KR20080029101A - Printed circuit board and manufacturing method thereof - Google Patents

Printed circuit board and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR20080029101A
KR20080029101A KR1020060094667A KR20060094667A KR20080029101A KR 20080029101 A KR20080029101 A KR 20080029101A KR 1020060094667 A KR1020060094667 A KR 1020060094667A KR 20060094667 A KR20060094667 A KR 20060094667A KR 20080029101 A KR20080029101 A KR 20080029101A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plating
plating layer
layer
metal layer
circuit pattern
Prior art date
Application number
KR1020060094667A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100826113B1 (en
Inventor
안진용
류창섭
츠네오 야부우치
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020060094667A priority Critical patent/KR100826113B1/en
Publication of KR20080029101A publication Critical patent/KR20080029101A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100826113B1 publication Critical patent/KR100826113B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/243Reinforcing the conductive pattern characterised by selective plating, e.g. for finish plating of pads
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/108Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by semi-additive methods; masks therefor
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/241Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus

Abstract

A PCB(Printed Circuit Board) and a manufacturing method thereof are provided to reduce an etching amount due to permeation of a plating solution into an interface between a sliver core substrate and a copper plating layer. A manufacturing method of a PCB includes the steps of: laminating a plating resist on a core substrate with a metal layer on a surface and selectively etching a part of the plating resist in correspondence to a circuit pattern(S20); applying power to the metal layer to selectively deposit a first plating layer on the metal layer to correspond to the circuit pattern(S30); and applying power to the metal layer to deposit a second plating layer on the first plating layer to correspond to the circuit pattern(S40).

Description

인쇄회로기판 및 그 제조방법{Printed circuit board and manufacturing method thereof}Printed circuit board and manufacturing method thereof

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 나타낸 순서도.1 is a flow chart showing a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조공정을 나타낸 흐름도.2 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3a는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조공정을 나타낸 흐름도.Figure 3a is a flow chart showing a manufacturing process of a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.

도 3b는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조공정을 나타낸 흐름도.Figure 3b is a flow chart showing a manufacturing process of a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.

도 4a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 직류도금층의 표면을 촬영한 사진.Figure 4a is a photograph of the surface of the DC plating layer according to an embodiment of the present invention.

도 4b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 펄스도금층의 표면을 촬영한 사진.Figure 4b is a photograph of the surface of the pulse plating layer according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 : 코어기판 102 : 금속층100: core substrate 102: metal layer

104 : 도금 레지스트 106 : 직류도금층104: plating resist 106: DC plating layer

108 : 펄스도금층108: pulse plated layer

본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board and a method of manufacturing the same.

인쇄회로기판의 표면에 회로패턴을 형성하는 방법으로서, 코어기판에 얇게 무전해 동도금을 하고 그 위에 감광성 레지스트를 적층한 후, 노광, 현상하여 회로 패턴에 상응하도록 레지스트의 일부를 선택적으로 제거하고, 회로패턴이 형성될 부분에 전해도금을 한 후, 레지스트 및 무전해 동도금층을 제거하는 이른바 '애디티브(additive)' 공법이 적용되고 있다.A method of forming a circuit pattern on the surface of a printed circuit board, comprising a thin electroless copper plating on a core board and laminating a photosensitive resist thereon, and then exposing and developing a portion of the resist selectively to correspond to the circuit pattern. After the electroplating of the portion where the circuit pattern is to be formed, a so-called 'additive' method of removing the resist and the electroless copper plating layer is applied.

여기서, 전해도금을 위한 도금방법으로는, 교류전원을 이용한 펄스(Pulse)도금법과 직류전원을 이용한 직류도금법이 사용된다. 펄스도금법의 경우 도금층의 성장속도는 빠르지만 구리의 결정조직이 큰 반면, 직류도금법은 도금층의 성장 속도는 느리지만 결정조직이 미세하다는 특징이 있다.Here, as a plating method for electroplating, a pulse plating method using an AC power supply and a DC plating method using a DC power supply are used. In the case of the pulse plating method, the growth rate of the plating layer is fast but the crystal structure of copper is large, whereas the DC plating method is characterized in that the growth rate of the plating layer is slow but the crystal structure is fine.

펄스도금법을 이용하여 전해도금을 할 경우, 석출되는 결정구조가 크기 때문에, 후공정에서 산에 의해 결정과 결정 사이의 입계가 에칭되게 되면 표면이 거친 요철상태가 되고, 이 요철에 의해 솔더 레지스트의 잔사가 남거나 표면 평탄성이 떨어져 결국 플립칩(Flip Chip)의 접합 불량의 원인이 되기도 한다. 또한, 펄스도금법에 의한 도금층은 산에 의한 에칭이 보다 쉽게 이루어지기 때문에, 미세회로 형성과정에서 회로 아래쪽에 언더컷(Under cut)이 발생할 수 있으며, 이는 미세회로 형성에 있어서 문제점으로 작용하게 된다.In the case of electroplating by the pulse plating method, the precipitated crystal structure is large. If the grain boundary between the crystal and the crystal is etched by acid in a later step, the surface becomes rough and uneven, and the unevenness of the solder resist Residual residue or poor surface flatness may eventually lead to poor bonding of flip chips. In addition, since the plating layer by the pulse plating method is more easily etched by acid, undercut may occur under the circuit during the formation of the microcircuit, which causes a problem in forming the microcircuit.

반면, 직류도금법으로 회로를 형성할 경우에는 펄스도금법에서 문제가 되었던 표면의 거친 요철문제나 회로의 언더컷 발생은 적어지나, 동도금의 두께 편차가 펄스도금의 경우보다 크고 도금층의 성장속도가 느려 펄스도금법보다 생산성이 떨어진다는 문제가 있다.On the other hand, when the circuit is formed by the DC plating method, rough surface irregularities and undercuts of the circuit, which have been a problem in the pulse plating method, are less likely to occur.However, the thickness variation of the copper plating is larger than that of the pulse plating method, and the growth rate of the plating layer is slower. There is a problem that the productivity is lower.

본 발명은 기판의 표면 평탄성을 높이고, 회로 아래쪽에 언더컷 발생을 줄이며, 동도금의 두께 편차를 줄이고, 도금층의 성장속도를 높여 생산성을 높일 수 있는 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공한다. The present invention provides a printed circuit board and a method of manufacturing the same, which can increase the surface flatness of the substrate, reduce the occurrence of undercut under the circuit, reduce the thickness variation of copper plating, and increase the growth rate of the plating layer.

