KR20070051659A - Ic tester - Google Patents

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KR20070051659A
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히데키 나가누마
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요코가와 덴키 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 오프셋 전압을 테스트 프로그램으로 설정하지 않고, 적절한 오프셋 전압을 부여할 수 있고, 오버 레인지(over range)를 억제할 수 있는 IC 테스터를 실현하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to realize an IC tester that can provide an appropriate offset voltage and can suppress an over range without setting an offset voltage in a test program.

본 발명은, 피시험 대상의 출력을 오프셋 전압으로 감산하여 측정을 행하는 IC 테스터를 개량한 것이다. 본 장치는, 피시험 대상의 출력을 측정하는 전압 측정부와, 상기 전압 측정부의 측정 결과에 기초하여, 오프셋 전압을 발생시키는 전압 발생부를 구비한 것을 특징으로 한다.The present invention is an improvement of an IC tester that performs measurement by subtracting the output of the test target by an offset voltage. This apparatus is characterized by including a voltage measuring unit for measuring the output of the test target and a voltage generating unit for generating an offset voltage based on the measurement result of the voltage measuring unit.

IC 테스터, A/D 컨버터, D/A 컨버터, I/V 컨버터, 전압 측정, 전압 발생, 피시험 대상, 오프셋 전압, 오버 레인지, 컴퍼레이터, 테스트 프로그램 IC Tester, A / D Converter, D / A Converter, I / V Converter, Voltage Measurement, Voltage Generation, Test Object, Offset Voltage, Over Range, Comparator, Test Program

Description

ＩＣ 테스터{IC TESTER}IC tester {IC TESTER}

도 1은 종래의 IC 테스터의 구성을 나타낸 도면이다.1 is a view showing the configuration of a conventional IC tester.

도 2는 본 발명의 제1 실시예를 나타낸 구성도이다.2 is a configuration diagram showing a first embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제2 실시예를 나타낸 구성도이다.3 is a configuration diagram showing a second embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제3 실시예를 나타낸 구성도이다.4 is a configuration diagram showing a third embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제4 실시예를 나타낸 구성도이다.5 is a configuration diagram showing a fourth embodiment of the present invention.

일본국 특개 2002-98738호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-98738

본 발명은, 피시험 대상, 예를 들면, 액정 구동 드라이버를 시험하는 IC 테스터에 관한 것으로서, 피시험 대상으로 전류를 공급 또는 흡인하여도, 정확하게 측정할 수 있는 IC 테스터에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC tester for testing a test target, for example, a liquid crystal drive driver, and relates to an IC tester that can be accurately measured even when a current is supplied or sucked to the test target.

액정 구동 드라이버는, 복수개의 핀으로부터 다단계(다계조) 전압을 출력하고, 액정 디스플레이를 구동하고 있다. 이와 같은 액정 구동 드라이버를 시험하는 IC 테스터에는, 예를 들면, 일본국 특개 2002-98738호 공보 등에 기재된 것이 있 다. 이하 도 1을 사용하여 설명한다.The liquid crystal drive driver outputs a multilevel (multi-gradation) voltage from a plurality of pins to drive the liquid crystal display. IC testers for testing such liquid crystal drive drivers are described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-98738. A description with reference to FIG. 1 is as follows.

도 1에서, 피시험 대상(이하 DUT； Device Under Test의 약칭)(1)은 액정 구동 드라이버에서, 복수개의 핀으로부터 다단계 전압을 출력한다. 전압 발생부(2)는, DUT(1)의 다단계 전압에 대응한 오프셋 전압을 출력한다. 오프셋 감산기(3)는, DUT(1)의 출력 핀마다 설치되고, 전압 발생부(2)의 출력을 입력하고, DUT(1)의 다단계 전압과 전압 발생부(2)의 전압의 차이 전압을 증폭하여 출력한다. 스위치(4)는, 오프셋 감산기(3)와 병렬로 설치된다. A/D 컨버터(5)는 오프셋 감산기(3) 또는 스위치(4)의 출력을 입력받는다.In Fig. 1, the test target (hereinafter, abbreviated as DUT; Device Under Test) 1 outputs a multi-step voltage from a plurality of pins in a liquid crystal drive driver. The voltage generator 2 outputs an offset voltage corresponding to the multi-stage voltage of the DUT 1. The offset subtractor 3 is provided for each output pin of the DUT 1, inputs the output of the voltage generator 2, and outputs the difference voltage between the multi-step voltage of the DUT 1 and the voltage of the voltage generator 2. Amplify and output. The switch 4 is provided in parallel with the offset subtractor 3. The A / D converter 5 receives the output of the offset subtractor 3 or the switch 4.

