KR20080059039A - Tray receiving and transferring device - Google Patents

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KR20080059039A
KR20080059039A KR1020070120755A KR20070120755A KR20080059039A KR 20080059039 A KR20080059039 A KR 20080059039A KR 1020070120755 A KR1020070120755 A KR 1020070120755A KR 20070120755 A KR20070120755 A KR 20070120755A KR 20080059039 A KR20080059039 A KR 20080059039A
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KR1020070120755A
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유키히로 이마에다
나오키 고토
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

An apparatus for receiving and transferring a tray is provided to combine a plurality of trays stacked in a stepped form and divide the trays into multiple parts by using a supporting unit and a maintenance unit, thereby receiving and transferring a desired number of trays. An apparatus for receiving an transferring a tray includes a supporting unit(26) and a maintenance unit(28,30,31,32). The supporting unit supports first trays(22) stacked in a stepped form. The maintenance unit maintains the first trays on the supporting unit such that the supporting unit supports second trays stacked in a stepped form. At least one of the supporting unit and the maintenance unit is vertically moved.

Description

트레이 수령 및 전달 장치{TRAY RECEIVING AND TRANSFERRING DEVICE}Tray Receiving and Transfer Device {TRAY RECEIVING AND TRANSFERRING DEVICE}

본 발명은 계단형으로 적재된 트레이의 수령 및 전달에 관한 것으로서, 특히 계단형 적재 트레이와 계단형 적재 트레이를 더욱 중첩시키는 것에 관한 것이다.The present invention relates to the receipt and delivery of stepped stacked trays, and more particularly to the further stacking of the stepped stacked trays and the stepped stacked trays.

출원인은 액정기판 등을 트레이에 탑재하여 반송하는 시스템을 개발하고 있으며, 특허문헌 1에서 계단형으로 적재된 트레이로부터 트레이를 한 장씩 반출하는 시스템을 제안하였다. 그런데, 처리장치에 의해 일괄적으로 처리할 수 있는 기판의 수가 다르다는, 즉, 처리장치 사이에서 반송할 때의 트레이의 적재 수와, 카세트 등에 보관할 때의 적재 수가 다르다는 등의 문제가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해서는, 계단형으로 적재된 트레이를 분할하거나, 혹은 계단형으로 적재된 트레이에 다시 계단형으로 적재된 트레이를 중첩시킬 수 있으면 좋다.Applicant has developed a system for carrying a liquid crystal substrate or the like on a tray and conveying it, and has proposed a system for carrying out trays one by one from a tray loaded in a step shape in Patent Document 1. By the way, there is a problem that the number of substrates that can be collectively processed by the processing apparatus is different, that is, the number of stacks of trays to be transported between the processing apparatuses and the number of stacks to be stored in a cassette or the like is different. In order to solve this problem, what is necessary is just to divide a tray stacked in a stepped form, or to superimpose the tray which was stacked in a stepped form again on the tray loaded in a stepped form.

[특허문헌 1] 일본국 특허출원 제2006-8646호[Patent Document 1] Japanese Patent Application No. 2006-8646

본 발명의 과제는, 계단형으로 적재된 트레이를 쌓아 늘리거나 분리할 수 있도록 하여, 보관설비나 처리장치에서 필요로 하는 수의 계단형 적재 트레이를 수령 및 전달할 수 있도록 하는 데 있다. 또한, 추가적인 과제는, 계단형 적재 트레이를 정렬시켜 계단형 적재 트레이를 정확하게 쌓아 늘리도록 하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to enable stacking or stacking of stacked trays in a stepped manner so that the number of stepped stacking trays required by a storage facility or a processing apparatus can be received and delivered. In addition, an additional task is to align the stepped stacking trays so that the stepped stacking trays can be accurately stacked up.

본 발명에 따른 트레이의 수령 및 전달 장치는, 복수의 트레이를 계단형으로 적재한 제 1 계단형 적재 트레이를, 외부와의 수령 및 전달이 가능하도록 지지하기 위한 지지수단과, 상기 지지수단 상의 상기 제 1 계단형 적재 트레이를 상기 지지수단의 상방에서 유지시킴으로써, 상기 지지수단으로 제 2 계단형 적재 트레이를 지지할 수 있도록 하기 위한 유지수단을 설치하는 동시에, 상기 지지수단 내지는 상기 유지수단 중 적어도 한쪽은 승강이 가능하도록 한 것을 특징으로 한다.An apparatus for receiving and delivering a tray according to the present invention includes: support means for supporting a first stepped stacking tray in which a plurality of trays are stacked in a stepped manner so as to be received and delivered to the outside; At least one of the supporting means or the holding means is provided while holding means for holding the first stepped stacking tray above the supporting means to support the second stepped stacking tray with the supporting means. Is characterized in that the lifting is possible.

