KR20080028825A - Bidirectional gate valve of vacuum processing apparatus - Google Patents

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KR20080028825A KR1020070097593A KR20070097593A KR20080028825A KR 20080028825 A KR20080028825 A KR 20080028825A KR 1020070097593 A KR1020070097593 A KR 1020070097593A KR 20070097593 A KR20070097593 A KR 20070097593A KR 20080028825 A KR20080028825 A KR 20080028825A
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Abstract

A bidirectional gate valve is provided to prevent a sealing plate from being influenced by vacuum generated in a chamber by constantly maintain uniform pressure of a valve body. A bracket(110) is positioned between chambers, coupled to the lower and upper surfaces of each chamber. A valve body(120) is formed between the chambers, separated from the upper surface of the bracket by a predetermined interval. A pair of pressure units(130) are horizontally transferred by the air supplied from the outside, positioned at the side of the valve body. A cylinder(140) is connected to the center of the valve body to elevate the valve body, fixed to the bracket. A support unit elastically supports the pressure unit, adjoining the pressure unit. A sealing plate(160) is detachably coupled to the pressure unit. The sealing plate can controls the open/close hole between the chambers by the horizontal transfer of the pressure unit. The pressure unit can include a press plate, a pair of tubes and a pair of air injection pipes. The press plate is positioned close to the lateral part of the valve body. The pair of tubes are positioned between the press plates of the valve body. The pair of air injection plates supply external air, connected to the tube.

Description

양방향 게이트 밸브{Bidirectional gate valve of vacuum processing apparatus}Bidirectional gate valve of vacuum processing apparatus

본 발명은 양방향 게이트 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 양방향 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a bi-directional gate valve, and more particularly, to a bi-directional gate valve that can maintain the airtight uniformity while at the same time minimize cylinder dependence and evenly distribute the pressure.

통상적으로 반도체 웨이퍼 또는 액정기판을 처리하기 위한 장치에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정기판은 진공챔버에 구비되는 기판 이송통로를 통하여 여러 처리실로부터 삽입 또는 반출되는데, 이러한 기판 이송통로에는 이 통로를 개폐하는 게이트 밸브가 구비된다.In general, in an apparatus for processing a semiconductor wafer or liquid crystal substrate, the semiconductor wafer or liquid crystal substrate is inserted or taken out from various processing chambers through a substrate transfer passage provided in a vacuum chamber, and the substrate transfer passage includes a gate for opening and closing the passage. A valve is provided.

이러한 게이트 밸브의 대표적인 종래기술로써 도 1에 도시된 바와 같이, 진공챔버(1) 일측에 마련된 개폐구(2)상에 상기 개폐구와 대응되는 크기를 갖는 실링판(33)을 마련하고, 상기 실링판(33)을 수평 및 수직 이동시킬 수 있게 하는 수직실린더(31)와 수평실린더(35)를 다수개 구비하여 상기 수직실린더(31)는 수직로드(33)와 브라겟(34)에 의해 수평실린더(35)를 연결하고 있으며, 상기 수평실린더(35)는 실링판(33)와 연결되어 실링판(35)을 수평 수직 이동시켜 진공챔버를 개 폐하게 되는 것이다.As a representative conventional technique of such a gate valve, as shown in FIG. 1, a sealing plate 33 having a size corresponding to the opening and closing port is provided on the opening and closing hole 2 provided at one side of the vacuum chamber 1, and the sealing plate is provided. The vertical cylinder 31 is provided with a plurality of vertical cylinders 31 and horizontal cylinders 35 for horizontally and vertically moving the vertical cylinders 31 by horizontal rods 33 and brackets 34. (35) is connected, the horizontal cylinder 35 is connected to the sealing plate 33 is to open and close the vacuum chamber by horizontally moving the sealing plate 35.

그러나 이러한 종래기술의 경우 진공챔버 내부에서 발생하는 진공압에 의해 수평실린더(35)가 강한 압력을 받게 된다. 이때 받게 되는 압력이 각각의 수평실린더에 대해 균일하게 대응되어야 하는데 각각의 수평실린더에 따라 압력차가 발생하여 일부분에서 압력 불균형에 의해 진공이 깨지는 문제점이 있었다.However, in the related art, the horizontal cylinder 35 is subjected to a strong pressure by the vacuum pressure generated inside the vacuum chamber. At this time, the pressure received should be uniformly corresponded to each horizontal cylinder, the pressure difference occurs according to each horizontal cylinder, there was a problem that the vacuum is broken due to pressure imbalance in a part.

또한 상기 게이트 밸브의 경우 실링판을 수평 및 수직 이동시킴으로 인해 구조가 복잡해지고 실린더를 이중으로 제어해야 하는 문제점이 있었다.In addition, the gate valve has a problem in that the structure is complicated by the horizontal and vertical movement of the sealing plate to control the cylinder double.

그리고, 도 2에 도시된 게이트 밸브(40)의 경우 실링판(45)을 로드(42)를 이용해 직접 연결하고, 상기 로드(42)와 연결되는 캠축(43)을 마련하여 상기 캠축(43)이 실린더 하우징(46)에 마련된 캠(44)을 따라 이동할 수 있게 하고 있다. 이는 상기 로드(42)의 수직 이동을 캠축(43)이 캠(44)의 경사면을 따라 이동하며 실링판(45)을 경사 이동할 수 있게 함으로써 개폐구를 차폐할 수 있게 하고 것이다. In the case of the gate valve 40 shown in FIG. 2, the sealing plate 45 is directly connected using the rod 42, and a cam shaft 43 connected to the rod 42 is provided to provide the cam shaft 43. It is possible to move along the cam 44 provided in this cylinder housing 46. This allows the cam shaft 43 to move along the inclined surface of the cam 44 and to tilt the sealing plate 45 to vertically move the rod 42 to shield the opening and closing port.

그러나 이 경우 실린더에 의해 실링판을 지지하고 있어 상기 실린더가 진공압과 대응되는 힘을 갖고 있어야하므로 상대적으로 실린더의 부피가 커지는 문제점이 있었으며, 또한 상기 로드의 수직 이동을 캠에 의해 경사 이동으로 전환함으로 인해 실린더의 가압력 분산으로 인해 실린더가 더욱 커져야 하는 문제점이 있었다.However, in this case, since the cylinder is supported by the cylinder and the cylinder must have a force corresponding to the vacuum pressure, there is a problem that the volume of the cylinder is relatively large, and also the vertical movement of the rod is converted to the inclined movement by the cam. Therefore, there is a problem that the cylinder should be larger due to the pressure distribution of the cylinder.

그리고 계속적인 반복 운동으로 발생하는 오차로 인해 기밀성이 떨어지는 문제점이 있었다.And there was a problem that the air tightness is lowered due to the error caused by the continuous repetitive motion.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 양방향 게이트 밸브를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a bidirectional gate valve that can maintain a uniform airtightness while at the same time minimize cylinder dependence and evenly distribute the pressure.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.The present invention has the following configuration to achieve the above object.

본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이에 위치하되 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련하되 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체; 상기 밸브 몸체의 측부에 위치하되 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하는 한쌍의 가압수단; 상기 브라켓에 고정되되 상기 밸브 몸체의 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승하강하게 하는 실린더; 상기 가압수단과 이웃하게 위치하되 상기 가압수단이 서로 탄성지지되게 하는 지지수단; 및 상기 가압수단과 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며, 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 한다.The bidirectional gate valve of the present invention comprises: a bidirectional gate valve positioned between the chambers and intermittently interposing the chambers, the bidirectional gate valve being positioned between the chambers and the chambers and coupled to the bottom or top of each chamber; A valve body disposed between the chamber and spaced apart from the upper surface of the bracket by a predetermined distance; A pair of pressurizing means positioned on the side of the valve body and horizontally moved by air supplied from the outside; A cylinder fixed to the bracket and connected to a center of the valve body to raise and lower the valve body; Support means positioned adjacent to the pressing means to allow the pressing means to elastically support each other; And a sealing plate detachably coupled to the pressing means, wherein the sealing plate causes the sealing plate to intercept the opening and closing opening between the chambers by horizontal movement of the pressing means.

또한 상기 가압수단은 상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 위치하는 압지판과, 상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 위치하는 한쌍의 튜브와, 상기 튜브와 연결되어 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관에 의해 상기 압지판을 수평 이동되 게 하며, 상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것이 바람직하다.In addition, the pressurizing means is a pressure plate positioned in close contact with the side of the valve body, a pair of tubes located between the valve body and the pressure plate, and a pair of air inlet pipes connected to the tube to supply external air By the horizontal plate to move the pressure plate, it is preferable that the tube is connected to each of the air inlet pipe independently.

그리고 상기 지지수단은 상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판과, 상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축과, 상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링에 의해 상기 압지판이 밸브 몸체 방향으로 항시 밀착될 수 있게 하며, 상기 지지수단에는 상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 더 구비한다.And the support means is built in the valve body is fixed to the pair of spring fixing plate fixed to the pressure plate, the connecting shaft for connecting the pair of spring fixing plate and the outer peripheral surface of the connecting shaft is wrapped in the spring fixing plate The holding plate may be always in close contact with the valve body by a spring for elastically supporting the holding plate, and the supporting unit may further include a fixing pin for preventing the connection shaft from flowing.

또한 상기 지지수단은 상기 튜브와 이웃하게 위치하되 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 각각 중 어느 하나 곳에 위치되도록 한다.In addition, the support means is positioned adjacent to the tube so as to be located in any one of the center or the upper and lower sides of the valve body.

그리고 상기 튜브는 그 단면의 형상이 사각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하고, 상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.The tube has a cross-sectional shape of any one selected from a square, a circular or an oval shape, and the tube has one side of the cross-sectional shape having a corrugated shape, and the tube is formed of a caterpillar or a tube selected from any one. It is desirable to.

한편 본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이에 위치하되 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련하되 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체; 상기 밸브 몸체의 측부에 위치하되 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하되 어느 하나 측면에는 패킹이 내설되는 한쌍의 가압수단; 상기 브라켓에 고정되 되 상기 밸브 몸체의 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승하강하게 하는 실린더; 상기 가압수단와 이웃하게 위치하되 상기 가압수단가 서로 탄성지지되게 하는 지지수단; 및 상기 한쌍의 가압수단 중 어느 하나와 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며, 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, the bidirectional gate valve of the present invention includes a bidirectional gate valve positioned between the chamber and the intermittent chamber, the bracket being positioned between the chamber and the chamber and coupled to the bottom or top of each chamber; A valve body disposed between the chamber and spaced apart from the upper surface of the bracket by a predetermined distance; A pair of pressurizing means positioned on the side of the valve body and horizontally moved by the air supplied from the outside, but packing is installed on either side; A cylinder fixed to the bracket and connected to a center of the valve body to move the valve body up and down; Support means positioned adjacent to the pressing means to allow the pressing means to elastically support each other; And a sealing plate detachably coupled to any one of the pair of pressing means, wherein the sealing plate causes the sealing plate to intermittently open and close the chamber and the chamber by the horizontal movement of the pressing means. It is done.

