KR20070116514A - Probe test apparatus of flat pannel display and probe test method using it - Google Patents

Probe test apparatus of flat pannel display and probe test method using it Download PDF

Info

Publication number
KR20070116514A
KR20070116514A KR1020060050609A KR20060050609A KR20070116514A KR 20070116514 A KR20070116514 A KR 20070116514A KR 1020060050609 A KR1020060050609 A KR 1020060050609A KR 20060050609 A KR20060050609 A KR 20060050609A KR 20070116514 A KR20070116514 A KR 20070116514A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
probe
coordinate value
value
probe pin
error
Prior art date
Application number
KR1020060050609A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100820752B1 (en
Inventor
김종문
조원일
조준회
이정민
Original Assignee
양 전자시스템 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 양 전자시스템 주식회사 filed Critical 양 전자시스템 주식회사
Priority to KR1020060050609A priority Critical patent/KR100820752B1/en
Publication of KR20070116514A publication Critical patent/KR20070116514A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100820752B1 publication Critical patent/KR100820752B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
    • G01R1/07328—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support for testing printed circuit boards
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

A probe test device of a flat panel display and a probe test method using the same are provided to correct the position of a probe pin automatically and increase correction accuracy by additional cell align operations to secure correction reliability and accuracy. A probe test device of a flat panel display for testing the electric characteristic of a one-sheet glass having pixel electrodes and pads is composed of a probe pin(61) contacted to a predetermined spot of the one-sheet glass; a probe head(62) supporting the probe pin; a linear motor(65) moving the probe head over the predetermined spot; an error measuring instrument judging a position coordinate value of the probe pin at the predetermined spot and calculating an error value between the determined position coordinate value and a reference coordinate value; and a control unit making the position coordinate value of the probe pin correspond to the reference coordinate value by controlling driving of the linear motor correspondently to the calculated error value.

Description

평판표시소자의 프로브 검사장치 및 이를 이용한 프로브 검사방법{PROBE TEST APPARATUS OF FLAT PANNEL DISPLAY AND PROBE TEST METHOD USING IT}PROBE TEST APPARATUS OF FLAT PANNEL DISPLAY AND PROBE TEST METHOD USING IT}

도 1은 원장 글라스를 나타내는 평면도.1 is a plan view showing a ledger glass.

도 2는 종래 평판표시소자의 프로브 검사장치를 나타내는 평면도.Figure 2 is a plan view showing a probe inspection device of a conventional flat panel display element.

도 3은 원장 글라스의 화소셀에 접촉되는 제 1 내지 제 3 프로브 핀을 나타내는 도면.3 is a diagram illustrating first to third probe pins contacting pixel cells of a mother glass.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자의 프로브 검사장치를 포함하는 프로브 검사 시스템에 대한 개요도.4 is a schematic diagram of a probe inspection system including a probe inspection device of a flat panel display device according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 프로브 검사장치의 평면도. 5 is a plan view of a probe inspection device of a flat panel display device according to an embodiment of the present invention.

도 6은 보정간격이 10mm 일때 리니어 모터에 의해 이동되는 프로브 핀의 이상적인 위치 값을 나타내는 도면.6 is a view showing an ideal position value of a probe pin moved by a linear motor when the compensation interval is 10mm.

도 7은 보정간격이 10mm 일때 리니어 모터에 의해 실제로 이동되어 측정된 프로브 핀의 실제측정 위치 값을 나타내는 도면.Fig. 7 is a diagram showing actual measurement position values of probe pins actually moved by the linear motor when the calibration interval is 10 mm.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 오토 포커싱 기능을 수행하는 카메라를 부착한 프로브 헤드를 나타내는 도면.8 is a view showing a probe head with a camera for performing an auto focusing function according to an embodiment of the present invention.

도 9는 오토 포커싱 과정을 설명하기 위한 제어 구성도.9 is a control block diagram for explaining an auto focusing process.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 자동 보정 과정을 설명하기 위한 도면.10 is a view for explaining an automatic correction process according to an embodiment of the present invention.

도 11은 자동 보정 프로그램의 메인 화면을 도시한 도면.11 is a diagram showing a main screen of an automatic correction program.

도 12 및 도 13은 자동 셀 얼라인 과정을 설명하기 위한 도면.12 and 13 are diagrams for explaining an automatic cell alignment process.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10 : 프로브 검사장치 16 : 스테이지10: probe inspection device 16: stage

20: 로봇 30 : 카세트20: robot 30: cassette

52 : 베이스 플레이트 60,70,80 : 프로브 카드 로봇52: base plate 60,70,80: probe card robot

61,71,81,160 : 프로브 핀 62,72,82,140 : 프로브 헤드61,71,81,160: probe pin 62,72,82,140: probe head

65,66,68,75,85 : 리니어 모터 150 : 카메라65,66,68,75,85: Linear motor 150: Camera

152 : 오차 측정부 180 : 제어부152: error measuring unit 180: control unit

200 : 원장 글라스에 대한 화면영역 214 : 화소 셀200: screen area for ledger glass 214: pixel cell

220 : 셀 중심점 250 : 셀 서치 영역220: cell center point 250: cell search area

252 : 셀 서치 영역의 중심점252: center point of the cell search area

본 발명은 평판표시소자의 프로브 검사장치에 관한 것으로, 특히 글라스 표면을 가열하여 글라스 상의 회로패턴의 전기적 특성을 측정하기 위한 평판표시소자 의 프로브 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a probe inspection device for a flat panel display device, and more particularly, to a probe inspection device for a flat panel display device for measuring the electrical characteristics of the circuit pattern on the glass by heating the glass surface.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판표시장치들이 대두되고 있다. 평판표시장치로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로-루미네센스(Electro-Luminescence) 표시장치 등이 있다.Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have emerged. The flat panel display includes a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an electro-luminescence display.

이러한, 평판표시장치의 제조공정은 하부기판의 제조공정과 상부기판의 제조공정 및 하부기판과 상부기판의 합착공정 등으로 이루어진다. 이 중 하부기판의 제조공정에 의해 도 1에 도시된 바와 같이 원장 글라스(12) 상에 다수의 셀(14)들이 형성되게 된다. 이때, 다수의 셀(14) 상에는 다수의 수평라인들과 다수의 수직라인들이 매트릭스 형태로 서로 교차 되어 형성되고, 수직라인들과 수평라인의 교차부마다 투명한 화소전극을 포함하는 화소셀들이 형성된다. 화소셀들에는 수직라인과 수평라인 및 화소전극에 접속되는 박막 트랜지스터가 형성된다.The manufacturing process of the flat panel display device includes a manufacturing process of the lower substrate, a manufacturing process of the upper substrate, and a bonding process of the lower substrate and the upper substrate. Among them, a plurality of cells 14 are formed on the mother glass 12 as shown in FIG. 1 by the manufacturing process of the lower substrate. In this case, a plurality of horizontal lines and a plurality of vertical lines cross each other in a matrix form on the plurality of cells 14, and pixel cells including transparent pixel electrodes are formed at each intersection of the vertical lines and the horizontal line. . In the pixel cells, thin film transistors connected to the vertical line, the horizontal line, and the pixel electrode are formed.

원장 글라스(12) 상에 형성된 다수의 셀(14) 각각은 검사공정을 거친 후, 스크라이빙 공정에 의해 원장 글라스로부터 절단된다. 원장 글라스(12)에서 절단된 다수의 셀(14) 즉, 하부기판 각각은 상부기판의 제조공정에 의해 완성된 상부기판과 합착 되고, 이어서 화소셀들을 구동시키기 위한 구동회로 및 여러 가지의 기구물들이 평판표시소자에 조립됨으로써 하나의 평판표시장치가 완성된다.Each of the plurality of cells 14 formed on the ledger glass 12 undergoes an inspection process and is then cut from the ledger glass by a scribing process. A plurality of cells 14, ie, lower substrates, cut from the mother glass 12 are bonded to the upper substrates completed by the manufacturing process of the upper substrates, and then a driving circuit and various mechanisms for driving the pixel cells are provided. By assembling on the flat panel display element, one flat panel display device is completed.

특히, 평판표시장치의 제조공정 중 원장 글라스(12) 상에 형성된 다수의 셀(14)에 대한 검사공정에서는, 프로브 검사장치를 이용하여 다수의 셀(14)에 형성 된 회로패턴에 전기적인 테스트 신호를 공급함으로써 회로의 상태를 측정하여 이전 공정의 공정 상태를 검사하게 된다.In particular, in the inspection process for the plurality of cells 14 formed on the mother glass 12 during the manufacturing process of the flat panel display device, an electrical test is performed on the circuit patterns formed in the plurality of cells 14 using the probe inspection device. By supplying a signal, the state of the circuit is measured to examine the process state of the previous process.

이를 위해, 프로브 검사장치는 도 2에 도시된 바와 같이 피검사체인 원장 글라스(12)가 안치되는 스테이지(16)와, 스테이지(16) 상에 안치된 원장 글라스(12)에 형성된 화소 전극들 및 패드들에 전기적으로 접촉하여 전기적의 특성을 측정하기 위한 프로브 핀(22)과, 프로브 핀(22)을 기계적으로 지지하며 X축 또는 Y축으로 이동되어 프로브 핀(22)이 각 패드들 등과 접촉할 수 있도록 하는 프로브 헤드(24)와, 프로브 헤드(24)를 X축 또는 Y축으로 이송시키기 위한 다수의 리니어 모터(32)를 구비한다. To this end, as shown in FIG. 2, the probe inspecting apparatus includes a stage 16 on which the mother glass 12 as an object to be inspected is placed, pixel electrodes formed on the mother glass 12 placed on the stage 16, and Probe pin 22 for measuring electrical characteristics by electrically contacting the pads, and mechanically supporting the probe pin 22 and being moved in the X-axis or Y-axis so that the probe pin 22 contacts each pad or the like. And a plurality of linear motors 32 for feeding the probe head 24 to the X-axis or the Y-axis.