이와 같은 장치의 동작을 이하에서 설명한다. DUT(1)의 출력이, A/D 컨버터(5)의 입력 범위 내일 경우, 스위치(4)를 온"ON"으로 설정한다. 그리고, DUT(1)가 도시하지 않은 신호 발생부로부터 입력받은 입력 패턴에 따라, DUT(1)가 계조 전압을 출력하고, 스위치(4)를 통하여, A/D 컨버터(5)에 입력된다. A/D 컨버터(5)는 입력된 전압을 디지털 데이터로 변환하고, 상기 디지털 데이터에 의해, 도시하지 않은 연산부가 DUT(1)의 불량 여부를 판정한다.The operation of such a device will be described below. When the output of the DUT 1 is within the input range of the A / D converter 5, the switch 4 is set to "ON". Then, the DUT 1 outputs the gray scale voltage in accordance with the input pattern received from the signal generator not shown, and is input to the A / D converter 5 through the switch 4. The A / D converter 5 converts the input voltage into digital data, and based on the digital data, an arithmetic unit (not shown) determines whether the DUT 1 is defective.

또한, DUT(1)의 출력이, A/D 컨버터(5)의 입력 범위 외일 경우, 스위치(4)를 오프'OFF'로 설정하고, 전압 발생부(2)가 오프셋 전압을 출력한다. 그리고, DUT(1)가 도시하지 않은 신호 발생부로부터 입력받은 입력 패턴에 따라, DUT(1)가 계조 전압을 출력한다. 오프셋 감산기(3)가, DUT(1)의 출력으로부터 오프셋 전압을 감산하고, A/D 컨버터(5)로 출력한다. A/D 컨버터(5)가, 입력된 전압을 디지털 데이터로 변환하고, 상기 디지털 데이터 및 오프셋 전압치에 의해, 도시하지 않은 연산부가 DUT(1)의 불량 여부를 판정한다.In addition, when the output of the DUT 1 is out of the input range of the A / D converter 5, the switch 4 is set to OFF'OFF ', and the voltage generator 2 outputs an offset voltage. Then, the DUT 1 outputs a gray voltage in accordance with an input pattern received from a signal generator not shown by the DUT 1. The offset subtractor 3 subtracts the offset voltage from the output of the DUT 1 and outputs it to the A / D converter 5. The A / D converter 5 converts the input voltage into digital data, and an operation unit (not shown) determines whether the DUT 1 is defective, based on the digital data and the offset voltage value.

이와 같은 장치에서는, DUT(1)의 출력 전압치의 대략적인 값을 알 필요가 있다. 적절한 오프셋 전압 설정 등을 행하지 않으면, 측정 전압이 A/D 컨버터(5)의 입력 범위를 훨씬 넘어버릴 수 있다. 또한, 오프셋 전압치를 테스트 프로그램으로 설정해야만 하는 문제점이 있었다.In such a device, it is necessary to know the approximate value of the output voltage value of the DUT 1. If proper offset voltage setting or the like is not performed, the measured voltage may far exceed the input range of the A / D converter 5. In addition, there was a problem that the offset voltage value must be set in the test program.

본 발명이 해결하려고하는 과제는, 오프셋 전압을 테스트 프로그램으로 설정하지 않고, 적절한 오프셋 전압을 부여할 수 있고, 오버 레인지(over range)를 억제할 수 있는 IC 테스터를 실현하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to realize an IC tester that can provide an appropriate offset voltage and can suppress an over range without setting the offset voltage in a test program.

이하 본 발명을, 도면을 사용하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail using drawing.

(제1 실시예)(First embodiment)

도 2는 본 발명의 일실시예를 나타낸 구성도이다. 여기서, 도 1과 동일한 요소에는 동일 부호를 부여하여 그에 대한 설명은 생략한다.2 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. Here, the same reference numerals are given to the same elements as those in FIG. 1, and description thereof will be omitted.

