KR20080053896A - Apparatus for manufacturing display devices, method for manufacturing device, and ink-jet type liquid supply apparatus - Google Patents

Apparatus for manufacturing display devices, method for manufacturing device, and ink-jet type liquid supply apparatus Download PDF

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KR20080053896A
KR20080053896A KR1020070127514A KR20070127514A KR20080053896A KR 20080053896 A KR20080053896 A KR 20080053896A KR 1020070127514 A KR1020070127514 A KR 1020070127514A KR 20070127514 A KR20070127514 A KR 20070127514A KR 20080053896 A KR20080053896 A KR 20080053896A
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료 이쿠타
야스쓰구 쓰루오카
고지 다케이시
다카시 미야모토
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시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤
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Abstract

A method and an apparatus for manufacturing a display device, and an ink-jet type liquid supply apparatus are provided to improve flatness of a thin film layer formed in a concave portion by preventing a film material liquid from leaking on an upper surface of a convex portion. A convex portion(2) made of an organic material is formed on a substrate(1) which is made of an inorganic material. A thin film liquid is supplied to a concave portion which is defined by the convex portion, by using an ink-jet scheme, such that a thin film is formed. A fluorine resin is accumulated in the convex portion and the concave portion(3). A rinsing device cleanses the fluorine resin which is accumulated in the concave and convex portions. The fluorine resin is accumulated by using a sputtering device(10).

Description

표시 장치의 제조 장치, 표시 장치의 제조 방법 및 잉크젯식 액 공급 장치{APPARATUS FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICES, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND INK-JET TYPE LIQUID SUPPLY APPARATUS}A manufacturing apparatus of a display apparatus, the manufacturing method of a display apparatus, and an inkjet liquid supply apparatus {APPARATUS FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICES, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND INK-JET TYPE LIQUID SUPPLY APPARATUS}

본 발명은, 컬러 필터 등의 표시 장치의 제조 장치, 표시 장치의 제조 방법 및 잉크젯식 액 공급 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the manufacturing apparatus of display apparatuses, such as a color filter, the manufacturing method of a display apparatus, and an inkjet liquid supply apparatus.

컬러 필터의 제조 방법에 있어서, 기판 상에 볼록부를 형성하고, 그 볼록부에 의해 구획된 오목부에 잉크젯 방식에 의해 박막 재료액으로서의 잉크를 공급하여 착색층(박막층)을 형성할 때, 볼록부의 상면에 잉크가 잔존하면 평탄성이나 화소 사이의 착색 균일성이 손상되므로, 볼록부를 발(撥)잉크성(발수성(撥水性))으로 하고, 오목부는 잉크의 퍼짐을 양호하게 하기 위해 친(親)잉크성(친수성(親水性))으로 하는 것이 바람직하다.In the manufacturing method of a color filter, when forming a convex part on a board | substrate and supplying ink as thin film material liquid by the inkjet method to the recessed part divided by the convex part, and forming a colored layer (thin film layer), If ink remains on the top surface, flatness and color uniformity between pixels are impaired. Therefore, the convex portion is made ink-repellent (water repellent), and the concave portion is made to have good spreading of ink. It is preferable to set it as ink property (hydrophilicity).

특허 문헌 1에 기재된 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 볼록부에 발잉크성을 부여하는 방법은, 감광성 재료로 이루어지는 볼록부 형성 재료를 유리 기판 상에 도포하고, 이 감광성 재료의 위에 발잉크 처리제를 스핀 코터(spin coater), 스프레이 코터(spray coater) 등에 의해 넓게 도포하고, 그 후, 볼록부와 오목부를 패터닝하여 형성한다. 또한, 오목부를 친잉크성으로 하는 방법은, 기판의 오목부를 자외선 조사한다.In the manufacturing method of the display apparatus of patent document 1 WHEREIN: The method of providing ink repellency to a convex part apply | coats the convex formation material which consists of a photosensitive material on a glass substrate, and applies a repellent ink treatment agent on this photosensitive material. The coating is widely applied by a spin coater, spray coater, or the like, and is then formed by patterning the convex portions and the concave portions. Moreover, the method of making a recessed part into ink ink irradiates the recessed part of a board | substrate with ultraviolet-ray.

[특허 문헌 1] 일본국 특개평 9-230129호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-230129

특허 문헌 1에 기재된 표시 장치의 제조 방법에는 다음과 같은 문제점이 있다.The manufacturing method of the display apparatus of patent document 1 has the following problems.

(1) 볼록부와 오목부를 패터닝하기 전에 발잉크 처리를 행하여만 하며, 볼록부를 형성한 후에 그 볼록부에 발잉크 처리하는 것에 대한 고려가 없다.(1) Ink repellent treatment must be performed before patterning the convex portion and the concave portion, and there is no consideration of ink repellent treatment on the convex portion after forming the convex portion.

