KR20070057307A - 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치 - Google Patents

표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표시 패널이 수납되는 카세트의 롤러 간격을 정확하고 간편하게 조정할 수 있는 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치를 제공하는데 목적이 있다.
이를 위하여, 본 발명은 개구부가 마련된 프레임과; 상기 프레임의 개구부에 위치하여 상기 프레임과 결합된 상판과; 상기 상판의 양측부에 대칭적으로 배치된 한 쌍의 측면판과; 상기 한 쌍의 측면판 각각과 결합되고 상기 상판의 하부면에 대칭적으로 이동 가능하게 장착되어 상기 측면판의 간격을 해당 표시 패널의 크기에 따라 조정한 다음 상기 상판에 고정되는 한 쌍의 고정판을 구비하는 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치를 개시한다.
액정 패널, 마감 실, 카세트, 센터링 지그, 롤러, 간격 조절

Description

표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치{APPARATUS OF CONTROLLING LOLLER WIDTH IN CASSETTE FOR INSERTING DISLLAY PANEL}
도 1은 본 발명에 따른 롤러 간격 조정 장치가 적용되어질 액정 표시 패널의 마감 실 전용 카세트를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 롤러 간격 조정 장치를 도시한 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 롤러 간격 조정 장치의 평면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 롤러 간격 조정 장치를 이용한 마감 실 전용 카세트의 롤러 간격 조정 방법을 설명하기 위한 정면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>
10 : 마감 실 카세트 12 : 프레임
14, 16, 18: 롤러 15 : 가이드 홈
20, 22 : 지지 부재 22A : 수평부
22B : 수직부 24, 25, 26, 27 : 고정 부재
28, 30 : 샤프트 32 : 가이드 홀
34 : 고정 볼트 50 : 센터링 지그
52 : 프레임 53, 64, 66 : 개구부
54 : 상판 56 : 측면판
58 : 고정판 60 : 손잡이
62, 63 : 결합홀 68, 70 : 고정핀
본 발명은 액정 표시 패널의 제조 장비에 관한 것으로, 특히 액정 패널의 마감 실 전용 카세트의 롤러 간격을 액정 패널의 크기에 따라 간편하게 조정할 수 있는 액정 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 전계를 이용하여 유전 이방성을 갖는 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정 표시 장치는 화소 매트릭스를 통해 화상을 표시하는 액정 표시 패널(이하, 액정 패널)과, 그 액정 패널을 구동하는 구동 회로와, 액정 패널에 광을 공급하는 백라이트 유닛을 구비한다.
액정 패널은 칼라 필터 어레이가 형성된 상판과, 박막 트랜지스터와 다수의 신호 라인을 포함하는 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 하판이 셀갭을 사이에 두고 합착되고, 상하판 사이의 셀갭에 액정이 주입되어 밀봉된 구조를 갖는다.
구체적으로, 별도의 공정으로 칼라 필터 어레이가 형성된 상판과 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 하판 각각에 배향막을 도포하고 러빙한다. 이어서, 상하판 중 어느 한 기판 상에 실 라인(Seal Line) 및 쇼트 도트를 형성하고 다른 기판 상에 스페이서를 산포한 다음 두 기판을 정렬하여 합착한 후 각각의 액정 패널로 절단 분리한다. 그 다음, 각 액정 패널의 액정 주입구를 통해 액정을 주입한 다음 액정 주입구를 마감 실(End Seal)로 밀봉하고 검사 공정으로 양품만을 선별하여 편광판을 부착함으로써 액정 패널이 완성된다.
이러한 액정 패널의 제조 공정에서 액정 주입구를 밀봉하는 마감 실 공정은 액정이 주입된 다수의 액정 패널을 액정 주입구가 상부에 위치하도록 카세트에 수직 수납한 다음 일괄적으로 수행되는 것이 보편적이다. 마감 실 전용 카세트에는 액정 패널의 양측부가 삽입될 수 있는 가이드 홀이 형성된 롤러 쌍이 액정 패널의 크기에 대응하는 간격을 두고 장착되는데, 롤러 쌍은 액정 패널의 양측부를 안정적으로 고정시킬 수 있도록 다층 구조로 카세트에 장착된다. 이러한 마감 실 전용 카세트는 액정 패널이 수납되기 이전에 센터링 지그(Centering Jig)를 이용하여 롤러 쌍의 간격을 액정 패널의 크기에 적합하게 조정하는 과정을 거치게 된다. 센터링 지그는 액정 패널의 크기에 대응하는 측면판을 장착한 다음 카세트 내로 삽입되어 그 측면판을 사이에 두고 롤러 쌍의 간격을 조정할 수 있게 한다.
