KR101495304B1 - Gate valve - Google Patents

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KR101495304B1
KR101495304B1 KR20130133879A KR20130133879A KR101495304B1 KR 101495304 B1 KR101495304 B1 KR 101495304B1 KR 20130133879 A KR20130133879 A KR 20130133879A KR 20130133879 A KR20130133879 A KR 20130133879A KR 101495304 B1 KR101495304 B1 KR 101495304B1
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pull
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sealing
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KR20130133879A
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Korean (ko)
Inventor
김종훈
김도완
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주식회사 에이티에스엔지니어링
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    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Abstract

Disclosed in the present invention is a gate valve with a reduced thickness, volume, and weight. The gate valve includes a housing module, a sealing module, and a transferring module. The housing module has a first opening unit and a second opening unit which have a shape extending lengthily in a first direction. The sealing module is placed inside the housing module, and includes a push-pull actuating assembly which has a first and a second sealing plate, a sealing body, multiple first push-pull cylinders, and multiple second push-pull cylinders. The transferring module is placed outside the housing module, and makes the sealing module reciprocate along a second direction that crosses the first direction. The sealing body has a body transmitting path therein, and has multiple first cylinder mounting grooves and multiple second cylinder mounting grooves, corresponding to each other. The first push-pull cylinders are inserted into the first cylinder mounting grooves respectively, and push or pull the first sealing plate by the transmission of a fluid through the body transmitting path. The second push-pull cylinders are inserted into the second cylinder mounting grooves respectively, and push or pull the second sealing plate by the transmission of the fluid through the body transmitting path. Therefore, the gate valve can reduce the thickness, volume, and weight of the push-pull actuating assembly.

Description

게이트 밸브{GATE VALVE}Gate Valve {GATE VALVE}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하우징 모듈의 제1 및 제2 개구들을 T-모션 동작을 통해 개폐시킬 수 있는 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve, and more particularly to a gate valve capable of opening and closing a first and a second opening of a housing module through a T-motion operation.

일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 따라서, LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이며, 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 진공을 유지하기 위하여 진공 펌프가 사용된다. 그리고, 진공 장비를 진공 장비의 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다. 이러한 게이트 밸브는 일반적으로 하우징 모듈, 실링(sealing) 모듈, 이송 모듈 및 공압 제어모듈을 포함한다.Generally, most of the processes for manufacturing LCD substrates or semiconductor devices proceed in a vacuum state. Therefore, most of the equipment for performing the process for manufacturing the LCD substrate or the semiconductor device is a vacuum equipment, and a vacuum pump is used for maintaining the vacuum inside the vacuum equipment. A gate valve is provided to isolate the vacuum equipment from the outside of the vacuum equipment or from other vacuum equipment. Such gate valves generally include a housing module, a sealing module, a transfer module and a pneumatic control module.

상기 하우징 모듈은 상기 진공 장비와 결합되고, 상기 실링 모듈을 수용하기 위한 내부 공간을 가진다. 상기 하우징 모듈에는 상기 진공 장비에 형성되어 있는 게이트와 마주하는 제1 개구 및 상기 제1 개구와 마주하는 제2 개구가 형성되어 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 개구들은 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 가질 수 있다.The housing module is coupled to the vacuum equipment and has an interior space for receiving the sealing module. The housing module is formed with a first opening facing a gate formed in the vacuum apparatus and a second opening facing the first opening. At this time, the first and second openings may have a shape elongated in the first direction.

상기 실링 모듈은 상기 하우징 모듈 내에 배치되어 흡기 및 배기에 의해 푸쉬-풀(push-pull) 운동을 수행하고, 그에 따라 상기 제1 및 제2 개구들 중 적어도 하나를 개폐시킬 수 있다. 이때, 상기 실링 모듈은 상기 제1 및 제2 개구들과 대응되게 상기 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 가질 수 있다.The sealing module is disposed within the housing module and performs a push-pull motion by intake and exhaust, thereby opening and closing at least one of the first and second openings. At this time, the sealing module may have a shape elongated in the first direction corresponding to the first and second openings.

상기 이송 모듈은 상기 하우징 모듈 외부에 배치되고 상기 실링 모듈을 상기 제1 방향과 수직하게 교차하는 제2 방향을 따라 왕복 이동시킨다. 즉, 상기 이송 모듈은 샤프트 및 실린더를 포함한다. 상기 샤프트는 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일단이 상기 하우징 모듈을 관통하여 상기 실링 모듈과 결합된다. 상기 실린더는 상기 샤프트를 상기 제2 방향으로 왕복 운동시키도록 상기 샤프트로 동력을 제공한다.The transfer module is disposed outside the housing module and reciprocates the sealing module along a second direction perpendicular to the first direction. That is, the feed module includes a shaft and a cylinder. The shaft has a shape elongated along the second direction, and one end thereof penetrates through the housing module and is engaged with the sealing module. The cylinder provides power to the shaft to reciprocate the shaft in the second direction.

상기 공압 제어모듈은 상기 하우징 모듈 외부에 배치되고, 상기 실링 모듈로 공압을 제공하거나 상기 실링 모듈로부터 공압을 배출시킨다.The pneumatic control module is disposed outside the housing module, and provides pneumatic pressure to the sealing module or discharges air pressure from the sealing module.

한편, 상기 실링 모듈은 상기 제1 개구만을 개폐시키도록 L-모션 동작을 수행하는 L-모션 실링 모듈과, 상기 제1 및 제2 개구 모두를 개폐시키도록 T-모션 동작을 수행하는 T-모션 실링 모듈로 구분될 수 있다.The sealing module includes an L-motion sealing module for performing an L-motion operation to open and close only the first opening, a T-motion module for performing a T-motion operation to open and close both the first and second openings, Sealing module.

이때, 상기 T-모션 실링 모듈은 상기 제1 개구와 대응되는 제1 실링 플레이트, 상기 제2 개구와 대응되는 제2 실링 플레이트, 및 상기 제1 및 제2 실링 플레이트들 사이에 배치되어 상기 제1 및 제2 실링 플레이트들을 푸쉬-풀(push-pull)시키는 푸쉬-풀 구동 조립체를 구비하고 있다. 그러나, 상기 푸쉬-풀 구동 조립체는 공압의 주입 및 배출에 의한 동력 또는 구동축의 상하 운동에 의한 동력을 통해 동작되는 것이 일반적이므로, 두께 및 부피가 증가되고 무게가 증가되는 문제점이 있다. 그 결과, 게이트 밸브의 전체 두께 및 부피가 증가되거나, 상기 T-모션 실링 모듈의 무게로 인해 상기 이송 모듈에 큰 하중을 부가할 수 있다. 특히, 수직한 방향으로 기판이 통과되는 수직형 게이트 밸브에 상기 T-모션 실링 모듈를 채용할 경우, 상기 이송 모듈의 샤프트에 더 큰 하중을 부가할 수 있다.The T-motion sealing module may include a first sealing plate corresponding to the first opening, a second sealing plate corresponding to the second opening, and a second sealing plate disposed between the first and second sealing plates, And a push-pull drive assembly for push-pulling the second sealing plates. However, the push-pull drive assembly is generally operated by the power of pneumatic injection and discharge or by the motive power of up and down movement of the drive shaft, which increases the thickness and volume and increases the weight. As a result, the total thickness and volume of the gate valve can be increased or a large load can be applied to the transport module due to the weight of the T-motion sealing module. In particular, when the T-motion sealing module is employed in a vertical gate valve through which a substrate is passed in a vertical direction, a larger load can be applied to the shaft of the transfer module.

따라서, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 두께, 부피 및 무게를 감소시킨 T-모션 실링 모듈을 구비하는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a gate valve having a T-motion sealing module with reduced thickness, volume, and weight.

본 발명의 일 실시예에 의한 게이트 밸브는 하우징 모듈, 실링 모듈 및 이송 모듈을 포함한다. 상기 하우징 모듈은 내부 공간을 갖고, 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 갖는 제1 및 제2 개구들이 형성된다. 상기 실링 모듈은 상기 하우징 모듈 내에 배치되고, 상기 제1 개구에 대응하는 제1 실링 플레이트, 상기 제2 개구에 대응하는 제2 실링 플레이트, 및 상기 제1 및 제2 실링 플레이트들 사이에 배치된 푸쉬-풀(push-pull) 구동 조립체를 포함한다. 상기 이송 모듈은 상기 하우징 모듈 외부에 배치되고, 상기 실링 모듈을 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 왕복 이동시킨다.A gate valve according to an embodiment of the present invention includes a housing module, a sealing module, and a transfer module. The housing module has an internal space, and first and second openings having a shape elongated in a first direction are formed. Wherein the sealing module is disposed within the housing module and includes a first sealing plate corresponding to the first opening, a second sealing plate corresponding to the second opening, and a second sealing plate disposed between the first and second sealing plates, A push-pull drive assembly. The transfer module is disposed outside the housing module, and reciprocates the sealing module along a second direction intersecting with the first direction.

상기 푸쉬-풀 구동 조립체는 실링 몸체, 복수의 제1 푸쉬-풀 실린더들 및 복수의 제2 푸쉬-풀 실린더들을 포함한다. 상기 실링 몸체는 내부에 유체의 전달을 위한 몸체 전달통로가 형성되고, 상기 제1 실링 플레이트와 마주하는 일측면에 복수의 제1 실린더 장착홈들이 상기 제1 방향을 따라 이격되어 형성되며, 상기 제2 실링 플레이트와 마주하는 타측면에 복수의 제2 실린더 장착홈들이 상기 제1 실린더 장착홈들과 각각 대응되게 형성된다. 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들은 상기 제1 실린더 장착홈들 각각에 삽입되어 상기 제1 실링 플레이트와 결합되고, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제1 실링 플레이트를 밀거나 당긴다. 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들은 상기 제2 실린더 장착홈들 각각에 삽입되어 상기 제2 실링 플레이트와 결합되고, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제2 실링 플레이트를 밀거나 당긴다.The push-pull drive assembly includes a sealing body, a plurality of first push-pull cylinders and a plurality of second push-pull cylinders. A plurality of first cylinder mounting grooves are formed on one side of the sealing body facing the first sealing plate, the first cylinder mounting grooves being spaced apart from each other in the first direction, And a plurality of second cylinder mounting grooves are formed on the other side of the second sealing plate opposite to the first cylinder mounting grooves. The first push-pull cylinders are inserted into each of the first cylinder mounting grooves to engage with the first sealing plate, and push or pull the first sealing plate by the transmission of the fluid by the body transmission passage. The second push-pull cylinders are inserted into each of the second cylinder mounting grooves to engage with the second sealing plate, and push or pull the second sealing plate by the transmission of the fluid by the body transmission passage.

상기 제1 푸쉬-풀 실린더들 각각은 제1 피스톤 몸체부, 제1 실린더 커버부, 제1 피스톤 축부 및 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부를 포함할 수 있다. 상기 제1 피스톤 몸체부는 상기 제1 실린더 장착홈 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제1 및 제2 방향들과 교차하는 제3 방향을 따라 피스톤 운동을 수행한다. 상기 제1 실린더 커버부는 상기 제1 실린더 장착홈을 덮도록 상기 실링 몸체의 일측면에 결합된다. 상기 제1 피스톤 축부는 일측이 상기 제1 피스톤 몸체부과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제1 실린더 커버부를 관통하여 상기 제1 실링 플레이트와 연결된다. 상기 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부는 상기 제1 실린더 커버부 및 상기 제1 피스톤 몸체부 사이에 배치되어 상기 제1 피스톤 축부을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제1 피스톤 몸체부의 운동에 의해 수축 및 팽창된다.Each of the first push-pull cylinders may include a first piston body portion, a first cylinder cover portion, a first piston shaft portion, and a first push-pull bellows portion. The first piston body is disposed in the first cylinder mounting groove and performs piston motion along a third direction intersecting the first and second directions by the transfer of the fluid by the body transfer passage. The first cylinder cover portion is coupled to one side of the sealing body to cover the first cylinder mounting groove. One side of the first piston shaft part is connected to the first piston body part, and the other side opposite to the one side is connected to the first sealing plate through the first cylinder cover part. The first push-pull bellows portion is disposed between the first cylinder cover portion and the first piston body portion and is sealed to enclose the first piston body portion, and is contracted and expanded by the motion of the first piston body portion.

상기 제2 푸쉬-풀 실린더들 각각은 제2 피스톤 몸체부, 제2 실린더 커버부, 제2 피스톤 축부 및 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부를 포함할 수 있다. 상기 제2 피스톤 몸체부는 상기 제2 실린더 장착홈 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제3 방향을 따라 피스톤 운동을 수행한다. 상기 제2 실린더 커버부는 상기 제2 실린더 장착홈을 덮도록 상기 실링 몸체의 타측면에 결합된다. 상기 제2 피스톤 축부는 일측이 상기 제2 피스톤 몸체부과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제1 실린더 커버부를 관통하여 상기 제2 실링 플레이트와 연결된다. 상기 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부는 상기 제2 실린더 커버부 및 상기 제2 피스톤 몸체부 사이에 배치되어 상기 제2 피스톤 축부을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제2 피스톤 몸체부의 운동에 의해 수축 및 팽창된다.Each of the second push-pull cylinders may include a second piston body portion, a second cylinder cover portion, a second piston shaft portion, and a second push-pull bellows portion. The second piston body portion is disposed in the second cylinder mounting groove and performs piston motion along the third direction by transferring the fluid by the body transfer passage. And the second cylinder cover portion is coupled to the other side of the sealing body to cover the second cylinder mounting groove. One side of the second piston shaft portion is connected to the second piston body portion, and the other side opposite to the one side passes through the first cylinder cover portion and is connected to the second sealing plate. The second push-pull bellows portion is disposed between the second cylinder cover portion and the second piston body portion to seal the second piston shaft portion, and is contracted and expanded by the motion of the second piston body portion.

상기 제1 푸쉬-풀 실린더들 각각은 상기 제1 피스톤 축부의 타측을 상기 제1 실링 플레이트에 결합시키는 제1 결합 블록부를 더 포함할 수 있고, 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들 각각은 상기 제2 피스톤 축부의 타측을 상기 제2 실링 플레이트에 결합시키는 제2 결합 블록부를 더 포함할 수 있다.Each of the first push-pull cylinders may further include a first engaging block portion that engages the other end of the first piston rod portion with the first sealing plate, and each of the second push- And a second coupling block part coupling the other end of the piston shaft part to the second sealing plate.

상기 제1 실링 플레이트에는 상기 제1 결합 블록부들과 각각 결합되기 위한 복수의 제1 블록 결함홈들이 형성되어 있을 수 있고, 상기 제2 실링 플레이트에는 상기 제2 결합 블록부들과 각각 결합되기 위한 복수의 제2 블록 결함홈들이 형성되어 있을 수 있다.The first sealing plate may have a plurality of first block defect grooves for engaging with the first engaging block portions, and the second sealing plate may have a plurality of first block defect grooves for engaging with the second engaging block portions, The second block defect grooves may be formed.

상기 제1 결합 블록부들 중 적어도 하나는 상기 제1 실링 플레이트와 나사 결합되기 위해 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 가질 수 있고, 상기 제2 결합 블록부들 중 적어도 하나는 상기 제2 실링 플레이트와 나사 결합되기 위해 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 가질 수 있다.At least one of the first engagement block portions may have a shape elongated along the first direction or the second direction to be screwed with the first seal plate, at least one of the second engagement block portions And may have a shape elongated along the first direction or the second direction to be screwed with the second sealing plate.

