KR20070048370A - Variable type structure for piping and method thereof - Google Patents

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KR20070048370A KR1020050105374A KR20050105374A KR20070048370A KR 20070048370 A KR20070048370 A KR 20070048370A KR 1020050105374 A KR1020050105374 A KR 1020050105374A KR 20050105374 A KR20050105374 A KR 20050105374A KR 20070048370 A KR20070048370 A KR 20070048370A
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Abstract

본 발명은 가변식 배관구조 및 방법에 관한 것으로, 베쓰에는 그 내부의 공급관연결부를 향하여 관통되는 가설치공이 공급관의 직경보다 더 크게 형성되고, 상기 공급관이 밀착삽입되는 배관공이 형성되고 상기 베쓰의 내면 또는 외면에 설치되어 상기 공급관과 상기 가설치공과의 유격된 간격을 차폐하는 가변설치기재를 포함하는 가변식 배관구조 및 방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 공급관이 가설치공과의 유격된 간격 내에서 위치조절되어 공급관연결부에 연결되므로 정밀한 가공공정이 요구되지 않아 배관연결에 따른 작업시간 및 비용이 현저하게 절감된다는 효과가 있다.The present invention relates to a variable piping structure and method, wherein the bet is formed in the temporary installation hole penetrating toward the supply pipe connection therein is larger than the diameter of the supply pipe, the pipe is formed is tightly inserted into the supply pipe and the inner surface of the bath Or it is provided on the outer surface provides a variable piping structure and method comprising a variable installation substrate for shielding the gap between the supply pipe and the temporary installation hole. According to the present invention, since the supply pipe is positioned within the gap between the temporary installation and connected to the supply pipe connection part, a precise machining process is not required, thereby reducing the work time and cost according to the pipe connection.

가변식, 배관, 가설치공, 가변설치기재, 베쓰 Variable type, Piping, Temporary installation equipment, Variable installation equipment, Bath

Description

가변식 배관구조 및 방법{Variable type Structure for piping and method thereof}Variable type structure for piping and method

도 1은 본 발명 가변식 배관구조의 일실시 구성도이다.1 is a configuration diagram of one embodiment of the variable piping structure of the present invention.

도 2는 본 발명 가변식 배관구조의 다른 실시 구성도이다.Figure 2 is another embodiment of the variable piping structure of the present invention.

도 3은 도 1에 도시한 가변설치기재의 분리 사시도이다.3 is an exploded perspective view of the variable installation substrate shown in FIG. 1.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10 : 베쓰 11 : 분사노즐10: Beth 11: spray nozzle

11a : 공급관연결부 12 : 가설치공11a: supply pipe connection 12: temporary installation

20 : 공급관 30, 50 : 가변설치기재20: supply pipe 30, 50: variable installation equipment

40 : 기밀기재 51 : 제1설치기재40: airtight base material 51: first installation base material

52 : 제2설치기재52: second installation equipment

본 발명은 가변식 배관구조 및 방법에 관한 것으로, 특히 베쓰 내부의 공급관연결부에 연결되는 공급관을 위치조절가능한 가변식 배관구조 및 방법에 관한 것 이다.The present invention relates to a variable pipe structure and method, and more particularly to a variable pipe structure and method that can adjust the position of the supply pipe connected to the supply pipe connection inside the bath.

일반적으로 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이(Flat Panel Display) 기판은 사진, 이온확산, 식각, 화학기상증착, 금속증착 및 세정 등의 공정이 반복 수행되어 제작되는 것이다.In general, a semiconductor wafer or a flat panel display substrate is manufactured by repeatedly performing processes such as photography, ion diffusion, etching, chemical vapor deposition, metal deposition, and cleaning.

일례로 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이(Flat Panel Display) 기판은 세정공정을 비롯한 일부 공정이 베쓰(bath) 내부에서 이루어진다.For example, a semiconductor wafer or a flat panel display substrate has some processes including a cleaning process in a bath.

