KR20070055735A - 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법 - Google Patents

유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 유기 전계 발광 소자의 검사장치는 데이터 라인들과 스캔 라인들이 교차하는 영역에 형성되는 복수의 픽셀들을 포함하는 유기 전계 발광 소자의 검사장치에 있어서, 레드, 그린 및 블루 컬러필터들이 형성된 검사부를 포함하되, 상기 레드, 그린 및 블루 컬러필터들은 각각 상기 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들과 대응되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 한다. 상기 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법은 레드, 그린 및 블루 컬러필터로 이루어진 검사필름을 사용하여 유기 전계 발광 소자의 각 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들의 증착 상태를 검사하므로 검사의 효율을 향상시킬 수 있다.
유기 전계 발광 소자, 서브 픽셀, 검사

Description

유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법{A TEST APPARATUS OF ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DEVICE AND TEST METHOD THEREOF}
도 1은 종래의 유기 전계 발광 소자를 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 A영역의 서브 픽셀들의 증착 상태가 불량인 경우를 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자를 도시한 도면이다.
도 3b는 도 3a의 B영역의 서브 픽셀들의 증착 상태가 불량인 경우를 도시한 도면이다.
도 4는 도 3a의 픽셀들의 증착 상태를 검사하기 위한 검사필름을 도시한 단면도이다.
도 5는 도 4의 검사필름을 사용하여 도 3a의 픽셀들의 증착 상태를 검사하는 방법을 도시한 사시도이다.
도 6a 및 도 6b는 도 5의 검사결과를 도시한 단면도들로서, 도 6a는 픽셀들의 증착 상태가 양호할 경우 검사필름을 통해 보이는 색을 도시한 단면도이고, 도 6b는 픽셀들의 증착 상태가 불량일 경우 검사필름을 통해 보이는 색을 도시한 단면도이다.
본 발명은 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 픽셀들의 증착 상태를 용이하게 검사할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법에 관한 것이다.
유기 전계 발광 소자는 발광 소자로서 소정 전압이 인가되는 경우 특정 파장의 빛을 발생시킨다.
도 1은 종래의 유기 전계 발광 소자를 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 A영역의 서브 픽셀들의 증착 상태가 불량인 경우를 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 유기 전계 발광 소자는 인듐주석산화물층들(Indium Tin Oxide Films: 100, 'ITO층들'이라 함)과 금속전극층들(110)이 교차하는 발광 영역에 형성된 복수의 픽셀들(120)을 포함한다.
인듐주석산화물층(100)에 양의 전압이 인가되고 금속전극층(110)에 음의 전압이 인가된 경우, 유기물층(미도시)은 특정 파장의 빛을 발생시킨다.
복수의 픽셀들(120)은 레드 서브 픽셀(122), 그린 서브 픽셀(124) 및 블루 서브 픽셀(126)이 모여 하나의 픽셀(120)을 이루며, 각 픽셀(120)은 알지비(RGB) 데이터에 따라 0 내지 256 레벨의 색상으로 발광한다.
이와 같이 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들(122, 124 및 126)은 각각의 서브 픽셀들(122, 124 및 126) 영역에 해당 색상을 증착하여 형성된다. 레드, 그린 및 블루 색상은 각 서브 픽셀들(122, 124 및 126) 영역에 정확히 증착되어야 한다.
도 2를 참조하면, 도 1의 A영역의 경우 레드 서브 픽셀(122) 영역에 증착되어야 할 레드 색상이 해당 영역을 벋어나 증착이 된 것을 볼 수 있다.
이와 같이 증착에 불량이 발생한 경우, 레드 색상의 증착이 정확히 이루어지지 않은 레드 서브 픽셀(122)뿐만 아니라 그린 서브 픽셀(124)도 레드 색상의 영향으로 정확한 색상으로 발광할 수 없게 된다.
이에 따라 각 서브 픽셀들(122, 124 및 126)에 레드, 그린 및 블루 색상이 증착되면, 증착이 양호하게 이루어졌는지의 여부를 검사하는 과정을 거친다.
