KR20070090356A - Substrate loading table of vacuum processing apparatus - Google Patents

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Abstract

A support loading table for a vacuum processing apparatus is provided to repair a support member by fixing plural support members to a base, on which a substrate is loaded. A vacuum processing apparatus includes a base(11) with a wafer loaded thereon, a block mounted on the base, and at least one support member protruding from the block. The base is provided with a recessed groove(12) for receiving the block. The block has a sloped or stepped lateral portion so that the block is slid into the recessed groove. The block is fixed to the base by a fixing member.

Description

진공처리장치의 기판 적재대{Substrate loading table of vacuum processing apparatus}Substrate loading table of vacuum processing apparatus

도 1은 종래 진공처리장치의 내부구조를 나타내는 분리사시도이다. 1 is an exploded perspective view showing the internal structure of a conventional vacuum processing apparatus.

도 2는 본 발명에 의한 진공처리장치의 내부구조를 나타내는 분리사시도이다. Figure 2 is an exploded perspective view showing the internal structure of the vacuum processing apparatus according to the present invention.

도 3은 도 2의 요부를 나타내는 사시도이다. 3 is a perspective view illustrating a main portion of FIG. 2.

도 4는 본 발명에 의한 다층구조의 진공처리장치를 나타낸 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing a vacuum processing apparatus having a multilayer structure according to the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

1: 진공처리장치 10: 본체 1: vacuum processing apparatus 10: main body

11: 베이스 12: 요홈 11: base 12: groove

13: 게이트 14: 걸림핀 13: gate 14: locking pin

15: 고정수단 20: 덮개 15: fixing means 20: cover

30: 볼트랜스퍼 모듈 31: 블럭30: bolt transfer module 31: block

32: 경사면 33: 볼트랜스퍼32: slope 33: bolt transfer

33a: 롤러볼 33b: 지지부33a: roller ball 33b: support portion

본 발명은 진공처리장치의 기판 적재대에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 지지수단이 블럭화되어 장착되는 진공처리장치의 기판 적재대에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate mounting table of a vacuum processing apparatus, and more particularly, to a substrate mounting table of a vacuum processing apparatus in which a substrate supporting means is blocked and mounted.

최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다. Recently, with the rapid development of information and communication technology and the expansion of the market, flat panel displays have been in the spotlight as display devices. Such flat panel displays include liquid crystal displays, plasma display panels, organic light emitting diodes, and the like.

이 중에서 액정표시소자를 예로 설명하면, 유리 기판상에 유전체 물질 등을 박막으로 증착하는 증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 (Photolithography)공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝(Patterning)하는 식각공정, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등을 수차례 반복하여야 하는데, 이들 각 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행된다.In the liquid crystal display device as an example, a deposition process of depositing a dielectric material or the like on a glass substrate as a thin film, a photolithography process of exposing or hiding a selected area of the thin film using a photosensitive material, The etching process of removing the thin film and patterning it as desired is repeated several times. Each process is performed in a chamber having an optimal environment for the process. .

이러한 진공처리장치는 플라즈마 처리 등의 공정이 수행되는 공정챔버와, 로드락 챔버와, 이송챔버 등으로 구성된다. 이들 진공처리용 챔버는 공정순으로 배치될 수도 있고, 다수의 챔버가 이송챔버를 중심으로 결합되는 클러스터 형태로 배치될 수도 있다.Such a vacuum processing apparatus includes a process chamber in which a process such as plasma treatment is performed, a load lock chamber, a transfer chamber, and the like. These vacuum chambers may be arranged in a process order, or may be arranged in a cluster form in which a plurality of chambers are coupled around the transfer chamber.

종래 방식의 클러스터형 진공처리장치의 구성을 설명보면, 이송챔버를 중심으로 다수개의 공정챔버와 로드락챔버가 연결되며, 로드락챔버의 일측면은 다수개의 기판을 적재하는 카세트와 연결되어 있다. 상기 로드락 챔버는 진공과 대기압 분위기가 반복되도록 핸들링되고, 기판이 반입 또는 반송된다. Referring to the configuration of a conventional cluster type vacuum processing apparatus, a plurality of process chambers and a load lock chamber are connected to a transfer chamber, and one side of the load lock chamber is connected to a cassette for loading a plurality of substrates. The load lock chamber is handled so that vacuum and atmospheric pressure are repeated, and the substrate is loaded or conveyed.

