KR20080048653A - Mask apparatus and method of fabricating flat display using the same - Google Patents

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Abstract

A mask apparatus and a method for fabricating a flat display using the same are provided to prevent deposition material on an unnecessary region of a substrate by shielding a gap between adjacent second masks through a division pattern. A mask apparatus(150) includes a mask frame(110), a first mask(120), and a second mask(130). The mask frame includes a first opening unit(112). The first mask includes a plurality of second opening units(122) and a plurality of division patterns(124). The second opening units are formed on opposition regions to the first opening unit. The division patterns are formed between the second opening units. At least one second mask includes a plurality of slits(132) and is formed on an opposite region to at least one of the second opening units. The slits correspond to a plurality of pixel regions on a substrate.

Description

마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조방법{MASK APPARATUS AND METHOD OF FABRICATING FLAT DISPLAY USING THE SAME}Mask apparatus and manufacturing method of flat panel display using the same {MASK APPARATUS AND METHOD OF FABRICATING FLAT DISPLAY USING THE SAME}

도 1은 종래 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 평면도이다.1 is a plan view showing a mask device for a conventional flat panel display device.

도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view illustrating a mask device for a flat panel display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 평면도이다.3 is a plan view illustrating a mask device for a flat panel display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 사시도이다.4 is a perspective view illustrating a mask device for a flat panel display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 평면도이다.5 is a plan view illustrating a mask device for a flat panel display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제1 및 제2 실시 예에 따른 마스크 장치를 이용한 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.6 is a cross-sectional view for describing a manufacturing method using the mask device according to the first and second embodiments of the present invention.

도 7은 도 6에서 설명한 제조 방법에 의해 형성된 다수의 박막을 가지는 유기 전계 발광 소자를 나타내는 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating an organic EL device having a plurality of thin films formed by the manufacturing method described with reference to FIG. 6.

<도면의 주요부분에 대한 부호설명><Code Description of Main Parts of Drawing>

110 : 마스크 프레임 111 : 기판110: mask frame 111: substrate

112,122 : 개구부 120,130 : 마스크112, 122: opening 120, 130: mask

124 : 분할 패턴 126 : 지지부124: dividing pattern 126: support

128 : 정렬패턴 132 : 슬릿부128: alignment pattern 132: slit portion

134 : 차폐부 152 : 애노드 전극134: shield 152: anode electrode

154 : 정공 관련층 156 : 발광층154: hole related layer 156: light emitting layer

158 : 전자 관련층 160 : 유기박막층158: electron related layer 160: organic thin film layer

162 : 캐소드 전극162: cathode electrode

본 발명은 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 대형 평판 표시 장치에 적용 가능한 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mask device and a method of manufacturing a flat panel display device using the same, and more particularly, to a mask device applicable to a large flat panel display device and a method of manufacturing a flat panel display device using the same.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로-루미네센스(Electro-Luminescence) 표시 장치 등이 있다.Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have emerged. Such flat panel displays include a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, an electro-luminescence display, and the like.

이러한 평판 표시 장치에 포함된 다수의 박막은 도 1에 도시된 마스크를 이용한 증착 공정을 통해 형성된다.A plurality of thin films included in the flat panel display device are formed through a deposition process using a mask illustrated in FIG. 1.

마스크(20)는 평판 표시 장치의 각 서브 화소와 대응되는 다수의 슬릿(22)을 가지며, 마스크 프레임(10)에 고정된다. 이와 같이 마스크 프레임에 고정된 마스크는 기판에 얼라인된 후 다수의 슬릿을 통해 박막의 입자들이 기판에 토출됨으로써 기판 상에 박막이 형성된다. The mask 20 has a plurality of slits 22 corresponding to each sub pixel of the flat panel display and is fixed to the mask frame 10. As described above, the mask fixed to the mask frame is aligned with the substrate, and then the particles of the thin film are discharged to the substrate through a plurality of slits to form a thin film on the substrate.

