KR20070049718A - 표시 기판, 이의 검사 및 리페어 방법 - Google Patents

표시 기판, 이의 검사 및 리페어 방법 Download PDF

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한혜리
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Abstract

신호 라인의 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 표시 기판, 이의 검사 및 리페어 방법이 개시되어 있다. 표시 기판은 외부로부터 인가되는 구동 신호를 수신하는 구동 패드들이 형성된 패드부, 구동 패드들과 전기적으로 연결되어 구동 신호를 전송하는 팬 아웃 라인들이 형성된 팬 아웃부, 팬 아웃 라인들과 전기적으로 연결된 신호 라인들이 형성된 화소부, 패드부와 인접한 팬 아웃부의 상측 및 화소부와 인접한 팬 아웃부의 하측에 형성된 리페어부, 및 팬 아웃 라인 및 신호 라인을 검사하기 위한 검사 신호를 리페어부에 인가하는 검사부를 포함한다. 따라서, 다이오드부를 통해 팬 아웃 라인들과 연결된 리페어 라인을 통해 그로스 검사를 수행함으로써 검사의 신뢰성을 향상시키고, 팬 아웃 라인의 리페어를 용이하게 진행할 수 있다.

Description

표시 기판, 이의 검사 및 리페어 방법{DISPLAY SUBSTRATE AND METHOD OF TESTING AND REPAIRING THE SAME}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 기판을 나타낸 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 패드부 및 팬 아웃부를 구체적으로 나타낸 평면도이며,
도 3은 도 2에 도시된 다이오드부를 나타낸 등가회로도이다.
도 4는 도 2의 A부분을 확대한 확대도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 기판의 검사 및 리페어 방법을 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 표시 기판 110 : 구동 패드
120 : 팬 아웃 라인 130 : 신호 라인
140 : 리페어부 142 : 제1 리페어 라인
144 : 제2 리페어 라인 146 : 연결 라인
150 : 검사부 160 : 다이오드부
본 발명은 표시 기판 및 이의 검사 및 리페어 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 그로스 검사를 용이하게 하기 위한 표시 기판 및 이의 검사 및 리페어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치는 영상을 표시하는 액정표시패널과, 액정표시패널과 전기적으로 연결되어 액정표시패널을 구동시키는 구동 장치를 포함한다.
액정표시패널은 표시 기판, 표시 기판과 마주하는 상부 기판, 및 표시 기판과 상부 기판과의 사이에 개재된 액정층으로 이루어진다.
표시 기판은 실질적으로 영상을 표시하는 표시 영역과 표시 영역을 둘러 싸는 주변 영역으로 구분된다. 표시 기판의 주변 영역에는 구동 장치로부터 구동 신호를 수신하는 구동 패드들 및 구동 패드들과 연결된 팬 아웃 라인들이 형성된다. 표시 기판의 표시 영역에는 팬 아웃 라인들과 연결된 신호 라인들이 형성된다. 신호 라인들은 데이터 라인 및 데이터 라인과 절연되어 교차하는 게이트 라인을 포함한다.
액정표시패널이 고집적화되어 질수록 이물로 인한 팬 아웃 라인 또는 신호 라인들의 단선 또는 단락 등의 라인 불량이 발생되며, 이러한 라인 불량은 액정표시패널의 제조 수율을 떨어뜨리는 주요인으로 작용하고 있다.
한편, 이러한 액정표시패널의 라인 불량 및 화소 불량을 검사하기 위하여, 구동 장치를 연결하기 전에 그로스 검사(gross test)를 진행한다. 그로스 검사는 검사 장치의 프로브 핀들과 액정표시패널에 형성된 구동 패드들을 접촉시킨 상태에 서, 검사 신호를 액정표시패널에 전달하여 검사를 수행한다.
그러나, 검사 장치의 프로브 핀들과 액정표시패널의 구동 패드들간의 얼라인 미스(align miss)로 인해 정확한 검사 결과를 얻을 수 없는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 본 발명은 그로스 검사의 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 표시 기판을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기와 같은 표시 기판의 검사 및 리페어 방법을 제공한다.
