KR20080061685A - 공동 공진기 및 이를 이용한 공동 공진 방법 - Google Patents

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KR20080061685A
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송인상
최정환
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삼성전자주식회사
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Abstract

공동 공진기 및 공동 공진 방법이 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진기는 제1 전극 및 제2 전극 사이에서 공진(resonance)을 발생시키는 공동 물질, 및 상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 배치되어 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 사이에 인가되는 교류 신호에 의하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 물리적 길이를 가변하는 압전 물질을 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 효율적으로 공동의 주파수 특성을 광대역화할 수 있다.
공동, 캐버티, 압전

Description

공동 공진기 및 이를 이용한 공동 공진 방법 {CAVITY RESONATOR AND METHOD OF CAVITY RESONANCE USING THE SAME}
도 1은 본 발명에 이용되는 압전 물질의 일 예의 제1 상태를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 압전 물질의 제2 상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진기를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 공동 공진기의 주파수 특성을 나타낸 도면이다.
도 5는 도 3에 도시된 공동 공진기를 이용한 다운 컨버젼 믹서의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 다운 컨버젼 믹서의 동작을 나타낸 도면이다.
도 7은 도 3에 도시된 공동 공진기를 이용한 업 컨버젼 믹서의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 8은 도 7에 도시된 업 컨버젼 믹서의 동작을 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따라 MEMS 공정을 이용하여 생성된 공동 공진기를 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진 방법을 나타낸 동작 흐름도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
310: 제1 전극
320: 제2 전극
330: 제3 전극
340: 공동 물질
350: 압전 물질
본 발명은 공동 공진(cavity resonance)에 관한 것으로, 특히 압전 물질(piezoelectric material)을 이용하여 주파수 특성을 광대역화한 공동 공진기 및 공동 공진 방법에 관한 것이다.
초고주파용의 공진기를 구현하기 위해 공기 또는 유전체를 이용한 공동(cavity)이 이용된다.
통상적으로, 공동(cavity)을 이용한 공진 구조는 공동의 공진 주파수 부근에서 매우 샤프(sharp)한 주파수 특성을 가지므로 광대역 필터나 광대역 믹서로 활용되기에는 부적절하였다. 즉, 공동(cavity)을 이용한 공진 구조의 좁은 주파수 특성(narrow bandwidth characteristic) 은 공동 공진기가 광대역 믹서(mixer) 또는 광대역 필터로 사용되는데 매우 큰 걸림돌이 되어 왔다.
또한, 공동(cavity)에 대하여 전기 광학적(electro-optic) 방법을 이용하거 나 공동(cavity)에 큰 전류를 흘리는 등의 방법으로 공동(cavity)을 이용한 공진 구조의 고유 주파수를 변화시키기는 방법이 소개되었으나, 공진 구조의 고유 주파수를 정밀하게 변화시키기 어렵고 높은 전력이 소모되며 큰 전력의 입력 신호에 대하여 비선형적 특성이 심하게 나타나는 등의 문제점이 있었다.
따라서, 보다 간단하고 효율적으로 공동(cavity) 구조를 변화시켜서 주파수 특성을 광대역화할 수 있는 새로운 공동 공진기 및 공동 공진 방법의 필요성이 절실하게 대두된다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 압전 물질을 이용하여 공동(cavity)의 물리적 길이를 가변함으로써 공동 공진기의 주파수 특성을 광대역화 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 큰 전력 소모 없이 효율적으로 공동(cavity)의 고유 주파수를 조절하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 공동(cavity)에 압전 물질을 직렬로 연결한 구조를 채택하여 큰 전력의 입력 신호에 대해서도 공동 공진기가 선형성을 유지할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 압전 물질에 의하여 효율적으로 공동(cavity)의 물리적 길이를 가변하여 간단하고 효율적으로 업-다운 주파수 변환을 할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하고 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 공동 공진기는, 제1 전극 및 제2 전극 사이에서 공진(resonance)을 발생시키는 공동 물질, 및 상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 배치되어 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 사이에 인가되는 교류 신호에 의하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 물리적 길이를 가변하는 압전 물질을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 압전 물질은 인가되는 교류 신호에 의하여 상기 제1 전극 및 상기 제3 전극 사이의 주파수 특성을 광대역화할 수 있다.