그러나, 종래 마스크는 기판 상에 형성된 전체 서브 화소와 한번에 얼라인되기 용이하지 않다. 또한, 평판 표시 장치가 대형화됨에 따라서 마스크도 대형화되고 있다. 그러나, 프레임에 고정된 마스크는 대형화됨에 따라서 고정력이 마스크 프레임으로부터 멀어질수록 약해져 수평을 이루지 못하고 처짐현상이 발생된다. 이러한 수평을 유지하지 못하는 마스크를 이용하여 박막을 증착할 경우 박막 특성이 기판의 위치에 따라서 달라지는 문제점이 있다.However, the conventional mask is not easy to be aligned at once with all the sub pixels formed on the substrate. In addition, as the flat panel display becomes larger, the mask becomes larger. However, as the mask fixed to the frame is enlarged, the fixing force becomes weaker as the fixing force moves away from the mask frame, thereby failing to be horizontal and causing sagging. When the thin film is deposited using a mask that cannot maintain such a level, there is a problem in that thin film characteristics vary depending on the position of the substrate.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 대형 평판 표시 장치에 적용 가능한 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a mask device applicable to a large size flat panel display device and a manufacturing method of the flat panel display device using the same.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 장치는 다수의 화소 영역을 가지는 기판 상에 박막을 형성하며, 제1 개구부가 형성된 마스크 프레임과; 상기 제1 개구부와 대향하는 영역에 다수의 제2 개구부가 형성되고, 상기 제2 개구부들 사이에 형성된 다수의 분할 패턴들을 가지는 제1 마스크와; 상기 화소 영역과 대응하는 다수의 슬릿을 가지며 상기 다수의 제2 개구부 중 적어도 어느 하 나와 대향하는 영역에 형성되는 적어도 하나의 제2 마스크를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the mask device according to the present invention comprises a mask frame forming a thin film on a substrate having a plurality of pixel regions, the first opening is formed; A first mask having a plurality of second openings formed in an area facing the first opening, and having a plurality of split patterns formed between the second openings; And at least one second mask having a plurality of slits corresponding to the pixel area and formed in an area facing at least one of the plurality of second openings.

여기서, 상기 제1 마스크는 서로 평행하며 상기 분할 패턴과 나란한 제1 지지부들과; 상기 다수의 분할 패턴들의 양단과 연결되어 상기 다수의 제2 개구부를 마련하는 제2 지지부들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.The first mask may include first support portions parallel to each other and parallel to the division pattern; And second support parts connected to both ends of the plurality of division patterns to provide the plurality of second openings.

그리고, 상기 제2 지지부들은 상기 다수의 분할 패턴들 각각의 양단과 독립적으로 연결된 것을 특징으로 한다.The second support parts may be independently connected to both ends of each of the plurality of division patterns.

한편, 상기 제2 마스크가 다수개인 경우, 상기 제2 마스크들은 상기 분할 패턴을 사이에 두고 이격되는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, when there are a plurality of second masks, the second masks may be spaced apart from each other with the division pattern therebetween.

이 때, 상기 분할 패턴은 상기 제2 마스크들 간의 이격된 틈 이상의 폭을 가지며, 인접한 제2 마스크들의 상기 슬릿부 사이의 거리 이하의 폭을 가지는 것을 특징으로 한다.In this case, the division pattern may have a width greater than a spaced gap between the second masks and a width less than or equal to a distance between the slit portions of adjacent second masks.

