KR20070095192A - Surface treatment device, transport hanger and transport method of transport hanger - Google Patents

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KR20070095192A
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준지 미쯔모토
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우에무라 고교 가부시키가이샤
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Abstract

A surface treatment equipment, a conveying hanger, and a conveying method of the conveying hanger are provided to improve productivity by shortening the lifting and lowering cycle of a liftable and lowerable guide rail. A conveying hanger(15) comprises: a pair of treatment object holding arms(46) which have treatment object holding means for gripping a treatment object(W), and are slidably installed to adjust the length of a hanger width; a sliding member(35) slidably contacting a guide rail(11); and a connecting member(44) for connecting the sliding member and the treatment object holding arms such that the holding position of the treatment object is held in the more side direction than the guide rail by the treatment object holding means, wherein the pair of treatment object holding arms are inserted into holed formed in the connecting member and slid with each other in a state that the pair of treatment object holding arms are overlapped with each other, and the pair of treatment object holding arms and the connecting member are made of different metallic materials.

Description

표면 처리 장치, 반송용 행거 및 반송용 행거의 반송 방법{Surface Treatment Device, Transport Hanger and Transport Method of Transport Hanger}Surface Treatment Device, Transport Hanger and Transport Method of Transport Hanger}

도1 은 본 발명의 반송용 행거(15)의 구조를 도시한 도면이다.Fig. 1 is a diagram showing the structure of the transport hanger 15 of the present invention.

도 2a는 도 1에 도시된 반송용 행거(15)를 β방향에서 본β-사시도이다.FIG. 2A is a beta-perspective view of the transport hanger 15 shown in FIG. 1 seen from the beta direction.

도 2b는 반송용 행거(15)의 중앙 단면을 도시한 도면이다.2B is a view showing a center cross section of the transport hanger 15.

도 3은 표면 처리 장치(100)를 윗쪽에서 본 평면도이다.3 is a plan view of the surface treatment apparatus 100 seen from above.

도 4는 도 3에 도시된 표면 처리 장치(100)를 α방향에서 본 측면도이다.4 is a side view of the surface treatment apparatus 100 shown in FIG. 3 seen from the α direction.

도 5는 승강 가이드 레일의 상부에 설치된 간헐 반송 수단의 구조를 도시한 평면도이다.5 is a plan view showing the structure of an intermittent conveying means provided on an upper portion of a lifting guide rail.

도 6은 위치 결정 반송 수단(18)의 구조를 도시한 도면이다.6 is a diagram illustrating the structure of the positioning conveying means 18.

도 7은 개량형 표면 처리 장치(102)의 구조를 도시한 도면이다.7 is a diagram illustrating the structure of the improved surface treatment apparatus 102.

도 8은 언로드부(5) 및 로드부(8)에 배치되어 있는 클램프 해제 수단의 구조를 도시한 도면이다.FIG. 8 shows the structure of the clamp releasing means arranged in the unload section 5 and the rod section 8.

도 9는 고정 가이드 레일(91)의 부근에서의 반송 동작을 도시한 도면이다.9 is a diagram illustrating a conveying operation in the vicinity of the fixed guide rail 91.

도 10은 환승 수단(80)과 전결 반송 수단(82)의 구조를 도시한 도면이다.FIG. 10 is a diagram showing the structure of the transfer means 80 and the transfer transfer means 82. As shown in FIG.

도 11은 환승 수단(80)과 전결 반송 수단(82)의 상세를 도시한 도면이다.FIG. 11 is a view showing details of the transfer means 80 and the transfer through means 82. As shown in FIG.

도 12는 환승 수단(80)과 전결 반송 수단(82)의 반송 동작을 도시한 도면이 다.FIG. 12 is a diagram showing a conveying operation of the transfer means 80 and the transfer decision means 82. As shown in FIG.

도 13은 환승 수단(80)과 전결 반송 수단(82)의 반송 동작을 도시한 도면이다.FIG. 13: is a figure which shows the conveyance operation | movement of the transfer means 80 and the transfer setting means 82. As shown in FIG.

도 14는 고정 가이드 레일(71)의 부근에서의 반송 동작을 도시한 도면이다.14 is a diagram illustrating a conveying operation in the vicinity of the fixed guide rail 71.

도 15는 도 16에 도시된 반송용 행거(15a)의 정면도이다.FIG. 15 is a front view of the transport hanger 15a shown in FIG. 16.

도 16은 승강 가이드 레일(10) 위로 반송되는 반송용 행거(15a)의 측면도이다.FIG. 16: is a side view of the conveyance hanger 15a conveyed on the lifting guide rail 10. As shown in FIG.

도 17은 행거폭조정 장치의 구조를 도시한 측면도이다.Fig. 17 is a side view showing the structure of the hanger width adjusting device.

도 18은 행거폭조정 장치의 구조를 도시한 정면도이다.18 is a front view showing the structure of the hanger width adjusting device.

도 19는 행거폭조정 장치를 윗쪽에서 본 도면이다.19 is a view of the hanger width adjusting device viewed from above.

도 20a는 종래의 반송용 행거(15)의 구조를 도시한 도면이다.20A is a diagram showing the structure of a conventional transport hanger 15.

도 20b는 도 20a에 나타내는 반송용 행거(15)를 γ방향에서 본 γ-사시도이다.FIG. 20B is a γ-perspective view of the transport hanger 15 shown in FIG. 20A seen in the γ direction. FIG.

도 20c는 반송용 행거(15)의 중앙 단면을 도시한 도면이다.20C is a diagram illustrating a center cross section of the transport hanger 15.

도 21은 락킹 레버 조작 수단(204)의 구조 및 동작을 도시한 도면이다.21 is a diagram showing the structure and operation of the locking lever operating means 204.

도 22는 고정 수단(205)의 구조 및 동작을 도시한 도면이다.22 shows the structure and operation of the fixing means 205.

도 23은 손잡이 조작 수단(203)의 구조 및 동작을 도시한 도면이다.23 is a diagram showing the structure and operation of the handle operating means 203.

도 24는 행거폭조절 유닛(201)의 구조를 도시한 도면이다.24 is a diagram illustrating the structure of the hanger width adjusting unit 201.

본 발명은 도금 처리 등을 실시하는 기판을 반송하는 반송용 행거를 갖는 표면 처리 장치 및 반송용 행거의 반송 방법에 관한 기술이다.This invention is a technique regarding the conveyance method of the surface treatment apparatus which has a conveyance hanger which conveys the board | substrate which performs a plating process, etc., and a conveyance hanger.

우선, 표면 처리 장치의 구조에 대하여 도 3 및 도 4를 이용하여 이하에서 설명한다. 도 3은 표면 처리 장치(100)를 윗쪽에서 본 평면도이다. 도 4는 도 3에 도시된 표면 처리 장치(100)를 α방향에서 본 측면도이다.First, the structure of a surface treatment apparatus is demonstrated below using FIG. 3 and FIG. 3 is a plan view of the surface treatment apparatus 100 seen from above. 4 is a side view of the surface treatment apparatus 100 shown in FIG. 3 seen from the α direction.

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 표면 처리 장치(100)는, 프린트 기판 등의 피처리물을 유지하는 반송용 행거(15)를 반송하기 위한 가이드 레일(10~13)을 구비하고 있으며, 이들의 가이드 레일을 따라 도금 전처리 공정을 행하기 위한 전처리조(1), 전기도금 공정을 행하기 위한 도금조(2), 도금 후처리 공정을 행하기 위한 회수조(3) 및 세면조(4), 피처리물의 분리를 행하기 위한 언로드부(5), 반송용 행거(15)에 부착된 도금을 제거하기 위하여 박리하는 공정(박리공정)을 행하기 위한 박리조(6), 행거 박리 후처리공정을 행하는 세면조(7) 및 피처리물의 부착를 행하는 로드부(8)가 설치되어 있다. As shown to FIG. 3 and FIG. 4, the surface treatment apparatus 100 is equipped with the guide rail 10-13 for conveying the conveyance hanger 15 holding the to-be-processed object, such as a printed board, A pretreatment tank 1 for carrying out the plating pretreatment process along these guide rails, a plating tank 2 for carrying out the electroplating process, a recovery tank 3 for carrying out the plating post-treatment process, and a wash basin 4 ), The unloading part 5 for separating the object to be processed, the peeling tank 6 for performing a step of peeling to remove the plating attached to the transport hanger 15 (peeling step), and after the hanger peeling off. The tub 7 which performs a process process and the rod part 8 which adheres a to-be-processed object are provided.

도 3에 도시된 승강 가이드 레일(10,12)은 반송용 행거(15)에 피처리물 W(프린트 기판 등)의 부착 및 분리를 실시하거나 피처리물 W가 조(전처리조(1), 도금조(2), 회수조(3), 세면조(4)나 박리조(6) 등) 내에 침궤할 때에 승강하는 가이드 레일이다. 고정 가이드 레일(11,13)은 각각 도금조(2), 박리조(6)에 하강한 반송용 행거(15)를 반송하기 위해 고정된 가이드 레일이다. 도 4에 도시된 승강 가이드 레일(10,12)이 하강한 상태에서, 가이드 레일(10,12)과 가이드 레일(11,13)이 연속하 여 1개의 고리 형상 가이드 레일을 구성한다.The lifting guide rails 10 and 12 shown in FIG. 3 are attached to and detached from the workpiece W (printed substrate, etc.) on the transport hanger 15, or the workpiece W is assembled (pretreatment tank 1, It is a guide rail which moves up and down when immersing in the plating tank 2, the recovery tank 3, the wash basin 4, the peeling tank 6, etc.). The fixed guide rails 11 and 13 are guide rails fixed in order to convey the conveyance hanger 15 which descended to the plating tank 2 and the peeling tank 6, respectively. In a state where the lifting guide rails 10 and 12 shown in FIG. 4 are lowered, the guide rails 10 and 12 and the guide rails 11 and 13 are continuously formed to form one annular guide rail.

도 3에 나타나 있는 바와 같이, 표면 처리 장치(100)는, 로드부(8)에 있어서, 반송용 행거(15)의 행거폭을 피처리물 W의 반송 방향 폭으로 조절하여 피처리물 W를 부착한 후, 상기 가이드 레일(10,11,12)을 따라서 순차적으로 전처리조(1), 도금조(2), 회수조(3), 세면조(4)에 반송하여 침지 처리한 후, 언로드부(5)에서 피처리물 W을 분리함과 동시에 반송용 행거(15)의 행거폭을 줄인 후, 박리조(6)내를 상기 가이드 레일(13)에 따라 반송하고, 반송용 행거에 부착한 도금을 제거한 후, 다시 가이드 레일(10)에 따라서 반송하여 반송용 행거(15)를 로드부(8)에 되돌리게 된다.As shown in FIG. 3, the surface treatment apparatus 100 adjusts the hanger width of the conveyance hanger 15 to the conveyance direction width of the to-be-processed object W in the rod part 8, and adjusts the to-be-processed object W. FIG. After attaching, after conveying to the pretreatment tank 1, the plating tank 2, the recovery tank 3, and the wash basin 4 sequentially along the said guide rails 10, 11, 12, it unloads, After separating the workpiece W in the section 5 and reducing the hanger width of the transport hanger 15, the inside of the separation tank 6 is transported along the guide rail 13 and attached to the transport hanger. After removing one plating, it conveys again along the guide rail 10, and returns the conveyance hanger 15 to the rod part 8. As shown in FIG.

표면 처리 장치(100)는, 표면 처리에 사용하지 않는 반송용 행거(15)를 가이드 레일(10~13)으로부터 떼어내 보관하는 번거로움을 생략하기 위해, 항상 일정수의 반송용 행거(15)를 반송하고, 박리조(6)는 표면 처리에 사용하지 않는 반송용 행거(15)를 스톡하는 장소(스톡 장소)를 겸하고 있다.The surface treatment apparatus 100 always keeps a certain number of transport hangers 15 so as to omit the inconvenience of removing and storing the transport hangers 15 not used for surface treatment from the guide rails 10 to 13. Is carried out, and the peeling tank 6 serves as the place (stock place) which stocks the conveyance hanger 15 which is not used for surface treatment.

그런데, 피처리물 W에 전류가 집중되어 도금 막두께의 편차가 발생하는 것을 방지하기 위한 목적으로, 표면 처리 장치(100)는, 상기 도금조(2)내에서 피처리물 W의 전후 간격이 소정 거리(예를 들면, 5 mm)가 되도록, 제 1 위치 결정 반송 수단(18)에 의해, 상기 도금조(2)의 입구부에서 반송용 행거(15)를 전송하고 있다. 여기에서, 상기 도금조(2)의 길이는 정해져 있기 때문에, 피처리물 W의 사이즈가 작은 경우는 상기 도금조(2)내로 반송되는 반송용 행거(15)의 수는 증가하고, 피처리물 W의 사이즈가 큰 경우는 상기 도금조(2)내로 반송되는 반송용 행거(15)의 수 는 감소한다.By the way, the surface treatment apparatus 100 has the front-back space | interval of the to-be-processed object W in the said plating tank 2 for the purpose of preventing the electric current concentrate | concentrating on the to-be-processed object W, and a deviation of a plating film thickness arises. The transport hanger 15 is transmitted by the 1st positioning conveying means 18 in the inlet part of the said plating tank 2 so that it may become a predetermined distance (for example, 5 mm). Here, since the length of the said plating tank 2 is fixed, when the size of the to-be-processed object W is small, the number of the conveyance hangers 15 conveyed into the said plating tank 2 increases, and the to-be-processed object When the size of W is large, the number of conveying hangers 15 conveyed into the plating bath 2 decreases.