도 2에서, 전압 측정부(6)는, DUT(1)의 핀마다의 출력을 A/D 컨버터(5)와 비교하여, 넓은 측정 범위에서, 대략적으로 측정한다. 제어부(7)는, 전압 측정부(6)의 측정 결과를 입력받아서, 전압 발생부(2)의 오프셋 전압을 설정하고, A/D 컨버터(5)의 출력을 입력받는다.In FIG. 2, the voltage measuring unit 6 roughly measures the output of each pin of the DUT 1 with the A / D converter 5 in a wide measurement range. The control unit 7 receives the measurement result of the voltage measuring unit 6, sets the offset voltage of the voltage generating unit 2, and receives the output of the A / D converter 5.

전술한 바와 같은 장치의 동작을 이하에서 설명한다. 고정밀도 측정이 필요하지 않은 경우, 스위치(4)를 온으로 설정하고, A/D 컨버터(5)의 입력 범위를 넓혀 서, 측정 범위를 넓게 잡는다. A/D 컨버터(5)의 출력 비트수는 변하지 않기 때문에, 측정 정밀도는 저하된다. 그리고, DUT(1)가 도시하지 않은 신호 발생부로부터 입력받은 입력 패턴에 따라, DUT(1)가 계조 전압을 출력하고, 스위치(4)를 통하여 A/D 컨버터(5)에 입력된다. A/D 컨버터(5)는 입력받은 전압을 디지털 데이터로 변환시켜서 DUT(1)의 불량 여부를 판정한다. 불량 여부의 판정에는, 원하는 기대값 범위에 DUT(1)의 출력이 포함되는지의 여부를 판정하거나 핀간의 편차의 판정 등을 행하고 있다.The operation of the apparatus as described above will be described below. If high precision measurement is not required, set the switch 4 to on, and widen the input range of the A / D converter 5 to widen the measurement range. Since the number of output bits of the A / D converter 5 does not change, the measurement accuracy is lowered. Then, the DUT 1 outputs the gray scale voltage according to the input pattern received from the signal generator not shown, and is input to the A / D converter 5 through the switch 4. The A / D converter 5 converts the input voltage into digital data to determine whether the DUT 1 is defective. In the determination of the defect, it is determined whether the output of the DUT 1 is included in the desired expected value range, or the deviation between the pins is determined.

고정밀도의 측정이 필요한 경우, 스위치(4)를 오프로 설정하고, A/D 컨버터(5)의 입력 범위를 좁혀서, 측정 범위를 좁게 설정한다. 그리고, DUT(1)가 도시하지 않은 신호 발생부로부터 입력받은 입력 패턴에 따라, DUT(1)가 계조 전압을 출력한다. 상기 DUT(1)의 출력을, 전압 측정부(6)가 개략적으로 측정하고, 제어부(7)로 출력한다. 제어부(7)는, 전압 측정부(6)의 측정 결과에 따라, 전압 발생부(2)에 오프셋 전압을 설정한다. 전압 발생부(2)는 오프셋 전압을 출력하고, 오프셋 감산기(3)는 DUT(1)의 출력으로부터 오프셋 전압을 감산하고, A/D 컨버터(5)에 출력한다. A/D 컨버터(5)는, 입력된 전압을 디지털 데이터로 변환시키고, 상기 디지털 데이터 및 오프셋 전압치에 의해, DUT(1)의 출력을 구하고, 제어부(7)는 DUT(1)의 불량 여부를 판정한다.When high precision measurement is required, the switch 4 is set to off, the input range of the A / D converter 5 is narrowed, and the measurement range is set narrow. Then, the DUT 1 outputs a gray voltage in accordance with an input pattern received from a signal generator not shown by the DUT 1. The voltage measuring unit 6 roughly measures the output of the DUT 1 and outputs it to the control unit 7. The control part 7 sets the offset voltage in the voltage generation part 2 according to the measurement result of the voltage measuring part 6. The voltage generator 2 outputs the offset voltage, and the offset subtractor 3 subtracts the offset voltage from the output of the DUT 1 and outputs it to the A / D converter 5. The A / D converter 5 converts the input voltage into digital data, obtains the output of the DUT 1 based on the digital data and the offset voltage value, and the controller 7 determines whether the DUT 1 is defective. Determine.