한편, 상기 제1 마스크는 상기 마스크 프레임 상에 접합 고정되며, 상기 제2 마스크는 상기 제1 마스크 상에 접합 고정되는 것을 특징으로 한다.The first mask may be bonded and fixed on the mask frame, and the second mask may be bonded and fixed on the first mask.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 방법은 제1 개구부가 형성된 마스크 프레임, 상기 제1 개구부와 대향하는 영역에 다수의 제2 개구부가 형성되고, 상기 제2 개구부들 사이에 형성된 다수의 분할 패턴들을 가지는 제1 마스크, 다수의 슬릿을 가지며 상기 다수의 제2 개구부 중 적어도 어느 하나와 대향하는 영역에 형성되는 적어도 하나의 제2 마스크를 포함하는 마스크 장치를 마련하는 단계와; 상기 마스크 장치와 기판이 마주보도록 정렬하는 단계와; 상기 마스크 프레임의 제1 개구부, 상기 제1 마스크의 제2 개구부 및 상기 제2 마스크의 슬릿부를 통과한 증착 물질이 상기 기판 상에 박막으로 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, in the method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention, a plurality of second openings are formed in a mask frame having a first opening, a region facing the first opening, and the second openings. Providing a mask device including a first mask having a plurality of split patterns formed therebetween, and at least one second mask having a plurality of slits and formed in an area facing at least one of the plurality of second openings Wow; Aligning the mask device and the substrate so as to face each other; And depositing a thin film on the substrate through the first opening of the mask frame, the second opening of the first mask, and the slit of the second mask.

상기 기술적 과제 외에 본 발명의 다른 기술적 과제 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other technical problems and features of the present invention in addition to the above technical problem will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 사시도 및 평면도이다. 2 and 3 are a perspective view and a plan view showing a mask device for a flat panel display device according to the present invention.

도 2 및 도 3에 도시된 마스크 장치(150)는 마스크 프레임(110)과, 마스크 프레임(110)과 결합되는 제1 마스크(120)와, 제1 마스크(120) 상에 위치하는 제2 마스크(130)를 구비한다.2 and 3, the mask device 150 includes a mask frame 110, a first mask 120 coupled to the mask frame 110, and a second mask located on the first mask 120. 130 is provided.

마스크 프레임(110)은 증착 물질이 통과가능하도록 제1 개구부(112)를 가지며 제1 마스크(120)의 가장자리를 지지할 수 있는 틀 형태로 형성된다. 이러한 마스크 프레임(110)은 제1 마스크(120)의 가장 자리와 레이저공정을 통해 용접된다. 이 마스크 프레임(110)은 제1 및 제2 마스크(120,130)에 가해지는 인장력을 견딜 수 있는 강성을 가지도록 형성된다.The mask frame 110 has a first opening 112 to allow the deposition material to pass therethrough, and is formed in a frame shape capable of supporting an edge of the first mask 120. The mask frame 110 is welded through the edge of the first mask 120 and a laser process. The mask frame 110 is formed to have rigidity that can withstand the tensile force applied to the first and second masks 120 and 130.

제1 마스크(120)는 지지부들(126a,126b)과, 지지부들(126a,126b)에 의해 마련된 영역에 형성된 제2 개구부(122)와, 제2 개구부(122)들 사이에 형성된 분할 패턴(124)을 포함한다.The first mask 120 may include the second openings 122 formed in the supporting parts 126a and 126b, the areas provided by the supporting parts 126a and 126b, and the split pattern formed between the second openings 122. 124).

지지부들은 분할 패턴(124)과 나란한 방향으로 서로 평행하게 형성된 제1 지지부들(126a)과, 제1 지지부(126a)들과 연결되어 틀 형태를 이루도록 형성된 제2 지지부(126b)들을 포함한다.The support parts include first support parts 126a formed parallel to each other in a direction parallel to the division pattern 124, and second support parts 126b connected to the first support parts 126a to form a frame shape.

제2 개구부(122)는 제1 개구부(112)를 다수개의 영역으로 분할한다. 이러한 제2 개구부(122)의 폭(w2)은 그 제2 개구부(122)의 폭(w2)과 나란한 방향으로 형성된 제2 마스크(130)의 첫번째 슬릿부(132)에서부터 마지막 슬릿부(132)까지의 전체 폭(w1) 이상으로 형성된다. The second opening 122 divides the first opening 112 into a plurality of regions. The width w2 of the second opening 122 is from the first slit portion 132 of the second mask 130 formed in the direction parallel to the width w2 of the second opening 122. It is formed more than the full width w1.

