KR20080048653A - Mask apparatus and method of fabricating flat display using the same - Google Patents

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Abstract

A mask apparatus and a method for fabricating a flat display using the same are provided to prevent deposition material on an unnecessary region of a substrate by shielding a gap between adjacent second masks through a division pattern. A mask apparatus(150) includes a mask frame(110), a first mask(120), and a second mask(130). The mask frame includes a first opening unit(112). The first mask includes a plurality of second opening units(122) and a plurality of division patterns(124). The second opening units are formed on opposition regions to the first opening unit. The division patterns are formed between the second opening units. At least one second mask includes a plurality of slits(132) and is formed on an opposite region to at least one of the second opening units. The slits correspond to a plurality of pixel regions on a substrate.

Description

마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조방법{MASK APPARATUS AND METHOD OF FABRICATING FLAT DISPLAY USING THE SAME} Method for manufacturing a mask device and a flat panel display device using the same {MASK APPARATUS AND METHOD OF FABRICATING FLAT DISPLAY USING THE SAME}

도 1은 종래 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 평면도이다. 1 is a plan view of the mask device for a conventional flat panel display device.

도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 사시도이다. Figure 2 is a perspective view illustrating a mask device for a flat panel display according to the first embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 평면도이다. Figure 3 is a plan view of the mask device for a flat panel display according to the first embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 사시도이다. Figure 4 is a perspective view illustrating a mask device for a flat panel display according to the second embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 평면도이다. Figure 5 is a plan view of the mask device for a flat panel display according to the second embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제1 및 제2 실시 예에 따른 마스크 장치를 이용한 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다. 6 is a cross-sectional view for explaining a production method using a mask according to the first and second embodiments of the present invention.

도 7은 도 6에서 설명한 제조 방법에 의해 형성된 다수의 박막을 가지는 유기 전계 발광 소자를 나타내는 단면도이다. Figure 7 is a cross-sectional view showing an organic electroluminescent device having a plurality of thin film formed by the method described in FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호설명> <Reference Numerals [>

110 : 마스크 프레임 111 : 기판 110: mask frame 111: substrate

112,122 : 개구부 120,130 : 마스크 112122: 120130 opening: Mask

124 : 분할 패턴 126 : 지지부 124: division pattern 126: support

128 : 정렬패턴 132 : 슬릿부 128: alignment pattern 132: slit

134 : 차폐부 152 : 애노드 전극 134: shielding 152: anode electrode

154 : 정공 관련층 156 : 발광층 154: a hole related layer 156: emission layer

158 : 전자 관련층 160 : 유기박막층 158: electron related layer 160: organic thin-film layer

162 : 캐소드 전극 162: cathode

본 발명은 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 대형 평판 표시 장치에 적용 가능한 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method of manufacturing a flat panel display device using the present invention relates to method of manufacturing a flat panel display using the mask device and him, particularly applicable to a large flat panel display device and a mask him.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. Recently tube that are emerging (Cathode Ray Tube) various flat panel display devices that can be reduced weight and volume. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로-루미네센스(Electro-Luminescence) 표시 장치 등이 있다. Such flat panel display devices are liquid crystal display (Liquid Crystal Display), field emission display (Field Emission Display), PDP (Plasma Display Panel) and electromigration and the like luminescence (Electro-Luminescence) display device.

이러한 평판 표시 장치에 포함된 다수의 박막은 도 1에 도시된 마스크를 이용한 증착 공정을 통해 형성된다. Multiple included in such flat panel display thin film is formed by a deposition process using the mask shown in FIG.

마스크(20)는 평판 표시 장치의 각 서브 화소와 대응되는 다수의 슬릿(22)을 가지며, 마스크 프레임(10)에 고정된다. Mask 20 has a plurality of slits 22 corresponding to the respective sub-pixels of the flat panel display device, and is fixed to the mask frame 10. 이와 같이 마스크 프레임에 고정된 마스크는 기판에 얼라인된 후 다수의 슬릿을 통해 박막의 입자들이 기판에 토출됨으로써 기판 상에 박막이 형성된다. Thus a mask fixed to the mask frame by being aligned particles in the thin film are discharged to the substrate through the plurality of slits after the substrate is formed a thin film on the substrate.