이 때, 제1 전극에 고주파 입력 신호가 인가되고 상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 혼합 주파수 신호가 인가되고 상기 제3 전극에 연결된 저역 통과 필터(low pass filter)를 통하여 저주파 출력 신호가 출력되어, 상기 공동 공진기가 상기 고주파 입력 신호 및 혼합 주파수 신호를 입력 받아서 상기 저주파 출력 신호를 생성하는 다운 컨버젼 믹서로 이용될 수 있다.
이 때, 제2 전극 및 제3 전극 사이에 저주파 입력 신호가 인가되고 상기 제1 전극에 혼합 주파수 신호가 인가되고 상기 제3 전극에 연결된 고역 통과 필터(high pass filter)를 통하여 고주파 출력 신호가 출력되어, 상기 공동 공진기가 상기 저주파 입력 신호 및 혼합 주파수 신호를 입력 받아서 상기 고주파 출력 신호를 생성하는 업 컨버젼 믹서로 이용될 수 있다.
이 때, 공동 공진기는 광대역 필터로 이용될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진 방법은 제1 전극 및 제2 전극 사이의 공동 물질을 이용하여 공진을 발생시키는 단계, 및 상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 배치된 압전 물질에 교류 신호를 인가하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 물리적 길이를 가변하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 이용되는 압전 물질의 일 예의 제1 상태를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 압전 물질의 제1 방향으로 전압(V)이 인가되면, 압전 물질이 원래 상태(110)에서 인가된 전압(V)에 의하여 발생되는 전기장(E)의 방향으로 팽창 상태(120)가 되는 것을 알 수 있다.
즉, 압전 물질은 전기신호에 반응하여 길이가 디포메이션(deformation)하는 특성을 가지고 있다. 따라서, 압전 물질에 인가되는 전기 신호를 조절하여 압전 물질의 길이를 조절할 수 있다.
이 때, 압전 물질(piezoelectric material)은 AlN 또는 LibNO3 등일 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 압전 물질의 제2 상태를 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 압전 물질의 제2 방향으로 전압(V)이 인가되면, 압전 물질이 원래 상태(210)에서 인가된 전압(V)에 의하여 발생되는 전기장(E)의 방향으로 수축 상태(220)가 되는 것을 알 수 있다.
도 1 및 도 2를 통하여 살펴본 바와 같이, 압전 물질은 인가되는 전압에 따 라 그 길이가 팽창하거나 수축하므로 압전 물질에 교류 신호를 인가할 경우 압전 물질의 길이를 동적으로(dynamically) 변화시킬 수 있다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진기를 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진기는 공동 물질(340) 및 압전 물질(350)을 포함한다.
공동 물질(340)은 제1 전극(310) 및 제2 전극(320) 사이에서 공진(resonance)을 발생시킨다. 이 때, 공동 물질(340)은 공기일 수도 있고, 유전체일 수도 있다.
압전 물질(piezoelectric material)(350)은 제2 전극(320) 및 제3 전극(330) 사이에 배치되어 제2 전극(320) 및 제3 전극(330) 사이에 인가되는 교류 신호에 의하여 제1 전극(310) 및 제2 전극(320) 사이의 물리적 길이를 가변한다.
도 3에 도시된 예에서 제1 전극 및 제2 전극 사이의 물리적 길이는 최대 l만큼 변할 수 있다.
압전 물질(350)에 의한 제1 전극(310) 및 제2 전극(320) 사이의 물리적 길이의 변화는 제1 전극(310) 및 제3 전극(330) 사이의 주파수 특성의 광대역화를 야기한다.
또한, 도 3의 공동 공진기는 기본적인 공동(cavity)에 압전 물질을 직렬로 연결한 간단한 구조이므로 큰 전력의 입력 신호에 대해서도 선형적 특성을 유지할 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 공동 공진기의 주파수 특성을 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 도 3에 도시된 공동 공진기는 압전 물질로 인한 길이 변화가 없을 때의 주파수 특성(410)에 비하여 2Δf 만큼 광대역화된 주파수 특성(420)을 나타내는 것을 알 수 있다.
이 때, 도 4에 도시된 그래프의 x축은 주파수를 나타내고, y축은 에너지 레벨을 나타낸다. 특히, y축은 공동(cavity)의 고유 주파수인 f0에서의 에너지 레벨을 1로 보았을 때의 상대 에너지 레벨을 나타낸다. 도 4에 도시된 바와 같이, Δf는 상대 에너지 레벨 0.7정도에 상응하는 값일 수 있다.