또한, 본 발명에 따른 트레이의 수령 및 전달 장치는, 복수의 트레이를 계단형으로 적재한 제 1 계단형 적재 트레이를, 외부와의 수령 및 전달이 가능하도록 지지하기 위한 지지수단과, 상기 지지수단 상의 상기 제 1 계단형 적재 트레이를 상기 지지수단의 하방에서 유지시킴으로써, 상기 지지수단으로 제 2 계단형 적재 트레이를 지지할 수 있도록 하기 위한 유지수단을 설치하는 동시에, 상기 지지수단 내지는 상기 유지수단 중 적어도 한쪽은 승강이 가능하도록 한다.In addition, the receiving and transmitting device of the tray according to the present invention, the support means for supporting the first stepped stacking tray in which a plurality of trays are stacked in a step shape so as to receive and transfer to the outside, and the support means A holding means for supporting the second stepped stacking tray with the support means by holding the first stepped stacking tray on the lower side of the support means; At least one side is allowed to be elevated.

상기 제 1 및 제 2 계단형 적재 트레이 중 하방의 계단형 적재 트레이를 정렬시키기 위한 정렬수단을 설치하는 것이 바람직하다.It is preferable to provide an alignment means for aligning the downward stepped stacking trays among the first and second stepped stacking trays.

본 발명에 따르면, 유지수단에 의해 계단형 적재 트레이를 지지수단의 상방 혹은 하방에서 유지시키며, 지지수단 혹은 유지수단을 승강시켜 다른 계단형 적재 트레이에 중첩시킴으로써, 복수의 계단형 적재 트레이를 합체시킬 수가 있다. 또한, 계단형 적재 트레이의 일부를 유지수단에 의해 유지함으로써, 계단형 적재 트레이를 복수로 분할할 수가 있다. 이로써, 보관설비나 처리장치에서 필요로 하는 수의 계단형 적재 트레이를 작성하여 수령 및 전달할 수가 있다.According to the present invention, a plurality of stepped stacking trays can be coalesced by holding the stepped stacking tray above or below the supporting means by the holding means, and elevating the supporting means or holding means and overlapping the other stepped stacking trays. There is a number. In addition, by holding a part of the stepped stacking tray by the holding means, the stepped stacking tray can be divided into a plurality. As a result, the number of stepped stacking trays required by the storage facility or the processing apparatus can be created, received and delivered.

여기서, 복수의 계단형 적재 트레이에서 하방의 계단형 적재 트레이를 정렬시키면, 계단형 적재 트레이를 정확하게 쌓아 늘릴 수가 있다.Here, when the lower stepped stacking trays are aligned in the plurality of stepped stacking trays, the stepped stacking trays can be accurately stacked up.

이하에서는 본 발명을 실시하기 위한 최적의 실시예를 나타내도록 한다.Hereinafter, the best embodiment for carrying out the present invention will be shown.

도 1 내지 도 8은 실시예와 그 변형을 나타낸다. 각 도면에 있어서 도면부호 2는 트레이, 4 및 5는 프레임이며, 프레임(4)은 프레임(5)보다 높은 위치에 있다. 트레이(2)의 바닥면에는 복수의 가로대(crosspiece ; 6)를 걸치고, 그 사이를 개구(9)로 하며, 프레임(4,5)에 돌기(7)와 스페이서(8)를 설치하여, 상하의 트레이(2,2) 사이에서 돌기(7)와 스페이서(8)를 걸림결합시킬 수 있도록 한다. 복수의 트레이(2)가 돌기(7)와 스페이서(8)에 의해 걸림결합되어 계단형으로 적재된 상태를 '밀착상태'라 한다.1 to 8 show examples and variations thereof. In each figure, reference numeral 2 is a tray, 4 and 5 are frames, and the frame 4 is at a higher position than the frame 5. The bottom surface of the tray 2 is fitted with a plurality of crosspieces 6, and the openings 9 are interposed therebetween, and the projections 7 and the spacers 8 are provided on the frames 4 and 5 so that the upper and lower sides are provided. The protrusions 7 and the spacers 8 can be engaged between the trays 2 and 2. The state in which the plurality of trays 2 are engaged by the protrusions 7 and the spacers 8 and stacked in a stepped manner is referred to as a 'close state'.

