KR20070045534A - 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비 및 이의기판 반전 방법 - Google Patents

반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비 및 이의기판 반전 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정 표시 장치의 제조 공정 중 리페어 공정시 기판 반전에 소요되는 작업 시간을 줄이고 장비가 차지하는 공간을 축소시켜 공간 활용도를 높이기 위한 것으로, 액정 표시 장치용 기판의 리페어(repair)를 수행하는 리페어부와, 기판을 카세트에서 취출하거나 수납하여 상하좌우로 이동이 가능한 제1 로봇암과, 제1 로봇암으로부터 취출된 기판을 클램핑(clamping)하여 반전시키고, 기판을 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하는 제2 로봇암과, 제2 로봇암에 의해 반전된 기판을 로딩하여 리페어부로 직접 이송되는 스테이지, 및 스테이지를 관통하여 스테이지 상에 로딩된 기판을 소정의 높이로 리프트시키는 복수 개의 리프트 핀을 포함하는 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비 및 이의 기판 반전 방법을 제공한다.
리페어, 반전, 로봇암, 클램핑 유닛

Description

반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비 및 이의 기판 반전 방법 {Repair equipment for liquid crystal display having function turnover of glass and method for turning the glass over for the same}
도 1은 종래 기술에 따른 액정 표시 장치용 기판의 리페어 공정을 위한 공정 라인을 설명하기 위한 개념도이다.
도 2는 종래의 액정 표시 장치용 기판을 반전시키는 반전 장비를 도시한 도면이다.
도 3은 종래의 액정 표시 장치용 기판을 반전시키는 반전 장비의 동작 과정을 설명하기 위한 프로세서이다.
도 4는 본 발명의 액정 표시 장치용 기판의 리페어 공정을 위한 공정 라인을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 본 발명에 따른 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비를 도시한 도면이다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비의 동작 과정을 설명하기 위한 프로세서이다.
도 7은 도 6에 도시된 프로세서를 통해 액정 표시 장치용 기판의 반전 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
100;포트 200;리페어 공정 라인
300;로드 400;제1 로봇암
600;기판 210;제2 로봇암
211;제2 지지축 212;클램핑 유닛
212a;안착 프레임 212b;클램핑 프레임
212c;힌지 213;회전 유닛
214;제2 이동 유닛 220;스테이지
230;리프트 핀 411;제1 지지축
412;제1 로봇핸드
본 발명은 액정 표시 장치의 제조 공정 장비에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액정 표시 장치의 제조 공정 중 리페어 공정시 기판 반전에 소요되는 작업 시간을 줄이고 장비가 차지하는 공간을 축소시켜 공간 활용도를 높이기 위한 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비 및 이의 기판 반전 방법에 관한 것이 다.
일반적으로, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 상부의 투명 절연 기판과 하부의 투명 절연 기판 사이에 이방성 유전율을 갖는 액정 물질을 주입해 놓고, 액정 물질에 형성되는 전계의 세기를 조정하여 액정 물질의 분자 배열을 변경시킴으로써 투명 절연 기판에 투과되는 빛의 양을 조절하여 원하는 화상을 표현하는 표시 장치이다.
이러한 액정 표시 장치는 구동 회로를 포함하여 영상을 출력하는 액정 패널과, 액정 패널의 하부에 설치되어 액정 패널로 빛을 방출하는 백라이트(backlight) 유닛, 및 백라이트 유닛과 액정 패널을 결합시켜 지지하는 케이스(case)로 구성된다.
그리고, 액정 패널은 크게 구동회로부를 포함하는 어레이 기판과, 컬러필터 기판, 및 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이에 형성된 액정층으로 이루어지며, 어레이 기판에는 복수 개의 화소 영역을 정의하는 게이트 라인과 데이터 라인, 게이트 라인과 데이터 라인의 교차 영역에 위치되는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)가 형성된다.
그런데, 이와 같이 구성되는 액정 표시 장치는 어레이 기판의 메탈 라인(즉, 게이트 라인과 데이터 라인, 공통 전극 라인 등)에 단선 또는 단락 등의 선결합이 발생되는 경우가 많아 이를 리페어(repair)할 수 있는 리페어 공정이 필요하게 된다.