분할 패턴(124)은 제2 개구부(122)들의 영역을 정의하도록 제2 개구부(122)들 사이에 형성된다. 이러한 분할 패턴(124)은 제2 마스크들(130) 간의 이격된 틈(g) 이상의 폭을 가지며, 인접한 제2 마스크들(130)의 슬릿부(132) 사이의 거리 이하의 폭(w3)을 가진다. 그리고, 분할 패턴(124)은 제2 지지부들(126b)와 동일 물질로 일체화되게끔 형성된다.The division pattern 124 is formed between the second openings 122 to define an area of the second openings 122. The division pattern 124 has a width greater than or equal to the spaced gap g between the second masks 130 and has a width w3 less than or equal to a distance between the slit portions 132 of the adjacent second masks 130. Have In addition, the dividing pattern 124 is formed to be integrally formed with the same material as the second supporting parts 126b.

이에 따라, 분할 패턴과 제2 지지부가 분리된 경우, 각각의 정렬 공정이 필요한 반면에 본 발명은 한 번의 정렬 공정을 통해 분할 패턴(124)과 제2 지지부들(126b)을 정렬할 수 있으므로 정렬 공정이 단순화되며 위치 정렬도가 높아진다. 또한, 제2 지지부들(126b)과 일체화된 분할 패턴(124)은 제2 지지부들과 분리된 분할 패턴과 대비하여 관리가 용이하다. 뿐만 아니라, 분할 패턴(124)에 의해 인접한 제2 마스크(130)들이 이격되어 마련된 틈(g)을 차폐하므로 기판 상의 불필요한 영역에 증착 물질이 형성되는 것을 방지할 수 있다. Accordingly, when the dividing pattern and the second support part are separated, each alignment process is required, whereas the present invention can align the dividing pattern 124 and the second support parts 126b through one alignment process. The process is simplified and the position alignment is high. In addition, the division pattern 124 integrated with the second supports 126b is easy to manage compared to the division pattern separated from the second supports. In addition, since the second masks 130 adjacent to each other are separated by the division pattern 124, the deposition g may be prevented from being formed in an unnecessary area on the substrate.

한편, 제1 마스크(120)에는 적어도 하나의 정렬 패턴(128)이 형성된다. 이 정렬 패턴(128)은 홀, 홈 또는 돌기 형태로 형성되어 마스크 프레임(110) 및 제2 마스크(130) 중 적어도 어느 하나와의 정렬시 이용된다.Meanwhile, at least one alignment pattern 128 is formed in the first mask 120. The alignment pattern 128 is formed in the form of a hole, a groove or a protrusion to be used when aligning with at least one of the mask frame 110 and the second mask 130.

제2 마스크(130)는 다수의 슬릿부(132)와, 슬릿부(132)들 사이에 형성되는 차폐부(134)로 이루어진다.The second mask 130 includes a plurality of slit portions 132 and shielding portions 134 formed between the slit portions 132.

슬릿부(132)는 기판 상에 형성된 화소영역과 대응하는 위치에 화소와 유사한 크기의 홀 형태로 다수개 형성된다. 차폐부(134)는 상하 및/또는 좌우로 인접한 슬릿부(132)를 통과하는 증착 물질의 혼입을 방지하기 위해 형성된다.A plurality of slit portions 132 are formed in a hole shape having a size similar to that of the pixel at a position corresponding to the pixel region formed on the substrate. The shield 134 is formed to prevent incorporation of the deposition material through the slit portions 132 adjacent to each other up and down and / or from side to side.