도면에 도시되지는 않았지만 하나의 프로브 검사장치내에는 3개의 프로브 헤드가 구비되어 있으며, 제1 내지 제3 프로브 헤드에 지지된 제1 내지 제3 프로브 핀(63,73,83)은 다수의 리니어 모터의 구동에 의해 각각의 프로브 헤드에 지지된 채로 지정된 위치로 이동되어 도 3에 도시된 바와 같이 화소셀의 수평라인 패드, 수직라인 패드 및 화소전극에 접촉된다. 화소셀의 수평라인 패드, 수직라인 패드 및 화소전극에 전기적 테스트 신호가 인가되면, 이러한 프로브 핀에 의해 박막 트랜지스터와 회로패턴의 불량 여부가 검사된다. Although not shown in the drawings, one probe inspection apparatus includes three probe heads, and the first to third probe pins 63, 73, and 83 supported by the first to third probe heads are provided in a plurality of linear elements. The motor is moved to a designated position while being supported by each probe head by driving of the motor and is in contact with the horizontal line pad, the vertical line pad and the pixel electrode of the pixel cell as shown in FIG. 3. When an electrical test signal is applied to the horizontal line pads, the vertical line pads, and the pixel electrodes of the pixel cells, the probe pins check whether the thin film transistor and the circuit pattern are defective.

이러한, 프로브 검사장치를 이용한 검사방법은 프로브 핀이 미세한 크기의 수평라인 패드, 수직라인 패드 및 화소전극에 정확하게 접촉될 수 있도록 하기 위해 실제 검사단계에 앞서 미리 프로브 핀의 위치 좌표값에 대한 보정단계를 필요로 하게 된다. 즉, 프로브 검사장치를 이용한 검사에 앞서, 소정의 기준 좌표값을 입 력하여 리니어 모터를 구동시키고, 리니어 모터의 구동에 의해 이동된 프로브 핀의 실제 좌표값과 상기 소정의 기준 좌표값과의 오차를 검출하여 프로브 핀의 위치 좌표값이 검출된 오차만큼 보정되도록 리니어 모터의 구동값을 제어하는 단계를 거치게 된다.In the inspection method using the probe inspection device, a correction step for the position coordinate values of the probe pins is performed in advance before the actual inspection step so that the probe pins can be accurately contacted with minute size horizontal line pads, vertical line pads, and pixel electrodes. You will need That is, prior to the inspection using the probe inspection device, the linear motor is driven by inputting a predetermined reference coordinate value, and an error between the actual coordinate value of the probe pin moved by the linear motor and the predetermined reference coordinate value. And detecting the position coordinate value of the probe pin to control the driving value of the linear motor to be corrected by the detected error.

이를 위해, 종래 프로브 검사방법은 먼저, 원장 글라스가 스테이지상에 로딩되면 리니어 모터를 구동시켜 검사하고자 하는 특정 지점에 접촉되도록 프로브 핀을 이동시킨다. 이어서, 이동된 프로브 핀의 위치 좌표값과 상기 특정 지점의 기준 좌표값의 오차를 도 2에 도시된 바와 같이 프로브 헤드(24)의 일 측에 부착된 카메라(26)를 통해 육안으로 검출하며, 검출된 오차만큼 리니어 모터에 입력되는 기준 위치값을 보정하여, 이를 상기 특정 지점에 대한 리니어 모터의 티칭(Teaching)값으로 저장한다. 계속해서 리니어 모터의 구동에 의해 프로브 핀을 소정 간격으로 이동시키면서 이와 같은 과정을 반복 시행함으로써 원장 글라스 전 영역에 대한 리니어 모터의 티칭값을 얻는다. To this end, in the conventional probe inspection method, first, when the mother glass is loaded on the stage, the linear motor is driven to move the probe pin to be in contact with a specific point to be inspected. Subsequently, an error between the position coordinate value of the moved probe pin and the reference coordinate value of the specific point is visually detected through the camera 26 attached to one side of the probe head 24, as shown in FIG. 2. The reference position value input to the linear motor is corrected by the detected error, and stored as a teaching value of the linear motor for the specific point. By repeating this process while moving the probe pin at predetermined intervals by the drive of the linear motor, the teaching value of the linear motor for the entire area of the mother glass is obtained.

그러나, 종래 프로브 검사장치를 이용한 검사방법은 오토 포커싱(Auto Focusing) 기능이 지원되지 않는 카메라를 사용함으로써 카메라 초점이 선명하게 맞지 않아 수동적인 보정처리에 의존할 수밖에 없다. 즉, 카메라에서 촬영된 영상을 육안으로 관찰하여 기준 좌표값과의 오차값을 판독하고, 이를 이용하여 리니어 모터의 티칭값을 수동으로 보정함으로써 보정값의 신뢰도를 크게 저하 시키는 문제점이 있다. However, the inspection method using the conventional probe inspection device is forced to rely on the manual correction process because the camera is not sharply focused by using a camera that does not support the Auto Focusing function. That is, there is a problem that the reliability of the correction value is greatly lowered by visually observing an image taken by the camera to read an error value from the reference coordinate value, and manually correcting the teaching value of the linear motor using the image.

더욱이, 원장 글라스의 크기가 대형화됨에 따라 리니어 모터의 티칭값 보정 을 위한 측정점이 기하 급수적으로 증가하는 추세(6세대 글라스의 경우 10mm 간격의 격자 무늬로 측정점을 선정할 경우 약 19200개의 측정점이 필요함)에 있기 때문에, 종래 프로브 검사장치를 이용한 검사방법은 큰 오차가 의심되는 몇몇 지점만을 선택하여 보정함으로써 보정 정밀도를 크게 떨어뜨리는 문제점이 있다.Furthermore, as the size of the ledger glass increases, the measuring point for the correction of the teaching value of the linear motor increases exponentially. (For the 6th generation glass, about 19200 measuring points are required when selecting the measuring point with 10mm intervals.) Since the inspection method using the conventional probe inspection apparatus has a problem of greatly reducing the correction accuracy by selecting and correcting only a few points suspected of a large error.

또한, 종래 프로브 검사장치를 이용한 검사방법은 상기한 바와 같이 일단 보정하여 정밀도를 어느 정도 확보하더라도 글라스의 대형화에 따른 변수(온도, 중력에 의한 처짐 등)와 검사기구 자체의 시효변화를 고려한 추가적인 셀 얼라인(Cell Align) 작업을 병행하지 않음으로써 ㎛ 대의 절대 정밀도를 유지하기가 힘들다. In addition, the conventional inspection method using a probe inspection device, even if the correction is secured to some extent as described above, an additional cell considering variables (such as temperature and sag caused by gravity) and aging change of the inspection mechanism itself even if the glass is enlarged to some extent. It is difficult to maintain absolute precision in the micrometer range by not performing a cell alignment operation.

따라서, 본 발명의 목적은 자동으로 프로브 핀의 위치 보정이 이뤄지게 하여 보정의 신뢰도 및 정밀도를 확보할 수 있는 프로브 검사장치 및 이를 이용한 검사방법을 제공하는 데 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a probe inspection apparatus and an inspection method using the same that can automatically secure the position of the probe pin to ensure the reliability and precision of the correction.

아울러, 본 발명의 또 다른 목적은 추가적인 셀 얼라인 작업을 통해 보정의 정밀도를 더욱 높일 수 있는 프로브 검사장치 및 이를 이용한 검사방법을 제공하는 데 있다.In addition, another object of the present invention to provide a probe inspection apparatus and an inspection method using the same that can further increase the accuracy of the correction through additional cell alignment work.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자의 프로브 검사장치는 원장 글라스의 일정 지점에 접촉되는 프로브 핀과; 상기 프로브 핀을 지지하기 위한 프로브 헤드와; 상기 프로브 헤드를 상기 일정 지점 상으로 이동시키기 위한 리니어 모터와; 상기 일정 지점에서의 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 포착하여 포착한 위치 좌표값과 소정의 기준 좌표값의 오차값을 산출하기 위한 오차 측정기와; 산출된 상기 오차값만큼 상기 리니어 모터의 구동을 제어하여 상기 프로브 핀의 위치 좌표값이 상기 소정의 기준 좌표값에 일치되도록 하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the probe inspection device of the flat panel display device according to an embodiment of the present invention and the probe pin in contact with a certain point of the ledger glass; A probe head for supporting the probe pin; A linear motor for moving the probe head onto the predetermined point; An error measuring device for calculating an error value between a captured position coordinate value and a predetermined reference coordinate value by capturing a position coordinate value of the probe pin at the predetermined point; And a control unit controlling the driving of the linear motor by the calculated error value so that the position coordinate value of the probe pin coincides with the predetermined reference coordinate value.

상기 오차 측정기는, 구동 장치에 의해 하강되는 상기 프로브 헤드의 일측에 부착되어 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 연속적으로 촬상하기 위한 카메라와;상기 촬상 된 프레임들 중 카메라 초점이 맞을 때의 프레임의 위치 좌표값을 상기 소정의 기준 좌표값과 비교하여 오차값을 산출 및 저장하고, 상기 저장된 오차값을 제어부로 공급하기 위한 오차 측정부를 구비하는 것을 특징으로 한다.The error measuring device may be attached to one side of the probe head lowered by a driving device to continuously photograph a position coordinate value of the probe pin; and a position of a frame when the camera focuses among the photographed frames. And an error measuring unit for calculating and storing an error value by comparing a coordinate value with the predetermined reference coordinate value and supplying the stored error value to a controller.

상기 오차 측정부는, 입력되는 영상 프레임들의 표준 편차값을 산출하며, N번째 프레임과 N-1번째 프레임의 표준 편차값을 비교하여 표준 편차값의 차이가 최대가 될 때의 프레임을 초점이 맞는 프레임으로 인식하는 것을 특징으로 한다.The error measuring unit calculates a standard deviation value of the input image frames, compares the standard deviation values of the Nth frame and the N-1th frame, and focuses the frame when the difference between the standard deviation values is maximum. It is characterized by the recognition.

상기 기준 좌표값은, 상기 오차 측정부에 미리 입력된 상기 원장 글라스의 보정 격자별 위치 정보인 것을 특징으로 한다.The reference coordinate value is characterized in that the position information for each correction grid of the ledger glass input to the error measuring unit in advance.

