KR20070101533A - 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조방법을 개시한다. 본 발명은 상호 대향되게 배치된 제 1 기판과, 제 2 기판을 가지는 복수의 기판;과, 기판 사이에 배치되어서, 복수의 방전 셀을 한정하는 격벽;과, 격벽내에 매립되며, 인가되는 전원에 의하여 방전을 일으키는 방전 전극들;과, 방전 셀내에 형성된, 다수의 컬러 색상으로 된 형광체층;을 포함하고, 격벽은 다수의 격벽용 쉬트로 이루어지고, 방전 전극들은 상기 격벽용 쉬트의 선택된 영역에 패턴화되어 형성된 것으로서, 기판 사이에 배치되며, 다수의 방전 전극이 매립되는 유전체벽을 다수장의 쉬트를 이용하여 독립된 공정을 통하여 제조하고, 이를 기판과 함께 결합함으로써, 공정이 단순화되고, 소성 공정시에 열적 변형을 최소화시킬 수가 있다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법{Plasma display panel and the fabrication method thereof}
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 일부 절제하여 도시한 분리 사시도,
도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ선을 따라 절개도시한 단면도,
도 3은 도 1의 방전 전극을 분리하여 도시한 사시도,
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하는 상태를 도시한 분리 사시도,
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하는 상태를 도시한 분리 사시도,
도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 일부 절제하여 도시한 분리 사시도,
도 7은 도 6의 방전 전극이 배치된 상태를 도시한 평면도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명 >
100...플라즈마 디스플레이 패널 111...제 1 기판
112...제 2 기판 113..격벽
114...제 1 방전 전극 115...제 2 방전 전극
116...제 3 방전 전극 117...보호막층
118...형광체층
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 방전 전극이 매립되고, 방전 셀을 구획하는 격벽이 기판과 분리되어서 제조되는 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 복수의 방전 전극이 배치된 두 기판 사이에 방전 가스를 주입하여 방전시키고, 이로 인하여 발생되는 자외선에 의하여 형광체층의 형광 물질을 여기시켜서 소망하는 숫자, 문자, 또는 그래픽을 구현하는 평판 표시 장치(flat display device)를 말한다.
이러한 플라즈마 디스플레이 패널은 방전 셀에 인가하는 구동 전압의 형식, 예컨대, 방전 형식에 따라 직류형과 교류형으로 분류하고, 전극들의 구성 형태에 따라서 대향 방전형 및 면 방전형으로 구분할 수가 있다.
직류형 플라즈마 디스플레이 패널은 모든 전극들이 방전 공간에 노출되는 구조로서, 대응 전극들 사이에 전하의 이동이 직접적으로 이루어진다. 반면에, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 적어도 한 전극이 유전체층에 매립되고, 대응하는 전극들 사이에 직접적인 전하의 이동이 이루어지지 않는 대신에, 유전체층 표면에 방전에 의하여 생성된 이온과 전자가 부착하여 벽 전압(wall voltage)을 형성하고, 유지 전압(sustaining voltage)에 의하여 방전 유지가 가능하다.
한편, 대향 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 단위 픽셀마다 어드레스 전극과 스캔 전극이 대향하여 마련되고, 두 전극간에 어드레싱 방전 및 유지 방전이 일어나는 방식이다. 반면에, 면 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 각 단위 픽셀마다 어드레스 전극과 그에 해당되는 유지 방전 전극쌍이 마련되어 어드레싱 방전과 유지 방전이 발생하게 되는 방식이다.
일반적으로, 널리 사용되고 있는 3전극 면 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 제 1 기판과, 이와 대향되게 배치된 제 2 기판과, 제 1 기판의 내면에 형성되며, X 전극과 Y 전극을 가지는 유지 방전 전극쌍과, 유지 방전 전극쌍을 매립하는 제 1 유전체층과, 제 1 유전체층의 표면에 코팅된 보호막층과, 제 2 기판의 내면에 형성되며, 유지 방전 전극쌍과 교차하는 방향으로 배치된 어드레스 전극과, 어드레스 전극을 매립하는 제 2 유전체층과, 제 1 및 제 2 기판 사이에 설치된 격벽과, 방전 셀내에 형성된 적,녹,청색의 형광체층을 포함하고 있다. 한편, 제 1 및 제 2 기판의 결합된 내부 공간에는 방전 가스를 주입하여서 방전 영역을 형성하고 있다.
상기와 같은 구조의 플라즈마 디스플레이 패널은 Y 전극과 어드레스 전극에 전기적 신호를 인가하여 방전 셀을 선택한 다음에 X 및 Y 전극에 교대로 전기적 신호를 인가하여 제 1 기판의 표면으로부터 면방전이 일어나서 자외선이 발생되고, 선택된 방전 셀의 형광체층으로부터 가시광이 방출되어서 정지 화상 또는 동 영상을 구현할 수가 있다.