주파수 특성이 광대역화 되는 것은 압전 물질에 인가되는 교류 신호에 따라 제1 전극 및 제2 전극 사이의 물리적 길이가 동적으로 변화하기 때문이다.
이 때, Δf는 하기 수학식 1과 같이 나타낼 수 있다.
Figure 112006097759591-PAT00001
상기 수학식 1에서 Δl 은 제1 전극 및 제2 전극 사이의 길이의 변화 범위를 나타내고, c는 빛의 속도를 나타내고, λ0는 공진기 길이(L)에 의한 공진 파장을 나타낸다.
이와 같이, 본 발명은 교류 신호가 인가되는 압전 물질을 이용하여 공동(cavity)의 길이를 동적으로 변화시킴으로써 공동 공진기의 주파수 특성을 광대역화할 수 있어 공동 공진기를 광대역 믹서 또는 광대역 필터로 활용할 수 있다.
도 5는 도 3에 도시된 공동 공진기를 이용한 다운 컨버젼 믹서의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 다운 컨버젼 믹서는 공동 공진기(510) 및 저역 통과 필터(low pass filter)(520)를 포함한다.
공동 공진기(510)는 압전 물질의 양단에 인가되는 교류 신호인 혼합 주파수 신호(530)에 의하여 공동(cavity)의 물리적 길이가 가변하여 주파수 특성이 광대역화된다.
공동 공진기(510)의 제1 전극(511)에 고주파 입력 신호(540)가 인가된다. 이 때, 고주파 입력 신호(540)의 주파수는 f0 ±Δfs이다. 즉, 고주파 입력 신호(540)는 공동(cavity)의 고유 공진 주파수에 상응하는 캐리어 주파수(f0) 신호와 베이스 밴드(±Δfs) 신호가 혼합된 신호이다.
또한, 공동 공진기(510)의 제2 전극(512) 및 제3 전극(513) 사이에 혼합 주파수 신호(530)가 인가된다. 이 때, 혼합 주파수 신호(530)의 주파수는 f0이다. 즉, 혼합 주파수 신호(530)는 캐리어 주파수(f0)에 상응하는 것이다.
공동 공진기(510)의 제2 전극(512) 및 제3 전극(513) 사이에 공동(cavity) 의 고유 공진 주파수(f0)에 상응하는 혼합 주파수 신호(530)를 인가함으로써, 공동 공진기(510)의 주파수 특성을 광대역화할 수 있어 공동 공진기(510)의 제3 전극(513) 신호를 저역 통과 필터(520)에 의하여 저역 통과 필터링하면 베이스 밴드(±Δfs) 신호에 상응하는 저주파 출력 신호를 얻을 수 있다.
도 6은 도 5에 도시된 다운 컨버젼 믹서의 동작을 나타낸 도면이다.
도 6을 참조하면, 도 5에 도시된 다운 컨버젼 믹서의 공동 공진기의 제1 전극에 공동의 고유 주파수에 상응하는 캐리어 주파수(f0) 신호와 베이스 밴드(±Δfs) 신호가 혼합된 주파수 f0 ±Δfs에 해당하는 고주파 입력 신호가 인가되고, 압전 물질에 캐리어 주파수(f0)에 상응하는 혼합 주파수 신호가 인가되면 베이스 밴드(±Δfs) 신호에 상응하는 저주파 출력 신호를 얻을 수 있는 것을 알 수 있다.
이 때, 베이스 밴드 신호의 주파수 폭(Δfs)이 Δf보다 작기만 하면 신호의 왜곡 없이 다운 컨버젼 믹싱이 수행될 수 있다.
이는 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진기가 압전 물질에 교류를 인가하여 공동의 주파수 특성을 광대역화하였기 때문에 가능한 것이다.
도 7은 도 3에 도시된 공동 공진기를 이용한 업 컨버젼 믹서의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 7을 참조하면, 업 컨버젼 믹서는 공동 공진기(710) 및 고역 통과 필터(high pass filter)(720)를 포함한다.
공동 공진기(710)의 제2 전극(712) 및 제3 전극(713) 사이에 저주파 입력 신호(730)가 인가된다. 이 때, 저주파 입력 신호(730)의 주파수는 ±Δfs일 수 있다. 즉, 저주파 입력 신호(730)는 베이스 밴드(±Δfs) 신호에 상응하는 신호이다.