도 1은 종래 기술에 따른 액정 표시 장치용 기판의 리페어 공정을 위한 공정 라인을 설명하기 위한 개념도이고, 도 2는 종래의 액정 표시 장치용 기판을 반전시키는 반전 장비를 도시한 도면이며, 도 3은 종래의 액정 표시 장치용 기판을 반전시키는 반전 장비의 동작 과정을 설명하기 위한 프로세서이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 액정 표시 장치용 기판의 리페어 공정을 위한 시스템은 복수 개의 액정 표시 장치용 기판(미도시)들이 카세트(cassette)에 의해 수납되는 포트(port)(1)와, 액정 표시 장치용 기판을 리페어(repair)하기 위해 필요한 장비들이 구비된 리페어 공정 라인(2), 리페어 공정 전/후에 액정 표시 장치용 기판을 반전시키기 위한 장비들이 구비된 반전 공정 라인(3), 포트(1)와 리페어 공정 라인(2) 및 반전 공정 라인(3)간을 연결하기 위한 로드(4), 로드(4) 상에서 포트(1)와 리페어 공정 라인(2) 및 반전 공정 라인(3)으로 액정 표시 장치용 기판을 취출하여 운반하기 위한 로봇암(5)으로 구성된다.
이때, 반전 공정 라인(3)은 리페어가 필요한 어레이 기판이 상측에 위치되도록 액정 표시 장치용 기판을 반전시키는 공정을 수행한다. 이는 리페어 작업을 용이하게 하기 위함이다.
이러한 반전 공정 라인(3)에는 도 2에 도시된 바와 같이 액정 표시 장치용 기판(6)을 취출 및/또는 수납하여 상하 좌우로 이동이 가능한 반전 로봇암(32)과, 반전하기 전후에 액정 표시 장치용 기판(6)을 로딩(loading)하기 위한 소정의 프레임(34)을 포함한다.
그리고, 반전 로봇암(32)은 액정 표시 장치용 기판(6)을 고정할 수 있는 핸드(32a)와, 핸드(32a)를 회전시킬 수 있는 회전축(32b), 핸드(32a)를 상하 좌우로 이동시킬 수 있는 이동 유닛(32c)을 포함한다.
따라서, 포트(1)에서 취출한 액정 표시 장치용 기판(6)을 반전시킬 경우, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 액정 표시 장치용 기판(6)을 로봇암(5)을 통해 반전 공정 라인(3)으로 운반하여 프레임(34) 상에 로딩시킨다.
다음으로, (b)에 도시된 바와 같이 반전 로봇암(32)을 이동하여 액정 표시 장치용 기판(6)을 고정시킨다.
다음으로, (c)에 도시된 바와 같이 반전 로봇암(32)으로 액정 표시 장치용 기판(6)을 프레임(34)으로부터 들어올린 후, 회전축(32b)으로 180°회전하여 기판(6)의 어레이 기판이 상면이 되도록 반전시킨다.
다음으로, (d) 및 (e)에 도시된 바와 같이 반전된 액정 표시 장치용 기판(6)을 다시 프레임(34)에 로딩시키고, 반전 로봇암(32)을 액정 표시 장치용 기판(6)으로부터 이탈시킴으로써 반전 공정을 완료한다.
이와 같이 반전된 액정 표시 장치용 기판(6)은 추후에 리페어 공정 라인(2)으로 운반되어 리페어 공정을 수행하거나, 또는 포트(1)로 운반되어 다른 공정을 위해 수납된다.
그런데, 종래와 같이 리페어 공정 라인(2)과 반전 공정 라인(3)이 별도로 구비된 공정 라인에서 리페어 공정을 수행하기 위해 액정 표시 장치용 기판(6)을 반전시키고자 할 경우, 포트(1)에서 취출된 액정 표시 장치용 기판(6)을 반전 공정 라인(3)으로 운반하여 반전시킨 후, 리페어 공정 라인(2)으로 운반하여 리페어하고, 다시 반전 공정 라인(3)으로 운반하여 원래의 상태로 반전시키는 프로세서를 반복적으로 거치게 된다.