이와 같이, 전압 측정부(6)가, DUT(1)의 출력을 넓은 측정 범위에서 개략적으로 측정하고, 이 측정 결과에 따라, 제어부(7)가 오프셋 전압을 전압 발생부(2)에 설정하므로, 오프셋 전압을 테스트 프로그램으로 설정하지 않고, 적절한 오프셋 전압을 부여할 수 있으므로, 오버 레인지를 억제할 수 있다.In this way, the voltage measuring unit 6 roughly measures the output of the DUT 1 in a wide measuring range, and according to the measurement result, the control unit 7 sets the offset voltage to the voltage generating unit 2. Since the appropriate offset voltage can be provided without setting the offset voltage in the test program, the over range can be suppressed.

또한, A/D 컨버터(5)에 구해지는 측정 범위를 좁게 설정할 수 있으므로, 저정밀도의 A/D 컨버터(5)에서도 고정밀도로 측정할 수 있다.Moreover, since the measurement range calculated | required by the A / D converter 5 can be set narrow, it can measure with high precision also in the A / D converter 5 of low precision.

그리고, DUT(1)의 출력은, 아날로그 신호이므로, 세트링 타임(settling time)이 걸린다. 따라서, A/D 컨버터(5)로 측정하기 전에, 전압 측정부(6)로 전압을 측정하고, 전압 발생부(2)에 오프셋 전압을 출력시키고 있다. 즉, 시험 시간에 영향을 주지 않고 , 오프셋 전압 설정이 행해지고 있다.Since the output of the DUT 1 is an analog signal, it takes a settling time. Therefore, before measuring with the A / D converter 5, the voltage is measured by the voltage measuring part 6, and the offset voltage is output to the voltage generating part 2. As shown in FIG. That is, offset voltage setting is performed without affecting test time.

(제2 실시예)(2nd Example)

도 3은 제2 실시예를 나타낸 구성도이다. 여기서, 도 2와 동일한 요소에는 동일한 부호를 부여하고 그에 대한 설명은 생략한다.3 is a configuration diagram showing a second embodiment. Here, the same reference numerals are given to the same elements as in FIG. 2, and description thereof will be omitted.

도 3에서, 기준 전압원부(21) 및 멀티플렉서(22)가, 도 2에 나타내는 전압 발생부(2) 대신 전압 발생부가 된다. 기준 전압원부(21)는, 복수개의 기준 전압원으로 이루어지고, 상이한 기준 전압 V1 ~ V3를 출력한다. 멀티플렉서(22)는, 기준 전압원부(21)의 상이한 기준 전압 V1 ~ V3를 선택하여, 오프셋 감산기(3)에 오프셋 전압으로서 출력한다. 2개의 컴퍼레이터(61)는, 전압 측정부(6) 대신 설치되고, 전압 측정부가 되며, DUT(1)의 핀마다의 출력을 비교 전압 VH, VL(V3 ＞ VH＞ V2 ＞ VL＞ V1)의 각각과 비교한다. 제어부(71)는, 제어부(7) 대신 설치되고, 컴퍼레이터(61)의 결과를 입력하고, 멀티플렉서(22)를 전환하고, 오프셋 전압을 지시하고, A/D 컨버터(5)의 출력을 입력한다.In FIG. 3, the reference voltage source 21 and the multiplexer 22 become a voltage generator instead of the voltage generator 2 shown in FIG. 2. The reference voltage source unit 21 is composed of a plurality of reference voltage sources and outputs different reference voltages V1 to V3. The multiplexer 22 selects different reference voltages V1 to V3 of the reference voltage source section 21 and outputs them to the offset subtractor 3 as an offset voltage. The two comparators 61 are provided in place of the voltage measuring unit 6, and serve as voltage measuring units, and compare the output of each pin of the DUT 1 with the comparison voltage VH and VL (V3> VH> V2> VL> V1). Compare with each of. The control unit 71 is provided in place of the control unit 7, inputs the result of the comparator 61, switches the multiplexer 22, instructs the offset voltage, and inputs the output of the A / D converter 5. do.