종래에는 각 서브 픽셀들(122, 124 및 126)의 증착 상태를 검사하기 위해 픽셀들(120)을 점등한 상태에서 검사자가 현미경으로 각 서브 픽셀들(122, 124 및 126)을 모두 검사하였다.
이와 같이 검사를 수행할 경우, 검사에 소요되는 시간이 길뿐만 아니라, 검사가 정확히 이루어지지 않게 된다.
또는, 픽셀들(120) 중 특정 영역의 서브 픽셀들(122, 124 및 126)만 검사자가 현미경으로 검사하는 방법을 사용하였다.
이와 같이 검사를 수행할 경우에도, 검사시간은 단축되나, 검사하지 않은 영역의 서브 픽셀들(122, 124 및 126)의 증착 불량은 찾아내지 못한다.
그러므로, 유기 전계 발광 소자의 각 서브 픽셀들의 증착 상태를 간단히 검사할 수 있도록 하는 것이 요구된다.
본 발명의 목적은 레드, 그린 및 블루 컬러필터로 이루어진 검사필름 사용하여 유기 전계 발광 소자의 각 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들의 증착 상태를 검사하므로 검사의 효율을 향상시킬 수 있는 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법을 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 목적은 유기 전계 발광 소자의 서브 픽셀들의 증착 상태를 검사필름을 사용하여 검사하므로 검사시간을 단축하고, 검사의 정확도를 높일 수 있는 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법을 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 목적은 검사필름을 사용하여 픽셀들의 증착 상태를 한번에 검사할 수 있으므로 검사비용을 감소시킬 수 있는 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법을 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 검사장치는 데이터 라인들과 스캔 라인들이 교차하는 영역에 형성되는 복수의 픽셀들을 포함하는 유기 전계 발광 소자의 검사장치에 있어서, 레드, 그린 및 블루 컬러필터들이 형성된 검사부를 포함하되, 상기 레드, 그린 및 블루 컬러필터들은 각각 상기 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들과 대응되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한 데이터 라인들과 스캔 라인들이 교차하는 영역에 형성되는 복수의 픽셀들을 포함하는 유기 전계 발광 소자의 검사방법에 있어서, 상기 픽셀들을 점등하는 단계; 및 상기 유기 전계 발광 소자의 상부에 레드, 그린 및 블루 컬러필터들이 형성된 검사부를 위치시키는 단계를 포함하되, 상기 레드, 그린 및 블루 컬러필터들은 각각 상기 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들과 대응되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법은 레드, 그린 및 블루 컬러필터로 이루어진 검사필름을 사용하여 유기 전계 발광 소자의 각 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들의 증착 상태를 검사하므로 검사의 효율을 향상시킬 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.
도 3a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자를 도시한 도면이고, 도 3b는 도 3a의 B영역의 서브 픽셀들의 증착 상태가 불량인 경우를 도시한 도면이다. 다만, 도 3a는 설명의 편의를 위하여 6(가로)×6(세로) 사이즈를 가지는 유기 전계 발광 소자를 도시하였다.
도 3a을 참조하면, 본 발명의 유기 전계 발광 소자는 패널(200), 스캔 라인(240) 및 데이터 라인(230)을 포함한다.
패널(200)은 인듐주석산화물층들(Indium Tin Oxide Film, 210, 이하 "ITO층"이라 함)과 금속전극층들(220)이 교차하는 발광 영역들에 형성되는 복수의 픽셀들(250)을 포함한다.
각 픽셀들(250)은 순차적으로 적층된 ITO층(210), 유기물층(미도시) 및 금속 전극층(220)으로 이루어지며, ITO층(210)에 양의 전압이 인가되고 금속전극층(220)에 음의 전압이 인가되는 경우 소정 파장의 빛을 발생시킨다.
복수의 픽셀들(250)은 레드 서브 픽셀(252), 그린 서브 픽셀(254) 및 블루 서브 픽셀(256)이 모여 하나의 픽셀(250)을 이루며, 각 픽셀(250)은 알지비(RGB) 데이터에 따라 0 내지 256 레벨의 색상으로 발광한다.
