KR20080013163A

KR20080013163A - 마스크, 이를 이용한 표시기판 및 표시기판 제조 방법

Info

Publication number: KR20080013163A
Application number: KR1020060074299A
Authority: KR
Inventors: 김인우; 송영구; 양병덕; 박민욱; 손우성; 정경석
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-08-07
Filing date: 2006-08-07
Publication date: 2008-02-13

Abstract

마스크는 광이 투과되는 제1 및 제2 슬릿과 광을 차단하는 제3 슬릿으로 이루어진 슬릿부를 포함한다. 제3 슬릿은 제1 슬릿과 제2 슬릿과의 사이에 개재되고, 불균일한 폭으로 형성된다. 표시기판에서 이러한 마스크를 이용하여 비아홀 형성시, 비아홀의 정의하는 면의 일부분이 완만한 경사면으로 형성된다. 이에 따라, 비아홀에서 부분적으로 언더-컷이 발생하더라도 비아홀을 통해 노출된 신호 라인과 전극 패드가 서로 안정적으로 연결되므로, 신호 라인과 전극 패드 간의 단절을 방지하고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

마스크, 슬릿, 언더-컷, 컨택홀, 비아홀

Description

마스크, 이를 이용한 표시기판 및 표시기판 제조 방법{MASK, DISPLAY SUBSTRATE AND METHOD OF FABRICATING USING THE SAME}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크를 나타낸 평면도이다

도 2는 도 1의 절단선 I-I'에 따른 단면도이다.

도 3a 및 도 3b는 도 1에 도시된 슬릿부의 다른 일례를 나타낸 평면도이다.

도 4는 도 1에 도시된 마스크를 이용하여 형성된 어레이 기판을 나타낸 평면도이다.

도 5는 도 4의 절단선 Ⅱ-Ⅱ'에 따른 단면도이다.

도 6a 내지 도 6c는 도 5에 도시된 데이터 비아홀의 형성 과정을 나타낸 단면도이다.

도 7은 도 4의 절단선 Ⅲ-Ⅲ'에 따른 단면도이다.

도 8은 도 4의 절단선 Ⅳ-Ⅳ'에 따른 단면도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

100 -- 마스크 110 -- 차단부

120 -- 투과부 130 -- 슬릿부

200 -- 어레이 기판 210 -- 베이스 기판

220 -- 박막 트랜지스터 230 -- 화소 전극

241 -- 게이트 절연막 242 -- 보호막

243 -- 유기 절연막 250 -- 데이터 전극 패드

260 -- 게이트 전극 패드 270 -- 패드 라인

280 -- 공통전압 전극 패드

본 발명은 마스크, 이를 이용한 표시기판 및 표시기판 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 신호의 단절을 방지할 수 있는 마스크, 이를 이용한 표시기판 및 표시기판 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시패널은 어레이 기판, 어레이 기판과 마주하는 대향 기판, 및 어레이 기판과 대향 기판과의 사이에 개재된 액정층을 포함한다.

어레이 기판은 영상을 나타내는 최소 단위인 복수의 화소부로 이루어진다. 각 화소부는 게이트 라인, 데이터 라인, 박막 트랜지스터 및 화소전극을 구비한다. 게이트 라인과 데이터 라인은 게이트 신호와 데이터 신호를 각각 전송하고, 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 소오스 전극에 각각 전기적으로 연결된다. 화소전극은 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 연결되고, 액정층을 사이에 두고 컬러필터기판에 형성된 공통전극과 마주한다.

게이트 라인 및 데이터 라인의 일 단부에는 패드부가 각각 형성되고, 게이트 라인 및 데이터 라인은 패드부를 통해 게이트 신호 및 데이터 신호를 각각 입력받 는다. 즉, 게이트 라인의 패드부 및 데이터 패드부는 게이트 신호 및 데이터 신호를 출력하는 구동부와 전기적으로 연결된다.

게이트 라인 및 데이터 라인의 상부에는 보호막 및 유기 절연막이 순차적으로 형성되고, 보호막 및 유기 절연막에는 각 패드부를 노출하는 비아홀들이 형성된다. 유기 절연막의 상면에는 각 패드부에 대응하여 전극 패드들이 형성된다. 각 전극 패드는 비아홀을 통해 게이트 라인 또는 데이터 라인과 전기적으로 연결되고, 구동부는 전극 패드들을 통해 게이트 라인 및 데이터 라인과 전기적으로 연결된다.

