KR20070095425A - Photocurable resin composition for forming black matrix, photosensitive film using the same, method for forming black matrix, black matrix and plasma display panel having the black matrix - Google Patents

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KR20070095425A
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키미노리 오시오
아키라 쿠마자와
류마 미즈사와
히토시 세츠다
히로유키 오비야
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도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
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Abstract

Provided is a photocurable resin composition which can perform fine patterning and can form a black matrix exhibiting a satisfactory black color, and further can be developed with water. The above photocurable resin composition comprises (A) a powder of a metal having an ionic valence number of 2 or greater which is converted to a black material by oxidation, and (B) an organic component comprising (i) a water-soluble cellulose derivative, (ii) a photo-polymerizable monomer, (iii) an acrylic resin having a hydroxy group and (iv) a photopolymerization initiator. The above metals having an ionic valence number of 2 or greater include at least one selected from the group consisting of copper, iron and cobalt.

Description

블랙 매트릭스 형성용 광경화성 수지 조성물, 이를 이용한 감광성 필름, 블랙 매트릭스의 형성 방법, 블랙 매트릭스 및 그 블랙 매트릭스를 가지는 플라즈마 디스플레이 패널{PHOTOCURABLE RESIN COMPOSITION FOR FORMING BLACK MATRIX, PHOTOSENSITIVE FILM USING THE SAME, METHOD FOR FORMING BLACK MATRIX, BLACK MATRIX AND PLASMA DISPLAY PANEL HAVING THE BLACK MATRIX}PHOTOCURABLE RESIN COMPOSITION FOR FORMING BLACK MATRIX, PHOTOSENSITIVE FILM USING THE SAME, METHOD FOR FORMING BLACK MATRIX, BLACK MATRIX AND PLASMA DISPLAY PANEL HAVING THE BLACK MATRIX}

본 발명은 블랙 매트릭스(black matrix) 형성용 광경화성 수지 조성물에 관한 것이다. 또, 당해 조성물을 이용한 감광성 필름, 블랙 매트릭스의 형성 방법, 블랙 매트릭스 및 그 블랙 매트릭스를 가지는 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel)에 관한 것이다.The present invention relates to a photocurable resin composition for forming a black matrix. Moreover, it is related with the photosensitive film using this composition, the formation method of a black matrix, a black matrix, and the plasma display panel which has this black matrix.

현재, 플랫 패널 디스플레이(flat panel display)로서 액정 디스플레이, 일렉트로루미네슨스(electoluminescence), 발광 다이오드(LED), 형광 표시관(VFD), 플라즈마 디스플레이(PDP), 필드 이미션 디스플레이(FED), 디지탈 마이크로미러 디바이스(DMD) 등이 알려져 있다.  Currently, liquid crystal displays, electroluminescence, light emitting diodes (LEDs), fluorescent displays (VFDs), plasma displays (PDPs), field emission displays (FEDs), and digital displays as flat panel displays. Micromirror devices (DMDs) and the like are known.

이들 디스플레이를 컬러화한 컬러 디스플레이(color display)는 화소마다 빨강, 파랑, 초록의 광의 삼원색을 만들고, 각 화소의 명암을 제어하여 색의 변화를 표현하는 것이다. 이러한 컬러 디스플레이에 있어서는, 콘트라스트(contrast) 및 색 순도의 저하를 방지하기 위해서 블랙 매트릭스(black matrix)가 형성되어 있다. 이 블랙 매트릭스는 당연히 차광성이 뛰어난 것이 요구된다.  A color display in which these displays are colorized is to generate three primary colors of red, blue, and green light for each pixel, and to control the contrast of each pixel to express a change in color. In such a color display, a black matrix is formed in order to prevent the fall of contrast and color purity. This black matrix is naturally required to be excellent in light shielding properties.

특히 PDP는 구조가 비교적 간단하고 대형화가 용이한데다, 자발광형으로 표시 품위가 높고, 또한 컬러 표시도 가능하기 때문에 많이 주목을 끌어, 그 대형화, 고정밀화가 요구되고 있고, 그 때문에 다수의 제안이 이루어지고 있다. 이러한 PDP는 일반적으로는 대향 배치된 기판의 표면에 절연 재료로 이루어지는 격벽이 설치되어 다수의 표시 셀(cell)로 구획되고, 그 셀 내에 형광체층이 형성되고, 각 셀을 둘러싸도록 패턴 전극이 설치된다. 그 화면 표시는 상기 패턴 전극에의 전압 인가에 의해 플라즈마(plasma) 방전을 발생시키고, 이 플라즈마 방전에 의한 자외선의 작용으로 상기 각 발광체층을 발광시킴으로써 실현된다. 이를 위해 상기 기판이나 셀 내에는 플라즈마를 발생시키기 위한 전극, 저항체, 유전체 등이 설치되어 있다. 이 PDP를 고정밀화하는데는, 이를 구성하는 격벽, 전극, 저항체, 유전체, 형광체, 컬러 필터, 블랙 매트릭스를 고정밀하게 작성할 필요가 있다.  In particular, PDPs are relatively simple in structure and easy to be enlarged, have high display quality due to their self-luminous type, and can also display colors. ought. Such PDPs are generally provided with barrier ribs formed of insulating material on the surface of the substrates facing each other, partitioned into a plurality of display cells, a phosphor layer is formed within the cells, and pattern electrodes are provided to surround each cell. do. The screen display is realized by generating a plasma discharge by applying a voltage to the pattern electrode, and emitting each of the light emitting layers by the action of ultraviolet rays by the plasma discharge. To this end, electrodes, resistors, dielectrics, etc. for generating plasma are provided in the substrate or the cell. In order to refine this PDP, it is necessary to precisely prepare partitions, electrodes, resistors, dielectrics, phosphors, color filters, and black matrices constituting the PDP.

종래, 상기 블랙 매트릭스의 형성에는, CRT 디스플레이나 액정 디스플레이 패널 등의 블랙 매트릭스의 형성에 사용되고 있는 차광막 형성용 감광성 수지 조성물이 이용되고 있었다. 그러나, PDP의 제조에 있어서는 고온 소성 공정이 있고, 이 공정에서 차광막 형성용 감광성 수지 조성물 중에 함유되는 카본 블랙(carbon black)이 분해되어, 만족할 수 있는 블랙 매트릭스의 형성은 곤란하였다. 그래서, 차광성 재료로서 동의 산화물과 철 등의 다른 금속 산화물을 배합한 차광막 형성용 감광성 수지 조성물이 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).  Conventionally, the photosensitive resin composition for light shielding film formation used for formation of black matrices, such as a CRT display and a liquid crystal display panel, was used for formation of the said black matrix. However, in the production of PDP, there is a high temperature baking step, and carbon black contained in the photosensitive resin composition for forming a light shielding film is decomposed at this step to form a satisfactory black matrix. Then, the photosensitive resin composition for light shielding film formation which mix | blended copper oxide and other metal oxides, such as iron, as a light-shielding material is proposed (for example, refer patent document 1).

또, 블랙 매트릭스의 형성을 목적으로 한 것은 아니지만, 저융점 유리를 함유하고, 소성 후에 흑색으로 변화하는 것을 특징으로 하는 감광성 페이스트(paste)도 공개되어 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).  Moreover, although it does not aim at formation of a black matrix, the photosensitive paste which contains low melting glass and changes to black after baking is also disclosed (for example, refer patent document 2).

특허문헌 1: 일본 특허공개 1997-160243호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Publication No. 1997-160243

특허문헌 2: 일본 특허공개 2000-347394호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-347394

<발명이 해결하고자 하는 과제>  Problems to be Solved by the Invention

그렇지만, 기술적 요구의 고도화에 의해 미세한 블랙 매트릭스 패턴을 형성할 필요가 있고, 특허문헌 1과 같은 수지 조성물을 이용하여 블랙 매트릭스를 형성하면, 이미 흑미립자를 함유하고 있으므로 광투과성이 낮고, 요구되는 미세한 블랙 매트릭스 패턴을 형성하는 것은 곤란하였다.  However, it is necessary to form a fine black matrix pattern by the advancement of technical requirements, and when forming a black matrix using the resin composition like patent document 1, since it already contains black fine particles, light transmittance is low and the required fine It was difficult to form a black matrix pattern.

또, 특허문헌 2에서는 흑색으로 변화하는 특성을 예를 들면 유기 금속 화합물 니켈아세틸아세토네이트(nickel acetylacetonate)와 같은 소성에 의해 흑색의 산화물로 변환하는 화합물을 이용하여 달성하고 있으므로 고가이어서 보다 염가의 것이 요구되고 있었다. 또, 이러한 동, 철, 코발트 등의 2가 이상의 금속을 금속 분말로서 사용한 경우에는 측쇄에 카르복실(carboxyl)기를 가지는 폴리머(polymer)와 겔화(gelation)해 버리므로 도포 패터닝(patterning)을 할 수 없다고 하는 문제가 있었다.Further, in Patent Document 2, since the characteristic of changing to black is achieved by using a compound which is converted into a black oxide by firing such as, for example, an organometallic compound nickel acetylacetonate, it is expensive and more inexpensive. It was required. In the case where such bivalent or more metals such as copper, iron, and cobalt are used as metal powders, application patterning can be performed because gelation is performed with a polymer having a carboxyl group in the side chain. There was a problem that there was not.

<과제를 해결하기 위한 수단>  Means for solving the problem

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위해서, 우선 패터닝시에는 투명성을 가지고, 미세한 패터닝을 형성할 수가 있고, 또한 염가로 입수 가능한 물질에 대해서 검토를 했더니, 상기 유기 금속 화합물의 대신에 산화에 의해 흑색화하는 금속 분말을 사용하면 좋은 것이 아닌가라는 고찰을 얻었다. 그래서, 실제로 실시해 보았더니, 산화에 의해 흑색으로 되는 특성을 가지는 동, 철, 코발트 등의 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말은 조성물 중의 감광성 성분으로서 이용되는 카르복실(carboxyl)기를 측쇄에 가지는 올리고머(oligomer) 혹은 폴리머(polymer)와 겔화(gelatin)하여 도포 패터닝(patterning)을 할 수 없게 된다고 하는 문제가 생겼다. 그래서, 발명자들은 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말을 사용한 경우라도 겔화하지 않는다는 특성을 가지는 감광성 수지에 대해서 검토를 하고, 또한 물에 의한 현상이 가능하다는 특성에 대해서도 검토를 하였다. 그 결과, 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말과 특정의 수지 성분을 조합함으로써 상기 과제를 해결할 수 있다는 것을 찾아내기에 이르렀다.  MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, first, when patterning, when the patterning was carried out about the material which has transparency, can form fine patterning, and is available cheaply, it is blackened by oxidation instead of the said organometallic compound. Consideration was given to the use of metal powder. Therefore, in practice, powders of metals having ionic valences of 2 or more, such as copper, iron, and cobalt, which have a characteristic of becoming black by oxidation, have oligomers having a carboxyl group, which is used as a photosensitive component, in the side chain ( The problem arises that the coating patterning is not possible due to gelatin with oligomers or polymers. Therefore, the inventors examined photosensitive resins having the property of not gelling even when a powder of a metal having an ionic valence of 2 or more was used, and also examined the property of developing with water. As a result, the inventors have found that the above problems can be solved by combining a powder of a metal having two or more ionic valences blackened by oxidation and a specific resin component.