상기 몸체 전달통로는 몸체 전달 푸쉬통로 및 몸체 전달 풀통로를 포함할 수 있다. 상기 몸체 전달 푸쉬통로는 상기 제1 방향을 따라 길게 연장되어, 푸쉬(push)를 위한 유체를 전달한다. 상기 몸체 전달 풀통로는 상기 몸체 전달 푸쉬통로와 대응되게 상기 제1 방향을 따라 길게 연장되어, 풀(pull)을 위한 유체를 전달한다.The body transmission passage may include a body transmission push passage and a body transmission full passage. The body transfer push passage extends along the first direction to transmit a fluid for pushing. The body transferring passageway extends along the first direction so as to correspond to the body transfer pushing passage to transfer fluid for pulling.

상기 실링 몸체에는 상기 제1 실린더 장착홈들과 상기 제2 실린더 장착홈들 사이 각각에 푸쉬 수용홀들이 형성될 수 있고, 상기 몸체 전달 푸쉬통로는 상기 푸쉬 수용홀들 각각과 연결되어 상기 푸쉬를 위한 유체를 상기 푸쉬 수용홀들 각각으로 전달할 수 있다.The sealing body may have push receiving holes formed between the first cylinder mounting grooves and the second cylinder mounting grooves, respectively, and the body transfer push passage is connected to each of the push accommodating holes, The fluid can be delivered to each of the push accommodating holes.

상기 제1 실린더 커버부들과 마주하는 상기 제1 피스톤 몸체부들의 일측면에는 상기 몸체 전달 풀통로로부터 풀을 위한 유체를 제공받는 상기 제1 풀 수용홈들이 형성될 수 있고, 상기 제2 실린더 커버부들과 마주하는 상기 제2 피스톤 몸체부들의 일측면에는 상기 몸체 전달 풀통로로부터 풀을 위한 유체를 제공받는 상기 제2 풀 수용홈들이 형성될 수 있다.The first cylinder receiving portions may be formed on one side of the first piston body portions facing the first cylinder cover portions, the first pool receiving grooves being provided with a fluid for the pool from the body transferring passage, And the second pool receiving grooves may be formed at one side of the second piston body portions facing the first and second piston body portions.

상기 제1 실린더 커버부들 각각은 상기 제1 풀 수용홈에 수용되도록 돌출된 제1 커버 돌출부를 포함할 수 있고, 상기 제2 실린더 커버부들 각각은 상기 제2 풀 수용홈에 수용되도록 돌출된 제2 커버 돌출부를 포함할 수 있다.Each of the first cylinder cover portions may include a first cover protrusion protruded to be accommodated in the first pool receiving groove, and each of the second cylinder cover portions may include a second cover protrusion protruded to be received in the second pool receiving groove, And may include a cover projection.

상기 제1 실린더 커버부들 각각에는 상기 제1 풀 수용홈에 의해 형성된 상기 제1 피스톤 몸체부의 측벽을 수용하는 제1 커버 수용홈이 형성될 수 있고, 상기 제2 실린더 커버부들 각각에는 상기 제2 풀 수용홈에 의해 형성된 상기 제2 피스톤 몸체부의 측벽을 수용하는 제2 커버 수용홈이 형성될 수 있다.Each of the first cylinder cover portions may have a first cover receiving groove for receiving a side wall of the first piston body portion formed by the first pool receiving groove, And a second cover receiving groove for receiving the side wall of the second piston body portion formed by the receiving groove may be formed.

상기 실링 몸체에는 제1 풀 연결 통로들 및 제2 풀 연결 통로들이 더 형성될 수 있다. 상기 제1 풀 연결 통로들은 상기 몸체 전달 풀통로를 상기 제1 커버 수용홈들로 각각 연결시킨다. 상기 제2 풀 연결 통로들은 상기 몸체 전달 풀통로를 상기 제2 커버 수용홈들로 각각 연결시킨다. 이때, 상기 몸체 전달 풀통로에서 상기 제1 풀 연결 통로들 각각으로 전달되는 유체는 상기 제1 커버 수용홈을 경유해 상기 제1 풀 수용홈으로 전달될 수 있고, 상기 몸체 전달 풀통로에서 상기 제2 풀 연결 통로들 각각으로 전달되는 유체는 상기 제2 커버 수용홈을 경유해 상기 제2 풀 수용홈으로 전달될 수 있다.The sealing body may further include first pull connecting passages and second pull connecting passages. The first pull connecting passages connect the body transferring passages to the first cover receiving recesses, respectively. And the second pull connecting passages connect the body transferring passages to the second cover receiving recesses, respectively. At this time, the fluid delivered from the body transferring passage to each of the first pull connecting passages can be transferred to the first pool receiving groove via the first cover receiving groove, The fluid delivered to each of the two pool connection passages may be transmitted to the second pool receiving groove via the second cover receiving groove.

상기 제1 커버 수용홈들 각각의 일부는 상기 제1 풀 연결 통로와 연결되기 위해 일측으로 연장된 형상을 가질 수 있고, 상기 제2 커버 수용홈들 각각의 일부는 상기 제2 풀 연결 통로와 연결되기 위해 일측으로 연장된 형상을 가질 수 있다.A portion of each of the first cover receiving grooves may have a shape extending to one side to be connected to the first pull connecting passage and a part of each of the second cover receiving grooves is connected to the second pull connecting passage To have a shape extending to one side.

상기 이송 모듈에는 상기 몸체 전달통로와 연결되어 유체를 전달하는 샤프트 전달통로가 형성되어 있을 수 있다.The transfer module may be formed with a shaft transfer passage connected to the body transfer passage for transferring fluid.

상기 몸체 전달통로는 몸체 전달 푸쉬통로 및 몸체 전달 풀통로를 포함할 수 있다. 상기 몸체 전달 푸쉬통로는 상기 제1 방향을 따라 길게 연장되어, 푸쉬(push)를 위한 유체를 전달한다. 상기 몸체 전달 풀통로는 상기 몸체 전달 푸쉬통로와 대응되게 상기 제1 방향을 따라 길게 연장되어, 풀(pull)을 위한 유체를 전달한다.The body transmission passage may include a body transmission push passage and a body transmission full passage. The body transfer push passage extends along the first direction to transmit a fluid for pushing. The body transferring passageway extends along the first direction so as to correspond to the body transfer pushing passage to transfer fluid for pulling.

상기 샤프트 전달통로는 샤프트 전달 푸쉬통로 및 샤프트 전달 풀통로를 포함할 수 있다. 상기 샤프트 전달 푸쉬통로는 상기 몸체 전달 푸쉬통로와 연결된다. 상기 샤프트 전달 풀통로는 상기 몸체 전달 풀통로와 연결된다.The shaft transmission passage may include a shaft transmission push passage and a shaft transmission full passage. The shaft transmission push passage is connected to the body transmission push passage. The shaft transferring passage is connected to the body transferring passage.

상기 제1 푸쉬-풀 실린더들은 상기 실링 몸체의 중심을 기준으로 일측에 배치된 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 및 상기 실링 몸체의 중심을 기준으로 타측에 배치된 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들을 포함할 수 있고, 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들은 상기 실링 몸체의 중심을 기준으로 일측에 배치된 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 및 상기 실링 몸체의 중심을 기준으로 타측에 배치된 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들을 포함할 수 있다.The first push-pull cylinders include first push-pull one side cylinders disposed at one side with respect to the center of the sealing body, and first push-pull side side cylinders disposed at the other side with respect to the center of the sealing body And the second push-pull cylinders include second push-pull one side cylinders disposed at one side with respect to the center of the sealing body, and second push-pull side cylinders disposed at one side with respect to the center of the sealing body, And may include other cylinders.

상기 몸체 전달 푸쉬통로는 상기 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각에 연결된 제1 몸체 푸쉬통로, 및 상기 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각에 연결된 제2 몸체 푸쉬통로를 포함할 수 있다. 또한, 상기 몸체 전달 풀통로는 상기 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각에 연결된 제1 몸체 풀통로, 및 상기 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각에 연결된 제2 몸체 풀통로를 포함할 수 있다.Wherein the body transfer push passage includes a first body push passage connected to each of the first push-pull one side cylinders and each of the second push-pull one side cylinders, and a second body push passage extending from each of the first push- And a second body push passage connected to each of the push-pull counter-side cylinders. The body transferring passage may include a first body pull passage connected to each of the first push-pull one side cylinders and the second push-pull one side cylinders, and a second body pull passage extending from each of the first push- And second body pool passages connected to each of the second push-pull counter-side cylinders.

상기 샤프트 전달 푸쉬통로는 상기 제1 몸체 푸쉬통로와 연결된 제1 샤프트 푸쉬통로, 및 상기 제2 몸체 푸쉬통로와 연결된 제2 샤프트 푸쉬통로를 포함할 수 있다. 또한, 상기 샤프트 전달 풀통로는 상기 제1 몸체 풀통로와 연결된 제1 샤프트 푸쉬통로, 및 상기 제2 몸체 풀통로와 연결된 제2 샤프트 푸쉬통로를 포함할 수 있다.The shaft transmission push passage may include a first shaft push passage connected to the first body push passage and a second shaft push passage connected to the second body push passage. In addition, the shaft transmission pool passage may include a first shaft push passage connected to the first body pull passage, and a second shaft push passage connected to the second body pull passage.

상기 이송 모듈은 제1 샤프트 조립체, 제2 샤프트 조립체 및 적어도 하나의 이송 실린더 유닛을 포함할 수 있다. 상기 제1 샤프트 조립체는 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일측이 상기 하우징 모듈을 관통하여 상기 실링 몸체의 일측부와 연결되며, 상기 제1 샤프트 푸쉬통로 및 상기 제1 샤프트 풀통로가 형성된다. 상기 제2 샤프트 조립체는 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일측이 상기 하우징 모듈을 관통하여 상기 실링 몸체의 타측부와 연결되며, 상기 제2 샤프트 푸쉬통로 및 상기 제2 샤프트 풀통로가 형성된다. 상기 이송 실린더 유닛은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들이 상기 제2 방향을 따라 왕복 이동되도록 동력을 제공한다.The transfer module may include a first shaft assembly, a second shaft assembly, and at least one transfer cylinder unit. Wherein the first shaft assembly has a shape elongated along the second direction and has one side connected to one side of the sealing body through the housing module and the first shaft push passage and the first shaft full passage . Wherein the second shaft assembly has a shape elongated along the second direction and has one side connected to the other side of the sealing body through the housing module and the second shaft push passage and the second shaft full passage . The transfer cylinder unit provides power to cause the first and second shaft assemblies to reciprocate along the second direction.

이와 같이 본 발명의 게이트 밸브에 따르면, 제1 실링 플레이트를 이동시키는 제1 푸쉬-풀 실린더들 및 제2 실링 플레이트를 이동시키는 제2 푸쉬-풀 실린더들이 실링 몸체의 제1 실린더 장착홈들 및 제2 실린더 장착홈들 각각에 장착됨에 따라, 실링 모듈의 두께, 부피 및 무게 등을 감소시킬 수 있다.As described above, according to the gate valve of the present invention, the first push-pull cylinders for moving the first sealing plate and the second push-pull cylinders for moving the second sealing plate are disposed in the first cylinder mounting grooves of the sealing body, And the like, the thickness, volume, weight, etc. of the sealing module can be reduced.

또한, 상기 실링 몸체에 장착된 제1 푸쉬-풀 실린더들 및 제2 푸쉬-풀 실린더들이 상기 실링 몸체 자체 내에 형성된 몸체 전달통로를 통해 유체가 전달되어 동작됨에 따라, 상기 실링 모듈의 두께, 부피 및 무게 등을 더욱 감소시킬 뿐만 아니라 유체의 전달를 위한 별도의 부재가 생략할 수 있어 게이트 밸브의 비용 절감 효과도 있다.Further, since the first push-pull cylinders and the second push-pull cylinders mounted on the sealing body are transferred and operated through the body-communicating passage formed in the sealing body itself, the thickness, volume, The weight and the like can be further reduced, and a separate member for transferring the fluid can be omitted, thereby reducing the cost of the gate valve.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 게이트 밸브를 정면에서 바라본 상태를 도시한 정면도이다.
도 3은 도 1의 게이트 밸브 중 하우징 모듈을 제거한 상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 1의 게이트 밸브 중 이송 모듈을 분해해서 도시한 분해 사시도이다.
도 5는 도 4의 이송 모듈 중 제1 및 제2 샤프트 조립체들만 도시한 분해 사시도이다.
도 6은 도 4의 이송 모듈 중 모션 블록만 도시한 분해 사시도이다.
도 7은 도 4의 이송 모듈 중 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들만 도시한 분해 사시도이다.
도 8은 도 3의 게이트 밸브에서 실링 모듈을 분해해서 도시한 분해 사시도이다.
도 9는 도 8의 일부를 확대해서 도시한 분해 사시도이다.
도 10은 도 9의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 11는 도 9의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 12은 도 1의 게이트 밸브를 제1 방향을 따라 제2 방향으로 절단한 단면도이다.
도 13은 도 12의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 14는 도 13의 A 부분을 확대해서 도시한 단면도이다.
도 15는 도 12의 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 16은 도 15의 B 부분을 확대해서 도시한 단면도이다.
도 17은 도 12의 Ⅴ-Ⅴ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 18은 도 12의 Ⅵ-Ⅵ'선을 따라 절단한 단면도이다.1 is a perspective view illustrating a gate valve according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a front view showing a state in which the gate valve of Fig. 1 is viewed from the front. Fig.
3 is a perspective view showing a state where the housing module of the gate valve of FIG. 1 is removed.
Fig. 4 is an exploded perspective view showing the transfer module of the gate valve shown in Fig. 1 disassembled; Fig.
Figure 5 is an exploded perspective view illustrating only the first and second shaft assemblies of the transfer module of Figure 4;
FIG. 6 is an exploded perspective view showing only a motion block of the transfer module of FIG. 4;
Figure 7 is an exploded perspective view illustrating only the first and second LM guide assemblies of the transport module of Figure 4;
8 is an exploded perspective view showing the sealing module in the gate valve of FIG.
Fig. 9 is an exploded perspective view showing an enlarged part of Fig. 8. Fig.
10 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'in FIG.
11 is a cross-sectional view taken along line II-II 'of FIG.
FIG. 12 is a cross-sectional view of the gate valve of FIG. 1 cut along a first direction in a second direction; FIG.
13 is a cross-sectional view taken along line III-III 'of FIG.
Fig. 14 is an enlarged cross-sectional view of part A of Fig.
15 is a cross-sectional view taken along line IV-IV 'of FIG.
16 is an enlarged cross-sectional view of a portion B in Fig.
17 is a cross-sectional view taken along the line V-V 'in Fig.
FIG. 18 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI 'of FIG. 12; FIG.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 게이트 밸브를 정면에서 바라본 상태를 도시한 정면도이며, 도 3은 도 1의 게이트 밸브 중 하우징 모듈을 제거한 상태를 도시한 사시도이다. 이때, 도면들은 서로 수직하게 교차하는 제1, 제2 및 제3 방향(D1, D2, D3)들에 대응하여 도시되었다.FIG. 1 is a perspective view showing a gate valve according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view showing the gate valve of FIG. 1 viewed from the front, and FIG. 3 is a cross- And FIG. At this time, the figures are shown corresponding to the first, second and third directions D1, D2 and D3 which intersect perpendicularly to each other.

도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예에 의한 게이트 밸브는 하우징 모듈(100), 실링 모듈(200) 및 이송 모듈(300)을 포함한다.1, 2 and 3, the gate valve according to the present embodiment includes a housing module 100, a sealing module 200, and a transfer module 300.