각 비아홀은 전극 패드와의 오픈을 방지하기 위해 유기 절연막의 상면으로부터 패드부측으로 갈수록 그 폭이 점차 줄어드는 테이퍼 형상을 갖는다. 그러나, 비아홀을 정의하는 면의 경사각이 클 경우, 전극 패드의 오픈이 발생한다. 이로 인해, 구동부로부터 출력된 신호가 게이트 라인 및 데이터 라인에 안정적으로 제공되지 못하므로, 비정상적인 영상이 표시된다.

본 발명의 목적은 제품의 수율을 향상킬 수 있는 마스크를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 마스크를 이용하여 신호 단절을 방지할 수 있는 표시기판을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 표시기판을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 마스크는, 광을 차단하는 차단부, 광을 투과시키는 투과부 및 광을 슬릿 형태로 투과시키는 슬릿부로 이루어진다.

슬릿부는 상기 광을 투과시키는 제1 슬릿, 상기 제1 슬릿으로부터 소정의 거리로 이격되어 상기 제1 슬릿을 둘러싸고 상기 광을 투과시키는 제2 슬릿, 및 상기 제1 슬릿과 상기 제2 슬릿과의 사이에 개재되어 상기 광을 차단하고 불균일한 폭을 갖는 제3 슬릿으로 이루어진다.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 표시 기판은, 기판, 신호 라인, 절연막 및 전극 패드로 이루어진다.

신호 라인은 상기 기판상에 형성되어 영상에 대응하는 신호를 전송한다. 화소부는 상기 신호 라인과 전기적으로 연결되고, 상기 영상을 표시한다. 절연막은 상기 신호 라인이 형성된 기판 상에 형성되고, 상기 신호를 입력받는 상기 신호 라인의 패드부를 부분적으로 노출하기 위한 비아홀이 형성된다. 전극 패드는 상기 절연막의 상면에 형성되어 상기 비아홀을 통해 상기 패드부와 전기적으로 연결된다.

구체적으로, 상기 비아홀은 상기 절연막의 상면으로부터 상기 패드부로 갈수록 그 폭이 줄어드는 테이퍼 형상을 갖고, 상기 절연막은 상기 비아홀을 정의하는 면이 상기 패드부에 대해 두 개 이상의 서로 다른 각도로 기울어진다.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 표시기판 제조 방법은 다음과 같다.

먼저, 기판 상에 영상에 대응하는 신호를 전송하는 적어도 하나의 신호 라인 및 상기 신호 라인과 전기적으로 연결된 적어도 화소부의 스위칭 소자를 형성한다. 상기 신호 라인 및 상기 화소부가 형성된 기판 상에 적어도 하나의 절연막을 형성한다. 상기 신호가 입력되는 상기 신호 라인의 패드부의 상부에서 상기 절연막을 부분적으로 제거하여 상기 신호 라인의 패드부를 노출하는 제1 홀 및 상기 제1 홀로부터 불균일한 거리로 이격되어 상기 제1 홀을 둘러싸는 제2 홀을 형성한다. 상기 제1 홀과 상기 제2 홀의 사이에 위치하는 유기 절연막을 녹여 테이퍼 형상의 비아홀을 형성한다. 상기 절연막의 상부에 상기 비아홀을 통해 상기 패드부와 전기적으로 연결되는 전극 패드 및 상기 화소부의 화소 전극을 형성한다.

여기서, 상기 제1 및 제2 홀은 다음과 같은 과정을 통해 형성된다. 먼저, 상기 광을 투과시키는 제1 및 제2 슬릿, 상기 제1 및 제2 슬릿의 사이에 개재되어 불균일한 폭을 가지며 광을 차단하는 적어도 하나의 제3 슬릿으로 이루어진 슬릿부를 갖는 마스크를 상기 절연막의 상부에 배치한다. 이어, 상기 슬릿부와 상기 패드부를 정렬하고, 상기 마스크의 상부에 광을 조사한다. 상기 제1 및 제2 슬릿에 대응하여 상기 제1 및 제2 홀이 각각 형성된다.

