KR20070047590A - 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트 - Google Patents

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KR20070047590A
KR20070047590A KR1020050104481A KR20050104481A KR20070047590A KR 20070047590 A KR20070047590 A KR 20070047590A KR 1020050104481 A KR1020050104481 A KR 1020050104481A KR 20050104481 A KR20050104481 A KR 20050104481A KR 20070047590 A KR20070047590 A KR 20070047590A
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Abstract

본 발명은 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트를 제공한다. 상기 웨이퍼 보트는 탑 플레이트와, 상기 탑 플레이트로부터 소정 거리 이격되도록 배치되는 베이스 플레이트와, 상기 탑 플레이트와 상기 베이스 플레이트를 서로 연결하되, 다수매의 웨이퍼들이 안착되는 다수개의 슬롯들이 형성되는 지지로드 및 상기 슬롯들로의 상기 웨이퍼들의 적재상태를 실시간으로 모니터링하는 모니터링부를 구비한다.

Description

모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트{WAFER BOAT HAVING AN MONITORING PART}
도 1은 본 발명의 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 선 Ⅰ-Ⅰ’를 따르되, 도 1에 도시된 센서부의 다른 실시예를 보여주는 부분단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 센서부의 또 다른 실시예를 보여주는 부분단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 표시부호 A에 대한 부분확대단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 표시부를 보여주는 정면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 표시부의 다른 실시예를 보여주는 정면도이다.
** 도면의 주요부분에 대한 부호설명 **
100 : 웨이퍼 보트
131 : 슬롯
200 : 모니터링부
210 : 센서부
212, 213 : 센서
214 : 광센서
220 : 제어부
230 : 표시부
본 발명은 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 보트에 적재되는 웨이퍼들의 적재상태를 실시간으로 모니터링 가능하도록 한 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정 중에는 반도체 웨이퍼 표면에 여러 가지 막질을 형성하는 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition : CVD) 공정이 있다. 이 화학기상증착공정은 반응가스를 장치의 내부로 공급하여 웨이퍼 상에서 반응가스의 확산을 일으킴으로써 원하는 박막을 형성하도록 한다.
이러한 화학기상증착은 통상 장치 내의 압력에 따라 저압 CVD(Low Pressure CVD : LPCVD)와 상압 CVD(Atmospheric Pressure CVD)로 구분되고, 그 외에도 플라즈마 CVD(Plasma Enhanced CVD) 및 광 여기 CVD 등이 일반적으로 사용되고 있다.
이중에서 저압 화학기상증착은 상압보다 낮은 압력에서 웨이퍼 표면에 필요한 막을 형성하는 방법으로서, 그 장치로는 통상 배치 타입(batch type)의 종형확산로가 사용되고, 상기 종형확산로는 그 내부에 작업단위의 웨이퍼들이 상하로 적재된 보트가 진입되어 공정이 진행되도록 된다.
이와 같은 종형확산로에 사용되는 종래의 웨이퍼 보트는 상부 플레이트와 하부 플레이트의 사이에 연결된 다수개의 지지로드들을 구비하고, 상기 지지로드들에는 상하로 다수개의 슬롯들이 형성된다. 그리고 각각의 슬롯에 웨이퍼들이 웨이퍼 이송로봇에 의해 이송되어 적재된다.
이후, 상기 웨이퍼 보트가 종형확산로의 내부로 로딩되어, 확산공정이 수행되고 난 후에, 상기 웨이퍼 보트는 리프트에 의해 상기 종형확산로로부터 언로딩되어 원위치로 복귀되고, 공정을 마친 웨이퍼들은 웨이퍼 이송로봇에 의해 상기 웨이퍼 보트로부터 언로딩된다.
