KR20070065783A - 흐름 경로의 필수적인 기밀 폐쇄를 위한 밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 흐름 경로(F)를 필수적으로 기밀 폐쇄(gastight closing)하기 위한 밸브, 특히 펜둘럼(pendulum) 또는 슬라이드 게이트 밸브(slide gate valve)에 관한 것이다. 밸브는 제 1 오프닝(3)과 제 1 밸브 시트(4)를 갖는 제 1 벽(2)을 가지는 밸브 하우징(1;1a), 밀봉 링(7)과 함께 폐쇄 측면(6)을 갖는 밸브 디스크(5) 및 적어도 하나의 드라이브(8)를 포함한다. 드라이브(8)에 의해, 밸브 디스크(5)는 제 1 밸브 시트(4)에 필수적으로 평행한 오프닝된 위치(A)로부터 피봇가능(pivotable)하거나 또는 변위가능(displaceable)하고, 밸브 디스크(5)와 제 1 밸브 시트(4) 사이의 수직 거리는, 폐쇄된 위치(C)에서, 밀봉 링(7)과 제 1 밸브 시트(4) 사이의 축 밀봉 접촉(axially sealing contact)에 의해 흐름 경로(F)가 필수적으로 기밀 폐쇄되도록 감소될 수 있다. 밸브 디스크(5)는 드라이브(8)에 접속되고 제 1 밸브 시트(4)에 대해 수직 방향으로 밀봉 링(7)을 고정시키는 외부 디스크 섹션(9), 및 외부 주변 영역(11)을 가지며, 필수적으로 상기 제 1 밸브 시트(4)에 수직인 방향(z)으로 외부 디스크 섹션(9)에 대해 이동가능하도록 실장되는 내부 디스크 섹션(10)을 포함한다. 외부 주변 영역(11)은 밀봉 링(7)에 의해 내부 밀봉(inner seal)으로 필수적으로 기밀 봉인(enclose)된다. 그러므로, 폐쇄된 위치(C)에서, 밸브 디스크(5)에서의 압력차는, 외부 디스크 섹션(9)으로부터 결합해제된 내부 디스크 섹션(10)이 밸브 하우징의 섹션, 특히 제 1 밸브 시트(4) 또는 측면 그루브(27)에서 수직으로 지지되도록 필수적으로 내부 디스크 섹션(10) 상에 서 작용한다.
측면 그루브, 디스크 섹션, 슬라이드 게이트 밸브, 밀봉 링

Description

흐름 경로의 필수적인 기밀 폐쇄를 위한 밸브{Valve for essentially gastight closing of a flow path}
도 1은 중간 위치에서 본 발명에 따른 밸브를 도시하는 단면도.
도 2는 도 1을 상세히 도시하는 것으로 밀봉 링이 없는 오목부(recess)를 도시하는 도면.
도 3은 중간 위치 및 오프닝된 위치에서 본 발명에 따른 밸브를 도시하는 평면도.
도 4a는 중간 위치에서 본 발명에 따른 밸브를 도시하는 상세도.
도 4b는 폐쇄 측면 상에서의 감소된 압력의 경우에 폐쇄된 위치에서 본 발명에 따른 밸브를 도시하는 상세도.
도 4c는 폐쇄 측면 상에서의 초과 압력의 경우에 폐쇄된 위치에서 본 발명에 따른 밸브를 도시하는 상세도.
도 5a는 중간 위치에서 본 발명에 따른 밸브의 대안의 실시예를 도시하는 상세도.
도 5b는 폐쇄 측면 상에서의 감소된 압력의 경우에 폐쇄된 위치에서 대안의 실시예를 도시하는 상세도.
도 5c는 폐쇄 측면 상에서의 초과 압력의 경우에 폐쇄된 위치에서 대안의 실시예를 도시하는 상세도.
도 6a는 중간 위치에서 대안의 제 1 밀봉 링을 갖는 본 발명에 따른 밸브를 도시하는 상세도.
도 6b는 폐쇄 측면 상에서의 감소된 압력의 경우에 폐쇄된 위치에서 대안의 제 1 밀봉 링을 갖는 밸브를 도시하는 상세도.
도 6c는 폐쇄 측면 상에서의 초과 압력의 경우에 폐쇄된 위치에서 대안의 제 1 밀봉 링을 갖는 밸브를 도시하는 상세도.
도 7a는 중간 위치에서 대안의 제 2 밀봉 링을 갖는 본 발명에 따른 밸브를 도시하는 상세도.
도 7b는 폐쇄 측면 상에서의 감소된 압력의 경우에 폐쇄된 위치에서 대안의 제 2 밀봉 링을 갖는 밸브를 도시하는 상세도.
도 7c는 폐쇄 측면 상에서의 초과 압력의 경우에 폐쇄된 위치에서 대안의 제 2 밀봉 링을 갖는 밸브를 도시하는 상세도.
도 8a는 중간 위치에서 대안의 제 3 밀봉 링을 갖는 본 발명에 따른 밸브를 도시하는 상세도.
도 8b는 폐쇄 측면 상에서의 감소된 압력의 경우에 폐쇄된 위치에서 대안의 제 3 밀봉 링을 갖는 밸브를 도시하는 상세도.
도 8c는 폐쇄 측면에서의 초과 압력의 경우에 폐쇄된 위치에서 대안의 제 3 밀봉 링을 갖는 밸브를 도시하는 상세도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1: 밸브 하우징 2,19: 벽
3,20: 오프닝 4,21: 밸브 시트
9: 외부 디스크 섹션 10: 내부 디스크 섹션
18: 중심축
본 발명은 오프닝 위에서 밸브 디스크를 회전 또는 이동시키고, 오프닝을 둘러싸는 밸브 시트 상에서 밸브 디스크에 압력을 가하여, 흐름 경로를 필수적으로 기밀 폐쇄(gastight closing)하기 위한 진공 밸브에 관한 것이다. 이러한 밸브들은 특히 진공 기술에 사용되고, 특히 펜둘럼 밸브들(pendulum valves) 또는 슬라이드 게이트 밸브들(slide gate valves)로서 언급된다.
앞에서 언급된 타입의 밸브들은 종래 기술과는 다른 실시예들로 알려져 있고, 특히 오염 입자들이 존재할 수 없는 보호된 분위기에서 행해지는 IC 및 반도체 제조 분야에서 사용된다. 펜둘럼 밸브들은 예컨대 처리 챔버와 진공 펌프 사이의 가스 흐름을 제어한다. 슬라이드 게이트 밸브들은 예컨대 반도체 웨이퍼들 또는 액정 디스플레이 기판들용의 제조 플랜트의 제조 챔버들 사이의 접속 통로들에 배치되며, 고감도 반도체 또는 액정 디스플레이 소자들을 하나의 제조 챔버에서 다음의 제조 챔버로 이송하기 위한 슬라이드 게이트 밸브들에 의해 접속 통로들을 개방시키고, 각각의 제조 스텝이 수행된 후에 기밀 폐쇄되도록 하는 것이 가능하다.