이러한, 마스크, 이를 이용한 표시기판 및 표시기판 제조 방법에 따르면, 비아홀에서 부분적으로 언더-컷이 발생하더라도 비아홀을 통해 노출된 신호 라인과 전극 패드가 서로 안정적으로 연결되므로, 신호 라인과 전극 패드 간의 단절을 방지하고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크를 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1의 절단선 I-I'에 따른 단면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 마스크(100)는 자외선(UV)을 차단부(110), 상기 자외선(UV)을 투과시키는 적어도 하나의 투과부(120), 및 상기 자외선(UV)을 슬릿 형태로 투과 및 차단하는 적어도 하나의 슬릿부(130)를 포함한다.

상기 슬릿부(130)는 상기 자외선(UV)을 투과시키는 제1 및 제2 슬릿(131, 132) 및 상기 자외선(UV)을 차단하는 제3 슬릿(133)으로 이루어진다. 이 실시예에 있어서, 상기 슬릿부(130)는 세 개의 슬릿(131, 132, 133)으로 이루어지나, 상기 슬릿의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다.

상기 제1 슬릿(131)은 사각 형상으로 이루어진다. 상기 제2 슬릿(132)은 상기 제1 슬릿(131)으로부터 소정의 거리로 이격되고, 상기 제1 슬릿(131)을 둘러싸는 띠 형상으로 이루어진다.

상기 제3 슬릿(133)은 상기 제1 슬릿(131)과 상기 제2 슬릿(132)과의 사이에 위치하고, 띠 형상을 갖는다. 상기 제3 슬릿(133)은 불균일한 폭을 갖는다. 즉, 상기 제3 슬릿(133)은 서로 다른 폭을 갖는 제1 내지 제4 면으로 이루어진다. 상기 제1 면은 제1 폭(W1)을 갖고, 상기 제1 면과 인접한 제2 면은 제1 폭(W1)보다 두꺼운 제2 폭(W2)을 갖는다. 상기 제1 면과 대향하는 제3 면은 상기 제2 폭(W2)보다 두꺼운 제3 폭(W3)을 갖고, 상기 제2 면과 대향하는 제4 면은 상기 제2 폭(W2)보다 두껍고 상기 제3 폭(W3)보다 얇은 제4 폭(W4)을 갖는다.

여기서, 상기 제1 슬릿(131)은 상기 제3 슬릿(133)의 폭에 따라 그 폭과 길이가 달라지나, 상기 슬릿부(130)의 전체 폭과 길이는 상기 제3 슬릿(133)의 폭 변 화와 상관없이 균일하다.

상기 마스크(100)를 이용한 대상물의 사진 식각 공정시, 상기 자외선(UV)이 투과되는 부분(120, 131, 132)과 상기 자외선(UV)이 차단되는 부분(110, 133)이 서로 다르게 식각된다. 본 발명의 일례로, 상기 대상물이 상기 자외선(UV)에 노출되는 부분이 식각되는 특성을 갖는 경우, 상기 대상물은 상기 투과부(120)와 상기 제1 및 제2 슬릿(131, 132)에 대응하는 부분이 제거되고, 상기 대상물의 베이크 공정시, 상기 제3 슬릿(133)에 대응하는 부분이 녹으면서 테이퍼 형상의 홀이 형성된다. 특히, 상기 제3 슬릿(133)에 대응하는 부분은 서로 다른 폭으로 형성되므로, 상기 홀을 정의하는 면의 경사각이 서로 다르게 형성된다. 즉, 상기 제3 슬릿(133)의 폭이 얇을수록 상기 홀을 정의하는 면의 경사각이 작아진다.

도 3a를 참조하면, 슬릿부(140)는 상기 자외선(UV)을 투과시키는 제1 및 제2 슬릿(141, 142) 및 상기 자외선(UV)을 차단하는 제3 슬릿(143)으로 이루어진다. 이 실시예에 있어서, 상기 슬릿부(140)는 세 개의 슬릿(141, 142, 143)으로 이루어지나, 상기 슬릿의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다.

상기 제1 슬릿(141)은 사각 형상으로 이루어진다. 상기 제2 슬릿(142)은 상기 제1 슬릿(141)으로부터 소정의 거리로 이격되고, 상기 제1 슬릿(141)을 둘러싸는 띠 형상으로 이루어진다.