그러나, 종래 마스크는 기판 상에 형성된 전체 서브 화소와 한번에 얼라인되기 용이하지 않다. However, the conventional mask is not easy to align the sub-pixel at a time, full and formed on the substrate. 또한, 평판 표시 장치가 대형화됨에 따라서 마스크도 대형화되고 있다. Further, it is also large-sized mask according As the flat panel display device is enlarged. 그러나, 프레임에 고정된 마스크는 대형화됨에 따라서 고정력이 마스크 프레임으로부터 멀어질수록 약해져 수평을 이루지 못하고 처짐현상이 발생된다. However, the mask is supported by a frame not fulfill the more you As thus fixing force larger away from the mask frame is generated weak horizontal deflection phenomenon. 이러한 수평을 유지하지 못하는 마스크를 이용하여 박막을 증착할 경우 박막 특성이 기판의 위치에 따라서 달라지는 문제점이 있다. When depositing a film using the mask that do not maintain this level there is a problem in the thin film characteristics vary according to the position of the substrate.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 대형 평판 표시 장치에 적용 가능한 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 데 있다. Accordingly, the object of the present invention is to provide a method of manufacturing the mask device and a flat panel display device using the same can be applied to a large flat panel display.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 장치는 다수의 화소 영역을 가지는 기판 상에 박막을 형성하며, 제1 개구부가 형성된 마스크 프레임과; The order to achieve the technical problem, the mask according to the present invention is to form a thin film on a substrate having a plurality of pixel regions, the first opening is formed and a mask frame; 상기 제1 개구부와 대향하는 영역에 다수의 제2 개구부가 형성되고, 상기 제2 개구부들 사이에 형성된 다수의 분할 패턴들을 가지는 제1 마스크와; The second is formed with a plurality of second openings in the area facing the first opening, the first mask having a plurality of division pattern formed between the second opening; 상기 화소 영역과 대응하는 다수의 슬릿을 가지며 상기 다수의 제2 개구부 중 적어도 어느 하 나와 대향하는 영역에 형성되는 적어도 하나의 제2 마스크를 구비하는 것을 특징으로 한다. Has a plurality of slits corresponding to the pixel region is characterized in that it comprises at least one second mask is formed in a region at least opposed to any me of the plurality of second openings.

여기서, 상기 제1 마스크는 서로 평행하며 상기 분할 패턴과 나란한 제1 지지부들과; The first mask is parallel to each other, and the division pattern and parallel to the first support portions and; 상기 다수의 분할 패턴들의 양단과 연결되어 상기 다수의 제2 개구부를 마련하는 제2 지지부들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다. Is connected to both ends of the plurality of split patterns characterized in that it additionally includes a second support portion to arrange the plurality of second openings.

그리고, 상기 제2 지지부들은 상기 다수의 분할 패턴들 각각의 양단과 독립적으로 연결된 것을 특징으로 한다. In addition, the second support are characterized in that connected to the two ends and independent of each of the plurality of division patterns.

한편, 상기 제2 마스크가 다수개인 경우, 상기 제2 마스크들은 상기 분할 패턴을 사이에 두고 이격되는 것을 특징으로 한다. On the other hand, when the second mask a large number private, the second mask are characterized in that the spaced between the division pattern.

이 때, 상기 분할 패턴은 상기 제2 마스크들 간의 이격된 틈 이상의 폭을 가지며, 인접한 제2 마스크들의 상기 슬릿부 사이의 거리 이하의 폭을 가지는 것을 특징으로 한다. At this time, the division pattern is characterized by having a width less than the distance between the slit portions of the second mask have a width of gaps between at least the second mask, adjacent.