도 1을 참조하여 종래 진공처리장치의 구성을 설명하면, 측벽과 저판으로 구성되는 본체(110)와, 그의 상면에 장착되는 덮개(120)로 이루어진다. 또한 진공처리장치의 내부에는 기판(S)을 적재하는 적재대가 구비되는데, 상기 적재대는 기판(S)이 적재되는 베이스(111)와, 상기 베이스(111)의 상면에 돌출형성된 적어도 하나 이상의 지지수단(112)으로 구성된다. 물론 상기 베이스(111)에는 반송로봇의 암이 진입할 수 있는 진입면이 형성된다. 또한 기판이 출입할 수 있는 게이트(113)가 구비된다. Referring to FIG. 1, a configuration of a conventional vacuum processing apparatus includes a main body 110 including side walls and a bottom plate, and a lid 120 mounted on an upper surface thereof. In addition, the inside of the vacuum processing apparatus is provided with a mounting table for loading the substrate (S), the mounting table is a base 111 on which the substrate (S) is loaded, and at least one support means protruding on the upper surface of the base 111 It consists of 112. Of course, the base 111 is formed with an entrance surface through which the arm of the carrier robot can enter. In addition, a gate 113 through which the substrate can enter and exit is provided.

그러나 종래의 진공처리장치는 다수개의 지지수단(112) 중 어느 하나에 이상이 있을 경우, 상기 덮개(120)을 분리하여야만 교체 또는 수리를 할 수 있었기 때문에, 유지보수가 매우 곤란하다는 문제점이 있었다. However, in the conventional vacuum processing apparatus, if any one of the plurality of support means 112 is abnormal, since the cover 120 can be replaced or repaired, there is a problem that maintenance is very difficult.

특히, 다층 구조를 가진 진공처리장치에 있어서, 하층에 있는 지지수단에 이상이 있는 경우에는 덮개 및 상층에 있는 본체들을 모두 분리하여 하층 본체의 상면을 개방한 다음, 이상이 있는 지지수단을 교체 등을 하여야 했기 때문에, 매우 번거로운 작업이었다. In particular, in the vacuum processing apparatus having a multi-layer structure, when there is an abnormality in the supporting means in the lower layer, the cover and the main bodies in the upper layer are removed, the upper surface of the lower layer main body is opened, and then the supporting means in error is replaced. It was a very cumbersome task, because I had to.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판 지지수단이 블럭화되어 장착되는 진공처리장치의 기판 적재대를 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a substrate mounting table of a vacuum processing apparatus in which the substrate supporting means is blocked and mounted.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 진공처리장치의 기판 적재대는 기판을 적재하는 베이스; 상기 베이스의 상부에 장착가능한 블럭; 및 상기 블럭의 상면에 돌출형성된 적어도 하나 이상의 지지수단;을 포함하여 이루어진다. In order to solve the above technical problem, the substrate mounting table of the vacuum processing apparatus according to the present invention includes a base for loading a substrate; A block mountable on top of the base; And at least one support means protruding from the upper surface of the block.

또한 상기 베이스에는 상기 블럭이 삽입될 수 있는 형상의 요홈이 형성되어, 상기 요홈에 단순 삽입되거나 또는 슬라이드되어 장착하는 것이 바람직하다. 특히, 슬라이드 방식을 위하여 상기 블럭을 상기 요홈에 슬라이드되도록 측부가 경사 또는 단차지게 형성되고, 상기 요홈도 이와 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 이 때, 상기 베이스의 일단에 헤드가 구비된 걸림핀이 형성되면, 상기 걸림핀에 걸릴때까지 상기 블럭을 슬라이드하므로 장착이 용이해진다. 이 경우에 상기 블럭의 선단부를 상기 걸림핀에 걸리도록 수평방향으로 함몰형성하면, 상기 선단부가 상기 헤드에 의해 구속되어 상방으로 유동되는 것을 제한하게 되어 장착이 더욱 확실해진다. In addition, the base is formed with a groove in which the block can be inserted, it is preferable to simply insert or slide in the groove to be mounted. In particular, the side portion is formed to be inclined or stepped so as to slide the block in the groove for the slide method, the groove may be formed in a shape corresponding thereto. At this time, if a locking pin with a head is formed at one end of the base, the block is slid until the locking pin is engaged, so that mounting becomes easy. In this case, if the tip end of the block is recessed in the horizontal direction so as to be caught by the locking pin, the tip part is restricted by the head and restricted from flowing upward, so that the mounting becomes more secure.

