KR20080040832A - 기판제조장치 - Google Patents

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KR20080040832A
KR20080040832A KR1020060108678A KR20060108678A KR20080040832A KR 20080040832 A KR20080040832 A KR 20080040832A KR 1020060108678 A KR1020060108678 A KR 1020060108678A KR 20060108678 A KR20060108678 A KR 20060108678A KR 20080040832 A KR20080040832 A KR 20080040832A
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chamber
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load lock
lock chamber
process chamber
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KR1020060108678A
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김상두
연강흠
이석정
김도훈
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코닉시스템 주식회사
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Abstract

본 발명은, 레이아웃 효율을 극대화할 수 있을 뿐만 아니라 기판 상에 소정의 공정 진행시 소요되는 공정 시간이 줄어들어 득률이 향상되도록 구조가 개선된 기판제조장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판제조장치는 장변 및 단변을 가지는 사각형상의 기판이 배치되며 상기 기판에 수직인 가상의 직선을 회전중심으로 회전 가능한 스테이지가 내장되는 로드록챔버; 상기 로드록챔버에 결합되며, 상기 로드록챔버로부터 반송된 기판 상에 소정의 공정이 진행되는 공정챔버; 및 카세트에 저장되어 있는 상기 기판을 상기 로드록챔버에 반입 및 반출하며, 상기 로드록챔버와 공정챔버 중 어느 하나의 챔버에 배치된 상기 기판을 상기 로드록챔버와 공정챔버 중 다른 하나의 챔버로 반송하며, 상기 공정챔버의 정면과 마주하도록 배치되는 로더;를 구비하며, 상기 로드록챔버는 상기 공정챔버의 상면, 하면, 좌측면 및 우측면 중 적어도 하나의 면에 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.
로더, 로드록챔버, 반송챔버, 공정챔버, 레이저 어닐링

Description

기판제조장치{Apparatus for manufacturing substrate}
도 1은 종래의 일례에 따른 기판제조장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 반송챔버에 설치된 로더를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판제조장치의 개략적인 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판제조장치의 개략적인 평면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판제조장치의 개략적인 정면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 기판제조장치에 사용되는 로더의 개략적인 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1...유리 기판 10,10a...로딩스테이션
11...카세트 12,12a,12b...로더
13...단축스테이지 20,20a,20b...로드록챔버
30...반송챔버 31...반송로봇
40,20a,40b...공정챔버 41,41a...스테이지
50...게이트밸브 100,100a,100b...기판제조장치
121,311...회전축 122.312...기판안착부
123,313...링크 124...샤프트
본 발명은 기판제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 로드록챔버 내에 배치된 기판을 로봇에 의해 공정챔버 내부로 소정의 방향으로 반송할 수 있도록 구조가 개선된 기판제조장치에 관한 것이다.
유기 발광 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diode Display) 또는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display) 등과 같은 평판표시장치의 기판으로는, 일반적으로 장변 및 단변을 가지는 사각형상의 유리 기판이 사용된다. 그리고, 이 유리 기판은 세정 공정, 레이저 어닐링 공정, 노광 공정 및 식각 공정 등과 같은 다양한 공정을 통해서 제조된다.
한편, 상술한 바와 같은 공정 중에서 레이저 어닐링 공정에 있어서는, 라인 빔 형상의 레이저 빔이 유리 기판 상에 조사되어 레이저 어닐링 공정이 이루어지게 되므로, 레이저 어닐링 공정의 효율을 극대화하기 위해서는 유리 기판이 공정챔버 내부에서 소정의 방향으로 배치되어야 할 필요가 있게 된다. 그리고, 레이저 어닐링 공정 이외에 여러 다른 공정, 예를 들어 레이저를 이용한 세정 공정 등에 있어서도, 공정 효율의 극대화를 위해서 유리 기판이 공정챔버 내에서 소정의 방향으로 배치되어야 한다.
이와 같이 유리 기판을 공정챔버 내에서 소정의 방향으로 배치시켜 소정의 공정이 진행되는 기판제조장치의 일례가 도 1 및 도 2에 도시되어 있다. 도 1 및 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 종래의 기판제조장치(100')는 레이저 어닐링 장치로서, 일직선 형태로 배치되며, 상호 간에 게이트밸브(50')를 매개로 접속되는 로딩스테이션(10'), 로드록챔버(20'), 반송챔버(30') 및 공정챔버(40')를 구비한다.