본 발명의 일 측면에 따르면, (a) 표면에 금속층이 적층되어 있는 코어기판에, 도금 레지스트를 적층하고 회로패턴에 상응하여 그 일부를 선택적으로 제거하는 단계, (b) 금속층에 전원을 인가하여, 회로패턴에 상응하도록 금속층에 제1 도금층을 선택적으로 증착시키는 단계 및 (c) 금속층에 전원을 인가하여 회로패턴에 상응하도록 제1 도금층에 제2 도금층을 증착시키는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조방법이 제공된다.According to an aspect of the present invention, (a) laminating a plating resist on a core substrate having a metal layer laminated on its surface, and selectively removing a portion thereof in accordance with a circuit pattern, (b) applying power to the metal layer And selectively depositing a first plating layer on the metal layer to correspond to the circuit pattern, and (c) depositing a second plating layer on the first plating layer to correspond to the circuit pattern by applying power to the metal layer. A method is provided.

보다 구체적으로, 코어기판에 일정부분의 도금 레지스트를 올리고, 제1 도금층을 선택적으로 성장시키며. 제1 도금층과 상응하는 제2도금층을 선택적으로 성장 시킬 수 있다.More specifically, a portion of the plating resist is raised on the core substrate, and the first plating layer is selectively grown. The second plating layer corresponding to the first plating layer may be selectively grown.

단계 (a) 이전에, 코어기판에 얇게 무전해 동도금을 하여 금속층을 적층시킬 수 있으며, 도금 레지스트는 감광성 레지스트인 드라이 필름을 포함하고, 단계 (a)은 드라이 필름을 노광, 현상하여 선택적으로 제거하는 단계를 포함할 수 있다.Prior to step (a), a thin electroless copper plating may be deposited on the core substrate to deposit a metal layer, and the plating resist may include a dry film which is a photosensitive resist, and step (a) may selectively remove the dry film by exposing and developing the film. It may include the step.

단계 (c) 이후에, (c1) 금속층에 전원을 인가하여, 단계 (b)와 동일한 도금방법으로 회로패턴에 상응하도록 제2 도금층에 제3 도금층을 증착하고, 도금 레지스트 및 그에 상응하는 금속층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.After step (c), power is applied to the metal layer (c1), the third plating layer is deposited on the second plating layer to correspond to the circuit pattern by the same plating method as in step (b), and the plating resist and the corresponding metal layer are deposited. It may include the step of removing.

단계 (b)가 직류도금법에 의해 수행되면, 단계 (c)는 펄스도금법에 의해 수행되는데, 직류도금법은 결정입계가 작고, 내산성이 강하여, 코어기판과 전기도금 계면의 도금액 침투에 의한 에칭량을 크게 감소 시킬 수 있다. 따라서, 코어기판과 접하는 제1 도금층을 직류도금법에 의해 증착시킴으로써, 산으로 에칭이 되어 문제가 되는 부분의 에칭량을 감소시킬 수 있고, 제2 도금층은 결정입계가 크고, 도금 성장이 빠르며 패턴 추종성이 양호하고, 도금의 불균형이 작은 펄스도금법에 의해 증착시키는 것이 바람직하다.When step (b) is performed by the direct current plating method, step (c) is performed by the pulse plating method, which has a small grain boundary and strong acid resistance, so that the etching amount due to the penetration of the plating solution between the core substrate and the electroplating interface is obtained. Can be greatly reduced. Therefore, by depositing the first plating layer in contact with the core substrate by the direct current plating method, it is possible to reduce the amount of etching of the problematic portions by etching with acid, and the second plating layer has a large grain boundary, rapid plating growth, and pattern followability. This is preferable, and it is preferable to deposit by the pulse plating method with a small plating imbalance.

단계 (b)가 펄스도금법에 의해 수행되면, 단계 (c)는 직류도금법에 의해 수행될 수 있다. 제2 도금층이 직류도금법에 의해 수행됨에 따라, 실장 패드의 표면을 양호한 동표면으로 형성할 수 있다. 직류도금법의 경우 1.5 A/cm2 내지 2.0 A/cm2 의 전류밀도조건 및 2V 내지 3V 의 전압조건에서 수행될 수 있다.If step (b) is performed by the pulse plating method, step (c) may be performed by the direct current plating method. As the second plating layer is performed by the direct current plating method, the surface of the mounting pad can be formed into a good copper surface. In the case of the DC plating method, it can be carried out under a current density condition of 1.5 A / cm 2 to 2.0 A / cm 2 and a voltage condition of 2V to 3V.

또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 코어기판, 코어기판의 표면에 적층되 는 금속층, 회로패턴에 상응하여 금속층에 선택적으로 적층되는 제1 도금층 및 회로패턴에 상응하여 제1 도금층에 적층되는 제2 도금층을 포함하는 인쇄회로기판이 제공된다.In addition, according to another aspect of the present invention, the core substrate, the metal layer laminated on the surface of the core substrate, the first plating layer selectively laminated on the metal layer corresponding to the circuit pattern and the first layer laminated on the first plating layer corresponding to the circuit pattern There is provided a printed circuit board comprising a two plating layer.

여기에 회로패턴에 상응하여 제2 도금층에 적층되는 제3 도금층을 더 포함할 수 있으며, 제3 도금층은 제1 도금층과 동일한 도금방법에 의해 증착되는 것이 바람직하다. 또한, 제1 도금층은 직류도금법에 의해 증착되고, 제2 도금층은 펄스도금법에 의해 증착될 수 있다.It may further include a third plating layer laminated on the second plating layer corresponding to the circuit pattern, the third plating layer is preferably deposited by the same plating method as the first plating layer. In addition, the first plating layer may be deposited by direct current plating, and the second plating layer may be deposited by pulse plating.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위을 포함한 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features, and advantages other than the foregoing will be apparent from the following detailed description of the invention including the drawings and the claims.

이하, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a printed circuit board and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals. And duplicate description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 나타낸 순서도이다.1 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 실시예는 금속층이 적층된 코어기판에 직류도금, 펄스도금, 직류도금을 순차적으로 수행하여 기판의 표면 평탄성을 높이고, 회로 아래쪽에 언더컷 발생을 줄이며, 동도금의 두께 편차를 줄이고, 도금층의 성장속도를 높여 생산성을 높이는 것을 특징으로 한다. In this embodiment, DC plating, pulse plating, and DC plating are sequentially performed on the core substrate on which the metal layer is laminated, thereby increasing the surface flatness of the substrate, reducing the occurrence of undercut at the bottom of the circuit, reducing the thickness variation of copper plating, and the growth rate of the plating layer. It is characterized by increasing the productivity.