(2) 자외선을 기판의 표면에 조사하여 오목부의 친잉크성을 높이고자 하면, 볼록부의 발잉크 처리한 부분의 친잉크성도 높아지므로, 볼록부에 발잉크 처리한 효과가 저감된다.(2) When the ultraviolet-ray is irradiated to the surface of a board | substrate, and the ink ink of the concave part is made to improve, the ink ink of the convex part ink-repelled part also becomes high, and the effect which ink repelled the convex part is reduced.

본 발명의 과제는, 볼록부와 오목부를 패터닝한 기판의 전체에 발잉크 처리하더라도, 볼록부를 발잉크성으로 하고, 오목부를 친잉크성으로 하는 것에 있다.An object of the present invention is to make the convex portion ink-repellent and to make the concave portion ink-repellent, even if the convex portion and the concave portion are ink repelled on the entire substrate.

청구항 1의 발명은, 무기 재료로 이루어지는 기판 상에 유기 재료로 이루어지는 볼록부가 형성되어 이루어지고, 그 볼록부에 의해 구획된 오목부에 잉크젯 방식에 의해 박막 재료액을 공급하여 박막층을 형성하는 표시 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 볼록부와 오목부에 불소 수지를 퇴적시키는 퇴적 장치와, 볼록부와 오목부에 퇴적한 불소 수지를 세정하는 세정 장치를 가지도록 한 것이다.A display device according to claim 1, wherein a convex portion made of an organic material is formed on a substrate made of an inorganic material, and a thin film layer is formed by supplying a thin film material liquid by an inkjet method to a recess defined by the convex portion. In the manufacturing apparatus of the invention, a deposition apparatus for depositing a fluorine resin on the convex portion and the concave portion, and a cleaning apparatus for washing the fluorine resin deposited on the convex portion and the concave portion.

청구항 2의 발명은, 청구항 1의 발명에 있어서, 상기 퇴적 장치가 스퍼터링(sputtering) 장치이도록 한 것이다.In the invention of claim 2, in the invention of claim 1, the deposition apparatus is a sputtering apparatus.

청구항 3의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2의 발명에 있어서, 상기 세정 장 치가 세정액을 순수로 하는 초음파 세정 장치이도록 한 것이다.In the invention of claim 3, in the invention of claim 1 or 2, the cleaning device is an ultrasonic cleaning device using pure water as a cleaning liquid.

청구항 4의 발명은, 무기 재료로 이루어지는 기판 상에 유기 재료로 이루어지는 볼록부가 형성되어 이루어지고, 그 볼록부에 의해 구획된 오목부에 잉크젯 방식에 의해 박막 재료액을 공급하여 박막층을 형성하는 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 볼록부와 오목부에 불소 수지를 퇴적시키고, 볼록부와 오목부에 퇴적된 불소 수지를 세정하도록 한 것이다.A display device according to claim 4, wherein a convex portion made of an organic material is formed on a substrate made of an inorganic material, and a thin film layer is formed by supplying a thin film material liquid by an inkjet method to a recess defined by the convex portion. In the manufacturing method, the fluorine resin is deposited on the convex portion and the concave portion, and the fluorine resin deposited on the convex portion and the concave portion is washed.

청구항 5의 발명은, 청구항 4의 발명에 있어서, 상기 불소 수지를 스퍼터링 장치에 의해 퇴적시키도록 한 것이다.In the invention of claim 5, in the invention of claim 4, the fluorine resin is deposited by a sputtering apparatus.

청구항 6의 발명은, 청구항 4 또는 청구항 5의 발명에 있어서, 상기 불소 수지를 초음파 세정 장치에 의해 세정하도록 한 것이다.In the invention of claim 6, in the invention of claim 4 or 5, the fluorine resin is cleaned by an ultrasonic cleaning device.

청구항 7의 발명은, 기판의 오목부에 박막 재료액을 공급하여 박막층을 형성하는 잉크젯식 액 공급 장치에 있어서, 상기 기판을 청구항 4 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 기재된 방법에 의해 제조한 기판으로 하도록 한 것이다.The inkjet liquid supply apparatus which supplies a thin film material liquid to the recessed part of a board | substrate, and forms a thin film layer, WHEREIN: The said board | substrate was produced by the method of any one of Claims 4-6. I did it.