실시예의 트레이(2)는 액정기판의 반송이나 보관에 이용되며, 그 밖에도 판형상의 부재를 반송 및 보관하는데 이용할 수가 있다. 트레이(2)를 사용하는 환경은 크린 룸 내부이며, 트레이(2)는 계단형으로 적재된 상태에서 무인반송차 혹은 스택커 크레인 등에 의해 반송되고, 또 계단형으로 적재된 트레이는 그대로, 혹은 카세트 등에 수용되어 자동창고의 선반 등에 보관된다. 계단형으로 적재된 트레이 로부터 트레이를 한 장씩 반출하고, 트레이(2)와 수용된 액정기판을 개구(9)를 이용해 분리하여 액정기판을 처리장치에 공급한다. 또한, 계단형으로 적재된 트레이를 받아들여 트레이를 한 장씩 분리하고, 액정기판을 꺼내어 처리장치에 공급하는 장치를 '로더'라 한다. 로더는, 처리장치로부터 배출된 액정기판을 트레이에 세팅하며 액정기판이 세팅된 트레이를 계단형으로 적재한다.The tray 2 of the embodiment is used for conveyance or storage of a liquid crystal substrate, and can also be used for conveyance and storage of a plate-shaped member. The environment in which the trays 2 are used is inside a clean room, and the trays 2 are conveyed by an unmanned carrier or stacker crane in a state of being stacked in a stepped manner, and the trays stacked in a stepped shape are intact or a cassette. It is housed in the back and stored in the shelves of automatic warehouse. The trays are taken out one by one from the stacked trays, and the tray 2 and the accommodated liquid crystal substrate are separated using the opening 9 to supply the liquid crystal substrate to the processing apparatus. In addition, a device that receives a tray stacked in a step shape, separates the trays one by one, takes out the liquid crystal substrate, and supplies the same to the processing apparatus is called a 'loader'. The loader sets the liquid crystal substrate discharged from the processing apparatus to the tray and loads the tray on which the liquid crystal substrate is set in a stepped manner.

도 3은 실시예에 따른 트레이의 수령 및 전달 장치가 탑재된 무인반송차(20)를 나타낸다. 도면부호 22는 계단형 적재 트레이로서 트레이 격납부(24) 내에 수납되고, 이송장치(26)는 지지수단의 예이며, 슬라이드 포크 혹은 스칼라 아암, 컨베이어 등을 들 수 있다. 클로(爪)(28)는 진퇴(進退)구동부(30)에 의해 계단형 적재 트레이(22)측을 향해 진퇴할 수 있으며, 스페이서(8)에 의해 형성되는 트레이(2,2) 사이의 틈에 진입하여 가이드 레일(31)을 따라 벨트(32) 등의 승강부재에 의해 승강한다. 클로(28) ~ 벨트(32)에 의해 유지수단이 구성된다. 클로(28)는 계단형 적재 트레이(22)의 임의의 위치에 진입할 수 있으므로, 계단형 적재 트레이(22)를 임의의 수씩 상하 2개의 계단형 적재 트레이로 분할시킬 수가 있다. 또한, 계단형 적재 트레이(22)를 클로(28)에 의해 상방으로 들어올리고(리프트-업), 이송장치(26)에 의해 다른 계단형 적재 트레이를 반입한 후에 클로(28)를 하강시키면, 2개의 계단형 적재 트레이를 합체시킬 수가 있다. 도면부호 34는 푸셔로서, 가령, 계단형 적재 트레이(22)의 최하단의 트레이를 정렬시키는 것이다.3 shows an unmanned vehicle 20 mounted with a tray receiving and transmitting device according to an embodiment. Reference numeral 22 denotes a stepped stacking tray, which is housed in the tray storage 24, and the conveying device 26 is an example of the supporting means, such as a slide fork or a scalar arm, a conveyor, or the like. The claw 28 can be advanced and retracted toward the stepped stacking tray 22 side by the forward and backward drive unit 30, and there is a gap between the trays 2 and 2 formed by the spacer 8. Entering and descending by the elevating member such as the belt 32 along the guide rail (31). The holding means is comprised by the claws 28-the belt 32. Since the claws 28 can enter any position of the stepped stacking tray 22, the stepped stacking tray 22 can be divided into two stepped stacking trays up and down by arbitrary numbers. In addition, when the stepped stacking tray 22 is lifted upward by the claw 28 (lift-up) and the other stepped stacking tray is loaded by the feeder 26, the claw 28 is lowered. Two stepped stacking trays can be combined. Reference numeral 34 denotes a pusher, for example, to align the lowermost tray of the stepped stacking tray 22.