그런데, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널은 다음과 같은 문제점을 가지고 있다.
첫째, 제 1 기판의 내면에 유지 방전 전극쌍을 패턴화시키고, 이를 제 1 유전체층으로 매립하고 보호막층을 그 표면에 증착하고, 제 2 기판의 내면에 어드레스 전극을 패턴화시키고, 이를 제 2 유전체층으로 매립하고, 제 2 기판상에 격벽을 형성하고, 그 이후에 제 1 기판과, 제 2 기판을 정렬하여서 조립하는 공정을 거치게 되는데, 각 방전 전극이나, 이를 매립하는 유전체층이나, 보호막층이나, 격벽을 제 1 또는 제 2 기판상에서 개별적인 공정을 거쳐서 완성하므로, 제조 공정이 복잡하다.
둘째, 제 1 기판의 내면에는 유지 방전 전극쌍과, 이를 매립하는 유전체층과, 보호막층이 형성되어 있으므로, 가시광의 투과율이 60％에도 미치지 못하게 되어서 휘도가 감소하게 된다.
셋째, 유지 방전 전극쌍의 방전 갭(discharge gap)으로부터 방전이 개시되어서, 유지 방전 전극쌍의 양 가장자리로 방전이 확산되는 구조로서, 방전이 제 1 기판의 평면을 따라서 확산되므로 방전 셀 전체의 공간 활용도가 낮은 편이다.
넷째, 장시간 구동하는 경우, 방전이 형광체층을 향하여 확산되므로, 방전 가스의 하전 입자가 전계에 의하여 형광체층에 이온 스퍼터링을 일으키게 된다. 이에 따라, 영구 잔상을 야기시킨다.
다섯째, 방전 셀내에 10 부피％ 이상의 고농도 Xe 가스를 적용하게 되면, 원자들의 이온화 및 여기 반응으로 하전 입자들과 여기종들의 생성이 증가하여 휘도 및 방전 효율이 증가하게 되지만, 고농도 Xe 가스를 적용하는 이유로 초기 방전 개 시 전압(initial discharge firing voltage)이 높아지는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판 사이에 배치되어서 방전 셀을 구획하고, 방전 전극이 매립되는 격벽을 다수장의 필름을 이용하여서 별도의 공정으로 제조하여서 기판과 격벽을 결합시킨 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은,
상호 대향되게 배치된 제 1 기판과, 제 2 기판을 가지는 복수의 기판;과,
상기 기판 사이에 배치되어서, 복수의 방전 셀을 한정하는 격벽;과,
상기 격벽내에 매립되며, 인가되는 전원에 의하여 방전을 일으키는 방전 전극들;과,
상기 방전 셀내에 형성된, 다수의 컬러 색상으로 된 형광체층;을 포함하고,
상기 격벽은 다수의 격벽용 쉬트로 이루어지고, 상기 방전 전극들은 상기 격벽용 쉬트의 선택된 영역에 패턴화되어 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 격벽의 외면에는 보호막층이 더 형성된 것을 특징으로 한다.
게다가, 상기 격벽은 다수의 격벽용 쉬트가 기판이 배치된 방향과 동일한 방향으로 적층되어서 형성된 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 방전 전극들은 기판이 배치된 방향과 수직 방향으로 배치되어 서, 방전 셀의 둘레를 감싸도록 형성된 것을 특징으로 한다
여기서, 상기 방전 전극들은 제 1 방전 전극과, 상기 제 1 방전 전극과 동일한 방향으로 연장되며, 유지 방전을 일으키는 제 2 방전 전극과, 상기 제 2 방전 전극과 교차하는 방향으로 연장되며, 어드레싱 방전을 일으키는 제 3 방전 전극을 포함한다.
나아가, 상기 방전 전극들은 각 방전 셀을 중심으로 서로 대향되는 영역에 배치된 것을 특징으로 한다.
더욱이, 상기 방전 전극들은 격벽내의 동일한 평면상에 배치되며, 서로 전기적으로 절연되어 있다.
또한, 상기 기판에는 각 방전 셀과 대응되는 영역마다 소정 깊이의 그루브가 형성되고, 상기 그루브내에는 상기 형광체층이 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은,
서로 평행하게 배치되는 제 1 기판과, 제 2 기판을 가지는 복수의 기판을 준비하는 단계;
상기 기판 사이에 배치되어서 이들과 함께 방전 셀을 구획하고, 복수의 방전 전극쌍이 매립된 다수의 격벽용 쉬트를 일방향으로 적층하여서 형성되는 격벽을 준비하는 단계; 및
상기 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 격벽을 정렬하고, 이들을 결합하는 것에 의하여 밀봉된 방전 공간을 형성하는 단계;를 포함한다.