(청구항 1, 청구항 4)(Claim 1, claim 4)

(a) 발수성 재료로서의 불소 수지는, 수지 등의 유기 재료로 이루어지는 볼록부에 대한 부착력이, 유리 등의 무기 재료로 이루어지는 기판(오목부 저면)에 대한 부착력보다 강하다. 본 발명에서는, 기판 상의 볼록부와 오목부가 패터닝된 표면에 불소 수지를 퇴적시키고, 그 후 볼록부와 오목부에 퇴적된 불소 수지를 세정한다. 불소 수지의 부착력이 약한 오목부에 퇴적되어 있던 불소 수지는 박리되고, 볼록부의 불소 수지만 남는다. 따라서, 볼록부와 오목부를 패터닝한 기판의 전체에 발잉크 처리하더라도, 볼록부를 발잉크성으로 하고, 오목부를 친잉크성으로 할 수 있다. 따라서, 오목부에 잉크젯 방식에 의해 박막 재료액을 공급하면, 오목부의 친잉크성에 의해 오목부 내에서의 박막 재료액이 양호하게 퍼지고, 볼록부의 발잉크성에 의해 볼록부의 상면에 박막 재료액이 새어 나오는 것이 방지되고, 오목부에 형성되는 박막층의 평탄성을 향상시킬 수 있다.(a) The fluororesin as a water-repellent material has stronger adhesion to convex portions made of organic materials such as resins than adhesion to substrates (bottom face) made of inorganic materials such as glass. In the present invention, the fluorine resin is deposited on the surface on which the convex portion and the concave portion on the substrate are patterned, and then the fluorine resin deposited on the convex portion and the concave portion is washed. The fluorine resin accumulated in the recessed portion where the adhesion force of the fluorine resin is weak is peeled off, leaving only the fluorine resin of the convex portion. Therefore, even when ink repelling is performed to the whole of the board | substrate which patterned the convex part and the recessed part, a convex part can be made ink repellent and a recessed part can be made into lip ink. Therefore, when the thin film material liquid is supplied to the recess by the inkjet method, the thin film material liquid in the recess is well spread by the ink ink of the recess, and the thin film material liquid leaks on the upper surface of the convex portion due to the ink repellency of the convex portion. It is prevented from coming out and the flatness of the thin film layer formed in a recessed part can be improved.

(청구항 2, 청구항 5)(Claim 2, claim 5)

(b) 스퍼터링 장치에 의해 볼록부와 오목부에 불소 수지를 효과적으로 퇴적시킬 수 있다.(b) A fluororesin can be effectively deposited in the convex part and the concave part by the sputtering apparatus.

(청구항 3, 청구항 6)(Claim 3, claim 6)

(c) 초음파 세정 장치에 의해, 볼록부와 오목부에 퇴적된 불소 수지에 충격력을 주면서 세정함으로써, 불소 수지의 부착력이 약한 오목부에 퇴적되어 있던 불소 수지를 효과적으로 박리할 수 있다.(c) By the ultrasonic cleaning device, the fluorine resin deposited on the convex portion and the concave portion is washed while giving an impact force to the fluorine resin deposited on the concave portion and the concave portion.

(청구항 7)(Claim 7)

(d) 기판의 볼록부에 불소 수지를 부착시켜서 발잉크 처리하였으므로, 볼록부의 상면에 박막 재료액이 새어 나오지 않고, 박막층의 평탄성이나 화소 사이의 착색 균일성을 향상시킬 수 있다. 또한, 오목부의 친잉크성에 의해, 오목부에 박막 재료액을 균일하게 충전하고, 박막 재료액이 양호하게 퍼지도록 할 수 있다.(d) Since the ink repellent process was carried out by attaching a fluororesin to the convex portion of the substrate, the thin film material liquid did not leak out on the upper surface of the convex portion, and the flatness of the thin film layer and the coloring uniformity between the pixels could be improved. In addition, due to the ink-inking properties of the concave portion, the concave portion can be uniformly filled with the thin film material liquid, so that the thin film material liquid can be satisfactorily spread.

도 1은 스퍼터링 장치를 나타낸 모식도, 도 2는 초음파 세정 장치를 나타낸 모식도, 도 3은 기판의 표면 처리 상태를 나타낸 모식도, 도 4는 잉크젯식 액 공급 장치를 나타낸 모식도이다.1 is a schematic diagram showing a sputtering apparatus, FIG. 2 is a schematic diagram showing an ultrasonic cleaning apparatus, FIG. 3 is a schematic diagram showing a surface treatment state of a substrate, and FIG. 4 is a schematic diagram showing an inkjet liquid supply apparatus.

