KR20070107886A - Repair circuit of semiconductor memory device - Google Patents

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KR20070107886A KR1020060040428A KR20060040428A KR20070107886A KR 20070107886 A KR20070107886 A KR 20070107886A KR 1020060040428 A KR1020060040428 A KR 1020060040428A KR 20060040428 A KR20060040428 A KR 20060040428A KR 20070107886 A KR20070107886 A KR 20070107886A
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Abstract

A repair circuit of a semiconductor memory device is provided to reduce the area of a semiconductor chip by reducing an address line, by sharing a decoded address outputted from an address decoder in a fuse box. An address input circuit(110) outputs an address. A row address decoder(120) decodes an address. A sub word line driver(150) repairs a defective main word line among a number of main word lines connected to a main word line driver(140) according to the output of the row address decoder. A fuse box(130) generates a repair control signal to prevent the output of the row address decoder provided to the defective main word line according to the output of the row address decoder.

Description

반도체 메모리 장치의 리페어 회로{Repair circuit of semiconductor memory device}Repair circuit of semiconductor memory device

도 1은 종래의 어드레스 방식을 사용한 반도체 메모리 장치의 개략적인 블록도이다.1 is a schematic block diagram of a semiconductor memory device using a conventional address method.

도 2는 본 발명의 어드레스 공유 방식을 사용한 반도체 메모리 장치의 개략적인 블록도이다.2 is a schematic block diagram of a semiconductor memory device using the address sharing scheme of the present invention.

도 3은 도 2의 퓨즈박스를 개략적으로 나타낸 블록도 이다.3 is a block diagram schematically illustrating the fuse box of FIG. 2.

도 4는 도 3의 어드레스 비교회로부의 상세한 블록도 이다.4 is a detailed block diagram of the address comparison circuit of FIG. 3.

도 5는 도 3의 인에이블 퓨즈회로의 상세한 회로도이다.FIG. 5 is a detailed circuit diagram of the enable fuse circuit of FIG. 3.

도 6은 도 4의 어드레스 비교회로의 상세한 회로도이다.FIG. 6 is a detailed circuit diagram of the address comparison circuit of FIG. 4.

도 7은 도 3의 퓨즈출력회로의 상세한 회로도이다.FIG. 7 is a detailed circuit diagram of the fuse output circuit of FIG. 3.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

310 : 인에이블 퓨즈회로 320 : 퓨즈 출력회로310: enable fuse circuit 320: fuse output circuit

CPAD : 어드레스 비교회로부 CP1~CP8 : 어드레스 비교회로CPAD: Address comparison circuit CP1 to CP8: Address comparison circuit

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 메모리 장치의 리페어(repair) 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor memory devices, and more particularly, to a repair circuit of a semiconductor memory device.

현재 DRAM 공정이 점차 나노 이하로 고집적화되어 감에 따라 셀블록(cell block)의 사이즈도 줄어들게 되었다. 하지만, 동적 퓨즈(dynamic fuse)를 사용하면 같은 리페어(repair) 효율을 갖는 리페어 회로를 제작할 시, 퓨즈의 개수는 줄어들지 않고 셀블록만 줄어들게 된다. 따라서, 퓨즈로 인하여 칩(chip) 사이즈가 증가할 수 있다. 이를 해결하고자, 정적 퓨즈(static fuse)방식을 사용하게 되었다. 정적 퓨즈는 디코딩(decoding)되지 않은 어드레스(address)를 이용하여 퓨즈 개수를 거의 반으로 줄일 수 있다. 그러나, 정적 퓨즈방식은 디코딩되지 않은 어드레스를 사용해야 하므로 별도의 드라이버를 구동해야 한다. 별도의 드라이버를 구동하면 어드레스 라인이 어드레스 개수만큼 더 필요하기 때문에 불필요한 어드레스 라인으로 인하여 칩 사이즈가 커지게 된다.As the DRAM process is increasingly integrated to sub-nano, the size of cell blocks has also decreased. However, when a dynamic fuse is used, when a repair circuit having the same repair efficiency is manufactured, the number of fuses is not reduced but only a cell block. Therefore, the chip size may increase due to the fuse. To solve this problem, a static fuse method has been used. Static fuses can use an undecoded address to reduce the number of fuses in approximately half. However, the static fuse method requires the use of an undecoded address, so a separate driver must be driven. When a separate driver is driven, an additional address line is needed as many as the number of addresses, thereby increasing the chip size due to unnecessary address lines.

도 1은 종래의 어드레스 방식을 사용한 반도체 메모리 장치의 개략적인 블록도이다. 어드레스 입력회로(11), 로우 어드레스 디코더(12), 퓨즈박스(13), 메인 워드라인 드라이버(14), 및 서브 워드라인 드라이버(15)를 포함한다. 어드레스 입력회로(11)는 디코딩되지 않은 어드레스(ADD<0:7>)를 로우 어드레스 디코더(12)와 퓨즈박스(13)에 인가시킨다. 이때, 디코딩되지 않은 어드레스 라인이 차지하는 면적으로 인하여 칩의 면적이 커지게 된다.1 is a schematic block diagram of a semiconductor memory device using a conventional address method. An address input circuit 11, a row address decoder 12, a fuse box 13, a main word line driver 14, and a sub word line driver 15 are included. The address input circuit 11 applies the undecoded addresses ADD <0: 7> to the row address decoder 12 and the fuse box 13. At this time, the area of the chip becomes large due to the area occupied by the undecoded address lines.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 어드레스 디코더로부터 출 력되는 디코딩된 어드레스를 퓨즈박스에서 공유하여 사용함으로써 어드레스 라인을 줄여 반도체 칩의 면적을 줄일 수 있는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로를 제공하는 데 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a repair circuit of a semiconductor memory device which can reduce the area of a semiconductor chip by reducing the address line by sharing the decoded address output from the address decoder in the fuse box. .