이를 위해 먼저, 코어기판에 무전해 동도금을 하여 금속층을 적층해서(S10) 전기 전도가 가능하도록 한다. 무전해 동도금층은 화학도금법으로 얇게 적층되고, 수지, 세라믹, 유리 등과 같은 절연체의 표면에 도전성을 부여하기 위한 도금방법이다.To this end, first, electroless copper plating is performed on the core substrate to stack a metal layer (S10) to enable electrical conduction. The electroless copper plating layer is thinly laminated by chemical plating, and is a plating method for imparting conductivity to the surface of an insulator such as resin, ceramic, glass, or the like.

무전해 동도금하여 금속층이 적층된 코어기판에 도금 레지스트를 적층하고 회로패턴에 상응하여 그 일부를 선택적으로 제거(S20)함으로써, 코어기판에 일정부분의 도금 레지스트를 올린다. 이때, 도금 레지스트는 감광성 레지스트인 드라이 필름을 포함하고, 드라이 필름을 노광하여 자외선을 조사함으로써, 감광성 레지스트가 빛에 반응하도록 한다, 또한, 현상 공정을 수행함으로써, 자외선에 노출되어 경화된 부분을 남기고, 그 외의 부분은 용해시켜 회로패턴에 상응하는 도금 레지스트를 선택적으로 제거할 수 있다. The plating resist is laminated on the core substrate on which the metal layer is laminated by electroless copper plating, and a part of the plating resist is selectively removed according to the circuit pattern (S20), thereby placing a predetermined portion of the plating resist on the core substrate. At this time, the plating resist includes a dry film, which is a photosensitive resist, and the photosensitive resist reacts to light by exposing the dry film to irradiate ultraviolet rays, and by performing a developing process, leaving a hardened portion exposed to ultraviolet rays. The other portions can be dissolved to selectively remove the plating resist corresponding to the circuit pattern.

금속층에 전원을 인가하여, 회로패턴에 상응하도록 금속층에 전해도금이 시작되는 부분, 예를 들어 1 ㎛ 내지 3 ㎛의 부분에 제1 도금층을 선택적으로 증착시킨다(S30). 여기서'선택적으로'증착시킨다는 것은, 무전해 도금층의 전체 표면 중 회로패턴이 형성될 부분, 즉 무전해 도금층의 일부에만 전해도금층을 증착시키는 것을 의미한다.The power is applied to the metal layer to selectively deposit the first plating layer on the portion where the electroplating starts, for example, 1 μm to 3 μm, to correspond to the circuit pattern (S30). Here, the "selectively" depositing means depositing the electroplating layer only on a portion of the entire surface of the electroless plating layer, that is, a part of the electroless plating layer.

제1 도금층금속층에 전원을 인가하여, 회로패턴에 상응하도록 제1 도금층에 제2 도금층을 증착시킨다(S40). 이때, 예를 들어, 제1 도금층이 직류도금법에 의해 적층되면 제2 도금층은 펄스도금법에 의해 적층되도록 하는 것이 좋다. 한편, 제1 도금층이 펄스도금법에 의해 적층되면, 제2 도금층은 직류도금법에 의해 적층되도 록 하는 것도 가능하다.Power is applied to the first plating layer metal layer to deposit a second plating layer on the first plating layer to correspond to the circuit pattern (S40). At this time, for example, when the first plating layer is laminated by the DC plating method, the second plating layer may be laminated by the pulse plating method. On the other hand, when the first plating layer is laminated by the pulse plating method, the second plating layer may be laminated by the DC plating method.

제1 도금층이 직류도금법에 의해 수행되고, 제2 도금층이 펄스도금법에 의해 수행될 경우를 살펴보면, 직류도금법은 결정입계가 작고, 내산성이 강하여, 코어기판과 전기동도금 계면의 도금액 침투에 의한 에칭량을 크게 감소 시킬 수 있다.Looking at the case where the first plating layer is performed by the DC plating method and the second plating layer is performed by the pulse plating method, the DC plating method has a small grain boundary and strong acid resistance, so that the etching amount due to the penetration of the plating solution between the core substrate and the electroplating interface is strong. Can be greatly reduced.

보다 구체적으로, 코어기판과 접하는 제1 도금층을 직류도금법에 의해 증착시킬 경우, 증착된 직류도금층은 결정입계가 작고, 산에 의한 침식이 작다. 따라서, 직류도금법은 후속공정의 흑화 처리에 의한 소프트 에칭이나 황산과수의 동표면 조화 시에 문제가 되는 코어기판과 동도금 계면의 도금액 침투에 의한 에칭량을 크게 저감시킬 수 있다.More specifically, when the first plating layer in contact with the core substrate is deposited by the direct current plating method, the deposited direct current plated layer has a small grain boundary and a small erosion by acid. Therefore, the direct current plating method can greatly reduce the etching amount due to the penetration of the plating liquid between the core substrate and the copper plating interface, which is a problem during soft etching by the blackening treatment in the subsequent step and coordination of the copper surface of sulfuric acid fruit water.

또한, 펄스도금법에 의해 제2 도금층을 형성함으로써, 결정입계가 크고 도금 성장이 빠르며, 회로패턴을 따라 도금층이 성장하는 정도인 패턴 추종성이 좋고, 도금의 불균형이 작은 펄스도금층을 형성할 수 있다.Further, by forming the second plating layer by the pulse plating method, it is possible to form a pulse plating layer having a large grain boundary, a fast plating growth, and a pattern followability in which the plating layer grows along the circuit pattern, and having a small imbalance in plating.

한편, 제1 도금층이 펄스도금법에 의해 수행되고, 제2 도금층이 직류도금법에 의해 수행될 경우를 살펴보면, 결정입계가 크고 도금 성장이 빠르며, 회로패턴을 따라 도금층이 성장하는 정도인 패턴 추종성이 좋고, 도금의 불균형이 작은 특징을 갖는 펄스도금층을 제1 도금층으로 형성할 수 있다. 또한, 회로표면부에 직류도금층을 형성함에 따라, 직류도금의 결정입계가 작은 성질을 이용하여 회로표면의 평활성을 높일 수 있다.On the other hand, when the first plating layer is performed by the pulse plating method and the second plating layer is performed by the direct current plating method, the grain boundary is large, the plating growth is fast, and the pattern followability is good. The pulsed plating layer having a feature of small plating imbalance can be formed as the first plating layer. In addition, by forming the DC plating layer on the circuit surface portion, the smoothness of the circuit surface can be improved by utilizing the property that the grain boundary of the DC plating is small.