본 발명의 일 특징에 따른 표시 기판은 외부로부터 인가되는 구동 신호를 수신하는 구동 패드들이 형성된 패드부, 상기 구동 패드들과 전기적으로 연결되어 상기 구동 신호를 전송하는 팬 아웃 라인들이 형성된 팬 아웃부, 상기 팬 아웃 라인들과 전기적으로 연결된 신호 라인들이 형성된 화소부, 상기 패드부와 인접한 상기 팬 아웃부의 상측 및 상기 화소부와 인접한 상기 팬 아웃부의 하측에 형성된 리페어부, 및 상기 팬 아웃 라인 및 상기 신호 라인을 검사하기 위한 검사 신호를 상기 리페어부에 인가하는 검사부를 포함한다.
상기 리페어부는 상기 패드부와 인접한 상기 팬 아웃부의 상측에 상기 팬 아웃 라인들과 절연되어 교차되도록 형성된 하나 이상의 제1 리페어 라인, 상기 화소부와 인접한 상기 팬 아웃부의 하측에 상기 팬 아웃 라인들과 절연되어 교차되도록 형성된 하나 이상의 제2 리페어 라인, 및 상기 제1 리페어 라인과 상기 제2 리페어 라인을 연결하는 연결 라인을 포함한다.
상기 표시 기판은 상기 검사 신호를 상기 팬 아웃 라인들의 상측에 인가하기 위하여, 상기 제1 리페어 라인과 각각의 상기 팬 아웃 라인에 연결된 다이오드부를 더 포함한다.
본 발명의 일 특징에 따른 표시 기판의 검사 및 리페어 방법에 따르면, 표시 기판은 구동 신호를 수신하는 구동 패드들, 상기 구동 패드들과 연결된 팬 아웃 라인들, 상기 팬 아웃 라인들과 연결된 신호 라인들, 상기 구동 패드들과 인접한 상기 팬 아웃 라인들의 상측 및 상기 신호 라인들과 인접한 상기 팬 아웃 라인들의 하측에 형성된 리페어부, 및 상기 리페어부와 연결된 검사부를 포함하며, 상기 검사부에 검사 신호를 인가하여 상기 팬 아웃 라인들 및 상기 신호 라인들의 단선 여부를 검사하는 단계와, 상기 검사 단계에서 단선으로 검출된 상기 팬 아웃 라인을 상기 리페어부를 통하여 리페어하는 단계를 포함한다.
이러한 표시 기판 및 이의 검사 및 리페어 방법에 의하면, 다이오드부를 통해 팬 아웃 라인들과 연결된 리페어 라인을 통해 그로스 검사를 수행함으로써 검사의 신뢰성을 향상시키고, 팬 아웃 라인의 리페어를 용이하게 진행할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 기판을 나타낸 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 기판(100)은 패드부(PA), 팬 아웃부(FA) 및 화소부(AA)를 포함한다.
표시 기판(100)의 패드부(PA)에는 외부로부터 인가되는 구동 신호를 수신하 는 구동 패드들(110)이 형성된다. 구동 패드들(110)은 외부로부터 인가되는 구동 신호 중에서 데이터 신호를 수신하는 데이터 구동 패드들(110a)과, 외부로부터 인가되는 구동 신호 중에서 게이트 신호를 수신하는 게이트 구동 패드들(110b)을 포함한다.
표시 기판(100)의 팬 아웃부(FA)에는 구동 패드들(110)과 전기적으로 연결되어 구동 신호를 전송하는 팬 아웃 라인들(120)이 형성된다.
표시 기판(100)의 화소부(AA)에는 팬 아웃 라인들(120)과 전기적으로 연결된 신호 라인들(130)들이 형성된다. 신호 라인들(130)은 데이터 구동 패드들(110a)과 연결되는 데이터 라인들(130a)과, 게이트 구동 패드들(110b)과 연결되는 게이트 라인들(130b)을 포함한다. 데이터 라인들(130a)과 게이트 라인들(130b)은 화소부(AA) 내에서 서로 절연되어 교차되도록 형성된다.
도시되지는 않았으나, 표시 기판(100)의 화소부(AA)에는 데이터 라인(130a) 및 게이트 라인(130a)과 연결된 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT), 박막 트랜지스터와 연결된 화소 전극 등이 형성된다.
표시 기판(100)은 리페어부(140)와 검사부(150)를 더 포함한다.