데이터 라인들(230)은 ITO층들(210)에 각기 연결되며, 집적회로칩(미도시)으로부터 전송된 데이터 신호들을 수신하고, 상기 수신된 데이터 신호들을 ITO층들(210)에 전송한다.
스캔 라인들(240)은 금속전극층들(220)에 각기 연결되고, 상기 집적회로칩으로부터 전송되는 스캔 신호들을 상기 금속전극층들(220)에 전송한다.
인듐주석산화물층(210)에 양의 전압이 인가되고 금속전극층(220)에 음의 전압이 인가된 경우, 유기물층(미도시)은 특정 파장의 빛을 발생시킨다.
이하 픽셀들(250)의 각 서브 픽셀들(252, 254 및 256)에 레드, 그린 및 블루 색상의 증착 상태를 검사하는 과정에 대해 상술한다.
도 4는 도 3a의 픽셀들의 증착 상태를 검사하기 위한 검사필름을 도시한 단면도이고, 도 5는 도 4의 검사필름을 사용하여 도 3a의 픽셀들의 증착 상태를 검사하는 방법을 도시한 사시도이고, 도 6a 및 도 6b는 도 5의 검사결과를 도시한 단면도들로서, 도 6a는 픽셀들의 증착 상태가 양호할 경우 검사필름을 통해 보이는 색을 도시한 단면도이고, 도 6b는 픽셀들의 증착 상태가 불량일 경우 검사필름을 통해 보이는 색을 도시한 단면도이다.
도 4를 참조하면, 픽셀들(250)의 증착 상태를 검사하기 위한 검사필름(300)은 복수의 레드 컬러필터(310), 그린 컬러필터(320) 및 블루 컬러필터(330)를 포함한다.
레드, 그린 및 블루 컬러필터들(310, 320 및 330)은 각각 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들(252, 254 및 256)이 형성된 영역과 대응되는 위치에 형성된다.
레드 컬러필터들(310)은 레드로 발광하는 빛만 투과시키는 물질로 이루어진다. 그린 컬러필터들(320)은 그린으로 발광하는 빛만 투과시키는 물질로 이루어진다. 블루 컬러필터들(330)은 블루로 발광하는 빛만 투과시키는 물질로 이루어진다.
이와 같이, 레드, 그린 및 블루 컬러필터들(310, 320 및 330)은 각각 레드, 그린 및 블루로 발광하는 빛만 투과시키므로, 해당 영역에서 다른 색상으로 발광하는 빛은 투과되지 못한다.
한편, 도 4의 검사필름은 한 장의 검사필름에 레드, 그린 및 블루 컬러필터(310, 320 및 330)가 모두 형성된 것이나, 반드시 이에 한하는 것은 아니며, 레드, 그린 및 블루 컬러필터(310, 320 및 330) 각각으로 구성된 세 장의 검사필름으로 구성하여도 무방함은 물론이다.
또한, 레드, 그린 및 블루 컬러필터(310, 320 및 330)는 필름에 형성된 것으로 설명하였으나, 필름 이외의 장치나 소자에 형성되어도 무방함은 물론이다.
또한 레드, 그린 및 블루 컬러필터(310, 320 및 330)는 각각 해당 색상만 투과시키는 물질로 이루어진 것으로 설명하였으나, 해당 색상 이외의 색이 발광할 경우 색상이 변형되어 발광하도록 하는 물질로 구성하여도 무방함은 물론이다.
픽셀들(250)의 증착 상태 검사는 픽셀들(250)을 발광(점등)시킨 상태에서 수행한다. 픽셀들(250)을 발광상태로 유지하면서, 도 5에 도시된 바와 같이, 패널(200)의 상부에 검사필름(300)을 위치시킨다. 검사필름(300)과 패널(200) 사이의 간격에는 일정한 제한이 없음은 물론이다.
이와 같이, 패널(200)의 상부에 검사필름(300)을 위치시킨 상태에서 픽셀들(250)의 증착 상태를 검사한다.
