KR20080060491A - 전자소재 제조용 가스공급장치 - Google Patents

전자소재 제조용 가스공급장치 Download PDF

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KR20080060491A
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이성섭
정근준
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

본 발명은 전자소재 제조용 가스공급장치에 관한 것으로, 가스용기의 공정가스를 공정챔버로 이송하는 공급라인과, 상기 공급라인의 퍼지시 상기 공급라인에 퍼지가스를 공급하는 퍼지라인과, 상기 공급라인의 퍼지공정시 상기 공급라인에 잔류된 가스를 배기하는 배기라인과, 상기 공급라인상의 초입에 설치되어 상기 퍼지라인 및 상기 배기라인과 소통연결되고 상기 공급라인을 개폐하는 공급밸브와 상기 배기라인을 개폐하는 배기밸브가 결합되며 퍼지가스 또는 공정가스가 상기 공급밸브 및 배기밸브를 통과하기 전에 여과처리하는 필터가 설치되는 밸브조립체를 포함하는 전자소재 제조용 가스공급장치를 제공한다. 본 발명에 의하면, 공정가스 및 퍼지가스를 밸브통과 전에 여과처리할 수 있으므로 밸브에 이물질이 유입되는 현상을 방지하여 밸브수명을 연장시키는 효과가 있다.
가스공급, 공급라인, 배기라인, 퍼지라인, 필터

Description

전자소재 제조용 가스공급장치{Gas supply device for manufacturing electronic material}
도 1은 일반적인 전자소재 제조용 가스공급장치의 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 전자소재 제조용 가스공급장치에서 'A' 부의 상세배관도이다.
도 3은 본 발명에 따른 전자소재 제조용 가스공급장치의 일실시 구성도이다.
도 4는 도 3에 도시된 전자소재 제조용 가스공급장치에서 'B' 부의 일실시 상세 배관도이다.
도 5는 도 3에 도시된 전자소재 제조용 가스공급장치에서 밸브조립체의 내부상태를 개략적으로 나타낸 개요도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
101, 201 : 가스용기 111, 211 : 퍼지밸브
112, 212 : 배기밸브 113, 213 : 제1공급밸브
151, 251 : 체크밸브 161, 261 : 필터
171, 271 : 공급라인 172, 272 : 배기라인
173, 273 : 퍼지라인 190, 290 : 밸브조립체
191, 291 : 관로 500 : 공정챔버
본 발명은 전자소재 제조용 가스공급장치에 관한 것으로, 특히 퍼지공정시 공급라인의 초입부에서 부터 퍼지가스가 공급되어 퍼지에 소요되는 시간을 감소시키는 전자소재 제조용 가스공급장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체와 엘씨디(LCD) 및 엘이디(LED) 등의 전자소재를 제조하기 위한 공정챔버(process chamber)는 제조공정에 따라 다양한 공정가스(process gas)의 공급을 필요로 한다.
특히 상기의 공정가스는 통상 유독성, 부식성, 반응성 물질이므로, 이를 적절하게 처리할 수 있는 전자소재 제조용 가스공급장치에 의해 공정챔버로 공급된다.
이러한 전자소재 제조용 가스공급장치는 배관 등의 이상사태 또는 유지보수시에 내부에 포함되어 있는 공정가스를 다른 설비로 이송하거나, 잔류된 공정가스가 반응폭주되지 않도록 안정된 기체로 중화처리하는 퍼지(purge)공정이 수행된다.
즉 퍼지공정이란 설비나 용기 내부의 공정가스를 화학적 또는 물리적 반응을 일으키지 않는 기체로 중화처리하는 것을 의미한다.
특히 상기 퍼지공정에서 공정가스를 중화처리하기 위해 사용되는 가스를 퍼지가스(purge gas)라 하는데 통상 불활성이며 화학적으로 안정된 질소가스(N2 gas) 가 주로 사용되고 있다.
도 1은 일반적인 전자소재 제조용 가스공급장치의 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 전자소재 제조용 가스공급장치에서 'A' 부의 상세배관도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일반적인 전자소재 제조용 가스공급장치(이하 가스공급장치)는 공정가스를 공급하는 가스용기(101, 201)와, 상기 가스용기(101, 201)에 저장된 공정가스를 공정챔버(500)로 이송하는 공급라인(171, 271)과, 상기 공급라인(171, 271)에 잔류된 공정가스를 배기하는 배기라인(172, 272)과, 상기 공급라인(171, 271)에 퍼지가스를 이송하는 퍼지라인(173, 273)을 포함한다.