로딩스테이션(10')은 유리 기판(1)이 저장되어 있는 카세트(11')와, 카세트에 저장된 유리 기판을 반입 및 반출하는 로더(12')를 포함한다. 카세트에 저장되어 있던 유리 기판은 로더에 의해 로드록챔버(20')로 운반된다. 반송챔버(30')에는 진공형성을 위한 진공시스템(미도시)이 설치되어 있으며, 반송챔버(30')의 내부에는 반송로봇(31')이 내장되어 있다. 로더(12') 및 반송로봇(31')은 회전축(121',311'), 즉 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 구성된다. 또한, 로더(12') 및 반송로봇(31')은 수평방향, 즉 X-Y평면 내에서 직선 이동 가능한 기판안착부(122',312')와, 상기 기판안착부를 이동시키기 위한 복수의 링크(123',313')를 가지고 있다. 반송로봇(31')은 로드록챔버(20')와 공정챔버(40') 사이에서 유리기판을 반송한다. 공정챔버에는 레이저 빔이 조사되어 레이저 어닐링 공정이 이루어지게 된다. 공정챔버(40') 내부에는 유리 기판이 배치되는 스테이지(41')가 설치되어 있다. 스테이지(41')는 수평방향, 즉 X-Y-Z 직교좌표계 내에서 X방향 및 Y방향으로 이동 가능하며, Z축을 회전중심으로 회전 가능하도록 구성되어 있다. 그리고, 반송챔버(30') 및 공정챔버(40')에도 진공형성을 위한 진공시스템이 설치되어 있다.
상술한 바와 같이 구성된 기판제조장치에 있어서, 유리 기판 상에 레이저 어닐링 공정을 진행하기 위해서는, 먼저 로더(12')를 구동하여 유리 기판을 로드록챔버(20')로 반입한다. 이 때, 유리 기판(1)은 로드록챔버 내에서 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 유리 기판의 장변이 Y방향을 향하도록 배치된다. 그 후, 로드록챔버 내의 기판은 반송로봇(31')에 의해 Z축을 회전중심으로 180˚회전된 후 공정챔버로 반송되어 스테이지(41')에 배치된다. 이 때, 스테이지에 배치된 유리 기판의 장변은 로드록챔버(20') 내에서와 마찬가지로 Y방향을 향하도록 배치된다. 그 후, 스테이지(41')를 시계방향 또는 반시계방향으로 Z축을 회전중심으로 90˚회전시켜, 유리 기판의 장변이 X방향을 향하도록 한다. 이와 같이, 유리 기판(1)을 공정챔버(40') 내의 스테이지에 배치한 후에, 레이저 어닐링 공정을 수행한다. 그리고, 게이트밸브(50')는 상술한 과정이 원활히 진행되도록 적절하게 개폐된다. 공정 완료 후에는, 상술한 과정을 반대로 수행하여 유리 기판을 공정챔버로부터 반출하여 카세트에 보관한다.
그런데, 상술한 바와 같이 구성된 기판제조장치에 있어서는, 레이저 어닐링 공정 등과 같은 공정을 고효율로 진행하기 위해서, 공정챔버 내에서 스테이지를 90˚ 회전시켜 유리기판의 장변이 X방향을 향하도록 구성해야 하므로, 유리기판의 회전에 소정의 시간이 소요되게 된다. 따라서, 레이저 어닐링 공정에 소요되는 시간이 유리기판이 공정챔버 내에서 회전하지 않는 경우에 비해서 길어질 수 밖에 없게 된다.
그리고, 레이저 어닐링 공정 등과 같이 진공 하에서 이루어지는 공정과 달리, 상압 하에서 이루어지는 공정, 예를 들어 세정이나 상압 플라즈마 공정 등에서는 반송챔버에 진공시스템이 구비되어야 할 필요도 없게 된다. 특히, 반송챔버는 진공 하에서의 공정에서 공정효율의 향상을 위해 구비되어 있으므로, 상압 하의 공정이 이루어지는 기판제조장치에 있어서는 반드시 구비되어야 하는 것은 아니다.