그러나, 상기와 같이 상기 웨이퍼 이송로봇에 의해 다수매의 웨이퍼들을 상기 웨이퍼 보트에 적재하거나, 공정을 마친 후에 상기 웨이퍼들을 언로딩하는 과정에서, 설비 에러가 발생하는 경우에, 상기 웨이퍼 보트에 웨이퍼들이 어느 정도 적재 또는 언로딩되었는 지를 확인할 수가 없다.
따라서, 상기와 같이 설비에러가 발생하면, 설비 에러에 대응하는 후속조치를 취하는데, 이때, 웨이퍼 보트에 어느 정도의 웨이퍼들이 적재 또는 언로딩되는지를 실시간으로 모니터링하여 상기 웨이퍼 보트에 나머지 적재된 웨이퍼들을 용이하게 언로딩하여 상기 후속조치를 취할 수 있도록 하는 모니터링장치가 요구된다.
따라서, 본 발명의 목적은 확산공정 진행 중에, 다수매의 웨이퍼들이 웨이퍼 보트에 적재 또는 언로딩되는 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있는 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트를 제공함에 있다.
본 발명은 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트를 제공한다.
본 발명의 일 양태에 따른 상기 웨이퍼 보트는 탑 플레이트와, 상기 탑 플레 이트로부터 소정 거리 이격되도록 배치되는 베이스 플레이트와, 상기 탑 플레이트와 상기 베이스 플레이트를 서로 연결하되, 다수매의 웨이퍼들이 안착되는 다수개의 슬롯들이 형성되는 지지로드 및 상기 슬롯들로의 상기 웨이퍼들의 안착상태를 실시간으로 모니터링하는 모니터링부를 포함한다.
본 발명의 일 양태에 따른 일 실시예에 있어서, 상기 모니터링부는 상기 웨이퍼들을 감지하는 센서부와, 상기 센서부와 전기적으로 연결되며, 상기 웨이퍼들의 안착상태를 가시화하는 표시부를 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 또 다른 실시예에 있어서, 상기 센서부는 상기 지지로드들로부터 소정거리 이격되도록 배치되는 센서지지바와, 상기 센서지지바에 장착되는 다수개의 센서들을 구비하되, 상기 센서들은 상기 슬롯들과 대응되도록 상기 센서지지바에 장착될 수 있다.
본 발명에 따른 또 다른 실시예에 있어서, 상기 센서부는 상기 슬롯들에 마련되는 센서들을 구비하되, 상기 센서들은 광센서와, 초음파센서와, 근접센서 및 무게센서 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 모니터링부를 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 또 다른 실시예에 있어서, 상기 표시부는 본체와, 상기 본체에 마련되며, 상기 슬롯들의 고유번호를 표시하는 번호표시판과, 상기 센서들과 전기적으로 연결되며, 상기 슬롯들의 고유번호에 대응되는 위치에 마련되는 램프들을 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 또 다른 실시예에 있어서, 상기 표시부는 본체와, 상기 본체 에 상기 지지로드들이 표시되는 표시창과, 상기 지지로드들로부터 소정 거리 이격되도록 배치되며, 상기 슬롯들의 고유번호가 표시되는 번호표시판과, 상기 센서들과 전기적으로 연결되며, 상기 지지로드들에 상기 웨이퍼에 대한 안착상태가 표시되는 웨이퍼 표시창을 구비할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 선 Ⅰ-Ⅰ’를 따르되, 도 1에 도시된 센서부의 다른 실시예를 보여주는 부분단면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 센서부의 또 다른 실시예를 보여주는 부분단면도이다. 도 4는 도 3에 도시된 표시부호 A에 대한 부분확대단면도이다. 도 5는 도 1에 도시된 표시부를 보여주는 정면도이다. 도 6은 도 1에 도시된 표시부의 다른 실시예를 보여주는 정면도이다.
먼저, 본 발명의 웨이퍼 보트의 바람직한 실시예의 구성을 설명하도록 한다.
