KR20070055524A - 펄스화된 기록 스트래티지를 이용하여 마스터 디스크를제조하는 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 광 기록매체에 데이터를 마스터링하는 마스터 디스크를 제조하는 장치에 관한 것이다. 판독중에 누화 효과를 일으키거나 심지어는 마스터링 중에 교차 기록 효과를 일으킬 수도 있는 너무 큰 피트 폭에 기인한 감소된 지터 레벨을 달성하기 위해, 마스터 디스크를 제조하기 위한 펄스화된 기록 스트래티지의 적용이 제안되는데, 이때 피트들이 소정수의 기록 펄스들의 시퀀스에 의해 기록되고, 상기 시퀀스가 거의 제로값의 광 강도를 갖는 다수의 기록 펄스들을 포함한다.

마스터 디스크, 펄스화, 기록 스트래티지, 지터 레벨, 광 강도, 기록 펄스

Description

펄스화된 기록 스트래티지를 이용하여 마스터 디스크를 제조하는 장치 및 방법{DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING A MASTER DISC USING A PULSED WRITE STRATEGY}

본 발명은, 광 기록매체에 데이터를 마스터링하는 마스터 디스크를 제조하는 장치와 이에 대응하는 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은, 기록매체를 제조하는 장치와 이에 대응하는 방법에 관한 것이다.

예를 들어 US 6,026,072에 개시된 것과 같은 종래의 마스터링 방법에서는, 마스터 디스크에 다양한 유효 길이들(즉, 피트들)을 생성하는데 기록 스트래티지를 사용하지 않는다. 이것은 더 높은 에너지 투여량에 대해 현상을 거친 후에 기록된 효과들이 더 길어지고 더 폭이 넓어진다는 것을 의미한다. 이 때문에, 피트의 폭이 너무 커지게 되어, 이와 같은 마스터 디스크를 사용하여 제조된 광 기록매체에서 데이터를 판독하는 동안 누화 효과를 일으키거나 및/또는 마스터링 중에 교차 기록(cross write) 효과를 일으킬 수도 있다. 이와 같은 효과는 모두 바람직하지 않은 더 높은 지터 레벨에 기여할 수 있다. 이들 효과를 피하기 위해 에너지 투여량을 감소시키게 되면 이 에너지 투여량이 충분한 피트 깊이를 갖도록 피트를 기록하는데 충분하지 않을 수도 있으므로(또는 심지어는 전혀 피트를 기록하는데 충분하지 않을 수도 있으므로) 이 에너지 투여량 감소는 일반적으로 불가능하다.

유럽 특허출원 EP 04102470.4(03-06-2004; PHNL040596)에는, 기록 스트래티지를 이용하여 마스터 디스크를 제조하는 방법 및 장치가 기재되어 있다. 피트는 바이어스 파워 레벨에서 갭(gap) 폭과 강도를 갖는 주기들에 의해 교차하고 있는 기록 파워 레벨에서 펄스 폭과 강도를 갖는 펄스들을 포함하는 펄스 열(즉, 시퀀스)에 의해 기록된다. 길이가 긴 피트를 기록하기 위해 적용된 이와 같은 펄스 열은 최초 및 최종 펄스가 사이에 있는 펄스들보다 높은 강도를 갖는 개 뼈다귀(dogbone) 형태의 형상을 나타낸다. 이것은 피트의 상승 에지 및 하강 에지 사이에 있는 중앙 피트 부분의 폭보다 큰 폭을 갖는 길이가 긴 상기 피트의 상기 상승 및 하강 에지들을 발생하여, 더 큰 변조를 일으킨다.

결국, 본 발명의 목적은, 더 낮은 지터 레벨이 얻어질 수 있도록 할 수 있는, 마스터 디스크 제조장치와 이에 대응하는 방법을 제공함에 있다.