본 발명은, 액정 표시 패널의 제조에 사용되는 컬러 필터의 제조 장치에 관한 것으로서, 스퍼터링 장치(10)(도 1), 초음파 세정 장치(20)(도 2), 잉크젯식 액 공급 장치(30)(도 4)를 차례로 사용함으로써, 무기 재료인 유리로 이루어지는 기판(1) 상에 형성된 유기 재료로서의 수지로 이루어지는 볼록부(2)에 의해 구획된 오목부(3)에 잉크젯 방식에 의해 박막 재료액인 잉크(4)를 공급하여 박막층으로서의 착색층을 형성하는 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter manufacturing apparatus used for manufacturing a liquid crystal display panel, wherein the sputtering device 10 (FIG. 1), the ultrasonic cleaning device 20 (FIG. 2), and the inkjet liquid supply device 30 are described. By using (FIG. 4) sequentially, the thin film material liquid by the inkjet method into the recessed part 3 partitioned by the convex part 2 which consists of resin as an organic material formed on the board | substrate 1 which consists of glass which is an inorganic material. Phosphorus ink 4 is supplied to form a colored layer as a thin film layer.

기판(1)의 볼록부(2)는, 착색층을 구획하는 것이며, 그에 따라 구획된 오목부(3)가 화소에 대응하도록 하면 되고, 스트라이프(stripe)형의 컬러 필터를 형성하는 경우에는 선형으로 형성되고, 사각의 화소에 대응시키기 위해서는 격자형으로 형성된다. 본 발명에 있어서, 볼록부(2)의 형성 방법은 한정되지 않는다.The convex part 2 of the board | substrate 1 partitions a colored layer, and what is necessary is just to make the concave part 3 partitioned accordingly correspond to a pixel, and when forming a stripe type color filter, it is linear In order to correspond to the square pixels, they are formed in a lattice shape. In this invention, the formation method of the convex part 2 is not limited.

기판(1)에서는, 볼록부(2)의 상면에 잉크(4)가 잔존하면 평탄성이나 화소 사이의 착색 균일성이 손상되므로, 볼록부(2)를 발잉크성으로 하고, 오목부(3)는 잉크(4)의 퍼짐을 양호하게 하기 위해 친잉크성으로 할 필요가 있다. 본 발명에서는, 스퍼터링 장치(10)와 초음파 세정 장치(20)를 사용하여, 볼록부(2)를 발잉크성으로 하고, 오목부(3)를 친잉크성으로 한다.In the board | substrate 1, when the ink 4 remains on the upper surface of the convex part 2, since flatness and coloring uniformity between pixels are impaired, the convex part 2 is made ink repellent and the recessed part 3 In order to improve the spreading of the ink 4, it is necessary to make it ink friendly. In the present invention, the convex portion 2 is made ink repellent, and the concave portion 3 is made inks by using the sputtering device 10 and the ultrasonic cleaning device 20.

스퍼터링 장치(10)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판(1)의 볼록부(2)와 오목부(3)에 발잉크성 재료로서의 불소 수지 F를 퇴적시킨다. 스퍼터링 장치(10)는, 저기압 가스실(11) 내의 애노드(12) 측에 기판(1)(볼록부(2)와 오목부(3)가 형성되 어 있는 기판(1)(도 3의 (A))을 배치하고, 캐소드(13) 측에 타깃재로서의 불소 수지 F의 테이프(5)를 설치한다. Ar(아르곤) 가스 등의 저기압 가스 분위기 중에서, 애노드(12)와 캐소드(13) 사이에 고주파 전원 전압을 인가하고, 가스를 전리(電離)하여 이온화하며, 이 가스 이온을 불소 수지 F의 테이프(5)에 충돌시킴으로써, 테이프(5)의 표면으로부터 외부로 튀어나오는 불소 수지 F의 입자를 기판(1)의 볼록부(2)와 오목부(3)의 표면에 낙하시켜서 퇴적시킨다(도 3의 (B)). 불소 수지 F는, 수지로 이루어지는 볼록부(2)에 대한 부착력이 강하고, 유리로 이루어지는 기판(1)(오목부(3)의 저면)에 대한 부착력은 약하다.As shown in FIG. 1, the sputtering apparatus 10 deposits the fluorine resin F as an ink repellent material on the convex portion 2 and the concave portion 3 of the substrate 1. The sputtering apparatus 10 is a substrate 1 (a convex portion 2 and a concave portion 3 formed on the anode 12 side in the low-pressure gas chamber 11 (FIG. 3A). ) And a tape 5 of fluorine resin F as a target material on the side of the cathode 13. In a low-pressure gas atmosphere such as Ar (argon) gas, between the anode 12 and the cathode 13 Particles of fluororesin F protruding from the surface of the tape 5 to the outside by applying a power supply voltage, ionizing the gas to ionize, and colliding the gas ions with the tape 5 of the fluororesin F It is dropped to the surface of the convex part 2 and the recessed part 3 of (1), and it deposits (FIG. 3B) .Fluorine resin F has strong adhesive force with respect to the convex part 2 which consists of resin, The adhesion force to the board | substrate 1 (bottom surface of the recessed part 3) which consists of glass is weak.