특히, 세정공정의 경우에는 기판의 세정을 위해 기판에 분사되는 세정액이 베쓰 외부의 세정액공급원에서 베쓰 내부의 세정장치에 지속적으로 공급되어야 한다.In particular, in the cleaning process, the cleaning liquid sprayed on the substrate for cleaning the substrate must be continuously supplied from the cleaning liquid supply source outside the bath to the cleaning apparatus inside the bath.

구체적으로, 베쓰는 세정액공급원에서 세정액을 공급받아 이송하는 공급관이 세정장치의 공급관연결부에 연결되도록 일면에 배관공이 형성된다.Specifically, the pipe is formed on one surface of the pipe so that the supply pipe for receiving and transporting the cleaning liquid from the cleaning liquid supply source is connected to the supply pipe connection of the cleaning apparatus.

그러나, 종래의 베쓰는 공급관을 설치하기 위한 배관공을 형성하다 보면 정확한 위치에 형성하는 것이 용이하지 않다는 불편함이 있었다.However, the conventional Beth has the inconvenience that it is not easy to form in the correct position when forming the plumbing hole for installing the supply pipe.

이에 배관공이 베쓰에 작은 오차라도 부정확한 위치에 형성되면 즉, 배관공이 공급관연결부와 동일축선상에 위치되지 못하고 편심형성될 경우 공급관은 공급관연결부에 단일 직관을 사용하여 직접 연결될 수 없다는 문제점이 발생되었다.Therefore, when a plumber is formed at an incorrect position even though a small error occurs in the bath, that is, when the plumber is not eccentric with the supply pipe connection part, the supply pipe cannot be directly connected to the supply pipe connection by using a single straight pipe. .

이로 인해, 공급관은 다수의 엘보우관을 추가로 사용하여 공급관연결부에 연결되므로 베쓰 내부가 복잡해지고, 배관작업에 많은 작업시간이 소요되며, 배관작업에 많은 비용이 든다는 단점들이 있었다.As a result, the supply pipe is connected to the supply pipe connection by using a plurality of elbow pipes additionally, so that the inside of the bath becomes complicated, the pipe work takes much time, and the pipe work takes a lot of costs.

이를 해결하기 위하여, 베쓰에 오차범위 내에서 공급관의 직경보다 더 크게 배관공을 형성하였으나, 이로 인해 배관공에 틈새가 발생되어 베쓰 내부의 흄(fume) 또는 미스트(mist) 등이 유출되는 문제점과 외부의 이물질이 베쓰 내부로 유입되는 문제점이 발생되었다.In order to solve this problem, the plumber was formed larger than the diameter of the supply pipe within the error range in the bath, but this caused a gap in the plumbing pipe and caused the fume or mist inside the bath to leak out. There was a problem that foreign matter is introduced into the bath.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 베쓰에 형성되는 배관공이 베쓰 내부의 공급관연결부와 동일축선상에 형성되지 못하여도 직관을 사용하여 배관가능한 가변식 배관구조 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a variable piping structure and method that can be piped using a straight pipe even though the pipe hole formed in the bath is not formed on the same axis as the supply pipe connecting portion inside the bath.

본 발명의 일측면에 따르면, 베쓰에는 그 내부의 공급관연결부를 향하여 관통되는 가설치공이 공급관의 직경보다 더 크게 형성되고, 상기 공급관이 밀착삽입되는 배관공이 형성되고 상기 베쓰의 내면 또는 외면에 설치되어 상기 공급관과 상기 가설치공과의 유격된 간격을 차폐하는 가변설치기재를 포함한다.According to one aspect of the present invention, the temporary installation hole penetrating toward the supply pipe connecting portion therein is formed larger than the diameter of the supply pipe, a pipe hole is formed in which the supply pipe is tightly inserted and is installed on the inner or outer surface of the bath It includes a variable installation material for shielding the gap between the supply pipe and the temporary installation hole.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, (a) 베쓰 내부의 공급관연결부를 향하도록 상기 베쓰에 공급관의 직경보다 더 큰 가설치공을 형성하는 단계와, (b) 상기 공급관을 상기 가설치공에 삽입하고 유격된 간격 내에서 위치조절하여 상기 공급관연결부에 연결하는 단계와, (c) 상기 가설치공의 상기 공급관과 유격된 간격을 차폐하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, (a) forming a temporary installation hole in the bath to the supply pipe connection portion in the bath larger than the diameter of the supply pipe, (b) inserting the supply pipe into the installation hole and the play And connecting to the supply pipe connection part by adjusting the position within the interval, and (c) shielding the gap spaced between the supply pipe of the temporary installation hole.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부한 도면을 참조 하여 상세히 설명하면 다음과 같다. When described in detail with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention configured as described above are as follows.