게다가, 상기 격벽을 준비하는 단계에서는,
상기 방전 전극들이 다수의 격벽용 쉬트의 선택된 영역에 형성되는 단계; 및
상기 격벽용 쉬트를 순차적으로 적층한 다음에, 방전 셀과 대응되는 영역에 개구부를 형성하는 단계;를 포함한다.
이때, 상기 개구부는 펀칭이나, 식각에 의하여 가공되어서 방전 셀을 형성한다.
또한, 상기 격벽의 외면에 보호막층을 더 형성시키는 것을 포함한다.
더욱이, 상기 기판을 준비하는 단계에서는,
상기 기판상에 각 방전 셀과 대응되는 영역에 그루브를 형성하는 단계; 및
상기 그루브에 다수의 컬러 색상의 형광체층을 형성하는 단계;를 포함한다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법을 상세하게 설명하고자 한다.
도 1는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(100)을 일부 절제하여 도시한 것이고, 도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ선을 따라 절개 도시하여 결합한 것이고, 도 3은 도 1의 방전 전극을 분리하여 도시한 것이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 디스플레이 패널(100)에는 제 1 기판(111)과, 상기 제 1 기판(111)과 대향되게 배치되는 제 2 기판(112)을 포함하고 있다. 상기 제 1 및 제 2 기판(111)(112)은 광투과성이 우수한 소재인 유리로 이루어져 있지만, 반사 휘도를 감소시켜서 명실 콘트라스트를 향상시키기 위하여 착색하거나, 반투명으로 사용하거나, 유연성을 가진 필름으로 이루어질 수가 있다.
상기 제 1 기판(111)과, 제 2 기판(112) 사이에는 방전 셀(S)을 구획하고, 인접하는 방전 셀(S) 사이의 전기적, 광학적 크로스 토크(cross-talk)를 방지하기 위하여 격벽(113)이 배치되어 있다. 상기 격벽(113) 내에는 복수의 방전 전극쌍(114 내지 116)이 매립되어 있다.
상기 격벽(113)은 인접한 제 1 내지 제 3 방전 전극(114 내지 116)들간에 직접 통전되는 것을 방지함과 동시에, 양이온 또는 전자가 제 1 내지 제 3 방전 전극(114 내지 116)을 손상시키는 것을 방지하고, 전하를 유도하여 벽전하를 축적할 수 있는 유전체로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 격벽(113)은 원형의 횡단면을 가지는 방전 셀(S)을 형성하도록 형성되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 상기 격벽(113)은 복수의 방전 셀(S)을 구획할 수 있는 구조라면 다양한 패턴, 예컨대, 삼각형, 사각형, 오각형등의 다각형이나, 원형이나, 비원형의 횡단면의 방전 셀(S)을 가지도록 형성될 수도 있으며, 델타형(delta type)이나, 와플형(waffle type)이나, 미앤더형(meander type)의 방전 셀(S)을 한정하도록 형성시킬 수도 있을 것이다.
상기 제 1 내지 제 3 방전 전극(114 내지 116)은 하나의 방전 셀(S)마다 각각 1개씩 소정 간격 이격되게 배치되어 있다. 상기 제 1 방전 전극(114)은 상기 제 1 기판(111)과 상대적으로 인접하게 배치되어 있으며, 상기 제 2 방전 전극(115)은 상기 제 2 기판(112)과 상대적으로 인접하게 배치되어 있으며, 상기 제 3 방전 전극(116)은 상기 제 1 방전 전극(114)과, 제 2 방전 전극(115) 사이에 배치되어 있다.
상기 제 1 방전 전극(114)은 패널(100)의 X 방향을 따라서 배치된 방전 셀(S)의 둘레를 감싸면서 연장되어 있다. 상기 제 1 방전 전극(114)은 방전 셀(S)의 둘레를 개루프(open loop)나, 폐루프(closed loop) 형식으로 감싸고 있는 제 1 루프(114a)와, 인접한 제 1 루프(114a)를 전기적으로 연결하는 제 1 브리지(114b)로 이루어져 있다.
상기 제 1 루프(114a)은 원형의 폐루프 형상이지만, 이에 한정되지 않고, 사각형, 육각형의 개루프나 폐루프등의 다양한 형상을 가질 수 있으며, 다만, 방전 셀(S)의 횡단면과 실질적으로 동일한 형상을 가지는 것이 바람직하다고 할 것이다.
상기 제 2 방전 전극(115)은 상기 제 1 방전 전극(114)과 동일한 방향으로 방전 셀(S)의 둘레를 감싸면서 연장되어 있다. 상기 제 2 방전 전극(115)은 상기 격벽(113) 내에서 상기 패널(100)이 배치된 방향과 수직 방향(Z 방향)으로 제 1 방전 전극(114)과 이격되어 배치되어 있다.