이와 같은 제2 마스크(130)는 제1 마스크(120)의 다수의 제2 개구부(122)와 일대일 대응되도록 제1 마스크(120) 당 제2 개구부(122)의 수대로 형성되거나 다수의 제2 개구부(122)와 순차적으로 대응되도록 제1 마스크(120) 당 하나씩 형성된다.The second mask 130 is formed in a number of second openings 122 per first mask 120 or a plurality of second openings so as to correspond one-to-one with the plurality of second openings 122 of the first mask 120. One per first mask 120 is formed to sequentially correspond to the opening 122.

도 4 및 도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치를 나타내는 사시도 및 평면도이다.4 and 5 are a perspective view and a plan view of a mask device for a flat panel display device according to a second embodiment of the present invention.

도 4 및 도 5에 도시된 본 발명의 제2 실시 예에 따른 평판 표시 장치용 마스크 장치(150)는 도 2 및 도 3에 도시된 마스크 장치와 대비하여 제1 마스크(120)의 제2 지지부들(126b)이 독립적으로 형성된 것을 제외하고는 동일한 구성요소를 구비한다. 이에 따라, 동일한 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The mask device 150 for a flat panel display device according to the second embodiment of the present invention shown in FIGS. 4 and 5 has a second support portion of the first mask 120 as compared to the mask device shown in FIGS. 2 and 3. The same components are provided except that the fields 126b are formed independently. Accordingly, detailed description of the same components will be omitted.

제1 마스크(120)는 지지부들(126a,126b)과, 지지부들(126a,126b)에 의해 마련된 영역에 형성된 제2 개구부(122)와, 제2 개구부(122)들 사이에 형성된 분할 패턴(124)을 포함한다.The first mask 120 may include the second openings 122 formed in the supporting parts 126a and 126b, the areas provided by the supporting parts 126a and 126b, and the split pattern formed between the second openings 122. 124).

지지부들은 분할 패턴(124)과 나란한 방향으로 형성된 제1 지지부들(126a)과, 분할 패턴들(124)의 양단부와 연결된 제2 지지부(126b)들을 포함한다.The supporting parts include first supporting parts 126a formed in a direction parallel to the dividing pattern 124, and second supporting parts 126b connected to both ends of the dividing patterns 124.

제2 지지부들(126b)은 분할 패턴(124)들 각각과 연결되어 인접한 제2 지지부들(126b)과 독립적으로 형성된다. 이러한 제2 지지부(126b)들은 분할 패턴(124)의 폭보다 넓은 폭으로 형성되어 제2 지지부(126b)들과 분할 패턴(124)은 "I"자 형태를 이룬다. 이에 따라, 제2 지지부들(126b)과 연결된 분할 패턴(124)의 불량시 불량의 분할 패턴(124)과 연결된 제2 지지부들(126b)을 선택적으로 교체할 수 있어 비용이 절감된다.The second supports 126b are connected to each of the division patterns 124 and are formed independently of the adjacent second supports 126b. The second supports 126b are formed to have a width wider than that of the dividing pattern 124, so that the second supports 126b and the dividing pattern 124 form an “I” shape. Accordingly, when the split pattern 124 connected to the second supports 126b is defective, the second supports 126b connected to the defective split pattern 124 may be selectively replaced, thereby reducing costs.

도 6은 본 발명에 따른 마스크 장치를 이용한 제조 공정을 설명하기 위한 단면도이다.6 is a cross-sectional view for explaining a manufacturing process using the mask device according to the present invention.

도 6에 도시된 바와 같이 진공 챔버(142) 내부에는 증착 용기(140)와, 증착 용기(140)와 대향하는 마스크 장치(150)와, 마스크 장치(150)와 대향하는 기판(111)이 설치된다. 이 때, 마스크 장치(150)는 마스크 프레임(110)에 제1 마스크(120)를 용접하여 접합 고정시킨 후 제1 마스크(120) 위에 제2 마스크(130)를 정렬패턴으로 정렬한 후 용접함으로써 제1 마스크(120) 위에 제2 마스크(130)가 접합 고정됨으로써 형성된다. As shown in FIG. 6, a deposition container 140, a mask device 150 facing the deposition container 140, and a substrate 111 facing the mask device 150 are installed in the vacuum chamber 142. do. In this case, the mask device 150 welds and fixes the first mask 120 to the mask frame 110 by arranging the second mask 130 on the first mask 120 in an alignment pattern and then welding the same. The second mask 130 is formed by bonding and fixing on the first mask 120.