<실시예 1><Example 1>

도 1은 본 발명 가변식 배관구조의 일실시 구성도이다.1 is a configuration diagram of one embodiment of the variable piping structure of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 가변식 배관구조의 일실시예는 베쓰(10)에 공급관(20)의 직경보다 더 크게 가설치공(12)이 형성되고, 상기 가설치공(12)을 차폐하되 공급관(20)이 밀착삽입되는 배관공(39)이 형성되는 가변설치기재(30)를 포함한다.Referring to FIG. 1, in one embodiment of the variable piping structure according to the present invention, the temporary installation hole 12 is formed in the bath 10 larger than the diameter of the supply pipe 20, and shields the temporary installation hole 12. But it includes a variable installation base 30 is formed with a piping hole 39 is inserted into the supply pipe 20 closely.

상기 가설치공(12)은 외부의 공정가스 또는 세정액 등의 공정유체를 이송공급하는 공급관(20)을 베쓰(10) 내부로 설치하기 위한 통로이다.The provisional hole 12 is a passage for installing the supply pipe 20 for transporting and supplying a process fluid such as an external process gas or a cleaning liquid into the bath 10.

이러한 가설치공(12)은 베쓰(10) 내부의 공급관연결부(11a)를 향하여 베쓰(10)의 일측에 관통형성되는 것으로, 공급관(20)을 공급관연결부(11a)에 연결시 발생될 수 있는 편심 오차범위 내에서 공급관(20)의 직경보다 더 크게 형성된다.The temporary installation hole 12 is formed to penetrate through one side of the bath 10 toward the supply pipe connection portion 11a in the bath 10, an eccentricity that may occur when the supply pipe 20 is connected to the supply pipe connection portion (11a). It is formed larger than the diameter of the supply pipe 20 within the error range.

따라서, 배관공(39)이 공급관연결부(11a)와 일직선상에 형성되지 못할 경우에도 공급관(20)은 가설치공(12)과의 유격된 간격 내에서 공급관연결부(11a)와 일직선상에 위치되도록 가변식으로 위치조절되어 연결된다.Therefore, even when the plumbing hole 39 is not formed in line with the supply pipe connecting portion 11a, the supply pipe 20 is variable so as to be positioned in line with the supply pipe connecting portion 11a within a gap between the temporary installation hole 12 and the supply pipe 20. Positionally connected.

상기 가변설치기재(30)는 공급관(20)이 공급관연결부(11a)에 연결된 후 공급관(20)과 가설치공(12)과의 유격된 간격을 차폐하기 위한 구성부품이다.The variable installation base 30 is a component for shielding the gap between the supply pipe 20 and the temporary installation hole 12 after the supply pipe 20 is connected to the supply pipe connecting portion (11a).

이러한 가변설치기재(30)는 공급관(20)과 가설치공(12)의 유격부위가 차폐되도록 베쓰(10)의 일면에 설치되되, 공급관(20)이 밀착삽입되는 배관공(39)을 포함 한다.The variable installation base 30 is installed on one side of the bath 10 so that the clearance portion of the supply pipe 20 and the temporary installation hole 12 is shielded, and includes a plumbing hole 39 in which the supply pipe 20 is tightly inserted.

따라서, 공급관(20)이 가설치공(12)을 관통하여 공급관연결부(11a)에 연결되면, 가변설치기재(30)는 공급관(20)에 끼워져 베쓰(10)의 일면에 밀착된 상태에서 체결볼트(31)에 의해 베쓰(10)에 결합된다.Therefore, when the supply pipe 20 is connected to the supply pipe connection portion 11a through the temporary installation hole 12, the variable installation base 30 is fitted to the supply pipe 20 in a state in which the fastening bolt in close contact with one surface of the bath 10 It is coupled to the bath 10 by (31).