또한, 공동 공진기(710)의 제1 전극(711)에 혼합 주파수 신호(740)가 인가된다. 이 때, 혼합 주파수 신호(740)의 주파수는 f0이다. 즉, 혼합 주파수 신호(740)는 캐리어 주파수(f0)에 상응하는 것이다.
공동 공진기(710)의 제2 전극(712) 및 제3 전극(713) 사이에 교류 신호인 저주파 입력 신호(730)를 인가함으로써, 공동 공진기(710)의 주파수 특성을 광대역화할 수 있어 공동 공진기(710)의 제3 전극(713) 신호를 고역 통과 필터(720)에 의하여 고역 통과 필터링하면 캐리어 주파수(f0) 및 베이스 밴드(±Δfs) 신호가 혼합된 주파수(f0 ±Δfs)에 상응하는 고주파 출력 신호를 얻을 수 있다.
도 8은 도 7에 도시된 업 컨버젼 믹서의 동작을 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하면, 도 7에 도시된 업 컨버젼 믹서의 공진 공동기의 압전 물질에 베이스 밴드(±Δfs) 신호에 해당하는 저주파 입력 신호가 인가되고, 공동 공진기의 제1 전극에 캐리어 주파수(f0)에 상응하는 혼합 주파수 신호가 인가되면 캐리어 주파수(f0) 및 베이스 밴드(±Δfs) 신호가 혼합된 주파수(f0 ±Δfs)에 상응하는 고주파 출력 신호를 얻을 수 있는 것을 알 수 있다.
이 때, 베이스 밴드 신호의 주파수 폭(Δfs)이 Δf보다 작기만 하면 신호의 왜곡 없이 업 컨버젼 믹싱이 수행될 수 있다.
이는 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진기가 압전 물질에 교류를 인가하여 공동의 주파수 특성을 광대역화하였기 때문에 가능한 것이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따라 MEMS 공정을 이용하여 생성된 공동 공진기를 나타낸 도면이다.
도 9를 참조하면, 공동 공진기(900)는 기판(916)상에 형성된 제2 전극(912) 및 제3 전극(913) 사이에 압전 물질(915)이 배치되고, 제2 전극(912)의 상부에 제1 전극(911)이 위치하도록 하여 생성되는 것을 알 수 있다.
이 때, 제1 전극(911) 및 제2 전극(912) 사이에 공동(cavity)(914)이 형성되고, 공동(914)은 공기 또는 유전체로 채워질 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진기는 제2 전극(912) 및 제3 전극(913) 사이에 교류를 인가하여 공동의 물리적 길이를 가변함으로써 공동 공진기의 주파수 특성을 광대역화할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진 방법을 나타낸 동작 흐름도이다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진 방법은 제1 전극 및 제2 전극 사이의 공동 물질을 이용하여 공진을 발생시킨다(S110).
이 때, 공동 물질은 공기 또는 유전체일 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 공동 공진 방법은 제2 전극 및 제3 전극 사이에 배치된 압전 물질에 교류 신호를 인가하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 물리적 길이를 가변한다(S120).
이 때, 공동 공진 방법은 제1 전극 및 제2 전극 사이의 물리적 길이를 가변함으로써 공동(cavity)의 물리적 길이를 가변하여 제1 전극 및 제3 전극 사이의 주파수 특성을 광대역화할 수 있다.
이 때, 상기 제1 전극에 고주파 입력 신호가 인가되고 상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 혼합 주파수 신호가 인가되고 상기 제3 전극에 연결된 저역 통과 필터(low pass filter)를 통하여 저주파 출력 신호가 출력되어, 상기 공동 공진 방법이 상기 고주파 입력 신호 및 혼합 주파수 신호를 입력 받아서 상기 저주파 출력 신호를 생성하는 다운 컨버젼 믹싱에 이용될 수 있다.
이 때, 상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 저주파 입력 신호가 인가되고 상기 제1 전극에 혼합 주파수 신호가 인가되고 상기 제3 전극에 연결된 고역 통과 필터(high pass filter)를 통하여 고주파 출력 신호가 출력되어, 상기 공동 공진 방법이 상기 저주파 입력 신호 및 혼합 주파수 신호를 입력 받아서 상기 고주파 출력 신호를 생성하는 업 컨버젼 믹싱에 이용될 수도 있다.
또한, 공동 공진 방법은 광대역 필터링에 이용될 수 있다.
도 10에 도시된 각 단계는 도 10에 도시된 순서, 역순 또는 동시에 수행될 수 있다.