한편, 상기 제1 마스크는 상기 마스크 프레임 상에 접합 고정되며, 상기 제2 마스크는 상기 제1 마스크 상에 접합 고정되는 것을 특징으로 한다. On the other hand, the first mask is joint fixed on the mask frame, wherein the second mask is characterized in that the joint fixed on the first mask.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 방법은 제1 개구부가 형성된 마스크 프레임, 상기 제1 개구부와 대향하는 영역에 다수의 제2 개구부가 형성되고, 상기 제2 개구부들 사이에 형성된 다수의 분할 패턴들을 가지는 제1 마스크, 다수의 슬릿을 가지며 상기 다수의 제2 개구부 중 적어도 어느 하나와 대향하는 영역에 형성되는 적어도 하나의 제2 마스크를 포함하는 마스크 장치를 마련하는 단계와; To an aspect, the manufacturing method of the flat panel display device according to the invention is formed of a plurality of second openings to the area of ​​the first opening with a mask frame, opposite to the first opening is formed, said second opening number of steps that has a first mask, a plurality of slits having the division pattern providing a mask includes at least one second mask is formed in the area facing the at least one of the plurality of second openings formed between Wow; 상기 마스크 장치와 기판이 마주보도록 정렬하는 단계와; Aligning the mask, the device and the substrate so as to face and; 상기 마스크 프레임의 제1 개구부, 상기 제1 마스크의 제2 개구부 및 상기 제2 마스크의 슬릿부를 통과한 증착 물질이 상기 기판 상에 박막으로 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. It characterized in that it comprises a first opening, a second opening and a step in which the deposited material passes through a slit portion of the second mask formed of a thin film on the substrate of the first mask of the mask frame.

상기 기술적 과제 외에 본 발명의 다른 기술적 과제 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other aspect and features of the invention in addition to the above-described aspect will be revealed clearly through the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다. With reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 사시도 및 평면도이다. 2 and 3 are a perspective view and a plan view of the mask device for a flat panel display device according to the present invention.

도 2 및 도 3에 도시된 마스크 장치(150)는 마스크 프레임(110)과, 마스크 프레임(110)과 결합되는 제1 마스크(120)와, 제1 마스크(120) 상에 위치하는 제2 마스크(130)를 구비한다. 2, and the mask unit 150 shown in FIG. 3 is a second mask which is located on the first mask 120, a first mask 120 to be combined with the mask frame 110 and the mask frame 110 and a 130.

마스크 프레임(110)은 증착 물질이 통과가능하도록 제1 개구부(112)를 가지며 제1 마스크(120)의 가장자리를 지지할 수 있는 틀 형태로 형성된다. The mask frame 110 is formed of a frame type that has a first opening 112, the deposited material to be passed to support the edge of the first mask (120). 이러한 마스크 프레임(110)은 제1 마스크(120)의 가장 자리와 레이저공정을 통해 용접된다. The mask frame 110 are welded through the edge of the laser process of the first mask (120). 이 마스크 프레임(110)은 제1 및 제2 마스크(120,130)에 가해지는 인장력을 견딜 수 있는 강성을 가지도록 형성된다. The mask frame 110 is formed to have rigidity to withstand the tensile force applied to the first and second masks 120 and 130.

제1 마스크(120)는 지지부들(126a,126b)과, 지지부들(126a,126b)에 의해 마련된 영역에 형성된 제2 개구부(122)와, 제2 개구부(122)들 사이에 형성된 분할 패턴(124)을 포함한다. The dividing pattern is formed between the first mask 120 has the second opening 122 and second opening 122 formed on the area provided by the support portion (126a, 126b) and the support portion (126a, 126b) ( comprises 124).

지지부들은 분할 패턴(124)과 나란한 방향으로 서로 평행하게 형성된 제1 지지부들(126a)과, 제1 지지부(126a)들과 연결되어 틀 형태를 이루도록 형성된 제2 지지부(126b)들을 포함한다. The support comprise a second support (126b) formed to be connected with the first supporting portion formed in parallel with each other in a direction parallel with the division pattern (124) (126a), a first support portion (126a) to achieve a frame shape.

제2 개구부(122)는 제1 개구부(112)를 다수개의 영역으로 분할한다. Second opening 122 to divide the first opening 112 into a plurality of regions. 이러한 제2 개구부(122)의 폭(w2)은 그 제2 개구부(122)의 폭(w2)과 나란한 방향으로 형성된 제2 마스크(130)의 첫번째 슬릿부(132)에서부터 마지막 슬릿부(132)까지의 전체 폭(w1) 이상으로 형성된다. This second opening 122 width (w2) is the second end the slit from the width (w2) and the first slit portion 132 of the second mask 130 formed in parallel in the opening 122 portion 132 of the It is formed of a total width (w1) than to.

