KR20070077548A - Apparatus testing faulty substrate - Google Patents

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Abstract

An apparatus of testing a faulty substrate is provided to further minutely test a defect by forming to be imaged through a lens installed to be separated at a fixed interval in the front of a camera to condense light. An apparatus of testing a faulty substrate(10) includes a stage(20), a light source(30), a camera(40), and a blocking board(50). The substrate is floated to be transferred. The air nozzle is installed on the stage to float the substrate and a penetrating unit is formed on the stage. The light source is installed on a bottom of the stage to illuminate light to a top direction. The camera images the light transmitting the substrate by the light source. The penetrating unit is combined with the blocking board to improve the flatness of the substrate while the light is transmitted through the penetrating unit.

Description

기판 결함 검사장치 {APPARATUS TESTING FAULTY SUBSTRATE}Board Defect Inspection System {APPARATUS TESTING FAULTY SUBSTRATE}

도 1은 종래의 기판 결함 검사장치를 나타내는 개략도.1 is a schematic view showing a conventional substrate defect inspection apparatus.

도 2는 본 발명에 따른 기판 결함 검사장치를 나타내는 개략도.2 is a schematic view showing a substrate defect inspection apparatus according to the present invention.

도 3은 종래의 차단판이 없는 스테이지 공기압 형성분포를 나타내는 도면.3 is a diagram showing a stage pneumatic pressure distribution without a conventional blocking plate;

도 4은 본 발명에 따라 차단판이 형성된 스테이지 공기압 형성분포를 나타내는 도면.4 is a view showing a stage air pressure forming distribution in which a blocking plate is formed according to the present invention.

도 5는 도 2에 렌즈가 결합된 모습을 나타내는 부분확대도. 5 is a partially enlarged view showing a state in which the lens is coupled to FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 기판 11 : 에어 노즐10 substrate 11 air nozzle

12 : 관통부 20 : 스테이지12: penetrating portion 20: stage

30 : 광원 40 : 카메라30: light source 40: camera

50 : 차단판 60 : 렌즈 50: blocking plate 60: lens

본 발명은 이송되는 기판의 평탄도를 유지하면서 표면결함을 검출하는 있는 기판 결함 검사장치에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 광원으로부터 빛이 투과될 수 있고 충분한 공기압이 형성될 수 있도록 빛이 투과되는 재질의 차단판을 통해 스테이지에 형성된 관통부를 제거함으로써 부상되어 이송되는 기판의 평탄도를 증대시키고 이송 기판의 스크레치 발생을 방지할 수 있는 기판 결함 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate defect inspection apparatus that detects surface defects while maintaining the flatness of the substrate to be transported. More particularly, the present invention relates to a substrate defect inspection apparatus that can transmit light from a light source and form a sufficient air pressure. The present invention relates to a substrate defect inspection apparatus capable of increasing the flatness of a substrate to be lifted and transported by removing the through part formed in the stage through a blocking plate and preventing the occurrence of scratches on the transport substrate.

근래에 이르러 LCD( Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel)와 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display; FPD)에 대한 수요가 점차 증대되고 있으며, 이러한 상황에서 이들 제품의 품질을 관리하는 것은 매우 중요한 이슈가 되고 있다. In recent years, the demand for flat panel displays (FPDs), such as liquid crystal displays (LCDs) and plasma display panels (PDPs), has been gradually increasing. It is becoming.

특히 상기 평판 디스플레이의 제조 공정중에서 TFT 패턴을 입히는 포토 공정, 노광 공정 등에서 디스플레이에 이물이 묻거나 마스크 불량, 공정조건 등에 따라서 얼룩결함이 생성되게 된다.In particular, during the manufacturing process of the flat panel display, foreign matters on the display, unevenness of the mask, process conditions, etc. may be generated in the photo process or the exposure process of coating the TFT pattern.

이러한 얼룩결함은 사람이 목시 검사 또는 에어리어 카메라를 이용하는 검사시스템에 의해 그 검사가 가능해 진다. Such spot defects can be inspected by a human visual inspection or inspection system using an area camera.