즉, 피처리물 W의 사이즈에 따라 표면 처리에 사용되는 반송용 행거(15)의 수가 바뀌는 것에 의해, 반송용 행거(15)의 스톡 장소를 겸하는 박리조(6)내로 반송되는 반송용 행거(15)의 수가 증감한다. 표면 처리 장치(100)은, 이에 대응하여 원활한 장치 가동을 실현하는 것을 목적으로 하고, 도 3에서의 박리조(6)의 행거 침지부(도 3중(l) 위치)에서는, 제 2 위치 결정 반송 수단(23)이 반송용 행거(15)를 반송용 행거와의 전후 간격이 소정 거리가 되도록 전송하고 있다.That is, the number of the conveyance hangers 15 used for surface treatment changes with the size of the to-be-processed object W, and the conveyance hanger conveyed into the peeling tank 6 which serves as the stock place of the conveyance hanger 15 ( The number of 15) increases and decreases. The surface treatment apparatus 100 respond | corresponds to this, and aims at realizing smooth apparatus operation | movement, and it is 2nd positioning in the hanger immersion part (position (l) in FIG. 3) of the peeling tank 6 in FIG. The conveying means 23 transmits the conveying hanger 15 so that the space | interval before and behind with the conveying hanger may become a predetermined distance.

도 3에 도시된 표면 처리 장치(100)에 의해 반송되는 반송용 행거(15)의 구조를 도 20 a, b, c를 이용하여 이하에서 설명한다(특허 문헌 1을 참조). 도 20a는 도 4에 도시된 반송용 행거(15)의 구조를 도시한 상세도이고, 도 20b는 반송용 행거(15)의 β-β단면도이며, 도 20c는 반송용 행거(15)의 중앙 부근 단면을 도시한 도면이다.The structure of the conveyance hanger 15 conveyed by the surface treatment apparatus 100 shown in FIG. 3 is demonstrated below using FIG. 20 a, b, c (refer patent document 1). FIG. 20A is a detailed view showing the structure of the transport hanger 15 shown in FIG. 4, FIG. 20B is a sectional view of β-β of the transport hanger 15, and FIG. 20C is a center of the transport hanger 15. It is a figure which shows a vicinity cross section.

도 20a에 도시된 바와 같이 반송용 행거(15)는 한 쌍의 피처리물 유지팔(46)과, 피처리물 W를 보유하는 클램프(48)를 구비한 장대(47)와, 고정 가이드 레일(11)에 접동 접촉하는 접동 부재(35)와, 이들을 연결하는 연결 부재(44)를 포함하고 있다. 한편 손잡이(49)는 피처리물 유지팔(46)을 피처리물 W의 폭으로 조절할 때, 행거폭조절 기구에 따라서 폭조절을 하기 위하여 사용된다.As shown in FIG. 20A, the transport hanger 15 includes a pole 47 having a pair of workpiece holding arms 46, a clamp 48 holding the workpiece W, and a fixed guide rail ( A sliding member 35 in sliding contact with 11) and a connecting member 44 connecting them are included. On the other hand, the handle 49 is used to adjust the width according to the hanger width adjustment mechanism when adjusting the workpiece holding arm 46 to the width of the workpiece W.

도 20b에 도시된 바와 같이, 피처리물 유지팔(46)은 연결 부재(44)에 설치된 2개의 구멍에 각각 접동 가능(도면의 지면 앞쪽에서 안쪽 방향으로 접동)하도록 수용되어 있다. 이 연결 부재(44)와 피처리물 유지팔(46)은 같은 금속재질로 형성되 어 있다. 또한 접동 부재(35)는 도 20c에 도시된 바와 같이, 고정 가이드 레일(11)의 윗면, 도면상의 우측면, 아래쪽 면에 접동 접촉한다.As shown in FIG. 20B, the workpiece holding arm 46 is accommodated in two holes provided in the connecting member 44 so as to be slidable (sliding inward from the front of the drawing). The connecting member 44 and the workpiece holding arm 46 are formed of the same metal material. In addition, the sliding member 35 is in sliding contact with the top surface, the right side surface and the bottom surface of the fixed guide rail 11, as shown in Fig. 20C.

또한, 도 20c에서 부호 45는 락킹 레버(locking lever)이며, 락킹 레버(45)에 의해 피처리물 유지팔(46)이 잠기면(도 20c의 점선으로 나타냄), 반송용 행거(15)의 행거폭이 고정된다. 피처리물 유지팔(46)은 각각 별개의 구멍에 수용되어 있기 때문에, 락킹 레버(45)는 각각의 피처리물 유지팔(46)을 잠글 수 있도록 연결 부재(44)의 정면(도 2c에서의 우측면)과 후면(도 2c에서의 좌측면)에 1개씩 설치되어 있다.In addition, in FIG. 20C, the code | symbol 45 is a locking lever, and when the to-be-processed object holding arm 46 is locked by the locking lever 45 (shown with the dotted line of FIG. 20C), the hanger width of the conveyance hanger 15 is shown. Is fixed. Since the workpiece holding arm 46 is accommodated in a separate hole, the locking lever 45 is the front of the connecting member 44 so as to lock each of the workpiece holding arms 46 (right side in FIG. 2C). ) And one rear side (left side in Fig. 2c).

도 3에서의 로드부(8)에서는, 행거폭조절 기구가 상기 락킹 레버(45)를 위쪽으로 올려 피처리물 유지팔(46)의 잠금을 해제한 후, 손잡이(49)의 위치를 조절해 행거 폭을 조절하고, 그 후 클램퍼 개폐 기구에 따라서 반송용 행거(15)의 클램프(48)가 개폐되어 피처리물 W가 반송용 행거(15)에 부착된다.(참고: 일본국 공개특허공보 특개2002-363796호)In the rod part 8 in FIG. 3, the hanger width adjusting mechanism lifts the locking lever 45 upward to unlock the workpiece holding arm 46, and then adjusts the position of the handle 49 to hanger. After adjusting the width, the clamp 48 of the transport hanger 15 is opened and closed in accordance with the clamper opening / closing mechanism, and the workpiece W is attached to the transport hanger 15. (Reference: Japanese Patent Laid-Open No. 2002-363796)

그런데, 상기와 같은 종래의 표면 처리 장치(100)에서는 승강 가이드 레일(10,12)의 승강 주기는 20~30초로 되어 있다. 승강 주기가 20~30초이면, 소정 시간에 반송되는 피처리물의 수가 적어져 생산성이 떨어진다. 그리하여 생산성을 향상하기 위해 상기 승강 주기를 짧게 하는 것이 요구되고 있다.By the way, in the conventional surface treatment apparatus 100 as described above, the lifting period of the lifting guide rails 10 and 12 is 20 to 30 seconds. If the lifting cycle is 20 to 30 seconds, the number of objects to be conveyed at a predetermined time decreases, and productivity is lowered. Therefore, in order to improve productivity, it is required to shorten the lifting cycle.

그러나, 종래의 표면 처리 장치(100)의 경우에는 승강 가이드 레일의 승강 주기를 짧게 하지 못하여 처리 능력을 향상시킬 수 없었다. 이로 인해 아래와 같은 문제점이 있었다.However, in the conventional surface treatment apparatus 100, the raising and lowering period of the lifting guide rail could not be shortened, and thus the processing capacity could not be improved. This caused the following problems.

(i) 피처리물 유지팔(46)과 연결 부재(44)가 통전시에 용접된 상태가 되어, 로드부(8)에서 행거폭의 조절을 원활히 할 수 없어, 승강 가이드 레일 정지시간에 다시 조절하기 위한 시간적 여유가 필요했다.(i) The workpiece holding arm 46 and the connecting member 44 are welded at the time of energization, so that the hanger width cannot be adjusted smoothly in the rod section 8, and is adjusted again at the stopping guide rail stop time. I needed time to do it.

(ii) 로드부(8)에서 행거폭조절을 함에 있어, 락킹 레버(45)가 연결 부재(44)의 정면과 후면에 설치되어 있기 때문에, 행거폭조절 기구의 작동이 많아져서 행거폭조절 기구에 많은 시간이 필요하다.(ii) In adjusting the hanger width in the rod section 8, since the locking lever 45 is provided on the front and rear surfaces of the connecting member 44, the hanger width adjusting mechanism is increased and the hanger width adjusting mechanism is increased. It takes a lot of time.

(iii) 로드부(8)에서는, 행거폭조절 동작과 피처리물의 부착을 한 번에 행하고 있어 행거폭조절이 완료한 다음이 아니면 반송용 행거에 피처리물을 부착할 수 없으므로, 승강 가이드 레일이 하강한 위치에서 정지하는 시간을 짧게 할 수 없다.(iii) In the rod section 8, the hanger width adjustment operation and the attachment of the workpiece are performed at one time, and the workpiece cannot be attached to the transport hanger unless the hanger width adjustment is completed. The time to stop at this lowered position cannot be shortened.

(iv) 특히 작업자에 의해서 피처리물을 부착하는 경우, 피처리물의 부착 작업 자체를 짧게 하는 것에 한계가 있기 때문에, 승강 가이드 레일의 정지시간을 소정 이상으로 짧게 하지 못하고, 결과적으로 승강 주기를 짧게 할 수 없다.(iv) In particular, in the case of attaching a workpiece by an operator, there is a limit to shortening the attachment work itself, so that the stopping time of the elevating guide rail cannot be shortened by more than a predetermined amount, and as a result, the lifting period is shortened. Can not.

(v) 반송용 행거(15)에 부착된 도금을 충분히 제거하기 위하여 필요한 시간을 확보하기 위해 박리조(6)을 길게 하면, 박리조(6)내에서의 반송용 행거(15)의 간격 조정 동작에 필요한 시간이 길어져, 승강 가이드 레일의 승강 주기 내에 행거 간격 조정 동작을 완료할 수 없다.(v) When the peeling tank 6 is lengthened to secure a time necessary for sufficiently removing the plating attached to the conveying hanger 15, the interval adjustment of the conveying hanger 15 in the peeling tank 6 is adjusted. The time required for the operation becomes long, and the hanger interval adjusting operation cannot be completed within the lifting period of the lifting guide rail.

본 발명은 상기의 각 문제들을 해결하기 위하여, 승강 가이드 레일의 승강 주기를 짧게 하여 생산성을 향상시킬 수 있는 표면 처리 장치와 반송용 행거 및 반송용 행거의 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a surface treatment apparatus, a conveying hanger, and a conveying method of a hanger for improving productivity by shortening the lifting period of the lifting guide rail.

본 발명의 복수의 독립한 측면을 이하에 나타낸다.Several independent aspects of the present invention are shown below.

(1) 본 발명에 따른 반송용 행거는 피처리물을 협지하는 피처리물 유지 수단을 구비하고, 행거폭 길이를 조절할 수 있도록 접동 가능하게 설치된 피처리물 유지팔을 구비한 반송용 행거이며,(1) The conveying hanger according to the present invention is a conveying hanger having a to-be-processed object holding arm which is provided with a to-be-processed object holding means for clamping a to-be-processed object and which is slidably installed so that the hanger width can be adjusted,

상기 피처리물 유지팔과, 상기 피처리물 유지팔과 접동 접촉하는 부재를 서로 다른 금속재질로 형성하고 있는 것을 특징으로 한다.The workpiece holding arm and the member in sliding contact with the workpiece holding arm are formed of different metal materials.

이에 따라 도금 처리 등의 통전 시에 피처리물 유지팔이 용접된 상태가 되어 접동할 수 없거나 원활히 접동할 수 없게 되는 것을 방지할 수 있어 승강 가이드 레일의 승강 주기가 짧은 경우에도, 반송용 행거의 행거 폭이 조절을 확실하게 완료할 수 있다.As a result, it is possible to prevent the workpiece holding arm from being welded and unable to move smoothly or smoothly during the energization of the plating treatment, so that even if the lifting cycle of the lifting guide rail is short, The width can surely complete the adjustment.

(2) 본 발명에 따른 반송용 행거는, 피처리물을 협지하는 피처리물 유지 수단을 구비하고, 행거폭 길이를 조절할 수 있도록 접동 가능하게 설치된 한쌍의 피처리물 유지팔과,(2) The conveying hanger according to the present invention includes a pair of workpiece holding arms provided with a workpiece holding means for sandwiching the workpiece, and slidably installed to adjust the hanger width length;

가이드 레일에 접동 접촉하는 접동 부재와, A sliding member in sliding contact with the guide rail,

상기 접동 부재와 상기 피처리물 유지팔을 연결하여 상기 피처리물 유지 수단에 의해 피처리물의 유지 위치를 상기 가이드 레일보다 측방으로 하는 연결 부재,A connecting member which connects the sliding member and the workpiece holding arm so that the workpiece holding position is later than the guide rail by the workpiece holding means;

를 구비한 반송용 행거에 있어서,In the transport hanger provided with,

상기 한 쌍의 피처리물 유지팔이 상기 연결 부재에 설치된 구멍에 삽입되어 서로 겹친 상태로 접동하도록 구성되어 있고, The pair of workpiece holding arms are inserted into holes provided in the connecting member and configured to slide in an overlapping state.

상기 한 쌍의 피처리물 유지팔 및 상기 연결 부재를 각각 다른 금속재로 형성하고 있는 것을 특징으로 한다.The pair of workpiece holding arms and the connecting member are formed of different metal materials, respectively.

이에 따라 도금 처리등의 통전 시에 피처리물 유지팔끼리 또는 피처리물 유지팔과 연결 부재가 용접된 상태가 되고, 피처리물 유지팔을 접동할 수 없거나 원활히 접동할 수 없게 되는 것을 방지할 수 있고, 승강 가이드 레일의 승강 주기가 짧은 경우에도, 반송용 행거의 행거폭 조절을 확실히 완료할 수 있다. 또한, 가이드 레일과 반송용 행거가 접동할 때 발생하는 분진이 처리조 내에 혼입되지 않도록 함으로써 안전한 처리가 되도록 한다.Accordingly, the workpiece holding arms or the workpiece holding arm and the connection member are welded to each other during the energization of the plating treatment, and the workpiece holding arm can not be prevented from sliding or smoothly sliding. Even when the lifting cycle of the lifting guide rail is short, the adjustment of the hanger width of the transporting hanger can be reliably completed. In addition, the dust generated when the guide rail and the transporting hanger slide is prevented from being mixed in the treatment tank so as to be a safe treatment.