또한, 화소전극들 및 패드들이 형성된 원장 글라스의 전기적 특성을 검사하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 프로브 검사방법은 프로브 핀이 상기 원장 글라스의 일정 지점에 접촉되도록 상기 프로브 핀을 지지하는 프로브 헤드를 상기 일정 지점 상으로 이동시키는 단계와; 상기 일정 지점에서의 상기 프로 브 핀의 위치 좌표값을 측정하여 측정한 위치 좌표값과 소정의 기준좌표값의 오차값을 산출하는 단계와; 산출한 상기 오차값만큼 리니어 모터의 구동을 제어하여 상기 프로브 핀의 위치 좌표값이 상기 소정의 기준좌표값에 일치되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the probe inspection method of the flat panel display device according to an embodiment of the present invention for inspecting the electrical characteristics of the mother glass with pixel electrodes and pads is supported to support the probe pin so that the probe pin is in contact with a predetermined point of the mother glass. Moving the probe head onto the predetermined point; Calculating an error value between the measured position coordinate value and a predetermined reference coordinate value by measuring the position coordinate value of the probe pin at the predetermined point; And controlling the driving of the linear motor by the calculated error value such that the position coordinate value of the probe pin coincides with the predetermined reference coordinate value.

상기 오차값을 산출하는 단계는, 상기 프로브 핀이 공간 좌표상에서 소정의 거리만큼 이동될 때마다 그 위치에서의 프로브 핀의 위치 좌표값을 측정하고, 측정된 위치 좌표값을 상기 그 위치에 대한 소정의 기준 좌표값과 비교하여 오차값을 산출하는 것을 특징으로 한다.The calculating of the error value may include measuring a position coordinate value of the probe pin at the position each time the probe pin is moved by a predetermined distance in spatial coordinates, and measuring the measured position coordinate value with respect to the position. Computing the error value by comparing with the reference coordinate value of.

상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 측정하기 위해, 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 연속적으로 촬상하는 단계와; 촬상 된 다수의 프레임들 중에서 카메라 초점이 맞는 프레임을 선택하는 단계를 포함하고; 상기 선택 단계는 상기 촬상 된 다수의 프레임들의 표준 편차값을 산출하고, N번째 프레임과 N-1번째 프레임의 표준 편차값을 비교하여 표준 편차값의 차이가 최대가 될 때의 프레임을 초점이 맞는 프레임으로 선택하는 것을 특징으로 한다.Continuously imaging the position coordinate values of the probe pins to measure the position coordinate values of the probe pins; Selecting a frame in which the camera is in focus from among the plurality of captured frames; The selecting step calculates a standard deviation value of the plurality of photographed frames, compares the standard deviation values of the Nth frame and the N-1th frame, and focuses the frame when the difference between the standard deviation values is maximum. It is characterized by selecting as a frame.

또한, 상기 평판표시소자의 프로브 검사방법은 상기 프로브 핀의 위치 좌표값이 소정의 기준 좌표값에 일치되는지 여부를 추가적으로 확인하기 위한 셀 얼라인 단계를 더 포함하되; 상기 셀 얼라인 단계는, 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 측정하고 측정한 위치 좌표값과 소정의 기준좌표값을 비교하여 오차가 발생되는지 여부를 판단하는 단계와; 상기 판단결과 오차가 발생 되지 않으면 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 유지하는 단계와; 상기 판단결과 오차가 발생 되면 측정한 위치 좌표값과 소정의 기준좌표값의 오차값을 산출하고, 산출한 상기 오차값 만큼 리니어 모터의 이동을 제어하여 상기 프로브 핀의 위치 좌표값과 상기 소정의 기준좌표값이 일치되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the probe inspection method of the flat panel display device further comprises a cell alignment step for additionally confirming whether the position coordinate value of the probe pin coincides with a predetermined reference coordinate value; The cell alignment may include determining whether an error occurs by measuring a position coordinate value of the probe pin and comparing the measured position coordinate value with a predetermined reference coordinate value; Maintaining a position coordinate value of the probe pin if an error does not occur as a result of the determination; If an error occurs as a result of the determination, an error value between the measured position coordinate value and the predetermined reference coordinate value is calculated, and the position coordinate value of the probe pin and the predetermined reference are controlled by controlling the movement of the linear motor by the calculated error value. And matching the coordinate values.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 4 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 8.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치의 프로브 검사장치를 포함하는 프로브 검사 시스템에 대한 개요도로서 도 4를 참조하면, 프로브 검사 시스템은 원장 글라스가 적층된 카세트(30)와, 원장 글라스 상의 다수의 셀에 형성된 회로배선에 전기적인 테스트 신호를 공급함으로써 회로의 상태를 측정하여 이전 공정의 공정 상태를 검사하기 위한 프로브 검사장치(10)와, 카세트(30)에 적층된 원장 글라스를 프로브 검사장치(10)에 로딩/언로딩시키는 로봇 암(20)을 구비한다.4 is a schematic diagram of a probe inspection system including a probe inspection apparatus of a flat panel display according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, a probe inspection system includes a cassette 30 in which ledger glass is stacked, and a ledger glass. Probe inspection device 10 and the ledger glass laminated to the cassette 30 to measure the state of the circuit by supplying an electrical test signal to the circuit wiring formed in a plurality of cells on the cell to check the process state of the previous process The robot arm 20 is loaded / unloaded into the inspection apparatus 10.

원장 글라스 상에는 도 1에 도시된 바와 같이 다수의 셀(14)들이 형성된다. 이러한, 다수의 셀(14) 상에는 다수의 수평라인들과 다수의 수직라인들이 형성되고, 수직라인들과 수평라인의 교차부마다 투명한 화소전극을 포함하는 화소셀들이 형성된다. 각각의 화소셀들은 수직라인과 수평라인 및 화소전극에 접속되는 박막 트랜지스터를 포함한다.Multiple cells 14 are formed on the ledger glass as shown in FIG. 1. A plurality of horizontal lines and a plurality of vertical lines are formed on the plurality of cells 14, and pixel cells including transparent pixel electrodes are formed at intersections of the vertical lines and the horizontal lines. Each pixel cell includes a thin film transistor connected to a vertical line, a horizontal line, and a pixel electrode.

로봇 암(20)은 카세트(30)에서 원장 글라스를 인출하여 프로브 검사장치(10)에 로딩시킴과 아울러 프로브 검사장치(10)에서 검사완료된 원장 글라스를 언로딩 하여 카세트(30)에 적층시키는 역할을 한다.The robot arm 20 draws the ledger glass from the cassette 30 and loads it on the probe inspection apparatus 10, and unloads the finished glass, which has been inspected by the probe inspection apparatus 10, and stacks the ledger glass on the cassette 30. Do it.

프로브 검사장치(10)는 로봇 암(20)으로부터 로딩되는 원장 글라스 상의 임의의 지점에 접촉하여 접촉된 지점에 전기적인 테스트 신호를 인가하여 회로배선의 불량을 검사한다. 이때, 회로배선의 불량은 박막 트랜지스터의 불량, 라인 저항 불량, 라인 오픈(Open) 및 라인 쇼트(Short) 등을 포함한다.The probe inspection apparatus 10 contacts an arbitrary point on the ledger glass loaded from the robot arm 20 and applies an electrical test signal to the contacted point to inspect the defect of the circuit wiring. In this case, the defective circuit wiring includes a defective thin film transistor, a poor line resistance, an open line, a short line, and the like.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 프로브 검사장치에 대한 평면도이다.5 is a plan view illustrating a probe inspection apparatus of a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 프로브 검사장치(10)는 베이스 플레이트(52)와, 베이스 플레이트(52) 상에 설치되고 로봇 암으로부터 원장 글라스(112)가 로딩/언로딩되는 스테이지(16)와, 스테이지(16)를 이동하기 위한 스테이지 이송장치(미도시)와, 원장 글라스(112) 상의 수평라인과 화소전극에 전기적 신호를 인가하는 제1 및 제2 갠트리 로봇(Gantry Robot)과, 원장 글라스(112) 상의 수직라인에 전기적인 테스트 신호를 인가하는 제3 갠트리 로봇을 구비한다.Referring to FIG. 5, the probe inspection apparatus 10 includes a base plate 52, a stage 16 installed on the base plate 52, and a ledger glass 112 loaded / unloaded from the robot arm. A stage transfer device (not shown) for moving 16, first and second gantry robots for applying electrical signals to horizontal lines and pixel electrodes on the ledger glass 112, and ledger glass 112 And a third gantry robot for applying an electrical test signal to the vertical line.

베이스 플레이트(52) 하부면에는 도면에 도시되지는 않았지만 베이스 플레이트(52)를 지지하기 위한 다수의 기둥을 포함하는 지지대가 설치되어 있으며, 이러한 지지대의 내부공간에는 제1 및 제2 갠트리 로봇을 구동시키거나 제어하기 위한 제어장치(40) 및 원장 글라스(112)에 전기적인 테스트 신호를 인가함과 아울러 테스트 결과를 저장하는 테스트 장치(미도시)가 설치된다.Although not shown in the drawing, the base plate 52 is provided with a support including a plurality of pillars for supporting the base plate 52, and the first space and the second gantry robot are driven in the internal space of the support. A test device (not shown) for applying an electrical test signal to the control device 40 and the ledger glass 112 for storing or controlling the test device and storing the test results is provided.

스테이지(16) 상에는 로봇 암(20)에 의해 로딩되는 원장 글라스(112)를 지지하기 위한 리프트 핀들과, 리프트 핀들에 의해 하강되는 원장 글라스(112)를 흡착 하기 위한 진공 패드들과, 진공 패드들에 의해 흡착되는 원장 글라스(112)를 가이드 하기 위한 가이드 핀들이 형성된다.On the stage 16, lift pins for supporting the ledger glass 112 loaded by the robot arm 20, vacuum pads for adsorbing the ledger glass 112 lowered by the lift pins, and vacuum pads. Guide pins for guiding the ledger glass 112 that is adsorbed by it are formed.

스테이지 이송장치는 원장 글라스(112)가 안착된 스테이지(16)를 베이스 플레이트(52)의 중앙부로 이송시켜 원장 글라스(112)가 제1 내지 제3 갠트리 로봇의 수평 및 수직 선상에 놓이도록 한다. The stage transfer device transfers the stage 16 on which the ledger glass 112 is seated to the center portion of the base plate 52 so that the ledger glass 112 is placed on the horizontal and vertical lines of the first to third gantry robots.