도 1을 참조로 하면, 상기 웨이퍼 보트(100)는 원판형의 탑 플레이트(110)와, 상기 탑플레이트(110)의 하방으로 소정 거리 이격되어 배치되는 원판형의 베이스 플레이트(120)와, 상기 탑 플레이트(110)와 상기 베이스 플레이트(120)를 서로 연결하며, 다수매의 웨이퍼들(W)이 적재되는 슬롯들(131)이 형성된 다수개의 지지로드들(130) 및 상기 슬롯들(131)로의 상기 웨이퍼들(W)의 적재상태를 실시간으로 모니터링하는 모니터링부(200)를 포함한다.
상기 모니터링부(200)의 구성을 설명하도록 한다.
도 1을 참조하면, 상기 모니터링부(200)는 상기 슬롯들(131)에 적재되는 웨이퍼들(W)을 감지하는 센서부(210)와, 상기 센서부(210)와 전기적으로 연결되며, 상기 웨이퍼들(W)의 적재상태를 가시화하는 표시부(230)를 구비할 수 있다.
여기서, 상기 센서부(210)의 구성을 설명하도록 한다.
도 1을 참조하면, 상기 센서부(210)는 상기 지지로드들(131)로부터 소정 거리 이격되어 배치된 센서지지바(211)와, 상기 센서지지바(211)에 장착되는 센서들(212)을 구비하되, 상기 센서들(212)은 상기 슬롯들(131)로부터 대응되도록 상기 센서지지바(211)에 장착될 수 있다. 또한, 상기 센서지지바(211)의 일단과 타단은 각각 상기 탑 플레이트(110)의 하단면과 상기 베이스 플레이트(120)의 상단면에 연결되도록 고정될 수 있다.
그리고, 상기 센서(212)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같은 상기 슬롯들(131)에 적재된 웨이퍼(W)를 향하여 광을 출사하는 발광부와, 상기 웨이퍼에서 반사된 광을 수광부를 구비한 광센서(214)일 수 있다. 물론, 도면에 도시되지는 않았지만, 상기 센서(212)는 초음파센서일 수도 있다.
한편, 도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 센서부(210)는 상기 슬롯들(131)에 제공되는 센서들(213)만으로 구성될 수 있으며, 상기 센서들(213)은 광센서와, 초음파센서와, 근접센서 및 무게센서 중 적어도 어느 하나일 수도 있다.
즉, 도 2를 참조하면, 상기 센서들(213)이 근접센서 또는 무게센서인 경우에, 상기 근접센서 또는 상기 무게센서는 상기 슬롯들(131)의 내부에 내설되되, 상 면부가 상기 슬롯들(131)의 상단면(131a)으로 노출되도록 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 센서들(213)이 도 3에 도시된 광센서(214) 또는 초음파센서인 경우에, 상기 센서들(131)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 슬롯들(131)의 하단면(131b)에 장착되는 것이 바람직하다.
이어, 상기 표시부(230)의 구성을 설명하도록 한다.
도 5는 상기 표시부를 보여주는 도면이다. 도 5를 참조하면, 상기 표시부(230)는 본체(230c)와, 상기 본체(230c)에 마련되며, 상기 슬롯들(131)의 고유번호를 표시하는 번호표시판(230a)과, 상기 센서들(212, 213, 214)과 전기적으로 연결되며, 상기 슬롯들(131)의 고유번호에 대응되는 위치에 마련되는 램프들(230b)을 구비할 수 있다. 상기 램프들(230b)은 LED램프들로 구성될 수 있다.
즉, 상기 램프들(230b)은 상기 센서들(212, 213, 214)로부터 전기적 신호를 전송받아 온(on)될 수 있다.
한편, 상기 표시부(231)는 도 6에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 보트(100)를 그래픽화면으로 제공할 수도 있다.