(3) 본 발명에 따른 반송용 행거는, 상기 접동 부재가 상기 가이드 레일의 표면에 접동 접촉하고, 상기 가이드 레일의 측면에는 롤러 접촉하는 것을 특징으로 한다.(3) The conveying hanger according to the present invention is characterized in that the sliding member makes sliding contact with the surface of the guide rail and roller contacting the side surface of the guide rail.

이에 따라 가이드 레일과 반송용 행거가 접동할 때 발생하는 분진을 한층 더 억제할 수 있고, 통전이 필요한 처리에서는, 통전 불량을 방지하여 안정된 처리를 할 수 있다. 또한 가이드 레일이나 반송용 행거의 접동 부재의 가공 정도가 좋지 않음으로 인해 발생하는 반송 막힘을 방지할 수 있어 표면 처리 장치의 제작에서 가공 정도에 따른 부담을 경감할 수 있다.Thereby, the dust which arises when the guide rail and a conveyance hanger slide can be further suppressed, and in the process which requires electricity supply, it can prevent the electricity supply defect and can perform a stable process. In addition, it is possible to prevent the transfer clogging caused by the poor working accuracy of the sliding member of the guide rail or the conveying hanger, thereby reducing the burden caused by the processing degree in the manufacture of the surface treatment apparatus.

(4) 본 발명은 피처리물의 사이즈에 따라 행거폭 길이가 조절 가능한 반송용 행거와, 해당 반송용 행거를 안내하는 승강 가이드 레일을 가지고 있는 표면 처리 장치의 반송용 행거의 반송 방법에 있어,(4) The present invention provides a conveying hanger for transporting a hanger for which the length of the hanger can be adjusted according to the size of the workpiece, and a lifting hanger for the surface treatment apparatus having a lifting guide rail for guiding the conveying hanger,

상기 승강 가이드 레일이 하강했을 때, 시단부 및 종단부가 상기 승강 가이 드 레일과 연속하는 고정 가이드 레일을 설치하고, 해당 고정 가이드 레일의 중앙부에 로드부를 배치함과 동시에,When the elevating guide rail is lowered, the start end and the end are provided with a fixed guide rail continuous with the elevating guide rail, and at the same time arrange the rod portion in the center of the fixed guide rail,

상기 승강 가이드 레일이 하강했을 때에, 행거폭 조정부에서 반송용 행거의 행거 폭을 조절한 후, 해당 반송용 행거를 상기 고정 가이드 레일의 시단부로부터 상기 고정 가이드 레일로 옮기어 상기 로드부로 보내고,When the lifting guide rail descends, the hanger width adjusting unit adjusts the hanger width of the conveying hanger, and then transfers the conveying hanger from the start end of the fixed guide rail to the fixed guide rail and sends it to the rod part.

이후에 승강 가이드 레일이 하강했을 때에, 상기 로드부에 보내진 반송용 행거를 상기 고정 가이드 레일의 종단부로부터 상기 승강 가이드 레일로 옮기는 것을 특징으로 한다.Thereafter, when the lifting guide rail descends, the transport hanger sent to the rod portion is moved from the end of the fixed guide rail to the lifting guide rail.

이에 따라 승강 가이드 레일의 승강 주기를 짧게 해도, 행거폭의 조절 및 피처리물의 부착을 상기 승강 주기 내에 완료함으로써 안전하게 표면 처리 장치를 가동시켜 표면 처리 장치의 생산성을 높일 수 있다.As a result, even if the lifting period of the lifting guide rail is shortened, by adjusting the hanger width and attaching the workpiece within the lifting period, the surface treatment apparatus can be safely operated to increase the productivity of the surface treatment apparatus.

(5) 본 발명은 피처리물의 사이즈에 따라 행거폭 길이가 조절 가능한 반송용 행거와 해당 반송용 행거를 안내하는 승강 가이드 레일을 가지고 있는 표면 처리 장치의 반송용 행거의 반송 방법에 있어,(5) The present invention relates to a conveying method of a conveying hanger of a surface treatment apparatus having a conveying hanger whose hanger width length is adjustable according to the size of the workpiece and a lifting guide rail for guiding the conveying hanger,

상기 승강 가이드 레일이 하강했을 때에, 시단부 및 종단부가 상기 승강 가이드 레일과 연속하는 고정 가이드 레일을 설치하여 해당 고정 가이드 레일의 중앙부에 행거폭 조정부를 배치함과 동시에,When the elevating guide rail is lowered, the start end and the end are provided with a fixed guide rail continuous with the elevating guide rail, and the hanger width adjusting portion is arranged at the center of the fixed guide rail.

상기 승강 가이드 레일이 하강했을 때에, 언로드부에서 반송용 행거의 행거 폭을 조절한 후, 해당 반송용 행거를 상기 고정 가이드 레일의 시단부로부터 상기 고정 가이드 레일로 옮기어 행거폭 조정부로 보내고,When the lifting guide rail is lowered, after adjusting the hanger width of the conveying hanger in the unloading part, the conveying hanger is moved from the start end of the fixed guide rail to the fixed guide rail and sent to the hanger width adjusting part,

이후에 승강 가이드 레일이 하강했을 때에, 상기 행거폭 조정부에 보내진 반송용 행거를 상기 고정 가이드 레일의 종단부로부터 상기 승강 가이드 레일로 옮기는 것을 특징으로 한다.Thereafter, when the lifting guide rail descends, the transporting hanger sent to the hanger width adjusting unit is moved from the end of the fixed guide rail to the lifting guide rail.

이에 따라 승강 가이드 레일의 승강 주기를 짧게 해도, 행거 폭의 조절 및 피처리물의 분리(작업자에 의해 손상되기 쉬운 얇은 판자 기판 등의 분리)를 상기 승강 주기 내에 완료함으로써 안전하게 표면 처리 장치를 가동시켜 표면 처리 장치의 생산성을 높일 수 있다.Accordingly, even if the lifting guide rail is shortened, the surface treatment apparatus is safely operated by completing the adjustment of the width of the hanger and the separation of the workpiece (separation of a thin board or the like which is easily damaged by the operator) within the lifting cycle. The productivity of a processing apparatus can be improved.

(6) 본 발명은 승강 가이드 레일과 고정 가이드 레일로 구성되고, 승강 가이드 레일이 하강시에 고정 가이드 레일과 연속하는 환상 가이드 레일을 따라서 반송용 행거를 반송하는 표면 처리 장치에 있어,(6) The present invention is a surface treatment apparatus comprising a lifting guide rail and a fixed guide rail, and the lifting guide rail conveys a hanger for conveying along an annular guide rail that is continuous with the fixed guide rail at the time of lowering,

반송용 행거를 승강 가이드 레일의 하강시에 고정 가이드 레일로 옮기어 모아 두는 환승 수단,Transfer means for moving the transport hanger to the fixed guide rail at the time of the lowering of the lifting guide rail,

상기 환승 수단에 모아진 반송용 행거를 선행하는 반송용 행거와 소정의 거리가 되는 위치까지 반송하는 전결 반송 수단,A forwarding conveying means for conveying the conveying hanger collected by the transfer means to a position which becomes a predetermined distance from the conveying hanger preceding,

상기 소정의 거리를 유지한 상태로 상기 고정 가이드 레일상의 반송용 행거를 반송하는 고정 가이드 레일 반송 수단,Fixed guide rail conveying means which conveys the conveyance hanger on the said fixed guide rail in the state which kept the said predetermined distance,

을 구비하는 것을 특징으로 한다.It characterized by having a.

이에 따라 승강 가이드 레일의 승강 주기가 짧아져도, 스톡 장소를 겸하는 행거 반환 공정의 입구부에서 반송용 행거가 반송 막힘이 없이 원활하게 반송용 행거의 거리를 조절함으로써 안전하게 표면 처리 장치를 가동시켜 생산성을 높일 수 있다.As a result, even if the lifting cycle of the lifting guide rail is shortened, at the inlet of the hanger return process serving as a stock place, the handling hanger smoothly adjusts the distance of the carrying hanger without any clogging, thereby safely operating the surface treatment device to improve productivity. It can increase.

(7) 본 발명은, 상기 환승 수단이 상기 소정 거리를 두고 복수의 반송용 행거를 모아 두고, 상기 전결 반송 수단이 상기 복수의 반송용 행거를 상기 소정 거리를 유지한 상태로 반송하는 것을 특징으로 한다.(7) The present invention is characterized in that the transfer means collects a plurality of transfer hangers at the predetermined distance, and the transfer setting means conveys the plurality of transfer hangers in a state of maintaining the predetermined distance. do.

이에 따라, 승강 가이드 레일의 승강 주기가 한층 더 짧아져도 스톡 장소를 겸하는 행거 반환 공정의 입구부에서 반송용 행거가 반송 막히는 일 없이 원활히 반송용 행거의 거리를 조절함으로써 안전하게 표면 처리 장치를 가동시켜 생산성을 높일 수 있다.Accordingly, even if the lifting guide rail is shorter, the surface treatment device can be safely operated by smoothly adjusting the distance of the transport hanger at the inlet of the hanger return process, which serves as a stock place, without clogging. Can increase.

그 밖의 목적, 사용 및 효과는 이하의 도면이나 상세한 설명을 참조하면 당업자에게 있어서 자명할 것이다.Other objects, uses, and effects will be apparent to those skilled in the art with reference to the following drawings and detailed description.

1.표면 처리 장치 및 반송용 행거의 구조1.Structure of surface treatment device and hanger for conveyance

본 발명의 반송용 행거를 반송하는 표면 처리 장치의 구조는, 상술한 도 3 및 도 4에 도시된 바와 동일하다.The structure of the surface treatment apparatus which conveys the conveyance hanger of this invention is the same as that shown in FIG. 3 and FIG. 4 mentioned above.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 표면 처리 장치(100)는 프린트 기판 등의 피처리물을 포함한 상태로 반송용 행거(15)를 반송하기 위한 가이드 레일(10~13)을 구비하고, 이들의 가이드 레일에 따라 도금 전처리를 행하기 위한 전처리조(1), 전기도금 처리를 행하기 위한 도금조(2), 도금 후처리를 행하기 위한 회수조(3)와 세면조(4), 피처리물의 분리 및 행거폭의 축소를 행하기 위한 언로드부(5), 반송용 행거(15)에 부착된 도금을 제거하기 위한 박리조(6), 박리 처리가 끝난 반송용 행 거(15)를 세면하는 세면조(7), 피처리물의 부착 및 행거폭 확장을 실시하는 로드부(8)가 설치되어 있다. 도 3에 도시된 승강 가이드 레일(10, 12)은, 반송용 행거(15)에 피처리물 W(프린트 기판 등)의 부착, 분리를 행하거나 피처리물 W를 도금조(2)내에 침지시키는 등의 경우에 승강하는 가이드 레일이다. 고정 가이드 레일(11, 13)은 각각 도금조(2), 박리조(6)에 하강한 반송용 행거(15)를 순차적으로 반송하기 위해 각 조에 고정된 가이드 레일이다. 가이드 레일(10~13)의 재질로는 통전이 필요한 장소에서는 동, 황동 등의 금속이 사용되고, 통전이 필요 없는 장소에는 스텐레스 등이 사용되고 있다.As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the surface treatment apparatus 100 is equipped with the guide rail 10-13 for conveying the conveyance hanger 15 in the state containing the to-be-processed object, such as a printed board, According to these guide rails, a pretreatment tank 1 for pre-plating plating, a plating tank 2 for electroplating treatment, a recovery tank 3 and wash basin 4 for post-plating treatment, Unloading part 5 for separating the workpiece and reducing the width of the hanger, peeling tank 6 for removing plating attached to the conveying hanger 15, and conveying hanger 15 after the peeling treatment is completed. A wash basin 7 for washing the face is provided, and a rod part 8 for attaching the workpiece and expanding the hanger width are provided. The lifting guide rails 10 and 12 shown in FIG. 3 attach or separate the workpiece W (printed substrate, etc.) to the transport hanger 15, or immerse the workpiece W in the plating bath 2. It is a guide rail which raises and lowers, for example, to make it. The fixed guide rails 11 and 13 are guide rails fixed to each tank in order to convey conveyance hanger 15 which descended to the plating tank 2 and the peeling tank 6, respectively. As the material of the guide rails 10 to 13, metals such as copper and brass are used in places where electricity is required, and stainless steel is used in places where electricity is not required.

다음으로, 도 2a 등을 이용하여, 본 발명의 반송용 행거(15)의 구조에 대해 설명한다. 본 발명에 따른 반송용 행거(15)는 도 1에 도시된 바와 같이, 락킹 레버(45)의 배치 위치가 다른 것 이외에는, 정면에서 보면 도 20a에 도시된 종래의 반송용 행거와 같은 구성이다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 반송용 행거(15)는 피처리물 W를 보유하는 클램프(48)을 가지고 있는 장대(47)와, 한 쌍의 피처리물 유지팔(46)과. 고정 가이드 레일(11)에 접동 접촉하는 접동 부재(35)와, 이들을 연결하는 연결 부재(44)를 가지고 있다.Next, the structure of the conveyance hanger 15 of this invention is demonstrated using FIG. As shown in FIG. 1, the conveyance hanger 15 which concerns on this invention is the same structure as the conventional conveyance hanger shown in FIG. 20A from the front except that the arrangement position of the locking lever 45 differs. That is, as shown in FIG. 1, the conveyance hanger 15 has the pole 47 which has the clamp 48 holding the to-be-processed object W, a pair of to-be-processed object holding arm 46, and the like. It has the sliding member 35 in sliding contact with the fixed guide rail 11, and the connection member 44 which connects these.

접동 부재(35)의 재질로는 가이드 레일(10~13)의 통전이 필요한 장소를 구성하는 금속과 다른 금속이며, 전도성이 있는 금속재나 해당 금속을 도금한 부재가 사용된다. 예를 들면, 금, 백금, 은, 스텐레스, 알루미늄, 동, 청동이나 황동 등의 각종 구리합금 등을 들 수 있다. 내마모성이 뛰어난 재질을 사용하는 것이 바람직하고, 가이드 레일(10~13)의 통전이 필요한 장소에는 동을 사용하고, 접동 부 재(35)로는 청동을 사용하는 것이 바람직하다.The material of the sliding member 35 is a metal different from the metal constituting the place where energization of the guide rails 10 to 13 is required, and a conductive metal material or a member plated with the metal is used. For example, various copper alloys, such as gold, platinum, silver, stainless steel, aluminum, copper, bronze, and brass, are mentioned. It is preferable to use a material having excellent abrasion resistance, copper is used at a place where energization of the guide rails 10 to 13 is required, and bronze is used as the sliding member 35.

도 2a는 도 1에 도시된 본 발명의 반송용 행거(15)를 β방향에서 본 β-사시도이다. 도 2a에 도시된 바와 같이, 피처리물 유지팔(46)은 반송 방향의 길이(도 1에 나타내는 L0)를 조절 가능한 한 쌍의 피처리물 유지팔(46a, 46b)로 구성된다. 구체적으로는, 도 2a에 도시된 바와 같이, 한쌍의 피처리물 유지팔(46a, 46b)이 연결 부재(44)에 설치된 1개의 구멍에 삽입되어 서로 겹친 상태로 접동 접촉하도록 되어 있다.FIG. 2A is a beta -perspective view of the transport hanger 15 of the present invention shown in FIG. As shown in FIG. 2A, the workpiece holding arm 46 is constituted by a pair of workpiece holding arms 46a and 46b that can adjust the length (LO shown in FIG. 1) in the conveying direction. Specifically, as shown in Fig. 2A, a pair of workpiece holding arms 46a and 46b are inserted into one hole provided in the connecting member 44 so as to be in sliding contact with each other.

또한, 이 한 쌍의 피처리물 유지팔(46a, 46b)의 재질로서는 통전 시에 인화나 용접된 상태가 되지 않도록, 각각 다른 금속(예를 들면, 동과 황동의 조합이나 동 함유율이 다른 금속)이 사용되고, 피처리물 유지팔(46a, 46b)과 연결 부재(44)의 재질과도 다른 금속이 사용되고 있다. 금속재질로는 예를 들어, 연결 부재(44)는 청동이, 피처리물 유지팔(46a)은 황동이, 피처리물 유지팔(46b)은 동이 사용되고 있다.As the material of the pair of workpiece holding arms 46a and 46b, different metals (for example, a combination of copper and brass or metals having different copper content) so as not to be ignited or welded when energized. A metal different from the material of the workpiece holding arms 46a and 46b and the connecting member 44 is used. As the metal material, for example, the connection member 44 is made of bronze, the workpiece holding arm 46a is made of brass, and the workpiece holding arm 46b is made of copper.

도 2a에 도시된 바와 같이 피처리물 유지팔(46a, 46b)이 서로 겹친 상태로 되어 있어서, 락킹 레버(45)는 연결 부재(44)의 정면(도면 아래 쪽)에만 설치되고, 피처리물 유지팔(46b)은 락킹 레버(45)에 의한 잠금 압력을 피처리물 유지팔(46a)을 사이에 두고 받도록 되어 있다.As shown in Fig. 2A, the workpiece holding arms 46a and 46b are in a state of overlapping each other, so that the locking lever 45 is provided only on the front side (below the figure) of the connecting member 44, and the workpiece holding arms 46b is configured to receive the locking pressure by the locking lever 45 with the workpiece holding arm 46a interposed therebetween.

한편, 도 1에 도시된 반송용 행거(15)의 폭 길이 L0는 피처리물 W의 폭 길이 W0와 끼우는 부분 W1에 근거하여 산출한다. 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 피처리물 W(폭 길이 W0)의 양단에 끼우는 부분 W1을 설치하는 경우, 반송용 행 거(15)의 폭 길이 L0는 L0=W0 - 2× W1로 산출된다.On the other hand, the width length L0 of the conveyance hanger 15 shown in FIG. 1 is calculated based on the width W0 of the to-be-processed object W and the part W1 to which it fits. For example, as shown in FIG. 1, in the case of providing portions W1 sandwiched at both ends of the workpiece W (width length W0), the width length L0 of the transporting hanger 15 is L0 = W0-2 ×. Calculated as W1.

접동 부재(35)의 상부에는 체인 벨트(39)(도 3에 도시된 고정 가이드 레일 반송 수단(19)을 구성)로 서로 맞물리는 원 웨이 클러치 방식의 기어(40)가 설치된 베어링(36)이 고착되어 있다. 이 때문에 고정 가이드 레일(11, 13)상에서 체인 벨트(39)로 서로 맞물리는 기어(40)는 전송 시에 도 1에 도시된 B방향으로만 회전할 수 있다.On the upper part of the sliding member 35, a bearing 36 provided with a gear 40 of a one-way clutch system engaged with each other by a chain belt 39 (constituting the fixed guide rail conveying means 19 shown in FIG. 3) is provided. It is stuck. For this reason, the gears 40 meshing with the chain belt 39 on the fixed guide rails 11 and 13 can rotate only in the B direction shown in FIG. 1 at the time of transmission.

도 2b에 나타내는 푸셔 접촉면(37)은 반송용 행거(15)의 반송 수단인 간헐 반송 수단(17, 22)의 푸셔(16, 21)(도 4)가 접촉하는 부분이다. 도 2b의 갈고리 접촉부(32)는 반송용 행거(15)의 반송 수단인 위치 결정 반송 수단(18)의 반송갈고리(30)(도 3)가 접촉하는 부분이다. 이들 반송용 행거(15)의 각 반송 수단에 대해서는 이하에서 설명한다.The pusher contact surface 37 shown in FIG. 2B is a part to which the pushers 16 and 21 (FIG. 4) of the intermittent conveying means 17 and 22 which are the conveying means of the conveyance hanger 15 contact. The hook contact part 32 of FIG. 2B is a part to which the conveyance hook 30 (FIG. 3) of the positioning conveying means 18 which is a conveying means of the conveyance hanger 15 contacts. Each conveying means of these conveying hangers 15 is demonstrated below.

2. 반송용 행거(15)의 각 반송 수단2. Each conveyance means of the conveyance hanger 15

도 1에 도시된 반송용 행거(15)는, 표면 처리 장치(100)에 있어, 이하의 간헐 반송 수단(17, 22), 고정 가이드 레일 반송 수단(19, 24), 위치 결정 반송 수단(18, 23) 및 송출 수단(20, 25)에 의해서 반송된다(도 3 및 도 4를 참조).In the surface treatment apparatus 100, the conveyance hanger 15 shown in FIG. 1 has the following intermittent conveying means 17 and 22, the fixed guide rail conveying means 19 and 24, and the positioning conveying means 18. 23 and conveyance means 20 and 25 (refer FIG. 3 and FIG. 4).

우선, 도 4에 도시된 승강 가이드 레일(10, 12)의 상부에 설치된 간헐 반송 수단(17, 22)은, 각각 승강 가이드 레일(10(c)~(f), (h)~(k))의 위치에 있는 반송용 행거(15)를, 도 5에 도시된 푸셔(16, 21)에 의해서 1 핏치씩 간헐 반송한다. 도 5는, 승강 가이드 레일(10) 및 (12)의 상부에 설치된 간헐 반송 수단(17, 22)의 구조를 도시하는 평면도이다.First, the intermittent conveying means 17 and 22 provided in the upper part of the elevating guide rails 10 and 12 shown in FIG. 4 are the elevating guide rails 10 (c)-(f), (h)-(k), respectively. The transfer hanger 15 at the position of) is intermittently conveyed by one pitch by the pushers 16 and 21 shown in FIG. FIG. 5: is a top view which shows the structure of the intermittent conveying means 17 and 22 provided in the upper part of the lifting guide rails 10 and 12. As shown in FIG.

도 3에 도시된 위치 결정 반송 수단(18)은, 고정 가이드 레일(11)에 따라서 설치되어 도금조(2)의 윗쪽으로부터 피처리물 침지부(2a)내에 하강한 반송용 행거(15)(도 4의(x) 위치)를, 고정 가이드 레일(11)로 옮기어 (b)의 위치까지 전송함과 동시에, 도금조(2)내에서의 피처리물 W와 그 앞(도 4의 좌측)의 (a) 위치에 있는 피처리물 W의 간격을 L1(예를 들면, L1=5 mm)로 조정한다.The positioning conveying means 18 shown in FIG. 3 is provided along the fixed guide rail 11, and the conveyance hanger 15 which lowered in the to-be-processed object immersion part 2a from the upper side of the plating tank 2 ( The position (x) of FIG. 4 is transferred to the fixed guide rail 11, and it is transmitted to the position of (b), and the to-be-processed object W in the plating tank 2 and its front (left side of FIG. 4). The interval of the workpiece W in position (a) of is adjusted to L1 (for example, L1 = 5 mm).

도 6은 위치 결정 반송 수단(18)의 구조를 도시한 도면이다. 도 6에 도시된 위치 결정 반송 수단(18)은, 고정 가이드 레일(11)을 따라 별도로 설치된 레일을 따라서 X, Y방향으로 전후 이동이 가능하고, 도 6 A에 도시된 상태로 용수철에 의해 Z방향으로 가압 되는 반송 갈고리(30)를 가진다. 이에 따라 반송용 행거(15)를 반송할 때, 먼저 X방향으로 이동할 때에는 용수철이 줄어들어 도 2 b에 도시된 ㄱ갈고리 접촉부(32)위(도 6 B 상태)를 통과한 후, 역방향(도 6 C의 Y방향)으로 이동해 반송조(30)가 반송용 행거(15)의 갈고리 접촉부(32)를 걸어 반송용 행거(15)를 도 3에 도시하는 C방향으로 반송한다. 이 때, 위치 결정 반송 수단(18)의 이동 속도는, 고정 가이드 레일 반송 수단(19)의 이동 속도(즉, 체인 벨트(39)의 이동 속도)보다 빨라야한다. 또한 박리층(6)측의 위치 결정 반송 수단(23)도, 도 6에 도시하는 상기 도금조(2)측의 위치 결정 반송 수단(13)과 같은 구조 및 동작을 행한다.6 is a diagram illustrating the structure of the positioning conveying means 18. The positioning conveying means 18 shown in FIG. 6 can move back and forth in the X, Y direction along the rail provided separately along the fixed guide rail 11, and Z is formed by the spring in the state shown in FIG. 6A. It has a conveyance hook 30 pressurized in the direction. Accordingly, when the conveying hanger 15 is conveyed, the spring is reduced when first moving in the X direction, and then passes through the hook contact portion 32 (FIG. 6B state) shown in FIG. 2B, and then in the reverse direction (FIG. 6). C), the conveyance tank 30 hooks the hook contact part 32 of the conveyance hanger 15, and conveys the conveyance hanger 15 to the C direction shown in FIG. At this time, the moving speed of the positioning conveying means 18 should be faster than the moving speed of the fixed guide rail conveying means 19 (that is, the moving speed of the chain belt 39). In addition, the positioning conveying means 23 on the peeling layer 6 side also performs the same structure and operation as the positioning conveying means 13 on the plating bath 2 side shown in FIG. 6.

고정 가이드 레일 반송 수단(19, 24)은, 위치 결정 반송 수단(18, 23)으로 앞으로 이송된 반송용 행거(15)를, 소정의 간격(도 4의 L1)을 유지하면서 도 3의 화살표 C의 방향에 반송한다.The fixed guide rail conveying means 19 and 24 hold | maintain the conveyance hanger 15 conveyed forward by the positioning conveying means 18 and 23, maintaining the predetermined space | interval (L1 of FIG. 4), and arrow C of FIG. Conveys in the direction of.

송출 반송 수단(20, 25)(도 3)은, 고정 가이드 레일 반송 수단(19, 24)에 의 해 각각 (g) (o) 위치까지 반송된 반송용 행거(15)를, 각각 승강 가이드 레일 (12, 10)의 (h), (f) 위치로 송출하여 옮긴다. 한편 송출 반송 수단(20, 25)의 구조 및 동작은, 도 6에 도시된 위치 결정 반송 수단(18)과 동일하다.The conveyance conveyance means 20 and 25 (FIG. 3) raise and lower the conveyance hanger 15 for conveyance to the position (g) (o), respectively, by the fixed guide rail conveyance means 19 and 24, respectively. Send it to (h), (f) of (12, 10) and move it. On the other hand, the structure and operation | movement of the delivery conveyance means 20 and 25 are the same as the positioning conveyance means 18 shown in FIG.

3.개량형 표면 처리 장치 102의 개요3.Summary of Improved Surface Treatment Apparatus 102

도 3에 도시된 표면 처리 장치(100)를 개량한 개량형 표면 처리 장치(102)에 대하여, 도 7등을 이용하여 이하에서 설명한다. 한편 도 7에 도시된 개량형 표면 처리 장치(102)가, 도 3에 도시된 표면 처리 장치(100)와 다른 점은, (i) 박리조(6)의 강하 위치(도 3에 도시된(l)의 위치에 해당)에 환승 반송 수단(80)과 전결 반송 수단(82)을 설치하여 고정 가이드 레일 반송 수단(13)이 연속 반송이 아니고 간헐 반송하는 수단으로 된 점, (ii) 승강 가이드 레일(10, 12)의 일부를 노치하고, 각각 노치 고정 가이드 레일(71, 91)을 별도로 설치해 로드부(8)의 앞 및 언로드부(5)의 뒤에 각각 행거폭조정부(72, 93)를 설치한 점, (iii) 승강 가이드 레일(10, 12)의 안쪽에 반송용 행거의 떠오름이나 덜컹거림을 방지하는 계지 가이드(110)를 설치한 점, (iv) 반송용 행거(15)의 연결 부재(44) 및 접동 부재(35) 등의 구조를 변경한 점 등이다.The improved surface treatment apparatus 102 which improved the surface treatment apparatus 100 shown in FIG. 3 is demonstrated below using FIG. On the other hand, the improved surface treatment apparatus 102 shown in FIG. 7 differs from the surface treatment apparatus 100 shown in FIG. 3 by (i) the dropping position of the peeling tank 6 ((l shown in FIG. A transfer transfer means 80 and an electrostatic transfer means 82 provided at the position of) so that the fixed guide rail conveying means 13 is a means for intermittently conveying rather than continuous conveying, (ii) an elevating guide rail Notch a part of (10, 12), and separately install notch fixing guide rails (71, 91), and hanger width adjusting parts (72, 93) are installed in front of the rod part (8) and behind the unloading part (5), respectively. One point, (iii) the locking guide 110 is installed inside the elevating guide rails (10, 12) to prevent the rise or rattle of the transport hanger, (iv) the connection member of the transport hanger (15) It is a point which changed the structure of 44, the sliding member 35, etc., and the like.

우선, 상기(iv)의 개량에 대해 설명한다. 반송용 행거(15)의 연결 부재(44) 및 접동 부재(35)등의 구조를 변경한 (iv)의 개량에 의해서, 반송용 행거와 가이드 레일과의 접동에 의한 분진의 발생을 억제하면서, 상기 도금 처리시의 통전 불량도 억제할 수 있어 도금 품질을 향상할 수 있다.First, the improvement of said (iv) is demonstrated. By improving (iv) which changed the structure of the connection member 44 of the conveyance hanger 15, the sliding member 35, etc., while suppressing generation | occurrence | production of dust by sliding of a conveyance hanger and a guide rail, The conduction defect at the time of the said plating process can also be suppressed, and plating quality can be improved.

도 16은, 승강 가이드 레일(10) 위로 반송되는 반송용 행거(15a)의 측면을 도시하는 도면이다. 도 16에 도시된 바와 같이, 접동 부재(35a)는 승강 가이드 레일(10)의 우측으로 안내 롤러(35b), 승강 가이드 레일(10)의 좌측으로 안내 롤러(35c)를 가지고 있다. 안내 롤러(35b)는 승강 가이드 레일(10)의 우측면의 하단부에 롤러 접촉하고, 안내 롤러(35c)는 승강 가이드 레일(10)의 좌측면의 상단부에 롤러 접촉하며, 접동 부재(35a)는 승강 가이드 레일(10)의 표면에만 접동 접촉하도록 구성되어 있다. 또한 접동 부재(35a)는 승강 가이드 레일(10)의 아래쪽 면에는 접촉하지 않게 되어 있다.FIG. 16: is a figure which shows the side surface of the conveyance hanger 15a conveyed on the lifting guide rail 10. As shown in FIG. As shown in FIG. 16, the sliding member 35a has the guide roller 35b to the right of the lifting guide rail 10, and the guide roller 35c to the left of the lifting guide rail 10. As shown in FIG. The guide roller 35b is in roller contact with the lower end of the right side of the elevating guide rail 10, the guide roller 35c is in roller contact with the upper end of the left side of the elevating guide rail 10, and the sliding member 35a is elevated. It is comprised so that only the surface of the guide rail 10 may be in sliding contact. In addition, the sliding member 35a is not in contact with the lower surface of the elevating guide rail 10.

안내 롤러(35b, c)를 설치함으로써, 접동 부재(35a)와 승강 가이드 레일(10)과의 접동 접촉 면적이 감소하기 때문에, 분진의 발생이 억제된다. 또한 안내 롤러(35b, c)를 설치하고, 추가로 승강 가이드 레일(10)의 아래쪽 면에 접동 부재(35a)가 접촉하지 않게 함으로써, 승강 가이드 레일(10)의 면가공 정도가 높지 않아도 반송 불량을 일으키지 않고 안정된 반송이 가능하게 된다.By providing the guide rollers 35b and c, the sliding contact area between the sliding member 35a and the lifting guide rail 10 is reduced, so that the generation of dust is suppressed. In addition, by providing the guide rollers 35b and c and further preventing the sliding member 35a from contacting the lower surface of the elevating guide rail 10, even if the surface processing degree of the elevating guide rail 10 is not high, the conveyance is poor. Stable conveyance is possible without causing this.

더욱이, 본 발명의 반송용 행거(15a)는, 전기도금조(2)에서 전기도금 처리시에 도금조(2)의 고정 가이드 레일(11)로부터 접동 부재(35a)로 통전을 받고, 그 전기가 연결 부재(44a), 장대(47), 클램프(48)로 통전 된다. 그런데 접동 부재(35a)와 고정 가이드 레일(11)이 모두 롤러 접촉하면, 고정 가이드 레일(11)로부터 접동 부재(35a)의 접촉이 충분하지 않아 통전 불량이 발생하는 일이 있다. 반송용 행거(15a)는, 접동 부재(35a)가 가이드 레일의 상면에 접동 접촉함으로써 접동 부재(35a)와 고정 가이드 레일(11)과의 접촉 면적을 확보하여 통전 불량을 방지하고 있다.Moreover, the conveyance hanger 15a of this invention receives electricity from the fixed guide rail 11 of the plating tank 2 to the sliding member 35a at the time of the electroplating process in the electroplating tank 2, and the electric Is energized by the connecting member 44a, the pole 47, and the clamp 48. By the way, when both the sliding member 35a and the fixed guide rail 11 are in roller contact, the contact of the sliding member 35a from the fixed guide rail 11 may not be enough, and an electricity supply defect may arise. In the conveying hanger 15a, the sliding member 35a makes sliding contact with the upper surface of the guide rail to secure a contact area between the sliding member 35a and the fixed guide rail 11, thereby preventing a poor conduction.

또한, 반송용 행거(15a)는, 도 16에 도시된 바와 같이, 연결 부재(44a)가 거의 수평 방향으로 연장되도록 구성되어 있다. 이에 따라 각 처리조의 개구부 위을 가이드 레일(10~13)이 통과하지 않도록, 각 처리조를 가이드 레일 (10~13)로부터 멀어지게 설치하여, 접동 부재(35a)와 가이드 레일(10~13)과의 접동시에 발생하는 분진이 처리조내에 혼입되는 것을 방지할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 16, the conveyance hanger 15a is comprised so that the connection member 44a may extend substantially in a horizontal direction. Accordingly, the treatment tanks are installed away from the guide rails 10 to 13 so that the guide rails 10 to 13 do not pass through the openings of the respective treatment tanks, and the sliding members 35a and the guide rails 10 to 13 Dust generated at the time of sliding can be prevented from entering the treatment tank.

한편, 도 15는, 도 16에 도시된 반송용 행거(15a)의 정면을 도시한 도면이다. 도 15에 도시된 바와 같이, 이 실시 형태에서 반송용 행거(15a)는, 장대(47)가 4개로 되어 있어서 도 1에 도시된 반송용 행거(15)보다 장대(47)가 1개 더 있다.15 is a figure which shows the front of the conveyance hanger 15a shown in FIG. As shown in FIG. 15, in this embodiment, the conveyance hanger 15a has four poles 47, and there is one pole 47 more than the conveyance hanger 15 shown in FIG. .

다음으로 상기(i) (iv)의 개량에 대해 설명한다.Next, improvement of said (i) (iv) is demonstrated.

상기(i)의 개량에 의해, 반송용 행거(15a)의 스톡 장소를 겸하는 박리조(6)내에서의 반송용 행거의 간격 조정 작업을, 환승 수단(80)과 전결 반송 수단(82)이 분담하는 것으로, 개량형 표면 처리 장치(102)의 승강 가이드 레일(10, 12)이 승강하는 주기를 짧게 하는 경우에, 반송용 행거(15a)는 박리조(6)의 입구부에서 반송막히는 일이 없이 원활히 반송할 수 있다.By the improvement of said (i), the transfer means 80 and the transfer conveying means 82 perform the space | interval adjustment work of the conveyance hanger in the peeling tank 6 which also serves as the stock place of the conveyance hanger 15a. In the case of shortening the period in which the lifting guide rails 10 and 12 of the improved surface treatment apparatus 102 move up and down by sharing, the conveyance hanger 15a may be blocked at the inlet of the peeling tank 6. Can be returned smoothly.

또한, 상기(iv)의 개량에 의해, 표면 처리 장치(102)의 승강 가이드 레일 (10, 12)의 승강하는 주기를 짧게 하는 경우에도, 피처리물(워크)의 부착 작업을 여유있게 행할 수 있어 확실하게 피처리물의 부착를 완료할 수 있다.Further, by the improvement of the above-mentioned (iv), even when the lifting and lowering period of the lifting guide rails 10 and 12 of the surface treatment apparatus 102 is shortened, the work to be attached (workpiece) to be processed can be relaxed. It can be surely completed to attach the workpiece.

도 7에 도시하는 바와 같이 개량형 표면 처리 장치(102)는, 프린트 기판등의 피처리물을 협지한 반송용 행거(15a)를 반송하기 위한 가이드 레일(10~13)(노치 고정 가이드 레일(71, 91)을 포함한다)을 구비하고, 이러한 가이드 레일에 따라, 도 금 전처리를 행하기 위한 전처리조(1), 전기도금 처리를 행하기 위한 도금조(2), 도금 후처리를 행하기 위한 회수조(3)와 세면조(4), 피처리물의 분리를 행하기 위한 언로드부(5), 행거폭축소 조정을 행하는 행거폭축소부(91), 반송용 행거(15a)에 부착한 도금을 제거함과 동시에 반송용 행거 (15a)의 스톡 장소로 겸하기 위한 박리조(6), 박리 처리가 끝난 반송용 행거(15a)를 세면하는 세면조(7), 행거폭확장 조정을 행하는 행거폭확장부 (71), 피처리물의 부착를 행하는 로드부(8)가 설치되어 있다. 한편 도 7은 이해가 용이하도록 승강 가이드 레일(10, 12)만을 사선으로 도시하고 있다.As shown in FIG. 7, the improved type surface treatment apparatus 102 is guide rails 10-13 (notch fixing guide rail 71) for conveying the conveyance hanger 15a which pinched the to-be-processed object, such as a printed board. 91), the pretreatment tank 1 for plating pretreatment, the plating tank 2 for electroplating treatment, and the post-plating treatment according to this guide rail. Plating attached to the recovery tank 3 and the wash basin 4, the unloading section 5 for separating the object to be processed, the hanger narrowing section 91 for adjusting hanger reduction, and the transporting hanger 15a. The removal tank 6 for serving as a stock place of the conveying hanger 15a, the wash basin 7 for washing the peeling process-completed conveying hanger 15a, and the hanger width for adjusting the hanger width expansion. The expansion section 71 and the rod section 8 for attaching the object are provided. On the other hand, FIG. 7 shows only the lifting guide rails 10 and 12 in diagonal lines for easy understanding.

도 7에서 일부가 노치된 승강 가이드 레일(10)은 일체로 승강한다. 한편 이것은 승강 가이드 레일(12)에 대해서도 마찬가지이다.In FIG. 7, the lifting guide rail 10, which is partially notched, is raised and lowered integrally. The same applies to the lifting guide rail 12.

도 8은 언로드부(5) 및 로드부(8)에 설치되어 있는 클램프 해제 수단의 구조를 도시하는 도면이다. 도 8에 도시된 바와 같이 클램프 해제 수단(50)은, 기판(40)에 설치되고, 반송용 행거(15a)의 우측에 위치하는 클램프 압압 부재(50a), 압압 실린더(50b)도 기판(42)에 설치되며 반송용 행거 (15a)의 좌측에 위치하는 지지판(50c), 지지 실린더(50d)로 구성되어 있다. 클램프 해제 수단(50)은, 반송용 행거(15a)가 승강 가이드 레일(12)과 함께 하강한 상태(도 8에 나타내는 위치)로, 피처리물 W를 협지하는 클램프(48)의 해제를 행한다. 구체적으로는, 도 8에 도시된 지지 실린더(50d)가 작동하여 지지판(50c)을 반송용 행거(15)에 접촉시키고, 그 상태로 압압 실린더(50b)가 작동함으로써 클램프 압압 부재(50a)가 클램프(48)를 압압 하여 클램프(48)를 해제시킨다.FIG. 8 is a diagram showing the structure of the clamp releasing means provided in the unloading portion 5 and the rod portion 8. As shown in FIG. 8, the clamp releasing means 50 is provided in the board | substrate 40, and the clamp press member 50a and the press cylinder 50b which are located in the right side of the conveyance hanger 15a are also the board | substrate 42 ) And a support plate 50c and a support cylinder 50d positioned on the left side of the transport hanger 15a. The clamp releasing means 50 releases the clamp 48 which clamps the workpiece W in a state where the transport hanger 15a is lowered together with the lifting guide rail 12 (the position shown in FIG. 8). . Specifically, the support cylinder 50d shown in FIG. 8 operates to bring the support plate 50c into contact with the transport hanger 15, and the press cylinder 50b operates in that state, thereby providing the clamp pressing member 50a. The clamp 48 is pressed to release the clamp 48.

한편 표면 처리 장치(100)의 구조를 도시하는 도 3에서는 생략 하고 있었지만, 개량형 표면 처리 장치(102)에서는, 언로드부(5)의 뒤와 로드부(8)의 앞에는, 도 7에 도시된 바와 같이 각각 행거폭조정부(91, 71)가 설치되어 있다.Although the structure of the surface treatment apparatus 100 is omitted in FIG. 3, the improved surface treatment apparatus 102 is shown in FIG. 7 in front of the unloading portion 5 and in front of the rod portion 8. Similarly, hanger width adjusting sections 91 and 71 are provided, respectively.

도 17, 18 및 19에서는, 행거폭조정부(91, 71)에 설치되어 있는 행거폭조정 장치의 구조를 설명한다. 도 17은 행거폭조정 장치의 구조를 도시하는 측면도이다. 도 17에서 도시하는 바와 같이, 행거폭조정 장치는 반송용 행거(15a)의 우측으로 설치되는 기판(210a)상에 설치된 행거폭조절 유닛(201)과, 반송용 행거(15a)의 좌측으로 설치되는 기판(210b)에 설치된 행거 서포트 수단(202)으로 구성되어 있다. 행거 서포트 수단(202)은, 상기 클램프 해제 수단(50)의 지지판(50c), 지지 실린더(50d)로 구성되는 행거 지지 수단과 같은 구조이다. 17, 18 and 19, the structure of the hanger width adjustment apparatus provided in the hanger width adjustment parts 91 and 71 is demonstrated. It is a side view which shows the structure of a hanger width adjustment apparatus. As shown in FIG. 17, the hanger width adjusting apparatus is installed on the left side of the hanger width adjusting unit 201 provided on the board | substrate 210a provided to the right side of the conveyance hanger 15a, and the conveyance hanger 15a. The hanger support means 202 provided in the board | substrate 210b used is comprised. The hanger support means 202 is the same structure as the hanger support means comprised from the support plate 50c of the said clamp release means 50, and the support cylinder 50d.

행거폭조정 유닛(201)은, 도 17에 도시된 바와 같이, 반송용 행거(15a)의 손잡이(49)를 가이드 해 행거폭의 조절을 행하는 손잡이 조작 수단(203), 반송용 행거(15a)의 락킹 레버(45a)를 조작하는 락킹 레버 조작 수단(204) 및 반송용 행거(15a)의 연결 부재(44a)를 협지해 반송용 행거(15a)를 고정하는 고정 수단(205) 및 이들이 반송용 행거(15a)에 대해서 작동 가능한 위치로 세트 하는 세트 수단(206)으로 구성되어 있다.As shown in FIG. 17, the hanger width adjusting unit 201 guides the handle 49 of the conveying hanger 15a to adjust the hanger width, and thus the hanger width adjusting unit 201 and the conveying hanger 15a. Fixing means 205 for holding the locking lever operating means 204 for operating the locking lever 45a and the connecting member 44a of the conveying hanger 15a to fix the conveying hanger 15a, and these for conveying It is comprised by the set means 206 which sets in the operable position with respect to the hanger 15a.

세트 수단(206)은, 도 17에 도시된 바와 같이, 상기 손잡이 조작 수단 (203), 락킹 레버 조작 수단(204) 및 고정 수단(205)을 설치하는 이동대(206a)와, 해당 이동대(206a)의 이동을 원활히 안내하는 안내 레일(206b)과, 이동대(206a)를 이동시키는 세트 실린더(206c)로 구성되어 있다.As shown in Fig. 17, the set means 206 includes a movable table 206a for installing the handle operating means 203, the locking lever operating means 204, and the fixing means 205, and the movable table ( It consists of the guide rail 206b which guides the movement of 206a smoothly, and the set cylinder 206c which moves the moving base 206a.

락킹 레버 조작 수단(204)은, 도 18에 도시된 바와 같이, 이동대(206)의 중앙 상단부에 장착되고, 개폐 실린더(204a)와 레버 조작도구(204b)로 구성되어 있다.As shown in FIG. 18, the locking lever operating means 204 is attached to the center upper end of the movable base 206, and is comprised from the opening-closing cylinder 204a and the lever operating tool 204b.

도 21 A에 도시된 바와 같이, 개폐 실린더(204a)에 의해서, 레버 조작도구(204b)는 상하 이동하고, 도 21 B에 나타낸 바와 같이, 레버 조작도구(204b)가, 반송용 행거(15a)의 락킹 레버(45a)를 용수철의 힘에 반하여 들어 올리면 잠금이 해제된다.As shown in FIG. 21A, the lever operating tool 204b moves up and down by the opening / closing cylinder 204a, and as shown in FIG. 21B, the lever operating tool 204b carries the transport hanger 15a. Of the lock lever 45a is lifted against the force of the spring to release the lock.

고정 수단(205)는, 도 19에 도시된 바와 같이, 이동대(206a)에 대해 상기 락킹 레버 조작 수단(204)를 사이에 두고 장착된 한 쌍의 협지 실린더(205a) 및 협지도구(205b)로 구성되어 있다.As shown in Fig. 19, the fixing means 205 includes a pair of clamping cylinders 205a and a pincer 205b which are mounted with the locking lever operating means 204 interposed with respect to the movable table 206a. Consists of

해당 고정 수단(205)는, 도 22에 도시된 바와 같이, 협지 실린더(205a)가 작동함으로써, 협지도구(205b)가 서로 간격을 좁히거나 넓히는 운동을 해 반송용 행거(15a)의 연결 부재(44a)를 협지해 반송용 행거(15a)를 고정한다.As shown in Fig. 22, the fixing means 205 is operated by the pinching cylinder 205a, whereby the pinching guide 205b moves to narrow or widen each other, thereby connecting the connecting member of the transport hanger 15a ( 44a) is clamped and the conveyance hanger 15a is fixed.

손잡이 조작 수단(203)은, 도 23에 도시된 바와 같이, 반송용 행거(15a)의 손잡이(49)를 조작하는 한쌍의 손잡이 가이드(203a)와, 한쌍의 손잡이 가이드(203a)를 서로 가깝게 또는 멀어지게 하는 운동을 시키는 타이밍 벨트(203b)와, 해당 타이밍 벨트(203b)를 구동시켜 손잡이 가이드(203a)를 소정폭에 조정하는 롤러(204b)로 구성되어 있다. 한쪽의 손잡이 가이드(203a)는 상기 타이밍 벨트(203b)의 위쪽을 주행하는 부분에, 다른쪽의 손잡이 가이드(203a)는 타이밍 벨트(203b)의 아래 쪽을 주행하는 부분에 고착되어 있다. 한편 부호 203d는 안내 가이드이며, 손 잡이 가이드(203a)는 후단에서 해당 안내 가이드(203d)로 이동 가능하게 계합되어 앞당김 상태가 되지 않도록 지승 되어 있다.As illustrated in FIG. 23, the handle operating means 203 is configured to bring the pair of handle guides 203a and the pair of handle guides 203a close to each other or to operate the handle 49 of the transport hanger 15a. And a roller 204b for driving the timing belt 203b to adjust the handle guide 203a to a predetermined width. One handle guide 203a is fixed to a portion traveling above the timing belt 203b, and the other handle guide 203a is fixed to a portion traveling below the timing belt 203b. On the other hand, reference numeral 203d is a guide guide, and the grip guide 203a is supported so as to be movable to the corresponding guide guide 203d at the rear end so as not to be in an advanced state.

롤러(204b)가 구동 모터에 의해서 도 23의 C방향으로 회전하면, 적층가이드(203a)는 서로 가깝게 이동해, 롤러(203c)가 반대 방향으로 회전하면서 손잡이 가이드(203a)는 서로 멀어지도록 이동한다.When the roller 204b rotates in the C direction of FIG. 23 by the drive motor, the lamination guides 203a move close to each other, and the handle guide 203a moves away from each other while the roller 203c rotates in the opposite direction.

승강 가이드 레일(10)이 강하함으로써 반송용 행거(15a)가 도 17에 도시된 상태가 되면, 세트 수단(206)의 세트 실린더(206c) 및 행거 서포트 수단(202)의 지지 실린더(202a)가 작동한다.When the lifting guide rail 10 descends and the conveying hanger 15a is in the state shown in Fig. 17, the set cylinder 206c of the set means 206 and the support cylinder 202a of the hanger support means 202 Works.

그러면, 행거 서포트 수단(202), 손잡이 조작 수단(203), 락킹 레버 조작 수단(204), 고정 수단(205)는, 반송용 행거(15a)에 대해서, 도 24에 도시된 위치가 된다.Then, the hanger support means 202, the handle operation means 203, the locking lever operation means 204, and the fixing means 205 become the position shown in FIG. 24 with respect to the conveyance hanger 15a.

이 후, 고정 수단205)의 협지 실린더(205a)가 작동하고, 협지도구(205b)가 반송용 행거(15a)의 연결 부재(44a)를 협지하고 고정하며, 다음으로 락킹 레버 조작 수단(204)의 개폐 실린더(204a)가 작동하고, 레버 조작부(204b)가 락킹 레버(45a)를 들어 올려 잠금을 해제한 후, 손잡이 조작 수단(203)의 롤러(203c)가 회전하여 손잡이 가이드(203a)가 반송용 행거(15a)의 손잡이(49) 간격을 소정간격으로 조절한다.Thereafter, the pinching cylinder 205a of the fixing means 205 is operated, the pinching guide 205b clamps and fixes the connecting member 44a of the conveying hanger 15a, and then the locking lever operating means 204. Of the opening and closing cylinder 204a, the lever operating portion 204b lifts the locking lever 45a to release the lock, and then the roller 203c of the handle operating means 203 rotates so that the handle guide 203a is rotated. The space | interval of the handle 49 of the conveyance hanger 15a is adjusted to predetermined intervals.

이 후, 락킹 레버 조작 수단(204)의 개폐 실린더(204a)가 작동하여 레버 조작도구(204b)가 반송용 행거(15a)의 락킹 레버(45a)를 내려 잠그고, 다음으로 고정 수단(205)의 협지 실린더(205a)가 작동하여 협지도구(205b)가 반송용 행거(15a)의 협지를 해제한다. 이 후, 세트 수단(206)의 세트 실린더(206c) 및 행거 서포트 수단(202)의 지지 실린더(202a)가 작동하고, 행거 서포트 수단(202), 손잡이 조작 수단(203), 락킹 레버 조작 수단(204) 및 고정 수단(205)이 반송용 행거(15a)로부터 분리된다. 한편 다음의 반송용 행거(15a)가 반송되어 오기까지, 손잡이 조작 수단(203)의 손잡이 가이드(203a)는 처음의 간격으로 되돌아가고, 이 후에는 같은 동작을 반복한다.Thereafter, the opening / closing cylinder 204a of the locking lever operating means 204 is operated so that the lever operating tool 204b lowers the locking lever 45a of the transport hanger 15a, and then locks the fixing means 205. The pinching cylinder 205a is operated, and the pinching guide 205b releases the pinching of the transport hanger 15a. Thereafter, the set cylinder 206c of the set means 206 and the support cylinder 202a of the hanger support means 202 operate, and the hanger support means 202, the handle operating means 203, the locking lever operating means ( 204 and the fixing means 205 are separated from the transport hanger 15a. On the other hand, until the next conveyance hanger 15a is conveyed, the handle guide 203a of the handle operating means 203 returns to the initial interval, after which the same operation is repeated.

마지막으로, 상기 개량(iii)에 대해 설명한다. 개량(iii)에 의해서, 반송용 행거(15a)가 승강 가이드 레일(10)의 코너부를 통과할 때에, 덜컹거리거나 떠 오르는 것을 방지하여 안정된 반송을 할 수 있게 된다.Finally, the improvement (iii) will be described. By the improvement (iii), when the conveyance hanger 15a passes through the corner part of the elevating guide rail 10, it prevents rattling or floating and can carry out stable conveyance.

계지 가이드(110)은, 도 16에 도시된 바와 같이, 승강 가이드 레일(10)이 설치되어 있는 프레임 상에 장착되어 있다. 반송용 행거(15a)의 갈고리 접촉부(32)가 해당 계지 가이드(110)에 눌리게 됨으로써 반송용 행거(15a)가 승강 가이드 레일(10)의 코너부를 통과할 때에, 덜컹거리거나 떠 오르는 것을 방지할 수 있다.As illustrated in FIG. 16, the locking guide 110 is mounted on a frame on which the lifting guide rails 10 are provided. The hook contact portion 32 of the transport hanger 15a is pressed against the locking guide 110 to prevent rattling or floating when the transport hanger 15a passes through the corner portion of the lifting guide rail 10. can do.

4.개량형 표면 처리 장치 102에 있어서의 반송 방법4.Conveying method in improved type surface treatment apparatus 102

도 7에 도시된 전처리조(1)로부터 세면조(4)까지의 반송 방법은, 도 3에 도시된 상술의 실시 형태와 같기 때문에, 언로드부(5)로부터 로드부(8)에 이르기까지의 반송 방법에 대해 이하에 설명한다.Since the conveying method from the pretreatment tank 1 to the wash basin 4 shown in FIG. 7 is the same as the above-mentioned embodiment shown in FIG. 3, it is possible from the unloading part 5 to the rod part 8. A conveyance method is demonstrated below.

우선, 도 7에 도시된 승강 가이드 레일(12)를 노치해 마련한 고정 가이드 레일(91)의 부근에 있어서의 반송 동작에 대해서, 도 9를 이용하여 이하에 설명한다.First, the conveyance operation in the vicinity of the fixed guide rail 91 provided by notching the lifting guide rail 12 shown in FIG. 7 will be described below with reference to FIG. 9.

도 7에 도시된 세면조(4)로부터 끌어 올려진 반송용 행거(15a)는, 승강 가이 드 레일(12)을 따라서 언로드부(5)의 윗쪽으로 반송되어(도 9 A를 참조), 승강 가이드 레일(12)과 함께 하강한다.The conveyance hanger 15a pulled up from the basin 4 shown in FIG. 7 is conveyed upward of the unloading part 5 along the lifting guide rail 12 (refer FIG. 9A), The guide rail 12 is lowered together.

언로드부(5)에서 피처리물 W가 떼어내지면, 노치 위치 반송 수단(90)이 도 9 A의 우측 방향으로 이동해, 반송용 행거(15a)를 반송조(93b)로 건 상태로 좌측방향(도 3에 도시된 반송 방향 C)으로 이동해, 반송용 행거(15a)를 고정 가이드 레일(91)로 옮기어서 행거폭조정부(91)로 보내고 정지한다. 한편 노치 위치 반송 수단(90)은, 도 6에 도시된 위치 결정 반송 수단(18)과 같은 구조의 장치이며, 도 9 A에 도시된 바와 같이, 2개의 반송 갈고리(93a, 93b)를 가지고 있다.When the to-be-processed object W is detached from the unloading part 5, the notch position conveyance means 90 moves to the right direction of FIG. 9A, and it moves to the left in the state which hung the conveying hanger 15a to the conveyance tank 93b. It moves to the conveyance direction C shown in FIG. 3, moves the conveyance hanger 15a to the fixed guide rail 91, and sends it to the hanger width adjustment part 91, and stops. On the other hand, the notch position conveyance means 90 is an apparatus of the same structure as the positioning conveyance means 18 shown in FIG. 6, and has two conveyance hooks 93a and 93b as shown in FIG. 9A. .

이 후, 노치 위치 반송 수단(90)은, 상승하는 승강 가이드 레일(12)에 접촉하지 않도록 우측 방향으로 이동하여 도 9 A에 도시된 위치에서 정지한다.Thereafter, the notched position conveying means 90 moves in the right direction so as not to contact the rising and lowering guide rails 12 and stops at the position shown in FIG. 9A.

이후는, 승강 가이드 레일(12)이 상승해 상기와 같은 동작이 다시 행해져 도 9 B에 도시된 바와 같이, 승강 가이드 레일(12)이 다음에 하강했을 때에는, 반송용 행거(15a)는 이미 반송 방향의 폭 길이가 조정되어 있어(예를 들면, 피처리물 유지팔(46)에 부착된 도금이나 불순물을 제거하기 위해서 행거폭을 일단 넓힌 후 최소의 폭으로 줄일 수 있다), 다른 한쪽의 반송조 (93a)에 의해서 승강 가이드 레일(12)로 바꿀 수 있게 된다.Subsequently, when the lifting guide rail 12 is raised and the above operation is performed again, and as the lifting guide rail 12 is lowered next as shown in FIG. 9B, the conveying hanger 15a is already conveyed. The width of the direction is adjusted (for example, the width of the hanger can be widened once and then reduced to the minimum width in order to remove plating or impurities attached to the workpiece holding arm 46), and the other conveying tank By 93a, the lifting guide rail 12 can be replaced.

이상과 같이, 언로드부(5)에서 피처리물 W를 떼어낸 반송용 행거(15a)를 고정 가이드 레일(90)로 옮기는 것으로 인해, 반송용 행거(15a)의 행거폭 길이의 조정을 승강 가이드 레일의 승강 주기에 맞추어 행할 필요가 없이 이러한 작업을 여유있게 원활히 행할 수 있다.As described above, the transfer guide hanger 15a having the workpiece W removed from the unloading unit 5 is moved to the fixed guide rail 90, thereby adjusting the hanger width length of the transfer hanger 15a. This operation can be performed smoothly and smoothly without the need to perform according to the lifting period of the rail.

승강 가이드 레일(12)로 바뀐 반송용 행거(15a)는, 추가로 간헐 반송 수단에 의해서 도 6에 도시된 박리조(6)의 침지 위치까지 1 핏치 반송된다. 이하에서, 환승 수단(80)과 전결 반송 수단(82)의 구조를 설명한 다음에, 박리조(6)의 침지 위치에 있어서의 반송 동작에 대해 설명한다.The conveyance hanger 15a changed to the elevating guide rail 12 is conveyed one pitch further by the intermittent conveying means to the immersion position of the peeling tank 6 shown in FIG. Hereinafter, after explaining the structure of the transfer means 80 and the electrostatic transfer conveyance means 82, the conveyance operation | movement in the immersion position of the peeling tank 6 is demonstrated.

도 10은, 도 7에 도시된 환승 수단(80)과 전결 반송 수단(82)의 구조를 나타낸 도면이다. 도 11 A는, 도 10에 도시된 환승 수단(80)의 상세를 나타내는λ-사시도이며, 도 11 B는, 도 10에 도시된 전결 반송 수단(82)의 상세도이다.FIG. 10: is a figure which shows the structure of the transfer means 80 and the transfer conveyance means 82 shown in FIG. FIG. 11A is a λ-perspective view showing the details of the transfer means 80 shown in FIG. 10, and FIG. 11B is a detailed view of the transfer setting means 82 shown in FIG. 10.

환승 수단(80)은, 도 7에 도시된 바와 같이, 박리조(6)의 침지 위치에 설치되어 있고, 도 11 A에 도시된 바와 같이, 반송용 행거(15a)를 전송하기 위한 2개의 반송 갈고리(801)를 가진다. 또한, 반송 갈고리(801)가 설치된 이동판(802)은, 모터 기구(803)에 접속되어 있어서 가이드 레일(12, 13)을 따라 이동하는 것이 가능하다.As shown in FIG. 7, the transfer means 80 is provided in the immersion position of the peeling tank 6, and as shown in FIG. 11A, two conveyances for transmitting the conveyance hanger 15a are shown. Has a hook 801. In addition, the moving plate 802 provided with the conveying claw 801 is connected to the motor mechanism 803 and can move along the guide rails 12 and 13.

또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 반송용 행거 (15a)의 연결 부재(44a)는 수평 방향에 외측으로 연장하여 형성되어 있다. 이에 따라 환승 수단(80)이 이동하는 것에 의해, 도 6에 도시된 반송 갈고리(30)와 같은 구조를 가지는 반송 갈고리(801)가 연결 부재(44a)를 건 상태로 반송용 행거(15a)를 반송하는 것이 가능하다.In addition, as shown in FIG. 10, the connection member 44a of the conveyance hanger 15a in this embodiment extends outward in the horizontal direction, and is formed. As a result, the transfer means 80 moves so that the transfer hook 801 having the same structure as the transfer hook 30 shown in FIG. 6 opens the transfer hanger 15a with the connecting member 44a hanging. It is possible to convey.

한편, 도 11 B에 도시된 바와 같이, 전결 반송 수단(82)은, 구동 체인 (86)과 구동 체인(86)에 고정된 주행대(85)와 주행대(85)가 앞당김 상태가 되는 것을 방지하는 계지 레일(83)로 구성된다. 주행대(85)는, 도 11 B에 도시된 바와 같이, 고정 가이드 레일(13)을 따라서 이동 가능하게 구성되어 있고, 도 6에 도시된 반송갈고리(30)와 같은 구조를 가지는 반송 갈고리(84)(도 2 b의 갈고리 접촉부(32)를 걸어 반송용 행거(15a)를 이동시키는 것)를 3개 가지고 있다. 또한 도 11 B에 도시된 주행대(85)의 아래 쪽에는, 이동시의 덜컹거림 등을 방지하기 위한 가이드 롤러(87a, 87b)가 설치되어 있다.On the other hand, as shown in FIG. 11B, in the electrostatic transfer conveying means 82, the traveling stand 85 and the traveling stand 85 fixed to the drive chain 86 and the drive chain 86 are brought to an advanced state. It consists of the locking rail 83 which prevents it. As shown in FIG. 11B, the traveling table 85 is configured to be movable along the fixed guide rail 13, and has a transport hook 84 having the same structure as the transport hook 30 shown in FIG. 6. ) (Which hangs the hook contact part 32 of FIG. 2B and moves the conveyance hanger 15a). Further, guide rollers 87a and 87b are provided below the travel table 85 shown in FIG. 11B to prevent rattling during movement.

도 12 A에 도시된 바와 같이, 반송용 행거(15a)가 박리층(6)의 침지 위치에서 승강 가이드 레일(12)과 함께 하강한 것을 센서로 검지하면, 도 10에 도시된 환승 수단(80)은, 우측 방향으로 이동해 갈고리(801)가 반송용 행거(15a)를 건 상태로, 좌측(반송 방향)으로 이동해, 승강 가이드 레일(12)의 위로부터 고정 가이드 레일(13)의 위로 반송용 행거(15a)를 1 핏치 반송해 모아 둔다. 한편 1 핏치 반송 후의 반송용 행거(15a)와 승강 가이드 레일(12)과 함께 하강해 온 반송용 행거(15a)와의 간격 거리 L2는, 여기에서 20 mm이다.As shown in Fig. 12A, when the conveying hanger 15a is lowered with the lifting guide rail 12 at the immersion position of the release layer 6, the transfer means 80 shown in Fig. 10 is detected. ) Is moved in the right direction, and the hook 801 moves to the left side (conveying direction) in a state where the hook hanger 15a is opened, and is transported from the lift guide rail 12 onto the fixed guide rail 13. 1 pitch of the hangers 15a are conveyed and collected. On the other hand, the distance distance L2 between the conveyance hanger 15a after 1 pitch conveyance and the conveyance hanger 15a which descend | falled with the lifting guide rail 12 is 20 mm here.

도 12 B에 도시된 바와 같이, 다음의 반송용 행거(15a)가 박리조(6)의 침지 위치에서 승강 가이드 레일(12)과 함께 하강해 오면, 환승 수단(80)은, 마찬가지로 오른쪽으로 이동해 반송용 행거(15a)를 2개 정리해 1 핏치 이동한다. 이 때 센서에 의해서 반송용 행거(15a)가 2개 놓여진 것이 검지된다.As shown in FIG. 12B, when the next transport hanger 15a descends together with the lifting guide rail 12 at the immersion position of the peeling tank 6, the transfer means 80 moves to the right as well. Two conveyance hangers 15a are collectively moved by one pitch. At this time, it is detected by the sensor that two transfer hangers 15a are placed.

더욱이 다음의 반송용 행거(15a)가 도 12 C에 도시된 위치로부터, 박리조 (6)의 침지 위치에 하강해 온 것을 센서로 검지하면, 도 13 D에 도시된 바와 같이, 전결 반송 수단(82)이 우측으로 이동해, 반송 갈고리(82a, 82b, 82c)가 각각 반송용 행거(15a)를 건 상태로 하여, 도 13 E에 도시된 바와 같이, 반송용 행거(15a)가 소정의 거리 L2의 간격을 유지한 상태로 좌측으로 이동하여 고정 가이드 레일 반송 수단(24) 상에 반송용 행거(15a)를 이동시킨다.Furthermore, when the following conveyance hanger 15a detects with the sensor that it descended to the immersion position of the peeling tank 6 from the position shown in FIG. 12C, as shown in FIG. 13D, an electrostatic conveyance means ( 82 moves to the right, and the conveyance hooks 82a, 82b, and 82c hold the conveying hangers 15a, respectively, and as shown in FIG. 13E, the conveying hangers 15a are a predetermined distance L2. It moves to the left in the state which maintained the space | interval, and the conveyance hanger 15a is moved on the fixed guide rail conveyance means 24. FIG.

전결 반송 수단(82)은, 도 13 F에 도시된 바와 같이, 선행하는 반송용 행거와의 간격이 소정의 거리 L2가 되는 위치까지 반송용 행거(15a)로 반송된 것을 센서로 검지하면 정지한다. 이 후, 고정 가이드 레일 반송 수단(24)는, 하강한 승강 가이드 레일(10)에 반송용 행거(15a)를 이동시켜 옮기기를 행한다. 한편 도 7에 도시된 개량형 표면 처리 장치(102)에서는, 도 3에 도시된 표면 처리 장치(100)와 같이 박리조(6)의 인상 위치로 송출해 반송 수단(25)을 설치하지 않지만, 이것을 설치해도 괜찮다. 이로 의해, 반송용 행거(15a)를 승강 가이드 레일(10)의 승강 주기에 맞추어 확실하게 옮길 수 있다.The front conveying means 82 stops when the sensor detects that the conveyance hanger 15a has been conveyed to a position where a distance from the preceding conveying hanger becomes a predetermined distance L2, as shown in FIG. 13F. . Thereafter, the fixed guide rail conveying means 24 moves and moves the conveying hanger 15a to the lowered lifting guide rail 10. On the other hand, in the improved surface treatment apparatus 102 shown in FIG. 7, like the surface treatment apparatus 100 shown in FIG. 3, it sends out to the pulling position of the peeling tank 6, and does not provide the conveying means 25, You can install it. Thereby, the conveyance hanger 15a can be reliably moved in accordance with the lifting period of the lifting guide rail 10.

이상과 같이, 반송용 행거(15a)를 소정의 거리 L2가 되는 위치까지 전송하는 전결 반송 수단(82)이 돌아오기까지, 박리조(6)의 침지 위치에 반송되어 오는 반송용 행거(15a)를 환승 수단(80)이 일단 승강 가이드 레일(12)로부터 고정 가이드 레일(13)로 옮기어 모아 두기 때문에, 승강 가이드 레일(12)의 승강 주기가 짧아져도, 박리조(6)의 입구부에서 반송용 행거가 막히는 것을 방지하는 것이 용이하다.As mentioned above, the conveyance hanger 15a conveyed to the immersion position of the peeling tank 6 until the transfer conveying means 82 which transmits the conveyance hanger 15a to the position which becomes predetermined distance L2 returns. Since the transfer means 80 moves the lift guide rail 12 from the lift guide rail 12 to the fixed guide rail 13 at once, even if the lift cycle of the lift guide rail 12 is shortened, it is conveyed at the inlet of the peeling tank 6. It is easy to prevent the dragon hanger from clogging.

또한, 환승 수단(80) 및 전결 반송 수단(82)이 각각 반송 갈고리를 복수개 설치하도록 하였지만, 반송 갈고리를 1개만 설치해도 상관없다.In addition, although the transfer means 80 and the transfer | transfer conveyance means 82 provided multiple conveyance hooks, respectively, you may install only one conveyance hook.