분할 패턴(124)은 제2 개구부(122)들의 영역을 정의하도록 제2 개구부(122)들 사이에 형성된다. Division pattern 124 is formed between the second opening 122 to define the area of ​​the second opening 122. 이러한 분할 패턴(124)은 제2 마스크들(130) 간의 이격된 틈(g) 이상의 폭을 가지며, 인접한 제2 마스크들(130)의 슬릿부(132) 사이의 거리 이하의 폭(w3)을 가진다. This division pattern 124 is a gap (g) a slit portion 132 a width (w3) of the distance than between those having more than the width, adjacent the second mask 130 is spaced between the second mask 130 have. 그리고, 분할 패턴(124)은 제2 지지부들(126b)와 동일 물질로 일체화되게끔 형성된다. Then, the division pattern 124 is formed gekkeum being integrally of the same material and the second support part (126b).

이에 따라, 분할 패턴과 제2 지지부가 분리된 경우, 각각의 정렬 공정이 필요한 반면에 본 발명은 한 번의 정렬 공정을 통해 분할 패턴(124)과 제2 지지부들(126b)을 정렬할 수 있으므로 정렬 공정이 단순화되며 위치 정렬도가 높아진다. Accordingly, the division pattern and the second support portion is arranged when detached, the present invention on the other hand requires that each of the alignment process it is possible to sort the division pattern 124 and the second support in (126b) through a single alignment process the process is simplified, and also the higher the alignment position. 또한, 제2 지지부들(126b)과 일체화된 분할 패턴(124)은 제2 지지부들과 분리된 분할 패턴과 대비하여 관리가 용이하다. Further, the second support (126b) and the segmented patterns 124 are integrated is easy to manage in comparison with the divided pattern separated from the second support portions. 뿐만 아니라, 분할 패턴(124)에 의해 인접한 제2 마스크(130)들이 이격되어 마련된 틈(g)을 차폐하므로 기판 상의 불필요한 영역에 증착 물질이 형성되는 것을 방지할 수 있다. In addition, it shields the gap (g) the second mask 130 by the adjacent partition patterns 124 are disposed spaced apart it is possible to prevent the deposition material formed in unnecessary areas on the substrate.

한편, 제1 마스크(120)에는 적어도 하나의 정렬 패턴(128)이 형성된다. On the other hand, the first mask 120, the at least one alignment pattern 128 is formed. 이 정렬 패턴(128)은 홀, 홈 또는 돌기 형태로 형성되어 마스크 프레임(110) 및 제2 마스크(130) 중 적어도 어느 하나와의 정렬시 이용된다. The alignment pattern 128 is used during alignment of the at least one of a hole formed in a groove or the projection forms the mask frame 110 and second mask 130.

제2 마스크(130)는 다수의 슬릿부(132)와, 슬릿부(132)들 사이에 형성되는 차폐부(134)로 이루어진다. The second mask 130 is formed of a shield portion 134 formed between the plurality of slit portions 132 and the slit portion 132.

슬릿부(132)는 기판 상에 형성된 화소영역과 대응하는 위치에 화소와 유사한 크기의 홀 형태로 다수개 형성된다. The slit portion 132 is formed of a plurality of a hole in the form of a similar size with one pixel in the pixel region and the corresponding positions is formed on the substrate. 차폐부(134)는 상하 및/또는 좌우로 인접한 슬릿부(132)를 통과하는 증착 물질의 혼입을 방지하기 위해 형성된다. The shield 134 is formed in order to prevent the contamination of the deposition material passing through the slit 132 adjacent to the upper and lower and / or left and right.

이와 같은 제2 마스크(130)는 제1 마스크(120)의 다수의 제2 개구부(122)와 일대일 대응되도록 제1 마스크(120) 당 제2 개구부(122)의 수대로 형성되거나 다수의 제2 개구부(122)와 순차적으로 대응되도록 제1 마스크(120) 당 하나씩 형성된다. The second mask 130, such is the form in one can of the mask a plurality of second openings 122 and second openings 122, each first mask 120, such that one-to-one correspondence with those of 120, or a plurality of second It is formed, one for the first mask 120 so as to correspond successively with the opening 122.

