KR20080065126A - 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (92)
- 전자기파를 발생시키는 광원;상기 전자기파를 제1빔과 제2빔으로 분할하는 분할수단;상기 제1빔을 반사하여 상기 분할수단으로 재전달하는 반사수단;상기 제2빔을 촬영대상물을 향해 투사시키는 대물렌즈;상기 반사수단에 의해 반사된 제1빔과 상기 촬영대상물에 의해 반사된 상기 제2빔이 간섭되어 생성된 간섭패턴을 전류신호로 변환하는 광검출기; 및,상기 전류신호를 처리하여 상기 간섭패턴으로부터 상기 촬영대상물의 영상을 생성하는 신호처리기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 광원은 주파수 처프된 전자기파를 출력하는 레이저 발생기인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 분할수단은, 상기 전자기파의 일부를 반사시켜 상기 제1빔인 기준빔을 형성하고, 상기 전자기파의 일부를 투과시켜 상기 제2빔인 응답지령빔을 형성하는 빔스플리터인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영 상 시스템.
- 제 3 항에 있어서,상기 촬영대상물에서 반사된 상기 응답지령빔과, 상기 반사수단에서 반사된 상기 기준빔은 상기 빔스플리터에서 간섭되어 간섭신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 4 항에 있어서,상기 광검출기는 상기 응답지령빔과 상기 기준빔의 간섭신호 패턴의 세기에 대응되는 전류신호를 생성하는 포토다이오드인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 5 항에 있어서,상기 빔스플리터와 상기 광검출기 사이에 배치되며, 상기 빔스플리터를 투과한 상기 기준빔과 상기 응답지령빔을 공간적으로 집적하는 집광기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 광원으로부터 출력된 상기 전자기파를 평행광으로 변환시켜 상기 분할수단으로 전달하는 콜리메이터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수 영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 3 항에 있어서,상기 반사수단은 반사경, 오목반사경 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 8 항에 있어서,상기 반사경과 상기 오목반사경은 상기 광원과 대물렌즈에 대해 직각위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 8 항에 있어서,상기 반사경에서 반사된 기준빔은 평행광인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 10 항에 있어서,상기 빔스플리터와 상기 반사수단 사이에 배치되어 상기 반사경으로 안내되는 기준빔을 구면파로 변환시키는 기준빔 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 8 항에 있어서,상기 오목반사경은 상기 빔스플리터로부터 반사된 기준빔을 반사하여 구면파로 변환시키는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 8 항에 있어서,상기 반사수단이 상기 반사경인 경우, 상기 대물렌즈는 상기 빔스플리터와 상기 촬영대상물 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 8 항에 있어서,상기 반사수단이 상기 오목반사경인 경우, 상기 대물렌즈는 상기 광원과 상기 빔스플리터 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 신호처리기는, 상기 광검출기로부터의 전류신호를 샘플링하여 디지털 신호로 변환하는 ADC와, 상기 ADC로부터 제공된 신호 또는 저장부에 저장된 신호를 처리하여 상기 촬영대상물의 영상을 복원하는 신호처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 15 항에 있어서,상기 전류신호는 상기 촬영대상물의 단면 영상과, 제한된 크기의 프레넬 존 패턴이 인코드된 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 16 항에 있어서,상기 신호처리부는, 상기 촬영대상물의 단면 영상을 상기 인코드된 패턴과 프레넬 존 패턴의 켤레 복소수와의 콘볼루션으로 복원하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 15 항에 있어서,상기 신호처리기는, 상기 신호처리부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 처리가 완료될 때마다 또는 상기 저장부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 신호의 저장이 완료될 때마다 상기 촬영대상물이 안착되는 대물판의 위치를 변경하기 위한 제어신호를 발생시키는 대물판 제어부와, 상기 신호처리부에서 처리된 상기 촬영대상물의 영상을 표시하는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 15 항에 있어서,상기 신호처리기는, 상기 신호처리부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 처리가 완료될 때마다 또는 상기 저장부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 신호의 저장이 완료될 때마다 상기 대물렌즈에 인접하게 배치되는 반사판의 위치를 변경하기 위한 제어신호를 발생시키는 반사판 제어부와, 상기 신호처리부에서 처리된 상기 촬영대상물의 