즉, 액정 표시 장치용 기판(6)을 반전시키기 위해서는 직접 리페어 공정 라인(2)으로 넘어가지 못하고 반전 공정 단계를 반드시 거쳐야 하기 때문에 전체적인 작업 시간을 증가시키는 등의 로스(loss)가 발생하는 문제점이 있다.
또한, 반전 공정 라인(3)에 별도의 반전 장비가 구비되어야 하기 때문에 장비 설치에 따른 비용이 증가됨은 물론, 불필요한 공간을 차지하게 되어 클린 룸(clearn room)의 공간 활용도가 떨어지는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 리페어 작업과 함께 반전 작업을 동시에 수행할 수 있는 리페어 장비를 구비함으로써 기존보다 전체 장비 사이즈를 축소시켜 공간 활용도를 높이고, 전체적인 작업 시간을 줄여 이에 따른 로스(loss)를 감소시킬 수 있는 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 전술한 리페어 장비를 이용하여 기판 반전에 소요되는 작업 시간을 단축시킬 수 있는 기판 반전 방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비는, 액정 표시 장치용 기판의 리페어(repair)를 수행하는 리페어부와, 기판을 카세트에서 취출하거나 수납하여 상하좌우로 이동이 가능한 제1 로봇암과, 제1 로봇암으로부터 취출된 기판을 클램핑(clamping)하여 반전시키고, 기판을 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하는 제2 로봇암과, 제2 로봇암에 의해 반전된 기판을 로딩하여 리페어부로 직접 이송되는 스테이지, 및 스테이지를 관통하여 스테이지 상에 로딩된 기판을 소정의 높이로 리프트시키는 복수 개의 리프트 핀을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 리페어 장비에서 상기 제1 로봇암은 제1 지지축과, 상기 제1 지지축에 결합되어 상기 기판을 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는 제1 로봇핸드, 및 상기 제1 지지축과 회전 및 이동이 가능하도록 연결되어 상기 제1 로봇핸드를 상하좌우로 이동시키는 제1 이동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 리페어 장비에서 상기 제2 로봇암은 제2 지지축과, 상기 제2 지지축에 결합되어 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 유닛, 상기 제2 지지축에 결합되어 상기 기판을 반전시키는 회전 유닛, 및 상기 제2 지지축과 회전 및 이동이 가능하도록 연결되어 상기 제2 로봇핸드를 상하좌우로 이동시키는 제2 이동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 클램핑 유닛은 상기 기판을 안착시킬 수 있는 단턱부를 갖는 안착 프레임과, 상기 안착 프레임의 상단에 상하 이동이 가능하게 결합되어 상기 안착 프레임에 기판이 안착되면 상기 기판의 상면을 클램핑하는 클램핑 프레임, 및 상기 클램핑 프레임의 상하 이동을 가능하게 하는 힌지를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반전 방법은 (a)리페어(repair)를 수행하기 위해 제1 로봇암으로 기판을 취출하는 단계, (b)상기 취출된 기판을 제2 로봇암으로 클램핑(clamping)하는 단계, (c)상기 클램핑된 기판을 회전 유닛에 의해 반전시키는 단계, (d)상기 반전된 기판을 스테이지에 로딩하여 수납하는 단계, 및 (e)상기 제2 로봇암을 기판으로부터 언클램핑(unclamping)하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반전 기능이 구비된 리페어 장비 및 이의 기판 반전 방법에 대하여 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 액정 표시 장치용 기판의 리페어 공정을 위한 공정 라인을 설명하기 위한 개념도이고, 도 5는 본 발명에 따른 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비를 도시한 도면이며, 도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비의 동작 과정을 설명하기 위한 프로세서이다.
먼저 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 기판(이하, '기판' 이라 칭함)(도5의 600)의 리페어를 위한 공정 시스템은 기판이 수납되어 있는 포트(port)(100)와, 리페어(repair) 작업을 수행하기 위해 필요한 장비들이 구비된 리페어 공정 라인(200), 포토(100)와 리페어 공정 라인(200) 사이의 로드(300), 로드(300) 상에서 기판(600)을 수납하여 이동하는 제1 로봇암(400)을 포함하여 이루어진다.