또한, 공정챔버 내의 스테이지가 X방향 및 Y방향으로 이동 가능할 뿐만 아니라 Z축을 회전중심으로 회전 가능하도록 구성되어야 하므로, 스테이지의 구조가 복잡해지게 된다. 따라서, 스테이지의 제작비가 증가하게 된다.
그리고, 로딩스테이션, 로드록챔버, 반송챔버 및 공정챔버가 일직선 형태, 즉 X방향으로 길게 배치되어 있어, 기판제조장치의 길이가 X방향으로 과도하게 길어지게 되므로, 기판제조장치를 한정된 공간에 효과적으로 설치하기가 어려워진다. 즉, 레이아웃(lay-out) 효율을 극대화하기 어렵다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 레이아웃 효율을 극대화할 수 있을 뿐만 아니라 기판 상에 소정의 공정 진행시 소요되는 공정 시간이 줄어들어 득률이 향상되도록 구조가 개선된 기판제조장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 기판제조장치는 로더에 의해 반입 및 반출되며 장변 및 단변을 가지는 사각형상의 기판이 배치되는 로드록챔버; 상기 로드록챔버에 게이트밸브를 통해 접속되며, 상기 기판을 반송하는 반송로봇이 내장된 반송챔버; 및 상기 반송챔버에 게이트밸브를 통해 접속되며, 상기 반송로봇에 의해 상기 로드록챔버로부터 반송된 기판 상에 소정의 공정이 진행되는 공정챔버;를 구비하며, 상기 로드록챔버 및 공정챔버는 상기 반송챔버를 사이에 두고 서로 직교하게 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 기판제조장치는 장변 및 단변을 가지는 사각형상의 기판이 배치되며 상기 기판에 수직인 가상의 직선을 회전중심으로 회전 가능한 스테이지가 내장되는 로드록챔버; 상기 로드록챔버에 결합되며, 상기 로드록챔버로부터 반송된 기판 상에 소정의 공정이 진행되는 공정챔버; 및 카세트에 저장되어 있는 상기 기판을 상기 로드록챔버에 반입 및 반출하며, 상기 로드록챔버와 공정챔버 중 어느 하나의 챔버에 배치된 상기 기판을 상기 로드록챔버와 공정챔버 중 다른 하나의 챔버로 반송하며, 상기 공정챔버의 정면과 마주하도록 배치되는 로더;를 구비하며, 상기 로드록챔버는 상기 공정챔버의 상면, 하면, 좌측면 및 우측면 중 적어도 하나의 면에 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판제조장치의 개략적인 평면도이다.
도 3을 참조하면, 본 실시예의 기판제조장치(100)는 로딩스테이션(10)과, 로드록챔버(20)와, 반송챔버(30)와, 공정챔버(40)를 구비한다.
상기 로딩스테이션(10)은 카세트(11)와, 로더(12)를 구비한다. 상기 카세 트(11)는 장변 및 단변을 가지는 사각형상의 기판, 예를 들어 유기 발광 다이오드 디스플레이 또는 액정 디스플레이 등과 같은 평판표시장치에 사용되는 유리 기판(1)이 다수 저장되어 있다. 상기 로더(12)는 상기 카세트(11)에 저장된 유리 기판(1)을 후술하는 로드록챔버(20)로 반입 및 반출한다. 상기 로더(12)는 도 2를 참조하면서 종래기술에서 설명한 바와 마찬가지로 회전축(121), 즉 Z축을 중심으로 회전 가능하게 구성된다. 또한, 상기 로더(12)는 수평방향, 즉 X-Y평면 내에서 직선 이동 가능한 기판안착부(122)와, 상기 기판안착부를 이동시키기 위한 복수의 링크(123)를 가지고 있다.
상기 로드록챔버(20)는 게이트밸브(50)에 의해 상기 로딩스테이션(10)과 접속되어 있다. 상기 로드록챔버(20) 내부에는 로더(12)에 의해 유리 기판이 반입된다.
