KR20070060683A

KR20070060683A - 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치 및방법

Info

Publication number: KR20070060683A
Application number: KR1020050120600A
Authority: KR
Inventors: 임성택; 박우윤
Original assignee: (주)에스티아이
Priority date: 2005-12-09
Filing date: 2005-12-09
Publication date: 2007-06-13
Also published as: KR100733768B1

Abstract

본 발명은 고체 기판의 표면 또는 구조물이 형성된 고체 기판의 상부에 박막 형태의 필름을 접착하는 인캡슐레이션 공정 및 장치에 관한 것으로, 특히 고체 기판 상부의 구조물의 형태에 따라 접착하는 필름의 패턴을 변경시켜야 하는 인캡슐레이션 공정 및 이를 수행하기 위한 인캡슐레이션 장치에 있어서, 필름패턴 변화에 따른 필름공급롤의 불필요한 교체를 막고, 접착필름을 보호하는 보호필름의 제거 및 회수에 필요한 복잡한 장치와 방법을 대체하기 위하여, 고체 기판의 표면 및 고체 기판 상부 구조물의 형태에 대응하여 필름의 특정 영역을 절단하여 특정 패턴을 형성시키고, 형성된 특정 패턴 이외의 영역에 필름표면 개질물질을 도포함으로써 보호필름 수거수단이 필요없는 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치 및 방법을 제공한다.

인캡슐레이션 장치, 필름패턴 절단수단, 필름패턴 마스킹수단, 필름패턴 형성수단

Description

필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR ENCAPSULATING SUBSTRATE WITH MEANS FOR PATTERNING FILM AND MEANS FOR CHANGING SURFACE PROPERTY OF FILM}

도 1은 인캡슐레이션용 필름의 적층구조를 보인 도면,

도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 인캡슐레이션 장치에 적용되는 필름패턴 형성수단의 정단면도,

도 3은 도 2의 필름패턴 형성수단의 사시도,

도 4는 도 3의 필름패턴 형성수단에 의한 필름 패터닝 상태를 보인 도면,

도 5는 도 4의 필름 패터닝 상태를 상세히 도시한 확대도,

도 6은 도 3의 필름패턴 형성수단에 의해 패터닝된 필름을 보인 도면,

도 7은 도 3의 필름패턴 형성수단에 의해 패터닝되고, 필름표면 마스킹수단 및 필름표면 개질수단에 의해 접착성질이 개질된 필름을 보인 도면,

도 8은 도 3의 필름패턴 형성수단을 적용한 인캡슐레이션 장치와 이를 이용한 인캡슐레이션 공정을 보인 도면.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10: 필름 11: 커버필름

13: 접착필름 15: 베이스필름

100: 필름공급 및 수거롤 챔버 110: 필름공급롤

120: 아이들롤 130: 커버필름수거롤

140, 230, 370: 게이트벨브 200: 패터닝 챔버

210: 필름패턴 형성수단 211: 바디

213: 필름패턴 마스킹수단 215: 필름패턴 절단수단

217: 필름표면 개질물질 분사구 219: 정렬용 마스크 형성수단

220: 필름표면 개질수단 300: 인캡슐레이션 챔버

310: 스테이지 320: 고체 기판

330: 핫롤 340: 핫롤 구동수단

350: 폐필름수거롤 360: 정렬용 비전시스템

본 발명은 고체 기판의 표면 또는 구조물이 형성된 고체 기판의 상부에 박막 형태의 필름을 접착하는 인캡슐레이션 공정 및 장치에 관한 것으로, 특히 고체 기판 상부의 구조물의 형태에 따라 접착하는 필름의 패턴을 변경시켜야 하는 인캡슐레이션 공정 및 이를 수행하기 위한 인캡슐레이션 장치에 있어서, 필름패턴 변화에 따른 필름공급롤의 불필요한 교체를 막고, 접착필름을 보호하는 보호필름의 제거 및 회수에 필요한 복잡한 장치와 방법을 대체하기 위하여, 고체 기판의 표면 및 고체 기판 상부 구조물의 형태에 대응하여 필름의 특정 영역을 절단하여 특정 패턴을 형성시키고, 형성된 특정 패턴 이외의 영역에 필름표면 개질물질을 도포함으로써 보호필름 수거수단이 필요없는 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 고체 기판의 표면 또는 구조물이 형성된 고체 기판의 상부에 필름을 접착시키는 인캡슐레이션(Encapsulation) 공정에 있어서, 유연성을 가지는 필름을 롤(Roll) 또는 유사의 도구를 사용하여 접착 시키는 경우에, 필름의 평면 패턴 구조 변경시 이에 대응하기 위하여 필름의 공급롤 자체를 교체하여야 하는 불편함이 발생하게 된다. 또한, 인캡슐레이션 공정에 사용되는 필름의 구조는 통상 3층구조로서 보호필름을 포함하는 경우가 일반적인데, 3층구조를 갖는 필름의 경우 접착필름의 보호필름을 인캡슐레이션 공정의 완료 이전 또는 이후에 제거, 회수하여야 하는 공정이 포함되어야 한다.