도 6을 참조하여, 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 표시부(231)는 본체(231c)와, 상기 본체(231c)에 상기 지지로드들(130)이 표시되는 표시창(231b)과, 상기 표시창(231b)으로부터 소정 거리 이격되도록 배치되며, 상기 슬롯들(131)의 고유번호가 표시되는 번호표시판(231a)과, 상기 센서들(212, 213, 214)과 전기적으로 연결되며, 상기 지지로드들(130)에 상기 웨이퍼(W)가 적재되는 상태를 표시하는 웨이퍼 표시창(231d)을 구비할 수도 있다.
즉, 상기 웨이퍼 표시창(231d)은 상기 센서들(212, 213, 214)로부터 전기적 신호를 받아 웨이퍼(W)의 적재상태를 표시할 수 있다.
다음은, 상기의 구성을 갖는 본 발명의 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트의 바람직한 실시예의 작용 및 효과를 설명하도록 한다.
도 1을 참조 하면, 도시되지 않은 웨이퍼 이송로봇은 한 매 또는 다수 매의 웨이퍼들(W)을 웨이퍼 보트(100)에 순차적으로 적재한다. 즉, 상기 웨이퍼들(W)은 상기 웨이퍼 이송로봇에 의해 상기 지지로드들(130)의 슬롯들(131)에 적재된다.
여기서, 도 1은 상기 웨이퍼 보트(10)에는 상기 지지로드들(130)의 하부로부터 상기 웨이퍼들(W)이 순차적으로 적재되는 것을 보여주고 있다.
이와 같이, 상기 웨이퍼들(W)이 상기 웨이퍼 보트(100)에 적재됨과 아울러 본 발명에 따르는 모니터링부(200)는 상기 웨이퍼들(W)의 상기 슬롯들(131)에서의 적재상태를 실시간으로 모니터링하여 가시화 할 수 있다.
다음은, 상기 모니터링부(200)의 작용을 구체적으로 설명하도록 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 센서지지바(211)에 장착된 센서들(212)은 지지로드들(130)로부터 소정 거리 이격되도록 배치된 상태로 상기 슬롯들(131)에 적재되는 웨이퍼(W)들을 실시간으로 감지할 수 있다.
여기서, 도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 센서(212)가 광센서(214)인 경우를 예로 들어 설명하도록 한다.
상기 슬롯들(131)에 웨이퍼들(W)이 적재된 경우에는, 발광부(214a)로부터 발광된 광은 상기 웨이퍼(W)에서 반사되고, 상기 웨이퍼에서 반사된 광은 수광부(214b)에서 수광되어 짐으로써, 상기 센서(214)는 웨이퍼(W)가 슬롯(131)에 적재된 것으로 인식한다.
그러나, 슬롯(131)에 웨이퍼(W)가 언로딩된 경우에는, 상기 발광부(214a)에서 발광된 광이 웨이퍼(W)에서 반사되지 않기 때문에 상기 수광부(214b)는 반사되는 광을 수광하지 못한다. 따라서, 상기 광센서(214)는 상기 웨이퍼(W)가 슬롯(131)에서 언로딩된 것으로 인식한다.
그리고, 상기 다수개의 광센서들(214)은 상기 슬롯들(131)과 대응되는 위치에 배치되도록 상기 센서지지바(211)에 장착되기 때문에, 도 3에 도시된 바와 같이 소정의 위치에 장착된 상기 광센서(214)가 상기와 같이 소정 위치의 슬롯(131)에 적재된 상기 웨이퍼(W)를 감지하면, 상기 광센서(214)는 상기 광센서(214)의 장착위치에 해당하는 슬롯(131)에 웨이퍼(W)가 적재되는 것으로 판단할 수 있다.
예를 들어, 도 1을 참조하면, 지지로드들(130)의 최하단부에 형성된 슬롯(131)을 제 1슬롯(S1)이라고 하고, 상기 제 1슬롯(S1)에 적재되는 웨이퍼(W)를 제 1웨이퍼(W1)라고 한다면, 상기 제 1슬롯(S1)으로부터 대응되도록 센서지지바(211)에 장착된 센서(212)는 상기 광센서(214, 도 3참조)인 제 1센서일 수 있다.
