KR20070073516A - Bus electrode green sheet and a method for fabricating plasma display panel by thereof - Google Patents
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Abstract
Description
도1a 내지 도1c는 종래 플라즈마 디스플레이 패널 제조 과정에 대한 일 실시예 수순 단면도.1A to 1C are cross-sectional views of an exemplary embodiment of a conventional plasma display panel manufacturing process.
도2는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 상판 구조물 평면도.2 is a plan view of a top plate structure of a conventional plasma display panel.
도3은 도2에 표시된 각 영역에 대한 단면도.FIG. 3 is a sectional view of each region shown in FIG. 2; FIG.
도4는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 상판 구조물 평면도.4 is a plan view of the top plate structure of the plasma display panel according to the present invention;
도5는 도4에 표시된 각 영역에 대한 단면도.Fig. 5 is a sectional view of each area shown in Fig. 4;
도6은 본 발명에 따른 BM 그린시트(a) 및 버스전극 그린시트(b)에 대한 구성도.6 is a block diagram of a BM green sheet (a) and a bus electrode green sheet (b) according to the present invention;
도7a 내지 도7e는 본 발명 플라즈마 디스플레이 패널 제조 과정에 대한 일 실시예 수순 단면도.7A to 7E are cross-sectional views of one embodiment of a process of manufacturing a plasma display panel of the present invention.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **
21:BM 드라이 필름 22:버스전극층21: BM dry film 22: bus electrode layer
23:유기물 감광성층 30:BM23: organic photosensitive layer 30: BM
40:버스전극40: bus electrode
본 발명은 버스전극 그린 시트 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법에 관한 것으로, 특히 블랙 매트릭스와 그 상부에 형성된 버스전극 간의 얼라인 및 전극 패턴 왜곡 문제 그리고 공정회수를 감소시킬 수 있는 버스전극 그린 시트 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a bus electrode green sheet and a method of manufacturing a plasma display panel using the same. In particular, a bus electrode green sheet capable of reducing alignment and electrode pattern distortion problems and process times between a black matrix and a bus electrode formed thereon; The present invention relates to a plasma display panel manufacturing method using the same.
플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 "PDP"라 칭함)은 불활성 혼합가스의 방전시 발생하는 자외선에 의해 형광체를 발광시킴으로써 문자 또는 그래픽을 포함한 화상을 표시하게 된다. 이러한 PDP는 박막화와 대형화가 용이할 뿐만 아니라 최근의 기술 개발에 힘입어 크게 향상된 화질을 제공한다. 특히, 3전극 교류 면방전형 PDP는 방전시 표면에 벽전하가 축적되며 방전에 의해 발생되는 스퍼터링으로부터 전극들을 보호하기 때문에 저전압 구동과 장수명의 장점을 가진다.Plasma Display Panels (hereinafter referred to as "PDPs") display an image including letters or graphics by emitting phosphors by ultraviolet rays generated when the inert gas is discharged. Such a PDP is not only thin and easy to enlarge, but also greatly improved in quality due to recent technology development. In particular, the three-electrode AC surface discharge type PDP has advantages of low voltage driving and long life because wall charges are accumulated on the surface during discharge and protect the electrodes from sputtering caused by the discharge.
도1a 내지 도1c는 종래 PDP 상판 구조물을 제조하는 과정을 보인 일 실시예 수순 단면도를 보인 것으로, 상기 제조과정을 설명하면 다음과 같다.1A to 1C show a cross-sectional view of an embodiment showing a process of manufacturing a conventional PDP upper plate structure, which will be described below.