이와 같은 장치의 동작은, 도 2에 나타낸 장치와 대략 마찬가지이다. 상이 한 점에 대하여서는 이하에서 설명한다. 2개의 컴퍼레이터(61)가, 기준 전압 V1 ~ V3를 선택하기 위한 전압 범위 내에 DUT(1)의 출력이 포함되는지의 여부를 측정한다. 즉, DUT(1)의 출력이, 컴퍼레이터(61)의 비교 전압 VH, VL의 사이의 경우, 제어부(71)이 멀티플렉서(22)에 기준 전압원부(21)의 기준 전압 V2를 선택시킨다. DUT(1)의 출력이 비교 전압 VH 보다 큰 경우, 제어부(71)가 멀티플렉서(22)에 기준 전압 V3를 선택시킨다. DUTU(1)의 출력이 비교 전압 VL보다 작은 경우, 제어부(71)는 멀티플렉서(22)에 기준 전압 V1을 선택시킨다. 그리고, 멀티플렉서(22)가 오프셋 전압을 오프셋 감산기(3)에 출력한다.The operation of such a device is substantially the same as the device shown in FIG. The difference is demonstrated below. The two comparators 61 measure whether the output of the DUT 1 is included in the voltage range for selecting the reference voltages V1 to V3. That is, when the output of the DUT 1 is between the comparison voltages VH and VL of the comparator 61, the control unit 71 causes the multiplexer 22 to select the reference voltage V2 of the reference voltage source unit 21. When the output of the DUT 1 is larger than the comparison voltage VH, the control unit 71 selects the multiplexer 22 to the reference voltage V3. When the output of the DUTU 1 is smaller than the comparison voltage VL, the control unit 71 selects the multiplexer 22 to the reference voltage V1. The multiplexer 22 then outputs the offset voltage to the offset subtracter 3.

본 예에서는, 오프셋 전압이 기준 전압원에 의한 고정 전압이므로, 드리프트(drift)나 세트링 등의 영향을 쉽게 받지 않으며, 비교적 정밀하게 측정하기 쉽게 된다.In this example, since the offset voltage is a fixed voltage by the reference voltage source, it is not easily affected by drift, set, or the like, and it is easy to measure relatively precisely.

(제3 실시예)(Third Embodiment)

도 4는 제3 실시예를 나타낸 구성도이다. 여기서, 도 2와 동일한 요소에는 동일한 부호를 부여하고 그에 대한 설명은 생략한다.4 is a configuration diagram showing a third embodiment. Here, the same reference numerals are given to the same elements as in FIG. 2, and description thereof will be omitted.

도 4에서, D/A 컨버터(23)는 전압 발생부(2) 대신 설치되고, 오프셋 전압을 오프셋 감산기(3)에 출력한다. A/D 컨버터(62)는, 전압 측정부(6) 대신 설치되고, DUT(1)의 핀마다의 출력을 넓은 측정 범위, 낮은 정밀도로 측정한다. 제어부(72)는, 제어부(7) 대신 설치되고, A/D 컨버터(5)의 측정 결과를 입력하고, D/A 컨버터(23)의 오프셋 전압을 설정하고, A/D 컨버터(5)의 출력을 입력한다.In Fig. 4, the D / A converter 23 is provided in place of the voltage generator 2, and outputs an offset voltage to the offset subtractor 3. The A / D converter 62 is provided in place of the voltage measuring unit 6 and measures the output of each pin of the DUT 1 with a wide measurement range and low precision. The control unit 72 is provided in place of the control unit 7, inputs the measurement result of the A / D converter 5, sets the offset voltage of the D / A converter 23, and sets the A / D converter 5. Enter the output.

이와 같은 장치의 동작은, 전압 발생부(2)가 D/A 컨버터(23), 전압 측정 부(6)가 A/D 컨버터(62)로 바뀌었을 뿐이고, 도 2에 나타낸 장치와 동작은 마찬가지이므로 그에 대한 설명은 생략한다.In the operation of such an apparatus, the voltage generator 2 only changes the D / A converter 23 and the voltage measuring unit 6 into the A / D converter 62. The operation is similar to the apparatus shown in FIG. Therefore, description thereof is omitted.

(제4 실시예)(Example 4)

도 5는 제4 실시예를 나타낸 구성도이다. 여기서, 도 2에 나타낸 장치와 동일한 요소에는 동일한 부호를 부여하고 그에 대한 설명은 생략한다.5 is a configuration diagram showing a fourth embodiment. Here, the same reference numerals are given to the same elements as the apparatus shown in FIG. 2 and the description thereof will be omitted.

도 5에서는, 도 2와 달리, 전압 측정부(6)가 설치되지 않고, 제어부(73)가 제어부(7) 대신 설치되어, 스위치(4), A/D 컨버터(5)를 제어하고, A/D 컨버터(5)의 출력을 입력받고, 또한 전압 발생부(2)의 오프셋 전압을 설정한다.In FIG. 5, unlike FIG. 2, the voltage measuring unit 6 is not provided, and the control unit 73 is provided in place of the control unit 7 to control the switch 4 and the A / D converter 5, and A The output of the / D converter 5 is input, and the offset voltage of the voltage generator 2 is set.