리페어부(140)는 패드부(PA)와 인접한 팬 아웃부(FA)의 상측 및 화소부(AA)와 인접한 팬 아웃부(FA)의 하측에 형성된다. 리페어부(140)는 팬 아웃 라인(120)에 단선이 발생된 경우, 단선된 팬 아웃 라인(120)을 리페어(repair)하는 데 사용된다.
검사부(150)는 리페어부(140)와 전기적으로 연결된다. 검사부(150)는 팬 아 웃 라인(120) 및 신호 라인(130)을 검사하기 위한 검사 신호를 리페어부(140)에 인가한다.
도 2는 도 1에 도시된 패드부 및 팬 아웃부를 구체적으로 나타낸 평면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 다이오드부를 나타낸 등가회로도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 데이터 라인들(130a)은 팬 아웃 라인(120)을 통해 데이터 구동 패드들(110a)과 연결된다. 따라서, 데이터 구동 패드들(110a)에 수신된 데이터 신호는 팬 아웃 라인들(120)을 거쳐 데이터 라인들(130a)에 인가된다.
리페어부(140)는 제1 리페어 라인(142), 제2 리페어 라인(144) 및 연결 라인(146)을 포함한다. 제1 리페어 라인(142)은 패드부(PA)와 인접한 팬 아웃부(FA)의 상측에 팬 아웃 라인들(120)과 절연되어 교차되도록 형성된다. 제2 리페어 라인(144)은 화소부(AA)와 인접한 팬 아웃부(FA)의 하측에 팬 아웃 라인들(120)과 절연되어 교차되도록 형성된다. 연결 라인(146)은 제1 리페어 라인(142)과 제2 리페어 라인(144)을 연결한다.
리페어부(140)는 절연막을 사이에 두고 팬 아웃 라인들(120)과 절연되도록 형성된다. 팬 아웃 라인들(120)이 데이터 라인들(130a)과 동일한 층에 형성된 경우, 리페어부(140)는 게이트 라인들(130b)과 동일한 층에 형성된다. 이와 달리, 팬 아웃 라인들(120)이 게이트 라인들(130b)과 동일한 층에 형성된 경우, 리페어부(140)는 데이터 라인들(130a)과 동일한 층에 형성된다.
표시 기판(100)은 복수의 구동 패드 그룹들(112)을 포함한다. 각각의 구동 패드 그룹(112)에는 하나의 구동 칩, 또는 구동 칩이 실장된 연성회로필름이 연결 된다.
리페어부(140)는 각 구동 패드 그룹(112)에 대응하여 하나 이상이 형성된다. 도 2에서, 리페어부(140)는 각 구동 패드 그룹(112)에 대응하여 서로 교차되지 않도록 2개가 형성된다. 이와 달리, 리페어부(140)는 각 구동 패드 그룹(112)에 대응하여 1개 또는 3개 이상이 형성될 수 있다. 또한, 리페어부(140)는 2개 이상의 구동 패드 그룹들(112)에 걸쳐 형성될 수 있다.
검사부(150)는 외부로부터 인가되는 검사 신호를 수신하는 하나 이상의 검사 패드(152) 및 검사 패드(152)와 리페어부(140)를 전기적으로 연결하는 검사 라인(154)을 포함한다. 팬 아웃 라인들(120) 및 데이터 라인들(130a)의 단선 여부를 검사하기 위한 검사 신호는 검사 패드(152) 및 검사 라인(154)을 통해 리페어부(140)에 인가된다.
표시 기판(100)은 상기 검사 신호를 팬 아웃 라인들(120)의 상측에 인가하기 위하여, 제1 리페어 라인(142)과 각각의 팬 아웃 라인(120)에 연결된 다이오드부(160)를 더 포함한다. 다이오드부(160)는 리페어부(140) 및 데이터 라인들(130a)을 형성하는 박막 공정을 통해 동시에 형성된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 다이오드부(160)의 소오스 전극(S) 및 게이트 전극(G)은 제1 리페어 라인(142)에 공통으로 연결되고, 다이오드부(160)의 드레인 전극(D)은 팬 아웃 라인(120)에 연결된다. 따라서, 검사부(150)로부터 제1 리페어 라인(142)에 인가된 상기 검사 신호는 다이오드부(160)를 거쳐 모든 팬 아웃 라인들(120)에 동시에 인가된다.