도 1은 종래의 기판 결함 검사장치를 나타내는 개략도이다.1 is a schematic view showing a conventional substrate defect inspection apparatus.

도면을 참조하면 종래 기술에 따른 기판 결함 검사장치는 TFT-LCD나 PDP등의 피검사체인 평판 디스플레이소자 즉 기판(3)에 광을 조사하는 광원(1)과, 상기 기판(3)를 투과한 빛을 촬상하는 카메라(2)와, 에어 노즐(5)을 구비하는 스테이지(4)로 구성된다.Referring to the drawings, a substrate defect inspection apparatus according to the prior art includes a light source 1 that irradiates light onto a flat panel display element, that is, a substrate 3 to be inspected, such as a TFT-LCD or a PDP, and a substrate 3 that has passed through the substrate 3. The camera 2 which picks up light, and the stage 4 provided with the air nozzle 5 are comprised.

따라서 기판(3)은 에어 노즐(5)을 통해 부상되어 이송되며 이송되는 기판(3) 하부에서 광원(1)이 관통부(6)를 통해 빛을 조사하며 조사되어 투과되는 빛을 카메 라(2) 촬상하게 된다.Therefore, the substrate 3 is floated and transported through the air nozzle 5, and the light source 1 irradiates light through the penetrating portion 6 from the lower portion of the substrate 3 to be transported. 2) The image is taken.

하지만 빛이 투과되어 조사될 수 있도록 스테이지(4)에 형성된 관통부(6)로 인해 기판(3)의 안정적인 부상을 위한 충분한 공기압이 형성되지 않는 문제점이 발생하였다. However, the penetrating portion 6 formed in the stage 4 so that light can be transmitted through the irradiation has caused a problem that a sufficient air pressure for the stable rise of the substrate 3 is not formed.

더욱이 관통부(6)의 낮은 공기압으로 인해 이의 상부로 이송되는 기판(3)은 아래로 쳐지게 되고 이는 관통부 주위의 모서리부와 접촉하게 되어 스크레치 발생의 원인이 되었다. Moreover, due to the low air pressure of the penetrating portion 6, the substrate 3 conveyed to its upper portion is struck down, which comes into contact with the edges around the penetrating portion, causing scratches.

또한 관통부(6) 지점에서 공기압 변화가 심할 경우 기판 평탄도가 카메라 심도를 벗어나 검출력에 문제가 발생되었다. In addition, when the air pressure change is severe at the penetrating portion 6, the substrate flatness is out of the camera depth, a problem in the detection force.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 광원으로부터 빛이 투과될 수 있고 충분한 공기압이 형성될 수 있도록 빛이 투과되는 재질의 차단판을 통해 스테이지에 형성된 관통부를 제거함으로써 부상되어 이송되는 기판의 평탄도를 증대시키고 이송 기판의 스크레치 발생을 방지할 수 있는 기판 결함 검사 장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, the light is transmitted by being removed by lifting the through-hole formed in the stage through the blocking plate made of a material through which light can be transmitted and sufficient air pressure can be formed It is an object of the present invention to provide a substrate defect inspection apparatus capable of increasing the flatness of the substrate and preventing the occurrence of scratches on the transfer substrate.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래와 같은 특징을 갖는다.The present invention has the following features to achieve the above object.

본 발명은 표면의 결함을 검출하기 위한 기판 결함 검사장치에 있어서,The present invention provides a substrate defect inspection apparatus for detecting a surface defect,

부상되어 이송되는 기판과; 상기 기판을 부상하기 위해 에어 노즐이 설치되며 관통부가 형성된 스테이지와; 상기 스테이지 하부에 설치되어 상부방향으로 빛 을 조사하는 광원과; 상기 광원에 의해 기판을 투과한 빛을 촬상하는 카메라를 포함하여 이루어지되, 상기 스테이지의 관통부에는 빛이 투과됨과 동시에 기판의 평탄도를 증대시키기 위해 차단판이 결합된다.A substrate which is floated and transported; A stage in which an air nozzle is installed to float the substrate, and a through part is formed; A light source installed below the stage to irradiate light in an upward direction; It comprises a camera for imaging the light transmitted through the substrate by the light source, the light penetrating through the stage is coupled to the blocking plate to increase the flatness of the substrate at the same time.