그런데, 종래의 센터링 지그는 액정 패널의 크기별로 측면판을 교체해야 하는 번거로움이 있고, 측면판이 볼트 체결 방식으로 장착됨에 따라 볼트 체결 홀의 차이에 기인한 유동성이 발생하여 롤러 쌍의 간격이 정확하게 조정되지 않는 경우가 빈번하게 발생하고 있다. 또한 종래의 센터링 지그는 측면판의 양측부가 롤러 쌍의 가이드 홀에 삽입된 상태로 롤러 쌍의 간격이 조정되므로 롤러 쌍의 간격을 고정한 후에 센터링 지그를 빼내는데 상당한 힘이 요구되고, 이때 무리한 힘이 가 해지는 경우 롤러 쌍의 간격이 가변하게 되는 단점이 있다. 이로 인하여 롤러 쌍의 간격이 정확하게 조정되지 않으면 액정 패널의 탈착시 롤러 쌍에 걸려 액정 패널이 파손되거나, 액정 패널이 롤러 쌍에 의해 고정되지 않고 이탈되는 치명적인 문제점이 발생하게 된다.
따라서, 본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 표시 패널이 수납되는 카세트의 롤러 간격을 정확하고 간편하게 조정할 수 있는 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치를 제공하는데 목적이 있다.
이를 위하여, 본 발명에 따른 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치는 개구부가 마련된 프레임과; 상기 프레임의 개구부에 위치하여 상기 프레임과 결합된 상판과; 상기 상판의 양측부에 대칭적으로 배치된 한 쌍의 측면판과; 상기 한 쌍의 측면판 각각과 결합되고 상기 상판의 하부면에 대칭적으로 이동 가능하게 장착되어 상기 측면판의 간격을 해당 표시 패널의 크기에 따라 조정한 다음 상기 상판에 고정되는 한 쌍의 고정판을 구비한다.
그리고, 본 발명의 롤러 간격 조정 장치는 방법상기 상판에서 상기 한 쌍의 고정판과 중첩되는 양측부에 상기 표시 패널의 크기에 따른 간격을 두고 대칭적으로 형성된 다수의 제1 및 제2 결합홀과; 상기 한 쌍의 고정판에 대칭적으로 형성되 고, 상기 다수의 제1 결합홀 중 어느 하나와 정렬되어질 다수의 제3 결합홀 및 상기 다수의 제2 결합홀 중 어느 하나와 정렬되어질 다수의 제4 결합홀과; 정렬된 제1 및 제3 결합홀을 경유하여 삽입 고정된 제1 고정핀 및 정렬된 제2 및 제4 결합홀을 경유하여 삽입 고정된 제2 고정핀을 추가로 구비한다.
상기 제1 및 제2 고정핀은 금속재질로 형성되고, 본 발명의 롤러 간격 조정 장치는 상기 제1 내지 제4 결합홀 주변에 형성되어 자력으로 상기 제1 및 제2 고정핀의 고정력이 증가되게 하는 자성 부재를 추가로 구비한다.
또한, 본 발명의 롤러 간격 조정 장치는 상기 상판 및 측면판에 무게 감소를 위해 형성된 다수의 개구부와, 상기 프레임 하단의 모서리부에 각각 형성되어 롤러 간격 조정을 위한 카세트에 수납시 그 카세트의 모서리부에 삽입 고정되는 고정핀을 추가로 구비한다.
상기 고정판에 의해 간격이 조정되어 고정된 상기 한 쌍의 측면판은 롤러 간격 조정을 위한 카세트의 각 롤러의 측면과 접촉하고 그 위치에서 각 롤러의 위치가 결정되게 한다.
상기 본 발명의 기술적 과제 이외에 본 발명의 다른 기술적 과제 및 이점들은 첨부한 도면들을 참조한 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 도 1 내지 도 4를 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 롤러 간격 조정 장치가 적용되어질 마감 실 전용 카세트를 도시한 사시도이다.
도 1에 도시된 마감 실 전용 카세트는 다수의 액정 패널이 수납되어질 수납 공간을 마련한 카세트 프레임(12)과, 카세트 프레임(12) 내에서 상하 일정 간격을 두고 장착된 다수의 롤러 쌍(14, 16, 18)과, 다수의 롤러 쌍(14, 15, 16)을 지지하는 다수의 지지 부재(20, 22)와, 다수의 지지 부재(20, 22)가 수평 방향으로 이동하도록 안내하는 가이드 홀(32)이 형성된 다수의 고정 부재(24, 25, 26, 27)와, 고정 부재(24, 25, 26, 27)의 양측단이 삽입되어 프레임(12)에 고정된 샤프트(28, 30)를 구비한다.