도 4는 계단형 적재 트레이(22)의 조작을 나타낸다. 도 3의 클로(28)를 원하는 위치로 진출시켜 상승시킴으로써, 계단형 적재 트레이(22)를 복수의 계단형 적재 트레이(36,37)로 분리할 수 있다. 하방의 계단형 적재 트레이(36)는 도 3의 이송장치(26)에 의해 처리장치의 로더 등에 반입할 수 있다. 반대로, 계단형 적재 트레이(22)를 클로(28)에 의해 상승시켜 두고, 이송장치(26)에 다른 계단형 적재 트레이(36)를 받아들이도록 하여 합체시킬 수도 있다.4 shows the operation of the stepped stacking tray 22. By moving the claw 28 of FIG. 3 to the desired position and raising it, the stepped stacking tray 22 can be separated into a plurality of stepped stacking trays 36 and 37. The lower stepped stacking tray 36 can be carried in the loader or the like of the processing apparatus by the feeder 26 of FIG. 3. On the contrary, the stepped stacking tray 22 may be raised by the claws 28, and the feeder 26 may be brought in to accept another stepped stacking tray 36 to merge.

이로써 이하의 조작이 가능해진다. 가령, 계단형 적재 트레이를 보관하는 카세트나 선반 등에서는, 트레이를 40장 단위로 보관하는 것으로 한다. 처리장치가 필요로 하는 계단형 적재 트레이의 수는 그 처리능력 등에 따라 다양하다. 예컨대, 20장 단위의 계단형 적재 트레이를 요구하는 처리장치와, 10장 단위로 요구하는 처리장치가 있는 것으로 한다. 이에, 도 3의 트레이 격납부(24)의 수용 매수(枚數)를 최대의 계단형 적재 매수인 40장으로 맞추고, 클로(28)를 이용하여 계단형 적재 트레이(22)로부터 필요한 수의 트레이를 꺼내어 처리장치로 공급한다. 또, 이송장치(26)에 의해 지지되어 있는 계단형 적재 트레이를 클로(28)에 의해 상방으로 퇴피시켜, 처리장치로부터 계단형 적재 트레이를 새롭게 받아들이고 클로(28)를 하강시켜 2개의 계단형 적재 트레이를 합체시킨다. 이렇게 하면 카세트 혹은 선반에서의 보관능력에 낭비가 발생하지 않으며, 처리장치가 필요로 하는 수의 계단형 적재 트레이를 공급할 수가 있다.This enables the following operations. For example, in a cassette or shelf for storing a stepped stack tray, the trays are to be stored in units of 40 sheets. The number of stepped stacking trays required by the processing apparatus varies depending on the processing capacity and the like. For example, it is assumed that there is a processing apparatus that requires a stepped stacking tray of 20 sheets and a processing apparatus that requires 10 sheets. Accordingly, the number of sheets of the tray storage part 24 of FIG. 3 is set to 40 sheets, which is the maximum number of stepped stacks, and the required number of trays from the stepped stacking tray 22 is used by the claws 28. Take it out and feed it to the processing unit. In addition, the stepped stacking tray supported by the conveying device 26 is evacuated upward by the claws 28, the stepped stacking tray is newly received from the processing apparatus, the claws 28 are lowered, and the two stepped stackings. Integrate the tray. This avoids waste of storage capacity in cassettes or shelves and can supply as many stepped stacking trays as the processing apparatus requires.

트레이의 돌기와 스페이서가 정확히 걸림결합하여 계단형 적재 트레이가 안정되도록 하기 위하여, 혹은 로더 등에 트레이를 정확한 위치에서 공급하기 위하여 트레이를 정렬시키는 것이 바람직하다. 이에 따라 도 3의 무인반송차(20)의 푸셔(34)는, 이송장치(26)상의 트레이에 대하여 프레임(4,5) 등을 양측으로부터 눌러 정렬시킨다. 또한, 푸셔(34)는 진퇴구동부(38)에 의해 진퇴가 자유롭고, 클로(28)와는 간섭하지 않는 위치에 설치되어 있다. 이렇게 하면 계단형 적재 트레이(22)에 대하여, 그 최하단의 트레이를 정렬시킬 수가 있다. 진퇴구동부(38)를 승강이 가능하도록 하면, 정렬시키고자 하는 트레이보다 상방의 트레이를 클로(28)에 의해 퇴피시키고, 남은 계단형 적재 트레이의 최상단의 트레이를 정렬시킴으로써, 계단형 적재 트레이(22) 중의 임의의 트레이를 정렬시킬 수가 있다.It is preferable to align the trays so that the projections and the spacers of the trays are correctly engaged to stabilize the stepped stacking trays, or to feed the trays at the correct positions to the loader or the like. As a result, the pusher 34 of the unmanned vehicle 20 of FIG. 3 presses the frames 4 and 5 and the like on both sides of the tray on the feeder 26. In addition, the pusher 34 is provided at a position where the forward and backward movement is freed by the forward and backward drive unit 38 and does not interfere with the claw 28. In this way, the lowermost tray can be aligned with respect to the stepped stacking tray 22. When the forward and backward drive unit 38 is allowed to be lifted and lowered, the tray above the tray to be aligned is evacuated by the claws 28, and the uppermost tray of the remaining stepped stacking trays is aligned, whereby the stepped stacking tray 22 Any tray can be aligned.