또한 상기 가압수단은 상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 위치하는 압지판과, 상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 위치하는 한쌍의 튜브와, 상기 튜브와 연결되어 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관에 의해 상기 압지판을 수평 이동되게 하며, 상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것이 바람직하다.In addition, the pressurizing means is a pressure plate positioned in close contact with the side of the valve body, a pair of tubes located between the valve body and the pressure plate, and a pair of air inlet pipes connected to the tube to supply external air By the horizontal movement of the pressure plate plate, it is preferable that the tube is connected to each of the air injection pipe independently.

그리고 상기 지지수단은 상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판과, 상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축과, 상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링에 의해 상기 압지판이 밸브 몸체 방향으로 항시 밀착될 수 있게 하며, 상기 지지수단에는 상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 더 구비한다.And the support means is built in the valve body is fixed to the pair of spring fixing plate fixed to the pressure plate, the connecting shaft for connecting the pair of spring fixing plate and the outer peripheral surface of the connecting shaft is wrapped in the spring fixing plate The holding plate may be always in close contact with the valve body by a spring for elastically supporting the holding plate, and the supporting unit may further include a fixing pin for preventing the connection shaft from flowing.

또한 상기 지지수단은 상기 튜브와 이웃하게 위치하되 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 각각 중 어느 하나 곳에 위치되도록 한다.In addition, the support means is positioned adjacent to the tube so as to be located in any one of the center or the upper and lower sides of the valve body.

그리고 상기 튜브는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도 록 하며, 상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.And the tube has a cross-sectional shape of any one selected from the polygonal, circular or elliptical shape, the tube has one side of the cross-sectional shape has a corrugated shape, the tube is any one selected from the track or tube shape. It is desirable to form.

한편 본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이를 연결하는 하우징; 상기 하우징에 내설되어 각각의 챔버와 연결되는 개폐구를 수단 운동에 단속하게 하는 밸브 몸체; 상기 하우징 외부로부터 상기 밸브 몸체 측으로 연결되어 외부 공기를 공급하게 하는 밸로우즈; 및 일측은 상기 하우징 외부 마련되고, 타측은 상기 하우징 내부에 마련되어 상기 밸브 몸체를 승강시키게 하는 승강수단;을 포함하여 이루어진다.Meanwhile, the bidirectional gate valve of the present invention includes a bidirectional gate valve positioned between the chambers and intermittently interposing the chambers, comprising: a housing connecting the chambers and the chambers; A valve body embedded in the housing for intermittent opening and closing openings connected with the respective chambers to the means movement; A bellows connected to the valve body from the outside of the housing to supply external air; And one side is provided outside the housing, and the other side is provided inside the housing and the lifting means for elevating the valve body.

또한 상기 밸브 몸체는 브라켓 몸체와, 상기 브라켓 몸체 길이 방향을 따라 적어도 하나 이상이 마련되는 홈과, 상기 홈에 내설되는 튜브와, 상기 튜브 일측에 마련되는 압지판과, 상기 압지판에 고정축에 의해 고정되어 돌출된 실링판과, 상기 브라켓 몸체에 결합되고 덮개와, 상기 압지판과 덮개 사이에 마련되어 상호 지지하게 하는 스프링으로 이루어지며, 상기 브라켓 몸체에는 상기 밸로우즈로부터 상기 튜브측으로 공기를 공급하게 유출공이 형성되어 상기 유출공에서 공급되는 공기에 의해 튜브를 가압하여 실링판을 수평이동하게 한다.The valve body may further include a bracket body, a groove provided with at least one along the length of the bracket body, a tube in the groove, a pressure plate provided on one side of the tube, and a fixed shaft on the pressure plate. And a sealing plate which is fixed and protruded by the protruding sealing plate, a spring coupled to the bracket body and provided between the paper plate and the cover to support each other, wherein the bracket body supplies air from the bellows to the tube side. Outflow holes are formed to pressurize the tube by the air supplied from the outflow hole to horizontally move the sealing plate.

그리고 상기 덮개에는 상기 압지판을 안내하게 하는 가이드 축;이 더 마련되게 하며, 상기 덮개에는 덮개에 형성된 홈이 외부로 연결되어 홈 내부 압력을 항시 일정하게 유지할 수 있게 하는 배출공;을 더 마련하고, 상기 튜브는 상기 홈 내부에 적어도 하나 이상이 내설되게 하며, 상기 튜브는 외부의 형상이 각형 또는 원형 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 한다.And the cover is further provided with a guide shaft for guiding the pressure plate, the cover is further provided with a groove formed in the cover is connected to the outside discharge hole for maintaining a constant pressure inside the groove at all times; The tube may have at least one or more insides of the groove, and the tube may have an outer shape of any one selected from a square or a circle.

또한 상기 밸브 몸체는 공급되는 공기에 의해 실링판과 브라켓 몸체가 순차적으로 동작하게 하며, 상기 밸브 몸체는 상기 실링판이 우선하여 동작하게 하는 것이 바람직하다.In addition, the valve body is preferably the sealing plate and the bracket body to be sequentially operated by the air supplied, the valve body is preferably to allow the sealing plate to operate first.

그리고 상기 승강수단은 실린더와, 상기 실린더에서 연장된 실린더 로드와 결합하는 브라켓과, 상기 브라켓에 내설되어 상기 밸브 몸체와 연결되는 수평이송부재로 이루어지며, 상기 수평이송부재는 상기 브라켓에 내설되는 가압판과, 일측은 가압판에 지지되고, 타측은 브라켓에 지지되는 탄성체와, 일측은 가압판에 결합되고, 타측은 브라켓 몸체와 연결되는 연장축으로 이루어진다.The elevating means includes a cylinder, a bracket coupled to the cylinder rod extending from the cylinder, and a horizontal conveying member installed in the bracket and connected to the valve body, wherein the horizontal conveying member is a pressure plate embedded in the bracket. And, one side is supported by the pressure plate, the other side is made of an elastic body that is supported by the bracket, one side is coupled to the pressure plate, the other side is made of an extension shaft connected to the bracket body.

또한 상기 탄성체는 우레탄, 판 스프링 또는 코일 스프링 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 하며, 상기 브라켓에는 일측을 연장 돌출된 돌출편;이 더 마련되고, 상기 브라켓 몸체 일측에 상기 돌출편과 근접하게 마련되는 스토퍼;를 더 마련하여 상기 브라켓이 브라켓 몸체 측으로 밀리는 것을 방지하도록 한다.In addition, the elastic body is made of any one selected from urethane, leaf spring or coil spring, the bracket is further provided with a protrusion protruding one side; a stopper is provided in close proximity to the protruding piece on one side of the bracket body; It is further provided to prevent the bracket from being pushed to the bracket body side.

본 발명에 따르면, 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to maintain the airtightness uniformly and at the same time minimize the cylinder dependence and evenly distribute the pressure.

또한 양측에 작용하는 외부 압력에 대해 각각 다른 압력을 갖고 대응할 수 있는 효과를 가진다.It also has the effect of responding to the external pressure acting on both sides with different pressures.

그리고 실링판을 탈부착 가능하게 함으로써 유지보수를 수월하게 할 수 있게 하는 효과를 가진다.And by making the sealing plate detachable has the effect of making it easy to maintain.

또한 밸브 몸체 압력을 항사 균일하게 할 수 있게 하여 챔버에서 발생되는 진공에 의해 실링판의 밀폐가 영향받는 것을 방지하게 하는 효과가 있다.In addition, the pressure of the valve body can be uniformly uniform, thereby preventing the sealing of the sealing plate from being affected by the vacuum generated in the chamber.

그리고 튜브 구성을 간단하게 하여 한번의 조작으로 양측의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 효과가 있다.In addition, the tube configuration can be simplified to control the opening and closing holes on both sides with one operation.

본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이에 위치하되 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련하되 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체; 상기 밸브 몸체의 측부에 위치하되 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하는 한쌍의 가압수단; 상기 브라켓에 고정되되 상기 밸브 몸체의 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승하강하게 하는 실린더; 상기 가압수단과 이웃하게 위치하되 상기 가압수단이 서로 탄성지지되게 하는 지지수단; 및 상기 가압수단과 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며, 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 한다.The bidirectional gate valve of the present invention comprises: a bidirectional gate valve positioned between the chambers and intermittently interposing the chambers, the bidirectional gate valve being positioned between the chambers and the chambers and coupled to the bottom or top of each chamber; A valve body disposed between the chamber and spaced apart from the upper surface of the bracket by a predetermined distance; A pair of pressurizing means positioned on the side of the valve body and horizontally moved by air supplied from the outside; A cylinder fixed to the bracket and connected to a center of the valve body to raise and lower the valve body; Support means positioned adjacent to the pressing means to allow the pressing means to elastically support each other; And a sealing plate detachably coupled to the pressing means, wherein the sealing plate causes the sealing plate to intercept the opening and closing opening between the chambers by horizontal movement of the pressing means.

또한 상기 가압수단은 상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 위치하는 압지판과, 상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 위치하는 한쌍의 튜브와, 상기 튜브와 연결되어 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관에 의해 상기 압지판을 수평 이동되게 하며, 상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것이 바람직하다.In addition, the pressurizing means is a pressure plate positioned in close contact with the side of the valve body, a pair of tubes located between the valve body and the pressure plate, and a pair of air inlet pipes connected to the tube to supply external air By the horizontal movement of the pressure plate plate, it is preferable that the tube is connected to each of the air injection pipe independently.

그리고 상기 지지수단은 상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판과, 상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축과, 상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링에 의해 상기 압지판이 밸브 몸체 방향으로 항시 밀착될 수 있게 하며, 상기 지지수단에는 상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 더 구비한다.And the support means is built in the valve body is fixed to the pair of spring fixing plate fixed to the pressure plate, the connecting shaft for connecting the pair of spring fixing plate and the outer peripheral surface of the connecting shaft is wrapped in the spring fixing plate The holding plate may be always in close contact with the valve body by a spring for elastically supporting the holding plate, and the supporting unit may further include a fixing pin for preventing the connection shaft from flowing.

또한 상기 지지수단은 상기 튜브와 이웃하게 위치하되 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 각각 중 어느 하나 곳에 위치되도록 한다.In addition, the support means is positioned adjacent to the tube so as to be located in any one of the center or the upper and lower sides of the valve body.