상기 하우징 모듈(100)은 내부 공간을 갖고, 상기 제1 방향(D1)으로 길게 연장된 형상을 갖는 제1 및 제2 개구들(112, 114)이 형성된다. 예를 들어, 상기 하우징 모듈(100)은 하우징 몸체(110), 하우징 하부(120) 및 하우징 상부(130)를 포함할 수 있다. 상기 하우징 몸체(110)는 상기 내부 공간을 갖도록 상기 제1 방향(D1)으로 길게 연장된 직육면체 형상을 갖고, 상기 제2 방향(D2)으로 서로 대응되는 일측과 타측이 오픈(open)되어 있으며, 상기 하우징 몸체(110)는 상기 제3 방향(D3)을 따라 서로 마주보는 위치에 상기 제1 및 제2 개구들(112, 114)이 형성되어 있다. 선택적으로, 상기 하우징 몸체(110)는 상기 제1 방향(D1)을 따라 서로 마주보는 위치에 상기 하우징 모듈(100)의 내부 상태를 확인할 수 있는 적어도 하나의 측면 윈도우(116)가 형성될 수 있다. 상기 하우징 하부(120)는 상기 이송 모듈(300)과 마주하는 상기 하우징 몸체(110)의 하측을 커버하도록 결합된다. 이때, 상기 하우징 하부(120)는 상기 하우징 몸체(110)와 마주하는 일측이 오픈된 직육면체 형상을 가질 수 있다. 상기 하우징 상부(130)는 상기 하우징 몸체(110)의 타측을 커버하도록 결합된다. 이때, 상기 하우징 상부(130)에는 상기 하우징 모듈(100)의 내부 상태를 확인할 수 있는 적어도 하나의 상면 윈도우(132)가 형성될 수 있다.The housing module 100 has an inner space and first and second openings 112 and 114 having a shape elongated in the first direction D1 are formed. For example, the housing module 100 may include a housing body 110, a housing lower portion 120, and a housing upper portion 130. The housing body 110 has a rectangular parallelepiped shape elongated in the first direction D1 so as to have the internal space. One side and the other side of the housing body 110 corresponding to each other in the second direction D2 are open, The housing body 110 has the first and second openings 112 and 114 formed at positions facing each other along the third direction D3. Optionally, the housing body 110 may be formed with at least one side window 116 at a position facing each other along the first direction D1 to confirm the internal state of the housing module 100 . The housing lower part 120 is coupled to cover the lower side of the housing body 110 facing the conveyance module 300. At this time, the lower portion 120 of the housing may have a rectangular parallelepiped shape with one side facing the housing body 110 opened. The housing upper portion 130 is coupled to cover the other side of the housing body 110. At this time, at least one upper surface window 132 for confirming the internal state of the housing module 100 may be formed on the upper portion 130 of the housing.

상기 실링 모듈(200)은 상기 하우징 모듈(100) 내에 배치되고, 상기 제1 및 제2 개구들(112, 114)과 대응되도록 상기 제1 방향(D1)으로 길게 연장된 형상을 갖으며, 유체의 전달에 의해 푸쉬-풀(push-pull) 동작을 수행한다. 이때, 상기 실링 모듈(200)은 상기 제1 개구(112)만을 개폐시키도록 L-모션 동작을 수행하는 L-모션 실링 모듈과, 상기 제1 및 제2 개구(112, 114) 모두를 개폐시키도록 T-모션 동작을 수행하는 T-모션 실링 모듈 중 어느 하나일 수 있다.The sealing module 200 is disposed in the housing module 100 and has a shape elongated in the first direction D1 so as to correspond to the first and second openings 112 and 114, Push-pull operation is performed by the transfer of the push-pull operation. In this case, the sealing module 200 includes an L-motion sealing module for performing an L-motion operation to open and close only the first opening 112, and an L-motion sealing module for opening and closing both the first and second openings 112 and 114 And a T-motion sealing module for performing a T-motion operation.

본 실시예에서, 상기 실링 모듈(200)은 상기 T-모션 실링 모듈일 수 있다. 구체적으로, 상기 실링 모듈(200)은 상기 제1 개구(112)에 대응하는 제1 실링 플레이트(202), 상기 제2 개구(114)에 대응하는 제2 실링 플레이트(204), 및 상기 제1 및 제2 실링 플레이트들(202, 204) 사이에 배치되어 유체의 전달에 의해 푸쉬-풀(push-pull) 동작을 수행하는 푸쉬-풀(push-pull) 구동 조립체(200A)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 유체는 공기와 같은 기체 및 기름과 같은 액체를 모두 포함하는 개념이다.In the present embodiment, the sealing module 200 may be the T-motion sealing module. Specifically, the sealing module 200 includes a first sealing plate 202 corresponding to the first opening 112, a second sealing plate 204 corresponding to the second opening 114, And a push-pull driving assembly 200A disposed between the first and second sealing plates 202 and 204 to perform a push-pull operation by the transfer of fluid . Here, the fluid is a concept that includes both a gas such as air and a liquid such as oil.

상기 이송 모듈(300)은 상기 하우징 모듈(300) 외부에 배치되고, 상기 실링 모듈(200)을 상기 제2 방향(D2)을 따라 왕복 이동시킨다.The transfer module 300 is disposed outside the housing module 300 and reciprocates the sealing module 200 along the second direction D2.

우선, 별도의 도면들을 이용하여 상기 이송 모듈(300)에 대하여 상세하게 설명하고자 한다.First, the conveying module 300 will be described in detail using separate drawings.

도 4는 도 1의 게이트 밸브 중 이송 모듈을 분해해서 도시한 분해 사시도고, 도 5는 도 4의 이송 모듈 중 제1 및 제2 샤프트 조립체들만 도시한 분해 사시도이며, 도 6은 도 4의 이송 모듈 중 모션 블록만 도시한 분해 사시도이고, 도 7은 도 4의 이송 모듈 중 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들만 도시한 분해 사시도이다.4 is an exploded perspective view showing only the first and second shaft assemblies of the transfer module of Fig. 4, Fig. 6 is an exploded perspective view of the transfer module of Fig. 4, FIG. 7 is an exploded perspective view showing only the first and second LM guide assemblies of the transfer module of FIG. 4; FIG.

도 1 및 도 4 내지 도 7을 참조하면, 상기 이송 모듈(300)은 제1 샤프트 조립체(310), 제2 샤프트 조립체(320), 적어도 하나의 이송 실린더 유닛(330), 모션 블록(340), 제1 LM(Linear Motion) 가이드 조립체(350) 및 제2 LM 가이드 조립체(360)를 포함할 수 있다.1 and 4 to 7, the transfer module 300 includes a first shaft assembly 310, a second shaft assembly 320, at least one transfer cylinder unit 330, a motion block 340, A first linear motion (LM) guide assembly 350, and a second LM guide assembly 360. [

상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)은 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일측이 상기 하우징 모듈(100)의 하우징 하부(120)을 관통하여 상기 실링 모듈(200)과 연결될 수 있다.The first and second shaft assemblies 310 and 320 are elongated along the second direction D2 and one side of the first and second shaft assemblies 310 and 320 passes through the lower housing 120 of the housing module 100, May be connected to the module (200).

우선, 상기 제1 샤프트 조립체(310)는 제1 샤프트부(311), 제1 샤프트 연결부(312), 제1 샤프트 홀더부(313), 제1 샤프트 결합부(314) 및 제1 샤프트 밸로우즈부(315)를 포함할 수 있다.The first shaft assembly 310 includes a first shaft portion 311, a first shaft connection portion 312, a first shaft holder portion 313, a first shaft coupling portion 314, (315). ≪ / RTI >

상기 제1 샤프트부(311)는 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장된 형상을 갖는다. 이때, 상기 제1 샤프트부(311)의 일단은 상기 하우징 하부(120)를 관통하여 상기 실링 모듈(200)과 연결되고, 상기 일단과 대향하는 상기 제1 샤프트부(311)의 타단은 상기 모션 블록(340)과 연결된다.The first shaft portion 311 has a shape elongated along the second direction D2. At this time, one end of the first shaft portion 311 is connected to the sealing module 200 through the lower housing portion 120, and the other end of the first shaft portion 311, which is opposite to the one end, 0.0 > 340 < / RTI >

상기 제1 샤프트 연결부(312)는 상기 제1 샤프트부(311)의 일단을 상기 실링 모듈(200)의 일면, 즉 상기 푸쉬-풀 구동 조립체(200A)의 일측면에 연결시킨다.The first shaft connection part 312 connects one end of the first shaft part 311 to one side of the sealing module 200, that is, one side of the push-pull driving assembly 200A.

상기 제1 샤프트 홀더부(313)는 상기 하우징 모듈(100)의 외부, 예를 들어 상기 하우징 하부(120)의 하측에 이격되어 배치되고, 상기 제1 샤프트부(311)의 일부를 감싸서 상기 제1 샤프트부(311)를 지지한다. 구체적으로, 상기 제1 샤프트 홀더부(313)는 제1 홀더 몸체(313a) 및 제1 홀더 커버(313b)를 포함할 수 있다. 상기 제1 홀더 몸체(313a)는 상기 제1 샤프트부(311)의 일부를 수용하는 제1 홀더 몸체홈을 갖고, 상기 제1 LM 가이드 조립체(350)에 결합된다. 상기 제1 홀더 커버(313b)는 상기 제1 홀더 몸체홈에 대응하여 제1 홀더 커버홈을 갖고, 상기 제1 홀더 몸체(313a)와 결합되어 상기 제1 샤프트부(311)의 일부를 감싸서 지지한다. 그 결과, 상기 제1 샤프트 조립체(310)는 상기 제1 샤프트 홀더부(313)를 통해 상기 제1 LM 가이드 조립체(350)에 결합되어 고정된다.The first shaft holder 313 is disposed on the outer side of the housing module 100, for example, on the lower side of the lower housing part 120, and covers a part of the first shaft part 311, 1 shaft portion 311 as shown in Fig. Specifically, the first shaft holder 313 may include a first holder body 313a and a first holder cover 313b. The first holder body 313a has a first holder body groove for receiving a portion of the first shaft portion 311 and is coupled to the first LM guide assembly 350. [ The first holder cover 313b has a first holder cover groove corresponding to the first holder body groove and is engaged with the first holder body 313a to cover a part of the first shaft portion 311, do. As a result, the first shaft assembly 310 is coupled to and fixed to the first LM guide assembly 350 through the first shaft holder portion 313.

상기 제1 샤프트 결합부(314)는 상기 하우징 모듈(100)의 외부, 예를 들어 상기 하우징 하부(120)의 하면에 결합되어 배치되고, 상기 제1 샤프트부(311)를 상기 하우징 하부(120)에 결합시켜 고정시킬 수 있다.The first shaft coupling portion 314 is coupled to the outside of the housing module 100, for example, the lower surface of the lower housing portion 120, and the first shaft portion 311 is connected to the lower housing portion 120 ) To be fixed.

상기 제1 샤프트 밸로우즈부(315)는 상기 실링 모듈(200)과 상기 제1 샤프트 홀더부(313) 사이에 상기 제1 샤프트부(311)의 일부를 감싸서 밀봉하도록 배치되고, 상기 제1 샤프트부(311)의 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 이동에 따라 수축 및 팽창될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 샤프트 밸로우즈부(315)의 일단은 상기 하우징 하부(120)에 결합되고, 상기 일단과 대향하는 상기 제1 샤프트 밸로우즈부(315)의 타단은 상기 제1 샤프트 홀더부(313)의 상면에 결합될 수 있다.The first shaft bellows portion 315 is arranged to enclose and seal a part of the first shaft portion 311 between the sealing module 200 and the first shaft holder portion 313, And can be contracted and expanded in accordance with the reciprocating movement of the portion 311 in the second direction D2. For example, one end of the first shaft bellows portion 315 is coupled to the lower portion 120 of the housing, and the other end of the first shaft bellows portion 315, which is opposite to the one end, Can be coupled to the upper surface of the portion 313.

이어서, 상기 제2 샤프트 조립체(320)는 제2 샤프트부(321), 제2 샤프트 연결부(322), 제2 샤프트 홀더부(323), 제2 샤프트 결합부(324) 및 제2 샤프트 밸로우즈부(325)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 샤프트 조립체(320)는 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 사이에 상기 제2 방향(D2)에 평행한 가상의 중심선을 기준으로, 상기 제1 샤프트 조립체(310)에 대칭되는 형상을 가질 수 있다.The second shaft assembly 320 then includes a second shaft portion 321, a second shaft connection portion 322, a second shaft holder portion 323, a second shaft engagement portion 324, (Not shown). At this time, the second shaft assembly 320 is disposed between the first and second shaft assemblies 310 and 320 with respect to a virtual center line parallel to the second direction D2, 310). ≪ / RTI >

상기 제2 샤프트부(321)는 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장된 형상을 갖는다. 이때, 상기 제2 샤프트부(321)의 일단은 상기 하우징 하부(120)를 관통하여 상기 실링 모듈(200)과 연결되고, 상기 일단과 대향하는 상기 제2 샤프트부(321)의 타단은 상기 모션 블록(340)과 연결된다.The second shaft portion 321 has a shape elongated along the second direction D2. At this time, one end of the second shaft portion 321 is connected to the sealing module 200 through the lower housing 120, and the other end of the second shaft portion 321, which is opposite to the one end, 0.0 > 340 < / RTI >

상기 제2 샤프트 연결부(322)는 상기 제2 샤프트부(321)의 일단을 상기 실링 모듈(200)의 일면, 즉 상기 푸쉬-풀 구동 조립체(200A)의 타측면에 연결시킨다.The second shaft connecting portion 322 connects one end of the second shaft portion 321 to one side of the sealing module 200, that is, the other side of the push-pull driving assembly 200A.

상기 제2 샤프트 홀더부(323)는 상기 하우징 모듈(100)의 외부, 예를 들어 상기 하우징 하부(120)의 하측에 이격되어 배치되고, 상기 제2 샤프트부(321)의 일부를 감싸서 상기 제2 샤프트부(321)를 지지한다. 구체적으로, 상기 제2 샤프트 홀더부(323)는 제2 홀더 몸체(323a) 및 제2 홀더 커버(323b)를 포함할 수 있다. 상기 제2 홀더 몸체(323a)는 상기 제2 샤프트부(321)의 일부를 수용하는 제2 홀더 몸체홈을 갖고, 상기 제2 LM 가이드 조립체(360)에 결합된다. 상기 제2 홀더 커버(323b)는 상기 제2 홀더 몸체홈에 대응하여 제2 홀더 커버홈을 갖고, 상기 제2 홀더 몸체(323a)와 결합되어 상기 제2 샤프트부(321)의 일부를 감싸서 지지한다. 그 결과, 상기 제2 샤프트 조립체(320)는 상기 제2 샤프트 홀더부(323)를 통해 상기 제2 LM 가이드 조립체(360)에 결합되어 고정된다.The second shaft holder 323 is disposed on the outer side of the housing module 100, for example, on the lower side of the lower housing part 120. The second shaft holder part 323 covers a part of the second shaft part 321, 2 shaft portion 321 as shown in Fig. Specifically, the second shaft holder 323 may include a second holder body 323a and a second holder cover 323b. The second holder body 323a has a second holder body groove for receiving a portion of the second shaft portion 321 and is coupled to the second LM guide assembly 360. [ The second holder cover 323b has a second holder cover groove corresponding to the second holder body groove and is engaged with the second holder body 323a to cover a part of the second shaft portion 321, do. As a result, the second shaft assembly 320 is coupled and secured to the second LM guide assembly 360 through the second shaft holder 323. [

상기 제2 샤프트 결합부(324)는 상기 하우징 모듈(100)의 외부, 예를 들어 상기 하우징 하부(120)의 하면에 결합되어 배치되고, 상기 제2 샤프트부(321)를 상기 하우징 하부(120)에 결합시켜 고정시킬 수 있다.The second shaft engaging portion 324 is coupled to the outside of the housing module 100, for example, the lower surface of the lower housing portion 120, and the second shaft portion 321 is connected to the lower portion 120 of the housing ) To be fixed.