영상을 표시하는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 광원으로부터 출력된 전자기파의 경로 상의 적어도 어느 일측에는 상기 전자기파를 전달하는 중계장치가 설치된 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 20 항에 있어서,상기 중계장치는, 상기 빔스플리터와 상기 기준빔 렌즈 사이, 상기 빔스플리터와 상기 집광기 사이, 상기 빔스플리터와 상기 대물렌즈 사이 중 적어도 어느 일측에 장착되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 20 항에 있어서,상기 중계장치는, 영상 또는 신호의 전달이 가능한 렌즈, 프리즘, 거울, 영 상 가이드 요소 중 적어도 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 3 항에 있어서,상기 촬영대상물이 안착되는 대물판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 23 항에 있어서,상기 대물렌즈와 상기 대물판 사이에 상기 대물렌즈의 광축에 대해 요구되는 각도를 가지고 경사지게 배치되며, 각각의 각도를 조절하여 상기 응답지령빔의 투사위치를 변경하는 제1 및 제2 반사판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 3 항에 있어서,상기 빔스플리터와 상기 대물렌즈 사이에 상기 대물렌즈의 광축에 대해 요구되는 각도를 가지고 경사지게 배치되며, 각각의 각도를 조절하여 상기 응답지령빔의 투사위치를 변경하는 제1 및 제2 반사판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 15 항에 있어서,상기 광원으로부터 출력된 상기 전자기파의 비선형성을 보상하는 보조간섭계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 26 항에 있어서,상기 보조간섭계는 상기 광원으로부터의 전자기파 중 일부를 분리하는 제1광커플러와, 상기 제1광커플러로부터 전달된 레이저빔을 분리하는 제2광커플러와, 제2광커플러로부터의 전자기파를 전류신호로 변환하여 보조간섭신호를 생성하는 광검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 27 항에 있어서,상기 ADC는 상기 광검출부로부터의 보조간섭신호와, 상기 광검출기로부터의 간섭신호를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 28 항에 있어서,상기 신호처리부는, 상기 ADC에서 샘플링된 보조간섭신호를 이용하여 주파수 휩씀을 보정하는 새로운 시간축을 형성하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 15 항에 있어서,상기 전자기파의 주파수 휩씀 동안 상기 전자기파의 세기 요동을 완화하기 위한 파워보정장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 30 항에 있어서,상기 파워보정장치는, 상기 광원으로부터의 레이저빔을 분할하는 제3광커플러와, 상기 레이저빔의 출력 세기를 측정하는 파워검출기와, 상기 광검출기로부터의 전류신호와 상기 파워검출기에서 측정된 레이저빔의 출력 세기와의 차이를 출력하는 차동증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 31 항에 있어서,상기 파워검출기의 출력이 상기 광원으로 전달되어 상기 전자기파의 세기를 조정하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 32 항에 있어서,상기 ADC는 상기 차동증폭기에서 출력된 차이를 샘플링하고, 상기 신호처리 부는 상기 ADC에서 샘플링된 차이를 반영하여 상기 광검출기로부터 제공된 전류신호를 처리하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 기준빔의 경로, 상기 응답지령빔의 경로, 상기 간섭신호의 경로 중 하나에는 상기 전자기파를 선 형태로 변환하는 선변환수단이 배치된 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 34 항에 있어서,상기 선변환수단은, 광학소자, 슬릿, 실린더 렌즈 중 하나인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 전자기파를 발생시키는 광원;상기 전자기파를 구면파로 변환시키는 대물렌즈;상기 전자기파의 일부는 반사시켜 제1빔을 형성하고 일부는 투과시켜 제2빔을 형성하는 반사수단;상기 반사수단에 의해 반사된 제1빔과, 상기 촬영대상물에 의해 반사된 상기 제2빔을 간섭시켜 간섭신호를 생성하는 간섭수단;상기 간섭신호를 전류신호로 변환하는 광검출기; 및,상기 전류신호를 처리하여 상기 간섭신호로부터 상기 촬영대상물의 영상을 생성하는 신호처리기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 36 항에 있어서,상기 광원은 주파수 처프된 전자기파를 출력하는 레이저 발생기인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 36 항에 있어서,상기 간섭수단은 상기 대물렌즈를 통과한 제1빔인 기준빔과, 상기 제2빔인 응답지령빔을 반사시켜 상기 광검출기로 제공하는 빔스플리터인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 38 항에 있어서,상기 빔스플리터와 상기 광검출기 사이에 배치되며, 상기 빔스플리터를 투과한 상기 기준빔과 상기 응답지령빔을 공간적으로 집적하는 집광기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 36 항에 