그리고 상기 튜브는 그 단면의 형상이 사각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하고, 상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.The tube has a cross-sectional shape of any one selected from a square, a circular or an oval shape, and the tube has one side of the cross-sectional shape having a corrugated shape, and the tube is formed of a caterpillar or a tube selected from any one. It is desirable to.

한편 본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이에 위치하되 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련하되 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체; 상기 밸브 몸체의 측부에 위치하되 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하되 어느 하나 측면에는 패킹이 내설되는 한쌍의 가압수단; 상기 브라켓에 고정되되 상기 밸브 몸체의 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승하강하게 하는 실린더; 상기 가압수단와 이웃하게 위치하되 상기 가압수단가 서로 탄성지지되게 하는 지지 수단; 및 상기 한쌍의 가압수단 중 어느 하나와 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며, 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, the bidirectional gate valve of the present invention includes a bidirectional gate valve positioned between the chamber and the intermittent chamber, the bracket being positioned between the chamber and the chamber and coupled to the bottom or top of each chamber; A valve body disposed between the chamber and spaced apart from the upper surface of the bracket by a predetermined distance; A pair of pressurizing means positioned on the side of the valve body and horizontally moved by the air supplied from the outside, but packing is installed on either side; A cylinder fixed to the bracket and connected to a center of the valve body to raise and lower the valve body; Support means positioned adjacent to the pressing means to allow the pressing means to elastically support each other; And a sealing plate detachably coupled to any one of the pair of pressing means, wherein the sealing plate causes the sealing plate to intermittently open and close the chamber and the chamber by the horizontal movement of the pressing means. It is done.

또한 상기 가압수단은 상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 위치하는 압지판과, 상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 위치하는 한쌍의 튜브와, 상기 튜브와 연결되어 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관에 의해 상기 압지판을 수평 이동되게 하며, 상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것이 바람직하다.In addition, the pressurizing means is a pressure plate positioned in close contact with the side of the valve body, a pair of tubes located between the valve body and the pressure plate, and a pair of air inlet pipes connected to the tube to supply external air By the horizontal movement of the pressure plate plate, it is preferable that the tube is connected to each of the air injection pipe independently.

그리고 상기 지지수단은 상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판과, 상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축과, 상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링에 의해 상기 압지판이 밸브 몸체 방향으로 항시 밀착될 수 있게 하며, 상기 지지수단에는 상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 더 구비한다.And the support means is built in the valve body is fixed to the pair of spring fixing plate fixed to the pressure plate, the connecting shaft for connecting the pair of spring fixing plate and the outer peripheral surface of the connecting shaft is wrapped in the spring fixing plate The holding plate may be always in close contact with the valve body by a spring for elastically supporting the holding plate, and the supporting unit may further include a fixing pin for preventing the connection shaft from flowing.

또한 상기 지지수단은 상기 튜브와 이웃하게 위치하되 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 각각 중 어느 하나 곳에 위치되도록 한다.In addition, the support means is positioned adjacent to the tube so as to be located in any one of the center or the upper and lower sides of the valve body.

그리고 상기 튜브는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하며, 상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.The tube has a cross-sectional shape of any one selected from a polygonal, circular or elliptical shape, and the tube has one side of the cross-sectional shape having a corrugated shape, and the tube is formed of any one of a caterpillar or a tube shape. It is desirable to.

한편 본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이를 연결하는 하우징; 상기 하우징에 내설되어 각각의 챔버와 연결되는 개폐구를 수단 운동에 단속하게 하는 밸브 몸체; 상기 하우징 외부로부터 상기 밸브 몸체 측으로 연결되어 외부 공기를 공급하게 하는 밸로우즈; 및 일측은 상기 하우징 외부 마련되고, 타측은 상기 하우징 내부에 마련되어 상기 밸브 몸체를 승강시키게 하는 승강수단;을 포함하여 이루어진다.Meanwhile, the bidirectional gate valve of the present invention includes a bidirectional gate valve positioned between the chambers and intermittently interposing the chambers, comprising: a housing connecting the chambers and the chambers; A valve body embedded in the housing for intermittent opening and closing openings connected with the respective chambers to the means movement; A bellows connected to the valve body from the outside of the housing to supply external air; And one side is provided outside the housing, and the other side is provided inside the housing and the lifting means for elevating the valve body.

또한 상기 밸브 몸체는 브라켓 몸체와, 상기 브라켓 몸체 길이 방향을 따라 적어도 하나 이상이 마련되는 홈과, 상기 홈에 내설되는 튜브와, 상기 튜브 일측에 마련되는 압지판과, 상기 압지판에 고정축에 의해 고정되어 돌출된 실링판과, 상기 브라켓 몸체에 결합되고 덮개와, 상기 압지판과 덮개 사이에 마련되어 상호 지지하게 하는 스프링으로 이루어지며, 상기 브라켓 몸체에는 상기 밸로우즈로부터 상기 튜브측으로 공기를 공급하게 유출공이 형성되어 상기 유출공에서 공급되는 공기에 의해 튜브를 가압하여 실링판을 수평이동하게 한다.The valve body may further include a bracket body, a groove provided with at least one along the length of the bracket body, a tube in the groove, a pressure plate provided on one side of the tube, and a fixed shaft on the pressure plate. And a sealing plate which is fixed and protruded by the protruding sealing plate, a spring coupled to the bracket body and provided between the paper plate and the cover to support each other, wherein the bracket body supplies air from the bellows to the tube side. Outflow holes are formed to pressurize the tube by the air supplied from the outflow hole to horizontally move the sealing plate.

그리고 상기 덮개에는 상기 압지판을 안내하게 하는 가이드 축;이 더 마련되게 하며, 상기 덮개에는 덮개에 형성된 홈이 외부로 연결되어 홈 내부 압력을 항시 일정하게 유지할 수 있게 하는 배출공;을 더 마련하고, 상기 튜브는 상기 홈 내부에 적어도 하나 이상이 내설되게 하며, 상기 튜브는 외부의 형상이 각형 또는 원형 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 한다.And the cover is further provided with a guide shaft for guiding the pressure plate, the cover is further provided with a groove formed in the cover is connected to the outside discharge hole for maintaining a constant pressure inside the groove at all times; The tube may have at least one or more insides of the groove, and the tube may have an outer shape of any one selected from a square or a circle.

또한 상기 밸브 몸체는 공급되는 공기에 의해 실링판과 브라켓 몸체가 순차 적으로 동작하게 하며, 상기 밸브 몸체는 상기 실링판이 우선하여 동작하게 하는 것이 바람직하다.In addition, the valve body is preferably the sealing plate and the bracket body to be sequentially operated by the air supplied, the valve body is preferably to allow the sealing plate to operate first.

그리고 상기 승강수단은 실린더와, 상기 실린더에서 연장된 실린더 로드와 결합하는 브라켓과, 상기 브라켓에 내설되어 상기 밸브 몸체와 연결되는 수평이송부재로 이루어지며, 상기 수평이송부재는 상기 브라켓에 내설되는 가압판과, 일측은 가압판에 지지되고, 타측은 브라켓에 지지되는 탄성체와, 일측은 가압판에 결합되고, 타측은 브라켓 몸체와 연결되는 연장축으로 이루어진다.The elevating means includes a cylinder, a bracket coupled to the cylinder rod extending from the cylinder, and a horizontal conveying member installed in the bracket and connected to the valve body, wherein the horizontal conveying member is a pressure plate embedded in the bracket. And, one side is supported by the pressure plate, the other side is made of an elastic body that is supported by the bracket, one side is coupled to the pressure plate, the other side is made of an extension shaft connected to the bracket body.

또한 상기 탄성체는 우레탄, 판 스프링 또는 코일 스프링 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 하며, 상기 브라켓에는 일측을 연장 돌출된 돌출편;이 더 마련되고, 상기 브라켓 몸체 일측에 상기 돌출편과 근접하게 마련되는 스토퍼;를 더 마련하여 상기 브라켓이 브라켓 몸체 측으로 밀리는 것을 방지하도록 한다.In addition, the elastic body is made of any one selected from urethane, leaf spring or coil spring, the bracket is further provided with a protrusion protruding one side; a stopper is provided in close proximity to the protruding piece on one side of the bracket body; It is further provided to prevent the bracket from being pushed to the bracket body side.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 제1 실시예를 설명한다.Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3 또는 도 4에 도시된 방에 의하면, 상기 양방향 게이트 밸브(100)는 브라켓(110), 밸브 몸체(120), 가압수단(130), 실린더(140), 지지수단(150) 및 실링판(160)으로 이루어진다.According to the room shown in FIG. 3 or 4, the bidirectional gate valve 100 includes a bracket 110, a valve body 120, a pressurizing means 130, a cylinder 140, a support means 150 and a sealing plate. It consists of 160.

상기 브라켓(110)은 장방향의 평판으로 이루어져 챔버(200)와 챔버(210)의 사이 저면 또는 상면 중 어느 하나에 위치하게 하고 있다. 본 발명의 바람직한 실시예로서 챔버의 저면에 결합되는 것으로 설명한다.The bracket 110 is formed of a flat plate in the longitudinal direction and is positioned on either the bottom or the top surface between the chamber 200 and the chamber 210. As a preferred embodiment of the present invention will be described as being coupled to the bottom of the chamber.

상기 밸브 몸체(120)는 상기 브라켓(110)의 상면과 소정 간격 이격되게 위치 하되 상기 실린더(140)에 의해 상기 브라켓과 연결되게 하고 있으며, 상기 밸브 몸체 폭 방향 양측에는 무한궤도 형태의 튜브 삽입홈(121)을 형성하고, 상기 밸브 몸체(120) 양측에 형성되되 상기 튜브 삽입홈(121) 내주상에 4개의 고정판 삽입홈(122)을 형성하며 상기 고정판 삽입홈(122)를 관통하는 축 삽입공(124) 형성한다. 그리고 상기 밸브 몸체 상부로에서 상기 축 삽입공을 연결하는 고정핀 삽입홈(123)을 상기 축 삽입홈과 갯수로 형성시킨다.The valve body 120 is positioned to be spaced apart from the upper surface of the bracket 110 by a predetermined interval and is connected to the bracket by the cylinder 140, the tube insertion groove of the endless track type on both sides of the valve body width direction A shaft 121 formed on both sides of the valve body 120, and having four fixing plate insertion grooves 122 formed on an inner circumference of the tube insertion groove 121 and penetrating the fixing plate insertion groove 122. Ball 124 forms. And a fixed pin insertion groove 123 for connecting the shaft insertion hole in the valve body to the upper portion is formed in the number and the shaft insertion groove.

