KR20080028777A - 기체 검출 방법 및 기체 검출 장치 - Google Patents

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Abstract

레이저 광원과 함께 광-음향 근적외선 기체 센서를 이용하는 기체 검출 방법 및 이러한 기체 센서가 개시된다. 기체 센서는 한개 이상의 진폭 변조 레이저 광원, 검출될 기체를 수용하기 위한 기체 챔버, 기체 챔버에 부착된 마이크, 기체 충진 기체 챔버를 통과한 후 레이저 광을 수신하기 위한 광 검출기, 한개 이상의 레이저 광원에 대해 변조 신호를 제공하기 위한 변조 주파수 발생기와 기체 농도 결정을 위한 제어 수단을 포함하는 처리 수단으로 구성된다. 레이저 광원은 최소 파장과 최대 파장 사이에서 진폭 변조의 각 사이클동안 출력 파장을 변화시킨다. 이러한 측정 기법의 결과, 각 변조 사이클 중, 레이저 광원은 완전한 가용 파장 범위를 스캔하여, 목표 기체의 흡수 특성이 평균 값으로 고르게 분포되게 한다. 이 평균값은 온도 변화에 의해 야기되는 레이저의 중심 파장의 작은 변화에 비교적 둔감한 편이다.

Description

기체 검출 방법 및 기체 검출 장치{Gas Detection Method and Gas Detection Device}
본 발명은 레이저 광원과 함께 근적외선 기체 센서를 이용하는 기체 검출 방법과, 이러한 기체 센서에 관한 발명이다. 상기 기체 센서는 한개 이상의 진폭 변조 레이저 광원, 검출될 기체를 수용하기 위한 기체 챔버, 기체로 충진된 기체 챔버를 통과한 후의 레이저 광을 수신하기 위한 광 검출기, 한개 이상의 레이저 광원에 대한 변조 신호를 제공하기 위한 변조 주파수 발생기를 포함하는 처리 수단, 그리고 기체 농도를 결정하기 위한 제어 수단을 포함한다.
광-음향식 기체 검출이 당 분야에 잘 알려져 있다(도 1 참조). 목표 기체의 흡수선에 대응하는 파장의 광이 광대역 이미터(wide-band emitter)(1')(일반적으로 광 전구) 전면에 위치한 적외선 필터(2)에 의해 선택된다. 선택된 파장의 광은 기체의 (흡수) 공간(4)(일반적으로 튜브(5) 내에 위치함)을 통해 전파한다. 이러한 기체 공간은 목표 기체를 함유하고 있을 수 있다. 목표 기체가 존재할 경우, 기체는 목표 기체 농도의 함수로 광의 일부분을 흡수할 것이다.
목표 기체에 의해 흡수되는 광은 흡수 공간(4) 내 기체의 온도를 약간 증가시킨다. 이 기체 공간이 거의 닫혀있을 경우, 이러한 온도 상승이 기체 압력 증가를 유도할 것이다. 광원(1')이 변조되면, 목표 기체에 의한 흡수는 흡수 공간(4) 내의 압력을 변조시킬 것이고, 이러한 변조는 마이크(3)에 의해 획득될 수 있다. 마이크(3)에 의해 획득된 소리는 목표 기체 농도에 직접 비례한다. 광의 세기는 광다이오드(6)에 의해 측정된다.
흡수 공간으로의 기체의 확산 및 감도는 공명 광 음향학에 의해 강하게 증가한다. 이 경우에, 목표 기체 흡수에 의해 발생되는 소리가 흡수 공간(4)의 음향 공진에 대응하도록, 흡수 공간의 길이 및 변조 주파수가 선택된다. 음향 아이겐모드(acoustic eigenmode)가 적절하게 선택될 경우, 흡수 공간(즉, 튜브(5)의 끝)이 오픈된 상태로 남겨지게 될 수 있다.