펜둘럼 밸브의 경우, 제 1 스텝에서, 일반적으로 둥근 밸브 디스크는, 오프닝이 방해를 받지 않는 위치에서 오프닝을 덮고 있는 중간 위치로 마찬가지로 일반적으로 둥근 오프닝 위에서 환형식으로 회전된다. 슬라이드 게이트 밸브의 경우, 오프닝과 같이, 밸브 디스크는, 일반적으로 직각이고, 선형적으로(linearly) 오프닝이 방해를 받지 않는 위치에서 오프닝을 덮고 있는 중간 위치로 제 1 스텝에서 이동된다. 이 중간 위치에서, 펜둘럼 또는 슬라이드 게이트 밸브의 밸브 디스크는 오프닝을 둘러싸는 밸브 시트로부터 이격되고 그에 대향하는 위치에 있다. 제 2 스텝에서, 밸브 디스크와 밸브 시트 사이의 거리는 밸브 디스크와 밸브 시트가 서로 균일하게 압력을 받고, 오프닝이 필수적으로 기밀 폐쇄되도록 감소된다. 이러한 제 2의 움직임은 밸브 시트에 대해 수직 방향으로 필수적으로 영향을 받는다. 두 개의 스텝들에서 일어나는 폐쇄 처리의 결과, 제 2 스텝에서의 밸브 디스크의 움직임이 필수적으로 밸브 시트에 대해 선형으로 그리고 수직으로 일어나므로, 밸브 디스크 밸브 디스크와 밸브 시트 사이의 밀봉 링은 밀봉 링을 파괴하는 어떠한 전단력(shear force)을 받지 않는다.
종래기술은 예컨대 펜둘럼 밸브에 관한 미국특허출원 제6,089,537호(Olmsted)와 슬라이드 게이트 밸브에 관한 미국특허출원 제6,416,037호(Geiser)로부터, 펜둘럼 밸브의 경우에 밸브 디스크의 회전 움직임과, 오프닝에 대해 평행한 슬라이드 게이트 밸브의 경우에서의 밸브 디스크의 병진 움직임(translational movement)의 조화를 달성하기 위한 상이한 드라이브 시스템들을 개시하고 있고, 필수적으로 병진 움직임은 오프닝에 수직이다.
밸브 시트 상에서의 밸브 디스크의 가압은 전체 압력 영역 내에서 원하는 가스 견고함(gas tightness)이 보장되고, 극히 높은 압력의 인가에 의해 밀봉 매체, 특히 O-링의 형태로 밀봉 링을 손상시키지 않는 방식으로 달성되어야 한다. 이를 보장하기 위해서, 공지된 밸브들은 두 개의 밸브 디스크 측면들 사이에 지배적인 압력차의 함수로서 밸브 디스크의 제어된 접촉 압력 조정을 제공한다. 특히, 감소 압력(상대적으로 음의 압력)에서 초과 압력(상대적으로 양의 압력)으로의 큰 압력 변경의 경우에 또는 그 반대의 경우에, 전체 밀봉 링 주변을 따라 균일한 힘 분배가 항상 보장될 수 있는 없다. 일반적으로, 밸브에 인가된 압력으로부터 일어나는 지지력으로 밀봉 링을 결합해제하려는 시도가 있다. 미국특허출원 제6,629,682호(Duelli)는 이러한 배경에서 밀봉 링이 필수적으로 지지력으로부터 자유롭도록 밀봉 링과 인접한 지지 링으로 구성되는 밀봉 매체를 갖는 진공 밸브를 제안한다.
원하는 가스 견고함을 달성하기 위해서, 초과 압력과 감소된 압력을 적절히 하면, 몇몇 공지된 펜둘럼 밸브들 또는 슬라이드 게이트 밸브들은 제 2 움직임 스텝에 부가하여 또는 그에 대한 대안으로, 밸브 디스크에 수직으로 변위가능하고 오프닝을 둘러싸며 밸브의 기밀 폐쇄를 위한 밸브 디스크 상에서 가압되는 밸브 링을 제공한다. 밸브 디스크에 대해 능동적으로 변위가능한 밸브 링을 갖는 이러한 밸브들은 예컨대 독일특허출원 제1 264 191 B1호, 독일특허출원 제34 47 008 C2호, 미국특허출원 제3,145,969(von Zweck) 및 독일특허출원 제77 31 993 U에 개시되어 있 다. 미국특허출원 제5,577,707호(Brida)는 오프닝에 평행한 피봇가능하고 오프닝을 통한 흐름을 제어하고자 의도된 밸브 디스크 및 오프닝을 갖는 밸브 하우징을 갖춘 펜둘럼 밸브를 개시한다. 오프닝을 봉인하는 밸브 링은 압축된 공기 실린더들 및 다수의 스프링들에 의해 밸브 디스크쪽 방향으로 능동적으로 수직 이동될 수 있다. 이 펜둘럼 밸브의 가능한 추가적인 개발은 미국특허출원 제2005/0067603 A1호(Lucas 등)에서 제안되어 있다. 미국특허출원 제6,561,483호(Nakagawa) 및 미국특허출원 제6,561,484호(Nakagawa 등)는 2개로 분할된 밸브 디스크를 포함하는 다른 실시예들에서 진공 밸브들을 개시하고 있다. 제 1 디스크 섹션은 오프닝을 갖는다. 제 2 디스크 섹션은 제 1 디스크 섹션에 연장가능한 몸체에 의해 접속된다. 액츄에이터는 두 개의 디스크 섹션들이 서로를 향하고 그리고 서로에게 이격되도록 능동적으로 이동될 수 있도록 제 1 디스크 섹션과 제 2 디스크 섹션 사이에 배치된다. 제 1 디스크 섹션은 액츄에이터에 의해 밸브 시트에 대해 가압될 수 있고, 특별히 밸브 시트 측면 상의 초과 압력의 경우에 제 2 디스크 섹션은 선택적으로 밸브 하우징의 대향 측면 상에서 지지된다. 설명된 진공 밸브들의 설계는 제 2 디스크 섹션 및 밸브 시트로부터 제 1 디스크 섹션을 밀봉하기 위한 다수의 밀봉 링 또는 벨로우즈(bellows)를 사용하는 필요성으로 인해 비교적 복잡하고, 오염되기 쉽고 유지하는데 있어 이롭지 못하다.
밸브 링을 갖는 공지된 밸브들의 기밀 밀봉을 위해, 적어도 두 개의 밀봉 링들, 특히 0- 링들 또는 부가적인 벨로우즈가 필요하다. 밸브 링을 갖는 밸브의 경우에, 특히, 밸브 디스크 및 밸브 링 또는 대향하는 밸브 시트 사이에 배치된 축 밀봉 링(axially sealing ring), 및 특히, 밸브 하우징의 오프닝의 에지 섹션과 밸브 링 사이에 배치된 외부의 밀봉 링인 움직임 영역을 따라 밸브 링과 밸브 하우징 사이에서 기밀 밀봉을 보장하는 방사 밀봉 링(radially sealing ring)이 필요하다. 밀봉 링들이 민감한 착용 부분들(sensitive wearing parts)이므로, 다수의 밀봉 링의 사용은 이롭지 못하다. 능동적으로 조정가능한 밸브 링을 갖는 이러한 밸브들의 또 다른 단점은 비교적 복잡하고 부피가 큰 밸브 설계이며, 접촉 압력의 복잡한 제어 및 흐름 채널에서의 다수의 이동 부분들의 필요성은 밸브들의 세정 및 유지가 어렵다.