상기한 목적은, 본 발명에 따르면, 청구항 1에 기재된 것과 같은 마스터 디스크를 제조하는 장치에 의해 달성되는데, 이 장치는,

- 기록하고자 하는 데이터를 표시하는 정보신호에 따라 변조된 노광 광 빔을 조사하여, 상기 마스터 디스크에 피트들과 랜드들의 열을 형성하는 수단과,

상기 노광 광 빔의 강도를 변조하는 수단을 구비하고, 소정 수의 기록 펄스들의 시퀀스에 의해 피트를 기록하고, 상기 시퀀스가 거의 제로값의 광 강도를 갖는 기록 펄스들을 포함한다.

마스터 디스크를 제조하는 대응하는 방법은 청구항 9에 기재되어 있다. 또한, 본 발명은, 기록매체를 제조하는 장치와 이에 대응하는 방법에 관한 것으로, 기록매체 제조장치는, 상기한 마스터 디스크 제조장치와, 상기 마스터 디스크를 이용하여 기록매체를 제조하는 수단을 구비한다.

본 발명은, 마스터 디스크를 제조하기 위해 펄스화된 기록 스트래티지를 적용한다는 착상, 즉 마스터 디스크에 피트를 기록하기 위해 소정 수의 기록 펄스들의 시퀀스를 적용한다는 착상에 기반을 두고 있다. 더구나, 피트를 기록하기 위한 1개의 시퀀스의 기록 펄스들의 강도들이 모두 동일한 것은 아니며, 다수의 기록 펄스들이 거의 제로값의 광 강도를 갖는다. 즉, 모든 기록 펄스들이, 실질적으로 제로 파워 레벨보다 큰 기록 파워 레벨, 또는 시퀀스의 개별적인 기록 펄스들 사이의 갭에서 기록 파워가 일반적으로 감소하는 레벨인 바이어스 파워 레벨보다 실질적으로 큰 기록 파워 레벨을 갖는 것은 아니다(이 바이어스 파워 레벨은 "거의 제로값"의 광 강도를 갖는 것으로도 해석된다). 이에 따르면, 거의 제로값보다 큰 광 강도를 갖는 시퀀스 내부의 기록 펄스들의 위치와 강도를 제어함으로써 피트 폭과 피트 길이가 양호하게 제어될 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예들은 종속항들에 기재되어 있다. 제 1 실시예에서는, 기록 펄스들의 시퀀스의 첫 번째 절반부 및 두 번째 절반부가 동일한 강도의 시퀀스를 갖지만 반대의 순서를 갖는 동일한 수의 기록 펄스들을 갖는다. 이에 따르면, 단일 시퀀스의 기록 펄스들의 첫 번째 및 두 번째 절반부가 거울 대칭 순서를 가는데, 이와 같은 구성은 이와 같은 기록 스트래티지에 적은 수의 파라미터가 관련된다는 이점을 갖는다. 이와 달리, 비대칭 기록은 스페이스들 옆에 기록되는 데이터의 더 많은 지식을 필요로 하게 될 수 있다. 이와 같은 구성은, 스페이스 크 기가 스폿 크기보다 작을 때, 즉 피트들을 분리하는 2T 및 3T 랜드들에 대해 이점을 가질 수 있다.

또 다른 실시예에서는, 제어수단이 2nT 기록 펄스들을 이용하여 길이 nT를 갖는 피트를 기록하도록 구성된다(이때 T는 채널 클록의 채널 비트 주기이다). 이에 따르면, 상변화형 광 기록매체에 피트들을 기록하는 것으로부터 널리 알려진 소위 2T 기록 스트래티지가 적용된다. 이와 같은 기록 스트래티지에서는, 기록 펄스 길이가 0.5T가 되도록 선택될 수도 있다. 0.5T의 펄스 길이는 충분한 해상도를 갖는 한편, 0.5T 시간 주기마다 파워 레벨을 변화시킬 수 있게 한다.