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 장치의 리페어 회로는, 어드레스를 출력하는 어드레스 입력회로, 어드레스를 디코딩하기 위한 로우 어드레스 디코더, 메인 워드라인 드라이버에 연결된 다수의 메인 워드라인 중 결함이 발생된 메인 워드라인을 상기 로우 어드레스 디코더의 출력에 따라 리페어하기 위한 서브 워드라인 드라이버, 및 상기 로우 어드레스 디코더의 출력에 따라 상기 결함이 발생된 메인 워드라인에 제공되는 로우 어드레스 디코더의 출력을 차단하기 위한 리페어 제어신호를 발생하는 퓨즈박스를 포함하는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로를 포함한다.In the repair circuit of the semiconductor device according to the present invention for achieving the above technical problem, a defect among a plurality of main word lines connected to an address input circuit for outputting an address, a row address decoder for decoding an address, and a main word line driver A sub word line driver for repairing the generated main word line according to the output of the row address decoder, and blocking an output of the row address decoder provided to the main word line where the defect occurs in accordance with the output of the row address decoder It includes a repair circuit of a semiconductor memory device including a fuse box for generating a repair control signal for.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art. It is provided for complete information.

도 2는 본 발명의 어드레스 공유 방식을 사용한 반도체 메모리 장치의 개략적인 블록도이다. 반도체 메모리 장치는 어드레스 입력회로(110), 로우 어드레스 디코더(120), 퓨즈박스(130), 메인 워드라인 드라이버(140), 및 서브 워드라인 드 라이버(150)를 포함한다. 어드레스 입력회로(110; 어드레스 버퍼 및 어드레스 래치)는 입력신호(IPSG)를 수신받고 디코딩되지 않은 복수의 어드레스(ADD<0:7>)를 출력한다. 로우 어드레스 디코더(120)는 디코딩되지 않은 어드레스(ADD<0:7>)를 인가받아 디코딩하여 디코딩 된 어드레스(ADD0<0:1>~ADD7<0:1>)를 출력한다. 이때, 디코딩된 어드레스(ADD0<0:1>~ADD7<0:1>)는 퓨즈박스(130), 메인 워드라인 드라이버(140), 및 서브 워드라인 드라이버(150)에 인가된다. 퓨즈박스(130)는 로우 어드레스 디코더(120)의 출력에 따라 결함이 발생된 메인 워드라인에 제공되는 로우 어드레스 디코더의 출력을 차단하기 위한 리페어 제어신호(HITB)를 발생한다. 메인 워드라인 드라이버(140)에 연결된 다수의 메인 워드라인 중 결함이 발생된 메인 워드라인에 제공되는 디코딩된 어드레스는 리페어 제어신호(HITB)에 응답하여 차단된다. 서브 워드라인 드라이버(150)는 메인 워드라인 드라이버(140)에 연결된 다수의 메인 워드라인중 결함이 발생된 메인 워드라인을 로우 어드레스 디코더(120)의 출력에 따라 리페어한다. 2 is a schematic block diagram of a semiconductor memory device using the address sharing scheme of the present invention. The semiconductor memory device includes an address input circuit 110, a row address decoder 120, a fuse box 130, a main word line driver 140, and a sub word line driver 150. The address input circuit 110 (address buffer and address latch) receives the input signal IPSG and outputs a plurality of addresses ADD <0: 7> which are not decoded. The row address decoder 120 receives and decodes the undecoded addresses ADD <0: 7> and outputs the decoded addresses ADD0 <0: 1> to ADD7 <0: 1>. In this case, the decoded addresses ADD0 <0: 1> to ADD7 <0: 1> are applied to the fuse box 130, the main word line driver 140, and the sub word line driver 150. The fuse box 130 generates a repair control signal HITB to block the output of the row address decoder provided to the defective main word line according to the output of the row address decoder 120. The decoded address provided to the defective main word line among the plurality of main word lines connected to the main word line driver 140 is blocked in response to the repair control signal HITB. The sub word line driver 150 repairs a main word line in which a defect occurs among a plurality of main word lines connected to the main word line driver 140 according to the output of the row address decoder 120.

도 3은 도 2의 퓨즈박스를 개략적으로 나타낸 블록도 이다. 퓨즈박스(130)는 인에이블 퓨즈회로(310), 어드레스 비교 회로부(CPAD), 및 퓨즈 출력회로(320)를 포함한다. 인에이블 퓨즈회로(310)는 퓨즈셋 신호(FUSET)를 인가받고 퓨즈 인에이블 신호(FUEN)와 퓨즈 전원신호(FUPW)를 출력한다. 어드레스 비교회로부(CPAD)는 퓨즈 전원신호(FUPW), 퓨즈셋 신호(FUSET), 및 디코딩된 어드레스(ADD0<0:1>~ADD7<0:1>)에 응답하여 복수의 비교리페어 신호들(HIT1~HIT8)을 출력한다. 또한, 어드레스 비교 회로부(CPAD)는 복수의 어드레스 비교회로들(CP1~CP8) 을 포함한다. 퓨즈 출력회로(320)는 퓨즈 인에이블 신호(FUEN)와 복수의 비교리페어 신호들(HIT1~HIT8)에 응답하여 리페어 제어신호(HITB)를 출력한다. 3 is a block diagram schematically illustrating the fuse box of FIG. 2. The fuse box 130 includes an enable fuse circuit 310, an address comparison circuit unit CPAD, and a fuse output circuit 320. The enable fuse circuit 310 receives a fuse set signal FUSET and outputs a fuse enable signal FUEN and a fuse power signal FUPW. The address comparison circuit unit CPAD may include a plurality of comparison repair signals in response to the fuse power signal FUPW, the fuse set signal FUSET, and the decoded addresses ADD0 <0: 1> to ADD7 <0: 1>. Outputs HIT1 to HIT8). In addition, the address comparison circuit unit CPAD includes a plurality of address comparison circuits CP1 to CP8. The fuse output circuit 320 outputs the repair control signal HITB in response to the fuse enable signal FUEN and the plurality of comparison repair signals HIT1 to HIT8.