특히, 긴 생산 플랜트들(production plants)에서 진공 펌프들과 처리 챔버들 사이의 펜둘럼과 슬라이드 게이트 밸브들을 사용하는 분야로 인해, 상기 부분들 또는 가스들의 이송 경로들을 유지하고, 총 내부 가스 용적을 가능한 작게 하고, 생산 플랜트의 각 성분들을 가능한 한 가까이에 배치하여, 생산 플랜트들의 콤펙트한 설계를 가능하게 하기 위해, 한 오프닝에서 다음 오프닝까지의 거리에 대해 밸브의 설계를 가능한 한 단조롭게 하는 것이 요구된다. 특히, 능동적으로 조정가능한 밸브 링 또는 밸브 디스크 섹션들을 갖는 밸브들은 이러한 다수의 응용들에 대해 불충분한 정도로만 이러한 요구를 만족시킨다.
그러므로, 본 발명의 목적은 상술한 문제점들을 해소하고, 단순하고 콤펙트한 설계를 가지며, 높은 압력 부하들에 견딜 수 있고 유지가 용이하며, 선택적으로 두 가지 측면 모두를 달성할 수 있는, 앞에서 언급한 타입의 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이러한 목적은 독립 청구항의 특징들을 구현함으로써 달성된다. 대안의 또는 이로운 방식으로 본 발명을 더 발전시키는 특징들이 종속 청구항에 개시된다.
흐름 경로를 필수적으로 기밀 폐쇄하기 위한 본 발명에 따른 밸브는 흐름 경로를 위한 제 1 오프닝 및 제 1 오프닝을 둘러싸고 있는 제 1 밸브 시트를 갖는 제 1 벽(wall)을 갖는 밸브 하우징을 갖습니다. 제 1 오프닝은 예컨대, 둥근 모서리들을 갖는 직사각형 단면 또는 원형 단면을 갖는다. 제 1 오프닝의 중심축은 예컨대 오프닝의 길이방향 경로, 오프닝 상에 배치된 접속 경로, 임의의 제 2 오프닝을 갖는 접속 라인, 또는 밸브 시트의 영역에 의해 정의된다. 일반적인 기능 용어들에서, 밸브 시트는 벽 내의 지지 영역 또는 밀봉 영역으로서 동작하는 섹션을 의미하는 것으로 이해되고, 지지 영역 또는 밀봉 영역으로서 동작하는 또 다른 영역은 그 위에 안착(rest)될 수 있다. 밸브 하우징은 또한 벽만으로 형성될 수 있다. 흐름 경로는 오프닝 및 밸브를 통해 가스 또는 액체 매체의 일정하고 차단가능한 흐름 경로이다.
더욱이, 밸브는 제 1 오프닝이 폐쇄 및 개방될 수 있는 밸브 디스크를 포함한다. 밸브 디스크는 제 1 밸브 시트에 대응하고 기밀 접촉을 할 수 있는 밀봉 링이 배치되는 적어도 하나의 폐쇄 측면을 갖는다. 밀봉 링은 특히 경화와 같은 접착력에 의한 폐쇄에 의해, 임의의 다른 적절한 접착-결합 조인트에 의해, 오목부에 의한 폼(form) 폐쇄에 의해, 또는 힘 폐쇄에 의해 폐쇄 측면의 에지 영역에 고정된 다. 밀봉 링은 예컨대, 원형 단면을 갖는 O- 링의 형태, 또는 예컨대 타원, 정사각형, 다각형, 클럽 형태 또는 편자 형태(horseshoe-shaped)의 임의 종류의 단면을 갖는 다른 적당한 밀봉 링의 형태를 갖는다. 폐쇄 디스크는 예컨대, 둥근 또는 직교 단면을 갖는다. 폐쇄 측면의 크기는 제 1 오프닝 상에서 중첩하고 그 위에 위치시킴으로써 제 1 오프닝의 폐쇄를 가능하게 한다.
밸브는 적어도 하나의 드라이브를 갖으며, 적어도 하나의 드라이브에 의해 밸브 디스크가 제 1 오프닝의 단면 위의 제 1 밸브 시트에 필수적으로 평행하게 회전 또는 이동될 수 있어, 흐름 경로가 방해를 받지 않는 오프닝된 위치에서 중간 위치로 또는 그 역으로 되게 할 수 있다. 이 중간 위치에서, 밸브 디스크의 폐쇄 측면은 제 1 밸브 시트에 대향하고, 이격되어 있고, 또는 적절한 접촉을 하게 하는 위치에 있다. 밸브가 펜둘럼 밸브이면, 드라이브는, 밸브 디스크가 특히 오프닝 축에 평행한 조정 축(adjustment axis)에 대해 제 1 오프닝의 단면에 대해 평행하며 회전식으로 피봇가능한 방식으로 형성되는 반면, 슬라이드 게이트 밸브의 경우에 드라이브가 제 1 오프닝의 단면에 대해 선형 변위의 형태로 평행한 밸브 디스크를 병진적으로 이동시킨다. 그밖에, 특히, 중간 위치에 밸브 디스크를 위치시키기 위한 조합된 움직임 변형들(combined movement variants)은 종래 기술에 공지되어 있고, 마찬가지로 가능하다.
드라이브 또는 부가적인 드라이브에 의해, 중간 위치에서 시작하여 밸브 디스크와 제 1 밸브 시트 사이의 수직 거리는, 폐쇄 위치에서 흐름 경로가 밀봉 링과 제 1 밸브 시트 사이의 축 밀봉 접촉에 의해 필수적으로 기밀 폐쇄되도록 감소될 수 있다. 이것은 특히 밸브 시트 상에서 폐쇄 측면을 갖는 밸브 디스크의 수직 임직임에 의해 영향을 받는다. 밀봉 링이 밸브 시트 상에서 압력을 받을 때 전단력을 회피하기 위해, 이러한 움직임은 가능한 한 밸브 시트에 대해 선형 및 수직으로 영향을 받아야 한다. 피봇 움직임에 의해 압력을 가하는 것이 가능하고, 피봇 축은 밸브 디스크 상의 의사-선형 움직임(quasi-linear movement)이 압력을 가하는 중에 일어나도록 오프닝으로부터 떨어진 거리에 있다. 대안으로 또는 부가적으로, 밸브 디스크의 폐쇄 측면쪽 방향으로 밸브 시트를 이동시킴으로써 제 1 밸브 시트와 밸브 디스크 사이의 거리를 줄이는 것이 가능하다. 본 실시예에서, 밸브 시트에 대해 수직으로 밸브 디스크의 움직임은 제거될 수 있다. 개시된 적어도 두 단계의 움직임을 달성하기 위한 상이한 드라이브 변형들은 종래 기술에 공지되어 있고, 추가적으로 설명되지 않는다.