제1 갠트리 로봇은 제1 및 제2 리니어 모터(66, 68)와 제1 프로브 카드로봇(60)으로 구성되고, 제2 갠트리 로봇은 제1 및 제2 리니어 모터(66, 68)와 제2 프로브 카드로봇(70)으로 구성되며, 제3 갠트리 로봇은 제1 프로브 카드로봇(60)과 중첩되도록 설치되는 제 5 리니어 모터(미도시)와 제2 프로브 카드로봇(70)과 중첩되도록 설치되는 제6 리니어 모터(미도시)와 제3 프로브 카드로봇(80)으로 구성된다. 여기서, 리니어 모터는 전자석과 코일 슬라이더 등으로 이루어진 직선형 전동기이다.The first gantry robot consists of first and second linear motors 66 and 68 and the first probe card robot 60, and the second gantry robot consists of first and second linear motors 66 and 68 and a second one. It is composed of a probe card robot 70, the third gantry robot is installed so as to overlap the fifth linear motor (not shown) and the second probe card robot 70 is installed so as to overlap the first probe card robot (60). The sixth linear motor (not shown) and the third probe card robot 80 is configured. Here, the linear motor is a linear electric motor composed of an electromagnet, a coil slider and the like.

제1 리니어 모터(66)는 제어장치(40)로부터 케이블을 통해 공급되는 구동신호에 의해 구동되어 제1 및 제2 프로브 카드로봇(60, 70) 각각을 X축 방향으로 이동시킨다. 제2 리니어 모터(68)는 제어장치(40)로부터 케이블을 통해 공급되는 구동신호에 의해 구동되어 제1 프로브 카드로봇(60, 70) 각각을 X축 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 제1 및 제2 프로브 카드로봇(60, 70)은 서로 마주보도록 설치되어 제1 및 제2 리니어 모터(66, 68) 각각에 의해 X축 방향으로 이동되게 된다.The first linear motor 66 is driven by a drive signal supplied from the control device 40 via a cable to move the first and second probe card robots 60 and 70 in the X-axis direction. The second linear motor 68 is driven by a drive signal supplied from the control device 40 via a cable to move each of the first probe card robots 60 and 70 in the X-axis direction. Accordingly, the first and second probe card robots 60 and 70 are installed to face each other and are moved in the X-axis direction by the first and second linear motors 66 and 68, respectively.

제1 프로브 카드로봇(60)은 제3 리니어 모터(65)에 의해 Y축 방향으로 이동되는 제1 프로브 헤드(62)를 구비한다. 제3 리니어 모터(65)는 제어장치(40)로부 터 케이블을 통해 공급되는 구동신호에 의해 구동되어 제1 프로브 헤드(62)를 Y축 방향으로 이송시키게 된다. 제1 프로브 헤드(62)는 도시하지 않은 구동장치에 의해 상승 및 하강하는 제1 프로브 핀(61)을 통해 원장 글라스(112)에 형성된 화소셀의 수평라인 패드들에 접촉된다.The first probe card robot 60 includes a first probe head 62 which is moved in the Y-axis direction by the third linear motor 65. The third linear motor 65 is driven by the drive signal supplied from the control device 40 through the cable to transfer the first probe head 62 in the Y-axis direction. The first probe head 62 is in contact with the horizontal line pads of the pixel cells formed in the mother glass 112 through the first probe pin 61 that is raised and lowered by a driving device (not shown).

제2 프로브 카드로봇(70)은 제4 리니어 모터(75)에 의해 Y축 방향으로 이동되는 제2 프로브 헤드(72)를 구비한다. 제4 리니어 모터(75)는 제어장치(40)로부터 케이블을 통해 공급되는 구동신호에 의해 구동되어 제2 프로브 헤드(72)를 Y축 방향으로 이동시킨다. 제2 프로브 헤드(72)는 도시하지 않은 구동장치에 의해 상승 및 하강하는 제2 프로브 핀(71)을 통해 원장 글라스(112)에 형성된 화소셀의 화소전극들에 접촉된다.The second probe card robot 70 includes a second probe head 72 moved in the Y-axis direction by the fourth linear motor 75. The fourth linear motor 75 is driven by a drive signal supplied from the controller 40 via the cable to move the second probe head 72 in the Y-axis direction. The second probe head 72 is in contact with the pixel electrodes of the pixel cell formed in the mother glass 112 through the second probe pin 71 that is raised and lowered by a driving device (not shown).

제 5 리니어 모터(미도시)는 제어장치(40)로부터 케이블을 통해 공급되는 구동신호에 의해 구동되어 제3 프로브 카드로봇(80)을 Y축 방향으로 이동시킨다. 제6 리니어 모터(미도시)는 제어장치(40)로부터 케이블(92)을 통해 공급되는 구동신호에 의해 구동되어 제3 프로브 카드 로봇(80)을 Y축 방향으로 이동시킨다. The fifth linear motor (not shown) is driven by a drive signal supplied through the cable from the controller 40 to move the third probe card robot 80 in the Y-axis direction. The sixth linear motor (not shown) is driven by a drive signal supplied from the control device 40 through the cable 92 to move the third probe card robot 80 in the Y-axis direction.

제3 프로브 카드 로봇(80)은 제7 리니어 모터(85)에 의해 X축 방향으로 이동되는 제3 프로브 헤드(82)를 구비한다. 제7 리니어 모터(85)는 제어장치(40)로부터 케이블(87)을 통해 공급되는 구동신호에 의해 구동되어 제3 프로브 헤드(82)를 X축 방향으로 이송시키게 된다. 제3 프로브 헤드(82)는 도시하지 않은 구동장치에 의해 상승 및 하강하는 제3 프로브 핀(81)을 통해 원장 글라스(112)에 형성된 화소셀의 수직라인 패드들에 접촉된다.The third probe card robot 80 includes a third probe head 82 moved in the X-axis direction by the seventh linear motor 85. The seventh linear motor 85 is driven by a drive signal supplied from the controller 40 through the cable 87 to transfer the third probe head 82 in the X-axis direction. The third probe head 82 is in contact with the vertical line pads of the pixel cells formed in the mother glass 112 through the third probe pin 81 that is raised and lowered by a driving device (not shown).

제1 내지 제3 프로브 헤드(62,72,82)에는 각각 오토 포커싱(Auto Fousing)기능이 지원되는 카메라가 부착되어 보정과정 및 셀 얼라인 과정에서 정확한 위치 좌표값을 측정할 수 있게 한다. 이에 대해서는 도 8 및 도 9를 이용하여 상세히 설명하기로 한다.Cameras supporting an auto focusing function are attached to the first to third probe heads 62, 72, and 82, respectively, so that accurate position coordinate values can be measured during the calibration process and the cell alignment process. This will be described in detail with reference to FIGS. 8 and 9.

도 6은 보정간격이 10mm 일때 리니어 모터에 의해 이동되는 프로브 핀의 이상적인 위치 값을 나타내는 도면이고, 도 7은 보정간격이 10mm 일때 리니어 모터에 의해 실제로 이동되어 측정된 프로브 핀의 실제측정 위치 값을 나타내는 도면이다.FIG. 6 is a diagram illustrating an ideal position value of a probe pin moved by a linear motor when the compensation interval is 10 mm, and FIG. 7 is a diagram illustrating an actual measurement position value of the probe pin actually moved by the linear motor when the compensation interval is 10 mm. It is a figure which shows.

본 발명의 실시예에 따른 프로브 검사장치는 도 5에서 설명한 바와 같이 제1 내지 제7 리니어 모터(이하 "리니어 모터"라 함)를 구동시켜 제1 내지 제3 프로브 헤드(62,72,82 : 이하 "프로브 헤드"라 함)를 X축 또는 Y축으로 이동시킨 후, 상승 및 하강하는 제1 내지 제3 프로브 핀(61,71,81 : 이하 "프로브 핀" 이라 함)을 통해 원장 글라스(112)에 형성된 수평 및 수직라인 패드들과 화소전극들에 접촉하여 이들의 회로배선 불량여부를 검사하게 된다. 여기서, 프로브 헤드를 X축 또는 Y축으로 이동시키기 위한 리니어 모터의 구동 좌표값은 제어장치에 입력되어 있으며, 제어장치는 사용자의 좌표값 입력에 따라 리니어 모터를 구동시키고, 이에 따라 리니어 모터는 프로브 헤드를 X축 또는 Y축으로 이동시켜 입력된 좌표값 상단부에 프로브 핀이 위치되게 한다. 제어장치에 입력되어 있는 상기 구동 좌표값은 스테이지 상에 얼라인 된 원장 글라스의 소정 간격(통상 10mm)별 위치 좌표값이다.As described with reference to FIG. 5, the probe inspection apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention drives the first to seventh linear motors (hereinafter referred to as "linear motors") to provide the first to third probe heads 62, 72, and 82. After moving the "probe head" to the X-axis or Y-axis, the ledger glass (through the first to third probe pins 61, 71, 81 (hereinafter referred to as "probe pin")) Horizontal and vertical line pads and pixel electrodes formed at 112 are contacted to check whether the circuit wiring is defective. Herein, the driving coordinate values of the linear motor for moving the probe head to the X axis or the Y axis are input to the controller, and the controller drives the linear motor according to the user's input of the coordinate values. Move the head to the X-axis or Y-axis so that the probe pin is positioned on the upper end of the input coordinate value. The drive coordinate value input to the control device is a position coordinate value for each predetermined interval (usually 10 mm) of the mother glass aligned on the stage.

그런데, 이러한 검사단계에 앞서 프로브 핀이 미세한 크기의 수평라인 패드, 수직라인 패드 및 화소전극에 정확하게 접촉될 수 있도록 선행적으로 리니어 모터 의 구동 좌표값을 보정하는 보정단계를 거쳐야 한다. 즉, 프로브 검사장치를 이용한 검사에 앞서, 소정의 기준 좌표값을 입력하여 리니어 모터를 구동시키고, 리니어 모터의 구동에 의해 이동된 프로브 핀의 실제 좌표값과 상기 소정의 기준 좌표값과의 오차를 검출하여 프로브 핀의 위치 좌표값이 검출된 오차만큼 보정되도록 리니어 모터의 구동값을 제어하는 단계를 거쳐야 한다.However, prior to such an inspection step, the probe pin must first undergo a correction step of correcting the driving coordinate values of the linear motor so that the probe pin can be accurately contacted with a minute size horizontal line pad, vertical line pad, and pixel electrode. That is, prior to the inspection using the probe inspection apparatus, a predetermined reference coordinate value is input to drive the linear motor, and the error between the actual coordinate value of the probe pin moved by the linear motor and the predetermined reference coordinate value is determined. It is necessary to go through the step of controlling the drive value of the linear motor to detect and correct the position coordinate value of the probe pin by the detected error.