이때, 상기 제 2 방전 전극(115)은 방전 셀(S)을 각각 둘러감싸는 제 2 루프(115a)와, 인접한 제 2 루프(115a)를 전기적으로 연결하는 제 2 브리지(115b)를 포함하고 있다. 상기 제 2 루프(115a)는 원형의 폐루프 형상이지만, 이에 한정되지 않고, 사각형의 개루프나, 폐루프등의 다양한 형상을 가질 수 있으며, 바람직하게는 방전 셀(S)의 횡단면과 실질적으로 동일한 형상이다.
또한, 상기 제 3 방전 전극(116)은 상기 제 1 방전 전극(114)과, 제 2 방전 전극(115)이 연장되는 방향과 교차하는 방향으로 연장되어 있다. 상기 제 3 방전 전극(116)은 패널(100)의 Y 방향으로 배치된 방전 셀(S)을 각각 둘러싸는 제 3 루프(116a)와, 인접한 제 3 루프(116a)를 전기적으로 연결하는 제 3 브리지(116b)를 포함하고 있다.
본 실시예에서는, 상기 패널(100)이 3개의 방전 전극(114 내지 116)을 포함하고 있으며, 상기 제 1 방전 전극(114)과, 제 2 방전 전극(115)은 유지 방전을 일으키는 X 전극과, Y 전극에 해당되고, 상기 제 3 방전 전극(116)은 제 2 방전 전극(115)과 교차하는 방향으로 연장되어서 어드레싱 방전을 일으키는 어드레스 전극에 해당되지만, 반드시 방전 전극의 개수나 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 상기 제 1 내지 제 3 방전 전극(114 내지 116)은 패널(100)이 배치된 방향과 수직 방향(Z 방향)으로 제 1 방전 전극(114), 제 3 방전 전극(116), 제 2 방전 전극(115)이 순차적으로 배치되어 있지만, 반드시 방전 전극의 배치가 이에 한정되는 것은 아니다.
이러한 제 1 내지 제 3 방전 전극(114 내지 116)은 제 1 기판(111)이나, 제 2 기판(112)의 내면과 같은 직접적으로 가시광 투과율을 감소시키는 위치에 배치되어 있지 않기 때문에, 알루미늄이나, 구리와 같은 도전성이 우수한 금속재로 이루어져 있다.
한편, 상기 격벽(113)의 외면에는 보호막층(117)이 형성될 수가 있다. 상기 보호막층(117)은 플라즈마 입자의 스퍼터링에 의하여 격벽(113)과, 제 1 내지 제 3 방전 전극(114 내지 116)이 손상되는 것을 방지하고, 이와 동시에 이차 전자를 방출하여서 방전 전압을 낮추어 주는 역할을 하고 있다. 상기 보호막층(117)으로는 마그네슘 옥사이드(MgO)를 사용할 수가 있다. 본 실시예에서는, 상기 보호막층(117)은 상기 격벽(117)의 상부면과, 하부면과, 측벽에 동시에 형성되지만, 반드 시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 상기 제 1 기판(111)의 내면에는 각 단위 방전 셀(S)과 대응되는 영역에 소정 깊이의 그루브(111a)가 형성되어 있다. 상기 그루브(111a)는 각 방전 셀(S)마다 단속적으로 형성되어 있다. 상기 그루브(111a)는 실질적으로 방전 셀(S)과 동일한 형상이다.
상기 그루브(111a)에는 패널(100)의 컬러 화상을 구현하기 위하여 다수 색상의 형광체층(118)이 형성되어 있다. 대안으로는, 상기 형광체층(118)은 그 위치를 달리하여 다른 영역에 형성시킬 수도 있을 것이다. 이를테면, 그루브(111a)를 형성시키지 않고, 제 1 기판(111)의 내표면상에 직접적으로 형성시키거나, 방전 셀과 접하는 격벽(113)의 내측벽에 형성시키거나, 제 2 기판(112)의 내표면상에 형성시키거나, 이들을 혼용하여 형성할 수도 있다.
상기 형광체층(118)은 자외선을 받아서 가시광을 발생하는 성분을 포함하고 있는데, 본 실시예에서는 적색 형광체층, 녹색 형광체층, 청색 형광체층으로 구성되지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 이때, 적색 형광체층은 (Y,Gd)BO3;Eu+3으로 이루어지고, 녹색 형광체층은 Zn2SiO4:Mn2+ 으로 이루어지고, 청색의 형광체층은 BaMgAl10O17:Eu2+으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 방전 셀(S) 내에는 네온(Ne), 크세논(Xe)등 및 이들의 혼합 기체와 같은 방전 가스가 봉입되어 있다. 본 실시예에 경우, 방전면이 증가하고, 방전 영역 이 확대될 수 있어서, 플라즈마의 양이 증가하므로, 저전압 구동이 가능하게 된다. 따라서, 고농도 Xe 가스를 방전 가스로 사용한다 할지라도, 저전압 구동이 가능하게 됨으로써, 발광 효율을 획기적으로 향상시킬 수가 있다.