본 발명은 이러한 지식, 견문에 기초하여 이루어진 것으로, 본 발명의 광경화성 수지 조성물은 블랙 매트릭스의 형성에 이용되는 광경화성 수지 조성물로서, (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말과, (B) (i) 수용성 셀룰로오스(cellulose) 유도체와, (ⅱ) 광중합성 단량체와, (ⅲ) 히드록시기를 가지는 아크릴(acryl)계 수지와, (ⅳ) 광중합 개시제로 이루어지는 유기 성분을 함유하는 블랙 매트릭스(black matrix) 형성용 광경화성 수지 조성물이다.  This invention is made | formed based on such knowledge and knowledge, The photocurable resin composition of this invention is a photocurable resin composition used for formation of a black matrix, (A) The ion valence which blackens by oxidation is 2 or more of metals. Powder, an organic component comprising (B) (i) a water-soluble cellulose derivative, (ii) a photopolymerizable monomer, (iii) an acrylic resin having a hydroxy group, and (iii) a photopolymerization initiator It is a photocurable resin composition for forming a black matrix.

또, 본 발명의 감광성 필름은 상기 광경화성 수지 조성물을 성막화하여 얻어지는 감광성 페이스트(paste)막과, 이 감광성 페이스트막을 보호하는 보호 필름으로 이루어진다.   Moreover, the photosensitive film of this invention consists of a photosensitive paste film obtained by forming into a film the said photocurable resin composition, and the protective film which protects this photosensitive paste film.

또, 본 발명의 블랙 매트릭스는 상기 감광성 페이스트막이 패터닝(patterining) 후에 소성에 의해 경화되어 이루어지는 광학 밀도(OD)가 3.0 이상이다.  In addition, the black matrix of the present invention has an optical density (OD) of at least 3.0, wherein the photosensitive paste film is cured by firing after patterning.

또, 본 발명의 블랙 매트릭스 형성 방법은 상기 광경화성 수지 조성물을 이용하여, 기판 상에 감광성 페이스트막을 형성하는 감광성 페이스트막 형성 공정과, 상기 감광성 페이스트막을 노광한 후 물로 현상 처리를 하여, 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 패턴 형성 공정과, 상기 패턴 형성 공정에서 얻어진 패턴을 산소 존재하 1000℃ 이하의 온도에서 소성함으로써, 경화시킴과 아울러 산화하여 흑색화시키는 패턴 소성·흑색화 공정을 가지는 블랙 매트릭스 형성 방법이다.  Moreover, the black-matrix formation method of this invention uses the said photocurable resin composition, the photosensitive paste film forming process of forming a photosensitive paste film on a board | substrate, and after exposing the said photosensitive paste film, developing it with water, A black matrix having a pattern forming step of forming a predetermined pattern on the substrate, and a pattern firing and blackening step of curing, oxidizing and blackening the pattern obtained by the pattern forming step at a temperature of 1000 ° C. or lower in the presence of oxygen. Formation method.

또, 본 발명의 플라즈마 디스플레이(plasma display)는 상기 블랙 매트릭스 형성 방법을 이용하여 형성된 블랙 매트릭스를 가진다.Further, the plasma display of the present invention has a black matrix formed by using the black matrix forming method.

<발명의 효과>   Effect of the Invention

본 발명에 의해, 수현상 가능하고, 미세한 패턴을 형성할 수가 있고, 또한 충분한 흑색을 가지는 블랙 매트릭스를 형성할 수가 있는 블랙 매트릭스 형성용 광경화성 수지 조성물을 염가로 제공할 수가 있다.According to the present invention, it is possible to provide a photocurable resin composition for forming a black matrix which is water developable, can form a fine pattern, and can form a black matrix having a sufficient black color at a low cost.

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>  Best Mode for Carrying Out the Invention

이하에, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of this invention is described.

본 발명의 광경화성 수지 조성물은 블랙 매트릭스의 형성에 이용되는 광경화 성 수지 조성물로서, (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말과, (B) (i) 수용성 셀룰로오스 유도체와, (ⅱ) 광중합성 단량체와, (ⅲ) 히드록시기를 가지는 아크릴계 수지와, (ⅳ) 광중합 개시제로 이루어지는 유기 성분을 함유한다. The photocurable resin composition of this invention is a photocurable resin composition used for formation of a black matrix, Comprising: (A) Powder of the metal whose ionic valence blackens by oxidation is two or more, (B) (i) Water-soluble cellulose derivative And (ii) an organic component comprising a photopolymerizable monomer, an acrylic resin having a (hydroxyl) hydroxyl group, and (iii) a photopolymerization initiator.

본 발명에 이용되는 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속으로서는, 패턴 형성 후의 소성 처리에 의한 산화에 의해 흑색화한다면 특히 한정되지 않지만, 동, 철, 코발트가 바람직하고, 그 중에서 동이 보다 바람직하다. 블랙 매트릭스(black matrix)는 절연성인 것이 바람직하고, 동을 이용한 경우, 산화에 의해 얻어진 산화동은 절연성이기 때문에 보다 바람직하다. 또, 동은 저가이고 구입하기 쉬운 점에서도 바람직하다. 이들 (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속은 단독으로 이용해도 좋고, 복수 조합하여 이용해도 좋다.  The metal having two or more ionic valences blackened by oxidation used in the present invention is not particularly limited as long as it is blackened by oxidation by firing after pattern formation, but copper, iron, and cobalt are preferred, and copper is more preferable. desirable. It is preferable that a black matrix is insulating, and when copper is used, copper oxide obtained by oxidation is more preferable because it is insulating. Moreover, copper is preferable also at the point of being cheap and easy to purchase. The metal whose ionic valence blackens by these (A) oxidation is 2 or more may be used independently, and may be used in combination of multiple.

상기 금속 분말의 형상으로서는, 구체적으로는 예를 들면, 입자 형상, 구 형상, 플레이크(flake) 형상 등을 들 수 있지만, 특히 이들에 한정되지 않고 다른 형상이라도 좋다. 상기 금속 분말은 단독의 형상만의 금속 분말을 이용해도 좋고, 2종 이상의 형상의 금속 분말을 혼합한 것을 이용해도 좋다. 상기 금속 분말의 입경은 평균 입경이 0.01∼100μm, 바람직하게는 0.1∼30μm, 보다 바람직하게는 0.5∼10μm의 범위이다. 평균 입경이 100μm를 넘으면 미세하고 고정밀도의 패턴을 형성하는 것이 곤란하게 되고, 평균 입경이 0.01μm 미만에서는 광이 난반사를 일으켜 패턴광을 통과시키지 않게 되기 때문이다. As a shape of the said metal powder, although a particulate form, spherical shape, a flake shape, etc. are mentioned specifically, it is not limited to these especially, A different shape may be sufficient. The metal powder may be a metal powder having a single shape alone, or may be a mixture of two or more kinds of metal powders. The particle diameter of the said metal powder is 0.01-100 micrometers, Preferably it is 0.1-30 micrometers, More preferably, it is the range of 0.5-10 micrometers. This is because when the average particle diameter exceeds 100 µm, it is difficult to form a fine and high-precision pattern. When the average particle diameter is less than 0.01 µm, light causes diffuse reflection and does not pass the pattern light.

본 발명에 이용되는 유기 성분은 (i) 수용성 셀룰로오스 유도체와, (ⅱ) 광 중합성 단량체와, (ⅲ) 히드록시기를 가지는 아크릴계 수지와, (ⅳ) 광중합 개시제로 이루어진다.  The organic component used for this invention consists of (i) water-soluble cellulose derivative, (ii) photopolymerizable monomer, (iii) acrylic resin which has a hydroxyl group, and (iii) photoinitiator.

상기 (i) 수용성 셀룰로오스 유도체로서는, 공지의 것을 사용할 수 있고, 특히 한정되지 않지만, 예를 들면 카르복시메틸셀룰로오스(carboxymethylcellulose), 히드록시에틸셀룰로오스, 히드록시에틸메틸셀룰로오스, 히드록시프로필셀룰로오스, 에틸히드록시에틸셀룰로오스, 카르복시메틸에틸셀룰로오스, 히드록시프로필메틸셀룰로오스(hydroxypropyl methylcellulose) 등을 들 수 있다. 이들은 단독 또는 2 종류 이상을 혼합하여 이용해도 좋다.   As said (i) water-soluble cellulose derivative, a well-known thing can be used, Although it does not specifically limit, For example, carboxymethylcellulose, hydroxyethyl cellulose, hydroxyethyl methyl cellulose, hydroxypropyl cellulose, ethyl hydroxy Ethyl cellulose, carboxymethyl ethyl cellulose, hydroxypropyl methyl cellulose, etc. are mentioned. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

또, 상기 (ⅱ) 광중합성 단량체로서는, 공지의 광중합성 단량체로 좋고 특히 한정되지 않지만, 예를 들면 에틸렌글리콜 디아크릴레이트(ethyleneglycol diacylate), 에틸렌글리콜 디메타크릴레이트(ethylene glycol dimethacrylate), 트리에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트(trimethylolpropane triacrylate), 트리메틸올프로판 트리메타크릴레이트, 트리메틸올에탄 트리아크릴레이트, 트리메틸올에탄 트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 디아크릴레이트(pentaerythritol diacrylate), 펜타에리트리톨 디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 테트라메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사메타크릴레이 트, 글리세롤 아크릴레이트(glycerol acrylate), 글리세롤 메타크릴레이트, 카르도에폭시 디아크릴레이트(cardo epoxy diacrylate), 이들 예시 화합물의 (메트)아크릴레이트((meth)acrylate)를 푸마레이트(fumarate)로 대신한 푸마르산에스테르(fumaric acid ester), 이타코네이트(itaconate)로 대신한 이타콘산 에스테르(itaconic acid ester), 말레에이트(maleate)로 대신한 말레산 에스테르(maleic acid ester) 등을 들 수 있다.  Moreover, as said (ii) photopolymerizable monomer, it is well-known and it does not specifically limit as a well-known photopolymerizable monomer, For example, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, triethylene Glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, pentaerythritol Pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol Tetraacrylate, Pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, glycerol acrylate Glycerol methacrylate, cardo epoxy diacrylate, fumaric acid ester in which (meth) acrylate of these exemplary compounds is replaced by fumarate, Itaconic acid ester (itaconic acid ester) replaced with itaconate (itaconate), maleic acid ester (maleic acid ester) replaced with maleate, etc. are mentioned.

