KR20070117158A - 컬러필터 어레이 기판의 검사장비 및 검사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 컬러필터 어레이기판의 검사장비 및 검사방법에 관한 것으로, 본 발명의 컬러필터 어레이 기판의 검사장비는 검사가 행해지는 검사대와, 상기 검사대 위에 부착되어 검사가 행해질 컬러필터 어레이기판이 놓여지는 스테이지와, 상기 스테이지 상에 놓여진 상기 기판에 발생된 돌기불량의 위치를 검출하고 이에 대한 좌표를 작업자에게 알려주는 터치스크린 검사보드와, 상기 터치스크린 검사보드가 좌우 및 상하로 이동할 수 있도록 구비된 이동수단을 포함한다.

돌기불량, 컬러필터층, 검사

Description

컬러필터 어레이 기판의 검사장비 및 검사방법{Method and Apparatus for testing color filter array substrate}

도 1은 상기와 같은 일반적인 액정표시장치를 나타낸 분해 사시도

도 2a 내지 2c는 종래 기술에 의한 컬러필터 어레이 기판의 제조방법을 나타낸 공정단면도들

도 3은 종래기술에 의한 컬러필터 어레이기판의 검사장비를 나타낸 개략적인 구성도

도 4는 본 발명에 따른 컬러필터 어레이기판의 검사장비를 나타낸 개략적인 구성도

도 5a는 본 발명에 따른 터치스크린 검사보드를 나타낸 개략적인 구성도

도 5b는 본 발명에 따른 컬러필터 어레이기판의 돌기불량 검사용 구획영역을 도시한 도면

도 6은 본 발명에 따른 컬러필터 어레이 기판의 검사방법을 도시한 순서도

<도면의 주요부분에 대한 부호설명>

131: 검사대 132: 스테이지

133: 컬러필터 어레이 기판 135: 이동수단

200: 터치스크린 검사보드 202: 터치스크린

204: 탄성기판

본 발명은 액정표시장치의 검사장비 및 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 컬러필터 어레이기판의 검사장비 및 검사방법에 관한 것이다.

통상적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD)에서는 액정패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들의 광투과율을 그에 공급되는 데이터 신호를 조절함으로써 데이터 신호에 해당하는 화상을 패널 상에 표시하게 된다.

이를 위하여, 액정표시장치는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극들, 액정셀별로 데이터 공급을 전환하기 위한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor: 이하 'TFT'라 함), 외부에서 공급되는 데이터를 액정 셀들에 공급하는 신호배선 및 TFT의 제어신호를 공급하기 위한 신호배선 등을 구비하게 된다.

도 1은 상기와 같은 일반적인 액정표시장치를 나타낸 분해 사시도이다.

도 1에 도시된 바와 같이 액정표시장치는, 일정 공간을 갖고 합착된 하부 기판(1) 및 상부 기판(2)과, 상기 하부기판(1) 및 상부기판(2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 하부 기판(1)은 화소영역(P)을 정의하기 위하여 일정간격을 갖고 일방향으로 복수 개의 게이트라인(4)이 배열되고, 상기 게이트라인(4)에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수 개의 데이터라인(5)이 배열 되며, 상기 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차하는 각 화소 영역(P)에는 화소전극(6)이 형성되고, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.

여기서, 상기 박막 트랜지스터(T)는 상기 게이트라인(4)으로부터 돌출된 게이트 전극과, 전면에 형성된 게이트 절연막(미도시)과 상기 게이트 전극 상측의 게이트 절연막 상에 형성된 반도체층과, 상기 데이터라인(5)으로부터 돌출된 소오스 전극과, 상기 소오스 전극에 대향되도록 드레인 전극을 구비하여 구성된다.

상기 화소전극(6)은 인듐-틴-옥사이드(Indium-tin-oxide: ITO)와 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명 도전성 금속을 사용한다.