도 1은 인캡슐레이션용 필름의 적층구조를 보인 도면으로서, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이 3층구조로 형성된 필름을 고체 기판에 접착하는 경우 필름(10)은 통상적으로 베이스필름(15), 접착필름(11), 커버필름(13)의 구조를 가진다. 상기 3층구조의 필름(10)은 특정 패턴 모양으로만 접착되도록 하기 위해 도 2의 (e)에 표시되는 바와 같이 패턴(A1, A2, A3)을 형성하게 된다. 도 1의 (e)와 같은 패턴을 형성하기 위하여, 베이스필름(15)의 표면에 접착필름(11)이 형성되어 있고 접착필 름(11)의 표면에 커버필름(13)이 형성되어 있는 도 1의 (a)와 같은 3층구조의 필름(10)에서, 필름패턴 절단수단을 이용하여 도 1의 (b)와 같은 형태의 패턴을 형성하게 된다. 절단된 필름(10)은 고체 기판의 표면에 접착필름(11)을 접착시키기 위해 접착필름(11)의 특정 영역(A1, A2, A3)을 보호하는 커버필름(13)을 일부 제거하여 도 1의 (c) 또는 (d)와 같은 형태를 지니도록 할 필요가 있다.

도 1의 (c)의 형태로서 고체 기판의 표면에 접착필름(11)의 특정 영역(A1, A2, A3)을 접착하는 경우 커버필름(13)의 소정 영역(NB1, NB2) 및 접착필름(11)의 비접착영역(NA1, NA2)이 제거된 상태에서 접착 공정이 진행되어야 한다. 또한, 도 1의 (d)의 형태로서 고체 기판의 표면에 접착필름(11)의 특정 영역(A1, A2, A3)을 접착하는 경우 소정 영역(B1, B2, B3)의 커버필름(13)을 제거하고, 이와 더불어 추가로 접착필름(11)의 비접착영역(NA1, NA2)을 제거하여야 한다.

상술한 바와 같이, 종래기술에 따라 고체 기판의 표면에 특정 패턴의 접착필름을 접착하기 위해서는 3층구조를 갖는 필름의 특성상 커버필름 및 비접착영역의 접착필름을 제거 및 수거하기 위한 다수의 복잡한 공정과 추가적으로 베이스필름의 수거공정이 수반되어야 한다. 따라서 베이스필름을 제외한 부분의 필름 수거공정은 복잡한 구조의 수단을 필요로 하며 필름 수거수단이 작동하는 과정에서 접착필름에 손상이 가해질 수도 있다. 또한, 2층구조를 갖는 필름의 경우에도 접착필름(11)의 비접착영역(NA1, NA2)의 접착필름을 제거한 상태에서 접착공정을 수행하여야 하므로, 불필요한 영역의 필름을 용이하게 제거하고 수거함으로써 신속하고 안정된 인캡슐레이션 공정이 이루어질 수 있도록 하는 필름 수거수단이 반드시 필요하다.

뿐만 아니라, 필름을 고체 기판에 접착하는 장치에 있어서, 고체 기판의 하부 기판 또는 기판 상부 구조물의 형태에 따라 필름의 평면 형상을 변화시켜야 할 필요가 있으므로, 요구되는 필름의 평면 형상에 대응하여 필름 패턴을 신속하고 간편하게 변경할 수 있는 필름패턴 형성수단이 절실히 요망된다.