밸브 디스크의 드라이브로의 운동학적 접속(kinematic connection)은 예컨대, 아암 또는 접속 로드(connecting rod)에 의해 영향을 받는다.
방사 및 축 방향 및 밀봉 효과가 본 발명의 맥락에서 밸브 디스크에 대해 논의될 때, 이것은, 섹션들을 포함하는 밸브 디스크 또는 오프닝의 원형 단면만에 관한 것이 아니며, 다른 수직 단면, 예를 들면, 직사각형 단면에도 관한 것이다. 후자의 경우에, 방사(radial)는 내측에서 외측으로의 방향을 의미하는 것으로 이해되고, 반대로 정면, 디스크의 평면 또는 밸브 시트의 평면에 평행하며, 축은 그에 대해 수직방향을 의미하는 것으로 이해된다.
본 발명에 따라, 밸브 디스크는 적어도 두 개의 섹션들, 즉 외부 디스크 섹 션과 내부 디스크 섹션으로 분할된다. 외부 디스크 섹션은 드라이브에 결합되고, 밸브 디스크가 밸브 시트 상에서 압력을 받을 때 또는 그 역인 경우에 두 개의 부분들 사이에 수직으로 축 밀봉 방식으로 제공되도록, 제 1 밸브 시트에 대해 수직방향으로 밀봉 링을 고정시키고, 접속을 풀 때에 밸브 디스크와 조화된다. 내부 디스크 섹션은 바깥쪽으로 접하는 외부 주변 영역 및 밸브의 폐쇄 위치에서 제 1 밸브 시트에 필수적으로 평행한 정면 영역을 가지며, 밸브 시트 또는 밸브 하우징의 또 다른 섹션 상에서 지지될 수 있으며, 밸브 디스크의 폐쇄 측면 상에 제공된다.
내부 디스크 섹션은, 제 1 밸브 시트에 필수적으로 수직 이동가능하고, 오프닝 축에 필수적으로 평행하게 이동가능하도록 외부 디스크 섹션에 실장되어, 오프닝 축 방향으로 임의의 움직임 범위 내에서 외부 디스크 섹션으로부터 결합해제된다. 외부 주변 영역은 내부 밀봉으로 기밀된 밀봉 링에 의해 봉인된다. 그러므로, 밀봉 링은 두 개의 밀봉 기능들을 수행한다. 우선적으로, 방사 방향으로 내부 및 외부 디스크 섹션 사이의 접속을 밀봉하고, 다음으로, 밸브의 폐쇄 위치에서 축 방향으로 밸브 시트로부터 외부 디스크 섹션을 밀봉한다. 이것은 단일의 밀봉 링이 두 개의 밀봉 링들의 기능을 수행하므로 밸브의 유지 및 설계 상의 복잡성에 있어 상당한 이점을 갖는다.
본 발명의 실시예에서, 외부 디스크 섹션은 폐쇄 측면 상에서, 내부 디스크 섹션을 봉인하는 에지 영역 내에, 내측에 있고, 밀봉 링을 유지하고, 제 1 밸브 시트에 대해 수직 방향으로 밀봉 링을 고정하는 언더컷(undercut)을 갖는 오목부를 갖는다. 언더컷은 폼 폐쇄에 의해 밸브 시트에 대해 수직인 외부 디스크 섹션 상에 밀봉 링을 고정시키도록 보장한다. 부가적으로, 접착력, 예컨대 경화에 의해 밀봉 링과 외부 디스크 섹션 사이에 강한 접속을 생성하는 것이 가능하다. 본 발명의 또 다른 실시예에서, 밀봉 링은 접착력, 예컨대 경화에 의해 외부 디스크 섹션의 폐쇄 측면의 에지 영역에 고정된다. 부가적으로 또는 대안으로, 힘 폐쇄(force closure)에 의해 밀봉 링을 고정시키는 것이 가능하다.
폐쇄 위치에서, 압력차, 특히 상대적으로 감소된 압력(상대적으로 음의 압력)은, 내부 디스크 섹션으로부터 외부 디스크 섹션을 수직으로 결합해제시키는 결과, 내부 디스크 섹션 상의 밸브 디스크의 폐쇄 측면 상에 작용하며, 즉, 상대적으로 초과압력(상대적으로 양의 압력)이 대향 측면 상에 작용한다. 그러므로, 내부 디스크 섹션은 수직으로 지지되고, 제 1 벽 특히 제 1 밸브 시트에서 밸브 하우징의 섹션 상의 외부 디스크 섹션으로부터 필수적으로 결합해제되고, 밸브 하우징에 형성된 그루브와 결합되는 지지 프레임에 의해 밸브 하우징의 그루브 상에서 결합해제된다.
두 개의 디스크 섹션들의 이러한 결합해제는 밀봉 동작, 최대 부하 용량, 설계, 치수 및 밸브의 노후화에 대해 실질적인 이점을 갖는다. 압력차로 인해, 임의의 힘들이 밀봉 링을 수행하는 외부 디스크 섹션 상에 거의 작용하지 않지만, 밸브 하우징 상에 지지된 결합해제된 내부 디스크 섹션 상에는 작용하고, 외부 디스크 섹션은 지지 기능을 거의 수행하지 못하고, 주로 밀봉 기능을 수행한다. 그러므로, 밸브 디스크와 밀봉 링의 드라이브는 밸브 디스크 상에 작용하는 압력에 대해 해제된다. 밸브에서 지배적인 압력차의 함수로서 규제되는 밸브 디스크의 접촉 압력 규 제는 접촉 압력이 축 밀봉을 달성하기 위해 요구된 밀봉력에 따라 필요하므로 생략될 수 있다.
본 발명의 추가적인 발전에서, 밸브 디스크는, 내부 디스크 섹션이 제 1 밸브 시트의 방향으로 시작 위치에서 움직임 범위 내에서 압축을 받고 그리고 밸브에서 동일한 상대적인 압력을 갖는 폐쇄 위치에서, 특히 그루브의 측면 표면 또는 제 1 밸브 시트 상에서 밸브 하우징에 직접 및 간접적으로 안착되는 방식으로, 외부 디스크 섹션과 내부 디스크 섹션 사이에서 작용하도록 배치되는 탄성 수단, 특히 적어도 하나의 스프링을 포함한다. 폐쇄 측면 상에서 감소된 압력 또는 초과 압력에 동일한 압력 상태로부터의 변경이 존재하면, 밸브 하우징에 이미 안착된 내부 디스크 섹션은 움직이지 않게 되고, 과도한 기계적인 부하가 회피된다.