상기 반송챔버(30)는 게이트밸브(50)에 의해 상기 로드록챔버(20)와 접속되어 있다. 상기 반송챔버(30) 내부에는 반송로봇(31)이 내장되어 있다. 상기 반송로봇(31)은 회전축(311), 즉 Z축을 중심으로 회전 가능하게 구성된다. 또한, 상기 반송로봇(30)은 수평방향, 즉 X-Y평면 내에서 직선 이동 가능한 기판안착부(312)와, 상기 기판안착부를 이동시키기 위한 복수의 링크(313)를 가지고 있다. 상기 반송로봇(30)은 상기 로드록챔버(20)에 반입된 유리 기판을 후술하는 공정챔버(40)로 반입하며, 공정챔버에서 소정의 공정, 예를 들어 레이저 어닐링 공정이 완료된 후에는 상기 공정챔버(40) 내부에 배치된 유리 기판을 상기 로드록챔버(20)로 반출한다. 상기 반송챔버(30)에는 진공형성을 위한 진공시스템(미도시)이 설치되어 있 다.
상기 공정챔버(40)는 게이트밸브(50)에 의해 상기 반송챔버(30)와 접속되어 있다. 상기 공정챔버(40)의 내부에는 스테이지(41)가 설치되어 있다. 상기 스테이지(41)는 수평방향, X-Y-Z 직교좌표계 내에서 X방향 및 Y방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 상기 스테이지(41)에는 상기 반송로봇(31)에 의해 반송된 유리 기판이 안착된다. 상기 공정챔버(40)의 내부에는 상기 유리 기판 상에 소정의 공정이 진행되도록 소정의 공정환경이 구현된다. 예를 들어, 레이저 어닐링 공정이 진행되는 경우에는, 상기 공정챔버(40)의 내부에 진공시스템에 의해 진공 상태가 형성된 후, 레이저 빔이 조사되는 동안 스테이지(41)가 X방향 및 Y방향으로 이동함으로써 상기 유리 기판(1)이 어닐링된다.
특히, 본 실시예에 있어서는 종래와 달리 상기 로드록챔버(20) 및 공정챔버(40)가 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 반송챔버(30)를 사이에 두고 서로 직교하게 배치되어 있다. 따라서, 본 실시예에 있어서는, 종래에 비해 공정시간이 크게 단축될 뿐만 아니라 레이아웃의 효율도 극대화시킬 수 있게 된다.
이하에서는, 유리 기판(1)의 공정챔버(40)로의 반송 과정을 설명함으로써 상기한 본 실시예의 효과에 대해 상세히 설명하기로 한다.
먼저, 로더(12)를 구동하여 카세트(11)에 저장된 유리 기판(1)을 로드록챔버(20)에 반입한다. 이 때, 로드록챔버 내의 유리 기판은 그 장변이 Y방향을 향하도록 배치된다. 그 후, 반송로봇의 기판안착부(122)를 Y방향으로 직선 이동시켜 유리 기판을 그 기판안착부에 배치한 후에, 기판안착부(122)를 다시 제자리로 위치 시켜 유리 기판을 반송챔버(30)에 반입한다. 반송챔버(30)로 반입된 유리기판(1)은 그 장변이 Y방향을 향하도록 배치된다. 이 상태에서, 반송로봇(30)을 기판에 수직인 가상의 직선, 즉 반송로봇의 회전중심축(311)을 중심으로 90˚ 회전시키면, 유리 기판도 90˚ 회전하여 유리 기판의 장변이 X방향을 향하도록 배치된다. 그 후에, 반송로봇의 기판안착부(311)를 X방향으로 직선 이동시켜 유리 기판을 공정챔버로 반입하여 스테이지(41)에 배치한다. 이 때, 유리 기판은 로드록챔버에 배치되어 있을 때와는 달리 그 장변이 X방향을 향하도록 배치되어 있다. 이와 같이 유리 기판(1)을 공정챔버의 스테이지(41)에 장변이 X방향을 향하도록 배치한 후에, 레이저 어닐링 공정을 수행한다. 그리고, 각 게이트밸브(50)는 상술한 과정이 원활히 진행되도록 적절하게 개폐된다.