이때, 리페어 공정 라인(200)에서는 기판(600)의 리페어 작업과 함께, 기판(600)을 반전시키는 반전 작업을 수행한다.
따라서, 기판(600)의 메탈 라인(즉, 게이트 라인과 데이터 라인, 공통 전극 라인 등)에 단선 또는 단락 등의 선결합이 발생되어 리페어(repair)가 필요한 경우, 포트(100)에서 취출된 기판(600)을 직접 리페어 공정 라인(200)으로 운반하여 반전 작업 및 리페어 작업을 하나의 공정 라인 상에서 수행할 수 있다.
이를 위한 리페어 공정 라인(200)에는 기판(600)의 리페어를 수행하는 리페어 장비와, 기판(600)의 반전 작업을 수행하는 반전 장비가 하나의 장비에 구비된다.
즉, 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비는 도 5에 도시된 바 와 같이 기판(600)의 리페어를 수행하는 리페어부(미도시)와, 포트(100)에서 제1 로봇암(400)에 의해 취출된 기판(600)을 고정하여 반전시키는 제2 로봇암(210), 반전된 기판(600)을 로딩(loading)하여 리페어부(미도시)로 이송하기 위한 스테이지(220), 스테이지(220)를 관통하여 이에 로딩된 기판(600)을 소정의 높이로 리프트(lift)시키는 복수 개의 리프트 핀(230)을 포함하여 구성된다.
이때, 리페어부(미도시)와 제2 로봇암(210)에 의한 반전부(미도시)는 서로 다른 높이에서 작업을 수행하도록 구비될 수 있다.
도시하지 않은 리페어부(미도시)는 기판(600)의 메탈 라인에 발생된 결함 부위를 레이저로 조사하여 리페어하기 위해 필요한 여러 장비들이 구비된다.
이를 테면, 레이저 빔을 발생하여 결함 부위에 조사하기 위한 레이저 발생 장치와, 레이저 빔의 출력을 조절하는 출력 조절 장치 등이 구비될 수 있다.
제1 로봇암(400)은 도 4에 도시된 바와 같이 포트(100)와 리페어 공정 라인(200) 사이의 로드(300) 상에서 이동되며, 포트(100)의 카세트(cassette)에 수납된 기판(600)을 취출하거나 수납하고, 상하 좌우로 이동할 수 있도록 구비된다.
이러한 제1 로봇암(400)은 도 5에 도시된 바와 같이 제1 로봇핸드(412)를 지지하는 제1 지지축(411)과, 제1 지지축(411)에 결합되어 기판(600)을 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는 제1 로봇핸드(412), 및 제1 지지축(411)과 회전 및 이동이 가능하도록 연결되어 제1 로봇핸드(412)를 상, 하, 좌, 우로 이동시키는 제1 이동 유닛(미도시)으로 구성된다.
그리고, 제1 로봇핸드(412)는 도시된 바와 같이 기판(600)의 측면과 상하면 의 일부를 감싸서 클램핑(clamping)할 수 있도록 집게 모양으로 형성되고, 제1 이동 유닛(미도시)는 수직 방향으로 이동이 가능한 이동축 및 이동축을 중심으로 제1 로봇핸드(412)를 회전시키는 회전체를 포함하여 형성될 수 있다.
제2 로봇암(210)은 도 5에 도시된 바와 같이 기판(600)의 양측면을 고정하기 위해 구비되는 두 개의 제2 지지축(211)과, 각 제2 지지축(211)에 결합되어 기판을 클램핑(clamping)하는 클램핑 유닛(212), 각 제2 지지축(211)에 회전 가능하게 결합되어 기판(600)을 반전시키는 회전 유닛(213), 및 제2 지지축(211)과 회전 및 이동이 가능하도록 연결되어 클램핑 유닛(212)을 상, 하, 좌, 우로 이동시키는 제2 이동 유닛(214)을 포함하여 구성된다.
그리고, 클램핑 유닛(212)은 기판(600)을 안착시킬 수 있도록 단턱부가 형성된 안착 프레임(212a)과, 안착 프레임(212a)의 상단에 상하 움직임이 가능하게 결합되어 기판의 상면을 클램핑하는 클램핑 프레임(212b), 클램핑 프레임(212b)의 상하 움직임을 가능하게 하는 힌지(212c)를 포함하여 구성된다.