상기 제3 슬릿(143)은 상기 제1 슬릿(141)과 상기 제2 슬릿(142)과의 사이에 위치하고, 띠 형상을 갖는다. 상기 제3 슬릿(143)은 특정 부분으로부터 일 방향으 로 갈수록 점차 그 폭이 증가하고, 상기 제3 슬릿(143)의 폭에 따라 상기 제1 및 제2 슬릿(141, 142) 또한 불균일한 폭을 갖는다. 즉, 상기 제1 슬릿(141)은 상기 제3 슬릿(143)의 폭이 두꺼울수록 그 폭이 얇게 형성되고, 상기 제3 슬릿(143)의 폭이 얇을수록 그 폭이 두껍게 형성된다.

도 3b를 참조하면, 슬릿부(150)는 상기 자외선(UV)을 투과시키는 제1 및 제2 슬릿(151, 152) 및 상기 자외선(UV)을 차단하는 제3 슬릿(153)으로 이루어진다. 이 실시예에 있어서, 상기 슬릿부(150)는 세 개의 슬릿(151, 152, 153)으로 이루어지나, 상기 슬릿의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다.

상기 제1 슬릿(151)은 사각 형상으로 이루어진다. 상기 제2 슬릿(152)은 상기 제1 슬릿(151)으로부터 소정의 거리로 이격되고, 상기 제1 슬릿(151)을 둘러싸는 띠 형상으로 이루어진다.

상기 제3 슬릿(153)은 상기 제1 슬릿(151)과 상기 제2 슬릿(152)과의 사이에 위치하고, 띠 형상을 갖는다. 상기 제3 슬릿(153)은 제1 내지 제4 면으로 이루어지고, 각 면은 불균일한 폭을 갖는다. 이와 같이, 상기 제3 슬릿(153)이 불균일한 폭을 가지므로, 상기 제1 및 제2 슬릿(151, 152) 또한 불균일한 폭을 갖는다.

이하, 도면을 참조하여서 상기 마스크(100)를 이용하여 형성된 액정표시장치용 어레이 기판의 구조에 대하여 구체적으로 설명한다.

도 4는 도 1에 도시된 마스크를 이용하여 형성된 어레이 기판을 나타낸 평면도이고, 도 5는 도 4의 절단선 Ⅱ-Ⅱ'에 따른 단면도이다.

도 4를 참조하면, 어레이 기판(200)은 외부로부터 영상에 대응하는 신호를 수신하여 화소 전압을 출력하고, 상기 화소 전압을 액정층(미도시)에 제공한다. 상기 액정층(미도시)은 상기 화소 전압에 따라 외부로부터 제공되는 광의 투과율을 조절하고, 이에 따라, 액정표시장치에 상기 영상이 표시된다.

구체적으로, 상기 어레이 기판(200)은 데이터 신호를 전송하는 다수의 데이터 라인, 게이트 신호를 전송하는 다수의 데이터 라인, 및 상기 영상을 표시하는 기본 단위인 다수의 화소부를 포함한다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 각 데이터 라인(DL)은 제1 방향(D1)으로 연장되어 형성되고, 상기 제1 방향(D1)과 직교하는 제2 방향(D2)으로 배치된다. 상기 데이터 라인(DL)은 베이스 기판(210)에 형성된 게이트 절연막(241) 상에 형성되고, 크롬(Cr), 알루미늄(Al) 및 몰리브덴(Mo)과 같은 금속 재질로 이루어진다.

상기 데이터 라인(DL)의 일 단부에는 상기 데이터 신호를 입력받는 데이터 패드부(DP)가 형성된다. 상기 데이터 패드부(DP)는 상기 데이터 라인(DL)보다 넓은 폭을 갖고, 실질적으로 상기 영상이 표시되지 않는 주변 영역(PA)에 형성된다. 상기 데이터 패드부(DP)는 상기 데이터 신호를 출력하는 데이터 구동부(미도시)로부터 상기 데이터 신호를 입력받는다.

상기 데이터 라인(DL)이 형성된 상기 게이트 절연막(241)의 상면에는 보호막(242) 및 유기 절연막(243)이 순차적으로 형성된다. 상기 보호막(242) 및 상기 유기 절연막(243)에는 상기 데이터 패드부(DP)를 부분적으로 노출하는 데이터 비아홀(DVH)이 형성된다. 상기 데이터 비아홀(DVH)은 상기 유기 절연막(243)의 상면으로부터 상기 데이터 패드부(DP)로 갈수록 그 크기가 점차 줄어드는 테이퍼 형상을 갖는다.