이러한 측정 방법의 한가지 결함은 광 전구의 변조 주파수가 제한된다는 점이다. 가령, 100Hz 수준으로 제한된다. 이러한 주파수에서, 장치는 환경적 잡음을 획득하게 된다. 이는 장치의 성능을 크게 저하시키게 된다. 초퍼 휠(chopper wheel)을 통해 변조를 행함으로서 더 높은 주파수를 얻을 수 있지만, 휠의 진동으로 인해 변조 주파수에 잡음이 또한 생길 것이다.
저주파수의 두번째 단점은 공진 흡수의 경우 흡수 공간이 1미터 이상의 길이를 필요로 한다는 것이다.
근적외선(NIR) 광 음향 장치(도 2)를 이용할 경우, 광 전구 및 필터가 근적외선 레이저 광원(1)(레이저 다이오드인 경우가 많음)으로 대체된다. 근적외선 레 이저 광원(1)의 레이저 광은 기본 흡수선의 고조파에서 목표 기체를 검출한다. 근적외선 레이저 다이오드의 가장 큰 장점은 MHz 범위까지의 주파수로 온/오프 변조를 행할 수 있다는 것이다.
앞서 기술한 적외선 광음향학법에 반하여, 필터가 100nm 수준의 파장 범위를 통과시키는 경우에, 근적외선 광 음향학법에 사용되는 레이저 다이오드는 일반적으로 0.1nm의 파장폭을 가진다. 이는 기체 센서의 캘리브레이션을 유지하기 위해 목표 기체의 흡수 스펙트럼에 대해 레이저 파장이 공지된 파장으로 정확하게 고정되어야 함을 의미한다.
이러한 고정현상(locking)은 개별적이고 폭이 좁은 선들을 가진 목표 기체의 경우 중요하다. 또한, 개별적인 선들을 가지진 않지만, 높은 하이드로카본의 경우처럼 확장된 스펙트럼을 가지는 경우의 목표 기체에도 중요하다.
따라서, 확장 스펙트럼을 가진 목표 기체를 결정할 수 있는 방법 및 센서를 제공하는 것이 본 발명의 한가지 목적이다.
이 목적은 본원의 청구항에 기재된 방법 및 센서에 의해 달성된다. 추가적인 바람직한 실시예들이 종속항들에서 언급된다. 본 발명에 따르면, 진폭 변조의 각 사이클 중 최소 파장과 최대 파장 사이에서 레이저 광원이 출력 파장을 변화시키도록 레이저 광원이 진폭 변조된다. 광-음향 근적외선 기체 센서는 변조 주파수 발생기를 포함하며, 이 변조 발생기는 최소 파장과 최대 파장 사이에서 진폭 변조의 각 사이클마다 레이저 광원의 출력 파장을 변화시키는 변조 신호를 레이저 광원을 위해 제공한다. 이는 여러개의 적절한 변조 신호들 및 해당 수단들에 의해 수행될 수 있다. 일반적으로, 본 발명은 레이저 광원의 파장이 레이저 광원 구동 전류에 의해, 그리고 레이저 칩의 온도에 의해 제어된다는 사실을 이용한다.
레이저 광원은 그 온도에 의해, 관심대상인 흡수 특성에 대응하는 파장으로 설정된다. 발명의 일실시예에 따르면, 레이저의 전류 변조가 50%의 듀티 사이클을 가진 온-오프 변조에 의해 이루어지는 것이 아니라,
- 50%(일례임)의 듀티 사이클을 가진 온-오프 변조와,
- 동일 주파수의 삼각형 톱니파 변조
간의 멀티플리케이션으로 이루어진다. 따라서, 온 사이클 중에는, 레이저 광 원은 임계 전류에서의 파장으로부터 최대 구동 전류에 대응하는 최대 파장까지 구동 전류에 의해 (레이저 광원의 파장이) 상승(ramping)한다. 본 발명은 한쪽에서 픽-업 잡음을 배제하면서, 흡수 공간의 길이를 4cm로 감소시키는 4kHz의 변조를 이용한다. 추가 실시예에서는 레이저 광원 구동 전류의 사인파 변조가 또한 사용될 수 있다. 이 해법은 앞서 언급한 실시예에 비해 좀 덜 정확한 결과를 제공한다. 하지만, 기체 센서의 적용 분야에 따라, 흡족한 결과가 나타날 수도 있다. 또다른 실시예에서, 레이저 광원 구동 전류는 50%(일례에 해당함)의 듀티 사이클로 변조되며, 레이저 광원의 온도는 레이저 광원 구동 전류와 동일 주파수에서 변조된다. 이 방법은 온도 및 해당 장치의 고속 변화를 필요로한다.