도 4는 도 3의 어드레스 비교회로부의 상세한 블록도 이다. 어드레스 비교회로부(CPAD)는 복수의 어드레스 비교회로들(CP1~CP8)을 포함한다. 본 발명에서는 실시예로 8개의 어드레스 비교회로들(CP1~CP8)을 제시하였다. 어드레스 비교회로(CP)의 개수는 인가되는 복수의 디코딩된 어드레스(ADD0<0:1>~ADD7<0:1>)의 개수만큼 필요하다. 어드레스 비교회로들(CP1~CP8) 각각은 퓨즈전원(FUPW)과 퓨즈셋 신호(FUSET)를 인가받고, 복수의 어드레스들(ADD0<0:1>~ADD8<0:1>)을 각각 인가받아 비교리페어 신호들(HIT1~HIT8)을 출력한다.4 is a detailed block diagram of the address comparison circuit of FIG. 3. The address comparison circuit unit CPAD includes a plurality of address comparison circuits CP1 to CP8. In the present invention, eight address comparison circuits CP1 to CP8 are presented as an example. The number of address comparison circuits CP is required as many as the number of decoded addresses ADD0 <0: 1> to ADD7 <0: 1> applied. Each of the address comparison circuits CP1 to CP8 receives a fuse power supply FUPW and a fuse set signal FUSET, and receives a plurality of addresses ADD0 <0: 1> to ADD8 <0: 1>, respectively. The comparison repair signals HIT1 to HIT8 are output.

도 5는 도 3의 인에이블 퓨즈회로의 상세한 회로도이다. 인에이블 퓨즈회로(310)는 입력버퍼(510), 래치회로(520), 및 출력버퍼(530)를 포함한다. 입력버퍼(510)는 PMOS 트랜지스터(PT01), 퓨즈(512), 및 NMOS 트랜지스터(NT01)를 포함한다. PMOS 트랜지스터(PT01)는 퓨즈셋 신호(FUSET)에 응답하여 전원전압(Vdd)을 제 1 노드(N1)에 전달한다. NMOS 트랜지스터(NT01)는 퓨즈(512)를 통해 제 2 노드(N2)에 인가된 전위를 접지전압(Vss)으로 전달한다. 래치회로(520)는 제 2 노드(N2)에 인가된 신호(FI)를 래치하고, 출력버퍼(530)를 거쳐 퓨즈 인에이블 신호(FUEN)를 출력한다.FIG. 5 is a detailed circuit diagram of the enable fuse circuit of FIG. 3. The enable fuse circuit 310 includes an input buffer 510, a latch circuit 520, and an output buffer 530. The input buffer 510 includes a PMOS transistor PT01, a fuse 512, and an NMOS transistor NT01. The PMOS transistor PT01 transfers the power supply voltage Vdd to the first node N1 in response to the fuseset signal FUSET. The NMOS transistor NT01 transfers a potential applied to the second node N2 through the fuse 512 to the ground voltage Vss. The latch circuit 520 latches the signal FI applied to the second node N2 and outputs a fuse enable signal FUEN through the output buffer 530.