한편, 상기 상부기판(2)인 컬러필터 어레이 기판은 일정한 순서로 배열되어 색상을 구현하는 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue)의 컬러필터층(8)과, R,G,B 셀 사이의 구분과 광차단 역할을 하는 블랙 매트릭스(7) 및 화상을 구현하기 위한 공통전극 또는 오버코트층(9)이 형성되어 있다.

상기 컬러필터층을 구성하는 세가지 색은 각각 독립적으로 구동되고 이들의 조합에 의해 한 화소(pixel)의 색이 표시된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술의 컬러필터 어레이 기판의 제조방법을 설명한다.

도 2a 내지 2c는 종래 기술에 의한 컬러필터 어레이 기판의 제조방법을 나타낸 공정단면도들이다.

먼저, 유리 기판(10)에 세정을 실시한 후, 도 2a에 도시된 바와 같이, 상기 유리기판(10) 상에 감광성 수지계열을 증착한 후, 포토 식각 기술로 패터닝하여 블랙 매트릭스(12)를 형성한다.

여기서, 상기 블랙 매트릭스(13)는 단위 화소 가장자리와 박막 트랜지스터가 형성되는 영역에 상응되도록 형성하여 전계가 불안한 영역에서의 빛샘을 차광한다.

도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 블랙 매트릭스(12)를 형성한 후에는, 상기 블랙 매트릭스(12)를 포함한 전면에 색상을 구현하는 제1 컬러 레지스트(color resist)를 도포한 후 패터닝하여 제1 컬러 필터층(14a)을 형성한다.

이어서, 상기 제1 컬러필터층을 포함한 전면에 제2 컬러 레지스트를 도포한 후 패터닝하여, 상기 블랙 매트릭스(12)을 사이에 두고 상기 제1 컬러 필터층(14a)과 인접한 화소에 제2 컬러 필터층(14b)을 형성한다.

이어서, 상기 제2 컬러 필터층(14b)을 포함한 전면에 제3 컬러 레지스트를 도포한 후 패터닝하여, 상기 블랙 매트릭스(12)을 사이에 두고 상기 제2 컬러 필터층(14b)과 인접한 화소에 제3 컬러 필터층(14c)을 형성한다.

따라서, 제1, 제2 및 제3 컬러필터층의 형성을 완료하고, 이들은 적색, 녹색, 청색의 컬러필터층(14)으로 형성된다.

계속하여, 도 2c에 도시된 바와 같이, 상기 컬러필터층(14) 상에 오버코트층(overcoat layer) 또는 공통전극(16)을 형성한다.

이로써, 블랙 매트릭스(12), 컬러필터층(14) 및 공통전극 또는 오버코트층(16)이 포함된 컬러필터 어레이기판을 완성한다.

이와 같이 형성된 컬러 필터 어레이 기판은 검사 공정을 거쳐 완성된 박막 트랜지스터 어레이 기판과 합착하게 된다.

한편, 상기와 같이, 컬러 필터층은 R, G, B의 색소를 갖는 층, 즉 제1, 제2, 제3 컬러필터층을 형성하기 위해 3번의 공정이 필요하게 된다. 즉, 제1 컬러필터층 형성공정을 진행하여 제1 컬러필터층을 형성한 후 이어서 각각 제2 컬러필터층, 제3 컬러필터층 형성공정을 진행하는 것이다. 따라서, 이전의 컬러필터층 형성공정 중에 이물질이 발생하는 경우 이 이물질이 현재의 공정에 의해 형성되는 컬러필터층에 영향을 미치게 된다. 특히, 포토레지스트를 이용한 사진식각공정에 의해 형성되는 컬러필터층은 3회의 형성공정을 거치는 동안 포토레지스트의 잔류물에 의해 다음 공정의 컬러필터층에 돌기불량를 발생하게 된다.