이때, 상기 격벽(113)은 다수의 필름 형태의 격벽용 쉬트로 이루어지고, 이들이 일방향으로 순차적으로 적층되어서 형성되어 있다.
보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
상기 격벽(113)은 다수의 격벽용 쉬트(113a 내지 113g)를 포함한다.
즉, 상기 격벽용 쉬트는 격벽용 소재로만 형성된 제 1 격벽용 쉬트(113a)와, 상기 제 1 격벽용 쉬트(113a)상에 적층되며, 제 1 방전 전극(114)이 패턴화된 제 2 격벽용 쉬트(113b)와, 상기 제 2 격벽용 쉬트(113b)상에 적층되며, 격벽용 소재로만 형성된 제 3 격벽용 쉬트(113c)와, 상기 제 3 격벽용 쉬트(113c)상에 적층되며, 제 3 방전 전극(116)이 패턴화된 제 4 격벽용 쉬트(113d)와, 상기 제 4 격벽용 쉬트(113d)상에 적층되며, 격벽용 소재로만 형성된 제 5 격벽용 쉬트(113e)와, 상기 제 5 격벽용 쉬트(113e)상에 적층되며, 제 2 방전 전극(115)이 패턴화된 제 6 격벽용 쉬트(113f)와, 상기 제 6 격벽용 쉬트(113f)상에 적층되며, 격벽용 소재로만 형성된 제 7 격벽용 쉬트(113g)를 포함한다.
대안으로는 격벽은 다수장의 격벽용 쉬트가 적층되는 구조라면, 격벽용 쉬트의 개수는 상술한 예에 반드시 한정되는 것이 아니라, 이보다 많거나 적을 수 있다.
이러한 제 1 내지 제 7 격벽용 쉬트(113a 내지 113g)는 동일한 위치에서 상 기 패널(100)이 배치된 방향과 동일한 방향으로 정렬되어서 순차적으로 적층되며, 추후 펀칭이나 식각 공정을 통하여 방전 셀(S)을 형성하도록 가공된다. 또한, 상기 제 1 내지 제 7 격벽용 쉬트(113a 내지 113g)는 상기 제 2 기판(112)과 건조 및 소성 공정을 통하여 일체로 형성시킬 수도 있을 것이다.
상기와 같은 구조를 가지는 플라즈마 디스플레이 패널(100)를 제조하는 방법을 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 서로 평행하게 배치되는 제 1 기판(111)과, 제 2 기판(112)을 준비하게 된다.
상기 제 1 기판(111)의 경우, 상기 제 1 기판(111)의 일면에 식각 공정이나, 샌드 블라스팅 공정을 통하여 방전 셀(S)과 대응되는 영역에 그루브(111a)를 형성하게 된다. 상기 그루브(111a) 내에는 형광체층용 원소재를 도포하고, 이를 건조 및 소성하여서 형광체층(118)를 형성하게 된다.
또한, 상기 제 2 기판(112)에도 격벽(113)과 대응되는 영역에 방전 공간을 확대시킬 수 있도록 상기 격벽(113)과 실질적으로 동일한 형상의 또 다른 제 2 격벽을 형성하고, 격벽내에 제 2 형광체층을 추가적으로 형성할 수도 있다.
이와 동시에, 상기 제 1 기판(111)과, 제2 기판(112) 사이에 배치되어서 이들과 함께 방전 셀(S)을 구획하고, 제 1 내지 제 3 방전 전극(114 내지 116)이 매립되는 격벽(113)을 형성시키게 된다.
상기 격벽(113)을 형성시키는 과정을 보다 상세하게 설명하면, 제 1 격벽용 쉬트(113a)를 마련한다. 상기 제 1 격벽용 쉬트(113a)의 일면에는 제 1 방전 전 극(114)이 패턴화된 제 2 격벽용 쉬트(113b)을 적층하게 된다.
이어서, 상기 제 2 격벽용 시트(113b)의 외면에 상기 제 1 격벽용 쉬트(113a)와 실질적으로 동일한 제 3 격벽용 쉬트(113c)를 적층하게 된다. 상기 제 3 격벽용 쉬트(113c)의 외면에는 제 3 방전 전극(116)이 패턴화된 제 4 격벽용 쉬트(113d)를 적층하게 된다.
다음으로, 상기 제 4 격벽용 쉬트(113d)의 외면에는 상기 제 1 격벽용 쉬트(113a)와 실질적으로 동일한 제 5 격벽용 쉬트(113e)를 적층하게 된다. 상기 제 5 격벽용 쉬트(113e)의 외면에는 제 2 방전 전극(115)이 패턴화된 제 6 격벽용 쉬트(113f)이 적층하게 된다. 이어서, 상기 제 6 격벽용 쉬트(113f)의 외면에는 상기 제 1 격벽용 쉬트(113a)와 실질적으로 동일한 제 7 격벽용 쉬트(113g)를 적층하게 된다.