따라서, 클램핑 프레임(212b)이 상방으로 오픈된 상태에서 기판(600)이 안착 프레임(212a) 상에 안착되면 클램핑 프레임(212b)을 하방으로 이동하여 기판(600)의 상면을 덮도록 함으로써 기판(600)을 클램핑한다. 이와 반대로, 클램핑된 기판(600)을 언클램핑(unclamping)할 경우에는 클램핑 프레임(212b)을 상방으로 이동하여 오픈시킨다.
이때, 기판(600)의 양측면에 각각 구비되는 제2 로봇암(210)은 하나의 몸체에 구비되어 일괄적으로 조정할 수 있으며, 또는 독립적으로 구비되어 각각의 조정 에 의해 구동될 수 있다.
스테이지(220)는 전술한 바와 같이 반전된 기판(600)이 로딩된 상태에서 리페어부(미도시)로 바로 이송되는데, 이는 하나의 공정 라인 상에서 반전된 기판(600)을 다른 스테이지로 운반하여 옮길 필요없이 직접 리페어 작업을 하기 위함이다.
이러한 스테이지(220)에는 후술하는 복수 개의 리프트 핀(230)을 관통시키기 위한 관통 구멍이 복수 개 형성된다.
리프트 핀(230)은 스테이지(220)에 관통되게 설치되어, 스테이지(220) 상에 로딩된 기판(600)을 리프트 핀(230)의 높이에 상응하는 소정의 높이로 리프트(lift)시키는 역할을 한다. 다시 말해, 평상시에는 스테이지(220) 상에 로딩된 기판(600)을 리프트 핀(230)에 의해 리프트시킨 상태로 둠으로써 제2 로봇암(210)을 통해 기판(600)의 취출 및 수납이 용이하도록 하고, 반전 후 리페어 작업시에는 스테이지(220)를 리프트 핀(230)으로부터 빼내어 리프트 핀(230) 상에 위치된 기판(600)이 스테이지(220) 상에 바로 로딩되도록 한다.
따라서, 이와 같이 구성되는 본 발명에 따른 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비는 리페어 공정 라인(200)에서 리페어 작업을 수행하기 전후에 다음과 같은 반전 프로세서를 거치게 된다.
도 6(a) 내지 도 6(e)를 참조하면, 처음 (a)단계에서 제1 로봇암(400)으로 취출한 기판(600)을 리페어 공정 라인(200)으로 운반해 오면, 제2 로봇암(210)의 클램핑 프레임(212b)을 상방으로 이동시키고 안착 프레임(212a)에 기판(600)을 안 착시킬 수 있도록 한다.
다음 (b)단계에서, 안착 프레임(212a)에 기판(600)이 안착되면 클램핑 프레임(212b)을 하방으로 이동시켜 기판(600)의 양측부를 클램핑한다.
다음 (c)단계에서, 클램핑된 기판(600)을 제2 로봇암(210)의 회전 유닛(213)에 의해 180°회전시킴으로써 리페어할 기판(600)의 하면이 상측에 위치되도록 반전시킨다.
다음 (d)단계에서, 반전된 기판(600)을 하부의 스테이지(220)에 로딩하고 기판(600)을 언클램핑(unclamping)하기 위해 제2 로봇암(210)의 클램핑 프레임(212b)을 상방으로 이동시킨다.
이 경우, 스테이지(220) 상에 로딩된 기판(600)은 스테이지(220)에 관통되어 설치된 리프트 핀(230)에 의해 소정의 높이로 리프트(lift)된 상태이다.
다음 (e)단계에서, 제2 로봇암(210)을 기판(600)으로부터 들어 올려 기판(600)을 언클램핑함으로써 반전 작업을 완료한다.
반전 완료된 기판(600)은 스테이지(220) 상에 로딩된 상태로 직접 리페어 공정을 수행하거나, 또는 리페어 공정을 거친 후 포트(100)로 운반되어 다른 공정을 위해 수납된다.
상기한 프로세서를 기초한 본 발명에 따른 기판 반전 방법은 다음과 같은 절차로 이루어진다.