또한 상기 차단판은 광투과율이 90%이상인 재질로 형성되며, 상기 카메라에는 전방으로 일정거리 이격되어 설치되며 기판을 투과하여 촬상되는 빛을 집광하기 위한 렌즈가 더 설치되며, 상기 카메라와 광원 및 차단판은 동일 수직선 상에 위치한다. In addition, the blocking plate is formed of a material having a light transmittance of 90% or more, the camera is installed at a predetermined distance spaced forward and a lens for condensing the light captured through the substrate is further installed, the camera and the light source and blocking The plates are located on the same vertical line.

아울러 상기 차단판은 스테이지 상·하부 간에 기밀이 유지되도록 관통부와 밀봉 결합되며, 상기 차단판은 석영재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the blocking plate is sealingly coupled with the through part so as to maintain airtightness between the upper and lower stages, and the blocking plate is made of a quartz material.

이하, 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 자세히 설명한다.Hereinafter, one preferred embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 기판 결함 검사장치를 나타내는 개략도이며, 도 3은 종래의 차단판이 없는 스테이지 공기압 형성분포를 나타내는 도면이고, 도 4은 본 발명에 따라 차단판이 형성된 스테이지 공기압 형성분포를 나타내는 도면이며, 도 5는 도 2에 렌즈가 결합된 모습을 나타내는 부분확대도이다.Figure 2 is a schematic diagram showing a substrate defect inspection apparatus according to the present invention, Figure 3 is a view showing a stage air pressure forming distribution without a conventional blocking plate, Figure 4 is a view showing a stage air pressure forming distribution formed with a blocking plate according to the present invention. 5 is a partially enlarged view illustrating a state in which a lens is coupled to FIG. 2.

도면을 참조하면, 본 발명은 크게 부상되어 이송되는 기판(10)과, 상기 기판(10)을 부상하기 위해 에어 노즐(11)이 설치되며 관통부(12)가 형성된 스테이지(20)와; 상기 스테이지(20) 하부에 설치되어 상부방향으로 빛을 조사하는 광원(30)과; 상기 광원(30)에 의해 기판(10)을 투과한 빛을 촬상하는 카메라(40)로 구성된다.Referring to the drawings, the present invention includes a substrate 10 which is largely floated and transported, a stage 20 in which an air nozzle 11 is installed and a through part 12 is formed to float the substrate 10; A light source 30 installed below the stage 20 to irradiate light in an upward direction; The camera 40 is configured to capture light transmitted through the substrate 10 by the light source 30.

여기서 상기 기판(10)은 스테이지(20) 상을 이송하면서 표면 결함 검사를 하게 되는데, 별도의 이송부가 마련되어 기판을 이송시키며 스테이지(20)에 설치된 에어 노즐(11)을 통해 부상된 상태로 이송된다. In this case, the substrate 10 is inspected for surface defects while transferring on the stage 20. A separate transfer unit is provided to transfer the substrate and is transported in an injured state through the air nozzle 11 installed in the stage 20. .

한편 상기 스테이지(20)는 전술하였듯이 상기 기판(10)을 부상시켜 이송 안내하는 기능을 담당하며 하부에 설치되는 광원(30)과 대응되는 지점에 빛이 투과되도록 차단판(50)이 결합된다. On the other hand, as described above, the stage 20 serves to guide the transfer by floating the substrate 10, and the blocking plate 50 is coupled to transmit light to a point corresponding to the light source 30 installed below.

여기서 상기 차단판(50)과 결합되기 위해 스테이지(20) 상에는 관통부(12)가 형성되어 있으며, 여기에 차단판(50)을 결합하되 기밀이 유지되도록 밀봉 결합하는 것이 바람직하다.Here, the through part 12 is formed on the stage 20 to be coupled with the blocking plate 50, and the sealing plate 50 is preferably coupled to the sealing plate 50 to maintain airtightness.