이처럼, 상기 제 1 내지 제 7 격벽용 쉬트(113a 내지 113g)는 패널(100)이 배치된 방향과 동일한 방향으로 순차적으로 적층되고, 상기 제 1 내지 제 3 방전 전극(114 내지 116)은 상기 제 1 내지 제 7 격벽용 쉬트(113a 내지 113g)중의 선택된 영역에 패턴화되고, 상기 패널(100)이 배치된 방향과 수직 방향으로 배치되도록 적층하게 된다.
다음으로, 상기 제 1 내지 제 7 격벽용 쉬트(113a 내지 113g)상에는 펀칭 공정이나, 식각 공정등에 의하여 개구부를 형성하는 것에 의하여 방전 셀(S)을 형성하게 된다. 이에 따라, 상기 제 1 내지 제 3 방전 전극(114 내지 116)이 매립된 격벽(113)이 완성된다.
이어서, 상기 격벽(113)의 외면에는 마그네슘 옥사이드를 스퍼터링하여서 보호막층(117)을 형성하게 된다. 상기 보호막층(117)은 상기 격벽(113)의 상부면과, 하부면과, 방전 셀(S)과 접하는 격벽(113)의 내측벽에 동시에 형성되지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
이와 같이 각각 독립적인 공정을 통하여 완성된 제 1 기판(111)과, 제 2 기판(112)과, 그 사이에 배치되는 쉬트 형상의 격벽(113)은 화살표와 같이 정렬하고, 프릿트 글래스와 같은 실런트(sealant)를 이용하여서 봉착 공정을 수행하게 된다.
그 후에, 배기 및 방전 가스 주입 공정을 연속적으로 수행하여서 플라즈마 디스플레이 패널(100)을 제조하게 된다. 배기 및 방전 가스 주입 공정 이후에는 에이징(aging)과 같은 후처리 공정을 추가적으로 수행할 수가 있다.
한편, 격벽(513)은 도 5에 도시된 바와 같이, 형광체층(518)이 형성된 제 1 기판(511)과 대향되게 배치된 제 2 기판(512)에 우선적으로 부착시킨 상태에서, 보호막층(517)을 형성시킬 수도 있다. 이 경우에는 상기 보호막층(517)은 방전 셀(S)과 대응되는 제 2 기판(512)의 내면에도 추가적으로 형성가능하다. 또한, 상기 격벽(513)내에는 제 1 내지 제 3 방전 전극(514 내지 516)이 매립되어 있으며, 상기 제 2 기판(512)과 실질적으로 동일한 소재로 제조하여서 일체화시킬 수도 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 플라즈마 디스플레이 패널(400)의 구동 방법을 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제 1 방전 전극(114)과, 제 3 방전 전극(115) 사이에 어드레싱 방전이 일어나고, 어드레싱 방전의 결과로 유지 방전이 일어날 방전 셀(S)이 선택된다.
이후, 선택된 방전셀(S)의 제 1 방전 전극(114)과, 제 2 방전 전극(115) 사이에 교류인 유지 방전 전압이 인가되면, 제 1 방전 전극(114)과, 제 2 방전 전극(115) 사이에 유지 방전이 발생하게 된다.
발생된 유지 방전에 의하여 여기된 방전 가스의 에너지 준위가 낮아지면서, 자외선이 방출된다. 방출된 자외선은 형광체층(118)을 여기시키게 되는데, 여기된 형광체층(118)의 에너지 준위가 낮아지면서 가시광이 방출되며, 방출된 가시광이 화상을 구현하게 된다.
이처럼, 본 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(100)의 유지 방전은 방전 셀(S)을 한정하는 모든 측면에서 일어날 뿐만 아니라, 방전 면적이 상대적으로 넓다는 장점이 있다.
또한, 본 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(100)의 유지 방전은 방전 셀(S)의 측면을 따라 폐루프로 형성되다가, 점차적으로 방전 셀(S)의 중앙부로 확산된다. 이로 인하여, 유지 방전이 발생되는 영역의 부피가 증가되고, 방전 셀내에서의 공간 전하도 발광에 기여하게 된다.
이에 따라, 플라즈마 디스플레이 패널(100)의 발광 효율의 향상을 이룰 수 있다. 특히, 본 실시예에서는 방전 셀(S)의 횡단면이 원형이므로, 방전 셀(S)의 모든 측면에서 유지 방전이 균일하게 발생되는 장점을 가지게 된다.