또한, 레이저 어닐링 공정이 완료된 후에는 상술한 과정을 반대로 수행하여 유리 기판을 공정챔버로부터 반출한다. 즉, 반송로봇(31)을 구동하여, 유리 기판을 공정챔버(40)로부터 반출한 후, 반송챔버에서 90˚ 회전시켜 유리 기판의 장변이 향하는 방향을 변화시킨다. 그 후에, 반송로봇을 이용하여 유리 기판을 로드록챔버(20)로 반송하고, 로더에 의해 카세트에 저장한다.
상술한 바와 같이, 본 실시예에 있어서는 공정챔버와 로드록챔버가 반송챔버를 사이에 두고 서로 직교하도록 배치되어 있으므로, 종래와 달리 기판제조장치의 길이가 X방향으로 과도하게 길어지지 않게 된다. 따라서, 기판제조장치를 설치할 공간을 효과적으로 이용할 수 있게 되어, 레이아웃(lay-out) 효율을 극대화할 수 있게 된다.
그리고, 공정챔버에 내장된 스테이지가 회전하지 않더라도 공정챔버에 유리기판을 원하는 방향, 예를 들어 유리 기판의 장변이 X방향을 향하도록 배치할 수 있게 되므로, 종래에 비해 레이저 어닐링 공정에 소요되는 공정 시간을 줄일 수 있게 되며 나아가 득률도 향상된다.
또한, 스테이지가 종래와 달리 회전되도록 구성될 필요가 없게 되므로, 스테이지의 구조가 종래에 비해 단순해지게 된다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판제조장치의 개략적인 평면도이다.
본 발명의 일 실시예와 동일한 구성요소에는 동일한 참조번호가 지시되고 다소 변경되었으나 대응되는 구성요소에는 ‘a’가 부가되어 지시되며, 본 발명의 다른 실시예에 대해서는 일 실시예와 동일한 부분에 대한 설명은 중복되므로 생략하기로 하고 다른 부분에 대해서만 설명하기로 한다.
도 4를 참조하면, 본 실시예의 기판제조장치(100a)는 도 3을 참조하면서 설명한 기판제조장치(100)와 달리 반송챔버를 구비하지 않는다. 본 실시예의 기판제조장치(100a)는 로드록챔버(20a)와, 공정챔버(40a)와, 로딩스테이션(10a)을 구비한다.
상기 로드록챔버(20a)에는 스테이지(41a)가 내장되어 있다. 상기 스테이지(41a)에는 장변 및 단변을 가지는 사각형상의 기판, 예를 들어 액정 디스플레이에 사용되는 유리 기판(1)이 배치된다. 상기 스테이지(41a)는 상기 유리 기판에 수직인 가상의 직선, 즉 Z방향을 중심으로 회전 가능하다. 따라서, 상기 스테이지(41a)가 회전함에 따라, 상기 유리 기판의 장변이 향하는 방향이 변하게 된다.
상기 공정챔버(40a)는 상기 로드록챔버(20a)에 결합된다. 그리고, 본 실시예에 있어서는 반송챔버가 구비되어 있지 않아서, 상기 공정챔버 내에서는 공정 효율의 향상을 위해서 상압 하에서의 공정, 예를 들어 세정 공정, 상압 플라즈마 공정 등이 이루어지는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 로드록챔버(20a)는 상기 공정챔버(40a)의 상면, 하면, 좌측면 및 우측면 중 적어도 하나의 면에 결합되어 있으며, 본 실시예에 있어서 상기 공정챔버(40a)의 우측면에 결합되어 있다. 상기 로드록챔버(20a)와 공정챔버(40a)는 서로 직접 연통되지 않으면, 후술하는 로딩스테이션(10a)을 매개로 연통된다.
상기 로딩스테이션(10a)에는, 상기 로드록챔버 및 공정챔버가 각각 게이트밸브(50)에 의해 접속되어 있다. 상기 로딩스테이션(10a)에는 로더(12a)와, 카세트(11)가 내장되어 있다. 상기 로더(12a)는 상기 공정챔버(40a)의 정면과 마주하도록 배치되어 있다. 상기 로더(12a)는 Y방향으로 이동 가능한 단축스테이지(13)에 설치되어 있다.