있어서,상기 광원으로부터 출력된 상기 전자기파를 평행광으로 변환시켜 상기 빔스 플리터로 전달하는 콜리메이터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 36 항에 있어서,상기 반사수단은 부분반사경, 오목 부분반사경 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 41 항에 있어서,상기 부분반사경과 상기 오목 부분반사경은 상기 대물렌즈와 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 42 항에 있어서,상기 반사수단이 상기 부분반사경인 경우, 상기 대물렌즈는 상기 빔스플리터와 상기 대물판 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 42 항에 있어서,상기 반사수단이 상기 오목 부분반사경인 경우, 상기 대물렌즈는 상기 광원과 상기 빔스플리터 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사 파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 38 항에 있어서,상기 광검출기는 상기 응답지령빔과 상기 기준빔의 간섭신호 패턴의 세기에 대응되는 전류신호를 생성하는 포토다이오드인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 36 항에 있어서,상기 신호처리기는, 상기 광검출기로부터의 전류신호를 샘플링하여 디지털 신호로 변환하는 ADC와, 상기 ADC로부터 제공된 신호 또는 저장부에 저장된 신호를 처리하여 상기 촬영대상물의 영상을 복원하는 신호처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 46 항에 있어서,상기 전류신호는 상기 촬영대상물의 단면 영상과, 제한된 크기의 프레넬 존 패턴이 인코드된 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 47 항에 있어서,상기 신호처리부는, 상기 촬영대상물의 단면 영상을 상기 인코드된 패턴과 프레넬 존 패턴의 켤레 복소수와의 콘볼루션으로 복원하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 46 항에 있어서,상기 신호처리기는, 상기 신호처리부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 처리가 완료될 때마다 또는 상기 저장부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 신호의 저장이 완료될 때마다 상기 촬영대상물이 안착되는 대물판의 위치를 변경하기 위한 제어신호를 발생시키는 대물판 제어부와, 상기 신호처리부에서 처리된 상기 촬영대상물의 영상을 표시하는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 46 항에 있어서,상기 신호처리기는, 상기 신호처리부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 처리가 완료될 때마다 또는 상기 저장부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 신호의 저장이 완료될 때마다 상기 대물렌즈에 인접하게 배치되는 반사판의 위치를 변경하기 위한 제어신호를 발생시키는 반사판 제어부와, 상기 신호처리부에서 처리된 상기 촬영대상물의 영상을 표시하는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 36 항에 있어서,상기 빔스플리터와 상기 집광기 사이, 상기 빔스플리터와 상기 대물렌즈 사이 중 적어도 일측에는 상기 전자기파를 전달하는 중계장치가 장착되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 51 항에 있어서,상기 중계장치는, 영상 또는 신호의 전달이 가능한 렌즈, 프리즘, 거울, 영상 가이드 요소 중 적어도 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 36 항에 있어서,상기 촬영대상물이 안착되는 대물판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 53 항에 있어서,상기 대물렌즈와 상기 대물판 사이에 상기 대물렌즈의 광축에 대해 요구되는 각도를 가지고 경사지게 배치되며, 각각의 각도를 조절하여 상기 응답지령빔의 투사위치를 변경하는 제1 및 제2 반사판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 36 항에 있어서,상기 빔스플리터와 상기 대물렌즈 사이에 상기 대물렌즈의 광축에 대해 요구되는 각도를 가지고 경사지게 배치되며, 각각의 각도를 조절하여 상기 응답지령빔의 투사위치를 변경하는 제1 및 제2 반사판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 36 항에 있어서,상기 광원으로부터 출력된 상기 전자기파의 비선형성을 보상하는 보조간섭계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 56 항에 있어서,상기 보조간섭계는 상기 광원으로부터의 전자기파 중 일부를 분리하는 제1광커플러와, 상기 제1광커플러로부터 전달된 레이저빔을 분리하는 제2광커플러와, 제2광커플러로부터의 전자기파를 전류신호로 변환하여 보조간섭신호를 생성하는 광검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 57 항에 있어서,상기 ADC는 상기 광검출부로부터의 보조간섭신호와, 상기 광검출기로부터의 간섭신호를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기 초한 광영상 시스템.