도 4는 도 2의 A부분을 확대한 확대도이다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 팬 아웃 라인(120)은 제1 및 제2 리페어 라인(142, 144)과 교차되는 영역에서 제1 및 제2 리페어 라인(142, 144)의 길이 방향을 따라 돌출된 제1 돌출부(122)를 포함한다. 또한, 제1 및 제2 리페어 라인(142, 144)은 팬 아웃 라인(120)과 교차되는 영역에서 팬 아웃 라인(120)의 길이 방향으로 따라 돌출된 제2 돌출부(143)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 돌출부(122)와 제2 돌출부(143)는 서로 절연되어 중첩되도록 형성된다.
팬 아웃 라인(120)의 단선을 리페어하기 위해서는 레이저 빔을 팬 아웃 라인(120)과 제1 및 제2 리페어 라인(142, 144)이 교차하는 영역에 조사하여 팬 아웃 라인(120)과 제1 및 제2 리페어 라인(142, 144)을 전기적으로 연결한다. 이때, 팬 아웃 라인(120)과 제1 및 제2 리페어 라인(142, 144)이 중첩되는 면적이 적을 경우, 리페어에 대한 신뢰성이 떨어질 수 있다. 따라서, 제1 돌출부(122) 및 제2 돌출부(143)를 추가로 형성하여 팬 아웃 라인(120)과 제1 및 제2 리페어 라인(142, 144)이 중첩되는 면적을 증가시킴으로써, 팬 아웃 라인(120)의 리페어에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
한편, 도 2 내지 도 4에서는 데이터 라인들(130a)과 데이터 구동 패드들(110a) 사이에만 리페어부(140)와 검사부(150)가 형성된 구조가 도시되어 있으나, 게이트 라인들(130b)과 게이트 구동 패드들(110b) 사이에도 리페어부와 검사부가 동일한 구조로 형성될 수 있다.
이하, 도 5를 참조하여 표시 기판(100)의 검사 및 리페어 방법에 대하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 기판의 검사 및 리페어 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 표시 기판(100)의 검사부(150)에 검사 신호를 인가하여 팬 아웃 라인들(120) 및 신호 라인들(130)의 단선 여부를 검사한다. 이때, 검사 패드(152)에는 약 20V의 검사 신호가 인가된다. 신호 라인들(130)은 데이터 라인이거나, 게이트 라인이 될 수 있다.
검사부(150)를 통해 제1 리페어 라인(142)에 인가된 검사 신호는 다이오드부(160)를 경유하여 팬 아웃 라인들(120)에 동시에 인가된다. 팬 아웃 라인들(120) 중에서 단선된 팬 아웃 라인(120a)이 존재할 경우, 단선된 팬 아웃 라인(120a)과 연결된 신호 라인(130)에는 검사 신호가 전달되지 못하여 다른 신호 라인들(130)과는 다른 영상을 표시하게 된다.
이와 같이, 리페어부(140)와 연결된 검사부(150)를 통하여 표시 기판(100)의 검사를 진행함으로써, 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
다음으로, 검사 공정에서 단선으로 검출된 팬 아웃 라인(120a)을 리페어부(140)를 통하여 리페어한다. 구체적으로, 단선으로 검출된 팬 아웃 라인(120a)과 제1 리페어 라인(142)이 교차하는 제1 지점(SP1)에 레이저 빔을 조사하여 단선된 팬 아웃 라인(120a)의 상부와 제1 리페어 라인(142)을 전기적으로 연결한다. 이후, 단선으로 검출된 팬 아웃 라인(120a)과 제2 리페어 라인(144)이 교차하는 제2 지점(SP2)에 레이저 빔을 조사하여 단선된 팬 아웃 라인(120a)의 하부와 제2 리페어 라인(144)을 전기적으로 연결한다.
따라서, 구동 패드(110)를 통해 인가되는 구동 신호는 제1 리페어 라인(142), 연결 라인(146) 및 제2 리페어 라인(144)을 경유하여 신호 라인(130)에 인가된다.