돌기와 스페이서간의 걸림결합을 이용하지 않는 트레이의 경우, 혹은 빈 트레이를 정렬시키는 경우에는, 도 6과 같이 푸셔(40)를 진퇴구동부(42)에 의해 진퇴시켜, 계단형 적재 트레이(22)의 좌우 양측 혹은 전후 쌍방으로부터 누름으로써, 계단형 적재 트레이(22)를 일괄적으로 정렬시킬 수가 있다.In the case of the tray which does not use the engagement between the projection and the spacer, or when the empty tray is aligned, the pusher 40 is advanced by the retraction drive unit 42 as shown in FIG. By pressing from both sides or both front and back, the stepped stacking tray 22 can be aligned collectively.

도 7은 실시예에 따른 트레이의 수령 및 전달 장치를 이용한 로더(50)를 나타낸다. 또, 도 1 내지 도 6의 도면부호에 100이나 200 혹은 300 등을 붙인 부호는 동일한 것을 나타내며, 도 1 내지 도 6의 실시예에 관한 기재는, 특별히 단정짓지 않는 한, 도 7의 로더(50)에도 그대로 부합된다. 도면부호 52는 이송장치로서, 도 7의 좌측의 위치(실선)와 우측의 위치(쇄선)의 사이를 좌우로 움직일 수가 있으며, 승강이 가능한 롤러(54)를 구비하여 트레이(2)로부터 액정기판(56)을 반입반출한다. 이송장치(52)의 상부에는, 이송장치 진입공간(58,59)이 있으며, 도 3의 무인반송차(20)의 이송장치(26) 등이 진입하는 공간이다. 도면부호 122,222는 액정기판을 수납한 트레이를 계단형으로 적재한 계단형 적재 트레이이고, 322는 빈 트레이를 계단형으로 적재한 계단형 적재 트레이이다. 도면부호 128,228,328,428은 클로, 130,230은 진퇴 드라이브, 131,231,331은 가이드 레일이다. 클로(128,228,328,428)는 진퇴 드라이브(130,230) 등에 의해 진퇴와 승강이 가능하며, 클로(128)가 지지수단에 대응되고, 외부로부터의 이송장치에 의해 클로(128)상의 계단형 적재 트레이(122)를 이송할 수가 있다. 또, 클로(228)는 유지수단에 대응된다.7 shows a loader 50 using a tray receiving and delivery device according to an embodiment. In addition, the code | symbol which attached | subjected 100, 200, 300, etc. to the code | symbol of FIGS. 1-6 shows the same thing, and the description concerning the Example of FIGS. 1-6 is the loader 50 of FIG. ) Also applies. Reference numeral 52 denotes a conveying apparatus, which is capable of moving left and right between the position on the left side (solid line) and the position on the right side (dashed line) in FIG. 7, and is provided with a roller 54 capable of lifting up and down from the tray 2. Import and export 56). The upper part of the conveyance apparatus 52 has the conveyance apparatus entry spaces 58 and 59, and is a space into which the conveyance apparatus 26 etc. of the unmanned transportation vehicle 20 of FIG. Reference numerals 122 and 222 denote stepped stacking trays in which trays containing liquid crystal substrates are stacked, and step 322 denotes stepped stacking trays in which empty trays are stacked. Reference numerals 128,228,328,428 are claws, 130,230 are forward and backward drives, and 131,231,331 are guide rails. The claws 128, 228, 328, 428 are capable of advancing and elevating by the forward and backward drives 130, 230, etc., the claws 128 correspond to the supporting means, and the stepped stacking tray 122 on the claws 128 is transported by a conveying device from the outside. You can do it. In addition, the claw 228 corresponds to the holding means.