또 다른 이로운 실시예에서, 밸브 하우징은 부가적으로, 제 1 벽과 제 2 오프닝에 대해 떨어진 평행한 대향 위치에서, 제 2 오프닝을 둘러싸는 제 2 밸브 시트와 흐름 경로를 위한 제 2 오프닝을 갖는 제 2 벽을 갖는다. 밸브 디스크는 제 1 오프닝과 제 2 오프닝 사이에서 피봇가능하거나 변위가능하다. 밸브 디스크 및 오프닝의 구동 및 제 1 오프닝의 폐쇄는 상술한 바와 같이 영향을 받는다. 밸브의 폐쇄된 위치에서, 제 2 오프닝은 폐쇄 측면에 대향하는 밸브 디스크의 측면 상에 제공된다. 본 실시예에서, 내부 디시크 섹션은, 밸브 디스크의 폐쇄 측면 상에서의 상대적인 초과 압력을 갖는 폐쇄된 위치에서, 내부 디스크 섹션이 수직으로 지지되고 제 2 밸브 시트 상에서 외부 디스크 섹션으로부터 결합해제되는 방식으로 형성된다. 이를 위해, 내부 디스크 섹션은 예컨대, 제 1 밸브 시트에 대해 수직으로 연 장하는 지지 프레임을 가지며, 그에 의해 제 2 밸브 시트 상에서의 지지가 상대적인 초과 압력의 경우에 발생한다. 결국, 폐쇄 위치에서, 내부 디스크 섹션의 움직임의 가능한 상대적인 범위는 제 1 밸브 시트 상의 정면 영역의 지지에 의해 밸브 디스크의 측면 상에 그리고 제 2 밸브 시트 상의 내부 디스크 섹션의 지지 프레임의 지지에 의해 밸브 디스크의 다른 측면 상에 제한된다. 그 결과, 밸브는 양 측면들에서 높은 부하 용량을 갖는다. 감소된 압력에서 초과 압력으로 또는 그 역으로의 천이는 외부 디스크 섹션의 접촉 압력 없이 내부 디스크 섹션의 지지 영역들의 변경을 야기하고, 그에 의해 제 1 밸브 시트 상의 밀봉 링은 영향을 받는다. 그러므로, 본 발명에 따른 밸브는 드라이브 또는 밀봉 영역의 상당한 부하 없이 양 측면들 상에 높은 부하 용량을 갖는다.
이러한 효과는 또한, 내부 디스크 섹션 중 적어도 일부 섹션, 특히 내부 디스크 섹션 상에 배치된 지지 프레임이 폐쇄 위치에서 측면 그루브로 돌출되고, 내부 디스크 섹션이 측면 그루브의 측면 영역(특히, 대안의 대향 측면 영역들) 상의 밸브 하우징 상에서 지지되는 방식으로 그루브가 형성 및 배치되는, 밸브 하우징 내의 내부 측면 그루브에 의해 달성될 수 있다. 밸브 하우징 상에서 내부 디스크 섹션을 지지하기 위한 또 다른 발전이 물론 가능하다.
본 발명에 따른 밸브는 도면에서 개략적으로 도시된 예들을 참조하여 예로써 이하에서 보다 상세히 설명되고, 본 발명의 추가적인 이점들이 또한 논의된다. 몇몇 경우들에서, 이미 설명된 도면부호는 개별 특징들의 설명에 사용되며, 개별 도면들은 서로 연관되어 설명된다.
도 1은 펜둘럼 밸브의 형태로 본 발명에 따른 밸브의 가능한 실시예를 도시한다. 서로 이격되어 대향하는 제 1 벽(2)과 제 2 벽(19)인 두 개의 벽들(walls)을 갖는 밸브 하우징(1)에서, 서로 대향하며 둥근 단면을 갖는 제 1 오프닝(3)과 제 2 오프닝(20)인 두 개의 오프닝들이 형성되고, 오프닝들은 가스 또는 유체(fluid)를 위한 밸브를 통해 유도되는 흐름 경로(F)를 형성한다. 두 개의 오프닝들(3,20)은 공통 오프닝 축인, 제 1 오프닝(3)의 중심축(18)을 갖는다. 제 1 오프닝(3)을 둘러싸는 제 1 밸브 시트(4)는 제 1 벽(2)의 평평하게 정의된 영역에 의해 형성되고, 중심축(18)이 수직으로 통과하는 평면은 제 1 벽(2)의 내부 영역들 상에 형성된다. 또한 제 1 밸브 시트(4)에 평행한 제 2 벽(19)의 내부 영역들 상에 제 2 밸브 시트(21)가 제공된다. 아암(23)에 의해 밸브 디스크(5)에 접속된 드라이브(8)는 밸브 하우징(1) 상에 배열된다. 밸브 디스크(5)는 도 3에 점선으로 도시된 오프닝된 위치(A) 및 벽들(2,19)과 밸브 시트들(4,21)에 평행한 도 3 및 도 1에 도시된 중간 위치(B) 사이의 드라이브(8)에 의해 피봇가능하다. 오프닝된 위치(A)에서, 단면이 제 1 오프닝(3)을 덮을 수 있는 밸브 디스크(5)는 흐름 경로(F)를 개방시키고, 밸브는 완전히 개방된다. 중간 위치(B)에서, 도 1에 도시된 바와 같이, 밸브 디스크(5)는 제 1 오프닝(3)을 덮고, 그에 따라 제 1 오프닝(3)과 제 2 오프닝(20) 사이에 있으며, 밸브 디스크(5)는 제 1 밸브 시트(4)와 대향하고 그로부터 이격되어 있는 폐쇄 측면(6)과 함께 제공된다.
밸브 디스크(5)는 두 개의 섹션들, 즉 외부 디스크 섹션(9)과 내부 디스크 섹션(10)으로 분리된다. 외부 디스크 섹션(9)은, 외부에서 내부로 방사상으로 연장하고, 제 1 오프닝(3)의 중심축(18)에 근접하여 위치된 중심 영역 내에서, 드라이브(8)에 결합된 아암(23)에 대해, 폐쇄 측면(6)에 대향하는 측면(17) 상의 8개의 개별 스트럿들(struts)(도 1 및 도 3을 참조)로 구성되는 스트럿 시스템(16)에 의해 접속된다. 아암(23)과 스트럿 시스템(16) 사이의 접속은 볼 조인트(ball joint:24)에 의해 영향을 받는다. 내부 디스크 섹션(10)은 외부 주변 영역(11)(도 2 참조) 및 폐쇄 측면(6) 상의 제 1 밸브 세트(4)에 필수적으로 평행한 정면 영역(12)을 갖는 둥그런 압력판의 형태이다. 외부 디스크 섹션(9)은 내부 디스크 섹션을 둘러싼 에지 영역(edge region) 내의 상기 폐쇄 측면(6) 상에서, 내측 주변에 있고, 도 1 및 도 1의 상세도인 도 4a에 도시된 바와 같이, 원형 단면을 갖는 O 링의 형태로 완전히 둥근 밀봉 링(7)이 제공되는 오목부(13)를 갖는다. 설명을 위하여, 오목부(13)는 도 2에서 밀봉 링(7)이 없이 도시된다. 밀봉 링(7)은 제 1 밸브 시트(4)에 대해 수직 방향으로 또는 오목부(13) 내에 밀봉 링(7)을 유지하는(hold) 언더컷(undercut:14)을 형성함으로써 중심축(18)에 평행하게 외부 디스크 섹션(9) 상에 고정된다. 그러므로, 밀봉 링(7)은 폐쇄 형태로 유지되고, 언더컷(14)에 의해 영향을 받는다. 오목부(13)는, 외부 주변 영역(11)이 내부 밀봉으로 밀봉 링(7)에 의해 필수적으로 기밀 봉인되도록 내부 디스크 섹션(10)의 외부 주변 영역(11)에 의해 안에서 방사상으로 형성된다.