이와 같은 장치의 고정밀도 측정이 필요하지 않은 경우의 동작은, 도 2에 나타낸 장치와 마찬가지이므로 그에 대한 설명은 생략한다. 고정밀도 측정이 필요한 경우, 제어부(73)는, 스위치(4)를 온으로 설정하고, A/D 컨버터(5)의 입력 범위를 넓혀서, 측정 범위를 넓힌다. 그리고, DUT(1)가 도시하지 않은 신호 발생부로부터 입력받은 입력 패턴에 따라, DUT(1)가 계조 전압을 출력한다. 상기 DUT(1)의 출력을, 스위치(4)를 통하여, A/D 컨버터(5)가 측정하고, 제어부(73)에 출력하며, 제어부(73)가 전압 발생부(2)에 오프셋 전압을 설정한다. 이 때, 제어부(73)는, 스위치(4)를 오프로 설정하고, A/D 컨버터(5)의 입력 범위를 좁혀서, 측정 범위를 좁게 설정한다. 전압 발생부(2)는 오프셋 전압을 출력하고, 오프셋 감산기(3)는 DUT(1)의 출력으로부터 오프셋 전압을 감산하고, A/D 컨버터(5)에 출력한다. A/D 컨버터(5)는, 입력된 전압을 디지털 데이터로 변환시켜서, 제어부(73)에 출력한다.Since operation | movement in the case where such a high precision measurement of such an apparatus is not needed is the same as that of the apparatus shown in FIG. When high precision measurement is necessary, the control part 73 sets the switch 4 to ON, widens the input range of the A / D converter 5, and widens a measurement range. Then, the DUT 1 outputs a gray voltage in accordance with an input pattern received from a signal generator not shown by the DUT 1. The output of the DUT 1 is measured by the A / D converter 5 via the switch 4 and output to the control unit 73, and the control unit 73 supplies the offset voltage to the voltage generator 2. Set it. At this time, the control part 73 sets the switch 4 to OFF, narrows the input range of the A / D converter 5, and sets a narrow measurement range. The voltage generator 2 outputs the offset voltage, and the offset subtractor 3 subtracts the offset voltage from the output of the DUT 1 and outputs it to the A / D converter 5. The A / D converter 5 converts the input voltage into digital data and outputs it to the control unit 73.

다음에, DUT(1)에 입력되는 입력 패턴이 변화된 경우, 다시 제어부(73)가 스 위치(4)를 온으로 설정하고, A/D 컨버터(5)의 입력 범위를 넓히고, 스위치(4)를 통하여 DUT(1)의 출력을 A/D 컨버터(5)가 측정하고, 제어부(73)에 출력한다. 제어부(73)는 전압 발생부(2)에 오프셋 전압을 설정한다. 이 때, 제어부(73)는 스위치(4)를 오프로 설정하고, A/D 컨버터(5)의 입력 범위를 좁힌다. 전압 발생부(2)가 오프셋 전압을 출력하고, 오프셋 감산기(3)가 DUT(1)의 출력으로부터 오프셋 전압을 감산하고, A/D 컨버터(5)에 출력한다. A/D 컨버터(5)는 입력된 전압을 디지털 데이터로 변환하고, 제어부(73)에 출력한다. 이와 같은 동작을 반복하고, 오프셋 감산된 디지털 데이터, 오프셋 전압치에 의해, 제어부(73)는 DUT(1)의 불량 여부를 판정한다.Next, when the input pattern input to the DUT 1 is changed, the control section 73 sets the switch 4 to ON again, widens the input range of the A / D converter 5, and switches 4 The A / D converter 5 measures the output of the DUT 1 through the control unit 73. The controller 73 sets the offset voltage in the voltage generator 2. At this time, the control unit 73 sets the switch 4 to off and narrows the input range of the A / D converter 5. The voltage generator 2 outputs the offset voltage, and the offset subtractor 3 subtracts the offset voltage from the output of the DUT 1 and outputs it to the A / D converter 5. The A / D converter 5 converts the input voltage into digital data and outputs it to the control unit 73. The above operation is repeated, and the control unit 73 determines whether the DUT 1 is defective, based on the offset-subtracted digital data and the offset voltage value.