무인반송차 등의 이송장치로부터 계단형 적재 트레이를 받아들이기 전에, 클로(128)를 하강시켜 계단형 적재 트레이(122)와 계단형 적재 트레이(222)를 합체시킨다. 이어서 클로(128)를 상승시켜 공간(58)에 슬라이드 포크 등의 이송장치를 받아들이고, 받아들여진 계단형 적재 트레이를 클로(128)에 의해 유지한다. 그리고, 무인반송차 등의 이송장치가 후퇴하면, 계단형 적재 트레이의 수용이 완료된다. 이송장치(52)는, 액정기판(56)을 도시되지 않은 처리장치쪽으로 롤러(54)에 의해 한 장씩 반입하며, 빈 트레이를 도 7의 우측으로 반송한다. 이송장치(52)가 도 7의 좌측으로 복귀하면, 클로(228)가 하강하여 계단형 적재 트레이(222)를 이송장치(52)상으로 옮기며, 최하단의 트레이를 남겨두고 나머지 계단형 적재 트레이(222)를 상승시킨다(리프트-업). 이로써, 처리장치에 액정기판(56)을 한 장씩 공급할 수가 있다.Before receiving the stepped stacking tray from a conveying device such as an unmanned carrier, the claw 128 is lowered to coalesce the stepped stacking tray 122 and the stepped stacking tray 222. The claw 128 is then raised to receive a transfer device such as a slide fork in the space 58, and the received stepped stacking tray is held by the claw 128. Then, when a transfer device such as an unmanned carrier vehicle retreats, the reception of the stepped stacking tray is completed. The conveying apparatus 52 carries the liquid crystal substrate 56 one by one to the processing apparatus not shown by the roller 54, and conveys an empty tray to the right side of FIG. When the feeder 52 returns to the left side of FIG. 7, the claw 228 is lowered to move the stepped stacking tray 222 onto the feeder 52, leaving the lowermost tray and the remaining stepped stacking tray ( 222 is raised (lift-up). Thereby, the liquid crystal substrate 56 can be supplied one by one to the processing apparatus.

도 7의 로더(50)의 우측에서는 빈 트레이를 보관하며, 빈 트레이가 이송장치(52)에 의해 반입되면, 클로(328)를 하강시켜 계단형 적재 트레이(322)와 합체한다. 클로(328)상의 계단형 적재 트레이(322)가 소요(所要) 수에 도달하면, 클로(328)를 상승시키거나 혹은 클로(428)를 하강시켜 클로(428)로 옮긴다. 그리고, 클로(428)에 의해 지지되어 있는 빈 계단형 적재 트레이를, 공간(59)으로 진입된 무인반송차 등의 이송장치로 옮긴다. 또, 이송장치(52)상에서 푸셔(34)에 의해 최하단의 트레이를 정렬시켜, 처리장치로 공급할 액정기판(56)의 위치를 조절한다. 또한, 계단형 적재 트레이(322)에 대하여 푸셔(40)에 의해 정렬을 수행한다.On the right side of the loader 50 in FIG. 7, empty trays are stored. When the empty trays are loaded by the transfer device 52, the claws 328 are lowered to merge with the stepped stacking tray 322. When the stepped stacking tray 322 on the claw 328 reaches the required number, the claw 328 is raised or the claw 428 is lowered to move to the claw 428. Then, the empty stepped stacking tray supported by the claw 428 is transferred to a conveying device such as an unmanned transport vehicle entering the space 59. Further, the lowermost tray is aligned by the pusher 34 on the transfer device 52 to adjust the position of the liquid crystal substrate 56 to be supplied to the processing device. Further, alignment is performed by the pusher 40 with respect to the stepped stacking tray 322.

처리장치로부터 배출된 액정기판에 대하여, 상기와 반대의 처리를 실행하여 계단형 적재 트레이(322)로부터 빈 트레이 한 장을 이송장치(52)에 의해 도 7의 좌측으로 이동시키고, 롤러(54)에서 액정기판을 받아들여 클로(228)를 이용해 계단형 적재 트레이(222)와 합체시킨다. 다음으로 클로(128,228)를 이용하여 계단형 적재 트레이(122,222)를 합체하고 무인반송차 등에 반출한다.With respect to the liquid crystal substrate discharged from the processing apparatus, a process opposite to the above is carried out to move one empty tray from the stepped stacking tray 322 to the left side of FIG. 7 by the transfer apparatus 52, and the roller 54 The liquid crystal substrate is received and incorporated into the stepped stacking tray 222 using the claw 228. Next, the stepped stacking trays 122 and 222 are coalesced using the claws 128 and 228 and carried out to an unmanned transport vehicle or the like.