따라서 상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 고체 기판의 표면 및 기판 상부 구조물의 형태에 따라 특정 패턴의 접착필름을 인캡슐레이션 함에 있어서, 보호필름 수거수단이 필요없이 기판을 인캡슐레이션 할 수 있는 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치 및 방법을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 고체 기판의 표면 및 기판 상부 구조물의 형태에 따라 특정 패턴의 접착필름을 인캡슐레이션 함에 있어서, 패턴의 변경이 요구되는 경우, 패턴의 변화에 대응할 수 있는 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치 및 방법을 제공하는데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 고체 기판 상부의 구조물의 형태에 따라 접착하는 필름의 패턴을 변경시켜야 하는 인캡슐레이션 공정 및 이를 수행하기 위한 인캡슐레이션 장치에 있어서, 필름패턴 변화에 따른 필름공급롤의 불필요한 교체를 막고, 접착필름을 보호하는 보호필름의 제거 및 회수에 필요한 복 잡한 장치와 방법을 대체하기 위하여, 고체 기판의 표면 및 고체 기판 상부 구조물의 형태에 대응하여 필름의 특정 영역을 절단하여 특정 패턴을 형성시키고, 형성된 특정 패턴 이외의 영역에 필름표면 개질물질을 도포함으로써 보호필름 수거수단이 필요없는 인캡슐레이션 장치 및 방법을 제공하는데 특징이 있다.

본 발명에 따른 인캡슐레이션 장치 및 방법은 인캡슐레이션 공정 중에서 고체 기판에 여러 형태의 패턴을 가진 필름을 접합하고자 할 때, 패턴의 변화에 용이하게 대응할 수 있도록 하기 위하여, 무패턴 접착필름을 제공하고, 원하는 형상의 패턴은 패터닝 챔버 내부의 필름패턴 형성수단을 교체하여 사용하는데 그 특징이 있다.

또한, 본 발명에 따른 필름패턴 절단수단 및 필름패턴 마스킹수단으로 이루어지는 필름패턴 형성수단은 필름의 패턴 형상을 결정함과 아울러 동시에 필름에서 패터닝되지 않은 부위의 접착성분의 성질을 변경하는 마스크의 기능을 수행함에 그 특징이 있다. 필름패턴 형성수단의 마스크 기능은 필름 절단수단의 하부에 장착되는 스퍼터(Sputter)나 이온 임플랜터(Ion Implanter)등의 필름표면 개질수단을 이용하여 필름 절단수단의 필름표면 개질물질 분사구를 통해 접착필름의 비접착 부위에 알루미늄(Al)이나 구리(Cu) 등의 금속을 분사함으로써 접착 성분 위에 이물질을 증착하거나 접착 성분 자체를 개질하여, 인캡슐레이션에 사용되지 않는 접착필름의 소정 부위에만 접착성분을 제거한다. 이에 따라, 필름패턴 절단수단이 고체 기판에 접착되어 인캡슐레이션이 이루어지는 부위를 마스킹 함으로써, 이 외의 다른 부위는 접착 성분이 개질되어 핫롤 등의 수단을 이용한 접합 공정에서 고체 기판에 전 사되지 않는다.

또한, 본 발명에 따른 필름패턴 형성수단은 바디의 각 모서리에 정렬용 마스크 형성수단을 구비하여 고체 기판에 패턴이 형성된 접착필름을 인캡슐레이션 할 때, 그 위치를 정밀하게 정렬하는 기능을 수행한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 그리고 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 인캡슐레이션 장치에 적용되는 필름패턴 형성수단의 정단면도이고, 도 3은 도 2의 필름패턴 형성수단의 사시도이다. 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 필름패턴 형성수단(210)은 판형의 바디(211)와, 바디(211) 상에 소정 패턴을 형성하며 배열되는 필름패턴 마스킹수단(213)과, 상기 필름패턴 마스킹수단(213)의 모서리에 형성되어 필름(10)을 소정 패턴으로 절단하는 필름패턴 절단수단(215)과, 상기 필름패턴 마스킹수단(213)들 사이에 형성되는 필름표면 개질물질 분사구(217) 및 고체 기판의 인캡슐레이션 정렬을 위한 정렬용 마스크 형성수단(219)으로 구성된다.