이러한 측정 기법의 결과, 각 변조 사이클 중, 레이저 광원은 완전한 가용파장 범위를 스캔하여, 목표 기체의 흡수 특성이 평균값으로 고르게 분포하게 된다. 이 평균 값은 온도 변화에 의해 나타나는 레이저의 중심 파장의 작은 변화에 비교적 민감하지 않다.
본원 발명에 따르면, 확장 스펙트럼을 가진 목표 기체를 결정할 수 있게 된다.
도 1과 도 2는 상술한 바와 같이 여러 종류의 광-음향 센서들의 공지된 원리를 제시한다.
도 3과 도 4는 파장 WL에 따른 기체 흡수 강도 GAS와 레이저 세기 LI를 도시 한다. 도면에서는 기체 흡수의 다양한 변화를 도시한다. 도 3에 도시된 바와 같이 지정 파장으로 고정된 레이저 세기 피크는 지정 파장에서의 기체 흡수만을 검출한다. 광대역 스펙트럼(broadband spectrum)의 흡수 강도의 차이 측면에서 볼 때, 레이저 파장의 한쪽으로 0.1nm 변화는 약 30~50%의 흡수 강도 차이를 야기할 수 있다. 따라서, 결과들이 큰 폭으로 변화할 수 있다. 도 4에 도시되는 바와 같이 파장간에 레이저 피크가 스윕(sweep)됨으로서, 목표 기체의 흡수 특성이 평균 값으로 나타게 된다.
발명이 레이저 광원으로 레이저 다이오드를 이용하여 설명되지만, 본 발명은 이러한 장치에 제한되는 것은 아니며, 유사한 결과를 얻기 위해 다른 유사한 특징들을 가진 다른 적절한 레이저 광원들이 사용될 수 있다. 더우기, 당 분야에 잘 알려진 바와 같이, 적절한 검출 수단을 가진 두개 이상의 레이저 광원이 사용될 수도 있다.
도 5는 신호 처리를 위해 처리 수단(15)을 구비한 기체 센서의 원리를 도시하고 있다. 레이저 광원(1)(다이오드 레이저가 선호됨)은 히터 또는 쿨러로 기능하는 온도 유닛(7)과 연계하여 작용하면서, 챔버(5)를 통해 광을 방출한다. 이 챔버(5)는 검출될 목표 기체를 위한 흡수 공간(4)을 제공한다. 흡수 공간(4) 근처에 마이크(3)가 배열된다. 광다이오드(6)가 광 검출기로 기능하여, 레이저 광원(1)으로부터 광을 수신한다. 레이저 광원(1)은 온도 유닛(7)을 통해 그 온도에 의해 소정의 파장으로 설정되며, 이 파장은 본원에서 관심 대상은 흡수 특성에 대응한다. 변조 주파수 발생기(9)가 또한 구성되는 데, 이 변조 주파수 발생기(9)는 방형파 변조 신호 SSM를 제공하는 방형파 변조 수단(10)과, 톱니파 변조 신호 SSTM을 제공하는 톱니파 변조 수단(11)을 포함한다. 그후 레이저 광원(1)의 구동 전류는 변조 신호 SM으로 변조되며, 이 변조 신호 SM은 SSM과 SSTM의 멀티플리케이션에 해당한다. 방형파 변조 수단(10)은 50%의 듀티 사이클로 레이저 광원(1)의 온-오프 변조를 제공하는 데, 임계 전류의 파장으로부터 최대 구동 전류에 대응하는 최대 파장까지 구동 전류에 의해 톱니파 변조(11)로 인해 램핑(ramping: 즉, "광원의 파장이 상승"함을 의미)된다.