바람직한 실시예에서는, 시퀀스의 최초 및 최종 기록 펄스가 거의 제로값의 광 강도를 갖는다. 이것의 이점은 기록 스트래티지의 스페이스들이 증가되어 피트들 사이에서의 교차 조사(cross illumination)를 위한 더 양호한 마진을 제공한다는 것이다.

더구나, 본 발명의 일 실시예에서는, 최대의 허용된 피트 길이의 절반과 같거나 큰 길이를 갖는 피트들을 기록하기 위해, 최초 및 최종 2개의 기록 펄스들이 거의 제로값의 광 강도를 갖고 세 번째 및 네 번째 기록 펄스들과 세 번째 및 네 번째의 최종 기록 펄스들이 거의 최대의 광 강도를 갖는 구성이 제안된다. 최초 및 최종 펄스들에서의 높은 파워는 스페이스로부터 피트로의 편이(transition) 및 피트로부터 스페이스로의 편이의 경사도를 증가시킨다. 이것은 판독신호의 편이를 증진시킨다. 따라서, 피트 길이는 최초의 몇 개의 펄스와 최종의 몇 개의 펄스들의 에너지 투여량에 의해 제어되는 한편, 피트 폭은 상기한 최초의 몇 개의 펄스들과 최종의 몇 개의 펄스들 사이에 있는 펄스들의 에너지 투여량에 의해 제어된다.

또 다른 실시예에서는, 최장 및 최단 피트를 기록하기 위해, 기록 펄스들의 시퀀스에 있는 중앙의 기록 펄스들이 상기 피트들을 기록하기 위한 기록 펄스들의 시퀀스에서 실질적으로 가장 큰 광 강도를 갖는 구성이 제안된다. 피트를 기록하기 위한 기록 펄스들 사이에 더 많은 스페이스가 있을수록, 판독 스폿의 검출 한계를 넘어 스페이스를 최소로 하기 위해서는 기록 에너지가 더 커야만 한다. 1.5T보다 큰 갭들은 일반적으로 너무 커서 그 갭들 사이를 메울 수 없으며, 피크가 중첩(folding back)되는 것을 방지하기 위해 추가적인 기록 펄스들이 이 사이에 사용되는 것이 바람직하다.

또 다른 실시예에서는, 최단 피트를 기록하기 위해, 기록 펄스들의 시퀀스의 중앙의 기록 펄스들이 상기 최단 피트들을 기록하기 위한 기록 펄스들의 시퀀스에서 가장 큰 강도를 갖고, 및/또는 더 길이가 긴 피트를 기록하기 위해, 기록 펄스들의 시퀀스의 중앙의 기록 펄스들이 상기 길이가 더 긴 피트들을 기록하기 위한 기록 펄스들의 시퀀스에서 판독신호의 중첩(back folding)을 방지하도록 선택된 가도를 갖는 구성이 제안된다. 바람직하게는, 기록 펄스들의 개수와 강도들은 기록하고자 하는 피트의 길이에 따라 변한다. 더 구체적으로 설명하면, 각각의 피트 길이에 대해, 소정의 강도를 각각 갖는 기록 펄스들의 소정의 시퀀스가 사용된다.

이하, 다음의 첨부도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다:

도 1은 낮은 에너지 투여량과 더 높은 에너지 투여량에서 기록된 더 길이가 긴 피트의 예를 나타낸 것이고,

도 2는 본 발명에 따른 마스터 디스크 제조장치를 개략적으로 나타낸 것이며,

도 3은 본 발명에 따른 기록 스트래티지를 적용하여 기록된 길이가 더 긴 피트를 나타낸 것이고,

도 4는 4가지 다른 T7 기록 스킨(scheme)들의 전압 레벨과 2가지 T7 기록 스킴들에 대한 대응하는 IOS 레벨을 나타낸 그래프이며,

도 5는 다양한 길이를 갖는 피트들을 기록하기 위해 광 빔의 강도를 변조하기 위한 제어신호들을 나타낸 것이고,

도 6은 본 발명에 따른 기록 스트래티지와 다양한 트랙 피치들을 적용할 때의 지터 측정값들과 푸시풀 측정값들의 결과를 나타낸 것이며,

도 7은 본 발명에 따른 기록 스트래티지를 사용한 기록에 대한 지터 측정값들을 기타 기록들과 비교하여 나타낸 것이다.