이러한 가스공급장치는 공정챔버(500)로의 가스공급이 중단되지 않고 연속하여 공급하도록 복수의 가스용기(101, 201) 및 공급라인(171, 271)을 구비하고, 일측의 공급라인(171 또는 271)에서 공정가스 공급시 타측의 공급라인(171 또는 271)은 퍼지공정이 수행되도록 복수의 배기라인(172, 272)과 퍼지라인(173, 273)을 포함한다.
또한 공급라인(171, 271)은 퍼지밸브(111, 211)와 제1배기밸브(112, 212)와 제1공급밸브(113, 213)와 제2배기밸브(114, 214)와 제1수동밸브(121, 221)와 제2수동밸브(122, 222)와 제2공급밸브(115, 215)를 순차연결하는 경로를 따라 가스용기(101, 202)의 공정가스를 공정챔버(500)에 공급한다.
일례로 공급라인(171, 271)에는 필터(161, 162, 261, 262)와 압력측정수단 (131, 132, 231, 232) 및 레귤레이터(141, 241)가 더 설치된다.
따라서 공정챔버(500)는 일측의 가스용기(101 또는 201)의 공정가스가 소진되면 동일한 배치구조를 갖는 어느 하나의 공급라인(171 또는 271)을 통하여 타측의 가스용기(101 또는 201)로 부터 공정가스를 공급받는다.
상기에서, 미설명된 부호 181과 281은 커넥터이고, 151과 152와 251과 252와 351과 451은 체크밸브이며, 311은 누설감지용 밸브이고, 312 및 313은 메인퍼지밸브이고, 331은 퍼지압 스위치이며, 431은 진공압 스위치이며, 371은 진공발생용 가스라인이고, 372는 메인배기라인이며, 411은 진공발생용 밸브이고, 481은 진공발생기이다.
한편 상기의 전자소재 제조용 가스공급장치는 일측의 가스용기(101 또는 201)가 소진되어 분리 교체되기전 해당 공급라인(171 또는 271) 내부를 퍼지하는 공정이 수행되어야 한다.
이러한 퍼지공정은 해당 공급라인(171 또는 271) 내부에 잔류된 가스를 배기하는 1차배기과정과 해당 공급라인(171 또는 271) 내부에 퍼지가스를 공급하여 퍼지하는 퍼지과정과, 해당 공급라인(171 또는 271) 내부의 퍼지가스와 혼합된 잔류 공정가스를 배기하는 2차배기과정을 포함한다.
특히 퍼지공정은 1차배기과정을 마친 후 해당 공급라인(171 또는 271) 내부가 완전하게 중화처리 될때까지 퍼지과정과 2차배기과정을 반복수행한다.
상기에서, 퍼지라인(173, 273)은 공급라인(171, 271)의 초입으로 퍼지가스를 공급하여 퍼지공정을 수행하도록 구성된다. 예컨데 가스용기(101, 201)의 커넥 터(181, 281)에 직접 연결되는 밸브조립체(190, 290)를 더 포함한다.
상기 밸브조립체(190, 290)는 공급라인(171, 271)과 퍼지라인(173, 273)과 배기라인(172, 2732)과 각각 소통연결되는 한편 퍼지밸브(111, 211)와 제1배기밸브(112, 212)와 제1공급밸브(113, 213)와 각각 결합되어 가스흐름을 제어한다.
구체적으로 가스용기(101, 201)에서 밸브조립체(190, 290) 내부로 공급된 공정가스는 각 밸브의 개폐조작에 의해 공급라인(171, 271)으로 공급될 수 있고, 퍼지라인(173, 273)에서 밸브조립체(190, 290) 내부로 공급된 퍼지가스는 각 밸브의 개폐조작에 의해 공급라인(171, 271)으로 공급될 수 있다.