이와 같이, 보정단계를 거치는 이유는 기구적인 틀어짐 또는 온도변화의 영향 등에 의해 프로브 헤드에 지지된 프로브 핀이 오차값을 가지고 이동하기 때문이다. 예를 들어, 프로브 핀이 a:(0,0,0), b(10000,10000,0), c(110000,90000,0) (좌표는 ㎛) 점으로 이동되도록 제어장치로부터 리니어 모터로 구동 명령 신호가 인가될 때, 이상적인 리니어 모터의 경우라면 도 6에 도시된 바와 같이 프로브 핀이 a:(0,0,0), b(10000,10000,0), c(110000,90000,0)으로 이동되지만, 기구적인 틀어짐 또는 온도변화의 영향등의 이유로 인해 실제로는 도 7에 도시된 바와 같이 a:(8,3,2), b(10090,10004,4), c(110200,90001,10)로 이동되어 사용자가 입력한 좌표값(기준 좌표값)과 실제로 이동된 좌표값간에 오차가 발생하게 된다.As such, the reason for undergoing the correction step is that the probe pin supported on the probe head moves with an error value due to mechanical distortion or the influence of temperature change. For example, the probe pin is driven by a linear motor from the controller so that the probe pin is moved to points a: (0,0,0), b (10000,10000,0), c (110000,90000,0) (coordinate is μm) When the command signal is applied, the probe pin is a: (0,0,0), b (10000,10000,0), c (110000,90000,0) as shown in FIG. 6 for an ideal linear motor. However, due to mechanical distortion or the influence of temperature change, it is actually a: (8,3,2), b (10090,10004,4), c (110200,90001, 10), an error occurs between the coordinate value (reference coordinate value) input by the user and the coordinate value actually moved.

따라서, 본 발명의 실시예에 따른 프로브 검사장치는 이러한 오차값들을 미리 측정하여 저장해 두었다가 검사 단계에서 원장 글라스의 위치정보들(기준 좌표값들)이 입력될 때 저장된 오차값을 적용하여 리니어 모터를 구동함으로써 정확한 지점에 프로브 핀이 접촉될 수 있게 한다. 여기서 상기 각 지점의 Z 축 값들은 카메라의 포커싱 값으로서, 이는 스테이지와 원장 글라스의 전체 영역에 대한 평탄도가 수백㎛ 이상 일정하지 않으므로 정확한 보정값을 산출하기 위해 행해지는 오토 포커싱(Auto Focusing)이 될 때의 위치값을 나타낸다. Therefore, the probe inspection apparatus according to the embodiment of the present invention measures and stores these error values in advance, and applies the stored error values when the position information (reference coordinate values) of the ledger glass is input in the inspection step to apply the linear motor. By driving, the probe pin can be contacted at the correct point. In this case, the Z-axis values of the respective points are the focusing values of the camera, and since the flatness of the entire area of the stage and the ledger glass is not constant over several hundred μm, auto focusing is performed to calculate an accurate correction value. Indicates the position value when

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 오토 포커싱 기능을 수행하는 카메라를 부착한 프로브 헤드를 나타내는 도면이고, 도 9는 오토 포커싱 과정을 설명하기 위한 제어 구성도이다.FIG. 8 is a diagram illustrating a probe head with a camera for performing an auto focusing function according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a block diagram illustrating an auto focusing process.

도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 프로브 검사장치는 소정의 기준 좌표값을 가진 원장 글라스의 일정 지점에 접촉되는 프로브 핀(160)과, 프로브 핀(160)을 지지하여 상하로 이동 가능한 프로브 헤드(140)와, 프로브 헤드(140)의 일측에 부착되고 프로브 헤드(140)가 상측에서 하측으로 이동할 때 프로브 핀(160)의 위치 좌표값(실제로 이동된 좌표값)을 연속적으로 촬영하기 위한 카메라(150)를 구비한다.Referring to FIG. 8, a probe inspection apparatus according to an embodiment of the present invention moves up and down by supporting a probe pin 160 and a probe pin 160 contacting a predetermined point of a ledger glass having a predetermined reference coordinate value. Possible shooting of the probe head 140 and the position coordinate value (actually moved coordinate value) of the probe pin 160 when the probe head 140 is attached to one side of the probe head 140 and moves from the upper side to the lower side. The camera 150 is provided.

소정의 기준 좌표값이 입력됨에 따라 스텝 모터(미도시)는 프로브 핀(160)의 위치 좌표값이 소정의 기준 좌표값에 매치되도록 프로브 헤드(140)를 이동시키지만, 상술했듯이 여러 요인에 의해 기준 좌표값과 어느 정도의 오차를 띠는 좌표에 프로브 헤드(140)가 위치하게 된다. 프로브 헤드(140)는 상기 위치에서 구동장치(미도시)에 의해 하강하게 되고, 이에 따라 프로브 헤드(140)에 부착된 카메라(150)도 아래로 하강하면서 프로브 핀(160)의 위치 좌표값을 연속적으로(20 frame/sec) 촬영하게 된다. As the predetermined reference coordinate value is input, the step motor (not shown) moves the probe head 140 so that the position coordinate value of the probe pin 160 matches the predetermined reference coordinate value. The probe head 140 is positioned at a coordinate having a certain error with the coordinate value. The probe head 140 is lowered by the driving device (not shown) at the position, and accordingly, the position coordinate value of the probe pin 160 is lowered while the camera 150 attached to the probe head 140 is also lowered. Pictures are taken continuously (20 frames / sec).

이렇게 촬영된 프로브 핀(160)의 위치 좌표값에 대한 프레임(Frame) 영상은 도 9에 도시된 바와 같이 실시간으로 오차 측정부(152)로 입력되고, 오차 측정부(152)는 입력되는 프레임 영상들의 표준 편차값을 산출 및 비교(N(N은 2이상의 정수)번째 프레임과 N-1번째 프레임의 표준 편차값을 비교)하여 표준 편차값 차이가 최대가 될 때의 프레임 영상을 초점이 맞는 영상으로 인식한다. 이와 같은 과정에 의해 오토 포커싱이 이뤄지며, 오토 포커싱을 통해 프로브 핀(160)의 위치 좌표값(실제로 이동된 좌표값)이 정확하게 검출될 수 있다. 특히, 본 발명은 별도의 광학장치의 추가 없이 기존의 기구물을 그대로 유지하면서 카메라 CCD(Charge Coupled Device)의 영상분석을 통해 오토 포커싱 함으로써 추가비용 지출이 생략할 수 있다. The frame image of the position coordinate value of the probe pin 160 photographed as described above is input to the error measuring unit 152 in real time as shown in FIG. 9, and the error measuring unit 152 is input to the frame image. Calculate and compare the standard deviation values of the two frames (N (N is an integer greater than or equal to 2) and the standard deviation value of the N-1th frame) to focus the frame image when the difference between the standard deviation values becomes the maximum. To be recognized. By this process, auto focusing is performed, and through the auto focusing, the position coordinate value (actually moved coordinate value) of the probe pin 160 can be accurately detected. In particular, the present invention can be omitted by the additional cost by auto focusing through the image analysis of the camera CCD (Charge Coupled Device) while maintaining the existing mechanism as it is without the addition of an additional optical device.

이어서, 오차 측정부(152)는 초점이 맞는 영상에 표시된 프로브 핀(160)의 X축 및 Y축 좌표값을 이용하여 기준 좌표값과의 오차값을 산출 및 저장한 후 저장된 오차값을 제어부(180)로 공급하는데, 이러한 보정과정에 대해서는 도 10을 이용하여 상세히 설명하기로 한다. 참고로, 오차 측정부(152)는 카메라 초점이 맞을 때의 카메라 위치값(Z 좌표값)을 상기 오차값(X Y 좌표값)과 함께 저장한 후 제어부(180)로 공급한다. 카메라 초점이 맞을 때의, 즉 오토 포커싱이 이뤄진 후의 카메라 위치값은 제어부로 공급되어 이 후의 셀 얼라인 단계 수행시 장비의 동작시간을 단축시키는 데 사용된다.Subsequently, the error measuring unit 152 calculates and stores an error value with a reference coordinate value using the X-axis and Y-axis coordinate values of the probe pin 160 displayed on the focused image, and then stores the stored error value in the controller ( 180), this correction process will be described in detail with reference to FIG. For reference, the error measuring unit 152 stores the camera position value (Z coordinate value) when the camera is in focus together with the error value (X Y coordinate value) and supplies it to the controller 180. The camera position value when the camera is in focus, i.e. after auto focusing, is supplied to the control unit and used to shorten the operation time of the equipment during the subsequent cell alignment step.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 자동 보정 과정을 설명하기 위한 도면이다.10 is a view for explaining an automatic correction process according to an embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 기준 좌표값(도면의 진한 실선들의 교차점)과 프로브 핀의 위치 좌표값(도면의 엷은 실선들의 교차점)이 도시되어 있다. 기준 좌표값이란 리니어 모터의 구동에 의해 프로브 핀이 이동되어 접촉되어야 할 목표지점을 나타 내는 것으로서, 본 발명에서는 별도의 스케일러(Scaler)를 사용하는 대신 원장 글라스의 위치 정보를 이용한다. 즉, 원장 글라스는 오차 ±3㎛ 이하로 제조되기 때문에 프로브 검사장치에 미리 LCD 설계 도면상의 좌표값들을 입력하고 스테이지 상에 로딩 된 원장 글라스를 얼라인 하기만 하면 상기 입력된 좌표값들은 기준 좌표값들로 설정되게 된다. 이러한 레시피(Recipe) 입력 방식에 따라 정확한 지점에 프로브 핀이 접촉되도록 하기 위해서는 상술 했듯이, 리니어 모터를 구동시키기 위한 기준좌표값과 리니어 모터에 의해 실제로 이동된 프로브 핀의 위치를 나타내는 위치 좌표값이 일치되도록 하는 보정 작업이 필요하다. 본 발명은 10X(Fov 990㎛ × 880㎛ 분해능 2 ㎛) 현미경 렌즈가 장착된 카메라를 이용하여 자동으로 보정이 이뤄지게 한다. 이하 보정하는 과정을 상세히 설명한다.Referring to FIG. 10, a reference coordinate value (intersection of dark solid lines in the drawing) and a position coordinate value of the probe pin (intersection of thin solid lines in the drawing) are shown. The reference coordinate value indicates a target point to which the probe pin is to be moved and contacted by the driving of the linear motor. In the present invention, instead of using a separate scaler, position information of the ledger glass is used. That is, since the ledger glass is manufactured with an error of ± 3 μm or less, simply inputting coordinate values on the LCD design drawing in advance to the probe inspection device and aligning the ledger glass loaded on the stage, the input coordinate values are referred to as reference coordinate values. Will be set. In order to make the probe pin contact the correct point according to the recipe input method, as described above, the reference coordinate value for driving the linear motor coincides with the position coordinate value indicating the position of the probe pin actually moved by the linear motor. Corrective action is necessary to ensure that The present invention allows for automatic correction using a camera equipped with a 10 × (Fov 990 μm × 880 μm resolution 2 μm) microscope lens. Hereinafter, the correcting process will be described in detail.