또한, 제2 도금층을 직류도금법에 의해 증착시킴에 따라, 도금 레지스트 및 그에 상응하는 금속층을 제거하는 에칭과정에서 에칭량을 조절할 수 있기 때문에, 산으로 에칭이 되어 문제가 되었던 언더 컷(under cut) 부분의 에칭량을 크게 감소시킬 수 있다.In addition, as the second plating layer is deposited by the direct current plating method, the etching amount can be controlled during the etching process of removing the plating resist and the corresponding metal layer, so that the undercut that has been a problem by etching with acid is problematic. The etching amount of the portion can be greatly reduced.

펄스도금법은 펄스 파형을 갖는 전류, 즉 교류전원를 이용하여 행하는 전기도금법을 말한다. 또한, 펄스도금법은 증착물의 물성 즉, 기공도, 연성, 경도, 전기전도도, 내마모성 등이 양호하고, 주기적으로 반전되는 극성에 의한 도금층 두께분포가 향상된다.The pulse plating method is an electroplating method performed using a current having a pulse waveform, that is, an AC power supply. In addition, the pulse plating method has good physical properties of the deposit, that is, porosity, ductility, hardness, electrical conductivity, abrasion resistance, and the like, and the plating layer thickness distribution due to the polarity which is periodically reversed is improved.

무전해 도금 등의 화학도금과 대조적으로 전해도금은 주어진 전류밀도를 조작하여 시스템의 반응속도를 제어할 수 있고, 전극전위를 조절함으로써 반응 구동력의 양을 쉽게 선택할 수 있다. 전해도금에 사용되는 전류의 파형으로는, 전류가 없는 주기 또는 양극펄스에 의해 나타나는 음극펄스, 포개진 변조를 가지는 직류, 양극펄스의 연속에 의한 음극펄스의 연속, 'galvanostatic' 또는 'potentiostatic' 펄스, 사각형 파형 또는 변조된 사인파형의 펄스가 있다.In contrast to electroplating such as electroless plating, electroplating can control the reaction speed of a system by manipulating a given current density, and easily select the amount of reaction driving force by adjusting the electrode potential. Current waveforms used in electroplating include negative pulses represented by periods without current or positive pulses, direct current with superimposed modulation, and continuous negative pulses by continuous positive and negative pulses, 'galvanostatic' or 'potentiostatic' pulses. , Pulses of square or modulated sine wave.

한편, 금속층에 전원을 인가하여 회로패턴에 상응하도록 제2 도금층에 제3 도금층을 더 증착시킬 수 있다(S50). 여기서, 제1 도금층이 직류도금법에 의해 형성되면, 제2 도금층은 펄스도금법에 의해 형성되고, 제3 도금층은 다시 직류도금법에 의해 형성되도록 하는 것이 좋다. 따라서, 코어기판과 전해 동도금층 계면 부분은 직류도금법에 의해 형성되고, 중간 부분은 펄스도금법에 의해 형성되며, 마무리의 회로 표면 부분은 다시 직류도금법에 의해 도금층을 형성함으로써 원하는 두께의 회로를 형성할 수 있다. 예를 들어, 20 ㎛ 두께의 회로를 형성한다고 할 때, 처음 1 내지 3㎛ 는 직류도금으로, 중간인 14 내지 18㎛는 펄스도금으로, 나머지 1 내지 3㎛는 다시 직류도금으로 도금층을 형성할 수 있다.Meanwhile, by applying power to the metal layer, the third plating layer may be further deposited on the second plating layer to correspond to the circuit pattern (S50). Here, when the first plating layer is formed by the DC plating method, it is preferable that the second plating layer is formed by the pulse plating method, and the third plating layer is formed by the DC plating method again. Therefore, the interface portion between the core substrate and the electrolytic copper plating layer is formed by the direct current plating method, the middle part is formed by the pulse plating method, and the circuit surface part of the finish forms the plating layer by the direct current plating method to form a circuit having a desired thickness. Can be. For example, when forming a circuit having a thickness of 20 μm, the first 1 to 3 μm is formed by direct current plating, the intermediate 14 to 18 μm is formed by pulse plating, and the remaining 1 to 3 μm is formed by direct current plating. Can be.

보다 구체적으로, 코어기판과 전기 동도금층 계면 부분에 직류도금을 실시함으로써 코어기판과 전기동도금 계면의 에칭량을 감소시킬 수 있는데, 예를 들어, 1.9 ㎛ 내지 2.3㎛ 정도로 감소시킬 수도 있다. 또한, 중간부는 회로패턴을 따라 도금층이 성장하는 정도인 패턴 추종성이 좋고, 도금의 불균형이 작은 펄스도금을 실시하고, 회로표면은 재차 직류도금하여 표면을 평탄하게 할 수 있다.More specifically, by performing direct current plating on the interface portion between the core substrate and the electroplating layer, the etching amount of the interface between the core substrate and the electroplating layer may be reduced, for example, 1.9 μm to 2.3 μm. In addition, the intermediate portion has good pattern followability, which is a degree of growth of the plating layer along the circuit pattern, and performs pulse plating with small unbalance of plating, and the circuit surface can be plated again by direct current plating to flatten the surface.

직류도금법 및 펄스도금법은 1.5 A/cm2 내지 2.0 A/cm2 의 전류밀도조건 및 2V 내지 3V 의 전압조건에서 수행될 수 있고, 펄스도금법은 양극과 음극이 20 msec:1.2 msec 내지 30 msec:1.5 msec의 시간비조건, 양극과 음극이 2.5:1의 전류비에서 수행될 수 있다. 다만, 본 실시예가 이러한 수치범위에 한정되지 않음은 물론이다.The DC plating method and the pulse plating method may be performed at a current density condition of 1.5 A / cm 2 to 2.0 A / cm 2 and a voltage condition of 2V to 3V, and the pulse plating method is performed at 20 msec: 1.2 msec to 30 msec: positive and negative electrodes: A time ratio of 1.5 msec, the anode and the cathode can be performed at a current ratio of 2.5: 1. However, the embodiment is not limited to this numerical range.