카세트 프레임(12)은 내부에 수납 공간이 마련된 직육면체로 형성되고, 상하측벽과 전후측벽이 외곽 틀만 잔존하도록 개구되고, 좌우측벽도 무게 절감을 위해 부분적으로 개구된 형상을 갖는다. 카세트 프레임(12)의 전후측벽 개구부 각각에는 제1 샤프트 썅(28)과 제2 샤프트 썅(30)이 대칭적으로 장착되어 고정된다. 제1 샤프트 쌍(28)은 전측벽에 위치하는 제1 및 제3 고정 부재(24, 26) 각각의 양측단을 관통하여 프레임(12)과 고정된다. 제2 샤프트 쌍(28)은 전측벽의 제1 샤프트 쌍(30)과 대칭적으로 후측벽에 위치하는 제2 및 제4 고정 부재(25, 27) 각각의 양측단을 관통하여 프레임(12)과 고정된다. 제1 및 제3 고정 부재(24, 26)는 전측벽의 제1 샤프트 쌍(28)에 삽입되어 일정 간격으로 고정되고, 제2 및 제4 고정 부재(25, 27)는 후측벽의 제2 샤프트 쌍(30)에 삽입되어 제1 및 제3 고정 부재(24, 26)와 대칭되어 고정된다.
액정 패널의 양측부 삽입되는 가이드 홀(15)이 대칭적으로 형성된 롤러 쌍 (14, 16, 18)은 상하로 일정 간격을 두고 3층 구조로 배치된다. 최하단에 위치하는 제1 롤러 쌍(14)은 그의 양끝단부가 2쌍의 제1 지지 부재(20) 각각에 장착되어 지지된다. 제1 롤러 쌍(14)의 전단부에 장착된 한 쌍의 제1 지지 부재(20)는 제1 고정 부재(24)의 양측에 다수의 고정 볼트(34)를 통해 대칭적으로 고정된다. 제1 롤러 쌍(14)의 후단부에 장착된 나머지 한 쌍의 제1 지지 부재(20)는 제2 고정 부재(25)의 양측에 다수의 고정 볼트(34)를 통해 대칭적으로 고정된다. 중간에 위치하는 제2 롤러 쌍(16)은 그의 양끝단부가 2쌍의 제2 지지 부재(22) 중 수평부(22A) 각각에 장착되어 지지되고, 최상단에 위치하는 제3 롤러 쌍(16)은 그의 양끝단부가 2쌍의 제2 지지 부재(22) 중 수평부(22A)로부터 위쪽으로 신장된 수직부(22B) 각각에 장착되어 지지된다. 제2 및 제3 롤러 쌍(16, 18)의 전단부에 장착된 한 쌍의 제2 지지 부재(22)는 그의 수평부(22A)가 제3 고정 부재(26)의 양측에 다수의 고정 볼트(34)를 통해 대칭적으로 고정된다. 제2 및 제3 롤러 쌍(16, 18)의 후단부에 장착된 나머지 한 쌍의 제2 지지 부재(22)는 그의 수평부(22A)가 제4 고정 부재(27)의 양측에 다수의 고정 볼트(34)를 통해 대칭적으로 고정된다.
여기서, 다수의 고정 볼트(34) 각각은 제1 내지 제4 고정 부재(24, 25, 26, 27) 각각의 양측부에 대칭적으로 형성된 가이드 홀(32)을 경유하여 그 뒤에 위치하는 제1 및 제2 지지 부재(20, 22)의 결합홀과 결합된다. 또한, 다수의 고정 볼트(34)는 제1 및 제2 지지 부재(20, 22)와 결합된 상태에서 제1 내지 제4 고정 부재(24, 25, 26, 27) 각각의 양측부에 대칭적으로 형성된 가이드 홀(32)을 따라 수평 방향으로 이동 가능하게 풀려지거나 유동되지 않도록 조여지게 된다. 이에 따라, 풀려진 고정 볼트(34)가 가이드 홀(32)을 따라 이동하여 제1 및 제2 지지 부재(20, 22)에 장착된 제1 내지 제3 롤러 쌍(14, 16, 18)의 간격을 조정하게 되고, 간격 조정이 완료되면 고정 볼트(34)는 가이드 홀(32)을 따라 유동되지 않도록 조여져서 고정된다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 마감 실 카세트의 롤러 간격 조정 장치, 즉 센터링 지그(50)를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 센터링 지그(50)의 상부에서 바라본 평면도이다.