원장 글라스가 스테이지 상에 로딩되면, 제어부는 원장 글라스의 격자 별 위치값들이 오차 측정부에 미리 입력되어 있는 LCD 설계 도면상의 좌표값들과 부합되도록 스테이지 구동장치를 구동시켜 원장 글라스의 위치를 얼라인 시킨다. 이에 따라 원장 글라스의 격자 별 기준 좌표값들이 설정된다.When the ledger glass is loaded on the stage, the control unit aligns the position of the ledger glass by driving the stage driving device so that the position values for each grid of the ledger glass correspond to the coordinate values on the LCD design drawing previously inputted to the error measuring unit. Let's do it. Accordingly, the reference coordinate values for each grid of the ledger glass are set.

또한, 제어부는 리니어 모터를 구동시켜 프로브 핀이 A11(0,0,0)으로 이동되게 한다. 보정 시작점인 A11(0,0,0)는 기준점이 되며 따라서 보정 시작점에서는 기준 좌표값과 프로브 핀의 위치 좌표값이 항상 동일하게 된다. 만약, 보정 시작점에서 기준 좌표값과 프로브 핀의 위치 좌표값이 일치되지 않으면 원장 글라스의 위치를 다시 얼라인 시킨다.The controller also drives the linear motor to move the probe pin to A 11 (0,0,0). The calibration start point A 11 (0,0,0) is the reference point, so the reference coordinate value and the position coordinate value of the probe pin are always the same at the calibration start point. If the reference coordinate value and the position coordinate value of the probe pin do not coincide with each other, the position of the ledger glass is realigned.

프로브 핀이 보정 시작점(A11)에 위치되면 제어부는 리니어 모터를 구동시켜 프로브 핀이 지정된 보정 격자의 간격만큼 수평 방향으로 이동되게 한다. 이에 따라 프로브 핀은 이상적으로 A12 점에 위치하여야 하지만 여러 환경적 요인에 의해 오차를 띠는 A12'점에 위치하게 된다. 여기서, 최소 보정 격자의 크기는 10mm 이며 실험 결과 이 이하의 간격으로 보정을 하더라도 보정 정밀도가 크게 개선되지 않았다. A12'점으로 이동된 프로브 핀의 위치 좌표값(10021,33,10)은 상기 도 8 및 도 9를 통해 설명했듯이, 카메라와 오차 측정부를 통해 미리 입력되어 있는 기준 좌표값인 A12(10000,0,0)과 비교되고, 이에 의해 산출된 오차값(21,33)은 오토 포커싱이 되었을 때의 카메라 위치값(10)과 함께 오차 측정부에 저장된 후 제어부로 공급된다. 이로써, A12'점에 대한 보정은 완료된다. When the probe pin is located at the calibration start point A 11 , the controller drives the linear motor to move the probe pin horizontally by the interval of the designated calibration grid. Therefore, the probe pin should ideally be located at the A 12 point, but be located at the A 12 'point which is errored by various environmental factors. Here, the size of the minimum correction grating is 10 mm, and even if the experiment results are corrected at intervals below, the accuracy of correction is not significantly improved. As described above with reference to FIGS. 8 and 9, the position coordinate values 10021, 33, and 10 of the probe pin moved to the A 12 'point are A 12 (10000), which is a reference coordinate value that is previously input through the camera and the error measuring unit. And the error values 21 and 33 calculated by this are stored together with the camera position value 10 at the time of auto focusing, and then supplied to the controller. Thus, the correction for the A 12 'point is completed.

A13'점에 대한 보정을 위해 제어부는 공급받은 A12'점에 대한 보정값(21,33,10)을 적용하여 리니어 모터를 구동시켜 프로브 핀의 위치 좌표값이 기준 좌표값인 A12(10000,0,0)에 일치되도록 한다. In order to calibrate the point A 13 ', the controller applies the correction value (21, 33, 10) to the supplied point A 12 ' to drive the linear motor so that the position coordinate value of the probe pin is A 12 ( 10000,0,0).

프로브 핀이 A12 점에 위치되면 제어부는 리니어 모터를 구동시켜 프로브 핀이 지정된 보정 격자의 간격만큼 수평 방향으로 이동되게 한다. 이에 따라 프로브 핀은 이상적으로 A13 점에 위치하여야 하지만 여러 환경적 요인에 의해 오차를 띠는 A13'점에 위치하게 된다. A13'점으로 이동된 프로브 핀의 위치 좌표값은 미리 입력 되어 있는 기준 좌표값인 A13(20000,0,0)과 비교되고, 이에 의해 산출된 오차값은 오토 포커싱이 되었을 때의 카메라 위치값과 함께 오차 측정부에 저장된 후 제어부로 공급된다. 이로써, A13'점에 대한 보정은 완료된다. When the probe pin is located at A 12 point, the control unit drives the linear motor to move the probe pin horizontally by the interval of the designated correction grating. As a result, the probe pin should ideally be located at A 13 point, but will be located at A 13 ′, which is subject to error due to various environmental factors. The position coordinate value of the probe pin moved to the A 13 'point is compared with A 13 (20000,0,0), which is a reference coordinate value, which is input in advance, and the error value calculated by this is the camera position when auto focusing is performed. It is stored in the error measuring unit along with the value and supplied to the control unit. Thus, the correction for the point A 13 'is completed.

이러한 방식에 의해 Ann'점까지 계속하여 보정이 진행되고 지정된 위치까지 보정이 완료되면, 제어부는 리니어 모터를 구동시켜 프로브 핀을 기준점(A11)으로 이동시킨 후, 저장된 보정값을 적용하여 프로브 핀을 순차적으로 이동시켜 보정 작업이 에러 없이 제대로 이뤄졌는지를 확인한다. 결과적으로, 상술한 보정 과정을 통해 본 발명의 실시예에 따른 프로브 검사장치는 기구적인 틀어짐이나 온도 변화의 영향 등에도 불구하고 프로브 핀을 원하는 위치에 어느 정도 정확하게 접촉시킬 수 있게 된다.In this way, if the calibration continues to the point A nn 'and the calibration is completed up to the designated position, the controller drives the linear motor to move the probe pin to the reference point A 11 , and then applies the stored correction value to the probe. Move the pins sequentially to verify that the calibration was successful and error free. As a result, the probe inspection apparatus according to the embodiment of the present invention through the above-described correction process is able to accurately contact the probe pin to the desired position in spite of the mechanical distortion or the influence of the temperature change.

이와 같은 본 발명의 실시예에 따른 자동 보정 과정을 통해 보정 데이터를 생성하는 것은 일련의 프로그램에 의해 구현될 수 있는바, 이하 설명한다.The generation of the correction data through the automatic correction process according to the embodiment of the present invention can be implemented by a series of programs, which will be described below.

도 11은 자동 보정 프로그램의 메인 화면을 도시한 도면이다.11 is a diagram illustrating a main screen of an automatic correction program.

이러한 자동 보정 프로그램의 작업순서를 기술하면 다음과 같다.The working sequence of this automatic calibration program is as follows.

(1) 보정용 셀의 첫 번째 픽셀을 메뉴얼 제어 버턴을 이용하여 찾는다.(1) Find the first pixel of the cell for correction using the manual control button.

(2) 픽셀의 기준이 될만한 영상을 찾아 비젼 화면의 정 중앙에 이동시킨다.(2) Find the image that is the standard of pixel and move it to the center of vision screen.

(3) 픽셀의 기준 영상을 등록시킨다.(3) Register the reference image of the pixel.

(4)포지션 셋 버턴(Position set button) 을 이용하여 보정용 셀의 첫 번째 기준위치를 저장한다.(First X, First Y)(4) Save the first reference position of the cell for correction by using the position set button. (First X, First Y)

(5) 보정용 셀내의 픽셀의 X, Y 피치을 입력한다.(Pitch X, Pitch Y) 피치는 글래스 설계 데이터로 제공되어 지기도 하고, 비젼의 측정 기능을 이용하여 실제로 측정할 수도 있다.(5) Input the X and Y pitches of the pixels in the correction cell. (Pitch X, Pitch Y) The pitch may be provided as glass design data, or may be actually measured using the vision measurement function.

(6) 스타트 X, Y를 입력한다. 첫 번째 픽셀부터 보정을 시작할 경우 1을 입력한다.(6) Enter start X and Y. Enter 1 to start the calibration from the first pixel.

(7) 스탑 X, Y를 입력한다. 이는 일반적으로 셀의 마지막 픽셀의 번호가 된다.(7) Enter stop X, Y. This is usually the number of the last pixel of the cell.