본 예에서는, A/D 컨버터(5)가 오프셋 전압을 설정하기 위한 전압 측정도 행하므로, 전압 측정부를 설치할 필요가 없다. 즉, 염가로 구성할 수 있다.In this example, since the A / D converter 5 also performs voltage measurement for setting the offset voltage, it is not necessary to provide a voltage measuring unit. That is, it can be comprised cheaply.

그리고, 본 발명은 이에 한정되지 않고, DUT(1)의 예로서, 전압 출력을 행하는 액정 구동 드라이버를 나타냈으나, 다단계 전류 출력을 행하는 유기 EL(Electronic Luminescent) 드라이버일 수도 있다. 이 경우, DUT(1)의 출력 단에 I/V변환기를 설치하여, 전류 출력을 전압으로 변환한다.Incidentally, the present invention is not limited to this, but the liquid crystal drive driver for outputting voltage is shown as an example of the DUT 1, but may be an organic EL (Electronic Luminescent) driver for performing multi-step current output. In this case, an I / V converter is provided at the output terminal of the DUT 1 to convert the current output into a voltage.

또한, 오프셋 감산기(3)로 오프셋 전압을 감산하는 구성을 나타냈으나, 오프셋 전압이 부(負) 전압이라면, 가산기로 구성할 수도 있다.Moreover, although the structure which subtracted the offset voltage with the offset subtractor 3 was shown, if it is a negative voltage, it can also be comprised with an adder.

또한, 전압 측정부(6)가 DUT(1)의 출력을 제어부(7)에 출력하고, 제어부(7)가 전압 발생부(2)에 오프셋 전압을 설정하는 구성을 나타냈으나, 전압 측정부(6)가 전압 발생부(2)에 직접 설정하도록 구성될 수도 있다. 이 경우, 전압 측정 부(6)는, 제어부(7)가 DUT(1)의 출력값을 얻기 위해, 측정 결과를 제어부(7)에 출력할 필요가 있음은 말할 필요도 없다.In addition, although the voltage measuring part 6 outputs the output of the DUT 1 to the control part 7, and the control part 7 set the offset voltage to the voltage generation part 2, the voltage measuring part was shown. 6 may be configured to be set directly in the voltage generator 2. In this case, it goes without saying that the voltage measuring section 6 needs to output the measurement result to the control section 7 in order for the control section 7 to obtain the output value of the DUT 1.

또한, 2개의 컴퍼레이터(61)로 측정하는 구성을 나타냈으나, 복수개의 컴퍼레이터(61)로 구성될 수도 있다. 예를 들면, 기준 전압원부(21)의 기준 전압 V1 ~ V3의 개수가 증가하면, 한번에 측정 가능하도록, 복수개의 컴퍼레이터(61)를 설치한다.In addition, although the structure measured by the two comparator 61 was shown, it may be comprised by the some comparator 61. As shown in FIG. For example, when the number of reference voltages V1 to V3 of the reference voltage source unit 21 increases, a plurality of comparators 61 are provided so that they can be measured at one time.

또한, DUT(1)의 핀마다, 오프셋 감산기(3), 스위치(4), A/D 컨버터(5) 및 전압 측정부(6)을 설치한 구성을 나타냈으나, DUT(1)의 핀을 선택하는 스캐너를 사용하여, 하나의 그룹의 오프셋 감산기(3), 스위치(4), A/D 컨버터(5) 및 전압 측정부(6)에 의해 측정을 행하도록 구성될 수도 있다.Moreover, although the structure which provided the offset subtractor 3, the switch 4, the A / D converter 5, and the voltage measuring part 6 was shown for each pin of the DUT 1, the pin of the DUT 1 was shown. It may be configured to measure by a group of offset subtractors 3, switches 4, A / D converters 5 and voltage measuring sections 6, using a scanner that selects.

