controlled by an indium content as described above, and the indium content included in the color conversion layer 15 may be the sapphire substrate 11. Away from), gradually decreasing.

추가적으로, 상기 색변환층(15)의 에너지 밴드갭에서 점선으로 표시한 에너지 준위를 참조하면, 상기 색변환층(15)은 각각 n형 불순물로 도핑된 도핑 준위 및 p형 불순물이 도핑된 도핑 준위를 갖는다. 이 경우, 상기의 n형 및 p형 불순물이 도핑된 도핑 준위는 전자와 정공의 재결합 효율을 향상시키며, 이에 따라, 상기 색변환층(15)의 색변환효율을 향상시킨다. 이 경우, 상기 n형 불순물은 Si이며, p형 불순물은 Mg인 것이 가장 바람직하며, 또한, 색변환효율 향상 측면을 고려하였을 때, n형 불순물의 농도는 5×1016 5×1018/㎤ 이며, p형 불순물의 농도는 5×1017 5×1019/㎤ 인 것이 바람직하다. In addition, referring to the energy level indicated by the dotted line in the energy band gap of the color conversion layer 15, the color conversion layer 15 is doped level doped with n-type impurities and doped level doped with p-type impurities, respectively. Has In this case, the doping levels doped with the n-type and p-type impurities improve the recombination efficiency of electrons and holes, thereby improving the color conversion efficiency of the color conversion layer 15. In this case, it is most preferable that the n-type impurity is Si, and the p-type impurity is Mg, and considering the aspect of improving color conversion efficiency, the concentration of the n-type impurity is 5 × 10 16- 5 × 10 18 / cm 3, and the concentration of p-type impurities is 5 × 10 17 to It is preferable that it is 5 * 10 <19> / cm <3>.

이와 같이, 본 발명에서는 색변환층(15)은 불순물 도핑에 의하여 색변환효율을 향상시키는 점에서도 고유한 특징이 있으며, 이에 따라, 본 실시 형태와 같이 상기 색변환층(15)의 형성 위치는 상기 사파이어 기판(11)의 제2 주면으로 제한되지 않는다. 즉, 다른 실시 형태에서는, 상기 색변환층(15)은 활성층에서 방출된 광을 흡수하여 다른 파장의 광으로 변환하기 위한 에너지 밴드갭을 갖는 반도체 물질로 이루어지며, 광변환효율이 향상되기 위한 도핑준위가 형성되도록 불순물이 도핑된 것일 수 있으며, 상기의 기능을 수행할 수 있는 위치라면 제한없이 형성될 수 있다.As described above, in the present invention, the color conversion layer 15 is unique in that it also improves the color conversion efficiency by impurity doping. Accordingly, the formation position of the color conversion layer 15 as in the present embodiment is It is not limited to the second main surface of the sapphire substrate 11. That is, in another embodiment, the color conversion layer 15 is made of a semiconductor material having an energy bandgap for absorbing the light emitted from the active layer and converting it into light of a different wavelength, and doping for improving the light conversion efficiency. The impurity may be doped to form a level, and may be formed without limitation as long as it is a position capable of performing the above function.

한편, 본 발명에서 상기 색변환층(15)의 에너지 밴드갭 구조는 본 실시 형태와 같이, 직선형으로 감소하는 형태로 제한되지 않으며, 이를 도3a 내지 도3c를 참조하여 설명한다. 도3a 내지 도3c는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 반도체 발광소자에서 색변환층 주변의 에너지 밴드갭을 도시한 것이며, n형 및 p형 질화물 반도체층, 활성층 부분은 생략하였다.On the other hand, in the present invention, the energy bandgap structure of the color conversion layer 15 is not limited to the form of decreasing linearly as in the present embodiment, which will be described with reference to FIGS. 3A to 3C. 3A to 3C illustrate an energy band gap around a color conversion layer in a semiconductor light emitting device according to another exemplary embodiment of the present invention, and n-type and p-type nitride semiconductor layers and active layer portions are omitted.