이와 같은 표시 기판 및 이의 검사 및 리페어 방법에 따르면, 다이오드부를 통해 팬 아웃 라인들과 연결된 리페어 라인을 통해 그로스 검사를 수행함으로써 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 검사 공정에서 검출된 팬 아웃 라인의 단선을 리페어 라인을 통해 용이하게 리페어하여 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (12)

  1. 외부로부터 인가되는 구동 신호를 수신하는 구동 패드들이 형성된 패드부;
    상기 구동 패드들과 전기적으로 연결되어 상기 구동 신호를 전송하는 팬 아웃 라인들이 형성된 팬 아웃부;
    상기 팬 아웃 라인들과 전기적으로 연결된 신호 라인들이 형성된 화소부;
    상기 패드부와 인접한 상기 팬 아웃부의 상측 및 상기 화소부와 인접한 상기 팬 아웃부의 하측에 형성된 리페어부; 및
    상기 팬 아웃 라인 및 상기 신호 라인을 검사하기 위한 검사 신호를 상기 리페어부에 인가하는 검사부를 포함하는 표시 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 리페어부는
    상기 패드부와 인접한 상기 팬 아웃부의 상측에 상기 팬 아웃 라인들과 절연되어 교차되도록 형성된 하나 이상의 제1 리페어 라인;
    상기 화소부와 인접한 상기 팬 아웃부의 하측에 상기 팬 아웃 라인들과 절연되어 교차되도록 형성된 하나 이상의 제2 리페어 라인; 및
    상기 제1 리페어 라인과 상기 제2 리페어 라인을 연결하는 연결 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
  3. 제2항에 있어서, 상기 검사 신호를 상기 팬 아웃 라인들의 상측에 인가하기 위하여, 상기 제1 리페어 라인과 각각의 상기 팬 아웃 라인에 연결된 다이오드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
  4. 제3항에 있어서, 상기 다이오드부의 소오스 전극 및 게이트 전극은 상기 제1 리페어 라인에 공통으로 연결되고, 상기 다이오드부의 드레인 전극은 상기 팬 아웃 라인에 연결된 것을 특징으로 하는 표시 기판.
  5. 제2항에 있어서, 상기 팬 아웃 라인은 상기 제1 및 제2 리페어 라인과 교차되는 영역에서 상기 제1 및 제2 리페어 라인의 길이 방향을 따라 돌출된 제1 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2 리페어 라인은 상기 팬 아웃 라인과 교차되는 영역에서 상기 팬 아웃 라인의 길이 방향을 따라 돌출된 제2 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
  7. 제1항에 있어서, 상기 검사부는
    외부로부터 인가되는 상기 검사 신호를 수신하는 하나 이상의 검사 패드; 및
    상기 검사 패드와 상기 리페어부를 연결하는 검사 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
  8. 제1항에 있어서, 상기 신호 라인은 데이터 라인인 것을 특징으로 하는 표시 기판.
  9. 구동 신호를 수신하는 구동 패드들, 상기 구동 패드들과 연결된 팬 아웃 라인들, 상기 팬 아웃 라인들과 연결된 신호 라인들, 상기 구동 패드들과 인접한 상기 팬 아웃 라인들의 상측 및 상기 신호 라인들과 인접한 상기 팬 아웃 라인들의 하측에 형성된 리페어부, 및 상기 리페어부와 연결된 검사부를 포함하는 표시 기판의 검사 및 리페어 방법에 있어서,
    상기 검사부에 검사 신호를 인가하여 상기 팬 아웃 라인들 및 상기 신호 라인들의 단선 여부를 검사하는 단계;
    상기 검사 단계에서 단선으로 검출된 상기 팬 아웃 라인을 상기 리페어부를 통하여 리페어하는 단계를 포함하는 표시 기판의 검사 및 리페어 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 리페어부는
    상기 구동 패드들과 인접한 상기 팬 아웃 라인들의 상측에 상기 팬 아웃 라인들과 절연되어 교차되도록 형성된 하나 이상의 제1 리페어 라인;
    상기 신호 라인들과 인접한 상기 팬 아웃 라인들의 하측에 상기 팬 아웃 라인들과 절연되어 교차되도록 형성된 하나 이상의 제2 리페어 라인; 및
    상기 제1 리페어 라인과 상기 제2 리페어 라인을 연결하는 연결 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 검사 및 리페어 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 표시 기판은 상기 검사 신호의 인가를 위하여 상기 제1 리페어 라인과 각각의 상기 팬 아웃 라인에 연결된 다이오드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 검사 및 리페어 방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 리페어 단계에서,
    상기 단선으로 검출된 팬 아웃 라인과 상기 제1 및 제2 리페어 라인을 레이저를 이용하여 전기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 검사 및 리페어 방법.
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