또한, 이러한 잔류물에 의한 돌기불량는 그 위에 배향막을 러빙(rubbing)과 같은 공정에 의해 배향처리하는 경우 상기 돌기불량로 인한 돌기주위에 배향불량영역이 발생하게 되는 데, 이러한 배향 불량영역은 빛샘현상과 같은 액정표시소자 불량의 원인이 된다.

따라서, 상기와 같이 형성된 돌기불량의 위치를 검출하는 컬러필터 어레이 기판의 검사장비를 설명하면 다음과 같다.

도 3은 종래 기술에 의한 컬러필터 어레이기판의 검사장비를 나타낸 개략적인 구성도이다.

도 3에 도시된 바와 같이 컬러필터 어레이 기판의 검사장비는, 검사가 행해지는 검사대(31)와, 상기 검사대(31)위에 부착되어 검사가 행해질 기판(33)이 놓여지는 스테이지(32)와, 상기 스테이지(32)상에 놓여진 기판(32)의 불량을 검사하는 검사 현미경(34)과, 상기 검사 현미경(34)이 좌우로 이동할 수 있도록 구비된 이동수단(35) 및 상기 검사 현미경(34)에 의해 검사되는 영역을 디스플레이(display)하는 모니터(37)를 포함하여 구성되어 있다.

상기와 같이 구성된 종래 기술에 의한 컬러필터 어레이 기판의 검사장비를 이용한 검사방법은 다음과 같다.

상기 3개의 컬러필터층 형성이 완료된 컬러필터 어레이기판(32)은 이송수단(미도시)에 의해 상기 검사대(31)의 스테이지(32) 상으로 이동되고, 상기 스테이지 (32)상에 검사 현미경(34)이 좌우로 이동되면서 검사 현미경(34)에 의해 검사되는 영역을 모니터(37)를 통해 디스플레이함으로써, 컬러필터 어레이 기판(32)에 형성된 돌기불량의 위치를 검출하고 있다.

그러나, 상기 컬러필터층 형성 후 남겨지는 돌기불량들은 다양한 높이와 사이즈를 갖고 있는데, 광학현미경을 통한 검사장비 및 검사방법은 돌기 높이를 검출하는데 용이하지 않은 문제점이 있다.

따라서 상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 컬러필터층에 형성되는 다양한 높이와 사이즈를 갖는 다수의 돌기불량들을 검출할 수 있도록 하는 컬러필터 어레이 기판의 검사장비 및 검사방법을 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 컬러필터 어레이 기판의 검사장비는 검사가 행해지는 검사대와, 상기 검사대 위에 부착되어 검사가 행해질 컬러필터 어 레이기판이 놓여지는 스테이지와, 상기 스테이지 상에 놓여진 상기 기판에 발생된 돌기불량의 위치를 검출하고 이에 대한 좌표를 작업자에게 알려주는 터치스크린 검사보드와, 상기 터치스크린 검사보드가 좌우 및 상하로 이동할 수 있도록 구비된 이동수단을 포함한다. 상기 터치스크린 검사보드는 돌기불량와 접촉되어 돌기불량의 위치를 검출하여 이에 대한 좌표를 작업자에게 알려주는 터치스크린과, 서로 상이한 높이를 갖는 다수의 돌기불량들의 위치검출이 용이하도록 하는 탄성기판을 포함한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 컬러필터 어레이 기판의 검사방법은 컬러필터층 형성공정이 완료된 컬러필터 어레이기판을 검사가 행해지는 검사대로 이동하여 검사대 상의 스테이지로 안착시키는 제1 단계와, 상기 스테이지에 안착된 컬러필터 어레이기판 상의 제n 번째 돌기불량 검사용 구획영역에 상응하도록 터치스크린 검사보드를 이동수단을 통해 이동시키는 제2 단계와, 상기 터치스크린 검사보드를 컬러필터 어레이기판의 제n 번째 돌기불량 검사용 구획영역과 소정간격을 갖도록 위치시켜, 상기 제n 번째 돌기불량 검사용 구획영역의 돌기불량의 위치를 검출하는 검사공정을 수행하는 제3 단계와, 상기 제n 번째 돌기불량 검사용 구획영역의 검사공정이 완료된 후, 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역에 상응하도록 이동수단에 의해 터치스크린 검사보드를 이동시키는 제4 단계와, 상기 터치스크린 검사보드를 컬러필터 어레이기판의 제n+1 번째 돌기불량 검사용 구획영역과 소정간격을 갖도록 위치시켜, 상기 제n+1 번째 돌기불량 검사용 구획영역의 돌기불량의 위치를 검출하는 검사공정을 수행하는 제5 단계와, 상기 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역 의 검사공정을 수행한 후, 상기 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역이 컬러필터 어레이기판에 정의된 마지막번째 돌기불량 구획영역인지에 대해 판단하여, 마지막 번째 돌기불량 구획영역이 아니면, 다시 제2 단계로 이동하여 상기 제2 단계에서 제5단계를 반복하고, 마지막 번째 돌기불량 구획영역이면, 컬러필터 어레이 기판의 검사공정을 완료하도록 하는 제6 단계를 포함한다.