내부 디스크 섹션(10)은 제 1 밸브 시트(4)에 필수적으로 수직인 방향(Z)으 로 외부 디스크 섹션(9)에 대해 이동가능하도록 실장된다. 외부 디스크 섹션(9)과 내부 디스크 섹션(10)으로 조화되며(coordinated), 스트럿 시스템(16)의 개별 스트럿들 사이의 다수의 스프링들(15)은, 개시 스테이지(starting stage)의 내부 디스크 섹션(10)이 중간 위치(B)에서 밸브(5)를 도시하는 도 4a에 도시된 바와 같이, 제 1 밸브 시트(4) 쪽의 수직 방향으로 압축되게 한다.
밸브를 폐쇄하기 위해, 밸브 디스크(5)는 제 1 밸브 시트(4) 방향으로 중간 위치(B)로부터 드라이브(8)에 의해 이동되고, 밸브 디스크(5)와 제 1 밸브 시트(4) 사이의 수직 거리는 밀봉 링(7)과 제 1 밸브 시트(4) 사이에서 축 밀봉 접촉(axially sealing contact)이 얻어지도록 밀봉 링(7)이 제 1 밸브 시트(4) 상에서 압축되는 방식으로 감소된다. 볼 조인트(24)는 밸브 디스크(5)가 압력의 인가 시에 제 1 밸브 시트(4)에 대해 평행하게 정렬되는 것을 보장한다. 외부 디스크 섹션(9)이 밸브 시트(4)에 대해 밀봉되고, 내부 디스크 섹션(10)이 하나의 밀봉 링(7)에 의해 외부 디스크 섹션(9)에 대해 밀봉되므로, 흐름 경로(F)는 필수적으로 기밀 폐쇄된다. 밸브 디스크(5)는 도 4b 및 도 4c에 도시된 바와 같이, 폐쇄된 위치(C)에 있다.
제 1 오프닝(3)과 제 2 오프닝(20) 사이에서 상대적인 압력이 동일한 상태에서, 내부 디스크 섹션은 스프링들(15)의 스프링력(spring force)으로 인해 제 1 밸브 시트(4)에 의존한다.
제 1 오프닝(3)과 제 2 오프닝(20) 사이에 압력차가 있는 경우에, 압력은 수직방향을 따라 이동가능한 내부 디스크 섹션(10), 외부 디스크 섹션(9) 및 부하가 없는 드라이브(8)와 아암(23) 상에 필수적으로 작용한다. 도 4b에서 화살표로 나타내져 있는 상대적으로 감소된 압력(25)(상대적으로 음의 압력)이 밸브 디스크(5)의 폐쇄 측면(6) 상에 지배적이면, 내부 디스크 섹션(10)은 외부 디스크 섹션(9)에 필수적으로 결합해제되고, 제 1 밸브 시트(4) 상에서 수직으로 지지된다. 압력차로 인한 힘은 주로 높은 부하 용량을 갖는 제 1 밸브 시트(4)와 내부 디스크 섹션(9) 상에서 작용한다. 밸브의 드라이브 성분들에는 부하가 없게 되므로, 밸브는 큰 압력차에 견딜 수 있다.
도 4c에서 화살표도 나타내진 상대적인 초과 압력(26)이 밸브 디스크(5)의 폐쇄 측면(6) 상에 존재하면, 외부 디스크 섹션(9)에 결합해제되어 있는 내부 디스크 섹션(10)은, 제 2 밸브 시트(21)에 대해 수직으로 연장하고 내부 디스크 섹션(10)과 조화되는 지지 프레임(22)이 제 2 밸브 시트(21)에 안착되고 그에 따라 제 2 밸브 시트(21) 상의 내부 디스크 섹션(10)을 지지할 때까지 대향하는 제 2 밸브 시트(21)에 대해 수직방향으로 제 1 밸브 시트(4)에 안착되어 있는 위치로부터 이동한다.
두 개로 분할되는 밸브 디스크(5)의 이러한 전개의 결과, 드라이브가 없으며 흐름 방향에서 밸브 디스크를 지지하도록 큰 치수를 갖는 시스템을 유지하지 않고도 측면들 상에서 밸브는 높은 부하 용량을 갖는다. 역 압력 및 제 1 밸브 시트(4)에서 제 2 밸브 시트(21)로의 지지 영역의 결과적인 변경의 경우에, 내부 디스크 섹션(10)의 수직 경로를 작게 유지하기 위해서, 두 개의 밸브 시트들(2,21) 사이에서 동작을 유지하는 것이 이롭다. 도면들로부터 명백한 바와 같이, 이것은 단지 밀봉 링의 사용에 의해 작게 유지되는 다수의 웨어링 부분들(wearing parts)이 아니다. 또한, 작은 치수의 밸브 및 한 오프닝에서 다른 오프닝으로의 작은 거리가 가능하다.
도 5a, 5b, 5c는 본 발명에 따른 밸브의 대안의 실시예를 도시한다. 이러한 대안의 실시예의 다수의 성분들이 상술한 제 1 실시예와 동일하고 도 4a, 4b, 4c에 대응하는 뷰(view)가 사용되므로, 이미 언급된 성분들의 설명 및 도면번호들은 부분적으로 제외되고, 이전 도면들의 도면번호들이 몇몇 경우에 사용될 것이다.