도 4 및 도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 사시도 및 평면도이다. 4 and 5 are a perspective view and a plan view of the mask device for a flat panel display according to the second embodiment of the present invention.

도 4 및 도 5에 도시된 본 발명의 제2 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치(150)는 도 2 및 도 3에 도시된 마스크 장치와 대비하여 제1 마스크(120)의 제2 지지부들(126b)이 독립적으로 형성된 것을 제외하고는 동일한 구성요소를 구비한다. 4 and the flat panel display of a mask device 150 according to the second embodiment of the present invention shown in Figure 5 is a second support portion of the first mask 120, as opposed to the mask device shown in Fig. 2 and 3 and and it comprises the same components, except that the (126b) are formed independently. 이에 따라, 동일한 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. Accordingly, the detailed description of the same components will be omitted.

제1 마스크(120)는 지지부들(126a,126b)과, 지지부들(126a,126b)에 의해 마련된 영역에 형성된 제2 개구부(122)와, 제2 개구부(122)들 사이에 형성된 분할 패턴(124)을 포함한다. The dividing pattern is formed between the first mask 120 has the second opening 122 and second opening 122 formed on the area provided by the support portion (126a, 126b) and the support portion (126a, 126b) ( comprises 124).

지지부들은 분할 패턴(124)과 나란한 방향으로 형성된 제1 지지부들(126a)과, 분할 패턴들(124)의 양단부와 연결된 제2 지지부(126b)들을 포함한다. The support comprise a second support (126b) associated with the opposite ends of the first support (126a) and division patterns 124 formed in parallel with the division pattern 124.

제2 지지부들(126b)은 분할 패턴(124)들 각각과 연결되어 인접한 제2 지지부들(126b)과 독립적으로 형성된다. The second support (126b) is formed in the second support is connected with each of the adjacent divided pattern (124) (126b) are independent. 이러한 제2 지지부(126b)들은 분할 패턴(124)의 폭보다 넓은 폭으로 형성되어 제2 지지부(126b)들과 분할 패턴(124)은 "I"자 형태를 이룬다. This second support (126b) are formed with a width greater than the width of the division pattern 124, a second support (126b) and the division pattern 124 forms the "I" shape. 이에 따라, 제2 지지부들(126b)과 연결된 분할 패턴(124)의 불량시 불량의 분할 패턴(124)과 연결된 제2 지지부들(126b)을 선택적으로 교체할 수 있어 비용이 절감된다. Accordingly, the second support portion in (126b) associated with the division pattern costs can be optionally replaced with a second support to (126b) associated with the division pattern 124 of the defect when the defect 124 is reduced.

도 6은 본 발명에 따른 마스크 장치를 이용한 제조 공정을 설명하기 위한 단면도이다. Figure 6 is a sectional view for explaining a manufacturing process using a mask according to the present invention.

도 6에 도시된 바와 같이 진공 챔버(142) 내부에는 증착 용기(140)와, 증착 용기(140)와 대향하는 마스크 장치(150)와, 마스크 장치(150)와 대향하는 기판(111)이 설치된다. A vacuum chamber 142 inside the vapor deposition vessel 140, deposition vessel 140 and the mask device 150 which faces the substrate (111) facing the mask unit 150 is installed as shown in Figure 6 do. 이 때, 마스크 장치(150)는 마스크 프레임(110)에 제1 마스크(120)를 용접하여 접합 고정시킨 후 제1 마스크(120) 위에 제2 마스크(130)를 정렬패턴으로 정렬한 후 용접함으로써 제1 마스크(120) 위에 제2 마스크(130)가 접합 고정됨으로써 형성된다. At this time, the mask unit 150 by welding after the alignment with the first mask and then by a welding which joined the fixed (120) a first alignment of the second mask 130 on a mask 120 pattern in the mask frame 110 a first mask, a second mask 130 over 120 is formed by bonding fixed.