각 서브 픽셀들(252, 254 및 256)의 증착이 양호할 경우, 도 6a에 도시된 바와 같이, 레드, 그린 및 블루 컬러필터들(310, 320 및 330)을 통해 각각 레드, 그린 및 블루 빛이 나오는 것을 확인할 수 있다.
이는 증착 상태가 양호한 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀(252, 254 및 256)은 레드, 그린 및 블루 색상의 발광이 정확히 이루어지기 때문이다. 즉, 레드, 그린 및 블루 색상은 레드, 그린 및 블루 컬러필터들(310, 320 및 330)을 투과하므로 검사필름(300)의 상부에 레드, 그린 및 블루 빛으로 투과되는 것이다.
반면 각 서브 픽셀들(252, 254 및 256)의 증착이 블량일 경우, 레드, 그린 및 블루 컬러필터들(310, 320 및 330)을 통해 나오는 빛은 변형된 색상인 것을 확인할 수 있다.
예를 들어, 도 3b에 도시된 바와 같이, B영역의 레드 서브 픽셀(252)에 증착되어야 할 레드 염료가 레드 서브 픽셀(252)을 벋어나 그린 서브 픽셀(254)까지 증착되었을 경우를 살펴본다.
이 경우, 검사필름(300)을 통해 나오는 빛은 도 6b에 도시된 바와 같이, 증 착이 잘못 이루어진 레드 서브 픽셀(252)과 그린 서브 픽셀(254)과 대응되는 영역의 검사필름(300)을 통해 나오는 빛의 색상이 변형된다.
이는 증착 상태가 불량인 레드 및 그린 서브 픽셀(252 및 254)은 레드 및 그린 색상의 발광이 정확히 이루어지지 않기 때문이다. 레드 및 그린 컬러필터(310 및 320)는 레드 및 그린 색상의 빛만 투과시키기 때문에 색상이 변형되어 발광하는 레드 및 그린 서브 픽셀(252 및 254)의 빛은 레드 및 그린 컬러필터(310 및 320)를 투과하지 못한다.
이와 같이, 검사필터(300)를 이용하면 증착 상태가 불량인 서브 픽셀 영역의 색상이 변형되어 나타나므로, 증착 상태를 간단히 검사할 수 있다.
상기한 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법은 레드, 그린 및 블루 컬러필터로 이루어진 검사필름을 사용하여 유기 전계 발광 소자의 각 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들의 증착 상태를 검사하므로 검사의 효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법은 유기 전계 발광 소자의 서브 픽셀들의 증착 상태를 검사필름을 사용하여 검사하므로 검사시간을 단축하고, 검사의 정확도를 높일 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 검사장치 및 방법은 검사필름을 사용하여 픽셀들의 증착 상태를 한번에 검사할 수 있으므로 검사비용을 감소시킬 수 있는 장점이 있다.

Claims (4)

  1. 데이터 라인들과 스캔 라인들이 교차하는 영역에 형성되는 복수의 픽셀들을 포함하는 유기 전계 발광 소자의 검사장치에 있어서,
    레드, 그린 및 블루 컬러필터들이 형성된 검사부를 포함하되, 상기 레드, 그린 및 블루 컬러필터들은 각각 상기 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들과 대응되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 레드, 그린 및 블루 컬러필터들은 각각 레드, 그린 및 블루에 해당하는 파장의 빛만 투과시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 검사장치.
  3. 데이터 라인들과 스캔 라인들이 교차하는 영역에 형성되는 복수의 픽셀들을 포함하는 유기 전계 발광 소자의 검사방법에 있어서,
    상기 픽셀들을 점등하는 단계; 및
    상기 유기 전계 발광 소자의 상부에 레드, 그린 및 블루 컬러필터들이 형성된 검사부를 위치시키는 단계를 포함하되,
    상기 레드, 그린 및 블루 컬러필터들은 각각 상기 레드, 그린 및 블루 서브 픽셀들과 대응되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 검사방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 레드, 그린 및 블루 컬러필터들은 각각 레드, 그린 및 블루에 해당하는 파장의 빛만 투과시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 검사방법.
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