도 7의 로더(50)에서는, 계단형 적재 트레이(222)의 수가 적어지면, 계단형 적재 트레이(122)를 클로(128)에 의해 하강시켜 계단형 적재 트레이(222)와 합체시킨다. 따라서, 계단형 적재 트레이(222)가 비게 되는 일이 없어 처리장치쪽으로의 액정기판(56)의 공급이 중단되는 일이 없다. 또한, 계단형 적재 트레이(222)로부터 이송장치(52)로 트레이를 공급하는 작업과, 클로(128)에 대하여 계단형 적재 트레이(122)를 반입하는 작업이 독립적으로 이루어지기 때문에, 적절한 타이밍으로 계단형 적재 트레이(122)를 보급할 수가 있다.In the loader 50 of FIG. 7, when the number of the stepped stacking trays 222 decreases, the stepped stacking trays 122 are lowered by the claws 128 and merged with the stepped stacking trays 222. Therefore, the stepped stack tray 222 does not become empty and the supply of the liquid crystal substrate 56 to the processing apparatus is not interrupted. In addition, since the operation of supplying the tray from the stepped stacking tray 222 to the transfer device 52 and the operation of carrying the stepped stacking tray 122 with respect to the claw 128 are independently performed, The stepped stack tray 122 can be replenished.

도 8은 클로(28,128,228,328,428) 등을 대신하는 클로(84)의 변형예를 나타낸다. 도면부호 81,83은 가이드 레일, 82는 수평이동부이며, 가이드 레일(81)은 수평이동부(82)와 함께 가이드 레일(83)을 따라 수평이동한다. 가이드 레일(81)에는 복수의 클로(84)가 상하방향으로 배열되어 있으며, 링크(88)를 통해 체인(86)에 부착된다. 그리고, 클로(84,84) 사이에는 가령, 1개의 링크(89)가 설치된다. 또, 체인(86)은 유단(有斷), 무단(無斷)의 체인 모두 사용가능하다.8 shows a modification of the claw 84 in place of the claws 28,128,228,328,428 and the like. Reference numerals 81 and 83 are guide rails, 82 are horizontal moving parts, and the guide rails 81 move horizontally along the guide rail 83 together with the horizontal moving parts 82. A plurality of claws 84 are arranged in the guide rail 81 in the vertical direction, and are attached to the chain 86 via the link 88. For example, one link 89 is provided between the claws 84 and 84. In addition, the chain 86 can use both a stepped chain and an endless chain.

여기서, 체인(86)을 상승시키면, 클로(84,84) 사이에 틈이 생기고, 이에 따라 계단형으로 적재한 트레이(2,2) 사이에도 틈이 생긴다. 한편, 체인(86)을 하강시키면, 클로(84,84)가 밀착되며, 이에 따라 트레이(2,2)도 밀착된다. 따라서, 계단형 적재 트레이 승강장치(80)를 이용함으로써, 계단형 적재 트레이를 밀착상태와 틈이 있는 상태로 변화시킬 수가 있다. 또한, 가이드 레일(81)을 도 8의 좌측으로 퇴피시킨 상태에서 체인(86)을 원하는 위치까지 하강시키고, 이어서 가이드 레일(81)과 함께 클로(84)를 전진시킴으로써, 계단형 적재 트레이의 임의의 위치로부터 상측의 트레이를 분리하여 상승시킬 수가 있다.Here, when the chain 86 is raised, a gap is formed between the claws 84 and 84, and a gap is also generated between the trays 2 and 2 stacked in a stepped manner. On the other hand, when the chain 86 is lowered, the claws 84 and 84 are in close contact with each other, and the trays 2 and 2 are also in close contact with each other. Therefore, by using the stepped stacking tray elevating device 80, the stepped stacking tray can be changed into a close state and a gap. Further, by lowering the chain 86 to a desired position in the state where the guide rail 81 is retracted to the left side in FIG. 8, and then advancing the claw 84 together with the guide rail 81, the stepped loading tray The upper tray can be separated and raised from the position of.

도 1은 실시예에서 이용하는 트레이의 평면도이다.1 is a plan view of a tray used in the embodiment.

도 2는 실시예에서 이용하는 트레이의 측면도이다.2 is a side view of a tray used in the embodiment.

도 3은 실시예에 따른 트레이의 수령 및 전달 장치가 탑재된 무인반송차의 측면도이다.3 is a side view of an unmanned carrier vehicle equipped with a tray receiving and transmitting device according to an embodiment.

도 4는 도 3에서의 계단형 적재 트레이의 취급을 모식적으로 나타낸 도면이다.4 is a view schematically showing handling of the stepped stacking tray in FIG. 3.

도 5는 실시예에 따른 트레이의 수령 및 전달 장치에서의 트레이의 정렬을 모식적으로 나타낸 도면이다.5 is a view schematically showing the alignment of the trays in the tray receiving and delivering device according to the embodiment.