이 상태에서 증착 용기(140)에 수용된 증착 물질은 가열되어 승화상태인 증기로 변해 증발된다. The deposition material received in the evaporation vessel 140 is in this state is heated and evaporated turned into a sublimation vapor state. 이 승화상태의 증착 물질은 마스크 프레임(110)의 제1 개구부와, 제1 마스크(120)의 제2 개구부와, 제2 마스크(130)의 슬릿부를 통과하여 기판 표면에 달라붙게 된다. The sublimated evaporation material adhere to the state is the first opening and the second opening and the slit surface of the substrate through portions of the second mask 130, the first mask 120 of the mask frame (110). 이에 따라, 기판(111) 상에는 유기물질로 이루어진 박 막이 형성된다. Thus, the foil film is made of an organic material on the substrate 111 is formed.

도 7은 본 발명의 실시예에 따라 마스크 장치에 의해 형성된 발광층을 포함하는 유기 전계 발광 소자를 나타내는 단면도이다. Figure 7 is a cross-sectional view showing an organic electroluminescent device including a light emitting layer formed by the mask device according to an embodiment of the invention.

도 7에 도시된 유기 전계 발광소자는 유기박막층(160)과, 유기박막층(160)을 사이에 두고 형성되는 애노드 전극(152) 및 캐소드 전극(162)을 포함한다. Also the organic electroluminescent device shown in Figure 7 includes the organic thin film layer 160 and the organic thin film layer 160, the anode electrode 152 and cathode electrode 162 is formed across the.

애노드 전극(152)은 기판(111) 상에 캐소드 전극(162)에 비하여 일함수(work function)가 큰 물질로 형성됨과 아울러 유기박막층(160)으로부터 생성된 가시광을 외부로 투과시킬 수 있는 재질로 형성된다. The anode electrode 152 is a material capable of transmitting visible light generated from the cathode electrode 162, the work function (work function) is formed as well as an organic thin film layer 160 by a material as compared to the substrate 111 to the outside It is formed. 예를 들어, 애노드 전극(152)으로는 인듐 틴 옥사이드(indium-tin oxide : ITO)등을 사용한다. For example, the anode electrode 152 is indium tin oxide: used and the like (indium-tin oxide ITO). 이 애노드 전극(152)에는 정공을 주입하기 위한 구동 신호가 공급된다. The anode electrode 152, the drive signal for injecting holes is provided.

유기박막층(160)은 애노드 전극(152) 상에 순차적으로 적층된 정공 관련층(154), 발광층(156) 및 전자 관련층(158)을 포함한다. The organic thin film layer 160 includes an anode electrode 152, a hole related layer 154 sequentially stacked on the, light-emitting layer 156 and an electron related layer 158. 여기서, 정공 관련층(154)은 정공 주입층과 정공 수송층을 포함하며, 전자 관련층(158)은 전자 수송층과 전자주입층을 포함한다. Here, the hole related layer 154 includes a hole injection layer and a hole transport layer, the electron related layer 158 includes an electron transport layer and an electron injection layer. 이러한 유기박막층(160)에 포함된 발광층(156)은 본 발명에 따른 잉크젯 분사 장치에 의해 형성된다. The light emitting layer 156 included in the organic thin film layer 160 is formed by an ink-jet injector according to the present invention. 이 발광층(156)은 애노드 전극(152) 및 캐소드 전극(162)의 전기적 구동에 의해 발광한다. The light emitting layer 156 emits light by electrical operation of the anode electrode 152 and cathode electrode 162. 발광된 유기박막층(160)으로부터 생성된 가시광은 애노드 전극(152)을 경유하여 기판(111) 쪽으로 방출된다. The resulting light emission from the organic thin film layer 160, visible light is emitted toward the substrate 111 via the anode electrode 152.

캐소드 전극(162)에는 전자를 주입하기 위한 구동신호가 공급된다. Cathode electrode 162 is supplied with the drive signal for injecting electrons. 이러한 캐소드 전극(162)은 반사율이 높은 금속 재질, 예를 들어 금(Au), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag) 또는 그들의 합금 등으로 형성된다. The cathode electrode 162 is formed of a highly reflective metal material, such as gold (Au), aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag) or their alloy or the like.