상기 제2 단계에서 상기 터치스크린 검사보드는 상기 이동수단을 통해 상기 컬러필터 어레이 기판과 멀어지는 방향 즉, 상부로의 방향, 좌측으로의 방향, 컬러필터 어레이 기판과 가까워지는 방향 즉, 하부로의 방향의 순서대로 이동되도록 한다.

상기 컬러필터 어레이기판에는 상기 터치스크린 검사보드의 면적에 상응하는 다수 개의 돌기불량 검사용 구획영역으로 정의되어 있다.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 컬러필터 어레이기판의 검사장비 및 검사방법에 대한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명에 따른 컬러필터 어레이기판의 검사장비를 나타낸 개략적인 구성도이다.

도 4에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 컬러필터 어레이 기판의 검사장비는, 검사가 행해지는 검사대(131)와, 상기 검사대(131)위에 부착되어 검사가 행해질 컬러필터 어레이 기판(133)이 놓여지는 스테이지(132)와, 상기 스테이지(132) 상에 놓여진 상기 기판(132)에 발생된 돌기불량의 위치를 검출하고 이에 대한 좌표 를 작업자에게 알려주는 터치스크린 검사보드(200)와, 상기 터치스크린 검사보드(200)가 좌우 및 상하로 이동할 수 있도록 구비된 이동수단(135)을 포함하여 구성되어 있다.

한편, 컬러필터 어레이기판(133) 전면에는 도 5b에 도시된 바와 같이, 터치스크린 검사보드의 면적에 상응하는 다수 개의 돌기불량 검사용 구획영역(1-1...1-5, 2-1...2-5, 3-1...3-5)으로 정의하며, 상기 이동수단(135)에 의해 터치스크린 검사보드(200)가 각 구획영역으로 이동하여 컬러필터 어레이 기판의 돌기불량의 위치를 검출하게 된다.

본 발명의 실시예에서는 15개의 돌기불량 검사용 구획영역으로 정의되었지만, 어떤 면적의 터치스크린을 사용하는 지에 따라 돌기불량 검사용 구획영역의 수는 달라질 수 있다.