도 1은 기록 스트래티지를 사용하지 않는 종래의 마스터링 방법을 적용하여 기록된 길이가 더 긴 피트들의 예를 나타낸 것이다. 도 1a에 도시된 피트들은 낮은 에너지 투여량에서 기록되는 한편, 도 1b에 나타낸 피트들은 더 높은 에너지 투여량에서 기록된다. 이 도면에서 알 수 있는 것과 같이, 더 높은 에너지 투여량이 사용되면 피트들이 더 길어지고 폭이 더 넓어진다. 피트 폭이 너무 커서 판독중에 누화 효과를 일으키거나 심지어는 마스터링중에 교차 기록 효과를 일으킬 수 있다. 이들 모든 효과들은 더 높은 지터 레벨에 기여한다. 이와 같은 문제를 본 발명에 의해 방지하거나 최소한 줄일 수 있다.

본 발명에 따른 마스터 디스크 제조장치의 개략적인 블록도를 도 2에 나타내었다. 이 도면에는 노광 광 빔 L을 조사하는 장치(1)가 도시되어 있는데, 이 노광 광 빔은 마스터 디스크(2)를 향하여 데이터 D를 표시하는 (피트들에 대응하는) 마크들과 랜드들의 열을 그 위에 기록하는데 사용된다. 마스터 디스크(2)는 나중에 본 명세서에서는 더 이상 상세히 설명하지 않는 종래의 방법에 따라 판독전용 기록매체를 제조하는데 사용된다. 기록 스트래티지에 따라 노광 광 빔 L의 강도를 변조하기 위한 변조신호 M을 제공하는 제어수단(3)이 더 도시되어 있다. 본 발명에 따르면, 노광 광 빔 L은 소정수의 기록 펄스들의 시퀀스의 형태를 갖도록 변조되는데, 즉 펄스화된 기록 스트래티지가 본 발명에 따라 사용되어 마스터 디스크(2)에 마크들을 기록한다. 상기 기록 펄스들의 시퀀스는, 특히, 상기 기록 펄스들의 첫 번째 및 두 번째 절반부가 동일한 강도(에너지 투여량)를 반대의 순서로 나타내도록 제공된다. 이것을 이하에서 더욱 상세히 예시 및 설명한다.

본 발명에 따르면, 유효 생성 피트보다 작은 피트들의 펄스 열에 의해 더 길이가 긴 피트들이 생성된다. 최초 및 최종 펄스의 에너지 투여량을 사용하여 정확한 피트 길이를 수정하고, 이들 2가지 펄스들 사이의 에너지 투여량을 사용하여 유효 변조에 대응하는 결과적으로 얻어지는 물리 펄스 폭을 수정한다. 짧은 기록 펄스들의 시퀀스를 사용하여 기록된 길이가 더 긴 피트의 전형적인 외형을 도 3에 예시하였다. 이에 따르면, 피트의 폭과 길이를 별개로 제어할 수 있다.

일례로서, 4가지 다른 T7 피트들, 즉 7T(T는 채널 비트 클록의 1 주기이다)의 길이를 갖는 피트들을 다음의 표에 나타낸 것과 같이 비교한다:

이 표에는 T7 피트가 T/2 길이를 각각 갖는 14개의 개별 부분들로 분할되는 것으로 표시되어 있다. 각각의 T/2 부분에서는 노광 광 빔의 에너지 투여량(또는 강도)에 대응하는 AWG(Arbitrary Wave Form Generator) 전압 출력 레벨이 독립적으로 조정될 수 있다.