상기 제2 샤프트 밸로우즈부(325)는 상기 실링 모듈(200)과 상기 제2 샤프트 홀더부(323) 사이에 상기 제2 샤프트부(321)의 일부를 감싸서 밀봉하도록 배치되고, 상기 제2 샤프트부(321)의 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 이동에 따라 수축 및 팽창될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 샤프트 밸로우즈부(325)의 일단은 상기 하우징 하부(120)에 결합되고, 상기 일단과 대향하는 상기 제2 샤프트 밸로우즈부(325)의 타단은 상기 제2 샤프트 홀더부(323)의 상면에 결합될 수 있다.The second shaft bellows portion 325 is arranged to enclose and seal a part of the second shaft portion 321 between the sealing module 200 and the second shaft holder portion 323, Can be contracted and expanded in accordance with the reciprocating movement of the part (321) in the second direction (D2). For example, one end of the second shaft bellows portion 325 is coupled to the lower housing portion 120, and the other end of the second shaft bellows portion 325, which is opposite to the one end, And the upper surface of the base 323.

상기 이송 실린더 유닛(330)은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)이 상기 제2 방향(D2)을 따라 왕복 이동되도록 동력을 제공한다. 구체적으로, 상기 이송 실린더 유닛(330)은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 사이에 한 쌍이 배치될 수 있다. 상기 이송 실린더 유닛(330)은 이송 샤프트(332)가 상기 모션 블록(340)과 연결되어 상기 모션 블록(340)으로 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 이동을 위한 동력을 전달할 수 있다.The transfer cylinder unit 330 provides power to cause the first and second shaft assemblies 310 and 320 to reciprocate in the second direction D2. Specifically, the pair of transfer cylinder units 330 may be disposed between the first and second shaft assemblies 310 and 320. The transfer cylinder unit 330 is connected to the motion block 340 to transfer power to the motion block 340 in the second direction D2.

상기 모션 블록(340)은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 사이를 연결하여, 상기 이송 실린더 유닛(330)에서 제공되는 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 이동을 위한 동력을 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)로 전달할 수 있다.The motion block 340 connects between the first and second shaft assemblies 310 and 320 and generates power for reciprocating movement in the second direction D2 provided by the transfer cylinder unit 330. [ To the first and second shaft assemblies (310, 320).

구체적으로, 상기 모션 블록(340)은 중앙 블록부(341), 제1 사이드 블록부(342), 제2 사이드 블록부(343), 제1 샤프트 고정키(344) 및 제2 샤프트 고정키(345)를 포함할 수 있다.Specifically, the motion block 340 includes a center block portion 341, a first side block portion 342, a second side block portion 343, a first shaft fixing key 344, 345 < / RTI >

상기 중앙 블록부(341)는 상기 이송 실린더 유닛(330)의 이송 샤프트(332)와 결합되어 상기 이송 실린더 유닛(330)으로부터 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 이동을 위한 동력을 제공받는다.The central block portion 341 is engaged with the transfer shaft 332 of the transfer cylinder unit 330 and is provided with power for reciprocating from the transfer cylinder unit 330 in the second direction D2.

상기 제1 사이드 블록부(342)는 상기 중앙 블록부(341)의 일측부와 결합되고, 상기 제1 샤프트부(311)의 하단과 결합되어 상기 중앙 블록부(341)로 제공받은 동력을 상기 제1 샤프트부(311)로 전달한다. 이때, 상기 제1 사이드 블록부(342)에는 상기 제1 샤프트부(311)의 하단을 관통시켜 외부로 노출시키는 제1 샤프트 통과홀(342a)이 형성될 수 있다.The first side block portion 342 is engaged with one side portion of the central block portion 341 and is coupled with the lower end of the first shaft portion 311 to transmit the power provided to the central block portion 341 To the first shaft portion 311. At this time, the first side block portion 342 may be formed with a first shaft passage hole 342a through which the lower end of the first shaft portion 311 passes to expose to the outside.

상기 제2 사이드 블록부(343)는 상기 일측부와 대향하는 상기 중앙 블록부(341)의 타측부와 결합되고, 상기 제2 샤프트부(321)의 하단과 결합되어 상기 중앙 블록부(341)로 제공받은 동력을 상기 제2 샤프트부(321)로 전달한다. 이때, 상기 제2 사이드 블록부(343)에는 상기 제2 샤프트부(321)의 하단을 관통시켜 외부로 노출시키는 제2 샤프트 통과홀(343a)이 형성될 수 있다. 한편, 상기 제1 및 제2 샤프트부들(311, 321) 중 적어도 하나의 내부에는 상기 푸쉬-풀 구동 조립체(200A)와 연결되어 유체를 전달하는 샤프트 전달통로가 형성되어 있을 수 있다.The second side block portion 343 is coupled to the other side portion of the central block portion 341 opposite to the one side portion and is coupled with the lower end of the second shaft portion 321, To the second shaft portion (321). At this time, the second side block portion 343 may be formed with a second shaft passage hole 343a through the lower end of the second shaft portion 321 to expose the lower portion of the second shaft portion 321 to the outside. Meanwhile, at least one of the first and second shaft portions 311 and 321 may have a shaft transmission passage connected to the push-pull driving assembly 200A to transmit the fluid.

상기 제1 샤프트 고정키(344)는 상기 제1 샤프트부(311)의 외표면에 형성된 홈에 끼워지도록 상기 제1 사이드 블록부(342)에 결합되어 상기 제1 샤프트부(311)를 고정시킨다. 이때, 상기 제1 사이드 블록부(342)에는 상기 제1 샤프트 고정키(344)와 결합되기 위한 제1 고정키 홈(342b)가 형성될 수 있다.The first shaft fixing key 344 is coupled to the first side block portion 342 so as to be fitted in the groove formed on the outer surface of the first shaft portion 311 to fix the first shaft portion 311 . At this time, the first side block portion 342 may be formed with a first fixing key groove 342b for coupling with the first shaft fixing key 344.

상기 제2 샤프트 고정키(345)는 상기 제2 샤프트부(321)의 외표면에 형성된 홈에 끼워지도록 상기 제2 사이드 블록부(343)에 결합되어 상기 제2 샤프트부(321)를 고정시킨다. 이때, 상기 제2 사이드 블록부(343)에는 상기 제2 샤프트 고정키(345)와 결합되기 위한 제2 고정키 홈(343b)가 형성될 수 있다.The second shaft fixing key 345 is coupled to the second side block portion 343 so as to be fitted in the groove formed on the outer surface of the second shaft portion 321 to fix the second shaft portion 321 . At this time, the second side block portion 343 may be formed with a second fixing key groove 343b for coupling with the second shaft fixing key 345. [

한편, 상기 중앙 블록부(341)는 상기 하우징 하부(120)와 마주하는 상면, 상기 상면과 대향하는 하면, 상기 제1 샤프트부(311)와 대응되고 상기 상면의 일측과 상기 하면의 일측을 연결하는 제1 측면, 및 상기 제2 샤프트부(321)와 대응되고 상기 상면의 타측과 상기 하면의 타측을 연결하는 제2 측면을 포함할 수 있다. The central block portion 341 is formed with an upper surface facing the lower housing 120, a lower surface opposed to the upper surface, and a lower portion corresponding to the first shaft portion 311 and connecting one side of the upper surface and one side of the lower surface And a second side corresponding to the second shaft portion 321 and connecting the other side of the upper surface to the other side of the lower surface.

본 실시예에서, 상기 제1 사이드 블록부(342)는 상기 중앙 블록부(341)의 하면의 일단부와 결합되고, 상기 제1 샤프트 홀더부(313)는 상기 중앙 블록부(341)의 제1 측면과 접하도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 제1 사이드 블록부(342)는 상기 중앙 블록부(341)의 제1 측면과 연결되어 상기 제1 샤프트 홀더부(313)와의 접촉 면적을 증가시키기 위해 L-자로 절곡된 형상을 가질 수 있다.The first side block portion 342 is engaged with one end of the lower surface of the central block portion 341 and the first shaft holder portion 313 is engaged with the end portion of the center block portion 341 1 side. The first side block portion 342 is connected to the first side surface of the center block portion 341 and has an L-shaped bent shape to increase the contact area with the first shaft holder portion 313 .

또한, 상기 제2 사이드 블록부(343)는 상기 중앙 블록부(341)의 하면의 타단부와 결합되고, 상기 제2 샤프트 홀더부(323)는 상기 중앙 블록부(341)의 제2 측면과 접하도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 제2 사이드 블록부(343)는 상기 중앙 블록부(341)의 제2 측면과 연결되어 상기 제2 샤프트 홀더부(323)와의 접촉 면적을 증가시키기 위해 L-자로 절곡된 형상을 가질 수 있다.The second side block portion 343 is coupled to the other end of the lower surface of the central block portion 341 and the second shaft holder portion 323 is coupled to the second side surface of the central block portion 341 As shown in FIG. The second side block portion 343 is connected to the second side surface of the center block portion 341 and has an L-shaped bent shape to increase the contact area with the second shaft holder portion 323 .

상기 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들(350, 360)은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)과 각각 결합되어 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 각각의 상기 제2 방향(D2)으로의 운동을 가이드한다.The first and second LM guide assemblies 350 and 360 are coupled to the first and second shaft assemblies 310 and 320 to provide a first and a second shaft assembly 310 and 320, Thereby guiding the movement in the second direction D2.

우선, 상기 제1 LM 가이드 조립체(350)는 제1 LM 가이드부(352) 및 제1 LM 서포터부(354)를 포함할 수 있다.First, the first LM guide assembly 350 may include a first LM guide unit 352 and a first LM supporter unit 354.

상기 제1 LM 가이드부(352)는 상기 제1 샤프트 홀더부(313)와 결합되어 상기 제1 샤프트부(311)의 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 운동을 가이드한다. 구체적으로, 상기 제1 LM 가이드부(352)는 제1 LM 레일(352a) 및 적어도 하나의 제1 LM 가이드블록(352b)을 포함할 수 있다. 상기 제1 LM 레일(352a)은 상기 제1 LM 서포터부(354)에 결합되고, 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장되어 형성된다. 상기 제1 LM 가이드블록(352b)은 한 쌍이 상기 제1 LM 레일(352a)에 배치될 수 있다. 상기 제1 LM 가이드블록(352b)의 일측은 상기 제1 샤프트 홀더부(313)와 결합되고, 상기 제1 LM 가이드블록(352b)의 타측은 상기 제1 LM 레일(352a)을 수용하도록 결합될 수 있다. 그 결과, 상기 제1 LM 가이드블록(352b)은 상기 제2 방향(D2)을 따라 왕복 이동이 가능할 수 있다.The first LM guide part 352 is engaged with the first shaft holder part 313 to guide the reciprocating motion of the first shaft part 311 in the second direction D2. Specifically, the first LM guide part 352 may include a first LM rail 352a and at least one first LM guide block 352b. The first LM rail 352a is coupled to the first LM supporter 354 and extends in the second direction D2. A pair of the first LM guide blocks 352b may be disposed on the first LM rail 352a. One side of the first LM guide block 352b is coupled to the first shaft holder 313 and the other side of the first LM guide block 352b is coupled to receive the first LM rail 352a . As a result, the first LM guide block 352b can reciprocate along the second direction D2.

상기 제1 LM 서포터부(354)는 상기 하우징 하부(120)에 결합되어 고정되고, 상기 제1 LM 가이드부(352)와 결합되어 지지한다. 구체적으로, 상기 제1 LM 서포터부(354)는 제1 수평 서포터 블록(354a), 제1 수직 서포터 블록(354b) 및 제1 결합 서포터 블록(354c)을 포함할 수 있다. 상기 제1 수평 서포터 블록(354a)은 상기 제1 LM 레일(352a)과 결합된다. 즉, 상기 제1 수평 서포터 블록(354a)의 일측면에는 상기 제1 LM 레일(352a)이 배치되어 고정된다. 상기 제1 수직 서포터 블록(354b)은 상기 제1 수평 서포터 블록(354a)과 수직하게 연결되어 지지한다. 상기 제1 결합 서포터 블록(354c)은 상기 제1 수평 서포터 블록(354a) 및 상기 제1 수직 서포터 블록(354b) 사이를 연결시키고, 상기 제1 수평 서포터 블록(354a) 및 상기 제1 수직 서포터 블록(354b)을 상기 하우징 하부(120)에 고정시킨다.The first LM supporter 354 is fixedly coupled to the lower housing 120 and is coupled with the first LM guide 352. Specifically, the first LM supporter 354 may include a first horizontal supporter block 354a, a first vertical supporter block 354b, and a first combined supporter block 354c. The first horizontal supporter block 354a is coupled to the first LM rail 352a. That is, the first LM rail 352a is disposed and fixed to one side of the first horizontal supporter block 354a. The first vertical supporter block 354b is connected to and supports the first horizontal supporter block 354a. The first coupling supporter block 354c connects the first horizontal supporter block 354a and the first vertical supporter block 354b and connects the first horizontal supporter block 354a and the first vertical supporter block 354b, (354b) to the lower housing part (120).

이어서, 상기 제2 LM 가이드 조립체(360)는 제2 LM 가이드부(362) 및 제2 LM 서포터부(364)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 LM 가이드 조립체(360)는 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 사이에 상기 제2 방향(D2)에 평행한 가상의 중심선을 기준으로, 상기 제1 LM 가이드 조립체(350)에 대칭되는 형상을 가질 수 있다.The second LM guide assembly 360 may include a second LM guide portion 362 and a second LM supporter portion 364. The second LM guide assembly 360 includes a first LM guide assembly 360 and a second LM guide assembly 360. The first LM guide assembly 360 includes a first LM guide assembly 360, May have a shape that is symmetrical to the assembly 350.

상기 제2 LM 가이드부(362)는 상기 제2 샤프트 홀더부(323)와 결합되어 상기 제2 샤프트부(321)의 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 운동을 가이드한다. 구체적으로, 상기 제2 LM 가이드부(362)는 제2 LM 레일(362a) 및 적어도 하나의 제2 LM 가이드블록(362b)을 포함할 수 있다. 상기 제2 LM 레일(362a)은 상기 제2 LM 서포터부(364)에 결합되고, 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장되어 형성된다. 상기 제2 LM 가이드블록(362b)은 한 쌍이 상기 제2 LM 레일(362a)에 배치될 수 있다. 상기 제2 LM 가이드블록(362b)의 일측은 상기 제2 샤프트 홀더부(323)와 결합되고, 상기 제2 LM 가이드블록(362b)의 타측은 상기 제2 LM 레일(362a)을 수용하도록 결합될 수 있다. 그 결과, 상기 제2 LM 가이드블록(362b)은 상기 제2 방향(D2)을 따라 왕복 이동이 가능할 수 있다.The second LM guide part 362 is engaged with the second shaft holder part 323 to guide the reciprocation of the second shaft part 321 in the second direction D2. Specifically, the second LM guide portion 362 may include a second LM rail 362a and at least one second LM guide block 362b. The second LM rail 362a is coupled to the second LM supporter 364 and extends in the second direction D2. A pair of the second LM guide blocks 362b may be disposed on the second LM rail 362a. One side of the second LM guide block 362b is coupled to the second shaft holder 323 and the other side of the second LM guide block 362b is coupled to receive the second LM rail 362a . As a result, the second LM guide block 362b can reciprocate along the second direction D2.