또한, 컬러필터 어레이기판 상에 터치스크린 검사보드와 컬러필터 어레이기판간의 간격보다 높은 돌기불량들이 형성될 수 있는 가능성이 있기 때문에, 각 구획영역들간의 이동시에 상기 이동수단은 컬러필터 어레이 기판과 멀어지는 방향 즉, 상부로의 방향, 좌 또는 우측으로의 방향, 컬러필터 어레이 기판과 가까워지는 방향 즉, 하부로의 방향의 순서대로 터치스크린 검사보드를 이동시키도록 한다. 예를 들어 설명하면, 제1 돌기불량 검사용 구획영역(1-1)의 검사가 완료된 후, 이동수단(도 4의 135)에 의해 터치스크린 검사보드(200)는 상기 제1 구획영역의 상부영역으로 이동되어 컬러필터 어레이 기판과 멀어지게 되고, 이 터치스크린 검사보드를 좌측으로 이동시켜 다음 검사용 구획영역인 제2 구획영역(2-1)에 상응하도록 위치시킨 후, 제2 구획영역(2-1)의 하부영역으로 이동시켜 컬러필터 어레이기판과 근접하도록 하여 제2 구획영역의 검사를 수행한다. 따라서, 이와 같은 터치스크린 검사보드의 이동시, 컬러필터 어레이기판과 터치스크린 검사보드간의 간격보다 높은 돌기불량들이 형성되어 있더라도, 제1 및 제2 구획영역간의 상기 상/하부방향으로의 이동없이 좌우방향으로 이동될 때 발생하는 돌기불량의 파손을 방지하여 컬러필터 어레이 기판의 전영역에 형성된 돌기불량의 검출위치를 명확히 할 수 있게 된다.

또한, 터치스크린 검사보드(200)는 도 5a에 도시된 바와 같이, 컬러필터 어레이기판(133)에 형성된 컬러필터층과 컬러필터층의 형성으로 인해 발생되는 돌기불량간의 높이차를 이용하여 돌기불량의 위치를 검출하는 수단으로, 이는 돌기불량와 접촉되어 돌기불량의 위치를 검출하여 이에 대한 좌표를 작업자에게 알려주는 터치스크린(202)과 서로 상이한 높이를 갖는 다수의 돌기불량들의 위치검출이 용이하도록 하는 탄성기판(204)을 포함하여 구성된다.

이때, 탄성기판(204)은 터치스크린의 이동시 서로 상이한 높이를 갖는 다수의 돌기불량들의 검출이 용이하도록 하기 위함이다. 예를 들어, A높이의 돌기불량및 A높이보다 낮은 높이인 B높이의 돌기불량가 상기 돌기불량 검사용 구획영역들 중 어느 하나의 영역에 위치되어 있다고 가정하여 돌기불량의 위치 검출을 위한 검사공정이 수행되면, A높이의 돌기불량는 탄성기판을 압축하여 터치스크린 검사보드의 터치스크린 임의의 영역을 누르게 되고, A높이보다 낮은 높이인 B높이의 돌기불량는 탄성기판의 압축없이 그대로 터치스크린 검사보드의 터치스크린의 임의의 영 역을 누르게 됨으로써, 각 돌기불량의 위치를 검출하게 된다. 따라서, 돌기불량 검사용 구획영역 중 어느 하나의 영역에 서로 상이한 높이를 갖는 다수의 돌기불량들이 위치되더라도 탄성기판으로 인해 각 돌기불량의 위치를 검출할 수 있게 된다.

이와 같은 컬러필터 어레이 기판의 검사장비를 통해 돌기불량의 위치를 검출하는 컬러필터 어레이 기판의 검사방법에 대해 설명하고자 한다.

우선, 도 6은 본 발명에 따른 컬러필터 어레이 기판의 검사방법을 도시한 순서도이고, 이를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

우선, 제1 단계(S10)는 컬러필터층 형성공정이 완료된 컬러필터 어레이 기판(133)을 검사가 행해지는 검사대(131)로 이동하여 검사대 상의 스테이지(132)에 안착시키는 단계이다.

한편, 상기 컬러필터 어레이 기판(133)은 터치 스크린 검사보드의 면적에 상응하는 다수 개의 돌기불량 검사용 구획영역으로 정의되어 있다.

이어, 제2 단계(S20)는 스테이지(132)에 안착된 컬러필터 어레이 기판(133)상의 제n 돌기불량 검사용 구획영역에 상응하도록 터치스크린 검사보드(200)를 이동수단(135)을 통해 이동시키는 단계이다.