또한, 직류도금층은 결정입계의 크기가 작은 것을 특징으로 하는데 예를 들어 1 ㎛ 이하로 할 수 있으며, 평면적으로 성장되고 결정이 조밀하며 경도가 약한 반면, 펄스도금층은 결정입계의 크기가 큰 것을 특징으로 하는데 예를 들어 4 ㎛ 내지 6 ㎛로 할 수 있고, 기둥모양으로 성장하며, 결정이 거칠고 경도가 강한 성질을 가지고 있다.In addition, the DC plating layer is characterized in that the grain size is small, for example, it can be less than 1 ㎛, the planar growth, the crystal is dense and the hardness is weak, while the pulse plated layer is characterized in that the grain size is large For example, it can be 4 micrometers-6 micrometers, it grows in columnar shape, and has a rough crystal and strong hardness.

마지막으로, 회로패턴에 상응하도록 제1 도금층 내지 제3 도금층을 증착시킨 코어기판에 선택적으로 적층된 도금 레지스트 및 도금 레지스트가 적층된 위치의 금속층을 제거하여 회로패턴만 잔존시킨다(S60). 이로써, 본 실시예에 따른 인쇄회 로기판의 회로패턴이 형성된다.Finally, the plating resist selectively stacked on the core substrate on which the first plating layer to the third plating layer is deposited so as to correspond to the circuit pattern, and the metal layer at the position where the plating resist is stacked are removed to leave only the circuit pattern (S60). As a result, a circuit pattern of the printed circuit board according to the present embodiment is formed.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조공정을 나타낸 흐름도이다. 도 2를 참조하면, 코어기판(100), 금속층(102), 도금 레지스트(104), 직류도금층(106), 펄스도금층(108)이 도시되어 있다.2 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, a core substrate 100, a metal layer 102, a plating resist 104, a direct current plating layer 106, and a pulse plating layer 108 are illustrated.

도 2의 (a)와 같이, 무전해 동도금을 함으로써, 표면에 금속층(102)이 적층되어 있는 코어기판(100)에, 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 도금 레지스트(104)를 적층하고, 도 2의 (c)와 같이, 회로패턴에 상응하여 도금 레지스트(104)의 일부를 선택적으로 제거한다. 보다 구체적으로, 도금 레지스트(104)는 드라이 필름을 포함하는데, 드라이 필름을 노광공정을 수행함에 따라, 드라이 필름에 자외선을 조사함으로써, 감광성 레지스트가 빛에 반응하도록 한다, 또한, 현상 공정을 수행함으로써, 자외선에 노출되어 경화된 부분을 남기고, 그 외의 부분은 용해시켜 회로패턴에 상응하는 도금 레지스트를 선택적으로 제거할 수 있다.As shown in FIG. 2 (a), the electroplating copper plating is used to deposit the plating resist 104 on the core substrate 100 having the metal layer 102 laminated thereon, as shown in FIG. 2 and selectively remove a part of the plating resist 104 in accordance with the circuit pattern, as shown in FIG. More specifically, the plating resist 104 includes a dry film, by irradiating the dry film with ultraviolet rays, thereby causing the photosensitive resist to respond to light as the dry film is subjected to the exposure process, and also by performing the developing process. After the exposure to ultraviolet light, the hardened part is left, and the other part is dissolved to selectively remove the plating resist corresponding to the circuit pattern.

다음으로, 금속층(102)에 전원을 인가하고, 직류도금법을 이용하여, 회로패턴에 상응하도록 금속층(102)에 직류도금층(106)을 선택적으로 증착시킨다. 보다 구체적으로, 금속층(102)에 전원을 인가하여, 회로패턴에 상응하도록 금속층(102)에 직류도금이 시작되는 부분, 예를 들어 1 ㎛ 내지 3 ㎛의 부분에 직류도금층(106)을 선택적으로 증착시킨다. 여기서'선택적으로'증착시킨다는 것은, 무전해 도금층의 전체 표면 중 회로패턴이 형성될 부분, 즉 무전해 도금층의 일부에만 직류도금층(106)을 증착시키는 것을 의미함은 전술한 바와 같다.Next, power is applied to the metal layer 102, and the DC plating layer 106 is selectively deposited on the metal layer 102 to correspond to the circuit pattern by using the DC plating method. More specifically, by applying power to the metal layer 102, to selectively correspond to the circuit pattern, the DC plating layer 106 selectively at the portion where the DC plating starts, for example, 1 ㎛ to 3 ㎛ Deposit. Here, the "selective" deposition means that the direct current plating layer 106 is deposited only on a portion of the entire surface of the electroless plating layer, that is, a part of the electroless plating layer.

직류도금층(106)은 결정입계의 크기가 작은 것을 특징으로 하는데, 예를 들 어 1 ㎛ 이하로 작으며, 결정이 평면적으로 성장하고, 조밀하며 경도가 약한 특성이 있다. 또한 직류도금층(106)은 내산성이 강하여, 코어기판(100)과 접하는 전해동도금층 계면 부분 다시 말해, 직류도금층(106) 계면 부분의 도금액 침투에 의한 에칭량을 크게 감소 시킬 수 있다. The DC plating layer 106 is characterized in that the size of the grain boundary is small, for example, smaller than 1 ㎛, there is a characteristic that the crystal grows planar, dense and weak hardness. In addition, since the DC plating layer 106 has strong acid resistance, the amount of etching due to the penetration of the plating liquid into the interface portion of the electrolytic copper plating layer in contact with the core substrate 100, that is, the interface portion of the DC plating layer 106 may be greatly reduced.

보다 구체적으로, 코어기판(100)에 직류도금층(106)을 증착시킬 경우, 직류도금층(106)은 결정입계가 작고, 산에 의한 침식이 작기 때문에, 후속공정의 흑화 처리에 의한 소프트 에칭이나 황산과수의 동표면 조화 시에 문제가 되는 코어기판(100)과 동도금층 계면 부분의 도금액 침투에 의한 에칭량을 감소시킬 수 있다.More specifically, when the DC plating layer 106 is deposited on the core substrate 100, since the DC plating layer 106 has a small grain boundary and small erosion by acid, soft etching or sulfuric acid by the blackening treatment of the subsequent step is performed. The etching amount due to the penetration of the plating liquid between the core substrate 100 and the copper plating layer interface portion, which is a problem when coordinating the fruit surface, can be reduced.