도 10에 도시된 방법에서 설명하지 아니한 내용은 도 1 내지 도 9를 통하여 이미 설명된 바와 같으므로 이하 생략한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
본 발명의 공동 공진기 및 공동 공진 방법은, 압전 물질을 이용하여 공동(cavity)의 물리적 길이를 가변함으로써 공동 공진기의 주파수 특성을 광대역화할 수 있다.
또한, 본 발명은 큰 전력 소모 없이 효율적으로 공동(cavity)의 고유 주파수를 조절할 수 있다.
또한, 본 발명은 공동(cavity)에 압전 물질을 직렬로 연결한 구조를 채택하여 큰 전력의 입력 신호에 대해서도 공동 공진기가 선형성을 유지할 수 있다.
또한, 본 발명은 압전 물질에 의하여 효율적으로 공동(cavity)의 물리적 길이를 가변하여 간단하고 효율적으로 업-다운 주파수 변환을 할 수 있다.

Claims (12)

  1. 제1 전극 및 제2 전극 사이에서 공진(resonance)을 발생시키는 공동 물질; 및
    상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 배치되어 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 사이에 인가되는 교류 신호에 의하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 물리적 길이를 가변하는 압전 물질
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 공동 공진기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 압전 물질(piezoelectric material)은
    상기 교류 신호에 의하여 상기 제1 전극 및 상기 제3 전극 사이의 주파수 특성을 광대역화하는 것을 특징으로 하는 공동 공진기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 공동 물질은 유전체인 것을 특징으로 하는 공동 공진기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 전극에 고주파 입력 신호가 인가되고 상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 혼합 주파수 신호가 인가되고 상기 제3 전극에 연결된 저역 통과 필터(low pass filter)를 통하여 저주파 출력 신호가 출력되어, 상기 공동 공진기가 상기 고주파 입력 신호 및 혼합 주파수 신호를 입력 받아서 상기 저주파 출력 신호를 생성하는 다운 컨버젼 믹서로 이용되는 것을 특징으로 하는 공동 공진기.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 저주파 입력 신호가 인가되고 상기 제1 전극에 혼합 주파수 신호가 인가되고 상기 제3 전극에 연결된 고역 통과 필터(high pass filter)를 통하여 고주파 출력 신호가 출력되어, 상기 공동 공진기가 상기 저주파 입력 신호 및 혼합 주파수 신호를 입력 받아서 상기 고주파 출력 신호를 생성하는 업 컨버젼 믹서로 이용되는 것을 특징으로 하는 공동 공진기.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 공동 공진기는 광대역 필터로 이용되는 것을 특징으로 하는 공동 공진기.
  7. 제1 전극 및 제2 전극 사이의 공동 물질을 이용하여 공진을 발생시키는 단계; 및
    상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 배치된 압전 물질에 교류 신호를 인가하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 물리적 길이를 가변하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 공동 공진 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 물리적 길이를 가변하는 단계는
    상기 물리적 길이를 가변하여 상기 제1 전극 및 상기 제3 전극 사이의 주파수 특성을 광대역화하는 것을 특징으로 하는 공동 공진 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 공동 물질은 유전체인 것을 특징으로 하는 공동 공진 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제1 전극에 고주파 입력 신호가 인가되고 상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 혼합 주파수 신호가 인가되고 상기 제3 전극에 연결된 저역 통과 필터(low pass filter)를 통하여 저주파 출력 신호가 출력되어, 상기 공동 공진 방법이 상기 고주파 입력 신호 및 혼합 주파수 신호를 입력 받아서 상기 저주파 출력 신호를 생성하는 다운 컨버젼 믹싱에 이용되는 것을 특징으로 하는 공동 공진 방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 제2 전극 및 제3 전극 사이에 저주파 입력 신호가 인가되고 상기 제1 전극에 혼합 주파수 신호가 인가되고 상기 제3 전극에 연결된 고역 통과 필터(high pass filter)를 통하여 고주파 출력 신호가 출력되어, 상기 공동 공진 방법이 상기 저주파 입력 신호 및 혼합 주파수 신호를 입력 받아서 상기 고주파 출력 신호를 생성하는 업 컨버젼 믹싱에 이용되는 것을 특징으로 하는 공동 공진 방법.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 공동 공진 방법은 광대역 필터링에 이용되는 것을 특징으로 하는 공동 공진 방법.
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