도 4는 도 3의 필름패턴 형성수단에 의한 필름 패터닝 상태를 보인 도면이고, 도 5는 도 4의 필름 패터닝 상태를 상세히 도시한 확대도이다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 필름패턴 형성수단(210)은 상부에 위치하는 필 름(10)을 상하 왕복운동에 의해 가압하여 필름패턴 절단수단(215)에 의해 절단한다. 이때, 필름패턴 형성수단(210)은 소정 거리만큼 이동하여 필름(10)을 절단할 수 있도록 액추에이터(미도시함) 등에 의해 이동가압력을 제공받는다. 필름패턴 절단수단(215)은 필름(10)을 가압하여 커버필름(13)과 접착필름(11)을 절단하는데, 베이스필름(15)을 일부 절단하여 커버필름(13)과 접착필름(11)이 완전히 절단되도록 함이 바람직하다. 또한, 필름(10)은 필름패턴 형성수단(210)의 바디(211)의 일측에 구비되는 정렬용 마스크 형성수단(219)에 의해 해당 부위의 커버필름(13)과 접착필름(11)이 절단된다.

도 6은 도 3의 필름패턴 형성수단에 의해 패터닝된 필름을 보인 도면이고, 도 7은 도 3의 필름패턴 형성수단에 의해 패터닝되고, 필름표면 마스킹수단 및 필름표면 개질수단에 의해 접착성질이 개질된 필름을 보인 도면이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 필름패턴 절단수단(215)에 의해 필름패턴 마스킹수단(213)의 형상을 따라 고체 기판에 인캡슐레이션 될 소정 패턴(11a)과 정렬 패턴(11c)이 형성된다. 따라서 고체 기판에 인캡슐레이션 될 패턴 변경 시, 변경되는 패턴에 대응하는 형태로 필름패턴 마스킹수단(213)이 형성된 필름패턴 형성수단(210)을 이용하여 용이하게 변경할 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같이 필름(10)은 소정 패턴으로 절단된 상태에서 도 7에 도시된 바와 같이, 필름표면 개질물질 분사구(217)를 통해 필름표면 개질수단으로부터 분사되는 필름표면 개질물질에 의해 접착영역 이외의 필름표면이 개질된다. 이때, 고체 기판에 인캡슐레이션 될 접착영역(11a)은 필름패턴 마스킹수단(213)에 의해 필름표면 개질물질의 유입을 차단한다.

따라서 도 2 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 필름패턴 형성수단(210)은 고체 기판에 인캡슐레이션 될 필름(10)의 패턴을 절단함과 동시에 접착될 영역을 제외한 비접착영역에 필름표면 개질물질을 증착시킴으로써 비접착영역의 접착성질을 제거한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 필름패턴 형성수단 및 이를 구비한 인캡슐레이션 장치는 하나의 고체 기판에서 다수개의 패널이 생산되는 경우에 보호필름 수거수단이 필요없이 소정 패턴에 따라 기판을 인캡슐레이션 할 수 있으며, 패턴의 변경이 요구되는 경우에도 필름패턴 형성수단을 교체함으로써 패턴의 변화에 신속하게 대응할 수 있다.

도 8은 도 3의 필름패턴 형성수단을 적용한 인캡슐레이션 장치와 이를 이용한 인캡슐레이션 공정을 보인 도면으로서, 이하 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명에 따른 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치 및 이를 이용한 기판 인캡슐레이션 절차를 상세히 설명한다.

도시된 바와 같이 본 발명에 따른 기판 인캡슐레이션 장치는 크게 필름공급 및 수거롤 챔버(100)와, 패터닝 챔버(200)와, 인캡슐레이션 챔버(300)로 구성되며, 각 챔버와 챔버 사이 및 인캡슐레이션 챔버(300)와 외부는 게이트 밸브(140, 230, 370)에 의해 연결된다. 최초 필름공급롤(110)에 감겨있는 인캡슐레이션용 필름(10)은 각 공정 라인을 따라 배치되어 있는 다수의 아이들 롤 및 필름이송롤(미도시함)을 통해 필름패턴 형성수단(210) 및 스테이지(310) 상에 로딩되어 있는 고체 기판(320)과 핫롤(230)의 사이를 거쳐 폐필름수거롤(350)에서 최종 수거된다.