(8) 스텝 X, Y를 입력한다. 이는 보정격자의 크기로 설정되며 스텝이 작아 질수록 보정 정밀도는 높아지지만 보정 시간이 많이 소용된다.(8) Enter steps X and Y. This is set to the size of the correction grating. The smaller the step, the higher the correction accuracy but the more the correction time is used.

(9) 블랭크 카운터(Blank Count)를 설정한다. 이는 셀이 여러 개 존재하는 원장 글래스를 이용하여 보정할 경우 각 셀과 셀 사이의 빈 공간이 몇 개 존재하는지를 입력시키는 과정이다.(9) A blank counter is set. This is a process of inputting how many empty spaces exist between each cell when the cell glass is corrected using the ledger glass.

(10) 블랭크 피치(Blank Pitch)를 입력한다. 이는 셀이 여여러 개 존재하는 원장 글래스를 이용하여 보정할 경우 각 셀과 셀 사이의 빈 공간의 넓이는 입력시키는 과정이다.(10) Input Blank Pitch. This is a process of inputting the area of the empty space between each cell when the cell is corrected by using the ledger glass.

(11) 위의 설정된 값들을 Save 버턴을 이용하여 저장하고, Start 버턴을 이용하여 프로그램을 실행시킨다.(11) Save the above set values using the Save button, and run the program using the Start button.

또한, 상기 저장된 프로그램 정보에 의한 프로브 검사장치의 동작을 통해 보정 데이터를 생성하는 순서를 기술하면 다음과 같다.In addition, the procedure for generating the correction data through the operation of the probe inspection device by the stored program information is described as follows.

(1) 리니어 모터에 의해 움직이는 프로브 헤드와 이에 부착된 비젼 카메라는 사용자가 입력한 First X, First Y 위치로 이동한다.(1) The probe head moved by the linear motor and the vision camera attached to it move to the First X and First Y positions entered by the user.

(2) 이어서, 오토 포커싱 작업이 이뤄지고 포커싱 된 값은 Z Pos 에 저장된다.(2) Then, the auto focusing operation is performed and the focused value is stored in Z Pos.

(3) 비젼 시스템은 등록된 픽셀의 기준 영상을 검색하고 기준 위치와의 차이를 저장한다(X, Y view).(3) The vision system retrieves the reference image of the registered pixel and stores the difference from the reference position (X, Y view).

(4) 프로브 헤드와 이에 부착된 비젼 카메라는 기준점(1,1)에서 Pitch와 Step을 곱한 값에 보정 값을 더하여 다음 측정 위치로 이동한다. 이는 보정이 진행 되면서 다음 픽셀의 위치를 놓치지 않고 추적하기 위함이다.(4) The probe head and the vision camera attached to it move to the next measurement position by adding the correction value to the product of Pitch and Step at the reference point (1,1). This is to keep track of the position of the next pixel as the calibration progresses.

(5) 절대위치(X, Y Pos), 상대위치(X, Y Offset) 및 각 위치 값을 저장한다.(5) Save absolute position (X, Y Pos), relative position (X, Y Offset) and each position value.

(6) 위의 동작은 Stop X, Y 위치까지 반복하여 수행된다.(6) The above operation is repeated until Stop X, Y position.

(7) 원장 글래스 내에 여러 개의 셀이 존재할 경우 Stop X,Y 까지 위의 동작을 진행된 후 입력된 Blank Count와 Blank Pitch 만큼 점프되고, 그 이후에 다음의 셀이 자동으로 측정된다.(7) If there are several cells in the ledger glass, the above operation is performed until Stop X, Y, then jumped by the input Blank Count and Blank Pitch, after which the next cell is measured automatically.

(8) 모든 셀의 측정이 완료되면 프로브 검사장치는 자동으로 정지되며, 이때 생성된 데이터를 통해 보정 데이터가 만들어진다.(8) When the measurement of all cells is completed, the probe inspection device is automatically stopped. At this time, the calibration data is made through the generated data.

(9) 이러한 보정 데이터는 텍스트 형태의 파일로 저장된다. 실제 장비 운용에 있어 프로브 헤드를 최종 목표점에 이동시키는데 필요한 최종 보정 데이터는 상기 저장된 보정 데이터들 중 최종 목표점에 대한 상하좌우 최단거리 네 곳의 보정 데이터를 참조하여 계산된다. (9) Such correction data is stored in a file in text form. In actual equipment operation, the final correction data required for moving the probe head to the final target point is calculated by referring to the correction data of four shortest distances up, down, left and right with respect to the final target point among the stored calibration data.

그런데, 상술한 바와 같이 일단 보정하여 프로브 핀의 접촉 위치에 대한 정 밀도를 어느 정도 확보하더라도 글라스의 대형화에 따른 변수(온도, 중력에 의한 처짐 등)와 검사기구 자체의 시효변화에 의해 ㎛ 대의 절대 정밀도는 유지되기가 힘들다. 따라서, 본 발명은 프로브 핀의 접촉 위치에 대한 정밀도 향상을 위해 추가적인 셀 얼라인(Cell Align) 과정을 포함한다.However, as described above, even if the precision of the contact position of the probe pin is secured to some extent, the absolute size of the micrometer range is due to the variable according to the enlargement of the glass (temperature, deflection due to gravity) and the aging change of the inspection mechanism itself. Precision is hard to maintain. Therefore, the present invention includes an additional cell alignment process to improve the accuracy of the contact position of the probe pin.

도 12 및 도 13은 자동 셀 얼라인 과정을 설명하기 위한 도면이다.12 and 13 illustrate an automatic cell alignment process.

도 12 및 도 13을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 자동 셀 얼라인 과정은 셀 서치 영역의 중심점과 셀의 중심점을 일치시키는 과정이다. 이러한 자동으로 셀을 얼라인 시키는 과정은 상술한 오토 포커싱 한 후 자동 보정하는 과정과 동일하다. 하지만, 자동보정 하는 이유가 리니어 모터를 구동하기 위한 보정 파일을 만들기 위함인데 반하여, 자동 셀 얼라인 하는 이유는 상기 자동보정 과정을 보완하여 실제 프로브 검사장치 운전 중에 프로브 핀이 좀 더 정확한 위치에 접촉되도록 하기 위함이다.12 and 13, an automatic cell aligning process according to an embodiment of the present invention is a process of matching a center point of a cell search area with a center point of a cell. The process of automatically aligning the cells is the same as the process of auto correction after the above auto focusing. However, the reason for the automatic calibration is to make a calibration file for driving the linear motor, whereas the reason for automatic cell alignment is to compensate for the automatic calibration process, so that the probe pin contacts the more accurate position during the actual probe inspection device operation. To make it possible.

도 12에 도시된 부분은 프로브 헤드에 일측에 부착된 카메라에 의해 촬영된 다수의 셀(214)들을 포함하는 원장 글라스에 대한 화면 영역(200)으로서, 도 13과 같이 셀 서치 영역(250)의 중심점(252)과 셀의 중심점(220)간에 오차값(△X,△Y,△Z)가 발생되는 경우에는 자동보정 과정에서 설명한 바와 같이 제어부는 리니어 모터의 구동을 제어하여 셀 서치 영역(250)의 중심점(252)과 셀의 중심점(220)이 일치되게 한다.12 is a screen area 200 for a ledger glass including a plurality of cells 214 photographed by a camera attached to one side of the probe head, and the cell search area 250 of FIG. When the error values DELTA X, DELTA Y, and DELTA Z occur between the center point 252 and the center point 220 of the cell, as described in the automatic calibration process, the controller controls the driving of the linear motor to search the cell search area 250. The center point 252 of) and the center point 220 of the cell coincide with each other.

이와 같은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 검사장치 및 이를 이용한 검사방법에 대한 기술적 사상은 평판표시소자의 검사시에만 국한되는 게 아니라, 기타 측 정장비 및 자동화 장비의 검사시에도 효율적으로 사용될 수 있다.The technical idea of the probe inspection apparatus and the inspection method using the same according to an embodiment of the present invention is not limited to the inspection of the flat panel display element, it can be efficiently used in the inspection of the other side ratio and automation equipment. .

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 검사장치 및 이를 이용한 프로브 검사방법은 자동으로 프로브 핀의 위치 보정이 이뤄지게 하여 보정의 신뢰도 및 정밀도를 확보할 수 있다. As described above, the probe inspection apparatus and the probe inspection method using the same according to an embodiment of the present invention can automatically perform the position correction of the probe pin to ensure the reliability and accuracy of the correction.

아울러, 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 검사장치 및 이를 이용한 프로브 검사방법은 추가적인 셀 얼라인 작업을 통해 보정의 정밀도를 더욱 높일 수 있다. In addition, the probe inspection apparatus and the probe inspection method using the same according to an embodiment of the present invention can further increase the accuracy of correction through additional cell alignment.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (8)