첫 번째 행에서는 T7 피트가 최대 파워 레벨의 50%의 연속적인 기록 파워 레벨을 적용하여, 즉 펄스화된 기록 스트래티지(WS)를 사용하지 않고 기록된다. 다음의 3개의 행에서는, 001100의 동일한 시작 및 종료 부분 스킴을 갖는 3가지 다른 기록 스트래티지가 표시되어 있으며, 이때에는 중앙 펄스들의 인가된 파워 레벨만이 다른데, 즉 인가된 파워 레벨이 최대 파워 레벨의 70%, 75% 또는 100%이다.

AFM(Atomic force microscope) 데이터에 따르면, 더 강력한 중앙 스폿이 사용될 때 T7 피트의 폭이 더 넓어지는 것으로 밝혀졌다. 특히, AFM 분석에 따르면, T7-100 기록된 피트가 T7-75 피트에 비해 약 58nm 폭이 더 넓은 것으로 밝혀졌다. 이 결과에서, 중앙 펄스의 1% 파워 증가마다 약 2nm의 평균 폭 증가를 가정할 수 있다. 마크 및 스페이스 길이 측정값의 예를 도 4에 표시하였다. 도 4a는 상기한 표에 나타낸 4가지 다른 T7 기록 스킴의 전압 레벨을 나타낸 것이다. 도 4b에는 T7-70을 T7-75 마크(또는 스페이스)와 비교할 때 T7 마크(또는 스페이스) 길이 차이가 크게 다르지 않다는 것이 표시되어 있다. 따라서, T7-75 스킴이 T7 마크에 대한 바람직한 기록 스킴이다. 이들 측정값들의 보간에 따라 ios=-10(iso=intensity offset level)에서의 기록 파워가 도시되어 있는데, 이때에는 T7 마크 및 스페이스 모두가 1ns보다 작게 차이가 난다. 더구나, 중앙 스폿의 5% 파워 증가는 측정된 차이를 크게 변화시키지 않는다. 이와 같은 비교를 사용하여 T7 효과를 기록하기 위해 T7-75 기록 스킴을 선택한다.

상기한 방법은 T2에서 T8까지 기록하고자 하는 모든 마크들에 적용된다. 그 결과 얻어지는 기록 스킴을 다음의 표에 나타낸다:

이것을 길이 T의 클록 주기를 갖는 클록신호(10)를 나타낸 도 5에도 마찬가지로 예시하였다. 2T 내지 8T의 범위에서 다양한 길이를 갖는 피트들(즉, 데이터 신호(11)에서 하이 수치들)을 표시하는 데이터 신호(11)가 도시되어 있다. 더구나, 기록 펄스들의 시퀀스를 사용하여 다양한 길이의 피트들을 기록하는 본 발명에 따른 기록 스트래티지를 적용하는 이에 대응하는 제어신호(12)가 도시되어 있다. 기록 펄스들의 각각의 시퀀스에서 알 수 있는 것과 같이, 특정한 피트 길이를 갖는 피트를 기록하기 위한 기록 펄스들의 첫 번째 및 두 번째 절반부는 동일한 강도를 반대의 순서로 나타낸다. 도 5에 도시된 기록 펄스들의 파워 레벨은 상기한 표에 주어진 수치들과 일치한다.