도 2에 도시된 센터링 지그(50)는 도 1에 도시된 마감 실 카세트(10)의 상측 개구부를 통해 삽입되어 제1 내지 제3 롤러 쌍(14, 16, 18)의 간격을 정확하게 조정할 수 있게 한다. 이를 위하여, 도 2에 도시된 센터링 지그(50)는 사각 프레임(52)과, 프레임(52)의 개구부(53) 중앙에 장착된 상판(54)과, 상판(54) 아래의 양측에 대칭적으로 배치된 한 쌍의 측면판(56)과, 각 측면판(56)과 결합되어 상판(54)의 하부면에 대칭적으로 유동 가능하게 장착된 고정판(58)을 구비한다.
프레임(52)은 무게 감소를 위하여 외곽부의 틀만 잔존하도록 개구부(53)가 형성된 구조를 갖는다. 상판(54)은 프레임(52)의 개구부(53) 중앙에 위치하여 프레임(52)과 일체화된 형태로 형성되고, 프레임(52) 보다는 두껍게 형성된다. 상판(54)에도 무게 감소를 위하여 다수의 개구부(64)가 형성되고, 측면판(56)에도 다수의 개구부(66)가 형성된다. 또한 상판(54)의 좌우측부에는 다수의 제1 결합홀(62)과 다수의 제2 결합홀(63)은 좌우 대칭적으로 다열로 형성된다. 예를 들면, 상판(54)의 좌측에는 제1 내지 제3 열의 제1 결합홀들(62)이, 우측부에는 제1 결합홀 (62)과 좌우 대칭되는 제1 내지 제3 열의 제3 결합홀들(63) 형성된다. 좌우 대칭되는 제1 및 제2 결합홀(62, 63)의 간격은 액정 패널의 크기에 따라 결정된 것이다.
한 쌍의 측면판(56)은 상판(54) 하부의 양측부에 대칭적으로 위치하고, 측면판(56)과 결합된 한 쌍의 고정판(58)이 상판(54)의 하부면에서 좌우 대칭적으로 유동 가능하게 장착되어 한 쌍의 측면판(56) 간격을 조정할 수 있게 한다. 예를 들면, 상판(54)의 하부면과 고정판(58)의 상부면 각각에 상호 교합되는 가이드 돌기와 가이드 홈이 각각 형성된 경우 고정판(58)이 상판(54)의 가이드 돌기를 따라 좌우로 이동할 수 있게 된다. 그리고, 좌측의 고정판(58)에는 상판(54)의 좌측부에 다열 구조로 형성된 제1 결합홀(62) 중 각 열의 어느 한 제1 결합홀(62)과 결합될 수 있는 제3 결합홀(미도시)이 다열로 형성된다. 우측의 고정판(58)에도 상판(54)의 우측부에 다열 구조로 형성된 제2 결합홀(63) 중 각 열의 어느 한 제1 결합홀(63)과 결합될 수 있는 제4 결합홀(미도시)이 다열로 형성된다.
이에 따라, 한 쌍의 측면판(56)의 간격을 액정 패널의 크기에 따라 조정하고자 하는 경우 도 3에 도시된 바와 같이 한 쌍의 고정판(58)을 좌우로 이동하고, 해당 액정 패널의 크기에 대응하는 위치에서 상판(54) 좌측부의 제1 결합홀(62)과 좌측 고정판(58)의 제3 결합홀을 정렬하여 고정핀(70)으로 고정하고, 상판(54) 우측부의 제2 결합홀(63)과 우측 고정판(58)의 제4 결합홀을 좌측의 제1 및 제2 결합홀과 대칭적으로 정렬하여 고정핀(70)으로 고정함으로써 측면판(56)의 위치를 고정시키게 된다. 이때, 고정핀(70)에 의한 상판(54)과 고정판(58)의 결합력을 강화하기 위하여 제1 및 제2 결합홀(62, 63) 뿐만 아니라 제3 및 제4 결합홀에 자성 부재를 도포하여 자력에 의해 금속재질인 고정핀(70)의 고정력을 향상시킬 수 있다.
그리고, 상판(54)과 연결된 프레임(52)의 중앙부에는 사용자가 손쉽게 잡아서 이동시킬 수 있도록 손잡이(60)가 더 형성된다. 또한, 도 1에 도시된 마감 실 카세트(10)의 모서리에 삽입되어 센터링 지그(50)가 유동되지 않게 고정할 수 있는 제2 고정핀(68)이 프레임(52)의 각 모서리부의 하부면에 더 형성된다.