이와 같은 상태에서, 상기 제 1슬롯(S1)에 제 1웨이퍼(W1)가 적재되면 제 1센서는 상기 광센서(214)와 같이 상기 제 1웨이퍼(W1)를 감지함과 아울러 제어부(220)로 전기적 신호를 전송할 수 있다.
상기 전기적 신호를 전송받은 제어부(220)는 표시부(230)로 전기적 신호를 전송하고, 이어, 상기 표시부(230)는 상기 제 1슬롯(S1)에 제 1웨이퍼(W1)가 적재됨을 가시적으로 표시할 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조 하여, 상기 표시부(230)의 작용을 설명하도록 한다.
도 5를 참조하면, 상기와 같은 전기적 신호를 전송받은 표시부(230)는 본체(230c)상에 상기 제 1슬롯(S1)에 제 1웨이퍼(W1)가 적재됨을 표시할 수 있다.
여기서, 상기 슬롯들(131)의 고유번호를 표시하는 번호표시판(230a)에 있어서, 상기 제 1슬롯(S1)은 고유번호가 "1"이고, 상기 제 1슬롯(S1)의 고유번호에 대응되는 위치에 마련되는 램프(230b)를 제 1램프(L1)라고 한다면, 상기와 같이 제 1슬롯(S1)에 제 1웨이퍼(W1)가 적재되면, 상기 제 1램프(L1)는 온(on)될 수 있다.
따라서, 작업자는 상기 제 1램프(L1)가 온(on)됨으로 인해, 상기 제 1슬롯(S1)에 제 1웨이퍼(W1)가 적재되었음을 인식할 수 있다.
한편, 도 6을 참조하면, 상기와 같은 전기적 신호를 전송받은 표시부(231)는 본체(231c)의 지지로드들(130)이 표시된 표시창(231b)에 상기 제 1슬롯(S1)에 제 1웨이퍼(W1)가 적재됨을 표시할 수도 있다.
여기서, 상기 슬롯들(131)의 고유번호가 표시되는 번호표시판(231a)에 있어서, 상기 제 1슬롯(S1)의 고유번호가 "1"이고, 상기 센서들(212, 213, 214)과 전기적으로 연결되며, 상기 표시창(231b)에 최하단부에 제 1웨이퍼(W1)에 대한 적재상태가 표시되는 웨이퍼 표시창(231d)을 제 1웨이퍼 표시창(WD1)이라 한다면, 상기와 같이 제 1슬롯(S1)에 제 1웨이퍼(W1)가 적재되는 경우에, 상기 제 1웨이퍼 표시창 (WD1)은 도 1에 도시된 상기 지지로드들(130)을 표시하는 표시창(231b)에 표시되게 된다. 즉, 상기 표시창(231b)의 최하단부에 표시될 수 있다.
따라서, 도 1에 도시된 지지로드들(130)의 최하단부에 해당하는 상기 표시창(231b)의 최하단부에 제 1웨이퍼 표시창(WD1)이 표시됨으로써, 상기 제 1슬롯(S1)에 제 1웨이퍼(W1)가 적재되었음을 인식하게 수도 있다.
상술한 경우는 제 1슬롯(S1)에 제 1웨이퍼(W1)가 적재되는 경우를 예로 들어 설명하였지만, 도 1에 도시된 지지로드들(130)에 형성된 슬롯들(131)의 고유번호를 상기 지지로드들(130)의 최하단부터 최상단을 향해, "1,2,3,...,n"이라 한다면, 상기 슬롯들(131)에 적재되는 웨이퍼(W)의 매수는 n 매가 될 수 있다.
또한, 도 5 및 도 6에 도시된 상기 표시부(230, 231)의 본체(230c, 231c)에 마련되는 번호표시판(230a, 230a)에 있어서, 웨이퍼(W)의 고유번호는 "1,2,3,...,n번"이고, 램프들(230b)과 웨이퍼 표시창(231d)은 각각 1~n 개로 이루어지게 되어, 상기 램프들(230b)은 1~n 개가 온(on)되고, 상기 웨이퍼 표시창(231d)은 1~n 개가 표시창(231b)에 표시될 수 있다.