상기 제2 LM 서포터부(364)는 상기 하우징 하부(120)에 결합되어 고정되고, 상기 제2 LM 가이드부(362)와 결합되어 지지한다. 구체적으로, 상기 제2 LM 서포터부(364)는 제2 수평 서포터 블록(364a), 제2 수직 서포터 블록(364b) 및 제2 결합 서포터 블록(364c)을 포함할 수 있다. 상기 제2 수평 서포터 블록(364a)은 상기 제2 LM 레일(362a)과 결합된다. 즉, 상기 제2 수평 서포터 블록(364a)의 일측면에는 상기 제2 LM 레일(362a)이 배치되어 고정된다. 상기 제2 수직 서포터 블록(364b)은 상기 제2 수평 서포터 블록(364a)과 수직하게 연결되어 지지한다. 상기 제2 결합 서포터 블록(324c)은 상기 제2 수평 서포터 블록(364a) 및 상기 제2 수직 서포터 블록(364b) 사이를 연결시키고, 상기 제2 수평 서포터 블록(364a) 및 상기 제2 수직 서포터 블록(364b)을 상기 하우징 하부(120)에 고정시킨다.The second LM supporter 364 is fixedly coupled to the lower housing 120 and is coupled with the second LM guide 362. Specifically, the second LM supporter unit 364 may include a second horizontal supporter block 364a, a second vertical supporter block 364b, and a second combined supporter block 364c. The second horizontal supporter block 364a is coupled to the second LM rail 362a. That is, the second LM rail 362a is disposed and fixed to one side of the second horizontal supporter block 364a. The second vertical supporter block 364b is connected to and supports the second horizontal supporter block 364a. The second coupling supporter block 324c connects the second horizontal supporter block 364a and the second vertical supporter block 364b and connects the second horizontal supporter block 364a and the second vertical supporter block 364b, (364b) to the lower housing part (120).

이하, 별도의 도면들을 이용하여 상기 푸쉬-풀 구동 조립체(200A)을 자세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, the push-pull drive assembly 200A will be described in detail using separate drawings.

도 8은 도 3의 게이트 밸브에서 실링 모듈을 분해해서 도시한 분해 사시도이고, 도 9는 도 8의 일부를 확대해서 도시한 분해 사시도이며, 도 10은 도 9의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 11는 도 9의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이며, 도 12은 도 1의 게이트 밸브를 제1 방향을 따라 제2 방향으로 절단한 단면도이다.FIG. 8 is an exploded perspective view showing the sealing module in the gate valve of FIG. 3 in an exploded manner, FIG. 9 is an exploded perspective view showing an enlarged part of FIG. 8, and FIG. 10 is a sectional view taken along the line I- 11 is a cross-sectional view taken along line II-II 'of FIG. 9, and FIG. 12 is a cross-sectional view of the gate valve of FIG. 1 taken along a first direction in a second direction.

도 3 및 도 8 내지 도 12를 참조하면, 상기 푸쉬-풀 구동 조립체(200A)는 실링 몸체(210), 복수의 제1 푸쉬-풀 실린더들(220) 및 복수의 제2 푸쉬-풀 실린더들(230)을 포함할 수 있다.3 and 8-12, the push-pull drive assembly 200A includes a sealing body 210, a plurality of first push-pull cylinders 220, and a plurality of second push- (230).

상기 실링 몸체(210)는 상기 제1 방향(D1)을 따라 길게 연장된 형상을 갖는다. 상기 실링 몸체(210)는 상기 제1 실링 플레이트(202)와 마주하는 일측면에 복수의 제1 실린더 장착홈들(212)이 상기 제1 방향(D1)을 따라 이격되어 형성되고, 상기 제2 실링 플레이트(204)와 마주하는 타측면에 복수의 제2 실린더 장착홈들(214)이 상기 제1 실린더 장착홈들과 각각 대응되게 형성된다. 이때, 상기 실링 몸체(210)의 내부에는 유체의 전달을 위한 몸체 전달통로(BP)가 형성된다.The sealing body 210 has a shape elongated along the first direction D1. The sealing body 210 has a plurality of first cylinder mounting grooves 212 formed on one side facing the first sealing plate 202 and spaced along the first direction D1, A plurality of second cylinder mounting grooves 214 are formed on the other side facing the sealing plate 204 to correspond to the first cylinder mounting grooves. At this time, a body transfer passage (BP) for transferring fluid is formed inside the sealing body 210.

상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220)은 상기 제1 실린더 장착홈들(212) 각각에 삽입되어 상기 제1 실링 플레이트(202)와 결합되고, 상기 몸체 전달통로(BP)에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제1 실링 플레이트(202)를 밀거나 당긴다.The first push-pull cylinders 220 are inserted into each of the first cylinder mounting grooves 212 to be coupled with the first sealing plate 202, and the fluid transmission by the body- The first sealing plate 202 is pushed or pulled.

구체적으로, 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220) 각각은 제1 피스톤 몸체부(221), 제1 실린더 커버부(222), 제1 피스톤 축부(223), 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부(224) 및 제1 결합 블록부(225)를 포함할 수 있다. 상기 제1 피스톤 몸체부(221)는 상기 제1 실린더 장착홈(212) 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로(BP)에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제3 방향(D3)을 따라 피스톤 운동을 수행할 수 있다. 상기 제1 실린더 커버부(222)는 상기 제1 실린더 장착홈(212)을 덮도록 상기 실링 몸체(210)의 일측면에 결합된다. 상기 제1 피스톤 축부(223)는 일측이 상기 제1 피스톤 몸체부(221)과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제1 실린더 커버부(222)를 관통하여 상기 제1 실링 플레이트(202)와 연결된다. 상기 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부(224)는 상기 제1 실린더 커버부(222) 및 상기 제1 피스톤 몸체부(221) 사이에 배치되어 상기 제1 피스톤 축부(221)을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제1 피스톤 몸체부(221)의 운동에 의해 수축 및 팽창된다. 상기 제1 결합 블록부(225)는 상기 제1 피스톤 축부(223)의 타측을 상기 제1 실링 플레이트(202)에 결합시킨다.Each of the first push-pull cylinders 220 includes a first piston body portion 221, a first cylinder cover portion 222, a first piston shaft portion 223, a first push- A first coupling block portion 224 and a first coupling block portion 225. The first piston body portion 221 is disposed in the first cylinder mounting groove 212 and performs piston motion along the third direction D3 by the transfer of the fluid by the body transfer passage BP can do. The first cylinder cover part 222 is coupled to one side of the sealing body 210 to cover the first cylinder mounting groove 212. One side of the first piston shaft portion 223 is connected to the first piston body portion 221 and the other side of the first piston shaft portion 223 opposite to the one side passes through the first cylinder cover portion 222, ). The first push-pull bellows portion 224 is disposed between the first cylinder cover portion 222 and the first piston body portion 221 and is sealed to enclose the first piston shaft portion 221, And is contracted and inflated by the movement of the first piston body portion 221. The first coupling block portion 225 couples the other end of the first piston shaft portion 223 to the first sealing plate 202.

본 실시예에서, 상기 제1 실링 플레이트(202)의 일면에는 상기 제1 개구(112)를 밀봉시키기 위한 제1 오링부(202a)가 배치될 수 있다. 또한, 상기 일면에 대향하는 상기 제1 실링 플레이트(202)의 타면에는 상기 제1 결합 블록부들(225)과 각각 결합되기 위한 복수의 제1 블록 결함홈들(202b)이 형성되어 있을 수 있다. 한편, 상기 제1 결합 블록부들(225) 중 적어도 하나(225a)는 상기 제1 실링 플레이트(202)와 나사 결합되기 위해 상기 제1 방향(D1) 또는 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장된 형상을 가질 수 있다.In this embodiment, a first O-ring 202a for sealing the first opening 112 may be disposed on one side of the first sealing plate 202. [ In addition, a plurality of first block defect grooves 202b may be formed on the other surface of the first sealing plate 202 opposite to the first sealing block 202 to be coupled to the first coupling block units 225, respectively. At least one 225a of the first coupling block portions 225 may be elongated along the first direction D1 or the second direction D2 to be threadedly engaged with the first sealing plate 202, Shaped shape.

상기 제2 푸쉬-풀 실린더들(230)은 상기 제2 실린더 장착홈들(214) 각각에 삽입되어 상기 제2 실링 플레이트(204)와 결합되고, 상기 몸체 전달통로(BP)에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제2 실링 플레이트(204)를 밀거나 당긴다.The second push-pull cylinders 230 are inserted into each of the second cylinder mounting recesses 214 to be coupled to the second sealing plate 204, and fluid delivery by the body- The second sealing plate 204 is pushed or pulled.

구체적으로, 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들(230) 각각은 제2 피스톤 몸체부(231), 제2 실린더 커버부(232), 제2 피스톤 축부(233), 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부(234) 및 제2 결합 블록부(235)를 포함할 수 있다. 상기 제2 피스톤 몸체부(231)는 상기 제2 실린더 장착홈(214) 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로(BP)에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제3 방향(D3)을 따라 피스톤 운동을 수행할 수 있다. 상기 제2 실린더 커버부(232)는 상기 제2 실린더 장착홈(214)을 덮도록 상기 실링 몸체(210)의 타측면에 결합된다. 상기 제2 피스톤 축부(233)는 일측이 상기 제2 피스톤 몸체부(231)과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제2 실린더 커버부(232)를 관통하여 상기 제2 실링 플레이트(204)와 연결된다. 상기 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부(234)는 상기 제2 실린더 커버부(232) 및 상기 제2 피스톤 몸체부(231) 사이에 배치되어 상기 제2 피스톤 축부(231)을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제2 피스톤 몸체부(231)의 운동에 의해 수축 및 팽창된다. 상기 제2 결합 블록부(235)는 상기 제2 피스톤 축부(233)의 타측을 상기 제2 실링 플레이트(204)에 결합시킨다.Specifically, each of the second push-pull cylinders 230 includes a second piston body portion 231, a second cylinder cover portion 232, a second piston shaft portion 233, a second push- A second coupling block portion 234 and a second coupling block portion 235. The second piston body portion 231 is disposed in the second cylinder mounting groove 214 and performs a piston motion along the third direction D3 by the transfer of the fluid by the body transfer passage BP can do. The second cylinder cover part 232 is coupled to the other side of the sealing body 210 to cover the second cylinder mounting groove 214. One end of the second piston shaft portion 233 is connected to the second piston body portion 231 and the other end of the second piston shaft portion 233 opposite to the one side passes through the second cylinder cover portion 232, ). The second push-pull bellows portion 234 is disposed between the second cylinder cover portion 232 and the second piston body portion 231 and is sealed to enclose the second piston shaft portion 231, And is contracted and expanded by the motion of the second piston body portion (231). The second coupling block portion 235 couples the other end of the second piston shaft portion 233 to the second sealing plate 204.

본 실시예에서, 상기 제2 실링 플레이트(204)의 일면에는 상기 제1 개구(114)를 밀봉시키기 위한 제2 오링부(204a)가 배치될 수 있다. 또한, 상기 일면에 대향하는 상기 제2 실링 플레이트(204)의 타면에는 상기 제2 결합 블록부들(235)과 각각 결합되기 위한 복수의 제2 블록 결함홈들(204b)이 형성되어 있을 수 있다. 한편, 상기 제2 결합 블록부들(235) 중 적어도 하나(235a)는 상기 제2 실링 플레이트(204)와 나사 결합되기 위해 상기 제1 방향(D1) 또는 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장된 형상을 가질 수 있다.In this embodiment, a second O-ring portion 204a for sealing the first opening 114 may be disposed on one side of the second sealing plate 204. [ In addition, a plurality of second block defect grooves 204b may be formed on the other surface of the second sealing plate 204 opposite to the one surface to be coupled to the second joint block units 235, respectively. At least one 235a of the second coupling block portions 235 may be elongated along the first direction D1 or the second direction D2 to be threadedly engaged with the second sealing plate 204. [ Shaped shape.

도 13은 도 12의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 14는 도 13의 A 부분을 확대해서 도시한 단면도이며, 도 15는 도 12의 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 16은 도 15의 B 부분을 확대해서 도시한 단면도이다.13 is a cross-sectional view taken along line III-III 'in FIG. 12, FIG. 14 is an enlarged cross-sectional view taken along line A in FIG. 13, and FIG. 15 is a cross-sectional view taken along line IV- And Fig. 16 is an enlarged cross-sectional view of part B of Fig.

도 8 내지 도 12 및 도 13 내지 도 16을 참조하면, 상기 실링 몸체(210) 내에 형성된 상기 몸체 전달통로(BP)는 몸체 전달 푸쉬통로(BPH) 및 몸체 전달 풀통로(PBL)를 포함할 수 있다. 상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH)는 상기 제1 방향(D1)을 따라 길게 연장되어, 푸쉬(push)를 위한 유체를 전달한다. 상기 몸체 전달 풀통로(PBL)는 상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH)와 대응되게 상기 제1 방향(D1)을 따라 길게 연장되어, 풀(pull)을 위한 유체를 전달한다.8 to 12 and FIGS. 13 to 16, the body transfer passage BP formed in the sealing body 210 may include a body transfer push passage (BPH) and a body transfer full passage (PBL). have. The body delivery pushbutton (BPH) extends along the first direction (D1) to deliver fluid for pushing. The body transferring passage PBL extends along the first direction D1 in correspondence with the body transferring passage BPH to transfer the fluid for pulling.

상기 실링 몸체(210)에는 상기 제1 실린더 장착홈들(212)과 상기 제2 실린더 장착홈들(214) 사이 각각에 푸쉬 수용홀들(216)이 형성될 수 있다. 이때, 상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH)는 상기 푸쉬 수용홀들(216) 각각과 연결되어 상기 푸쉬를 위한 유체를 상기 푸쉬 수용홀들(216) 각각으로 전달할 수 있고, 그 결과 상기 제1 피스톤 몸체부(221) 및 상기 제2 피스톤 몸체부(232)가 중심에서 외곽으로 이동하여 상기 제1 및 제2 실링 플레이트들(202, 204) 각각을 푸쉬할 수 있다.The sealing body 210 may have push receiving holes 216 formed between the first cylinder mounting recesses 212 and the second cylinder mounting recesses 214, respectively. At this time, the body transfer pushing passage (BPH) is connected to each of the pushing holes 216 to transmit the fluid for the push to each of the pushing holes 216, The first piston body 221 and the second piston body 232 move from the center to the outer periphery to push the first and second sealing plates 202 and 204, respectively.

상기 제1 실린더 커버부들(222)과 마주하는 상기 제1 피스톤 몸체부들(221)의 일측면에는 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)로부터 풀을 위한 유체를 제공받는 제1 풀 수용홈들(221a)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 제2 실린더 커버부들(232)과 마주하는 상기 제2 피스톤 몸체부들(231)의 일측면에도 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)로부터 풀을 위한 유체를 제공받는 제2 풀 수용홈들(231a)이 형성될 수 있다.One side of the first piston body portions 221 facing the first cylinder cover portions 222 is provided with first pool receiving grooves 221a receiving fluids from the body transferring passage BPL, Can be formed. In addition, one side surface of the second piston body portions 231 facing the second cylinder cover portions 232 may be provided with second pool receiving grooves (not shown) provided with a fluid for pooling from the body transfer pool passage BPL 231a may be formed.

상기 제1 실린더 커버부들(222) 각각은 상기 제1 풀 수용홈(221a)에 수용되도록 돌출된 제1 커버 돌출부(222a)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 커버 돌출부(222a)는 상기 제1 풀 수용홈(221a)에 밀착되어 수용되는 것이 아니라 유체의 이동이 가능하도록 상기 제1 풀 수용홈(221a)에 일정 간격 이격되어 형성된다. 또한, 상기 제2 실린더 커버부들(232) 각각은 상기 제2 풀 수용홈(231a)에 수용되도록 돌출된 제2 커버 돌출부(232a)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 커버 돌출부(232a)도 상기 제2 풀 수용홈(231a)에 밀착되어 수용되는 것이 아니라 유체의 이동이 가능하도록 상기 제2 풀 수용홈(231a)에 일정 간격 이격되어 형성된다.Each of the first cylinder cover portions 222 may include a first cover protrusion 222a protruded to be received in the first pool receiving groove 221a. At this time, the first cover protrusion 222a is formed in the first pool receiving groove 221a so as to be spaced apart from the first pool receiving groove 221a so as to allow fluid movement. In addition, each of the second cylinder cover portions 232 may include a second cover protrusion 232a protruded to be received in the second pool receiving groove 231a. At this time, the second cover protrusion 232a is formed not to be in contact with the second pool receiving groove 231a but to be spaced apart from the second pool receiving groove 231a so as to allow fluid to move.