상기 표시기판(100)은 상기 유기 절연막(241)의 상면에 형성된 데이터 전극 패드(250)를 더 포함한다. 상기 데이터 전극 패드(250)는 상기 데이터 패드부(DP)와 대응하게 위치하고, 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide: ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide: IZO)와 같은 투명한 도전성 재질로 이루어진다. 상기 데이터 전극 패드(250)는 상기 데이터 비아홀(DVH)을 통해 상기 데이터 패드부(DP)와 전기적으로 연결되고, 상기 데이터 구동부로부터 상기 데이터 신호를 수신하여 상기 데이터 패드부(DP)에 제공한다.

즉, 상기 데이터 전극 패드(250)는 상기 유기 절연막(243)의 상면으로부터 상기 데이터 비아홀(DVH)을 정의하는 면을 따라 도포되어 상기 데이터 패드부(DP)의 노출된 부분을 커버한다. 여기서, 상기 데이터 비아홀(DVH)을 정의하는 면의 경사각이 클 경우, 상기 보호막(242)에 언더-컷이 발생하고, 이로 인해, 상기 데이터 전극 패드(250)가 오픈되어 상기 데이터 신호의 단절이 수 있다. 이를 방지하기 위해, 상기 데이터 비아홀(DVH)은 일측이 완만한 경사도를 갖도록 형성된다.

즉, 단면상에서 볼 때, 상기 데이터 비아홀(DVH)을 정의하는 면은 일측이 상기 데이터 패드부(DP)에 대하여 제1 각도(θ1)로 기울어지고, 타측이 상기 제1 각도(θ1)보다 큰 제2 각도(θ2)로 기울어진다. 상기 제1 각도(θ1)로 기울어진 부분은 완만한 경사면을 이루므로, 상기 제1 각도(θ1)로 기울어진 부분에서는 상기 데이터 전극 패드(250)의 오픈이 발생하지 않는다. 이에 따라, 상기 어레이 기판(200)은 상기 제2 각도(θ2)로 형성된 부분에서 상기 데이터 패드부(DP)가 오픈 되더라도 상기 데이터 전극 패드(250)와 상기 데이터 패드부(DP) 간의 단절을 방지할 수 있다.

도 1 및 도 6a를 참조하면, 상기 데이터 라인(DL)이 형성된 상기 게이트 절연막(241) 상에 상기 보호막(242) 및 상기 유기 절연막(243)을 순차적으로 형성하고, 그 위에 포토 레지스트(10)를 증착한다. 본 발명의 일례로, 상기 포토 레지스트(10)는 상기 자외선(UV)에 노출된 부분이 식각되는 포지티브 포토 레지스트이다.

상기 포토 레지스트(10)가 형성된 상기 어레이 기판(200)의 상부에는 상기 마스크(100)가 배치된다. 상기 마스크(100)는 상기 포토 레지스트(10)로부터 소정의 거리로 이격되어 배치되고, 상기 마스크(100)의 슬릿부(130)는 상기 데이터 패드부(DP)와 대응하게 위치한다.

이어, 상기 포토 레지스트(10)의 상부에서 상기 자외선(UV)이 조사되고, 상기 포토 레지스트(10)는 상기 마스크(100)의 투과부(120) 및 상기 마스크(100)의 제1 및 제2 슬릿(131, 132)과 대응하는 부분에 상기 자외선(UV)이 입사된다.

이에 따라, 상기 포토 레지스트(10)는 상기 자외선(UV)에 노출된 부분이 제거된다.

도 6a 및 6b를 참조하면, 상기 보호막(242) 및 상기 유기 절연막(243)은 상기 포토 레지스트(10)와 동일한 형상으로 패터닝된다. 즉, 상기 보호막(242) 및 상기 유기 절연막(243)은 상기 제1 및 제2 슬릿(131, 132)과 대응하는 부분이 제거되 어 제1 및 제2 홀(H1, H2)이 각각 형성된다. 여기서, 상기 제3 슬릿(133)이 불균일한 폭을 가지므로, 상기 제1 홀(H1)과 상기 제2 홀(H2)간의 이격 거리 또한 불균일하게 형성된다. 한편, 데이터 패드부(DP)는 상기 제1 및 제2 홀(H1, H2)을 통해 부분적으로 노출된다.