도 6은 도 4의 어드레스 비교회로의 상세한 회로도이다. 복수의 어드레스 비교회로들(CP1~CP8)의 구성 및 동작은 서로 유사하므로, 도 6에서는 제 1 어드레스 비교회로(CP1)를 중심으로 설명하기로 한다. 제 1 어드레스 비교회로(CP1)는 전원 공급 회로(610), 입력 드라이버(620), 출력 선택회로(630), 래치부(640), 및 출력 드라이버(650)를 포함한다. 전원공급 회로(610)는 퓨즈(611)와 NMOS 트랜지스터(NT03)를 포함한다. 퓨즈(611)는 퓨즈전원(FUPW)을 노드(N4)에 전달하거나 차단한다. NMOS 트랜지스터(NT03)는 퓨즈셋 신호(FUSET)에 응답하여 노드(N4)를 리셋하여 로직 로우 상태의 내부신호(VI)를 출력한다. 입력 드라이버(620)는 내부신호(VI)의 레벨에 따라 동작하는 제 1 전달 게이트(P1), 제 2 전달 게이트(P2) 및 낸드 게이트(NG1)를 포함한다. 제 1 전달 게이트(P1)는 내부신호(VI)의 제 1 로직레벨에 의해 턴 온 되어 어드레스(ADD0)가 내부입력 어드레스(IAD)에 인가된다. 반대로, 내부신호(VI)가 제 2 로직레벨 상태일 때는 제 2 전달 게이트(P2)가 턴 온 되어 어드레스바(ADD0b)가 내부입력 어드레스(IAD)에 인가된다. 낸드 게이트(NG1)는 내부신호(VI)와 내부입력 어드레스(IAD)에 응답하여 출력 전달신호(ADOUT)를 출력한다. 출력 선택회로(630)는 오아 게이트(OG), 제 2 선택부(632), 및 제 1 선택부(631)를 포함한다. 오아 게이트(OG)는 어드레스(ADD0)와 내부신호(VI)에 응답하여 내부 스위치 신호(NSG)를 출력한다. 제 2 선택부(632)는 복수의 PMOS 트랜지스터들(PT02~PT04)과 복수의 NMOS 트랜지스터들(NT04~NT06)을 포함한다. 제 1 PMOS 트랜지스터(PT02)는 어드레스바(ADD0b)에 응답하여 전원전압(Vdd)을 제 1 노드(G1)에 인가한다. 제 2 PMOS 트랜지스터(PT03)는 내부 스위치 신호바(NSGb)에 응답하여 제 1 노드(G1)와 제 2 노드(G2)를 연결한다. 제 3 PMOS 트래지스터(PT04)는 내부신호(VI)에 응답하여 제 2 노드(G2)와 제 3 노드(G3)를 연결한다. 제 1 NMOS 트랜지스터(NT04)는 내부신호바(VIb)에 응답하여 제 3 노드(G3)와 제 4 노드(G4)를 연결 한다. 제 2 NMOS 트랜지스터(NT05)는 내부 스위치 신호(NSG)에 응답하여 제 4 노드(G4)와 제 5 노드(G5)를 연결한다. 제 3 NMOS 트랜지스터(NT06)는 어드레스(ADD0)에 응답하여 제 5 노드(G5)와 접지전압(Vss)을 연결한다. 제 1 선택부(631)는 제 3 전달 게이트(P3)와 인버터들(IV6, IV7)을 포함한다. 제 3 전달 게이트(P3)는 내부 스위치 신호(NSG)에 응답하여 턴 온 또는 오프 되어 내부신호바(VIb)를 래치부(640)로 전달한다. 래치부(640)는 제 1 선택부(631)의 출력신호 또는 제 2 선택부(632)의 출력신호를 래치하고 출력제어 신호(OCS)를 출력한다. 출력 드라이버(650)는 제 4 전달 게이트(P4), 제 5 전달 게이트(P5), 및 인버터(IV12)를 포함한다. 제 4 전달 게이트(P4)와 제 5 전달 게이트(P5)는 출력제어 신호(OCS) 또는 래치부(640)에 래치되는 신호에 응답하여 동작하여 출력 전달신호(ADOUT)를 노드(N11)에 전달하여 제 1 리페어 신호(HIT1)를 출력한다. FIG. 6 is a detailed circuit diagram of the address comparison circuit of FIG. 4. Since the configuration and operation of the plurality of address comparison circuits CP1 to CP8 are similar to each other, a description will be given with reference to FIG. The first address comparison circuit CP1 includes a power supply circuit 610, an input driver 620, an output selection circuit 630, a latch unit 640, and an output driver 650. The power supply circuit 610 includes a fuse 611 and an NMOS transistor NT03. The fuse 611 transfers or cuts off the fuse power FUPW to the node N4. The NMOS transistor NT03 resets the node N4 in response to the fuse set signal FUSET to output the internal signal VI in a logic low state. The input driver 620 includes a first transfer gate P1, a second transfer gate P2, and a NAND gate NG1 that operate according to the level of the internal signal VI. The first transfer gate P1 is turned on by the first logic level of the internal signal VI so that the address ADD0 is applied to the internal input address IAD. On the contrary, when the internal signal VI is in the second logic level state, the second transfer gate P2 is turned on and the address bar ADD0b is applied to the internal input address IAD. The NAND gate NG1 outputs the output transfer signal ADOUT in response to the internal signal VI and the internal input address IAD. The output selection circuit 630 includes an OR gate, a second selector 632, and a first selector 631. The OR gate OG outputs the internal switch signal NSG in response to the address ADD0 and the internal signal VI. The second selector 632 includes a plurality of PMOS transistors PT02 to PT04 and a plurality of NMOS transistors NT04 to NT06. The first PMOS transistor PT02 applies the power supply voltage Vdd to the first node G1 in response to the address bar ADD0b. The second PMOS transistor PT03 connects the first node G1 and the second node G2 in response to the internal switch signal bar NSGb. The third PMOS transistor PT04 connects the second node G2 and the third node G3 in response to the internal signal VI. The first NMOS transistor NT04 connects the third node G3 and the fourth node G4 in response to the internal signal bar VIb. The second NMOS transistor NT05 connects the fourth node G4 and the fifth node G5 in response to the internal switch signal NSG. The third NMOS transistor NT06 connects the fifth node G5 and the ground voltage Vss in response to the address ADD0. The first selector 631 includes a third transfer gate P3 and inverters IV6 and IV7. The third transfer gate P3 is turned on or off in response to the internal switch signal NSG to transfer the internal signal bar VIb to the latch unit 640. The latch unit 640 latches the output signal of the first selector 631 or the output signal of the second selector 632 and outputs an output control signal OCS. The output driver 650 includes a fourth transfer gate P4, a fifth transfer gate P5, and an inverter IV12. The fourth transfer gate P4 and the fifth transfer gate P5 operate in response to the output control signal OCS or the signal latched by the latch unit 640 to transfer the output transfer signal ADOUT to the node N11. To output the first repair signal HIT1.

어드레스 비교회로(CP1)의 동작을 퓨즈(611) 상태와 어드레스(ADD0) 레벨에따라 상세히 설명하면 다음과 같다.The operation of the address comparison circuit CP1 will be described in detail according to the fuse 611 state and the address ADD0 level as follows.

(a) 퓨즈(611)가 절단되고, 어드레스(ADD0)가 로직 하이일 때;(a) when fuse 611 is blown and address ADD0 is logic high;