- 제 58 항에 있어서,상기 신호처리부는, 상기 ADC에서 샘플링된 보조간섭신호를 이용하여 주파수 휩씀을 보정하는 새로운 시간축을 형성하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 36 항에 있어서,상기 전자기파의 주파수 휩씀 동안 상기 전자기파의 세기 요동을 완화하기 위한 파워보정장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 60 항에 있어서,상기 파워보정장치는, 상기 광원으로부터의 레이저빔을 분할하는 제3광커플러와, 상기 레이저빔의 출력 세기를 측정하는 파워검출기와, 상기 광검출기로부터의 전류신호와 상기 파워검출기에서 측정된 레이저빔의 출력 세기와의 차이를 출력하는 차동증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 61 항에 있어서,상기 파워검출기의 출력이 상기 광원으로 전달되어 상기 전자기파의 세기를 조정하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 62 항에 있어서,상기 ADC는 상기 차동증폭기에서 출력된 차이를 샘플링하고, 상기 신호처리부는 상기 ADC에서 샘플링된 차이를 반영하여 상기 광검출기로부터 제공된 전류신호를 처리하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 38 항에 있어서,상기 기준빔의 경로, 상기 응답지령빔의 경로, 상기 간섭신호의 경로 중 하나에는 상기 전자기파를 선 형태로 변환하는 선변환수단이 배치된 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 64 항에 있어서,상기 선변환수단은, 광학소자, 슬릿, 실린더 렌즈 중 하나인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 전자기파를 발생시키는 광원;상기 광원으로부터의 전자기파를 복수개로 분할하는 광커플러;상기 광커플러로부터 분할된 전자기파를 제공받아 제1빔 및 제2빔으로 분할하며, 상호 직각으로 배치된 제1 및 제2콜리메이터;상기 제1빔을 구면파로 변환시키는 기준빔 렌즈;상기 제2빔을 구면파로 변환하여 촬영대상물에 투사하는 대물렌즈;상기 제1빔과, 상기 촬영대상물에서 반사된 상기 제2빔이 상호 간섭되어 간섭신호가 생성되는 간섭수단;상기 간섭신호를 전류신호로 변환하는 광검출기; 및,상기 전류신호를 처리하여 상기 간섭신호로부터 상기 촬영대상물의 영상을 생성하는 신호처리기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 66 항에 있어서,상기 광원은 주파수 처프된 전자기파를 출력하는 레이저 발생기인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 66 항에 있어서,상기 간섭수단은 상기 기준빔 렌즈로부터의 제1빔인 기준빔과, 상기 촬영대상물에서 반사된 제2빔인 응답지령빔을 간섭시켜 상기 광검출기로 제공하는 빔스플리터인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시 스템.
- 제 68 항에 있어서,상기 빔스플리터와 상기 광검출기 사이에 배치되며, 상기 빔스플리터를 투과한 상기 기준빔과 상기 응답지령빔을 공간적으로 집적하는 집광기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 66 항에 있어서,상기 대물렌즈는 상기 제2콜리메이터와 상기 빔스플리터 사이, 또는 상기 빔스플리터와 상기 촬영대상물 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 68 항에 있어서,상기 광검출기는 상기 응답지령빔과 상기 기준빔의 간섭신호 패턴의 세기에 대응되는 전류신호를 생성하는 포토다이오드인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 66 항에 있어서,상기 신호처리기는, 상기 광검출기로부터의 전류신호를 디지털 신호로 변환하는 ADC와, 상기 ADC로부터 제공된 신호 또는 저장부에 저장된 신호를 처리하여 상기 촬영대상물의 영상을 복원하는 신호처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 72 항에 있어서,상기 전류신호는 상기 촬영대상물의 단면 영상과, 제한된 크기의 프레넬 존 패턴이 인코드된 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 73 항에 있어서,상기 신호처리부는, 상기 촬영대상물의 단면 영상을 상기 인코드된 패턴과 프레넬 존 패턴의 켤레 복소수와의 콘볼루션으로 복원하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 72 항에 있어서,상기 신호처리기는, 상기 신호처리부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 처리가 완료될 때마다 또는 상기 저장부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 신호의 저장이 완료될 때마다 상기 촬영대상물이 안착되는 대물판의 위치를 변경하기 위한 제어신호를 발생시키는 