이와 같이 퍼지라인(173, 273)이 밸브조립체(190, 290)에 의해 가스용기(101, 201) 및 공급라인(171, 271)의 초입으로 직접 연결되기 때문에 별도의 추가 배관없이 퍼지공정에 필요한 배관의 용적을 최소화할 수 있다.
이처럼 공급라인(171, 271)의 초입으로 퍼지가스가 공급되므로 퍼지용적을최소화하여 퍼지공정에 소요되는 시간과 횟수 및 퍼지가스의 소모량을 감소시킨다.
한편 상기의 전자소재 제조용 가스공급장치는 가스용기에서 공급되는 공정가스가 여과처리되어 공급라인(171, 271)으로 공급되는 것이 바람직하다. 또한 퍼지라인(173, 273)에서 공급되는 퍼지가스도 여과처리되어 공급라인(171, 271)으로 공급되는 것이 바람직하다.
상기의 전자소재 제조용 가스공급장치는 밸브조립체(190, 290)에서 공급라인(171, 271)으로 이송되는 공정가스와 퍼지가스를 여과처리할 수 있는 필터(161, 261)가 공급라인(171, 271)상에 설치된다.
그러나 필터(161, 261)는 공급라인(171, 271)상에 설치되었으므로 여과처리되지 못한 공정가스와 퍼지가스를 밸브조립체(190, 290)에 통과시키는 단점이 있었다.
따라서 밸브조립체(190, 290)에 결합된 제1배기밸브(112, 212)와 제1공급밸브(113, 213)는 공정가스와 퍼지가스에 포함되어 있을 수 있는 이물질에 손상될 수 있는 단점이 있었다.
이에 필터(161, 261)를 밸브조립체(190, 290) 내부에 설치하여 공정가스와 퍼지가스를 제1배기밸브(112, 212)와 제1공급밸브(131, 231)에 통과시키기 전에 여과처리 것을 고려할 수 있으나, 필터(161, 261)를 밸브조립체(190, 290) 내부에 설치하는 제작상의 불편함과, 필터(161, 261)의 교체시 밸브조립체(190, 290)를 분리한 후 필터(161, 261)를 교체해내야 하는 불편함이 있었다.
한편 상기의 전자소재 제조용 가스공급장치는 퍼지라인(173, 273)상에 퍼지가스의 역류를 방지하는 체크밸브(151, 251)가 설치된다.
그러나 체크밸브(151, 251)가 퍼지라인(173, 273)상에 설치되므로 퍼지라인(173, 273)의 일부 구간도 퍼지공정이 수행되어 퍼지경로를 불필요하게 증가시키는 단점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 공급라인으로 이송될 공정가스 및 퍼지가스를 밸브 통과전에 여과처리할 수 있는 전자소재 제조용 가스공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 공정가스 및 퍼지가스를 여과처리하는 필터가 밸브조립체 외측에서 교체가능한 전자소재 제조용 가스공급장치를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 퍼지공정시 퍼지경로를 최소화할 수 있는 전자소재 제조용 가스공급장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 가스용기의 공정가스를 공정챔버로 이송하는 공급라인과, 상기 공급라인의 퍼지시 상기 공급라인에 퍼지가스를 공급하는 퍼지라인과, 상기 공급라인의 퍼지공정시 상기 공급라인에 잔류된 가스를 배기하는 배기라인과, 상기 공급라인상의 초입에 설치되어 상기 퍼지라인 및 상기 배기라인과 소통연결되고 상기 공급라인을 개폐하는 공급밸브와 상기 배기라인을 개폐하는 배기밸브가 결합되며 퍼지가스 또는 공정가스가 상기 공급밸브 및 배기밸브를 통과하기 전에 여과처리하는 필터가 설치되는 밸브조립체를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 그러나 이하의 실시 예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 3은 본 발명에 따른 전자소재 제조용 가스공급장치의 일실시 구성도이고, 도 4는 도 3에 도시된 전자소재 제조용 가스공급장치에서 'B' 부의 일실시 상세 배 관도이며, 도 5는 도 3에 도시된 전자소재 제조용 가스공급장치에서 밸브조립체의 내부상태를 개략적으로 나타낸 개요도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 전자소재 제조용 가스공급장치는 공정가스를 공급하는 가스용기(101, 202)와, 상기 가스용기(101, 202)의 공정가스를 공정챔버(500)로 이송하는 공급라인(171, 271)과, 상기 공급라인(171, 271)의 퍼지시 상기 공급라인(171, 271)에 잔류된 가스를 배기하는 배기라인(172, 272)과, 상기 공급라인(171, 271)의 퍼지시 상기 공급라인(171, 271)에 퍼지가스를 공급하는 퍼지라인(173, 273)과, 상기 공급라인(171, 271)상의 초입에 설치되어 퍼지라인(173, 273)과 배기라인(172, 272)과 소통연결되는 한편 공급라인(171, 271)을 개폐하는 제1공급밸브(113, 213)와 배기라인(172, 272)을 개폐하는 제1배기밸브(112, 212)와 퍼지라인(173, 273)을 개폐하는 퍼지밸브(111, 211)가 결합되는 밸브조립체(190, 290)를 포함한다.