중간 위치(B) 또는 폐쇄된 위치(C)에서 밸브 디스크(5)의 부분적인 섹션 주변에서 연장하는 내부 측면 그루브(27)는 밸브 하우징(1a)에 형성된다. 이러한 내부 부분적 주변 그루브(27)는 제 1 오프닝(3) 쪽으로 폐쇄 측면(5)의 방향에서의 제 1 측면 영역(28) 및 폐쇄 측면에 대향하고 제 2 오프닝(20) 쪽으로 측면(17)의 방향에서의 제 2 측면(29)과 직사각형 단면을 갖는다(도 5b, 5c 참조). 그루브(27)는, 장애물이 없는 흐름 경로(F)를 남기는 개방 위치(A)에서 중간 위치(B)로 밸브 디스크(5)를 피봇하거나 변위할 때에, 내부 디스크 섹션(10a) 상에 배열되고 부분적으로 방사상으로(radially) 연장하는 지지 프레임(22a)이 그루브(27)에 도입되는 식으로 형성 및 배열되고, 지지 프레임은 중간 위치(B)에서, 도 5a에 도시된 바와 같이, 접촉 없이 이격되어 있고, 제 1 측면 영역(28) 및 제 2 측면 영역(29)에 대하여 대향 위치에 제공된다. 그러므로, 외부 디스크 섹션(9)이 제 1 밸브 시트(4)에 대해 압력을 받는 폐쇄 위치(C)에서(도 5b 및 5c 참조), 적어도 내부 디스크 섹션(10a)의 부분적인 섹션은 측면 그루브(27)에 돌출된다. 폐쇄 위치(C)에서, 도 5b 에서 화살표로 나타내진 상대적으로 감소된 압력(25)이 밸브 디스크(5)의 폐쇄 측면(6) 상에 존재하면, 내부 디스크 섹션(10a)은 외부 디스크 섹션(9)에 결합해제되고, 내부 디스크 섹션(10a)과 제 1 밸브 시트(4) 사이에 어떠한 접촉도 존재함이 없이 밸브 하우징(1a)의 그루브(27)의 제 1 측면 영역(28) 상의 지지 프레임(22a)에 의해 수직으로 지지된다. 압력차로 인한 힘은 측면 영역이 높은 부하 용량을 갖는 그루브(27)의 제 1 측면 영역(28)과 내부 디스크 섹션(9) 상에 주로 작용한다. 밸브의 드라이브 성분들에는 부하가 없으므로, 밸브는 큰 압력차를 견딜 수 있다.
한편, 도 5c에서 화살표로 나타내진 상대적인 초과 압력이 밸브 디스크(5)의 폐쇄 측면(6) 상에 존재하면, 외부 디스크 섹션(9)에 결합해제된 내부 디스크 섹션(10a)은, 내부 디스크 섹션(9a)과 조화되는 지지 프레임(22a)이 그루브(27)의 제 2 측면 영역(29)에 안착되어 밸브 하우징(1a)(도 5c 참조) 상에서 내부 디스크 섹션(10a)을 지지할 때까지 제 1 밸브 시트(4)로부터 이격된 수직 방향으로 제 1 측면 영역(28) 상에서 지지 프레임(22a)의 안착(resting)에 의해 결정된 위치로부터 이동된다.
도 6a 내지 도 8c에서, 제 1(도 6a, 6b, 6c), 제 2(도 7a, 7b, 7c) 및 제 3(도 8a, 8b, 8c)의 대안의 밀봉 링(7a, 7b, 7c)이 각각 개략적으로 도시된다. 도 6a, 7a, 8a는 중간 위치에서 밸브를 도시하는 반면에, 도 6b, 7b, 8b에서는 폐쇄 측면(6) 상에서 압력이 감소되는 경우의 밸브가 도시된다. 도 6c, 7c, 8c에서, 밸브는 폐쇄 측면(6) 상에서 압력이 초과하는 경우의 밸브가 도시된다. 이들 대안의 실시예들의 다수의 성분들이 상술한 제 1 실시예와 동일하고, 도 4a, 4b, 4c에 대 응하는 뷰가 사용되므로, 이전 도면들의 도면번호들이 사용될 것이다.
도 6a 내지 도 7c를 참조하면, 외부 디스크 섹션(9)은 내부 디스크 섹션(10)을 봉인하는 에지 영역에서의 폐쇄 측면(6)(도 4a 참조) 상에서, 내측으로 움직이고 대안의 제 1 밀봉 링(7a)(도 6a, 6b, 6c) 또는 대안의 제 2 밀봉 링(7b)(도 7a, 7b, 7c)이 존재하는 오목부(13)(도 2 참조)를 갖는다. 대안의 제 1 및 제 2 밀봉 링들(7a,7b)은 비순환형의 자유형 단면들(freeform cross-sections)을 갖는다. 도 1 내지 도 5c의 밀봉 링(7)과 같이, 제 1 또는 제 2 밀봉 링(7a 또는 7b)은 각각, 오목부(13)(도 2 참조)에서 제 1 밀봉 링(7a)(도 6a 내지 6c 참조) 또는 제 2 밀봉 링(7b)(도 7a 내지 7c 참조)을 유지하는 언더컷(14)(도 2 참조)을 형성함으로써, 제 1 밸브 시트(4)(도 2)에 수직인 방향으로 또는 중심축(18)(도 1 참조)에 평행한 방향으로 외부 디스크 섹션(9) 상에 고정된다. 폐쇄 형태에 의한 상기 고정에 부가하여, 접착력에 의해(예컨대, 경화에 의해 또는 임의의 다른 적절한 접착-결합 조인트에 의해) 대안의 제 1 밀봉 링(7a) 또는 대안의 제 2 밀봉 링(7b)을 고정하는 것이 가능하다.
도 8a 내지 도 8c의 대안의 제 3 밀봉 링(7c)은, 접착력만으로써, 즉 내부 디스크 섹션(10)을 봉인하는 외부 디스크 섹션(9a)의 원형의 안쪽 면 상에서 대안의 제 3 밀봉 링(7c)을 경화시킴으로써 외부 디스크 섹션(9a)의 폐쇄 측면(6)(도 2 참조)의 에지 영역에 고정된다. 도 1 내지 7c에 도시된 실시예들의 외부 디스크 섹션(9)과는 대조적으로, 도 8a 내지 8c의 외부 디스크 섹션(9a)의 오목부는, 대안의 제 3 밀봉 링이 주로 접착력에 의해 고정되도록, 제 1 밸브 시트(4)(도 2 참조)에 대해 수직 방향에서 또는 중심축(18)에 평행한 방향에서 임의의 언더컷을 포함하지 않는다.
물론, 밸브는 대안으로, 적어도 하나의 오프닝 및 밸브 디스크의 직사각형 다면 또는 다른 단면을 갖는 슬라이드 게이트 밸브의 형태로 설명될 수 있다. 한 측면 상에서 밀봉 링이 정지한 밸브 시트를 작동시키는 밸브를 설계하는 것도 가능하고, 내부 디스크 섹션을 지지하는 밸브 하우징의 영역이 동일한 측면 또는 대향하는 측면들에 위치되는 것도 가능하다.
본 발명은 단순하고 콤펙트한 설계를 가지며, 높은 압력 부하들에 견딜 수 있고 유지가 용이하며, 선택적으로 두 가지 측면 모두를 달성할 수 있는 밸브를 제공한다.