대물판 제어부와, 상기 신호처리부에서 처리된 상기 촬영대상물의 영상을 표시하는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 72 항에 있어서,상기 신호처리기는, 상기 신호처리부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 처리가 완료될 때마다 또는 상기 저장부에서 상기 촬영대상물의 임의의 위치에 대한 신호의 저장이 완료될 때마다 상기 대물렌즈에 인접하게 배치되는 반사판의 위치를 변경하기 위한 제어신호를 발생시키는 반사판 제어부와, 상기 신호처리부에서 처리된 상기 촬영대상물의 영상을 표시하는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 69 항에 있어서,상기 빔스플리터와 상기 기준빔 렌즈 사이, 상기 빔스플리터와 상기 집광기 사이, 상기 빔스플리터와 상기 대물렌즈 사이 중 적어도 일측에는 상기 전자기파를 전달하는 중계장치가 장착되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 77 항에 있어서,상기 중계장치는, 영상 또는 신호의 전달이 가능한 렌즈, 프리즘, 거울, 영상 가이드 요소 중 적어도 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 66 항에 있어서,상기 촬영대상물이 안착되는 대물판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 79 항에 있어서,상기 대물렌즈와 상기 대물판 사이에 상기 대물렌즈의 광축에 대해 요구되는 각도를 가지고 경사지게 배치되며, 각각의 각도를 조절하여 상기 응답지령빔의 투사위치를 변경하는 제1 및 제2 반사판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 66 항에 있어서,상기 빔스플리터와 상기 대물렌즈 사이에 상기 대물렌즈의 광축에 대해 요구되는 각도를 가지고 경사지게 배치되며, 각각의 각도를 조절하여 상기 응답지령빔의 투사위치를 변경하는 제1 및 제2 반사판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 66 항에 있어서,상기 광원으로부터 출력된 상기 전자기파의 비선형성을 보상하는 보조간섭계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 82 항에 있어서,상기 보조간섭계는 상기 광원으로부터의 전자기파 중 일부를 분리하는 제1광커플러와, 상기 제1광커플러로부터 전달된 레이저빔을 균등하게 분리하는 제2광커플러와, 제2광커플러로부터의 전자기파를 전류신호로 변환하여 보조간섭신호를 생성하는 광검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 83 항에 있어서,상기 ADC는 상기 광검출부로부터의 보조간섭신호와, 상기 광검출기로부터의 간섭신호를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 84 항에 있어서,상기 신호처리부는, 상기 ADC에서 샘플링된 보조간섭신호를 이용하여 주파수 휩씀을 보정하는 새로운 시간축을 형성하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 66 항에 있어서,상기 전자기파의 주파수 휩씀 동안 상기 전자기파의 세기 요동을 완화하기 위한 파워보정장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 86 항에 있어서,상기 파워보정장치는, 상기 광원으로부터의 레이저빔을 분할하는 제3광커플러와, 상기 레이저빔의 출력 세기를 측정하는 파워검출기와, 상기 광검출기로부터의 전류신호와 상기 파워검출기에서 측정된 레이저빔의 출력 세기와의 차이를 출력하는 차동증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 87 항에 있어서,상기 파워검출기의 출력이 상기 광원으로 전달되어 상기 전자기파의 세기를 조정하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 88 항에 있어서,상기 ADC는 상기 차동증폭기에서 출력된 차이를 샘플링하고, 상기 신호처리부는 상기 ADC에서 샘플링된 차이를 반영하여 상기 광검출기로부터 제공된 전류신호를 처리하는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 68 항에 있어서,상기 기준빔의 경로, 상기 응답지령빔의 경로, 상기 간섭신호의 경로 중 하나에는 상기 전자기파를 선 형태로 변환하는 선변환수단이 배치된 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 90 항에 있어서,상기 선변환수단은, 광학소자, 슬릿, 실린더 렌즈 중 하나인 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
- 제 1 항 또는 제 36 항 또는 제 66 항에 있어서,내시경에 적용되는 것을 특징으로 하는 결맞음 주파수영역 반사파 계측법에 기초한 광영상 시스템.
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