도 7은 도 6에 도시된 프로세서를 통해 액정 표시 장치용 기판의 반전 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도시된 바와 같이, 먼저, 제1 로봇암(400)으로 리페어할 기판(600)을 취출하거나 수납하여 리페어 공정 라인(200)으로 운반한다(S210,S220).
이후, 운반된 기판(600)을 제2 로봇암(210)으로 클램핑(clamping)하고, 리페어할 기판의 일면(이를 테면, 어레이 기판)이 상면이 되도록 반전 작업을 수행한다(S230,S240). 반전 작업은 도 6에 도시된 프로세서와 동일하므로 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이후, 반전된 기판(600)을 스테이지(220) 상에 로딩(loading)하고 제2 로봇암(210)을 기판(600)으로부터 이탈시켜 언클램핑(unclamping)함으로서 반전 작업을 완료한다(S250,S260).
이후, 스테이지(220) 상에 로딩된 기판(600)을 직접 리페어한다(S270).
이와 같이 리페어한 기판(600)은 다시 제2 로봇암(210)으로 클램핑하여 반전시킨 후, 추후에 수행될 제조 공정을 위해 포트(100)로 운반된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
상기한 바와 같이 이루어지는 본 발명에 따르면, 리페어할 액정 표시 장치용 기판을 하나의 리페어 장비로 직접 반전시킨 후 반전된 기판을 리페어함으로써 기존에 비해 기판 반전에 소요되는 작업 시간을 단축시킬 수 있으며, 이에 따른 로스(loss)를 감소시켜 생산성이 향상될 수 있는 효과가 있다.
또한, 별도의 반전 장비가 불필요하므로 전제 장비 사이즈를 축소시킬 수 있으며, 클린 룸(clearn room)의 공간 활용도를 높일 수 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 액정 표시 장치용 기판의 리페어(repair)를 수행하는 리페어부;
    상기 기판을 카세트에서 취출하거나 수납하여 상하좌우로 이동이 가능한 제1 로봇암;
    상기 제1 로봇암으로부터 취출된 기판을 클램핑(clamping)하여 반전시키고, 상기 기판을 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하는 제2 로봇암;
    상기 제2 로봇암에 의해 반전된 기판을 로딩하여 상기 리페어부로 직접 이송되는 스테이지; 및
    상기 스테이지를 관통하여 상기 스테이지 상에 로딩된 기판을 소정의 높이로 리프트시키는 복수 개의 리프트 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 로봇암은
    제1 지지축과,
    상기 제1 지지축에 결합되어 상기 기판을 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는 제1 로봇핸드, 및
    상기 제1 지지축과 회전 및 이동이 가능하도록 연결되어 상기 제1 로봇핸드를 상하좌우로 이동시키는 제1 이동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 반전 기 능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 로봇암은
    제2 지지축과,
    상기 제2 지지축에 결합되어 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 유닛,
    상기 제2 지지축에 결합되어 상기 기판을 반전시키는 회전 유닛, 및
    상기 제2 지지축과 회전 및 이동이 가능하도록 연결되어 상기 제2 로봇핸드를 상하좌우로 이동시키는 제2 이동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 클램핑 유닛은
    상기 기판을 안착시킬 수 있는 단턱부를 갖는 안착 프레임과,
    상기 안착 프레임의 상단에 상하 이동이 가능하게 결합되어 상기 안착 프레임에 기판이 안착되면 상기 기판의 상면을 클램핑하는 클램핑 프레임, 및
    상기 클램핑 프레임의 상하 이동을 가능하게 하는 힌지를 포함하는 것을 특징으로 하는 반전 기능이 구비된 액정 표시 장치용 리페어 장비.
  5. (a) 리페어(repair)를 수행하기 위해 제1 로봇암으로 기판을 취출하는 단계;
    (b) 상기 취출된 기판을 제2 로봇암으로 클램핑(clamping)하는 단계;
    (c) 상기 클램핑된 기판을 회전 유닛에 의해 반전시키는 단계;
    (d) 상기 반전된 기판을 스테이지에 로딩하여 수납하는 단계; 및
    (e) 상기 제2 로봇암을 기판으로부터 언클램핑(unclamping)하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 리페어 장비의 기판 반전 방법.
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