이와 같은 유기 전계 발광 소자는 애노드 전극(152)과 캐소드 전극(162) 각각에 구동 신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드 전극(152) 및 캐소드 전극(162)에서 방출된 전자와 정공은 유기박막층(160) 내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. The organic electroluminescent device as is when the drive signal to each of the anode electrode 152 and cathode electrode 162 is applied to the electron and the hole is released, the anode electrode 152 and cathode electrode 162, electrons and holes are emitted from the while recombination in the organic thin film layer 160 is to generate visible light. 이때, 발생된 가시광은 애노드 전극(152) 및 기판(101)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다. At this time, the generated visible light is out to the outside through the anode electrode 152 and the substrate 101 will display a predetermined picture or image.

한편, 본 발명에 따른 마스크 장치는 유기 전계 발광 소자에 적용되는 것을 예로 들어 설명하였지만 이외에도 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치, 전계 방출 소자 등과 같은 유기물질로 형성되는 박막을 포함하는 평판 표시 장치에도 적용가능하다. On the other hand, the mask device according to the invention is also applicable to a flat panel display device including the thin film formed of an organic material such as a liquid crystal display device, plasma display device, a field emission device in addition has been described example that applied to the organic EL device example Do.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법은 분할 패턴과 제1 마스크의 제2 지지부들이 일체화되어 제1 마스크의 정렬 공정을 통해 분할 패턴도 함께 정렬되므로 정렬 공정이 단순화되며 위치 정렬도가 높아진다. As described above, the method of manufacturing the mask device and a flat panel display device using the same according to the invention is integrated to the second support portion of the division pattern to the first mask, so division pattern is aligned with through the alignment process of the first mask alignment process this simplified, and also the higher the alignment position. 또한, 본 발명에 따른 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법은 제1 마스크에 일체화된 분할 패턴의 관리가 용이하다. Further, the method of manufacturing the mask device and a flat panel display device using the same according to the invention is easy to manage the divided pattern integrated with the first mask. 뿐만 아니라, 본 발명에 따른 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법은 분할 패턴에 의해 기판 상의 불필요한 영역에 증착 물질이 형성되는 것을 방지할 수 있다. In addition, the method of manufacturing the mask device and a flat panel display device using the same according to the present invention can prevent the deposition material formed on the unnecessary area on the substrate by a dividing pattern.

이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. In the description of the invention described above of the present invention defined by the claims to be described later it has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, Those of ordinary skill in the skilled in the art or the art of the art it will be appreciated without departing from the spirit and technical area may make various modifications and variations to the present invention.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Accordingly, the technical scope of the present invention will have to be not limited to the contents described in the description of the specification appointed by the claims.

Claims (10)