초음파 세정 장치(20)는, 용기(21)의 바닥 외측에 초음파 진동자(22)를 구비하고, 용기(2l)에 수용되는 순수(純水) W를 세정액으로 한다. 스퍼터링 장치(10)로 불소 수지 F를 퇴적시킨 기판(1)을 용기(21)의 순수 W 내에 침지(浸漬)시키어 용기(21)의 저면 상에 두고, 초음파 진동자(22)를 구동하여 볼록부(2)와 오목부(3)에 퇴적되어 있는 불소 수지 F를 세정한다. 불소 수지 F의 부착력이 약한 오목부(3)에 퇴적되어 있던 불소 수지 F는 박리되고, 볼록부(2)의 불소 수지 F만 남는다(도 3의 (C)). 불소 수지 F가 부착된 볼록부(2)의 표면은 발잉크성을 나타내고, 불소 수지 F가 박리된 오목부(3)의 저면은 유리면에 기인(起因)한 친잉크성을 나타낸다.The ultrasonic cleaning apparatus 20 is equipped with the ultrasonic vibrator 22 in the bottom outer side of the container 21, and makes pure water W accommodated in the container 2l the washing | cleaning liquid. The substrate 1 on which the fluorine resin F is deposited by the sputtering apparatus 10 is immersed in the pure water W of the vessel 21 and placed on the bottom surface of the vessel 21, and the ultrasonic vibrator 22 is driven to convex portions. The fluororesin F deposited on (2) and the recesses 3 is washed. The fluororesin F, which has been deposited in the concave portion 3 having a weak adhesive force of the fluororesin F, is peeled off, leaving only the fluororesin F of the convex portion 2 (FIG. 3C). The surface of the convex part 2 with a fluororesin F shows ink repellency, and the bottom face of the recessed part 3 with which the fluororesin F peeled off shows the lip ink which originated in a glass surface.

본 실시예에서는, 스퍼터링 장치(10)와 초음파 세정 장치(20)를 사용한 것에 의해, 이하의 작용 효과를 얻을 수 있다.In the present embodiment, the following effects can be obtained by using the sputtering apparatus 10 and the ultrasonic cleaning apparatus 20.

(a) 발수성 재료로서의 불소 수지 F는, 수지 등의 유기 재료로 이루어지는 볼록부(2)에 대한 부착력이, 유리 등의 무기 재료로 이루어지는 기판(1)(오목부(3)의 저면)에 대한 부착력보다 강하다. 본 발명에서는, 기판(1) 상의 볼록부(2)와 오목부(3)가 패터닝된 표면에 불소 수지 F를 퇴적시키고, 그 후, 볼록부(2)와 오목부(3)에 퇴적된 불소 수지 F를 세정한다. 이 세정에 의해 불소 수지 F의 부착력이 약한 오목부(3)에 퇴적되어 있던 불소 수지 F는 박리되고, 볼록부(2)의 불소 수지 F만 남는다. 따라서, 볼록부(2)와 오목부(3)를 패터닝한 기판(1) 전체에 발잉크 처리하더라도, 볼록부(2)를 발잉크성으로 하고, 오목부(3)를 친잉크성으로 할 수 있다.(a) The fluorine resin F as the water repellent material has an adhesive force to the convex portion 2 made of an organic material such as resin to the substrate 1 (the bottom face of the concave portion 3) made of an inorganic material such as glass. It is stronger than adhesion. In the present invention, the fluorine resin F is deposited on the surface where the convex portion 2 and the concave portion 3 on the substrate 1 are patterned, and thereafter, the fluorine deposited on the convex portion 2 and the concave portion 3. Resin F is washed. By this washing, the fluorine resin F deposited in the concave portion 3 having a weak adhesive force of the fluorine resin F is peeled off, leaving only the fluorine resin F of the convex portion 2. Therefore, even when ink repelling is performed to the whole board | substrate 1 which patterned the convex part 2 and the recessed part 3, the convex part 2 shall be ink repellent and the recessed part 3 may be made into an ink repellent property. Can be.

따라서, 오목부(3)에 잉크젯식 액 공급 장치(30)에 의해 잉크(4)를 공급했을 때는, 오목부(3)의 친잉크성에 의해 오목부(3) 내에서 잉크(4)가 양호하게 퍼지고, 또한, 볼록부(2)의 발잉크성에 의해 오목부(3)에 공급된 잉크(4)가 볼록부(2)의 상면에 새어 나오는 것이 방지되고, 오목부(3)에 형성되는 착색층의 평탄도 및 착색 균일성을 향상시킬 수 있다.Therefore, when the ink 4 is supplied to the recessed part 3 by the inkjet liquid supply apparatus 30, the ink 4 is favorable in the recessed part 3 by the ink ink of the recessed part 3. The ink 4 supplied to the recesses 3 by the ink repellency of the protrusions 2 is prevented from leaking to the upper surface of the protrusions 2, and is formed in the recesses 3. The flatness and coloring uniformity of a colored layer can be improved.