또한, 제어부(7, 71 ~ 73)가, DUT(1)의 불량 여부를 판정하는 구성을 나타냈으나, 다른 연산부나 디지털 컴퍼레이터에 의해 불량 여부를 판정하도록 구성될 수도 있다. 이 경우, 제어부는, 전압 측정부의 출력에 의해, 전압 발생부의 오프셋 전압 설정 만을 행한다. 그리고, 디지털 컴퍼레이터를 사용할 경우에는, 오프셋 전압치을 가산한 후, 디지털 컴퍼레이터로 기대값과 비교한다.Moreover, although the control part 7, 71-73 showed the structure which determines whether the DUT 1 is defective, it may be comprised so that it may be determined by another calculating part or a digital comparator. In this case, the control unit performs only the offset voltage setting of the voltage generation unit by the output of the voltage measuring unit. In the case of using a digital comparator, the offset voltage value is added and the digital comparator is compared with the expected value.

본 발명에 따르면, 오프셋 전압을 테스트 프로그램으로 설정하지 않고도, 적절한 오프셋 전압을 부여할 수 있고, 오버 레인지(over range)를 억제할 수 있는 IC 테스터를 실현할 수 있다.According to the present invention, an IC tester capable of providing an appropriate offset voltage and suppressing an over range can be realized without setting the offset voltage in the test program.

Claims (7)

피시험 대상의 출력을 오프셋 전압으로 감산하여 측정하는 IC 테스터에 있어서,In an IC tester for measuring the output of the test target subtracted by the offset voltage, 상기 피시험 대상의 출력을 측정하는 전압 측정부와,A voltage measuring unit measuring an output of the test target; 상기 전압 측정부의 측정 결과에 기초하여, 상기 오프셋 전압을 발생시키는 전압 발생부A voltage generator that generates the offset voltage based on a measurement result of the voltage measurer; 를 구비한 것을 특징으로 하는 IC 테스터.IC tester, characterized in that provided with. 피시험 대상의 출력을 오프셋 전압으로 감산하여 측정하는 IC 테스터에 있어서,In an IC tester for measuring the output of the test target subtracted by the offset voltage, 상기 피시험 대상의 출력을 측정하는 전압 측정부와,A voltage measuring unit measuring an output of the test target; 상기 오프셋 전압을 발생시키는 전압 발생부와,A voltage generator which generates the offset voltage; 상기 전압 측정부의 측정 결과에 기초하여, 상기 전압 발생부의 오프셋 전압을 설정하는 제어부A controller configured to set an offset voltage of the voltage generator based on a measurement result of the voltage measurer 를 구비한 것을 특징으로 하는 IC 테스터.IC tester, characterized in that provided with. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 전압 측정부는, 넓은 측정 범위에서 피시험 대상의 출력을 측정하고, 좁은 측정 범위에서 피시험 대상의 출력이 오프셋 전압에 의해 감산된 전압을 측정 하는 것을 특징으로 하는 IC 테스터.And the voltage measuring unit measures an output of the test target under a wide measurement range, and measures a voltage obtained by subtracting the output of the test target by an offset voltage in a narrow measurement range. 피시험 대상의 출력을 오프셋 전압으로 감산하고, A/D 컨버터에 의해 좁은 측정 범위에서 측정하는 IC 테스터에 있어서,In an IC tester which subtracts the output under test to an offset voltage and measures it in a narrow measurement range by an A / D converter, 상기 피시험 대상의 출력을 넓은 측정 범위에서 측정하는 전압 측정부와,A voltage measuring unit measuring the output of the test target in a wide measurement range; 상기 오프셋 전압을 발생시키는 전압 발생부와,A voltage generator which generates the offset voltage; 상기 전압 측정부의 측정 결과에 기초하여, 상기 전압 발생부의 오프셋 전압을 설정하는 제어부A controller configured to set an offset voltage of the voltage generator based on a measurement result of the voltage measurer 를 구비한 것을 특징으로 하는 IC 테스터.IC tester, characterized in that provided with. 제1항, 제2항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1, 2 or 4, 상기 전압 측정부는 A/D 컨버터이며, 상기 전압 발생부는 D/A 컨버터인 것을 특징으로 하는 IC 테스터.And the voltage measuring unit is an A / D converter, and the voltage generating unit is a D / A converter. 제1항, 제2항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1, 2 or 4, 상기 피시험 대상은 액정 구동 드라이버인 것을 특징으로 하는 IC 테스터.The test target is an IC tester, characterized in that the liquid crystal drive driver. 제1항 또는 제2항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2 or 4, 상기 피시험 대상의 출력 경로에 전류를 전압으로 변환시키는 I/V 컨버터를 설치한 것을 특징으로 하는 IC 테스터.And an I / V converter for converting a current into a voltage in an output path of the test target.
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