상기 제1 실린더 커버부들(222) 각각에는 상기 제1 풀 수용홈(221a)에 의해 형성된 상기 제1 피스톤 몸체부(221)의 측벽을 수용하는 제1 커버 수용홈(222b)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 제2 실린더 커버부들(232) 각각에도 상기 제2 풀 수용홈(231a)에 의해 형성된 상기 제2 피스톤 몸체부(231)의 측벽을 수용하는 제2 커버 수용홈(232b)이 형성될 수 있다.Each of the first cylinder cover portions 222 may be formed with a first cover receiving groove 222b for receiving a side wall of the first piston body portion 221 formed by the first pool receiving groove 221a . Each of the second cylinder cover portions 232 is also formed with a second cover receiving groove 232b for receiving the side wall of the second piston body portion 231 formed by the second pool receiving groove 231a .

한편, 상기 실링 몸체(210)에는 제1 풀 연결 통로들(BCL1) 및 제2 풀 연결 통로들(BCL2)이 더 형성될 수 있다.Meanwhile, the sealing body 210 may further include first and second pool connection passages BCL1 and BCL2.

상기 제1 풀 연결 통로들(BCL1)은 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)를 상기 제1 커버 수용홈들(222b)로 각각 연결시킨다. 이때, 상기 제1 커버 수용홈들(222b) 각각의 일부는 상기 제1 풀 연결 통로(BCL1)와 연결되기 위해 일측으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 그 결과, 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)에서 상기 제1 풀 연결 통로들(BCL1) 각각으로 전달되는 유체는 상기 제1 커버 수용홈(222b)을 경유해 상기 제1 풀 수용홈(221a)으로 전달될 수 있다.The first pull connecting passages BCL1 connect the body transferring passages BPL to the first cover receiving recesses 222b, respectively. At this time, a part of each of the first cover receiving grooves 222b may have a shape extended to one side to be connected to the first pull connecting passage BCL1. As a result, the fluid delivered from the body transferring passage BPL to each of the first pool connection passages BCL1 flows into the first pool receiving groove 221a via the first cover receiving groove 222b Lt; / RTI >

상기 제2 풀 연결 통로들(BCL2)도 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)를 상기 제2 커버 수용홈들(232b)로 각각 연결시킨다. 이때, 상기 제2 커버 수용홈들(232b) 각각의 일부는 상기 제2 풀 연결 통로(BCL2)와 연결되기 위해 일측으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 이때, 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)에서 상기 제2 풀 연결 통로들(BCL2) 각각으로 전달되는 유체도 상기 제2 커버 수용홈(232b)을 경유해 상기 제2 풀 수용홈(231a)으로 전달될 수 있다.The second pull connecting passages BCL2 also connect the body transferring passages BPL to the second cover receiving recesses 232b. At this time, a part of each of the second cover receiving grooves 232b may have a shape extended to one side to be connected to the second pull connection passage BCL2. At this time, the fluid transferred from the body transferring passage BPL to each of the second pool connection passages BCL2 is also transferred to the second pool receiving groove 231a via the second cover receiving groove 232b .

이하, 별도의 도면들을 이용하여 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220) 및 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들(230) 각각으로 유체를 전달하기 위한 통로에 대하여 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, the passages for delivering the fluid to the first push-pull cylinders 220 and the second push-pull cylinders 230 will be described in detail using separate drawings.

도 17은 도 12의 Ⅴ-Ⅴ'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 18은 도 12의 Ⅵ-Ⅵ'선을 따라 절단한 단면도이다.17 is a cross-sectional view taken along line V-V 'of FIG. 12, and FIG. 18 is a cross-sectional view taken along line VI-VI' of FIG.

도 12 내지 도 16 및 도 17 내지 도 18을 참조하면, 상기 이송 모듈(300)에는 상기 몸체 전달통로(BP)와 연결되어 유체를 전달하는 샤프트 전달통로(SP)가 형성되어 있을 수 있다.12 to 16 and 17 to 18, the transfer module 300 may be formed with a shaft transmission passage SP connected to the body transfer passage BP for transferring fluid.

상기 몸체 전달통로(BP)는 상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH) 및 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 샤프트 전달통로(SP)도 샤프트 전달 푸쉬통로(SPH) 및 샤프트 전달 풀통로(SPL)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 샤프트 전달 푸쉬통로(SPH)는 상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH)와 연결되고, 상기 샤프트 전달 풀통로(SPL)는 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)와 연결된다.The body delivery passage BP may include the body delivery push passage BPH and the body delivery pool passage BPL. In addition, the shaft transmission passage SP may include a shaft transmission push passage SPH and a shaft transmission full passage SPL. At this time, the shaft transmission push passage (SPH) is connected to the body transmission push passage (BPH), and the shaft transmission pool passage (SPL) is connected to the body transmission pool passage (BPL).

한편, 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220)은 상기 실링 몸체(210)의 상기 제1 방향(D1)으로의 중심을 기준으로 일측에 배치된 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 및 상기 실링 몸체(210)의 상기 제1 방향(D1)으로의 중심을 기준으로 타측에 배치된 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들로 구분될 수 있다. 또한, 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들(230)은 상기 실링 몸체(210)의 상기 제1 방향(D1)으로의 중심을 기준으로 일측에 배치된 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 및 상기 실링 몸체(210)의 상기 제1 방향(D1)으로의 중심을 기준으로 타측에 배치된 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들로 구분될 수 있다.The first push-pull cylinders 220 include first push-pull one side cylinders disposed at one side with respect to the center of the sealing body 210 in the first direction D1, The first push-pull side cylinders disposed on the other side with respect to the center in the first direction D1 of the first push-pull cylinder 210. The second push-pull cylinders 230 include second push-pull one side cylinders disposed at one side with respect to the center of the sealing body 210 in the first direction D1, And second push-pull second side cylinders disposed on the other side with respect to the center in the first direction D1 of the second push-pull cylinder 210. [

상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH)는 상기 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각에 연결된 제1 몸체 푸쉬통로(BPH1), 및 상기 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각에 연결된 제2 몸체 푸쉬통로(BPH2)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)는 상기 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각에 연결된 제1 몸체 풀통로(BPL1), 및 상기 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각에 연결된 제2 몸체 풀통로(BPL2)를 포함할 수 있다.The body transfer passage (BPH) includes a first body push passage (BPH1) connected to each of the first push-pull one side cylinders and the second push-pull one side cylinders, and a second body push- And second body push passages (BPH2) connected to the second push-pull counter-side cylinders, respectively. The body transferring passage BPL includes a first body full passage BPL1 connected to each of the first push-pull one side cylinders and the second push-pull one side cylinders, And a second body pool passage (BPL2) connected to each of the other cylinders and each of the second push-pull counter-side cylinders.

상기 샤프트 전달 푸쉬통로(SPH)는 상기 제1 몸체 푸쉬통로(BPH1)와 연결된 제1 샤프트 푸쉬통로(SPH1), 및 상기 제2 몸체 푸쉬통로(BPH2)와 연결된 제2 샤프트 푸쉬통로(SPH2)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 샤프트 전달 풀통로(SPL)는 상기 제1 몸체 풀통로(BPL1)와 연결된 제1 샤프트 푸쉬통로(SPL1), 및 상기 제2 몸체 풀통로(BPL2)와 연결된 제2 샤프트 푸쉬통로(SPL2)를 포함할 수 있다.The shaft transmission passage SPH includes a first shaft push passage SPH1 connected to the first body push passage BPH1 and a second shaft push passage SPH2 connected to the second body push passage BPH2. . The shaft transferring passage SPL includes a first shaft push passage SPL1 connected to the first body full passage BPL1 and a second shaft push passage SPL2 connected to the second body full passage BPL2. ).

본 실시예에서, 상기 제1 샤프트 푸쉬통로(SPH1) 및 상기 제1 샤프트 푸쉬통로(SPL1)는 상기 제1 샤프트 조립체(310)의 제1 샤프트부(311) 내에 형성되고, 상기 제1 샤프트 연결부(312) 및 상기 실링 몸체(210) 내로 연장되어 상기 제1 몸체 푸쉬통로(BPH1) 및 상기 제1 몸체 풀통로(BPL1)와 각각 연결될 수 있다. 또한, 상기 제2 샤프트 푸쉬통로(SPH2) 및 상기 제2 샤프트 푸쉬통로(SPL2)도 상기 제2 샤프트 조립체(320)의 제2 샤프트부(321) 내에 형성되고, 상기 제2 샤프트 연결부(322) 및 상기 실링 몸체(210) 내로 연장되어 상기 제2 몸체 푸쉬통로(BPH2) 및 상기 제2 몸체 풀통로(BPL2)와 각각 연결될 수 있다.In this embodiment, the first shaft push passage SPH1 and the first shaft push passage SPL1 are formed in the first shaft portion 311 of the first shaft assembly 310, And may be connected to the first body push passage (BPH1) and the first body pull passage (BPL1), respectively, and extend into the sealing body (312) and the sealing body (210). The second shaft push passage SPH2 and the second shaft push passage SPL2 are also formed in the second shaft portion 321 of the second shaft assembly 320 and the second shaft connection portion 322 is formed in the second shaft portion 321. [ And may extend into the sealing body 210 and be connected to the second body push passage BPH2 and the second body pull passage BPL2, respectively.

한편, 상기 제1 샤프트 푸쉬통로(SPH1) 및 상기 제1 샤프트 푸쉬통로(SPL1)는 상기 제1 샤프트부(311)가 상기 제1 사이드 블록부(342)를 관통하여 노출됨에 따라 외부의 유체를 제공하는 유체 전달 제어 모듈(미도시)과 연결될 수 있다. 또한, 상기 제2 샤프트 푸쉬통로(SPH2) 및 상기 제2 샤프트 푸쉬통로(SPL2)는 상기 제2 샤프트부(321)가 상기 제2 사이드 블록부(343)를 관통하여 노출됨에 따라 상기 유체 전달 제어 모듈과 연결될 수 있다.The first shaft pushing passage SPH1 and the first shaft pushing passage SPL1 are formed so that the first shaft portion 311 is exposed through the first side block portion 342, (Not shown) that provides a fluid delivery control module (not shown). The second shaft push passage (SPH2) and the second shaft push passage (SPL2) are formed in the second shaft block portion (341) so that the second shaft portion (321) is exposed through the second side block portion (343) Module.

이와 같이 본 실시예에 따르면, 상기 실링 모듈(200)을 이동시키는 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)이 상기 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들(350, 360)에 의해 가이드되어 이동됨에 따라, 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)에 의한 상기 실링 모듈(200)의 이동이 안정적으로 수행될 수 있다. 즉, 상기 게이트 밸브가 수직하게 배치되어 상기 실링 모듈(200)의 이동시 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)에 강한 하중이 발생된다하더라도 상기 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들(350, 360)이 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 각각을 지지함으로써 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)로의 강한 하중을 완화시킬 수 있고, 이로 인해 상기 실링 모듈(200)의 이동시 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)에서 발생되는 마찰 및 소음 등을 최소화시킬 수 있다.The first and second shaft assemblies 310 and 320 for moving the sealing module 200 are guided by the first and second LM guide assemblies 350 and 360, The movement of the sealing module 200 by the first and second shaft assemblies 310 and 320 can be performed stably. That is, even though the gate valve is vertically disposed to generate a strong load on the first and second shaft assemblies 310 and 320 when the sealing module 200 is moved, the first and second LM guide assemblies 350 and 360 may support each of the first and second shaft assemblies 310 and 320 to relieve a strong load on the first and second shaft assemblies 310 and 320, Friction and noise generated in the first and second shaft assemblies 310 and 320 when the module 200 is moved can be minimized.

또한, 상기 제1 실링 플레이트(202)를 이동시키는 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220) 및 상기 제2 실링 플레이트(204)를 이동시키는 제2 푸쉬-풀 실린더들(230)이 상기 실링 몸체(200)의 제1 실린더 장착홈들(212) 및 제2 실린더 장착홈들(214) 각각에 장착됨에 따라, 상기 실링 모듈(200)의 두께, 부피 및 무게 등을 감소시킬 수 있다.The first push-pull cylinders 220 for moving the first sealing plate 202 and the second push-pull cylinders 230 for moving the second sealing plate 204 are connected to the sealing body 202, The thickness, volume, weight, etc. of the sealing module 200 can be reduced by mounting the sealing module 200 on the first cylinder mounting grooves 212 and the second cylinder mounting grooves 214, respectively.