이 상태에서 증착 용기(140)에 수용된 증착 물질은 가열되어 승화상태인 증기로 변해 증발된다. 이 승화상태의 증착 물질은 마스크 프레임(110)의 제1 개구부와, 제1 마스크(120)의 제2 개구부와, 제2 마스크(130)의 슬릿부를 통과하여 기판 표면에 달라붙게 된다. 이에 따라, 기판(111) 상에는 유기물질로 이루어진 박 막이 형성된다.In this state, the deposition material contained in the deposition container 140 is heated to evaporate into vapor in a sublimation state. The deposition material in the sublimed state passes through the first opening of the mask frame 110, the second opening of the first mask 120, and the slit portion of the second mask 130 to adhere to the substrate surface. Accordingly, a thin film made of an organic material is formed on the substrate 111.

도 7은 본 발명의 실시예에 따라 마스크 장치에 의해 형성된 발광층을 포함하는 유기 전계 발광 소자를 나타내는 단면도이다.7 is a cross-sectional view illustrating an organic electroluminescent device including a light emitting layer formed by a mask device according to an embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 유기 전계 발광소자는 유기박막층(160)과, 유기박막층(160)을 사이에 두고 형성되는 애노드 전극(152) 및 캐소드 전극(162)을 포함한다.The organic EL device illustrated in FIG. 7 includes an organic thin film layer 160, and an anode electrode 152 and a cathode electrode 162 formed with the organic thin film layer 160 interposed therebetween.

애노드 전극(152)은 기판(111) 상에 캐소드 전극(162)에 비하여 일함수(work function)가 큰 물질로 형성됨과 아울러 유기박막층(160)으로부터 생성된 가시광을 외부로 투과시킬 수 있는 재질로 형성된다. 예를 들어, 애노드 전극(152)으로는 인듐 틴 옥사이드(indium-tin oxide : ITO)등을 사용한다. 이 애노드 전극(152)에는 정공을 주입하기 위한 구동 신호가 공급된다. The anode electrode 152 is formed of a material having a larger work function than the cathode electrode 162 on the substrate 111 and transmits visible light generated from the organic thin film layer 160 to the outside. Is formed. For example, indium tin oxide (ITO) or the like is used as the anode electrode 152. The anode electrode 152 is supplied with a drive signal for injecting holes.

유기박막층(160)은 애노드 전극(152) 상에 순차적으로 적층된 정공 관련층(154), 발광층(156) 및 전자 관련층(158)을 포함한다. 여기서, 정공 관련층(154)은 정공 주입층과 정공 수송층을 포함하며, 전자 관련층(158)은 전자 수송층과 전자주입층을 포함한다. 이러한 유기박막층(160)에 포함된 발광층(156)은 본 발명에 따른 잉크젯 분사 장치에 의해 형성된다. 이 발광층(156)은 애노드 전극(152) 및 캐소드 전극(162)의 전기적 구동에 의해 발광한다. 발광된 유기박막층(160)으로부터 생성된 가시광은 애노드 전극(152)을 경유하여 기판(111) 쪽으로 방출된다.The organic thin film layer 160 includes a hole related layer 154, a light emitting layer 156, and an electron related layer 158 sequentially stacked on the anode electrode 152. Here, the hole related layer 154 includes a hole injection layer and a hole transport layer, and the electron related layer 158 includes an electron transport layer and an electron injection layer. The light emitting layer 156 included in the organic thin film layer 160 is formed by the inkjet jet apparatus according to the present invention. The light emitting layer 156 emits light by electric driving of the anode electrode 152 and the cathode electrode 162. Visible light generated from the emitted organic thin film layer 160 is emitted toward the substrate 111 via the anode electrode 152.