마이크(3)는 흡수 공간(4)에서 기체의 흡수에 비례하는 신호 SA를 제공하고, 광다이오드(6)는 레이저 광원(1)의 광 세기에 비례하는 신호 SI를 제공한다. 마이크(3)에 의해 제공되는 신호 SA는 락-인-증폭기(lock-in-amplifier)(12)에 공급되어, 이 신호를 변조 주파수 발생기(9)로부터 수신한 기준 신호 SRef와 멀티플라잉하게 되고, 결국 결과적인 신호를 얻게 된다(integrating). 광다이오드(6)로부터의 신호는 증폭기(13)에 공급된다. 락-인-증폭기(12)로부터의 신호와 증폭기(13)로부터의 신호가 제어 유닛(14)에 공급된다. 제어 유닛(14)에서, 락-인-증폭기(12)에 의해 처리된 후 흡수 신호 SA는 증폭기(13)에 의해 증폭된 후 광다이오드(6)로부터의 세기 신호 SI를 통해 분할됨으로서 노멀라이징된다. 결과적인 신호 SGC는 챔버(5) 내 기체의 농도를 위해 필요한 신호가 된다. 제어 유닛(14)은 온도 제어 부(8)에 해당 신호 ST를 제공하여, 레이저 광원(1)이 해당 온도로 유지되게 한다. 이 온도는 파장에 관련이 되며, 이 파장은 관심대상인 흡수 특성에 해당한다.
도 6은 레이저 광원 구동 전류 변조 신호 SM을 제공하는 사인파 변조 수단(16)만을 포함하는 변조 주파수 발생기(9)를 구비한 실시예를 도시한다. 사인파 변조는 정류된 사인파 변조로서, 레이저 다이오드 등에 의해 음의 부분만을 삭제함으로서, 또는 사인파의 음의 부분들을 역전시킴으로서 얻을 수 있다.
추가적인 실시예가 도 7에 제시되어 있다. 변조 주파수 발생기(9)는 방형파 변조 수단(10)과 온도 변조 수단(17)을 포함한다. 방형파 변조 수단(10)은 레이저 광원 구동 전류를 변조시키기 위한 제 1 변조 신호 SM1을 제공하고, 온도 변조 수단(17)은 온도 유닛(7)을 통해 레이저 광원(1)의 온도를 변조하기 위한 제 2 변조 신호 SM2를 제공한다.
도 1은 적외선 광-음향 기체 센서의 원리도.
도 2는 근적외선 광-음향 기체 센서의 원리도.
도 3은 각 변조 사이클 중 기체의 흡수 특성에 대해 스캔된 레이저 선도.
도 4는 기체의 흡수 특성에 대한 레이저 파장 폭의 비교도.
도 5는 기체 센서의 제 1 실시예의 블록도표.
도 6은 기체 센서의 또다른 실시예의 블록도표.
도 7은 기체 센서의 추가 실시예의 블록도표.

Claims (9)

  1. 근적외선 레이저 광원(1)을 이용하는 광-음향 근적외선 기체 센서로 기체를 검출하는 방법에 있어서,
    레이저 광원(1)의 진폭 변조를 수행하고, 이러한 진폭 변조 중 레이저 광원(1)이 최소 파장과 최대 파장 사이에서 진폭 변조 각 사이클에 대해 출력 파장을 변화시키도록 하는 것을 특징으로 하는 기체 검출 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 레이저 광원 구동 전류가 변조되며, 이 변조는 50% 듀티 사이클의 온/오프 변조와, 동일 주파수의 톱니파 변조의 멀티플리케이션으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기체 검출 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 레이저 광원 구동 전류를 사인파 변조하는 것을 특징으로 하는 기체 검출 방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 레이저 광원 구동 전류의 50%의 듀티 사이클을 이용한 온-오프 변조와, 레이저 광원 구동 전류 변조와 동일 주파수에서 레이저 광원의 온도 변조를 수행하는 것을 특징으로 하는 기체 검출 방법.