  1. 다수의 화소 영역을 가지는 기판 상에 박막을 형성하기 위한 마스크 장치에 있어서, In the mask device for forming a thin film on a substrate having a plurality of pixel regions,
    제1 개구부가 형성된 마스크 프레임과; The mask frame has a first opening formed with;
    상기 제1 개구부와 대향하는 영역에 다수의 제2 개구부가 형성되고, 상기 제2 개구부들 사이에 형성된 다수의 분할 패턴들을 가지는 제1 마스크와; The second is formed with a plurality of second openings in the area facing the first opening, the first mask having a plurality of division pattern formed between the second opening;
    상기 화소 영역과 대응하는 다수의 슬릿을 가지며 상기 다수의 제2 개구부 중 적어도 어느 하나와 대향하는 영역에 형성되는 적어도 하나의 제2 마스크를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 장치. Mask device, characterized in that has a plurality of slits corresponding to the pixel regions having at least one second mask is formed in the area facing the at least one of the plurality of second openings.
  2. 제 1 항에 있어서, According to claim 1,
    상기 제1 마스크는 The first mask
    서로 평행하며 상기 분할 패턴과 나란한 제1 지지부들과; Parallel to each other, and the division pattern and parallel to the first support portions and;
    상기 다수의 분할 패턴들의 양단과 연결되어 상기 다수의 제2 개구부를 마련하는 제2 지지부들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 장치. It is connected to both ends of the plurality of split mask pattern wherein further comprising a second support portion to arrange the plurality of second openings.
  3. 제 2 항에 있어서, 3. The method of claim 2,
    상기 제2 지지부들은 상기 다수의 분할 패턴들 각각의 양단과 독립적으로 연결된 것을 특징으로 하는 마스크 장치. It said second support are connected by a mask and wherein both ends and independent of each of the plurality of division patterns.
  4. 제 1 항에 있어서, According to claim 1,
    상기 제2 마스크가 다수개인 경우, 상기 제2 마스크들은 상기 분할 패턴을 사이에 두고 이격되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치. If the second mask a large number private, the second mask are mask device characterized in that the spaced between the division pattern.
  5. 제 1 항에 있어서, According to claim 1,
    상기 분할 패턴은 상기 제2 마스크들 간의 이격된 틈 이상의 폭을 가지며, 인접한 제2 마스크들의 상기 슬릿부 사이의 거리 이하의 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 장치. The partition pattern is a mask unit, characterized in that has a width less than the distance between the slit portions of the second mask have a width of gaps between at least the second mask, adjacent.
  6. 제 1 항에 있어서, According to claim 1,
    상기 제1 마스크는 상기 마스크 프레임 상에 접합 고정되며, 상기 제2 마스크는 상기 제1 마스크 상에 접합 고정되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치. The first mask is a mask unit, characterized in that the bonding is fixed on the mask frame, to which the second mask is fixed on the junction of the first mask.
  7. 제1 개구부가 형성된 마스크 프레임, 상기 제1 개구부와 대향하는 영역에 다수의 제2 개구부가 형성되고, 상기 제2 개구부들 사이에 형성된 다수의 분할 패턴들을 가지는 제1 마스크, 다수의 슬릿을 가지며 상기 다수의 제2 개구부 중 적어도 어느 하나와 대향하는 영역에 형성되는 적어도 하나의 제2 마스크를 포함하는 마스크 장치를 마련하는 단계와; The first opening is a plurality of second openings in the formed mask frame, the area facing the first opening portion is formed, it has a first mask, a plurality of slits having a plurality of division pattern formed between the second opening of the a number of the steps of at least two of the openings providing the mask comprises at least one of the second mask formed on one and the opposite side region and;
    상기 마스크 장치와 기판이 마주보도록 정렬하는 단계와; Aligning the mask, the device and the substrate so as to face and;
    상기 마스크 프레임의 제1 개구부, 상기 제1 마스크의 제2 개구부 및 상기 제2 마스크의 슬릿부를 통과한 증착 물질이 상기 기판 상에 박막으로 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법. Producing a flat panel display device comprising the steps is the slit portion passing deposited material of the first opening, the second opening and the second mask, the first mask of the mask frame is formed into a thin film on the substrate Way.
  8. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7,
    상기 제1 마스크를 마련하는 단계는 Comprising: providing a first mask
    서로 평행하며 상기 분할 패턴과 나란한 제1 지지부들, 상기 다수의 분할 패턴들의 양단과 연결되어 상기 다수의 제2 개구부를 마련하는 제2 지지부들을 추가로 포함하는 상기 제1 마스크를 마련하는 단계인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법. Parallel to each other and in that the step that is associated with both ends of the division pattern and parallel to the first support portion of the plurality of division patterns prepared for the first mask further comprises a second support portion to arrange the plurality of second openings method of manufacturing a flat panel display device according to claim.
  9. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8,
    상기 제2 지지부들은 상기 다수의 분할 패턴들 각각의 양단과 독립적으로 연결된 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법. The second support are method of manufacturing a flat panel display device, characterized in that connected to the two ends and independent of each of the plurality of division patterns.
  10. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7,
    상기 제1 마스크는 상기 마스크 프레임 상에 접합 고정되며, 상기 제2 마스크는 상기 제1 마스크 상에 접합 고정되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법. The first mask is a method of manufacturing a flat panel display device characterized in that the joint is fixed on the mask frame, wherein the second mask is fixed is bonded on the first mask.
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