도 2의 (d)와 같이, 금속층(102)에 전원을 인가하여 회로패턴에 상응하도록 직류도금층(106)에 펄스도금층(108)을 증착시키는데, 직류도금층(106)에 상응하는 펄스도금층(108)이 선택적으로 성장할 수 있다. 또한, 펄스도금층(108)은 직류도금층의 증착과정에서와 마찬가지로 금속층에 전원을 인가하여, 회로패턴에 상응하도록 증착시키는 것이 바람직하다.As shown in (d) of FIG. 2, a pulse plating layer 108 is deposited on the DC plating layer 106 so as to correspond to a circuit pattern by applying power to the metal layer 102, and the pulse plating layer 108 corresponding to the DC plating layer 106. ) May grow selectively. In addition, the pulse plating layer 108 is preferably deposited to correspond to the circuit pattern by applying power to the metal layer as in the deposition process of the DC plating layer.

펄스도금법은 전술한 바와 같이, 도금층이 성장하는 정도인 패턴 추종성이 좋고, 도금의 불균형이 작기 때문에 전체 도금층의 중간부에 도금되는 것이 좋다. 또한, 도금편차 문제가 발생하지 않아 생산성을 높일 수 있다.In the pulse plating method, as described above, the pattern followability, which is the extent to which the plating layer grows, is good, and because the plating imbalance is small, it is preferable to be plated in the middle part of the entire plating layer. In addition, the plating deviation problem does not occur, it is possible to increase the productivity.

도 2의 (e)에서는, 금속층(102)에 전원을 인가하여, 회로패턴에 상응하도록 펄스도금층(108)에 직류도금층(106)을 증착시킨다. In FIG. 2E, power is applied to the metal layer 102 to deposit the DC plating layer 106 on the pulse plating layer 108 to correspond to the circuit pattern.

따라서, 코어기판(100)과 전해 동도금층 계면 부분은 직류도금법에 의해 형성되고, 중간 부분은 펄스도금법에 의해 형성되며, 마무리의 회로 표면 부분은 다 시 직류도금법에 의해 도금층을 형성함으로써 원하는 두께의 회로를 형성할 수 있다. 예를 들어, 20 ㎛ 두께의 회로를 형성한다고 할 때, 처음 1 내지 3㎛ 는 직류도금으로, 중간인 14 내지 18㎛는 펄스도금으로, 나머지 1 내지 3㎛는 다시 직류도금으로 도금층을 형성할 수 있다.Therefore, the core substrate 100 and the electrolytic copper plating layer interface portion are formed by the direct current plating method, the middle part is formed by the pulse plating method, and the circuit surface part of the finish is formed again by the direct current plating method to form a plating layer of desired thickness. A circuit can be formed. For example, when forming a circuit having a thickness of 20 μm, the first 1 to 3 μm is formed by direct current plating, the intermediate 14 to 18 μm is formed by pulse plating, and the remaining 1 to 3 μm is formed by direct current plating. Can be.

다음으로, 도 2의 (f) 및 도 2의 (g)와 같이, 도금 레지스트(104) 및 그 위치의 금속층(102)을 제거하여 바람직한 본 실시예를 완성한다.Next, as shown in Figs. 2F and 2G, the plating resist 104 and the metal layer 102 at the position are removed to complete the present preferred embodiment.

한편, 본 실시예는 코어기판(100)에 직류도금법, 펄스도금법 및 직류도금법의 순으로 전기도금을 수행한다. 이에 따라, 코어기판(100)에 직류도금법을 이용하여 제1 도금층을 형성함으로써, 직류도금의 결정입계가 작은 성질을 이용하여 코어기판(100)과 전해도금층 계면 부분의 도금액 침투에 의한 에칭량을 감소시킬 수 있으며, 중간부인 제2 도금층은 도금층이 성장하는 정도인 패턴 추종성이 양호하고, 도금의 불균형이 작은 펄스도금법에 의해 형성되어 생산성을 높일 수 있고, 제3 도금층은 마무리의 회로표면 부분으로서, 다시 직류도금법에 의해 도금층을 형성하기 때문에, 직류도금층의 특징에 따라서 회로표면 부분의 요철을 방지할 수 있고 평탄한 표면을 구현할 수 있다.On the other hand, in the present embodiment, the electroplating is performed on the core substrate 100 in the order of DC plating method, pulse plating method and DC plating method. Accordingly, by forming the first plating layer on the core substrate 100 using the DC plating method, the etching amount due to the penetration of the plating liquid between the core substrate 100 and the electrolytic plating layer interface portion is obtained by using the property of the crystal grain boundary of the DC plating being small. The second plating layer, which is the middle portion, can be reduced, and the pattern followability, which is the extent to which the plating layer is grown, is formed by a pulse plating method with a small plating imbalance, and the productivity can be increased, and the third plating layer is used as a circuit surface portion of the finish. In addition, since the plating layer is formed by the DC plating method, irregularities of the circuit surface portion can be prevented and a flat surface can be realized according to the characteristics of the DC plating layer.

도 3a는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조공정을 나타낸 흐름도, 도 3b는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조공정을 나타낸 흐름도이다.3A is a flowchart illustrating a manufacturing process of a printed circuit board according to another exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a flowchart illustrating a manufacturing process of a printed circuit board according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 코어기판(100), 금속층(102), 도금 레지스트(104), 직류도금층(106), 펄스도금층(108)이 도시되어 있다.3A and 3B, a core substrate 100, a metal layer 102, a plating resist 104, a DC plating layer 106, and a pulse plating layer 108 are illustrated.

본 실시예는 전해도금층이 증착되는 순서와 증착되는 전해도금층의 수에 있어서 도 2에 도시된 실시예와 차이가 있으며 이하 그 차이가 있는 부분만을 상세히 설명하고, 도 2와 공통되는 부분에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The present embodiment differs from the embodiment shown in FIG. 2 in the order in which the electroplating layer is deposited and the number of the electroplating layers to be deposited. The description will be omitted.

도 3a의 (d)를 참조하면, 금속층(102)이 적층되고, 도금레지스트(104)가 회로패턴에 상응하도록 선택적으로 성장된 코어기판(100)에 전해도금층이 직류도금층(106), 펄스도금층(108)의 순으로 증착되고, 두 층의 전해도금층이 형성된다.Referring to FIG. 3A (d), the electroplating layer is a DC plating layer 106 and a pulse plating layer on the core substrate 100 on which the metal layer 102 is stacked and the plating resist 104 is selectively grown to correspond to the circuit pattern. In the order of 108, two layers of electroplating layers are formed.