또한, 상기 실링 몸체(200)에 장착된 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220) 및 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들(230)이 상기 실링 몸체(210) 자체 내에 형성된 상기 몸체 전달통로(BP)를 통해 유체가 전달되어 동작됨에 따라, 상기 실링 모듈(200)의 두께, 부피 및 무게 등을 더욱 감소시킬 뿐만 아니라 유체의 전달를 위한 별도의 부재가 생략할 수 있어 상기 게이트 밸브의 비용 절감 효과도 있다.
The first push-pull cylinders 220 and the second push-pull cylinders 230 mounted on the sealing body 200 are connected to the body transmission passage BP formed in the sealing body 210 itself, The thickness, volume, and weight of the sealing module 200 can be further reduced, and a separate member for transferring the fluid can be omitted, thereby reducing the cost of the gate valve have.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 하우징 모듈 110 : 하우징 몸체
112 : 제1 개구 114 : 제2 개구
116 : 측면 윈도우 120 : 하우징 하부
130 : 하우징 상부 132 : 상면 윈도우
200 : 실링 모듈 202 : 제1 실링 플레이트
202a : 제1 오링부 202b : 제1 블록 결합홈
204 : 제2 실링 플레이트 204a : 제2 오링부
204b : 제2 블록 결합홈 200A : 푸쉬-풀 구동 조립체
210 : 실링 몸체 212 : 제1 실린더 장착홈
214 : 제2 실린더 장착홈 216 : 푸쉬 수용홀
220 : 제1 푸쉬-풀 실린더 221 : 제1 피스톤 몸체부
221a : 제1 풀 수용홈 222 : 제1 실린더 커버부
222a : 제1 커버 돌출부 222b : 제1 커버 수용홈
223 : 제1 피스톤 축부 224 : 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부
225 : 제1 결합 블록부 225a : 제1 결합 블록부의 일부
230 : 제2 푸쉬-풀 실린더 231 : 제2 피스톤 몸체부
231a : 제2 풀 수용홈 232 : 제2 실린더 커버부
232a : 제2 커버 돌출부 232b : 제2 커버 수용홈
233 : 제2 피스톤 축부 234 : 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부
235 : 제2 결합 블록부 235a : 제2 결합 블록부의 일부
300 : 이송 모듈 310 : 제1 샤프트 조립체
311 : 제1 샤프트부 312 : 제1 샤프트 연결부
313 : 제1 샤프트 홀더부 313a : 제1 홀더 몸체
313b : 제1 홀더 커버 314 : 제1 샤프트 결합부
315 : 제1 샤프트 밸로우즈부 320 : 제2 샤프트 조립체
321 : 제2 샤프트부 322 : 제2 샤프트 연결부
323 : 제2 샤프트 홀더부 323a : 제2 홀더 몸체
323b : 제2 홀더 커버 324 : 제2 샤프트 결합부
325 : 제2 샤프트 밸로우즈부 330 : 이송 실린더 유닛
332 : 이송 샤프트 340 : 모션 블록
341 : 중앙 블록부 342 : 제1 사이드 블록부
342a : 제1 샤프트 통과홀 342b : 제1 고정키홈
343 : 제2 사이드 블록부 343a : 제2 샤프트 통과홀
343b : 제2 고정키홈 344 : 제1 샤프트 고정키
345 : 제2 샤프트 고정키 350 : 제1 LM 가이드 조립체
352 : 제1 LM 가이드부 352a : 제1 LM 레일부
352b : 제1 LM 가이드블록 354 : 제1 LM 서포터부
354a : 제1 수평 서포터블록 354b : 제1 수직 서포터블록
354c : 제1 결합 서포터블록 360 : 제2 LM 가이드 조립체
362 : 제2 LM 가이드부 362a : 제2 LM 레일부
362b : 제2 LM 가이드블록 364 : 제2 LM 서포터부
364a : 제2 수평 서포터블록 364b : 제2 수직 서포터블록
364c : 제2 결합 서포터블록 BP : 몸체 전달통로
BPH : 몸체 전달 푸쉬통로 BPH1 : 제1 몸체 푸쉬통로
BPH2 : 제2 몸체 푸쉬통로 BPL : 몸체 전달 풀통로
BPL1 : 제1 몸체 풀통로 BPL2 : 제2 몸체 풀통로
BCL1 : 제1 풀 연결통로 BCL2 : 제2 풀 연결통로
SP : 샤프트 전달통로 SPH : 샤프트 전달 푸쉬통로
SPH1 : 제1 샤프트 푸쉬통로 SPH2 : 제2 샤프트 푸쉬통로
SPL : 샤프트 전달 풀통로 SPL1 : 제1 샤프트 풀통로
SPL2 : 제2 샤프트 풀통로100: housing module 110: housing body
112: first opening 114: second opening
116: side window 120: housing bottom
130: housing upper part 132: upper window
200: sealing module 202: first sealing plate
202a: first o-ring portion 202b: first block engaging groove
204: second sealing plate 204a: second o-
204b: second block coupling groove 200A: push-pull drive assembly
210: sealing body 212: first cylinder mounting groove
214: second cylinder mounting groove 216: push accommodating hole
220: first push-pull cylinder 221: first piston-
221a: first pool receiving groove 222: first cylinder cover portion
222a: first cover projection part 222b: first cover receiving groove
223: first piston shaft portion 224: first push-pull bellows portion
225: first coupling block part 225a: part of the first coupling block part
230: second push-pull cylinder 231: second piston body part
231a: second pool receiving groove 232: second cylinder cover portion
232a: second cover projection portion 232b: second cover receiving groove
233: second piston shaft portion 234: second push-pull bellows portion
235: second coupling block part 235a: part of the second coupling block part
300: transfer module 310: first shaft assembly
311: first shaft portion 312: first shaft connecting portion
313: first shaft holder part 313a: first holder body
313b: first holder cover 314: first shaft coupling portion
315: first shaft bellows portion 320: second shaft assembly
321: second shaft portion 322: second shaft connection portion
323: second shaft holder part 323a: second holder body
323b: second holder cover 324: second shaft coupling portion
325: second shaft bellows portion 330: transfer cylinder unit
332: Feed shaft 340: Motion block
341: center block portion 342: first side block portion
342a: first shaft passage hole 342b: first fixing keyway
343: second side block portion 343a: second shaft through hole
343b: second fixing key groove 344: first shaft fixing key
345: second shaft fixing key 350: first LM guide assembly
352: first LM guide part 352a: first LM rail part
352b: first LM guide block 354: first LM supporter section
354a: first horizontal supporter block 354b: first horizontal supporter block
354c: first coupling supporter block 360: second LM guide assembly
362: second LM guide part 362a: second LM rail part
362b: second LM guide block 364: second LM supporter section
364a: second horizontal supporter block 364b: second horizontal supporter block
364c: second coupling supporter block BP: body transmission passage
BPH: Body delivery push passage BPH1: First body push passage
BPH2: Second body push passage BPL: Body transmission full passage
BPL1: first body full passage BPL2: second body full passage
BCL1: First pool connection channel BCL2: Second pool connection channel
SP: shaft transmission passage SPH: shaft transmission transmission passage
SPH1: first shaft push passage SPH2: second shaft push passage
SPL: shaft transmission full passage SPL1: first shaft full passage
SPL2: second shaft full passage

Claims (16)