  5. 제 1 항 내지 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 레이저 광원(1)이 그 온도에 의 해 파장 값으로 설정되며, 이 파장 값은 해당 목표 기체의 흡수 특성에 대응하는 것을 특징으로 하는 기체 검출 방법.
  6. 광-음향 근적외선 기체 센서에 있어서, 상기 센서는,
    - 한개 이상의 진폭 변조 레이저 광원(1),
    - 검출될 기체를 수용하기 위한 기체 챔버(5),
    - 상기 기체 챔버(5)에 부착된 마이크(3),
    - 상기 레이저 광원(1)의 레이저 광 세기를 검출하기 위한 광 검출기(6),
    - 한개 이상의 레이저 광원(1)에 대해 변조 신호(SM)을 제공하기 위한 변조 주파수 발생기(9)와, 기체 농도를 결정하기 위한 제어 수단(8, 12, 13, 14)를 포함하는 처리 수단(15)
    을 포함하며,
    상기 변조 주파수 발생기(9)는 최소 파장과 최대 파장 사이에서 진폭 변조 각 사이클에 대해 레이저 광원(1)의 출력 파장을 변화시키는 변조 신호(SM)를 레이저 광원(1)을 위해 제공하는 것을 특징으로 하는 광-음향 근적외선 기체 센서.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 변조 주파수 발생기(9)는 레이저 광원을 위한 변조 신호(SM) 제공을 위해 방형파 변조 수단(10)과 톱니파 변조 수단(11)을 포함하며, 상기 변조 신호(SM)는 50%의 듀티 사이클의 온/오프 변조 신호(SSM)와, 동일 주파수 의 톱니파 변조 신호(SSTM)의 멀티플리케이션으로 구성되는 것을 특징으로 하는 광-음향 근적외선 기체 센서.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 변조 주파수 발생기(9)는 레이저 광원을 위해 사인파 변조 신호(SM)를 제공하는 수단(16)을 포함하는 것을 특징으로 하는 광-음향 근적외선 기체 센서.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 변조 주파수 발생기(9)는 50%의 듀티 사이클을 가진 온-오프 변조 신호(SM1 )를 제공하기 위한 수단과, 레이저 광원 변조 신호(SM1)과 동일 주파수에서 레이저 광원(1)의 온도에 대한 온도 변조 신호(SM2)를 제공하기 위한 수단(17)을 포함하는 것을 특징으로 하는 광-음향 근적외선 기체 센서.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103954560A (zh) * 2014-04-29 2014-07-30 北京遥测技术研究所 一种用于光声多组分气体检测的空间光束耦合装置
KR20160006155A (ko) * 2014-05-28 2016-01-18 난징 유니버시티 다중 채널 에어로졸 산란 흡수 측정장치
KR20170134741A (ko) * 2015-08-18 2017-12-06 토쿠시마 대학 농도 측정 장치
KR20200015755A (ko) * 2017-07-13 2020-02-12 사이머 엘엘씨 불소 농도 감지 장치 및 방법

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8117897B2 (en) * 2006-11-27 2012-02-21 Applied Nanotech Holdings, Inc. Elliptical photo-acoustic sensor
JP5727465B2 (ja) * 2009-05-11 2015-06-03 ガスポロックス エイビー 容器内のガスを非侵入的に評価する装置および方法
CN102519904A (zh) * 2011-12-13 2012-06-27 重庆大学 六氟化硫分解组分的自动恒温型光声检测装置及实验方法
US10620165B2 (en) * 2016-12-29 2020-04-14 Infineon Technologies Ag Photoacoustic gas analyzer for determining species concentrations using intensity modulation
FR3084746B1 (fr) * 2018-08-03 2020-10-16 Mirsense Capteur de gaz photoacoustique utilisant une methode de modulation de la longueur d'onde d'illumination
KR102490824B1 (ko) * 2020-09-23 2023-01-20 국방과학연구소 단일 레이저를 사용하는 흡수분광법에 의한 흡수선 측정 방법 및 흡수선 측정 시스템
CN113447776B (zh) * 2021-06-25 2023-01-31 国网江苏省电力有限公司检修分公司 Sf6分解组分气体光声探测装置及方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5945088B2 (ja) * 1976-09-13 1984-11-02 株式会社東芝 赤外吸収検出装置