따라서, 본 실시예는 코어기판(100)과 상응하는 전해도금층을 직류도금에 의해 형성함으로써, 직류도금의 결정입계가 작은 성질을 이용하여 코어기판(100)과 전해도금층 계면 부분의 도금액 침투에 의한 에칭량을 감소시킬 수 있으며, 직류도금층(106) 위에 증착되는 펄스도금층(108)의 에칭량도 함께 감소시킬 수 있기 때문에, 회로표면 부분의 펄스도금층(108) 요철상태를 부분적으로 방지할 수 있다.Therefore, in the present embodiment, the electroplating layer corresponding to the core substrate 100 is formed by direct current plating, and thus, due to the penetration of the plating solution between the core substrate 100 and the electroplating layer interface part using a small grain boundary of the direct current plating. Since the etching amount can be reduced and the etching amount of the pulse plating layer 108 deposited on the DC plating layer 106 can also be reduced, the uneven state of the pulse plating layer 108 of the circuit surface portion can be partially prevented. .

도 3b의 (d)를 참조하면 금속층(102)이 적층되고, 도금레지스트(104)가 회로패턴에 상응하도록 선택적으로 성장된 코어기판(100)에 전해도금층이 펄스도금층(108), 직류도금층(106)의 순으로 증착된다.Referring to (d) of FIG. 3B, the electroplating layer is a pulse plating layer 108 and a direct current plating layer on the core substrate 100 on which the metal layer 102 is stacked and the plating resist 104 is selectively grown to correspond to the circuit pattern. In the order of 106).

본 실시예는 코어기판(100)과 상응하는 부분에 펄스도금층을 형성하고, 기판의 부품이 실장되는 회로표면 부분에 직류도금층(106)을 형성한 것으로, 펄스도금층(108)에 의해 도금 성장속도가 크기 때문에 기판의 생산성을 높일 수 있고, 도금편차를 줄일 수 있다. 또한, 회로표면은 결정입계가 작은 직류도금법의 의해 전해도금 되어 부품이 실장되는 회로표면의 평활성을 얻을 수 있다.In this embodiment, a pulse plating layer is formed on a portion corresponding to the core substrate 100, and a DC plating layer 106 is formed on a portion of the circuit surface on which the components of the substrate are mounted. The plating growth rate is achieved by the pulse plating layer 108. Because of the large size, the productivity of the substrate can be increased, and the plating deviation can be reduced. In addition, the circuit surface is electroplated by a direct current plating method having a small grain boundary, so that smoothness of the circuit surface on which the component is mounted can be obtained.

도 4a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 직류도금층의 표면을 촬영한 사진, 도 4b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 펄스도금층의 표면을 촬영한 사진이다.Figure 4a is a photograph of the surface of the DC plating layer according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 4b is a photograph of the surface of the pulse plating layer according to a preferred embodiment of the present invention.

도시된 사진을 참조하면, 도 4a의 직류도금층의 표면을 촬영한 사진에서 알 수 있는 바와 같이, 작은 그레인 사이즈(grain size)로 형성되어 있어, 결정입계가 작기 때문에, 직류도금층이 부품이 실장되는 회로표면에 증착되었을 때, 동표면을 평탄하게 하고 요철문제를 발생시키지 않게 하는 장점을 갖는다.Referring to the photograph shown, as shown in the photograph of the surface of the DC plating layer of FIG. 4A, since the grain size is small and the grain boundaries are small, the DC plating layer is mounted. When deposited on the circuit surface, it has the advantage of flattening the copper surface and not causing unevenness.

또한, 도 4b의 펄스도금층의 표면을 촬영한 사진에서 알 수 있는 바와 같이, 큰 그레인 사이즈로 형성되어 있어, 결정입계가 크기 때문에, 도금층의 성장속도가 크고 도금편차가 작아 도금층의 생산성을 높일 수 있다. In addition, as can be seen from the photograph of the surface of the pulsed plating layer of FIG. 4B, since the grain size is large and the grain boundary is large, the growth rate of the plating layer is large and the plating deviation is small, thereby increasing the productivity of the plating layer. have.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 청구범위 내에 존재한다.Many embodiments other than those described above are within the scope of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법 은 코어기판과 동도금층 계면 부분의 도금액 침투에 의한 에칭량을 크게 감소 시킬 수 있으며, 부품이 실장되는 회로표면을 평탄하게 구현할 수 있고, 도금 편차문제를 해결하여 기판의 생산성을 높일 수 있다.As described above, the method of manufacturing the printed circuit board according to the preferred embodiment of the present invention can greatly reduce the etching amount due to the penetration of the plating liquid between the core substrate and the copper plating layer interface portion, and can smoothly implement the circuit surface on which the component is mounted. In addition, it is possible to improve the productivity of the substrate by solving the plating deviation problem.

Claims (11)