상기 가압수단(130)은 도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 밸브 몸체(120)의 하부로부터 내측으로 삽입되는 공기 주입관(132)과, 상기 튜브 삽입홈(121)에 내설되어 상기 공기 주입관(132)의 양측으로 위치되어 상기 공기 주입관과 연결되는 튜브(131)와, 상기 밸브 몸체(120) 양측면에 밀착되게 마련되는 압지판(133)으로 이루진다.The pressurizing means 130 is installed in the air inlet tube 132 and the tube insertion groove 121 is inserted into the inner side from the bottom of the valve body 120, as shown in Figure 4 or 5 and the air Positioned on both sides of the injection pipe 132 is made of a tube 131 connected to the air injection pipe, and the pressure plate 133 is provided to be in close contact with both sides of the valve body 120.

상기 튜브(131)는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도록 할 수 있다. 또한 상기 튜브는 무한궤도 형태를 갖고 형성되어 상기 튜브 삽입홈(121)에 내설 된다. 이는 상기 공기 주입관(132)으로부터 공급된 공기를 이용해 튜브를 팽창시켜 밸브 몸체(120) 양측에 위치한 압지판(133)을 가압하여 수평 이동시켜 실링판을 이동할 수 있게 하기 위함이다.The tube 131 has a cross-sectional shape of any one selected from a polygonal, circular or elliptical shape, and the tube may have one side of the cross-sectional shape having a corrugated shape. In addition, the tube is formed to have a caterpillar shape is built in the tube insertion groove 121. This is to expand the tube by using the air supplied from the air inlet pipe 132 to press the pressure plate 133 located on both sides of the valve body 120 to move horizontally to seal the plate.

상기 공기 주입관(132)은 상기 브라켓(110)으로부터 상부로 연장되어 상기 밸브 몸체(120) 내부에 삽입 결합되도록 하고 있으며, 상기 밸브 몸체(120)의 길이 방향에 각각 2개를 마련하여 상기 좌우측에 마련된 튜브와 연결되게 하고 있다. 이 는 2개의 공기 주입관을 각각 튜브와 독립되게 연결함으로써 양측에서 작용하는 압력에 대해 다른 압력을 갖고 작용할 수 있게 하기 위함이다.The air injection pipe 132 extends upward from the bracket 110 to be inserted into the valve body 120 and is provided in the valve body 120. It is connected to the tube provided in. This is to connect the two air inlet pipes independently of the tubes so that they can operate with different pressures to the pressures acting on both sides.

상기 압지판(133)은 상기 밸브 몸체(120)의 양측부에 위치하여 상기 튜브에 의해 수평 이동될 수 있게 하고 있으며, 상기 압지판(133) 상단에 길이 방향을 따라 형성된 단턱(133a)을 마련하고 있어서 실링판(160)에 마련된 단턱(161)과 결합될 수 있게 하고 있다.The pressure plate 133 is positioned at both sides of the valve body 120 to be horizontally moved by the tube, and has a stepped portion 133a formed along the longitudinal direction on the top of the pressure plate 133. And it is to be coupled to the step 161 provided on the sealing plate 160.

상기 실린더(140)는 상기 브라켓(110) 저면 중심부 상에 결합되어 있으며, 상기 실린더(140)에서 연장된 실린더 로드(141)를 상기 브라켓(110) 상부측으로 인출시켜 상기 밸브 몸체(120)내부에 삽입 결합하여 상기 밸브 몸체를 실린더로 하여금 승하강할 수 있게 하고 있다.The cylinder 140 is coupled to the center of the bottom surface of the bracket 110, and the cylinder rod 141 extending from the cylinder 140 is led out to the upper side of the bracket 110, so that the inside of the valve body 120. Insertion and engagement allows the valve body to be raised and lowered.

상기 지지수단(150)은 도 4 또는 도 6에 도시된 바와 같이 스프링 고정판(151), 연결축(152) 및 스프링(154)으로 이루어져 상기 밸브 몸체(120) 길이 방향을 따라 4개가 일정하게 배치되는데, 상기 공기 주입관(132)과 실린더 로드(141)의 사이 사이에 위치하게 된다. 이는 상기 가압수단(130)에 의해 실링판(160)이 수평 이동하여 개폐구(211,201)를 단속시 실링판 전체면적에 대해 균일한 압력을 받도록 하여 압력의 분산시킬 수 있게 하기 위함이다.The support means 150 is composed of a spring fixing plate 151, a connecting shaft 152 and a spring 154, as shown in Figure 4 or 6, four are arranged uniformly along the longitudinal direction of the valve body 120 It is located between the air injection pipe 132 and the cylinder rod 141. This is because the sealing plate 160 is moved horizontally by the pressing means 130 to receive a uniform pressure for the entire area of the sealing plate when the opening and closing holes 211 and 201 are interrupted so that the pressure can be dispersed.

상기 스프링 고정판(151)은 상기 밸브 몸체 내부에 내설되되 압지판(133)과 결합되는 면을 밸브 몸체 측면과 수평을 이루게 형성하며, 일측은 개방시켜 스프링 홈(151a)을 형성하고, 상기 스프링 홈(151a)과 연결되는 관통공(미도시)을 관통시키고 있다.The spring fixing plate 151 is built in the valve body, but the surface coupled to the pressure plate 133 is formed to be horizontal with the valve body side, one side is opened to form a spring groove (151a), the spring groove It penetrates the through-hole (not shown) connected with 151a.

상기 연결축(152)은 상기 밸브 몸체(120)의 폭 방향과 대응되는 크기의 환봉으로 형성되며, 그 양단에 돌출편(152a)을 마련하여 돌출편(152a) 중 하나는 나사(미도시) 의해 탈착될 수 있게 한다. 그리고 상기 스프링 고정판(151)에 스프링(154)과 같이 삽입시켜 압지판(133)을 탄성지지하도록 하고 있다.The connecting shaft 152 is formed of a round bar having a size corresponding to the width direction of the valve body 120, and provided with a projection piece 152a at both ends thereof, one of the projection piece 152a is a screw (not shown) To be removable. In addition, the spring fixing plate 151 is inserted into the spring 154 so as to elastically support the pressure plate 133.

여기서 상기 연결축(152)에는 상기 밸브 몸체(120) 상부로부터 삽입되어 연결축과 결합되는 고정핀(153)을 더 마련하여 상기 고정핀으로 하여금 연결축이 밸브 몸체 내부에서 유동하는 것을 방지토록 하는 것이 바람직하다.Here, the connecting shaft 152 is further provided with a fixing pin 153 that is inserted from the upper portion of the valve body 120 and coupled to the connecting shaft to prevent the fixing pin from flowing inside the valve body. It is preferable.

도 7은 본 발명에 따른 제2 실시예로서 이를 참조하면, 상기 양방향 게이트 밸브(300)는 앞서 설명한 구성요소는 동일한 구성할 하되 상기 밸브 몸체(320) 양측에 마련되는 압지판(333) 중 어느 하나에만 실링판(360)을 마련하고 타측은 패킹(334)을 내설시켜 상기 압지판으로 하여금 실링판과 동일한 역할을 할 수 있게 하고 있다. 이는 각각의 챔버 중 어느 하나는 기판(미도시)에 공정을 실행하기 위한 공정챔버이나 상기 공정챔버 타측에 위치한 챔버는 공정을 실시하고나 공정이 끝난 기판을 외부로 반송 또는 반입하기 위한 반송챔버의 역할을 하고 있어서 플라즈마 가스에 의한 영향을 적어 실링판을 교체할 필요가 없기 때문이다.Referring to FIG. 7 as a second embodiment according to the present invention, the bidirectional gate valve 300 has the same components as described above, but any one of the pressure plate 333 provided on both sides of the valve body 320. Only one sealing plate 360 is provided, and the other side has a packing 334 therein to allow the pressure-sensitive plate to play the same role as the sealing plate. This means that either one of the chambers is a process chamber for executing a process on a substrate (not shown), or a chamber located on the other side of the process chamber has a process chamber for carrying out a process or conveying or carrying out a processed substrate to the outside. Because it plays a role, there is no need to replace the sealing plate by reducing the influence of plasma gas.

또한 본 발명의 다른 실시예로서 도면상에 도시하고 있지는 않지만 상기 튜브를 밸브 몸체 양측면 중심에 관형태로 위치시키고 상기 튜브를 중심으로 상하부에 대칭되게 지지수단을 위치시켜 실링판을 작동시키는 것도 가능하다.In addition, although not shown in the drawings as another embodiment of the present invention it is also possible to operate the sealing plate by placing the tube in the form of a tube in the center of the both sides of the valve body and the support means symmetrically positioned on the upper and lower sides about the tube. .

본 발명의 양방향 게이트 밸브의 결합관계를 설명하면, 먼저 일측에 압지판 과 스프링 고정판을 위치하고 상기 스프링 고정판에 형성된 스프링 홈(151a)에 스프링(154)을 삽입한다. 그리고 상기 스프링(154)의 내주를 따라 연결축(152)을 삽입하여 스프링 고정판 외부로 돌출되게 한다. 이 상태에서 상기 스프링 고정판과 압지판을 볼트(미도시)를 이용해 결합하면 스프링(154)이 스프링 고장판과 압지판의 사이에 연결축에 의해 위치하게 된다. 한편 외부로 돌출된 연결축을 밸브 몸체(120)에 형성된 축 삽입홈(124) 결합시켜 스프링 고정판이 고정판 삽입홈(122)에 결합됨과 동시에 압지판이 밸브 몸체 측면에 밀착될 수 있게 한다. 이때 상기 튜브 삽입홈(121)에는 튜브(131)를 삽입한 상태이어야 한다. 그리고 상기 압지판과 스프링 고정판의 결합 순서와 동일하게 타측을 결합시키면 밸브 몸체 양측면부에 압지판이 밀착되게 되며 스프링에 의해 양측의 압지판이 밸브 몸체측으로 밀착되게 된다. 그리고 상기 고정핀(153)을 고정핀(123)을 따라 삽입시켜 연결축(152)를 고정시키면 밸브 몸체 내부에서 연결축이 유동하는 것을 방지하게 한다.Referring to the coupling relationship of the bidirectional gate valve of the present invention, first, the pressure plate and the spring fixing plate is located on one side and the spring 154 is inserted into the spring groove 151a formed in the spring fixing plate. Then, the connecting shaft 152 is inserted along the inner circumference of the spring 154 to protrude out of the spring fixing plate. In this state, when the spring fixing plate and the pressure plate is coupled using a bolt (not shown), the spring 154 is positioned by the connecting shaft between the spring fault plate and the pressure plate. Meanwhile, the coupling shaft protruding outward is coupled to the shaft insertion groove 124 formed in the valve body 120 so that the spring fixing plate is coupled to the fixing plate insertion groove 122 and the pressure plate is in close contact with the valve body side. At this time, the tube insertion groove 121 should be inserted into the tube 131. In addition, when the other side is coupled in the same order as the combination of the pressure plate and the spring fixing plate, the pressure plate is in close contact with both sides of the valve body, and the pressure plate of both sides is in close contact with the valve body by the spring. The fixing pin 153 is inserted along the fixing pin 123 to fix the connecting shaft 152 to prevent the connecting shaft from flowing inside the valve body.