상기의 구성에서, 가변설치기재(30)는 베쓰(10)와 마주보는 면에 기밀부재(40)가 추가로 설치된다. 일례로 기밀부재(40)는 O형 링이 설치될 수 있다.In the above configuration, the variable installation base 30 is further provided with an airtight member 40 on the side facing the bath 10. For example, the airtight member 40 may be provided with an O-type ring.

따라서, 기밀부재(40)는 가변설치기재(30)와 베쓰(10)의 면접촉되는 사이로 베쓰(10) 내의 흄 또는 미스트가 유출되는 것을 방지한다.Accordingly, the airtight member 40 prevents the fume or mist in the bath 10 from flowing out between the variable installation base 30 and the surface 10 of the bath 10.

이와 같이 본 발명에 따른 가변식 배관구조의 일실시예는 공급관(20)이 가설치공(12)의 유격된 간격 내에서 위치조절되어 공급관연결부(11a)에 직접 연결되므로 별도의 엘보관 등이 필요치 않다.Thus, one embodiment of the variable piping structure according to the present invention, since the supply pipe 20 is adjusted within the clearance gap of the temporary installation hole 12 is directly connected to the supply pipe connection portion (11a) need a separate elbow pipe, etc. not.

또한, 가설치공(12)이 정확한 위치에 형성되는 것을 요구하지 않으므로 훨씬 용이하게 배관연결을 위한 타공작업이 진행된다는 효과가 있다.In addition, since the provisional holes 12 are not required to be formed in the correct position, there is an effect that the drilling operation for the pipe connection proceeds more easily.

한편, 상기에서는 가변설치기재(30)가 베쓰(10)의 외면에 설치되는 것으로 예시하였으나 이에 한정되지 않고, 베쓰(10)의 내면에 설치되어도 무방하다.Meanwhile, in the above, the variable installation base 30 is illustrated as being installed on the outer surface of the bath 10, but is not limited thereto, and may be installed on the inner surface of the bath 10.

한편, 미설명된 도면부호 11은 일례로 베쓰(10) 내부에서 세정공정을 수행하는 세정장치의 분사노즐이 될 수 있다.Meanwhile, reference numeral 11, which is not described, may be, for example, an injection nozzle of a cleaning device that performs a cleaning process inside the bath 10.

<실시예 2><Example 2>

도 2는 본 발명 가변식 배관구조의 다른 실시 구성도이고, 도 3은 도 1에 도 시한 가변설치기재의 분리 사시도이다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 도면부호는 동일한 기능을 하는 부재를 가리킨다.Figure 2 is another embodiment of the variable piping structure of the present invention, Figure 3 is an exploded perspective view of the variable installation substrate shown in FIG. Here, the same reference numerals as in the above-described drawings indicate members having the same function.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 가변식 배관구조의 다른 일실시예는 베쓰(10)에 공급관(20)의 직경보다 더 크게 가설치공(12)이 형성되고, 상기 가설치공(12)이 차폐되도록 베쓰(10)의 내면 및 외면에 각각 설치되되 공급관(20)이 밀착삽입되는 배관공(59)이 형성되는 가변설치기재(50; 51, 52)를 포함한다.2 and 3, another embodiment of the variable piping structure according to the present invention is a temporary installation hole 12 is formed in the bath 10 larger than the diameter of the supply pipe 20, the temporary installation hole ( 12) is provided on the inner and outer surfaces of the bath 10 to be shielded, but includes a variable installation base (50; 51, 52) is formed with a plumbing hole (59) in which the supply pipe 20 is tightly inserted.

상기 가변설치기재(50)는 공급관(20)이 공급관연결부(11a)에 연결된 후 가설치공(12)과의 유격된 부위를 차폐하기 위한 구성부품이다.The variable installation base 50 is a component for shielding the gap between the supply pipe 20 and the temporary installation hole 12 after the supply pipe 20 is connected to the supply pipe (11a).