이어, 제3 단계(S30)는 컬러필터 어레이기판의 제n 돌기불량 검사용 구획영역에 상응하도록 위치된 터치스크린 검사보드(200)를 컬러필터 어레이기판과 소정간격을 갖도록 위치시켜 제n 돌기불량 검사용 구획영역에 돌기불량의 위치를 검출하는 검사공정을 수행하는 단계이다.

이때, 터치스크린 검사보드(200)는 컬러필터 어레이기판과 소정간격 즉, 셀 갭정도의 간격을 갖도록 위치된다.

제n 돌기불량 검사용 구획영역의 임의의 지점에 형성된 돌기불량는 터치스크린 검사보드의 터치스크린(202)의 임의의 지점을 누르게 되고, 이 임의의 지점에 상응하는 좌표를 검출하는 전기적 신호를 발생시킴으로써, 제n 돌기불량 검사용 구획영역에 형성된 돌기불량의 위치를 검출하여 이에 대한 좌표를 작업자에게 알려준다.

한편, 제n 돌기불량 검사용 구획영역에 형성된 서로 상이한 높이의 돌기불량들은 터치스크린 검사보드의 탄성기판(204)에 의해 각각의 위치를 검출할 수 있게 된다.

이어, 제4 단계(S40)는 제n 돌기불량 검사용 구획영역의 검사공정이 완료된 후, 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역에 상응하도록 이동수단(135)에 의해 터치스크린 검사보드(200)를 이동시키는 단계이다.

이때, 상기 제n 돌기불량 검사용 구획영역에서 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역으로 이동할 때, 터치스크린 검사보드(200)는 컬러필터 어레이 기판과 멀어지는 방향 즉, 상부로의 방향, 좌측으로의 방향, 컬러필터 어레이 기판과 가까워지는 방향 즉, 하부로의 방향의 순서대로 이동되도록 한다. 이와 같은 방향으로 터치 스크린 검사보드가 이동되면, 터치스크린 검사보드의 이동시 컬러필터 어레이기판과 터치스크린 검사보드간의 간격보다 높은 돌기불량들이 형성되어 있더라도 제1 및 제2 구획영역간의 상/하방향으로의 이동없이 좌우방향으로 이동될 때 발생하는 돌기불량의 파손을 방지할 수 있게 된다.

이어, 제5 단계(S50)는 컬러필터 어레이기판의 제2 돌기불량 검사용 구획영역(1-2)에 상응하도록 위치된 터치스크린 검사보드(200)를 컬러필터 어레이기판과 소정간격 갖도록 위치시켜 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역에 돌기불량의 위치를 검출하는 검사공정을 수행하는 단계이다. 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역의 임의의 지점에 형성된 돌기불량는 터치스크린 검사보드의 터치스크린(202)의 임의의 지점을 누르게 되고, 이 임의의 지점에 상응하는 좌표를 검출하는 전기적 신호를 발생시킴으로써, 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역에 형성된 돌기불량의 위치를 검출하여 이에 대한 좌표를 작업자에게 알려준다.

이어, 제6 단계(S60)는 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역의 검사공정을 수행한 후, 이 구획영역이 컬러필터 어레이기판에 정의된 마지막번째 돌기불량 구획영역인지에 대해 판단하는 단계로써, 마지막 번째 돌기불량 구획영역이 아니면, 다시 제2 단계(S20)으로 이동하여, 상기 제2 단계에서 제5단계를 반복하여 남은 돌기불량 검사용 구획영역들에 대한 검사공정을 수행하고, 마지막 번째 돌기불량 구획영역이면, 컬러필터 어레이 기판의 검사공정을 완료함으로써, 본 공정을 완료한다.

이와 같이 터치스크린 검사보드를 통해 컬러필터 어레이기판 상에 형성된 돌기불량의 위치를 검출함으로써, 종래의 광학현미경을 통해 검출이 어려운 마이크로 이하의 높이를 갖는 돌기 불량의 높이를 인식하여 돌기 불량의 위치를 검출하게 된다.