상기 밀봉 결합을 위해서는 별도의 실링부재를 관통부(12) 테두리에 형성하여 차단판(50)을 압입함으로써 달성할 수 있으며, 먼저 차단판(50)을 관통부(12)에 결합한 뒤 액상의 접착 실링재로 결합부위를 마감하여 달성할 수도 있다. For the sealing coupling can be achieved by forming a separate sealing member on the periphery of the penetrating portion 12 to press-in the blocking plate 50, first bonding the blocking plate 50 to the penetrating portion 12, the adhesion of the liquid It can also be achieved by closing the joint with a sealing material.

또한 상기 차단판(50)은 광투과율이 우수한 고 광투과율 재질로 이루어져야 하며 이에는 석영 재질인 것이 바람직하다.In addition, the blocking plate 50 should be made of a high light transmittance material excellent in light transmittance, which is preferably a quartz material.

이에 따라 상기 차단판(50)의 결합으로 인해 공기 압력 분포가 고르게 형성되며 이로 인해 이송되는 기판(10)의 평탄도가 증대되어 스크레치 발생 방지 및 정상적인 카메라 촬상이 이루어지게 된다. Accordingly, the air pressure distribution is evenly formed due to the coupling of the blocking plate 50, thereby increasing the flatness of the substrate 10 to be transferred, thereby preventing scratches and normal camera imaging.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 차단판(50)이 형성되지 않은 도 3의 경우 촬상이 되는 b지점의 관통부(12)에 공기 압력분포가 부근 지점과 고르지 않으나 도 4에서 나타나듯이 차단판(50)을 결합한 경우 공기 압력분포가 고르게 형성된다. In the case of FIG. 3, in which the blocking plate 50 is not formed as shown in FIGS. 3 and 4, the air pressure distribution is not uniform with the neighboring point in the penetrating portion 12 at the point b where the image is taken, but is blocked as shown in FIG. 4. When the plate 50 is combined, the air pressure distribution is formed evenly.

아울러 상기 에어 노즐(11)을 통해 기판(10)을 부상시키기 위해 별도의 에어 공급수단이 에어 노즐(11)과 연통되도록 구비됨은 물론이며, 제어부를 마련하고 압력센서를 설치하여 스테이지(20) 상의 공기압을 조절할 수 있도록 구성할 수 있다. In addition, a separate air supply means is provided to communicate with the air nozzle 11 in order to float the substrate 10 through the air nozzle 11, and a control unit and a pressure sensor are installed on the stage 20. It can be configured to adjust the air pressure.

한편 상기 광원(30)은 상기 차단판(50)이 형성된 지점과 대응되게 하부상에 위치되며 상부방향으로 조사되도록 설치되는데, 하나의 광원(30)을 설치하고 동일 수직선 상에 후술될 카메라(40)를 설치한다.On the other hand, the light source 30 is installed on the lower side and irradiated in the upper direction corresponding to the point where the blocking plate 50 is formed, install one light source 30 and the camera 40 to be described later on the same vertical line Install).

물론 보다 정밀한 결함 검출을 위해 다수개의 광원(30)과 이와 대응되는 차단판(50) 및 카메라(40)가 설치될 수 있다. Of course, a plurality of light sources 30, a blocking plate 50 and a camera 40 corresponding thereto may be installed to detect defects more precisely.

여기서 한 쌍의 광원(30) 및 카메라(40)를 설치할 경우 이와 동일 수직선 상에 위치하는 차단판(50)만 전술한 고 투과율 재질로 형성하고, 나머지 차단판(50)은 밀봉 결합만 이루어지도록 형성하면 될 것이다. In this case, when the pair of light sources 30 and the camera 40 are installed, only the blocking plate 50 positioned on the same vertical line may be formed of the above-described high transmittance material, and the remaining blocking plate 50 may be sealed only. It will be formed.