화소전극들 및 패드들이 형성된 원장 글라스의 전기적 특성을 검사하기 위한 평판표시소자의 프로브 검사장치에 있어서,In the probe inspection device of a flat panel display device for inspecting the electrical characteristics of the mother glass with pixel electrodes and pads, 상기 원장 글라스의 일정 지점에 접촉되는 프로브 핀과;A probe pin contacting a certain point of the ledger glass; 상기 프로브 핀을 지지하기 위한 프로브 헤드와;A probe head for supporting the probe pin; 상기 프로브 헤드를 상기 일정 지점 상으로 이동시키기 위한 리니어 모터와;A linear motor for moving the probe head onto the predetermined point; 상기 일정 지점에서의 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 판정하여 판정한 위치 좌표값과 소정의 기준 좌표값의 오차값을 산출하기 위한 오차 측정기와;An error measuring device for calculating an error value between the position coordinate value determined by determining the position coordinate value of the probe pin at the predetermined point and a predetermined reference coordinate value; 산출된 상기 오차값만큼 상기 리니어 모터의 구동을 제어하여 상기 프로브 핀의 위치 좌표값이 상기 소정의 기준 좌표값에 일치되도록 하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 프로브 검사장치.And a control unit which controls the driving of the linear motor by the calculated error value so that the position coordinate value of the probe pin coincides with the predetermined reference coordinate value. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 오차 측정기는,The error measuring instrument, 구동 장치에 의해 하강되는 상기 프로브 헤드의 일측에 부착되어 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 연속적으로 촬상하기 위한 카메라와;A camera attached to one side of the probe head lowered by a driving device to continuously photograph position coordinate values of the probe pins; 상기 촬상 된 프레임들 중 카메라 초점이 맞을 때의 프레임의 위치 좌표값을 상기 소정의 기준 좌표값과 비교하여 오차값을 산출 및 저장하고, 상기 저장된 오차값을 제어부로 공급하기 위한 오차 측정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평 판표시소자의 프로브 검사장치.Comprising an error measuring unit for calculating and storing the error value by comparing the position coordinate value of the frame when the camera is in focus among the photographed frame with the predetermined reference coordinate value, and supplying the stored error value to the controller Probe inspection device for a flat panel display device characterized in that. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 오차 측정부는,The error measuring unit, 입력되는 영상 프레임들의 표준 편차값을 산출하며, N번째 프레임과 N-1번째 프레임의 표준 편차값을 비교하여 표준 편차값의 차이가 최대가 될 때의 프레임을 초점이 맞는 프레임으로 인식하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 프로브 검사장치.It calculates the standard deviation value of the input image frames, and compares the standard deviation value of the N-th frame and the N-1 frame to recognize the frame when the difference between the standard deviation value is the maximum focus frame A probe inspection device for flat panel display devices. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 기준 좌표값은,The reference coordinate value is, 상기 오차 측정부에 미리 입력된 상기 원장 글라스의 보정 격자별 위치 정보인 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 프로브 검사장치.Probe inspection apparatus for a flat panel display element, characterized in that the position information for each correction grid of the ledger glass input to the error measuring unit in advance. 화소전극들 및 패드들이 형성된 원장 글라스의 전기적 특성을 검사하기 위한 평판표시소자의 프로브 검사방법에 있어서,In the probe inspection method of a flat panel display device for inspecting the electrical characteristics of the mother glass with pixel electrodes and pads, 프로브 핀이 상기 원장 글라스의 일정 지점에 접촉되도록 상기 프로브 핀을 지지하는 프로브 헤드를 상기 일정 지점 상으로 이동시키는 단계와;Moving the probe head supporting the probe pin onto the predetermined point such that the probe pin contacts the predetermined point of the ledger glass; 상기 일정 지점에서의 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 측정하여 측정한 위치 좌표값과 소정의 기준좌표값의 오차값을 산출하는 단계와;Calculating an error value between the measured position coordinate value and a predetermined reference coordinate value by measuring the position coordinate value of the probe pin at the predetermined point; 산출한 상기 오차값만큼 리니어 모터의 구동을 제어하여 상기 프로브 핀의 위치 좌표값이 상기 소정의 기준좌표값에 일치되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 프로브 검사방법.And controlling the driving of the linear motor by the calculated error value so that the position coordinate value of the probe pin matches the predetermined reference coordinate value. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 오차값을 산출하는 단계는,The step of calculating the error value, 상기 프로브 핀이 공간 좌표상에서 소정의 거리만큼 이동될 때마다 그 위치에서의 프로브 핀의 위치 좌표값을 측정하고, 측정된 위치 좌표값을 상기 그 위치에 대한 소정의 기준 좌표값과 비교하여 오차값을 산출하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 프로브 검사방법.Whenever the probe pin is moved by a predetermined distance in spatial coordinates, the position coordinate value of the probe pin at the position is measured, and the measured position coordinate value is compared with the predetermined reference coordinate value for the position to obtain an error value. Probe inspection method of a flat panel display device characterized in that for calculating. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 측정하기 위해, In order to measure the position coordinate value of the probe pin, 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 연속적으로 촬상하는 단계와;Continuously imaging the position coordinate values of the probe pins; 촬상 된 다수의 프레임들 중에서 카메라 초점이 맞는 프레임을 선택하는 단계를 포함하고;Selecting a frame in which the camera is in focus from among the plurality of captured frames; 상기 선택 단계는 상기 촬상 된 다수의 프레임들의 표준 편차값을 산출하고, N번째 프레임과 N-1번째 프레임의 표준 편차값을 비교하여 표준 편차값의 차이가 최대가 될 때의 프레임을 초점이 맞는 프레임으로 선택하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 프로브 검사방법. The selecting step calculates a standard deviation value of the plurality of photographed frames, compares the standard deviation values of the Nth frame and the N-1th frame, and focuses the frame when the difference between the standard deviation values is maximum. A probe inspection method for a flat panel display device, characterized in that selected by the frame. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 프로브 핀의 위치 좌표값이 소정의 기준 좌표값에 일치되는지 여부를 추가적으로 확인하기 위한 셀 얼라인 단계를 더 포함하되;A cell alignment step for additionally checking whether the position coordinate value of the probe pin coincides with a predetermined reference coordinate value; 상기 셀 얼라인 단계는, 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 측정하고 측정한 위치 좌표값과 소정의 기준좌표값을 비교하여 오차가 발생되는지 여부를 판단하는 단계와; 상기 판단결과 오차가 발생 되지 않으면 상기 프로브 핀의 위치 좌표값을 유지하는 단계와; 상기 판단결과 오차가 발생 되면 측정한 위치 좌표값과 소정의 기준좌표값의 오차값을 산출하고, 산출한 상기 오차값 만큼 리니어 모터의 이동을 제어하여 상기 프로브 핀의 위치 좌표값과 상기 소정의 기준좌표값이 일치되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 프로브 검사방법.The cell alignment may include determining whether an error occurs by measuring a position coordinate value of the probe pin and comparing the measured position coordinate value with a predetermined reference coordinate value; Maintaining a position coordinate value of the probe pin if an error does not occur as a result of the determination; If an error occurs as a result of the determination, an error value between the measured position coordinate value and the predetermined reference coordinate value is calculated, and the position coordinate value of the probe pin and the predetermined reference are controlled by controlling the movement of the linear motor by the calculated error value. Probe inspection method for a flat panel display device comprising the step of matching the coordinate value.
KR1020060050609A 2006-06-05 2006-06-05 Probe test apparatus of flat pannel display and probe test method using it KR100820752B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060050609A KR100820752B1 (en) 2006-06-05 2006-06-05 Probe test apparatus of flat pannel display and probe test method using it

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060050609A KR100820752B1 (en) 2006-06-05 2006-06-05 Probe test apparatus of flat pannel display and probe test method using it

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070116514A true KR20070116514A (en) 2007-12-10
KR100820752B1 KR100820752B1 (en) 2008-04-10

Family

ID=39142289

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060050609A KR100820752B1 (en) 2006-06-05 2006-06-05 Probe test apparatus of flat pannel display and probe test method using it

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100820752B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101064553B1 (en) * 2009-12-23 2011-09-14 양 전자시스템 주식회사 Probe driving apparatus capable of automatically compensating location of probe pin
KR101335146B1 (en) * 2011-03-25 2013-12-02 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Probe card detecting apparatus, wafer position alignment apparatus and wafer position alignment method
KR20140031538A (en) * 2012-09-04 2014-03-13 엘지디스플레이 주식회사 Inspection apparatus and method of display panel and method of manufacturing display device using the same
CN104914375A (en) * 2015-05-11 2015-09-16 南京协辰电子科技有限公司 Error correction method of flying probe tester

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS622552A (en) * 1985-06-27 1987-01-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Inspecting unit for semiconductor and inspecting method for semiconductor
JP3206509B2 (en) * 1997-08-22 2001-09-10 日本電気株式会社 Probe device for display panel

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101064553B1 (en) * 2009-12-23 2011-09-14 양 전자시스템 주식회사 Probe driving apparatus capable of automatically compensating location of probe pin
KR101335146B1 (en) * 2011-03-25 2013-12-02 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Probe card detecting apparatus, wafer position alignment apparatus and wafer position alignment method
KR20140031538A (en) * 2012-09-04 2014-03-13 엘지디스플레이 주식회사 Inspection apparatus and method of display panel and method of manufacturing display device using the same
CN104914375A (en) * 2015-05-11 2015-09-16 南京协辰电子科技有限公司 Error correction method of flying probe tester
CN104914375B (en) * 2015-05-11 2017-08-25 南京协辰电子科技有限公司 The deviation correction method of flying probe tester

Also Published As

Publication number Publication date
KR100820752B1 (en) 2008-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100248569B1 (en) Probe system
JP4939156B2 (en) Re-registration method of registration object and recording medium recording the method
CN106782234B (en) System and method for facilitating inspection of a device under test comprising a plurality of panels
JP4997127B2 (en) Inspection method and program recording medium recording this inspection method
CN103620482B (en) Flaw detection apparatus and defect detecting method
JP5193112B2 (en) Inspection condition data generation method and inspection system for semiconductor wafer appearance inspection apparatus
US7545162B2 (en) Method and apparatus for inspecting and repairing liquid crystal display device
US11346861B2 (en) Contact accuracy assurance method, contact accuracy assurance mechanism, and inspection apparatus
TW200949234A (en) Optical inspection system, and an inspection method for inspecting objects in which the said system is used
KR100822223B1 (en) Repair Apparatus For Flat Panel Display
US7265536B2 (en) Procedure for reproduction of a calibration position of an aligned and afterwards displaced calibration substrate in a probe station
JP5464468B2 (en) Substrate inspection device and inspection jig
KR100820752B1 (en) Probe test apparatus of flat pannel display and probe test method using it
CN1670939A (en) Labeling method, labeling device and detecting device
TWI627414B (en) Probe card detection method and system
JP3173676B2 (en) Probe device
KR102150940B1 (en) Apparatus for Testing Array for Precise Control of Probe Blocks
JP2011205019A (en) Wafer chuck inclination correcting method and probe apparatus
KR102059437B1 (en) A Method for Aligning Substrate with Mask
JP5096852B2 (en) Line width measuring apparatus and inspection method of line width measuring apparatus
JPH08327658A (en) Inspection equipment for substrate
KR102536717B1 (en) Printed assembly circuit board assembly inspection device
KR102536716B1 (en) Printed assembly circuit board assembly inspection device
KR100982343B1 (en) Apparatus for measuring and calibrating error of stage in wafer prober
JP2019110259A (en) Prober

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130403

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140403

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160329

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170323

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180403

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190403

Year of fee payment: 12