내부 공간을 갖고, 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 갖는 제1 및 제2 개구들이 형성된 하우징 모듈;
상기 하우징 모듈 내에 배치되고, 상기 제1 개구에 대응하는 제1 실링 플레이트, 상기 제2 개구에 대응하는 제2 실링 플레이트, 및 상기 제1 및 제2 실링 플레이트들 사이에 배치된 푸쉬-풀(push-pull) 구동 조립체를 포함하는 실링 모듈; 및
상기 하우징 모듈 외부에 배치되고, 상기 실링 모듈을 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 왕복 이동시키는 이송 모듈을 포함하고,
상기 푸쉬-풀 구동 조립체는
내부에 유체의 전달을 위한 몸체 전달통로가 형성되고, 상기 제1 실링 플레이트와 마주하는 일측면에 복수의 제1 실린더 장착홈들이 상기 제1 방향을 따라 이격되어 형성되며, 상기 제2 실링 플레이트와 마주하는 타측면에 복수의 제2 실린더 장착홈들이 상기 제1 실린더 장착홈들과 각각 대응되게 형성된 실링 몸체;
상기 제1 실린더 장착홈들 각각에 삽입되어 상기 제1 실링 플레이트와 결합되고, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제1 실링 플레이트를 밀거나 당기는 복수의 제1 푸쉬-풀 실린더들; 및
상기 제2 실린더 장착홈들 각각에 삽입되어 상기 제2 실링 플레이트와 결합되고, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제2 실링 플레이트를 밀거나 당기는 복수의 제2 푸쉬-풀 실린더들을 포함하며,
상기 제1 푸쉬-풀 실린더들 각각은
상기 제1 실린더 장착홈 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제1 및 제2 방향들과 교차하는 제3 방향을 따라 피스톤 운동을 수행하는 제1 피스톤 몸체부;
상기 제1 실린더 장착홈을 덮도록 상기 실링 몸체의 일측면에 결합된 제1 실린더 커버부;
일측이 상기 제1 피스톤 몸체부과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제1 실린더 커버부를 관통하여 상기 제1 실링 플레이트와 연결되는 제1 피스톤 축부; 및
상기 제1 실린더 커버부 및 상기 제1 피스톤 몸체부 사이에 배치되어 상기 제1 피스톤 축부을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제1 피스톤 몸체부의 운동에 의해 수축 및 팽창되는 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부를 포함하고,
상기 제2 푸쉬-풀 실린더들 각각은
상기 제2 실린더 장착홈 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제3 방향을 따라 피스톤 운동을 수행하는 제2 피스톤 몸체부;
상기 제2 실린더 장착홈을 덮도록 상기 실링 몸체의 타측면에 결합된 제2 실린더 커버부;
일측이 상기 제2 피스톤 몸체부과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제1 실린더 커버부를 관통하여 상기 제2 실링 플레이트와 연결되는 제2 피스톤 축부; 및
상기 제2 실린더 커버부 및 상기 제2 피스톤 몸체부 사이에 배치되어 상기 제2 피스톤 축부을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제2 피스톤 몸체부의 운동에 의해 수축 및 팽창되는 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부를 포함하며,
상기 몸체 전달통로는
상기 제1 방향을 따라 길게 연장되어, 푸쉬(push)를 위한 유체를 전달하는 몸체 전달 푸쉬통로; 및
상기 몸체 전달 푸쉬통로와 대응되게 상기 제1 방향을 따라 길게 연장되어, 풀(pull)을 위한 유체를 전달하는 몸체 전달 풀통로를 포함하고,
상기 실링 몸체에는 상기 제1 실린더 장착홈들과 상기 제2 실린더 장착홈들 사이 각각에 푸쉬 수용홀들이 형성되고,
상기 몸체 전달 푸쉬통로는 상기 푸쉬 수용홀들 각각과 연결되어 상기 푸쉬를 위한 유체를 상기 푸쉬 수용홀들 각각으로 전달하는 게이트 밸브.A housing module having an inner space and formed with first and second openings having a shape elongated in a first direction;
A first sealing plate disposed in the housing module and corresponding to the first opening, a second sealing plate corresponding to the second opening, and a push-pull assembly disposed between the first and second sealing plates, - a sealing module including a drive assembly; And
And a transfer module disposed outside the housing module and reciprocating the sealing module along a second direction intersecting with the first direction,
The push-pull drive assembly
And a plurality of first cylinder mounting grooves are formed on one side of the first sealing plate opposite to the first sealing plate, the first cylinder mounting grooves being spaced apart from each other along the first direction, A sealing body having a plurality of second cylinder mounting grooves formed on the other opposite side thereof so as to correspond to the first cylinder mounting grooves, respectively;
A plurality of first push-pull cylinders inserted into each of the first cylinder mounting grooves and engaged with the first sealing plate, and pushing or pulling the first sealing plate by the transfer of the fluid by the body transmission passage; And
A plurality of second push-pull cylinders inserted into each of the second cylinder mounting grooves and coupled with the second sealing plate, and pushing or pulling the second sealing plate by the transmission of the fluid by the body transmission passage In addition,
Each of the first push-pull cylinders
A first piston body disposed in the first cylinder mounting groove for performing piston motion along a third direction intersecting with the first and second directions by the transfer of the fluid by the body transfer passage;
A first cylinder cover portion coupled to one side of the sealing body to cover the first cylinder mounting groove;
A first piston shaft part having one side connected to the first piston body part and the other side opposite to the one side passing through the first cylinder cover part and connected to the first sealing plate; And
And a first push-pull bellows portion disposed between the first cylinder cover portion and the first piston body portion so as to enclose the first piston portion and being contracted and expanded by the movement of the first piston body portion, ,
Each of the second push-pull cylinders
A second piston body disposed in the second cylinder mounting groove for performing piston motion along the third direction by transfer of fluid by the body transfer passage;
A second cylinder cover portion coupled to the other side surface of the sealing body to cover the second cylinder mounting groove;
A second piston shaft portion having one side connected to the second piston body portion and the other side opposite to the one side passing through the first cylinder cover portion and connected to the second sealing plate; And
And a second push-pull bellows portion disposed between the second cylinder cover portion and the second piston body portion to seal the second piston shaft portion and to be contracted and expanded by the movement of the second piston body portion, ,
The body-
A body transfer push passage extending along the first direction to transmit a fluid for pushing; And
And a body transferring passageway extending along the first direction so as to correspond to the body transfer pushing passage and delivering fluid for pulling,
Wherein the sealing body has push receiving holes formed between the first cylinder mounting grooves and the second cylinder mounting grooves, respectively,
Wherein the body transfer push passage is connected to each of the push accommodating holes to transmit the fluid for the push to each of the push accommodating holes. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 내부 공간을 갖고, 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 갖는 제1 및 제2 개구들이 형성된 하우징 모듈;
상기 하우징 모듈 내에 배치되고, 상기 제1 개구에 대응하는 제1 실링 플레이트, 상기 제2 개구에 대응하는 제2 실링 플레이트, 및 상기 제1 및 제2 실링 플레이트들 사이에 배치된 푸쉬-풀(push-pull) 구동 조립체를 포함하는 실링 모듈; 및
상기 하우징 모듈 외부에 배치되고, 상기 실링 모듈을 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 왕복 이동시키는 이송 모듈을 포함하고,
상기 푸쉬-풀 구동 조립체는
내부에 유체의 전달을 위한 몸체 전달통로가 형성되고, 상기 제1 실링 플레이트와 마주하는 일측면에 복수의 제1 실린더 장착홈들이 상기 제1 방향을 따라 이격되어 형성되며, 상기 제2 실링 플레이트와 마주하는 타측면에 복수의 제2 실린더 장착홈들이 상기 제1 실린더 장착홈들과 각각 대응되게 형성된 실링 몸체;
상기 제1 실린더 장착홈들 각각에 삽입되어 상기 제1 실링 플레이트와 결합되고, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제1 실링 플레이트를 밀거나 당기는 복수의 제1 푸쉬-풀 실린더들; 및
상기 제2 실린더 장착홈들 각각에 삽입되어 상기 제2 실링 플레이트와 결합되고, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제2 실링 플레이트를 밀거나 당기는 복수의 제2 푸쉬-풀 실린더들을 포함하며,
상기 제1 푸쉬-풀 실린더들 각각은
상기 제1 실린더 장착홈 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제1 및 제2 방향들과 교차하는 제3 방향을 따라 피스톤 운동을 수행하는 제1 피스톤 몸체부;
상기 제1 실린더 장착홈을 덮도록 상기 실링 몸체의 일측면에 결합된 제1 실린더 커버부;
일측이 상기 제1 피스톤 몸체부과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제1 실린더 커버부를 관통하여 상기 제1 실링 플레이트와 연결되는 제1 피스톤 축부; 및
상기 제1 실린더 커버부 및 상기 제1 피스톤 몸체부 사이에 배치되어 상기 제1 피스톤 축부을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제1 피스톤 몸체부의 운동에 의해 수축 및 팽창되는 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부를 포함하고,
상기 제2 푸쉬-풀 실린더들 각각은
상기 제2 실린더 장착홈 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제3 방향을 따라 피스톤 운동을 수행하는 제2 피스톤 몸체부;
상기 제2 실린더 장착홈을 덮도록 상기 실링 몸체의 타측면에 결합된 제2 실린더 커버부;
일측이 상기 제2 피스톤 몸체부과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제1 실린더 커버부를 관통하여 상기 제2 실링 플레이트와 연결되는 제2 피스톤 축부; 및
상기 제2 실린더 커버부 및 상기 제2 피스톤 몸체부 사이에 배치되어 상기 제2 피스톤 축부을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제2 피스톤 몸체부의 운동에 의해 수축 및 팽창되는 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부를 포함하며,
상기 제1 푸쉬-풀 실린더들 각각은 상기 제1 피스톤 축부의 타측을 상기 제1 실링 플레이트에 결합시키는 제1 결합 블록부를 더 포함하고,
상기 제2 푸쉬-풀 실린더들 각각은 상기 제2 피스톤 축부의 타측을 상기 제2 실링 플레이트에 결합시키는 제2 결합 블록부를 더 포함하며,
상기 제1 실링 플레이트에는 상기 제1 결합 블록부들과 각각 결합되기 위한 복수의 제1 블록 결함홈들이 형성되어 있고,
상기 제2 실링 플레이트에는 상기 제2 결합 블록부들과 각각 결합되기 위한 복수의 제2 블록 결함홈들이 형성되어 있으며,
상기 제1 결합 블록부들 중 적어도 하나는 상기 제1 실링 플레이트와 나사 결합되기 위해 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고,
상기 제2 결합 블록부들 중 적어도 하나는 상기 제2 실링 플레이트와 나사 결합되기 위해 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖는 게이트 밸브.A housing module having an inner space and formed with first and second openings having a shape elongated in a first direction;
A first sealing plate disposed in the housing module and corresponding to the first opening, a second sealing plate corresponding to the second opening, and a push-pull assembly disposed between the first and second sealing plates, - a sealing module including a drive assembly; And
And a transfer module disposed outside the housing module and reciprocating the sealing module along a second direction intersecting with the first direction,
The push-pull drive assembly
And a plurality of first cylinder mounting grooves are formed on one side of the first sealing plate opposite to the first sealing plate, the first cylinder mounting grooves being spaced apart from each other along the first direction, A sealing body having a plurality of second cylinder mounting grooves formed on the other opposite side thereof so as to correspond to the first cylinder mounting grooves, respectively;
A plurality of first push-pull cylinders inserted into each of the first cylinder mounting grooves and engaged with the first sealing plate, and pushing or pulling the first sealing plate by the transfer of the fluid by the body transmission passage; And
A plurality of second push-pull cylinders inserted into each of the second cylinder mounting grooves and coupled with the second sealing plate, and pushing or pulling the second sealing plate by the transmission of the fluid by the body transmission passage In addition,
Each of the first push-pull cylinders
A first piston body disposed in the first cylinder mounting groove for performing piston motion along a third direction intersecting with the first and second directions by the transfer of the fluid by the body transfer passage;
A first cylinder cover portion coupled to one side of the sealing body to cover the first cylinder mounting groove;
A first piston shaft part having one side connected to the first piston body part and the other side opposite to the one side passing through the first cylinder cover part and connected to the first sealing plate; And
And a first push-pull bellows portion disposed between the first cylinder cover portion and the first piston body portion so as to enclose the first piston portion and being contracted and expanded by the movement of the first piston body portion, ,
Each of the second push-pull cylinders
A second piston body disposed in the second cylinder mounting groove for performing piston motion along the third direction by transfer of fluid by the body transfer passage;
A second cylinder cover portion coupled to the other side surface of the sealing body to cover the second cylinder mounting groove;
A second piston shaft portion having one side connected to the second piston body portion and the other side opposite to the one side passing through the first cylinder cover portion and connected to the second sealing plate; And
And a second push-pull bellows portion disposed between the second cylinder cover portion and the second piston body portion to seal the second piston shaft portion and to be contracted and expanded by the movement of the second piston body portion, ,
Each of the first push-pull cylinders further includes a first coupling block portion coupling the other end of the first piston shaft portion to the first sealing plate,
Each of the second push-pull cylinders further includes a second engaging block portion that engages the other end of the second piston shaft portion with the second sealing plate,
Wherein the first sealing plate has a plurality of first block defect grooves for respectively engaging with the first engaging block portions,
The second sealing plate is formed with a plurality of second block defect grooves for respectively engaging with the second engaging block portions,
At least one of the first engagement block portions has a shape elongated along the first direction or the second direction to be screwed with the first sealing plate,
And at least one of the second engagement block portions has a shape elongated along the first direction or the second direction to be engaged with the second sealing plate. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 제1 실린더 커버부들과 마주하는 상기 제1 피스톤 몸체부들의 일측면에는
상기 몸체 전달 풀통로로부터 풀을 위한 유체를 제공받는 제1 풀 수용홈들이 형성되고,
상기 제2 실린더 커버부들과 마주하는 상기 제2 피스톤 몸체부들의 일측면에는
상기 몸체 전달 풀통로로부터 풀을 위한 유체를 제공받는 제2 풀 수용홈들이 형성되는 게이트 밸브.The piston according to claim 1, wherein one side surface of the first piston body portions facing the first cylinder cover portions
The first pool receiving grooves receiving the fluid for the pool from the body transferring passage are formed,
On one side of the second piston body portions facing the second cylinder cover portions
And second pool receiving grooves are formed to receive fluid for the pool from the body transferring passage. 제8항에 있어서, 상기 제1 실린더 커버부들 각각은 상기 제1 풀 수용홈에 수용되도록 돌출된 제1 커버 돌출부를 포함하고,
상기 제2 실린더 커버부들 각각은 상기 제2 풀 수용홈에 수용되도록 돌출된 제2 커버 돌출부를 포함하는 게이트 밸브.9. The apparatus according to claim 8, wherein each of the first cylinder cover portions includes a first cover protrusion protruded to be received in the first pool receiving groove,
And each of the second cylinder cover portions includes a second cover projection projected to be received in the second pool receiving groove. 제9항에 있어서, 상기 제1 실린더 커버부들 각각에는
상기 제1 풀 수용홈에 의해 형성된 상기 제1 피스톤 몸체부의 측벽을 수용하는 제1 커버 수용홈이 형성되고,
상기 제2 실린더 커버부들 각각에는
상기 제2 풀 수용홈에 의해 형성된 상기 제2 피스톤 몸체부의 측벽을 수용하는 제2 커버 수용홈이 형성되는 게이트 밸브.10. The air conditioner of claim 9, wherein each of the first cylinder cover portions
A first cover receiving groove for receiving a side wall of the first piston body formed by the first pull receiving groove is formed,
Each of the second cylinder cover portions
And a second cover receiving groove for receiving a side wall of the second piston body portion formed by the second pool receiving groove is formed. 제10항에 있어서, 상기 실링 몸체에는
상기 몸체 전달 풀통로를 상기 제1 커버 수용홈들로 각각 연결시키는 제1 풀 연결 통로들, 및
상기 몸체 전달 풀통로를 상기 제2 커버 수용홈들로 각각 연결시키는 제2 풀 연결 통로들이 형성되고,
상기 몸체 전달 풀통로에서 상기 제1 풀 연결 통로들 각각으로 전달되는 유체는 상기 제1 커버 수용홈을 경유해 상기 제1 풀 수용홈으로 전달되며,
상기 몸체 전달 풀통로에서 상기 제2 풀 연결 통로들 각각으로 전달되는 유체는 상기 제2 커버 수용홈을 경유해 상기 제2 풀 수용홈으로 전달되는 게이트 밸브.11. The method of claim 10, wherein the sealing body
First pool connecting passages for connecting the body transferring passages to the first cover receiving grooves, respectively, and
Second pull connecting passages for connecting the body transferring passages to the second cover receiving recesses, respectively,
The fluid delivered from the body transferring passage to each of the first pull connecting passages is transmitted to the first pool receiving groove via the first cover receiving groove,
And the fluid delivered from the body transferring passage to each of the second pool connection passages is transferred to the second pool receiving groove via the second cover receiving groove. 제11항에 있어서, 상기 제1 커버 수용홈들 각각의 일부는 상기 제1 풀 연결 통로와 연결되기 위해 일측으로 연장된 형상을 갖고,
상기 제2 커버 수용홈들 각각의 일부는 상기 제2 풀 연결 통로와 연결되기 위해 일측으로 연장된 형상을 갖는 게이트 밸브.12. The apparatus of claim 11, wherein a portion of each of the first cover receiving grooves has a shape extending to one side for connection with the first pull connecting passage,
And a portion of each of the second cover receiving grooves has a shape extending to one side to be connected to the second pull connecting passage. 삭제delete 삭제delete 내부 공간을 갖고, 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 갖는 제1 및 제2 개구들이 형성된 하우징 모듈;
상기 하우징 모듈 내에 배치되고, 상기 제1 개구에 대응하는 제1 실링 플레이트, 상기 제2 개구에 대응하는 제2 실링 플레이트, 및 상기 제1 및 제2 실링 플레이트들 사이에 배치된 푸쉬-풀(push-pull) 구동 조립체를 포함하는 실링 모듈; 및
상기 하우징 모듈 외부에 배치되고, 상기 실링 모듈을 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 왕복 이동시키는 이송 모듈을 포함하고,
상기 푸쉬-풀 구동 조립체는
내부에 유체의 전달을 위한 몸체 전달통로가 형성되고, 상기 제1 실링 플레이트와 마주하는 일측면에 복수의 제1 실린더 장착홈들이 상기 제1 방향을 따라 이격되어 형성되며, 상기 제2 실링 플레이트와 마주하는 타측면에 복수의 제2 실린더 장착홈들이 상기 제1 실린더 장착홈들과 각각 대응되게 형성된 실링 몸체;
상기 제1 실린더 장착홈들 각각에 삽입되어 상기 제1 실링 플레이트와 결합되고, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제1 실링 플레이트를 밀거나 당기는 복수의 제1 푸쉬-풀 실린더들; 및
상기 제2 실린더 장착홈들 각각에 삽입되어 상기 제2 실링 플레이트와 결합되고, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제2 실링 플레이트를 밀거나 당기는 복수의 제2 푸쉬-풀 실린더들을 포함하며,
상기 제1 푸쉬-풀 실린더들 각각은
상기 제1 실린더 장착홈 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제1 및 제2 방향들과 교차하는 제3 방향을 따라 피스톤 운동을 수행하는 제1 피스톤 몸체부;
상기 제1 실린더 장착홈을 덮도록 상기 실링 몸체의 일측면에 결합된 제1 실린더 커버부;
일측이 상기 제1 피스톤 몸체부과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제1 실린더 커버부를 관통하여 상기 제1 실링 플레이트와 연결되는 제1 피스톤 축부; 및
상기 제1 실린더 커버부 및 상기 제1 피스톤 몸체부 사이에 배치되어 상기 제1 피스톤 축부을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제1 피스톤 몸체부의 운동에 의해 수축 및 팽창되는 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부를 포함하고,
상기 제2 푸쉬-풀 실린더들 각각은
상기 제2 실린더 장착홈 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제3 방향을 따라 피스톤 운동을 수행하는 제2 피스톤 몸체부;
상기 제2 실린더 장착홈을 덮도록 상기 실링 몸체의 타측면에 결합된 제2 실린더 커버부;
일측이 상기 제2 피스톤 몸체부과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제1 실린더 커버부를 관통하여 상기 제2 실링 플레이트와 연결되는 제2 피스톤 축부; 및
상기 제2 실린더 커버부 및 상기 제2 피스톤 몸체부 사이에 배치되어 상기 제2 피스톤 축부을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제2 피스톤 몸체부의 운동에 의해 수축 및 팽창되는 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부를 포함하며,
상기 이송 모듈에는 상기 몸체 전달통로와 연결되어 유체를 전달하는 샤프트 전달통로가 형성되어 있고,
상기 몸체 전달통로는
상기 제1 방향을 따라 길게 연장되어, 푸쉬(push)를 위한 유체를 전달하는 몸체 전달 푸쉬통로; 및
상기 몸체 전달 푸쉬통로와 대응되게 상기 제1 방향을 따라 길게 연장되어, 풀(pull)을 위한 유체를 전달하는 몸체 전달 풀통로를 포함하고,
상기 샤프트 전달통로는
상기 몸체 전달 푸쉬통로와 연결되는 샤프트 전달 푸쉬통로; 및
상기 몸체 전달 풀통로와 연결되는 샤프트 전달 풀통로를 포함하며,
상기 제1 푸쉬-풀 실린더들은 상기 실링 몸체의 중심을 기준으로 일측에 배치된 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 및 상기 실링 몸체의 중심을 기준으로 타측에 배치된 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들을 포함하고,
상기 제2 푸쉬-풀 실린더들은 상기 실링 몸체의 중심을 기준으로 일측에 배치된 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 및 상기 실링 몸체의 중심을 기준으로 타측에 배치된 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들을 포함하며,
상기 몸체 전달 푸쉬통로는
상기 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각에 연결된 제1 몸체 푸쉬통로; 및
상기 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각에 연결된 제2 몸체 푸쉬통로를 포함하고,
상기 몸체 전달 풀통로는
상기 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각에 연결된 제1 몸체 풀통로; 및
상기 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각에 연결된 제2 몸체 풀통로를 포함하며,
상기 샤프트 전달 푸쉬통로는
상기 제1 몸체 푸쉬통로와 연결된 제1 샤프트 푸쉬통로; 및
상기 제2 몸체 푸쉬통로와 연결된 제2 샤프트 푸쉬통로를 포함하고,
상기 샤프트 전달 풀통로는
상기 제1 몸체 풀통로와 연결된 제1 샤프트 푸쉬통로; 및
상기 제2 몸체 풀통로와 연결된 제2 샤프트 푸쉬통로를 포함하는 게이트 밸브.A housing module having an inner space and formed with first and second openings having a shape elongated in a first direction;
A first sealing plate disposed in the housing module and corresponding to the first opening, a second sealing plate corresponding to the second opening, and a push-pull assembly disposed between the first and second sealing plates, - a sealing module including a drive assembly; And
And a transfer module disposed outside the housing module and reciprocating the sealing module along a second direction intersecting with the first direction,
The push-pull drive assembly
And a plurality of first cylinder mounting grooves are formed on one side of the first sealing plate opposite to the first sealing plate, the first cylinder mounting grooves being spaced apart from each other along the first direction, A sealing body having a plurality of second cylinder mounting grooves formed on the other opposite side thereof so as to correspond to the first cylinder mounting grooves, respectively;
A plurality of first push-pull cylinders inserted into each of the first cylinder mounting grooves and engaged with the first sealing plate, and pushing or pulling the first sealing plate by the transfer of the fluid by the body transmission passage; And
A plurality of second push-pull cylinders inserted into each of the second cylinder mounting grooves and coupled with the second sealing plate, and pushing or pulling the second sealing plate by the transmission of the fluid by the body transmission passage In addition,
Each of the first push-pull cylinders
A first piston body disposed in the first cylinder mounting groove for performing piston motion along a third direction intersecting with the first and second directions by the transfer of the fluid by the body transfer passage;
A first cylinder cover portion coupled to one side of the sealing body to cover the first cylinder mounting groove;
A first piston shaft part having one side connected to the first piston body part and the other side opposite to the one side passing through the first cylinder cover part and connected to the first sealing plate; And
And a first push-pull bellows portion disposed between the first cylinder cover portion and the first piston body portion to seal the first piston portion and to be contracted and expanded by the movement of the first piston body portion, ,
Each of the second push-pull cylinders
A second piston body disposed in the second cylinder mounting groove for performing piston motion along the third direction by transfer of fluid by the body transfer passage;
A second cylinder cover portion coupled to the other side surface of the sealing body to cover the second cylinder mounting groove;
A second piston shaft portion having one side connected to the second piston body portion and the other side opposite to the one side passing through the first cylinder cover portion and connected to the second sealing plate; And
And a second push-pull bellows portion disposed between the second cylinder cover portion and the second piston body portion to seal the second piston shaft portion and to be contracted and expanded by the movement of the second piston body portion, ,
Wherein the transfer module is formed with a shaft transfer passage connected to the body transfer passage for transferring fluid,
The body-
A body transfer push passage extending along the first direction to transmit a fluid for pushing; And
And a body transferring passageway extending along the first direction so as to correspond to the body transfer pushing passage and delivering fluid for pulling,
The shaft transmission passage
A shaft transmission push passage connected to the body transmission push passage; And
And a shaft transferring passage connected to the body transferring passage,
The first push-pull cylinders include first push-pull one side cylinders disposed at one side with respect to the center of the sealing body and first push-pull side side cylinders disposed at the other side with respect to the center of the sealing body and,
The second push-pull cylinders include second push-pull one side cylinders disposed at one side with respect to the center of the sealing body and second push-pull side side cylinders disposed at the other side with respect to the center of the sealing body In addition,
The body transfer push passage
A first body push passage connected to each of the first push-pull one side cylinders and each of the second push-pull one side cylinders; And
And a second body push passage connected to each of the first push-pull counter-side cylinders and each of the second push-pull counter-side cylinders,
The body-
A first body pool passage connected to each of the first push-pull one side cylinders and the second push-pull one side cylinders; And
And a second body pool passage connected to each of the first push-pull counter-side cylinders and each of the second push-pull counter-side cylinders,
The shaft transmission push passage
A first shaft push passage connected to the first body push passage; And
And a second shaft push passage connected to the second body push passage,
The shaft transferring passage
A first shaft push passage connected to the first body pull passage; And
And a second shaft push passage connected to the second body pull passage. 제15항에 있어서, 상기 이송 모듈은
상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일측이 상기 하우징 모듈을 관통하여 상기 실링 몸체의 일측부와 연결되며, 상기 제1 샤프트 푸쉬통로 및 상기 제1 샤프트 풀통로가 형성된 제1 샤프트 조립체;
상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일측이 상기 하우징 모듈을 관통하여 상기 실링 몸체의 타측부와 연결되며, 상기 제2 샤프트 푸쉬통로 및 상기 제2 샤프트 풀통로가 형성된 제2 샤프트 조립체; 및
상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들이 상기 제2 방향을 따라 왕복 이동되도록 동력을 제공하는 적어도 하나의 이송 실린더 유닛을 포함하는 게이트 밸브.16. The apparatus of claim 15,
A first shaft assembly having a first elongated shape along the second direction and having one side connected to one side of the sealing body through the housing module and having a first shaft push passage and a first shaft full passage, ;
And a second shaft assembly having a second shaft-pass passage and a second shaft-pass passage formed in the second shaft assembly, the second shaft assembly having a shape elongated along the second direction, one side of which passes through the housing module and is connected to the other side of the sealing body, ; And
And at least one transfer cylinder unit for providing power to reciprocate said first and second shaft assemblies along said second direction.
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