필름(10)은 접착필름(11)을 사이에 두고 커버필름(13)과 베이스필름(15)이 샌드위치되어 있는 3층구조를 가지므로, 커버필름(13)은 필름패턴 형성수단(210)에 공급되기 전에 분리되어 아이들롤(120)을 거쳐 커버필름수거롤(120)에 수거된다. 커버필름(13)이 제거된 필름(10)은 필름패턴 형성수단(210)에서 패턴이 형성되고, 필름표면이 개질된 후 고체 기판(320) 상에 제공된다.

고체 기판(320)에 제공된 필름(10)은 필름패턴 형성수단(210)에 의해 소정 패턴으로 절단되고 필름패턴 형성수단(210)의 하부에 구비되는 필름표면 개질수단(220)에서 분사되는 필름표면 개질물질에 의해 접착필름(11)의 미접착영역에 해당하는 표면의 접착력이 제거된다.

패턴형성 및 미접착영역에 해당하는 표면의 접착력이 제거된 필름(10)은 고체 기판(320)의 표면에 핫롤(330) 및 핫롤구동수단(340) 등에 의해 인캡슐레이션 되고, 고체 기판(320)에 접착되지 않는 영역을 갖는 접착필름(11) 및 베이스필름(15)을 포함하는 최종 필름(10)은 베이스필름수거롤(350)에 수거된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치 및 방법은 필름패턴 형성수단에 의해 필름에 패턴을 형성하고, 형성된 패턴 이외의 영역의 접착력을 제거함으로써 패턴이 형성된 필름을 고체 기판 상면에 성공적으로 인캡슐레이션 할 수 있으며, 패턴 형상의 변화에 따라서 필름공급롤의 교체 없이 필름에 대응하는 패턴을 갖는 필름패턴 형성수단을 교체하여 요구되는 패턴을 신속하게 형성시킬 수 있으므로 작업자의 생산계획에 따라 연속 생산성과 패턴 변화 대응력을 모두 확보할 수 있다.

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예를 들어 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구의 범위뿐 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 다층구조의 필름을 절단하여 고체 기판의 표면에 특정 패턴의 접착필름을 접착하기 위해서 요구되는 커버필름 및 비접착영역의 접착필름을 제거 및 수거하기 위한 장치 및 공정을 개선하여 불필요한 영역의 필름을 용이하게 제거하고 수거함으로써 신속하고 안정된 인캡슐레이션 공정이 이루어질 수 있도록 하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 고체 기판의 하부 기판 또는 기판 상부 구조물의 형태에 따라 요구되는 필름의 평면 형상에 대응하여 필름 패턴을 신속하고 간편하게 변경할 수 있어, 패턴의 변화에 신속하게 대응할 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 작업자의 생산계획에 따라 연속 생산성과 패턴 변화 대응력을 모두 확보할 수 있는 효과가 있다.

Claims

고체 기판의 표면에 박막 형태의 필름을 접착하여 상기 고체 기판 및 상기 고체 기판 상부의 구조물을 인캡슐레이션 하는 인캡슐레이션 장치에 있어서,

상기 인캡슐레이션을 수행하는 라인 상에 임의의 패턴이 형성되지 않은 상기 필름을 공급하는 필름공급롤과;

상기 필름공급롤로부터 공급된 상기 필름에서 커버필름을 분리하여 수거하는 커버필름수거롤과;

상기 커버필름이 분리된 필름을 공급받아 상기 인캡슐레이션 패턴에 대응하여 패턴 형태로 절단하고, 상기 패턴 형태를 제외한 나머지 영역에 필름표면 개질수단으로부터 분사되는 필름표면 개질물질을 증착하여 접착력을 제거하는 필름패턴 형성수단과;

상기 고체 기판의 표면에 상기 패턴이 형성된 필름을 인캡슐레이션 하는 핫롤 및 핫롤구동수단과;

상기 고체 기판의 표면에 인캡슐레이션 된 필름을 제외한 나머지 폐필름을 수거하는 폐필름수거롤;로 구성됨을 특징으로 하는 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치.
제 1항에 있어서,

상기 필름패턴 형성수단을 가압하여 상기 필름을 절단하기 위한 절단가압력을 제공하는 이동가압수단;을 더 구비함을 특징으로 하는 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치.
제 2항에 있어서, 상기 필름패턴 형성수단은,