또한 상기 밸브 몸체(120)의 하면에서 공기 주입관(132)를 삽입하고 상기 공기 주입관과 튜브(131)가 각각 독립되게 연결시켜 결합한다. 즉, 하나의 공기 주입관은 좌측에 위치한 튜브에 연결되게 하고 다른 하나는 우측에 위치한 튜브와 연결되게 하여 공기를 각각의 튜브에 독립되게 공급한다.In addition, the air injection pipe 132 is inserted from the lower surface of the valve body 120 and the air injection pipe and the tube 131 are connected to each other independently. That is, one air inlet tube is connected to the tube located on the left side and the other is connected to the tube located on the right side to supply air to each tube independently.

그리고 상기 실린더 로드(141) 끝단을 밸브 몸체(120) 하부 중심부분으로 삽입시켜 고정하고, 상기 실린더(140)와 공기 주입관(132)을 브라켓(110)에 고정시켜 상기 밸브 몸체가 브라켓에서 소정 간격 이격된 상태로 위치할 수 있게 한다. 또한 상기 브라켓(110)을 상기 챔버(200,210) 저면측에 고정하고 밀폐시켜 진공을 유지할 수 있게 한다. The cylinder rod 141 is inserted into and fixed to the lower central portion of the valve body 120, and the cylinder 140 and the air injection pipe 132 are fixed to the bracket 110 so that the valve body is fixed at the bracket. Allow spaces to be spaced apart. In addition, the bracket 110 is fixed to the bottom surface side of the chambers 200 and 210 so as to maintain a vacuum.

상기 밸브 몸체 내부를 가압수단(130), 실린더 로드(141), 지지수단(150)이 내설될 수 있게 튜브 삽입홈(121), 고정판 삽입홈(122)과 고정핀 삽입공(123)을 형성시킨다.Forming the tube insertion groove 121, the fixing plate insertion groove 122 and the fixing pin insertion hole 123 so that the pressurizing means 130, the cylinder rod 141, the support means 150 may be internally installed in the valve body. Let's do it.

이하, 본 발명에 따른 제1,2 실시예의 작동상태를 설명한다.Hereinafter, the operating state of the first and second embodiments according to the present invention.

도 7에 도시된 바에 의하면, 상기 양방향 게이트 밸브는 브라켓(110)에 의해 챔버(200)와 챔버(210) 사이에 밀폐 결합되어 있으며, 상기 개폐구(201,211)은 개방된 상태로 있게 된다. 그리고 상기 각각의 챔버는 동일조건의 대기압 또는 진공상태를 유지하고 있게 된다. 이때 상기 브라켓(110) 저면으로 돌출된 실린더(140)를 작동시켜 상기 실린더 로드(141)를 상승시켜 밸브 몸체(120)를 상기 개폐구(201,211)와 수평한 상태로 위치하게 한다.As shown in FIG. 7, the bidirectional gate valve is hermetically coupled between the chamber 200 and the chamber 210 by the bracket 110, and the openings 201 and 211 are left open. Each of the chambers maintains an atmospheric pressure or vacuum under the same conditions. In this case, the cylinder 140 protruding to the bottom surface of the bracket 110 is operated to raise the cylinder rod 141 to position the valve body 120 in a horizontal state with the openings 201 and 211.

그리고, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 공기 주입관(132)을 통해 외부의 공기를 공급하여 튜브(131)를 팽창시키면, 상기 튜브에 의해 실리판(160) 및 압지판(133)이 가압되며 양방향으로 수평 이동하고, 이와 동시에 스프링(154)을 압축하며 상기 실링판에 의해 개폐구(201,211)가 차단되는 것이다. 이때 상기 2개의 공기 주입관은 각각 튜브와 독립되게 연결되어 있어서, 상기 각각의 챔버(200,210)에 작용하는 진공압에 따라 다른 압력으로 작동될 수 있게 된다. 예컨대 상기 챔버(200)를 대기압 상태로 유지하고 별도의 챔버(210)를 진공상태를 유지시키게 되면 대기압 상태의 챔버(200)에는 이와 대응되는 압력으로 공기를 공급하고, 반대로 진공상 태의 챔버(210)에는 진공상태와 대응되는 압력으로 공기를 공급하여 각각 다른 압력으로 작동될 수 있게 하는 것이다.As shown in FIG. 8, when the outside of the tube 131 is expanded by supplying outside air through the air inlet tube 132, the silicon plate 160 and the pressure plate 133 are pressurized by the tube. And it moves horizontally in both directions, at the same time to compress the spring 154 and the opening and closing openings (201, 211) is blocked by the sealing plate. In this case, the two air inlet pipes are connected to the tubes independently of each other, so that they can be operated at different pressures according to the vacuum pressure acting on the respective chambers 200 and 210. For example, if the chamber 200 is kept at atmospheric pressure and the separate chamber 210 is kept in a vacuum state, the chamber 200 at atmospheric pressure is supplied with air at a pressure corresponding thereto, and conversely, the chamber 210 is in a vacuum state. ) Is supplied with air at a pressure corresponding to the vacuum state so as to be operated at different pressures.

또한 상기 각각의 챔버를 개방시에는 공기 주입관을 이용해 튜브에서 공기를 제거하며 압축된 스프링에 의해 밸브 몸체 측으로 자동으로 밀착되며 개폐구가 개방되게 하고, 실린더를 작동시켜 밸브 몸체를 하강시키면 개폐구(201,210)가 서로 마주본 상태로 개방되면 다음 공정을 실시하게 된다.In addition, when opening the respective chambers to remove the air from the tube by using an air inlet tube, the spring is automatically pressed close to the valve body side by the compressed spring to open and close the opening and closing the valve body by operating the cylinder opening and closing openings (201,210) ) Are opened facing each other, the following process is carried out.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제3 실시예를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a third embodiment of the present invention.

도 10에 도시된 바에 의하면, 상기 게이트 밸브(400)는 하우징(410), 승강수단(420), 밸브 몸체(430) 및 밸로우즈(440)으로 이루어진다.As shown in FIG. 10, the gate valve 400 includes a housing 410, a lifting means 420, a valve body 430, and a bellows 440.

상기 하우징(410)은 속이 힌 박스 형태를 한 상태로 챔버와 챔버 사이에 마련되어 각각의 챔버가 마주보는 위치를 개구시킨 개폐구 측에 결함하도록 되어 있다.The housing 410 is provided between the chamber and the chamber in the form of a hollow box, so as to be defective in the opening and closing side opening of the position facing each chamber.

도 11 내지 도 14에 도시된 바에 의하면, 상기 밸브 몸체(430)는 브라켓 몸체(431), 튜브(432), 압지판(433), 가이드 축(434), 고정축(435), 덮개(436), 고정판(437), 실링판(438) 및 스프링(439)를 포함하여 이루어진다.11 to 14, the valve body 430 includes a bracket body 431, a tube 432, a pressure plate 433, a guide shaft 434, a fixed shaft 435, and a cover 436. ), A fixing plate 437, a sealing plate 438, and a spring 439.

상기 브라켓 몸체(431)는 외측 길이 방향을 따라 홈(431a)이 등간격 배치되고, 상기 홈(431a)과 연결되는 유출구(431b)이 각각의 홈(431a) 마다 개구되어 있다. 또한 상기 브라켓 몸체(431)에는 상기 홈(431a)과 연결되는 별도의 배출구(431c)를 더 형성하게 한다.The bracket body 431 has grooves 431a disposed at equal intervals along the outer longitudinal direction, and an outlet 431b connected to the grooves 431a is opened for each groove 431a. In addition, the bracket body 431 further forms a separate outlet 431c connected to the groove 431a.

상기 튜브(432)는 탄성력을 갖는 속이빈 형태이며, 일측에는 구멍(미도시)이 개구된 상태이고, 외주의 형태가 각 형태 또는 원형 중 선택된 어느 하나로 이루어진다.The tube 432 is a hollow form having an elastic force, a hole (not shown) is opened on one side, the outer periphery is made of any one selected from each shape or circle.

상기 압지판(433)은 판체로 이루어지며, 상하 수직 부분을 관통하는 한쌍의 통공(433a)이 형성되고, 상기 통공(433a)에 대해 수평 방향으로 배열된 안착홈(433b)이 형성되어 있다. 즉, 통공과 안착홈은 서로 십자 형태로 직교하게 배치되게 된다.The pressure plate 433 is formed of a plate body, and a pair of through holes 433a penetrating the vertical portion is formed, and a seating groove 433b arranged in a horizontal direction with respect to the through holes 433a is formed. That is, the through hole and the seating grooves are arranged orthogonally to each other in the cross shape.

상기 가이드 축(434)은 단차진 환봉이며, 상기 덮개(436)는 상기 홈(431a)을 덮기 위한 수단으로써 판체로 이루어진다. 또한 상기 덮개(436) 중심면을 관통하는 통공(436b)을 개구시킨고 있다. 그리고 상기 홈과 마주보는 면상에 상기 안착홈(433b)과 대향되는 위치상에 가이드 홈(436a)이 형성되어 있다.The guide shaft 434 is a stepped round bar, the cover 436 is made of a plate body as a means for covering the groove 431a. In addition, the through hole 436b penetrating the center surface of the cover 436 is opened. A guide groove 436a is formed on a surface of the groove facing the mounting groove 433b.

상기 고정판(437)은 판체로 이루어지며, 상기 실링판(438)은 상기 브라켓 몸체(431)와 대향되는 크기를 갖고 형성되는 판체이다. 또한 상기 실링판(438) 일측에서는 둘래면을 따라 패킹이 내설되어 있다.The fixing plate 437 is formed of a plate body, and the sealing plate 438 is a plate body having a size opposite to the bracket body 431. In addition, one side of the sealing plate 438, the packing is installed along the inner surface.

도 15에 도시된 바에 의하면, 상기 밸로우즈(440)는 상기 브라켓 몸체(431)에 형성된 홈 사이에 위치 고정되며, 상기 하우징(410) 외부로 돌출되어 있다. 그리고 상기 밸로우즈(440) 내주에는 유출관로(442)와 배출관로(443)가 형성되며, 에어 공급 브라켓(441)에 의해 외부로 연장된 상태이다.As shown in FIG. 15, the bellows 440 is fixed between the grooves formed in the bracket body 431 and protrudes out of the housing 410. In addition, an outlet pipe path 442 and a discharge pipe path 443 are formed at an inner circumference of the bellows 440 and are extended to the outside by the air supply bracket 441.