상기 가스용기(101, 202)는 단수개 구비될 수 있고, 공정가스가 중단없이 연속하여 공급될 수 있도록 복수개 구비될 수 있다.
상기 가스용기(101, 202)는 제1가스용기(101)와 제2가스용기(201)를 포함하며, 제1가스용기(101)의 공정가스가 소진되면 제2가스용기(201)의 공정가스가 공정챔버(500)로 공급될 수 있다.
상기 공급라인(171, 271)은 상기 가스용기(101, 202)의 갯수에 따라 단수개 또는 복수개 구비될 수 있으나, 본 일실시예에서는 가스용기(101, 202)가 2개이므로 이에 따라 2개의 공급라인(171, 271)이 구비되는 것을 예시한다.
이러한 공급라인(171, 271)은 제1가스용기(101)의 공정가스를 공정챔버(500)로 이송하는 제1공급라인(171)과 제2가스용기(201)의 공정가스를 공정챔버(500)로 이송하는 제2공급라인(271)을 포함한다.
상기 제1공급라인(171)은 밸브조립체(190) 내부의 퍼지밸브(111)와 제1배기밸브(112)와 제1공급밸브(113)와 제2배기밸브(114)와 제1수동밸브(121)와 제2수동밸브(122)와 제2공급밸브(115)를 순차연결하는 경로를 따라 제1가스용기(101)의 공정가스를 공정챔버(500)에 공급한다.
상기 제2공급라인(271)은 밸브조립체(290) 내부의 퍼지밸브(211)와 제1배기밸브(212)와 제1공급밸브(213)와 제2배기밸브(214)와 제1수동밸브(221)와 제2수동밸브(222)와 제2공급밸브(215)를 순차연결하는 경로를 따라 제2가스용기(201)의 공정가스를 공정챔버(500)에 공급한다.
일례로 제1공급라인(171)에는 제1가스용기(101)에서 공급되는 공정가스나 퍼지라인(173)에서 공급되는 퍼지가스를 여과처리하는 필터(161, 162)와, 제1공급라인(171)의 내압을 측정하는 고압 및 저압센서(131, 132)와, 제1공급라인(171)을 통과하는 공정가스의 압력을 조절하는 레귤레이터(141)가 더 설치될 수 있다.
일례로 제2공급라인(271)에는 제2가스용기(201)에서 공급되는 공정가스나 퍼지라인(273)에서 공급되는 퍼지가스를 여과처리하는 필터(261, 262)와, 제2공급라인(271)의 내압을 측정하는 고압 및 저압센서(231, 232)와, 제2공급라인(271)을 통과하는 공정가스의 압력을 조절하는 레귤레이터(241)가 더 설치될 수 있다.
이상과 같이 제1공급라인(171)과 제2공급라인(271)은 밸브조립체(190, 290) 와, 각종 밸브(111 내지 115, 121 및 122, 211 내지 215, 221 및 222)와, 필터(161와 162, 261와 262)와, 고압 및 저압센서(131와 132, 231와 232)와, 레귤레이터(141, 241)가 동일한 구조로 배치되어 있다.
따라서 공정챔버(500)는 제1가스용기(101)의 공정가스가 소진되면 제2가스용기(201) 및 제2공급라인(271)을 통하여 중단없이 연속하여 공정가스를 공급받고, 역으로 제2가스용기(201)의 공정가스가 소진되면 교체된 제1가스용기(101) 및 제1공급라인(171)을 통하여 공정가스를 공급받는다.