Claims (14)

  1. 흐름 경로(F)를 필수적으로 기밀 폐쇄(gastight closing)하기 위한 밸브로서,
    상기 흐름 경로(F)를 위한 제 1 오프닝(3) 및 상기 제 1 오프닝(3)을 둘러싸는 제 1 밸브 시트(4)를 가지며, 제 1 벽(2)을 갖는 밸브 하우징(1,1a),
    상기 제 1 밸브 시트(4)에 대응하는 밀봉 링(7,7a,7b,7c)이 배치된 폐쇄 측면(closing side: 6)을 갖는 밸브 디스크(5), 및
    적어도 하나의 드라이브(8)를 포함하고,
    상기 드라이브(8)에 의해,
    상기 밸브 디스크(5)는, 상기 흐름 경로(F)가 방해받지 않는 오프닝된 위치(A)로부터 상기 제 1 오프닝(3)의 단면 위에서 필수적으로 상기 제 1 밸브 시트(4)에 평행한 중간 위치(B)로, 피봇가능하거나(pivotable) 또는 변위가능하며,
    상기 밸브 디스크(5)와 상기 제 1 밸브 시트(4) 사이의 수직 거리는 상기 흐름 경로(F)가 상기 밀봉 링(7,7a,7b,7c)과 상기 제 1 밸브 시트(4) 사이의 축 밀봉 접촉(axially sealing contact)에 의해 필수적인으로 기밀 폐쇄되는 방식으로 상기 중간 위치(B)에서 폐쇄된 위치(C)로 감소될 수 있으며,
    상기 밸브 디스크(5)는,
    상기 드라이브(8)에 접속되고, 상기 제 1 밸브 시트(4)에 대해 수직 방향으로 상기 밀봉 링(7,7a,7b,7c)을 고정시키는 외부 디스크 섹션(9,9a), 및
    외부 주변 영역(11)을 가지며, 필수적으로 상기 제 1 밸브 시트(4)에 수직인 방향(Z)으로 상기 외부 디스크 섹션(9,9a)에 대해 이동가능하도록 실장되며, 외부 주변 영역(11)이 상기 밀봉 링(7,7a,7b,7c)에 의해 내부 밀봉(inner seal)으로 필수적으로 기밀 봉인되는(enclosed), 내부 디스크 섹션(10)을 가지며,
    상기 폐쇄된 위치(C)에서, 상기 밸브 디스크(5)에서의 압력차는 필수적으로 상기 내부 디스크 섹션(10) 상에서 작용하고, 상기 내부 디스크 섹션(10)은 수직으로 그리고 상기 밸브 하우징(1;1a) 상의 상기 외부 디스크 섹션(9,9a)으로부터 필수적으로 결합해제되는 방식으로 지지되는, 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 외부 디스크 섹션(9)은 상기 내부 디스크 섹션(10)을 둘러싸는 에지 영역(edge region) 내의 상기 폐쇄 측면(6) 상에서, 내측 주변에 있고, 상기 밀봉 링(7,7a,7b,7c)을 유지하고(hold), 상기 제 1 밸브 시트(4)에 대해 수직 방향으로 상기 밀봉 링(7,7a,7b,7c)을 고정시키는 언더컷(undercut:14)을 갖는 오목부(13)를 갖는, 밸브.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀봉 링(7c)은 접착력에 의해 상기 외부 디스크 섹션(9a)의 상기 폐쇄 측면(6)의 에지 영역에 고정되는, 밸브.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 밀봉 링(7c)은 경화(vulcanization)에 의해 상기 외부 디스크 섹션(9a)의 상기 폐쇄 측면(6)의 에지 영역에 고정되는, 밸브.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밀봉 링(7)은 O-링의 형태인, 밸브.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브 디스크(5)의 상기 폐쇄 측면(6) 상에서 상대적으로 감소하는 압력(25)의 경우에, 상기 내부 디스크 섹션(10)은 상기 밸브 하우징(1)의 상기 제 1 밸브 시트(4) 상에서 지지되는, 밸브.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브 하우징(1)은, 상기 제 1 벽(2)과 상기 제1 오프닝(3)에 대향하는 필수적으로 평행한 위치 및 떨어진 거리에서, 상기 흐름 경로(F)를 위한 제 2 오프닝(20) 및 상기 제 2 오프닝(20)을 둘러싸는 제 2 밸브 시트(21)를 갖는 제 2 벽(19)을 포함하며,
    상기 밸브 디스크(5)는 상기 제 1 오프닝(3)과 상기 제 2 오프닝(20) 사이에서 피봇가능하거나 변위가능하며,
    상기 내부 디스크 섹션(10)은 상기 밸브 디스크(5)의 폐쇄 측면(6) 상의 상 대적으로 초과 압력이 있는 폐쇄 위치(C)에서 상기 내부 디스크 섹션(10)이 상기 외부 디스크 섹션(9, 9a)에서 필수적으로 결합해제되어 상기 제 2 밸브 시트(21) 상에 수직으로 지지되도록 형성되는, 밸브.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 내부 디스크 섹션(10)은, 상기 제 2 밸브 시트(21)에 대해 수직으로 연장하는 지지 프레임(support frame: 22)을 가지며, 상기 지지 프레임(22)에 의해 상기 제 2 밸브 시트(21) 상에서의 지지가 상대적인 초과 압력(26)의 경우에 제공되는, 밸브.
  9. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브 하우징(1a) 내에 내부 측면 그루브(inner lateral groove: 27)를 포함하고,
    상기 측면 그루브(27)는,
    적어도 상기 내부 디스크 섹션(10)의 부분적인 섹션(특히 상기 내부 디스크 섹션(10) 상에 배열된 지지 프레임(22a))이 상기 폐쇄된 위치(C)에서 상기 측면 그루브(27)로 돌출(project)되고,
    상기 내부 디스크 섹션(10)은 상기 측면 그루브(27)의 측면 영역(28;29) 상의 상기 밸브 하우징(1a) 상에서 지지되는, 방식으로 형성되고 배열되는, 밸브.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    탄성 수단(resilient means), 특히 적어도 하나의 스프링(15)을 포함하고,
    상기 스프링(15)은, 상기 외부 디스크 섹션(9,9a)과 상기 내부 디스크 섹션(10) 사이에서 작용하고, 상기 밸브에서 동일한 상대적인 압력을 갖는 상기 폐쇄된 위치(C) 내의 상기 내부 디스크 섹션(10)이 상기 밸브 하우징(1;1a) 상에 안착되는 방식으로 배열되는, 밸브.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브 디스크(5)는 상기 폐쇄 측면(6)에 대향하는 측면(17) 상에서, 상기 제 1 오프닝(3)의 중심축(18) 가까이에 위치되는 중심 영역에서 상기 외부 디스크 섹션(9,9a)을 상기 드라이브(8)에 접속된 아암(23)에 접속시키는 스트럿 시스템(strut system:16)을 갖는, 밸브.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 밸브 시트(4) 상에서 상기 밀봉 링(7,7a,7b,7c)에 압력을 가할 때 상기 밸브 디스크(5)가 상기 제 1 밸브 시트(4)와 평행하게 정렬되는 방식으로 상기 아암(23)을 상기 스트럿 시스템(16)에 접속시키는 볼 조인트(ball joint:24)를 포함하는, 밸브.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브는 펜둘럼 밸브(pendulum valve)의 형태이고,
    상기 드라이브(8)는, 상기 밸브 디스크(5)가 필수적으로 상기 제 1 오프닝(3)의 단면 위에서 평행하게 피봇가능한 방식으로 형성되는, 밸브.
  14. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브는 슬라이드 게이트 밸브(slide gate valve)의 형태이고,
    상기 드라이브(8)는, 상기 밸브 디스크(5)가 필수적으로 상기 제 1 오프닝(3)의 단면 위에서 평행한 변위가능한 방식으로 형성되는, 밸브.
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