먼저, 도1a에 도시한 바와 같이, 상부기판(1) 전면에 투명전극을 도포한 후 패터닝하여 투명전극인 서스테인 전극(2)을 형성하고, 그 구조물 상부에 감광성 블랙 매트릭스(BM) 페이스트(11)를 스크린 프린팅한 후 건조한다. 그리고, 상기 구조물 상부에 BM용 마스크(6)를 이격시켜 위치시킨 후 상기 BM층의 노광을 실시한다.First, as shown in FIG. 1A, a transparent electrode is coated on the entire
그 다음 도1b에 도시한 바와 같이, 상기 구조물 상부에 버스전극을 형성하기 위한 전극 페이스트(12)를 스크린 프린팅한 후 건조하고, 그 구조물 상부에 버스전극용 마스크(7)를 이격시켜 위치시킨 후 상기 버스전극층의 노광을 실시한다.Then, as shown in Figure 1b, after screen printing the
그 다음 도1c에 도시한 바와 같이 상기 구조물을 현상하면 상기 노광된 영역의 버스전극층과 BM층이 남고, 그 현상된 구조물을 소성하여 상부기판(1)의 일부 노출된 영역 및 서스테인 전극(2) 일부에 BM(3)을 형성하고, 상기 서스테인 전극(2) 상부에 형성된 BM(3) 영역에 버스 전극(4)을 형성한다.Then, as shown in FIG. 1C, when the structure is developed, the bus electrode layer and the BM layer of the exposed area remain, and the developed structure is fired to expose the partially exposed area and the
이와 같은 과정을 통해 형성된 종래 PDP 상판 구조물은 실제 화상을 표시하는 액티브 영역과 그 액티브 영역 이외의 패드 영역에 따라 BM의 구조가 틀리게 형성되는데, 도2는 종래 PDP 상판 구조물의 평면도를 보인 것이고, 도3은 도2에 표시된 가 부분에 대한 단면도를 보인 것이다.In the conventional PDP upper plate structure formed through the above process, the BM structure is formed differently according to an active area displaying an actual image and a pad area other than the active area. FIG. 2 is a plan view of a conventional PDP upper plate structure. 3 is a cross-sectional view of the part shown in FIG.
도2의 평면도와 도3의 각 단면도에서 알 수 있듯이, 액티브 영역(a)에서는 BM(3)이 상부기판의 일부 영역에 형성된 서스테인 전극 상부의 일부 영역과 두 서스테인 전극 사이에 노출된 상부기판 상에 형성되고, 패드 영역(b, c)에서는 BM(3)이 상부기판 상에 버스전극이 형성될 영역에만 형성된다.As can be seen from the plan view of FIG. 2 and the cross-sectional views of FIG. 3, in the active region a, the
상기 도1의 제조 과정에서 알 수 있듯이 종래 PDP는 BM과 버스전극을 형성하기 위해 BM 페이스트 및 버스전극용 페이스트를 스크린 프린팅하고 건조해야 하기 때문에 스크린 프린팅하기 위한 장비가 필요하고, 건조 공정을 거처야 한다.As can be seen in the manufacturing process of FIG. 1, since the conventional PDP has to screen-print and dry the BM paste and the bus electrode paste in order to form the BM and the bus electrode, an apparatus for screen printing is needed and undergoes a drying process. do.
또한, 종래 PDP는 BM 페이스트 노광 시 사용되는 BM용 마스크가 액티브 영역에만 노광되고, 패드영역에는 노광되지 않도록 제작되어 사용되기 때문에 소성전 BM이 경화가 이루어지지 않아 패턴 현상 및 소성 시 패드영역의 패턴이 무너지는 현상이 발생할 확률이 높아지게 된다.In addition, in the conventional PDP, since the BM mask used for exposing the BM paste is only exposed to the active area and is not used to expose the pad area, the BM is not cured before firing. This collapse is more likely to occur.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 문제점을 해결하기 위하여 창출한 것으로, 네거티브 PR 감광성 유기물로 구성된 유기물 감광성층과 버스전극층의 2층 구조로 구성된 버스전극 드라이필름과, 상기 버스전극 드라이 필름의 상부와 하부에 형성된 보호필름으로 구성함으로써, PDP의 버스전극 형성 시 건조 공정없이 버스전극 패턴을 형성할 수 있는 버스전극 그린 시트 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above conventional problems, the bus electrode dry film composed of a two-layer structure of the organic photosensitive layer and the bus electrode layer composed of negative PR photosensitive organic material, and the upper portion of the bus electrode dry film and It is an object of the present invention to provide a bus electrode green sheet capable of forming a bus electrode pattern without a drying process when forming a bus electrode of a PDP, and a plasma display panel manufacturing method using the same by forming a protective film formed under the protective film.
또한, 본 발명은 PDP의 BM 형성 시 패드영역을 전체 노광하여 패드영역의 BM 전체를 경화시킴으로써, 패드영역의 두층간의 얼라인 문제를 해결하고, 패턴 현상 및 소성 시 발생할 수 있는 패턴 무너짐 현상을 제거하여 미세패턴 구현이 가능한 버스전극 그린 시트 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, the present invention by curing the entire BM of the pad area by exposing the entire pad area when forming the BM of the PDP, to solve the alignment problem between the two layers of the pad area, and to eliminate the pattern collapse phenomenon that may occur during pattern development and firing It is an object of the present invention to provide a bus electrode green sheet capable of realizing fine patterns by removing them and a method of manufacturing a plasma display panel using the same.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 버스전극 그린 시트는 감광성 유기물로 형성된 유기물 감광성층과; 은(Ag) 파우더 및 노광에 상관없이 현상액에 의해 현상되는 유기물을 포함하여 형성된 버스전극층의 2층 구조를 갖는 버스전극 드라이 필름과; 상기 버스전극 드라이 필름의 상부와 하부에 형성된 상기 버스전극 드라이 필름을 보호하기 위한 보호필름으로 구성된 것을 특징으로 한다.The bus electrode green sheet of the present invention for achieving the above object is an organic photosensitive layer formed of a photosensitive organic material; A bus electrode dry film having a two-layer structure of a bus electrode layer formed of silver (Ag) powder and an organic material developed by a developer regardless of exposure; Characterized in that the protective film for protecting the bus electrode dry film formed on top and bottom of the bus electrode dry film.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 버스전극 그린 시트를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법은 유기물 감광성층과 노광에 상관없이 현상액에 의해 현상되는 버스전극층의 2층 구조를 갖는 버스전극 드라이 필름으로 구성된 버스전극 그린시트를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법에 있어서, 상부기판 상에 서스테인 전극을 형성하는 단계와; 상기 구조물 상부에 감광성 유기물이 포함된 블랙 매트릭스(BM) 드라이 필름을 라미네이션하고, 블랙 매트릭스용 마스크를 이용하여 노광시키는 단계와; 상기 구조물 상부에 상기 버스전극 드라이 필름을 라미네이션하고, 버스전극용 마스크를 이용하여 노광시키는 단계와; 상기 구조물을 현상하고 소성하여 블랙 매트릭스와 버스전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.Plasma display panel manufacturing method using the present invention bus electrode green sheet for achieving the above object is a bus composed of a bus electrode dry film having a two-layer structure of the organic photosensitive layer and the bus electrode layer developed by a developer regardless of exposure A method of manufacturing a plasma display panel using an electrode green sheet, the method comprising: forming a sustain electrode on an upper substrate; Laminating the black matrix (BM) dry film including the photosensitive organic material on the structure and exposing the black matrix using a mask for the black matrix; Laminating the bus electrode dry film on the structure, and exposing the bus electrode dry film using a mask for a bus electrode; Developing and firing the structure to form a black matrix and a bus electrode.
또한, 상기 라미네이션된 블랙 매트릭스(BM) 드라이 필름은 실제 영상이 표시되는 액티브 영역 이외의 영역인 패드 영역에서 전체 노광되는 것을 특징으로 한다.In addition, the laminated black matrix (BM) dry film is characterized in that the entire exposure in the pad area, which is an area other than the active area in which the actual image is displayed.
이하, 본 발명에 대한 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참고하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described.
우선 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단된 경우 그 상세한 설 명은 생략한다.First, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
또한, 하기의 설명에서 구체적인 처리흐름과 같은 많은 특정 상세들은 본 발명의 보다 전반적인 이해를 제공하기 위해 나타나 있으나 여기에 국한되는 것은 아니며, 이들 특정 상세들 없이 본 발명이 실시될 수 있다는 것은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.In addition, many specific details, such as specific processing flows, are set forth in the following description to provide a more general understanding of the invention, but are not limited thereto, and it is understood that the invention may be practiced without these specific details. It will be self-evident to those of ordinary knowledge in Esau.
일반적으로 PDP는 실제 영상을 표시하는 액티브 영역과 구동 전압을 인가하고, 실제 영상이 표시되지 않는 패드 영역으로 구분된다.In general, the PDP is divided into an active region displaying an actual image and a pad region in which a driving voltage is applied and the actual image is not displayed.
상기 액티브 영역은 실제 영상을 표시하기 때문에 상판 구조물에 두 개의 서스테인 전극이 구성되고, 그 서스테인 전극 상부에 BM 및 버스 전극이 형성된다.Since the active area displays an actual image, two sustain electrodes are formed on the upper plate structure, and the BM and bus electrodes are formed on the sustain electrodes.
반면, 패드 영역은 영상을 표시하지 않기 때문에 서스테인 전극을 구성할 필요가 없고, 상부 기판 상에 BM과 버스 전극이 형성된다.On the other hand, since the pad region does not display an image, it is not necessary to configure the sustain electrode, and the BM and the bus electrode are formed on the upper substrate.
본 발명은 건조 공정 및 인쇄 장비없이 버스 전극 및 블랙 매트릭스(BM)를 형성할 수 있도록 BM 그린시트 및 버스전극 그린시트를 이용하여 PDP를 제조함으로써, 제조단가를 낮추고, 공정 회수를 줄이는 것을 그 요지로 한다.The present invention is to reduce the manufacturing cost and reduce the number of processes by manufacturing the PDP using the BM green sheet and the bus electrode green sheet to form the bus electrode and black matrix (BM) without drying process and printing equipment Shall be.
상기 BM 그린시트는 감광성 유기물과 비전도성인 흑색도를 갖는 BM용 파우더를 포함하여 형성된 BM 드라이 필름과 상기 BM 드라이 필름 상부와 하부에 상기 BM 드라이 필름을 보호하기 위한 보호 필름으로 구성된다.The BM green sheet includes a BM dry film formed of a photosensitive organic material and a powder for BM having a non-conductive blackness, and a protective film for protecting the BM dry film on the upper and lower portions of the BM dry film.
상기 버스전극 그린시트는 감광성 유기물로 구성된 유기물 감광성층과 버스전극층으로 구성된 버스전극 드라이필름과, 상기 버스전극 드라이 필름의 상부와 하부에 상기 버스전극 드라이 필름을 보호하기 위한 보호 필름으로 구성된다. 상기 버스전극층은 Ag 파우더와 노광과 상관없이 현상 시 현상액에 용해될 수 있는 유기물을 포함하여 구성한다.The bus electrode green sheet includes a bus electrode dry film composed of an organic photosensitive layer composed of a photosensitive organic material and a bus electrode layer, and a protective film for protecting the bus electrode dry film on the upper and lower portions of the bus electrode dry film. The bus electrode layer includes Ag powder and an organic material that can be dissolved in a developer during development regardless of exposure.
상기 BM 드라이 필름과 버스전극 드라이 필름을 구성하는 감광성 유기물은 네거티브(negetive) 감광성 유기물과 네거티브 PR(photoresist) 감광성 유기물로서 노광된 부분이 현상 후에 보존되는 성질을 갖는데, 본 발명은 이에 한정하지 않고 노광되지 않는 부분이 남는 포지티브(positive) 감광성 유기물로 BM 드라이 필름과 버스전극 드라이 필름을 구성할 수도 있다.The photosensitive organic material constituting the BM dry film and the bus electrode dry film has a property that a portion exposed as a negative photosensitive organic material and a negative PR (photoresist) photosensitive organic material is preserved after development, but the present invention is not limited thereto. The BM dry film and the bus electrode dry film may be formed of a positive photosensitive organic material in which no part is left.
또한, 본 발명은 실제 영상을 표시하는 액티브 영역과 그 이외의 영역인 패드 영역에 BM을 상이하게 형성함으로써, 형상 시 패드 영역에서의 패턴 왜곡 현상을 방지하고, 고정세 패턴을 형성하는 것을 그 요지로 한다.In addition, the present invention is to form a high-definition pattern to prevent the pattern distortion phenomenon in the pad area in the shape by forming the BM differently in the active area and the pad area that is other area to display the actual image. Shall be.
본 발명에서 상기 액티브 영역에 형성되는 BM은 서스테인 전극 상부 일부와 상기 서스테인 전극 사이에 노출된 상부 기판 상에 형성되는 반면, 상기 패드 영역에 형성된 BM은 BM 상부에 형성된 버스 전극과의 패턴 왜곡을 방지하기 위해 전 영역에 형성된다. 즉, BM층 형성 후 노광 시 패드 영역에 형성된 BM 전체를 노광시켜 경화시킴으로써, 현상 시 패드 영역에 BM이 전부 형성된다.In the present invention, the BM formed in the active region is formed on the upper substrate exposed between the upper portion of the sustain electrode and the sustain electrode, while the BM formed in the pad region prevents pattern distortion from the bus electrode formed on the BM. In order to form the whole area. That is, the entire BM formed in the pad region during exposure after the formation of the BM layer is exposed and cured so that all of the BM is formed in the pad region during development.
도4는 본 발명에 따른 PDP의 상판 구조물에 대한 평면도를 보인 것으로, 실제 영상이 표시되는 액티브 영역에 형성된 BM(30)의 구조와 패드 영역에 형성된 BM(30)의 구조가 상이한 것을 알 수 있다.4 is a plan view of the top plate structure of the PDP according to the present invention, and it can be seen that the structure of the
도5는 도4에 표시된 각 부분에 대한 평면도로서 도5의 평면도에서 알 수 있듯이, 액티브 영역(a)은 BM(30)이 버스전극(40)이 형성되는 영역과 서스테인 전극(2) 사이에 노출된 상부기판(1) 상부에도 형성되고, 패드 영역(b, c)은 BM(30)이 버스 전극(40)이 형성되는 영역 뿐만 아니라 그 이외의 영역에도 모두 형성된다.FIG. 5 is a plan view of each part shown in FIG. 4, and as can be seen from the plan view of FIG. 5, the active region a is formed between the
즉, 액티브 영역에 형성된 셀의 단면도(a)에서 알 수 있듯이, BM(30)은 상부기판(1) 상에 형성된 서스테인 전극(2) 상부 일부 및 두 서스테인 전극(2) 사이에 노출된 상부기판(1) 상에 형성되고, 패드 영역의 단면도(b, c)에서 알 수 있듯이, BM(30)은 상부기판(1) 상부의 전 영역에 형성된다.That is, as can be seen in the cross-sectional view (a) of the cell formed in the active region, the
상기 도4와 도5에 도시한 BM(30) 및 버스전극(40)은 그린시트를 이용하여 형성되는데, 도6은 BM 그린시트(a) 및 버스전극 그린시트(b)에 대한 구조를 보인 것이다.4 and 5, the
상기 BM 그린시트는 도6a에 도시한 바와 같이 BM 드라이 필름(21)과 그 BM 드라이 필름(21) 상부와 하부에 상기 BM 드라이 필름(21)을 보호하기 위한 보호필름(24, 25)으로 구성된다. 여기서, 상기 BM 드라이 필름(21)은 네거티브 감광성 유기물과 비전도성 흑색도를 갖는 BM용 파우더가 포함되어 구성되는데, 상기 BM 드라이 필름(21)은 노광 시 노광된 부분만이 경화되어 현상 시 노광된 부분만이 남게된다.As shown in FIG. 6A, the BM green sheet includes a BM
상기 버스전극 그린시트는 도6b에 도시한 바와 같이 유기물 감광성층(23)과 버스전극층(22)의 두층으로 구성된 버스 전극 드라이 필름과 상기 버스 전극 드라이 필름 상부와 하부에 상기 버스전극 드라이 필름을 보호하기 위한 보호필름(24, 25)으로 구성된다.As shown in FIG. 6B, the bus electrode green sheet protects the bus electrode dry film formed of two layers of the organic
상기 유기물 감광성층(23)은 네거티브 PR 감광성 유기물로 형성되어 버스전극용 마스크에 의한 노광 시 노광된 부분만이 남아 유지되는 성질을 가지고 있고, 상기 버스전극층(22)은 Ag 파우더와 현상 시 노광과 상관없이 현상액에 용해될 수 있는 유기물을 포함하여 구성한다.The organic
그럼, 상기 도6에 도시한 BM 그린시트와 버스전극 그린시트를 이용하여 PDP 를 제조하는 과정을 도7을 참고하여 설명한다.Next, a process of manufacturing a PDP using the BM green sheet and the bus electrode green sheet shown in FIG. 6 will be described with reference to FIG.
먼저, 도7a에 도시한 바와 같이, 상부기판(1) 상에 투명전극(ITO)을 도포하고, 서스테인 전극용 패턴 마스크(미도시)를 이용한 패터닝을 통해 서스테인 전극(2)을 형성한다.First, as shown in FIG. 7A, the transparent electrode ITO is coated on the
그 다음 도7b에 도시한 바와 같이, 상기 구조물 상부에 BM 그린시트에 구비된 BM 드라이 필름(21)을 라미네이터(laminator)를 이용하여 라미네이션시키고, 상기 구조물 상부에 BM용 마스크(6)를 이격시켜 위치시킨 후 자외선(UV) 노광을 실시하여 BM이 형성될 부분의 BM 드라이 필름(21)에 포함된 네거티브 감광성 유기물을 경화시킨다.Then, as shown in FIG. 7B, the BM
그 다음 도7c에 도시한 바와 같이, 상기 구조물 상부에 버스전극 그린시트에 구비된 버스전극 드라이 필름(22, 23)을 라미네이터(laminator)를 이용하여 라미네이션시키고, 상기 구조물 상부에 버스전극용 마스크(7)를 이격시켜 위치시킨 후 자외선 노광을 실시한다. 이때, 상기 버스전극 드라이 필름 중 버스전극층(22) 상부에 형성된 네거티브 PR 유기물 감광성층(23)은 패턴 노광된 부분만이 경화된다.Then, as illustrated in FIG. 7C, the bus electrode
그 다음 도7d에 도시한 바와 같이, 상기 구조물을 현상액을 통해 현상하는데, 상기 버스전극 드라이 필름(22, 23)과 BM 드라이 필름(21) 중 경화된 부분만이 남고, 경화되지 않은 부분은 현상액을 통해 현상된다. 즉, 서스테인 전극(2) 상부 일부와 상기 서스테인 전극(2) 사이에 노출된 상부기판(1) 상부에만 경화된 BM 드라이 필름(21)이 남고, 상기 서스테인 전극(2) 상부에 형성된 BM 드라이 필름(21) 상부에만 경화된 버스전극 드라이 필름(22, 23)이 남는다. 이때, 상기 버스전극층 (22)은 현상액에 의해 용해될 수 있는 유기물에 의해 현상 시 버스전극층(22) 상부에 경화된 유기물 감광성층(23)에 의한 패턴에 의해 현상된다.Then, as shown in FIG. 7D, the structure is developed through a developer. Only the hardened portions of the bus electrode
그 다음 도7e에 도시한 바와 같이, 상기 구조물을 소성하여 BM(30)과 버스전극(40)을 형성한다. 여기서, 상기 버스전극(40) 상부에 형성된 유기물 감광성층(23)은 유기물로만 이루어져 있기 때문에 소성 시 완전히 연소되어 제거된다.Then, as shown in FIG. 7E, the structure is fired to form the
상기와 같은 과정을 통해 PDP에서 실제 영상을 표시하는 액티브 영역의 상판 구조물이 형성된다. 그리고, 패드 영역에 형성되는 상판 구조물은 상기 액티브 영역의 제조과정에서 BM이 형성되는 과정이 다르다. 물론, 패드 영역에는 서스테인 전극이 형성되지 않는다.Through the above process, the upper plate structure of the active area displaying the actual image on the PDP is formed. In addition, the top plate structure formed in the pad region is different from the process of forming the BM in the manufacturing process of the active region. Of course, no sustain electrode is formed in the pad region.
즉, BM 드라이 필름을 라미네이션시킨 후 자외선 노광 시 패드 영역에 라미네이션된 BM 드라이 필름은 패터닝되지 않고 전체 노광되어 패드 영역에 라미네이션된 BM 드라이 필름을 전체 경화시켜 현상 시 현상되는 부분없이 패드 영역 전체에 BM이 형성된다.In other words, after laminating the BM dry film, the BM dry film laminated to the pad area during ultraviolet exposure is not patterned, but is fully exposed and the entire BM dry film laminated to the pad area is completely cured so that the BM dry film is not developed during development. Is formed.
본 발명은 상기 패드 영역의 BM이 버스전극 영역에만 형성되는 것이 아니라 전체 영역에 형성되기 때문에 BM층이 노광되지 않아 발생할 수 있는 패턴 무너짐 현상을 방지할 수 있어 얼라인 문제가 해결되고, 미세패턴 형성이 가능하다.Since the BM of the pad region is formed not only in the bus electrode region but in the entire region, it is possible to prevent a pattern collapse phenomenon that may occur due to the BM layer not being exposed. This is possible.
상기에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명은 네거티브 PR 감광성 유기물로 구성된 유기물 감광성층과 버스전극층의 2층 구조로 구성된 버스전극 드라이필름과, 상기 버스전극 드라이 필름의 상부와 하부에 형성된 보호필름으로 구성함으로 써, PDP의 버스전극 형성 시 건조 공정없이 버스전극 패턴을 형성할 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, the present invention uses a bus electrode dry film composed of a two-layer structure of an organic photosensitive layer and a bus electrode layer composed of a negative PR photosensitive organic material, and a protective film formed on the upper and lower portions of the bus electrode dry film. When forming a bus electrode of the PDP, there is an effect that a bus electrode pattern can be formed without a drying process.
또한, 본 발명은 PDP의 BM 형성 시 패드영역을 전체 노광하여 패드영역의 BM 전체를 경화시킴으로써, 패드영역의 두층간의 얼라인 문제를 해결하고, 패턴 현상 및 소성 시 발생할 수 있는 패턴 무너짐 현상을 제거하여 미세패턴 구현이 가능한 효과가 있다.In addition, the present invention by curing the entire BM of the pad area by exposing the entire pad area when forming the BM of the PDP, to solve the alignment problem between the two layers of the pad area, and to eliminate the pattern collapse phenomenon that may occur during pattern development and firing By removing it, there is an effect that can implement a fine pattern.
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