(b) 스퍼터링 장치(10)에 의해 볼록부(2)와 오목부(3)에 불소 수지 F를 효과적으로 퇴적시킬 수 있다.(b) By the sputtering apparatus 10, the fluororesin F can be effectively deposited on the convex portion 2 and the concave portion 3.

(c) 초음파 세정 장치(20)에 의해, 볼록부(2)와 오목부(3)에 퇴적된 불소 수지 F에 충격력을 주면서 세정함으로써, 불소 수지 F의 부착력이 약한 오목부(3)에 퇴적되어 있던 불소 수지 F를 효과적으로 박리할 수 있다.(c) The ultrasonic cleaning device 20 deposits the concave portion 2 and the concave portion 3 while applying the impact force to the fluorine resin F deposited thereon, thereby depositing the concave portion 3 having a weak adhesion force of the fluorine resin F. The fluorine resin F which has been used can be effectively peeled off.

잉크젯식 액 공급 장치(30)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판(1)의 오목부(3)에 잉크(4)를 공급하는 것이며, 가대(31, 架臺) 상의 반송 테이블(32)의 상면 에 기판(1)을 탑재하고, 모터(33)에 의해 반송 테이블(32)을 이동시키며, 반송 테이블(32)의 위치를 검출하는 리니어 인코더(34)를 구비한다. 가대(31) 상에서 반송 테이블(32)에 걸쳐진 문형(門型)의 지지체(35)가 구비하는 노즐 헤드(36)의 하방을 반송 테이블(32)이 통과하면, 제어 장치(37)에 의해 마스터 유닛(37A)을 통하여 노즐 헤드(36)의 복수개의 노즐로부터 잉크(4)가 분사되고, 이 잉크(4)가 기판(1)의 오목부(3)에 충전된다(도 3의 (D)).The inkjet liquid supply apparatus 30 supplies ink 4 to the recessed part 3 of the board | substrate 1, as shown in FIG. 4, and the conveyance table 32 on the stand 31 is shown. A linear encoder 34 is mounted on the upper surface of the substrate 1, the conveying table 32 is moved by the motor 33, and the position of the conveying table 32 is detected. When the conveyance table 32 passes below the nozzle head 36 with which the door-shaped support body 35 which spreads over the conveyance table 32 on the mount 31 is mastered by the control apparatus 37 Ink 4 is ejected from the plurality of nozzles of the nozzle head 36 through the unit 37A, and the ink 4 is filled in the recesses 3 of the substrate 1 (Fig. 3 (D)). ).

잉크젯식 액 공급 장치(30)에 반입되는 기판(1)으로서, 전술한 스퍼터링 장치(10)와 초음파 세정 장치(20)를 사용하여 제조된 기판(1)을 적용할 때, 기판(1)의 볼록부(2)에 불소 수지 F를 부착시켜 발잉크 처리하였으므로, 볼록부(2)의 상면에서는 잉크(4)가 튀므로 볼록부(2)의 상면에 잉크(4)가 새어 나오거나, 잔존하는 것이 방지되고, 착색층의 평탄성이나 화소 사이의 착색 균일성을 향상시킬 수 있다. 또한, 오목부(3)의 친잉크성에 의해 오목부(3) 내에서의 잉크(4)가 양호하게 퍼지므로, 오목부(3) 내에 잉크(4)가 편중되지 않고 균일하게 충전되고, 착색층의 평탄성을 향상시킬 수 있다.As the substrate 1 carried in the inkjet liquid supply apparatus 30, when the substrate 1 manufactured using the above-described sputtering apparatus 10 and the ultrasonic cleaning apparatus 20 is applied, the substrate 1 Since the ink 4 is splashed on the upper surface of the convex portion 2 because the fluorine resin F is attached to the convex portion 2, the ink 4 leaks out or remains on the upper surface of the convex portion 2. Can be prevented, and the flatness of a colored layer and the coloring uniformity between pixels can be improved. In addition, since the ink 4 in the recesses 3 is well spread by the ink ink of the recesses 3, the ink 4 is uniformly filled in the recesses 3 without being biased and colored. The flatness of the layer can be improved.