도 16에 도시된 바와 같이 상기 승강수단(420)은 하우징(410) 저면에 위치하는 실린더(422)와 상기 실린더(422) 하우징 내부로 인입되어 브라켓 몸체(431)측면 에 위치하게 되는 실린더 로드(423)와, 상기 실린더 로드(423)가 삽입 고정되는 브라켓(421)과 상기 브라켓에 내설되는 수평이송부재(450)로 이루어진다.As shown in FIG. 16, the elevating means 420 is inserted into the cylinder 422 located at the bottom of the housing 410 and the cylinder 422 housing and positioned at the side of the bracket body 431. 423, a bracket 421 into which the cylinder rod 423 is inserted and fixed, and a horizontal transfer member 450 installed in the bracket.

또한, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 수평이송부재(450)는 상기 브라켓(421)에 일정 공간을 갖고 내설되는 가압판(452)과 상기 가압판(452) 측면에 결합되는 연장축(451)과 상기 브라켓(421)에 내설되되 상기 가압판(452)과 밀착되어 탄지하는 탄성체(453)로 이루어진다. 여기서 상기 탄성체(453)는 우레탄, 판 스프링 또는 코일 스프링 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 하며, 바람직하게는 코일 스프링을 이용한다. 한편, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 브라켓(421) 일측으로 연장 돌출된 돌출편(421a);을 더 구비하고, 상기 돌출편(421a)와 대응되는 위치에 스토퍼(460);를 더 마련하여 브라켓이 브라켓 몸체 측으로 밀리는 것을 방지하게 한다.In addition, as shown in FIG. 17, the horizontal transfer member 450 has a predetermined space in the bracket 421 and an extension shaft 451 coupled to the side of the pressure plate 452 and the pressure plate 452. It is built in the bracket 421 but is made of an elastic body 453 in close contact with the pressing plate 452 and hold. Here, the elastic member 453 is made of one selected from urethane, leaf spring, or coil spring, and preferably, a coil spring is used. On the other hand, as shown in FIG. 19 further includes a protruding piece (421a) protruding toward one side of the bracket 421, further provided with a stopper (460) at a position corresponding to the protruding piece (421a) This prevents the bracket from being pushed toward the bracket body.

여기서, 도면에는 도시하지 않았지만 다른 실시 예의 상기 밸브 몸체는 브라켓 몸체, 홈, 실린더(도면에 미도시), 덮개 및 실링판으로 이루어지며, 상기 실린더를 제외한 나머지 구성요소는 앞선 실시 예의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.Here, although not shown in the drawings, the valve body of another embodiment includes a bracket body, a groove, a cylinder (not shown in the figure), a cover, and a sealing plate, and the rest of the components except the cylinder have the same structure as that of the previous embodiment. Functions with and will not be described in detail.

다만, 에어가 구동원인 상기 실린더 몸체가 상기 홈에 결합되어 고정되고 실린더 로드가 상기 홈의 선단에 고정되는 덮개에서 전후 이동되며 상기 실린더 로드의 선단이 실링판에 고정되는 것이다.However, the cylinder body, which is the air driving source, is fixedly coupled to the groove, the cylinder rod is moved back and forth in the cover fixed to the tip of the groove, and the tip of the cylinder rod is fixed to the sealing plate.

상기 제3 실시예의 결합관계를 살펴보면, 먼저 상기 브라켓 몸체(431)를 위 치시킨 상태에서 상기 브라켓 몸체(431)의 홈(431a) 상에 튜브(432)를 고정하는데, 튜브에 형성된 구멍(미도시)과 상기 브라켓 몸체(431)에 형성된 유출구(431b)가 서로 일치할 수 있게 한다. 여기서 상기 튜브(432)는 홈(431a) 내에 적어도 하나 이상이 마련되며, 바람직하게는 복수개로 마련되게 한다.Looking at the coupling relationship of the third embodiment, first to fix the tube 432 on the groove 431a of the bracket body 431 in the bracket body 431 position, holes formed in the tube (not shown Si) and the outlet 431b formed in the bracket body 431 may coincide with each other. Here, at least one tube 432 is provided in the groove 431a, and preferably, a plurality of tubes 432 are provided.

다음으로, 상기 압지판(433)을 상기 튜브(432) 일측에 밀착되게 마련한 후 상기 압지판(433)과 고정축(435)을 볼트를 이용해 결합한다.Next, the pressure plate 433 is provided in close contact with one side of the tube 432, and then the pressure plate 433 and the fixed shaft 435 are coupled using bolts.

다음으로, 상기 브라켓 몸체(431) 측으로 덮개(436)를 위치시킨 상태에서 상기 덮개(436) 상에 원주 중심이 튜브(432) 측으로 돌출되게 가이드 축(434)을 볼트 결합한다. 이때 상기 가이드 축(434)은 홈에 고정된 복수개의 튜브 사이에 상기 홈(431a) 저면과 일정 간격 이격된 상태로 위치하게 된다.Next, in the state in which the cover 436 is positioned toward the bracket body 431, the guide shaft 434 is bolted to the circumferential center on the cover 436 so as to protrude toward the tube 432. In this case, the guide shaft 434 is positioned to be spaced apart from the bottom surface of the groove 431a between a plurality of tubes fixed to the groove.

다음으로, 상기 덮개(436)를 상기 브라켓 몸체(431)과 볼트를 이용해 결합하기 전에 상기 덮개(436)에 형성된 가이드 홈(436a) 상에 스프링(439)을 삽입한 후 상기 스프링(439)이 압지판(433)에 형성된 안착홈(433b)에 삽입될 수 있게 위치시킨 상태에서 고정한다. 상기 덮개에는 덮개면을 따라 패킹(미도시)이 마련되어 있어 브라켓 몸체와 결합시 밀폐되게 된다. 이때 상기 고정축(435)은 상기 덮개(436)에 형성된 통공(436b)을 통해 외부로 돌출되게 되며, 상기 통공과 고정축 사이는 패킹에 의해 밀폐되게 된다. 또한 상기 압지판(433)과 덮개(436) 사이에는 압지판이 이동할 수 있는 공간이 형성된 상태이다.Next, the spring 439 is inserted into the guide groove 436a formed in the cover 436 before the cover 436 is coupled to the bracket body 431 using a bolt. It is fixed while being positioned so that it can be inserted into the mounting groove 433b formed in the pressure plate (433). The cover is provided with a packing (not shown) along the cover surface to be sealed when combined with the bracket body. In this case, the fixed shaft 435 is protruded to the outside through the through hole 436b formed in the cover 436, and is sealed between the through hole and the fixed shaft by packing. In addition, a space in which the paper plate can move is formed between the paper plate 433 and the cover 436.

다음으로, 상기 고정축(436) 단부에 고정판(437)을 볼트 결합한 후 상기 실링판(438)을 상기 고정판에 고정한다.Next, the fixing plate 437 is bolted to an end of the fixing shaft 436, and then the sealing plate 438 is fixed to the fixing plate.

다음으로, 상기 브라켓 몸체(410)에 결합된 다수개의 덮개(436) 사이에 에어 공급 브라켓(441)을 위치시킨 후 상기 브라켓(441)에 형성된 유출관로(442)는 유출구(431b)와 연결되게 하고, 상기 배출관로(443)는 배출구(431c)와 연결되게 고정한다. 그리고 상기 에어 공급 브라켓 하단에 밸로우즈(440)를 연장 고정시켜 외부와 연결되게 한다.Next, after the air supply bracket 441 is positioned between the plurality of cover 436 coupled to the bracket body 410, the outlet pipe 442 formed in the bracket 441 is connected to the outlet 431b. And, the discharge pipe line 443 is fixed to be connected to the discharge port (431c). Then, the bellows 440 is extended and fixed to the bottom of the air supply bracket to be connected to the outside.

다음으로, 상기 브라켓 몸체(431)와 승강수단(420)을 결합하는데 앞서 먼저 상기 승강수단(420)의 브라켓(421)에 실린더(432)를 위치시키고, 상기 실런더에서 연장된 실린더 로드(433)을 브라켓(421)에 삽입 고정한다. 그리고 상기 브라켓(421)에 형성된 공간에 가압판(452)을 삽입한 후 상기 가압판과 밀착되게 탄성체(453) 삽입한 상태에서 상기 브라켓 몸체(431)를 관통 고정된 연장축(451)과 브라켓에 삽입된 가압판을 결합시켜 브라켓 몸체와 브라켓이 연결될 수 있게 한다. 예컨대 상기 승강수단은 연장축(451)에 의해 브라켓 몸체와 연결되는 것이다.Next, prior to coupling the bracket body 431 and the lifting means 420, the cylinder 432 is first placed on the bracket 421 of the lifting means 420, and the cylinder rod 433 extending from the cylinder. ) Is fixed to the bracket (421). In addition, the pressure plate 452 is inserted into a space formed in the bracket 421, and the bracket body 431 is inserted into the extension shaft 451 and the bracket through which the bracket body 431 is inserted in close contact with the pressure plate. The platen plate is coupled to allow the bracket body and the bracket to be connected. For example, the lifting means is connected to the bracket body by the extension shaft 451.

다음으로, 상기 하우징(410)을 마련하는데, 상기 하우징(410)은 판체를 이용해 육면체로 형성된 것으로 하단에 해당하는 판체 상에 상기 승강수단(420)과 밸브 몸체(430)를 위치시킨 상태에서 상기 브라켓 몸체 측과 브라켓이 판체의 상단에 위치하게 하고 하단에는 밸로우즈와 실린더가 위치되게 고정시킨다. 그리고 상기 각각의 판체를 결합시켜 박스 형태의 하우징을 형성하게 한다. 이때 상기 하우징의 양 측면에 해당하는 판체 상에는 챔버에 형성된 개폐구와 같은 크기를 갖는 통공(미도시)이 형성되게 된다.Next, the housing 410 is provided. The housing 410 is formed of a hexahedron using a plate, and the lifting means 420 and the valve body 430 are positioned on the plate corresponding to the bottom thereof. The bracket body side and the bracket are positioned at the top of the plate body and the bellows and the cylinder is fixed at the bottom. Each of the plates is combined to form a box-shaped housing. At this time, the through-hole (not shown) having the same size as the opening and closing hole formed in the chamber is formed on the plate body corresponding to both sides of the housing.