전원 공급회로(610)의 퓨즈(611)가 절단되어 있으므로 퓨즈셋 신호(FUSET)가 NMOS 트랜지스터(NT03)에 인에이블 되면 제 4 노드(N4)의 전위는 로직 로우 상태가 된다. 그러면 로직 로우 상태인 내부신호(VI)는 입력 드라이버(620)와 출력 선택회로(630)에 각각 인가된다. 입력 드라이버(620)의 제 1 전달 게이트(P1)는 내부신호(VI)에 의해 턴 온 되어 어드레스(ADD0)를 제 5 노드(N5)로 전달한다. 제 1 낸드 게이트(NG1)는 로직 하이 상태의 내부입력 어드레스(IAD)와 로직 로우 상태의 내부 신호(VI)에 응답하여 로직 하이 상태의 출력 전달신호(ADOUT)를 출력한다. 출력 선택회로(630)는 출력 전달신호(ADOUT)의 출력 레벨을 제어하는 제 1 선택신호(SEL1)또는 제 2 선택신호(SEL2)를 출력한다. 출력 선택회로(630)의 오아 게이트(OG)는 내부신호(VI)와 어드레스(ADD0)에 응답하여 로직 로우 상태의 내부 스위치신호(NSG)를 출력한다. 제 1 선택부(631)는 로직 로우 상태의 내부신호(VI)와 로직 로우 상태의 내부 스위치신호(NSG)에 응답하여 로직 하이 상태의 제 1 선택신호(SEL1)를 출력한다. 이때, 제 2 선택부(632)는 내부 스위치신호(NSG)에 응답하여 턴 오프 되는 트랜지스터들(PT03, NT05)이 있으므로 제 2 선택신호(SEL2)를 발생하지 않는다. 래치부(640)는 로직 하이 상태의 제 1 선택신호(SEL1)를 래치하고, 출력드라이버(650)의 제 5 전달 게이트(P5)는 출력 제어신호(OCS)에 응답하여 턴 온 된다. 따라서, 출력드라이버(650)는 로직 로우 상태의 제 1 리페어 신호(HIT1)를 출력한다.Since the fuse 611 of the power supply circuit 610 is cut off, when the fuse set signal FUSET is enabled to the NMOS transistor NT03, the potential of the fourth node N4 is in a logic low state. The internal signal VI, which is in a logic low state, is then applied to the input driver 620 and the output selection circuit 630, respectively. The first transfer gate P1 of the input driver 620 is turned on by the internal signal VI to transfer the address ADD0 to the fifth node N5. The first NAND gate NG1 outputs an output transfer signal ADOUT in a logic high state in response to an internal input address IAD in a logic high state and an internal signal VI in a logic low state. The output selection circuit 630 outputs the first selection signal SEL1 or the second selection signal SEL2 for controlling the output level of the output transmission signal ADOUT. The OR gate OG of the output selection circuit 630 outputs the internal switch signal NSG in a logic low state in response to the internal signal VI and the address ADD0. The first selector 631 outputs the first select signal SEL1 in the logic high state in response to the internal signal VI in the logic low state and the internal switch signal NSG in the logic low state. In this case, the second selector 632 does not generate the second select signal SEL2 since the transistors PT03 and NT05 are turned off in response to the internal switch signal NSG. The latch unit 640 latches the first selection signal SEL1 in a logic high state, and the fifth transfer gate P5 of the output driver 650 is turned on in response to the output control signal OCS. Therefore, the output driver 650 outputs the first repair signal HIT1 in a logic low state.

(b) 퓨즈(611)가 절단되고, 어드레스(ADD0)가 로직 로우일 때;(b) when fuse 611 is blown and address ADD0 is logic low;

전원 공급회로(610)의 퓨즈(611)가 절단되어 있으므로 퓨즈셋 신호(FUSET)가 NMOS 트랜지스터(NT03)에 인에이블 되면 제 4 노드(N4)의 전위는 로직 로우 상태가 된다. 그러면 로직 로우 상태인 내부신호(VI)는 입력 드라이버(620)와 출력 선택회로(630)에 각각 인가된다. 입력 드라이버(620)의 제 1 전달 게이트(P1)는 내부신호(VI)에 의해 턴 온 되어 어드레스(ADD0)를 제 5 노드(N5)로 전달한다. 제 1 낸드 게이트(NG1)는 로직 로우 상태의 내부입력 어드레스(IAD)와 로직 로우 상태의 내부신호(VI)에 응답하여 로직 하이 상태의 출력 전달신호(ADOUT)를 출력한다. 출력 선 택회로(630)의 오아 게이트(OG)는 내부신호(VI)와 어드레스(ADD0)에 응답하여 로직 하이 상태의 내부 스위치신호(NSG)를 출력한다. 제 1 선택부(631)의 제 3 전달 게이트(P3)는 로직 하이 상태의 내부 스위치신호(NSG)에 응답하여 턴 오프되어 제 1 선택신호(SEL1)를 발생하지 않는다. 제 2 선택부(632)의 제 2 PMOS 트랜지스터(PT02)는 어드레스바(ADD0b)에 응답하여 턴 오프 된다. 제 4 내지 제 6 NMOS 트랜지스터(NT04~NT06)는 내부 스위치신호(NSG), 내부신호(VI), 및 어드레스(ADD0)에 응답하여 모두 턴 온 되어 로직 로우 상태의 제 2 선택신호(SEL2)를 출력한다. 래치부(640)는 로직 로우 상태의 제 2 선택신호(SEL2)를 래치하고, 출력드라이버50)의 제 4 전달 게이트(P4)는 출력 제어신호(OCS)에 응답하여 턴 온 된다. 따라서, 출력드라이버(650)는 로직 하이 상태의 제 1 리페어 신호(HIT1)를 출력한다.Since the fuse 611 of the power supply circuit 610 is cut off, when the fuse set signal FUSET is enabled to the NMOS transistor NT03, the potential of the fourth node N4 is in a logic low state. The internal signal VI, which is in a logic low state, is then applied to the input driver 620 and the output selection circuit 630, respectively. The first transfer gate P1 of the input driver 620 is turned on by the internal signal VI to transfer the address ADD0 to the fifth node N5. The first NAND gate NG1 outputs an output transfer signal ADOUT in a logic high state in response to an internal input address IAD in a logic low state and an internal signal VI in a logic low state. The OR gate OG of the output selection circuit 630 outputs the internal switch signal NSG in a logic high state in response to the internal signal VI and the address ADD0. The third transfer gate P3 of the first selector 631 is turned off in response to the internal switch signal NSG in the logic high state so as not to generate the first select signal SEL1. The second PMOS transistor PT02 of the second selector 632 is turned off in response to the address bar ADD0b. The fourth to sixth NMOS transistors NT04 to NT06 are all turned on in response to the internal switch signal NSG, the internal signal VI, and the address ADD0 to receive the second selection signal SEL2 in a logic low state. Output The latch unit 640 latches the second selection signal SEL2 in a logic low state, and the fourth transfer gate P4 of the output driver 50 is turned on in response to the output control signal OCS. Therefore, the output driver 650 outputs the first repair signal HIT1 in a logic high state.