도 6b 및 도 6c를 참조하면, 베이크 공정을 통해 상기 어레이 기판(200)을 가열한다. 이에 따라, 상기 제1 홀(H1)과 상기 제2 홀(H2)과의 사이에는 위치하는 보호막 및 유기 절연막이 녹아내려 상기 제2 홀(H2)에 채워지고, 상기 데이터 비아홀(DVH)이 형성된다.

특히, 상기 제1 홀(H1)과 상기 제2 홀(H2) 간의 이격 거리가 상대적으로 짧은 부분은 상기 제1 홀(H1)과 상기 제2 홀(H2)과의 사이에 잔존하는 보호막과 유기 절연막의 량이 작으므로, 상기 데이터 비아홀(DVH)을 정의하는 면의 경사각이 작게 형성된다. 반면, 상기 제1 홀(H1)과 상기 제2 홀(H2) 간의 이격 거리가 상대적으로 큰 부분은 상기 제1 홀(H1)과 상기 제2 홀(H2)과의 사이에 잔존하는 보호막과 유기 절연막의 량이 많으므로, 상기 데이터 비아홀(DVH)을 정의하는 면의 경사각이 크게 형성된다.

이어, 상기 유기 절연막(243)의 상면에 도전성 투명 전극층(미도시)을 형성하고, 이를 패터닝하여 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 데이터 전극 패드(250)를 형성한다.

도 7은 도 4의 절단선 Ⅲ-Ⅲ'에 따른 단면도이고, Z도 8은 도 4의 절단선 Ⅳ-Ⅳ'에 따른 단면도이다.

도 4 및 도 7을 참조하면, 각 게이트 라인(GL)은 상기 데이터 라인(DL)과 절연되어 교차하고, 상기 제1 방향(D1)으로 배치된다.

구체적으로, 상기 게이트 라인(GL)은 상기 베이스 기판(210) 상에 형성되고, 크롬, 알루미늄 및 네오디뮴과 같은 금속 재질로 이루어진다. 상기 게이트 라인(GL)의 단부에는 게이트 패드부(GP)가 형성된다. 상기 게이트 패드부(GP)는 상기 주변 영역(PA)에 형성되고, 게이트 구동부(미도시)로부터 상기 게이트 신호를 입력받는다.

상기 게이트 라인(GL)이 형성된 상기 베이스 기판(210)의 상부에는 상기 게이트 절연막(241), 상기 보호막(242) 및 상기 유기 절연막(243)이 순차적으로 형성된다.

상기 게이트 절연막(241), 상기 보호막(242) 및 상기 유기 절연막(243)에는 상기 게이트 패드부(GP)를 부분적으로 노출하는 게이트 비아홀(GVH)이 형성된다. 상기 게이트 비아홀(GVH)은 상기 데이터 비아홀(DVH)과 동일한 형상으로 형성되고, 그 공정 과정 또한 상기 데이터 비아홀(DVH)과 동일하므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 어레이 기판(200)은 상기 유기 절연막(243)의 상면에 형성된 게이트 전극 패드(260)를 더 포함한다. 상기 게이트 전극 패드(260)는 상기 게이트 비아홀(GVH)을 통해 상기 게이트 패드부(GP)와 전기적으로 연결되고, 상기 게이트 구동부와 전기적으로 연결되어 상기 게이트 구동부로부터의 상기 게이트 신호를 상기 게이트 패드부(GP)에 제공한다. 여기서, 상기 게이트 비아홀(GVH)을 정의하는 면은 상기 게이트 패드부(GP)에 대한 기울기가 불균일하게 형성된다. 이에 따라, 상기 게이트 비아홀(GVH)을 정의하는 면이 완만한 경사면으로 이루어진 부분에서 상기 게이트 패드부(GP)와 상기 게이트 전극 패드(260)가 안정적으로 연결될 수 있다.

한편, 상기 다수의 화소부는 실질적으로 상기 영상이 표시되는 표시 영역(DA)에 형성된다. 각 화소부(PM)는 상기 화소 전압을 스위칭하는 박막 트랜지스터(220) 및 상기 화소 전압을 출력하는 화소 전극(230)을 포함한다.