(a) 표면에 금속층이 적층되어 있는 코어기판에, 도금 레지스트를 적층하고 회로패턴에 상응하여 그 일부를 선택적으로 제거하는 단계;(a) laminating a plating resist on a core substrate having a metal layer laminated on the surface thereof, and selectively removing a portion thereof in accordance with a circuit pattern; (b) 상기 금속층에 전원을 인가하여, 상기 회로패턴에 상응하도록 상기 금속층에 제1 도금층을 선택적으로 증착시키는 단계; 및(b) applying power to the metal layer to selectively deposit a first plating layer on the metal layer to correspond to the circuit pattern; And (c) 상기 금속층에 전원을 인가하여 상기 회로패턴에 상응하도록 상기 제1 도금층에 제2 도금층을 증착시키는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.(c) depositing a second plating layer on the first plating layer to correspond to the circuit pattern by applying power to the metal layer. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단계 (a) 이전에, 상기 코어기판에 무전해 동도금을 하여 상기 금속층을 적층시키는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.Before the step (a), further comprising the step of laminating the metal layer by electroless copper plating on the core substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도금 레지스트는 드라이 필름을 포함하고, 상기 단계 (a)는, 상기 드라이 필름을 노광, 현상하여 선택적으로 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.The plating resist includes a dry film, and the step (a) includes exposing and developing the dry film to selectively remove the printed circuit board. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단계 (c) 이후에,After step (c), (c1) 상기 금속층에 전원을 인가하여, 상기 단계 (b)와 동일한 도금방법으로 상기 회로패턴에 상응하도록 상기 제2 도금층에 제3 도금층을 증착하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.and (c1) applying a power to the metal layer, and depositing a third plating layer on the second plating layer so as to correspond to the circuit pattern by the same plating method as in the step (b). 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단계 (c) 이후에, 상기 도금 레지스트 및 그에 상응하는 상기 금속층을 제거하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.After the step (c), further comprising the step of removing the plating resist and the corresponding metal layer. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단계 (b)는 직류도금법에 의해 수행되고, 상기 단계 (c)는 펄스도금법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.The step (b) is performed by a direct current plating method, and the step (c) is performed by a pulse plating method. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 직류도금법은 1.5 A/cm2 내지 2.0 A/cm2 의 전류밀도조건 및 2V 내지 3V 의 전압조건에서 수행되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.The DC plating method is a method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that performed at a current density condition of 1.5 A / cm 2 to 2.0 A / cm 2 and a voltage condition of 2V to 3V. 코어기판;A core substrate; 상기 코어기판의 표면에 적층되는 금속층;A metal layer laminated on the surface of the core substrate; 회로패턴에 상응하여 상기 금속층에 선택적으로 적층되는 제1 도금층; 및A first plating layer selectively stacked on the metal layer corresponding to the circuit pattern; And 상기 회로패턴에 상응하여 상기 제1 도금층에 적층되는 제2 도금층을 포함하는 인쇄회로기판.A printed circuit board comprising a second plating layer laminated on the first plating layer corresponding to the circuit pattern. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 회로패턴에 상응하여 상기 제2 도금층에 적층되는 제3 도금층을 더 포함하는 인쇄회로기판.The printed circuit board further comprises a third plating layer laminated on the second plating layer corresponding to the circuit pattern. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제3 도금층은 상기 제1 도금층과 동일한 도금방법에 의해 증착되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.The third plating layer is a printed circuit board, characterized in that deposited by the same plating method as the first plating layer. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 제1 도금층은 직류도금법에 의해 증착되고, 상기 제2 도금층은 펄스도금법에 의해 증착되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.The first plating layer is deposited by a direct current plating method, the second plating layer is a printed circuit board, characterized in that deposited by the pulse plating method.
KR1020060094667A 2006-09-28 2006-09-28 Printed circuit board and manufacturing method thereof KR100826113B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060094667A KR100826113B1 (en) 2006-09-28 2006-09-28 Printed circuit board and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060094667A KR100826113B1 (en) 2006-09-28 2006-09-28 Printed circuit board and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080029101A true KR20080029101A (en) 2008-04-03
KR100826113B1 KR100826113B1 (en) 2008-04-29

Family

ID=39531721

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060094667A KR100826113B1 (en) 2006-09-28 2006-09-28 Printed circuit board and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100826113B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101009228B1 (en) * 2009-08-19 2011-01-19 삼성전기주식회사 A fabricating method of a printed circuit board
CN105992463A (en) * 2015-03-06 2016-10-05 深南电路股份有限公司 Method for manufacturing step circuit board and step circuit board

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05243730A (en) * 1992-03-03 1993-09-21 Hitachi Chem Co Ltd Manufacture of printed wiring board
KR100319819B1 (en) * 2000-02-07 2002-01-05 전우창 Method of producing a multi-layer printed-circuit board for a RF power amplifier
KR20030080413A (en) * 2002-04-08 2003-10-17 주식회사 심텍 The electroplating method of micro via hole for the use of multiple layers printed circuit board using step current density
KR100590196B1 (en) * 2003-08-30 2006-06-15 엘에스전선 주식회사 treating method of front and side face of copper foil mesh by conductive material
KR20050109653A (en) * 2004-05-17 2005-11-22 (주)칩트론 Preparation of semiconductor substrate by build up technology

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101009228B1 (en) * 2009-08-19 2011-01-19 삼성전기주식회사 A fabricating method of a printed circuit board
CN105992463A (en) * 2015-03-06 2016-10-05 深南电路股份有限公司 Method for manufacturing step circuit board and step circuit board

Also Published As

Publication number Publication date
KR100826113B1 (en) 2008-04-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100834515B1 (en) Method for forming photoresist-laminated substrate, method for plating insulating substrate, method for surface treating metal layer of circuit board, and method for manufacturing multi layer ceramic condenser using metal nanoparticles aerosol
US20030178315A1 (en) Method for electrochemical metallization and planarization of semiconductor substrates having features of different sizes
JP2002527621A (en) Electrodeposition of metals in small recesses using modulated electric fields
DE112012000993B4 (en) Harmless process for the production of continuous conductive strip conductors on the surfaces of a non-conductive substrate
JP2004342750A (en) Method of manufacturing electronic device
JP2003519442A (en) Method, equipment and apparatus for manufacturing electrical connection elements, electrical connection elements and semi-finished products
JPH07336017A (en) Manufacture of thin-film circuit by periodic reverse electrolyzing method and thin-film circuit board, thin-film multilayer circuit board and electronic circuit device using the same
JP4959052B2 (en) Improved method of forming conductive traces and printed circuit manufactured thereby
CN103002675A (en) Manufacturing method of substrate and manufacturing method of wiring substrate
KR101871956B1 (en) Mother plate and producing method of the same, and producing method of the same
JP4148477B2 (en) Sheet used for manufacturing multilayer wiring board, and plating method and plating apparatus used for manufacturing the sheet
TW201410085A (en) Method for producing ceramic circuit boards from ceramic substrates having metal-filled vias
KR100826113B1 (en) Printed circuit board and manufacturing method thereof
TW487968B (en) Electrochemical deposition for high aspect ratio structures using electrical plus modulation
JP2004193520A (en) Manufacturing method of printed circuit board
JPH09148715A (en) Method of manufacturing electronic circuit
KR100803004B1 (en) Method for filling through hole
JP4457843B2 (en) Circuit board manufacturing method
JP2001207288A (en) Method for electrodeposition into pore and structure
JP2000129490A (en) Electroplating method and electroplating device
JP2006518808A (en) Stencil manufacturing method
KR101861702B1 (en) Mother plate and producing method of the same, and producing method of the same
JP5145661B2 (en) Printed wiring board manufacturing method and plating apparatus
TWI722290B (en) Manufacturing method of wiring board
TWI649459B (en) Current ramp trimming and current pulsation entry for substrates for electroplating

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130403

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140325

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee