KR20070068888A - 액정 패널을 저장할 수 있는 클린룸 - Google Patents

액정 패널을 저장할 수 있는 클린룸 Download PDF

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KR20070068888A
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김영재
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Abstract

액정 패널을 저장할 수 있는 클린룸이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸은, 이물질을 제거하는 클린룸에 있어서, 클린룸 내부에 물류를 반입할 수 있는 통로인 적어도 하나 이상의 반입구, 클린룸 동작중 발생한 현열(sensible heat)을 제거하는 드라이 코일, 및 클린룸 내부에 물류를 저장할 수 있는 공간인 저장부를 포함한다. 이로써, 클린룸에 물류를 저장할 수 있는 저장공간을 확보할 수 있다.
클린룸, LCD(Liquid Crystal Display), 드라이 코일, 액정표시장치

Description

액정 패널을 저장할 수 있는 클린룸{Clean Room Capable of Storing Liquid Crystal Panel }
도 1은 종래의 클린룸 구조를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 구조를 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*****
210 : 건물의 외곽 220 : 클린룸 외곽
230 : 드라이 코일 240 : 반입구
250 : 클린룸 내부 260 : 저장부
본 발명은 액정 패널을 저장할 수 있는 클린룸에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클린룸 외곽의 유휴공간을 활용함으로써, 물류를 저장할 수 있는 버퍼개념의 물류 저장공간을 확보할 수 있는 클린룸에 관한 것이다.
오늘날과 같은 정보화 사회에 있어서 전자 표시 장치의 역할은 매우 중요해 지고 있으며, 각종의 전자 표시 장치가 다양한 산업 분야에 광범위하게 사용되고 있다. 이러한 전자 표시 장치 분야는 발전을 거듭하여 다양화하는 정보화 사회의 요구에 적합한 새로운 기능을 갖는 전자 표시 장치가 계속 개발되고 있다. 일반적으로 전자 표시 장치란 다양한 정보를 시각을 통하여 인간에게 전달하는 장치를 말한다. 즉, 전자 표시 장치란 각종의 전자 기기로부터 출력되는 전자적 정보 신호를 인간의 시각으로 인식할 수 있는 광 정보 신호로 변화하는 전자 장치를 말하며, 인간과 전자 기기를 연결하는 가교적인 역할을 담당하는 장치라고 할 수 있다.
이러한 전자 표시 장치에 있어서, 광 정보 신호가 발광 현상에 의해서 표시되는 경우에는 발광형 표시 장치로 일컬어지며, 반사, 산란, 간섭 현상 등에 의하여 광 변조로 표시되는 경우에는 수광형 표시 장치로 일컬어진다. 능동형 표시 장치로도 불리는 발광형 표시 장치로는 음극선관 표시 장치(Cathode Ray Tube; CRT), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel; PDP), 유기 이엘 표시 장치(Organic ElectroLuminiscent Display; OELD), 발광 다이오드(Light Emitting Diode; LED) 등을 들 수 있다. 그리고 수동형 표시 장치로 불리는 수광형 표시 장치로는 액정 표시 장치(LCD), 전자 영동 표시 장치(ElectroPhoretic Image Display; EPID) 등을 들 수 있다.
텔레비전이나 컴퓨터 모니터 등에 사용되고 있으며, 가장 오랜 역사를 갖는 표시 장치인 음극선관 표시 장치는 경제성 등의 면에서 가장 높은 시장 점유율을 차지하고 있으나, 무거운 중량, 큰 부피 및 높은 소비 전력 등과 같은 단점을 많이 가지고 있다.
최근에, 반도체 기술의 급속한 진보에 의하여 각종 전자 장치의 저전압화 및 저전력화와 함께 전자 기기의 소형화, 박형화 및 경량화의 추세에 따라 새로운 환경에 적합한 전자 표시 장치로서 평판 패널형 표시 장치에 대한 요구가 급격히 증대되고 있다. 이에 따라 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 이엘 표시 장치(OELD) 등과 같은 평판 패널형 표시 장치가 개발되고 있으며, 이러한 평판 패널형 표시 장치 중에서 소형화, 경량화 및 박형화가 용이하며, 낮은 소비 전력 및 낮은 구동 전압을 갖는 액정 표시 장치가 특히 주목 받고 있다.
액정 표시 장치는 공통 전극, 컬러 필터, 블랙 매트릭스 등이 형성되어 있는 컬러 필터 기판과 박막 트랜지스터, 화소 전극 등이 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판 사이에 이방성 유전율을 갖는 액정 물질을 주입해 놓고, 화소 전극과 공통 전극에 서로 다른 전위를 인가함으로써 액정 물질에 형성되는 전계의 세기를 조정하여 액정 물질의 분자 배열을 변경시키고, 이를 통하여 투명 절연 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상을 표현하는 표시 장치이다. 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터는 게이트 드라이버나 데이터 드라이버를 구성하는 구동 박막 트랜지스터와 액정 패널을 구성하는 화소 박막 트랜지스터로 구분될 수 있다.
박막 트랜지스터 어레이 기판에 배열되며 단위 화소를 구동하는 박막 트랜지스터는 기본적으로 반도체 공정을 통하여 형성되므로 고 순도의 청정 환경 속에서 형성되어야 한다. 액정표시장치 제조공정에서 주위 환경은 제품의 품질 및 수율에 지대한 영향을 미치고 있다.
따라서, 액정표시장치의 제조공정은 고 청정도가 유지되는 클린룸(Clean Room)내에서 이루어진다. 클린룸 내에는 기류가 형성되어 내부에서 발생하는 먼지 등의 이물질을 제거하도록 되어 있다. 특히 고 청정 클린룸에서 기류의 흐름은 하향 층류(Down Stream Laminar Flow)가 기본으로 되어 있으며, 편류 또는 와류는 최소한 억제하여야 한다.
클린룸의 개발로 인해 산업 생산 환경이 크게 발달하였다. 여러 종류의 클린룸 중에서 반도체 장치 산업 및 정밀 기계 산업에 이용되는 산업용 클린룸에 적용되는 클린룸은 기기의 성능과 생산 수율에 심각한 악영향을 주는 입자들을 제거하기 위해 하향 층류(Down Stream Laminar Flow)를 생산라인 내부에 형성하여 순환하게 하는 방식을 취하고 있다. 이 하향 층류형 클린룸은 생산라인의 장비, 재료, 시설 및 작업자 등에 의해 발생한 입자들을 신속하게 제거하는데 적절하다.
도 1은 종래의 클린룸 구조를 나타내는 평면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 클린룸은 건물의 외곽(11) 내부에 클린룸 외곽(12)을 설치하며, 클린룸 외곽(12)의 한쪽 면은 드라이 코일(13)이 설치되어 있고 다른 쪽은 반입구(14)가 설치되어있다. 드라이 코일(13)이 있는 면과 반입구(14)가 있는 면으로 둘러싸인 클린룸 내부(15)에서 생산 작업이 이루어진다.
종래의 클린룸 물류 시스템의 핵심인 스타커(도시되지 않음)는 클린룸 내부(15) 공간에 설치되어 카세트를 저장하고, 공정장비에 카세트를 공급해주며, 반송의 역할을 수행하고 있다.
액정 패널 생산 공장의 클린룸 사이즈 증가와 이에 따른 면적 효율이 감소함에 따라 클린룸 내부(15)에 물류를 저장할 수 있는 스타커(stocker) 설치 공간 확 보가 어려워져 생산량에 비해 저장공간을 확보하는데 문제점이 커지고 있다.
LCD 패널 생산 공장의 글래스(glass) 사이즈 및 생산 장비가 대형화되면서 클린룸 사이즈는 증가하지만 면적 효율이 감소해서 클린룸 내부(15)에 카세트 등의 물류 저장 공간인 스타커(stocker) 설치 공간의 충분한 확보가 어려운 문제점이 있으며, 또한, 클린룸의 레이아웃 변경과 생산을 확대할 경우 물류 관점에서 대응이 어려운 문제점이 있다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 클린룸 외곽의 유휴공간을 활용함으로써, 물류를 저장할 수 있는 버퍼개념의 물류 저장공간을 확보할 수 있는 클린룸을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸은, 이물질을 제거하는 클린룸에 있어서, 상기 클린룸 내부에 물류를 반입할 수 있는 통로인 적어도 하나 이상의 반입구, 상기 클린룸 동작중 발생한 현열(sensible heat)을 제거하는 드라이 코일, 및 상기 클린룸 내부에 물류를 저장할 수 있는 공간인 저장부를 포함한다.
상기 저장부는 상기 반입구 사이에 마련되는 것이 바람직하다.
상기 저장부는 이동 가능한 것이 바람직하다.
상기 저장부는 컨베이어 (conveyor) 구조의 순환식 저장부인 것이 바람직하다.