(c) 퓨즈(611)가 연결되고, 어드레스(ADD0)가 로직 하이일 때;(c) when fuse 611 is connected and address ADD0 is logic high;

전원 공급회로(610)의 퓨즈(611)가 연결되어 있으므로 제 4 노드(N4)의 전위는 로직 하이 상태가 된다. 그러면 로직 하이 상태인 내부신호(VI)는 입력 드라이버(620)와 출력 선택회로(630)에 각각 인가된다. 입력 드라이버(620)의 제 2 전달 게이트(P2)는 내부신호(VI)에 의해 턴 온 되어 어드레스바(ADD0)를 제 5 노드(N5)로 전달한다. 제 1 낸드 게이트(NG1)는 로직 로우 상태의 내부입력 어드레스(IAD)와 로직 하이 상태의 내부신호(VI)에 응답하여 로직 하이 상태의 출력 전달신호(ADOUT)를 출력한다. 출력 선택회로(630)의 오아 게이트(OG)는 내부신호(VI)와 어드레스(ADD0)에 응답하여 로직 로우 상태의 내부 스위치신호(NSG)를 출력한다. 제 1 선택부(631)의 제 3 전달 게이트(P3)는 로직 로우 상태의 내부 스위치신 호(NSG)에 응답하여 턴 온 되어 로직 로우 상태의 제 1 선택신호(SEL1)를 출력한다. 제 2 선택부(632)의 제 2 PMOS 트랜지스터(PT02)는 내부 스위치신호(NSG), 내부신호(VI), 및 어드레스(ADD0)에 응답하여 턴 오프 되므로 제 2 선택신호(SEL2)를 발생하지 않는다. 래치부(640)는 로직 로우 상태의 제 1 선택신호(SEL1)를 래치하고, 출력드라이버(650)의 제 4 전달 게이트(P4)는 출력 제어신호(OCS)에 응답하여 턴 온 된다. 따라서, 출력드라이버(650)는 로직 하이 상태의 제 1 리페어 신호(HIT1)를 출력한다.Since the fuse 611 of the power supply circuit 610 is connected, the potential of the fourth node N4 becomes a logic high state. The internal signal VI, which is in a logic high state, is then applied to the input driver 620 and the output selection circuit 630, respectively. The second transfer gate P2 of the input driver 620 is turned on by the internal signal VI to transfer the address bar ADD0 to the fifth node N5. The first NAND gate NG1 outputs an output transfer signal ADOUT in a logic high state in response to an internal input address IAD in a logic low state and an internal signal VI in a logic high state. The OR gate OG of the output selection circuit 630 outputs the internal switch signal NSG in a logic low state in response to the internal signal VI and the address ADD0. The third transfer gate P3 of the first selector 631 is turned on in response to the internal switch signal NSG in the logic low state to output the first select signal SEL1 in the logic low state. Since the second PMOS transistor PT02 of the second selector 632 is turned off in response to the internal switch signal NSG, the internal signal VI, and the address ADD0, the second select signal SEL2 is not generated. Do not. The latch unit 640 latches the first selection signal SEL1 in a logic low state, and the fourth transfer gate P4 of the output driver 650 is turned on in response to the output control signal OCS. Therefore, the output driver 650 outputs the first repair signal HIT1 in a logic high state.

(d) 퓨즈(611)가 연결되고, 어드레스(ADD0)가 로직 로우일 때;(d) when fuse 611 is connected and address ADD0 is logic low;

전원 공급회로(610)의 퓨즈(611)가 연결되어 있으므로 제 4 노드(N4)의 전위는 로직 하이 상태가 된다. 그러면 로직 하이 상태인 내부신호(VI)는 입력 드라이버(620)와 출력 선택회로(630)에 각각 인가된다. 입력 드라이버(620)의 제 2 전달 게이트(P2)는 내부신호(VI)에 의해 턴 온 되어 어드레스바(ADD0)를 제 5 노드(N5)로 전달한다. 제 1 낸드 게이트(NG1)는 로직 하이 상태의 내부입력 어드레스(IAD)와 로직 하이 상태의 내부신호(VI)에 응답하여 로직 로우 상태의 출력 전달신호(ADOUT)를 출력한다. 출력 선택회로(630)의 오아 게이트(OG)는 내부신호(VI)와 어드레스(ADD0)에 응답하여 로직 로우 상태의 내부 스위치신호(NSG)를 출력한다. 제 1 선택부(631)의 제 3 전달 게이트(P3)는 로직 로우 상태의 내부 스위치신호(NSG)에 응답하여 턴 온 되어 로직 로우 상태의 제 1 선택신호(SEL1)를 출력한다. 제 2 선택부(632)의 제 2 내지 제 4 PMOS 트랜지스터(PT02~PT04)와 제 4 내지 네 5 NMOS 트랜지스터(NT04~NT05)는 내부 스위치신호(NSG), 내부신호(VI), 및 어드 레스바(ADD0b)에 응답하여 턴 오프 되므로 제 2 선택신호(SEL2)를 발생하지 않는다. 래치부(640)는 로직 로우 상태의 제 1 선택신호(SEL1)를 래치하고, 출력드라이버(650)의 제 4 전달 게이트(P4)는 출력 제어신호(OCS)에 응답하여 턴 온 된다. 따라서, 출력드라이버(650)는 로직 로우 상태의 제 1 리페어 신호(HIT1)를 출력한다.Since the fuse 611 of the power supply circuit 610 is connected, the potential of the fourth node N4 becomes a logic high state. The internal signal VI, which is in a logic high state, is then applied to the input driver 620 and the output selection circuit 630, respectively. The second transfer gate P2 of the input driver 620 is turned on by the internal signal VI to transfer the address bar ADD0 to the fifth node N5. The first NAND gate NG1 outputs an output transfer signal ADOUT in a logic low state in response to an internal input address IAD in a logic high state and an internal signal VI in a logic high state. The OR gate OG of the output selection circuit 630 outputs the internal switch signal NSG in a logic low state in response to the internal signal VI and the address ADD0. The third transfer gate P3 of the first selector 631 is turned on in response to the internal switch signal NSG in the logic low state to output the first select signal SEL1 in the logic low state. The second to fourth PMOS transistors PT02 to PT04 and the fourth to fourth NMOS transistors NT04 to NT05 of the second selector 632 have an internal switch signal NSG, an internal signal VI, and an address. Since it is turned off in response to the bar ADD0b, the second selection signal SEL2 is not generated. The latch unit 640 latches the first selection signal SEL1 in a logic low state, and the fourth transfer gate P4 of the output driver 650 is turned on in response to the output control signal OCS. Therefore, the output driver 650 outputs the first repair signal HIT1 in a logic low state.