캐소드 전극(162)에는 전자를 주입하기 위한 구동신호가 공급된다. 이러한 캐소드 전극(162)은 반사율이 높은 금속 재질, 예를 들어 금(Au), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag) 또는 그들의 합금 등으로 형성된다.The cathode electrode 162 is supplied with a driving signal for injecting electrons. The cathode electrode 162 is formed of a metal material having high reflectance, for example, gold (Au), aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), or an alloy thereof.

이와 같은 유기 전계 발광 소자는 애노드 전극(152)과 캐소드 전극(162) 각각에 구동 신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드 전극(152) 및 캐소드 전극(162)에서 방출된 전자와 정공은 유기박막층(160) 내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드 전극(152) 및 기판(101)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다. In the organic electroluminescent device, electrons and holes are emitted when a driving signal is applied to each of the anode electrode 152 and the cathode electrode 162, and electrons and holes emitted from the anode electrode 152 and the cathode electrode 162 are Recombination in the organic thin film layer 160 generates visible light. At this time, the generated visible light comes out through the anode electrode 152 and the substrate 101 to display a predetermined image or image.

한편, 본 발명에 따른 마스크 장치는 유기 전계 발광 소자에 적용되는 것을 예로 들어 설명하였지만 이외에도 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치, 전계 방출 소자 등과 같은 유기물질로 형성되는 박막을 포함하는 평판 표시 장치에도 적용가능하다.On the other hand, the mask device according to the present invention has been described as an example that is applied to the organic electroluminescent device, in addition to the flat panel display device including a thin film formed of an organic material such as a liquid crystal display, a plasma display device, a field emission device, etc. Do.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법은 분할 패턴과 제1 마스크의 제2 지지부들이 일체화되어 제1 마스크의 정렬 공정을 통해 분할 패턴도 함께 정렬되므로 정렬 공정이 단순화되며 위치 정렬도가 높아진다. 또한, 본 발명에 따른 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법은 제1 마스크에 일체화된 분할 패턴의 관리가 용이하다. 뿐만 아니라, 본 발명에 따른 마스크 장치 및 그를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법은 분할 패턴에 의해 기판 상의 불필요한 영역에 증착 물질이 형성되는 것을 방지할 수 있다. As described above, in the mask device and the method of manufacturing the flat panel display device using the same according to the present invention, the division pattern and the second supporting parts of the first mask are integrated to align the division pattern through the alignment process of the first mask. This simplifies and improves position alignment. In addition, the mask device according to the present invention and the method for manufacturing a flat panel display device using the same facilitate easy management of the division pattern integrated into the first mask. In addition, the mask device and the method of manufacturing the flat panel display device using the same according to the present invention can prevent the deposition material from being formed in unnecessary areas on the substrate by the division pattern.

이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.In the detailed description of the present invention described above with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art having ordinary knowledge of the present invention described in the claims to be described later It will be understood that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the art.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (10)