DK160590C (da) * 1988-09-12 1991-09-16 Fls Airloq As Fremgangsmaade til detektering af en gasart ved hjaelp af fotoakustisk spektroskopi
US5133602A (en) * 1991-04-08 1992-07-28 International Business Machines Corporation Particle path determination system
US5331409A (en) * 1992-06-12 1994-07-19 George Thurtell Tunable diode laser gas analyzer
JPH0627059A (ja) * 1992-07-13 1994-02-04 Hitachi Ltd 光熱変換分析方法及びその装置
DE4446723C2 (de) 1994-06-29 1997-03-13 Hermann Prof Dr Harde Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Konzentration eines Gases
US6216540B1 (en) * 1995-06-06 2001-04-17 Robert S. Nelson High resolution device and method for imaging concealed objects within an obscuring medium
US5933245A (en) * 1996-12-31 1999-08-03 Honeywell Inc. Photoacoustic device and process for multi-gas sensing
US6043884A (en) * 1997-08-08 2000-03-28 Bio-Rad Laboratories, Inc. DSP technique for photoacoustic spectroscopy (PAS) sample pulse response for depth profiling
JP3332367B2 (ja) * 1998-02-23 2002-10-07 ザイゴ コーポレイション 空気の屈折率および光路長の影響を測定するための干渉測定器および方法
JP3898848B2 (ja) * 1998-12-28 2007-03-28 株式会社小野測器 ガス分析装置
US6552792B1 (en) * 1999-10-13 2003-04-22 Southwest Sciences Incorporated Wavelength modulated photoacoustic spectrometer
US6618148B1 (en) 2000-02-10 2003-09-09 Southwest Sciences Incorporated Acoustic resonance frequency locked photoacoustic spectrometer
US20020121094A1 (en) * 2001-03-02 2002-09-05 Vanhoudt Paulus Joseph Switch-mode bi-directional thermoelectric control of laser diode temperature
KR100419094B1 (ko) * 2001-06-28 2004-02-19 (주)나노믹스 기체 식별기
US6860350B2 (en) * 2002-12-20 2005-03-01 Motorola, Inc. CMOS camera with integral laser ranging and velocity measurement
JP4409332B2 (ja) * 2004-03-30 2010-02-03 株式会社トプコン 光画像計測装置
KR100637930B1 (ko) * 2004-11-08 2006-10-24 한국전자통신연구원 파장 분할 다중방식 광가입자망을 위한 파장가변 광원 모듈
US7263871B2 (en) 2004-12-08 2007-09-04 Finesse Solutions Llc. System and method for gas analysis using doubly resonant photoacoustic spectroscopy

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103954560A (zh) * 2014-04-29 2014-07-30 北京遥测技术研究所 一种用于光声多组分气体检测的空间光束耦合装置
KR20160006155A (ko) * 2014-05-28 2016-01-18 난징 유니버시티 다중 채널 에어로졸 산란 흡수 측정장치
KR20170134741A (ko) * 2015-08-18 2017-12-06 토쿠시마 대학 농도 측정 장치
KR20200015755A (ko) * 2017-07-13 2020-02-12 사이머 엘엘씨 불소 농도 감지 장치 및 방법

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