상기 박막 트랜지스터(220)는 상기 게이트 라인(GL)으로부터 분기된 게이트 전극(221), 상기 게이트 전극(221)의 상부에서 상기 게이트 절연막(241)의 상면에 형성된 액티브 층(222), 상기 액티브 층(222)의 상면에 형성된 오믹 콘택층(223), 상기 데이터 라인(DL)으로부터 분기되어 상기 게이트 전극(221)의 상부에 형성된 소오스 전극(224), 및 상기 화소 전극(230)과 전기적으로 연결된 드레인 전극(225)을 구비한다.

상기 보호막(242) 및 상기 유기 절연막(243)에는 상기 드레인 전극(225)을 부분적으로 노출하는 콘택홀(CH)이 형성되고, 상기 화소 전극(230)은 상기 콘택홀(CH)을 통해 상기 드레인 전극(225)과 전기적으로 연결된다.

한편, 상기 어레이 기판(200)은 공통 전압을 전송하여 상기 화소 전극(230)과의 사이에 보조용량을 형성하는 공통전압 라인(CL) 및 상기 공통전압 라인(CL)과 전기적으로 연결되는 패드 라인(270)을 더 구비한다.

상기 공통전압 라인(CL)은 상기 게이트 라인(GL)과 평행하게 배치되고, 상기 데이터 라인(DL)과 절연되어 교차한다. 상기 공통전압 라인(CL)의 일 단부에는 상 기 공통 전압을 입력받는 공통전압 패드부(CP)가 형성된다.

상기 패드 라인(270)은 상기 제1 방향(D1)으로 연장되어 형성되고, 상기 게이트 라인(GL) 및 상기 공통전압 라인(CL)과 절연되어 교차한다. 상기 패드 라인(270)은 외부로부터 상기 공통 전압을 수신하여 상기 공통전압 패드부(CP)에 제공한다.

상기 어레이 기판(200)은 상기 공통전압 라인(CL)과 상기 패드 라인(270)을 전기적으로 연결하는 공통전압 전극 패드(280)를 더 구비한다. 즉, 상기 공통전압 라인(CL)은 상기 게이트 라인(GL)과 동일층에 형성되고, 상기 패드 라인(270)은 상기 데이터 라인(DL)과 동일층에 형성되므로, 서로 절연된다. 상기 공통전압 전극 패드(280)은 상기 공통전압 패드부(CP)와 상기 패드 라인(270)을 전기적으로 연결한다.

도 4 및 도 8을 참조하면, 상기 보호막(242) 및 상기 유기 절연막(243)에는 상기 공통전압 패드부(CP)를 부분적으로 노출하는 제1 및 제2 공통전압 비아홀(CVH1, CVH2)과 상기 패드 라인(270)을 부분적으로 노출하는 제1 및 제2 패드 비아홀(PVH1, PVH2)이 형성된다.

상기 제1 및 제2 공통전압 비아홀(CVH1, CVH2)과 상기 제1 및 제2 패드 비아홀(PVH1, PVH2)은 상기 데이터 비아홀(DVH)과 동일한 형상으로 형성되고, 형성 방법 또한 상기 데이터 비아홀(DVH)의 형성 방법과 동일하므로, 그에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 공통전압 전극 패드(280)는 상기 제1 및 제2 공통전압 비아홀(CVH1, CVH2)을 통해 상기 공통전압 패드부(CP)와 전기적으로 연결되고, 상기 제1 및 제2 패드 비아홀(PVH1, PVH2)을 통해 상기 패드 라인(270)과 전기적으로 연결된다. 이로써, 상기 공통전압 라인(CL)은 상기 패드 라인(270)과 전기적으로 연결되어 상기 패드 라인(270)으로부터 상기 공통 전압을 제공받는다.

여기서, 상기 제1 및 제2 공통전압 비아홀(CVH1, CVH2)과 상기 제1 및 제2 패드 비아홀(PVH1, PVH2)을 정의하는 각 면은 불균일한 경사각을 갖는다. 따라서, 상대적으로 경사각이 작은 부분에서 상기 공통전압 전극 패드(280)와 상기 공통전압 패드부(CP) 및 상기 패드 라인(270)이 안정적으로 연결되므로, 상기 공통전압 패드부(CP) 및 상기 패드 라인(270)과 상기 공통전압 전극 패드(280) 간의 단절을 방지할 수 있다.