상기한 표에는 4개의 1/2T 펄스들을 적용하여 T2 펄스가 기록되고, 6개의 1/2T 펄스를 사용하여 T3 펄스가 기록되고, 등등이라는 것이 표시되어 있다. 상기한 표에서 기록 펄스들의 시퀀스의 어느 것에서도, 최초 및 최종 1/2 펄스들이 사용되지 않는다(즉, 이들 최초 및 최종 1/2T 펄스들은 거의 제로값의 빛 세기를 갖는다). 2T 피트를 기록하기 위한 시퀀스에서는 중앙의 값들만이 잔류하며, 이것들은 최대 기록 파워의 82%에서 기록된다. 3T 피트를 기록하기 위해서는 중앙의 1/2T 펄스들이 100%의 펄스들 사이에서 33%이다. 4T 피트를 기록하기 위해서는 중앙의 1/2T 펄스들이 사용되지 않는다. 4T 피트를 기록하기 위한 시퀀스를 시작 및 종료하기 위해 100% 및 63%의 1/2T 펄스의 조합이 사용된다.

더 길이가 긴 피트들(5T에서 8T까지)을 기록하기 위한 시퀀스는 모두 001100 시작 및 종료 부분 스킴을 사용하고 있다. 5T 및 6T 시퀀스 사이의 차이는, 중앙의 '갭'이 5T 피트에 대해서는 2개의 1/T 펄스 길이를 갖지만 6T 피트에 대해서는 4개의 1/2T 펄스 길이를 갖는다는 것이다. 7T 피트에 대해서는 중앙의 1/T 펄스들이 다시 사용되고, 이들 길이가 더 긴 피트들의 시작 부분과 종료 부분 사이의 큰 갭 을 메우는데 75%의 기록 파워이면 충분하다. 중앙의 1/2T 펄스들이 최대 기록 파워의 100%인 8T 피트에 대해서도 동일한 내용이 성립한다.

전술한 기록 스킴을 사용하는 기록에 대한 지터 측정값과 푸시풀 측정값을 도 6에 나타내었다. 다양한 트랙 피치들, 특히 320nm, 359nm 및 400nm를 사용하였다. 지터 측정 결과(도 6a)에는 트랙 피치가 400nm에서 320nm로 감소할 때 7.5%의 낮은 지터 레벨을 유지할 수 있는 것으로 표시되어 있다. 트랙 피치가 더 작아지면 푸시풀 신호(도 6b)가 0.17로 약간 감소하지만, 이들 값은 여전히, 예를 들어, BD-ROM 사양에 포함된다.

마지막으로, 도 7에는 제안된 기록 스트래티지(WS)의 전술한 실시예를 이용한 기록을 기록 스트래티지를 사용하지 않은 기타 기록(no WS)과 비교한 지터 측정값들이 도시되어 있다. 이때, 기록 스트래티지를 사용하지 않는 기록(no WS)에서는 최저의 지터값들이 -0.15 내지 +0.15 비대칭성(asymmetry) 범위 밖에서 발견될 수 있다는 것을 알 수 있다. 본 발명에 따른 기록 스트래티지를 사용할 때에는 낮은 지터값들이 유지되지만, 이때에는 0 주위의 비대칭값에서 유지된다.

요약하면, 양호한 품질의 더 작고 길이가 더 긴 피트 형상을 생성하기 위한 마스터링용의 펄스화된 기록 스트래티지가 제안된다. 피트 길이는 최초의 몇 개의 펄스들과 최종의 몇 개의 펄스들에서의 에너지 투여량에 의해 제어된다. 피트 폭은 최초 몇 개의 펄스와 최종 몇 개의 펄스들 사이에 있는 펄스들에서의 에너지 투여량에 의해 제어된다. 제안된 기록 스트래티지는 기록 펄스 위치와 기록 펄스 파워 모두에서 대칭이지만, 기록형 또는 재기록형 매체에 기록하기 위한 종래의 펄스화 된 기록 스트래티지는 대칭이 아니다. 더 길이가 긴 피트들을 기록하기 위한 시퀀스들은 동일한 시작 및 종료 부분 스킴을 사용한다. 이와 같은 방법을 사용함으로써, 대략 0ns의 마크 및 스페이스 편이를 달성할 수 있다. 판독신호의 누화 효과와 마스터링 중의 교차 기록 효과가 제안된 펄스화 기록 스트래티지를 적용함으로써 최소화된다.