더욱이 도 7에 도시된 승강 가이드 레일(10)을 노치해 설치한 고정 가이드 레일(71)의 부근에서의 반송 동작에 대해서, 도 14를 이용하여 이하에 설명한다.Moreover, the conveyance operation | movement in the vicinity of the fixed guide rail 71 which notched and installed the lifting guide rail 10 shown in FIG. 7 is demonstrated below using FIG.

상기 박리 공정의 후, 행거 박리 후처리를 실시하는 세면조(7)으로부터 인상 된 반송용 행거(15a)는, 승강 가이드 레일(10)을 따라서 행거폭조정부 (72)의 윗쪽으로 반송되어(도 14A를 참조), 승강 가이드 레일(10)과 함께 하강한다.After the said peeling process, the conveyance hanger 15a pulled up from the basin 7 which performs a hanger peeling post-process is conveyed upward of the hanger width adjustment part 72 along the lifting guide rail 10 (FIG. 14A), and descend with the elevating guide rail (10).

행거폭조정부(72)에서 반송용 행거(15a)의 행거폭 길이가 소정의 폭으로 조정되면, 노치 위치 반송 수단(70)이 도 14 A의 우측 방향으로 이동하여, 반송용 행거(15a)를 반송 갈고리(73b)로 건 상태에서 고정 가이드 레일(71)로 옮길 수 있도록 좌측(도 3에 도시된 반송 방향 C)으로 이동하여 정지한다. 한편 노치 위치 결정 반송 수단(70)은, 도 6에 도시된 위치 결정 반송 수단(18)과 같은 구조의 장치이며, 도 9에 도시된 바와 같이, 2개의 반송 갈고리(73a, 73b)를 가지고 있다.When the hanger width length of the conveying hanger 15a is adjusted to predetermined width by the hanger width adjusting part 72, the notch position conveying means 70 moves to the right direction of FIG. 14A, and the conveying hanger 15a will be moved. It moves to the left side (the conveyance direction C shown in FIG. 3), and stops so that it may be moved to the fixed guide rail 71 in the state conveyed by the conveyance hook 73b. On the other hand, the notch positioning conveying means 70 is an apparatus of the same structure as the positioning conveying means 18 shown in FIG. 6, and has two conveyance hooks 73a and 73b as shown in FIG. .

한편 노치 반송 수단(70)은, 상승하는 승강 가이드 레일(10)에 접촉하지 않도록 우측방향으로 이동하여, 도 14 A에 도시된 위치에서 정지한다.On the other hand, the notch conveying means 70 moves to the right direction so as not to contact the rising and lowering guide rail 10, and stops at the position shown in FIG. 14A.

이후는, 승강 가이드 레일(10)이 상승해 상기와 같은 동작이 다시 행해져 도 14 B에 도시된 바와 같이, 승강 가이드 레일(10)이 다음에 하강했을 때에는, 반송용 행거(15a)는 이미 피처리물 W의 설치가 이루어져 있고, 다른 한쪽의 반송 갈고리(30)에 의해서 승강 가이드 레일(10)로 옮기게 된다.Subsequently, when the lifting guide rail 10 is raised and the above operation is performed again, as shown in Fig. 14B, when the lifting guide rail 10 is lowered next, the transport hanger 15a is already avoided. Installation of the processing object W is carried out, and it moves to the lifting guide rail 10 by the other conveyance hook 30.

이상과 같이, 행거폭조정부(72)에서 행거폭이 소정폭으로 조정되어 반송용 행거(15a)를 고정 가이드 레일(71)로 옮김으로써, 로드부(8)에 반송용 행거(15a)를 반송할 때의 승강 시간을 피처리물 W의 부착 시간으로 충당할 수 있어, 승강 가이드 레일의 승강 주기를 짧게 해도, 여유를 가지고 피처리물 W의 부착 작업을 행할 수 있다. 이로 인해, 작업자에 의해서 피처리물 W을 부착하는 경우에도, 피처리물 W의 부착이 완료되지 못하는 것을 방지할 수 있고, 또한 반송용 행거(15a)에서 피 처리물 W의 부착 위치를 정확하게 할 수 있다.As mentioned above, the hanger width is adjusted to the predetermined width by the hanger width adjustment part 72, and the conveyance hanger 15a is conveyed to the rod part 8 by moving the conveyance hanger 15a to the fixed guide rail 71. As shown in FIG. In this case, the lifting time at the time of use can be covered by the attachment time of the workpiece W, and even if the lifting cycle of the lifting guide rail is shortened, the workpiece W can be attached with a margin. For this reason, even when the workpiece W is to be attached by the operator, the attachment of the workpiece W can be prevented from being completed, and the attachment position of the workpiece W can be accurately corrected in the transport hanger 15a. Can be.

본 발명에 의하면, 승강 가이드 레일의 승강 주기를 짧게 하는 표면 처리 장치와 반송용 행거 및 반송용 행거의 반송 방법을 제공하여, 행거 폭의 조절 및 피처리물의 분리(작업자에 의해 손상되기 쉬운 얇은 판자 기판 등의 분리)를 상기 승강 주기 내에 완료함으로써 안전하게 표면 처리 장치를 가동시켜 표면 처리 장치의 생산성을 높일 수 있다.According to the present invention, there is provided a surface treatment apparatus which shortens the lifting cycle of the lifting guide rail, a conveying hanger and a conveying method of the conveying hanger, thereby adjusting the width of the hanger and separating the object to be treated (a thin board which is easily damaged by an operator). By removing the substrate or the like) within the lifting cycle, the surface treatment apparatus can be safely operated to increase the productivity of the surface treatment apparatus.

또한, 스톡 장소를 겸하는 행거 반환 공정의 입구부에서 반송용 행거가 반송 막힘이 없이 원활하게 반송용 행거의 거리를 조절함으로써 안전하게 표면 처리 장치를 가동시켜 생산성을 높일 수 있다.In addition, at the inlet portion of the hanger returning process, which also serves as a stock place, the transport hanger can smoothly adjust the distance of the transport hanger without the blockage of the transport, thereby safely operating the surface treatment device, thereby increasing productivity.

또한, 가이드 레일과 반송용 행거가 접동할 때 발생하는 분진이 처리조 내에 혼입되지 않도록 함으로써 안전한 처리가 되도록 하는 효과가 있다. In addition, the dust generated when the guide rail and the transporting hanger slide is prevented from being mixed in the treatment tank, so that the treatment is safe.

Claims (7)

피처리물을 협지하는 피처리물 유지 수단을 구비하고, 행거폭 길이를 조절할 수 있도록 접동 가능하게 설치된 피처리물 유지팔을 구비한 반송용 행거이며,It is a conveyance hanger provided with the to-be-processed object holding means which clamps the to-be-processed object, and the to-be-processed object holding arm installed so that the hanger width length was adjustable, 상기 피처리물 유지팔과, 상기 피처리물 유지팔과 접동 접촉하는 부재를 서로 다른 금속재질로 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 반송용 행거.And the member to be in sliding contact with the workpiece holding arm and the workpiece holding arm are formed of different metals. 피처리물을 협지하는 피처리물 유지 수단을 구비하고, 행거폭 길이를 조절할 수 있도록 접동 가능하게 설치된 한쌍의 피처리물 유지팔과,A pair of to-be-processed object holding arms having a to-be-processed object holding means for clamping a to-be-processed object and slidably installed to adjust a hanger width length; 가이드 레일에 접동 접촉하는 접동 부재와,A sliding member in sliding contact with the guide rail, 상기 접동 부재와 상기 피처리물 유지팔을 연결하여 상기 피처리물 유지 수단에 의해 피처리물의 유지 위치를 상기 가이드 레일보다 측방으로 하는 연결 부재를 구비한 반송용 행거에 있어서,In the transport hanger provided with the connection member which connects the said sliding member and the said to-be-processed object holding arm to make the to-be-processed object holding position to the side of the said guide rail by the said to-be-processed object holding means, 상기 한 쌍의 피처리물 유지팔이 상기 연결 부재에 설치된 구멍에 삽입되어 서로 겹친 상태로 접동하도록 구성되어 있고,The pair of workpiece holding arms are inserted into holes provided in the connecting member and configured to slide in an overlapping state. 상기 한 쌍의 피처리물 유지팔 및 상기 연결 부재를 각각 다른 금속재를 사용하는 것을 특징으로 하는 반송용 행거.A conveyance hanger, wherein the pair of workpiece holding arms and the connecting member each use a different metal material. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 접동 부재가, 상기 가이드 레일의 표면에 접동 접촉하고, 상기 가이드 레일의 측면에는 롤러 접촉하는 것을 특징으로 하는 반송용 행거.The sliding member is in sliding contact with a surface of the guide rail, and a roller contact with a side surface of the guide rail. 피처리물의 사이즈에 따라 행거폭 길이가 조절 가능한 반송용 행거와, 해당 반송용 행거를 안내하는 승강 가이드 레일을 가지고 있는 표면 처리 장치의 반송용 행거의 반송 방법에 있어서,In the conveyance method of the conveyance hanger of the surface treatment apparatus which has the hanger width length adjustable according to the size of a to-be-processed object, and the lifting guide rail which guides the said conveyance hanger, 상기 승강 가이드 레일이 하강했을 때, 시단부 및 종단부가 상기 승강 가이드 레일과 연속하는 고정 가이드 레일을 설치하고, 해당 고정 가이드 레일의 중앙부에 로드부를 배치함과 동시에,When the lifting guide rail is lowered, the start end and the end are provided with a fixed guide rail that is continuous with the lifting guide rail, and at the same time arrange a rod in the center of the fixed guide rail, 상기 승강 가이드 레일이 하강했을 때에, 행거폭 조정부에서 반송용 행거의 행거 폭을 조절한 후, 해당 반송용 행거를 상기 고정 가이드 레일의 시단부로부터 상기 고정 가이드 레일로 옮기어 상기 로드부로 보내고,When the lifting guide rail descends, the hanger width adjusting unit adjusts the hanger width of the conveying hanger, and then transfers the conveying hanger from the start end of the fixed guide rail to the fixed guide rail and sends it to the rod part. 이후에 승강 가이드 레일이 하강했을 때에, 상기 로드부에 보내진 반송용 행거를 상기 고정 가이드 레일의 종단부로부터 상기 승강 가이드 레일로 옮기는 것을 특징으로 하는 반송용 행거의 반송 방법.Subsequently, when the lifting guide rail descends, the transport hanger sent to the rod portion is moved from the end of the fixed guide rail to the lifting guide rail. 피처리물의 사이즈에 따라 행거폭 길이가 조절 가능한 반송용 행거와 해당 반송용 행거를 안내하는 승강 가이드 레일을 가지고 있는 표면 처리 장치의 반송용 행거의 반송 방법에 있어서,In the conveyance method of the conveyance hanger of the surface treatment apparatus which has the conveyance hanger whose hanger width length is adjustable according to the to-be-processed object, and the lifting guide rail which guides the said conveyance hanger, 상기 승강 가이드 레일이 하강했을 때에, 시단부 및 종단부가 상기 승강 가이드 레일과 연속하는 고정 가이드 레일을 설치하여 해당 고정 가이드 레일의 중앙 부에 행거폭 조정부를 배치함과 동시에,When the lifting guide rail is lowered, the start end and the end are provided with a fixed guide rail that is continuous with the lifting guide rail, and at the same time the hanger width adjusting part is arranged at the center of the fixed guide rail, 상기 승강 가이드 레일이 하강했을 때에, 언로드부에서 반송용 행거의 행거 폭을 조절한 후, 해당 반송용 행거를 상기 고정 가이드 레일의 시단부로부터 상기 고정 가이드 레일로 옮기어 행거폭 조정부로 보내고,When the lifting guide rail is lowered, after adjusting the hanger width of the conveying hanger in the unloading part, the conveying hanger is moved from the start end of the fixed guide rail to the fixed guide rail and sent to the hanger width adjusting part, 이후에 승강 가이드 레일이 하강했을 때에, 상기 행거폭 조정부에 보내진 반송용 행거를 상기 고정 가이드 레일의 종단부로부터 상기 승강 가이드 레일로 옮기는 것을 특징으로 하는 반송용 행거의 반송 방법.After that, when the lifting guide rail descends, the transporting hanger sent to the hanger width adjusting unit is moved from the end of the fixed guide rail to the lifting guide rail. 승강 가이드 레일과 고정 가이드 레일로 구성되고, 승강 가이드 레일이 하강시에 고정 가이드 레일과 연속하는 환상 가이드 레일을 따라서 반송용 행거를 반송하는 표면 처리 장치에 있어서,In the surface treatment apparatus which consists of a lifting guide rail and a fixed guide rail, and a lifting guide rail conveys a conveyance hanger along the annular guide rail which is continuous with a fixed guide rail at the time of descending, 반송용 행거를 승강 가이드 레일의 하강시에 고정 가이드 레일로 옮기어 모아 두는 환승 수단,Transfer means for moving the transport hanger to the fixed guide rail at the time of the lowering of the lifting guide rail, 상기 환승 수단에 모아진 반송용 행거를 선행하는 반송용 행거와 소정의 거리가 되는 위치까지 반송하는 전결 반송 수단,A forwarding conveying means for conveying the conveying hanger collected by the transfer means to a position which becomes a predetermined distance from the conveying hanger preceding, 상기 소정의 거리를 유지한 상태로 상기 고정 가이드 레일상의 반송용 행거를 반송하는 고정 가이드 레일 반송 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.And a fixed guide rail conveying means for conveying the conveying hanger on the fixed guide rail while maintaining the predetermined distance. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 환승 수단이 상기 소정 거리를 두고 복수의 반송용 행거를 모아 두고, 상기 전결 반송 수단이 상기 복수의 반송용 행거를 상기 소정 거리를 유지한 상태로 반송하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.And said transfer means collects a plurality of transfer hangers at said predetermined distance, and said forwarding transfer means conveys said plurality of transfer hangers while maintaining said predetermined distance.
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