또한 상기 블럭을 더욱 확실히 고정하기 위하여 상기 블럭을 장착한 상태에서 상기 베이스에 고정하는 고정수단이 더 구비되는 것이 바람직하다. 상기 고정수 단은 볼트 등이 될 수 있다. In addition, it is preferable that a fixing means for fixing to the base in the state in which the block is mounted in order to more securely fix the block. The fixed stage may be a bolt or the like.

상기 블럭의 상면에 돌출형성되어 기판을 직접적으로 지지하는 상기 지지수단은 베스펠(Vespel) 재질의 지지핀 또는 볼트랜스퍼가 바람직하다. 상기 볼트랜스퍼는 상기 기판과 접촉하고, 회동가능한 롤러볼; 및 상기 롤러볼을 구속하는 지지부;를 포함하여 이루어진다.  The support means protruding from the upper surface of the block to directly support the substrate is preferably a support pin or bolt transfer material made of Vespel. The bolt transfer is in contact with the substrate, the rotatable roller ball; And a support part for restraining the roller ball.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 실시예(1)는 본체(10) 및 덮개(20)를 포함하여 이루어진다. 또한 그 내부에는 베이스(11)와, 상기 베이스(11)에 착탈가능하게 장착되고, 특히 다수개의 볼트랜스퍼(33)가 모듈화된 볼트랜스퍼 모듈(30)을 포함하여 이루어진다. Referring to FIG. 2, the present embodiment 1 includes a main body 10 and a cover 20. Also therein is a base 11 and a bolt lancer module 30 which is detachably mounted to the base 11, in particular, a plurality of bolt lancers 33 are modularized.

상기 베이스(11)는 진공처리장치의 하면 또는 하면으로부터 소정거리 이격된 위치에 형성되며, 상기 베이스(11)와 베이스 사이에는 이송로봇의 암이 출입할 수 있도록 하기 위한 진입면이 형성된다. The base 11 is formed at a position spaced a predetermined distance from the lower surface or the lower surface of the vacuum processing apparatus, and the entry surface for allowing the arm of the transfer robot to enter and exit between the base 11 and the base.

특히, 본 발명에 의한 기판 적재대는 베이스(11)의 상면의 소정위치에 후술하는 볼 트랜스퍼 모듈(30)이 장착될 수 있는 요홈(12)이 형성되어 있다. In particular, the substrate mounting table according to the present invention is formed with a groove 12 in which the ball transfer module 30 to be described later can be mounted at a predetermined position on the upper surface of the base 11.

또한 상기 볼트랜스퍼 모듈(30)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 베이스(11)의 요홈(12)에 삽입 또는 슬라이드 가능한 블럭(31)과, 상기 블럭(31)의 상면에 기판을 직접적으로 지지하는 볼트랜스퍼(33)가 적어도 하나 이상 형성되어 있 다. In addition, as shown in FIG. 3, the bolt transfer module 30 includes a block 31 that can be inserted or slid into the recess 12 of the base 11 and a substrate directly on the upper surface of the block 31. At least one bolt lancer 33 for supporting is formed.

상기 블럭(31)의 측부는 도시된 바와 같이 소정형상의 경사면(32)이 형성되어 있다. 물론 상기 요홈(12)도 상기 블럭(31)의 경사면과 대응되는 형상으로 경사지게 형성되어 있다. 이로써, 상기 블럭(31)은 요홈(12)에 슬라이드되어 장착된다. 이와 달리 요홈(12) 및 블럭(31)에 상호 대응되는 단차면을 형성함으로써 동일한 효과를 얻을 수 있을 것이다.  The side of the block 31 is formed with a slope 32 of a predetermined shape as shown. Of course, the groove 12 is also formed to be inclined in a shape corresponding to the inclined surface of the block 31. As a result, the block 31 slides into the groove 12. On the contrary, the same effect may be obtained by forming stepped surfaces corresponding to the grooves 12 and the block 31.