또한, 유지 방전이 방전 셀(S)의 중심 부분에서만 이루어지므로, 하전 입자에 의한 형광체층의 이온 스퍼터링이 방지되고, 이로 인하여 동일한 화상을 오랜 시간동안 표시하여서 영구 잔상이 발생되지 않는 장점이 있다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(600)을 일부 절제하여 분리 도시한 것이고 , 도 7은 방전 전극이 배치된 상태를 도시한 것이다.
이 경우, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(100)은 격벽내에 3 전극이 매립된 대향 방전 구조를 가진 경우이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(600)은 제 1 기판(611)과, 이와 대향되게 배치된 제 2 기판(612)과, 상기 제 1 기판(611)과, 제 2 기판(612) 사이에 배치된 격벽(613)을 포함하고 있다.
상기 격벽(613)은 패널(600)의 X 방향으로 배치된 제 1 격벽(613a)과, 인접한 제 1 격벽(613a)의 내측벽으로부터 서로 대향되는 방향으로 연장되어서 매트릭스형의 방전 셀(S)을 한정하는 제 2 격벽(613b)을 포함한다.
상기 격벽(613) 내에는 제 1 내지 제 3 방전 전극(614 내지 616)이 배치되어 있다. 본 실시예에서는 상기 제 방전 전극(614)과, 제 2 방전 전극(615)은 유지 방전을 일으키는 X 전극과, Y 전극에 해당되고, 상기 제 3 방전 전극(616)은 상기 제 2 방전 전극(615)과 교차하는 방향으로 배치되어서 어드레싱 방전을 일으키는 어드레스 전극에 해당되지만, 반드시 방전 전극의 개수나 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
이때, 상기 제 1 방전 전극(614)은 방전 셀(S)의 일 방향을 따라 배치되어 있으며, 상기 제 2 방전 전극(615)은 제 1 방전 전극(614)이 배치된 방전 셀(S)의 대향되는 변으로부터 상기 제 1 방전 전극(614)과 평행한 방향을 따라서 연장되어 있다.
상기 제 3 방전 전극(616)은 상기 패널(600)이 배치된 방향과 수직 방향(Z 방향)으로 상기 제 2 방전 전극(615)의 하부에 배치되어 있다. 상기 제 3 방전 전극(616)은 제 2 방전 전극(615)과 교차하는 방향으로 배치되어 있다.
한편, 상기 제 1 방전 전극(614)과, 제 2 방전 전극(615)은 방전 셀(S)을 사이에 두고 대향되게 배치된 구조라면, 반드시 어느 하나의 형상에 한정되는 것은 아니다.
이러한 제 1 내지 제 3 방전 전극(614 내지 제 616)은 방전 셀(S)내에 배치된 구조가 아니라, 방전 셀(S)의 가장자리를 따라서 배치되어 있으므로, 패널(600)의 개구율에 영향을 받지 않아서 은 페이스트나, 크롬-구리-크롬과 같은 도전성이 우수한 금속재를 사용할 수가 있다.
상기 격벽(613)의 외면에는 이의 절연 파괴를 방지하고, 2차 전자의 방출을 확대시키기 위하여 마그네슘 옥삭이드와 같은 보호막층(617)이 형성되어 있다. 상기 보호막층(617)은 상기 격벽(613)의 상부면과, 하부면과, 방전 셀(S)과 접하는 격벽(613)의 내측벽과, 방전 셀(S)과 대응되는 제 2 기판(612)의 내면에 형성되나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 상기 제 1 기판(611)의 내면에는 방전 셀(S)과 대응되는 영역에 복수의 그루브(611a)가 형성되어 있으며, 상기 그루브(611a) 내에는 컬러화를 위한 다수 색상의 형광체층(618)이 형성되어 있다.
이때, 상기 격벽(613)은 제 1 및 제 2 실시예의 경우와 마찬가지로 다수장의 격벽용 쉬트가 적층되어 있으며, 격벽용 쉬트중 선택된 어느 영역에는 상기 제 1 내지 제 3 방전 전극(614 내지 616)이 패턴화되어 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 플라즈마 디스플레이 패널(600)의 구동 방법은 다음과 같다.
먼저, 제 2 방전 전극(615)과 제 3 방전 전극(616) 사이에 어드레싱 방전이 일어나고, 어드레싱 방전의 결과로 유지 방전이 일어날 방전 셀(S)이 선택된다.
이후, 교류인 유지 전압이 인가되면, 제 1 방전 전극(614)과, 제 2 방전 전극(615) 사이에 유지 방전이 일어나게 된다. 유지 방전에 의하여 여기된 방전 가스의 에너지 준위가 낮아지면서 자외선이 방출된다.
방출된 자외선은 형광체층(618)을 여기시키게 되는데, 여기된 형광체층(618)들의 에너지 준위가 낮아지면서, 가시광이 방출되면, 이 방출된 가시광이 화상을 구현하게 된다.