다음으로, 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 하우징(410)을 챔버(200)와 챔 버(210) 사이에 위치시킨 후 챔버(200,210)의 개폐구(201,211)와 결합시켜 챔버(200)와 챔버(210)를 연통되게 하면, 상기 게이트 밸브에 의해 챔버와 챔버를 각각 단속할 수 있게 된다.Next, as shown in FIG. 20, the housing 410 is positioned between the chamber 200 and the chamber 210, and then coupled with the openings and openings 201 and 211 of the chambers 200 and 210 to connect the chamber 200 and the chamber. When 210 is communicated, the chamber and the chamber can be interrupted by the gate valve.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 작동상태를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the operating state of the present invention.

도 20을 참조하면, 상기 하우징에 형성된 통공(미도시)과 챔버에 형성된 개폐구(201,211)가 각각 개방된 상태에서 상기 밸브 몸체(430)는 실린더(423)를 이용해 상승시켜 상기 밸브 몸체가 개폐구와 수평한 상태가 되게 한다.Referring to FIG. 20, in a state in which openings (not shown) formed in the housing and opening / closing openings 201 and 211 formed in the chambers are opened, the valve body 430 is raised using the cylinder 423 so that the valve body is connected to the opening and closing opening. Let it be horizontal.

다음으로, 도 21을 참조하면, 상승한 밸브 몸체(430)는 브라켓 몸체(431) 측에서 실링판(438)이 수평 이동하며 일측에 위치한 개폐구(201)를 단속하게 되는데, 이때 상기 실링판(438)은 도 13에 도시된 바와 같이 브라켓 몸체(431)에 형성된 유출구(431b)를 통해 상기 튜브(432) 측으로 공기를 공급한다. 공급된 공기는 튜브를 팽창시켜 압지판(433)을 가압하게 되고, 가압된 압지판은 도면 상의 화살표 방향으로 이동하게 되어 실링판(438)으로 하여금 개폐구 측을 단속하게 한다.Next, referring to FIG. 21, the raised valve body 430 moves the sealing plate 438 horizontally on the side of the bracket body 431 and intercepts the opening and closing hole 201 located at one side, wherein the sealing plate 438 As shown in FIG. 13, air is supplied to the tube 432 through an outlet 431b formed in the bracket body 431. The supplied air expands the tube to press the pressure plate 433, and the pressed pressure plate moves in the direction of the arrow on the drawing to cause the sealing plate 438 to control the opening and closing side.

다음으로, 도 22를 참조하면, 상기 실링판을 계속적으로 가압하게 되면, 실링판의 가압력에 의해 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓 몸체(431)가 브라켓(421)에서 이격되어 떨어지게 되는데, 이때 상기 가압판(452)이 브라켓 내에서 탄성체(453)를 압축시키게 되고, 브라켓 몸체는 실링판의 반대 방향으로 이동하며 상기 챔버(210)의 개폐구(211)를 단속하게 된다. 즉, 공급되는 공기가 브라켓 몸체를 따라 이용하여 튜브를 팽창시키면 튜브의 팽창력에 의해 압지판이 이동하게 되 고 이를 이용해 실링판을 개폐구 측으로 이동시켜 개폐구를 단속하게 되는데, 상기 실링판에 의해 개폐된 챔버 측을 계속적으로 가압하게 되면 실링판의 가압력을 이용해 브라켓 몸체를 타측의 개폐구 측으로 이동시켜 단속하게 되는 것이다.Next, referring to FIG. 22, when the sealing plate is continuously pressed, the bracket body 431 is spaced apart from the bracket 421 as shown in FIG. 18 by the pressing force of the sealing plate. At this time, the pressing plate 452 compresses the elastic body 453 in the bracket, and the bracket body moves in the opposite direction of the sealing plate and intercepts the opening and closing opening 211 of the chamber 210. That is, when the air is supplied along the bracket body to inflate the tube, the pressure plate is moved by the expansion force of the tube, and the sealing plate is moved to the opening / closing side using this to intercept and open and close the opening and closing chamber. The chamber is opened and closed by the sealing plate. If the side is continuously pressed, the bracket body is moved to the opening / closing side of the other side by using the pressing force of the sealing plate to be interrupted.

한편 상기 브라켓 몸체(431)에 형성된 배출구(431c)는 밸로우즈의 배출관로와 연결시켜 외부와 연통되게 함으로써 상기 밸브 몸체의 작동시 발생하는 압력과 챔버에서 발생하는 압력차에 의해 실링판의 단속 압력이 유실되는 것을 방지하기 위하여 밸브 몸체 내부를 항시 대기압상태로 유지시킬 수 있게 하고 있다. 즉, 유출구을 통해 공급되는 공기와 상관없이 배출구는 항시 외부와 연통된 상태를 유지함으로써 챔버와 밸브 몸체간의 압력차를 항시 균일하게 유지할 수 있게 하는 것이다.On the other hand, the outlet port 431c formed in the bracket body 431 is connected to the discharge pipe path of the bellows to communicate with the outside, so that the pressure generated in the operation of the valve body and the pressure difference generated in the chamber are interrupted pressure of the sealing plate. In order to prevent this loss, the valve body can be kept at atmospheric pressure at all times. In other words, regardless of the air supplied through the outlet, the outlet is always in communication with the outside to maintain a uniform pressure differential between the chamber and the valve body at all times.

도 1은 종래 기술의 게이트 밸브를 나타내는 개략도.1 is a schematic diagram showing a gate valve of the prior art;

도 2는 종래 기술의 다른 게이트 밸브를 나타내는 개략도.2 is a schematic view showing another gate valve of the prior art;

도 3은 본 발명의 양방향 게이트 밸브를 나타내는 사시도.3 is a perspective view showing a bidirectional gate valve of the present invention.

도 4는 본 발명의 양방향 게이트 밸브의 제1실시예를 나타내는 정면도.4 is a front view showing a first embodiment of a bidirectional gate valve of the present invention.

도 5는 도 4에 도시된 양방향 게이트 밸브의 A-A선 단면도.5 is a sectional view taken along the line A-A of the bidirectional gate valve shown in FIG.

도 6은 도 4에 도신된 양방향 게이트 밸브의 B-B선 단면도.6 is a sectional view taken along the line B-B of the bidirectional gate valve shown in FIG.

도 7은 본 발명에 따른 양방향 게이트 밸브의 제2 실시예를 나타내는 단면도.7 is a sectional view showing a second embodiment of a bidirectional gate valve according to the present invention;

도 8 내지 도 9는 본 발명에 따른 양방향 게이트 밸브의 작동상태를 나타내는 단면도.8 to 9 are cross-sectional views showing the operating state of the bidirectional gate valve according to the present invention.

도 10은 본 발명에 따른 양방향 게이트 밸브의 제3 실시예를 나타내는 사시도.10 is a perspective view showing a third embodiment of a bidirectional gate valve according to the present invention;

도 11은 도 10에 도시된 밸브 몸체를 나타내는 사시도.FIG. 11 is a perspective view showing the valve body shown in FIG. 10. FIG.

도 12는 도 11에 도시된 A 부분을 부분 확대하여 나타내는 분해 사시도.FIG. 12 is an exploded perspective view showing a portion A enlarged in FIG. 11.

도 13은 도 11에 도시된 B-B 부분을 나타내는 단면도.FIG. 13 is a sectional view showing a portion B-B shown in FIG. 11; FIG.

도 14는 도 11에 도시된 C-C 부분을 나타내는 단면도.FIG. 14 is a sectional view showing a portion C-C shown in FIG. 11; FIG.

도 15는 도 11에 도시된 D-D 부분을 나타내는 단면도.FIG. 15 is a cross-sectional view showing a portion D-D shown in FIG. 11; FIG.

도 16은 도 10에 도시된 승강수단을 나타내는 부분 확대 사시도.FIG. 16 is a partially enlarged perspective view of the lifting unit shown in FIG. 10. FIG.

도 17은 도 16에 도시된 승강수단을 나타내는 단면도.FIG. 17 is a sectional view of the lifting means shown in FIG. 16. FIG.

도 18은 도 16에 도시된 승강수단이 작동되는 상태를 나타내는 단면도.18 is a cross-sectional view showing a state in which the lifting means shown in FIG. 16 operates.

도 19는 도 16에 도시된 승강수단의 다른 실시예를 나타내는 부분 평면도.19 is a partial plan view showing another embodiment of the lifting means shown in FIG.

도 20 내지 도 22는 본 발명의 양방향 게이트 밸브의 제3 실시예의 작동 상태를 나타내는 단면도.20 to 22 are sectional views showing an operating state of the third embodiment of the bidirectional gate valve of the present invention.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100,300,400 : 게이트 밸브 110 : 브라켓100,300,400: Gate valve 110: Bracket

120,320,430 : 밸브 몸체 121: 튜브 삽입홈120,320,430: Valve Body 121: Tube Insertion Groove

130 : 가압수단 131: 튜브130: pressurizing means 131: tube

132 : 공기 주입관 133,333 : 압지판132: air injection pipe 133,333: pressure plate

133a,161 : 단턱 140 : 실린더133a, 161 stepped 140 cylinder

141 : 실린더 로드 150 : 지지수단141: cylinder rod 150: support means

151 : 스프링 고정판 151a : 스프링 홈151: spring fixing plate 151a: spring groove

152 : 연결축 152a : 돌출편152: connecting shaft 152a: protrusion

153 : 고정핀 154 : 스프링153: fixing pin 154: spring

160,360 : 실링판 200,210 : 챔버160,360: sealing plate 200,210: chamber

201,211 : 개폐구 334 : 패킹201,211: opening and closing 334: packing

410 : 하우징 420 : 승강수단410: housing 420: lifting means

Claims (31)

챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서,A bidirectional gate valve positioned between the chambers and capable of intermittent chambers, the method comprising: 상기 챔버와 챔버 사이에 위치되며, 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓;A bracket located between the chamber and the chamber and coupled to the bottom or top of each chamber; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련되며, 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체;A valve body disposed between the chamber and the chamber and spaced apart from the upper surface of the bracket by a predetermined distance; 상기 밸브 몸체의 측부에 위치하며, 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하는 한쌍의 가압수단;A pair of pressurizing means positioned on the side of the valve body and horizontally moved by air supplied from the outside; 상기 브라켓에 고정되며, 상기 밸브 몸체의 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승강하게 하는 실린더;A cylinder fixed to the bracket and connected to the center of the valve body to lift the valve body; 상기 가압수단과 이웃하게 위치하며, 상기 가압수단이 탄성지지되게 하는 지지수단; 및A support unit positioned adjacent to the pressing unit and allowing the pressing unit to be elastically supported; And 상기 가압수단과 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며,And a sealing plate detachably coupled to the pressing means. 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.And the sealing plate enables the sealing plate to intercept the opening and closing opening between the chambers by horizontal movement of the pressing means. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가압수단은 상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 위치하는 압지판과, 상 기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 위치하는 한쌍의 튜브와, 상기 튜브와 연결되어 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관에 의해 상기 압지판을 수평 이동되게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The pressurizing means includes a pressure plate disposed in close contact with the side of the valve body, a pair of tubes positioned between the valve body and the pressure plate, and a pair of air inlet pipes connected to the tube to supply external air. Bidirectional gate valve characterized in that for moving the pressure plate plate horizontally. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The tube is bidirectional gate valve characterized in that to be connected to each of the air inlet pipe independently. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지수단은 상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판과, 상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축과, 상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링에 의해 상기 압지판이 밸브 몸체 방향으로 항시 밀착될 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The support means is built in the valve body is a pair of spring fixing plate fixed to the pressure plate, a connecting shaft for interconnecting the pair of spring fixing plate, and the outer peripheral surface of the connecting shaft is wrapped in the spring fixing plate A bidirectional gate valve characterized in that the pressure plate is always in close contact with the valve body by a spring for elastically supporting the pressure plate. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 지지수단에는 상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The supporting means further comprises a fixing pin to prevent the flow of the connecting shaft; the bidirectional gate valve further comprising. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 지지수단은 상기 튜브와 이웃하게 위치하되 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 중 선택된 어느 한 곳에 위치되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The support means is located adjacent to the tube, but the two-way gate valve, characterized in that located in any one selected from the center or the top and bottom of the valve body. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 튜브는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The tube is a bidirectional gate valve, characterized in that the cross-sectional shape is made of any one of a polygonal, circular or elliptical shape. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 튜브는 단면 형상 일측이 주름진 형태를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The tube is bidirectional gate valve, characterized in that to have a pleated form one side of the cross-sectional shape. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The tube is bidirectional gate valve, characterized in that to form any one selected from the track or tube shape. 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서,A bidirectional gate valve positioned between the chambers and capable of intermittent chambers, the method comprising: 상기 챔버와 챔버 사이에 위치하며, 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓;A bracket located between the chamber and the chamber, the bracket coupled to the bottom or top of each chamber; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련하며, 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체;A valve body disposed between the chamber and the chamber, the valve body being spaced apart from the upper surface of the bracket by a predetermined interval; 상기 밸브 몸체 측부에 위치하며, 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하되 어느 한 측면에는 패킹이 내설된 한쌍의 가압수단;Located on the side of the valve body, a pair of pressing means which is horizontally moved by the air supplied from the outside, the packing is in the inner side; 상기 브라켓에 고정되며, 상기 밸브 몸체 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승강하게 하는 실린더;A cylinder fixed to the bracket and connected to the valve body center to lift the valve body; 상기 가압수단과 이웃하게 위치하며, 상기 가압수단을 탄성지지되게 하는 지지수단; 및Support means positioned adjacent to the pressing means to elastically support the pressing means; And 상기 한쌍의 가압수단 중 어느 하나와 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며,And a sealing plate detachably coupled to any one of the pair of pressing means. 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.And the sealing plate enables the sealing plate to intercept the opening and closing opening between the chambers by horizontal movement of the pressing means. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 가압수단은 상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 위치하는 압지판과, 상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 위치하는 한쌍의 튜브와, 상기 튜브와 연결되어 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관에 의해 상기 압지판을 수평 이동되게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The pressurizing means includes a pressure plate positioned in close contact with the side of the valve body, a pair of tubes positioned between the valve body and the pressure plate, and a pair of air inlet pipes connected to the tube to supply external air. Bidirectional gate valve characterized in that the pressure plate is moved horizontally. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The tube is bidirectional gate valve characterized in that to be connected to each of the air inlet pipe independently. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 지지수단은 상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판과, 상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축과, 상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링에 의해 상기 압지판이 밸브 몸체 방향으로 항시 밀착될 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The support means is built in the valve body is a pair of spring fixing plate fixed to the pressure plate, a connecting shaft for interconnecting the pair of spring fixing plate, and the outer peripheral surface of the connecting shaft is wrapped in the spring fixing plate A bidirectional gate valve characterized in that the pressure plate is always in close contact with the valve body by a spring for elastically supporting the pressure plate. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 지지수단에는 상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The supporting means further comprises a fixing pin to prevent the flow of the connecting shaft; the bidirectional gate valve further comprising. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 지지수단은 상기 튜브와 이웃하게 위치하며, 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 중 선택된 어느 한 곳에 위치되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The support means is located adjacent to the tube, the bidirectional gate valve, characterized in that located in any one selected from the center or the top and bottom of the valve body. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 튜브는 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The tube is a bi-directional gate valve, characterized in that the cross-sectional shape is made of any one of a polygonal, circular or elliptical shape. 제 16 항에 있어서,The method of claim 16, 상기 튜브는 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The tube is a bidirectional gate valve, characterized in that one side of the cross-sectional shape has a corrugated form. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The tube is bidirectional gate valve, characterized in that to form any one selected from the track or tube shape. 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서,A bidirectional gate valve positioned between the chambers and capable of intermittent chambers, the method comprising: 상기 챔버와 챔버 사이를 연결하는 하우징;A housing connecting the chamber with the chamber; 상기 하우징에 내설되어 각각의 챔버와 연결되는 개폐구를 수단 운동에 단속하게 하는 밸브 몸체;A valve body embedded in the housing for intermittent opening and closing openings connected with the respective chambers to the means movement; 상기 하우징 외부로부터 상기 밸브 몸체 측으로 연결되어 외부 공기를 공급하게 하는 밸로우즈; 및A bellows connected to the valve body from the outside of the housing to supply external air; And 일측은 상기 하우징 외부 마련되고, 타측은 상기 하우징 내부에 마련되어 상기 밸브 몸체를 승강시키게 하는 승강수단;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.One side is provided outside the housing, the other side is provided inside the housing lifting means for raising and lowering the valve body; bi-directional gate valve comprising a. 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 밸브 몸체는 브라켓 몸체와, 상기 브라켓 몸체 길이 방향을 따라 적어도 하나 이상이 마련되는 홈과, 상기 홈에 내설되는 튜브와, 상기 튜브 일측에 마련되는 압지판과, 상기 압지판에 고정축에 의해 고정되어 돌출된 실링판과, 상기 브라켓 몸체에 결합되고 덮개와, 상기 압지판과 덮개 사이에 마련되어 상호 지지하게 하는 스프링으로 이루어지며, 상기 브라켓 몸체에는 상기 밸로우즈로부터 상기 튜브측으로 공기를 공급하게 유출공이 형성되어 상기 유출공에서 공급되는 공기에 의해 튜브를 가압하여 실링판을 수평이동하게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The valve body includes a bracket body, a groove in which at least one groove is provided along the length of the bracket body, a tube in the groove, a pressure plate provided on one side of the tube, and a fixed shaft on the pressure plate. A fixed and protruding sealing plate and a spring coupled to the bracket body and provided between the cover plate and the paper plate and the cover to support each other, and the bracket body flows out to supply air from the bellows to the tube side. And a ball is formed to pressurize the tube by the air supplied from the outlet hole to horizontally move the sealing plate. 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 덮개에는 상기 압지판을 안내하게 하는 가이드 축;이 더 마련되게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.And a guide shaft to guide the pressure plate to the cover. 제 21 항에 있어서,The method of claim 21, 상기 덮개에는 덮개에 형성된 홈이 외부로 연결되어 홈 내부 압력을 항시 일정하게 유지할 수 있게 하는 배출공;을 더 마련하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The cover is a bidirectional gate valve further comprises; a discharge hole for maintaining a constant pressure inside the groove is always connected to the groove formed in the cover to the outside. 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 튜브는 상기 홈 내부에 적어도 하나 이상이 내설되게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.And the tube allows at least one of the inner grooves to be in the groove. 제 23 항에 있어서,The method of claim 23, 상기 튜브는 외부의 형상이 각형 또는 원형 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The tube is a bi-directional gate valve, characterized in that the outer shape is made of any one of a rectangular or circular. 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 밸브 몸체는 공급되는 공기에 의해 실링판과 브라켓 몸체가 순차적으로 동작하게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The valve body is a two-way gate valve, characterized in that for the sealing plate and the bracket body to operate in sequence by the air supplied. 제 25 항에 있어서,The method of claim 25, 상기 밸브 몸체는 상기 실링판이 우선하여 동작하게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.And said valve body causes said sealing plate to operate preferentially. 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 승강수단은 실린더와, 상기 실린더에서 연장된 실린더 로드와 결합하는 브라켓과, 상기 브라켓에 내설되어 상기 밸브 몸체와 연결되는 수평이송부재로 이 루어지는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The elevating means is a bidirectional gate valve comprising a cylinder, a bracket coupled to the cylinder rod extending from the cylinder, and a horizontal transfer member which is built in the bracket and connected to the valve body. 제 27 항에 있어서,The method of claim 27, 상기 수평이송부재는 상기 브라켓에 내설되는 가압판과, 일측은 가압판에 지지되고, 타측은 브라켓에 지지되는 탄성체와, 일측은 가압판에 결합되고, 타측은 브라켓 몸체와 연결되는 연장축으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The horizontal conveying member is a pressure plate which is built in the bracket, one side is supported by the pressure plate, the other side is an elastic body supported by the bracket, one side is coupled to the pressure plate, the other side is composed of an extended shaft connected to the bracket body Bidirectional gate valve. 제 28 항에 있어서,The method of claim 28, 상기 탄성체는 우레탄, 판 스프링 또는 코일 스프링 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.And the elastic body is made of any one selected from urethane, leaf spring, and coil spring. 제 27 항에 있어서,The method of claim 27, 상기 브라켓에는 일측을 연장 돌출된 돌출편;이 더 마련되고, 상기 브라켓 몸체 일측에 상기 돌출편과 근접하게 마련되는 스토퍼;를 더 마련하여 상기 브라켓이 브라켓 몸체 측으로 밀리는 것을 방지하도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The bracket further includes a protruding piece extending from one side; and a stopper provided closer to the protruding piece on one side of the bracket body to further prevent the bracket from being pushed toward the bracket body side. Bidirectional gate valve. 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 밸브 몸체는 브라켓 몸체와, 상기 브라켓 몸체 길이 방향을 따라 적어 도 하나 이상이 마련되는 홈과, 상기 홈에 내설되는 실린더와 상기 브라켓 몸체의 선단에 결합되는 덮개로 이루어지며, 상기 브라켓 몸체에는 실린더 로드의 선단에 고정된 실링판을 수평이동하게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.The valve body is composed of a bracket body, a groove provided with at least one or more along the length of the bracket body, a cover that is coupled to the end of the bracket and the cylinder in the groove and the bracket body, the cylinder in the bracket body A bidirectional gate valve for horizontally moving the sealing plate fixed to the tip of the rod.
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