KR20080065903A - Article transport vehicle - Google Patents
Article transport vehicle Download PDFInfo
- Publication number
- KR20080065903A KR20080065903A KR1020070119648A KR20070119648A KR20080065903A KR 20080065903 A KR20080065903 A KR 20080065903A KR 1020070119648 A KR1020070119648 A KR 1020070119648A KR 20070119648 A KR20070119648 A KR 20070119648A KR 20080065903 A KR20080065903 A KR 20080065903A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- plate
- storage space
- side wall
- air
- purge air
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
- B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G21/00—Supporting or protective framework or housings for endless load-carriers or traction elements of belt or chain conveyors
- B65G21/20—Means incorporated in, or attached to, framework or housings for guiding load-carriers, traction elements or loads supported on moving surfaces
- B65G21/22—Rails or the like engaging sliding elements or rollers attached to load-carriers or traction elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
- B65G23/02—Belt- or chain-engaging elements
- B65G23/04—Drums, rollers, or wheels
- B65G23/08—Drums, rollers, or wheels with self-contained driving mechanisms, e.g. motors and associated gearing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Handcart (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
Description
본 발명은, 복수의 판형상 물품을 수평방향을 따르는 자세로 상하방향으로 간격을 두고 나란한 상태로 수납하는 직방체형상의 수납공간이, 외부와 차폐되는 상태로 설치되고, 상기 수납공간에 수납된 상기 복수의 판형상 물품의 인접하는 것끼리의 사이를 통하여 정화공기를 통풍하도록, 상기 수납공간의 측둘레부에 있어서의 하나의 측벽부에 상당하는 통풍 개소로부터 그 측벽부에 대향하는 측벽부를 향하여 정화공기를 통풍하는 정화공기 통풍수단이 설치된 판형상 물품용 반송차에 관한 것이다.The present invention is a rectangular parallelepiped accommodating space for accommodating a plurality of plate-shaped articles in a posture along a horizontal direction in a side-by-side direction at intervals, provided in a state of being shielded from the outside, wherein the accommodating space is accommodated in the accommodating space. Purification toward a side wall portion facing the side wall portion from a ventilation location corresponding to one side wall portion in the side circumference of the storage space so as to ventilate the purified air between adjacent ones of the plurality of plate-shaped articles. The present invention relates to a conveying vehicle for a plate-shaped article provided with purifying air ventilation means for ventilating air.
상기와 같은 판형상 물품용 반송차는, 정화공기 통풍수단이, 수납공간에 수납된 복수의 판형상 물품의 인접하는 것끼리의 사이를 통하여 정화공기를 통풍하는 것에 의해 복수의 판형상 물품으로부터 진애를 제거하여, 수납공간에 수납된 복수의 판형상 물품을 청정한 환경으로 반송하는 것이다.As described above, the conveying vehicle for the plate-shaped article is provided with dust from the plurality of plate-shaped articles by the purge air venting means ventilating the purge air through adjacent ones of the plurality of plate-shaped articles stored in the storage space. It removes and conveys the some plate-shaped article accommodated in the storage space to a clean environment.
종래의 판형상 물품용 반송차는, 수납공간에 있어서의 직사각형형상의 바닥부 중의, 통풍 개소에 상당하는 하나의 측벽부에 대향하는 측벽부에 인접하는 단부측 개소에, 정화공기를 수납공간의 외부에 배출하는 정화공기 배출용 개구부를 형 성하고, 이 정화공기 배출용 개구부를 통하여 수납공간의 외부에 배출된 정화공기를 차체의 바닥부에 안내하는 안내통로를 설치하여, 이 안내통로로 차체의 바닥부에 안내한 정화공기를 차체의 바닥부의 배출구로부터 외부에 배출하고 있다.(예를 들면, 특허문헌 1 참조.)The conventional conveyance vehicle for plate-shaped articles has the outside of a storage space with purified air at the end side part adjacent to the side wall part which opposes one side wall part corresponding to a ventilation location among the rectangular bottom parts in a storage space. An opening for purifying air discharged to the air is formed, and a guide passage for guiding the purified air discharged to the outside of the storage space through the purge air discharge opening is provided at the bottom of the vehicle body. Purified air guided to the bottom is discharged to the outside from the outlet of the bottom of the vehicle body (see
[특허문헌 1] 일본 특허공개공보 평성11-322068호[Patent Document 1] Japanese Patent Publication No. Pyeongseong 11-322068
상기 종래의 판형상 물품용 반송차에서는, 정화공기 배출 개구부가, 통풍 개소에 상당하는 측벽부에 대향하는 측벽부에 인접하는 바닥부의 단부측 개소에 설치되어 있으므로, 정화공기는, 통풍 개소에 상당하는 측벽부로부터 그 측벽부에 대향하는 측벽부를 향하여 흐르게 된다. 이 때, 정화공기는, 통풍 개소에 상당하는 측벽부에 인접하는 측벽부에 부딪쳐 튀어 되돌아오는 등에 의하여, 통풍 개소에 상당하는 측벽부에 있어서 그 가로폭 방향의 중앙측의 쪽이 흐르기 쉬워진다. 따라서, 통풍 개소에 상당하는 측벽부에 인접하는 측벽부에 접근하는 측에 충분한 정화공기를 유동하기 어려워지므로, 수납공간의 전체에 걸쳐서 충분한 정화공기를 통풍시키지 못하여, 수납공간에 수납되어 있는 복수의 판형상 물품의 청정도를 높게 유지할 수 없는 우려가 있다.In the said conventional plate-shaped goods conveyance vehicle, since the purification | cleaning air discharge | emission opening part is provided in the edge part side part of the bottom part adjacent to the side wall part which opposes the side wall part corresponding to a ventilation location, the purification air is equivalent to a ventilation location. From the side wall portion toward the side wall portion opposite to the side wall portion. At this time, the purge air is likely to flow in the widthwise direction in the side wall portion corresponding to the ventilation location, for example, by jumping back to the side wall portion adjacent to the side wall portion corresponding to the ventilation location. Therefore, since it becomes difficult to flow sufficient purification air to the side approaching the side wall part adjacent to the side wall part corresponded to a ventilation location, it is not able to vent enough purification air over the whole storage space, and it is a plurality of stored in the storage space. There is a fear that the cleanliness of the plate-shaped article cannot be maintained high.
본 발명은, 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 수납공간에 수납되어 있는 복수의 판형상 물품의 청정도를 높게 유지하면서, 그 복수의 판형상 물품을 반송할 수 있는 판형상 물품용 반송차를 제공하는 점에 있다.This invention is made | formed in view of such a point, The objective is the conveyance for plate-shaped articles which can convey the some plate-shaped articles, maintaining the cleanliness of the some plate-shaped articles accommodated in the storage space high. The point is to provide the car.
이 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 관한 판형상 물품용 반송차의 제 1 특징 구성은, 복수의 판형상 물품을 수평방향을 따르는 자세로 상하방향으로 간격을 두고 나란한 상태로 수납하는 직방체형상의 수납공간이, 외부와 차폐되는 상태로 설치되고, 상기 수납공간에 수납된 상기 복수의 판형상 물품의 인접하는 것끼리 의 사이를 통하여 정화공기를 통풍하도록, 상기 수납공간의 측둘레부에 있어서의 하나의 측벽부에 상당하는 통풍 개소로부터 그 측벽부에 대향하는 측벽부를 향하여 정화공기를 통풍하는 정화공기 통풍수단이 설치된 판형상 물품용 반송차에 있어서,In order to achieve this object, the 1st characteristic structure of the conveyance vehicle for plate-shaped articles which concerns on this invention is a rectangular parallelepiped shape which accommodates a plurality of plate-shaped articles side by side at intervals in the up-down direction at the posture along a horizontal direction. The storage space is provided in a shielded state from the outside, and in the side circumference of the storage space so as to ventilate the purified air through the adjacent ones of the plurality of plate-shaped articles stored in the storage space. In the conveyance vehicle for plate-shaped articles provided with the purge air ventilation means which ventilates the purge air from the ventilation location corresponded to one side wall part toward the side wall part opposite the side wall part,
상기 수납공간에 있어서의 직사각형형상의 바닥부 중의, 상기 통풍 개소에 상당하는 하나의 측벽부에 대향하는 측벽부에 인접하는 단부측 개소, 및, 상기 통풍 개소에 상당하는 하나의 측벽부에 인접하는 측벽부에 인접하는 단부측 개소에, 상기 정화공기를 상기 수납공간의 외부에 배출하는 정화공기 배출용 개구부가 형성되어 있는 점에 있다.In the rectangular bottom part of the said storage space, the edge part side adjacent to the side wall part which opposes the one side wall part corresponded to the said ventilation location, and the one side wall part corresponding to the said ventilation location A purge air discharge opening for discharging the purge air to the outside of the storage space is formed at an end side portion adjacent to the side wall portion.
즉, 정화공기 배출용 개구부는, 수납공간에 있어서의 직사각형형상의 바닥부 중의, 통풍 개소에 상당하는 하나의 측벽부에 대향하는 측벽부에 인접하는 단부측 개소 뿐만이 아니라, 통풍 개소에 상당하는 하나의 측벽부에 인접하는 측벽부에 인접하는 단부측 개소에도 형성되어 있으므로, 정화공기는, 통풍 개소에 상당하는 측벽부로부터, 그 측벽부에 대향하는 측벽부를 향하여 흐를 뿐만 아니라, 통풍 개소에 상당하는 측벽부에 인접하는 측벽부에 대해서도 적극적으로 흐르게 된다. That is, the opening for purifying air discharge is not only an end side portion adjacent to the side wall portion facing one side wall portion corresponding to the ventilation portion in the rectangular bottom portion in the storage space, but also one corresponding to the ventilation portion. Since it is formed also at the end side part adjacent to the side wall part adjacent to the side wall part of the side, the purifying air not only flows from the side wall part corresponded to a ventilation location toward the side wall part facing the side wall part, but also corresponds to a ventilation location. The side wall portion adjacent to the side wall portion also actively flows.
따라서, 수납공간의 전체에 걸쳐서 충분한 정화공기를 통풍시킬 수 있어, 수납공간에 수납되어 있는 복수의 판형상 물품의 청정도를 높게 유지하면서, 그 복수의 판형상 물품을 반송할 수 있는 판형상 물품용 반송차를 제공할 수 있기에 이르렀다.Therefore, for the plate-shaped article which can ventilate sufficient purifying air over the whole storage space, and can convey the said some plate-shaped article, maintaining the cleanness of the some plate-shaped article accommodated in the storage space high. It is possible to provide a transport vehicle.
본 발명에 관한 판형상 물품용 반송차의 제 2 특징 구성은, 상기 수납공간에 있어서의 직사각형형상의 바닥부 중의, 상기 통풍 개소에 상당하는 하나의 측벽부 에 인접하는 단부측 개소에, 상기 정화공기를 상기 수납공간의 외부로 배출하는 정화공기 배출용 개구부가 형성되어 있는 점에 있다.The 2nd characteristic structure of the conveyance vehicle for plate-shaped articles which concerns on this invention is the said purification | purification to the end side location adjacent to one side wall part corresponding to the said ventilation location among the rectangular bottom parts in the said storage space. An opening for purifying air discharge for discharging air to the outside of the storage space is provided.
즉, 판형상 물품에 부딪쳐 튀어 되돌아와 통풍 개소에 상당하는 측벽부를 향하여 흘러 오는 정화공기도 있고, 이러한 정화공기가, 정화공기 통풍수단에서 통풍되는 정화공기의 흐름을 저해할 우려가 있다.That is, there is also a purifying air that hits the plate-shaped article, bounces back and flows toward the side wall portion corresponding to the ventilation location, and such purge air may inhibit the flow of the purge air ventilated by the purge air vent.
따라서, 수납공간에 있어서의 직사각형형상의 바닥부 중의, 통풍 개소에 상당하는 한 개의 측벽부에 인접하는 단부측 개소에도, 정화공기 배출용 개구부를 형성하는 것에 의해, 정화공기를 정화공기 배출용 개구부로 적극적으로 수납공간의 외부에 배출할 수 있다. 따라서, 통풍개소에 상당하는 측벽부를 향하여 흘러 오는 정화공기를 정화공기 배출용 개구부에서 수납공간의 외부에 적극적으로 배출할 수 있으므로, 정화공기 통풍수단에서 통풍되는 정화공기의 흐름을 저해하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 정화공기 통풍수단에서 통풍되는 정화공기를 수납공간의 전체에 걸쳐서 통풍시키기 쉬워져, 복수의 판형상 물품의 청정도를 정확히 높게 유지할 수 있다.Therefore, the purge air discharge opening is formed by forming the purge air discharge opening also in the end side part adjacent to one side wall part corresponding to the ventilation location in the rectangular bottom part in the storage space. It can be actively discharged to the outside of the storage space. Therefore, since the purge air flowing toward the side wall portion corresponding to the ventilation location can be actively discharged to the outside of the storage space from the purge air discharge opening, it is possible to prevent the purge air vented from the purge air ventilation means from being impeded. Can be. As a result, the purge air ventilated by the purge air vent means is easily ventilated over the entire storage space, and the cleanliness of the plurality of plate-shaped articles can be maintained accurately high.
본 발명에 관한 판형상 물품용 반송차의 제 3 특징 구성은, 상기 정화공기 배출용 개구부를 통하여 상기 수납공간의 외부에 배출된 정화공기를 차체의 바닥부로 안내하는 커버체가, 상기 수납공간의 측둘레부를 덮는 상기 측벽부에 연이어진 상태로, 또한, 그 하단 가장자리의 하방을 통하여 정화공기를 외부로 유동시키는 상태로 설치되어 있는 점에 있다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a cover body for guiding purified air discharged to the outside of the storage space through the purge air discharge opening to the bottom of the vehicle body. It exists in the state connected to the said side wall part which covers a circumference part, and is provided in the state which flows purified air outside through the lower part of the lower edge.
즉, 커버체를 설치하는 것만으로, 정화공기 배출용 개구부를 통하여 수납공 간의 외부에 배출된 정화공기를 차체의 바닥부에 안내할 수 있는 것과 동시에, 커버체의 하단 가장자리의 하방을 통하여 정화공기를 외부로 유동시킬 수 있다.That is, only by installing the cover body, the purified air discharged to the outside between the storage holes through the opening for purifying air can be guided to the bottom of the vehicle body, and at the same time, the purge air through the lower edge of the cover body. Can flow to the outside.
따라서, 정화공기를 차체의 바닥부에 안내하는 안내통로나 정화공기를 외부에 유동시키는 개구부를 새롭게 설치할 필요가 없어, 구성의 간소화를 도모할 수 있다.Therefore, there is no need to newly install a guide passage for guiding the purified air to the bottom of the vehicle body and an opening for flowing the purified air to the outside, thereby simplifying the configuration.
본 발명에 관한 판형상 물품용 반송차의 제 4 특징 구성은, 상기 커버체에 있어서의 둘레방향 중의 적어도 일부에서, 또한, 그 하단 가장자리보다 상방의 The 4th characteristic structure of the conveyance vehicle for plate-shaped articles which concerns on this invention is further above the lower edge in at least one part of the circumferential direction in the said cover body.
상당(相當)개소에, 상기 정화공기 배출용 개구부를 통하여 배출된 정화공기를 차체 가로의 바깥쪽을 향하여 배출하는 외부 배출용 개구가 형성되어 있는 점에 있다.In the corresponding point, the external discharge opening which discharges the purification air discharged | emitted through the said purification air discharge opening toward the outer side of a vehicle body side is formed.
즉, 정화공기 배출용 개구부를 통하여 배출된 정화공기를, 커버체의 하단 가장자리의 하방을 통하여 외부로 유동시킬 뿐만 아니라, 외부 배출용 개구를 통하여 차체 가로의 바깥쪽을 향하여 배출할 수도 있다.That is, the purge air discharged through the purge air discharge opening may not only flow outward through the lower edge of the cover body, but may also be discharged toward the outside of the vehicle body through the outside discharge opening.
정화공기 배출용 개구부를 통하여 배출된 정화공기를 커버체의 하단 가장자리의 하방을 통하여 외부로 유동시키는 것만으로는, 커버체의 하단 가장자리의 하방으로 안내되는 정화공기의 양이 다량이 되어, 정화공기를 외부에 확실하게 배출하기가 어려워진다. 또한, 외부에 배출하는 정화공기의 유속이 빨라져, 정화공기가 판형상 물품용 반송차의 주행 노면에 부딪쳐 튀어 되돌아와, 그 주행 노면상의 진애를 말아 올려 버릴 우려도 있다.By simply purifying the purge air discharged through the purge air discharge opening through the lower edge of the cover body to the outside, the amount of the purge air guided downward of the lower edge of the cover body becomes large. It is difficult to reliably discharge the product to the outside. Moreover, the flow velocity of the purification | cleaning air discharged | emitted to the exterior becomes high, and there exists a possibility that the purification | purification air may bounce | bounce back on the traveling road surface of the conveyance vehicle for plate-shaped goods, and roll up the dust on the traveling road surface.
그러나, 정화공기 배출용 개구부를 통하여 배출된 정화공기를, 외부 배출용 개구를 통하여 차체 가로의 바깥쪽을 향하여 배출할 수도 있기 때문에, 커버체의 하단 가장자리의 하방에 안내되는 정화공기의 양을 극히 적게 할 수 있어, 정화공기 배출용 개구부를 통하여 배출된 정화공기를 외부에 확실하게 배출할 수 있고, 게다가, 상술한 것과 같은 진애의 말아 올림의 발생도 방지할 수 있다.However, since the purge air discharged through the purge air discharge opening may be discharged toward the outside of the vehicle body through the outer discharge opening, the amount of purge air guided below the lower edge of the cover is extremely limited. It is possible to reduce the number and to reliably discharge the purified air discharged through the purge air discharge opening to the outside, and also to prevent the occurrence of the roll-up of dust as described above.
본 발명에 관한 판형상 물품용 반송차의 제 5 특징 구성은, 상기 수납공간이, 상하방향으로 간격을 나란히 하는 상태로 복수의 판형상 물품을 유지하는 물품 유지체를 수납하도록 구성되고, 상기 수납공간의 측둘레부에 있어서의 상기 통풍 개소에 상당하는 하나의 측벽부에 인접하는 측벽부가, 상기 물품 유지체의 반출입을 위해서 자유롭게 개폐하도록 구성되어 있는 점에 있다.A 5th characteristic structure of the conveyance truck for plate-shaped articles which concerns on this invention is comprised so that the said accommodating space may hold | maintain the article holding body which hold | maintains several plate-shaped articles in the state which spaced apart in the up-down direction, The side wall part adjacent to the one side wall part corresponding to the said ventilation location in the side periphery part of space is comprised so that it may open and close freely for carrying in and out of the said article holding body.
즉, 수납공간이, 상하방향으로 간격을 나란히 하는 상태로 복수의 판형상 물품을 유지하는 물품 유지체를 수납하므로, 복수의 판형상 물품을 물품 유지체로 확실하게 유지하면서, 복수의 판형상 물품의 인접하는 것끼리의 사이에 정화공기를 통풍시킬 수 있다. 그리고, 수납공간의 측둘레부에 있어서의 통풍 개소에 상당하는 하나의 측벽부에 인접하는 측벽부를 개폐하는 것만으로, 수납공간에 대한 물품 유지체의 반출입을 실시할 수 있다.That is, since the storage space accommodates the article holder holding the plurality of plate-shaped articles in a state in which the spaces are arranged side by side in the vertical direction, the plurality of plate-shaped articles of the plurality of plate-shaped articles are reliably held. Purified air can be ventilated between adjacent ones. The article holding body can be carried in and out of the storage space only by opening and closing the sidewall portion adjacent to one sidewall portion corresponding to the ventilation portion in the side peripheral portion of the storage space.
따라서, 복수의 판형상 물품을 청정한 환경으로 확실하게 유지하여 반송할 수 있으면서, 판형상 물품용 반송차에 대한 복수의 판형상 물품의 짐싣기 및 하역을 용이하게 실시할 수 있다.Therefore, while being able to reliably hold | maintain and convey a some plate-shaped article in a clean environment, loading and unloading of the some plate-shaped article with respect to a plate-shaped goods conveyance vehicle can be performed easily.
본 발명에 관한 판형상 물품용 반송차의 제 6 특징 구성은, 상기 수납공간의 바닥부에, 상기 물품 유지체를 얹어 반송하는 반송 컨베이어가 설치되어 있는 점에 있다.A 6th characteristic structure of the plate-shaped goods conveyance vehicle which concerns on this invention is that the conveyance conveyor which mounts and conveys the said article holding body is provided in the bottom part of the said storage space.
즉, 반송 컨베이어가 수납공간의 바닥부에 설치하고 있으므로, 반송 컨베이어로 물품 유지체를 얹어 지지한 상태로 물품 유지체를 수납공간에 수납할 수 있다. 그리고, 반송 컨베이어에 물품 유지체를 얹어 반송하는 것에 의해, 수납공간에 대한 물품 유지체의 반출입을 실시할 수 있다.That is, since the conveyance conveyor is provided in the bottom part of a storage space, an article holding body can be accommodated in a storage space in the state which supported the article holding body by the conveying conveyor. The article holding body can be carried in and out of the storage space by placing the article holding body on the conveying conveyor.
따라서, 반송 컨베이어에 물품 유지체를 얹어 반송하는 것만으로, 수납공간에 대한 물품 유지체의 반출입을 실시할 수 있으면서, 복수의 판형상 물품의 청정도를 높게 유지할 수 있다.Accordingly, only by placing the article holder on the conveyer and conveying it, the article holder can be carried in and out of the storage space, and the cleanliness of the plurality of plate-shaped articles can be maintained high.
본 발명에 관한 판형상 물품용 반송차의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.Embodiment of the conveyance vehicle for plate-shaped articles which concerns on this invention is described based on drawing.
이 판형상 물품용 반송차(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 클린 룸내로, 주행경로(2)를 따라서 자율 주행하여 복수의 스테이션(3)의 각각에 판형상 물품을 반송하도록 구성되어 있다.As shown in FIG. 1, this plate-shaped
도시는 생략하지만, 클린 룸에서는, 천정부로부터 복수의 구멍부가 형성된 마루부를 향하여 정화공기를 통풍하여 부유하는 진애를 마루부의 하방으로 배출하도록 구성되어 있다.Although not shown in the drawing, the clean room is configured to exhaust purified dust from the ceiling toward the floor having a plurality of holes formed therein, and to discharge floating dust below the floor.
상기 주행경로(2)는, 복수의 스테이션(3)을 경유하도록 설치되어 있다. 복수의 스테이션(3)의 각각은, 판형상 물품을 자유롭게 얹어 반송하는 컨베이어로 구성되어 주행경로(2)를 따라서 간격을 두고 배치되어 있다. 덧붙여서, 주행경로(2) 상은, 판형상 물품용 반송차(1)가 주행하기 때문에, 마루부에 구멍부를 형성하지 않고 마루부의 강도를 강화하고 있다.The
상기 판형상 물품용 반송차(1)의 차체(4)에는, 도 2 및 도 4 내지 도 7에 나타내는 바와 같이, 복수의 주행차바퀴(5), 및, 주행경로(2)에 따라서 설치되는 반사체(6)에 대해서 빛을 투사하여, 반사체(6)에서 반사된 빛을 수광하는 투수광부(投受光部)(7)가 구비되어 있다.As shown in FIGS. 2 and 4 to 7, the
도시는 생략하지만, 주행차바퀴(5)중의 구동차바퀴는, 서로 이간하여 병설한 한 쌍의 구동바퀴체로 구성되어 있다. 구동바퀴체의 각각에는 전동식의 구동모터가 직결되어, 양 구동바퀴체가 각각 별도로 정역회전 구동 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 양 구동바퀴체의 회전속도에 차이를 주거나, 혹은, 서로 역방향으로 회전 구동하는 것에 의해, 세로 축심 주위로 차체(4)의 방향을 변경하면서 자유롭게 주행하도록 구성되어 있다. 또한, 구동모터에는, 회전량을 검출하는 로터리 엔코더가 설치되어 있다.Although not shown, the driving wheel in the
상기 투수광부(7)는, 차체(4)의 후방측에 있어서 가로폭 방향의 중앙부로부터 상방측으로 이어지는 투수광부용 지지체(8)의 상단부에 지지되어 있다. 그리고, 투수광부(7)는, 레이저광을 사방으로 투광하여, 반사체(6)에서 반사된 레이저광을 수광하도록 구성되어 있다. 반사체(6)는, 클린 룸의 벽부 등을 이용하여, 주행경로(2)를 따라서 복수 설치되어 있다.The said
상기 차체(4)에는, 판형상 물품용 반송차(1)의 주행을 제어하는 제어부(9)가 설치되어 있다. 이 제어부(9)는, 투수광부(7)에 의해 수광한 반사광 정보에 기초 하여, 판형상 물품용 반송차(1)의 위치를 검출하여, 판형상 물품용 반송차(1)를 주행경로(2)를 따라서 주행시켜, 판형상 물품용 반송차(1)의 주행을 제어하도록 구성되어 있다.The
설명을 덧붙이면, 제어부(9)에는, 복수의 반사체(6)의 위치 정보를 포함한 주행경로(2)에 대한 위치정보가 레이아웃 맵으로서 기억되어 있다. 상기 제어부(9)는, 투수광부(7)에서 사방으로 레이저광을 투광하여, 투수광부(7)에서 수광하는 레이저광의 각도 등으로부터, 반사체(6)에 대한 판형상 물품용 반송차(1)의 차체(4)의 각도 및 거리를 연산하여, 그 검출정보 및 기억되어 있는 레이아웃 맵에 기초하여, 삼각측량에 의해 판형상 물품용 반송차(1)의 현재 위치를 연산하도록 구성되어 있다.In addition, the control part 9 memorize | stores the positional information about the traveling path |
그리고, 제어부(9)는, 연산한 판형상 물품용 반송차(1)의 현재 위치에 기초하여, 주행경로(2)를 따라서 주행 차체(4)가 주행하도록 구동차바퀴의 구동모터의 작동을 제어함과 동시에, 로터리 엔코더의 검출정보에 기초하여, 판형상 물품용 반송차(1)의 주행거리를 관리하도록 구성되어 있다.Then, the control unit 9 controls the operation of the drive motor of the drive wheel so that the
판형상 물품용 반송차(1)가 반송하는 물품은, 유리기판 등의 판형상 물품(10)이다. 그리고, 도 3에 나타내는 바와 같이, 상하방향으로 간격을 두고 나란한 상태로 판형상 물품(10)의 복수를 유지하는 물품 유지체(11)가 설치되어 있다. 이 물품 유지체(11)는, 격자형상으로 형성된 상틀체(11a) 및 하틀체(11b)와, 상틀체(11a)와 하틀체(11b)를 연결하는 복수의 연결체(11c)와, 연결체(11c)에 상하방향으로 간격을 두고 설치되어 수평방향으로 대향하는 연결체(11c)끼리를 연결하는 와 이어형상의 지지부(11d)로 구성되어 있다. 그리고, 각 지지부(11d)로 얹어 지지하는 상태로 판형상 물품(10)을 상하방향으로 간격을 두고 나란히 하여 유지하고 있고, 물품 유지체(11)의 상부, 하부, 및, 측부의 전부에서 공기 유동 가능하게 구성되어 있다.The article conveyed by the
상기 차체(4)는, 도 4 내지 도 7에 나타내는 바와 같이, 커버체(17)로 덮여 있고, 그 커버체(17)의 내부의 중공공간에 외부와 차폐되는 상태로 직방체형상의 수납공간(12)이 형성되어 있다. 이 수납공간(12)은, 복수의 판형상 물품(10)을 유지한 물품 유지체(11)를 자유롭게 수납하도록 구성되어 있다. As shown in FIGS. 4 to 7, the
그리고, 수납공간(12)의 측둘레부에 있어서의 차체 전방측의 측벽부(15a)에 상당하는 통풍 개소에는, 그 차체 전방측의 측벽부(15a)로부터 차체 후방측의 측벽부(15b)를 향하여 정화공기를 통풍하는 정화공기 통풍수단으로서의 팬 필터 유닛(이하, FFU라 약칭한다)(13)이 설치되어 있다. FFU(13)는, 공기 정화용 필터를 통하여 정화공기를 통풍하도록 구성되고, 차체 전방측의 측벽부(15a)에 있어서 차체 가로폭 방향으로 나열된 상태로 2개 설치되어 있다. 또한, FFU(13)는, 수납공간(12)에 수납되는 물품 유지체(11)에 유지된 복수의 판형상 물품(10)의 인접하는 것끼리의 사이를 통하여 정화공기를 통풍하도록 구성되어 있다.And at the ventilation location corresponded to the
상기 수납공간(12)의 바닥부(14)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 직사각형형상으로 형성되어 있고, 그 바닥부(14)의 단부측 개소에, 수납공간(12)내의 정화공기를 수납공간(12)의 외부에 배출하는 정화공기 배출용 개구부(16)가 형성되어 있다. 이 정화공기 배출용 개구부(16)는, 바닥부(14)중의, 차체 전방측의 측벽 부(15a)에 인접하는 차체 전방측의 단부측 개소(14a), 차체 후방측의 측벽부(15b)에 인접하는 차체 후방측의 단부측 개소(14b), 및, 차체 전방측의 측벽부(15a)에 인접하는 차체 가로측의 측벽부(15c)에 인접하는 차체 가로측의 단부측 개소(14c)의 각각에 형성되어 있다. 그리고, 정화공기 배출용 개구부(16)는, 장척(長尺)형상의 개구로 구성되어 있고, 직사각형형상의 바닥부(14)의 사방을 정화공기 배출용 개구부(16)로 둘러싸는 상태로 설치되어 있다.As shown in FIG. 5, the
상기 커버체(17)는, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 정화공기 배출용 개구부(16)를 통하여 수납공간(12)의 외부에 배출된 정화공기를 차체(4)의 바닥부에 안내하도록 설치되어 있다. 그리고, 커버체(17)는, 수납공간(12)의 측둘레부를 덮는 측벽부에 연이어진 상태로, 또한, 그 하단 가장자리의 하방을 통하여 정화공기를 외부로 유동시키는 상태로 설치되어 있다.6 and 7, the
상기 커버체(17)는, 그 하단 가장자리의 하방을 통하여 정화공기를 외부에 유동시키는 것이지만, 커버체(17)의 하단 가장자리보다 위쪽에는, 정화공기 배출용 개구부(16)를 통하여 배출된 정화공기를 차체 가로의 바깥쪽을 향하여 배출하는 외부 배출용 개구(18)가 형성되어 있다. 즉, 외부 배출용 개구(18)는, 커버체(17)에 있어서의 둘레방향중의 차체 가로측에 상당하는 개소에 있어서, 수납공간(12)보다 하방측에서 또한 커버체(17)의 하단 가장자리보다 상방측에 설치되어 있다.The
그리고, 외부 배출용 개구(18)는, 제 1 외부 배출용 개구(18a)와 제 2 외부 배출용 개구(18b)로 구성되어 있다. 제 1 외부 배출용 개구(18a)는, 제 2 외부 배출용 개구(18b)보다 상방측에 설치되고, 차체 전후방향으로 장척형상으로 형성되어 있다. 제 2 외부 배출용 개구(18b)는, 복수의 구멍부를 나열한 직사각형형상으로 형성되어 있고, 차체 전후방향에 간격을 두고 복수 설치되어 있다.And the
상기 수납공간(12)의 바닥부(14)에는, 도 5 내지 도 7에 나타내는 바와 같이, 물품 유지체(11)를 얹어 반송하는 반송 컨베이어(19)가 설치되어 있다. 이 반송 컨베이어(19)는, 물품 유지체(11)의 반송방향을 차체 가로폭 방향으로 하여, 반송방향으로 구동롤러(20)를 복수 나열한 롤러 컨베이어로 구성되어 있다.In the
상기 구동롤러(20)는, 단척(短尺)형상의 구동 롤러이며, 좌우 한 쌍의 지지 프레임(38)의 각각에 자유롭게 회전하도록 지지되어 있고, 반송방향에 직교하는 방향으로 간격을 둔 상태로 좌우 한 쌍 설치되어 있다. 그리고, 반송 컨베이어(19)는, 좌우 한 쌍의 구동롤러(20)에 물품 유지체(11)의 양단부를 얹어 지지하는 상태로 반송하도록 구성되어 있다. 반송방향으로 나열된 복수의 구동롤러(20)의 각각은, 반송방향의 중간부에 배치된 구동바퀴체(21) 및 반송방향에 간격을 두고 배치된 복수의 종동바퀴체(22)에 걸쳐진 타이밍벨트(23)를 길이방향으로 이동시키는 것에 의해 회전구동된다. 구동바퀴체(21)끼리는, 연결축(25)으로 연결되어 있고, 반송 컨베이어용 전동모터(24)로 연결축(25)을 회전 구동하는 것에 의해 일체적으로 회전 구동된다. 그리고, 반송 컨베이어용 전동모터(24)로 연결축(25)을 회전 구동하는 것에 의해, 좌우 한 쌍의 구동롤러(20)를 일체적으로 회전 구동시켜 물품 유지체(11)를 얹어 반송한다. The
상기 구동롤러(20)는, 그 상단부가 수납공간(12)의 바닥부(14)보다 상방측에 돌출하도록 설치되어 있고, 복수의 구동롤러(20)에 얹어 지지한 상태로 물품 유지 체(11)를 수납공간(12)에 수납하도록 구성되어 있다.The
상기 반송 컨베이어(19)는, 선회용 전동모터(26)의 회전 구동에 의해 선회용 기초대(27)에 자유롭게 선회하도록 설치된 컨베이어 지지부(28)에 지지되어 있다. 그리고, 선회용 기초대(27)는, 승강용 전동모터(40)의 회전 구동에 의해 작동되는 승강기구(41)로 자유롭게 승강하도록 지지되어 있다.The
이와 같이 하여, 반송 컨베이어(19)는, 선회용 전동모터(26)의 회전 구동에 의해 자유롭게 선회하도록, 또한, 승강용 전동모터(40)의 회전 구동에 의해 자유롭게 승강하도록 설치되어 있다.In this way, the
상기 수납공간(12)의 측둘레부에 있어서의 통풍 개소에 상당하는 차체 전방측의 측벽부(15a)에 인접하는 차체 가로측의 측벽부(15c)가, 물품 유지체(11)의 반출입을 위해서 자유롭게 개폐하도록 구성되어 있다.The
즉, 도 4에 나타내는 바와 같이, 차체 가로폭 방향의 한 쪽측의 차체 가로측의 측벽부(15b)가 자유롭게 개폐되는 셔터(30)로 구성되어 있다. 덧붙여서, 도 4에 있어서, 셔터(30)가 닫혀져 있는 상태를 실선으로 나타내고, 셔터(30)가 열려 있는 상태를 점선으로 나타내고 있다.That is, as shown in FIG. 4, the
셔터(30)의 하단부의 좌우 양측은, 승강 안내체(32)로 지지되어 있다. 좌우 한 쌍의 승강 안내체(32)의 각각은, 가이드 롤러(31)에 의해 가이드 레일(33)을 따라서 자유롭게 승강 이동하도록 설치되어 있다. 좌우 한 쌍의 승강 안내체(32)의 각각에는, 위쪽에 배치된 구동바퀴체(34)와 하방에 배치된 종동바퀴체(35)에 걸쳐진 타이밍 벨트(39)의 일부가 고정되어 있다. 구동바퀴체(34)끼리는, 연결축(36) 으로 연결되어 있고, 셔터용 전동모터(37)로 연결축(36)을 회전 구동하는 것에 의해 일체적으로 회전 구동된다. 그리고, 셔터용 전동모터(37)로 연결축(36)을 회전 구동하는 것에 의해, 좌우 한 쌍의 승강 안내체(32)를 승강시켜 셔터(30)를 개폐하도록 구성되어 있다. Both left and right sides of the lower end of the
또한, 셔터(30)가 닫혀 있는 상태에 있어서, 셔터(30)의 하방측 인접 개소에 틈새를 형성하도록 제 1 외부 배출용 개구(18a)가 배치되어 있다. 따라서, 이 제 1 외부 배출용 개구(18a)에 의해서, 셔터(30)를 닫았을 때에 작업자의 손가락이 끼어 버리는 것을 방지할 수 있다.Moreover, in the state in which the
상기 제어부(9)는, 판형상 물품용 반송차(1)의 주행을 제어하는 것과 동시에, 반송 컨베이어(19)의 반송 작동 및 셔터(30)의 개폐 작동을 제어하는 것에 의해, 복수의 스테이션(3)중, 반송원의 스테이션(3)으로부터 반송처의 스테이션(3)으로 물품 유지체(11)를 반송하는 반송처리를 실시하도록 구성되어 있다.The said control part 9 controls the running of the plate-shaped
상기 반송처리의 동작에 대해 설명한다.The operation of the transfer processing will be described.
상기 제어부(9)는, 반송원의 스테이션(3)에 대응하는 정지위치로 이동하도록, 판형상 물품용 반송차(1)의 주행을 제어한다. 상기 제어부(9)는, 판형상 물품용 반송차(1)가 정지위치로 이동하면, 셔터용 전동모터(37)를 작동시키는 것에 의해 셔터(30)를 열림작동시킨다. 그 후, 제어부(9)는, 반송원의 스테이션(3)에 있어서의 컨베이어가 작동되면, 반송 컨베이어(19)를 반송 작동시켜 물품 유지체(11)를 반송원의 스테이션(3)으로부터 받아, 반송 컨베이어(19)로 반송용 적정 위치까지 물품 유지체(11)를 반송한다. 덧붙여서, 물품 유지체(11)를 반송원의 스테이 션(3)으로부터 받는 데 있어서, 제어부(9)는, 도면 외의 각종 센서의 검출정보에 기초하여, 스테이션(3)에 있어서의 컨베이어에 대한 반송 컨베이어(19)의 높이나 각도를 검출하고 있고, 스테이션(3)에 있어서의 컨베이어에 대한 적정 옮겨싣기 위치로부터 어긋나 있으면, 선회용 전동 모터(26) 및 승강용 전동모터(40)를 작동시켜 반송 컨베이어(19)의 위치조정을 실시한다.The said control part 9 controls the running of the plate-shaped
그리고, 제어부(9)는, 반송 컨베이어(19)로 반송용 적정 위치까지 물품 유지체(11)를 반송하면, 셔터용 전동모터(37)를 작동시키는 것에 의해 셔터(30)를 닫힘작동시켜 수납공간(12)에 물품 유지체(11)를 수납한다.And when the
그 후, 제어부(9)는, 반송처의 스테이션(3)에 대응하는 정지위치로 이동하도록, 판형상 물품용 반송차(1)의 주행을 제어하여, 판형상 물품용 반송차(1)가 반송처의 스테이션(3)에 대응하는 정지위치로 이동하면, 반송원의 스테이션(3)일 때와 같이, 셔터(30)를 열림 작동시킨 후 반송 컨베이어(19)를 반송 작동시켜, 물품 유지체(11)를 반송처의 스테이션(3)에 내려놓는다.Thereafter, the control unit 9 controls the traveling of the plate-shaped
상기 제어부(9)는, FFU(13)에 대해서, 판형상 물품용 반송차(1)의 주행중 및 판형상 물품용 반송차(1)를 정지시켜 스테이션(3)과의 사이에서 물품 유지체(11)의 옮겨 싣는 중 등, 반송처리중 상시 작동시키도록 구성되어 있다. 그리고, 셔터(30)를 열림작동하여 수납공간(12)이 외부에 개방된 상태에서도, FFU(13)에 의한 정화공기의 통풍에 의해, 수납공간(12)으로의 진애의 침입을 방지할 수 있다. 덧붙여서, FFU(13)의 작동은, 판형상 물품용 반송차(1)의 주행중에만 작동시킬 수도 있어, FFU(13)를 언제 작동시킬까에 대해서는 적당히 변경이 가능하다.The control unit 9 stops the
상기 수납공간(12)에 물품 유지체(11)를 수납하여 셔터(13)를 닫고 있는 상태에 있어서, FFU(13)로부터 통풍되는 정화공기의 흐름에 대해서, 도 5 내지 도 7에 기초하여 설명한다. 덧붙여서, 도 5 내지 도 7에서는, 정화공기의 흐름을 화살표로 나타내고 있다.The flow of the purified air vented from the
상기 FFU(13)는, 차체 전방측의 측벽부(15a)로부터 물품 유지체(11)로 유지된 복수의 판형상 물품(10)의 인접하는 것끼리의 사이를 통과하도록 정화공기를 통풍한다. 그리고, 정화공기는, 차체 후방측의 측벽부(15b)를 향하여 흐르는 것과 함께, 차체 가로측의 측벽부(15c)를 향해서도 흐른다. 차체 후방측의 측벽부(15b)를 향하여 흐르는 정화공기는, 그 차체 후방측의 측벽부(15b)에 인접하는 바닥부(14)의 차체 후방측의 단부측 개소(14b)에 형성된 정화공기 배출용 개구부(16)를 통하여 수납공간(12)의 외부 하방측에 배출된다. 차체 가로측의 측벽부(15c)를 향하여 흐르는 정화공기도, 그 차체 가로측의 측벽부(15c)에 인접하는 바닥부(14)의 차체 가로측의 단부측 개소(14c)에 형성된 정화공기 배출용 개구부(16)를 통하여 수납공간(12)의 외부 하방측에 배출된다. The
또한, FFU(13)로부터 통풍된 정화공기 중, 판형상 물품(10)에 부딪쳐 튀어 되돌아오게 되는 등에 의해서 차체 전방측의 측벽부(15a)를 향하여 흐르는 것도 있다. 이러한 정화공기도, 바닥부(14)의 차체 전방측의 단부측 개소(14a)에 형성된 정화공기 배출용 개구부(16)를 통하여 수납공간(12)의 외부 하방측에 배출된다.Further, some of the purge air vented from the
이와 같이 하여, FFU(13)로부터 통풍되는 정화공기는, 직방체형상의 수납공간(12)의 전체에 걸쳐서 통풍되면서, 직사각형형상의 수납공간(12)의 바닥부(14)에 있어서, 그 사방의 모든 단부측 개소(14a∼14c)에 형성된 정화공기 배출용 개구부(16)로부터 수납공간(12)의 외부 하방에 배출된다.In this way, the purified air ventilated from the
정화공기 배출용 개구부(16)를 통하여 수납공간(12)의 외부 하방측에 배출된 정화공기는, 그 일부가 제 1 외부 배출용 개구(18a) 및 제 2 외부 배출용 개구(18b)로부터 차체 가로의 바깥쪽을 향하여 배출된다. 또한, 나머지의 일부가, 커버체(17)의 하단 가장자리의 하방을 통하여 외부에 배출된다. The purge air discharged to the outside downward side of the
이와 같이, 커버체(17)의 하단 가장자리의 하방 뿐만이 아니라, 제 1 외부 배출용 개구(18a) 및 제 2 외부 배출용 개구(18b)로부터 차체 가로의 바깥쪽을 향하여 배출하는 것에 의해, 정화공기 배출용 개구부(16)를 통하여 수납공간(12)의 외부 하방측에 배출된 정화공기의 외부로의 배출을 확실하게 실시하도록 하고 있다.In this way, the purifying air is discharged from the first
[별도의 실시형태][Separate embodiment]
(1) 상기 실시형태에서는, 직사각형형상의 수납공간(12)의 바닥부(14)에 있어서, 그 사방의 모든 단부측 개소(14a∼14c)에 정화공기 배출용 개구부(16)를 설치하고 있지만, 차체 전방측의 측벽부(15a)에 인접하는 차체 전방측의 단부측 개소(14a)에 정화공기 배출용 개구부(16)를 설치하지 않고 실시할 수도 있다.(1) In the above embodiment, in the
(2) 상기 실시형태에서는, 커버체(17)가 정화공기 배출용 개구부(16)를 통하여 수납공간(12)의 외부 하방측에 배출된 정화공기를 차체(4)의 바닥부에 안내하도록 하고 있지만, 예를 들면, 정화공기 배출용 개구부(16)를 통하여 수납공간(12)의 외부 하방측에 배출된 정화공기를 차체(4)의 바닥부에 안내하는 안내통로를 설치해 도 좋으며, 어떻게 하여 정화공기를 안내할 것인가에 대해서는 적당히 변경이 가능하다.(2) In the above embodiment, the
(3) 상기 실시형태에서는, 커버체(17)의 차체 가로측에 상당하는 개소에 외부 배출용 개구(18)를 설치하고 있지만, 외부 배출용 개구(18)를 어떠한 위치에 배치할 것인가는 적당히 변경이 가능하다. 또한, 외부 배출용 개구(18)의 배치수에 대해서도 적당히 변경이 가능하다.(3) In the said embodiment, although the
(4) 상기 실시형태에서는, 수납공간(12)의 바닥부(14)에 반송 컨베이어(19)를 설치하고 있지만, 이 반송 컨베이어(19)를 대신하여, 자유롭게 출퇴 가능하도록 포크를 구비한 포크식의 옮겨싣기 장치를 설치하여 실시할 수도 있다. 스테이션(3)과의 사이에 물품 유지체(11)를 옮겨 싣기 위해서 설치하는 옮겨싣기장치는 각종의 옮겨싣기치를 적응할 수 있다.(4) Although the
(5) 상기 실시형태에서는, FFU(13)를 차체 전방측의 측벽부(15a)에 배치하고 있지만, 차체 후방측의 측벽부(15b)에 FFU(13)를 배치할 수도 있다.(5) In the said embodiment, although the
(6) 상기 실시형태에서는, 정화공기 배출용 개구부(16)를 동일폭인 장척형상의 개구로 하고 있지만, 정화공기 배출용 개구부(16)의 형상은 적당히 변경이 가능하다. 예를 들면, 차체 가로측의 측벽부(15c)에 인접하는 차체 가로측의 단부측 개소(14c)에 형성하는 정화공기 배출용 개구부(16)를, 차체 전방측일수록 폭을 좁게 하고 차체 후방측일수록 폭이 넓어지는 형상으로 하여, 차체 전방측에 있어서 수납공간(12)의 외부로 다량의 정화공기가 배출되는 것을 억제하여, FFU(13)에서 통풍되는 정화공기를 복수의 판형상 물품(10)의 인접하는 것끼리의 사이를 극력 통 과시키도록 할 수도 있다.(6) In the above embodiment, although the
도 1은 판형상 물품용 반송차의 주행경로를 나타내는 평면도1 is a plan view showing a traveling route of a plate-shaped article carrier
도 2는 판형상 물품용 반송차의 사시도2 is a perspective view of a carrier for plate-shaped article
도 3은 물품 유지체의 사시도3 is a perspective view of an article holder
도 4는 판형상 물품용 반송차의 차체 가로폭 방향에서 본 종단면도4 is a longitudinal sectional view seen from the vehicle body width direction of a plate-shaped article transport vehicle;
도 5는 판형상 물품용 반송차의 횡단면도Fig. 5 is a cross sectional view of a transport vehicle for a plate-shaped article;
도 6은 판형상 물품용 반송차의 차체 가로폭방향에서 본 종단면도Fig. 6 is a longitudinal sectional view of the plate-shaped article transport vehicle as viewed in the vehicle body width direction;
도 7은 판형상 물품용 반송차의 차체 전후폭방향에서 본 종단면도Fig. 7 is a longitudinal sectional view of the plate-shaped article transport vehicle as seen in the front and rear width directions of the vehicle body;
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
10 : 판형상 물품 11 : 물품 유지체 10: plate-shaped article 11: the article holder
12 : 수납공간 13 : 정화공기 통풍수단12: storage space 13: purifying air ventilation means
16 : 정화공기 배출용 개구부 17 : 커버체16 opening for purifying
18 : 외부 배출용 개구 19 : 반송 컨베이어18: opening for external discharge 19: conveying conveyor
Claims (6)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2007-00002544 | 2007-01-10 | ||
JP2007002544A JP4310712B2 (en) | 2007-01-10 | 2007-01-10 | Plate-shaped article carrier |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080065903A true KR20080065903A (en) | 2008-07-15 |
Family
ID=39629867
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070119648A KR20080065903A (en) | 2007-01-10 | 2007-11-22 | Article transport vehicle |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4310712B2 (en) |
KR (1) | KR20080065903A (en) |
CN (1) | CN101219736B (en) |
TW (1) | TWI406804B (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5585236B2 (en) * | 2010-06-23 | 2014-09-10 | 村田機械株式会社 | Tracked cart system |
CN106219176A (en) * | 2016-07-29 | 2016-12-14 | 芜湖新泉汽车饰件系统有限公司 | The conveying arrangement of instrument board |
TWI643799B (en) * | 2017-12-01 | 2018-12-11 | 瑩耀科技股份有限公司 | Semiconductors transfer system |
JP7115356B2 (en) | 2019-02-25 | 2022-08-09 | 株式会社ダイフク | Goods transport equipment |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63300524A (en) * | 1987-05-29 | 1988-12-07 | Nec Corp | Holding mechanism for transferring wafer cassette |
JPH0610234U (en) * | 1992-07-13 | 1994-02-08 | 日本信号株式会社 | Linear motor non-collecting drive type transfer device |
JPH07291133A (en) * | 1994-04-28 | 1995-11-07 | Sony Corp | Carriage device |
JP3090088B2 (en) * | 1997-02-07 | 2000-09-18 | 富士電機株式会社 | Clean room fan filter unit |
JPH1179389A (en) * | 1997-09-16 | 1999-03-23 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | Substrate glass inspection processing system |
JP3287337B2 (en) * | 1999-07-14 | 2002-06-04 | 日本電気株式会社 | Fan filter unit |
JP3788296B2 (en) * | 2001-09-10 | 2006-06-21 | 株式会社ダイフク | Goods storage equipment for clean rooms |
TWI327128B (en) * | 2003-07-08 | 2010-07-11 | Daifuku Kk | Plate-shaped work piece transporting apparatus |
KR100880777B1 (en) * | 2003-11-06 | 2009-02-02 | 신꼬오덴끼가부시끼가이샤 | Board carrying method and device therefor |
-
2007
- 2007-01-10 JP JP2007002544A patent/JP4310712B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-10-16 TW TW096138642A patent/TWI406804B/en not_active IP Right Cessation
- 2007-11-22 KR KR1020070119648A patent/KR20080065903A/en not_active Application Discontinuation
- 2007-12-25 CN CN2007101598686A patent/CN101219736B/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101219736A (en) | 2008-07-16 |
CN101219736B (en) | 2013-04-17 |
TWI406804B (en) | 2013-09-01 |
JP4310712B2 (en) | 2009-08-12 |
TW200829492A (en) | 2008-07-16 |
JP2008168982A (en) | 2008-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4807579B2 (en) | Substrate storage equipment and substrate processing equipment | |
JP4756372B2 (en) | Substrate processing method | |
JP4953010B2 (en) | Storage container for substrate storage | |
TWI681921B (en) | Article transport facility | |
KR102076630B1 (en) | Article storage facility and article transport facility | |
KR20120035128A (en) | Article transport device | |
KR101912213B1 (en) | Cleaning device for ceiling transport facility and operation method thereof | |
KR20050013978A (en) | Transporting apparatus | |
KR20080065903A (en) | Article transport vehicle | |
JP4378652B2 (en) | Purified air ventilation-type goods storage facility | |
KR100834243B1 (en) | Article storage system | |
JP3882139B2 (en) | Clean transport vehicle | |
KR101184316B1 (en) | Article storage facility | |
JP2009206245A (en) | Device and method for preventing dusting of traveling wheel | |
JP4666227B2 (en) | Goods storage facility | |
JP3801495B2 (en) | Warehousing posture correction device in multistory parking | |
JP2006044841A (en) | Article carrying vehicle for clean use | |
JP2009107778A (en) | Conveying equipment for clean room | |
KR20090086162A (en) | Article storage facility | |
JP2004074829A (en) | Conveying vehicle |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E601 | Decision to refuse application |