그리고 제1가스용기(101)의 공정가스가 소진되어 제2가스용기(201)에서 공정가스가 공급될 시에는 제1가스용기(101)를 분리하여 교체하기 전 제1공급라인(171)은 퍼지공정이 수행되고, 역으로 제2가스용기(201)의 공정가스가 소진되어 제1가스용기(101)에서 공정가스가 공급될 시에는 제2가스용기(201)를 분리하여 교체하기 전 제2공급라인(271)은 퍼지공정이 수행된다.
이에 공급라인(171, 271)은 배기라인(172, 272) 및 퍼지라인(173, 273)이 소통연결된다.
상기 배기라인(172)은 밸브조립체(190)의 제1배기밸브(112)와 제2배기밸브(114)에 연결되고, 진공발생기(481)에 의해 제1공급라인(171)의 잔류 공정가스를 배기한다.
상기 배기라인(272)은 밸브조립체(190)의 제1배기밸브(212)와 제2배기밸브(214)에 연결되고, 진공발생기(481)에 의해 제2공급라인(271)의 잔류공정가스를 배기한다.
상기 진공발생기(481)는 진공발생용 밸브(411)가 개방되어 진공발생용 가스라인(371)으로 벤트용 질소가스가 고속통과되면 벤츄리현상에 의해 배기라인(172 또는 272)을 통하여 제1공급라인(171) 또는 제2공급라인(271) 내부의 잔류 공정가스를 강제 흡입하고, 메인배기라인(372)으로 벤트용 질소가스와 함께 잔류 공정가스를 배기한다.
상기 퍼지라인(173, 273)은 밸브조립체(190, 290)측으로 연결되어 제1공급라인(171) 또는 제2공급라인(271)에 퍼지용 질소가스를 공급한다.
특히 밸브조립체(190, 290)는 제1공급라인(171)과 제2공급라인(271)의 초입부에 설치되므로 퍼지라인(173, 273)의 퍼지가스를 제1공급라인(171) 또는 제2공급라인(271)의 초입부에서 부터 공급할 수 있다는 장점이 있다.
이러한 밸브조립체(190, 290)는 퍼지라인(173, 273)에서 공급되는 퍼지가스와 가스용기에서 공급되는 공정가스를 여과처리한 후 제1배기밸브(112, 212)와 제1공급밸브(113, 213)에 통과시켜 공급라인(171, 271)으로 전달하는 필터(161)를 포함하는 것이 바람직하다.
따라서 공급라인(171, 271)으로 이송될 공정가스 및 퍼지가스를 제1공급밸브(113, 213)와 제1배기밸브(112, 212) 통과 전에 여과처리할 수 있으므로 제1공급밸브(113, 213)와 제1배기밸브(112, 212)에 이물질이 유입되는 현상을 방지하여 보호하는 것은 물론 밸브수명을 연장시킬 수 있는 장점이 있다.
상기에 있어서, 밸브조립체(190, 290)는 필터(161)가 외측에서 분리결합 가능하도록 설치된 것이 바람직하다. 따라서 밸브조립체(190, 290)는 소모성 부품인 필터(161)가 외측에서 교체가능하므로 필터(161)교체작업을 용이하게 수행할 수 있는 장점이 있다.
상기에 있어서, 밸브조립체(190, 290)는 가스용기에서 이송되는 공정가스가 필터(161)측을 경유하여 제1공급밸브(113, 213)와 제1배기밸브(112, 212)를 통과 후 공급라인(171, 271)으로 공급되도록 그 내부에 형성되는 관로(191, 291)를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 관로(191, 291)는 공정가스와 퍼지가스가 제1공급밸브(113, 213)와 제1배기밸브(112, 212)를 통과하기 전에 필터(161)에서 여과처리되어야 하는 요구와 필터(161)교체가 용이하도록 필터(161)가 밸브조립체(190, 290) 외측에 설치되는 요구를 동시에 만족하도록 밸브조립체(190, 290) 내부에 형성된다.