도 6은 트레이의 정렬에 관한 변형예를 모식적으로 나타낸 도면이다.6 is a diagram schematically showing a modification of the alignment of the trays.

도 7은 실시예에 따른 트레이의 수령 및 전달 장치를 적용시킨 로더의 주요부 정면도이다.7 is a front view of the main part of the loader to which the tray receiving and delivering device according to the embodiment is applied.

도 8은 변형예에서의 다단(多段)의 클로를 나타낸 도면이다.8 is a diagram illustrating a multi-stage claw in a modification.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *           Explanation of symbols on the main parts of the drawings

2 : 트레이 4,5 : 프레임2: tray 4,5: frame

6 : 가로대(crosspiece) 7 : 돌기6 crosspiece 7 protrusion

8 : 스페이서 9 : 개구8 spacer 9 opening

20 : 무인반송차 22 : 계단형 적재 트레이20: unmanned carrier 22: stair stacking tray

24 : 트레이 격납부 26 : 이송장치24: tray storage unit 26: transfer device

28 : 클로 30 : 진퇴구동부28: claw 30: forward and backward drive

31 : 가이드 레일 32 : 벨트31: guide rail 32: belt

34,40 : 푸셔 36,37 : 계단형 적재 트레이34,40 Pusher 36,37 Stepped Stacking Tray

38,42 : 진퇴구동부 50 : 로더38,42: forward and backward drive unit 50: loader

52 : 이송장치 54 : 롤러52: feeder 54: roller

56 : 액정기판 58,59 : 이송장치 진입공간56: liquid crystal substrate 58,59: entry space for the transfer device

80 : 계단형 적재 트레이 승강장치 81,83 : 가이드 레일80: stepped stack tray lifting device 81,83: guide rail

82 : 수평이동부 84 : 클로82: horizontal moving part 84: claw

86 : 체인 88,89 : 링크86: Chain 88,89: Link

122,222,322 : 계단형 적재 트레이 128,228,328,428 : 클로122,222,322: Stair Stacking Tray 128,228,328,428: Claw

130,230 : 진퇴 드라이브 131,231,331 : 가이드 레일130,230: Retreat drive 131,231,331: Guide rail

Claims (4)

복수의 트레이를 계단형으로 적재한 제 1 계단형 적재 트레이를, 외부와의 수령 및 전달이 가능하도록 지지하기 위한 지지수단과, 상기 지지수단 상의 상기 제 1 계단형 적재 트레이를 상기 지지수단의 상방에서 유지시킴으로써, 상기 지지수단으로 제 2 계단형 적재 트레이를 지지할 수 있도록 하기 위한 유지수단을 설치하는 동시에, 상기 지지수단 또는 상기 유지수단 중 적어도 한쪽은 승강이 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 트레이의 수령 및 전달 장치.A supporting means for supporting a first stepped stacking tray in which a plurality of trays are stacked in a step shape so as to be received and delivered to the outside, and the first stepped stacking tray on the support means above the support means. Holding at least one of the supporting means and the holding means to allow the elevating means to support the second stepped stacking tray. And delivery device. 복수의 트레이를 계단형으로 적재한 제 1 계단형 적재 트레이를, 외부와의 수령 및 전달이 가능하도록 지지하기 위한 지지수단과, 상기 지지수단 상의 상기 제 1 계단형 적재 트레이를 상기 지지수단의 하방에서 유지시킴으로써, 상기 지지수단으로 제 2 계단형 적재 트레이를 지지할 수 있도록 하기 위한 유지수단을 설치하는 동시에, 상기 지지수단 또는 상기 유지수단 중 적어도 한쪽은 승강이 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 트레이의 수령 및 전달 장치.Support means for supporting a first stepped stacking tray in which a plurality of trays are stacked in a step shape so as to be received and delivered to the outside, and the first stepped stacking tray on the support means below the support means. Holding at least one of the supporting means and the holding means to allow the elevating means to support the second stepped stacking tray. And delivery device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 및 제 2 계단형 적재 트레이 중 하방의 계단형 적재 트레이를 정렬시키기 위한 정렬수단을 설치한 것을 특징으로 하는 트레이의 수령 및 전달 장치.An arrangement for receiving and delivering a tray, characterized in that an alignment means for aligning a lower stepped stacking tray among the first and second stepped stacking trays is provided. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제 1 및 제 2 계단형 적재 트레이 중 하방의 계단형 적재 트레이를 정렬시키기 위한 정렬수단을 설치한 것을 특징으로 하는 트레이의 수령 및 전달 장치.An arrangement for receiving and delivering a tray, characterized in that an alignment means for aligning a lower stepped stacking tray among the first and second stepped stacking trays is provided.
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