이하, 본 발명의 실시 결과에 대하여 설명한다. 본 발명의 실시예로서, 스퍼터링 장치(10)와 초음파 세정 장치(20)를 사용하여 제조된 기판(1)(볼록부(2)를 격자형으로 형성한 것)에 대하여, 잉크젯식 액 공급 장치(30)를 사용하여 잉크(4)를 공급하였다. 스퍼터링 장치(10)의 운전 조건은, Ar 가스 50sccm, 압력 5Pa, 전압 500W, 처리 시간 2분으로 하였다. 초음파 세정 장치(20)에 의한 세정 시간은 3분으로 하였다. 스퍼터링 장치(10)와 초음파 세정 장치(20)를 적용한 기판(1)은, 볼록부(2)의 표면에 대한 잉크(4)의 접촉각이 71.5°, 오목부(3)의 저면(유리)에 대한 잉크(4)의 접촉각이 2°였다. 이 기판(1)의 9화소에 대응하는 9개의 오목부(3)에 잉크젯식 액 공급 장치(30)를 사용하여 잉크(4)를 공급한 결과, 9화소 모두에 있어서, 잉크(4)를 균일하게 공급할 수 있고, 착색층(박막층)의 평탄성, 화소간의 착색 균일성을 확보할 수 있었다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the implementation result of this invention is demonstrated. As an embodiment of the present invention, an inkjet liquid supply apparatus for a substrate 1 (producing a convex portion 2 in a lattice form) manufactured using the sputtering apparatus 10 and the ultrasonic cleaning apparatus 20. Ink 4 was supplied using (30). The operating conditions of the sputtering apparatus 10 were made into Ar gas 50sccm, the pressure 5Pa, the voltage 500W, and processing time 2 minutes. The cleaning time by the ultrasonic cleaning device 20 was 3 minutes. As for the board | substrate 1 which applied the sputtering apparatus 10 and the ultrasonic cleaning apparatus 20, the contact angle of the ink 4 with respect to the surface of the convex part 2 is 71.5 degrees, and the bottom face (glass) of the recessed part 3 is carried out. The contact angle of the ink 4 with respect to was 2 degrees. As a result of supplying the ink 4 to the nine concave portions 3 corresponding to the nine pixels of the substrate 1 by using the inkjet liquid supply apparatus 30, the ink 4 was supplied in all nine pixels. It was able to supply uniformly, and the flatness of the colored layer (thin film layer) and the coloring uniformity between pixels could be ensured.

본 발명의 비교예로서, 스퍼터링 장치(10)만 사용하고, 초음파 세정 장치(20)를 사용하지 않고 제조된 기판(1)에 대하여, 잉크젯식 액 공급 장치(30)를 사용하여 잉크(4)를 공급하였다. 스퍼터링 장치(10)의 운전 조건은, Ar 가스 50sccm, 압력 5Pa, 전압 500W, 처리 시간 2분으로 하였다. 스퍼터링 장치(10)를 적용한 기판(1)은, 볼록부(2)의 표면에 대한 잉크(4)의 접촉각이 72°, 오목부(3)의 저면(유리)에 대한 잉크(4)의 접촉각이 65°였다. 이 기판(1)의 화소에 대응하는 9개의 오목부(3)에 잉크젯식 액 공급 장치(30)를 사용하여 잉크(4)를 공급한 결과, 9화소 모두에 대한 잉크(4)의 균일한 퍼짐을 얻을 수 없었다.As a comparative example of the present invention, the ink 4 is used by using the inkjet liquid supply device 30 with respect to the substrate 1 manufactured using only the sputtering device 10 and without using the ultrasonic cleaning device 20. Was supplied. The operating conditions of the sputtering apparatus 10 were made into Ar gas 50sccm, the pressure 5Pa, the voltage 500W, and processing time 2 minutes. As for the board | substrate 1 which applied the sputtering apparatus 10, the contact angle of the ink 4 with respect to the surface of the convex part 2 is 72 degrees, and the contact angle of the ink 4 with respect to the bottom face (glass) of the recessed part 3 is carried out. Was 65 °. As a result of supplying the ink 4 to the nine concave portions 3 corresponding to the pixels of the substrate 1 by using the inkjet liquid supply device 30, the ink 4 is uniform for all nine pixels. Could not get spread.

이상, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하였지만, 본 발명의 구체적인 구성은 이 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 설계의 변경 등이 있더라도 본 발명에 포함된다. 예를 들면, 퇴적 장치는 스퍼터링 장치로 한정되지 않는다. 또한, 세정 장치는 초음파 세정 장치로 한정되지 않는다.As mentioned above, although the Example of this invention was described in detail with reference to drawings, the specific structure of this invention is not limited to this Example, A design change etc. are included in this invention within the range which does not deviate from the summary of this invention. do. For example, the deposition apparatus is not limited to the sputtering apparatus. In addition, a washing | cleaning apparatus is not limited to an ultrasonic washing | cleaning apparatus.