판형의 바디와,

상기 바디 상에 소정 패턴을 형성하며 배열되는 필름패턴 마스킹수단과,

상기 필름패턴 마스킹수단의 모서리에 형성되어 상기 필름을 소정 패턴으로 절단하는 필름패턴 절단수단과,

상기 필름패턴 마스킹수단들 사이에 형성되어, 상기 필름표면 개질수단에서 분사되는 상기 필름표면 개질물질이 상기 필름에 증착되도록 하는 필름표면 개질물질 분사구로 구성됨을 특징으로 하는 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치.
제 3항에 있어서, 상기 필름패턴 형성수단은,

상기 고체 기판과 상기 필름의 인캡슐레이션 정렬을 위한 정렬용 마스크 형성수단을 더 구비함을 특징으로 하는 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치.
제 3항에 있어서, 상기 필름표면 개질수단은,

상기 필름패턴 절단수단이 상기 필름을 절단하기 위해 가압한 후, 상기 필름표면 개질물질 분사구를 통해 상기 필름표면 개질물질을 분사시켜, 상기 인캡슐레이션 패턴에 대응하여 패턴 형태로 절단된 필름 영역에 상기 필름표면 개질물질이 유입되지 않도록 함을 특징으로 하는 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치.
고체 기판의 표면에 박막 형태의 필름을 접착하여 상기 고체 기판 및 상기 고체 기판 상부의 구조물을 인캡슐레이션 하는 인캡슐레이션 장치를 이용한 인캡슐레이션 방법에 있어서,

상기 인캡슐레이션 공정을 수행하는 라인 상에 상기 필름을 공급하는 필름공급롤과, 상기 필름공급롤로부터 상기 필름을 공급받아 상기 고체 기판의 표면에 인캡슐레이션 하는 핫롤 등의 사이에 위치하는 공정 라인 상에 필름패턴 형성수단을 구비하여, 상기 필름의 일부분을 상기 필름패턴 형성수단으로 절단하여 소정 형태의 패턴을 형성한 후, 상기 형성된 패턴 형태를 제외한 나머지 영역에 필름표면 개질물질을 증착하여 접착력을 제거함으로써 상기 고체 기판의 표면에 상기 소정 형태로 패턴이 형성된 필름만을 인캡슐레이션 하는 것을 특징으로 하는 기판 인캡슐레이션 방법.
고체 기판의 표면에 박막 형태의 필름을 접착하여 상기 고체 기판 및 상기 고체 기판 상부의 구조물을 인캡슐레이션 하는 인캡슐레이션 장치를 이용한 인캡슐레이션 방법에 있어서,

상기 인캡슐레이션 장치에 패턴이 형성되지 않은 롤 형태의 필름을 공급하고, 최종 폐필름 수거수단까지 상기 필름을 이동시켜 상기 기판 인캡슐레이션 라인 상에 상기 필름을 장착하는 단계와;

상기 필름으로부터 커버필름을 분리하여 상기 커버필름의 수거수단에 수거하는 단계와;

상기 커버필름이 제거된 필름을 소정 패턴 형태의 배열을 갖는 필름패턴 절단수단으로 가압한 후 상기 소정 패턴 이외의 필름에 필름표면 개질물질을 분사하고 상기 소정 패턴 형태로 절단하여, 필름패턴 절단 및 필름표면 개질을 동시에 수행하는 단계와;

상기 패턴이 형성되고, 필름표면이 개질된 상기 필름을 상기 고체 기판 상에 제공하는 단계와;

상기 필름을 상기 고체 기판의 표면에 인캡슐레이션 하는 단계와;

상기 고체 기판에 접착되지 않은 필름을 수거하는 단계;로 이루어짐을 특징으로 하는 기판 인캡슐레이션 방법.
제 7항에 있어서,

상기 필름패턴 절단 및 필름표면 개질 수행 단계에서,

상기 고체 기판과 상기 필름의 인캡슐레이션 정렬을 위한 정렬용 마스크를 더 형성하고,

상기 필름을 상기 고체 기판의 표면에 인캡슐레이션 하는 단계 이전에,

상기 정렬용 마스크에 의해 상기 고체 기판과 상기 필름의 인캡슐레이션 정렬을 수행하는 단계;를 더 구비함을 특징으로 하는 기판 인캡슐레이션 방법.