상기 로더(12a)는, 카세트에 저장되어 있는 유리 기판(1)을 상기 로드록챔버(20a)에 반입 및 반출한다. 상기 유리 기판의 반입과정을 살펴보면, 먼저 상기 로더의 기판안착부(122)를 Y방향으로 직선 이동시켜 유리 기판을 기판안착부(122)에 안착시킨 후 로더의 기판안착부(122)를 원위치시킨다. 그리고 나서, 로더(12a)를 90˚ 회전시키고, 로더의 기판안착부(122)를 X방향으로 직선 이동시켜 로드록챔버의 스테이지(41a)에 유리 기판을 배치한다. 이 때에, 유리 기판(1)의 장변은 Y방향을 향하게 되며, 게이트밸브(50)는 개방되어 있다. 상기 유리 기판의 반출과 정은 상술한 반입과정의 반대이다.
또한, 상기 로더(12a)는, 상기 로드록챔버의 스테이지(41a)에 배치된 유리 기판을 상기 공정챔버(40a)로 반송한다. 상기 반송과정을 살펴보면, 먼저, 로더의 기판안착부(122)를 X방향으로 이동시켜 유리 기판을 그 기판안착부에 안착시킨 후 로더의 기판안착부를 원위치시킨다. 그 후에, 로더(12a)가 결합된 단축스테이지(13)를 Y방향으로 이동시킨다. 그 후, 게이트밸브(50)를 개방하고, 로더의 기판 안착부(12)를 X방향으로 이동시켜 유리 기판을 공정챔버에 반송한다. 한편, 상기 유리 기판 상에 상압 하에서의 공정, 예를 들어 세정 공정, 상압 플라즈마 공정등이 완료된 후에는, 상술한 과정을 반대로 수행하면, 유리 기판을 공정챔버로 부터 로드록챔버로 반송할 수 있게 된다.
한편, 본 실시예에 있어서, 상기 공정챔버로 반송되는 유리 기판은 공정효율의 극대화를 위해서 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 유리 기판의 장변이 X방향을 향하도록 배치될 필요가 있다. 따라서, 로더(12a)에 의해 스테이지(41a)에 배치된 유리 기판은 공정챔버(40a)로 반송되기 전에, 그 장변이 X방향을 향하도록 스테이지를 90˚회전시켜야 한다. 이와 같이, 스테이지에 배치된 유리 기판의 장변이 X방향을 향한 상태에서, 로더(12a)를 구동하여 유리 기판을 공정챔버로 반송하면, 공정챔버(40a) 내에서 유리 기판의 장변이 X방향을 향하게 되어 공정효율을 극대화할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이 본 실시예에 있어서는, 반송챔버가 구비되어 있지 않아서 기판제조장치의 크기를 종래에 비해 비약적으로 줄일 수 있게 된다. 따라서, 기판 제조장치의 설치 공간을 줄일 수 있게 되며, 레이아웃(lay-out) 효율도 극대화할 수 있게 된다.
또한, 종래에 공정챔버 내에서 진공 하에서의 공정이 이루어지는 경우를 대비하여, 모든 기판제조장치에는 공정효율의 극대화를 위해서 진공 상태가 형성될 수 있는 반송챔버가 필수적으로 구비되어 있었다. 그러나, 상압 하에서의 공정이 공정챔버 내에서 이루어지는 경우라면, 반송챔버가 반드시 구비되지 않더라도 공정효율이 크게 영향을 받지 않게 되므로, 도 4에 도시된 기판제조장치를 통해서 상압 하에서의 공정을 진행할 수 있게 된다. 따라서, 상압 하에서의 공정이 진행되는 경우에 본 실시예와 같이 기판제조장치를 간소하게 구성함으로써 제조비 및 설치공간을 획기적으로 줄일 수 있게 된다.
한편, 도 4에는 공정챔버에 하나의 로드록챔버가 배치되도록 구성되어 있으나, 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 공정챔버 하나에 다수의 로드록챔버가 배치되도록 구성할 수 있다.