상기 광원(30)으로부터 조사되는 빛은 차단판(50) 및 기판(10)을 투과하여 기판(10) 상부에 설치된 카메라(40)에 의해 촬상되는데, 상기 카메라(40)는 CCD카메라인 것이 바람직하며 보다 미세한 결함 검출을 위해 카메라(40) 전방에는 빛을 집속하기 위한 렌즈(60)가 더 설치됨이 바람직하다. The light irradiated from the light source 30 is captured by the camera 40 installed on the substrate 10 through the blocking plate 50 and the substrate 10, and the camera 40 is preferably a CCD camera. In order to detect finer defects, a lens 60 for focusing light may be further installed in front of the camera 40.

상기에서 기술된 바와 같이 본 발명은 광원으로부터 빛이 투과될 수 있고 충분한 공기압이 형성될 수 있도록 빛이 투과되는 재질의 차단판을 통해 스테이지에 형성된 관통부를 제거함으로써 부상되어 이송되는 기판의 평탄도를 증대시키고 이송 기판의 스크레치 발생을 방지할 수 있다.As described above, the present invention improves the flatness of the substrate to be lifted and transported by removing the penetrating portion formed on the stage through a blocking plate made of light transmitting material so that light can be transmitted from the light source and sufficient air pressure can be formed. It is possible to increase and prevent scratches on the transfer substrate.

또한 카메라 전방에 일정거리 이격되어 설치되는 렌즈를 통해 빛이 집광되어 촬상되도록 구성함으로써 보다 정밀한 결함 검사가 가능해진다. In addition, more accurate defect inspection is possible by condensing light through a lens installed at a predetermined distance from the front of the camera.

Claims (6)

표면의 결함을 검출하기 위한 기판 결함 검사장치에 있어서,In the substrate defect inspection apparatus for detecting a surface defect, 부상되어 이송되는 기판(10)과;A substrate 10 which is floated and transported; 상기 기판(10)을 부상하기 위해 에어 노즐(11)이 설치되며 관통부(12)가 형성된 스테이지(20)와;A stage 20 on which an air nozzle 11 is installed and a through part 12 is formed to float the substrate 10; 상기 스테이지(20) 하부에 설치되어 상부방향으로 빛을 조사하는 광원(30)과;A light source 30 installed below the stage 20 to irradiate light in an upward direction; 상기 광원(30)에 의해 기판(10)을 투과한 빛을 촬상하는 카메라(40)를 포함하여 이루어지되, It comprises a camera 40 for imaging the light transmitted through the substrate 10 by the light source 30, 상기 스테이지(20)의 관통부(12)에는 빛이 투과됨과 동시에 기판(10)의 평탄도를 증대시키기 위해 차단판(50)이 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 결함 검사장치.The substrate defect inspection apparatus, characterized in that the blocking plate 50 is coupled to the through portion 12 of the stage 20 to increase the flatness of the substrate while simultaneously transmitting light. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 차단판(50)은 광투과율이 90%이상인 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 결함 검사장치.The blocking plate 50 is substrate defect inspection apparatus, characterized in that formed of a material having a light transmittance of 90% or more. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 카메라(40)에는 전방으로 일정거리 이격되어 설치되며 기판(10)을 투과 하여 촬상되는 빛을 집광하기 위한 렌즈(60)가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 결함 검사장치.The camera 40 is installed at a predetermined distance from the front of the substrate defect inspection apparatus, characterized in that the lens 60 for condensing the light to pass through the substrate 10 is further installed. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 카메라(40)와 광원(30) 및 차단판(50)은 동일 수직선 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 결함 검사장치.The camera 40, the light source 30 and the blocking plate 50 is located on the same vertical line substrate defect inspection apparatus. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 차단판(50)은 스테이지(20) 상·하부 간에 기밀이 유지되도록 관통부(12)와 밀봉 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 결함 검사장치.The barrier plate (50) is a substrate defect inspection apparatus, characterized in that the seal is coupled to the penetrating portion (12) so as to maintain the airtight between the upper and lower stages (20). 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 차단판(50)은 석영재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 결함 검사장치.The blocking plate 50 is a substrate defect inspection apparatus, characterized in that made of a quartz material.
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