상기 블럭(31)의 선단부(34)는 'V'형상으로 함몰되어 있음을 알 수 있다. 이는 베이스(11)에 이미 고정 설치되어 있는 상기 걸림핀(14)이 걸리도록 함으로써 장착을 용이하게 하기 위함이다. 또한 상기 걸림핀(14)은 그 상부에 헤드가 형성되는데, 상기 헤드는 상기 선단부(34)가 상방으로 유동되는 것을 방지하기 위한 것이다. It can be seen that the tip portion 34 of the block 31 is recessed in a 'V' shape. This is to facilitate the mounting by engaging the locking pin 14 that is already fixed to the base (11). In addition, the locking pin 14 has a head formed thereon, the head is to prevent the tip portion 34 to flow upward.

상기 블럭(31)이 베이스(11)에 장착됨에 있어서, 유동을 억제하기 위하여 보다 확실한 고정수단(15)이 필요하다. 즉, 블럭(31)이 베이스(11)에 장착된 후에 이들을 관통하는 볼트 등의 고정수단(15)을 이용하여 고정시킬 수 있다. When the block 31 is mounted on the base 11, more reliable fastening means 15 are required to suppress the flow. That is, after the block 31 is mounted on the base 11, it can be fixed using fixing means 15 such as a bolt penetrating them.

또한 기판을 직접적으로 지지시키는 볼트랜스퍼(33)는 상기 블럭(11)의 상면에 돌출형성되어 있는데, 그 구성은 상기 블럭(31)의 상면에 돌출형성된 지지부(33b)에 구속되어 회동하는 롤러볼(33a)로 구성된다. 물론 이와 달리 베스펠 또는 세라믹이나 불소수지 계열의 재질로 형성된 단순한 지지핀일 수도 있다. In addition, the bolt transferr 33 which directly supports the substrate is protruded on the upper surface of the block 11, the configuration of which is constrained by the support ball 33b protruding on the upper surface of the block 31 is rotated It consists of 33a. Of course, it may also be a simple support pin formed of a Vespel or a ceramic or fluororesin-based material.

이하, 본 발명의 작용을 설명하면, 기판과 접촉하여 실질적으로 지지하는 볼트랜스퍼(33) 등의 다수개의 지지수단 중 어느 하나에 이상이 있어 수리 또는 교체 를 원하는 경우, 이상이 있는 지지수단이 위치한 볼트랜스퍼 모듈(30)만을 상기 베이스(11)로부터 분리시킨 후, 수리 또는 교체를 하면 된다. 물론, 상기 블럭을 베이스(11)로부터 분리시키는 작업은 기판이 출입하는 게이트(13)를 통해서 충분히 가능한 것이다. 따라서 종래와 같이 어느 하나의 지지수단이 이상이 있는 경우에, 이를 교체하기 위하여 덮개를 분리할 필요가 없는 것이다. Hereinafter, when explaining the operation of the present invention, if any one of a plurality of support means, such as a bolt transfer (33) that is substantially in contact with the substrate and want to repair or replace, the support means is located After removing the bolt transfer module 30 only from the base 11, repair or replacement may be performed. Of course, the operation of separating the block from the base 11 is sufficiently possible through the gate 13 through which the substrate enters and exits. Therefore, if any one of the support means as in the prior art, it is not necessary to remove the cover to replace it.

특히, 본 발명은 다층구조의 진공처리장치에 더욱 효과적이다. 도 4와 같이, 진공처리장치를 다층으로 구성할 수 있다. 즉, 다수개의 본체(10',10)를 상하로 적층한 후, 최상부에 적층된 본체(10)의 상면에 덮개(20)를 결합하여 구성될 수 있다. 이와 같이 다층구조를 가진 진공처리장치에 있어서, 예를 들어 1층 본체(10')에 구비된 볼 트랜스퍼에 이상이 발생한 경우, 종래에는 덮개(20) 및 상층에 있는 본체(10)들을 모두 분리하여 1층 본체(10')의 상면을 개방한 다음, 이상이 있는 볼 트랜스퍼를 교체 등을 하여야 했다. 그러나 본 발명에 따르면, 덮개(20) 및 상층의 본체(10)를 분리할 필요없이, 게이트를 통해 이상이 있는 볼트랜스퍼가 위치하는 볼 트랜스퍼 모듈(30')을 분리시켜 교체 등을 할 수 있는 것이다. In particular, the present invention is more effective for a vacuum processing apparatus having a multilayer structure. As shown in FIG. 4, the vacuum processing apparatus may be configured in multiple layers. That is, the plurality of main bodies 10 'and 10 may be stacked up and down, and then the cover 20 may be coupled to the upper surface of the main body 10 stacked on the uppermost portion. As described above, in the vacuum processing apparatus having a multilayer structure, for example, when an abnormality occurs in the ball transfer provided in the main body 10 ', the cover 20 and the upper body 10 are separated. Then, the upper surface of the main body 10 'of the first floor was opened, and the ball transfer having an abnormality had to be replaced. However, according to the present invention, the ball 20 and the ball transfer module 30 'where the bolt transferer is located can be replaced and replaced, without having to remove the cover 20 and the main body 10 of the upper layer. will be.