도 7은 도 3의 퓨즈출력회로의 상세한 회로도이다. 도 7을 참조하면, 로직 제어부(710)와 로직 출력부(720)를 포함한다. 로직 제어부(710)는 복수의 낸드 게이트들(NA1~NA3)을 포함한다. 제 1 낸드 게이트(NA1)는 제 1 내지 제 3 리페어 신호(HIT1~HIT3)에 응답하여 제 1 로직신호(LS1)를 출력한다. 제 2 낸드 게이트(NA2)는 제 4 내지 제 6 리페어 신호(HIT4~HIT6)에 응답하여 제 2 로직신호(LS2)를 출력한다. 제 3 낸드 게이트(NA3)는 제 7 내지 제 8 리페어 신호(HIT7~HIT8)와 퓨즈인에이블 신호(FUEN)에 응답하여 제 3 로직신호(LS3)를 출력한다. 로직 출력부(720)는 제 1 내지 제 3 로직신호(LS1~LS3)에 응답하여 리페어 제어신호(HITB)를 출력한다. 따라서, 퓨즈 출력회로(320)는 어드레스 비교회로(CP)로부터 모두 로직 하이 상태의 리페어 신호(HIT1~HIT8)를 인가받으면 로직 로우 상태의 리페어 제어신호(HITB)를 출력하게 되어 이후의 메인 워드라인 드라이버(140)와 서브 워드라인 드라이버(150)에서 리던던시(redundancy) 워드라인이 선택된다. FIG. 7 is a detailed circuit diagram of the fuse output circuit of FIG. 3. Referring to FIG. 7, a logic controller 710 and a logic output unit 720 are included. The logic controller 710 includes a plurality of NAND gates NA1 to NA3. The first NAND gate NA1 outputs the first logic signal LS1 in response to the first to third repair signals HIT1 to HIT3. The second NAND gate NA2 outputs the second logic signal LS2 in response to the fourth to sixth repair signals HIT4 to HIT6. The third NAND gate NA3 outputs the third logic signal LS3 in response to the seventh to eighth repair signals HIT7 to HIT8 and the fuse enable signal FUEN. The logic output unit 720 outputs the repair control signal HITB in response to the first to third logic signals LS1 to LS3. Accordingly, when the fuse output circuit 320 receives the logic high state repair signals HIT1 to HIT8 from the address comparison circuit CP, the fuse output circuit 320 outputs the repair control signal HITB in the logic low state, and thus the main word line. The redundancy word line is selected by the driver 140 and the sub word line driver 150.

상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명은 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention described above has been described in detail in a preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, the present invention will be understood by those skilled in the art that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 리페어 회로는, 어드레스 디코더로부터 출력되는 디코딩된 어드레스를 퓨즈박스에서 공유하여 사용함으로써 어드레스 라인을 줄여 반도체 칩의 면적을 줄여 반도체 메모리 장치의 면적을 줄일 수 있다. As described above, the repair circuit of the semiconductor memory device according to the present invention reduces the area of the semiconductor chip by reducing the address line by sharing the decoded address output from the address decoder in the fuse box. Can be reduced.

Claims (9)