구체적으로, 도 5에 도시된 바와 같이관로(191, 291)는 커넥터(181, 281)로 부터 공정가스를 이송공급받을 수 있도록 타공되는 한편 퍼지라인(173, 273)으로 부터 퍼지가스를 이송공급받도록 타공되며, 공정가스 또는 퍼지가스가 제1배기밸브(112, 212)와 제1공급밸브(113, 213)를 거쳐 공급라인으로 공급되도록 타공된다.
특히 관로(191, 291)는 일부 구간이 밸브조립체(190, 290) 외측으로 노출되고 그 노출된 부위는 필터(161, 261)가 설치됨으로써, 필터(161, 261)는 공정가스와 퍼지가스가 제1공급밸브(113, 213)와 제1배기밸브(112, 212)를 통과하기 전에 여과처리함은 물론 밸브조립체(190, 290) 외측에서 분리결합가능하다.
상기에서, 밸브조립체(190, 290)는 퍼지라인(173, 273)에 유입되는 퍼지가스의 역류를 방지하는 체크밸브(151, 251)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
따라서 밸브조립체(190, 290)는 퍼지가스를 공급할 시에 공급라인(171, 271)의 내압이 더 높을 경우에도 잔류 가스 또는 퍼지가스가 퍼지라인(173, 273)측으로 역류되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
더욱이 체크밸브(151, 251)가 밸브조립체(190, 290)에 직접 결합되어 퍼지라인(173, 273)으로 퍼지가스가 재유입되는 것을 방지하여 퍼지경로를 최소화하므로 퍼지가스의 소모량을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
또한 퍼지가스의 소모량이 최소화되므로 배기라인(172, 272)을 통하여 배기되는 배기가스의 양도 최소화하여 정화장치(미도시)의 수명 및 배관 수명도 연장시킬 수 있고, 배기타임을 단축하여 퍼지공정 및 가스용기(101 또는 201) 교체에 소요되는 시간을 단축시키는 장점이 있다.
한편 미설명된 부호 311은 가스용기(101 또는 102) 교환 후 리크(leak) 여부 점검시 고압의 질소가스를 공급하기 위해 설치된 누설점검용 밸브이다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.
상기한 바와 같이 본 발명은, 공정가스 및 퍼지가스를 밸브통과 전에 여과처 리할 수 있으므로 밸브에 이물질이 유입되는 현상을 방지하여 밸브수명을 연장시키는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 소모성 부품인 필터가 밸브조립체 외측에서 교체가능하므로 필터교체작업을 용이하게 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 체크밸브가 밸브조립체에 직접 결합되어 퍼지라인으로 퍼지가스가 재유입되는 것을 방지하여 퍼지경로를 최소화하므로 퍼지가스의 소모량을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 퍼지가스의 소모량이 최소화되므로 배기라인을 통하여 배기되는 배기가스의 양도 최소화하여 정화장치 및 배관 수명도 연장시킬 뿐만 아니라 배기타임을 단축하여 퍼지공정 및 가스용기 교체에 소요되는 시간을 단축시키는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 가스용기의 공정가스를 공정챔버로 이송하는 공급라인;
    상기 공급라인의 퍼지시 상기 공급라인에 퍼지가스를 공급하는 퍼지라인;
    상기 공급라인의 퍼지공정시 상기 공급라인에 잔류된 가스를 배기하는 배기라인; 및
    상기 공급라인상의 초입에 설치되어 상기 퍼지라인 및 상기 배기라인과 소통연결되고, 상기 공급라인을 개폐하는 공급밸브와 상기 배기라인을 개폐하는 배기밸브가 결합되며, 퍼지가스 또는 공정가스가 상기 공급밸브 및 배기밸브를 통과하기 전에 여과처리하는 필터가 설치되는 밸브조립체를 포함하는 전자소재 제조용 가스공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 밸브조립체는,
    상기 필터가 외측에서 분리결합 가능하도록 설치된 것을 특징으로 하는 전자소재 제조용 가스공급장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 밸브조립체는,
    상기 가스용기에서 이송되는 공정가스가 상기 필터측을 경유하여 상기 각 밸 브를 통과 후 상기 공급라인으로 공급되도록 그 내부에 형성되는 관로를 포함하는 전자소재 제조용 가스공급장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 밸브조립체는,
    상기 퍼지라인에 유입되는 퍼지가스의 역류를 방지하는 체크밸브를 더 포함하는 전자소재 제조용 가스공급장치.
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