상기 물류는 액정 패널인 것이 바람직하다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하에서는 본 발명에 따른 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 구조를 나타내는 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸은 건물의 외곽(210) 내부에 클린룸 외곽(220)을 설치하며, 클린룸 외곽(220)의 한쪽 면은 드라이 코일(230)이 설치되어 있고 다른 한쪽은 반입구(240)가 설치되어있다.
드라이 코일(230)이 있는 면과 반입구(240)가 있는 면으로 둘러싸인 클린룸 내부(250)에서 생산 작업이 이루어진다. 반입구(240) 사이의 유휴 공간에 물류를 저장할 수 있는 버퍼개념의 저장부(260)를 마련할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸은 클린룸 내부(250) 측면에 물류를 저장할 수 있는 공간인 저장부(260)를 마련한다. 클린룸은 드라이 코일(230), 적어도 하나 이상의 반입구(240), 및 저장부(260)를 포함한다.
반입구(240)를 통하여 물류를 클린룸 내부(250)에 반입할 수 있으며, 드라이 코일(230)은 클린룸 동작중 발생한 현열(sensible heat)을 제거한다. 저장부(260)는 클린룸 내부(250)에서 물류를 저장하며, 특히 액정 패널을 저장할 수 있다. 저장부(260)는 저장 공간의 효율을 위하여 일반적으로 잘 사용하지 않는 공간인 반입구(240) 사이에 마련되는 것이 바람직하다.
또한, 저장부(260)는 컨베이어 (conveyor) 구조의 순환식 저장부일 수 있으며, 이동 가능한 바퀴와 같은 수단을 부가하여 물류 반송효율을 더 높일 수 있다.
클린룸 외곽(220)에 물류를 저장할 수 있는 버퍼개념의 저장부(260)를 클린룸 설계 초기에 반영함으로써, 갈수록 대형화되는 클린룸 내부(250)의 물류 저장공간 부족에 의한 문제점을 해결하고 반송효율을 향상할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 클린룸은 상부에 송풍팬(310) 및 팬 필터 유닛(320)이 장착되어 생산라인(330)으로 이물질이 제거된 에어를 공급한다. 생산라인(330)을 통과한 에어는 일점 쇄선으로 표시되는 그레이팅(grating:340)을 통과한 후, 클린룸의 외측벽(350)에 설치되는 드라이 코일(230)을 통해 현열(sensible heat)이 흡수된 후 송풍팬(310) 및 팬 필터 유닛(320)으로 다시 순환된다.
따라서, 생산라인(330)에서 발생한 이물질들은 그레이팅(grating:340)을 통 해 배출되므로 생산라인(330)은 고 청정도를 유지할 수 있게 된다.
설계 초기에 클린룸 외곽에 물류저장공간 및 장비를 반영하여 기타 물류 시스템과 연계함으로써, 종래의 물류 시스템보다 충분한 양의 저장 용량을 확보할 수 있어 저장공간 부족에 의한 문제점을 해결할 수 있고 생산장비의 위치, 수량, 형상 등의 레이아웃 변경시에도 큰 영향을 받지 않고 대응이 용이하다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시 예에 따른 클린룸은 클린룸 외곽 공간을 이용함으로써, 물류 저장공간을 확충할 수 있으며, 신규 셋업(set-up) 예정인 액정 패널 공장의 생산 장비 레이아웃(layout)의 변경에 영향을 받지 않고 물류저장공간을 확충할 수 있는 효과가 있다.
또한, 클린룸의 외곽공간을 이용하므로 클린룸 면적이 증가할수록 많은 저장 공간 확충이 가능하며, 저장공간을 확보함으로써, 반송효율을 향상시킬 수 있는 효 과가 있다.

Claims (5)

  1. 이물질을 제거하는 클린룸에 있어서,
    상기 클린룸 내부에 물류를 반입할 수 있는 통로인 적어도 하나 이상의 반입구;
    상기 클린룸 동작중 발생한 현열(sensible heat)을 제거하는 드라이 코일; 및
    상기 클린룸 내부에 물류를 저장할 수 있는 공간인 저장부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 저장부는
    상기 반입구 사이에 마련되는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 저장부는
    이동 가능한 것을 특징으로 하는 클린룸.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 저장부는
    컨베이어 (conveyor) 구조의 순환식 저장부인 것을 특징으로 하는 클린룸.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 물류는
    액정 패널인 것을 특징으로 하는 클린룸.
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