(ⅲ) 히드록시기를 가지는 아크릴계 수지로서는, 히드록실기를 가지는 모노머를 주요한 공중합성 모노머로 하고, 또한 필요에 따라서 그것들과 공중합 가능한 다른 모노머를 중합하여 얻은 공중합체를 들 수 있다. 상기 히드록실기를 가지는 모노머로서는, 아크릴산(acrylic acid) 또는 메타크릴산(methacrylic acid)과 탄소수 1∼20의 모노 알코올의 모노에스테르화물이 아주 적합하고, 예를 들면 히드록시메틸 아크릴레이트(hydroxymethyl acrylate), 히드록시메틸 메타크릴레이트(hydroxymethyl methacrylate), 2-히드록시에틸 아크릴레이트, 2-히드록시에틸 메타크릴레이트, 2-히드록시프로필 아크릴레이트, 2-히드록시프로필 메타크릴레이트, 3-히드록시프로필 아크릴레이트, 3-히드록시프로필 메타크릴레이트, 2-히드록시부틸 아크릴레이트, 2-히드록시부틸 메타크릴레이트, 3-히드록시부틸 아크릴레이트, 3-히드록시부틸 메타크릴레이트, 4-히드록시부틸 아크릴레이트, 4-히드록시부틸 메타크릴레이트 등을 들 수가 있고, 또, 아크릴산 또는 메타크릴산과 탄소수 1∼10의 글리콜(glycol)의 모노에스테르화물나 글리세롤 아크릴레이트(glycerol acrylate), 글리세롤 메타크릴레이트(glycerol methacrylate), 디펜타 에리트리톨 모노아크릴레이트(dipentaerythritol monoacrylate), 디펜타에리트리톨 모노메타크릴레이트, ε-카프로락톤 변성 히드록실에틸 아크릴레이트, ε-카프로락톤 변성 히드록실에틸 메타크릴레이트, 2―히드록시-3-페녹시프로필 아크릴레이트 등의 에폭시 에스테르(epoxy ester) 화합물을 들 수가 있다.  (Iii) As acrylic resin which has a hydroxyl group, the copolymer obtained by making the monomer which has a hydroxyl group as a main copolymerizable monomer, and superposing | polymerizing the other monomer copolymerizable with them as needed is mentioned. As the monomer having a hydroxyl group, monoesters of acrylic acid or methacrylic acid and mono alcohols having 1 to 20 carbon atoms are suitable. For example, hydroxymethyl acrylate ), Hydroxymethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxy Hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate, 3-hydroxybutyl acrylate, 3-hydroxybutyl methacrylate, 4- Hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, etc. are mentioned, Moreover, acrylic acid or methacrylic acid, and C1-C10 Glycol monoesters, glycerol acrylate, glycerol methacrylate, dipentaerythritol monoacrylate, dipentaerythritol monomethacrylate, ε-capro And epoxy ester compounds such as lactone-modified hydroxylethyl acrylate, ε-caprolactone-modified hydroxylethyl methacrylate, and 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate.

상기 히드록실기를 가지는 모노머와 공중합 가능한 다른 모노머로서는 예를 들면, 메틸 아크릴레이트, 에틸 아크릴레이트, n-프로필 아크릴레이트, 이소프로필 아크릴레이트, n-부틸 아크릴레이트, 이소부틸 아크릴레이트, sec-부틸 아크릴레이트, 시클로헥실 아크릴레이트(cyclohexyl acrylate), 2-에틸헥실 아크릴레이트, 스테아릴 아크릴레이트(stearyl acrylate), 메틸 메타크릴레이트, 에틸 메타크릴레이트, n-프로필 메타크릴레이트, 이소프로필 메타크릴레이트, sec-프로필 메타크릴레이트, n-부틸 메타크릴레이트, 이소부틸 메타크릴레이트, sec-부틸 메타크릴레이트, 시클로헥실 메타크릴레이트, 2-에틸헥실 메타크릴레이트, 스테아릴 메타크릴레이트, 2, 2, 2-트리플루오로메틸 아크릴레이트(2, 2, 2-trifluoromethyl acrylate), 2, 2, 2-트리플루오로메틸 메타크릴레이트 등의 α, β-불포화 카르복실산 에스테르(carboxylic acid ester), 스티렌(styrene), α-메틸스티렌, p-비닐톨루엔(p-vinyltoluene) 등의 스티렌류 등을 바람직하게 들 수 있다. 또, 아크릴로니트릴(acylonitrile), 메타크릴로니트릴, 아크릴아미드(acrylamide), 메타크릴아미드, 초산 비닐, 글리시딜 아크릴레이트(glycidyl acrylate), 글리시딜 메타크릴레이트 등도 이용할 수가 있다. 이들은 단독으로 이용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 이용해도 좋다.  As another monomer copolymerizable with the monomer which has the said hydroxyl group, for example, methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl acrylate, sec-butyl Acrylate, cyclohexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, stearyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl methacrylate sec-propyl methacrylate, n-butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, stearyl methacrylate, 2, 2, 2-trifluoromethyl acrylate (2, 2, 2-trifluoromethyl acrylate), 2, 2, 2-trifluoromethyl Styrene, such as (alpha), (beta)-unsaturated carboxylic acid ester (styrene), styrene, (alpha) -methylstyrene, p-vinyltoluene, such as methacrylate, is mentioned preferably. . Moreover, acrylonitrile, methacrylonitrile, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, etc. can also be used. These may be used independently and may be used in combination of 2 or more type.

본 발명의 광경화성 수지 조성물은 상기 (ⅲ) 히드록실기를 가지는 아크릴계 수지를 함유하는 것으로, 내현상성이 향상되고, 정밀도가 높은 화상을 형성할 수 있다. The photocurable resin composition of this invention contains the acrylic resin which has the said (iii) hydroxyl group, and developability improves and can form an image with high precision.

본 발명의 광경화성 수지 조성물중의 (i) 수용성 셀룰로오스 유도체와 (ⅱ) 광중합성 단량체의 비율은 2개의 성분의 총합 100질량부에 대해, (i) 수용성 셀룰로오스 유도체가 10∼50질량부, (ⅱ) 광중합성 단량체가 90∼50질량부, 바람직하게는 (i) 수용성 셀룰로오스 유도체가 20∼40질량부, (ⅱ) 광중합성 단량체가 80∼60질량부, 더 바람직하게는 (i) 수용성 셀룰로오스 유도체가 25∼35질량부, (ⅱ) 광중합성 단량체가 75∼65질량부의 범위가 좋다. 각 성분이 상기 범위 내인 것으로 필요한 패턴 형성 정밀도가 얻어지고, 활성 광선에 대한 충분한 투과성이 얻어진다. 예를 들면, (ⅱ) 광중합성 단량체가 50질량부 이상인 것으로, 현상시에 필요한 광중합성이 얻어지고, 실용상 충분한 화상 형성능이 얻어진다. 또, 광중합성 단량체가 90질량부 이하인 것으로 미세한 화상의 해상성(解像性)이 향상된다.  The ratio of (i) water-soluble cellulose derivative and (ii) photopolymerizable monomer in the photocurable resin composition of the present invention is 10-50 parts by mass of (i) water-soluble cellulose derivative, based on 100 parts by mass of the total of the two components, Ii) 90-50 mass parts of photopolymerizable monomers, Preferably it is 20-40 mass parts of (i) water-soluble cellulose derivatives, (ii) 80-60 mass parts of photopolymerizable monomers, More preferably, (i) water-soluble cellulose The range of 25-35 mass parts of derivatives, and 75-65 mass parts of (ii) photopolymerizable monomers is good. When each component exists in the said range, the required pattern formation precision is obtained and sufficient transmittance | permeability with respect to an actinic light is obtained. For example, since the photopolymerizable monomer (ii) is 50 mass parts or more, the photopolymerization property at the time of image development is obtained, and sufficient image forming ability is obtained practically. Moreover, the resolution of a fine image improves that a photopolymerizable monomer is 90 mass parts or less.

또, (i) 수용성 셀룰로오스 유도체와 (ⅲ) 히드록실기를 가지는 아크릴계 수지의 비율은 2개의 성분의 총합 100질량부에 대해, (i) 수용성 셀룰로오스 유도체가 30∼90질량부, (ⅲ) 히드록실기를 가지는 아크릴계 수지가 70∼10질량부, 바람직하게는 (i) 수용성 셀룰로오스 유도체가 40∼80질량부, (ⅲ) 히드록실기를 가지는 아크릴계 수지가 60∼20질량부, 더 바람직하게는 (i) 수용성 셀룰로오스 유도체가 50∼70질량부, (ⅲ) 히드록실기를 가지는 아크릴 수지가 50∼30질량부의 범위가 좋다. 각 성분이 상기 범위 내인 것으로 필요한 패턴 형성 정밀도가 얻어지고, 활 성 광선에 대한 충분한 투과성이 얻어진다. 예를 들면, (ⅲ) 히드록실기를 가지는 아크릴계 수지가 10질량부 이상의 경우 현상 내성이 향상된다. 90질량부 이하의 경우 현상성이 향상되고, 현상 잔사의 발생을 방지할 수 있다.  The ratio of (i) the water-soluble cellulose derivative and the acrylic resin having the (iii) hydroxyl group is 30 to 90 parts by mass of the (i) water-soluble cellulose derivative, and (iii) the hydroxide relative to a total of 100 parts by mass of the two components. 70-10 mass parts of acrylic resin which has a hydroxyl group, Preferably (i) 40-80 mass parts of water-soluble cellulose derivatives, 60-20 mass parts of acrylic resin which has (iii) hydroxyl groups, More preferably, The range of 50-30 mass parts of (i) 50-70 mass parts of water-soluble cellulose derivatives, and (i) hydroxyl group which has a hydroxyl group is good. The required pattern formation precision is obtained by having each component in the said range, and sufficient transmittance | permeability with respect to an active light ray is obtained. For example, (10) development resistance improves when acrylic resin which has a hydroxyl group is 10 mass parts or more. In the case of 90 mass parts or less, developability can be improved and the development residue can be prevented.

(ⅳ) 광중합 개시제로서는, 일반적으로 알려져 있는 것을 이용할 수가 있고, 예를 들면 벤조페논(benzophenone)류, 벤조인(benzoin)류, 벤조인알킬에테르(benzoin alkyl ether)류, 아세토페논(acetophenone)류, 아미노아세토페논(aminoacetophenone)류, 벤질(benzil)류, 벤조인알킬에테르(benzoin alkyl ether)류, 벤질알킬케탈류, 안트라퀴논(anthraquinone)류, 케탈(ketal)류, 티오크산톤(thioxanthone)류 등을 들 수 있다. 구체적인 예로서 2, 4-비스-트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2, 4-비스-트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2, 4-비스-트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진, 2, 4-비스-트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진(2, 4-bis-trichloromethyl-6-(2-bromo-4-methoxy)styrylphenyl-s-triazine), 2, 4, 6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥시드, 1-〔4-(2-히드록시에톡시)페닐〕-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 2, 4-디에틸티오크산톤, 2, 4-디메틸티오크산톤, 2-클로로티오크산톤, 1-클로로-4-프로폭시티오크산톤, 3, 3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 벤조페논, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 4-벤조일-4'-메틸디메틸술피드, 4-디메틸아미노안식향산, 4-디메틸아미노안식향산메틸, 4-디메틸아미노안 식향산에틸, 4-디메틸아미노안식향산부틸, 4-디메틸아미노안식향산-2-에틸헥실, 4-디메틸아미노안식향산-2-이소아밀, 2, 2-디에톡시아세토페논, 벤질디메틸케탈, 벤질-β-메톡시에틸아세탈, 1-페닐-1, 2-프로판디온-2-(o-에톡시카르보닐)옥심, o-벤조일안식향산메틸, 비스(4-디메틸아미노페닐)케톤, 4, 4'-비스디에틸아미노벤조페논, 벤질, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인-n-부틸 에테르, 벤조인이소부틸에테르, p-디메틸아미노아세토페논, p-tert-부틸트리클로로아세토페논, p-tert-부틸디클로로아세토페논, 티오크산톤, 2-메틸티오크산톤, 2-이소프로필티오크산톤, 디벤조수베론(dibenzosuberone), α,α-디클로로-4-페녹시아세토페논, 펜틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 2-(o-클로로페닐)-4, 5-디페닐이미다졸릴 이량체 등을 들 수가 있다. 이들은 단독으로도 또는 2종 이상을 조합해서도 사용할 수 있다.  (Iii) As the photopolymerization initiator, generally known ones can be used, for example, benzophenones, benzoin, benzoin alkyl ethers, and acetophenones. , Aminoacetophenones, benzils, benzoin alkyl ethers, benzyl alkyl ketals, anthraquinones, ketals, thioxanthones And the like. As a specific example, 2, 4-bis- trichloromethyl-6- (3-bromo- 4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2, 4-bis- trichloromethyl-6- (2-bromo) -4 -methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine, 2,4-bis -Trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine (2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s- triazine), 2, 4, 6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-1-one, 2, 4-diethyl thioxanthone, 2, 4- dimethyl thioxanthone, 2-chloro- thioxanthone, 1-chloro- 4-propoxy thioxanthone, 3, 3- dimethyl- 4-methoxy benzophenone , Benzophenone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane-1-one, 1- (4 -Dodecylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane-1-one, 4-benzoyl-4'-methyldimethyl sulfide, 4-dimethylamino benzoic acid, 4-dimethylamino benzoic acid methyl, 4-dimethylamino eye Ethyl benzoate, 4-dimethylamino benzoate, 4-dimethylamino benzoic acid-2-ethylhexyl, 4-dimethylamino benzoic acid-2-isoamyl, 2,2-diethoxyacetophenone, benzyl dimethyl ketal, benzyl-β- Methoxyethyl acetal, 1-phenyl-1, 2-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, o-benzomonobenzoic acid methyl, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 4, 4'-bis Diethylaminobenzophenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, p-dimethylaminoacetophenone, p- tert-butyl trichloroacetophenone, p-tert-butyl dichloroacetophenone, Thioxanthone, 2-methyl thioxanthone, 2-isopropyl thioxanthone, dibenzosuberone, (alpha), (alpha) -dichloro- 4-phenoxyacetophenone, pentyl 4- dimethylamino benzoate, 2 -(O-chlorophenyl) -4, 5-diphenyl imidazolyl dimer, etc. are mentioned. These can be used individually or in combination of 2 or more types.

상기 (ⅳ) 광중합 개시제는 (i) 수용성 셀룰로오스 유도체와 (ⅳ) 광중합성 단량체의 총합 100질량부에 대해, 0.1∼10질량부의 범위, 보다 바람직하게는 0.2∼5질량부의 범위가 아주 적합하게 이용된다. (ⅳ) 광중합 개시제가 0.1질량부 이상의 경우, 실용으로 충분한 경화성이 얻어진다. 또, (ⅳ) 광중합 개시제가 10질량부 이하의 경우, 개시제의 과잉 흡수에 의한 저부 경화 불량을 방지할 수 있다.  Said photoinitiator (i) is suitably used in the range of 0.1-10 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (i) water-soluble cellulose derivative and (iv) photopolymerizable monomer, More preferably, the range of 0.2-5 mass parts is used suitably. do. (Iii) When 0.1 mass part or more of photoinitiators are practically sufficient sclerosis | hardenability is obtained. Moreover, when (iii) the photoinitiator is 10 mass parts or less, the failure of bottom hardening by excessive absorption of an initiator can be prevented.

본 발명의 광경화성 수지 조성물은 카르복실기를 측쇄에 가지는 올리고머(oligomer) 혹은 폴리머(polymer)를 가지지 않는다. 따라서, 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말을 사용한 경우라도 겔화(gelation)를 일으키지 않는다. 또, 물로 현상 가능하기 때문에 환경에 대해서 영향이 적다. 또한 알칼리 현상형의 광경화성 수지 조성물에 비해 보존 안정성이 뛰어난다. 조성물 중에 포함되는 산 성분이 적기 때문이라고 생각된다.  The photocurable resin composition of this invention does not have an oligomer or a polymer which has a carboxyl group in a side chain. Therefore, gelation does not occur even when a powder of a metal having an ionic valence of 2 or more is used. Moreover, since it can develop with water, there is little influence on the environment. Moreover, compared with alkali developing type photocurable resin composition, it is excellent in storage stability. It is considered that there is little acid component contained in a composition.

상기에 더하여, 본 발명의 광경화성 수지 조성물은 필요에 따라서, 자외선 흡수제, 증감제, 증감조제, 중합 금지제, 가소제, 증점제, 유기용매, 분산제, 소포제, 유기 혹은 무기의 침전 방지제 등의 첨가제 성분을 가할 수가 있다.   In addition to the above, the photocurable resin composition of the present invention, if necessary, additive components such as ultraviolet absorbers, sensitizers, sensitizers, polymerization inhibitors, plasticizers, thickeners, organic solvents, dispersants, antifoaming agents, organic or inorganic precipitation inhibitors, etc. Can be added.

상기 증감제는 감도를 향상시키기 위해 첨가되지만, 그 구체적인 예로서는, 2, 4-디에틸티오크산톤(2 4-diethylthioxanthone), 이소프로필티오크산톤, 2, 3-비스(4-디에틸아미노벤잘)시클로펜탄온, 2, 6-비스(4-디메틸아미노벤잘)시클로헥산온, 2, 6-비스(4-디메틸아미노벤잘)-4-메틸시클로헥산온, 미힐러케톤(Michler's ketone), 4, 4-비스(디에틸아미노)-벤조페논, 4, 4-비스(디메틸아미노)칼콘(4, 4-bis(dimethylamino)chalcone), 4, 4-비스(디에틸아미노)칼콘, p-디메틸아미노신나밀리덴인단온(p-dimethylaminocinnamylidene indanone), p-디메틸아미노벤질리덴인단온, 2-(p-디메틸아미노페닐비닐렌)-이소나프토티아졸, 1, 3-비스(4-디메틸아미노벤잘)아세톤, 1, 3-카르보닐-비스(4-디에틸아미노벤잘)아세톤, 3, 3-카르보닐-비스(7-디에틸아미노큐마린)(3, 3-carbonyl-bis(7-diethylaminocumarine), N-페닐-N-에틸에탄올아민, N-페닐에탄올아민, N-톨릴디에탄올아민(N-tolyldiethanolamine), N-페닐에탄올아민, 디메틸아미노안식향산이소아밀, 디에틸아미노안식향산이소아밀, 3-페닐-5-벤조일티오테트라졸, 1-페닐-5-에톡시카르보닐티오테트라졸 등을 들 수 있고, 그들을 1종 또는 2종 이상 사용할 수가 있다.  The sensitizer is added to improve the sensitivity, but specific examples thereof include 2,4-diethylthioxanthone, isopropyl thioxanthone, and 2,3-bis (4-diethylaminobenzal). ) Cyclopentanone, 2, 6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2, 6-bis (4-dimethylaminobenzal)-4-methylcyclohexanone, Michler's ketone, 4 , 4-bis (diethylamino) -benzophenone, 4, 4-bis (dimethylamino) chalcone (4, 4-bis (dimethylamino) chalcone), 4, 4-bis (diethylamino) chalcone, p-dimethyl Aminocinnamylidene indanone (p-dimethylaminocinnamylidene indanone), p-dimethylaminobenzylidene indanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene) -isonnaphthothiazole, 1, 3-bis (4-dimethylaminobenzal) Acetone, 1, 3-carbonyl-bis (4-diethylaminobenzal) acetone, 3, 3-carbonyl-bis (7-diethylaminocumarin) (3, 3-carbo nyl-bis (7-diethylaminocumarine), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N-phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, N-phenylethanolamine, dimethylamino benzoate isoamyl, Diethylamino benzoic acid isoamyl, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthio tetrazole, etc. are mentioned, These can be used 1 type, or 2 or more types.

또, 중합 금지제는 보존시의 열 안정성을 향상시키기 위해 첨가되지만, 그 구체적인 예로서는, 히드로퀴논(hydroquinone), 히드로퀴논의 모노에스테르(monoester)화물, N-니트로소디페닐아민, 페노티아진, p-t-부틸카테콜, N-페닐나프틸아민, 2, 6-디-t-부틸-p-메틸페놀, 클로라닐(chloranil), 피로갈롤(pyrogallol) 등을 들 수 있다.   Moreover, although a polymerization inhibitor is added in order to improve the thermal stability at the time of storage, as a specific example, hydroquinone, the monoester compound of hydroquinone, N-nitrosodiphenylamine, phenothiazine, p-t -Butyl catechol, N-phenylnaphthylamine, 2, 6-di-t-butyl- p-methylphenol, chloranil, pyrogallol, etc. are mentioned.

또한, 기판에의 추종성 향상을 위한 가소제로서는, 구체적으로 디부틸 프탈레이트(DBP), 디옥틸 프탈레이트(DOP), 프탈산 디시클로헥실, 폴리에틸렌글리콜, 글리세린, 주석산 디부틸 등을 들 수 있다. Moreover, as a plasticizer for improving the followability to a board | substrate, a dibutyl phthalate (DBP), a dioctyl phthalate (DOP), a dicyclohexyl phthalate, polyethyleneglycol, glycerin, dibutyl tartrate, etc. are mentioned specifically ,.

소포제의 구체적인 예로서는, 폴리에틸렌글리콜(분자량 400∼800) 등의 알킬렌글리콜계, 실리콘계, 고급 알코올계의 소포제 등을 들 수 있고, 페이스트 혹은 필름 중의 기포를 감소시켜 소성 후의 빈 구멍을 감소시킬 수가 있다.  Specific examples of the antifoaming agent include alkylene glycol-based, silicone-based, and higher alcohol-based antifoaming agents such as polyethylene glycol (molecular weight 400 to 800), and the voids after firing can be reduced by reducing bubbles in the paste or film. .

또한, 본 발명의 광경화성 수지 조성물은 결착제로서 (C) 유리 분말을 함유해도 좋다. (C) 유리 분말은 노광 광원에 대해서 필요한 투명성을 만족시키는 것이면 특히 한정은 없다. (C) 유리 분말로서는, 구체적으로는 예를 들면 PbO-SiO2계, PbO-B2O3-SiO2계, ZnO-SiO2계, ZnO-B2O3-SiO2계, BiO-SiO2계, BiO-B2O3-SiO2계의 붕규산납 유리, 붕규산아연 유리, 붕규산비스무스 유리 등의 유리 분말을 들 수 있다.  In addition, the photocurable resin composition of this invention may contain (C) glass powder as a binder. The glass powder (C) is not particularly limited as long as it satisfies the necessary transparency to the exposure light source. Specific examples of the (C) glass powder include PbO-SiO 2 -based, PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -based, ZnO-SiO 2 -based, ZnO-B 2 O 3 -SiO 2 -based, and BiO-SiO. And glass powders such as lead borosilicate glass, zinc borosilicate glass, bismuth borosilicate glass, and the like of the bisystem and the BiO-B 2 O 3 -SiO 2 system.

(C) 유리 분말의 입자경은 제작하는 패턴의 형상에 의하지만, 평균 입경이 0.5∼10μm, 바람직하게는 1∼8μm가 아주 적합하게 이용된다. 평균 입경이 10μm 를 넘으면, 고정밀도의 패턴 형성시에 표면 요철이 생기기 때문에 바람직하지 않고, 평균 입경이 1μm 미만에서는 소성시에 미세한 공동이 형성되고 절연 불량 발생의 원인으로 되어 바람직하지 않다. 이 (C) 유리 분말의 형상으로서는 구 형상, 블록 형상, 플레이크(flake) 형상, 덴드라이트(dendrite) 형상 등을 들 수 있고, 그 단독 또는 2 종류 이상을 조합하여 이용할 수가 있다.  Although the particle diameter of (C) glass powder is based on the shape of the pattern to produce, average particle diameter is 0.5-10 micrometers, Preferably 1-8 micrometers is used suitably. If the average particle diameter exceeds 10 µm, surface irregularities occur at the time of forming a high-precision pattern, which is not preferable. If the average particle diameter is less than 1 µm, fine cavities are formed during firing, which is not preferable because it causes insulation failure. As a shape of this (C) glass powder, spherical shape, a block shape, a flake shape, a dendrite shape, etc. are mentioned, It can be used individually or in combination of 2 or more types.

본 발명의 광경화성 수지 조성물중의 (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말과 (B) 유기 성분의 비율은 광경화성 수지 조성물의 총합 100질량부에 대해, (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말이 60∼90질량부, (B) 유기 성분이 10∼40질량부, 바람직하게는 (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말이 65∼85질량부, (B) 유기 성분이 35∼15질량부, 보다 바람직하게는 (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말이 70∼80질량부, (B) 유기 성분이 30∼20질량부이다. (B) 유기 성분이 10질량부 이상인 것으로 실용상 충분한 광중합성이 얻어지고 충분한 화상 형성을 할 수 있다. 한편, (B) 유기 성분이 40질량부 이하인 것으로 소성 후의 패턴 박리의 발생을 억제할 수 있어 바람직하다.   In the photocurable resin composition of the present invention, the ratio of the powder of the metal having two or more ionic valences to be blackened by oxidation (A) and (B) the organic component is based on 100 parts by mass of the total of the photocurable resin composition (A). 60 to 90 parts by mass of a powder of a metal having two or more ionic valences blackened by oxidation, and 10 to 40 parts by mass of an organic component (B), preferably two or more ionic valences blackened by oxidation (A) 65-85 mass parts of metal powders, 35-15 mass parts of (B) organic components, More preferably, 70-80 mass parts of powders of the metal whose ionic valence to blacken by (A) oxidation are two or more, (B) The organic component is 30-20 mass parts. (B) Since the organic component is 10 mass parts or more, practically sufficient photopolymerization is obtained and sufficient image formation can be performed. On the other hand, since (B) organic component is 40 mass parts or less, generation | occurrence | production of the pattern peeling after baking can be suppressed and it is preferable.

본 발명의 광경화성 수지 조성물은 용제에 용해 또는 분산시켜 조제된다. 사용하는 용제로서는, (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말과의 친화성과 (B) 유기 성분의 용해성이 양호하고, 경화성 수지 조성물에 적당한 점성을 부여할 수가 있고, 건조됨으로써 용이하게 증발 제거할 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 이러한 용제의 구체적인 예로서는, 디에틸케톤, 메틸부틸 케톤, 디프로필케톤, 시클로헥산온(cyclohexanone) 등의 케톤류; n-펜탄올, 4-메틸-2-펜탄올(4-methyl-2-pentanol), 시클로헥산올, 디아세톤알코올 등의 알코올류; 에틸렌글리콜모노메틸에테르(ethyleneglycol monomethyl ether), 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르(diethyeneglycol diethyl ether) 등의 에테르계 알코올류; 초산-n-부틸(n-butyl acetate), 초산아밀 등의 포화 지방족 모노카르복실산 알킬 에스테르류; 젖산 에틸(ethyl lactate), 젖산-n-부틸 등의 젖산 에스테르류; 메틸셀로솔브 아세테이트(methylcellosolve acetate), 에틸셀로솔브 아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 아세테이트(propyleneglycol monomethyl ether acetate), 프로필렌글리콜모노에틸에테르 아세테이트, 에틸-3-에톡시 프로피오네이트, 2-메톡시부틸 아세테이트, 3-메톡시부틸 아세테이트, 4-메톡시부틸 아세테이트, 2-메틸-3-메톡시부틸 아세테이트(2-methyl-3-methoxybutyl acetate), 3-메틸-3-메톡시부틸 아세테이트, 3-에틸-3-메톡시부틸 아세테이트, 2-에톡시부틸 아세테이트, 4-에톡시부틸 아세테이트, 4-프로폭시부틸 아세테이트, 2-메톡시펜틸 아세테이트 등의 에테르계 에스테르류 등을 예시할 수가 있다. 이들은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수가 있다.  The photocurable resin composition of this invention is prepared by melt | dissolving or disperse | distributing in a solvent. As a solvent to be used, the affinity with the powder of the metal whose ionic valence blackening by (A) oxidation is two or more, and the solubility of (B) organic component are favorable, and moderate viscosity can be provided to curable resin composition, and it is dried It will not specifically limit, if it becomes easy to carry out evaporation removal by becoming. Specific examples of such a solvent include ketones such as diethyl ketone, methyl butyl ketone, dipropyl ketone and cyclohexanone; n-pentanol and 4-methyl-2-pentanol (4-methyl-2-pentanol) Alcohols such as cyclohexanol and diacetone alcohol; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene Ether alcohols such as glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether and diethylene glycol diethyl ether; n-butyl acetate, amyl acetate Saturated aliphatic monocarboxylic acid alkyl esters such as; lactic acid esters such as ethyl lactate and lactic acid-n-butyl; methylcellosol Acetate (methylcellosolve acetate), ethyl cellosolve acetate, propyleneglycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethyl-3-ethoxy propionate, 2-methoxybutyl acetate, 3 -Methoxybutyl acetate, 4-methoxybutyl acetate, 2-methyl-3-methoxybutyl acetate (2-methyl-3-methoxybutyl acetate), 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-ethyl-3 Ether esters such as -methoxybutyl acetate, 2-ethoxybutyl acetate, 4-ethoxybutyl acetate, 4-propoxybutyl acetate, and 2-methoxypentyl acetate; and the like can be exemplified. These can be used individually or in combination of 2 or more types.

상기 용제의 함유 비율은 경화성 수지 조성물의 점도를 바람직한 범위로 유지하기 위해, (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말과 (B) 유기 성분의 총합 100질량부에 대해서 300질량부 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 10∼70질량부, 25∼35질량부가 가장 바람직하다. In order to keep the viscosity of curable resin composition in a preferable range, the said content rate of the said solvent is 300 with respect to 100 mass parts of total of the powder of the metal whose (A) ionizing blackening is two or more, and (B) organic component. Mass parts or less are preferable, More preferably, 10-70 mass parts and 25-35 mass parts are the most preferable.

본 발명의 감광성 필름은 이하와 같이 하여 제작된다.The photosensitive film of this invention is produced as follows.

우선, 상기 광경화성 수지 조성물을 지지 필름 상에 건조 막 두께가 10∼50μm가 되도록 성막화(도포 및 건조)하여 감광성 페이스트막을 만든다. 사용하는 지지 필름으로서는 예를 들면, 막 두께 15∼125μm의 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리카보네이트, 폴리염화비닐 등의 합성 수지 필름으로 이루어지는 가요성(flexible) 필름 등을 들 수 있다. 이 지지 필름에는 필요에 따라서, 전사가 용이하게 되도록 이형 처리를 해도 좋다. 또, 도포에 있어서는, 어플리케이터(applicator), 바 코터(bar coater), 와이어 바 코터(wire bar coater), 롤 코터(roll coater), 커텐 플로우 코터(curtain flow coater) 등을 이용하는 것이 좋다. 특히 롤 코터는 막 두께의 균일성이 뛰어나 두께가 두꺼운 막이 효율적으로 형성될 수 있기 때문에 바람직하다. First, the said photocurable resin composition is formed into a film on a support film so that a dry film thickness may be set to 10-50 micrometers (coating and drying), and a photosensitive paste film is formed. As a support film to be used, the flexible film which consists of synthetic resin films, such as polyethylene terephthalate of 15-125 micrometers of thickness, polyethylene, polypropylene, polycarbonate, polyvinyl chloride, etc. is mentioned, for example. Can be. You may perform a mold release process to this support film so that transfer may become easy as needed. In application, it is preferable to use an applicator, a bar coater, a wire bar coater, a roll coater, a curtain flow coater, or the like. In particular, the roll coater is preferable because the film thickness is excellent in uniformity and a thick film can be formed efficiently.

다음에, 이 감광성 페이스트막의 미사용시에 감광성 페이스트막을 안정하게 보호하기 위해 보호 필름을 부착하여 감광성 필름을 얻는다. 이 보호 필름으로서는 예를 들면, 실리콘을 코팅 또는 소부(燒付)한 두께 15∼125μm 정도의 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate) 필름, 폴리프로필렌(polypropylene) 필름, 폴리에틸렌(polyethylene) 필름 등이 아주 적합하다.  Next, in order to stably protect the photosensitive paste film when the photosensitive paste film is not in use, a protective film is attached to obtain a photosensitive film. As this protective film, the polyethylene terephthalate film, the polypropylene film, the polyethylene film, etc. which are about 15-125 micrometers in thickness which coated or baked the silicon | silicone are suitable, for example. .

다음에, 본 발명의 경화성 수지 조성물을 이용한 블랙 매트릭스의 형성 방법 을 설명한다. 기판 상에 도포 또는 전사로 형성한 경화성 수지 조성물층에 자외선, 엑시머 레이저(excimer laser), X선, 전자선 등의 활성 광선을 마스크를 개재하여 조사함으로써 화상 노광한다. 다음에, 물을 이용하여 현상 처리를 하고, 미조사부를 용해 제거하여 기판 상에 패턴을 형성하고 소성한다. 또는, 마스크 없이 전면 노광하고 현상 처리하는 일 없이 패턴을 형성하고, 그것을 산소 존재하에서 소성·흑색화하여 블랙 매트릭스(black matrix)를 형성한다.  Next, the formation method of the black matrix using the curable resin composition of this invention is demonstrated. Image exposure is performed by irradiating curable resin composition layer formed by application | coating or transcription | transfer on a board | substrate through actinic light, such as an ultraviolet-ray, an excimer laser, an X-ray, an electron beam, through a mask. Next, development is carried out using water, and the unilluminated portion is dissolved and removed to form a pattern on the substrate and fire. Alternatively, a pattern is formed without exposing the entire surface without a mask and developing. Then, the pattern is baked and blackened in the presence of oxygen to form a black matrix.

보다 고정밀도의 패턴을 형성하는 경우에는, 상기 감광성 필름을 이용하여 먼저 감광성 필름으로부터 보호 필름을 제거하고, 기판에 감광성 페이스트막을 전사하고, 화상 노광 또는 전면 노광한 후 지지 필름을 제거한다. 다음에, 화상 노광한 감광성 페이스트막의 경우에는, 현상 처리에 제공하여 패턴을 형성한다. 전면 노광한 감광성 페이스트막의 경우에는, 현상 처리하는 일 없이 경화 피막을 형성하고, 산소 존재하에서 소성한다.  When forming a higher precision pattern, a protective film is first removed from the photosensitive film using the said photosensitive film, a photosensitive paste film is transferred to a board | substrate, an image exposure or a whole surface exposure, and a support film is removed. Next, in the case of the photosensitive paste film | membrane image-exposed, it provides to a developing process and forms a pattern. In the case of the photosensitive paste film exposed to the entire surface, a cured film is formed without developing, and baked in the presence of oxygen.

상기 기판으로서는 예를 들면, 유리 기판, 당해 유리 기판 상에 버스 전극(bus electrode) 등의 전극을 설치한 기판, 세라믹 기판 등을 들 수 있다. 또, 감광성 페이스트막의 전사에 있어서는, 감광성 페이스트막을 기판 표면에 중합시켜 핫 롤 라미네이터(hot roll laminator) 등에 의해 열압착하는 것이 바람직하다. 열압착은 기판의 표면 온도를 80∼140℃로 가열하고, 롤압 1∼5kg/cm2, 이동 속도 0.1∼10.0m/분의 범위로 하는 것이 바람직하다. 상기 기판은 예열되어 있어도 좋고, 예열 온도로서는 예를 들면 40∼100℃의 범위가 선택된다. 또한 노광에서 사용되는 방사선 조사 장치로서는, 포토리소그래피(photolithography)법으로 일반적으로 사용되고 있는 자외선 조사 장치, 반도체 및 액정 표시 장치를 제조할 때에 사용되고 있는 노광 장치 등을 사용할 수가 있다.  As said board | substrate, the board | substrate which provided electrodes, such as a bus electrode, on the glass substrate, the board | substrate, a ceramic board | substrate, etc. are mentioned, for example. In the transfer of the photosensitive paste film, it is preferable that the photosensitive paste film is polymerized on the substrate surface and thermally compressed by a hot roll laminator or the like. In the thermocompression bonding, the surface temperature of the substrate is heated to 80 to 140 ° C, and the roll pressure is preferably in the range of 1 to 5 kg / cm 2 and a moving speed of 0.1 to 10.0 m / min. The said board | substrate may be preheated, and a range of 40-100 degreeC is selected as a preheating temperature, for example. Moreover, as a radiation irradiation apparatus used by exposure, the ultraviolet irradiation apparatus generally used by the photolithography method, the exposure apparatus used when manufacturing a semiconductor, and a liquid crystal display device, etc. can be used.

상술한 것처럼 현상 처리는 (i) 수용성 셀룰로오스 유도체 성분을 가지므로 물로 행할 수가 있다. 물의 온도는 10∼50℃가 바람직하고, 20∼40℃가 보다 바람직하다. 이 범위를 벗어나면 현상성이 저하되고 현상 잔사가 발생하기 때문이다. 또, 현상 처리에 있어서는, 감광성 페이스트막의 특성에 따라서 현상 시간, 현상 온도, 현상 방법(예를 들면, 침지법, 요동법, 샤워법, 스프레이(spray)법, 패들(paddle)법 등), 현상 장치 등을 적당히 선택할 수가 있다. 본 발명의 광경화성 수지 조성물은 물로 용이하게 현상을 할 수 있고, 유기 용제나 알칼리 수용액에 의한 환경 문제나 인체에의 악영향이 없고, 또한 충분한 흑색을 가지는 블랙 매트릭스를 형성할 수가 있다.  As described above, the developing treatment (i) has a water-soluble cellulose derivative component and can be performed with water. 10-50 degreeC is preferable and, as for the temperature of water, 20-40 degreeC is more preferable. It is because developability will fall and developing residue will arise out of this range. In the development treatment, the development time, the development temperature, the development method (for example, the immersion method, the rocking method, the shower method, the spray method, the paddle method, etc.) and the development depending on the characteristics of the photosensitive paste film. The device etc. can be selected suitably. The photocurable resin composition of this invention can be easily developed with water, and can form the black matrix which does not have an environmental problem by an organic solvent or an aqueous alkali solution, or a bad influence to a human body, and has sufficient black.

상기 소성에 사용되는 온도로서는, (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속의 분말을 충분히 흑색화시키고, 또한 (B) 유기 성분을 소실시키는 온도면 좋다. 구체적으로는 400∼1000℃, 바람직하게는 500∼1000℃, 보다 바람직하게는 500∼600℃의 온도 범위이다. 400℃ 미만이라면 (B) 유기 성분이 소실되지 않고, 1000℃를 넘으면 금속에 따라서는 (예를 들면, 동 등), 일단 흑색으로 된 금속이 또 다른 색으로 변색하기 때문이다. 소성 시간은 온도에 따라서 다르지만, 예를 들면 상온으로부터 10℃/min의 온도 상승 속도로 가열하고 500∼600℃에서 소성하는 경우에는 10∼120분간이다.  As temperature used for the said baking, what is necessary is just the temperature which blackens the powder of the metal whose ionic valence blackens by blackening by (A) oxidation fully 2, and loses (B) organic component. Specifically, it is 400-1000 degreeC, Preferably it is 500-1000 degreeC, More preferably, it is the temperature range of 500-600 degreeC. It is because if it is less than 400 degreeC, the organic component (B) will not lose | disappear and if it exceeds 1000 degreeC, depending on a metal (for example, copper etc.), once the black metal turns into another color. Although baking time changes with temperature, it is 10 to 120 minutes, for example, when heating at normal temperature from 10 degree-C / min and heating at 500-600 degreeC.

상기 방법에 의해 얻어진 본 발명의 블랙 매트릭스는 광학 밀도(OD값)가 3.0 이상인 것을 특징으로 한다.  The black matrix of the present invention obtained by the above method is characterized by having an optical density (OD value) of 3.0 or more.

본 발명의 블랙 매트릭스는 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel), 유기 EL, 무기 EL, 필드 이미션 디스플레이(field emission display) 등의 각종의 디스플레이를 제작하는 재료로서 이용되지만, 특히 PDP에 아주 적합하게 사용할 수 있다.  Although the black matrix of the present invention is used as a material for manufacturing various displays such as plasma display panels, organic ELs, inorganic ELs, field emission displays, and the like, it is particularly suitable for use in PDPs. Can be.

본 발명의 PDP는 상기 광경화성 수지 조성물로 이루어지는 블랙 매트릭스 형성 방법에 의해 얻어진 블랙 매트릭스(black matrix)를 포함한다. 본 발명의 PDP는 통상의 PDP 제조 방법으로 제조된다. 구체적으로는 유리 기판 등의 기판 상에 격벽, 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터(color filter)로부터 선택되는 구성 요소를 공지 방법으로 형성하고, 블랙 매트릭스는 상기 광경화성 수지 조성물로 이루어지는 블랙 매트릭스 형성 방법에 의해 형성함으로써 PDP를 제조한다.The PDP of this invention contains the black matrix obtained by the black matrix formation method which consists of said photocurable resin composition. The PDP of this invention is manufactured by the conventional PDP manufacturing method. Specifically, components selected from barrier ribs, electrodes, resistors, dielectric layers, phosphors, and color filters are formed on a substrate such as a glass substrate by a known method, and the black matrix is a black matrix composed of the photocurable resin composition. PDP is manufactured by forming by a formation method.

<실시예>  <Example>

이하, 실시예에 의거하여 본 발명에 대해서 더 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.  EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail based on an Example. In addition, this invention is not limited to the following Example.

〔실시예 1〕EXAMPLE 1

(1) 수현상형 레지스트(resist) 조성물의 조정(1) Adjustment of Water Developing Resist Composition

(i) 수용성 셀룰로오스 유도체로서 히드록시프로필셀룰로오스(hydroxypropylcellulose) 22질량부, 아크릴 수지로서 스티렌/히드록시에틸 메타크릴레이트=55/45(질량%) 공중합체(Mw=40000) 14질량부, 광중합 단량체로서 2-메 타크릴로일옥시에틸 2-히드록시프로필 프탈레이트(상품명: HO-MPP, 쿄오에이화학(주)사 제조) 63질량부, 광중합 개시제로서 2, 2-디메톡시-2-페닐아세토페논(상품명 IR-651, 치바가이기사 제조) 1.0질량부 및 용제로서 3-메톡시 3-메틸부탄올 100질량부를 뒤섞음 기계로 3시간 혼합함으로써, 수현상형 레지스트(resist) 조성물을 조정하였다. (i) 22 parts by mass of hydroxypropylcellulose as the water-soluble cellulose derivative, 14 parts by mass of styrene / hydroxyethyl methacrylate = 55/45 (mass%) copolymer (Mw = 40000) as the acrylic resin, and a photopolymerization monomer As a 2-methacryloyloxyethyl 2-hydroxypropyl phthalate (brand name: HO-MPP, the Kyoi Chemical Co., Ltd. product) 63 mass parts, as a photoinitiator, 2, 2- dimethoxy- 2-phenylacetophenone (Product name IR-651, manufactured by Chiba Co., Ltd.) The water-developing resist composition was adjusted by mixing 1.0 parts by mass and 100 parts by mass of 3-methoxy 3-methylbutanol as a solvent by mixing with a mixing machine.

(2) 광경화성 수지 조성물의 조정(2) Adjustment of photocurable resin composition

상기 (1)에서 조정한 수현상형 레지스트 조성물(고형분 50%) 50질량부와 동 분말(평균 입경 1μm) 75질량부를 혼련함으로써 광경화성 수지 조성물을 조정하였다. The photocurable resin composition was adjusted by kneading 50 mass parts of water developable resist compositions (solid content 50%) and 75 mass parts of copper powders (average particle diameter 1 micrometer) adjusted by said (1).

(3) 감광성 필름의 제조(3) Preparation of Photosensitive Film

상기 (2)에서 조정한 광경화성 수지 조성물을 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate)로 이루어지는 지지 필름 상에 립 코터(lip coater)를 이용하여 도포하고, 도막을 100℃에서 6분간 건조하여 용제를 완전하게 제거하고, 두께 16μm의 감광성 페이스트막을 지지 필름 상에 형성하였다. 다음에 감광성 페이스트막 상에 25μm 두께의 폴리에틸렌(polyethylene) 필름을 맞대어 감광성 필름을 제조하였다.  The photocurable resin composition adjusted in the above (2) is applied onto a support film made of polyethylene terephthalate using a lip coater, and the coating film is dried at 100 ° C. for 6 minutes to completely remove the solvent. It removed and the 16-micrometer-thick photosensitive paste film | membrane was formed on the support film. Next, a 25 μm-thick polyethylene film was abutted on the photosensitive paste film to prepare a photosensitive film.

(4) 감광성 필름의 평가(4) Evaluation of the photosensitive film

상기 (3)에서 제조한 감광성 필름의 폴리에틸렌 필름을 벗기면서, 미리 80℃로 가열해 둔 유리 기판에 핫 롤 라미네이터(hot roll laminator)에 의해 105℃에 서 라미네이트(laminate)하였다. 에어 압력은 3kg/cm2로 하고, 라미네이트 속도는 1.0m/min로 하였다.The polyethylene film of the photosensitive film prepared in the above (3) was peeled off and laminated at 105 ° C by a hot roll laminator on a glass substrate previously heated to 80 ° C. The air pressure was 3 kg / cm 2 , and the lamination speed was 1.0 m / min.

이어서 지지 필름인 폴리에틸렌테레프탈레이트를 박리하고, 감광성 페이스트막에 시험 각(角) 패턴 마스크를 개재하여, 초고압 수은등에 의해 500mJ/cm2의 조사양으로 자외선 노광을 하였다. 액온 30℃의 물을 이용하여 3kg/cm2의 분사압으로 30초간의 스프레이(spray) 현상을 하여 패턴을 형성하였다. 밀착성을 평가했더니, 남은 최소 선폭은 30μm였다. 또, SEM으로 패턴 형상을 관찰했더니, 사다리꼴의 패턴 형상이 얻어졌다.Next, the polyethylene terephthalate which is a support film was peeled off, and the ultraviolet-ray exposure was carried out with the irradiation amount of 500mJ / cm <2> with an ultrahigh pressure mercury lamp through the test angle pattern mask on the photosensitive paste film. A pattern was formed by spraying for 30 seconds at a spray pressure of 3 kg / cm 2 using water at a liquid temperature of 30 ° C. When the adhesiveness was evaluated, the minimum line width remaining was 30 μm. Moreover, when the pattern shape was observed by SEM, the trapezoidal pattern shape was obtained.

패턴 소성 후의 형상 안정성과 흑색도를 평가하기 위해, 온도 상승 스피드 1.0℃/min로 가열하고, 580℃에서 30분간 유지하는 소성 처리를 하였다. 그 결과, 직사각형의 양호한 패턴 형상을 가지고, OD값 3.5의 충분한 흑색을 가지는 블랙 매트릭스가 형성되었다.  In order to evaluate the shape stability and blackness after pattern baking, the baking process heated at 1.0 degreeC / min in temperature rise speed, and hold | maintained at 580 degreeC for 30 minutes was performed. As a result, a black matrix having a good rectangular shape and having a sufficient black color with an OD value of 3.5 was formed.

〔실시예 2〕EXAMPLE 2

동 분말을 철 분말(평균 입경 1μm)로 변경한 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여 감광성 필름을 제조하였다. 제조한 감광성 필름의 폴리에틸렌 필름을 벗기면서, 미리 80℃로 가열해 둔 유리 기판에 핫 롤 라미네이터(hot roll laminator)에 의해 105℃에서 라미네이트(laminate)하였다. 에어 압력은 3kg/cm2로 하고, 라미네이트 속도는 1.0m/min로 하였다.A photosensitive film was produced in the same manner as in Example 1 except that the copper powder was changed to an iron powder (average particle size 1 μm). The polyethylene film of the prepared photosensitive film was peeled off and laminated at 105 ° C by a hot roll laminator on a glass substrate previously heated to 80 ° C. The air pressure was 3 kg / cm 2 , and the lamination speed was 1.0 m / min.

이어서 지지 필름인 폴리에틸렌테레프탈레이트를 박리하고, 감광성 페이스트막에 시험 각(角) 패턴 마스크를 개재하여, 초고압 수은등에 의해 500mJ/cm2의 조사양으로 자외선 노광을 하였다. 액온 30℃의 물을 이용하여 3kg/cm2의 분사압으로 30초간의 스프레이(spray) 현상을 하여 패턴을 형성하였다. 밀착성을 평가했더니, 남은 최소 선폭은 30μm였다. 또, SEM으로 패턴 형상을 관찰했더니, 사다리꼴의 패턴 형상이 얻어졌다.Next, the polyethylene terephthalate which is a support film was peeled off, and the ultraviolet-ray exposure was carried out with the irradiation amount of 500mJ / cm <2> with an ultrahigh pressure mercury lamp through the test angle pattern mask on the photosensitive paste film. A pattern was formed by spraying for 30 seconds at a spray pressure of 3 kg / cm 2 using water at a liquid temperature of 30 ° C. When the adhesiveness was evaluated, the minimum line width remaining was 30 μm. Moreover, when the pattern shape was observed by SEM, the trapezoidal pattern shape was obtained.

패턴 소성 후의 형상 안정성과 흑색도를 평가하기 위해, 온도 상승 스피드 1.0℃/min로 가열하고, 580℃에서 30분간 유지하는 소성 처리를 하였다. 그 결과, 직사각형의 양호한 패턴 형상을 가지고, OD값 3.5의 충분한 흑색을 가지는 블랙 매트릭스가 형성되었다.   In order to evaluate the shape stability and blackness after pattern baking, the baking process heated at 1.0 degreeC / min in temperature rise speed, and hold | maintained at 580 degreeC for 30 minutes was performed. As a result, a black matrix having a good rectangular shape and having a sufficient black color with an OD value of 3.5 was formed.

〔실시예 3〕EXAMPLE 3

동 분말을 코발트 분말(평균 입경 1μm)로 변경한 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여 감광성 필름을 제조하였다. 제조한 감광성 필름의 폴리에틸렌 필름을 벗기면서, 미리 80℃로 가열해 둔 유리 기판에 핫 롤 라미네이터(hot roll laminator)에 의해 105℃에서 라미네이트(laminate)하였다. 에어 압력은 3kg/cm2로 하고, 라미네이트 속도는 1.0m/min로 하였다. 이어서 지지 필름인 폴리에틸렌테레프탈레이트를 박리하고, 감광성 페이스트막에 시험 각 패턴 마스크를 개재하여, 초고압 수은등에 의해 500mJ/cm2의 조사양으로 자외선 노광을 하였다. 액온 30℃의 물 을 이용하여 3kg/cm2의 분사압으로 30초간의 스프레이 현상을 하여 패턴을 형성하였다. 밀착성을 평가했더니, 남은 최소 선폭은 30μm였다. 또, SEM으로 패턴 형상을 관찰했더니, 사다리꼴의 패턴 형상이 얻어졌다.A photosensitive film was produced in the same manner as in Example 1 except that the copper powder was changed to cobalt powder (average particle size 1 μm). The polyethylene film of the prepared photosensitive film was peeled off and laminated at 105 ° C by a hot roll laminator on a glass substrate previously heated to 80 ° C. The air pressure was 3 kg / cm 2 , and the lamination speed was 1.0 m / min. Subsequently, the polyethylene terephthalate which is a support film was peeled off, and the ultraviolet-ray exposure was carried out with the irradiation amount of 500mJ / cm <2> by the ultrahigh pressure mercury lamp through the test pattern mask on the photosensitive paste film. The pattern was formed by spraying for 30 seconds at a spray pressure of 3 kg / cm 2 using water at a liquid temperature of 30 ° C. When the adhesiveness was evaluated, the minimum line width remaining was 30 μm. Moreover, when the pattern shape was observed by SEM, the trapezoidal pattern shape was obtained.

패턴 소성 후의 형상 안정성과 흑색도를 평가하기 위해, 온도 상승 스피드 1.0℃/min로 가열하고, 580℃에서 30분간 유지하는 소성 처리를 하였다. 그 결과, 직사각형의 양호한 패턴 형상을 가지고, OD값 3.5의 충분한 흑색을 가지는 블랙 매트릭스가 형성되었다.   In order to evaluate the shape stability and blackness after pattern baking, the baking process heated at 1.0 degreeC / min in temperature rise speed, and hold | maintained at 580 degreeC for 30 minutes was performed. As a result, a black matrix having a good rectangular shape and having a sufficient black color with an OD value of 3.5 was formed.

〔실시예 4〕EXAMPLE 4

아크릴 수지로서 이소부틸 메타크릴레이트/히드록시에틸 아크릴레이트=90/10(질량%) 공중합체(Mw=70000)를 이용한 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여 감광성 필름을 제조하였다. 제조한 감광성 필름의 폴리에틸렌 필름을 벗기면서, 미리 80℃로 가열해 둔 유리 기판에 핫 롤 라미네이터(hot roll laminate)에 의해 105℃에서 라미네이트(laminate)하였다. 에어 압력은 3kg/cm2로 하고, 라미네이트 속도는 1.0m/min로 하였다. 이어서 지지 필름인 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate)를 박리하고, 감광성 페이스트막에 시험 각 패턴 마스크를 개재하여, 초고압 수은등에 의해 500mJ/cm2의 조사양으로 자외선 노광을 하였다. 액온 30℃의 물을 이용하여 3kg/cm2의 분사압으로 30초간의 스프레이 현상을 하여 패턴을 형성하였다. 밀착성을 평가했더니, 남은 최소 선폭은 30μm였다. 또, SEM으로 패턴 형상을 관찰했더니, 사다리꼴의 패턴 형상이 얻어졌다.A photosensitive film was produced in the same manner as in Example 1 except that isobutyl methacrylate / hydroxyethyl acrylate = 90/10 (mass%) copolymer (Mw = 70000) was used as the acrylic resin. While peeling the polyethylene film of the produced photosensitive film, it laminated at 105 degreeC with the hot roll laminate on the glass substrate previously heated at 80 degreeC. The air pressure was 3 kg / cm 2 , and the lamination speed was 1.0 m / min. Subsequently, polyethylene terephthalate as a support film was peeled off, and ultraviolet exposure was carried out with an irradiation amount of 500 mJ / cm 2 with an ultrahigh pressure mercury lamp through a test pattern mask on a photosensitive paste film. The pattern was formed by spraying for 30 seconds using the injection pressure of 3 kg / cm <2> using water of 30 degreeC of liquid temperature. When the adhesiveness was evaluated, the minimum line width remaining was 30 μm. Moreover, when the pattern shape was observed by SEM, the trapezoidal pattern shape was obtained.

패턴 소성 후의 형상 안정성과 흑색도를 평가하기 위해, 온도 상승 스피드 1.0℃/min로 가열하고, 580℃에서 30분간 유지하는 소성 처리를 하였다. 그 결과, 직사각형의 양호한 패턴 형상을 가지고, OD값 3.5의 충분한 흑색을 가지는 블랙 매트릭스가 형성되었다.  In order to evaluate the shape stability and blackness after pattern baking, the baking process heated at 1.0 degreeC / min in temperature rise speed, and hold | maintained at 580 degreeC for 30 minutes was performed. As a result, a black matrix having a good rectangular shape and having a sufficient black color with an OD value of 3.5 was formed.

〔실시예 5〕[Example 5]

실시예 1의 (1)에서 조정한 수현상형 레지스트 조성물(고형분 50%) 50질량부와 동 분말(평균 입경 1μm) 75질량부와 유리 프릿(glass frit) 10중량부를 혼련함으로써 광경화성 수지 조성물을 조정한 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 감광성 필름을 제조하였다. 제조한 감광성 필름의 폴리에틸렌 필름을 벗기면서, 미리 80℃로 가열해 둔 유리 기판에 핫 롤 라미네이터에 의해 105℃에서 라미네이트하였다. 에어 압력은 3kg/cm2로 하고, 라미네이트 속도는 1.0m/min로 하였다. 이어서 지지 필름인 폴리에틸렌 테레프탈레이트를 박리하고, 감광성 페이스트막에 시험 각 패턴 마스크를 개재하여, 초고압 수은등에 의해 500mJ/cm2의 조사양으로 자외선 노광을 하였다. 액온 30℃의 물을 이용하여 3kg/cm2의 분사압으로 30초간의 스프레이 현상을 하여 패턴을 형성하였다. 밀착성을 평가했더니, 남은 최소 선폭은 30μm였다. 또, SEM으로 패턴 형상을 관찰했더니, 사다리꼴의 패턴 형상이 얻어졌다.The photocurable resin composition was kneaded by mixing 50 parts by mass of the water-developed resist composition (solid content 50%), 75 parts by mass of copper powder (average particle size 1 μm) and 10 parts by weight of glass frit, adjusted in Example 1 (1). Except having adjusted, it carried out similarly to Example 1, and manufactured the photosensitive film. It peeled at 105 degreeC with the hot roll laminator on the glass substrate previously heated at 80 degreeC, peeling the polyethylene film of the manufactured photosensitive film. The air pressure was 3 kg / cm 2 , and the lamination speed was 1.0 m / min. Next, the polyethylene terephthalate which is a support film was peeled off, and the ultraviolet-ray exposure was carried out with the irradiation amount of 500mJ / cm <2> with an ultrahigh pressure mercury lamp through the test pattern mask on the photosensitive paste film. The pattern was formed by spraying for 30 seconds using the injection pressure of 3 kg / cm <2> using water of 30 degreeC of liquid temperature. When the adhesiveness was evaluated, the minimum line width remaining was 30 μm. Moreover, when the pattern shape was observed by SEM, the trapezoidal pattern shape was obtained.

패턴 소성 후의 형상 안정성과 흑색도를 평가하기 위해, 온도 상승 스피드 1.0℃/min로 가열하고, 580℃에서 30분간 유지하는 소성 처리를 하였다. 그 결과, 직사각형의 양호한 패턴 형상을 가지고, OD값 3.5의 충분한 흑색을 가지는 블랙 매트릭스가 형성되었다. In order to evaluate the shape stability and blackness after pattern baking, the baking process heated at 1.0 degreeC / min in temperature rise speed, and hold | maintained at 580 degreeC for 30 minutes was performed. As a result, a black matrix having a good rectangular shape and having a sufficient black color with an OD value of 3.5 was formed.