즉, 본 실시예의 기판제조장치(100b)에 있어서는 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 공정챔버(40b)의 상면, 하면, 좌측면 및 우측면 모두에 로드록챔버(20b)가 결합되어 있다. 그리고, 로더는 유리 기판을 각 로드록챔버(20b)와 공정챔버(40b) 사이, 특히 공정챔버와 공정챔버의 상면 및 하면에 결합된 로드록챔버 사이에서도 반송해야 하므로, 로더(12b)는 도 6에 도시되어 있는 바와 같이 Z방향으로 신축 가능한 샤프트(124)를 더 가지고 있다. 도 6에 도시된 가상선은 상기 로더(12b)가 Z방향으로 신장된 상태를 나타낸다. 그리고, 도 5에는 기판제조장치를 간략하게 도 시하기 위해서 로딩스테이션이 생략되어 있다.
한편, 최근에는 다수의 공정을 연속적으로 진행할 수 있도록 구성된 클러스터형태의 기판제조장치가 널리 사용되고 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예, 다른 실시예 및 또 다른 실시예를 적절하게 구성하여 다수의 공정챔버를 가지는 기판제조장치를 구성하거나, 종래의 클러스터형태의 기판제조장치에 본 발명의 일 실시예, 다른 실시예 및 또 다른 실시예를 결합하여 구성할 수도 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예들을 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 변형이 가능함은 명백하다.
상기한 구성의 본 발명에 따르면, 종래에 비해 공정시간이 크게 단축될 뿐만 아니라 장치의 크기가 줄어들어 설치 공간을 효과적으로 이용하여 레이아웃의 효율도 극대화할 수 있게 된다.

Claims (6)

  1. 로더에 의해 반입 및 반출되며 장변 및 단변을 가지는 사각형상의 기판이 배치되는 로드록챔버;
    상기 로드록챔버에 게이트밸브를 통해 접속되며, 상기 기판을 반송하는 반송로봇이 내장된 반송챔버; 및
    상기 반송챔버에 게이트밸브를 통해 접속되며, 상기 반송로봇에 의해 상기 로드록챔버로부터 반송된 기판 상에 소정의 공정이 진행되는 공정챔버;를 구비하며,
    상기 로드록챔버 및 공정챔버는 상기 반송챔버를 사이에 두고 서로 직교하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판제조장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 반송로봇은, 상기 로드록챔버에 배치된 기판을 상기 기판에 수직인 가상의 직선을 회전중심으로 90˚ 회전시켜 상기 공정챔버에 반송하며, 상기 공정챔버에 배치된 기판을 상기 기판에 수직인 가상의 직선을 회전중심으로 90˚ 회전시켜 상기 로드록챔버에 반송 가능하도록 구성되어, 상기 기판의 반송 전 및 반송 후에 상기 기판의 장변이 향하는 방향이 변화되는 것을 특징으로 하는 기판제조장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 공정챔버에서는 레이저 어닐링 공정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판제조장치.
  4. 장변 및 단변을 가지는 사각형상의 기판이 배치되며 상기 기판에 수직인 가상의 직선을 회전중심으로 회전 가능한 스테이지가 내장되는 로드록챔버;
    상기 로드록챔버에 결합되며, 상기 로드록챔버로부터 반송된 기판 상에 소정의 공정이 진행되는 공정챔버; 및
    카세트에 저장되어 있는 상기 기판을 상기 로드록챔버에 반입 및 반출하며, 상기 로드록챔버와 공정챔버 중 어느 하나의 챔버에 배치된 상기 기판을 상기 로드록챔버와 공정챔버 중 다른 하나의 챔버로 반송하며, 상기 공정챔버의 정면과 마주하도록 배치되는 로더;를 구비하며,
    상기 로드록챔버는 상기 공정챔버의 상면, 하면, 좌측면 및 우측면 중 적어도 하나의 면에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 기판제조장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 로드록챔버로 반입된 기판은 상기 스테이지에서 회전된 후, 상기 로더에 의해 상기 공정챔버로 반송되어, 상기 기판의 반송 전 및 반송 후에 상기 기판의 장변이 향하는 방향이 변화되는 것을 특징으로 하는 기판제조장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 공정챔버에서는 상압 하에서의 공정이 진행되는 것을 특징으로 하는 기판제조장치.
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