제안된 기록 스트래티지의 이용은 마스터링된 포맷의 성능을 증진시킬 수 있을 것으로 예상된다. 따라서, 본 발명은 특정한 마스터링 기술이나, CD, DVD 또는 BD 등의 특정한 기록매체의 종류에 한정되지 않는다.

Claims (10)

1. 광 기록매체에 데이터를 마스터링하는 마스터 디스크(2)를 제조하는 장치로서,

   기록하고자 하는 상기 데이터를 표시하는 정보신호(D)에 따라 변조된 노광 광 빔(L)을 조사하여, 상기 마스터 디스크(2)에 피트들과 랜드들의 열을 형성하는 수단(1)과,

   상기 노광 광 빔의 강도를 변조하는 수단(3)을 구비하고, 상기 마크들은 소정 수의 기록 펄스들의 시퀀스에 의해 기록되며, 상기 시퀀스가 거의 제로값의 광 강도를 갖는 다수의 기록 펄스들을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크 제조장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 제어수단(3)이 소정수의 기록 펄스들의 시퀀스에 의해 마크들을 기록하도록 구성되고, 상기 기록 펄스들의 시퀀스의 두 번째 절반부가 상기 시퀀스의 첫 번째 절반부에 있는 기록 펄스들과 동일한 강도를 반대의 순서로 갖는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크 제조장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 제어수단이 2nT 기록 펄스들을 이용하여 길이 nT를 갖는 피트를 기록하도록 구성되고, 이때 T는 채널 클록의 채널 비트 주기인 것을 특징으로 하는 마스터 디스크 제조장치.
4. 제 3항에 있어서,

   최초 및 최종 기록 펄스가 거의 제로값의 광 강도를 갖는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크 제조장치.
5. 제 1항에 있어서,

   최대 길이의 절반과 같거나 큰 길이를 갖는 피트들을 기록하기 위해, 최초 및 최종 2개의 기록 펄스들이 거의 제로값의 광 강도를 갖고 세 번째 및 네 번째 기록 펄스들과 세 번째 및 네 번째의 최종 기록 펄스들이 거의 최대의 광 강도를 갖는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크 제조장치.
6. 제 1항에 있어서,

   최장 및 최단 피트를 기록하기 위해, 상기 기록 펄스들의 시퀀스에 있는 중앙의 기록 펄스들이 상기 피트들을 기록하기 위한 기록 펄스들의 시퀀스에서 실질적으로 가장 큰 광 강도를 갖는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크 제조장치.
7. 제 1항에 있어서,

   최단 피트를 기록하기 위해, 상기 기록 펄스들의 시퀀스의 중앙의 기록 펄스들이 상기 피트들을 기록하기 위한 기록 펄스들의 시퀀스에서 가장 큰 강도를 갖는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크 제조장치.
8. 청구항 1에 기재된 마스터 디스크 제조장치와,

   상기 마스터 디스크를 사용하여 기록매체를 제조하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기록매체 제조장치.
9. 광 기록매체에 데이터를 마스터링하는 마스터 디스크(2)를 제조하는 방법으로서,

   기록하고자 하는 상기 데이터를 표시하는 정보신호(D)에 따라 변조된 노광 광 빔(L)을 조사하여, 상기 마스터 디스크(2)에 피트들과 랜드들의 열을 형성하는 단계와,

   상기 노광 광 빔의 강도를 변조하는 단계를 포함하고, 상기 피트들은 소정 수의 기록 펄스들의 시퀀스에 의해 기록되며, 상기 시퀀스가 거의 제로값의 광 강도를 갖는 다수의 기록 펄스들을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크 제조방법.
10. 청구항 1에 기재된 마스터 디스크를 제조하는 단계와,

    상기 마스터를 사용하여 기록매체를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기록매체의 제조방법.

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