본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조방법은 기판 사이에 배치되며, 다수의 방전 전극이 매립되는 유전체벽을 다수장의 쉬트를 이용하여 독립된 공정을 통하여 제조하고, 이를 기판과 함께 결합함으로써, 공정이 단순화되고, 소성 공정시에 열적 변형을 최소화시킬 수가 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기 술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (14)

  1. 상호 대향되게 배치된 제 1 기판과, 제 2 기판을 가지는 복수의 기판;과,
    상기 기판 사이에 배치되어서, 복수의 방전 셀을 한정하는 격벽;과,
    상기 격벽내에 매립되며, 인가되는 전원에 의하여 방전을 일으키는 방전 전극들;과,
    상기 방전 셀내에 형성된, 다수의 컬러 색상으로 된 형광체층;을 포함하고,
    상기 격벽은 다수의 격벽용 쉬트로 이루어지고, 상기 방전 전극들은 상기 격벽용 쉬트의 선택된 영역에 패턴화되어 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 격벽의 외면에는 보호막층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 격벽은 다수의 격벽용 쉬트가 기판이 배치된 방향과 동일한 방향으로 적층되어서 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 방전 전극들은 기판이 배치된 방향과 수직 방향으로 배치되어서, 방전 셀의 둘레를 감싸도록 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 방전 전극들은 제 1 방전 전극과, 상기 제 1 방전 전극과 동일한 방향으로 연장되며, 유지 방전을 일으키는 제 2 방전 전극과, 상기 제 2 방전 전극과 교차하는 방향으로 연장되며, 어드레싱 방전을 일으키는 제 3 방전 전극을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 방전 전극들은 각 방전 셀을 중심으로 서로 대향되는 영역에 배치된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 방전 전극들은 격벽내의 동일한 평면상에 배치되며, 서로 전기적으로 절연된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 방전 전극들은 제 1 방전 전극과, 상기 제 1 방전 전극과 동일한 방향으로 연장되어 유지 방전을 일으키는 제 2 방전 전극을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 방전 전극의 상부 또는 하부에는 상기 제 2 방전 전극과 교차하는 방향으로 방향으로 연장되며, 어드레싱 방전을 일으키는 제 3 방전 전극이 더 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판에는 각 방전 셀과 대응되는 영역마다 소정 깊이의 그루브가 형성되고, 상기 그루브내에는 상기 형광체층이 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  10. 서로 평행하게 배치되는 제 1 기판과, 제 2 기판을 가지는 복수의 기판을 준비하는 단계;
    상기 기판 사이에 배치되어서 이들과 함께 방전 셀을 구획하고, 복수의 방전 전극쌍이 매립된 다수의 격벽용 쉬트를 일방향으로 적층하여서 형성되는 격벽을 준비하는 단계; 및
    상기 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 격벽을 정렬하고, 이들을 결합하는 것에 의하여 밀봉된 방전 공간을 형성하는 단계;를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  11. 제 11 항에 있어서,
    상기 격벽을 준비하는 단계에서는,
    상기 방전 전극들이 다수의 격벽용 쉬트의 선택된 영역에 형성되는 단계; 및
    상기 격벽용 쉬트를 순차적으로 적층한 다음에, 방전 셀과 대응되는 영역에 개구부를 형성하는 단계;를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  12. 제 11 항에 있어서
    상기 개구부는 펀칭이나, 식각에 의하여 가공되어서 방전 셀을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 격벽의 외면에 보호막층을 더 형성시키는 것을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 기판을 준비하는 단계에서는,
    상기 기판상에 각 방전 셀과 대응되는 영역에 그루브를 형성하는 단계; 및
    상기 그루브에 다수의 컬러 색상의 형광체층을 형성하는 단계;를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
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WO2008153663A1 (en) * 2007-05-16 2008-12-18 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Arrays of microcavity plasma devices and electrodes with reduced mechanical stress
WO2009055765A2 (en) * 2007-10-25 2009-04-30 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Microcavity plasma devices with non-uniform cross-section microcavities
US8179032B2 (en) * 2008-09-23 2012-05-15 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Ellipsoidal microcavity plasma devices and powder blasting formation
US8541946B2 (en) * 2009-12-17 2013-09-24 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Variable electric field strength metal and metal oxide microplasma lamps and fabrication

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004303670A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Noritake Co Ltd 厚膜シートおよびその製造方法
KR100603324B1 (ko) * 2003-11-29 2006-07-20 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
KR100922745B1 (ko) * 2004-04-27 2009-10-22 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
KR20050107050A (ko) * 2004-05-07 2005-11-11 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
KR20050112773A (ko) * 2004-05-28 2005-12-01 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법
KR100581952B1 (ko) * 2004-11-29 2006-05-22 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널

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