도3a 내지 도3c를 참조하면, 색변환층(35,35`,35``)은 도1의 경우와 같이, 사파이어 기판(31,31`,31``)과 인접하여 형성되며, 도3a의 색변환층(35)은 계단형으로 증가하는 형태, 도3b의 색변환층(35`)은 직선형으로 감소하는 형태, 도3c의 색변환층(35``)은 곡선형으로 증가하는 형태의 에너지 밴드갭을 각각 갖는다. 또한, 도시되지는 않았으나, 본 발명의 일 목적인 연색지수가 높은 백색광을 얻기 위 한 색변환층의 에너지 밴드갭 구조(예, 계단형 감소, 곡선형 감소 등)가 적절히 채택될 수 있다. 3A to 3C, the color conversion layers 35, 35 ′ and 35 ″ are formed adjacent to the sapphire substrates 31, 31 ′ and 31 ″ as in FIG. 1, and FIG. 3A. The color conversion layer 35 of Figure 3b is a step of increasing in the form, the color conversion layer 35` of Figure 3b is reduced in a linear form, the color conversion layer 35`` of Figure 3c is increased in a curved form Each has an energy band gap of. In addition, although not shown, an energy bandgap structure (eg, step reduction, curve reduction, etc.) of a color conversion layer for obtaining white light having a high color rendering index, which is an object of the present invention, may be appropriately adopted.

상기의 실시 형태들에서는 제1 및 제2 도전형 반도체층, 활성층, 색변환층이 질화물이 되는 경우, 즉, 질화물 반도체 발광소자에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 즉, 질화물이 아닌 ZnxMgyCd1 -x- yO(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) 등과 같은 물질로 이루어진 반도체 발광소자에서도 활성층에서 방출된 광을 색변환층이 흡수하여 다시 방출하는 과정을 통하여 백색광을 방출할 수 있다.In the above embodiments, when the first and second conductivity-type semiconductor layers, the active layer, and the color conversion layer are nitride, that is, the nitride semiconductor light emitting device has been described, the present invention is not limited thereto. That is, even in a semiconductor light emitting device made of a material such as Zn x Mg y Cd 1 -x- y O (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1), which is not nitride, The white light may be emitted through the process of absorbing and re-emitting the color conversion layer.

본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.It is intended that the invention not be limited by the foregoing embodiments and the accompanying drawings, but rather by the claims appended hereto. Accordingly, various forms of substitution, modification, and alteration may be made by those skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention described in the claims, which are also within the scope of the present invention. something to do.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 형광체를 사용하지 않으면서도 높은 발광효율을 얻을 수 있는 동시에 연색지수가 향상된 백색광을 발광할 수 있는 반도체 발광소자를 얻을 수 있다. As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a semiconductor light emitting device capable of obtaining high luminous efficiency without emitting phosphor and emitting white light having improved color rendering index.

Claims (19)