본 발명에 따른 컬러필터 어레이기판의 검사장비 및 검사방법에 의하면, 터 치스크린 검사보드를 통해 컬러필터 어레이기판 상에 형성된 돌기불량의 위치를 검출함으로써, 종래의 광학현미경을 통해 검출가이 어려운 마이크로 이하의 높이를 갖는 돌기 불량의 높이를 인식하여 돌기 불량의 위치를 검출하게 되는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 검사가 행해지는 검사대와,

   상기 검사대 위에 부착되어 검사가 행해질 컬러필터 어레이기판이 놓여지는 스테이지와,

   상기 스테이지 상에 놓여진 상기 기판에 발생된 돌기불량의 위치를 검출하고 이에 대한 좌표를 작업자에게 알려주는 터치스크린 검사보드와,

   상기 터치스크린 검사보드가 좌우 및 상하로 이동할 수 있도록 구비된 이동수단을 포함하는컬러필터 어레이기판의 검사장비.
2. 제1 항에 있어서, 상기 터치스크린 검사보드는

   돌기불량와 접촉되어 돌기불량의 위치를 검출하여 이에 대한 좌표를 작업자에게 알려주는 터치스크린과,

   서로 상이한 높이를 갖는 다수의 돌기불량들의 위치검출이 용이하도록 하는 탄성기판을 포함하는 컬러필터 어레이기판의 검사장비.
3. 컬러필터층 형성공정이 완료된 컬러필터 어레이기판을 검사가 행해지는 검사대로 이동하여 검사대 상의 스테이지로 안착시키는 제1 단계와,

   상기 스테이지에 안착된 컬러필터 어레이기판 상의 제n 번째 돌기불량 검사용 구획영역에 상응하도록 터치스크린 검사보드를 이동수단을 통해 이동시키는 제2 단계와,

   상기 터치스크린 검사보드를 컬러필터 어레이기판의 제n 번째 돌기불량 검사용 구획영역과 소정간격을 갖도록 위치시켜, 상기 제n 번째 돌기불량 검사용 구획영역의 돌기불량의 위치를 검출하는 검사공정을 수행하는 제3 단계와,

   상기 제n 번째 돌기불량 검사용 구획영역의 검사공정이 완료된 후, 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역에 상응하도록 이동수단에 의해 터치스크린 검사보드를 이동시키는 제4 단계와,

   상기 터치스크린 검사보드를 컬러필터 어레이기판의 제n+1 번째 돌기불량 검사용 구획영역과 소정간격을 갖도록 위치시켜, 상기 제n+1 번째 돌기불량 검사용 구획영역의 돌기불량의 위치를 검출하는 검사공정을 수행하는 제5 단계와,

   상기 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역의 검사공정을 수행한 후, 상기 제n+1 돌기불량 검사용 구획영역이 컬러필터 어레이기판에 정의된 마지막번째 돌기불량 구획영역인지에 대해 판단하여, 마지막 번째 돌기불량 구획영역이 아니면, 다시 제2 단계로 이동하여 상기 제2 단계에서 제5단계를 반복하고, 마지막 번째 돌기불량 구획영역이면, 컬러필터 어레이 기판의 검사공정을 완료하도록 하는 제6 단계를 포함하는 컬러필터 어레이기판의 검사방법.
4. 제3 항에 있어서, 상기 제2 단계에서 상기 터치스크린 검사보드는

   상기 이동수단을 통해 상기 컬러필터 어레이 기판과 멀어지는 방향 즉, 상부로의 방향, 좌측으로의 방향, 컬러필터 어레이 기판과 가까워지는 방향 즉, 하부로 의 방향의 순서대로 이동되도록 하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이기판의 검사방법.
5. 제3 항에 있어서, 상기 컬러필터 어레이기판에는

   상기 터치스크린 검사보드의 면적에 상응하는 다수 개의 돌기불량 검사용 구획영역으로 정의되어 있는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이기판의 검사방법.

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