이러한 가변설치기재(50)는 가설치공(12)의 유격부위를 차폐하는 것은 물론 체결볼트 등의 별도의 결합수단이 없이도 상호 결합 및 베쓰(10)에 설치된다.The variable installation base 50 is installed in the mutual coupling and the bath 10 as well as shielding the clearance portion of the temporary mounting hole 12, as well as a separate coupling means such as fastening bolts.

일례로, 한 쌍의 가변설치기재(50)는 베쓰(10)의 외면에 설치되는 제1설치기재(51)와 내면에 설치되는 제2설치기재(52)를 포함한다.For example, the pair of variable installation bases 50 includes a first installation base 51 installed on the outer surface of the bath 10 and a second installation base 52 installed on the inner surface.

이러한 제1설치기재(51)는 가설치공(12)측으로 돌출삽입되는 돌출부(53)가 형성되는 동시에 돌출부(53)에는 공급관(20)이 밀착삽입되는 배관공(59)의 형성되고, 제2설치기재(52)는 돌출부(53)가 일부삽입하여 나선결합되는 결합공(54)이 형성된다.The first installation base 51 is formed with a protrusion 53 for protruding and inserting into the provisional mounting hole 12 and at the same time, a protrusion 59 is formed with a plumbing hole 59 in which the supply pipe 20 is tightly inserted. Substrate 52 has a coupling hole 54 is formed by the insertion of the protrusion 53 is helically coupled.

즉, 제1설치기재(51)는 돌출부(53)의 일부에 나사산(51a)이 형성되고 제2설치기재(52)는 상기 나사산(51a)에 대응되는 나사산(52a)이 형성되어 상호 나선결합된다.That is, the first mounting base 51 has a thread (51a) is formed in a portion of the protrusion 53, the second mounting base 52 is a screw thread (52a) corresponding to the thread 51a is formed, the mutual coupling do.

따라서, 공급관(20)이 가설치공(12)을 관통하여 공급관연결부(11a)에 연결되 면, 한 쌍의 가변설치기재(50)는 공급관(20)에 각각 끼워져 회전조작된다. 이에 한 쌍의 가변설치기재(50)는 상호 나선결합되는 동시에 베쓰(10)의 내외면에 가압 면접촉하며 결합된다.Therefore, when the supply pipe 20 is connected to the supply pipe connecting portion 11a through the temporary installation hole 12, the pair of variable installation base 50 is fitted into the supply pipe 20, respectively, and rotated. Accordingly, the pair of variable installation substrates 50 are coupled to each other while being helically coupled to the inner and outer surfaces of the bath 10 in pressure contact with the surface.

그리고, 제2설치기재(52)는 나사산(52a) 일부가 제1설치기재(52)가 삽입되는 방향으로 축소경사지게 형성된다.In addition, the second mounting base 52 is formed to be inclined to be reduced in a direction in which a portion of the screw thread 52a is inserted into the first mounting base 52.

또한, 제1설치기재(51)는 탄성이 구비된 합성수지재 등이 될 수 있다.In addition, the first installation base 51 may be a synthetic resin material having elasticity.

이에, 제1설치기재(51)와 제2설치기재(52)가 상호 나선결합되면, 제1설치기재(51)의 돌출부(53)가 가압되어 직경이 축소되고 배관공(59)도 직경이 축소된다.Accordingly, when the first mounting base 51 and the second mounting base 52 are helically coupled to each other, the protrusion 53 of the first mounting base 51 is pressed to reduce the diameter, and the plumbing hole 59 also reduces the diameter. do.

따라서, 공급관(20)은 제1설치기재(51)와 제2설치기재(52)가 상호 나선결합되는 것에 의해 제1설치기재(51)의 배관공(59)에 가압밀착되어 더욱 기밀이 유지되는 효과가 있다.Therefore, the supply pipe 20 is press-tightly adhered to the plumbing hole 59 of the first mounting base 51 by spirally coupling the first mounting base 51 and the second mounting base 52 to maintain more airtightness. It works.