본 발명에 따르면, 기판을 적재하는 베이스에 다수개의 지지수단이 블럭화하여 고정된다. 따라서 다수개의 지지수단 중 어느 하나가 이상이 있는 경우, 당해 지지수단이 고정된 블럭만을 게이트를 통해 분리한 다음, 수리 또는 교체하기 때문에, 유지 보수가 매우 용이하다. According to the present invention, a plurality of supporting means is fixed by blocking the base for loading the substrate. Therefore, if any one of the plurality of support means is abnormal, maintenance is very easy because the support means separates only the fixed block through the gate and then repairs or replaces it.

특히, 진공처리장치를 다층으로 구성하는 경우, 저층에 구비된 지지수단 중 어느 하나가 이상이 있는 경우에 더욱 실익이 크다. 즉, 종래에는 이경우에, 상층에 있는 덮개 및 본체들을 분리한 후, 이상이 있는 지지수단을 교체 등을 하여야 했으나, 본 발명에 따르면, 상층에 있는 덮개 및 본체들을 분리할 필요없이, 이상이 있는 지지수단이 고정된 블럭을 게이트를 통해 바로 분리할 수 있기 때문이다. In particular, in the case where the vacuum processing apparatus is constituted in multiple layers, it is more advantageous if any one of the supporting means provided in the lower layer is abnormal. That is, in this case, in this case, after removing the cover and the main body in the upper layer, the supporting means had to be replaced or the like, according to the present invention, without having to remove the cover and the main body in the upper layer, This is because the supporting block can be directly separated through the gate.

Claims (8)

진공처리장치의 기판 적재대에 있어서,In the substrate mounting table of the vacuum processing apparatus, 기판을 적재하는 베이스;A base for loading a substrate; 상기 베이스의 상부에 장착가능한 블럭; 및 A block mountable on top of the base; And 상기 블럭의 상면에 돌출형성된 적어도 하나 이상의 지지수단;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대. And at least one support means protruding from the upper surface of the block. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 베이스에는 상기 블럭이 삽입될 수 있는 형상의 요홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대.The base mounting board of the vacuum processing apparatus, characterized in that the base is formed with a groove in which the block can be inserted. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 블럭은 상기 요홈에 슬라이드되도록 측부가 경사 또는 단차지게 형성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대. The block is a substrate mounting table of the vacuum processing apparatus, characterized in that the side is formed to be inclined or stepped so as to slide in the groove. 제 3 항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 베이스의 일단에는 헤드가 구비된 걸림핀이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대. One end of the base is a substrate mounting table of the vacuum processing apparatus, characterized in that the engaging pin is provided with a head. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 블럭의 선단부는 상기 걸림핀에 걸리도록 수평방향으로 함몰형성된 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대. And a front end portion of the block is recessed in a horizontal direction so as to be caught by the locking pin. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 블럭을 장착한 상태에서 상기 베이스에 고정하는 고정수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대. And a fixing means for fixing the base to the base while the block is mounted. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지수단은 베스펠(Vespel) 재질의 지지핀인 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대. The support means is a substrate mounting table of the vacuum processing apparatus, characterized in that the support pin of Vespel (Vespel) material. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 지지수단은,The support means, 상기 기판과 접촉하고, 회동가능한 롤러볼; 및 A roller ball in contact with the substrate and rotatable; And 상기 롤러볼을 구속하는 지지부;를 포함하여 이루어지는 볼 트랜스퍼인 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대. The substrate mounting table of the vacuum processing apparatus, characterized in that the ball transfer consisting of; a support portion for restraining the roller ball.
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