이와 같이, 본 발명에 따른 센터링 지그(50)에서 액정 패널의 간격에 따라 측면판(56)의 위치가 조정된 후 고정되면 도 4에 도시된 바와 같이 상부 개구부를 통해 마감 실 카세트(10)에 삽입하여 제1 내지 제3 롤러 쌍(14, 16, 18)의 간격을 가이드 홀(32)을 따라 조정하게 된다. 이때, 센터링 지그(50)의 각 모서리 하부에 형성된 제2 고정핀(68)이 카세트(10)의 각 모서리에 삽입되어 고정됨으로써 센터링 지그(50)의 유동을 방지한다. 그리고, 제1 내지 제3 롤러 쌍(14, 16, 18) 각각의 측면부가 센터링 지그(50)의 좌우 측면판(56)과 접촉하는 위치에서 고정 볼트(34)를 조임으로써 제1 내지 제3 롤러 쌍(14, 16, 18)의 간격이 고정된다. 이어서, 제1 내지 제3 롤러 쌍(14, 16, 18)의 위치가 고정되면 센터링 지그(50)를 마감 실 카세트(10)로부터 분리해낸다. 이때, 센터링 지그(50)의 측면판(56)은 제1 내지 제3 롤러 쌍(14, 16, 18) 각각의 측면부와 접촉한 상태이므로 카세트(50)로부터 쉽게 분리될 수 있다. 그리고, 다수의 액정 패널들을 제1 내지 제3 롤러 쌍(14, 16, 18)이 가이드 홀(15)에 삽입 고정하여 마감 실 공정을 수행하게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치는 측면판의 위치를 가변하고 액정 패널의 크기에 따라 미리 좌우 대칭적으로 형성된 결합홀과 고정시킴으로써 액정 패널의 크기에 따라 측면판의 간격을 간편하게 조절할 수 있게 된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 방법 장치는 카세트 내로 수납하여 롤러의 측면이 측면판과 접촉하는 위치에서 롤러 쌍의 간격을 고정시킴으로써 카세트의 롤러 쌍을 액정 패널의 크기에 맞게 정확한 간격 조절을 할 수 있게 된다. 또한, 본 발명에 따른 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 방법 장치는 롤러 쌍의 간격 조절을 위한 측면판이 롤러의 측면과 접촉하므로 간격 조정후 손쉽게 카세트로부터 분리해낼 수 있게 된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (6)

  1. 개구부가 마련된 프레임과;
    상기 프레임의 개구부에 위치하여 상기 프레임과 결합된 상판과;
    상기 상판의 양측부에 대칭적으로 배치된 한 쌍의 측면판과;
    상기 한 쌍의 측면판 각각과 결합되고 상기 상판의 하부면에 대칭적으로 이동 가능하게 장착되어 상기 측면판의 간격을 해당 표시 패널의 크기에 따라 조정한 다음 상기 상판에 고정되는 한 쌍의 고정판을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 상판에서 상기 한 쌍의 고정판과 중첩되는 양측부에 상기 표시 패널의 크기에 따른 간격을 두고 대칭적으로 형성된 다수의 제1 및 제2 결합홀과;
    상기 한 쌍의 고정판에 대칭적으로 형성되고, 상기 다수의 제1 결합홀 중 어느 하나와 정렬되어질 다수의 제3 결합홀 및 상기 다수의 제2 결합홀 중 어느 하나와 정렬되어질 다수의 제4 결합홀과;
    정렬된 제1 및 제3 결합홀을 경유하여 삽입 고정된 제1 고정핀 및 정렬된 제2 및 제4 결합홀을 경유하여 삽입 고정된 제2 고정핀을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 고정핀은 금속재질로 형성되고,
    상기 제1 내지 제4 결합홀 주변에 형성되어 자력으로 상기 제1 및 제2 고정핀의 고정력이 증가되게 하는 자성 부재를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 상판 및 측면판에 무게 감소를 위해 형성된 다수의 개구부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임 하단의 모서리부에 각각 형성되어 롤러 간격 조정을 위한 카세트에 수납시 그 카세트의 모서리부에 삽입 고정되는 고정핀을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정판에 의해 간격이 조정되어 고정된 상기 한 쌍의 측면판은 롤러 간격 조정을 위한 카세트의 각 롤러의 측면과 접촉하고 그 위치에서 각 롤러의 위치가 결정되게 하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 수납용 카세트의 롤러 간격 조정 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023246353A1 (zh) * 2022-06-22 2023-12-28 江苏亚电科技有限公司 一种晶圆干燥设备摆动机构

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