다수의 화소 영역을 가지는 기판 상에 박막을 형성하기 위한 마스크 장치에 있어서,In the mask device for forming a thin film on a substrate having a plurality of pixel regions, 제1 개구부가 형성된 마스크 프레임과;A mask frame having a first opening formed therein; 상기 제1 개구부와 대향하는 영역에 다수의 제2 개구부가 형성되고, 상기 제2 개구부들 사이에 형성된 다수의 분할 패턴들을 가지는 제1 마스크와;A first mask having a plurality of second openings formed in an area facing the first opening, and having a plurality of split patterns formed between the second openings; 상기 화소 영역과 대응하는 다수의 슬릿을 가지며 상기 다수의 제2 개구부 중 적어도 어느 하나와 대향하는 영역에 형성되는 적어도 하나의 제2 마스크를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 장치.And at least one second mask having a plurality of slits corresponding to the pixel region and formed in a region facing at least one of the plurality of second openings. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 마스크는The first mask is 서로 평행하며 상기 분할 패턴과 나란한 제1 지지부들과;First supports parallel to each other and parallel to the division pattern; 상기 다수의 분할 패턴들의 양단과 연결되어 상기 다수의 제2 개구부를 마련하는 제2 지지부들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 장치.And a second support part connected to both ends of the plurality of division patterns to provide the plurality of second openings. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제2 지지부들은 상기 다수의 분할 패턴들 각각의 양단과 독립적으로 연결된 것을 특징으로 하는 마스크 장치.And the second supports are connected to both ends of each of the plurality of division patterns independently. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 마스크가 다수개인 경우, 상기 제2 마스크들은 상기 분할 패턴을 사이에 두고 이격되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치.And the second masks are spaced apart from each other with the division pattern interposed therebetween. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분할 패턴은 상기 제2 마스크들 간의 이격된 틈 이상의 폭을 가지며, 인접한 제2 마스크들의 상기 슬릿부 사이의 거리 이하의 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 장치.The division pattern has a width equal to or greater than a spaced gap between the second masks and a width equal to or less than a distance between the slit portions of adjacent second masks. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 마스크는 상기 마스크 프레임 상에 접합 고정되며, 상기 제2 마스크는 상기 제1 마스크 상에 접합 고정되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치.And the first mask is bonded and fixed on the mask frame, and the second mask is bonded and fixed on the first mask. 제1 개구부가 형성된 마스크 프레임, 상기 제1 개구부와 대향하는 영역에 다수의 제2 개구부가 형성되고, 상기 제2 개구부들 사이에 형성된 다수의 분할 패턴들을 가지는 제1 마스크, 다수의 슬릿을 가지며 상기 다수의 제2 개구부 중 적어도 어느 하나와 대향하는 영역에 형성되는 적어도 하나의 제2 마스크를 포함하는 마스크 장치를 마련하는 단계와;A mask frame having a first opening, a plurality of second openings formed in an area facing the first opening, a first mask having a plurality of split patterns formed between the second openings, a plurality of slits, Providing a mask device including at least one second mask formed in an area facing at least one of the plurality of second openings; 상기 마스크 장치와 기판이 마주보도록 정렬하는 단계와;Aligning the mask device and the substrate so as to face each other; 상기 마스크 프레임의 제1 개구부, 상기 제1 마스크의 제2 개구부 및 상기 제2 마스크의 슬릿부를 통과한 증착 물질이 상기 기판 상에 박막으로 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법.And forming a thin film on the substrate, the deposition material passing through the first opening of the mask frame, the second opening of the first mask, and the slit of the second mask. Way. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제1 마스크를 마련하는 단계는Preparing the first mask 서로 평행하며 상기 분할 패턴과 나란한 제1 지지부들, 상기 다수의 분할 패턴들의 양단과 연결되어 상기 다수의 제2 개구부를 마련하는 제2 지지부들을 추가로 포함하는 상기 제1 마스크를 마련하는 단계인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법.Providing the first mask further comprising first support portions parallel to each other and parallel to the division pattern, and second support portions connected to both ends of the plurality of division patterns to provide the plurality of second openings. The manufacturing method of the flat panel display characterized by the above-mentioned. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 제2 지지부들은 상기 다수의 분할 패턴들 각각의 양단과 독립적으로 연결된 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법.And the second supporting parts are independently connected to both ends of each of the plurality of division patterns. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제1 마스크는 상기 마스크 프레임 상에 접합 고정되며, 상기 제2 마스크는 상기 제1 마스크 상에 접합 고정되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법.And the first mask is bonded and fixed on the mask frame, and the second mask is bonded and fixed on the first mask.
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