상술한 본 발명에 따르면, 마스크의 슬릿부는 자외선을 차단하는 제3 슬릿의 폭을 불균일하게 형성한다. 이에 따라, 마스크를 이용한 비아홀 형성시, 비아홀을 정의하는 면의 일부분이 완만한 경사면으로 이루어져 전극 패드와 신호 라인이 안정적으로 연결된다. 따라서, 비아홀에서 부분적으로 언더-컷이 발생하더라도 전극 패드와 신호 라인이 서로 단절되는 것을 방지할 수 있으므로, 신호 라인에 영상에 대응하는 신호를 안정적으로 제공하고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이 다.

Claims

광을 차단하는 차단부;

상기 광을 투과시키는 적어도 하나의 투과부; 및

상기 광을 슬릿 형태로 투과 및 차단하는 적어도 하나의 슬릿부를 포함하고,

상기 슬리부는,

상기 광을 투과시키는 제1 슬릿;

상기 제1 슬릿으로부터 소정의 거리로 이격되어 상기 제1 슬릿을 둘러싸고, 상기 광을 투과시키는 제2 슬릿; 및

상기 제1 슬릿과 상기 제2 슬릿과의 사이에 개재되어 상기 광을 차단하고, 불균일한 폭을 갖는 제3 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크.
제1항에 있어서, 상기 제3 슬릿은 띠 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 마스크.
제2항에 있어서, 상기 슬릿부는 고정된 폭과 길이를 갖고, 상기 제1 및 제2 슬릿은 상기 제3 슬릿의 폭에 따라 그 폭이 불균일하게 형성된 것을 특징으로 하는 마스크.
기판;

상기 기판상에 형성되어 영상에 대응하는 신호를 전송하는 적어도 하나의 신호 라인;

상기 신호 라인과 전기적으로 연결되고, 상기 영상을 표시하는 적어도 하나의 화소부;

상기 신호 라인이 형성된 기판상에 형성되고, 상기 신호를 입력받는 상기 신호 라인의 패드부를 부분적으로 노출하기 위한 비아홀이 형성된 적어도 하나의 절연막; 및

상기 절연막의 상면에 형성되어 상기 비아홀을 통해 상기 패드부와 전기적으로 연결된 전극 패드를 포함하고,

상기 비아홀은 상기 절연막의 상면으로부터 상기 패드부로 갈수록 그 폭이 줄어드는 테이퍼 형상을 갖고,

상기 절연막은 상기 비아홀을 정의하는 면이 상기 패드부에 대해 두 개 이상의 서로 다른 각도로 기울어진 것을 특징으로 하는 표시기판.
기판 상에 영상에 대응하는 신호를 전송하는 적어도 하나의 신호 라인 및 상기 신호 라인과 전기적으로 연결된 적어도 화소부의 스위칭 소자를 형성하는 단계;

상기 신호 라인 및 상기 화소부가 형성된 기판 상에 적어도 하나의 절연막을 형성하는 단계;

상기 신호가 입력되는 상기 신호 라인의 패드부의 상부에서 상기 절연막을 부분적으로 제거하여 상기 신호 라인의 패드부를 노출하는 제1 홀 및 상기 제1 홀 로부터 불균일한 거리로 이격되어 상기 제1 홀을 둘러싸는 제2 홀을 형성하는 단계;

상기 제1 홀과 상기 제2 홀의 사이에 위치하는 유기 절연막을 녹여 테이퍼 형상의 비아홀을 형성하는 단계; 및

상기 절연막의 상부에 상기 비아홀을 통해 상기 패드부와 전기적으로 연결되는 전극 패드 및 상기 화소부의 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시기판 형성방법.
제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2 홀을 형성하는 단계는,

상기 광을 투과시키는 제1 및 제2 슬릿, 상기 제1 및 제2 슬릿의 사이에 개재되어 불균일한 폭을 가지며 광을 차단하는 적어도 하나의 제3 슬릿으로 이루어진 슬릿부를 갖는 마스크를 상기 절연막의 상부에 배치하는 단계;

상기 슬릿부와 상기 패드부를 정렬하는 단계;

상기 마스크의 상부에 광을 조사하는 단계; 및

상기 제1 및 제2 슬릿에 대응하여 상기 제1 및 제2 홀이 각각 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시기판 형성방법.