서로 대향하는 제1 및 제2 주면을 갖는 투광성 기판;A translucent substrate having first and second main surfaces facing each other; 상기 투광성 기판의 제1 주면 상에 형성된 제1 도전형 반도체층;A first conductivity type semiconductor layer formed on the first main surface of the light transmissive substrate; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 형성된 활성층;An active layer formed on the first conductivity type semiconductor layer; 상기 활성층 상에 형성된 제2 도전형 반도체층; 및A second conductivity type semiconductor layer formed on the active layer; And 상기 투광성 기판의 제2 주면에 형성되며, 상기 활성층으로부터 방출되는 광을 흡수하여 다른 파장의 광으로 변환하기 위한 에너지 밴드갭을 갖는 반도체 물질로 이루어진 색변환층을 포함하는 반도체 발광소자.And a color conversion layer formed on a second main surface of the light transmissive substrate, the color conversion layer comprising a semiconductor material having an energy band gap for absorbing light emitted from the active layer and converting the light into light having a different wavelength. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 색변환층은 적어도 2개의 다른 에너지 밴드갭을 갖도록 조성 또는 조성물의 함량이 서로 다른 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The color conversion layer is a semiconductor light emitting device, characterized in that it comprises a region having a different composition or content of the composition to have at least two different energy band gap. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 색변환층은 그 두께 방향에 따라 경사진 에너지 밴드갭을 갖도록 조성물의 함량이 변경되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The color conversion layer is a semiconductor light emitting device, characterized in that the content of the composition is changed to have an inclined energy bandgap according to the thickness direction. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 색변환층은 상기 투광성 기판으로부터 멀어질수록 에너지 밴드갭이 증 가 되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The color conversion layer is a semiconductor light emitting device, characterized in that the energy band gap increases as the distance from the transparent substrate. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층 및 상기 활성층은, 질화물 반도체 또는 ZnxMgyCd1-x-yO(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The first and second conductivity type semiconductor layers and the active layer are formed of a nitride semiconductor or Zn x Mg y Cd 1-xy O (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1). A semiconductor light emitting device, characterized in that. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 활성층은 파장이 350∼470㎚인 광을 발광하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The active layer is a semiconductor light emitting device, characterized in that for emitting light having a wavelength of 350 ~ 470nm. 제5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 기판은 사파이어, SiC, GaN, Ga2O3 및 ZnxMgyCd1 -x- yO(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)으로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The substrate from the sapphire, SiC, GaN, Ga 2 O 3 and Zn x Mg y Cd 1 -x- y O the group consisting of (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1 ) A semiconductor light emitting device comprising a selected material. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 색변환층은, InxGa(1-x)N(0<x≤1), MgxZn1 -xO(0≤x<1), AlxGa1 - xAs(0≤x≤1), ZnxMgyCd1 -x- yO(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) 및 AlxInyGa1 -x- yP(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The color conversion layer is In x Ga (1-x) N (0 <x 1 ), Mg x Zn 1- x O (0 x <1), Al x Ga 1 - x As (0 ≤ x 1), Zn x Mg y Cd 1 -x- y O (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1) , and Al x In y Ga 1 -x- y P (0≤ and a material selected from the group consisting of x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, and 0 ≦ x + y ≦ 1). 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 색변환층은 상기 투광성 기판의 제2 주면에 직접 성장된 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The color conversion layer is a semiconductor light emitting device, characterized in that directly grown on the second main surface of the transparent substrate. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 색변환층은 상기 투광성 기판의 제2 주면에 웨이퍼 본딩에 의해 접합된 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.And the color conversion layer is bonded to the second main surface of the light transmissive substrate by wafer bonding. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 색변환층의 두께는 5 ~ 500㎛ 인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The thickness of the color conversion layer is a semiconductor light emitting device, characterized in that 5 ~ 500㎛. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 색변환층은 도핑된 불순물에 의한 도핑 준위를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.And the color conversion layer has a doping level due to doped impurities. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 도핑된 불순물은, n형 및 p형 불순물을 모두 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. The doped impurity may include both n-type and p-type impurities. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 n형 불순물의 농도는 5×1016 5×1018/㎤ 이며, 상기 p형 불순물의 농도는 5×1017 5×1019/㎤ 인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The concentration of the n-type impurities is 5 × 10 16 ~ 5 × 10 18 / cm 3, and the concentration of the p-type impurity is from 5 × 10 17 to A semiconductor light emitting device, characterized in that 5 × 10 19 / cm 3. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 p형 불순물은 Be, Mg, Ca 및 Zn으로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 원소인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The p-type impurity is at least one element selected from the group consisting of Be, Mg, Ca and Zn. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 n형 불순물은 Si, O 및 C로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 원소인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The n-type impurity is at least one element selected from the group consisting of Si, O and C semiconductor light emitting device. 제1 및 제2 도전형 반도체층과, 그 사이에 형성된 활성층을 포함한 발광소자에 있어서,A light emitting device comprising a first and a second conductivity type semiconductor layer and an active layer formed therebetween, 상기 활성층으로부터 방출되는 광을 흡수하여 다른 파장의 광으로 변환하기 위한 에너지 밴드갭을 갖는 반도체 물질로 이루어지며, 색변환효율이 향상되기 위한 도핑준위가 형성되도록 불순물이 도핑된 색변환층을 포함하는 반도체 발광소자.Comprising a semiconductor material having an energy bandgap for absorbing the light emitted from the active layer and converting it to light of a different wavelength, comprising a color conversion layer doped with impurities to form a doping level for improving color conversion efficiency Semiconductor light emitting device. 제17항에 있어서,The method of claim 17, 상기 도핑된 불순물은, n형 및 p형 불순물을 모두 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. The doped impurity may include both n-type and p-type impurities. 제18항에 있어서,The method of claim 18, 상기 n형 불순물의 농도는 5×1016 5×1018/㎤ 이며, 상기 p형 불순물의 농도는 5×1017 5×1019/㎤ 인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The concentration of the n-type impurities is 5 × 10 16 ~ 5 × 10 18 / cm 3, and the concentration of the p-type impurity is from 5 × 10 17 to A semiconductor light emitting device, characterized in that 5 × 10 19 / cm 3.
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