어드레스를 출력하는 어드레스 입력회로;An address input circuit for outputting an address; 어드레스를 디코딩하기 위한 로우 어드레스 디코더;A row address decoder for decoding an address; 메인 워드라인 드라이버에 연결된 다수의 메인 워드라인 중 결함이 발생된 메인 워드라인을 상기 로우 어드레스 디코더의 출력에 따라 리페어하기 위한 서브 워드라인 드라이버; 및A sub word line driver for repairing a main word line having a defect among a plurality of main word lines connected to a main word line driver according to an output of the row address decoder; And 상기 로우 어드레스 디코더의 출력에 따라 상기 결함이 발생된 메인 워드라인에 제공되는 로우 어드레스 디코더의 출력을 차단하기 위한 리페어 제어신호를 발생하는 퓨즈박스를 포함하는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로.And a fuse box configured to generate a repair control signal for blocking an output of the row address decoder provided to the defective main word line according to the output of the row address decoder. 제 1 항에 있어서, 상기 퓨즈박스는.According to claim 1, wherein the fuse box. 퓨즈셋 신호에 응답하여 퓨즈 인에이블 신호와 퓨즈 전원신호를 발생하는 인에이블 퓨즈회로;An enable fuse circuit configured to generate a fuse enable signal and a fuse power signal in response to the fuse set signal; 상기 퓨즈셋 신호, 상기 퓨즈 전원신호 및 상기 디코딩된 어드레스에 응답하여 리페어 신호들을 발생하는 어드레스 비교회로부; 및An address comparison circuit unit generating repair signals in response to the fuse set signal, the fuse power signal, and the decoded address; And 상기 퓨즈 인이에블 신호와 상기 리페어 신호들에 응답하여 리페어 제어신호를 출력하는 퓨즈 출력회로를 포함하는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로.And a fuse output circuit configured to output a repair control signal in response to the fuse enable signal and the repair signals. 제 2 항에 있어서, 상기 어드레스 비교회로부는,The method of claim 2, wherein the address comparison circuit unit, 어드레스 개수만큼의 어드레스 비교회로들을 포함하고,Including as many address comparison circuits as the number of addresses, 상기 어드레스 비교회로들 각각은 상기 퓨즈 전원과 퓨즈셋 신호를 공통으로 인가받고, 각각의 어드레스에 응답하여 제 1 리페어 신호를 출력하는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로.Each of the address comparison circuits receives the fuse power source and the fuse set signal in common, and outputs a first repair signal in response to the respective addresses. 제 3 항에 있어서, 상기 어드레스 비교회로들 각각은,The method of claim 3, wherein each of the address comparison circuits, 상기 퓨즈전원 신호를 인가받고 상기 퓨즈셋 신호 및 퓨즈 연결 상태에 응답하여 내부신호를 출력하는 전원공급 회로;A power supply circuit receiving the fuse power signal and outputting an internal signal in response to the fuse set signal and the fuse connection state; 상기 내부신호에 응답하여 어드레스와 어드레스바를 인가받아 출력 전달신호를 출력하는 입력 드라이버;An input driver receiving an address and an address bar in response to the internal signal and outputting an output transmission signal; 상기 어드레스와 상기 내부신호에 응답하여 제 1 선택신호 또는 제 2 선택신호를 출력하는 출력 선택회로;An output selection circuit outputting a first selection signal or a second selection signal in response to the address and the internal signal; 출력된 제 1 선택신호 또는 제 2 선택신호를 래치하는 래치부;A latch unit for latching an output first selection signal or second selection signal; 상기 제 1 선택신호 또는 제 2 선택신호에 응답하여 출력 전달신호를 인가받고 출력 레벨을 정하여 리페어 신호를 출력하는 출력 드라이버를 포함하는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로.And an output driver configured to receive an output transmission signal in response to the first selection signal or the second selection signal and to determine an output level to output a repair signal. 제 4 항에 있어서, 상기 전원공급 회로는,The method of claim 4, wherein the power supply circuit, 상기 전원전압을 노드에 전달하거나 차단하는 퓨즈;A fuse for transmitting or disconnecting the power supply voltage to a node; 상기 퓨즈셋 신호에 응답하여 동작하고 상기 노드를 리셋하여 내부신호를 발 생하는 NMOS 트랜지스터를 포함하는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로.And an NMOS transistor operating in response to the fuseset signal and resetting the node to generate an internal signal. 제 4 항에 있어서, 상기 입력 드라이버는,The method of claim 4, wherein the input driver, 상기 내부신호가 로직 로우 상태일 때 턴 온 되어 상기 어드레스를 노드로 전달하는 제 1 스위칭 소자;A first switching element turned on when the internal signal is in a logic low state to transfer the address to a node; 상기 내부신호가 로직 하이 상태일 때 턴 온 되어 상기 어드레스바를 상기 노드로 전달하는 제 2 스위칭 소자; 및A second switching element which is turned on when the internal signal is in a logic high state and transfers the address bar to the node; And 상기 노드에 인가되는 어드레스 또는 어드레스바와 상기 내부신호에 응답하여 출력 전달신호를 생성하는 낸드 게이트를 포함하는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로.And a NAND gate configured to generate an output transfer signal in response to the address or address bar applied to the node and the internal signal. 제 4 항에 있어서, 상기 출력 선택회로는,The method of claim 4, wherein the output selection circuit, 상기 어드레스와 상기 내부신호에 응답하여 내부 스위치 신호를 출력하는 낸드 게이트;A NAND gate outputting an internal switch signal in response to the address and the internal signal; 상기 내부 스위치 신호와 상기 내부신호에 응답하여 제 1 선택신호를 출력하는 제 1 선택부; 및A first selector configured to output a first select signal in response to the internal switch signal and the internal signal; And 상기 어드레스, 내부 스위치 신호, 내부신호, 및 어드레스바에 응답하여 PMOS 트랜지스터 및 NMOS 트랜지스터들을 동작시켜 제 2 선택신호를 출력하는 제 2 선택부를 포함하는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로.And a second selector configured to operate the PMOS transistors and the NMOS transistors in response to the address, the internal switch signal, the internal signal, and the address bar to output a second select signal. 제 4 항에 있어서, 상기 래치부는,The method of claim 4, wherein the latch unit, 상기 제 1 선택신호 또는 상기 제 2 선택신호를 인가받고,Receiving the first selection signal or the second selection signal, 인가된 신호와 래치된 신호를 출력하는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로.A repair circuit of a semiconductor memory device that outputs an applied signal and a latched signal. 제 4 항에 있어서, 상기 출력 드라이버는,The method of claim 4, wherein the output driver, 상기 래치부에서 출력된 신호가 로직 하이일 때 턴 온 되어 상기 출력 전달신호를 상기 리페어 신호로 출력하는 제 1 스위칭 소자;A first switching element turned on when the signal output from the latch unit is logic high to output the output transfer signal as the repair signal; 상기 래치부에서 출력된 신호가 로직 로우일 때 턴 온 되어 인버터에 의해 반전된 상기 출력 전달신호를 상기 리페어 신호로 출력하는 제 2 스위칭 소자를 포함하는 반도체 메모리 장치의 리페어 회로.And a second switching element which is turned on when the signal output from the latch unit is logic low and outputs the output transfer signal inverted by the inverter as the repair signal.
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