물론, 상기의 경우는 슬롯들(131)에 웨이퍼들(W)이 적재되는 경우를 설명하였으나, 상기 슬롯들(131)로부터 상기 웨이퍼들(W)이 언로딩되는 경우에, 상기 램프들(230b)은 오프(off)되고, 상기 웨이퍼 표시창(231d)은 상기 표시창(231b)에서 사라지게 되어, 상기 웨이퍼들(W)이 상기 슬롯들(131)로부터 언로딩되는 것을 인지할 수 있다.
본 발명에 의하면, 웨이퍼 보트에 웨이퍼들이 적재 또는 언로딩되는 것을 감지할 수 있도록 센서를 장착하고, 상기 센서로부터 전기적 신호를 받아 상기 웨이퍼들의 적재 또는 언로딩 상태를 가시화 시킴으로써, 작업자는 공정 진행 중에 이루어지는 웨이퍼 보트로의 웨이퍼들의 적재 또는 언로딩 상태를 실시간으로 모니터링 할 수 있는 효과가 있다.
이에 따라, 공정 진행 중에 설비 에러가 발생할 지라도, 웨이퍼 보트에 어느 정도의 웨이퍼들이 적재 또는 언로딩 되어 있는 가를 정확하게 인식하게 되어, 그에 따른 후속 조치를 용이하게 취하여 공정사고를 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 탑 플레이트;
    상기 탑 플레이트로부터 소정 거리 이격되도록 배치되는 베이스 플레이트;
    상기 탑 플레이트와 상기 베이스 플레이트를 서로 연결하되, 다수매의 웨이퍼들이 적재되는 다수개의 슬롯들이 형성되는 지지로드; 및
    상기 슬롯들로의 상기 웨이퍼들의 적재상태를 실시간으로 모니터링하는 모니터링부를 포함하는 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 모니터링부는 상기 웨이퍼들을 감지하는 센서부와, 상기 센서부와 전기적으로 연결되며, 상기 웨이퍼들의 안착상태를 가시화하는 표시부를 구비하는 것을 특징으로 하는 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 센서부는 상기 지지로드들로부터 소정거리 이격되도록 배치되는 센서지지바와, 상기 센서지지바에 장착되는 다수개의 센서들을 구비하되, 상기 센서들은 상기 슬롯들과 대응되도록 상기 센서지지바에 장착되는 것을 특징으로 하는 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 센서부는 상기 슬롯들에 마련되는 센서들을 구비하되, 상기 센서들은 광센서와, 초음파센서와, 근접센서 및 무게센서 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트.
  5. 제 3항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 표시부는 본체와, 상기 본체에 마련되며, 상기 슬롯들의 고유번호를 표시하는 번호표시판과, 상기 센서들과 전기적으로 연결되며, 상기 슬롯들의 고유번호에 대응되는 위치에 마련되는 램프들을 구비하는 것을 특징으로 하는 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트.
  6. 제 3항 내지 제 4항에 있어서,
    상기 표시부는 본체와, 상기 본체에 상기 지지로드들이 표시되는 표시창과, 상기 지지로드들로부터 소정 거리 이격되도록 배치되며, 상기 슬롯들의 고유번호가 표시되는 번호표시판과, 상기 센서들과 전기적으로 연결되며, 상기 지지로드들에 상기 웨이퍼에 대한 안착상태가 표시되는 웨이퍼 표시창을 구비하는 것을 특징으로 하는 모니터링부를 구비한 웨이퍼 보트.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN115064472A (zh) * 2022-08-16 2022-09-16 江苏邑文微电子科技有限公司 晶圆盒中晶圆位置异常的处理方法和装置

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