또한, 액정 표시 패널의 컬러 필터에서의 볼록부로 구획된 오목부 내에 잉크를 공급하는 예를 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 예를 들면, EL(Electroluminescence, 전계 발광) 표시 소자의 제조에서의 투명 기판에서의 격벽으로 에워싸인 오목부 내에 EL 재료를 공급하는 것에도 적용할 수 있다.In addition, although the example of supplying ink into the concave portion partitioned by the convex portion in the color filter of the liquid crystal display panel has been described, the present invention is not limited thereto, and for example, a transparent substrate in the manufacture of an EL (Electroluminescence) display element. The present invention can also be applied to supplying an EL material into a recess surrounded by a partition wall in.

도 1은 스퍼터링 장치를 나타낸 모식도이다.1 is a schematic diagram illustrating a sputtering apparatus.

도 2는 초음파 세정 장치를 나타낸 모식도이다.2 is a schematic diagram illustrating an ultrasonic cleaning device.

도 3의 (A) ∼ 도 3의 (D)는 기판의 표면 처리 상태를 나타낸 모식도이다.3A to 3D are schematic diagrams showing a surface treatment state of a substrate.

도 4는 잉크젯식 액 공급 장치를 나타낸 모식도이다.It is a schematic diagram which shows the inkjet liquid supply apparatus.

[도면의 주요부에 대한 부호의 설명][Description of Code for Major Parts of Drawing]

1: 기판 2: 볼록부1: board | substrate 2: convex part

3: 오목부 4: 잉크3: recess 4: ink

10: 스퍼터링 장치 20: 초음파 세정 장치10: sputtering device 20: ultrasonic cleaning device

30: 잉크젯식 액 공급 장치30: inkjet liquid supply device

Claims (7)

무기 재료로 이루어지는 기판 상에 유기 재료로 이루어지는 볼록부가 형성되어 이루어지고, 그 볼록부에 의해 구획된 오목부에 잉크젯 방식에 의하여 박막 재료액을 공급하여 박막층을 형성하는 표시 장치의 제조 장치에 있어서,A convex portion made of an organic material is formed on a substrate made of an inorganic material, and the thin film layer is formed by supplying a thin film material liquid by an inkjet method to a concave portion partitioned by the convex portion. 상기 볼록부와 오목부에 불소 수지를 퇴적시키는 퇴적 장치와,A deposition apparatus for depositing a fluororesin on the convex portion and the recessed portion; 상기 볼록부와 오목부에 퇴적된 불소 수지를 세정하는 세정 장치를 포함하는, 표시 장치의 제조 장치.And a cleaning device for cleaning the fluororesin deposited on the convex portion and the concave portion. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 퇴적 장치는 스퍼터링(sputtering) 장치인, 표시 장치의 제조 장치.And the deposition apparatus is a sputtering apparatus. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 세정 장치는 세정액을 순수(純水)로 하는 초음파 세정 장치인, 표시 장치의 제조 장치.The said cleaning apparatus is an ultrasonic cleaning apparatus which makes a cleaning liquid pure water, The manufacturing apparatus of the display apparatus. 무기 재료로 이루어지는 기판 상에 유기 재료로 이루어지는 볼록부가 형성되어 이루어지고, 그 볼록부에 의해 구획된 오목부에 잉크젯 방식에 의해 박막 재료액을 공급하여 박막층을 형성하는 표시 장치의 제조 방법에 있어서,In the manufacturing method of the display apparatus in which the convex part which consists of organic materials is formed on the board | substrate which consists of inorganic materials, and supplies thin film material liquid by the inkjet method to the recessed part divided by the convex part, and forms a thin film layer, 상기 볼록부와 오목부에 불소 수지를 퇴적시키고,Depositing a fluororesin on the convex portion and the concave portion; 상기 볼록부와 오목부에 퇴적된 불소 수지를 세정하는, 표시 장치의 제조 방법.The manufacturing method of the display apparatus which wash | cleans the fluororesin accumulated by the said convex part and the recessed part. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 불소 수지를 스퍼터링 장치에 의해 퇴적시키는, 표시 장치의 제조 방법.The manufacturing method of the display apparatus which deposits the said fluororesin by sputtering apparatus. 제4항 또는 제5항에 있어서,The method according to claim 4 or 5, 상기 불소 수지를 초음파 세정 장치에 의해 세정하는, 표시 장치의 제조 방법.The manufacturing method of the display apparatus which wash | cleans the said fluororesin by an ultrasonic cleaning apparatus. 기판의 오목부에 박막 재료액을 공급하여 박막층을 형성하는 잉크젯식 액 공급 장치에 있어서, 상기 기판을 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 의해 제조한 기판으로 하는, 잉크젯식 액 공급 장치.An inkjet liquid supply apparatus for supplying a thin film material liquid to a concave portion of a substrate to form a thin film layer, wherein the substrate is formed by a method according to any one of claims 4 to 6 Liquid supply unit.
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