〔비교예 1〕[Comparative Example 1]

(1) 수현상형 레지스트 조성물의 조정(1) Adjustment of the water developing resist composition

수용성 셀룰로오스 유도체로서 히드록시프로필셀룰로오스 22질량부, 아크릴 수지로서 스티렌/히드록시에틸 메타크릴레이트=55/45(질량%) 공중합체(Mw=40000) 14질량부, 광중합 단량체로서 2-메타크릴로일옥시에틸 2-히드록시프로필 프탈레이트(상품명 HO-MPP, 쿄오에이화학(주)사 제조) 63질량부, 광중합 개시제로서 2, 2-디메톡시-2-페닐아세토페논(상품명 IR-651, 치바가이기사 제조) 1.0질량부 및 용제로서 3-메톡시 3-메틸부탄올 100질량부를 뒤섞음 기계로 3시간 혼합함으로써, 수현상형 레지스트 조성물을 조정하였다.  22 parts by mass of hydroxypropyl cellulose as a water-soluble cellulose derivative, 14 parts by mass of styrene / hydroxyethyl methacrylate = 55/45 (mass%) copolymer (Mw = 40000) as an acrylic resin, and 2-methacryl as a photopolymerization monomer. As a oxyethyl 2-hydroxypropyl phthalate (brand name HO-MPP, the Kyoi Chemical Co., Ltd.) 63 mass parts, a photoinitiator, 2, 2- dimethoxy- 2-phenylacetophenone (brand name IR-651, Chiba) The water-developing resist composition was adjusted by mixing 1.0 mass part of Gaiji Co., Ltd.) and 100 mass parts of 3-methoxy 3-methylbutanol with a mixing machine for 3 hours as a solvent.

(2) 감광성 블랙 페이스트 조성물의 조정(2) Adjustment of Photosensitive Black Paste Composition

상기 (1)에서 조정한 수현상형 레지스트 조성물(고형분 50%)의 50질량부와 흑색 미립자인 사삼산화코발트(Co3O4)(평균 입경 1μm)의 75질량부를 혼련함으로써, 감광성 블랙 페이스트 조성물을 조정하였다.  The photosensitive black paste composition was kneaded by kneading 50 parts by mass of the water-developed resist composition (solid content 50%) and 75 parts by mass of cobalt trioxide (Co 3 O 4 ) (average particle size 1 μm) as adjusted in the above (1). Adjusted.

(3) 감광성 필름의 제조(3) Preparation of Photosensitive Film

상기 (2)에서 조정한 감광성 블랙 페이스트 조성물을 폴리에틸렌 테레프탈레이트로 이루어지는 지지 필름 상에 립 코터(lip coater)를 이용하여 도포하고, 도막을 100℃에서 6분간 건조하여 용제를 완전히 제거하고, 두께 16μm의 감광성 블 랙 페이스트막을 지지 필름 상에 형성하였다. 다음에 감광성 블랙 페이스트막 상에 25μm 두께의 폴리에틸렌 필름을 맞대어 감광성 필름을 제조하였다.  The photosensitive black paste composition adjusted in the above (2) was applied onto a support film made of polyethylene terephthalate using a lip coater, and the coating film was dried at 100 ° C. for 6 minutes to completely remove the solvent, and the thickness was 16 μm. A photosensitive black paste film was formed on the supporting film. Next, a 25 μm-thick polyethylene film was pressed on the photosensitive black paste film to prepare a photosensitive film.

(4) 감광성 필름의 평가(4) Evaluation of the photosensitive film

상기 (3)에서 제조한 감광성 필름의 폴리에틸렌 필름을 벗기면서, 미리 80℃로 가열해 둔 유리 기판에 핫 롤 라미네이터에 의해 105℃에서 라미네이트하였다. 에어 압력은 3kg/cm2로 하고, 라미네이트 속도는 1.0m/min로 하였다.It peeled at 105 degreeC with the hot roll laminator on the glass substrate previously heated at 80 degreeC, peeling the polyethylene film of the photosensitive film manufactured by said (3). The air pressure was 3 kg / cm 2 , and the lamination speed was 1.0 m / min.

이어서 지지 필름인 폴리에틸렌 테레프탈레이트를 박리하고, 감광성 블랙 매트릭스막에 시험 각 패턴 마스크를 개재하여, 초고압 수은등에 의해 500mJ/cm2의 조사양으로 자외선 노광을 하였다. 액온 30℃의 물을 이용하여 3kg/cm2의 분사압으로, 30초간의 스프레이 현상을 하여 패턴을 형성하였다. 밀착성을 평가했더니, 남은 최소 선폭은 200μm였다. 또, SEM으로 패턴 형상을 관찰했더니, 언더컷(undercut)한 역사다리꼴의 패턴 형상이 얻어졌다.Next, the polyethylene terephthalate which is a support film was peeled off, and the ultraviolet-ray exposure was carried out with the irradiation amount of 500mJ / cm <2> with the ultrahigh pressure mercury lamp through the test pattern mask on the photosensitive black matrix film | membrane. The pattern was formed by spraying for 30 second by the injection pressure of 3 kg / cm <2> using water of 30 degreeC of liquid temperature. When the adhesiveness was evaluated, the minimum line width remaining was 200 m. Moreover, when the pattern shape was observed by SEM, the pattern shape of the undercut inverted trapezoid was obtained.

패턴의 소성 후의 형상 안정성 및 흑색도를 평가하기 위해, 온도 상승 스피드 1.0℃/min로 가열하고, 580℃에서 30분간 유지하는 소성 처리를 하였다. 그 결과 OD값 3.5로 충분한 흑색은 얻어졌지만, 소성 후 패턴 형상을 SEM으로 관찰했더니, 부분적으로 패턴 단부가 박리되고, 미세한 패턴을 형성할 수가 없었다.  In order to evaluate the shape stability and blackness after baking of a pattern, the baking process heated at 1.0 degreeC / min in temperature rise speed, and hold | maintained at 580 degreeC for 30 minutes was performed. As a result, although sufficient black was obtained by OD value 3.5, when the pattern shape after baking was observed by SEM, the pattern edge part peeled partially and could not form a fine pattern.

〔비교예 2〕[Comparative Example 2]

(1) 수현상형 레지스트 조성물의 조정(1) Adjustment of the water developing resist composition

(i) 수용성 셀룰로오스 유도체 및 (ⅲ) 아크릴계 수지 대신에 측쇄에 카르복 실기를 가지는 감광성 폴리머로서 메타크릴산 40%, 메틸 메타크릴레이트 30% 및 스티렌 30%로 이루어지는 공중합체의 카르복실기에 대해 0.4당량의 글리시딜 메타크릴레이트를 부가 반응시킨 폴리머(중량평균분자량 40,000 산가 95) 36질량부를 이용한 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 레지스트 조성물을 조정하였다.  0.4 equivalents to the carboxyl group of the copolymer consisting of 40% methacrylic acid, 30% methyl methacrylate and 30% styrene as a photosensitive polymer having a carboxyl group in the side chain instead of (i) a water-soluble cellulose derivative and (iii) an acrylic resin. A resist composition was adjusted in the same manner as in Example 1 except that 36 parts by mass of a polymer (weight average molecular weight 40,000 acid value 95) to which the glycidyl methacrylate was reacted was added.

(2) 감광성 블랙 페이스트 조성물의 조정(2) Adjustment of Photosensitive Black Paste Composition

상기 (1)에서 조정한 레지스트 조성물(고형분 50%)의 50질량부와 동 분말(평균 입경 1μm) 75질량부를 혼련함으로써, 감광성 블랙 페이스트 조성물을 조정했지만, 페이스트 조성물이 겔화(gelation)하여 도포 불가능하였다.The photosensitive black paste composition was adjusted by kneading 50 parts by mass of the resist composition (solid content 50%) and 75 parts by mass of copper powder (average particle size 1 μm) adjusted in the above (1), but the paste composition gelled and could not be applied. It was.

이상과 같이, 본 발명의 광경화성 수지 조성물은 수현상 가능하고, 미세한 패턴을 형성할 수가 있고, 또한 충분한 흑색을 가지는 블랙 매트릭스를 형성할 수 있기 때문에 각종 디스플레이에 이용할 수가 있다. 특히 PDP용의 블랙 매트릭스에 유용하다.As mentioned above, since the photocurable resin composition of this invention is water developable, a fine pattern can be formed, and the black matrix which has sufficient black can be formed, it can be used for various displays. It is particularly useful for black matrices for PDPs.

Claims (6)

블랙 매트릭스의 형성에 이용되는 광경화성 수지 조성물로서,As a photocurable resin composition used for formation of a black matrix, (A) 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속 분말과,(A) a metal powder having two or more ionic valences blackened by oxidation, (B) (i) 수용성 셀룰로오스 유도체와, (ⅱ) 광중합성 단량체와, (ⅲ) 히드록시기를 가지는 아크릴계 수지와, (ⅳ) 광중합 개시제로 이루어지는 유기 성분을 함유하는 블랙 매트릭스 형성용 광경화성 수지 조성물.(B) The photocurable resin composition for forming a black matrix containing the organic component which consists of (i) a water-soluble cellulose derivative, (ii) a photopolymerizable monomer, (v) an acrylic resin which has a hydroxyl group, and (v) a photoinitiator. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 산화에 의해 흑색화하는 이온 가수가 2 이상인 금속 분말이 동인 것을 특징으로 하는 블랙 매트릭스 형성용 광경화성 수지 조성물.A photocurable resin composition for forming a black matrix, wherein a metal powder having two or more ionic valences blackened by the oxidation is copper. 제1항 기재의 블랙 매트릭스 형성용 광경화성 수지 조성물을 성막화하여 얻어지는 감광성 페이스트막과, 이 감광성 페이스트막을 보호하는 보호 필름으로 이루어지는 블랙 매트릭스 형성용 감광성 필름.The photosensitive film for black matrix formation which consists of a photosensitive paste film obtained by forming into a film the photocurable resin composition for black matrix formation of Claim 1, and the protective film which protects this photosensitive paste film. 제1항 기재의 블랙 매트릭스 형성용 광경화성 수지 조성물을 이용하여, 기판 상에 감광성 페이스트막을 형성하는 감광성 페이스트막 형성 공정과,A photosensitive paste film forming step of forming a photosensitive paste film on a substrate using the photocurable resin composition for forming a black matrix according to claim 1, 상기 감광성 페이스트막을 노광한 후 물로 현상 처리를 하여, 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 패턴 형성 공정과,A pattern forming step of exposing the photosensitive paste film and then developing with water to form a predetermined pattern on the substrate; 상기 패턴 형성 공정으로 얻어진 패턴을 산소 존재하 1000℃ 이하의 온도에서 소성함으로써, 경화시킴과 아울러 산화하여 흑색화시키는 패턴 소성·흑색화 공정을 가지는 블랙 매트릭스 형성 방법.The black matrix formation method which has a pattern baking and blackening process which hardens, oxidizes, and blackens by baking at the temperature of 1000 degrees C or less in presence of oxygen, by baking the pattern obtained by the said pattern formation process. 제4항 기재의 블랙 매트릭스 형성 방법에 의하여 얻어지는 광학 밀도(OD)가 3.0 이상인 블랙 매트릭스.The black matrix whose optical density (OD) obtained by the black matrix formation method of Claim 4 is 3.0 or more. 제4항 기재의 블랙 매트릭스 형성 방법을 이용하여 형성된 블랙 매트릭스를 가지는 플라즈마 디스플레이 패널.A plasma display panel having a black matrix formed using the method of forming a black matrix according to claim 4.
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