이와같이 가변설치기재(50)는 체결볼트 등의 결합수단을 사용하지 않아도 되므로 결합설치 및 해제가 용이할 뿐만 아니라, 베쓰(10)에 체결볼트의 체결을 위한 구멍(미도시) 등을 형성하지 않아도 된다는 장점이 있다.In this way, the variable installation base 50 does not need to use a coupling means such as a fastening bolt, and thus can be easily installed and released, and does not have to form a hole (not shown) for fastening the fastening bolt in the bath 10. It has the advantage of being.

한편, 미설명된 도면부호 51b는 기밀기재(40)를 설치하기 위한 홈이다.On the other hand, reference numeral 51b, which is not described, is a groove for installing the airtight base 40.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.The present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments and the general knowledge in the technical field to which the present invention pertains without departing from the technical spirit of the present invention. Of course, various changes and modifications are possible.

상기와 같이 본 발명은, 공급관이 가설치공과의 유격된 간격 내에서 위치조절되어 공급관연결부에 연결되므로 정밀한 가공공정이 요구되지 않아 배관연결에 따른 작업시간 및 비용이 현저하게 절감된다는 효과가 있다.As described above, the present invention, since the supply pipe is positioned within the gap between the temporary installation and connected to the supply pipe connection portion does not require a precise machining process, there is an effect that the work time and cost according to the pipe connection is significantly reduced.

또한, 단일 직관에 의하여 배관연결되므로 베쓰 내부가 단순화 된다는 효과가 있다.In addition, since the piping is connected by a single straight pipe has the effect that the interior of the bath is simplified.

또한, 베쓰에 배관을 위한 타공작업을 하여도 베쓰의 기밀이 완벽하게 유지된다는 효과가 있다.In addition, there is an effect that even if the perforation work for the piping to the bath, the airtightness of the bath is perfectly maintained.

Claims (5)

베쓰에는 그 내부의 공급관연결부를 향하여 관통되는 가설치공이 공급관의 직경보다 더 크게 형성되고,The bath has a provisional hole penetrating toward the supply pipe connection therein is larger than the diameter of the supply pipe, 상기 공급관이 밀착삽입되는 배관공이 형성되고 상기 베쓰의 내면 또는 외면에 설치되어 상기 공급관과 상기 가설치공과의 유격된 간격을 차폐하는 가변설치기재를 포함하는 가변식 배관구조.A variable piping structure including a variable installation material is formed in the pipe hole is tightly inserted into the supply pipe is installed on the inner surface or the outer surface of the bath to shield the gap between the supply pipe and the temporary installation hole. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가변설치기재는 상기 베쓰의 내외면에 각각 설치되고 상호 나선결합되는 것을 특징으로 하는 가변식 배관구조.The variable installation material is a variable piping structure, characterized in that each installed on the inner and outer surfaces of the bath and helix coupled to each other. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 가변설치기재는 상기 베쓰와 접촉설치되는 면에 상기 베쓰 내에서의 누출을 방지하는 기밀기재를 더 포함하는 가변식 배관구조.The variable installation substrate further comprises a gas tight substrate on the surface which is installed in contact with the bath to prevent leakage in the bath. 제3항에 있어서, 상기 가변설치기재는 상호 나선결합되면서 상기 배관공이 축소되어 상기 공급관에 가압밀착되는 것을 특징으로 하는 가변식 배관구조.The variable piping structure according to claim 3, wherein the variable installation materials are helically coupled to each other and the plumbing holes are reduced in pressure and tightly connected to the supply pipe. (a) 베쓰 내부의 공급관연결부를 향하도록 상기 베쓰에 공급관의 직경보다 더 큰 가설치공을 형성하는 단계;(a) forming a provisional hole larger than the diameter of the supply pipe in the bath to face the supply pipe connection inside the bath; (b) 상기 공급관을 상기 가설치공에 삽입하고 유격된 간격 내에서 위치조절하여 상기 공급관연결부에 연결하는 단계; 및(b) inserting the supply pipe into the temporary installation hole and connecting the supply pipe connection part by adjusting the position within the clearance gap; And (c) 상기 가설치공의 상기 공급관과 유격된 간격을 차폐하는 단계를 포함하는 가변식 배관방법.(c) variable piping method comprising the step of shielding the gap between the supply pipe of the temporary installation hole.
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